KR101447451B1 - Wafer receptacle - Google Patents

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KR101447451B1
KR101447451B1 KR1020140061543A KR20140061543A KR101447451B1 KR 101447451 B1 KR101447451 B1 KR 101447451B1 KR 1020140061543 A KR1020140061543 A KR 1020140061543A KR 20140061543 A KR20140061543 A KR 20140061543A KR 101447451 B1 KR101447451 B1 KR 101447451B1
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임이택
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(주)상아프론테크
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Abstract

The present invention relates to a wafer receptacle that includes a stacking part fitted into the top surface of a cover body and the bottom surface of a body which form the receptacle so that several receptacles can be stably stacked, stored and carried. The wafer receptacle includes a body having a lateral wall portion of a double-wall on the top surface of a base so that a wafer is stacked inside; a cover having a cover body extending downward from an end thereof and covering the upper portion of the body to protect the wafer; an assembling portion having fitting portions provided on the inner surface of the cover body of the cover and hook portions protruding from the top surface of the base of the body, wherein the fitting portion has inner and outer walls, and when the body is covered by the cover, the fitting portions and the lateral walls are alternatively positioned to enclose a receiving chamber by the double-wall structure; a stacking part having a staking wall protruding downward from an outer end of the base of the body and a fixing protrusion formed on the top surface of the cover and inserted in the stacking wall; a positioning part provided on the base of the body and having a groove portion on the lateral surface in a W-shape; and a position fixing part to which the groove portion of the positioning part is inserted and which has a fixing pin for maintaining the horizontal state of the body and preventing swing of the wafer, when the wafer is stacked.

Description

웨이퍼 보관 용기{WAFER RECEPTACLE}Wafer storage container {WAFER RECEPTACLE}

본 발명은 웨이퍼 보관 용기에 관한 것이다.The present invention relates to a wafer storage container.

더 상세하게는 용기를 구성하는 커버체의 상면과 본체의 저면 각각에 끼워맞춤이 이루어질 수 있도록 하는 적층부를 구비하여, 여러 개의 보관 용기가 안정적으로 적층 보관 및 운반될 수 있도록 하는 보관 용기에 관한 것이다.More particularly, the present invention relates to a storage container which is capable of stably stacking and storing a plurality of storage containers provided with a lamination portion for allowing the upper surface of a cover constituting the container and the bottom surface of the main body respectively to be fitted .

또한, 본 발명은, 본체의 바닥에 위치 고정부를 구비하여 웨이퍼의 적층 보관 시, 보관 용기의 수평 유지는 물론 흔들림을 방지할 수 있는 웨이퍼 보관 용기에 관한 것이다.
The present invention also relates to a wafer storage container having a position fixing portion on the bottom of the main body and capable of preventing the storage container from being horizontally held and shaken when the wafers are stacked and stored.

일반적으로, 반도체 소자를 제조하기 위한 웨이퍼(wafer)는 고정밀도의 물품이므로 보관시 또는 운반시 외부의 오염물질과 충격으로부터 오염되거나 손상되지 않도록 주의를 요한다. 특히, 보관 및 운반의 과정에서 웨이퍼의 표면이 먼지, 수분, 각종 유기물 등과 같은 불순물에 의해 오염되지 않도록 주의를 요해야 한다. 따라서 웨이퍼를 보관 및 운반할 때에는 반드시 별도의 보관용기 내에 수납시켜 외부의 충격과 오염물질로부터 보호해야 한다. In general, since a wafer for manufacturing a semiconductor device is a high-precision product, care must be taken not to be contaminated or damaged by external contaminants and shocks during storage or transportation. In particular, care must be taken to ensure that the surface of the wafer is not contaminated by impurities such as dust, moisture, and various organic substances during storage and transportation. Therefore, when storing and transporting wafers, they must be stored in a separate storage container to protect them from external shocks and contaminants.

웨이퍼 보관용기의 일례로서, 국내 공개특허 2002-81929호가 제안되어 있다. 이 기술은 실린더형 측벽을 갖는 하부 용기와, 하부용기의 실린더형 측벽 상단부를 수용하는 원형 홈 및 하부용기를 덮을 수 있도록 하방으로 연장되는 용기 벽체를 갖는 하부용기로 구성된다.As an example of a wafer storage container, Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2002-81929 has been proposed. This technique consists of a lower vessel with a cylindrical side wall, a circular groove to receive the upper end of the cylindrical sidewall of the lower vessel, and a lower vessel with the vessel wall extending downward to cover the lower vessel.

이러한 웨이퍼 보관용기에 의하면, 먼저 하부용기의 실린더 내경에 쿠션재를 깔고, 그 위에 다수의 웨이퍼를 적층 시킨다. 이때, 웨이퍼와 웨이퍼의 사이에는 간지(insert)를 끼워 넣어 웨이퍼 간의 직접적인 접촉을 방지한다. 그리고 웨이퍼의 적층이 완료되면, 최상층의 웨이퍼 위에 다시 쿠션재를 덮은 후, 상부용기로 하부용기를 덮어 밀폐시킨다. 그리고 최종적으로 테이프로서 하부용기와 상부용기를 고정시킨다. According to such a wafer storage container, the cushioning material is first laid on the inner diameter of the cylinder of the lower container, and a plurality of wafers are stacked thereon. At this time, an insert is interposed between the wafer and the wafer to prevent direct contact between the wafers. When the stacking of the wafers is completed, the uppermost wafer is covered with the cushioning material again, and then the lower container is covered with the upper container and sealed. Finally, the lower container and the upper container are fixed as tapes.

그러나 이와 같은 종래의 웨이퍼 보관용기는 하부용기와 상부용기를 일일이 테이프로 고정해야 하는 번거로움이 있다. 또한, 종래의 웨이퍼 보관용기는 다단으로 적층할 수 없는 단점이 있다. 즉, 통상적으로 웨이퍼가 보관된 보관용기를 보관 및 운반할 경우에는, 상기 보관용기를 다단으로 적층하여 보관하거나 운반한다. 그러나 종래의 보관용기는 다단으로 적층하기 어렵게 구성되어 다단으로 적층할 경우, 적층된 보관용기가 넘어져 흐트러진다는 단점이 있는 것이다.However, such a conventional wafer storage container has a problem that the lower container and the upper container must be fixed with a tape. In addition, conventional wafer storage containers can not be stacked in multiple stages. That is, when storing and transporting a storage container in which wafers are usually stored, the storage containers are stacked and stored or transported in multiple stages. However, the conventional storage container is difficult to be stacked in multiple stages, and when stacked in multi-stages, the stacked storage container falls down and is disadvantageous.

이에 본 출원인은, 등록 실용 20-0342507호와 같은 보관 용기를 개발한 바 있다. The present applicant has thus developed a storage container such as the registration room 20-0342507.

이 보관 용기는 측면의 적어도 일 부위가 절취되어 개방된 실린더 형상의 웨이퍼 수용실을 구비한 하부용기; 상기 수용실을 덮도록 상기 하부용기와 결합되는 상부용기; 상기 상부용기 및/또는 상기 하부용기와 일체로 형성되어, 상기 상부용기와 상기 하부용기가 상호 결합된 상태를 유지하도록 걸림결합에 의해 체결되는 체결부;를 포함하며, 상기 상부용기와 상면과 상기 하부용기의 하면은 각각의 적어도 일 부위가 상호 대면시 형상맞춤되는 판면 프로파일을 갖도록 형성된 것이다.This storage container comprises a lower container having a wafer containing chamber of a cylindrical shape, at least one side of which is cut off and opened; An upper container coupled to the lower container to cover the accommodating chamber; And a fastening portion formed integrally with the upper container and / or the lower container and fastened by a retaining engagement to maintain the upper container and the lower container in a coupled state, The lower surface of the lower container is formed so as to have a plate surface profile in which at least one portion of each of the lower containers is shaped when they face each other.

또한, 상기 체결부는 상기 하부용기와 상기 상부용기 중 어느 하나와 일체로 형성되는 후크부를 포함하며, 상기 하부용기와 상기 상부용기 중 다른 하나에는 상기 후크부가 삽입되어 걸리는 걸림 구멍이 형성되어 있는 구성이다.The fastening portion may include a hook portion formed integrally with one of the lower and upper containers, and the other of the lower and upper containers may have a retaining hole for receiving the hook portion therein .

그런데 이와 같은 보관 용기도, 웨이퍼가 수납되는 수납실을 안전하게 보호하기 어렵고, 또한 웨이퍼의 적층 수납시, 본체가 흔들려 웨이퍼가 손상될 우려가 있다.
However, in such a storage container, it is difficult to safely protect the storage chamber in which the wafer is housed, and when the wafer is stacked, the main body is shaken and the wafer may be damaged.

본 발명은 본 출원인의 상기한 등록실용 20-0342507호의 보관 용기를 개량 발명한 것으로, 그 목적은 웨이퍼의 적층 수납에 따른 본체의 흔들림을 방지하여 웨이퍼가 손상되지 않도록 하며, 본체의 수평을 유지하여 웨이퍼가 기울어져 적층되는 일이 없도록 하는 웨이퍼 보관 용기를 제공하는 데 있다. The present invention improves the storage container of the above-mentioned registration room 20-0342507 of the applicant of the present invention. The object of the invention is to prevent the wafers from being shaken due to stacking of the wafers and to keep the wafers from being damaged, Thereby preventing the wafer from being inclined and stacked.

본 발명의 다른 목적은 수납 및 보관이 용이하고, 본체의 적층이 용이하고, 그에 따라 운반이 편리한 웨이퍼 보관 용기를 제공하는 데 있다. Another object of the present invention is to provide a wafer storage container which is easy to store and store, is easy to be stacked, and can be conveniently transported.

본 발명의 또 다른 목적은, 본체와 이 본체에 덮어지는 덮개의 조립이 용이하고, 적층 수납시 웨이퍼가 손상되는 것을 방지할 수 있는 웨이퍼 보관 용기를 제공하는 데 있다.
It is still another object of the present invention to provide a wafer storage container which is easy to assemble a main body and a lid covering the main body, and can prevent the wafer from being damaged during stacking.

본 발명은 웨이퍼를 보관하는 보관 용기로써, The present invention relates to a storage container for storing wafers,

받침대의 상면에 측벽부를 구비하여, 그 안쪽으로 웨이퍼가 적층되도록 하되, 상기 측벽부는 2중 벽체로 구성된 본체; 단부에 하향으로 커버체를 구비하여 상기 본체의 상부에 씌워져 웨이퍼를 보호하도록 하는 덮개; 상기 덮개의 커버체 안쪽면에 구비된 결착부와 상기 본체의 받침대 상면에 돌출된 후크부로 이루어지며, 상기 결착부는 내, 외측벽으로 구성되도록 하되, 덮개가 본체에 씌워졌을 때 결착부와 측벽부가 교호로 위치하여 수납실 전체가 2중 벽체로 감싸지도록 하는 조립부; 상기 본체의 받침대 외측 단부에서 하향으로 돌출된 적층 벽체를 구비하고, 상기 덮개의 상면에는 이 적층 벽체의 안쪽으로 끼워지는 고정 돌기가 구비된 적층부; 상기 본체의 받침대에 마련되며 측단면에 "W" 형상으로 구성된 홈부로 이루어진 위치 결정부; 및 상기 위치 결정부의 홈부가 끼워지며, 웨이퍼를 적층할 때 본체의 수평을 유지시키고 흔들림을 방지하는 고정핀이 갖추어진 위치 고정부;로 구성된 기술적인 특징을 갖는 것으로 달성된다.
A side wall portion on an upper surface of the pedestal so as to allow the wafer to be stacked on the inside thereof, the side wall portion being composed of a double wall body; A cover provided at an end portion thereof with a cover body downwardly to cover the upper portion of the body to protect the wafer; And a hook portion protruding from an upper surface of the base of the main body, wherein the binding portion is composed of inner and outer walls, wherein when the cover is put on the main body, the binding portion and the side wall portions alternate with each other So that the entire accommodating chamber is enclosed by the double wall body; A laminating part having a laminating wall protruding downward from an outer end of the pedestal of the main body, and a fixing protrusion provided on the top surface of the lid to be fitted into the laminating wall; A positioning portion which is provided in a base of the main body and has a groove portion formed in a shape of "W" And a position fixing portion which is fitted with a groove of the positioning portion and is equipped with a fixing pin for maintaining the horizontal position of the main body and preventing the main body from shaking when stacking the wafers.

본 발명은 첫째, 웨이퍼를 적층 수납할 때, 이 웨이퍼가 수납되는 본체의 수평을 유지시키고 흔들림을 방지하는 위치 고정부를 구비하여, 적층 수납할 때는 물론이고 수납 이후에도 웨이퍼가 기울어져 손상되는 일이 없도록 하는 발명이다. The present invention firstly provides a position fixing unit for holding a horizontal position of a main body in which wafers are housed and preventing wobbling when the wafers are housed in a stacked state so that the wafers are tilted and damaged even after storage It is an invention that does not exist.

둘째, 본 발명의 보관 용기에는 적층부와 조립부를 구비하여 본체와 덮개의 조립 및 분리가 용이하도록 하고, 나아가 웨이퍼가 수납되는 수납실이 2중벽체로 감싸지도록 하여 웨이퍼를 보호할 수 있는 발명이다. Second, the storage container of the present invention has a lamination part and an assembly part to facilitate assembly and disassembly of the main body and the lid, and furthermore, the storage room in which the wafer is housed is enclosed in a double wall body, thereby protecting the wafer .

셋째, 본 발명의 보관 용기는 제작이 용이하고, 적층 수납은 물론 웨이퍼의 보관 및 운반이 편리한 발명이다.
Thirdly, the storage container of the present invention is easy to manufacture, and it is convenient to store and transport wafers as well as stack storage.

도 1은 본 발명에 따른 보관 용기의 분해 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 보관 용기의 분해 사시도,
도 3은 본 발명에 적용되는 본체의 평면도,
도 4는 본 발명에 따른 보관 용기의 단면도를 나타낸 것으로,
도 4a는 A-A'선 단면도,
도 4b는 B-B'선 단면도,
도 4c는 C-C'선 단면도,
도 5는 본 발명에 따른 보관 용기의 전단면도,
도 6은 본 발명에 따른 보관 용기의 요부 확대 단면도.1 is an exploded perspective view of a storage container according to the present invention,
2 is an exploded perspective view of a storage container according to the present invention,
3 is a plan view of a main body applied to the present invention,
4 is a sectional view of a storage container according to the present invention,
4A is a cross-sectional view along the line A-A '
4B is a cross-sectional view taken along line B-B '
4C is a sectional view taken along line C-C '
5 is a front sectional view of a storage container according to the present invention,
FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of a main part of a storage container according to the present invention. FIG.

본 발명을 설명하기에 앞서, 여기서 사용되는 전문 용어는 단지 특정 실시 예를 언급하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것을 의도하지 않는다. 여기서 사용되는 단수 형태들은 문구들이 이와 명백히 반대의 의미를 나타내지 않는 한 복수 형태들도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함하는 "의 의미는 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 성분을 구체화하며, 다른 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소, 성분 및/또는 군의 존재나 부가를 제외시키는 것은 아니다.Before describing the present invention, the terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to limit the invention. The singular forms as used herein include plural forms as long as the phrases do not expressly express the opposite meaning thereto. Means that a particular feature, region, integer, step, operation, element and / or component is specified, and that other specific features, regions, integers, steps, operations, elements, components, and / And the like.

다르게 정의하지는 않았지만, 여기에 사용되는 기술용어 및 과학용어를 포함하는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 일반적으로 이해하는 의미와 동일한 의미를 가진다. 보통 사용되는 사전에 정의된 용어들은 관련기술문헌과 현재 개시된 내용에 부합하는 의미를 가지는 것으로 추가 해석되고, 정의되지 않는 한 이상적이거나 매우 공식적인 의미로 해석되지 않는다.
Unless otherwise defined, all terms including technical and scientific terms used herein have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Commonly used predefined terms are further interpreted as having a meaning consistent with the relevant technical literature and the present disclosure, and are not to be construed as ideal or very formal meanings unless defined otherwise.

먼저, 본 발명에 첨부된 도 1은 본 발명에 따른 보관 용기의 분해 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 보관 용기의 분해 사시도이며, 도 3은 본 발명에 적용되는 본체의 평면도를 도시한 것이다.1 is an exploded perspective view of a storage container according to the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view of a storage container according to the present invention, and FIG. 3 is a plan view of a main body applied to the present invention .

또한 도 4는 본 발명에 따른 보관 용기의 단면도를 나타낸 것으로, 도 4a는 A-A'선 단면도, 도 4b는 B-B'선 단면도, 도 4c는 C-C'선 단면도 이며, 도 5는 본 발명에 따른 보관 용기의 전단면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 보관 용기의 요부 확대 단면도를 도시한 것이다.
4A is a cross-sectional view taken along the line A-A ', FIG. 4B is a sectional view taken along the line B-B', FIG. 4C is a sectional view taken along the line C-C ' FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of a main part of a storage container according to the present invention. FIG.

도면에서 본 발명의 보관 용기(10)는, 웨이퍼가 적층 보관되는 본체(100)와, 이 본체(100)에 씌워지는 덮개(200)로 구성되며, 여기에 조립부(300) 및 적층부(400) 그리고 본 발명의 핵심이라 할 수 있는 위치 결정부(500)와 위치 고정부(600)가 갖추어진 구성이다.
The storage container 10 according to the present invention comprises a main body 100 in which wafers are stacked and a lid 200 covering the main body 100. The main body 100 includes a mounting portion 300 and a laminating portion 400), and a position determining unit 500 and a position fixing unit 600, which are the core of the present invention.

본체(100)In the main body 100,

본 발명에 따른 보관 용기(10)의 본체(100)는, 받침대(120)와, 이 받침대(120)의 상면에 세워지는 측벽부(140)로 구성된다.The main body 100 of the storage container 10 according to the present invention is composed of a pedestal 120 and a side wall portion 140 which is formed on the upper surface of the pedestal 120. [

상기 받침대(120)는 도면과 같이, 대략 8각 형상으로 구성되고, 4개 변 즉 교호로 조립부(300)를 구성하는 결착부(320)에 끼워지는 후크부(340)가 돌출되며, 이 후크부의 안쪽으로 측벽부(140)가 세워진다. As shown in the drawing, the pedestal 120 is formed in a substantially octagonal shape. A hook portion 340, which is fitted to the binding portion 320 constituting the assembly portion 300, is protruded at four sides, And the side wall portion 140 is raised inside the hook portion.

상기 측벽부(140)는 도면과 같이 6개가 등 간격으로 배치되어, 받침대(120)의 상면에 돌출되는 구성으로, 내측은 웨이퍼(W)가 수납될 수 있도록 소정의 곡률 반경을 갖는다. As shown in the drawing, the side wall portions 140 are arranged at equal intervals and protrude from the upper surface of the pedestal 120, and the inside has a predetermined radius of curvature so that the wafer W can be accommodated.

한편, 상기 측벽부(140)는, 도면과 같이 내부에 공간(144)을 갖는 2중 벽체(142)로 구성되는데, 이 공간(144)과 2중 벽체(142)는 운반 과정에서 외부 충격으로부터 웨이퍼를 보호하고, 겨울철이나, 여름철 웨이퍼의 운반 및 보관 과정에서 내부 온도가 급변하는 것을 방지할 수 있도록 한다. The side wall part 140 is composed of a double wall body 142 having a space 144 inside as shown in the figure and the space 144 and the double wall body 142 are separated from an external impact Protects wafers and prevents sudden changes in internal temperature during transportation and storage of wafers during winter and summer.

즉 2중 벽체(142) 사이에 마련된 공간(144)이 공기층을 형성함으로써 측벽부(140) 안쪽에 형성되는 웨이퍼(W) 수납실(160)의 내부 온도가 급격하게 변화되는 것을 방지할 수 있다,That is, the space 144 provided between the double wall members 142 forms an air layer, so that the internal temperature of the wafer W storage chamber 160 formed inside the side wall portion 140 can be prevented from being abruptly changed ,

도면에서, 본 발명에 따른 측벽부(140)는 도면과 같이 6개로 분리구성되어 돌출되고 있으나, 이는 하나의 실 예이고 경우에 따라서는 6개 이하 또는 6개 이상으로 분할되어 설치될 수도 있다. In the drawing, the side wall part 140 according to the present invention is separated and protruded into six pieces as shown in the drawing, but it is one room example, and in some cases, it may be divided into six or less.

상기 받침대(120)는 외주연에는 하향으로 돌출된 적층 벽체(122)가 구비된다.The pedestal 120 is provided with a laminated wall body 122 protruding downward at an outer periphery thereof.

이 적층 벽체(122)는 받침대의 중앙 부위에서 일체로 성형한 위치 결정부(500)가, 다른 보관 용기에 적층되었을 때 걸림이 없도록 하고, 아울러 위치 결정부(500)를 보호하며, 적층이 용이하도록 한 것이다.The laminated wall 122 has a structure in which the positioning portion 500 integrally formed at the central portion of the pedestal is prevented from being latched when the positioning portion 500 is stacked on another storage container and the positioning portion 500 is protected, .

덮개(200)The cover (200)

본 발명에 따른 덮개(200)는 상판(220)과, 이 상판의 단부에서 하향으로 돌출 성형된 커버체(240)로 구성된다.The lid 200 according to the present invention is composed of an upper plate 220 and a cover body 240 protruding downward from an end of the upper plate.

상기 상판(220)은, 상기 본체(100)의 받침대(120)와 동일한 형상 및 크기로 구성된 것이나, 경우에 따라서 다른 형태 및 크기로 구성될 수 있음은 당연한 것이다.The upper plate 220 may have the same shape and size as the pedestal 120 of the main body 100, but it may be formed in other shapes and sizes as the case may be.

상기 커버체(240)의 안쪽에는 조립부(300)의 후크부(340)가 끼워지는 결착부(320)가 구비된다. 이에 대해서는 후술한다. Inside the cover body 240, there is provided a binding part 320 to which the hook part 340 of the assembly part 300 is inserted. This will be described later.

조립부(300), The assembly unit 300, 적층부The laminated portion (400)(400)

상기 조립부(300)는 결착부(320)와 후크부(340)로 구성되며, 상기 결착부(320)는 상기 덮개의 커버체(240)의 안쪽에 마련되고, 상기 후크부(340)는 본체의 받침대(120) 상면에 돌출된다.The assembly unit 300 includes a binding unit 320 and a hook unit 340. The binding unit 320 is provided inside the cover unit 240 of the cover, Protrudes from the upper surface of the pedestal 120 of the main body.

상기 후크부(340)는 받침대(120)의 상면에 세워진 탄성편(322)의 내측면에 경사면을 갖는 결합 돌기(344)가 돌출 구성되고, 이 결합 돌기가 상기 덮개(200)에 마련된 결착부(320)에 끼워지는 구성이다.The hook portion 340 is formed with an engagement protrusion 344 having an inclined surface protruding from the inner side surface of the resilient piece 322 which is erected on the upper surface of the pedestal 120, (320).

상기 결착부(320)는 도면과 같이, 덮개에 형성되는 것으로, 내,외측벽(322)(322a)으로 구성된, 즉 상기 측벽부(140)와 마찬가지로 운반 과정에서 외부 충격으로부터 웨이퍼를 보호하고, 겨울철이나, 여름철 웨이퍼의 운반 및 보관 과정에서 내부 온도가 급변하는 것을 방지할 수 있도록 한다. As shown in the drawing, the binding unit 320 is formed on a lid and is composed of inner and outer walls 322 and 322a, that is, it protects the wafer from external impact during the transportation process like the side wall unit 140, And to prevent sudden changes in internal temperature during transportation and storage of wafers in summer.

다시 말해, 상기 덮개(200)가 씌워졌을 때 측벽부(40)와 결착부(320)가 교호로 위치함으로써, 본체(100)의 내부 수납실(160) 측면 전체가 2중 벽으로 감싸지도록 하는 것이다.In other words, when the lid 200 is covered, the side wall portion 40 and the binding portion 320 are alternately positioned so that the entire side surface of the inner storage chamber 160 of the main body 100 is wrapped around the double wall will be.

상기 결착부(320)의 내,외측벽(322) 사이에는 격벽(324)이 세워져 구획되고, 이중 중앙에 위치하는 공간에는 대략 중간 부위에 수평으로 막음판(326)이 설치되며, 막음판에 결착 구멍(328)이 형성되어 상기 후크부(340)가 끼워져 고정되도록 한다.A barrier wall 324 is formed between the inner and outer walls 322 of the binding portion 320. The barrier wall 324 is horizontally disposed at a substantially middle portion of the space located at the center of the binding portion 320, A hole 328 is formed to fix the hook portion 340 therein.

한편, 상기 후크부(340)는 결합 시, 결합 돌기(344)의 경사면이 상기 결착 구멍의 내측 테두리를 따라 이동하되, 경사면이 이동할 때에는 탄성편이 휘어진 결착 구멍에 끼워지고, 구멍에 끼워진 상태에서는 탄성편이 복원되어 걸림이 이루어지고, 분리 시에는 작업자가 탄성편을 손가락으로 밀어 분리가 이루어지도록 하는 것이다. When the hook portion 340 is engaged, the inclined surface of the engaging projection 344 moves along the inner edge of the binding hole. When the inclined surface is moved, the hooked portion 340 is fitted into the binding hole in which the elastic piece is bent. So that the worker pushes the resilient pieces with their fingers to separate them.

상기 적층부(400)는 상기 덮개(200)의 상면에 다른 보관 용기가 적층되어 운반 및 보관이 가능하도록 한 것으로, 본체의 저면에 형성되는 적층 벽체(122)와 상기 덮개의 상면에 형성된 고정 돌기(420)로 구성된다.The laminating unit 400 includes a laminating wall body 122 formed on a bottom surface of the main body and fixing protrusions formed on the top surface of the lid 200. [ (420).

상기 고정 돌기(420)는 다른 보관 용기의 본체 저면에 구비된 적층 벽체(122)의 안쪽에 끼워져 운반 및 보관 시, 보관 용기의 흔들림을 방지하는 것으로 조립이 간편하고 제작이 용이한 효과가 있다. The fixing protrusion 420 is fitted inside the laminated wall body 122 provided at the bottom of the main body of the other storage container to prevent the storage container from being shaken when it is transported and stored, so that the assembly is simple and easy to manufacture.

위치 location 결정부The decision unit (500) 및 위치 고정부(600)(500) and the position fix part (600)

본 발명에 따른 위치 결정부(500)는 웨이퍼( W)의 적층 수납 시, 본체의 흔들림을 방지하기 위한 것으로, 본체의 받침대(120) 3 지점에 형성되며, 이들 정삼각형으로 배치된다.The positioning unit 500 according to the present invention is provided at three points of the base 120 of the main body to prevent the main body from shaking when the wafers W are stacked.

다시 말해, 상기 위치 결정부(500)는, 도면과 같이 받침대의 중심에서 방사형으로 배치되며, 폭이 좁은 긴 형상 즉 장방형의 홈부(520)가 마련된 구성이다. 또한 상기 위치 결정부 측단면이 "W" 형상으로 구성되는데, 이는 받침대의 상면 또는 저면에 돌출되는 것을 방지하기 위함으로, "W"형상의 중앙에 상기 홈부(520)가 마련되고, 이 홈부에 상기 위치 고정부(600)의 고정핀(640)이 끼워져 고정되는 것이다. In other words, the positioning unit 500 has a configuration in which a long or narrow rectangular groove 520 is arranged radially from the center of the pedestal as shown in the drawing. The groove portion 520 is provided at the center of the "W" shape in order to prevent the protrusion from protruding from the upper surface or the bottom surface of the pedestal, The fixing pin 640 of the position fixing part 600 is fitted and fixed.

상기 고정핀(640)은 베이스판(620)의 상면에, 상기 위치 결정부와 동일하게 3 지점에 돌출된 구성이다.The fixing pin 640 protrudes from the upper surface of the base plate 620 at three points in the same manner as the positioning unit.

상기 베이스판(620)은 도면과 같이 평판으로 구성되고, 고정핀(640)의 상단부에는 위치 결정부가 안정적으로 안착 고정될 수 있도록 하는 안착부(642)가 구비된다.The base plate 620 is formed of a flat plate as shown in the figure, and a seating portion 642 is provided at an upper end of the fixing pin 640 so that the positioning portion can be stably fixed.

여기서 상기 안착부(642)는 고무 또는 합성 수지 등으로 구성될 수 있다. The seating portion 642 may be made of rubber, synthetic resin, or the like.

한편, 상기 안착부(642)는, 인서트 사출 또는 볼트 및 핀 방식으로 조립될 수 있다.On the other hand, the seating portion 642 can be assembled in an insert injection or bolt and pin manner.

첨부된 도 7은 본 발명에 따른 측벽부의 다른 실시 예를 도시한 것이다. 7 shows another embodiment of the side wall portion according to the present invention.

이 실시 예는 웨이퍼(W)의 적층 수납 시, 웨이퍼가 서로 맞닿아 손상되는 것을 방지하기 위한 것으로, 측벽부(140a)에 다층으로 슬릿(141a)을 형성하고, 이 슬릿에 간격 유지판(142a)을 끼워 웨이퍼가 보관되도록 하는 것이다.This embodiment is for preventing the wafers from being abutted against each other and damaging the wafers W when stacking the wafers W. The slits 141a are formed in the side wall portion 140a in multiple layers, So that the wafer is stored.

다시 말해 본 발명의 실시 예에 따른 용기는 본체(100)이 수납실 바닥에 부직포 등을 깔고, 웨이퍼를 올려놓은 다음, 상기 슬릿(141a)에 간격 유지판(142a)을 끼우고, 다시 간격 유지판(142a) 위쪽으로 웨이퍼를 올려 놓고, 다시 간격 유지판을 끼우는 방식이다. In other words, in the container according to the embodiment of the present invention, the main body 100 spreads a nonwoven fabric or the like on the bottom of the storage chamber, puts the wafer thereon, then inserts the gap holding plate 142a into the slit 141a, The wafer is placed on the upper side of the plate 142a, and the spacer plate is sandwiched again.

이러한 구성의 본 발명은 간격 유지판이 웨이퍼가 서로 맞닿는 것을 방지하는 것으로, 상기 슬릿은 도면과 같이 서로 대향하는 측벽부 각각 또는 전체 측벽부에 형성될 수 있다.The present invention with such a configuration prevents the spacing plates from coming into contact with each other, and the slits can be formed in each of the side wall portions or the entire side wall portions opposed to each other as shown in the drawing.

또한, 상기 간격 유지판은 웨이퍼를 손상시키지 않은 재질이 선택되는 것은 당연한 것이다.It is a matter of course that a material not damaging the wafer is selected as the spacer plate.

도면 중, 143a는 상기 간격 유지판에 천공된 구멍이고, 144a는 측벽부의 상면에서 하방으로 수직 천공된 끼움공으로써, 간격 유지판을 끼운 다음, 상기 끼움공에 봉 형상의 고정핀을 끼워, 이 고정핀이 상기 구멍을 관통하도록 하는 것으로, 이를 통해 간격 유지판이 유동하는 것을 사전에 차단하는 것이다.
In the figure, reference numeral 143a denotes a hole drilled in the spacing plate, 144a denotes a fitting hole vertically perforated vertically downward from the upper surface of the side wall portion, the space holding plate is inserted, So that the fixing pin passes through the hole, thereby preventing the gap holding plate from flowing in advance.

다음은 이와 같은 구성으로 이루어진 본 발명의 사용 상태를 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, the use state of the present invention will be described.

본 발명의 보관 용기(10)는 본체(100)의 수납실(160) 즉 측벽부(140)의 안쪽에 웨이퍼(W)를 적층 수납하는 것으로, 먼저 본체의 받침대(120)에 형성된 위치 결정부(500)는, 위치 고정부(600)의 고정핀(640)에 안착된 상태로, 3개의 지점에서 위치가 고정됨으로써, 흔들림이 없고 또한 수평이 유지됨으로써, 웨이퍼의 적층이 용이하도록 한다.The storage container 10 of the present invention stores a wafer W stacked in the storage chamber 160 of the main body 100, that is, inside the side wall portion 140, The wafer 500 is fixed on the fixing pin 640 of the position fixing unit 600 and fixed at three points so that the wafer 500 is free from wobbling and is kept horizontal so that the wafer can be easily stacked.

웨이퍼 적층 후 작업자는 덮개(200)를 덮어 웨이퍼의 손상을 방지하되, 이때 덮개에 구비된 결착부(320)와 본체에 세워진 측벽부(120)가 웨이퍼가 수납된 수납실 전체를 2중벽으로 감싸 웨이퍼가 보호될 수 있도록 한다. After the wafer is stacked, the operator covers the lid 200 to prevent the wafer from being damaged. At this time, the binding part 320 provided on the lid and the side wall part 120 standing on the main body enclose the entire storage room in which the wafer is housed, So that the wafer can be protected.

물론, 상기 본체(100)와 덮개(200)는 조립부, 즉 후크부(340)가 결착부(320)에 끼워지는 것으로 조립된다.
Of course, the main body 100 and the lid 200 are assembled by assembling the hook portion 340 to the hook portion 340.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예는 모두 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모두 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
As described above, those skilled in the art will understand that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is therefore to be understood that the embodiments described above are all illustrative and not restrictive. The scope of the present invention should be construed as being included in the scope of the present invention without departing from the scope of the present invention.

10 : 보관 용기 100 : 본체
120 : 측벽부 200 : 덮개
240 : 커버체 300 : 조립부
320 : 결착부 330 : 후크부
400 : 적층부 500 : 위치 결정부
600 : 위치 고정부 10: Storage container 100: Body
120: side wall part 200: cover
240: cover body 300:
320: binding portion 330: hook portion
400: stacking section 500: positioning section
600:

Claims (5)

웨이퍼를 보관하는 보관 용기로써,
받침대의 상면에 측벽부를 구비하여, 그 안쪽으로 웨이퍼가 적층되도록 하되, 상기 측벽부는 2중 벽체로 구성된 본체;
단부에 하향으로 커버체를 구비하여 상기 본체의 상부에 씌워져 웨이퍼를 보호하도록 하는 덮개;
상기 덮개의 커버체 안쪽면에 구비된 결착부와 상기 본체의 받침대 상면에 돌출된 후크부로 이루어지며, 상기 결착부는 내, 외측벽으로 구성되도록 하되, 덮개가 본체에 씌워졌을 때 결착부와 측벽부가 교호로 위치하여 수납실 전체가 2중 벽체로 감싸지도록 하는 조립부;
상기 본체의 받침대 외측 단부에서 하향으로 돌출된 적층 벽체를 구비하고, 상기 덮개의 상면에는 이 적층 벽체의 안쪽으로 끼워지는 고정 돌기가 구비된 적층부;
상기 본체의 받침대에 마련되며, 측단면에 "W" 형상으로 구성되고, 상기 "W"형상의 중앙에 홈부가 마련된 위치 결정부; 및
상기 위치 결정부의 홈부가 끼워지며, 웨이퍼를 적층할 때 본체의 수평을 유지시키고 흔들림을 방지하는 고정핀이 갖추어진 위치 고정부;로 구성되며,
상기 조립부의 결착부는 내, 외측벽 사이에 격벽이 세워져 공간이 구획되고, 중앙측 공간에 막음판을 구비하되, 상기 막음판에 후크부가 끼워지는 결착 구멍이 형성된 것을 포함하는 웨이퍼 보관 용기.
As a storage container for storing wafers,
A side wall portion on an upper surface of the pedestal so as to allow the wafer to be stacked on the inside thereof, the side wall portion being composed of a double wall body;
A cover provided at an end portion thereof with a cover body downwardly to cover the upper portion of the body to protect the wafer;
And a hook portion protruding from an upper surface of the base of the main body, wherein the binding portion is composed of inner and outer walls, wherein when the cover is put on the main body, the binding portion and the side wall portions alternate with each other So that the entire accommodating chamber is enclosed by the double wall body;
A laminating part having a laminating wall protruding downward from an outer end of the pedestal of the main body, and a fixing protrusion provided on the top surface of the lid to be fitted into the laminating wall;
A positioning portion provided on a pedestal of the main body and having a " W "shape in a side end surface and provided with a groove at the center of the" W " And
And a positioning fixture having a fixing pin fitted in the groove of the positioning portion and for preventing horizontal movement of the main body when the wafer is stacked,
Wherein the binding portion of the assembly portion includes a partition wall formed between the inner and outer walls to divide the space, and a blocking hole is formed in the central space, wherein the blocking hole is formed with a hook hole in which the hook portion is inserted.
삭제delete 제 1항에 있어서, 상기 위치 결정부의 홈부와 위치 고정부의 고정핀 각각은 3 지점에 위치하되, 이들은 정삼각형으로 위치하는 것을 포함하는 웨이퍼 보관 용기.
The wafer storage container according to claim 1, wherein the groove of the positioning portion and each of the fixing pins of the position fixing portion are located at three points, which are located in an equilateral triangle.
제 1항에 있어서, 상기 위치 고정부는 베이스판의 상면에 위치 결정부의 홈부가 끼워져 안착되도록 하는 고정핀이 구비되며, 이 고정핀은 상단에 고무 또는 합성 수지로 구성된 안착부가 구비된 것을 포함하는 웨이퍼 보관 용기.
[2] The apparatus of claim 1, wherein the position fixing portion includes a fixing pin for allowing a groove portion of the positioning portion to be seated on an upper surface of the base plate, wherein the fixing pin has a seating portion composed of rubber or synthetic resin, Storage container.
제 1항에 있어서, 상기 조립부를 구성하는 후크부는 받침대에 세워진 탄성편의 안쪽면에 경사면을 갖는 결합 돌기로 구성된 것을 포함하는 웨이퍼 보관 용기.
The wafer storage container according to claim 1, wherein the hook portion constituting the assembly portion comprises an engaging projection having an inclined surface on the inner surface of the elastic piece that is erected on the pedestal.
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