JP3592446B2 - 圧力調整器 - Google Patents
圧力調整器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3592446B2 JP3592446B2 JP15864696A JP15864696A JP3592446B2 JP 3592446 B2 JP3592446 B2 JP 3592446B2 JP 15864696 A JP15864696 A JP 15864696A JP 15864696 A JP15864696 A JP 15864696A JP 3592446 B2 JP3592446 B2 JP 3592446B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- diaphragm
- heat exchange
- flow path
- pressure regulator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Details Of Valves (AREA)
- Control Of Non-Electrical Variables (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は高圧ガス容器などの高圧ガス供給部からのガスを減圧して二次側に供給する圧力調整器に関し、詳しくはガスを減圧する際に結露が発生しない圧力調整器に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、空気、酸素、窒素、水素、炭酸ガスおよびその他の毒性ガス、可燃性ガス、腐食性ガスなどのガスを、一次側と称される高圧側から、二次側と称される低圧側に減圧する圧力調整器が広く使われている。
図2は従来の圧力調整器を例示するものであり、この圧力調整器20は、一次側ガス供給端が接続される一次側流路1aと二次側ガス放出端が接続される二次側流路1bとを有する弁ケース1と、弁ケース1の二次側流路1bに面して設けられたダイヤフラム7と、弁ケース1内に設けられた弁体8と、ダイヤフラム7上面側に設けられたダイヤフラム変位手段13と、このダイヤフラム変位手段13の一部を囲む収納部3aを備えた弁キャップ3とを備えて構成されている。
弁ケース1の一次側流路1aと二次側流路1bとの間には、これらを隔てる弁座部材9が設けられており、この弁座部材9の上部の弁座9aには、開孔部9bが形成されている。弁座部材9の一次側流路1a側には弁体8が設けられており、この弁体8は、その先端部であるスピンドル8aを開孔部9bに上方に向けて挿通させ、テーパー状の接触面を介して該開孔部9bよりも径の大きな基部を開孔部9bの下方に位置させて設けられている。この弁体8は小スプリング10によって上方に付勢されており、最も上方に位置したときに、上記テーパー状の接触面が弁座部材9に当接して開孔部9bを塞ぐようになっている。
この弁ケース1の上部には弁キャップ3が設けられており、これら弁ケース1と弁キャップ3との間には、弁ケース1と弁キャップ3とにその周縁を挟持された状態で上記ダイヤフラム7が配されている。このダイヤフラム7はSUS304などのステンレスや真鍮で形成されており、二次側流路1b内のガス圧に応じてその中央が上下に変位可能に形成されている。
【0003】
ダイヤフラム7上面側には、調圧バネ4、およびこの調圧バネ4を上下から挟持する上下バネ受け5、6を備えたダイヤフラム変位手段13が設けられている。調圧バネ4の下側に配された下バネ受け6はダイヤフラム7の上面に接しており、ダイヤフラム7は下バネ受け6を介して調圧バネ4により下方に付勢されるようになっている。
これら調圧バネ4、および上下バネ受け5、6は上記弁キャップ3の収納部3a内に配設され、この収納部3aを有する弁キャップ3は、その下端で弁ケース1に螺着固定されている。
また収納部3aの上壁には、内面にネジが形成された挿通孔3cが形成され、この挿通孔3cには、操作ハンドル2を有するスピンドル2aが、その先端を上バネ受け5上面に当接させた状態で螺着されている。
また、弁キャップ3の収納部3aには、ダイヤフラム7に漏れが生じた場合、その漏れを検出するための開孔であるリ−クポ−ト3bが形成されている。なお、開孔部9b近傍の二次側流路1bを、以下圧力解放部1cと呼ぶ。
【0004】
この圧力調整器20は次のように使用される。高圧ガス容器などの高圧ガス供給部からのガスを、上記圧力調整器20の一次側流路1aに通した際、二次側流路1b内ガス圧が予め設定された設定範囲を下回っているときには、調圧バネ4に押圧されたダイヤフラム7が、小スプリング10により付勢された弁体8の先端に当接し、該弁体8のスピンドル8aを下方に押圧してこれを下方に移動させる。これにより弁体8は弁座部材9の弁座9aから離れ、一次側のガスは弁体8と開孔部9bとの隙間から二次側流路1bに減圧膨張して流れる。そして二次側へのガス流入によって二次側流路1b内ガス圧が上記設定範囲より高くなると、このガス圧によってダイヤフラム7は調圧バネ4の弾性力に抗して上方に変位し、これにともなって弁体8は上方に移動して弁座部材9の開孔部9bを塞ぎ、一次側から二次側へのガス流を遮断する。このようにして高圧の一次側ガスは上記圧力範囲に減圧されて二次側に至るようになっている。このような圧力調整器20は半導体製造工場などで広く用いられている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
このような圧力調整器20においては、一次側ガスを二次側流路へ減圧して流すとき、このガスが減圧膨張することにより低温となり、ダイヤフラム7や二次側流路1bの圧力解放部1c近傍の弁ケース1が冷却され、さらには弁ケース1と接している弁キャップ3や、弁キャップ3の収納部3a内のバネ受け6、調圧バネ4、バネ受け5等が冷却される。このようにして圧力調整器20の全体が冷却され、その結果、外気と接する圧力調整器外面が結露することがあった。このような圧力調整器20を半導体工場のクリーンルーム内などに設けられたガス製造装置やガス配管に取り付けて使用する場合、この結露による水分がクリーンルーム内に侵入してその清浄環境を悪化させるおそれがある。
【0006】
また、弁キャップ3の収納部3aにはリ−クポ−ト3bが形成されているので、このリークポート3bから収納部3a内に湿気を含んだ外気が入り、これによって、圧力調整器20の減圧操作により低温となった弁キャップ3の収納部3aの内壁や調圧バネ4が結露し、その結果調圧バネ4やダイヤフラム7に錆が発生することがあり、クリーンルーム内に錆に由来する不純物が侵入して清浄環境を悪化させるおそれがある。
また、収納部3a内の結露水が凝固点以下まで冷却されて凍結した場合には、凍結水の付着により調圧バネの動きが悪くなりこの圧力調整器が作動不良を起こすおそれがある。
【0007】
このような結露によるさまざまな弊害を防止するためには、バンドヒ−タ等によって圧力調整器20を加温し、圧力調整器20の温度と外気温との差を小さく保って結露を防ぐことが考えられるが、ヒータを使用した場合には、安全性確保の観点からこの圧力調整器を可燃性ガスに適用することができず、またヒ−タが故障したときのヒータ交換に手間がかかるという問題があった。
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、ヒ−タを使用しなくても外面に結露による水分付着が起きず、しかも調圧バネやダイヤフラム等に結露水による錆が発生せず、また凍結結露水付着による作動不良が発生することがない圧力調整器を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の圧力調整器は、一次側ガス供給端が接続される一次側流路と、二次側ガス放出端が接続される二次側流路と、これら一次側流路と二次側流路とを隔てかつ開孔部が形成された弁座とを有する弁ケースと、該弁ケースの二次側流路に面して、該二次側流路内のガスの圧力に応じて変位可能に設けられたダイヤフラムと、前記弁ケースの弁座に、その先端を開孔部からダイヤフラム側に向けて突出させ、ダイヤフラムに近付く方向に付勢され、最もダイヤフラムに近付いたときに前記弁座の開孔部を塞ぐ弁体と、前記ダイヤフラムを弁体の先端に当接させまたは離間させるように変位させるダイヤフラム変位手段と、該ダイヤフラム変位手段のダイヤフラム当接側の少なくとも一部を囲む収納部とを備え、該収納部に、二次側流路内のガスより高温の熱交換用気体を収納部内に導く入口配管と、収納部内から熱交換用気体を排出する出口配管とからなる加温手段を設けたことを特徴とする。
また、前記収納部内に、前記ダイヤフラムに熱交換用気体の熱を伝熱させる熱交換部材が設けられた構成としてよい。
また、前記熱交換部材の外面に、熱交換用気体との接触面積を大きくする凹凸を形成した構成としてよい。
また、前記収納部の内壁に、熱交換用気体との接触面積を大きくする凹凸を形成した構成としてよい。
【0009】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の圧力調整器の一実施形態を示すものである。なお、本実施形態の説明において、図2に示す従来例との共通部分については、同一符号を付してその説明を省略または簡略化する。
この圧力調整器30は、一次側流路1aと二次側流路1bとを有する弁ケース1と、弁ケース1の二次側流路1bに面して設けられたダイヤフラム7と、弁ケース1内に設けられた弁体8と、ダイヤフラム7上面側に設けられたダイヤフラム変位手段23と、このダイヤフラム変位手段23の一部を囲む収納部11aを備えた弁キャップ11とを備えて構成されている。
【0010】
弁ケース1と弁キャップ11との間には、これら弁ケース1と弁キャップ11とにその周縁を挟持された状態で上記ダイヤフラム7が配されており、ダイヤフラム7上面側には、調圧バネ4、および調圧バネ4を上下から挟持する上下バネ受け5、12を備えたダイヤフラム変位手段23が設けられている。調圧バネ4の下側に配された下バネ受け12はダイヤフラム7の上面に接して設けられ、ダイヤフラム7は下バネ受け12を介して調圧バネ4により下方に付勢されるようになっている。
【0011】
これら調圧バネ4、および上下バネ受け5、12は上記弁キャップ11の収納部11a内に配設され、この収納部11aを有する弁キャップ11は、その下端で弁ケース1に螺着固定されている。
また収納部11aの上壁には、内面にネジが形成された挿通孔11eが形成され、この挿通孔11eには、操作ハンドル2を有するスピンドル2aが、その先端を上バネ受け5上面に当接させた状態で螺着されている。上記ダイヤフラム変位手段23は、このスピンドル2aと、上記調圧バネ4と、上下バネ受け5、12とを備えて構成されている。
【0012】
図1に示す状態において、調圧バネ4はスピンドル2aによって圧縮されず、ゆるめられており、ダイヤフラム7は自由状態(調圧バネ4によって押圧されていない状態)にある。この状態で、弁体8は最上昇位置にあり、そのテーパー状の接触面が弁座部材9に当接して開孔部9bを塞いでいる。
【0013】
本実施形態の圧力調整器30では、弁キャップ11の収納部11aに、供給源(図示せず)から供給された熱交換用気体をこの収納部内に導く入口配管11bと、収納部内から熱交換用気体を排出する出口配管11cとからなる加温手段14が設けられている。
この熱交換用気体としては、窒素、空気等が用いられる。また空気としては大気からそのまま、あるいは乾燥空気を使用するのが望ましい。また窒素としては、乾燥窒素を使用することが好ましい。またこの熱交換用気体は、少なくとも二次側ガスより高い温度、好ましくは室温程度とされる。この圧力調整器をクリーンルーム内で使用する場合、通常、熱交換用気体は屋外のガス源から配管により供給され、クリーンルーム等の室内で用いられる圧力調整器に到達するまでに室温近くまで上昇するので、この気体をヒータ等で特に加温する必要はない。
【0014】
また、下バネ受け12の上面には柱状体12aが立設されている。この柱状体12aは、下バネ受け12と熱交換用気体との熱交換を促進させる熱交換部材であり、0℃において0.25cal/cm・sec・℃以上の高い熱伝導率の材料、例えば真鍮、銅などで作製され、その軸心と下バネ受け12の中心とを一致させて、溶接等により下バネ受け12に一体に接合されている。この柱状体12の径は、コイル状の調圧バネ4に接触しないように調圧バネの径よりも小さく形成される。また、この柱状体12の長さは、調圧バネ4をゆるめた自由状態における調圧バネ4の軸方向の長さから、自由状態のダイヤフラム7と弁座部材9とで形成される隙間分の長さを減じた長さよりもやや短く形成される。
【0015】
また柱状体12aには、その外側面から水平方向に突出した板状の柱状体突起12bが柱状体長手方向に多段に形成されている。この柱状体突起12bは柱状体12aの表面に凹凸を設けて熱交換用気体との接触面積を大きくし、熱交換用気体と柱状体12aとの熱交換の効率を高めるためのもので、その形状は図1に示す水平板状の横型フィンとすることが好ましい。なお、柱状体突起12bの形状はこれに限らず、鉛直方向に沿う板状の縦型フィンや螺旋板状の螺旋型フィン、あるいはドット状の多数の突起としてもよい。
また弁キャップ11の収納部11aの内壁面には、この壁面から内方に突出した板状の内壁突起11dが鉛直方向に多段に形成されている。この内壁突起11dは、この内壁表面に凹凸を設けて熱交換用気体との接触面積を大きくし、熱交換用気体と内壁との熱交換効率を高めるためのものである。なおこの内壁突起11dの形状としては図1に示す横型フィンばかりでなく、縦型フィンや螺旋型フィン、あるいはドット状の多数の突起としてもよい。
【0016】
この圧力調整器20の使用の際には、高圧の一次側ガスを一次側流路1aに通した状態で、操作ハンドル2によってスピンドル2aを下方に移動させ、調圧バネ4を圧縮して調圧バネ4の下方付勢力を高め、これによってダイヤフラム7を下方に移動させ、ダイヤフラム7でスピンドル8aを下方に押圧して弁体8と開孔部9bとを離間させる。これに伴って一次側流路1a内ガスは開孔部9bを通して二次側流路1bの圧力解放部1cに流れ込む。
一次側ガスが弁体8と開口部9bとの隙間から二次側流路1bの圧力解放部1cに流れる際に、このガスは減圧膨張によりその温度が低下する。この低温となったガスにより、ダイヤフラム7、弁ケ−ス1は冷却され、そのままにしておくと、熱伝導により弁キャップ11、バネ受け6、調圧バネ4、バネ受け5、12、柱状体12a等、この圧力調整器30全体が冷却される。
【0017】
本実施形態による圧力調整器30では、収納部11aに熱交換用気体を導入する入口配管11bと、収納部内の熱交換用気体を排出する出口配管11cとからなる加温手段14を設けたことによって、収納部11a内に、二次側のガス温度より高温の熱交換用気体を連続的に流し、この熱交換用気体を、二次側ガスで冷却された収納部11a、および収納部内の調圧バネ4、下バネ受け12、上バネ受け5などの部材と接触させ、これら部材を加温して結露発生を防止する。
【0018】
この熱交換の際には、熱交換により収納部11aが得た熱は弁キャップ11の上部から弁キャップ11の下部に伝導し、さらに弁キャップ11と接触している弁ケ−ス1に伝導する。このため弁キャップ11および弁ケース1の温度が上昇する。また同時に、調圧バネ4、上下バネ受け5、12、および柱状体12aが加温され、これら部材が得た熱は下バネ受け12と接触しているダイヤフラム7に至る。このようにして上記熱が圧力調整器30全体に伝導し、圧力調整器30はその全体が加温される。
【0019】
このように圧力調整器30全体が加温されるので、圧力調整器30と外気との温度差は小さく保たれる。このため圧力調整器30外面の結露を起きにくくし、結露による水滴発生によるこの圧力調整器やその周囲の機器の腐食等を未然に防ぐことができる。また、圧力調整器全体の加温により、二次側の減圧膨張したガスが加温されるので、この圧力調整器30では従来型の圧力調整器20よりも多くの流量を安定して流すことができる。
また下バネ受け12に柱状体12aを設けたので、下バネ受け12と熱交換用気体との接触面積を大きくし、この圧力調整器と熱交換用気体との熱交換を促進し、二次側ガスによって冷却された圧力調整器30を、二次側ガスより高温の熱交換用気体によって効率よく加温することができ、圧力調整器30の結露を確実に防止することができる。
【0020】
また柱状体12aの外面に、柱状体突起12bを形成することにより、柱状体12aと熱交換用気体との接触面積を大きくし、熱交換用気体と柱状体12aとの熱交換効率を高めることができる。
また弁キャップ11の収納部11aの内壁面に内壁突起11dを形成することにより、熱交換用気体と収納部11aとの熱交換効率を高めることができる。
また、収納部11a内に乾燥気体を流通させることによって、収納部11a内の水蒸気圧を低く保ち、収納部11a内の結露を防ぐことができる。従ってこの結露によるダイヤフラム等の錆の発生を防ぐことができる。また凍結結露水によってこの圧力調整器が作動不良を起こすのを未然に防ぐことができ、この圧力調整器を常に良好に動作させることができる。
【0021】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の圧力調整器は、一次側流路と二次側流路と弁座とを有する弁ケースと、該弁ケースの二次側流路に面して設けられたダイヤフラムと、該弁ケース内に設けられた弁体と、ダイヤフラムを弁体に当接させまたは離間させるように変位させるダイヤフラム変位手段と、該ダイヤフラム変位手段のダイヤフラム当接側の少なくとも一部を囲む収納部とを備え、該収納部に、二次側流路内のガスより高温の熱交換用気体を収納部内に導く入口配管と、収納部内から熱交換用気体を排出する出口配管とからなる加温手段を設けた構成としたので、減圧膨張時に低温となった二次側ガスによって冷却された収納部を熱交換用気体で加温することができる。この加温された収納部が得た熱が熱伝導により圧力調整器全体に伝導することによって、この圧力調整器は全体に亙って加温される。したがってこの圧力調整器外面と外気との温度差を小さく保ち、この圧力調整器外面の結露を防止することができる。
また、収納部内に熱交換用気体として乾燥気体を流通させることによって、収納部内水蒸気圧を低く保ち、収納部内の結露を防ぐことができる。従ってこの結露によるダイヤフラム等の錆の発生を防ぐことができる。また凍結結露水によるこの圧力調整器の作動不良を未然に防ぐことができ、この圧力調整器を常に良好に動作させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の圧力調整器の一実施形態を示す断面図である。
【図2】従来の圧力調整器の一例を示す断面図である。
【符号の説明】
1・・・弁ケース
1a・・・一次側流路
1b・・・二次側流路
7・・・ダイヤフラム
8・・・弁体
9a・・・弁座
11a・・・収納部
11d・・・内壁突起(凹凸)
12a・・・柱状体(熱交換部材)
12b・・・柱状体突起(凹凸)
23・・・ダイヤフラム変位手段
14・・・加温手段
20,30・・・圧力調整器
Claims (4)
- 一次側ガス供給端が接続される一次側流路と、二次側ガス放出端が接続される二次側流路と、これら一次側流路と二次側流路とを隔てかつ開孔部が形成された弁座とを有する弁ケースと、
該弁ケースの二次側流路に面して、該二次側流路内のガスの圧力に応じて変位可能に設けられたダイヤフラムと、
前記弁ケースの弁座に、その先端を開孔部からダイヤフラム側に向けて突出させ、ダイヤフラムに近付く方向に付勢され、最もダイヤフラムに近付いたときに前記弁座の開孔部を塞ぐ弁体と、
前記ダイヤフラムを弁体の先端に当接させまたは離間させるように変位させるダイヤフラム変位手段と、
該ダイヤフラム変位手段のダイヤフラム当接側の少なくとも一部を囲む収納部とを備えた圧力調整器において、
該収納部に、二次側流路内のガスより高温の熱交換用気体を収納部内に導く入口配管と、収納部内から熱交換用気体を排出する出口配管とからなる加温手段を設けたことを特徴とする圧力調整器。 - 前記収納部内に、前記ダイヤフラムに熱交換用気体の熱を伝熱させる熱交換部材が設けられたことを特徴とする請求項1記載の圧力調整器。
- 前記熱交換部材の外面に、熱交換用気体との接触面積を大きくする凹凸を形成したことを特徴とする請求項2記載の圧力調整器。
- 前記収納部の内壁に、熱交換用気体との接触面積を大きくする凹凸を形成したことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項記載の圧力調整器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15864696A JP3592446B2 (ja) | 1996-06-19 | 1996-06-19 | 圧力調整器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15864696A JP3592446B2 (ja) | 1996-06-19 | 1996-06-19 | 圧力調整器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1011153A JPH1011153A (ja) | 1998-01-16 |
JP3592446B2 true JP3592446B2 (ja) | 2004-11-24 |
Family
ID=15676265
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15864696A Expired - Fee Related JP3592446B2 (ja) | 1996-06-19 | 1996-06-19 | 圧力調整器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3592446B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011068035A1 (ja) | 2009-12-03 | 2011-06-09 | 大陽日酸株式会社 | ガス供給装置 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4754727B2 (ja) * | 2001-07-23 | 2011-08-24 | 伊藤工機株式会社 | 液化ガスの気化装置 |
JP5984464B2 (ja) * | 2012-04-05 | 2016-09-06 | 三菱日立パワーシステムズ株式会社 | 蒸気弁、及び蒸気タービン |
JP5943816B2 (ja) * | 2012-11-28 | 2016-07-05 | 株式会社福井製作所 | 安全弁 |
CN103615568B (zh) * | 2013-12-04 | 2015-10-14 | 重庆茂余燃气设备有限公司 | 无冰堵高压差全平衡式调压器 |
JP2015224749A (ja) * | 2014-05-29 | 2015-12-14 | 株式会社東芝 | 蒸気弁駆動装置、蒸気弁 |
CN106051247A (zh) * | 2016-07-13 | 2016-10-26 | 成都安程通科技有限公司 | 天然气汽车供气用减压阀 |
CN106015650A (zh) * | 2016-07-13 | 2016-10-12 | 成都安程通科技有限公司 | 天然气减压阀 |
CN107763303B (zh) * | 2017-11-10 | 2023-07-04 | 浙江东星科技有限公司 | 一种带冷凝的空气处理单元 |
-
1996
- 1996-06-19 JP JP15864696A patent/JP3592446B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011068035A1 (ja) | 2009-12-03 | 2011-06-09 | 大陽日酸株式会社 | ガス供給装置 |
CN102639922A (zh) * | 2009-12-03 | 2012-08-15 | 大阳日酸株式会社 | 气体供给装置 |
CN102639922B (zh) * | 2009-12-03 | 2014-11-19 | 大阳日酸株式会社 | 气体供给装置 |
EP2508786A4 (en) * | 2009-12-03 | 2016-01-06 | Taiyo Nippon Sanso Corp | GAS SUPPLY DEVICE |
KR101755744B1 (ko) | 2009-12-03 | 2017-07-07 | 다이요 닛산 가부시키가이샤 | 가스 공급장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1011153A (ja) | 1998-01-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3592446B2 (ja) | 圧力調整器 | |
US7100389B1 (en) | Apparatus and method having mechanical isolation arrangement for controlling the temperature of an electronic device under test | |
EP0569619B1 (en) | Thermal expansion valve | |
JP4300345B2 (ja) | 制御器 | |
US9535427B2 (en) | Temperature-controlled pressure regulators | |
RU2523334C2 (ru) | Терморегулятор давления | |
JP2002506964A (ja) | 極低温流体熱交換方法及び装置 | |
EP2029922A2 (en) | Universal refrigeration valve | |
US6772963B2 (en) | Fuel injector with a piezoelectric actuator housed in an insulated chamber | |
TW202108928A (zh) | 氣化器 | |
JP2007536471A (ja) | 互いに接続された2つのプロセスユニット間を蒸気が漏れないよう遮断するバルブ | |
JP2001012824A (ja) | 制御弁 | |
US2664715A (en) | Control valve for spray systems | |
KR100870985B1 (ko) | 히트파이프 및 이를 이용한 열교환 시스템 | |
KR100541483B1 (ko) | 열화학적 반응 또는 고체-기체 흡착 반응의 조절 방법 | |
KR101575028B1 (ko) | 액화석유가스용 대기식 기화 시스템 | |
CN102454823A (zh) | 气箱头部件及其加工方法和使用该部件的热力膨胀阀 | |
JPH09145202A (ja) | 膨張弁 | |
JP4044776B2 (ja) | 高温動作バルブ | |
JPH04408Y2 (ja) | ||
RU2034517C1 (ru) | Криохирургический аппарат | |
JP5340339B2 (ja) | 配管部材 | |
JP4563237B2 (ja) | 冷却システム | |
JPH04402Y2 (ja) | ||
JP5059420B2 (ja) | 制御弁 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040409 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040511 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040701 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040803 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040825 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080903 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080903 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090903 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100903 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100903 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110903 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110903 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120903 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130903 Year of fee payment: 9 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |