JP3533763B2 - マルチワイヤソー用治具 - Google Patents
マルチワイヤソー用治具Info
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- JP3533763B2 JP3533763B2 JP15281595A JP15281595A JP3533763B2 JP 3533763 B2 JP3533763 B2 JP 3533763B2 JP 15281595 A JP15281595 A JP 15281595A JP 15281595 A JP15281595 A JP 15281595A JP 3533763 B2 JP3533763 B2 JP 3533763B2
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- sticking
- crystal
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はマルチワイヤソー用治具
に関し、切断する水晶板の位置決めの再現性にバラツキ
が生じないようにしたものである。
に関し、切断する水晶板の位置決めの再現性にバラツキ
が生じないようにしたものである。
【０００２】
【従来の技術】水晶振動子に用いる水晶片を水晶板の切
断によって切り出すにはマルチワイヤソーが用いられ
る。水晶片は、結晶軸に対して所定の角度をなす目標線
に沿って切断すると温度の変動に対して安定した周波数
を保持することから、結晶軸に対する目標線の角度をい
かにして正確に設定するかが重要なポイントとなる。
断によって切り出すにはマルチワイヤソーが用いられ
る。水晶片は、結晶軸に対して所定の角度をなす目標線
に沿って切断すると温度の変動に対して安定した周波数
を保持することから、結晶軸に対する目標線の角度をい
かにして正確に設定するかが重要なポイントとなる。
【０００３】マルチワイヤソーと従来のマルチワイヤソ
ー用治具の構造を図４に示す。マルチワイヤソー１は、
外周面にらせん状の溝を形成するとともに相互に離して
配置した一対のガイドローラ３と、一対のガイドローラ
３の一端側から他端側まで溝に沿って巻回されるととも
にその上方の図示しないローラによって反転されるエン
ドレスのワイヤ４と、一対のガイドローラ３を同一の方
向へ正転又は逆転させる図示しないモータとで構成され
る。
ー用治具の構造を図４に示す。マルチワイヤソー１は、
外周面にらせん状の溝を形成するとともに相互に離して
配置した一対のガイドローラ３と、一対のガイドローラ
３の一端側から他端側まで溝に沿って巻回されるととも
にその上方の図示しないローラによって反転されるエン
ドレスのワイヤ４と、一対のガイドローラ３を同一の方
向へ正転又は逆転させる図示しないモータとで構成され
る。
【０００４】一方、マルチワイヤソー１による切断の際
に用いるマルチワイヤソー用治具２は以下のような構成
になっている。昇降可能な取付台５の上に、貼り付け鉄
板６が取り付けられ、貼り付け鉄板６上に切断するため
の水晶板７が接着剤を介して貼着される。ここで、取付
台５への貼り付け鉄板６の取り付けは図５のようになっ
ている。即ち、取付台５上に植設された一対の位置決め
ピン８を設ける一方、取付台５と一体の支柱９に一対の
ボルト１０をねじ込み、浮き上がり防止金具１１を介し
て押圧するボルト１０と位置決めピン８で挾持すること
によって取付台５上に貼り付け鉄板６を固定している。
に用いるマルチワイヤソー用治具２は以下のような構成
になっている。昇降可能な取付台５の上に、貼り付け鉄
板６が取り付けられ、貼り付け鉄板６上に切断するため
の水晶板７が接着剤を介して貼着される。ここで、取付
台５への貼り付け鉄板６の取り付けは図５のようになっ
ている。即ち、取付台５上に植設された一対の位置決め
ピン８を設ける一方、取付台５と一体の支柱９に一対の
ボルト１０をねじ込み、浮き上がり防止金具１１を介し
て押圧するボルト１０と位置決めピン８で挾持すること
によって取付台５上に貼り付け鉄板６を固定している。
【０００５】水晶板の切断を行うには、図示しないＸ線
カット面検査機を用いて水晶板７の結晶軸に対して所定
の角度をなす目標線を、ワイヤ４の方向に平行な貼り付
け金具６上の基準線に一致させた状態で、水晶板７を貼
り付け金具６上に接着剤で接着する。このときの目標線
と基準線との角度の誤差は±４秒以内である（１度は６
０分、１分は６０秒）。
カット面検査機を用いて水晶板７の結晶軸に対して所定
の角度をなす目標線を、ワイヤ４の方向に平行な貼り付
け金具６上の基準線に一致させた状態で、水晶板７を貼
り付け金具６上に接着剤で接着する。このときの目標線
と基準線との角度の誤差は±４秒以内である（１度は６
０分、１分は６０秒）。
【０００６】このようにして水晶板７の貼着が終わった
ら貼り付け金具６を取付台５上にボルト１０を介して取
り付け、取付台５を上昇させながら一対のガイドローラ
３を同一方向へ回転させる。すると、一対のガイドロー
ラ３間では夫々のワイヤ４が同一方向へ夫々走行し、図
示しない研磨液がワイヤ４と水晶板７との間へ供給され
ることから、水晶板７は複数の水晶片に切断される。最
後に、熱を加えて水晶片を貼り付け金具６から取り外
す。
ら貼り付け金具６を取付台５上にボルト１０を介して取
り付け、取付台５を上昇させながら一対のガイドローラ
３を同一方向へ回転させる。すると、一対のガイドロー
ラ３間では夫々のワイヤ４が同一方向へ夫々走行し、図
示しない研磨液がワイヤ４と水晶板７との間へ供給され
ることから、水晶板７は複数の水晶片に切断される。最
後に、熱を加えて水晶片を貼り付け金具６から取り外
す。
【０００７】ガイドローラ３の溝が摩耗するとガイドロ
ーラ３を交換することになるが、ガイドローラ３の取付
精度及び溝の加工精度の違いにより交換する前後でワイ
ヤの位置ズレが生じ、水晶板を目標線に沿って正確に切
断できなくなる。このため、ガイドローラ３を交換した
ら試し切断を行って切断した水晶片の切断線と目標線と
のなす角度を測定し目標線と切断線との差を補正した状
態で水晶板を貼り付け鉄板に貼り付け、ワイヤと目標線
との方向を合致させている。
ーラ３を交換することになるが、ガイドローラ３の取付
精度及び溝の加工精度の違いにより交換する前後でワイ
ヤの位置ズレが生じ、水晶板を目標線に沿って正確に切
断できなくなる。このため、ガイドローラ３を交換した
ら試し切断を行って切断した水晶片の切断線と目標線と
のなす角度を測定し目標線と切断線との差を補正した状
態で水晶板を貼り付け鉄板に貼り付け、ワイヤと目標線
との方向を合致させている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところが、取付台５へ
の貼り付け鉄板６の着脱を頻繁に行うため、位置決めピ
ン８と貼り付け鉄板６との接触する部分に摩耗や変形が
生じ、ボルト１０による押圧力で位置決めピン８に曲げ
モーメントが加わって位置決めピン８が撓み、ボルト１
０の押圧力により位置決めピン８と貼り付け鉄板６との
間に接触応力が生じて両者の接触面が撓む等の原因によ
り貼り付け鉄板６の位置決めの再現性が得られず、目標
線に対して切断線が許容値±１５秒よりも大きくずれて
ばらつきが大きくなる。
の貼り付け鉄板６の着脱を頻繁に行うため、位置決めピ
ン８と貼り付け鉄板６との接触する部分に摩耗や変形が
生じ、ボルト１０による押圧力で位置決めピン８に曲げ
モーメントが加わって位置決めピン８が撓み、ボルト１
０の押圧力により位置決めピン８と貼り付け鉄板６との
間に接触応力が生じて両者の接触面が撓む等の原因によ
り貼り付け鉄板６の位置決めの再現性が得られず、目標
線に対して切断線が許容値±１５秒よりも大きくずれて
ばらつきが大きくなる。
【０００９】そこで本発明は、斯る課題を解決したマル
チワイヤソー用治具を提供することを目的とする。
チワイヤソー用治具を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】斯る目的を達成するため
の本発明の構成は、複数本のワイヤが同一水平面上に同
一間隔で平行に配置された状態のマルチワイヤソーの下
方に設置されるマルチワイヤソー用治具であって、昇降
可能かつ鉛直軸を中心として回動可能な取付台の上に、
ピンと当該ピンが嵌合する嵌合孔とを介して位置決めさ
れる貼着台を設け、取付台の上面には凹部を形成すると
ともに当該凹部には貼着台を吸着するためのマグネット
チャックを収容し、貼着台における水平方向での相互に
離れた位置には一対の角度基準面を形成する一方、夫々
の角度基準面と対向する位置には距離センサを固定した
ことを特徴とし、あるいは前記距離センサとして渦電流
式変位センサを用いたことを特徴とする。
の本発明の構成は、複数本のワイヤが同一水平面上に同
一間隔で平行に配置された状態のマルチワイヤソーの下
方に設置されるマルチワイヤソー用治具であって、昇降
可能かつ鉛直軸を中心として回動可能な取付台の上に、
ピンと当該ピンが嵌合する嵌合孔とを介して位置決めさ
れる貼着台を設け、取付台の上面には凹部を形成すると
ともに当該凹部には貼着台を吸着するためのマグネット
チャックを収容し、貼着台における水平方向での相互に
離れた位置には一対の角度基準面を形成する一方、夫々
の角度基準面と対向する位置には距離センサを固定した
ことを特徴とし、あるいは前記距離センサとして渦電流
式変位センサを用いたことを特徴とする。
【００１１】
【作用】取付台と貼着台との位置決めはピンを嵌合孔へ
嵌合することによって行い、取付台への貼着台の着脱は
マグネットチャックの励磁又は解除によって行う。固定
空間に対する貼着台の最終的な位置決めは、貼着台にお
ける一対の角度基準面と一対の距離センサとの距離が同
一になるように、鉛直軸を中心として取付台を回動させ
て行う。
嵌合することによって行い、取付台への貼着台の着脱は
マグネットチャックの励磁又は解除によって行う。固定
空間に対する貼着台の最終的な位置決めは、貼着台にお
ける一対の角度基準面と一対の距離センサとの距離が同
一になるように、鉛直軸を中心として取付台を回動させ
て行う。
【００１２】
【実施例】以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて
詳細に説明する。
詳細に説明する。
【００１３】本発明によるマルチワイヤソー用治具の構
成を、図１（ａ），（ｂ）に示す。図示しない駆動手段
により昇降駆動される昇降軸１３がマルチワイヤソー１
の真下に設けられている。そして、昇降軸１３の上端に
形成した小径部１３ａを中央孔１４ａに嵌合した状態
で、ボルト１５により昇降台１４が昇降軸１３に結合さ
れている。また、固定部１６ａと鉛直軸を中心として回
動する回動部１６ｂとからなる回転テーブル１６がボル
ト１２を介して昇降台１４に結合されている。
成を、図１（ａ），（ｂ）に示す。図示しない駆動手段
により昇降駆動される昇降軸１３がマルチワイヤソー１
の真下に設けられている。そして、昇降軸１３の上端に
形成した小径部１３ａを中央孔１４ａに嵌合した状態
で、ボルト１５により昇降台１４が昇降軸１３に結合さ
れている。また、固定部１６ａと鉛直軸を中心として回
動する回動部１６ｂとからなる回転テーブル１６がボル
ト１２を介して昇降台１４に結合されている。
【００１４】回転テーブル１６の回動部１６ｂには、図
示しないボルトを介して取付台１７が取り付けられてい
る。取付台１７における上面の２ケ所には上方へ向かっ
て突出する一対のピン１８が設けられる一方、取付台１
７上に取り付ける貼着台１９には嵌合孔２０が形成さ
れ、ピン１８が嵌合孔２０内に嵌合されて取付台１７に
対する貼着台１９の位置決めがなされている。そして、
取付台１７に貼着台１９を結合するために、取付台１７
の上面中央に凹部１７ａが形成され、取付孔１７ｂに挿
入した図示しないボルトを介して逆磁回路を有するマグ
ネットチャック２１が凹部１７ａ内に固定されている。
貼着台１９の中央部は上方へ向かって突出して突出部１
９ａを形成しており、突出部１９ａの上面に水晶板２２
を貼着する設定になっている。
示しないボルトを介して取付台１７が取り付けられてい
る。取付台１７における上面の２ケ所には上方へ向かっ
て突出する一対のピン１８が設けられる一方、取付台１
７上に取り付ける貼着台１９には嵌合孔２０が形成さ
れ、ピン１８が嵌合孔２０内に嵌合されて取付台１７に
対する貼着台１９の位置決めがなされている。そして、
取付台１７に貼着台１９を結合するために、取付台１７
の上面中央に凹部１７ａが形成され、取付孔１７ｂに挿
入した図示しないボルトを介して逆磁回路を有するマグ
ネットチャック２１が凹部１７ａ内に固定されている。
貼着台１９の中央部は上方へ向かって突出して突出部１
９ａを形成しており、突出部１９ａの上面に水晶板２２
を貼着する設定になっている。
【００１５】回転テーブル１６の回動軸に対する貼着台
１９の回動角度を設定するために、回動軸からの距離が
等しい位置に鉛直面としての角度基準面２３，２４が形
成される一方、床面に固定されたフレーム２５には、角
度基準面２３，２４と対向する位置に距離センサとして
の渦電流式変位センサ２６，２７が支持部材２８，２９
を介して取り付けられている。図２に示すように渦電流
式変位センサ２６，２７はアンプ３０，３１及びコント
ローラ３２を介して表示部３３に接続されている。
１９の回動角度を設定するために、回動軸からの距離が
等しい位置に鉛直面としての角度基準面２３，２４が形
成される一方、床面に固定されたフレーム２５には、角
度基準面２３，２４と対向する位置に距離センサとして
の渦電流式変位センサ２６，２７が支持部材２８，２９
を介して取り付けられている。図２に示すように渦電流
式変位センサ２６，２７はアンプ３０，３１及びコント
ローラ３２を介して表示部３３に接続されている。
【００１６】なお、図１（ａ）において３４はケーブル
取出口、３５はワイヤ４と水晶板２２との間へ研磨液を
供給するための研磨液供給管である。
取出口、３５はワイヤ４と水晶板２２との間へ研磨液を
供給するための研磨液供給管である。
【００１７】次に、斯かるマルチワイヤソー用治具の作
用を説明する。水晶板２２の貼着台１９への接着は従来
と同様にして行う。水晶板２２が貼着された貼着台１９
の取付台１７への取り付けは、一対の位置決めピン１８
を嵌合孔２０内に嵌合した状態で貼着台１９を取付台１
７上に載せたのちに、マグネットチャック２１を励磁し
て行う。貼着台１９上の一対の角度基準面２３，２４と
一対の渦電流変位センサ２６，２７との距離が等しい状
態で貼着台１９上の基準線とワイヤ４との方向が一致す
るように設定されているので、貼着台１９に対する水晶
板２２の貼着が正確に行われれば目標線とワイヤ４の方
向とが一致する。このあとは、従来と同様にして水晶板
２２の切断が行われる。
用を説明する。水晶板２２の貼着台１９への接着は従来
と同様にして行う。水晶板２２が貼着された貼着台１９
の取付台１７への取り付けは、一対の位置決めピン１８
を嵌合孔２０内に嵌合した状態で貼着台１９を取付台１
７上に載せたのちに、マグネットチャック２１を励磁し
て行う。貼着台１９上の一対の角度基準面２３，２４と
一対の渦電流変位センサ２６，２７との距離が等しい状
態で貼着台１９上の基準線とワイヤ４との方向が一致す
るように設定されているので、貼着台１９に対する水晶
板２２の貼着が正確に行われれば目標線とワイヤ４の方
向とが一致する。このあとは、従来と同様にして水晶板
２２の切断が行われる。
【００１８】ガイドローラ３の溝の摩耗によりガイドロ
ーラ３を交換してワイヤ４の位置が変わってしまった場
合は、以下のようにして補正を行う。補正は、試し切断
と、貼着台１９への水晶板２２の角度修正貼り付けと、
本切断とによって行われる。
ーラ３を交換してワイヤ４の位置が変わってしまった場
合は、以下のようにして補正を行う。補正は、試し切断
と、貼着台１９への水晶板２２の角度修正貼り付けと、
本切断とによって行われる。
【００１９】まず、試し切断を行うために、図３（ａ）
に示すように水晶板２２の目標線３６と角度基準面２
３，２４とが平行になるように前述したＸ線カット面検
査機を用いて水晶板２２を貼着台１９に貼り付ける。こ
のとき、図３（ａ）に示すようにワイヤ４と目標線３６
との方向には角度θのズレが生じていることになる。そ
して、この貼着台１９を前述のようにして取付台１７に
取り付けたのちに角度基準面２３，２４と渦電流式変位
センサ２６，２７との距離Ｓ1，Ｔ1を測定し、「Ｓ1−
Ｔ1」の値が「０」となるように回転テーブル１６の回
動部１６ｂを回動させる。そして、図２の表示部３３に
Ｓ1−Ｔ1の値が「０」と表示されたらその位置をコント
ローラ３２に記憶させておく。そして、この位置で、水
晶板２２の試し切断を行う。
に示すように水晶板２２の目標線３６と角度基準面２
３，２４とが平行になるように前述したＸ線カット面検
査機を用いて水晶板２２を貼着台１９に貼り付ける。こ
のとき、図３（ａ）に示すようにワイヤ４と目標線３６
との方向には角度θのズレが生じていることになる。そ
して、この貼着台１９を前述のようにして取付台１７に
取り付けたのちに角度基準面２３，２４と渦電流式変位
センサ２６，２７との距離Ｓ1，Ｔ1を測定し、「Ｓ1−
Ｔ1」の値が「０」となるように回転テーブル１６の回
動部１６ｂを回動させる。そして、図２の表示部３３に
Ｓ1−Ｔ1の値が「０」と表示されたらその位置をコント
ローラ３２に記憶させておく。そして、この位置で、水
晶板２２の試し切断を行う。
【００２０】次に、水晶板２２の角度補正貼り付けにつ
いて説明する。試し切断された水晶片における現実の切
断線と目標線との角度のズレを測定し、図３（ｂ）に示
すように角度差とその角度差を有する水晶片の数（度
数）から平均的な角度差（θ）を求める。次に、図３
（ｃ）に示すように角度基準面２３，２４に対して目標
線３６を反時計方向へθだけ回動させる補正をすること
により目標線３６とワイヤ４とを平行にして、水晶板２
２を貼着台１９上に貼着する。
いて説明する。試し切断された水晶片における現実の切
断線と目標線との角度のズレを測定し、図３（ｂ）に示
すように角度差とその角度差を有する水晶片の数（度
数）から平均的な角度差（θ）を求める。次に、図３
（ｃ）に示すように角度基準面２３，２４に対して目標
線３６を反時計方向へθだけ回動させる補正をすること
により目標線３６とワイヤ４とを平行にして、水晶板２
２を貼着台１９上に貼着する。
【００２１】最後に、水晶板２２の本切断を行う。水晶
板２２を補正して貼着した貼着台１９を前述のようにし
て取付台１７に取り付ける。その後、図３（ｃ）に示す
ように渦電流式変位センサ２６，２７と角度基準面２
３，２４との距離Ｓ2，Ｔ2を再び測定し、「Ｓ2−Ｔ2＝
０」となるように回転テーブル１６の回動部１６ｂを回
動させ、「Ｓ2−Ｔ2＝０」の位置で回転テーブル１６を
止めると、試し切断時の角度基準面と本切断時の角度基
準面とが平行になる。このように試し切断時から本切断
時までの間に回転テーブル１６自体は回動させていない
のに再び「Ｓ2−Ｔ2＝０」となるように設定するのは、
貼着台１９を取付台１７上に取り付ける際に多少の衝撃
によって角度変化を生じることがあり、また、水晶板の
切断は１度の１／３６００である１秒単位までの高精度
が要求されるからである。このようにして水晶板２２の
切断を行うと、結晶軸と所定の角度をなす目標線と切断
線とが一致する。
板２２を補正して貼着した貼着台１９を前述のようにし
て取付台１７に取り付ける。その後、図３（ｃ）に示す
ように渦電流式変位センサ２６，２７と角度基準面２
３，２４との距離Ｓ2，Ｔ2を再び測定し、「Ｓ2−Ｔ2＝
０」となるように回転テーブル１６の回動部１６ｂを回
動させ、「Ｓ2−Ｔ2＝０」の位置で回転テーブル１６を
止めると、試し切断時の角度基準面と本切断時の角度基
準面とが平行になる。このように試し切断時から本切断
時までの間に回転テーブル１６自体は回動させていない
のに再び「Ｓ2−Ｔ2＝０」となるように設定するのは、
貼着台１９を取付台１７上に取り付ける際に多少の衝撃
によって角度変化を生じることがあり、また、水晶板の
切断は１度の１／３６００である１秒単位までの高精度
が要求されるからである。このようにして水晶板２２の
切断を行うと、結晶軸と所定の角度をなす目標線と切断
線とが一致する。
【００２２】なお、本実施例では取付台に位置決めピン
を設けて貼着台に嵌合孔を形成したが、ピンと嵌合孔と
を形成する部材を逆にしてもよい。
を設けて貼着台に嵌合孔を形成したが、ピンと嵌合孔と
を形成する部材を逆にしてもよい。
【００２３】
【発明の効果】以上の説明からわかるように、請求項１
によるマルチワイヤソー用治具によれば取付台と貼着台
との結合にマグネットチャックを用いておりその吸引力
がピンの軸方向に作用するので、貼着台やピンに応力が
加わらず、従来と異なって貼着台の表面に押圧力が加わ
らないことから貼着台等の摩耗や変形が生じない。従っ
て、取付台に対する貼着台の位置決めが高精度に行われ
る。そしてマグネットチャックに逆磁回路を付加すれば
貼着台の取り外しもワンタッチで容易に行える。また、
一対の角度基準面及び一対の距離センサと鉛直軸を中心
として回動可能な取付台とを組み合わせて貼着台の鉛直
軸まわりの位置決めを高精度で再現するので、目標線と
ワイヤとを平行にして水晶片の切断線を適正な方向に設
定することができる。更に、マグネットチャックの使用
により、従来と異なって貼着台の浮き上がりが生じず、
作業者が異なっても一定の力で貼着台を取付台に固定で
きる。
によるマルチワイヤソー用治具によれば取付台と貼着台
との結合にマグネットチャックを用いておりその吸引力
がピンの軸方向に作用するので、貼着台やピンに応力が
加わらず、従来と異なって貼着台の表面に押圧力が加わ
らないことから貼着台等の摩耗や変形が生じない。従っ
て、取付台に対する貼着台の位置決めが高精度に行われ
る。そしてマグネットチャックに逆磁回路を付加すれば
貼着台の取り外しもワンタッチで容易に行える。また、
一対の角度基準面及び一対の距離センサと鉛直軸を中心
として回動可能な取付台とを組み合わせて貼着台の鉛直
軸まわりの位置決めを高精度で再現するので、目標線と
ワイヤとを平行にして水晶片の切断線を適正な方向に設
定することができる。更に、マグネットチャックの使用
により、従来と異なって貼着台の浮き上がりが生じず、
作業者が異なっても一定の力で貼着台を取付台に固定で
きる。
【００２４】請求項２に係るマルチワイヤソー用治具に
よれば、距離センサとして渦電流式変位センサを用いる
ので、レーザ変位計，超音波変位センサ，接触式センサ
等を用いた場合は研磨液等の雰囲気下では高精度の距離
測定が困難であったが、非接触で電気的にサブミクロン
オーダーの距離測定が可能であり、高精度の位置決めが
可能である。
よれば、距離センサとして渦電流式変位センサを用いる
ので、レーザ変位計，超音波変位センサ，接触式センサ
等を用いた場合は研磨液等の雰囲気下では高精度の距離
測定が困難であったが、非接触で電気的にサブミクロン
オーダーの距離測定が可能であり、高精度の位置決めが
可能である。
【図１】本発明によるマルチワイヤソー用治具の実施例
に係り、（ａ）は正面図、（ｂ）は右側面図。
に係り、（ａ）は正面図、（ｂ）は右側面図。
【図２】本発明によるマルチワイヤソー用治具の要部を
示す斜視図。
示す斜視図。
【図３】本発明によるマルチワイヤソー用治具の作用説
明図。
明図。
【図４】従来のマルチワイヤソー用治具の斜視図。
【図５】従来のマルチワイヤソー用治具の作用説明図。
１…マルチワイヤソー
２…マルチワイヤソー用治具
４…ワイヤ
１４…昇降台
１６…回転テーブル
１７…取付台
１８…位置決めピン
１９…貼着台
２０…嵌合孔
２１…マグネットチャック
２２…水晶板
２３，２４…角度基準面
２６，２７…渦電流式変位センサ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B28D 7/04
B28D 5/04
Claims (2)
- 【請求項１】 複数本のワイヤが同一水平面上に同一間
隔で平行に配置された状態のマルチワイヤソーの下方に
設置されるマルチワイヤソー用治具であって、 昇降可能かつ鉛直軸を中心として回動可能な取付台の上
に、ピンと当該ピンが嵌合する嵌合孔とを介して位置決
めされる貼着台を設け、取付台の上面には凹部を形成す
るとともに当該凹部には貼着台を吸着するためのマグネ
ットチャックを収容し、貼着台における水平方向での相
互に離れた位置には一対の角度基準面を形成する一方、
夫々の角度基準面と対向する位置には距離センサを固定
したことを特徴とするマルチワイヤソー用治具。 - 【請求項２】 前記距離センサとして渦電流式変位セン
サを用いた請求項１に記載のマルチワイヤソー用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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