JP3528441B2 - パルスハイトアナライザー - Google Patents

パルスハイトアナライザー

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JP3528441B2 JP19203096A JP19203096A JP3528441B2 JP 3528441 B2 JP3528441 B2 JP 3528441B2 JP 19203096 A JP19203096 A JP 19203096A JP 19203096 A JP19203096 A JP 19203096A JP 3528441 B2 JP3528441 B2 JP 3528441B2
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Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波誘導プラズ
マを利用して試料中の元素を分析する発光分光分析計な
どに装着され、ピーク値を検出したとき時間情報も一緒
に取り込むようにしたパルスハイトアナライザーに関
し、更に詳しくは、元素によって異なる発光スペクトル
の形状を考慮したパルスハイトアナライザーに関する。 【0002】 【従来の技術】図3はパルスハイトアナライザーの従来
例を示す構成回路図であり、図中、1は第1チャンネル
用の信号S1 を受け該信号のピークを捕える第1チャン
ネル用判断部、2は第2チャンネル用の信号S2 を受け
該信号のピークを捕える第2チャンネル用判断部、3は
第3チャンネル用の信号S3 を受け該信号のピークを捕
える第3チャンネル用判断部、4は第4チャンネル用の
信号S4 を受け該信号のピークを捕える第4チャンネル
用判断部、5は第1〜第4チャンネル用判断部1〜4に
クロック信号を送出するサンプリングクロック、6は第
1〜第4チャンネル用判断部1〜4の出力を受けピーク
と時間情報のデータを編集して図示しないモニターなど
に転送する例えばマイクロプロセッサでなるデータ編成
部である。 【0003】尚、第1〜第4チャンネル用判断部1〜4
は、サンプリングクロック5から送出されたクロック信
号を受けて各チャンネル用信号S1 〜S4 を取り込むよ
うになっている。 【0004】図4は上記パルスハイトアナライザーの従
来の動作を説明するためのフローチャートである。以
下、図3と図4を用いて動作について説明する。最初、
測定スタート指令が発せられる(図4の101)と、第
1〜第4チャンネル用判断部1〜4の内部カウンターが
クリアにされる(図4の102)。その後、第1〜第4
チャンネル用判断部1〜4にサンプリングクロック5か
らサンプルクロックが入力されているか否か判断される
(図4の103)。 【0005】第1〜第4チャンネル用判断部1〜4にサ
ンプリングクロック5からサンプルクロックが入力され
ていないと判断された場合には、入力されるまで待つ。 【0006】また、第1〜第4チャンネル用判断部1〜
4にサンプリングクロック5からサンプルクロックが入
力されていると判断された場合には、内部カウンターを
インクリメント(図4の104)し、例えばn=iをn
=i+1にする。 【0007】その後、第1チャンネル用S1 を読み込み
(図4の105)、ピークか否かが判断される(図4の
106)。ピークであると判断した場合には、内部カウ
ント(即ち、時間情報)とピークデータを内部メモリに
記憶し(図4の107)、その後、測定が終了したか否
かが判断される(図4の108)。また、ピークではな
いと判断した場合には、即座に、測定が終了したか否か
が判断される(図4の108)。測定が終了していない
と判断された場合には、再び第1〜第4チャンネル用判
断部1〜4にサンプリングクロック5からサンプルクロ
ックが入力されているか否か判断され(図4の10
3)、図4の103〜108の動作が繰り返される。 【0008】また、測定が終了したと判断された場合に
は、第1〜第4チャンネル用判断部1〜4の各内部メモ
リから読み出しが行われ、時間の早い順にピークデータ
と一緒に図示しないモニターなどに転送される。 【0009】 【発明が解決しようとする課題】ところで、マイクロ波
誘導プラズマを利用して試料中の元素を発光させ、その
発光スペクトルのピークを検出する場合、元素によって
は複数のピークを有するものがある。図5はマイクロ波
誘導プラズマを利用して各元素を発光させた場合の発光
スペクトルの形状を示すもので、はSi,Fe、は
Pb,Zn、はC,S、はAIのスペクトルであ
る。 【0010】図から分かるようにSi,Feの場合は1
msec程度の間にきれいなピークが現れ、Pb,Zn
の場合は数〜10数msecの間にスソを引くピークが
現れる。また、C,Sの場合は数〜10数msecの間
にコブ付きのピークが現れ、AIの場合はピークに引き
続いて薄いコブが現れる。このように一つの元素で複数
のピークを有するものでは、2つのピークを転送するこ
ととなり、正確な元素の検出が出来ないという問題があ
った。 【0011】図6は転送すべきピークAの他にデータと
して転送しないピークBをもつ元素の形状を示すもの
で、このような2つ若しくはそれ以上のピークを有する
元素の対策としては、ピークAを検出した後、データが
ノイズレベルに落ちる(Tで示す時間)までデータを転
送しない方法が考えられる(なお、図に示す縦線はサン
プリング周期を示すもので、例えば130μsec程度
である)。しかしこの方法には次の様な問題がある。 【0012】図7は検出すべきピークデータが短時間
(前述の時間Tより前)に現れた状態を示すもので、こ
のようにノイズレベルに落ちる時間を待ち、次に現れる
ピークAを転送するようにした場合、引き続いて転送す
べきピークBが現れた場合はこのピークを捕捉出来な
い。 【0013】本発明は上記従来の問題を解決するために
なされたものであり、その目的は、1つのピークが他チ
ャンネルのピークと相関しているか否かを判別するに際
し、正確な判別ができるようなパルスハイトアナライザ
ーを提供することにある。 【0014】 【課題を解決するための手段】本発明は、上記問題点を
解決するためになされたもので、請求項1においては、
チャンネル用信号を受け該信号のピークを捕える複数個
のチャンネル用判断部と、これらチャンネル用判断部に
クロック信号を送出するサンプリングクロックと、前記
チャンネル用判断部の出力を受けピークと時間情報のデ
ータを編集して転送するデータ編成部からなり、前記チ
ャンネル用信号のピークと時間情報を取り込んで1つの
ピークが他チャンネルのピークと相関関係にあるか否か
を判別するパルスハイトアナライザーにおいて、前記チ
ャンネル用判断部はピークを捕えた後、一つ前のデータ
とその前のデータの差から立ち上がり勾配を演算し、前
記勾配が予め定めた値より大きい場合のみ、そのピーク
データをデータとして転送するようにしたことを特徴と
するものである。 【0015】 【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態の一例
について図を用いて詳細に説明する。なお、本発明の構
成回路図は図4と同様であり、異なる部分は図4におけ
るチャンネル用判断部の処理内容のみなので、構成回路
の説明は省略する。 【0016】図1は本発明実施例の動作を説明するため
のフローチャートである。測定スタート指令が発せられ
(図1の101)、第1〜第4チャンネル用判断部1〜
4の内部カウンターがクリアにされ(図1の102)、
第1〜第4チャンネル用判断部1〜4にサンプリングク
ロック5からサンプルクロックが入力されているか否か
が判断され(図1の103)、第1〜第4チャンネル用
判断部1〜4にサンプリングクロック5からサンプルク
ロックが入力されていると判断された場合には、内部カ
ウンターをインクリメント(図1の104)するまでの
動作は従来例と同様である。 【0017】その後、第1チャンネル用S1 を読み込み
(図1の105)、ピークか否かを判断するが(図1の
106)、本発明ではピークであると判断した場合に
は、一つ前のデータとその前のデータの差から立ち上が
り勾配を演算する(図1の107)。そして、演算の結
果、前記勾配が予め定めた値(例えば20%)より大き
ければ内部カウント(即ち、時間情報)とピークデータ
を内部メモリに記憶し、前記予め定めた値より小さけれ
ば(例えば20%以下)の場合は内部カウントもデータ
も保存しない(図1の108)。 【0018】図2は順次サンプリングされるデータとピ
ークデータの関係を示すもので、ピークデータB’の一
つ前に検出したデータをV1,その前のデータをV2とす
る。そしてここではピークB’を検出した後、先に検出
したデータV1とV2の関連を次式により演算する。 V2≧1.2×V1 上式を満たしたらピークB’を転送し、満たさなかった
ら転送しない。 【0019】その後は従来と同様、測定が終了したか否
かが判断され、また、ピークではないと判断した場合に
は、測定が終了したか否かが判断される(図1の10
9)。測定が終了していないと判断された場合は、再び
第1〜第4チャンネル用判断部1〜4にサンプリングク
ロック5からサンプルクロックが入力されているか否か
判断され(図1の103)、図1の103〜109の動
作が繰り返される。 【0020】また、測定が終了したと判断された場合に
は、第1〜第4チャンネル用判断部1〜4の各内部メモ
リから読み出しが行われ、時間の早い順にピークデータ
と一緒に図示しないモニターなどに転送される。 【0021】尚、本発明は上述の実施例に限定されるこ
となく種々の変形が可能であり、例えば図1の判断部1
〜4の数を増減させても良く、判断部1〜4の内部カウ
ンターを外部カウンタとしても良いものとする。また、
内部メモリに記憶する代わりに外部メモリに記憶させて
も良いし、ピークと判断した時点で時間情報とピークデ
ータをデータ編成部に転送しても良い。 【0022】 【発明の効果】以上詳しく説明したように本発明のパル
スハイトアナライザーによれば、一つの元素で複数のピ
ークを有するもののうちデータとして不要なものは検出
しないようにしたので、1つのピークが他チャンネルの
ピークと相関しているか否かを正確に判別できるような
パルスハイトアナライザーが実現する。
【図面の簡単な説明】 【図1】本発明の実施の形態の動作を説明するためのフ
ローチャートである。 【図2】サンプリングされるデータとピークデータの関
係を示す図である。 【図3】従来及び本発明の回路構成の説明図である。 【図4】従来の動作を説明するためのフローチャートで
ある。 【図5】発光スペクトルの形状を示す説明図である。 【図6】データとして転送しないピークをもつ元素の形
状を示す図である。 【図7】データとして転送すべきピークが現れた場合の
形状を示す図である。 【符号の説明】 1〜4 判断部 5 サンプリングクロック 6 データ編成部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 21/00 - 21/01 G01N 21/17 - 21/61 G01N 21/62 - 21/74 G01J 3/00 - 3/52 PATOLIS

Claims (1)

  1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 チャンネル用信号を受け該信号のピーク
    を捕える複数個のチャンネル用判断部と、これらチャン
    ネル用判断部にクロック信号を送出するサンプリングク
    ロックと、前記チャンネル用判断部の出力を受けピーク
    と時間情報のデータを編集して転送するデータ編成部か
    らなり、前記チャンネル用信号のピークと時間情報を取
    り込んで1つのピークが他チャンネルのピークと相関関
    係にあるか否かを判別するパルスハイトアナライザーに
    おいて、前記チャンネル用判断部はピークを捕えた後、
    一つ前のデータとその前のデータの差から立ち上がり勾
    配を演算し、前記勾配が予め定めた値より大きい場合の
    み、そのピークデータをデータとして転送するようにし
    たことを特徴とするパルスハイトアナライザー。
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