JP3604408B2

JP3604408B2 - Burn-in method and apparatus

Info

Publication number: JP3604408B2
Application number: JP24830692A
Authority: JP
Inventors: 三郎徳山; 真人渡辺; 克彦平賀; 健志富樫
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1992-09-17
Filing date: 1992-09-17
Publication date: 2004-12-22
Anticipated expiration: 2019-12-22
Also published as: JPH06102312A

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、初期不良を起こす集積回路を除くために高温条件下で行われるバ−ンイン（ｂｕｒｎｉｎ）試験に使用されるバーンイン方法及び装置に関する。
【０００２】
近年、集積回路は、あらゆる分野に使用されており、高い信頼性が要求されている。このため、初期不良を起こすデバイスを除外するためのバーンイン試験の精度を高めることが必要とされる。
【０００３】
【従来の技術】
一般に、バーンイン装置は、恒温槽、ＤＣ電源ユニット、被試験デバイスへの電源供給回路、被試験デバイスを動作させるためのパルス発生器、ドライバ回路等を設けて構成される。
【０００４】
ここに、バーンイン試験は、被試験デバイスのジャンクション温度Ｔｊを一定値に規定して行うことが必要であるが、この被試験デバイスのジャンクション温度Ｔｊは、恒温槽内の温度をＴａ、被試験デバイスの熱抵抗をＲｔｈ、被試験デバイスの消費電力（電源電圧×電源電流）をＰｃとすれば、これら恒温槽内の温度Ｔａ、被試験デバイスの熱抵抗Ｒｔｈ及び被試験デバイスの消費電力Ｐｃと数１に示すような関係がある。
【０００５】
【数１】

【０００６】
したがって、被試験デバイスのジャンクション温度Ｔｊを一定値に保持するためには、恒温槽内の温度Ｔａ及び被試験デバイスの消費電力Ｐｃがそれぞれ一定値となるように制御する必要がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ここに、従来のバーンイン装置においては、恒温槽内の温度Ｔａを一定値に制御することは行われていたが、被試験デバイスを動作させるためのクロックの周波数は固定としていた。
【０００８】
このため、例えば、ＣＭＯＳやＢｉＣＭＯＳ構造のデバイスでは、型格やデバイスの特性のばらつきにより電源電流が一定値とはならず、被試験デバイスの消費電力Ｐｃがばらついてしまい、被試験デバイスのジャンクション温度Ｔｊを一定値に保持することができず、精度の高いバーンイン試験を行うことができないという問題点があった。
【０００９】
本発明は、かかる点に鑑み、被試験デバイスの消費電力Ｐｃを所望の一定値に制御し、精度の高いバーンイン試験を行い、信頼性の高いデバイスを供給することができるようにすると共に、型格の異なる被試験デバイスについても、これらを同時に試験することができるようにし、試験の効率化を図ることができるようにしたバーンイン方法及び装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明のバーンイン方法は、被試験デバイスにパルスを供給したときに被試験デバイスに流れ込む電源電流を検出し、該電源電流が所望の一定値となるように、前記パルスの周波数を制御するというものである。
【００１１】
また、本発明のバーンイン装置は、図１に原理説明図を示すように、パルス供給制御手段１と、パルス供給制御手段１によって制御される周波数のパルスを生成し、このパルスを被試験デバイス２に供給するパルス供給手段３と、被試験デバイス２に電源電圧Ｖｃｃを供給する電源電圧供給手段４と、この電源電圧供給手段４から被試験デバイス２に流れ込む電源電流Ｉｃｃを検出する電源電流検出手段５とを備えて構成される。
【００１２】
ここに、パルス供給制御手段１は、電源電流検出手段５によって検出される電源電流Ｉｃｃが所望の一定値となるような周波数のパルスを供給するようにパルス供給手段３を制御するように構成される。
【００１３】
【作用】
本発明のバーンイン方法によれば、被試験デバイスにパルスを供給したときに被試験デバイスに流れ込む電源電流を検出し、該電源電流が所望の一定値となるように、前記パルスの周波数を制御するとしている。
【００１４】
この結果、恒温槽内において、被試験デバイスの消費電力を所望の一定値に制御することができ、被試験デバイスのジャンクション温度を所望の一定値にすることができる。したがって、精度の高い試験を行い、信頼性の高いデバイスを供給することができる。
【００１５】
また、本発明のバーンイン装置によれば、パルス供給手段３から被試験デバイス２に供給されるパルスの周波数は、パルス供給制御手段１によって、被試験デバイス２に流れ込む電源電流Ｉｃｃが所望の一定値となるように制御される。
【００１６】
この結果、恒温槽内において、被試験デバイス２の消費電力Ｐｃを所望の一定値に制御することができ、被試験デバイス２のジャンクション温度Ｔｊを所望の一定値にすることができる。したがって、精度の高い試験を行い、信頼性の高いデバイスを供給することができる。
【００１７】
また、本発明のバーンイン装置によれば、図１に示す回路を型格の異なる被試験デバイス毎に用意することによって、型格の異なる被試験デバイスについて、それぞれジャンクション温度Ｔｊを所望の一定値に制御することができる。したがって、型格の異なる被試験デバイスについても、これらを同時に試験することができ、試験の効率化を図ることができる。
【００１８】
【実施例】
以下、図２〜図５を参照して、本発明のバ−ンイン装置の第１実施例〜第３実施例について説明する。
【００１９】
第１実施例・・図２
図２は本発明の第１実施例の要部を示す図である。図中、６は被試験デバイスであり、７は電源電圧Ｖｃｃ用の端子、８は接地用の端子、９は信号入力用の端子である。
【００２０】
また、１０は被試験デバイス６に電源電圧Ｖｃｃを供給する電源電圧供給手段をなす電源電圧源、１１は電源電圧Ｖｃｃを平滑化してノイズを除去するための電解コンデンサである。
【００２１】
また、１２は電源電流Ｉｃｃを電圧の大きさとして検出する電源電流検出手段であり、１３は電源電流検出用の抵抗、１４は抵抗１３の両端間の電圧差を増幅する増幅器である。
【００２２】
また、１５はパルス供給制御手段であり、１６はコンパレータ、１７は電源電流Ｉｃｃを決定するための基準電圧Ｖｒｅｆを出力する基準電圧源、１８はローパスフィルタをなす積分回路である。なお、１９は抵抗、２０はコンデンサである。
【００２３】
ここに、このパルス供給制御手段１５は、そのコンパレータ１６に供給される増幅器１４の出力電圧と基準電圧Ｖｒｅｆとが一致するように、即ち、電源電流Ｉｃｃが所望の一定値となるような周波数のパルスを出力するように後述するパルス供給手段の電圧制御発振器を制御するものである。
【００２４】
また、２１は被試験デバイス６を動作させるためのパルスを生成して、これを被試験デバイス６に供給するパルス供給手段であり、２２は可変周波数発振器である電圧制御発振器（ＶＣＯ）、２３は電圧制御発振器２２から出力されるパルスを被試験デバイス６に供給するためのドライバ回路である。
【００２５】
かかる第１実施例においては、電源電圧源１０から被試験デバイス６に電源電圧Ｖｃｃが供給される。この場合、抵抗１３の両端間には被試験デバイス６に流れ込む電源電流Ｉｃｃの大きさに対応した電圧差が生じる。
【００２６】
この電圧差は、増幅器１４で増幅されてコンパレータ１６において、基準電圧Ｖｒｅｆと比較され、その差電圧に対応した電圧が出力され、これが積分回路１８を介して電圧制御発振器２２に供給される。
【００２７】
ここに、電圧制御発振器２２は、前述したように、パルス供給制御手段１５によって、基準電圧Ｖｒｅｆで決定される電源電流Ｉｃｃが所望の一定値となるような周波数のパルスを出力するように制御されるので、恒温槽内において、被試験デバイス６の消費電力Ｐｃを所望の一定値に制御することができる。
【００２８】
したがって、この第１実施例によれば、被試験デバイス６のジャンクション温度Ｔｊを所望の一定値に制御し、精度の高いバーンイン試験を行い、信頼性の高いデバイスを供給することができる。
【００２９】
また、この第１実施例によれば、図２に示す回路を型格の異なる被試験デバイス毎に用意することによって、型格の異なる被試験デバイスについて、それぞれジャンクション温度Ｔｊを所望の一定値に制御することができるので、型格の異なる被試験デバイスについても、これらを同時に試験することができ、試験の効率化を図ることができる。
【００３０】
第２実施例・・図３
図３は本発明の第２実施例の要部を示す図である。図中、２４は被試験デバイスであり、２５は電源電圧Ｖｃｃ用の端子、２６は接地用の端子、２７、２８は信号入力用の端子である。
【００３１】
また、２９は被試験デバイス２４に電源電圧Ｖｃｃを供給する電源電圧供給手段であり、３０は電源電圧源、３１は定電圧回路を構成するオペアンプである。また、３２は電源電圧Ｖｃｃを平滑化してノイズを除去するための電解コンデンサである。
【００３２】
また、３３は電源電流Ｉｃｃを電圧の大きさとして検出する電源電流検出手段であり、３４は電源電流検出用の抵抗、３５は抵抗３４の両端間の電圧差をデジタル値化するＡ／Ｄコンバータである。
【００３３】
また、３６はＡ／Ｄコンバータ３５から出力されるデジタル値が所望の一定値となるように、即ち、電源電流Ｉｃｃが所望の一定値となるように、後述するパルス供給手段のデジタルコントロール発振器を制御するマイクロコンピュータである。
【００３４】
また、３７は被試験デバイス２４を動作させるためのパルスを生成して、これを被試験デバイス２４に供給するパルス供給手段であり、３８は可変周波数発振器であるデジタルコントロール発振器、３９はデジタルコントロール発振器３８の出力に基づいて所定のパターンのパルス群を出力するパターンジェネレータ、４０、４１はパターンジェネレータ３９から出力されるパルスを被試験デバイス２４に供給するためのドライバ回路である。
【００３５】
かかる第２実施例においては、電源電圧供給手段２９から被試験デバイス２４に電源電圧Ｖｃｃが供給される。この場合、抵抗３４の両端間には、被試験デバイス２４に流れ込む電源電流Ｉｃｃの大きさに対応した電圧差が生じるが、この電圧差は、Ａ／Ｄコンバータ３５においてデジタル値化されてマイクロコンピュータ３６に供給される。
【００３６】
ここに、マイクロコンピュータ３６は、Ａ／Ｄコンバータ３５から出力されるデジタル値が所望の一定値となるように、即ち、電源電流Ｉｃｃが所望の一定値となるようにデジタルコントロール発振器３８を制御するので、恒温槽内において被試験デバイス２４の消費電力Ｐｃを所望の一定値に制御することができる。
【００３７】
したがって、この第２実施例によっても、被試験デバイス２４のジャンクション温度Ｔｊを所望の一定値に制御し、精度の高いバーンイン試験を行い、信頼性の高いデバイスを供給することができる。
【００３８】
また、この第２実施例によれば、図３に示す回路を型格の異なる被試験デバイス毎に用意することによって、型格の異なる被試験デバイスについて、それぞれジャンクション温度を所望の一定値に制御することができるので、型格の異なる被試験デバイスについても、これらを同時に試験することができ、試験の効率化を図ることができる。
【００３９】
第３実施例・・図４、図５
図４は本発明の第３実施例の要部を示す図である。この第３実施例は、図２に示す第１実施例を改良するものであり、タイマ回路４２とＡＮＤ回路４３とを設け、その他については、第１実施例と同様に構成されている。
【００４０】
この第３実施例においては、タイマ回路４２の出力を常にハイレベルとする場合には、電圧制御発振器２２から出力されるパルスを全てドライバ回路２３に供給することができ、第１実施例と同様にバーンイン試験を行うことができる。
【００４１】
これに対して、電圧制御発振器２２から図５Ａに示すようなパルスが出力されている場合において、図５Ｂに示すように、電圧制御発振器２２から出力されるパルスよりも低い周波数のパルスをタイマ回路４２から出力させる場合には、図５Ｃに示すような断続的（間欠的）なパルスをＡＮＤ回路４３の出力側に得ることができ、これをドライバ回路２３を介して被試験デバイス６に供給することができる。
【００４２】
したがって、この第３実施例によれば、第１実施例と同様の作用効果を得ることができると共に、被試験デバイス６に温度サイクルを与えて温度サイクル試験を行うことができる。なお、第２実施例も同様に改良することができる。
【００４３】
【発明の効果】
本発明によれば、被試験デバイスに流れ込む電源電流を所望の一定値とするように被試験デバイスに供給されるパルスの周波数を制御するという構成を採用したことにより、恒温槽内において被試験デバイスの消費電力を所望の一定値に制御し、被試験デバイスのジャンクション温度を所望の一定値にすることができるので、精度の高い試験を行い、信頼性の高いデバイスを供給することができる。
【００４４】
また、本発明によれば、図１に示す回路を型格の異なる被試験デバイス毎に用意することによって、型格の異なる被試験デバイスについて、それぞれジャンクション温度を所望の一定値に制御することができるので、型格の異なる被試験デバイスについても、これらを同時に試験することができ、試験の効率化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるバーンイン装置の原理説明図である。
【図２】本発明の第１実施例の要部を示す図である。
【図３】本発明の第２実施例の要部を示す図である。
【図４】本発明の第３実施例の要部を示す図である。
【図５】本発明の第３実施例の動作を説明するための波形図である。
【符号の説明】
１パルス供給制御手段
２被試験デバイス
３パルス供給手段
４電源電圧供給手段
５電源電流検出手段
Ｖｃｃ電源電圧
Ｉｃｃ電源電流[0001]
[Industrial applications]
The present invention, bar takes place at a high temperature to remove the integrated circuit to cause an initial defect - related burn-burn methods and apparatus for use in (burn in) test.
[0002]
In recent years, integrated circuits have been used in various fields, and high reliability is required. For this reason, it is necessary to increase the accuracy of a burn-in test for excluding a device that causes an initial failure.
[0003]
[Prior art]
Generally, a burn-in apparatus is provided with a thermostat, a DC power supply unit, a power supply circuit for a device under test, a pulse generator for operating the device under test, a driver circuit, and the like.
[0004]
Here, the burn-in test needs to be performed with the junction temperature Tj of the device under test defined at a constant value. The junction temperature Tj of the device under test is Ta in the constant temperature chamber, Is the temperature Ta, the thermal resistance Rth of the device under test, the power consumption Pc of the device under test, There is a relationship as shown in FIG.
[0005]
(Equation 1)

[0006]
Therefore, in order to maintain the junction temperature Tj of the device under test at a constant value, it is necessary to control the temperature Ta in the thermostat and the power consumption Pc of the device under test to be constant values.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
Here, in the conventional burn-in apparatus, the temperature Ta in the thermostat is controlled to a constant value, but the frequency of the clock for operating the device under test is fixed.
[0008]
For this reason, for example, in a device having a CMOS or BiCMOS structure, the power supply current does not become constant due to variations in the model and device characteristics, and the power consumption Pc of the device under test varies, and the junction temperature of the device under test increases. There was a problem that Tj could not be kept at a constant value, and a burn-in test with high accuracy could not be performed.
[0009]
In view of the foregoing, the present invention controls the power consumption Pc of a device under test to a desired constant value, performs a highly accurate burn-in test, and can supply a highly reliable device. It is an object of the present invention to provide a burn-in method and apparatus that can simultaneously test devices under test having different ratings so that the testing efficiency can be improved.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
The burn-in method of the present invention detects a power supply current flowing into a device under test when a pulse is supplied to the device under test, and controls the frequency of the pulse so that the power supply current has a desired constant value. It is.
[0011]
The burn-in apparatus of the present invention generates a pulse supply control means 1 and a pulse having a frequency controlled by the pulse supply control means 1 as shown in FIG. , A power supply voltage supply means 4 for supplying a power supply voltage Vcc to the device under test 2, and a power supply current detection means for detecting a power supply current Icc flowing from the power supply voltage supply means 4 into the device under test 2. 5 is provided.
[0012]
Here, the pulse supply control means 1 is configured to control the pulse supply means 3 so as to supply a pulse having a frequency such that the power supply current Icc detected by the power supply current detection means 5 has a desired constant value. You.
[0013]
[Action]
According to the burn-in method of the present invention, the power supply current flowing into the device under test when a pulse is supplied to the device under test is detected, and the frequency of the pulse is controlled so that the power supply current has a desired constant value. And
[0014]
As a result, the power consumption of the device under test can be controlled to a desired constant value in the thermostat, and the junction temperature of the device under test can be set to a desired constant value. Therefore, a highly accurate test can be performed and a highly reliable device can be supplied.
[0015]
Further, according to the burn-in apparatus of the present invention, the frequency of the pulse supplied from the pulse supply unit 3 to the device under test 2 is controlled by the pulse supply control unit 1 so that the power supply current Icc flowing into the device under test 2 has a desired constant value. Is controlled so that
[0016]
As a result, in the constant temperature bath, the power consumption Pc of the device under test 2 can be controlled to a desired constant value, and the junction temperature Tj of the device under test 2 can be set to a desired constant value. Therefore, a highly accurate test can be performed and a highly reliable device can be supplied.
[0017]
According to the burn-in apparatus of the present invention, by preparing the circuit shown in FIG. 1 for each device under test having a different model, the junction temperature Tj is set to a desired constant value for each device under test having a different model. Can be controlled. Therefore, it is possible to simultaneously test these devices under test having different models, thereby improving the efficiency of the test.
[0018]
【Example】
Referring to FIGS, bar of the present invention - it is described first to third embodiments of the burn-device.
[0019]
First Embodiment FIG. 2
FIG. 2 is a diagram showing a main part of the first embodiment of the present invention. In the figure, 6 is a device under test, 7 is a terminal for power supply voltage Vcc, 8 is a terminal for grounding, and 9 is a terminal for signal input.
[0020]
Reference numeral 10 denotes a power supply voltage source serving as a power supply voltage supply unit for supplying the power supply voltage Vcc to the device under test 6, and reference numeral 11 denotes an electrolytic capacitor for smoothing the power supply voltage Vcc to remove noise.
[0021]
Reference numeral 12 denotes power supply current detection means for detecting the power supply current Icc as a voltage magnitude, reference numeral 13 denotes a power supply current detection resistor, and reference numeral 14 denotes an amplifier for amplifying a voltage difference between both ends of the resistor 13.
[0022]
Reference numeral 15 denotes pulse supply control means, 16 denotes a comparator, 17 denotes a reference voltage source that outputs a reference voltage Vref for determining the power supply current Icc, and 18 denotes an integration circuit that forms a low-pass filter. Note that 19 is a resistor, and 20 is a capacitor.
[0023]
Here, the pulse supply control means 15 operates such that the output voltage of the amplifier 14 supplied to the comparator 16 matches the reference voltage Vref, that is, the frequency of the power supply current Icc becomes a desired constant value. This is for controlling a voltage-controlled oscillator of a pulse supply means described later so as to output a pulse.
[0024]
Reference numeral 21 denotes pulse supply means for generating a pulse for operating the device under test 6 and supplying the pulse to the device under test 6, reference numeral 22 denotes a voltage controlled oscillator (VCO) which is a variable frequency oscillator, and reference numeral 23 denotes a variable frequency oscillator. This is a driver circuit for supplying a pulse output from the voltage controlled oscillator 22 to the device under test 6.
[0025]
In the first embodiment, the power supply voltage Vcc is supplied from the power supply voltage source 10 to the device under test 6. In this case, a voltage difference corresponding to the magnitude of the power supply current Icc flowing into the device under test 6 is generated between both ends of the resistor 13.
[0026]
The voltage difference is amplified by the amplifier 14, compared with the reference voltage Vref in the comparator 16, and a voltage corresponding to the difference voltage is output. The voltage is supplied to the voltage controlled oscillator 22 via the integration circuit 18.
[0027]
Here, as described above, the voltage control oscillator 22 is controlled by the pulse supply control means 15 so as to output a pulse having a frequency such that the power supply current Icc determined by the reference voltage Vref becomes a desired constant value. Therefore, the power consumption Pc of the device under test 6 can be controlled to a desired constant value in the thermostat.
[0028]
Therefore, according to the first embodiment, it is possible to control the junction temperature Tj of the device under test 6 to a desired constant value, perform a highly accurate burn-in test, and supply a highly reliable device.
[0029]
Further, according to the first embodiment, by preparing the circuit shown in FIG. 2 for each device under test having different models, the junction temperature Tj is set to a desired constant value for each device under test having different models. Since control can be performed, even devices under test of different types can be tested simultaneously, and testing efficiency can be improved.
[0030]
Second Embodiment FIG. 3
FIG. 3 is a view showing a main part of a second embodiment of the present invention. In the figure, 24 is a device under test, 25 is a terminal for power supply voltage Vcc, 26 is a terminal for grounding, and 27 and 28 are terminals for signal input.
[0031]
Reference numeral 29 denotes a power supply voltage supply unit for supplying a power supply voltage Vcc to the device under test 24; 30 a power supply voltage source; Reference numeral 32 denotes an electrolytic capacitor for smoothing the power supply voltage Vcc to remove noise.
[0032]
Reference numeral 33 denotes power supply current detection means for detecting the power supply current Icc as a voltage magnitude, reference numeral 34 denotes a power supply current detection resistor, and reference numeral 35 denotes an A / D converter for converting a voltage difference between both ends of the resistor 34 into a digital value. It is.
[0033]
Reference numeral 36 denotes a digital control oscillator of a pulse supply unit to be described later so that the digital value output from the A / D converter 35 has a desired constant value, that is, the power supply current Icc has a desired constant value. A microcomputer to control.
[0034]
Reference numeral 37 denotes pulse supply means for generating a pulse for operating the device under test 24 and supplying the pulse to the device under test 24; 38, a digital control oscillator as a variable frequency oscillator; and 39, a digital control oscillator.

Pattern generators

40 and 41 for outputting a pulse group of a predetermined pattern based on the output of 38, and driver circuits for supplying pulses output from the pattern generator 39 to the device under test 24.
[0035]
In the second embodiment, the power supply voltage Vcc is supplied from the power supply voltage supply means 29 to the device under test 24. In this case, a voltage difference corresponding to the magnitude of the power supply current Icc flowing into the device under test 24 is generated between both ends of the resistor 34, and this voltage difference is converted into a digital value by the A / D converter 35 to be used by the microcomputer. 36.
[0036]
Here, the microcomputer 36 controls the digital control oscillator 38 so that the digital value output from the A / D converter 35 has a desired constant value, that is, the power supply current Icc has a desired constant value. Therefore, the power consumption Pc of the device under test 24 can be controlled to a desired constant value in the thermostat.
[0037]
Therefore, according to the second embodiment as well, it is possible to control the junction temperature Tj of the device under test 24 to a desired constant value, perform a highly accurate burn-in test, and supply a highly reliable device.
[0038]
Further, according to the second embodiment, by preparing the circuit shown in FIG. 3 for each device under test having a different model, the junction temperature of each device under test having a different model is controlled to a desired constant value. Therefore, it is possible to simultaneously test these devices under test of different types, thereby improving the efficiency of the test.
[0039]
Third Embodiment FIGS. 4 and 5
FIG. 4 is a view showing a main part of a third embodiment of the present invention. This third embodiment is an improvement of the first embodiment shown in FIG. 2, and is provided with a timer circuit 42 and an AND circuit 43, and the other configuration is the same as that of the first embodiment.
[0040]
In the third embodiment, when the output of the timer circuit 42 is always at the high level, all the pulses output from the voltage controlled oscillator 22 can be supplied to the driver circuit 23, and the same as in the first embodiment. A burn-in test can be performed.
[0041]
On the other hand, when a pulse as shown in FIG. 5A is output from the voltage controlled oscillator 22, as shown in FIG. 5B, a pulse having a lower frequency than the pulse output from the voltage controlled oscillator 22 is output to the timer circuit. 5C, an intermittent (intermittent) pulse as shown in FIG. 5C can be obtained at the output side of the AND circuit 43, and this is supplied to the device under test 6 via the driver circuit 23. be able to.
[0042]
Therefore, according to the third embodiment, the same operation and effect as those of the first embodiment can be obtained, and a temperature cycle test can be performed by giving a temperature cycle to the device under test 6. The second embodiment can be similarly improved.
[0043]
【The invention's effect】
According to the present invention, by adopting a configuration in which the frequency of the pulse supplied to the device under test is controlled so that the power supply current flowing into the device under test has a desired constant value, the device under test can be controlled in a constant temperature chamber. Can be controlled to a desired constant value and the junction temperature of the device under test can be set to a desired constant value, so that a highly accurate test can be performed and a highly reliable device can be supplied.
[0044]
Further, according to the present invention, by preparing the circuit shown in FIG. 1 for each device under test having a different model, it is possible to control the junction temperature to a desired constant value for each device under test having a different model. Therefore, the devices under test having different models can be tested simultaneously, and the efficiency of the test can be improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram illustrating the principle of a burn-in device according to the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing a main part of the first embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a diagram showing a main part of a second embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a diagram showing a main part of a third embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a waveform chart for explaining the operation of the third embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
1 pulse supply control means 2 device under test 3 pulse supply means 4 power supply voltage supply means 5 power supply current detection means Vcc power supply voltage Icc power supply current

Claims

Supplying a power supply voltage to the device under test and supplying a pulse to a signal input terminal of the device under test;
A burn-in method , comprising detecting a power supply current flowing into the device under test and controlling a frequency of the pulse so that the power supply current has a desired constant value .

Power supply voltage supply means for supplying a power supply voltage to the device under test;
Pulse supply means for supplying a pulse to a signal input terminal of the device under test, power supply current detection means for detecting a power supply current flowing from the power supply voltage supply means to the device under test,
The pulse supply unit is controlled so that a pulse having a frequency such that the power supply current detected by the power supply current detection unit has a desired constant value is supplied to the signal input terminal of the device under test. A burn-in device, comprising:

The power supply current detection means is connected in series to a line connecting the power supply voltage supply means and the device under test, and detects a power supply current flowing into the device under test, and a voltage difference between both ends of the resistance. And an amplifier for amplifying the
The pulse supply control means includes a comparator for comparing an output voltage of the amplifier with a reference voltage, and an integration circuit connected to an output side of the comparator,
The pulse supply unit includes a voltage-controlled oscillator whose output pulse frequency is controlled by the pulse supply control unit, and a driver circuit that supplies a pulse output from the voltage-controlled oscillator to the device under test. 3. The burn-in device according to claim 2, wherein:

The power supply current detection means is connected in series to a line connecting the power supply voltage supply means and the device under test, and detects a power supply current flowing into the device under test, and a voltage difference between both ends of the resistance. And an A / D converter for converting the
The pulse supply control unit includes a microcomputer that controls a frequency of a pulse output from the pulse supply unit such that a digital value output from the A / D converter becomes a desired constant value.
The pulse supply means includes a digital control oscillator whose output pulse frequency is controlled by the microcomputer, a pattern generator that outputs a pulse group of a predetermined pattern based on the output of the digital control oscillator, and a pulse generator that is output from the pattern generator. 3. A burn-in apparatus according to claim 2, further comprising a driver circuit for supplying a pulse to the device under test.

5. The burn-in apparatus according to claim 2, wherein the pulse supply unit includes a control circuit for intermittently supplying a pulse to the device under test.

6. The burn-in device according to claim 2, wherein the power supply voltage supply means includes a constant voltage circuit for converting the power supply voltage to a constant voltage.