JP3573476B2 - 光学素子 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、MgOあるいはZnOがドープされた、LiNbO3 またはLiTaO3 の結晶からなる光学素子に関するものであり、さらに詳しくは、耐光損傷性を向上させた光学素子に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、EO(電気光学)効果あるいはAO(音響光学)効果を有する材料として、また非線形光学効果を有する材料としてLiNbO3 (ニオブ酸リチウム:以下LNと称する)、およびLiTaO3 (タンタル酸リチウム:以下LTと称する)が広く知られている。
【0003】
これらLNおよびLTの結晶は、照射された光によって局所的な屈折率変化が誘起される現象、いわゆる光損傷を生じやすい。この光損傷は、直線偏光を、その偏光の向きが結晶のZ軸方向と一致する状態で入射させたときに最も大きくなり、入射させたレーザー光がZ軸方向に著しくぼけるようになる。また、このように直線偏光の向きと結晶のZ軸方向とが一致していなくても、Z軸方向に直線偏光の成分が存在すれば、光損傷が生じやすい。
【0004】
この光損傷に対する耐性を高めるために、従来より、LNやLTの結晶にMgOあるいはZnOをドープさせることが広くなされている。例えばMgOをドープしたLN結晶は、アルゴンレーザーから出力された波長515 nmの数十mWのレーザービームを入射させても、ビームがぼけることがないと言われている。
【0005】
【課題を解決するための手段】
ところが、実際に多くの結晶について測定してみると、従来と同様に光損傷が生じないもの以外に、中には、数十mWの強いパワーのときには光損傷が生じないが、出力数mW前後の比較的弱いレーザー光のときにのみ明らかにビームがぼける結晶がある。本発明者等が観測したこの現象は、従来言われて来たのとは全く逆の現象である。
【0006】
また、この観測結果と同様に、必ずしもMgOをドープしたLN結晶が光損傷に強いとは限らないことを示唆する報告もある。すなわち、1992年春季応用物理学会予稿集30p−G−12には、MgOをドープしたものもドープしていないものも、耐光損傷性はほぼ同じであるという報告がなされている。
【0007】
なお、上述の観測で認められた光損傷現象は、MgOあるいはZnOがドープされたLNまたはLT結晶のみに観測され、ノンドープのものでは観測されない。それに対して、従来より認められている光損傷現象は、ノンドープ結晶でも当然観測されるし、光パワーが強いときほどビームのぼけが大きくなるので、これら両現象の特性は互いに異なる。しかし、上述の観測で認められた「ビームがぼける」現象そのものは、従来の光損傷によるものと全く区別がつかないので、ここではこの現象を光損傷と定義して、以下説明をする。
【0008】
本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、MgOあるいはZnOがドープされたLNまたはLTの結晶からなる光学素子の耐光損傷性を確実に向上させることを目的とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明による光学素子は、前述したようにMgOあるいはZnOがドープされたLNまたはLTの結晶からなり、そこに、該結晶において実質的に焦電効果を生じさせない温度条件下でレーザー光を入射させて使用される光学素子において、上記結晶の+Z面と−Z面とが導電性材料によって接続されていることを特徴とするものである。なお、上述のような温度条件とは、入射したレーザー光による光学素子の温度上昇が実質的に焦電効果を招かない程度に抑えられている場合も含めて、基本的には意図的に温度変化を与えないことを意味するが、光学素子が使用される環境により、実用的に意味をなさない程度の焦電効果が生じてしまう温度変化が存在する場合も含むものとする。
【0010】
【作用および発明の効果】
上記のように結晶の+Z面と−Z面とが導電性材料によって接続されていると、そうでない場合と比較して結晶の耐光損傷性が確実に向上し、レーザー光を入射させたときのぼけが明らかに低減する。
【0011】
【実施例】
以下、図面に示す実施例に基づいて本発明を詳細に説明する。図1は、本発明の第1実施例による光学素子を示すものである。この第1実施例の光学素子1はバルク結晶型のものであり、MgOがドープされたLN(以下、MgO−LNと称する)結晶2と、このMgO−LN結晶2をその+Z面2aと−Z面2b側から挟んで保持する金属治具3とからなる。なおMgO−LN結晶2は、MgOが一例として5%ドープされたXカットのもので、一般的なプロトン交換およびアニール処理を受けたものである。一方金属治具3は銅、アルミニウム等の導電性材料からなる小片3個を、4本のビス3a(図中では片側の2本のみを示す)によって断面コ字状に組み付けて構成されている。
【0012】
このように金属治具3を組み付ける際に、MgO−LN結晶2が挟み込まれてそこに保持されるが、ビス3aを締め付ける際に該結晶2が割れないように、金属治具3と+Z面2aおよび−Z面2bとの間には、柔らかい導電性材料であるインジウムのシート4が配されている。したがってMgO−LN結晶2の+Z面2aと−Z面2bとは、これらのインジウムシート4と金属治具3とによって接続されている。
【0013】
上記のMgO−LN結晶2に、アルゴンレーザーから出射した直線偏光のレーザービーム5を、焦点距離60mmの集光レンズ6で絞った上で入射させた。この際、矢印Pで示す直線偏光の向きをZ軸方向と一致させる。そしてMgO−LN結晶2を通過したレーザービーム5をスクリーン7に照射して、そのビーム断面形状を調べた。また比較例として、MgO−LN結晶2を金属治具3によって保持する前に、上記と同様に該結晶2を通過したレーザービーム5のビーム断面形状を調べた。なお、レーザービーム5の出力は1mW、3mWおよび10mWの3通りに設定し、それぞれの場合についてビーム断面形状を調べた。また、用いた結晶はMgOが5%ドープされたもので、組成分析の結果、いずれも同等であった。
【0014】
このようにして調べたビーム断面形状を図2に示す。レーザービーム5の出力が10mWの場合は、実施例、比較例とも、ビーム断面形状は正円に近いものであり、光損傷は生じていないと考えられ、従来より言われている結果と同じであった。
【0015】
しかしレーザービーム5の出力が3mWの場合、比較例は、結晶によってはビーム断面形状が正円に近いものとなって、光損傷が生じないものがあったり、別の結晶ではビーム断面形状がZ軸方向(図2では上下方向)にクマが有るものとなって、光損傷が生じている結果も得られた。それに対して本実施例の光学素子5では、レーザービーム5の出力が3mWの場合でも、光損傷が生じている結晶であっても、ビーム断面形状は常に正円に近いものになり、比較例と比べて耐光損傷性が明らかに向上した。
【0016】
またレーザービーム5の出力が1mWの場合、比較例におけるビーム断面形状は、結晶によっては正円に近いものもあるが、Z軸方向にクマが有るものとなったり、あるいはZ軸方向に延びた楕円状となる結晶が多く、光損傷が生じていると考えられる。それに対して本実施例の光学素子5では、レーザービーム5の出力が1mWの場合、レーザービーム5を結晶2に入射させた状態で素早く該結晶2をZ軸方向に動かしたとき、若干のビームの乱れが一部の結晶で観測されるが(図2中ではこの現象を「モワ」として示してある)、結晶2を動かさないとき(通常の使用状態である)、ビーム断面形状は正円に近いものであり、比較例と比べて耐光損傷性が明らかに向上している。
【0017】
なお、上に述べたMgO−LN結晶2はプロトン交換およびアニール処理を受けたものであるが、このような処理を施さないMgO−LN結晶に対しても本発明は適用可能であり、そしてその場合も上記と同様の効果が得られる。
【0018】
次に、図3を参照して本発明の第2実施例について説明する。なおこの図3において、図1中の要素と同等のものには同番号を付し、それらについての重複した説明は省略する(以下、同様)。この第2実施例の光学素子8もバルク結晶型のものであり、MgO−LN結晶2と、このMgO−LN結晶2の+Z面2aと−Z面2bとを接続する導電性線材9からなる。
【0019】
このような構成の光学素子8においても、そこに第1実施例と同様にレーザービーム5を入射させたとき、上記比較例と比べて耐光損傷性が明らかに向上していることが確認された。
【0020】
次に、図4および図5を参照して本発明の第3実施例について説明する。この第3実施例の光学素子30は光導波路型のものであり、表面部分に2次元(薄膜)光導波路11が形成されたMgO−LN結晶基板10と、第1実施例で用いられたものと同様の金属治具3およびインジウムシート4とから構成されている。この場合も金属治具3は、MgO−LN結晶基板10の+Z面10aと−Z面10bとを、インジウムシート4を介して接続するように配設されている。
【0021】
この光学素子30は一例として電気光学光変調器を構成するものであり、MgO−LN結晶基板10上にプロトン交換による薄膜光導波路11が形成され、この光導波路11の上に光入射用の線状回折格子(Linear Grating Coupler :以下LGCと称する)14と光出射用LGC15とが形成され、そしてLGC14とLGC15との間において光導波路11の上には、導波光の光路を切り換えてLGC15からの出射を制御するEOG電極13が配設されてなるものである。なお、このEOG電極13は、光導波路11に電気光学的回折格子(Electro−Optic Grating )を形成する格子状電極であり、光導波路11の上にバッファ層12を介して設けられている。
【0022】
また、Xカットの基板10の一端面10cは、He−Neレーザー等のレーザー21から発せられたレーザービーム20を入射させるため、そして基板10の他端面10dは光出射用LGC15で回折した光を基板10外に出射させるため、それぞれ所定の角度で斜めに研磨されている。
【0023】
端面10cを通して基板10内に入射し、光導波路11越しにLGC14の部分に入射したレーザービーム20は、このLGC14において回折し、光導波路11内に入射して導波光20’となる。この導波光20’は、EOG電極13に対応する部分を通って導波するが、EOG電極13に電圧が印加されていない状態ではそこを直進する。一方、EOG電極13に図示しない駆動回路から所定の電圧が印加されると、電気光学効果を有する光導波路11の屈折率が変化して回折格子が形成され、導波光20’はその回折格子により回折する。以上のようにして回折した光ビーム20Aおよび回折しない光ビーム20Bは、LGC15において基板10側に回折し、この基板10の斜めにカットされた端面10dから素子外に出射する。
【0024】
そこでこの素子外に出射した例えば光ビーム20Aを使用光とすれば、EOG電極13への電圧印加の有無に応じてこの光ビーム20Aを変調することができる。例えば所定の画像信号に基づいてこの光ビーム20Aを変調する場合は、その画像信号に基づいて電圧印加を制御すればよい。
【0025】
この第3実施例の光学素子30においても、MgO−LN結晶基板10の+Z面10aと−Z面10bとが、金属治具3およびインジウムシート4によって接続されているので、耐光損傷性が向上する。
【0026】
次に、図6を参照して本発明の第4実施例について説明する。この第4実施例の光学素子40は分岐干渉型光変調器を構成するものであり、表面部分に3次元光導波路41および位相変調用の電極42、43が形成されたMgO−LN結晶基板44と、第1実施例で用いられたものと同様の金属治具3およびインジウムシート4とから構成されている。この場合も金属治具3は、MgO−LN結晶基板44の+Z面44aと−Z面44bとを、インジウムシート4を介して接続するように配設されている。
【0027】
この第4実施例の光学素子40においても、MgO−LN結晶基板44の+Z面44aと−Z面44bとが、金属治具3およびインジウムシート4によって接続されているので、耐光損傷性が向上する。
【0028】
以上、MgO−LN結晶からなる光学素子に適用された実施例について説明したが、本発明はその他、MgOがドープされたLTの結晶、さらにはZnOがドープされたLNまたはLTの結晶からなる光学素子にも適用可能で、その場合も同様の効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例による光学素子を示す斜視図
【図2】上記光学素子および従来の光学素子を通過した光のビーム断面形状を比較して示す概略図
【図3】本発明の第2実施例による光学素子を示す斜視図
【図4】本発明の第3実施例による光学素子を示す斜視図
【図5】上記第3実施例の光学素子の側断面図
【図6】本発明の第4実施例による光学素子を示す斜視図
【符号の説明】
1、8、30、40 光学素子
2 MgO−LN結晶
2a MgO−LN結晶の+Z面
2b MgO−LN結晶の−Z面
3 金属治具
4 インジウムシート
10、44 MgO−LN結晶基板
10a、44a MgO−LN結晶基板の+Z面
10b、44b MgO−LN結晶基板の−Z面
11 2次元光導波路
12 バッファ層
13 EOG電極
14 光入射用LGC
15 光出射用LGC
41 3次元光導波路
42、43 電極
Claims (1)
- MgOあるいはZnOがドープされた、LiNbO3 またはLiTaO3 の結晶からなり、そこに、該結晶において実質的に焦電効果を生じさせない温度条件下でレーザー光を入射させて使用される光学素子において、
前記結晶の+Z面と−Z面とが導電性材料によって接続されていることを特徴とする光学素子。
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