JP3578955B2 - Wafer protection container - Google Patents

Wafer protection container Download PDF

Info

Publication number
JP3578955B2
JP3578955B2 JP2000010555A JP2000010555A JP3578955B2 JP 3578955 B2 JP3578955 B2 JP 3578955B2 JP 2000010555 A JP2000010555 A JP 2000010555A JP 2000010555 A JP2000010555 A JP 2000010555A JP 3578955 B2 JP3578955 B2 JP 3578955B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
container
wafer protection
wafer
protection container
container according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2000010555A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2001203260A (en
Inventor
秀 珠 謝
建 平 洪
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
United Microelectronics Corp
Original Assignee
United Microelectronics Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by United Microelectronics Corp filed Critical United Microelectronics Corp
Priority to JP2000010555A priority Critical patent/JP3578955B2/en
Publication of JP2001203260A publication Critical patent/JP2001203260A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3578955B2 publication Critical patent/JP3578955B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はウェファ保護容器に係り、特に、その中身が集積回路(IC)ウェファである場合に、それを安全に保管でき、かつ装填および取り出しが簡単な、ICウェファを汚染や損傷から守るためのICウェファ保護容器に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来からICウェファは、蓋とボディとからなる円筒形の箱に保管されてきた。ICウェファは薄くて壊れやすいので、通常ICウェファの間にはスポンジ層が差し込まれ、保管箱内部でのICウェファの激しい揺れは防止されている。一般にICウェファを保持する保管箱の開口は、ICウェファの大きさとぴったり合うように設計されているので、ICウェファの装填および取り出しが非常に困難である。保管箱が所望の量のICウェファで満たされると、ボディに蓋が押し入れられて箱が閉じられる。保管箱はただ蓋で閉じられているだけなので、運搬中の激しい揺れにより、蓋とボディの封が切れるおそれがある。結果として、保管箱内のICウェファが周辺環境によって汚染される。この問題は従来から、蓋とボディ部材との接合部を多層のマスキングテープで覆って保管箱に封印をすることにより解決してきた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、この解決法だとICウェファ製品をパッケージングするコストが増大するし、またその全工程もより複雑化してしまう。
さらに従来技術から、箱からICウェファを取り出すには箱をひっくり返さなければならないことが知られているが、この方法でICウェファを取り出せばICウェファに損傷を与えるおそれがあり、従ってより多くのICウェファを浪費することにつながる。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上述の問題を解決するために、その中身のICウェファを安全に保管でき、装填および取り出しが簡単なウェファ保護容器が開発される。
ここに具体化して大まかに記述するように、本発明によれば、その中のICウェファを汚染や運搬中の激しい揺れから保護するために、容器ボディ、ロック装置、容器カバー、および複数の固定具が一緒に組み立てられたウェファ保護容器が提供される。
【0005】
容器ボディは、その上に所望の数のICウェファが載せられる平らな円板と、その円板に取り付けられた中空円筒とからなる。中空円筒は、その上に形成された、少なくとも1つの一体型の壁区分を有する縁からなり、壁区分には少なくとも1つの開口が存在することにより、所望の量のICウェファを簡単に装填したり、取り出したりできる。開口の垂直端には刻み目(ぎざぎざ)があるが、その効用はロック装置に関連させてあとで述べる。容器ボディはまた円板の下に、そこに固定部材を取り付けることができる複数のかぎ部材を有した円形リングを有する。ロック装置は、円形の突出部と環状の帯からなり、円形の突出部の端からは複数の突出物が突き出ていて、この突出物はICウェファを所定の場所にとどめるために、容器ボディの開口の刻み目(ぎざぎざ)と噛み合う。これによって運搬中にICウェファが激しく揺れるのを防げるので、ICウェファに損傷を与える危険を軽減できる。容器カバーは、ICウェファ保護容器を簡単に開けられるようにする、複数のくぼみを有する円形の突出部と、外面に複数の溝を有する中空円筒形のボディとからなり、ICウェファをより強く保護するように、容器ボディを覆っている。固定具は複数の連結脚、複数の連結棒、複数の連結ネック、および半円形のループからなる。連結棒を溝に合わせて固定具をかぎ部材に引っかけると、連結ネックによって円筒形ボディの上端が固定され、半円形ループがくぼみ上に載る。これでICウェファ保護容器の組立作業が完了する。
【0006】
以上の概説も以下の詳細説明も代表的なものであり、本発明の請求項をさらに詳しく説明するためのものであることがわかる。
添付図面は本発明をよりよく理解するために添付されたもので、本明細書に組み入れられ、本明細書の一部を構成するものである。これらの図面は本発明の実施形態を図解し、記述と共に本発明の原理を説明するのに役立つ。
【0007】
【発明の実施の形態】
図1から6に、本発明によるウェファ保護容器の実施形態が示されている。
図1は本発明によるウェファ保護容器の分解図であるが、大きく分けて容器ボディ10、ロック装置20、容器カバー30、および複数の固定具40からなる。ここでのロック装置20は、容器ボディ10に取り付けられ、容器ボディ10内のICウェファが所定の位置にしっかりと留まるようにする。それから容器ボディ10は容器カバー30にかぶされる。容器ボディ10に取り付けられた固定具40が容器カバー30を容器ボディ10に固定すると、ウェファ保護容器の組立作業が完了する。
【0008】
図2(A)および図2(B)は、本発明の1つの好適な実施形態に従った容器ボディを、上および下から見た斜視図である。上述の該当図より容器ボディ10は中空円筒11、円板18、および円形リング16からなることがわかる。中空円筒11は、ICウェファが載せられる円板18上に少なくとも1つの壁区分12を有する縁14からなる。壁区分12には少なくとも1つの開口15が存在するので、簡単にICウェファを装填したり取り出したりできる。そして図2(A)が示すように、開口15と境界を接する壁区分12のそれぞれの端には、複数の刻み目13がある。図2(B)を参照すると、複数のかぎ部材17を有する円形リング16が容器の脚として設けられている。この開口15により、ウェファ容器全体をひっくり返すことなく容易にICウェファを拾い上げることができる。したがって、ICウェファに損傷を与える危険が最小化する。
【0009】
以下では図3を参照してロック装置20を詳細に説明する。ロック装置20は全体的に皿をひっくり返したような外観をしていて、環状帯21から隆起した円形突出部23からなり、円形突出部23はひっくり返した鍋に似ているのが好ましい。ロック装置20はさらに、円形突出部23の縁から突き出た複数の突出物24と、環状帯21にこれに対応する複数の溝22を有する。突出物24が、ICウェファ保護容器の組立作業中に容器ボディ10の刻み目13と噛み合うことにより、容器ボディ10内のICウェファを所定の位置にしっかりととどめることができる。その結果、あちこちにICウェファを運搬する時に、ウェファ保護容器内でICウェファが揺れる可能性がなくなり、したがってICウェファに損傷を与える危険が減少する。さらに、ロック装置20を使用すれば、ICウェファの揺れを防止するために用いられるスポンジの量を減らすことができる。
【0010】
図4は本発明の1つの好適な実施形態に従った容器カバーの斜視図である。容器カバー30は容器ボディ10を覆うために備えられ、上に複数のくぼみ33を有する円形突出部32からなる。容器カバー30はさらに、外面に複数の溝34を有する円筒形ボディ31と、円形突出部32と円筒形ボディ31の上端との間に環状のくぼみ35とからなる。円形突出部32上にくぼみ33を設けることにより、ウェファ保護容器の開閉が容易になり、一方、くぼみ33と溝34とにより、固定具40を支える場所が提供される。この場合、円形突出部32と円筒形ボディ31の上端との間に環状くぼみ35を設けることにより、ICウェファ保護容器の締め付け力が高まる。この装置では、1つの容器の円形リングがもう1つの容器の環状くぼみにぴったりと合うので、本発明によるウェファ保護容器のいくつかを、他のものの上に重ねることができる。
【0011】
図5は本発明の1つの好適な実施形態に従った固定具の拡大図である。固定具40は一般に、複数の連結脚41、連結脚に結合した複数の連結棒42、連結棒に結合した連結ネック43、および連結ネック43を繋ぐ半円形ループ44からなる。この場合固定具40により、容器ボディ10と容器カバー30がしっかりと固定される。したがって、これによりICウェファ箱が偶然に開いてしまうのを防止するために、多層のマスキングテープでウェファ箱を封印する従来のステップを排除できる。よって、ウェファ保護容器内のICウェファが汚染されたり損傷したりすることがない。
【0012】
以下では、ICウェファを装填したICウェファ保護容器の組立作業の全工程を詳細に説明する。まず第一に、容器ボディ10が用意され、その中に所望の数のICウェファが装填される。この装填する工程は開口15により容易になされる。容器ボディ10に十分な数のICウェファを装填した後、ロック装置20は突出物24と刻み目13とが噛み合うことにより、容器ボディ10と接触する。ウェファ保護容器は、容器カバー30を容器ボディ10にかぶせることにより閉じられる。容器カバー30は固定具40により容器ボディ10に固定されるが、この時固定具40は固定具40の連結脚41をかぎ部材に取り付けることによって容器ボディ10に固定される。固定具40の残部は容器カバー30に押しつけられ、連結棒42が円筒形ボディ31の対応する溝34に一直線にはまり、連結ネック43が円筒形ボディ31の上端を固定し、そして半円形ループ44がくぼみ33に載る。その結果、ウェファ保護容器の組立作業が完了し、図6はその完成図である。
【0013】
以上を要約すると、本発明によるウェファ保護容器には以下の長所がある。容器ボディにはICウェファを扱いやすくする複数の開口が設けられ、一方ロック装置はICウェファを容器ボディ内の所定の位置に保つために用いられている。さらにロック装置を用いることにより、ICウェファの揺れを防止するのに用いられるスポンジの量を減らすことができる。本発明に従えば、容器カバーが容器ボディを覆っているので、ICウェファを2重に保護でき、また、容器カバーには複数のくぼみが設けられているので、ウェファ保護容器の開閉が簡単にできる。固定具が容器カバーを容器ボディに固定しているので、運搬中に偶然ウェファ保護容器が開くことがなく、したがってICウェファを汚染したり損傷したりする危険を軽減できる。
当業者ならば、本発明の範囲あるいは精神を逸脱することなく、本発明の構造物を様々に修正したり変更したりできることはわかるだろう。以上の見地から、本発明による修正や変更が本発明の請求項やそれと同等のものの範囲内にあるならば、それらは本発明に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるウェファ保護容器の分解図。
【図2】本発明の1つの好適な実施形態に従った容器ボディで、(A)はそれを上から見た斜視図、(B)はそれを下から見た斜視図。
【図3】本発明の1つの好適な実施形態に従ったロック装置の斜視図。
【図4】本発明の1つの好適な実施形態に従った容器カバーの拡大図。
【図5】本発明の1つの好適な実施形態に従った固定具の斜視図。
【図6】組み立て後のICウェファ保護容器の斜視図。
【符号の説明】
10:容器ボディ
11:中空円筒
12:壁区分
13:刻み目
14:縁
15:開口
16:円形リング
17:かぎ部材
18:円板
20:ロック装置
21:環状帯
22:溝
23:円形突出部
24:突出物
30:容器カバー
31:円筒形ボディ
32:円形突出部
33:くぼみ
34:溝
35:環状くぼみ
40:固定具
41:連結脚
42:連結棒
43:連結ネック
44:半円形ループ
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a wafer protection container, and in particular, to protect an IC wafer from contamination and damage when the content is an integrated circuit (IC) wafer, which can be safely stored and easily loaded and unloaded. The present invention relates to an IC wafer protection container.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, IC wafers have been stored in a cylindrical box composed of a lid and a body. Since the IC wafer is thin and fragile, a sponge layer is usually inserted between the IC wafers to prevent the IC wafer from violently shaking inside the storage box. In general, loading and unloading IC wafers is very difficult because the openings in the storage boxes that hold the IC wafers are designed to fit the size of the IC wafers. When the storage box is filled with the desired amount of IC wafer, the lid is pushed into the body and the box is closed. Since the storage box is just closed with the lid, there is a risk that the lid and body seal may be broken due to severe shaking during transportation. As a result, the IC wafer in the storage box is contaminated by the surrounding environment. This problem has conventionally been solved by covering the joint between the lid and the body member with a multilayer masking tape and sealing the storage box.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, this solution increases the cost of packaging the IC wafer product and makes the whole process more complicated.
Furthermore, it is known from the prior art that removing the IC wafer from the box requires that the box be turned over, but removing the IC wafer in this manner can damage the IC wafer and thus increase the amount of IC It leads to waste of wafer.
[0004]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-mentioned problems, a wafer protection container has been developed which can safely store an IC wafer therein and which can be easily loaded and unloaded.
As embodied and broadly described herein, according to the present invention, a container body, a locking device, a container cover, and a plurality of fasteners are provided to protect an IC wafer therein from contamination and severe shaking during transportation. A wafer protection container is provided in which the tools are assembled together.
[0005]
The container body consists of a flat disk on which the desired number of IC wafers are mounted, and a hollow cylinder mounted on the disk. The hollow cylinder comprises a rim having at least one integral wall section formed thereon, the presence of at least one opening in the wall section to easily load the desired amount of IC wafer. And can be taken out. The vertical edge of the aperture has a notch, the utility of which will be described later in connection with the locking device. The container body also has a circular ring below the disk with a plurality of key members to which a fixing member can be mounted. The locking device comprises a circular projection and an annular band, and a plurality of projections protrude from the end of the circular projection. The projections are used to hold the IC wafer in a predetermined position. It meshes with the notches in the opening. This can prevent the IC wafer from violently shaking during transportation, thereby reducing the risk of damaging the IC wafer. The container cover consists of a circular projection with a plurality of depressions and a hollow cylindrical body with a plurality of grooves on the outer surface, which makes it easy to open the IC wafer protection container, and further protects the IC wafer. To cover the container body. The fixture comprises a plurality of connecting legs, a plurality of connecting rods, a plurality of connecting necks, and a semi-circular loop. When the connecting rod is aligned with the groove and the fixture is hooked on the hook, the connecting neck secures the upper end of the cylindrical body and the semicircular loop rests on the recess. This completes the assembly work of the IC wafer protection container.
[0006]
It is understood that both the foregoing general description and the following detailed description are representative, and are for further describing the claims of the present invention.
The accompanying drawings are included to provide a better understanding of the present invention, and are incorporated in and constitute a part of this specification. These drawings illustrate embodiments of the invention and, together with the description, serve to explain the principles of the invention.
[0007]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
1 to 6 show an embodiment of a wafer protection container according to the invention.
FIG. 1 is an exploded view of a wafer protection container according to the present invention, which is roughly divided into a container body 10, a lock device 20, a container cover 30, and a plurality of fixtures 40. The locking device 20 is attached to the container body 10 so that the IC wafer in the container body 10 stays in a predetermined position. Then, the container body 10 is put on the container cover 30. When the fixture 40 attached to the container body 10 fixes the container cover 30 to the container body 10, the assembly operation of the wafer protection container is completed.
[0008]
2 (A) and 2 (B) are top and bottom perspective views of a container body according to one preferred embodiment of the present invention. It can be seen from the above figures that the container body 10 comprises a hollow cylinder 11, a disk 18, and a circular ring 16. The hollow cylinder 11 consists of a rim 14 having at least one wall section 12 on a disk 18 on which the IC wafer rests. Since there is at least one opening 15 in the wall section 12, the IC wafer can be easily loaded and unloaded. Then, as shown in FIG. 2A, at each end of the wall section 12 bordering the opening 15, there are a plurality of notches 13. Referring to FIG. 2B, a circular ring 16 having a plurality of key members 17 is provided as a leg of the container. With this opening 15, an IC wafer can be easily picked up without turning over the entire wafer container. Thus, the risk of damaging the IC wafer is minimized.
[0009]
Hereinafter, the lock device 20 will be described in detail with reference to FIG. The locking device 20 has the general appearance of a dish turned over and comprises a circular projection 23 raised from an annular band 21, which preferably resembles an inverted pot. The locking device 20 further has a plurality of projections 24 projecting from the edge of the circular projection 23 and a plurality of grooves 22 corresponding to the annular band 21. The protrusion 24 engages with the notch 13 of the container body 10 during the assembling operation of the IC wafer protection container, so that the IC wafer in the container body 10 can be securely held at a predetermined position. As a result, when transporting the IC wafer around, there is no possibility of the IC wafer swaying in the wafer protection container, thus reducing the risk of damaging the IC wafer. Furthermore, if the lock device 20 is used, the amount of sponge used for preventing the swing of the IC wafer can be reduced.
[0010]
FIG. 4 is a perspective view of a container cover according to one preferred embodiment of the present invention. The container cover 30 is provided to cover the container body 10 and includes a circular protrusion 32 having a plurality of depressions 33 thereon. The container cover 30 further comprises a cylindrical body 31 having a plurality of grooves 34 on its outer surface, and an annular recess 35 between the circular projection 32 and the upper end of the cylindrical body 31. The provision of the depression 33 on the circular projection 32 facilitates opening and closing of the wafer protection container, while the depression 33 and the groove 34 provide a place for supporting the fixture 40. In this case, by providing the annular recess 35 between the circular protrusion 32 and the upper end of the cylindrical body 31, the tightening force of the IC wafer protection container is increased. In this device, some of the wafer protection containers according to the invention can be stacked on top of others, since the circular ring of one container fits snugly into the annular recess of another container.
[0011]
FIG. 5 is an enlarged view of a fixture according to one preferred embodiment of the present invention. The fixture 40 generally includes a plurality of connecting legs 41, a plurality of connecting bars 42 connected to the connecting legs, a connecting neck 43 connected to the connecting bars, and a semi-circular loop 44 connecting the connecting necks 43. In this case, the container 40 and the container cover 30 are firmly fixed by the fixture 40. Thus, this eliminates the conventional step of sealing the wafer box with multilayer masking tape to prevent the IC wafer box from accidentally opening. Therefore, the IC wafer in the wafer protection container is not contaminated or damaged.
[0012]
Hereinafter, all the steps of assembling an IC wafer protection container loaded with an IC wafer will be described in detail. First, a container body 10 is prepared, and a desired number of IC wafers are loaded therein. This loading step is facilitated by the opening 15. After the container body 10 has been loaded with a sufficient number of IC wafers, the locking device 20 comes into contact with the container body 10 by engaging the protrusions 24 with the notches 13. The wafer protection container is closed by putting the container cover 30 on the container body 10. The container cover 30 is fixed to the container body 10 by the fixture 40. At this time, the fixture 40 is fixed to the container body 10 by attaching the connecting leg 41 of the fixture 40 to the key member. The rest of the fixture 40 is pressed against the container cover 30, the connecting rod 42 is aligned with the corresponding groove 34 in the cylindrical body 31, the connecting neck 43 fixes the upper end of the cylindrical body 31, and the semi-circular loop 44 Is placed in the depression 33. As a result, the assembly work of the wafer protection container is completed, and FIG. 6 is a completed view thereof.
[0013]
In summary, the wafer protection container according to the present invention has the following advantages. The container body is provided with a plurality of openings to facilitate handling of the IC wafer, while locking devices are used to keep the IC wafer in place within the container body. Further, by using the lock device, the amount of sponge used to prevent the swing of the IC wafer can be reduced. According to the present invention, since the container cover covers the container body, the IC wafer can be double-protected, and since the container cover is provided with a plurality of recesses, the wafer protection container can be easily opened and closed. it can. Since the fixture fixes the container cover to the container body, the wafer protection container does not accidentally open during transportation, thus reducing the risk of contaminating or damaging the IC wafer.
Those skilled in the art will recognize that various modifications and changes may be made to the structure of the present invention without departing from the scope or spirit of the invention. In view of the above, if the modifications and changes according to the present invention are within the scope of the claims of the present invention and the equivalents thereof, they are included in the present invention.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an exploded view of a wafer protection container according to the present invention.
FIG. 2 is a perspective view of the container body according to one preferred embodiment of the present invention, wherein (A) is a top view thereof, and (B) is a bottom view thereof.
FIG. 3 is a perspective view of a locking device according to one preferred embodiment of the present invention.
FIG. 4 is an enlarged view of a container cover according to one preferred embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a perspective view of a fixture according to one preferred embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a perspective view of the assembled IC wafer protection container.
[Explanation of symbols]
10: Container body
11: Hollow cylinder
12: Wall division
13: Notch
14: Edge
15: Opening
16: Circular ring
17: Key material
18: Disk
20: Locking device
21: Annular belt
22: groove
23: Circular protrusion
24: Projection
30: Container cover
31: Cylindrical body
32: Circular protrusion
33: hollow
34: Groove
35: Annular hollow
40: Fixture
41: Connecting leg
42: Connecting rod
43: Connecting neck
44: Semicircular loop

Claims (15)

集積回路ウェファを収納するウェファ保護容器であって、
前記集積回路ウェファを入れる容器ボディと、
前記容器内で前記集積回路ウェファを所定の位置に保つロック装置と、
前記容器ボディを覆う容器カバーと、
前記容器カバーを前記容器ボディに固定する複数の固定具からなり、
前記容器ボディは中空円筒、円板、および円形リングからなり、前記円板上には、間に少なくとも1つの開口を有する複数の一体型壁区分を有する縁からなる前記中空円筒を有し、前記壁区分のそれぞれは前記開口と接する端に複数の刻み目を有し、
前記ロック装置はさらに、環状部分と、前記環状部分上の円形突出部とからなり、前記環状部分と前記円形突出部に延びる複数の溝に、前記円形突出部の上端から突き出た複数の突出物が対応し、
前記容器カバーはさらに、上に複数のくぼみを有する円形突出部と、外面に複数の溝を有する円筒形ボディとからなり、
前記複数の固定具はさらに、複数の連結脚、複数の連結棒、複数の連結ネック、および半円形ループからなり、前記連結脚は前記連結棒を介して前記連結ネックに結合されていて、前記連結ネックは前記半円形ループに結合されていることを特徴とするウェファ保護容器。
A wafer protection container for storing an integrated circuit wafer,
A container body for containing the integrated circuit wafer;
A locking device for holding the integrated circuit wafer in place in the container;
A container cover for covering the container body,
Consisting of a plurality of fixtures for fixing the container cover to the container body,
The container body comprises a hollow cylinder, a disk, and a circular ring, wherein the disk has the hollow cylinder comprising an edge having a plurality of integral wall sections having at least one opening therebetween; Each of the wall sections has a plurality of notches at an end contacting the opening,
The locking device further includes an annular portion and a circular protrusion on the annular portion, and a plurality of protrusions protruding from an upper end of the circular protrusion in a plurality of grooves extending to the annular portion and the circular protrusion. Correspond,
The container cover further comprises a circular protrusion having a plurality of depressions thereon, and a cylindrical body having a plurality of grooves on an outer surface,
The plurality of fixtures further comprises a plurality of connecting legs, a plurality of connecting bars, a plurality of connecting necks, and a semi-circular loop, wherein the connecting legs are connected to the connecting neck via the connecting bars. A wafer protection container, wherein a connection neck is connected to the semicircular loop.
請求項1に記載のウェファ保護容器において、
前記容器ボディの前記刻み目は、前記ロック装置の前記突出物と噛み合うことを特徴とするウェファ保護容器。
The wafer protection container according to claim 1,
The notch of the container body is meshed with the protrusion of the locking device.
請求項1に記載のウェファ保護容器において、
前記ロック装置の前記突出物は互いに平行であることを特徴とするウェファ保護容器。
The wafer protection container according to claim 1,
A wafer protection container, wherein the protrusions of the locking device are parallel to each other.
請求項1に記載のウェファ保護容器において、
前記円形突出部はひっくり返した鍋に似ていることを特徴とするウェファ保護容器。
The wafer protection container according to claim 1,
A wafer protection container, wherein the circular protrusion resembles an inverted pot.
請求項1に記載のウェファ保護容器において、
前記容器カバーはさらに、前記円形突出部と前記円筒形ボディの上端との間に環状のくぼみを有することで、いくつかのウェファ保護容器を重ねることができることを特徴とするウェファ保護容器。
The wafer protection container according to claim 1,
The wafer protection container according to claim 1, wherein the container cover further has an annular recess between the circular protrusion and the upper end of the cylindrical body so that several wafer protection containers can be stacked.
請求項2に記載のウェファ保護容器において、
前記ロック装置の前記突出物は、前記容器ボディ内に入れる集積回路ウェファの数によって、前記容器ボディのどのレベルの刻み目とでも噛み合うことができることを特徴とするウェファ保護容器。
The wafer protection container according to claim 2,
The wafer protection container according to claim 1, wherein the protrusion of the locking device can be engaged with any level of notch in the container body depending on the number of integrated circuit wafers to be put into the container body.
請求項1に記載のウェファ保護容器において、
前記容器ボディの前記円形リングはさらに、前記固定具の前記連結脚を前記容器ボディに取り付けるための複数のかぎ部材を有することを特徴とするウェファ保護容器。
The wafer protection container according to claim 1,
The circular ring further wafer protection vessel and having a plurality of key members for attaching the connecting legs of the fastener to the container body of the container body.
請求項1に記載のウェファ保護容器において、
前記連結棒を前記円筒形ボディの溝に押しつけ、そして前記連結ネックを前記円筒形ボディの上端に固定することにより、前記固定具が前記容器カバーに取り付けられることを特徴とするウェファ保護容器。
The wafer protection container according to claim 1,
A wafer protection container, wherein the fixing device is attached to the container cover by pressing the connecting rod into a groove of the cylindrical body and fixing the connecting neck to an upper end of the cylindrical body.
容器ボディと、ロック装置と、容器カバーと、複数の固定具とからなる集積回路ウェファを収納するウェファ保護容器であって、
前記容器ボディはさらに、中空円筒、円板、および円形リングとからなり、前記中空円筒は前記円板上に位置し、前記円形リングは前記円板の下に位置し、
前記ロック装置はさらに、環状部分と、前記環状部分から隆起した円形突出部からなり、前記環状部分と前記円形突出部に延びる複数の溝に、前記円形突出部の上端から突き出た複数の突出物が対応し、
前記容器カバーはさらに、上に複数のくぼみを有する円形突出部と、外面に複数の溝を有する円筒形ボディと、前記円形突出部と前記円筒形ボディの上端との間に環状のくぼみを有し、
前記固定具はさらに、複数の連結脚、複数の連結棒、複数の連結ネック、および半円形ループからなり、前記連結脚は前記連結棒を介して前記連結ネックに結合されていて、前記連結ネックは前記半円形ループに結合されていることを特徴とするウェファ保護容器。
A wafer protection container for storing an integrated circuit wafer including a container body, a lock device, a container cover, and a plurality of fixtures,
The container body further comprises a hollow cylinder, a disk, and a circular ring, wherein the hollow cylinder is located on the disk, the circular ring is located below the disk,
The locking device further includes an annular portion and a circular protrusion protruding from the annular portion, and a plurality of protrusions protruding from an upper end of the circular protrusion in a plurality of grooves extending to the annular portion and the circular protrusion. Correspond,
The container cover further has a circular protrusion having a plurality of depressions thereon, a cylindrical body having a plurality of grooves on an outer surface, and an annular depression between the circular protrusion and an upper end of the cylindrical body. And
The fixture further comprises a plurality of connecting legs, a plurality of connecting bars, a plurality of connecting necks, and a semi-circular loop, wherein the connecting legs are connected to the connecting neck via the connecting bars, Is connected to said semi-circular loop.
請求項9に記載のウェファ保護容器において、
前記円筒形ボディは縁と、前記縁上に形成された複数の一体型壁区分とを有し、前記集積回路ウェファを簡単に装填したり取り出したりできるような開口を、前記壁区分の間に少なくとも1つ有することを特徴とするウェファ保護容器。
The wafer protection container according to claim 9,
The cylindrical body has a rim and a plurality of integral wall sections formed on the rim, and an opening between the wall sections for easy loading and unloading of the integrated circuit wafer. A wafer protection container having at least one.
請求項10に記載のウェファ保護容器において、
前記壁区分は前記開口に接する端に、複数の刻み目を有することを特徴とするウェファ保護容器。
The wafer protection container according to claim 10,
The wafer protection container according to claim 1, wherein the wall section has a plurality of notches at an end contacting the opening.
請求項9に記載のウェファ保護容器において、
前記ロック装置の前記円形突出部の端から複数の突出物が突き出ていることを特徴とするウェファ保護容器。
The wafer protection container according to claim 9,
A wafer protection container, wherein a plurality of protrusions protrude from an end of the circular protrusion of the lock device.
請求項11に記載のウェファ保護容器において、
前記ロック装置の前記円形突出部が複数の突出物を有し、前記刻み目と噛み合うことによって、前記集積回路ウェファが前記容器ボディ内部で所定の位置に保たれることを特徴とするウェファ保護容器。
The wafer protection container according to claim 11,
A wafer protection container, wherein the circular protrusion of the lock device has a plurality of protrusions, and the integrated circuit wafer is kept at a predetermined position inside the container body by engaging with the notch.
請求項9に記載のウェファ保護容器において、
前記容器ボディの前記円形リングはさらに、前記固定具の前記連結脚を取り付けるための複数のかぎ部材を有することを特徴とするウェファ保護容器。
The wafer protection container according to claim 9,
The wafer protection container according to claim 1, wherein the circular ring of the container body further has a plurality of key members for attaching the connection legs of the fixture.
請求項9に記載のウェファ保護容器において、
前記連結棒を前記円筒形ボディの溝に押しつけ、そして前記連結ネックを前記円筒形ボディの上端に固定することにより、前記固定具が前記容器カバーに取り付けられることを特徴とするウェファ保護容器。
The wafer protection container according to claim 9,
A wafer protection container, wherein the fixing device is attached to the container cover by pressing the connecting rod into a groove of the cylindrical body and fixing the connecting neck to an upper end of the cylindrical body.
JP2000010555A 2000-01-19 2000-01-19 Wafer protection container Expired - Fee Related JP3578955B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000010555A JP3578955B2 (en) 2000-01-19 2000-01-19 Wafer protection container

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000010555A JP3578955B2 (en) 2000-01-19 2000-01-19 Wafer protection container

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001203260A JP2001203260A (en) 2001-07-27
JP3578955B2 true JP3578955B2 (en) 2004-10-20

Family

ID=18538560

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000010555A Expired - Fee Related JP3578955B2 (en) 2000-01-19 2000-01-19 Wafer protection container

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3578955B2 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
JP2001203260A (en) 2001-07-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3179679B2 (en) Plastic container
US4880116A (en) Robotic accessible wafer shipper assembly
US4718552A (en) Disk shipper and transfer tray
JPS6090169A (en) Vessel
US5775508A (en) Disk package for rotating memory disks
JP2013526011A (en) Wafer container with adjustable internal diameter
WO2021009890A1 (en) Medical equipment container
US6234316B1 (en) Wafer protective container
US5551571A (en) Semiconductor wafer container
JP2588960B2 (en) Container adapter
JP3578955B2 (en) Wafer protection container
JP3269631B2 (en) Semiconductor crystal storage container
KR101447451B1 (en) Wafer receptacle
WO2003031285A1 (en) Vacuum cleaner package
KR200342507Y1 (en) Wafer receptacle
TW466714B (en) Wafer protective container
JP2000255643A (en) Packing device
KR200380068Y1 (en) a compact disk packing structure of goods package
JP2660193B2 (en) Packaging material
CN219216076U (en) Packaging structure and packaging system of artificial valve
JPH0152258B2 (en)
JP3868068B2 (en) Flowerpot storage case
JPH0534110Y2 (en)
JP4452365B2 (en) cap
KR200183209Y1 (en) Protect net apparatus of egg crate

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040210

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040412

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040706

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040714

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090723

Year of fee payment: 5

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees