JP3557651B2

JP3557651B2 - Apparatus and method for measuring thickness of ceramic green sheet

Info

Publication number: JP3557651B2
Application number: JP15935094A
Authority: JP
Inventors: 今井　　修; 耕平山田
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1994-06-16
Filing date: 1994-06-16
Publication date: 2004-08-25
Anticipated expiration: 2019-08-25
Also published as: JPH085340A

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、厚み測定装置及び厚み測定方法に関し、詳しくは、表面が粘着性を有し、外部からの応力によって変形や損傷を受けやすいセラミックグリーンシートの厚みを測定するための厚み測定装置及び厚み測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
例えば、成形直後の水分を含むセラミックグリーンシートは、粘着性を有するとともに、柔軟性や可塑性を有し、外部から応力が加わると変形が生じたり、表面が傷ついたりしやすい。そのため、接触式の方法では、セラミックグリーンシートを傷つけたりすることなくその厚みを正確に測定することは困難である。また、セラミックグリーンシートを搬送中に接触式の方法で厚みを測定しようとすると、セラミックグリーンシートが粘着性を有していることもあり、厚み測定装置との接触により、その搬送状態が不安定になるというような問題点がある。
【０００３】
そのため、セラミックグリーンシートの厚みを、非接触式の方法で精度よく測定することが可能な方法や装置が要求されている。
【０００４】
しかし、例えば、光学式の方法でセラミックグリーンシートに接触することなくその厚みを測定しようとした場合、厚み測定装置（の発受光部）とセラミックグリーンシートとの相対的な位置関係が安定していることが必要となるが、セラミックグリーンシートを測定位置に搬送する際にセラミックグリーンシートにうねりやたわみ、あるいは振動などが生じ、厚み測定装置（の発受光部）とセラミックグリーンシートとの相対的な位置関係がばらつくため、正確な厚み測定を行なうことができないという問題点がある。
【０００５】
本発明は、上記問題点を解決するものであり、表面が粘着性を有し、外部からの応力によって変形や損傷を受けやすいセラミックグリーンシートの厚みを、非接触式の方法で正確に測定することが可能な厚み測定装置及び厚み測定方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明（請求項１）の厚み測定装置は、セラミックグリーンシートの厚みを測定するための厚み測定装置において、セラミックグリーンシートに光線を照射することにより、セラミックグリーンシートに
接触することなくセラミックグリーンシートの厚みを検出する光学式の厚み測定センサと
、
所定の位置に、前記厚み測定センサからの光線を通過させる測定光通過穴が形成されているとともに、上面に、エアを吹き出すためのエア吹出し口が形成され、前記エア吹出し口からエアを吹き出すことによりセラミックグリーンシートとの間にエア層を形成し、セラミックグリーンシートを浮き上がらせた状態で前記測定光通過穴上を通過させるフローティングプレートと
を具備し、
前記厚み測定センサは、セラミックグリーンシートの上面に光線を照射する上側厚み測定センサと、セラミックグリーンシートの下面に光線を照射する下側厚み測定センサとを備え、
前記上側厚み測定センサからの光線は、セラミックグリーンシートの上面に照射され、前記下側厚み測定センサからの光線は、前記フローティングプレートの測定光通過穴を介してセラミックグリーンシートの下面に照射され、かつ、上側厚み測定センサからの光線と下側厚み測定センサからの光線は、平面視した場合にセラミックグリーンシートの上下両面の略同位置に照射されるように構成されていること
を特徴とする。
【０００７】
フローティングプレートの上面に形成されたエア吹出し口からエアを吹き出すことにより、フローティングプレートとセラミックグリーンシートの間にエア層が形成される。したがって、フローティングプレート上に供給されたセラミックグリーンシートは、フローティングプレートから浮き上がった状態で、変形したり損傷を受けたりすることなく滑らかに搬送される。そして、フローティングプレートに形成された測定光通過穴上を通過する際に、上側厚み測定センサからの光線が、セラミックグリーンシートの上面に照射され、下側厚み測定センサからの光線が、フローティングプレートの測定光通過穴を介してセラミックグリーンシートの下面に照射され、かつ、上側厚み測定センサからの光線と下側厚み測定センサからの光線が、平面視した場合にセラミックグリーンシートの上下両面の略同位置に照射されるように構成された光学式の厚み測定センサにより、セラミックグリーンシートに接触することなくその厚みが検出される。
【０００８】
したがって、表面が粘着性を有し、外部からの応力によって変形や損傷を受けやすいセラミックグリーンシートの厚みを、セラミックグリーンシートを傷つけたりすることなく、高精度に測定することができるようになる。
【０００９】
また、請求項２のセラミックグリーンシートの厚み測定装置は、前記上側厚み測定センサと下側厚み測定センサは、セラミックグリーンシートを上下から挟むように配設され、かつ、前記上側厚み測定センサと下側厚み測定センサとは、それぞれ固定フレームに固定されているとともに、前記固定フレームは、セラミックグリーンシートの幅方向にトラバースさせることができるように構成されていることを特徴としている。
【００１０】
また、本発明（請求項３）のセラミックグリーンシートの厚み測定方法は、
セラミックグリーンシートの上面に光線を照射する上側厚み測定センサと、セラミックグリーンシートの下面に光線を照射する下側厚み測定センサとを備えた非接触式の光学式厚み測定センサを用い、
所定の位置に、前記厚み測定センサからの光線を通過させる測定光通過穴を備えたフローティングプレート上に、セラミックグリーンシートを搬送し、前記フローティングプレートの上面のエア吹き出し口から吹き出されるエアにより、セラミックグリーンシートを浮き上がらせた状態で、
前記上側厚み測定センサからの光線をセラミックグリーンシートの上面に照射し、前記下側厚み測定センサからの光線を、前記フローティングプレートの測定光通過穴を介してセラミックグリーンシートの下面に照射するとともに、上側厚み測定センサからの光線と下側厚み測定センサからの光線を、平面視した場合にセラミックグリーンシートの上下両面の略同位置に照射することにより、セラミックグリーンシートの厚みを測定すること
を特徴としている。
【００１１】
【実施例】
以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。図１は本発明の一実施例にかかる厚み測定装置の概略構成を示す斜視図である。
【００１２】
この実施例の厚み測定装置は、図１に示すように、押出成形機１の吐出口２から押し出された直後の押出成形シート（セラミックグリーンシート）３の厚みを非接触で測定するための厚み測定装置であり、厚み測定センサとして、レーザビームを測定光として用いるレーザ厚み測定機１０を用いている。
【００１３】
まず、この実施例の厚み測定装置の構成について説明する。図１に示すように、この実施例の厚み測定装置は、平面形状が略正方形の、レーザビーム通過用の穴（測定光通過穴）４が設けられたフローティングプレート５と、フローティングプレート５上を水平に搬送されてくるセラミックグリーンシート３を上下から挟むように配設された上側レーザセンサ６と，下側レーザセンサ７と、センサコントローラ８とを備えて構成されており、上下側のレーザセンサ６，７は、センサ固定フレーム９に固定されている。
【００１４】
なお、フローティングプレート５は、内部にエアチャンバーを有しており、その上面には、多数のエア吹出し口（図示せず）が形成されている。
【００１５】
次に、上記実施例の厚み測定装置を用いて押出成形シート（セラミックグリーンシート）の厚みを測定する場合の動作について説明する。
【００１６】
まず、押出成形機１の吐出口２からセラミックグリーンシート３が押し出され、吐出口２の近傍に配設されたフローティングプレート５上に搬送されてくると、フローティングプレート５の上面のエア吹き出し口から吹き出されるエアによるフローティング効果により、セラミックグリーンシート３がフローティングプレート５の表面から浮き上がった状態でフローティングプレート５上を変形したりすることなく円滑に走行する。
【００１７】
そして、フローティングプレート５のレーザビーム通過用の穴（測定光通過穴）４上を通過する際に、上下側のレーザセンサ６，７により、セラミックグリーンシート３の厚みが検出される。なお、この実施例の厚み測定装置の場合、下側レーザセンサ７からのレーザビーム及びその反射光が測定光通過穴４を通過する。
【００１８】
このようにして、フローティングプレート５によりセラミックグリーンシート３を浮き上がらせた状態で搬送し、非接触式のレーザ厚み測定機１０によってその厚みを測定することにより、粘着性を有するとともに、柔軟性、可塑性を有し、変形したり、損傷を受けたりしやすいセラミックグリーンシート３の厚みを精度よく測定することができる。
【００１９】
なお、上記実施例では、非接触式の厚み測定センサとして、レーザ厚み測定機を用いた場合について説明したが、非接触式の厚み測定手段はこれに限られるものではなく、他の種々の光学的な厚み測定センサを用いることが可能である。
【００２０】
また、例えば、レーザ厚み測定機などの厚み測定センサの機種を適切に選択することにより、例えば±１０μm以内の高い測定精度でセラミックグリーンシートの厚みを測定することができる。
【００２１】
なお、上記実施例では、測定光通過穴４の形状（平面形状）が略正方形であるようなフローティングプレート５を用いた場合について説明したが、測定光通過穴の形状はこれに限られるものではなく、円形などのその他の種々の形状とすることが可能である。
【００２２】
また、例えば、測定光通過穴をセラミックグリーンシート３の幅方向に長さのあるスリット状に形成し、上下側のレーザセンサ６，７が固定されたセンサ固定フレーム９を、セラミックグリーンシート３の幅方向にトラバースさせることができるようにして、セラミックグリーンシート３の幅方向の各部の厚みを測定することができるように構成することも可能である。
【００２３】
さらに、上記実施例の厚み測定装置においては、シート厚みの測定結果を押出成形機の要素部分にフィードバックすることにより、セラミックグリーンシートの厚みを制御するように構成することも可能である。
【００２４】
本発明は、さらにその他の点においても上記実施例に限定されるものではなく、フローティングプレートの細部の具体的な構成などに関し、発明の要旨の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
【００２５】
【発明の効果】
上述のように、本発明（請求項１）のセラミックグリーンシートの厚み測定装置は、フローティングプレートのエア吹出し口からエアを吹き出し、セラミックグリーンシートとの間にエア層を形成することにより、セラミックグリーンシートをフローティングプレートの表面から浮き上がらせた状態で搬送し、セラミックグリーンシートが測定光通過穴上を通過する際に、上側厚み測定センサからの光線が、セラミックグリーンシートの上面に照射され、下側厚み測定センサからの光線が、フローティングプレートの測定光通過穴を介してセラミックグリーンシートの下面に照射され、かつ、上側厚み測定センサからの光線と下側厚み測定センサからの光線が、平面視した場合にセラミックグリーンシートの上下両面の略同位置に照射されるように構成された光学式の厚み測定センサによりセラミックグリーンシートの厚みを検出するようにしているので、表面が粘着性を有し、外部からの応力によって変形や損傷を受けやすいセラミックグリーンシートの厚みを、セラミックグリーンシートを傷つけたりすることなく、高精度に測定することができる。
【００２６】
また、搬送（走行）中のセラミックグリーンシートの厚みを連続して精度よく測定することができるため、例えば、従来解析が困難であったセラミックグリーンシート成形工程における厚みのばらつき要因の解析に有効に利用することができる。
【００２７】
また、セラミックグリーンシートの厚みを迅速に測定することができるため、例えば、セラミックグリーンシートの押出成形直後の厚みを本発明の厚み測定装置により測定し、その結果を押出成形機にフィードバックすることにより、シート厚みに関する良品率を向上させることができる。
【００２８】
また、請求項２のセラミックグリーンシートの厚み測定装置のように、セラミックグリーンシートを上下から挟むように配設される上側厚み測定センサと下側厚み測定センサを固定した固定フレームを、セラミックグリーンシートの幅方向にトラバースさせるようにした場合、セラミックグリーンシートの幅方向の各部の厚みを測定することが可能になり、本発明をより実効あらしめることができる。
【００２９】
また、本発明（請求項３）のセラミックグリーンシートの厚み測定方法のように、フローティングプレート上に、セラミックグリーンシートを搬送し、エア吹き出し口から吹き出されるエアにより、セラミックグリーンシートを浮き上がらせた状態で、上側厚み測定センサからの光線がセラミックグリーンシートの上面に照射され、下側厚み測定センサからの光線が、フローティングプレートの測定光通過穴を介してセラミックグリーンシートの下面に照射されるとともに、上側厚み測定センサからの光線と下側厚み測定センサからの光線が、平面視した場合にセラミックグリーンシートの上下両面の略同位置に照射されるように構成された非接触式の光学式厚み測定センサにより、セラミックグリーンシートの厚みを測定することにより、外部からの応力によって変形や損傷を受けやすいセラミックグリーンシートの厚みを、セラミックグリーンシートを傷つけたりすることなく、高精度に測定することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例にかかる厚み測定装置の概略構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
１押出成形機
２吐出口
３セラミックグリーンシート（押出成形シート）
４測定光通過穴
５フローティングプレート
６上側レーザセンサ
７下側レーザセンサ
８センサコントローラ
９センサ固定フレーム
１０厚み測定センサ（レーザ厚み測定機）[0001]
[Industrial applications]
The present invention relates to a thickness measuring device and a thickness measuring method, and more particularly, to a thickness measuring device and a thickness for measuring the thickness of a ceramic green sheet having a surface having tackiness and being easily deformed or damaged by external stress. Related to the measurement method.
[0002]
Problems to be solved by the prior art and the invention
For example, a ceramic green sheet containing water immediately after molding has adhesiveness, flexibility and plasticity, and is likely to be deformed or damaged when subjected to external stress. Therefore, it is difficult to accurately measure the thickness of the ceramic green sheet without damaging the ceramic green sheet by the contact method. In addition, if the thickness of the ceramic green sheet is measured by the contact method while being conveyed, the ceramic green sheet may have adhesiveness, and the conveyance state is unstable due to the contact with the thickness measuring device. There is a problem that becomes.
[0003]
Therefore, there is a demand for a method and a device capable of accurately measuring the thickness of the ceramic green sheet by a non-contact method.
[0004]
However, for example, when an attempt is made to measure the thickness of the ceramic green sheet without contacting the ceramic green sheet by an optical method, the relative positional relationship between (the light emitting and receiving part of) the thickness measuring device and the ceramic green sheet is stable. However, when the ceramic green sheet is conveyed to the measurement position, the ceramic green sheet may undulate, bend, or vibrate, causing a relative movement between the thickness measuring device (the light emitting and receiving part) and the ceramic green sheet. However, there is a problem that accurate thickness measurement cannot be performed due to variations in the positional relationship.
[0005]
The present invention solves the above-mentioned problems, and has a tacky surface, and accurately measures the thickness of a ceramic green sheet that is easily deformed or damaged by external stress by a non-contact method. It is an object of the present invention to provide a thickness measuring device and a thickness measuring method capable of performing the measurement.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
To achieve the above object, the thickness measuring device of the present invention (Claim 1), in the thickness measuring apparatus for measuring the thickness of the ceramic green sheet, by irradiating a light beam to the ceramic green sheet, the ceramic green sheets An optical thickness measurement sensor that detects the thickness of the ceramic green sheet without contacting the
At a predetermined position, a measurement light passage hole for passing a light beam from the thickness measurement sensor is formed, and an air outlet for blowing air is formed on an upper surface, and air is blown from the air outlet. Forming an air layer between the ceramic green sheet and a floating plate that passes over the measurement light passage hole in a state where the ceramic green sheet is floated ,
The thickness measurement sensor includes an upper thickness measurement sensor that irradiates a light beam on the upper surface of the ceramic green sheet, and a lower thickness measurement sensor that irradiates a light beam on the lower surface of the ceramic green sheet,
The light beam from the upper thickness measurement sensor is applied to the upper surface of the ceramic green sheet, and the light beam from the lower thickness measurement sensor is applied to the lower surface of the ceramic green sheet via the measurement light passage hole of the floating plate. In addition, the light beam from the upper thickness measurement sensor and the light beam from the lower thickness measurement sensor are configured to irradiate substantially the same position on the upper and lower surfaces of the ceramic green sheet when viewed in a plan view. It is characterized.
[0007]
By blowing air from an air outlet formed on the upper surface of the floating plate, an air layer is formed between the floating plate and the ceramic green sheet. Therefore, the ceramic green sheet supplied on the floating plate is smoothly transported without being deformed or damaged while being lifted from the floating plate. Then, when passing through the measurement light passage hole formed in the floating plate, the light beam from the upper thickness measurement sensor is irradiated on the upper surface of the ceramic green sheet, and the light beam from the lower thickness measurement sensor is irradiated on the floating plate. The lower surface of the ceramic green sheet is irradiated with the light from the upper thickness measurement sensor and the light from the lower thickness measurement sensor when irradiated on the lower surface of the ceramic green sheet through the measurement light passage hole. The thickness of the ceramic green sheet is detected by an optical thickness measuring sensor configured to irradiate the position without contacting the ceramic green sheet.
[0008]
Therefore, the thickness of the ceramic green sheet having a sticky surface and easily deformed or damaged by external stress can be measured with high accuracy without damaging the ceramic green sheet.
[0009]
The thickness measuring apparatus of a ceramic green sheet according to claim 2, wherein the upper thickness measuring sensor and the lower the thickness measurement sensor is arranged so as to sandwich the ceramic green sheets from above and below, and the upper thickness measuring sensor and the lower the side thickness measurement sensor, with which is fixed to the fixed frame, said fixed frame is characterized by being configured to be able to traverse the width direction of the ceramic green sheet.
[0010]
The method for measuring the thickness of a ceramic green sheet according to the present invention (claim 3) is as follows:
Using an upper thickness measurement sensor that irradiates a light beam on the upper surface of the ceramic green sheet, and a non-contact optical thickness measurement sensor including a lower thickness measurement sensor that irradiates a light beam on the lower surface of the ceramic green sheet,
At a predetermined position , a ceramic green sheet is conveyed onto a floating plate provided with a measurement light passage hole through which a light beam from the thickness measurement sensor passes , and air is blown from an air blowout port on an upper surface of the floating plate. With the ceramic green sheet raised,
The light from the upper thickness measurement sensor is irradiated on the upper surface of the ceramic green sheet, and the light from the lower thickness measurement sensor is irradiated on the lower surface of the ceramic green sheet through the measurement light passage hole of the floating plate, The thickness of the ceramic green sheet is measured by irradiating the light from the upper thickness measuring sensor and the light from the lower thickness measuring sensor to substantially the same positions on both the upper and lower surfaces of the ceramic green sheet when viewed in a plan view. And
[0011]
【Example】
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a thickness measuring apparatus according to one embodiment of the present invention.
[0012]
As shown in FIG. 1, the thickness measuring apparatus of this embodiment measures the thickness of an extruded sheet (ceramic green sheet) 3 immediately after being extruded from a discharge port 2 of an extruder 1 in a non-contact manner. It is a measuring device, and uses a laser thickness measuring machine 10 using a laser beam as measuring light as a thickness measuring sensor.
[0013]
First, the configuration of the thickness measuring apparatus of this embodiment will be described. As shown in FIG. 1, a thickness measuring apparatus according to this embodiment includes a floating plate 5 having a substantially square planar shape provided with a laser beam passing hole (measuring light passing hole) 4, and a floating plate 5. An upper laser sensor 6, a lower laser sensor 7, and a sensor controller 8, which are disposed so as to sandwich the ceramic green sheet 3 conveyed horizontally from above and below, are provided. Reference numerals 6 and 7 are fixed to the sensor fixing frame 9.
[0014]
The floating plate 5 has an air chamber inside, and has a large number of air outlets (not shown) formed on the upper surface thereof.
[0015]
Next, the operation of measuring the thickness of an extruded sheet (ceramic green sheet) using the thickness measuring apparatus of the above embodiment will be described.
[0016]
First, when the ceramic green sheet 3 is extruded from the discharge port 2 of the extruder 1 and is conveyed onto the floating plate 5 disposed near the discharge port 2, the air is blown from the air outlet on the upper surface of the floating plate 5. Due to the floating effect of the blown air, the ceramic green sheet 3 runs smoothly without being deformed on the floating plate 5 in a state of being lifted from the surface of the floating plate 5.
[0017]
Then, when passing through the hole (measurement light passage hole) 4 for passing the laser beam of the floating plate 5, the thickness of the ceramic green sheet 3 is detected by the upper and lower laser sensors 6 and 7. In the case of the thickness measuring device of this embodiment, the laser beam from the lower laser sensor 7 and its reflected light pass through the measurement light passage hole 4.
[0018]
In this way, the ceramic green sheet 3 is conveyed while being floated by the floating plate 5, and its thickness is measured by the non-contact type laser thickness measuring device 10, whereby the ceramic green sheet 3 has adhesiveness, flexibility and plasticity. And the thickness of the ceramic green sheet 3 that is easily deformed or damaged can be accurately measured.
[0019]
In the above embodiment, the case where the laser thickness measuring device is used as the non-contact type thickness measuring sensor has been described. However, the non-contact type thickness measuring means is not limited to this, and various other optical measuring devices may be used. It is possible to use a typical thickness measurement sensor.
[0020]
Further, for example, by appropriately selecting a model of a thickness measuring sensor such as a laser thickness measuring machine, the thickness of the ceramic green sheet can be measured with a high measuring accuracy of, for example, within ± 10 μm.
[0021]
In the above-described embodiment, the case where the floating plate 5 in which the shape (planar shape) of the measurement light passage hole 4 is substantially square is used, but the shape of the measurement light passage hole is not limited to this. Instead, other various shapes such as a circle are possible.
[0022]
Further, for example, the measurement light passage hole is formed in a slit shape having a length in the width direction of the ceramic green sheet 3, and the sensor fixing frame 9 to which the upper and lower laser sensors 6 and 7 are fixed is attached to the ceramic green sheet 3. It is also possible to configure so that the thickness of each part of the ceramic green sheet 3 in the width direction can be measured by traversing in the width direction.
[0023]
Further, the thickness measuring apparatus of the above embodiment can be configured to control the thickness of the ceramic green sheet by feeding back the measurement result of the sheet thickness to the element part of the extruder.
[0024]
The present invention is not limited to the above embodiment in other respects, and various applications and modifications may be made within the scope of the present invention with respect to the specific configuration of the details of the floating plate. It is possible.
[0025]
【The invention's effect】
As described above, the ceramic green sheet thickness measuring apparatus of the present invention (claim 1) blows air from the air outlet of the floating plate to form an air layer between the ceramic green sheet and the ceramic green sheet. The sheet is conveyed in a state of being lifted from the surface of the floating plate, and when the ceramic green sheet passes over the measurement light passage hole, a light beam from the upper thickness measurement sensor is irradiated on the upper surface of the ceramic green sheet, and the lower side is irradiated. The light from the thickness measurement sensor is irradiated to the lower surface of the ceramic green sheet through the measurement light passage hole of the floating plate, and the light from the upper thickness measurement sensor and the light from the lower thickness measurement sensor are viewed in plan. In the case, it is irradiated to almost the same position on both the upper and lower surfaces of the ceramic green sheet Since to detect the thickness of the ceramic green sheet by an optical thickness measuring sensor configured urchin, surface tacky, the stress by the deformation or damage susceptible thickness of the ceramic green sheets from the outside The measurement can be performed with high accuracy without damaging the ceramic green sheet.
[0026]
In addition, since the thickness of the ceramic green sheet during transportation (running) can be continuously and accurately measured, it is effective for, for example, analyzing the cause of the thickness variation in the ceramic green sheet forming process, which was conventionally difficult to analyze. Can be used.
[0027]
Further, since the thickness of the ceramic green sheet can be quickly measured, for example, the thickness of the ceramic green sheet immediately after extrusion molding is measured by the thickness measuring device of the present invention, and the result is fed back to the extrusion molding machine. In addition, it is possible to improve the non-defective product rate with respect to the sheet thickness.
[0028]
Further, as in the ceramic green sheet thickness measuring apparatus according to claim 2, a fixed frame fixing the upper thickness measuring sensor and the lower thickness measuring sensor disposed so as to sandwich the ceramic green sheet from above and below is provided. When the traverse is performed in the width direction of the ceramic green sheet, the thickness of each part in the width direction of the ceramic green sheet can be measured, and the present invention can be made more effective.
[0029]
Further, as in the method for measuring the thickness of the ceramic green sheet of the present invention (claim 3), the ceramic green sheet is conveyed onto the floating plate, and the ceramic green sheet is lifted by the air blown out from the air outlet. In the state, the light beam from the upper thickness measurement sensor is irradiated on the upper surface of the ceramic green sheet, and the light beam from the lower thickness measurement sensor is irradiated on the lower surface of the ceramic green sheet through the measurement light passage hole of the floating plate. A non-contact optical thickness configured so that the light beam from the upper thickness measurement sensor and the light beam from the lower thickness measurement sensor irradiate substantially the same position on both upper and lower surfaces of the ceramic green sheet when viewed in a plan view. By measuring the thickness of the ceramic green sheet with a measurement sensor, Stress by the deformation or damage susceptible thickness of the ceramic green sheets from the parts, without damaging the ceramic green sheet, it is possible to measure with high accuracy.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a thickness measuring apparatus according to one embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Extruder 2 Discharge port 3 Ceramic green sheet (extruded sheet)
4 Measurement light passage hole 5 Floating plate 6 Upper laser sensor 7 Lower laser sensor 8 Sensor controller 9 Sensor fixing frame 10 Thickness measuring sensor (laser thickness measuring machine)

Claims

In a thickness measuring device for measuring the thickness of the ceramic green sheet,
By irradiating the ceramic green sheet with a light beam, an optical thickness measurement sensor that detects the thickness of the ceramic green sheet without contacting the ceramic green sheet,
At a predetermined position, a measurement light passage hole for passing a light beam from the thickness measurement sensor is formed, and an air outlet for blowing air is formed on an upper surface, and the air is blown from the air outlet. Forming an air layer between the ceramic green sheet and a floating plate that passes over the measurement light passage hole in a state where the ceramic green sheet is floated ,
The thickness measurement sensor includes an upper thickness measurement sensor that irradiates a light beam on the upper surface of the ceramic green sheet, and a lower thickness measurement sensor that irradiates a light beam on the lower surface of the ceramic green sheet,
The light beam from the upper thickness measurement sensor is applied to the upper surface of the ceramic green sheet, and the light beam from the lower thickness measurement sensor is applied to the lower surface of the ceramic green sheet via the measurement light passage hole of the floating plate. In addition, the light beam from the upper thickness measurement sensor and the light beam from the lower thickness measurement sensor are configured to irradiate substantially the same position on the upper and lower surfaces of the ceramic green sheet when viewed in a plan view. An apparatus for measuring the thickness of a ceramic green sheet.

The upper thickness measurement sensor and the lower thickness measurement sensor are disposed so as to sandwich the ceramic green sheet from above and below , and the upper thickness measurement sensor and the lower thickness measurement sensor are respectively fixed to a fixed frame . The ceramic green sheet thickness measuring apparatus according to claim 1 , wherein the fixed frame is configured to be able to traverse in a width direction of the ceramic green sheet.

Using an upper thickness measurement sensor that irradiates a light beam on the upper surface of the ceramic green sheet, and a non-contact optical thickness measurement sensor including a lower thickness measurement sensor that irradiates a light beam on the lower surface of the ceramic green sheet,
At a predetermined position , a ceramic green sheet is conveyed onto a floating plate provided with a measurement light passage hole through which a light beam from the thickness measurement sensor passes , and air is blown from an air blowout port on an upper surface of the floating plate. With the ceramic green sheet raised,
The light from the upper thickness measurement sensor is irradiated on the upper surface of the ceramic green sheet, and the light from the lower thickness measurement sensor is irradiated on the lower surface of the ceramic green sheet through the measurement light passage hole of the floating plate, The thickness of the ceramic green sheet is measured by irradiating the light from the upper thickness measuring sensor and the light from the lower thickness measuring sensor to substantially the same positions on both the upper and lower surfaces of the ceramic green sheet when viewed in a plan view. Method for measuring the thickness of a ceramic green sheet.