JP3522131B2 - Industrial robot equipment - Google Patents
Industrial robot equipmentInfo
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- JP3522131B2 JP3522131B2 JP33306198A JP33306198A JP3522131B2 JP 3522131 B2 JP3522131 B2 JP 3522131B2 JP 33306198 A JP33306198 A JP 33306198A JP 33306198 A JP33306198 A JP 33306198A JP 3522131 B2 JP3522131 B2 JP 3522131B2
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- JP
- Japan
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- substrate
- holding frame
- industrial robot
- side plate
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Automatic Assembly (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、複数枚の基板が
上下方向に互いに空隙を形成して保持枠に保持され、こ
れらの基板を産業ロボットにより取り扱う産業ロボット
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４〜図７は、従来の産業ロボット装置
を示す図で、図４は産業ロボットの要部側面図、図５は
産業ロボットの近くに配置された置台及び保持枠の正面
図、図６は図５の保持枠の正面図、図７は図６の右側面
図である。図において、１は産業ロボット、２は進退動
作する把持機構で、産業ロボット１の先端作動機構を形
成し、アーム３及び吸盤４によって構成されている。５
は産業ロボット１の近くに配置された置台で、上面に受
具６が設けられている。
【０００３】７は保持枠で、中央部に空所８を有する両
側の側板９、奥板１０、側板９及び奥板１０の上端に設
けられた上板１１、側板９及び奥板１０の下端に設けら
れた下部部材１２並びに側板９の内面に上下方向に互い
に離れて突設された複数の受片１３により構成され、要
時に置台５の受具６の上に載置される。
【０００４】１４はガラス製の基板で、複数枚それぞれ
の両側の縁部が受片１３に載置され、上下方向に空隙を
形成して保持枠７に収納されている。１５は位置決め機
構で、置台５の上面に設けられて側板９の外側に配置さ
れ、側板９面に対して進退可能に構成され要時に側板９
の空所８に進入して基板１４に向かって図５に鎖線で示
す位置に前進する。そして、側板９の空所８において基
板１４の端面を押圧し、置台５に対して基板１４を水平
方向において所定位置に配置する。
【０００５】従来の産業ロボット装置は上記のように構
成され、保持枠７から基板１４を搬出する場合には、置
台５に載置された保持枠７の最下段に配置された基板１
４と保持枠７の下部部材１２との間の空間に産業ロボッ
ト１の把持機構２が挿入される。そして、把持機構２に
対向した基板１４が把持されて搬出され、次いで搬出さ
れた基板１４の上方の基板１４が把持されて順次搬出さ
れる。
【０００６】また、保持枠７に基板１４を搬入する場合
には、置台５に載置された保持枠７に基板１４を吸着し
た把持機構２が挿入されて保持枠７の最上段の受片１３
に基板１４が載置され、次いで搬入された基板１４の下
方の受片１３に、把持された基板１４が順次搬入される
ようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の産
業ロボット装置では、把持機構２の図４に示す高さＡ
が、保持枠７の最下段に配置された基板１４と保持枠７
の下部部材１２との間の図６に示す空間Ｂ高さよりも高
いと、空間Ｂに把持機構２の挿入が不能になる。また、
把持機構２の挿入が可能であっても、基板１４の中央部
が撓みによって下垂すること等とも相俟って、高さＡと
空間Ｂとの間に余裕が少ない場合には、産業ロボット１
の作動精度の向上が必要となる。
【０００８】したがって、産業ロボット装置が高価にな
ったり動作速度が遅くなったりすることになるという問
題点があった。また、把持機構２の高さＡを徒に低くす
ると把持機構２における所要の剛性が得られず動作が不
安定になり、誤動作が発生するという問題点があった。
また、空間Ｂを徒に高くすると保持枠７の全高が増し、
保持枠７を収蔵、保管するときに多くのスペースを要す
るという問題点があった。
【０００９】この発明は、かかる問題点を解消するため
になされたものであり、保持枠の全高を増すことなく正
常に基板を搬出入できる産業ロボット装置を得ることを
目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明に係る産業ロボ
ット装置においては、進退動作する把持機構を有する産
業ロボットと、この産業ロボット近くに設置された置台
と、空所を有する両側の側板、この側板の上端に設けら
れた上板、側板の下端に設けられた下部部材及び側板の
内面に上下方向に互いに離れて突設された複数の受片に
よって構成されて置台に載置され、複数枚の基板を受片
により互いに上下方向に空隙を形成して保持する保持枠
と、置台上に設けられて保持枠の側板の外側に配置さ
れ、側板に対して進退可能に構成されて要時に側板の空
所を経て保持枠に保持された基板に向かって前進し、保
持枠に配置された基板の端面を位置決め板により押圧
し、置台に対して基板を所定位置に配置する位置決め機
構と、置台に設けられたレールに案内されて移動する移
動体及びこの移動体に設けられて位置決め機構の位置決
め板を昇降する昇降機並びに位置決め板に突設されて最
下段の受片に保持される基板を支持する支持子からなる
昇降手段とが設けられる。
【００１１】
【発明の実施の形態】実施の形態１．
図１〜図３は、この発明の他の実施の形態の一例を示す
図で、図１は前述の産業ロボットの近くに配置された置
台及び保持枠の正面図、図２は図１の装置における基板
の上昇状況を示す図であり図１の位置決め機構を抽出し
て示す図、図３は図２に対応した図１の要部右側面図で
ある。なお、図示が省略してあるが前述の図４〜図７に
おける装置と同様な産業ロボットが設けられている。図
において、５は産業ロボット１の近くに配置された置台
で、上面に受具６が設けられている。
【００１２】７は保持枠で、中央部に空所８を有する両
側の側板９、奥板１０、側板９及び奥板１０の上端に設
けられた上板１１、側板９及び奥板１０の下端に設けら
れた下部部材１２並びに側板９の内面に上下方向に互い
に離れて突設された複数の受片１３により構成され、要
時に置台５の受具６の上に載置される。１４はガラス製
の基板で、複数枚それぞれの両側の縁部が受片１３に載
置され、上下方向に空隙を形成して保持枠７に収納され
ている。
【００１３】１８は位置決め機構で、置台５の上部に設
けられたレール１９、レール１９に案内されて移動する
移動体２０、移動体２０に設けられたねじシリンダーか
らなる昇降機２１、昇降機２１に装着された位置決め板
２２及び位置決め板２２から突設されて保持枠７の最下
段に配置される基板１４の高さに対応した位置に配置さ
れると共に最下段の基板１４の両縁部にそれぞれ対応し
て設けられ互いに離れて配置された支持子２３によって
構成されている。
【００１４】そして、位置決め機構１８は置台５上に設
けられて側板９の外側に配置され、側板９面に対してレ
ール１９及び移動体２０により進退可能に構成され、不
要時に図１に鎖線で示す位置に配置されて、要時に動作
して側板の空所に嵌合状態となり基板１４に向かって図
１に実線で示す位置に前進する。そして、側板９の空所
８内において基板１４の端面を位置決め板２２により押
圧し、置台５に対して基板１４を所定位置に配置する。
また、２４は昇降機２１及び支持子２３によって構成さ
れた昇降手段である。
【００１５】上記のように構成された産業ロボット装置
において、保持枠７から基板１４を搬出する場合に次に
述べる作業が行われる。すなわち、置台５に載置された
保持枠７における最下段に配置されて受片１３に支持さ
れた基板１４の下側に対応した進入高さに産業ロボット
１の把持機構２が待機する。次いで、昇降手段２４が上
昇動作して最下段の基板１４を押し上げて基板１４と保
持枠７の下部部材１２との間の空間高さが、図１に示す
空間Ｃに拡大する。
【００１６】そして、保持枠７内の空間Ｃに把持機構２
が前進して進入し、その後に昇降手段２４が下降動作し
て把持機構２の吸盤４により最下段の基板１４が吸着さ
れる。次に、把持機構２が後退動作して最下段の基板１
４が搬出され、そして同様な動作によって搬出された基
板１４の上方の基板１４が順次搬出される。
【００１７】また、保持枠７に基板１４を搬入する場合
には、置台５に載置された保持枠７に、基板１４を吸着
した把持機構２が挿入されて保持枠７の最上段の受片１
３に基板１４が載置される。次いで、搬入された基板１
４の下方の受片１３に基板１４が順次搬入される。そし
て、保持枠７における最下段の受片１３に支持された基
板１４が次に述べるように搬入される。
【００１８】すなわち、昇降手段２４が上昇動作して、
保持枠７の最下段に配置される基板１４と下部部材１２
との間に、前述の空間Ｃが形成される位置に昇降手段２
４の支持子２３が配置される。次いで、基板１４を吸着
した把持機構２が空間Ｃに進入し支持子２３の上面に対
向した位置に基板１４を配置する。
【００１９】そして、この状態で吸盤４による吸着を解
除するので、支持子２３の上面に基板１４が支持され、
次いで把持機構２が保持枠７外に退出する。その後に、
昇降手段２４が下降動作して支持子２３上の基板１４が
保持枠７における最下段の受片１３に支持される。
【００２０】また、位置決め機構１８の位置決め板２２
が基板１４に向かって図１に実線で示す位置に前進して
側板９の空所８において基板１４の端面を押圧し、置台
５に対して基板１４を水平方向において所定位置に配置
する。その後に昇降手段２４が下降して、基板１４と保
持枠７の下部部材１２との間の空間高さが従前の位置に
配置されて基板１４の搬入作業が終了する。
【００２１】以上説明したように、保持枠７における最
下段受片１３の基板１４が、昇降手段２４によって基板
１４と保持枠７の下部部材１２との間の常時における空
間高さよりも高い図１に示す空間Ｃに配置される。そし
て、この状態で把持機構２が保持枠７の余裕の多い空間
Ｃに対して進退動作するので、保持枠７に対して把持機
構２を容易に進退させることができる。
【００２２】したがって、基板１４の中央部が撓みによ
って下垂すること等があっても、把持機構２の前述の高
さＡと空間Ｃとの間に余裕が得られて、産業ロボット１
の作動精度の向上を要することなく基板１４の搬出入作
業を行うことができる。このため、安価な産業ロボット
装置によって容易に対応でき、また動作速度を高速化で
きて作業能率を向上することができる。
【００２３】また、把持機構２の前述の図４に示す高さ
Ａの制約が少なく、把持機構２を所要の剛性に容易に製
作することができ、安定した動作が特性が得られて誤動
作の発生を防止でき正常に基板１４を搬出入することが
できる。さらに、保持枠７の全高が増すことがないの
で、余計なスペースを要することなしに保持枠７を効率
よく収蔵、保管することができる。
【００２４】
【発明の効果】この発明は以上説明したように、進退動
作する把持機構を有する産業ロボットと、この産業ロボ
ット近くに設置された置台と、空所を有する両側の側
板、この側板の上端に設けられた上板、側板の下端に設
けられた下部部材及び側板の内面に上下方向に互いに離
れて突設された複数の受片によって構成されて置台に載
置され、複数枚の基板を受片により互いに上下方向に空
隙を形成して保持する保持枠と、置台上に設けられて保
持枠の側板の外側に配置され、側板に対して進退可能に
構成されて要時に側板の空所を経て保持枠に保持された
基板に向かって前進し、保持枠に配置された基板の端面
を位置決め板により押圧し、置台に対して基板を所定位
置に配置する位置決め機構と、置台に設けられたレール
に案内されて移動する移動体及びこの移動体に設けられ
て位置決め機構の位置決め板を昇降する昇降機並びに位
置決め板に突設されて最下段の受片に保持される基板を
支持する支持子からなる昇降手段とを設けたものであ
る。
【００２５】これによって、保持枠における最下段に保
持される基板が、搬出入時に昇降手段によって基板と保
持枠の下部部材との間の保持時の空間高さよりも高い高
空間に配置される。そして、この状態で把持機構が保持
枠の最下段に保持される基板に関わる高空間に対して進
退動作するので、保持枠に対して把持機構を容易に進退
させることができる。
【００２６】したがって、位置決め機構に設けられた昇
降手段の動作により把持機構自体の高さと、拡大した保
持枠の下部部材と最下段の基板との間の空間との間の余
裕が大きくなり、産業ロボットの作動精度の向上を要す
ることなく保持枠に対して容易に基板の搬出入作業を行
うことができる。そして、安価な産業ロボット装置によ
って容易に対応でき、また動作を高速化できて産業ロボ
ットによる作業能率を向上する効果がある。
【００２７】また、把持機構自体の高さの制約が少な
く、把持機構を所要の剛性に容易に製作することがで
き、安定した動作が特性が得られる。このため、誤動作
の発生を防止でき正常に基板を搬出入することができ
る。さらに、保持枠の全高が増すことがなく、余計なス
ペースを要することなしに収蔵、保管することができ、
保持枠の保存を容易化する効果がある。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an industry in which a plurality of substrates are held in a holding frame while forming a gap in the vertical direction, and these substrates are handled by an industrial robot. It relates to a robot device. 2. Description of the Related Art FIGS. 4 to 7 are views showing a conventional industrial robot apparatus. FIG. 4 is a side view of a main part of the industrial robot, and FIG. 5 is a table and a holder arranged near the industrial robot. FIG. 6 is a front view of the holding frame of FIG. 5, and FIG. 7 is a right side view of FIG. In the figure, 1 is an industrial robot, 2 is a gripping mechanism that moves forward and backward, and forms a tip operating mechanism of the industrial robot 1 and is constituted by an arm 3 and a suction cup 4. 5
Is a table placed near the industrial robot 1, and a receiver 6 is provided on the upper surface. [0003] Reference numeral 7 denotes a holding frame, which is a side plate 9, a back plate 10, and an upper plate 11 provided on the upper ends of the side plates 9 and 10, each having a space 8 in the center, and lower ends of the side plates 9 and 10. And a plurality of receiving pieces 13 protruding from the inner surface of the side plate 9 in the vertical direction so as to be separated from each other, and is mounted on the receiving tool 6 of the mounting table 5 when necessary. [0004] Reference numeral 14 denotes a glass substrate. Both edges of each of the plurality of substrates are placed on the receiving piece 13, and are formed in the holding frame 7 so as to form a gap in the vertical direction. Reference numeral 15 denotes a positioning mechanism, which is provided on the upper surface of the mounting table 5 and is disposed outside the side plate 9 so as to be able to advance and retreat with respect to the side plate 9 surface.
And moves forward toward the substrate 14 to the position shown by the chain line in FIG. Then, the end surface of the substrate 14 is pressed in the space 8 of the side plate 9, and the substrate 14 is disposed at a predetermined position in the horizontal direction with respect to the mounting table 5. [0005] The conventional industrial robot apparatus is configured as described above, and when the substrate 14 is carried out from the holding frame 7, the substrate 1 disposed at the lowermost stage of the holding frame 7 placed on the table 5 is mounted.
The gripping mechanism 2 of the industrial robot 1 is inserted into a space between the lower frame 4 and the lower member 12 of the holding frame 7. Then, the substrate 14 facing the gripping mechanism 2 is gripped and unloaded, and then the substrate 14 above the unloaded substrate 14 is gripped and sequentially unloaded. When the substrate 14 is carried into the holding frame 7, the holding mechanism 2, which sucks the substrate 14, is inserted into the holding frame 7 placed on the mounting table 5, and the uppermost receiving piece of the holding frame 7 is received. Thirteen
The substrate 14 is placed on the substrate 14, and then the gripped substrate 14 is sequentially loaded into the receiving piece 13 below the loaded substrate 14. In the above-described conventional industrial robot apparatus, the height A of the gripping mechanism 2 shown in FIG.
Are the substrate 14 and the holding frame 7 arranged at the bottom of the holding frame 7.
When the height is higher than the height of the space B shown in FIG. Also,
Even if the gripping mechanism 2 can be inserted, if the margin between the height A and the space B is small due to the fact that the central portion of the substrate 14 hangs down due to bending, the industrial robot 1
It is necessary to improve the operation accuracy of the motor. Therefore, there has been a problem that the industrial robot device becomes expensive or its operation speed becomes slow. Further, if the height A of the gripping mechanism 2 is made too low, the required rigidity of the gripping mechanism 2 cannot be obtained, the operation becomes unstable, and a malfunction occurs.
In addition, if the space B is unnecessarily increased, the overall height of the holding frame 7 increases,
There is a problem that a lot of space is required when storing and storing the holding frame 7. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide an industrial robot apparatus which can normally carry in and out a substrate without increasing the overall height of a holding frame. [0010] In the industrial robot apparatus according to the present invention, an industrial robot having a gripping mechanism that moves forward and backward, a table installed near the industrial robot, and both sides having an empty space are provided. Side plate, provided at the upper end of this side plate
Of the upper plate, the lower member and the side plate
With multiple receiving pieces protruding from the inner surface in the vertical direction
It is configured and placed on a mounting table, and receives a plurality of substrates
A holding frame that holds and form voids in the vertical direction to each other by, disposed on the outside of the side plate of the holding frame provided on table, empty plate in at principal is movably configured for side plates
A positioning mechanism that moves forward toward the substrate held by the holding frame through the place, presses the end surface of the substrate placed on the holding frame with the positioning plate, and places the substrate at a predetermined position with respect to the mounting table, and provided on the mounting table. It is projected to the elevator and positioning plate to lift the moving body and the positioning plate of the positioning mechanism provided in the mobile moves while being guided by the obtained rail top
Lifting means comprising a support for supporting the substrate held by the lower receiving piece is provided. [0011] [of the implementation of the invention form] of implementation form 1. 1 to 3 show another embodiment of the present invention. FIG. 1 is a front view of a table and a holding frame arranged near the above-mentioned industrial robot, and FIG. 2 is an apparatus of FIG. FIG. 3 is a diagram showing the ascending state of the substrate in FIG. 1, showing the positioning mechanism of FIG. 1 extracted, and FIG. 3 is a right side view of main parts of FIG. 1 corresponding to FIG. Although not shown, an industrial robot similar to the apparatus shown in FIGS. 4 to 7 is provided. In the drawing, reference numeral 5 denotes a table placed near the industrial robot 1, and a receiving tool 6 is provided on the upper surface. Reference numeral 7 denotes a holding frame, and upper and lower plates 11 and 10 provided on the upper ends of the side plates 9 and the back plates 10 and the side plates 9 and 10 at the center. And a plurality of receiving pieces 13 protruding from the inner surface of the side plate 9 in the vertical direction so as to be separated from each other, and is mounted on the receiving tool 6 of the mounting table 5 when necessary. Reference numeral 14 denotes a glass substrate, the edges of both sides of each of the plurality of substrates are placed on the receiving piece 13, and are housed in the holding frame 7 while forming a gap in the vertical direction. Reference numeral 18 denotes a positioning mechanism, which is mounted on a rail 19 provided above the table 5, a moving body 20 guided and moved by the rail 19, a lift 21 comprising a screw cylinder provided on the moving body 20, and a lift 21. The positioning plate 22 and the positioning plate 22 protruded from the positioning plate 22 are disposed at positions corresponding to the height of the substrate 14 disposed at the lowermost stage of the holding frame 7 and respectively correspond to both edges of the substrate 14 at the lowermost stage. It is constituted by support members 23 which are provided and are separated from each other. The positioning mechanism 18 is provided on the mounting table 5 and is disposed outside the side plate 9, and is configured to be able to advance and retreat with respect to the surface of the side plate 9 by the rail 19 and the moving body 20. It is arranged at the position shown in the figure, operates when necessary, and is engaged with the space of the side plate, and advances toward the position shown by the solid line in FIG. Then, the end face of the substrate 14 is pressed by the positioning plate 22 in the space 8 of the side plate 9, and the substrate 14 is arranged at a predetermined position with respect to the mounting table 5.
Reference numeral 24 denotes an elevating means constituted by the elevator 21 and the support 23. In the industrial robot apparatus configured as described above, when the substrate 14 is carried out from the holding frame 7, the following operation is performed. That is, the gripping mechanism 2 of the industrial robot 1 waits at the approach height corresponding to the lower side of the substrate 14 supported by the receiving piece 13 and disposed at the lowermost stage of the holding frame 7 mounted on the mounting table 5. Next, the elevating means 24 moves up to push up the lowermost substrate 14, and the space height between the substrate 14 and the lower member 12 of the holding frame 7 expands to the space C shown in FIG. 1. The holding mechanism 2 is inserted into the space C in the holding frame 7.
Then, the lifting / lowering means 24 moves downward, and the suction board 4 of the gripping mechanism 2 sucks the lowermost substrate 14. Next, the gripping mechanism 2 moves backward to move the lowermost substrate 1.
4 are unloaded, and the substrates 14 above the unloaded substrates 14 are sequentially unloaded by the same operation. When the substrate 14 is carried into the holding frame 7, the gripping mechanism 2, which has sucked the substrate 14, is inserted into the holding frame 7 placed on the mounting table 5, so that the uppermost receiving portion of the holding frame 7 is received. Piece 1
The substrate 14 is placed on 3. Next, the loaded substrate 1
The substrates 14 are sequentially loaded into the receiving pieces 13 below the base 4. Then, the substrate 14 supported by the lowermost receiving piece 13 in the holding frame 7 is carried in as described below. That is, the elevating means 24 moves up,
Substrate 14 and lower member 12 arranged at the bottom of holding frame 7
Between the elevating means 2 and the position where the space C is formed.
Four support members 23 are arranged. Next, the gripping mechanism 2 that has sucked the substrate 14 enters the space C and places the substrate 14 at a position facing the upper surface of the support 23. Since the suction by the suction cup 4 is released in this state, the substrate 14 is supported on the upper surface of the support 23,
Next, the gripping mechanism 2 moves out of the holding frame 7. Then,
The elevating means 24 moves down, and the substrate 14 on the support 23 is supported by the lowermost receiving piece 13 of the holding frame 7. The positioning plate 22 of the positioning mechanism 18
Moves toward the substrate 14 to the position shown by the solid line in FIG. 1 and presses the end surface of the substrate 14 in the space 8 of the side plate 9, and arranges the substrate 14 at a predetermined position with respect to the mounting table 5 in the horizontal direction. Thereafter, the elevating means 24 descends, and the space height between the substrate 14 and the lower member 12 of the holding frame 7 is arranged at the previous position, and the loading operation of the substrate 14 is completed. As described above, the substrate 14 of the lowermost receiving piece 13 in the holding frame 7 is higher than the normal space height between the substrate 14 and the lower member 12 of the holding frame 7 by the elevating means 24 in FIG. In the space C shown in FIG. Then, in this state, the gripping mechanism 2 moves forward and backward with respect to the space C where the holding frame 7 has a large margin, so that the gripping mechanism 2 can be easily moved forward and backward with respect to the holding frame 7. Therefore, even if the central portion of the substrate 14 hangs down due to bending or the like, a margin is obtained between the above-described height A of the gripping mechanism 2 and the space C, and the industrial robot 1
It is possible to carry out the loading / unloading operation of the substrate 14 without the need for improving the operation accuracy of the substrate 14. For this reason, it can be easily handled by an inexpensive industrial robot device, and the operation speed can be increased to improve the work efficiency. Further, the height A of the gripping mechanism 2 shown in FIG. 4 is less restricted, and the gripping mechanism 2 can be easily manufactured to a required rigidity. Generation can be prevented, and the substrate 14 can be carried in and out normally. Further, since the total height of the holding frame 7 does not increase, the holding frame 7 can be efficiently stored and stored without requiring extra space. As described above, the present invention provides an industrial robot having a gripping mechanism that moves forward and backward, a table installed near the industrial robot, and both sides having a void.
Plate, an upper plate provided at the upper end of this side plate, and a lower plate provided at the lower end of the side plate.
The lower member and the inner surface of the side plate
A holding frame, which is constituted by a plurality of receiving pieces protruded and mounted on the mounting table, and holds a plurality of substrates by forming a gap in the vertical direction with respect to the plurality of substrates by the receiving pieces, and provided on the mounting table to hold It is arranged outside the side plate of the frame, is configured to be able to advance and retreat with respect to the side plate, and is held by the holding frame through the space of the side plate when necessary
Advanced toward the substrate, the end faces of the substrate disposed on the holding frame is pressed by the positioning plate, a positioning mechanism for placing a substrate in a predetermined position relative to the table, rails provided on the base
Comprising a support element for supporting a substrate to be held is guided is provided in the moving body and the moving body moves so as to project elevator and positioning plate raising and lowering the positioning plate of the positioning mechanism at the bottom of the receiving pieces to Lifting means is provided. With this arrangement, the substrate held at the lowermost stage of the holding frame is arranged in a high space higher than the space when the substrate is held between the substrate and the lower member of the holding frame by the elevating means at the time of carrying in and out. Then, in this state, the gripping mechanism moves forward and backward with respect to the high space relating to the substrate held at the lowermost stage of the holding frame, so that the gripping mechanism can be easily moved forward and backward with respect to the holding frame. Therefore, the operation of the lifting / lowering means provided in the positioning mechanism increases the margin between the height of the gripping mechanism itself and the space between the enlarged lower member of the holding frame and the lowermost substrate. The substrate can be easily carried in and out of the holding frame without the need for improving the operation accuracy of the robot. In addition, it is possible to easily cope with an inexpensive industrial robot device, and to increase the operation speed, thereby improving the working efficiency of the industrial robot. Further, the height of the gripping mechanism itself is less restricted, the gripping mechanism can be easily manufactured to have a required rigidity, and stable operation characteristics can be obtained. For this reason, occurrence of a malfunction can be prevented, and the substrate can be carried in and out normally. Furthermore, the total height of the holding frame does not increase, and it can be stored and stored without requiring extra space,
This has the effect of facilitating the storage of the holding frame.
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の実施の形態１を示す図で、産業ロ
ボットの近くに配置された置台及び保持枠の正面図であ
る。
【図２】 図１の装置における基板の上昇状況を示す図
で、図１の位置決め機構を抽出して示す図である。
【図３】 図２に対応した図１の要部右側面図である。
【図４】 従来の産業ロボット装置を示す産業ロボット
の要部側面図である。
【図５】 図４の産業ロボットの近くに配置された置台
及び保持枠の正面図である。
【図６】 図５の保持枠の正面図である。
【図７】 図６の右側面図である。
【符号の説明】
１ 産業ロボット、２ 把持機構、５ 置台、７ 保持
枠、８ 空所、９ 側板、１１上板、１２ 下部部材、
１３ 受片、１４ 基板、１８ 位置決め機構、１９
レール、２０ 移動体、２１ 昇降機、２２ 位置決め
板、２３ 支持子、２４ 昇降手段。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a view showing Embodiment 1 of the present invention, and is a front view of a table and a holding frame arranged near an industrial robot. FIG. 2 is a diagram showing a rising state of a substrate in the apparatus of FIG. FIG. 3 is a right side view of a main part of FIG. 1 corresponding to FIG. 2; FIG. 4 is a side view of a main part of an industrial robot showing a conventional industrial robot device. FIG. 5 is a front view of a table and a holding frame arranged near the industrial robot of FIG. 4; FIG. 6 is a front view of the holding frame of FIG. 5; FIG. 7 is a right side view of FIG. [Description of Signs] 1 industrial robot, 2 gripping mechanism, 5 table, 7 holding frame, 8 void, 9 side plate, 11 upper plate, 12 lower member,
13 receiving piece, 14 substrate, 18 positioning mechanism, 19
Rail, 20 moving body, 21 elevating machine, 22 positioning plate, 23 supporter, 24 elevating means.
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−13547（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−242237（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−74126（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−41376（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−208008（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−129700（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−338731（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−289244（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−288368（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B23P 19/00 - 21/00 H01L 21/68 Continuation of the front page (56) References JP-A-5-13547 (JP, A) JP-A-10-242237 (JP, A) JP-A-9-74126 (JP, A) JP-A-10-41376 (JP) JP-A-9-208008 (JP, A) JP-A-9-129700 (JP, A) JP-A-5-338731 (JP, A) JP-A-9-289244 (JP, A) 8-288368 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) B23P 19/00-21/00 H01L 21/68
Claims (1)
ットと、この産業ロボット近くに設置された置台と、空
所を有する両側の側板、この側板の上端に設けられた上
板、上記側板の下端に設けられた下部部材及び上記側板
の内面に上下方向に互いに離れて突設された複数の受片
によって構成されて上記置台に載置され、複数枚の基板
を上記受片により互いに上下方向に空隙を形成して保持
する保持枠と、上記置台上に設けられて上記保持枠の側
板の外側に配置され、上記側板に対して進退可能に構成
されて要時に上記側板の空所を経て上記保持枠に保持さ
れた上記基板に向かって前進し、上記保持枠に配置され
た上記基板の端面を位置決め板により押圧し、上記置台
に対して上記基板を所定位置に配置する位置決め機構
と、上記置台に設けられたレールに案内されて移動する
移動体及びこの移動体に設けられて上記位置決め機構の
位置決め板を昇降する昇降機並びに上記位置決め板に突
設されて最下段の上記受片に保持される上記基板を支持
する支持子からなる昇降手段とを備えた産業ロボット装
置。(57) [Claims] [Claim 1] An industrial robot having a gripping mechanism that moves forward and backward, a table installed near the industrial robot, and an empty
On both sides of the side plate,
Plate, lower member provided at the lower end of the side plate, and the side plate
Several pieces projecting vertically apart from each other on the inner surface of the
A holding frame configured to be placed on the mounting table and holding a plurality of substrates by forming a gap in the up and down direction by the receiving piece, and provided outside the side plate of the holding frame provided on the mounting table. It is arranged to be able to advance and retreat with respect to the side plate, and is held by the holding frame through a space in the side plate when necessary.
A positioning mechanism for advancing toward the placed substrate, pressing an end surface of the substrate disposed on the holding frame with a positioning plate, and disposing the substrate at a predetermined position with respect to the mounting table, and provided on the mounting table. mobile and elevators, as well as the substrate held so as to project the positioning plate at the bottom of the receiving pieces this is provided in the moving body to lift the positioning plate of the positioning mechanism moves by being guided by the rails were An industrial robot apparatus comprising: a lifting unit configured to support a member.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33306198A JP3522131B2 (en) | 1998-11-24 | 1998-11-24 | Industrial robot equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33306198A JP3522131B2 (en) | 1998-11-24 | 1998-11-24 | Industrial robot equipment |
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|---|---|
| JP2000158247A JP2000158247A (en) | 2000-06-13 |
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|---|---|---|---|---|
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-
1998
- 1998-11-24 JP JP33306198A patent/JP3522131B2/en not_active Expired - Fee Related
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