JP3527657B2 - Flow sensor failure determination apparatus and method - Google Patents
Flow sensor failure determination apparatus and methodInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、流量計測として用
いることができる流速センサ（以下、フローセンサと称
する。）のサーモパイルにダスト、ドレン、結露が付着
してフローセンサが故障した場合に、そのフローセンサ
の故障の有無を判定するフローセンサ故障判定装置及び
その方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flow sensor that can be used as a flow rate sensor (hereinafter referred to as a flow sensor) when dust, drainage, or dew condensation adheres to a thermopile and the flow sensor fails. The present invention relates to a flow sensor failure determination device and method for determining whether or not a flow sensor has a failure.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図６に従来の熱型のマイクロフローセン
サの構成図を示す。マイクロフローセンサ１は、Ｓｉ基
板２、ダイアフラム３、ダイアフラム３上に形成された
白金等からなるマイクロヒータ４、マイクロヒータ４の
下端でダイアフラム３上に形成された下流側サーモパイ
ル５、マイクロヒータ４に図示しない電源から駆動電流
を供給する電源端子６Ａ，６Ｂ、マイクロヒータ４の上
端でダイアフラム３上に形成された上流側サーモパイル
８、上流側サーモパイル８から出力される第１温度検出
信号を出力する第１出力端子９Ａ，９Ｂ、下流側サーモ
パイル５から出力される第２温度検出信号を出力する第
２出力端子７Ａ，７Ｂ、基準電圧を得るための抵抗１
５，１６、この抵抗１５，１６からの基準信号を出力す
る出力端子１７Ａ，１７Ｂを備える。2. Description of the Related Art FIG. 6 is a block diagram of a conventional thermal type micro flow sensor. The micro flow sensor 1 includes a Si substrate 2, a diaphragm 3, a micro heater 4 made of platinum or the like formed on the diaphragm 3, a downstream thermopile 5 formed on the diaphragm 3 at the lower end of the micro heater 4, and a micro heater 4. Power supply terminals 6A and 6B for supplying a drive current from a power supply (not shown), an upstream thermopile 8 formed on the diaphragm 3 at the upper end of the microheater 4, and a first temperature detection signal output from the upstream thermopile 8 1 output terminal 9A, 9B, 2nd output terminal 7A, 7B which outputs the 2nd temperature detection signal output from the downstream side thermopile 5, resistance 1 for obtaining a reference voltage
5, 16 and output terminals 17A, 17B for outputting the reference signals from the resistors 15, 16.
【０００３】上流側サーモパイル８、及び下流側サーモ
パイル５は、熱電対から構成されている。この熱電対
は、ｐ++−Ｓｉ及びＡＬにより構成され、冷接点と温接
点とを有し、熱を検出し、冷接点と温接点との温度差に
より熱起電力が発生することにより、温度検出信号を出
力するようになっている。The upstream thermopile 8 and the downstream thermopile 5 are composed of thermocouples. This thermocouple is composed of p ++- Si and AL, has a cold junction and a hot junction, detects heat, and generates a thermoelectromotive force due to a temperature difference between the cold junction and the hot junction, It is designed to output a temperature detection signal.
【０００４】このように構成されたマイクロフローセン
サ１によれば、マイクロヒータ４が、外部からの駆動電
流により加熱を開始し、ガス等の流体がＰからＱに向か
って流れると、マイクロヒータ４が発生した熱は、流体
を媒体として下流側サーモパイル４に伝達されることに
なる。According to the microflow sensor 1 thus constructed, the microheater 4 starts to be heated by the driving current from the outside, and when the fluid such as gas flows from P to Q, the microheater 4 is heated. The heat generated by is transmitted to the downstream thermopile 4 using the fluid as a medium.
【０００５】これにより、下流側サーモパイル５は、マ
イクロヒータ４から伝達された熱を検出し、冷接点と温
接点との熱起電力が発生することにより、第２出力端子
７Ａ，７Ｂに第２温度検出信号を出力する。すなわち、
下流側サーモパイル５は、マイクロヒータ４による加熱
された後の流体の温度を検出し、第２温度検出信号を出
力する。As a result, the downstream thermopile 5 detects the heat transmitted from the micro-heater 4, and the thermoelectromotive force between the cold junction and the hot junction is generated, so that the second output terminals 7A and 7B receive the second electricity. Outputs the temperature detection signal. That is,
The downstream thermopile 5 detects the temperature of the fluid after being heated by the micro heater 4 and outputs a second temperature detection signal.
【０００６】また、上流側サーモパイル８は、周囲温
度、すなわち、マイクロヒータ４による加熱される前の
流体の温度熱を検出し、冷接点と温接点との熱起電力が
発生することにより、第１出力端子９Ａ，９Ｂに第１温
度検出信号を出力する。Further, the upstream side thermopile 8 detects the ambient temperature, that is, the temperature heat of the fluid before being heated by the micro-heater 4, and the thermoelectromotive force between the cold junction and the hot junction is generated. The first temperature detection signal is output to the first output terminals 9A and 9B.
【０００７】このため、上流側サーモパイル８からの第
１温度検出信号と下流側サーモパイル５からの第２温度
検出信号との差信号に基づいて流体の流量を算出するこ
とができる。Therefore, the flow rate of the fluid can be calculated based on the difference signal between the first temperature detection signal from the upstream thermopile 8 and the second temperature detection signal from the downstream thermopile 5.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図６に
示す従来のマイクロフローセンサに、例えば、ダスト、
ドレン等が付着した場合や結露が発生した場合には、上
流側サーモパイル８から出力される第１温度検出信号の
値や、下流側サーモパイル５から出力される第２温度検
出信号の値が変化して、正確な流速中流量を計測できな
いという故障が発生し、ひどいときにはそのまま破壊し
てしまうことがあった。このため、第１温度検出信号及
び第２温度検出信号に基づき流体の流量を計測するた
め、流体の流量を誤計測することになるという問題点が
あった。However, the conventional microflow sensor shown in FIG.
When the drain or the like adheres or when dew condensation occurs, the value of the first temperature detection signal output from the upstream thermopile 8 or the value of the second temperature detection signal output from the downstream thermopile 5 changes. As a result, there was a failure that the accurate flow rate in the flow velocity could not be measured, and in severe cases, it was destroyed as it was. Therefore, since the flow rate of the fluid is measured based on the first temperature detection signal and the second temperature detection signal, there is a problem that the flow rate of the fluid is erroneously measured.
【０００９】本発明は、サーモパイルにダスト、ドレ
ン、結露が付着してフローセンサが故障した場合にその
フローセンサが故障したことを容易に判定することがで
き、これによって、流体の流量の誤計測をなくすことが
できるフローセンサ故障判定装置及びその方法を提供す
ることを課題とする。According to the present invention, when dust, drain, or dew condensation adheres to the thermopile and the flow sensor fails, it is possible to easily determine that the flow sensor has failed, thereby erroneously measuring the flow rate of the fluid. An object of the present invention is to provide a flow sensor failure determination device and method that can eliminate the above.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するために以下の構成とした。請求項１の発明のフロ
ーセンサ故障判定装置は、流体を加熱するヒータ、この
ヒータに対して前記流体の上流側に配置され、前記流体
の温度を検出する上流側サーモパイル、及び前記ヒータ
に対して前記流体の下流側に配置され、前記流体の温度
を検出する下流側サーモパイルを有するフローセンサ
と、前記上流側サーモパイル及び前記下流側サーモパイ
ルのそれぞれで検出された熱起電力信号の差値に基づき
流体の流速または流量を計測する計測手段と、前記上流
側サーモパイル及び前記下流側サーモパイルのそれぞれ
の抵抗値を測定する抵抗測定手段と、この抵抗測定手段
で測定された抵抗値に基づき前記フローセンサの故障の
有無を判定する故障判定手段とを備えることを特徴とす
る。[Means for Solving the Problems] The present invention has the following constitution in order to solve the above problems. The flow sensor failure determination device according to the invention of claim 1 is a heater for heating a fluid, an upstream thermopile arranged upstream of the fluid with respect to the heater for detecting a temperature of the fluid, and the heater. A flow sensor arranged downstream of the fluid and having a downstream thermopile for detecting the temperature of the fluid, and a fluid based on a difference value of thermoelectromotive force signals detected by each of the upstream thermopile and the downstream thermopile. Measuring means for measuring the flow velocity or flow rate, resistance measuring means for measuring the respective resistance values of the upstream side thermopile and the downstream side thermopile, and failure of the flow sensor based on the resistance value measured by the resistance measuring means. And a failure determination means for determining the presence or absence of
【００１１】請求項１の発明のフローセンサ故障判定装
置によれば、ヒータが流体を加熱すると、ヒータの加熱
と並行して、上流側サーモパイルは、流体の温度を検出
し、下流側サーモパイルは、流体の温度を検出する。そ
して、計測手段は、上流側サーモパイル及び下流側サー
モパイルのそれぞれで検出された熱起電力信号の差値に
基づき流体の流速または流量を計測する。そして、抵抗
測定手段が、上流側サーモパイル及び下流側サーモパイ
ルのそれぞれの抵抗値を測定すると、故障判定手段は、
抵抗測定手段で測定された抵抗値に基づきフローセンサ
の故障の有無を判定する。According to the flow sensor failure determination device of the first aspect of the present invention, when the heater heats the fluid, the upstream side thermopile detects the temperature of the fluid and the downstream side thermopile, in parallel with the heating of the heater. Detects fluid temperature. Then, the measuring means measures the flow velocity or flow rate of the fluid based on the difference value of the thermoelectromotive force signals detected in each of the upstream side thermopile and the downstream side thermopile. Then, the resistance measurement means, when measuring the resistance value of each of the upstream side thermopile and the downstream side thermopile, the failure determination means,
Whether or not there is a failure in the flow sensor is determined based on the resistance value measured by the resistance measuring means.
【００１２】従って、サーモパイルにダスト、ドレン、
結露が付着してフローセンサが故障した場合に、そのフ
ローセンサが故障したことを容易に判定することがで
き、これによって、流体の流量の誤計測をなくすことが
できる。[0012] Therefore, dust, drain,
When the flow sensor malfunctions due to dew condensation, it can be easily determined that the flow sensor has malfunctioned, and thereby erroneous measurement of the flow rate of the fluid can be eliminated.
【００１３】また、請求項１の発明のフローセンサ故障
判定装置では、前記上流側サーモパイル及び前記下流側
サーモパイルの両方に等しい電流を流す定電流駆動手段
と、前記下流側サーモパイルの両端電極間の電圧を測定
する第１の電圧測定手段と、前記上流側サーモパイルの
両端電極間の電圧を測定する第２の電圧測定手段とを備
え、前記抵抗測定手段は、前記第１の電圧測定手段で得
られた電圧に基づき前記下流側サーモパイルの抵抗値を
測定し、前記第２の電圧測定手段で得られた電圧に基づ
き前記上流側サーモパイルの抵抗値を測定することを特
徴とする。Further, in the flow sensor failure determination device of the invention of claim 1, a constant current drive means for supplying an equal current to both the upstream side thermopile and the downstream side thermopile , and a voltage between both electrodes of the downstream side thermopile. And a second voltage measuring means for measuring a voltage between both electrodes of the upstream side thermopile, wherein the resistance measuring means is obtained by the first voltage measuring means. The resistance value of the downstream side thermopile is measured based on the measured voltage, and the resistance value of the upstream side thermopile is measured based on the voltage obtained by the second voltage measuring means.
【００１４】また、請求項１の発明のフローセンサ故障
判定装置によれば、定電流駆動手段が上流側サーモパイ
ル及び下流側サーモパイルの両方に等しい電流を流し、
第１の電圧測定手段が下流側サーモパイルの両端電極間
の電圧を測定し、第２の電圧測定手段が上流側サーモパ
イルの両端電極間の電圧を測定すると、抵抗測定手段
は、第１の電圧測定手段で得られた電圧に基づき下流側
サーモパイルの抵抗値を測定し、第２の電圧測定手段で
得られた電圧に基づき上流側サーモパイルの抵抗値を測
定する。従って、この抵抗値によりフローセンサの故障
の有無の判定が容易に行える。Further, according to the flow sensor failure judging device of the invention of claim 1, the constant current driving means causes an equal current to flow in both the upstream side thermopile and the downstream side thermopile.
When the first voltage measuring means measures the voltage between both electrodes of the downstream thermopile and the second voltage measuring means measures the voltage between both electrodes of the upstream thermopile, the resistance measuring means measures the first voltage. The resistance value of the downstream thermopile is measured based on the voltage obtained by the means, and the resistance value of the upstream thermopile is measured based on the voltage obtained by the second voltage measuring means. Therefore, it is possible to easily determine whether or not there is a failure in the flow sensor based on this resistance value.
【００１５】[0015]
【００１６】[0016]
【００１７】[0017]
【００１８】[0018]
【００１９】請求項２の発明のフローセンサ故障判定方
法は、フローセンサのヒータにより流体を加熱し、前記
ヒータに対して前記流体の上流側に配置された前記フロ
ーセンサの上流側サーモパイルにより前記流体の温度を
検出し、前記ヒータに対して前記流体の下流側に配置さ
れた前記フローセンサの下流側サーモパイルにより前記
流体の温度を検出する検出ステップと、前記上流側サー
モパイル及び前記下流側サーモパイルのそれぞれで検出
された熱起電力信号の差値に基づき流体の流速または流
量を計測する計測ステップと、前記上流側サーモパイル
及び前記下流側サーモパイルのそれぞれの抵抗値を測定
する抵抗測定ステップと、測定された抵抗値に基づき前
記フローセンサの故障の有無を判定する故障判定ステッ
プとを含むことを特徴とする。According to a second aspect of the flow sensor failure determination method of the present invention, the heater of the flow sensor heats the fluid, and the upstream thermopile of the flow sensor arranged upstream of the fluid with respect to the heater causes the fluid to flow. Of the temperature of the fluid, the detection step of detecting the temperature of the fluid by the downstream thermopile of the flow sensor arranged on the downstream side of the fluid with respect to the heater, and the upstream thermopile and the downstream thermopile, respectively. In the measurement step of measuring the flow velocity or flow rate of the fluid based on the difference value of the thermoelectromotive force signal detected in, the resistance measurement step of measuring the resistance value of each of the upstream side thermopile and the downstream side thermopile, A failure determination step of determining whether or not there is a failure in the flow sensor based on a resistance value. And butterflies.
【００２０】請求項２の発明のフローセンサ故障判定方
法によれば、フローセンサのヒータにより流体を加熱
し、ヒータに対して流体の上流側に配置されたフローセ
ンサの上流側サーモパイルにより流体の温度を検出し、
ヒータに対して流体の下流側に配置されたフローセンサ
の下流側サーモパイルにより流体の温度を検出し、上流
側サーモパイル及び下流側サーモパイルのそれぞれで検
出された熱起電力信号の差値に基づき流体の流速または
流量を計測し、上流側サーモパイル及び下流側サーモパ
イルのそれぞれの抵抗値を測定し、測定された抵抗値に
基づきフローセンサの故障の有無を判定するため、サー
モパイルにダスト、ドレン、結露が付着してフローセン
サが故障した場合に、そのフローセンサが故障したこと
を容易に判定することができ、これによって、流体の流
量の誤計測をなくすことができる。According to the flow sensor failure determination method of the second aspect of the present invention, the fluid of the flow sensor is heated by the heater of the flow sensor, and the temperature of the fluid is measured by the upstream thermopile of the flow sensor arranged on the upstream side of the fluid with respect to the heater. Detect
The temperature of the fluid is detected by the downstream thermopile of the flow sensor, which is located on the downstream side of the fluid with respect to the heater, and the fluid temperature is detected based on the difference between the thermoelectromotive force signals detected by the upstream thermopile and the downstream thermopile. The flow velocity or flow rate is measured, the resistance values of the upstream side thermopile and the downstream side thermopile are measured, and the presence or absence of a malfunction of the flow sensor is determined based on the measured resistance value. Then, when the flow sensor fails, it is possible to easily determine that the flow sensor has failed, thereby eliminating erroneous measurement of the fluid flow rate.
【００２１】また、請求項２の発明のフローセンサ故障
判定方法では、前記上流側サーモパイル及び前記下流側
サーモパイルの両方に等しい電流を流す定電流駆動ステ
ップと、下流側サーモパイルの両端電極間の電圧を測定
する第１の電圧測定ステップと、前記上流側サーモパイ
ルの両端電極間の電圧を測定する第２の電圧測定ステッ
プとを含み、前記抵抗測定ステップは、前記第１の電圧
測定ステップで得られた電圧に基づき前記下流側サーモ
パイルの抵抗値を測定し、前記第２の電圧測定ステップ
で得られた電圧に基づき前記上流側サーモパイルの抵抗
値を測定することを特徴とする。Further, in the flow sensor failure judging method of the invention of claim 2 , a constant current driving step of supplying an equal current to both the upstream side thermopile and the downstream side thermopile , and a voltage between both electrodes of the downstream side thermopile. It includes a first voltage measuring step of measuring and a second voltage measuring step of measuring a voltage between both electrodes of the upstream side thermopile, and the resistance measuring step is obtained in the first voltage measuring step. The resistance value of the downstream side thermopile is measured based on the voltage, and the resistance value of the upstream side thermopile is measured based on the voltage obtained in the second voltage measuring step.
【００２２】また、請求項２の発明のフローセンサ故障
判定方法によれば、上流側サーモパイル及び下流側サー
モパイルの両方に等しい電流を流し、下流側サーモパイ
ルの両端電極間の電圧を測定し、上流側サーモパイルの
両端電極間の電圧を測定し、第１の電圧測定ステップで
得られた電圧に基づき下流側サーモパイルの抵抗値を測
定し、第２の電圧測定ステップで得られた電圧に基づき
上流側サーモパイルの抵抗値を測定する。従って、この
抵抗値によりフローセンサの故障の有無の判定が容易に
行える。According to the flow sensor failure determination method of the second aspect of the present invention , an equal current is applied to both the upstream side thermopile and the downstream side thermopile , the voltage between both electrodes of the downstream side thermopile is measured, and the upstream side thermopile is measured. The voltage between both electrodes of the thermopile is measured, the resistance value of the downstream thermopile is measured based on the voltage obtained in the first voltage measurement step, and the upstream thermopile is measured based on the voltage obtained in the second voltage measurement step. Measure the resistance value of. Therefore, it is possible to easily determine whether or not there is a failure in the flow sensor based on this resistance value.
【００２３】[0023]
【００２４】[0024]
【００２５】[0025]
【００２６】[0026]
【００２７】[0027]
【発明の実施の形態】以下、本発明のフローセンサ故障
判定装置及びその方法の実施の形態を図面を参照して詳
細に説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of a flow sensor failure determination device and method thereof according to the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
【００２８】＜第１の実施の形態＞図１は第１の実施の
形態のフローセンサ故障判定装置の構成図である。図２
は第１の実施の形態のフローセンサ故障判定装置に設け
られたマイクロフローセンサの構成図である。図３は第
１の実施の形態のマイクロフローセンサの断面図であ
る。<First Embodiment> FIG. 1 is a block diagram of a flow sensor failure determination device according to a first embodiment. Figure 2
FIG. 3 is a configuration diagram of a microflow sensor provided in the flow sensor failure determination device of the first embodiment. FIG. 3 is a sectional view of the microflow sensor according to the first embodiment.
【００２９】第１の実施の形態のフローセンサ故障判定
装置は、マイクロフローセンサに有する上流側サーモパ
イル８、下流側サーモパイル５の抵抗値の温度ドリフト
等が比較的小さいことに着目し、サーモパイルにダス
ト、ドレンの付着や結露が発生した場合に、サーモパイ
ルの抵抗値が大きく変化することを見出し、サーモパイ
ルの抵抗値を監視することにより、マイクロフローセン
サの故障判定を行うことを特徴とするものである。The flow sensor failure determination device of the first embodiment focuses on the fact that the temperature drift and the like of the resistance values of the upstream side thermopile 8 and the downstream side thermopile 5 of the microflow sensor are relatively small, and the thermopile is dusted. The present invention is characterized in that the resistance value of the thermopile is significantly changed when the drainage is attached or the dew condensation occurs, and the failure determination of the microflow sensor is performed by monitoring the resistance value of the thermopile. .
【００３０】図２に示すマイクロフローセンサ１は、図
６に示すマイクロフローセンサに対して、下流側サーモ
パイル５にダスト２１が付着している点が異なるのみ
で、その他の部分は図５に示すマイクロフローセンサの
同一構成であるので、ここでは、その部分の説明は省略
する。The microflow sensor 1 shown in FIG. 2 differs from the microflow sensor shown in FIG. 6 only in that dust 21 is attached to the downstream thermopile 5, and the other parts are shown in FIG. Since the microflow sensor has the same structure, the description of that part is omitted here.
【００３１】また、図３に示すように、Ｓｉ基板２に
は、ダイアフラム３が形成されており、このダイアフラ
ム３には、マイクロヒータ４、上流側サーモパイル８、
下流側サーモパイル５が形成されている。Further, as shown in FIG. 3, a diaphragm 3 is formed on the Si substrate 2, and a micro heater 4, an upstream thermopile 8, and a diaphragm 3 are formed on the diaphragm 3.
The downstream thermopile 5 is formed.
【００３２】フローセンサ故障判定装置は、図１に示す
ように、マイクロフローセンサ１内の下流側サーモパイ
ル５からの第２温度検出信号（熱起電力信号）とマイク
ロフローセンサ１内の上流側サーモパイル８からの第１
温度検出信号（熱起電力信号）との差信号を増幅する差
動アンプ３３と、下流側サーモパイル５の両端電極間の
電圧を測定し測定された電圧値に対応する抵抗値を得る
第１の電圧測定部３５と、上流側サーモパイル８の両端
電極間の電圧を測定し測定された電圧値に対応する抵抗
値を得る第２の電圧測定部３７と、マイクロコンピュー
タ４０とを備えて構成される。As shown in FIG. 1, the flow sensor failure determination device includes a second temperature detection signal (thermoelectromotive force signal) from a downstream thermopile 5 in the microflow sensor 1 and an upstream thermopile in the microflow sensor 1. 1st from 8
A differential amplifier 33 that amplifies a difference signal from a temperature detection signal (thermoelectromotive force signal) and a first voltage that measures a voltage between both electrodes of the downstream thermopile 5 and obtains a resistance value corresponding to the measured voltage value. It is configured to include a voltage measuring unit 35, a second voltage measuring unit 37 that measures a voltage between both electrodes of the upstream thermopile 8 and obtains a resistance value corresponding to the measured voltage value, and a microcomputer 40. .
【００３３】マイクロコンピュータ４０は、差動アンプ
３３から出力される第２温度検出信号と第１温度検出信
号との差信号に基づき、流体の流量を算出する流量算出
部４１と、第１の電圧測定部３５からの下流側サーモパ
イル５の電圧値に基づく抵抗値と第２の電圧測定部３７
からの上流側サーモパイル８の電圧値に基づく抵抗値と
に基づきマイクロフローセンサ１の故障の有無を判定す
る故障判定部４３とを備えて構成される。The microcomputer 40 includes a flow rate calculator 41 for calculating the flow rate of the fluid based on the difference signal between the second temperature detection signal and the first temperature detection signal output from the differential amplifier 33, and the first voltage. The resistance value based on the voltage value of the downstream side thermopile 5 from the measurement unit 35 and the second voltage measurement unit 37
And a failure determination unit 43 that determines whether or not there is a failure in the microflow sensor 1 based on the resistance value based on the voltage value of the upstream thermopile 8 from the above.
【００３４】さらに、フローセンサ故障判定装置は、故
障判定部４３によりマイクロフローセンサ１が故障と判
定された場合に、マイクロフローセンサ１が故障したこ
とを報知するための発光ダイオード（ＬＥＤ）４５及び
ブザー４７を有して構成される。Furthermore, the flow sensor failure determination device includes a light emitting diode (LED) 45 for notifying that the microflow sensor 1 has failed when the failure determination unit 43 determines that the microflow sensor 1 has failed. It is configured with a buzzer 47.
【００３５】次に、図４に示すフローチャートを参照し
て、第１の実施の形態のフローセンサ故障判定装置によ
り実現されるフローセンサ故障判定方法を説明する。Next, a flow sensor failure determination method realized by the flow sensor failure determination device of the first embodiment will be described with reference to the flowchart shown in FIG.
【００３６】まず、外部からのパルス信号による駆動電
流により、マイクロヒータ４を加熱すると（ステップＳ
１１）、下流側サーモパイル５から第２温度検出信号が
出力され、上流側サーモパイル８から第１温度検出信号
が出力される（ステップＳ１３）。First, the micro-heater 4 is heated by a driving current based on a pulse signal from the outside (step S
11), the second temperature detection signal is output from the downstream thermopile 5, and the first temperature detection signal is output from the upstream thermopile 8 (step S13).
【００３７】次に、差動アンプ３３は、下流側サーモパ
イル５からの第２温度検出信号と上流側サーモパイル８
からの第１温度検出信号との差信号を増幅して（ステッ
プＳ１５）、流量算出部４１は、差動アンプ３３からの
差信号に基づき流体の流量を算出する（ステップＳ１
７）。Next, the differential amplifier 33 receives the second temperature detection signal from the downstream side thermopile 5 and the upstream side thermopile 8.
Amplifies the difference signal from the first temperature detection signal from (step S15), and the flow rate calculation unit 41 calculates the flow rate of the fluid based on the difference signal from the differential amplifier 33 (step S1).
7).
【００３８】さらに、第１の電圧測定部３５は、下流側
サーモパイル５の両端電極間の電圧を測定し、第２の電
圧測定部３７は、上流側サーモパイル８の両端電極間の
電圧を測定する（ステップＳ１８）。Further, the first voltage measuring unit 35 measures the voltage across the electrodes of the downstream thermopile 5, and the second voltage measuring unit 37 measures the voltage across the electrodes of the upstream thermopile 8. (Step S18).
【００３９】そして、故障判定部４３は、第１の電圧測
定部３５からの下流側サーモパイル５の電圧値に基づく
抵抗値と第２の電圧測定部３７からの上流側サーモパイ
ル８の電圧値に基づく抵抗値との少なくとも一方の抵抗
値が異常かどうかを判定する（ステップＳ１９）。Then, the failure determination section 43 is based on the resistance value based on the voltage value of the downstream thermopile 5 from the first voltage measurement section 35 and the resistance value based on the voltage value of the upstream thermopile 8 from the second voltage measurement section 37. It is determined whether or not at least one of the resistance values and the resistance value is abnormal (step S19).
【００４０】ここで、抵抗値が異常である場合として
は、例えば、図２に示すように、ダスト２１が下流側サ
ーモパイル５に付着した場合に、下流側サーモパイル５
の抵抗値が大きく変化するため、下流側サーモパイル５
の抵抗値があらかじめ定められた基準抵抗値に対して大
きく変化する場合である。Here, when the resistance value is abnormal, for example, as shown in FIG. 2, when the dust 21 is attached to the downstream thermopile 5, the downstream thermopile 5 is
Because the resistance value of is greatly changed, the downstream side thermopile 5
This is the case where the resistance value of 1 changes significantly with respect to a predetermined reference resistance value.
【００４１】この場合には、下流側サーモパイル５から
の第１温度検出信号が異常な値となり、流体の流量を正
確に計測することができなくなるため、マイクロフロー
センサ１による流量計測が異常と判定し（ステップＳ２
１）、発光ダイオード（ＬＥＤ）４５を点灯したり、ブ
ザー４７を鳴動させることで、マイクロフローセンサ１
が故障したことを報知する（ステップＳ２３）。In this case, the first temperature detection signal from the downstream thermopile 5 has an abnormal value, and the flow rate of the fluid cannot be measured accurately. Therefore, the flow rate measurement by the microflow sensor 1 is determined to be abnormal. (Step S2
1) By turning on the light emitting diode (LED) 45 or ringing the buzzer 47, the microflow sensor 1
Informs that it has failed (step S23).
【００４２】なお、ダスト２１が下流側サーモパイル５
に付着する代わりに、ダスト２１が上流側サーモパイル
８に付着した場合にも、上流側サーモパイル８の抵抗値
が予め定められた基準抵抗値に対して大きく変化するた
め、マイクロフローセンサ１による流量計測が異常と判
定することができる。In addition, the dust 21 is the thermopile 5 on the downstream side.
Even if the dust 21 adheres to the upstream side thermopile 8 instead of adhering to the upstream side, the resistance value of the upstream side thermopile 8 largely changes with respect to a predetermined reference resistance value, so that the flow rate measurement by the microflow sensor 1 is performed. Can be determined to be abnormal.
【００４３】このように第１の実施の形態のフローセン
サ故障判定装置によれば、サーモパイルにダスト、ドレ
ンの付着や結露があった場合には、ダスト等の付着があ
ったことをサーモパイルの抵抗値変化を検知し、この抵
抗値変化が異常であるかどうかによって、流体の流量計
測が正常に行われていないことを判定できるようにな
る。As described above, according to the flow sensor failure determination apparatus of the first embodiment, when dust or drain is attached to the thermopile or dew condensation is generated, it is determined that the dust is attached to the thermopile resistance. By detecting the change in the value and determining whether or not the change in the resistance value is abnormal, it is possible to determine that the flow rate measurement of the fluid is not normally performed.
【００４４】これにより、マイクロフローセンサー１が
故障したまま、流体の流量を誤って計測することがなく
なった。また、マイクロフローセンサが故障したり、あ
るいは、破壊していれば、故障したマイクロフローセン
サを良品のマイクロフローセンサと交換すればよい。As a result, it is possible to prevent the flow rate of the fluid from being erroneously measured while the microflow sensor 1 is out of order. Further, if the microflow sensor has failed or has been destroyed, the failed microflow sensor may be replaced with a good microflow sensor.
【００４５】また、サーモパイルにダストが付着する代
わりに、サーモパイルにドレンや結露が発生した場合で
あっても、マイクロフローセンサ１の故障を判定するこ
とができる。Further, the failure of the microflow sensor 1 can be determined even when drainage or dew condensation occurs on the thermopile instead of attaching dust to the thermopile.
【００４６】＜第２の実施の形態＞次に本発明の第２の
実施の形態のフローセンサ故障判定装置及びその方法を
説明する。図５は第２の実施の形態のフローセンサ故障
判定装置の構成図である。<Second Embodiment> Next, a flow sensor failure determination apparatus and method according to a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 5 is a configuration diagram of a flow sensor failure determination device according to the second embodiment.
【００４７】第２の実施の形態のフローセンサ故障判定
装置は、図５に示すように、差動アンプ３３と、下流側
サーモパイル５の両端抵抗を測定する第１の抵抗測定部
３５ａと、上流側サーモパイル８の両端抵抗を測定する
第２の抵抗測定部３７ａと、マイクロコンピュータ４０
ａとを備えて構成される。As shown in FIG. 5, the flow sensor failure determination device according to the second embodiment has a differential amplifier 33, a first resistance measuring section 35a for measuring the resistance between both ends of the downstream side thermopile 5, and an upstream side. A second resistance measuring section 37a for measuring the resistance of both ends of the side thermopile 8 and a microcomputer 40.
and a.
【００４８】マイクロコンピュータ４０ａは、流量算出
部４１と、第１の抵抗測定部３５ａからの下流側サーモ
パイル５の抵抗値と第２の抵抗測定部３７ａからの上流
側サーモパイル８の抵抗値とに基づきマイクロフローセ
ンサ１の故障の有無を判定する故障判定部４３と、マイ
クロヒータ４を駆動するヒータ駆動回路５３を制御する
ためのヒータ駆動回路制御部５１と、このヒータ駆動回
路制御部５１からの制御信号によりスイッチ部５７の切
替制御を行うスイッチ切替部５５とを備えて構成され
る。The microcomputer 40a is based on the flow rate calculating section 41, the resistance value of the downstream thermopile 5 from the first resistance measuring section 35a and the resistance value of the upstream thermopile 8 from the second resistance measuring section 37a. A failure determination unit 43 that determines whether or not there is a failure in the microflow sensor 1, a heater drive circuit control unit 51 that controls the heater drive circuit 53 that drives the microheater 4, and control from this heater drive circuit control unit 51. And a switch switching unit 55 that controls switching of the switch unit 57 by a signal.
【００４９】スイッチ部５７は、第１のスイッチ５８、
第２のスイッチ６０を有する。第１のスイッチ５８は、
スイッチ切替部５５からの切替信号により、マイクロヒ
ータ４に電流を流して加熱している時には、接片５９を
端子ｂに接続し、マイクロヒータ４に電流を流さず加熱
していない時には接片５９を端子ｃに接続するようにな
っている。The switch section 57 includes a first switch 58,
It has a second switch 60. The first switch 58 is
In response to a switching signal from the switch switching unit 55, the contact piece 59 is connected to the terminal b when the microheater 4 is heated by applying an electric current, and the contact piece 59 is connected when the microheater 4 is not heated without supplying an electric current. Is connected to the terminal c.
【００５０】第２のスイッチ６０は、スイッチ切替部５
５からの切替信号により、マイクロヒータ４に電流を流
して加熱している時には接片６１を端子ｅに接続し、マ
イクロヒータ４に電流を流さず加熱していない時には、
接片６１を端子ｆに接続するようになっている。The second switch 60 has a switch switching section 5
In accordance with the switching signal from 5, the contact piece 61 is connected to the terminal e when the micro heater 4 is being heated by applying an electric current, and when the micro heater 4 is not being heated without supplying an electric current,
The contact piece 61 is connected to the terminal f.
【００５１】このように構成された第２の実施の形態の
フローセンサ故障判定装置によれば、差動アンプ３３
は、下流側サーモパイル５からの第２温度検出信号と上
流側サーモパイル８からの第１温度検出信号との差信号
を増幅し、流量算出部４１は、差動アンプ３３からの差
信号に基づき流体の流量を算出する。第１の抵抗測定部
３５ａは、下流側サーモパイル５の両端抵抗を測定し、
第２の抵抗測定部３７ａは、上流側サーモパイル８の両
端抵抗を測定する。According to the flow sensor failure determination device of the second embodiment having the above-mentioned configuration, the differential amplifier 33
Amplifies the difference signal between the second temperature detection signal from the downstream side thermopile 5 and the first temperature detection signal from the upstream side thermopile 8, and the flow rate calculation unit 41 calculates the fluid based on the difference signal from the differential amplifier 33. Calculate the flow rate of. The first resistance measuring unit 35a measures the resistance of both ends of the downstream thermopile 5,
The second resistance measuring unit 37a measures the resistances at both ends of the upstream thermopile 8.
【００５２】そして、故障判定部４３は、第１の抵抗測
定部３５ａからの下流側サーモパイル５の抵抗値と第２
の抵抗測定部３７ａからの上流側サーモパイル８の抵抗
値との少なくとも一方の抵抗値が異常かどうかを判定す
る。Then, the failure determining section 43 determines the resistance value of the downstream side thermopile 5 from the first resistance measuring section 35a and the second value.
It is determined whether or not at least one of the resistance value of the upstream thermopile 8 from the resistance measuring unit 37a and the resistance value is abnormal.
【００５３】ここで、例えば、下流側サーモパイル５か
らの第１温度検出信号が異常な値となる場合には、流体
の流量を正確に計測することができなくなる。このた
め、マイクロフローセンサ１による流量計測が異常と判
定し、ＬＥＤ４５を点灯したり、ブザー４７を鳴動させ
ることで、マイクロフローセンサ１が故障したことを報
知する。Here, for example, when the first temperature detection signal from the downstream thermopile 5 has an abnormal value, the flow rate of the fluid cannot be accurately measured. Therefore, it is determined that the flow rate measurement by the microflow sensor 1 is abnormal, and the LED 45 is turned on or the buzzer 47 is sounded to notify that the microflow sensor 1 has failed.
【００５４】このように第２の実施の形態のフローセン
サ故障判定装置によっても、第１の実施の形態のフロー
センサ故障判定装置の効果と同様な効果が得られる。ま
た、マイクロヒータ４に電流を流して加熱している時に
は、第１のスイッチ５８は、接片５９を端子ｂに接続
し、第２のスイッチ６０は、接片６１を端子ｅに接続す
るため、流量算出部４１により流速または流量を計測す
ることができる。また、マイクロヒータ４に電流を流さ
ず加熱していない時には、第１のスイッチ５８は、接片
５９を端子ｃに接続し、第２のスイッチ６０は、接片６
１を端子ｆに接続するため、故障判定部４３がフローセ
ンサ１の故障の有無を判定する。従って、流量計測が行
えるとともに、フローセンサ１の故障の有無判定が容易
に行える。As described above, the flow sensor failure determination device of the second embodiment can also obtain the same effects as those of the flow sensor failure determination device of the first embodiment. Further, since the first switch 58 connects the contact piece 59 to the terminal b and the second switch 60 connects the contact piece 61 to the terminal e when the microheater 4 is heated by applying an electric current. The flow rate or flow rate can be measured by the flow rate calculation unit 41. In addition, when the micro heater 4 is not heated by supplying no current, the first switch 58 connects the contact piece 59 to the terminal c, and the second switch 60 connects the contact piece 6 to the contact piece 6.
Since 1 is connected to the terminal f, the failure determination unit 43 determines whether there is a failure in the flow sensor 1. Therefore, the flow rate can be measured and the presence / absence of a failure in the flow sensor 1 can be easily determined.
【００５５】なお、本発明は第１の実施の形態及び第２
の実施の形態のフローセンサ故障判定装置及びその方法
に限定されるものではない。第２の実施の形態では、第
１の抵抗測定部３５ａ及び第２の抵抗測定部３７ａによ
り下流側サーモパイル５、上流側サーモパイル８の抵抗
値を測定したが、例えば、下流側サーモパイル５及び上
流側サーモパイル８のそれぞれの両端に電流計を接続
し、この電流計によりサーモパイルに流れる電流を測定
し、測定された電流値が異常であるか否かによって、マ
イクロフローセンサ１の故障を判定するようにしてもよ
い。The present invention is based on the first embodiment and the second embodiment.
The present invention is not limited to the flow sensor failure determination device and the method thereof according to the embodiment. In the second embodiment, the resistance values of the downstream side thermopile 5 and the upstream side thermopile 8 are measured by the first resistance measuring section 35a and the second resistance measuring section 37a. However, for example, the downstream side thermopile 5 and the upstream side thermopile 5 are measured. An ammeter is connected to each end of the thermopile 8, the current flowing through the thermopile is measured by this ammeter, and the failure of the microflow sensor 1 is determined depending on whether or not the measured current value is abnormal. May be.
【００５６】このほか、本発明の技術的思想を逸脱しな
い範囲内で、種々変形して実施可能であるのは勿論であ
る。In addition, it goes without saying that various modifications can be made without departing from the technical idea of the present invention.
【００５７】[0057]
【発明の効果】請求項１の発明のフローセンサ故障判定
装置によれば、抵抗測定手段が、上流側サーモパイル及
び下流側サーモパイルのそれぞれの抵抗値を測定する
と、故障判定手段は、抵抗測定手段で測定された抵抗値
に基づきフローセンサの故障の有無を判定する。According to the flow sensor failure judging device of the first aspect of the invention, when the resistance measuring means measures the resistance value of each of the upstream side thermopile and the downstream side thermopile, the failure judging means uses the resistance measuring means. Whether or not there is a failure in the flow sensor is determined based on the measured resistance value.
【００５８】従って、サーモパイルにダスト、ドレン、
結露が付着してフローセンサが故障した場合に、そのフ
ローセンサが故障したことを容易に判定することがで
き、これによって、流体の流量の誤計測をなくすことが
できる。Therefore, dust, drain,
When the flow sensor malfunctions due to dew condensation, it can be easily determined that the flow sensor has malfunctioned, and thereby erroneous measurement of the flow rate of the fluid can be eliminated.
【００５９】また、請求項１の発明のフローセンサ故障
判定装置によれば、定電流駆動手段が上流側サーモパイ
ル及び下流側サーモパイルの両方に等しい電流を流し、
第１の電圧測定手段が下流側サーモパイルの両端電極間
の電圧を測定し、第２の電圧測定手段が上流側サーモパ
イルの両端電極間の電圧を測定すると、抵抗測定手段
は、第１の電圧測定手段で得られた電圧に基づき下流側
サーモパイルの抵抗値を測定し、第２の電圧測定手段で
得られた電圧に基づき上流側サーモパイルの抵抗値を測
定する。従って、この抵抗値によりフローセンサの故障
の有無の判定が容易に行える。According to the flow sensor failure judging device of the first aspect of the present invention, the constant current driving means supplies the same current to both the upstream side thermopile and the downstream side thermopile.
When the first voltage measuring means measures the voltage between both electrodes of the downstream thermopile and the second voltage measuring means measures the voltage between both electrodes of the upstream thermopile, the resistance measuring means measures the first voltage. The resistance value of the downstream thermopile is measured based on the voltage obtained by the means, and the resistance value of the upstream thermopile is measured based on the voltage obtained by the second voltage measuring means. Therefore, it is possible to easily determine whether or not there is a failure in the flow sensor based on this resistance value.
【００６０】[0060]
【００６１】[0061]
【００６２】請求項２の発明のフローセンサ故障判定方
法によれば、上流側サーモパイル及び下流側サーモパイ
ルのそれぞれの抵抗値を測定し、測定された抵抗値に基
づきフローセンサの故障の有無を判定するため、サーモ
パイルにダスト、ドレン、結露が付着してフローセンサ
が故障した場合に、そのフローセンサが故障したことを
容易に判定することができ、これによって、流体の流量
の誤計測をなくすことができる。According to the flow sensor failure determination method of the second aspect of the present invention, the resistance values of the upstream side thermopile and the downstream side thermopile are measured, and the presence or absence of failure of the flow sensor is determined based on the measured resistance values. Therefore, if the flow sensor fails due to dust, drainage, or dew condensation on the thermopile, it can be easily determined that the flow sensor has failed, thereby eliminating erroneous measurement of the flow rate of the fluid. it can.
【００６３】また、請求項２の発明のフローセンサ故障
判定方法によれば、上流側サーモパイル及び下流側サー
モパイルの両方に等しい電流を流し、下流側サーモパイ
ルの両端電極間の電圧を測定し、上流側サーモパイルの
両端電極間の電圧を測定し、第１の電圧測定ステップで
得られた電圧に基づき下流側サーモパイルの抵抗値を測
定し、第２の電圧測定ステップで得られた電圧に基づき
上流側サーモパイルの抵抗値を測定する。従って、この
抵抗値によりフローセンサの故障の有無の判定が容易に
行える。According to the flow sensor failure determination method of the second aspect of the present invention , an equal current is applied to both the upstream side thermopile and the downstream side thermopile , the voltage between both electrodes of the downstream side thermopile is measured, and the upstream side thermopile is measured. The voltage between both electrodes of the thermopile is measured, the resistance value of the downstream thermopile is measured based on the voltage obtained in the first voltage measurement step, and the upstream thermopile is measured based on the voltage obtained in the second voltage measurement step. Measure the resistance value of. Therefore, it is possible to easily determine whether or not there is a failure in the flow sensor based on this resistance value.
【００６４】[0064]
【００６５】[0065]
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図１】第１の実施の形態のフローセンサ故障判定装置
の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of a flow sensor failure determination device according to a first embodiment.
【図２】第１の実施の形態のフローセンサ故障判定装置
に設けられたマイクロフローセンサの構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram of a microflow sensor provided in the flow sensor failure determination device according to the first embodiment.
【図３】第１の実施の形態のマイクロフローセンサの断
面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the microflow sensor according to the first embodiment.
【図４】第１の実施の形態のフローセンサ故障判定装置
により実現されるフローセンサ故障判定方法を示すフロ
ーチャートである。FIG. 4 is a flowchart showing a flow sensor failure determination method implemented by the flow sensor failure determination device of the first exemplary embodiment.
【図５】第２の実施の形態のフローセンサ故障判定装置
の構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram of a flow sensor failure determination device according to a second embodiment.
【図６】従来の熱型のマイクロフローセンサの構成図で
ある。FIG. 6 is a configuration diagram of a conventional thermal microflow sensor.
１ マイクロフローセンサ ２ Ｓｉ基板 ３ ダイアフラム ４ マイクロヒータ ５ 下流側サーモパイル ８ 上流側サーモパイル ３３ 差動アンプ ３５ 第１の電圧測定部 ３５ａ 第１の抵抗測定部 ３７ 第２の電圧測定部 ３７ａ 第２の抵抗測定部 ４０ マイクロコンピュータ ４１ 流量算出部 ４３ 故障判定部 ４５ ＬＥＤ ４７ ブザー ５１ ヒータ駆動回路制御部 ５３ ヒータ駆動回路 ５５ スイッチ切替部 ５７ スイッチ部 1 Micro flow sensor 2 Si substrate 3 diaphragm 4 Micro heater 5 Downstream thermopile 8 upstream thermopile 33 differential amplifier 35 First Voltage Measuring Section 35a First resistance measuring unit 37 Second voltage measuring unit 37a Second resistance measuring unit 40 microcomputer 41 Flow rate calculator 43 Failure determination unit 45 LED 47 buzzer 51 Heater drive circuit controller 53 Heater drive circuit 55 Switch switching section 57 Switch
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平10−38653（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−64061（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−232170（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−229800（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−124526（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01F 1/00 - 9/02 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Reference JP-A-10-38653 (JP, A) JP-A-11-64061 (JP, A) JP-A-10-232170 (JP, A) JP-A-6- 229800 (JP, A) Actual Kaihei 2-124526 (JP, U) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G01F 1/00-9/02
Claims (2)
して前記流体の上流側に配置され、前記流体の温度を検
出する上流側サーモパイル、及び前記ヒータに対して前
記流体の下流側に配置され、前記流体の温度を検出する
下流側サーモパイルを有するフローセンサと、 前記上流側サーモパイル及び前記下流側サーモパイルの
それぞれで検出された熱起電力信号の差値に基づき流体
の流速または流量を計測する計測手段と、 前記上流側サーモパイル及び前記下流側サーモパイルの
それぞれの抵抗値を測定する抵抗測定手段と、 この抵抗測定手段で測定された抵抗値に基づき前記フロ
ーセンサの故障の有無を判定する故障判定手段と、 前記上流側サーモパイル及び前記下流側サーモパイルの
両方に等しい電流を流す定電流駆動手段と、 前記下流側サーモパイルの両端電極間の電圧を測定する
第１の電圧測定手段と、前記上流側サーモパイルの両端
電極間の電圧を測定する第２の電圧測定手段とを備え、 前記抵抗測定手段は、前記第１の電圧測定手段で得られ
た電圧に基づき前記下流側サーモパイルの抵抗値を測定
し、前記第２の電圧測定手段で得られた電圧に基づき前
記上流側サーモパイルの抵抗値を測定することを特徴と
するフローセンサ故障判定装置。1. A heater for heating a fluid, an upstream thermopile arranged upstream of the fluid with respect to the heater and for detecting the temperature of the fluid, and a downstream side of the fluid for the heater. A flow sensor having a downstream thermopile that detects the temperature of the fluid, and a measurement that measures the flow velocity or flow rate of the fluid based on the difference value of the thermoelectromotive force signals detected by each of the upstream thermopile and the downstream thermopile. Means, resistance measuring means for measuring respective resistance values of the upstream side thermopile and the downstream side thermopile, and failure judging means for judging whether or not there is a failure in the flow sensor based on the resistance value measured by the resistance measuring means. When, of the upstream thermopile and the downstream thermopile
A constant current driving means for flowing an electric current equal to both of them, a first voltage measuring means for measuring a voltage between both end electrodes of the downstream side thermopile, and a second voltage for measuring a voltage between both end electrodes of the upstream side thermopile. Measuring means, the resistance measuring means measures the resistance value of the downstream side thermopile on the basis of the voltage obtained by the first voltage measuring means, and obtains the voltage obtained by the second voltage measuring means. A flow sensor failure determination device characterized by measuring the resistance value of the upstream side thermopile based on the above.
し、前記ヒータに対して前記流体の上流側に配置された
前記フローセンサの上流側サーモパイルにより前記流体
の温度を検出し、前記ヒータに対して前記流体の下流側
に配置された前記フローセンサの下流側サーモパイルに
より前記流体の温度を検出する検出ステップと、 前記上流側サーモパイル及び前記下流側サーモパイルの
それぞれで検出された熱起電力信号の差値に基づき流体
の流速または流量を計測する計測ステップと、 前記上流側サーモパイル及び前記下流側サーモパイルの
それぞれの抵抗値を測定する抵抗測定ステップと、 測定された抵抗値に基づき前記フローセンサの故障の有
無を判定する故障判定ステップと、 前記上流側サーモパイル及び前記下流側サーモパイルの
両方に等しい電流を流す定電流駆動ステップと、 前記下流側サーモパイルの両端電極間の電圧を測定する
第１の電圧測定ステップと、 前記上流側サーモパイルの両端電極間の電圧を測定する
第２の電圧測定ステップとを含み、 前記抵抗測定ステップは、前記第１の電圧測定ステップ
で得られた電圧に基づき前記下流側サーモパイルの抵抗
値を測定し、前記第２の電圧測定ステップで得られた電
圧に基づき前記上流側サーモパイルの抵抗値を測定する
ことを特徴とするフローセンサ故障判定方法。2. A heater of a flow sensor heats a fluid, and an upstream thermopile of the flow sensor arranged upstream of the fluid with respect to the heater detects the temperature of the fluid, A detection step of detecting the temperature of the fluid by a downstream thermopile of the flow sensor arranged on the downstream side of the fluid, and a difference value of thermoelectromotive force signals detected by each of the upstream thermopile and the downstream thermopile. Measurement step for measuring the flow velocity or flow rate of the fluid based on, a resistance measurement step for measuring the resistance value of each of the upstream side thermopile and the downstream side thermopile, and the presence or absence of failure of the flow sensor based on the measured resistance value. And a failure determination step of determining the upstream side thermopile and the downstream side thermopile .
A constant current driving step of flowing a current equal to both, a first voltage measuring step of measuring a voltage between both electrodes of the downstream side thermopile, and a second voltage measuring a voltage between both electrodes of the upstream side thermopile. And a step of measuring the resistance value of the downstream side thermopile based on the voltage obtained in the first voltage measurement step, the resistance measurement step, to the voltage obtained in the second voltage measurement step. A flow sensor failure determination method characterized by measuring the resistance value of the upstream side thermopile based on the above.
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1999
- 1999-05-10 JP JP12877899A patent/JP3527657B2/en not_active Expired - Fee Related
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| JP2012137388A (en) * | 2010-12-27 | 2012-07-19 | Denso Corp | Heat resistance type flow sensor and self-diagnosis method for the same |
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| JP2000321107A (en) | 2000-11-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20031226 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040210 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080227 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090227 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090227 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100227 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100227 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110227 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110227 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120227 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130227 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130227 Year of fee payment: 9 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
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| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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