JP3525335B2 - 密閉気液真空ポンプ装置 - Google Patents
密閉気液真空ポンプ装置Info
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- JP3525335B2 JP3525335B2 JP37780698A JP37780698A JP3525335B2 JP 3525335 B2 JP3525335 B2 JP 3525335B2 JP 37780698 A JP37780698 A JP 37780698A JP 37780698 A JP37780698 A JP 37780698A JP 3525335 B2 JP3525335 B2 JP 3525335B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、気体と液体（以下気液
と言う）を圧送するポンプ２（以下気液ポンプと言う）
を使用して、真空化の機能を発揮させて真空産業分野に
利用する。
と言う）を圧送するポンプ２（以下気液ポンプと言う）
を使用して、真空化の機能を発揮させて真空産業分野に
利用する。
【０００２】
【従来の技術】従来の真空ポンプは、羽根、歯車、ピス
トン、スクリュー等のケーシング内の機器の稼働で減圧
や真空の機能を発揮していた。この方法では、高速回転
が必要のため大きいエネルギーを必要とすること、騒音
振動が大きいこと、回転子とケーシング間の隙間からの
漏気、漏水が発生し体積効率がよくないこと、ごみや不
純物の混入に機器の故障が多いこと、動力費が大きい等
の欠点があった。
トン、スクリュー等のケーシング内の機器の稼働で減圧
や真空の機能を発揮していた。この方法では、高速回転
が必要のため大きいエネルギーを必要とすること、騒音
振動が大きいこと、回転子とケーシング間の隙間からの
漏気、漏水が発生し体積効率がよくないこと、ごみや不
純物の混入に機器の故障が多いこと、動力費が大きい等
の欠点があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、前述
した従来の真空ポンプの欠陥を解決することにあって、
羽根、歯車、ピストン、スクリュー等を使用しない真空
ポンプの開発にある。
した従来の真空ポンプの欠陥を解決することにあって、
羽根、歯車、ピストン、スクリュー等を使用しない真空
ポンプの開発にある。
【０００４】本発明の他の目的は、低速回転でエネルギ
ーロスの小さい装置の開発にある。
ーロスの小さい装置の開発にある。
【０００５】本発明の他の目的は、騒音振動の極めて小
さい真空ポンプ装置の開発にある。
さい真空ポンプ装置の開発にある。
【０００６】本発明の他の目的は、真空対象施設６から
気体だけでなく、液体、ごみ、不純物、小固形物の混入
があっても全て一緒に吸引排出し、機器の故障の起きに
くい装置の開発にある。
気体だけでなく、液体、ごみ、不純物、小固形物の混入
があっても全て一緒に吸引排出し、機器の故障の起きに
くい装置の開発にある。
【０００７】本発明の他の目的は、駆動源１０等が急停
止した場合にも、キャビテーションや水撃作用の極めて
影響の小さい装置の開発にある。
止した場合にも、キャビテーションや水撃作用の極めて
影響の小さい装置の開発にある。
【０００８】本発明の他の目的は、気密性かつ水密性
で、体積効率１００％を目指す真空ポンプ装置の開発に
ある。
で、体積効率１００％を目指す真空ポンプ装置の開発に
ある。
【０００９】本発明の他の目的は、設置、動力費、維持
管理費の小さい真空ポンプ装置の開発にある。
管理費の小さい真空ポンプ装置の開発にある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、密閉気液真空
ポンプ装置に関するもので、前述の目的を達成するた
め、気体と液体を圧送するポンプ２として、内部が空洞
の回転軸１５をほぼ水平にして、回転軸１５の周囲にパ
イプ１６を巻付けて複数のリングを作り、回転軸１５と
一体に回転可能にして水面近くに設けて軸受１７に取り
付ける、パイプ巻体９のパイプ１６の一端の開口を気液
流入口７として回転毎に水没させて気体と液体を交互に
汲み込む位置に置く、パイプ巻体９の最終リングから回
転軸１５に入り、軸受１７を経てスイベルジョイント１
１の一端に接続し、スイベルジョイント１１の他端に圧
送管１８を接続する、ポンプ２を密閉容器１内に設け
て、密閉容器１に気体吸引口３と調整液量供給口４と気
液圧送口５を付設する、気体吸引口３は外部の真空対象
施設６に連通接続する、以上の構成であって、密閉容器
１内に気体と液体を入れてポンプ２を回転して、気液流
入口７から回転毎に水中に水没して気液を流入させて、
気体と液体の体積比率を１／５〜５／１の範囲で流入さ
せて、ポンプ２で加圧された気体と液体は気液圧送口５
から外部へ圧送する、この圧送で密閉容器１内は負圧状
態が進行し、液体は調整液量供給口４から必要量を自動
供給し、気体は真空対象施設６から気体吸引口３を経て
自動吸引して、真空対象施設６内の気体を真空化するこ
とに特徴がある。
ポンプ装置に関するもので、前述の目的を達成するた
め、気体と液体を圧送するポンプ２として、内部が空洞
の回転軸１５をほぼ水平にして、回転軸１５の周囲にパ
イプ１６を巻付けて複数のリングを作り、回転軸１５と
一体に回転可能にして水面近くに設けて軸受１７に取り
付ける、パイプ巻体９のパイプ１６の一端の開口を気液
流入口７として回転毎に水没させて気体と液体を交互に
汲み込む位置に置く、パイプ巻体９の最終リングから回
転軸１５に入り、軸受１７を経てスイベルジョイント１
１の一端に接続し、スイベルジョイント１１の他端に圧
送管１８を接続する、ポンプ２を密閉容器１内に設け
て、密閉容器１に気体吸引口３と調整液量供給口４と気
液圧送口５を付設する、気体吸引口３は外部の真空対象
施設６に連通接続する、以上の構成であって、密閉容器
１内に気体と液体を入れてポンプ２を回転して、気液流
入口７から回転毎に水中に水没して気液を流入させて、
気体と液体の体積比率を１／５〜５／１の範囲で流入さ
せて、ポンプ２で加圧された気体と液体は気液圧送口５
から外部へ圧送する、この圧送で密閉容器１内は負圧状
態が進行し、液体は調整液量供給口４から必要量を自動
供給し、気体は真空対象施設６から気体吸引口３を経て
自動吸引して、真空対象施設６内の気体を真空化するこ
とに特徴がある。
【００１１】また、本発明は、前述の目的を達成するた
め、ポンプ２は通常パイプ巻体の下部を浸漬させるが、
気液流入口７のパイプ１６を延伸させてパイプ巻体９か
ら回転軸１５内を経て軸受１７を潜って回転軸１５の外
側に延ばして気液流入口７を気液汲込機８に設け、パイ
プ巻体９の全体を浸漬させることなく気液流入口７のみ
を回転毎に水没させて気液を流入させることに特徴があ
る。
め、ポンプ２は通常パイプ巻体の下部を浸漬させるが、
気液流入口７のパイプ１６を延伸させてパイプ巻体９か
ら回転軸１５内を経て軸受１７を潜って回転軸１５の外
側に延ばして気液流入口７を気液汲込機８に設け、パイ
プ巻体９の全体を浸漬させることなく気液流入口７のみ
を回転毎に水没させて気液を流入させることに特徴があ
る。
【００１２】
【実施の態様】本発明の密閉気液真空ポンプ装置の一例
を図１に従って説明すると、本発明は前述した従来の真
空ポンプの欠点を解決するため、気体と液体を圧送する
ポンプ２として、内部が空洞の回転軸１５をほぼ水平に
して、回転軸１５の周囲にパイプ１６を巻付けて複数の
リングを作り、回転軸１５と一体に回転可能にして水面
近くに設けて軸受１７に取り付ける、パイプ巻体９のパ
イプ１６の一端の開口を気液流入口７として回転毎に水
没させて気体と液体を交互に汲み込む位置に置く、パイ
プ巻体９の最終リングから回転軸１５に入り、軸受１７
を経てスイベルジョイント１１の一端に接続し、スイベ
ルジョイント１１の他端に圧送管１８を接続する、ポン
プ２を密閉容器１内に設けて、密閉容器１に気体吸引口
３と調整液量供給口４と気液圧送口５を付設する、気体
吸引口３は外部の真空対象施設６に連通接続する、以上
の構成であって、密閉容器１内に気体と液体を入れてポ
ンプ２を回転して、気液流入口７から回転毎に水中に水
没して気液を流入させて、気体と液体の体積比率を１／
５〜５／１の範囲で流入させて、ポンプ２で加圧された
気体と液体は気液圧送口５から外部へ圧送する、この圧
送で密閉容器１内は負圧状態が進行し、液体は調整液量
供給口４から必要量を自動供給し、気体は真空対象施設
６から気体吸引口３を経て自動吸引して、真空対象施設
６内の気体を真空化するものである。
を図１に従って説明すると、本発明は前述した従来の真
空ポンプの欠点を解決するため、気体と液体を圧送する
ポンプ２として、内部が空洞の回転軸１５をほぼ水平に
して、回転軸１５の周囲にパイプ１６を巻付けて複数の
リングを作り、回転軸１５と一体に回転可能にして水面
近くに設けて軸受１７に取り付ける、パイプ巻体９のパ
イプ１６の一端の開口を気液流入口７として回転毎に水
没させて気体と液体を交互に汲み込む位置に置く、パイ
プ巻体９の最終リングから回転軸１５に入り、軸受１７
を経てスイベルジョイント１１の一端に接続し、スイベ
ルジョイント１１の他端に圧送管１８を接続する、ポン
プ２を密閉容器１内に設けて、密閉容器１に気体吸引口
３と調整液量供給口４と気液圧送口５を付設する、気体
吸引口３は外部の真空対象施設６に連通接続する、以上
の構成であって、密閉容器１内に気体と液体を入れてポ
ンプ２を回転して、気液流入口７から回転毎に水中に水
没して気液を流入させて、気体と液体の体積比率を１／
５〜５／１の範囲で流入させて、ポンプ２で加圧された
気体と液体は気液圧送口５から外部へ圧送する、この圧
送で密閉容器１内は負圧状態が進行し、液体は調整液量
供給口４から必要量を自動供給し、気体は真空対象施設
６から気体吸引口３を経て自動吸引して、真空対象施設
６内の気体を真空化するものである。
【００１３】また、本発明は、気液流入口７のパイプ１
６を延伸させてパイプ巻体９から回転軸１５内を経て軸
受１７を潜って回転軸１５の外側に延ばして気液流入口
７を気液汲込機８に設け、パイプ巻体９の全体を浸漬さ
せることなく気液流入口７のみを回転毎に水没させて気
液を流入させるものである。
６を延伸させてパイプ巻体９から回転軸１５内を経て軸
受１７を潜って回転軸１５の外側に延ばして気液流入口
７を気液汲込機８に設け、パイプ巻体９の全体を浸漬さ
せることなく気液流入口７のみを回転毎に水没させて気
液を流入させるものである。
【００１４】密閉容器１内に気液ポンプを設ける理由
は、密閉容器１内で気液ポンプを回転すると、密閉容器
１から液体と共に気体も強制的に汲み込んで圧送するた
め密閉容器１内が真空化（減圧化）し、真空対象施設６
と連通している吸引パイプ１３気体吸引口３から気体が
吸引され真空対象施設６内も真空化（減圧化）されるた
めである。
は、密閉容器１内で気液ポンプを回転すると、密閉容器
１から液体と共に気体も強制的に汲み込んで圧送するた
め密閉容器１内が真空化（減圧化）し、真空対象施設６
と連通している吸引パイプ１３気体吸引口３から気体が
吸引され真空対象施設６内も真空化（減圧化）されるた
めである。
【００１５】密閉容器１内に気液ポンプを設けるもう１
つの理由は、封水状態を保ちながら低速回転で気液を強
制的に汲み込んで圧送するため、水密気密を維持して圧
送し、少しの漏気も漏水もせず体積効率１００％で圧送
できるためである。
つの理由は、封水状態を保ちながら低速回転で気液を強
制的に汲み込んで圧送するため、水密気密を維持して圧
送し、少しの漏気も漏水もせず体積効率１００％で圧送
できるためである。
【００１６】密閉容器１内に気液ポンプを設けるもう１
つの理由は、騒音振動の小さい気液ポンプを、密閉容器
１内で回転することで更に騒音振動が小さくなり、通常
の真空ポンプに比べて無騒音無振動的な装置となるため
である。
つの理由は、騒音振動の小さい気液ポンプを、密閉容器
１内で回転することで更に騒音振動が小さくなり、通常
の真空ポンプに比べて無騒音無振動的な装置となるため
である。
【００１７】密閉容器１内に気液ポンプを設けるもう１
つの理由は、気液ポンプは羽根、歯車、ピストン、スク
リュー等が高速回転で起こす、気体と機器との摩擦損失
が小さく、エネルギーのロスが小さいためである。
つの理由は、気液ポンプは羽根、歯車、ピストン、スク
リュー等が高速回転で起こす、気体と機器との摩擦損失
が小さく、エネルギーのロスが小さいためである。
【００１８】気液ポンプの使用する理由は、低速回転、
無騒音無振動的、小さい摩擦損失、簡単な構成等の特徴
は動力費、維持管費が少なくなるためである。
無騒音無振動的、小さい摩擦損失、簡単な構成等の特徴
は動力費、維持管費が少なくなるためである。
【００１９】気液ポンプを使用するもう１つの理由は、
簡単な設備と操作にある。すなわち、羽根、歯車、ピス
トン、スクリュー等を必要とせず、簡単なな機器の構成
で圧縮機能が発揮できるためである。
簡単な設備と操作にある。すなわち、羽根、歯車、ピス
トン、スクリュー等を必要とせず、簡単なな機器の構成
で圧縮機能が発揮できるためである。
【００２０】気液ポンプを使用するもう１つの理由は、
遠心力を使用せず、低速回転（２〜３０ｒｐｍ程度）で
圧縮作業ができ、振動騒音が極めて小さいためである。
遠心力を使用せず、低速回転（２〜３０ｒｐｍ程度）で
圧縮作業ができ、振動騒音が極めて小さいためである。
【００２１】気液ポンプを使用するもう１つの理由は、
冷却施設が不要となるためである。すなわち、気体を高
圧化する場合に発生する高熱にも気体と液体が混在して
いるため高熱に至らないため冷却施設は不要となる。
冷却施設が不要となるためである。すなわち、気体を高
圧化する場合に発生する高熱にも気体と液体が混在して
いるため高熱に至らないため冷却施設は不要となる。
【００２２】気液ポンプを使用するもう１つの理由は、
気液の同時排出と、呑口から吐口まで空洞で障害物がな
いことにある。すなわち、気体だけでなく、液体、ごみ
等の不純物、圧送パイプの最小口径以下の固形物が混入
しても全て一緒に吸引排出でき、機器の故障の起きにく
いためである。
気液の同時排出と、呑口から吐口まで空洞で障害物がな
いことにある。すなわち、気体だけでなく、液体、ごみ
等の不純物、圧送パイプの最小口径以下の固形物が混入
しても全て一緒に吸引排出でき、機器の故障の起きにく
いためである。
【００２３】気液ポンプを使用するもう１つの理由は、
何らかの作用で駆動源等が急激停止が起きても、吸込行
程がないためキャビテーションの心配がなく、気液が混
合のため気体がクッションの役目を果たし、ウォーター
ハンマーの危険性が極めて小さいことにある。
何らかの作用で駆動源等が急激停止が起きても、吸込行
程がないためキャビテーションの心配がなく、気液が混
合のため気体がクッションの役目を果たし、ウォーター
ハンマーの危険性が極めて小さいことにある。
【００２４】調整液量供給口４は、気液の体積比が常に
適切な範囲（１／５〜５／１）を確保させるために設け
るもので、自動的に水位調整しながら必要液量を流入さ
せるもので、気体は真空対象施設６から自動吸引し、液
体は必要水位を確保しつつ流入させるよう水位調整機器
を備えた供給口で構成されている。
適切な範囲（１／５〜５／１）を確保させるために設け
るもので、自動的に水位調整しながら必要液量を流入さ
せるもので、気体は真空対象施設６から自動吸引し、液
体は必要水位を確保しつつ流入させるよう水位調整機器
を備えた供給口で構成されている。
【００２５】スイベルジョイント１１は、圧送パイプの
回転部分と非回転部分とを、気密水密性、回転自在性、
連通性を維持しながら接続する機能を受け持つもので、
圧送パイプが短い場合なくてもよいが、気液圧送口５以
降の圧送パイプが長い場合は必要となる。
回転部分と非回転部分とを、気密水密性、回転自在性、
連通性を維持しながら接続する機能を受け持つもので、
圧送パイプが短い場合なくてもよいが、気液圧送口５以
降の圧送パイプが長い場合は必要となる。
【００２６】気液流入口７は、回転毎に水没して気液を
交互に汲み込む役目をし、必要に応じて気液流入口７の
形は変形してよい。
交互に汲み込む役目をし、必要に応じて気液流入口７の
形は変形してよい。
【００２７】気液ポンプの駆動源１０は特に制限はない
が、モーターによる駆動が主体となる。気液ポンプの使
用には封水状態に維持するため、回転数は２〜３０ｒｐ
ｍの効果的範囲で低速回転を維持する必要がある。
が、モーターによる駆動が主体となる。気液ポンプの使
用には封水状態に維持するため、回転数は２〜３０ｒｐ
ｍの効果的範囲で低速回転を維持する必要がある。
【００２８】気液ポンプの気液流入器８の型式は、軸外
伸展式を図示しているが限定するものではない、胴体
式、伸展流入式、軸内伸展式でもよい。浸漬を少なくし
て、回転時の液体との摩擦力を軽減し、メンテナンスの
容易性、巻体等の耐久性を考慮して、図示のように軸外
伸展式にするのも効果的である。
伸展式を図示しているが限定するものではない、胴体
式、伸展流入式、軸内伸展式でもよい。浸漬を少なくし
て、回転時の液体との摩擦力を軽減し、メンテナンスの
容易性、巻体等の耐久性を考慮して、図示のように軸外
伸展式にするのも効果的である。
【００２９】気液ポンプのパイプ巻体９の、パイプの口
径は時間当たりの気体の吸引量を考慮して決め、巻数は
パイプ巻体９の直系と巻数により適宣決める。
径は時間当たりの気体の吸引量を考慮して決め、巻数は
パイプ巻体９の直系と巻数により適宣決める。
【００３０】密閉容器１内の液体の貯留場所は、密閉容
器１内の全体にしてもよいが、図示の通り、密閉容器１
内の気体吸引口や調整液量供給口の近くの一部に限定し
てもよい。回転時の液体との摩擦力を小さくするために
は、前者よりも後者が効果的である。
器１内の全体にしてもよいが、図示の通り、密閉容器１
内の気体吸引口や調整液量供給口の近くの一部に限定し
てもよい。回転時の液体との摩擦力を小さくするために
は、前者よりも後者が効果的である。
【００３１】
【発明の効果】本発明によると、気液ポンプは羽根、歯
車、ピストン、スクリュー等が高速回転で起こす、気体
と機器との摩擦損失がなく、エネルギーのロスが小さい
利点がある。
車、ピストン、スクリュー等が高速回転で起こす、気体
と機器との摩擦損失がなく、エネルギーのロスが小さい
利点がある。
【００３２】さらに、本発明によると、遠心力を使用せ
ず、低速回転（２〜３０ｒｐｍ程度）で圧縮作業がで
き、振動騒音が極めて小さいことに加えて、密閉容器１
内で回転することで、更に騒音振動が小さくなり、通常
の真空ポンプに比べて無騒音無振動的に稼働する利点が
ある。
ず、低速回転（２〜３０ｒｐｍ程度）で圧縮作業がで
き、振動騒音が極めて小さいことに加えて、密閉容器１
内で回転することで、更に騒音振動が小さくなり、通常
の真空ポンプに比べて無騒音無振動的に稼働する利点が
ある。
【００３３】さらに、本発明によると、封水状態を保ち
ながら低速回転で気液を強制的に汲み込んで圧送するた
め、水密気密を維持しながら圧送するため、少しの漏気
も漏水もせず体積効率１００％で圧送（排気）できるメ
リットがある。
ながら低速回転で気液を強制的に汲み込んで圧送するた
め、水密気密を維持しながら圧送するため、少しの漏気
も漏水もせず体積効率１００％で圧送（排気）できるメ
リットがある。
【００３４】さらに、本発明によると、冷却施設が不要
となる。すなわち、気体を高圧化する場合に発生する高
熱にも、気体と液体が混在しているため高熱に至らない
ため冷却施設は不要となる利点がある。
となる。すなわち、気体を高圧化する場合に発生する高
熱にも、気体と液体が混在しているため高熱に至らない
ため冷却施設は不要となる利点がある。
【００３５】さらに、本発明によると、簡単な設備と操
作にある。すなわち、羽根、歯車、ピストン、スクリュ
ー等を必要とせず、また、冷却装置も必要としない簡単
な機器の構成で圧縮機能が発揮できる利点がある。
作にある。すなわち、羽根、歯車、ピストン、スクリュ
ー等を必要とせず、また、冷却装置も必要としない簡単
な機器の構成で圧縮機能が発揮できる利点がある。
【００３６】さらに、本発明によると、機器の故障の起
きにくいことにある。すなわち、気液の同時排出と、呑
口から吐口まで空洞で障害物がないため、気体だけでな
く、液体、ごみ等の不純物、圧送パイプの最小口径以下
の固形物が混入しても全て一緒に吸引し圧送排出がで
き、機器の故障の起きにくい効果がある。
きにくいことにある。すなわち、気液の同時排出と、呑
口から吐口まで空洞で障害物がないため、気体だけでな
く、液体、ごみ等の不純物、圧送パイプの最小口径以下
の固形物が混入しても全て一緒に吸引し圧送排出がで
き、機器の故障の起きにくい効果がある。
【００３７】さらに、本発明によると、何らかの原因で
駆動源等が急停止が起きても、吸込行程がないためキャ
ビテーションの心配がなく、気液が混合のためウォータ
ーハンマーの危険性がない効果がある。
駆動源等が急停止が起きても、吸込行程がないためキャ
ビテーションの心配がなく、気液が混合のためウォータ
ーハンマーの危険性がない効果がある。
【００３８】さらに、本発明によると、低速回転、無騒
音無振動的、小さい摩擦損失、簡単な構成等の多くの特
徴は、設置費、動力費、維持管費が小さくなる利点があ
る。
音無振動的、小さい摩擦損失、簡単な構成等の多くの特
徴は、設置費、動力費、維持管費が小さくなる利点があ
る。
【図１】本発明の、密閉気液真空ポンプ装置の構造の側
断面図を示し、吸引と圧送の発生原理の説明図を示す。
断面図を示し、吸引と圧送の発生原理の説明図を示す。
【図２】本発明の、図１の密閉気液真空ポンプ装置の４
箇所の断面、気液汲込機器、水位形成等の断面説明図を
示す。
箇所の断面、気液汲込機器、水位形成等の断面説明図を
示す。
１ 密閉容器
２ ポンプ（気液ポンプ）
３ 気体吸引口
４ 調整液量供給口
５ 気液圧送口
６ 真空対象施設
７ 気液流入口
８ 気液汲込機器
９ パイプ巻体
１０ 駆動源
１１ スイベルジョイント
１２ 添盤
１３ 吸引パイプ
１４ パイプ内水位
１５ 回転軸
１６ パイプ
１７ 軸受
１８ 圧送管
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F04B 19/12
F04B 19/06
F04D 3/00
F04D 11/00
F04C 7/00
F04B 29/00
F04B 31/00
F04B 37/14
Claims (2)
- 【請求項１】気体と液体を圧送するポンプ２として、内
部が空洞の回転軸１５をほぼ水平にして、回転軸１５の
周囲にパイプ１６を巻付けて複数のリングを作り、回転
軸１５と一体に回転可能にして水面近くに設けて軸受１
７に取り付ける、パイプ巻体９のパイプ１６の一端の開
口を気液流入口７として回転毎に水没させて気体と液体
を交互に汲み込む位置に置く、パイプ巻体９の最終リン
グから回転軸１５に入り、軸受１７を経てスイベルジョ
イント１１の一端に接続し、スイベルジョイント１１の
他端に圧送管１８を接続する、ポンプ２を密閉容器１内
に設けて、密閉容器１に気体吸引口３と調整液量供給口
４と気液圧送口５を付設する、気体吸引口３は外部の真
空対象施設６に連通接続する、以上の構成であって、密
閉容器１内に気体と液体を入れてポンプ２を回転して、
気液流入口７から回転毎に水中に水没して気液を流入さ
せて、気体と液体の体積比率を１／５〜５／１の範囲で
流入させて、ポンプ２で加圧された気体と液体は気液圧
送口５から外部へ圧送する、この圧送で密閉容器１内は
負圧状態が進行し、液体は調整液量供給口４から必要量
を自動供給し、気体は真空対象施設６から気体吸引口３
を経て自動吸引して、真空対象施設６内の気体を真空化
する密閉気液真空ポンプ装置。 - 【請求項２】気液流入口７のパイプ１６を延伸させてパ
イプ巻体９から回転軸１５内を経て軸受１７を潜って回
転軸１５の外側に延ばして気液流入口７を気液汲込機８
に設け、パイプ巻体９の全体を浸漬させることなく気液
流入口７のみを回転毎に水没させて気液を流入させる請
求項１記載の密閉気液真空ポンプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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