JP3522625B2 - 発塵防止装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム内
で、通常多量の塵を発生する装置を使用する際に、その
クリーンルーム内への発塵を防止するための発塵防止装
置に関する。本発明はさらに該装置が特に薬剤噴霧器ま
たは洗浄器である場合の発塵防止装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来はクリーンルーム内で種々の薬剤の
噴霧や、クリーンルーム内で洗浄する必要がある場合、
できるだけ塵の発生の少ない薬剤噴霧器や洗浄器を選択
して使用することとしていた。しかし、最近のより高度
のクリーンルーム内で使用可能な薬剤噴霧器や洗浄器を
選択することは難しく、高価な仕様のものとならざるを
えなかった。そこで、通常使用されている薬剤噴霧器や
洗浄器を、かかる高度なクリーンルーム内でも使用でき
るような発塵防止装置が望まれてきた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の問題
点を解決し、通常使用されている薬剤噴霧器や洗浄器を
含む種々の装置を高度なクリーンルーム内でも使用でき
る発塵防止装置を提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記課題を
以下の構成上の特徴を有する発塵防止装置とすることで
達成できることを見出し本発明を完成した。すなわち、
本発明にかかる発塵防止装置は、その中に薬剤（例え
ば、グルタールアルデヒド、ホルマリン、塩化ベンザル
コニウム、グルコン酸クロルヘキシジン、塩酸アルキル
ジアミノエチルグリシン、ポピドンヨウド）噴霧器のよ
うな発塵性の装置を収納するためのハウジングを有す
る。さらに、このハウジングの外部から空気を導入する
吸気ユニットを有する。また、前記ハウジング内の空気
を排出するための排気ユニットを有するが、この排気ユ
ニットは流量が制御可能な排気ファンと、ハウジング外
へ排気する際にすべての排気空気を通す排気フィルタか
らなるものである。また、本発明にかかる発塵防止装置
は、前記ハウジング内と外との圧力をモニタする装置
と、前記モニタ装置から送られる圧力値に基づいて、前
記ハウジング内の圧力が常に前記ハウジング外の圧力よ
りも特定の範囲で低くなるように、前記吸入ユニットと
前記排気ユニットを制御する制御装置を有するものであ
る。さらに、必要な場合には前記ハウジングには移動用
車輪が設けられており、クリーンルーム内を容易に移動
できる。また、クリーンルーム内で容易に発生する静電
気を放出して塵を吸着させないように静電気誘導装置を
設けたものである。以下、本発明を実施の形態に即して
詳細に説明する。

【０００５】

【発明の実施の形態】形態１ 図１は発塵防止装置の参考図である。図１に示される発
塵防止装置１は、薬剤噴霧器のような発塵性の装置３を
収納する十分な容積のハウジング２に、ハウジング２の
外部から空気を導入する吸気ユニット４と、ハウジング
２内の空気を排出するための排気ユニット５が設けられ
ている。排気ユニット５には、排気ファン６と排気フィ
ルタ７が設けられている。さらに、ハウジング２にはハ
ウジング内外の圧力をモニタする圧力モニタ装置８が設
けられている。また、制御装置９は、発塵性の装置３の
運転の制御、排気ユニット５の制御、吸気ユニット４の
制御、圧力モニタ装置８からのデータの処理を行う。

【０００６】発塵防止装置１は、クリーンルーム内で使
用されるため、ハウジングの外部に晒されるハウジング
表面からの塵発生を抑制するため、ハウジングが発塵性
のない材質や表面処理が施されていることが好ましい。
具体的にはステンレススチール製、または樹脂コーティ
ングしたものが好ましい。また、ハウジングは吸気ユニ
ット４および排気ユニット５の開口部以外は閉空間であ
ることが好ましい。

【０００７】発塵防止装置１は、まず排気ユニット５の
排気ファンを始動し吸気ユニット４からハウジング２の
外の空気が導入され、ハウジング２内を循環して排気フ
ァン６により排気ユニットの排気フィルタ７を通じて排
気される。この際含まれている塵１２のすべてが排気フ
ィルタを通ることになり、フィルタの性能に依存して塵
１２が除かれ、清浄化された空気のみがハウジング外へ
排気されることとなる。次にハウジング内で発塵性装置
を運転する。この場合、制御装置９により制御ライン１
０２を介して開始する。発塵装置からは種々の大きさの
塵１２が発生するが、発生した塵１２はすべて前記吸気
ユニット４から排気ユニット５への空気の流れにより排
気フィルタ７を通ることにより除かれることとなる。同
時に、ハウジング内で発塵性装置の運転の際に発生する
熱もまた空気流により効率的に除去される。

【０００８】本発明の発塵防止装置は、排気ユニット５
からの排気量が前記吸気ユニット４からの空気流入量よ
りも常に一定量多いように設定する。すなわち、ハウジ
ング内の圧力が常にハウジング外の圧力より一定の値低
くなるように制御することを特徴とする。かかる制御
は、ハウジングの容量と形状、発塵装置の大きさと形
状、排気フィルタから排出される空気の望ましい清浄度
等により依存する。ハウジング２が吸気ユニット４での
み外部に開かれ、その他の部分は閉空間である場合に
は、吸気ユニットを閉として排気ユニットを運転し、そ
の排気ユニットによるハウジング内外の圧力差が決めら
れる。この圧力差は圧力モニタ装置８により制御ライン
１００を介してモニタされる。制御装置９はこの圧力差
から制御ライン１０３を介して吸気ユニット４に作用し
必要な量の空気を取りこませる。前記圧力差が変動する
場合には、制御ライン１０１を介して排気ユニットの排
気ファンの出力を増加減少させるか、または吸気ユニッ
トの吸入量を制御することにより好ましい範囲の圧力差
を維持することが可能である。具体的には制御装置９に
よるフィードバック制御が挙げられる。

【０００９】この結果、発塵性装置から発生する塵はハ
ウジング内へ吸気されたクリーンルーム内の空気中に存
在した塵とともに、すべて排気ファン６により排気フィ
ルタ７を通って除かれ、発塵性装置を運転してもクリー
ンルーム内は汚染されないこととなる。

【００１０】上で説明したように、吸気ユニット４の開
口部分はそのまま好ましい範囲の固定サイズのすきまが
あればよい。さらに適当な手段により開閉するような構
造を設けてもよい。例えばハウジング内がその外よりも
圧力が低い際にのみ開口するように構成することも好ま
しい。具体的にはハウジング内方向へのみ開く一方向の
ダンパ４０１が挙げられる（図２）。このダンパ４０１
は手動であっても、自動であってもよい。好ましくは制
御装置９により制御ライン１１２により吸気開閉装置４
３が制御される。

【００１１】また、吸気ユニット４の設置数、位置につ
いては制限はない。図３に示すようにハウジング２の外
側表面部から塵１２が発生する可能性のある場合、例え
ば以下に説明するように車（キャスタ）１３を設けてク
リーンルーム内を移動する場合には、車の周辺から発生
する塵１２をハウジング２内へ吸入するための車の近辺
に吸気ユニット４を設けることが好ましい（図３）。さ
らには、吸気ユニット４には必要な場合適当なフィルタ
を設けることも好ましい（図示せず）。

【００１２】排気ユニット５は、ハウジング内の空気を
すべてフィルタ７を通して排気する構造であればよい。
好ましくは、排気ファン６が直接排気フィルタ７につけ
られ一体とされた排気ユニットが好ましい（図４）。か
かるユニットは市販されており、特に改変することなく
使用することができる。排気ファンの形状や排気量、フ
ィルタの大きさや種類についても好ましい範囲の組み合
わせを選択することは容易である。かかる排気ユニット
５を設ける数、位置についても制限はなく必要な排気
量、圧力差により適宜選択することが可能である。ま
た、使用可能な排気フィルタの種類、数についても制限
はなく、望ましい清浄度を得るために種々の組み合わせ
を選択することは容易である。

【００１３】本発明の発塵防止装置で使用可能な圧力モ
ニタ装置８は、ハウジングの内と外の圧力をモニタする
ものであればよい。種々の配管系、ゲージを選択して使
用することは容易である。モニタする位置、および数に
は制限はない。ハウジング内のモニタ位置は、例えばハ
ウジング内の吸気ユニットの近傍、発塵性装置の近傍、
または排気ファンの近傍や、排気フィルタの入り口と出
口付近等が可能である。図５にはその配管系の一例を示
した。ゲージ８１の一方はゲージ配管６２を介して開口
部８２でハウジング外部へ開口し、さらに一方はゲージ
配管６３を介してハイジング内部に開口し、この場合ゲ
ージ８１は、ハウジングの外部と内部の差圧を示す。か
かる差圧のデータは制御系９へ制御ラインをへて伝えら
れる。

【００１４】制御装置９の構成についても特に制限はな
い。発塵防止装置の運転の開始停止の制御、発塵性装置
の運転の開始停止の制御、吸気ユニット４の開閉、また
はすきまの制御、排気ユニット５の排気ファンの回転数
制御、圧力モニタ装置８の制御が含まれる。

【００１５】形態２ 本発明の他の態様には、上で説明した態様に加えて、さ
らに必要な場合クリーンルーム内を容易に移動するため
にハウジング下部に車１３を設けてもよい（図１）。こ
の車による移動は手動でも自動であってもよい。本発明
の他の態様には、本発明にかかる発塵防止装置１をクリ
ーンルーム内で運転する場合、クリーンルーム内の湿度
が低く制御されている場合に発生する静電気を逃がすた
めに静電気誘導装置１１が設けられる（図１）。かかる
装置については通常公知の装置を好ましく使用すること
ができる。具体的には、発塵防止の導電性ラインが上げ
られる。

【００１６】形態３ 本発明にかかる発塵防止装置で使用する発塵装置として
は、クリーンルーム内で使用する種々の薬剤（水を含
む）噴霧器が挙げられる。薬剤噴霧器は通常、電動機
（モータ）とコンプレッサーにあるベルト駆動部、薬剤
液噴霧用ノズル、薬液タンク、エアーバッファータン
ク、バルブ、圧縮空気フィルタ等の可動部分が多くその
運転中極めて多くの塵を発生する。また、かかる複雑な
構造がコンパクトなハウジングへ収納されると相当の熱
がハウジング内に蓄積される。かかる薬剤噴霧器を本願
発明にかかる発塵防止装置のハウジング内に収納する場
合には、このような塵発生源が十分吸気ユニットからの
空気流に混合され、排気フィルターで取り除かれるよう
な位置に設置することが好ましく、かつ発生した熱が効
率的に外部へ除去される位置に設置することが好まし
い。図６は、かかる１つの態様を示したものであり、ハ
ウジングの床にコンプレッサ３１と、それを駆動するモ
ータ３２を備えつけられ装置全体を安定化している。さ
らに、圧縮空気を一時ためるエアーバッファータンク３
３を介して圧縮空気パイプ３９を通じて圧縮空気フィル
タ３４により清浄化され、バルブ（電磁弁）３８を経て
薬液タンク３５からの薬液をノズル３７より噴霧する。
ノズルはまた必要ならば、ノズルリンス薬剤タンク３６
にある洗浄液でノズルを洗浄する。これらの操作は手動
でもよいし、また制御装置９からそれぞれ制御ライン９
１〜９８により自動制御されてもよい。薬液タンクまた
はノズルリンスタンクは充填等の操作が容易となるため
にハウジングの上部に設けられている。薬液の注入口３
５１、３６１がハウジング上部に設けられている。ま
た、不要となった薬液を除くためドレイン３５２を設け
ることも好ましい。

【００１７】図６には、車１３を設けた態様を示してあ
り、従って、車と床の周辺から発生する塵を効率的にハ
ウジング内へ導くために吸気ユニット４を車の近くの床
に設けてある。さらに、図示されていないが、ノズル周
辺から塵が発生する場合は、ハウジングの上部でノズル
近傍に吸気ユニット４をさらに設けることが好ましい。
さらに、コンプレッサ、モータから発生する熱を効率的
に除くために吸気ユニットをそれらのそばに、排気ユニ
ットをハウジング上部に設けてある。なお、必要な電源
は図示されていないが、ハウジング内部に設けてもよい
し、外部から接続してもよい。

【００１８】形態４ 本発明にかかる発塵防止装置で使用する発塵装置として
は、クリーンルーム内で使用する洗浄器が挙げられる。
洗浄器には、電動機によるポンプ、ベルト駆動部、高圧
ホース、薬液タンク等の可動部分が多くその運転中極め
て多くの塵を発生する。かかる洗浄器を本発明にかかる
発塵防止装置のハウジング内に収納する場合には、この
ような塵発生源が十分吸気ユニットからの空気流に混合
され、排気フィルターで取り除かれるような位置に設置
することが好ましい。また、かかる複雑な構造がコンパ
クトなハウジングへ収納されると相当の熱がハウジング
内に蓄積される。かかる洗浄器を本願発明にかかる発塵
防止装置のハウジング内に収納する場合には、このよう
な塵発生源が十分吸気ユニットからの空気流に混合さ
れ、排気フィルターで取り除かれるような位置に設置す
ることが好ましく、かつ発生した熱が効率的に外部へ除
去される位置に設置することが好ましい。図７は、かか
る１つの態様を示したものであり、ハウジングの床にモ
ータ４１とポンプ４２がベルト機構４７を介して備えら
れ装置全体を安定化している。さらに薬液タンク６２２
からパイプライン４８を介してポンプ４２へ薬液を運
び、さらに高圧化された薬液は高圧ホース４４、４５を
介してハウジング外部のノズル４６へ導かれる。これら
の操作は手動でもよいし、また制御装置９からそれぞれ
制御ライン９９〜１０４により自動制御されてもよい。
また薬液タンク注入口６２１とドレイン４９が設けられ
ている。

【００１９】図７には、車１３と静電気誘導装置１１を
設けた態様を示してあり、従って、車と床の周辺から発
生する塵を効率的にハウジング内へ導くために吸気ユニ
ット４を車の近くの床に設けてある。さらに、図示され
ていないが、高圧ホース周辺から塵が発生する場合は、
ハウジングの上部または側部で高圧ホース周辺に吸気ユ
ニット４をさらに設けることが好ましい。さらに、ポン
プ、モータから発生する熱を効率的に除くために吸気ユ
ニットをそれらのそばに、排気ユニットをハウジング上
部に設けてある。なお、必要な電源は図示されていない
が、ハウジング内部に設けてもよいし、外部から接続し
てもよい。なお、薬液タンク６２２はハウジング２の外
部に設けてもよい。この場合には、薬液タンク６２２か
らハウジング内のポンプ４２へのホースが必要となる
（図示せず）。

【００２０】形態５ 本発明にかかる発塵防止装置で使用する発塵装置として
は、クリーンルーム内で使用する真空掃除機が挙げられ
る。真空掃除機には、電動機（モータ）と真空ポンプ、
ベルト駆動部、真空ホース、真空タンク等の可動部分が
多くその運転中極めて多くの塵を発生する。かかる掃除
機を本発明にかかる発塵防止装置のハウジング内に収納
する場合には、このような塵発生源が十分吸気ユニット
からの空気流に混合され、排気フィルターで取り除かれ
るような位置に設置することが好ましい。また、かかる
複雑な構造がコンパクトなハウジングへ収納されると相
当の熱がハウジング内に蓄積される。かかる掃除機を本
発明にかかる発塵防止装置のハウジング内に収納する場
合には、このような塵発生源が十分吸気ユニットからの
空気流に混合され、排気フィルターで取り除かれるよう
な位置に設置することが好ましく、かつ発生した熱が効
率的に外部へ除去される位置に設置することが好まし
い。図８は、かかる１つの態様を示したものであり、ハ
ウジングの床にモータ５０とポンプ５１がベルト機構６
１を介して備えられ装置全体を安定化している。さらに
フィルタ付き真空タンク５２から真空ホース５７、制御
バルブ５４を介してハウジング外部の真空ホース５５を
経てノズル５６が備えられている。また、ポンプ５１か
ら排気される空気はホース５９を介して予備フィルタ５
３を経てハウジング内部へ開放される。すなわち、ノズ
ル５６から吸い込まれた汚染物を含む空気は容易にフィ
ルタ付き真空タンク５２へ導かれて汚染物が除かれる。
さらにその空気は予備フィルタ５３を経てハウジング内
へ開放される。ここで開放された空気には塵が含まれる
場合があるが、この塵は、ハウジング内で発生した塵と
ともに排気ユニット５で完全に除かれる。これらの操作
は手動でもよいし、また制御装置９からそれぞれ制御ラ
イン１０５〜１１１により自動制御されてもよい。

【００２１】図８には、車１３と静電気誘導装置１１を
設けた態様を示してあり、従って、車と床の周辺から発
生する塵を効率的にハウジング内へ導くために吸気ユニ
ット４を車の近くの床に設けてある。さらに、図示され
ていないが、真空ホース５５周辺から塵が発生する場合
は、ハウジングの上部または側部で真空ホース周辺に吸
気ユニット４をさらに設けることが好ましい。さらに、
ポンプ５１、モータ５０から発生する熱を効率的に除く
ために吸気ユニットをそれらのそばに、排気ユニットを
ハウジング上部に設けてある。なお、必要な電源は図示
されていないが、ハウジング内部に設けてもよいし、外
部から接続してもよい。なお、ノズル５６から吸入され
る媒体が水等の液体を含む場合も同様の構成が可能であ
る。この場合真空タンク５２内で液体と気体を分離する
ことが好ましい（図示せず）。

【００２２】さらに、図示されていないが、上記で説明
したいくつかの発塵性装置を１つのハウジング内へ収納
して使用することも可能である。かかる場合において
も、該装置から発生する塵を除去しつつかつ発生した熱
も同じに効率的に放散することができる。

【００２３】

【発明の効果】本発明にかかる発塵防止装置は、その中
に発塵性の装置を収納するためのハウジングを有する。
さらに、このハウジングの外部から空気を導入する吸気
ユニットを有する。また、前記ハウジング内の空気を排
出するための排気ユニットを有するが、この排気ユニッ
トは流量が制御可能な排気ファンと、ハウジング外へ排
気する際にすべての排気空気を通す排気フィルタからな
るものである。また、前記ハウジング内と外との圧力を
モニタする装置と、前記モニタ装置から送られる圧力値
に基づいて、前記ハウジング内の圧力が常に前記ハウジ
ング外の圧力よりも特定の範囲で低くなるように、前記
吸入ユニットと前記排気ユニットを制御する制御装置を
有する。従って、ハウジング内へ収納された発塵装置を
運転する際に発生した塵は、ハウジング内を流れる空気
流によりすべて排気フィルタを通ることになり除かれ
る。

【００２４】さらに、必要な場合には前記ハウジングに
は移動用車輪が設けられており、クリーンルーム内を容
易に移動できる。また、クリーンルーム内で容易に発生
する静電気を放出して塵を吸着させないように静電気誘
導装置を設ける。ハウジング内を流れる空気流はまた、
ハウジング内に収納された種々の発塵装置から発生する
熱を除去する作用も兼ねる。従って、比較的コンパクト
なハウジングであっても大容量のポンプやモータからな
る発塵装置をも収納可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】発塵防止装置の参考図

【図２】吸気ユニットの参考図

【図３】発明にかかる吸気ユニットの一態様を示す図

【図４】本発明にかかる排気ユニットの一態様を示す図

【図５】本発明にかかる圧力モニタ装置の一態様を示す
図

【図６】本発明にかかる発塵防止装置の一態様を示す図

【図７】本発明にかかる発塵防止装置の他の態様を示す
図

【図８】本発明にかかる発塵防止装置の他の態様を示す
図

【符号の説明】

１…発塵防止装置、２…ハウジング、３…発塵性装置、
４…吸気ユニット、５…排気ユニット、６…ファン、７
…フィルタ、８…圧力モニタ装置、９…制御装置、１１
…静電気誘導装置、１２…塵、１３…車、３１…モー
タ、３２…コンプレッサ、３３…エアーバッファータン
ク、３４…圧縮空気フィルタ、３５…薬液タンク、３６
…薬液タンク、３７…薬剤液噴霧用ノズル、３８…バル
ブ、３９…圧縮空気パイプ、４３…吸気開閉装置、８１
…ゲージ、８２…開口部、９１、９２、９３、９４、９
５、９６、９７、９８…制御ライン、４１…モータ、４
２…ポンプ、４４、４５…高圧ホース、４６…ノズル、
４７…ベルト駆動部、４８…パイプライン、４９…ドレ
イン、５０…モータ、５１…ポンプ、５２…フィルタ付
き真空タンク、５３…予備フィルタ、５４…制御バル
ブ、５５…真空ホース、５６…ノズル、５８…真空ホー
ス、５９…ホース、６０…排気口、６１…ベルト駆動
部、６２…ゲージ配管、６３…ゲージ配管、９９、１０
０、１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０
６、１０７、１０８、１０９、１１０、１１１、１１２
…制御ライン、３５１…薬液注入口、３５２…ドレイ
ン、３６１…薬液注入口、４０１…ダンパ、６０１…モ
ータ、６２１…薬液注入口、６２２…薬液タンク

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F24F 7/04 - 7/06

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 発塵性装置を収納するための移動用車輪
   付きハウジングと、前記ハウジング外から空気を導入す
   るために前記ハウジングの移動用車輪の近傍底面に設け
   られた吸気ユニットと、前記ハウジング内の空気を排出
   するための排気ファンと排気フィルタからなる排気ユニ
   ットと、前記ハウジング内と外との圧力モニタ装置と、
   前記圧力モニタ装置から送られる前記ハウジング内外の
   圧力に基づいて、前記ハウジング内の圧力が常に前記ハ
   ウジング外の圧力よりも低くなるように、前記吸気ユニ
   ットと前記排気ユニットを制御する制御装置と、静電気
   放出誘導装置とからなる発塵防止装置。
2. 【請求項２】 発塵性装置を収納するための移動用車輪
   付きハウジング外から空気を導入するために前記ハウジ
   ングの側面に設けられた吸気ユニットをさらに含む請求
   項１に記載の発塵防止装置。
3. 【請求項３】 前記発塵性装置が、クリーンルーム用の
   薬剤噴霧器である請求項１または２に記載の発塵防止装
   置。
4. 【請求項４】 前記発塵性装置が、クリーンルーム用の
   洗浄器である請求項１または２に記載の発塵防止装置。
5. 【請求項５】 前記発塵性装置が、クリーンルーム用の
   真空掃除機である請求項１または２に記載の発塵防止装
   置。