JP3514001B2 - Oxygen sensor element - Google Patents
Oxygen sensor elementInfo
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Description
【0001】[0001]
【技術分野】本発明は,自動車用内燃機関の燃焼制御に
使用される酸素センサ素子に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to an oxygen sensor element used for combustion control of an internal combustion engine for an automobile.
【0002】[0002]
【従来技術】従来,自動車用内燃機関より排出される排
気ガス中の酸素濃度を検出するためのガス検出器とし
て,ZrO2 固体電解質を使用した,例えば,酸素濃淡
起電力式のガス検出器が知られており,実用化されてい
る。上記ガス検出器としては,例えば,図10に示す構
造の酸素濃度検出器が挙げられる。2. Description of the Related Art Conventionally, for example, an oxygen concentration electromotive force type gas detector using a ZrO 2 solid electrolyte has been used as a gas detector for detecting the oxygen concentration in exhaust gas discharged from an automobile internal combustion engine. It is known and has been put to practical use. An example of the gas detector is an oxygen concentration detector having the structure shown in FIG.
【0003】上記酸素濃度検出器9は,その先端に酸素
センサ素子90を設けてある。上記酸素センサ素子90
は,図11,図12に示すごとく,固体電解質13の両
面に配設した外側電極131と内側電極132と,該外
側電極131を覆う電極保護層8とよりなる。また,上
記酸素センサ素子90は有底円筒体で,その内腔15に
はヒータ5が挿入されている。また,上記外側電極13
1,内側電極132は白金より構成されている。また,
上記電極保護層8は多孔質体よりなり,その表面80は
多数の細孔を有する。The oxygen concentration detector 9 is provided with an oxygen sensor element 90 at its tip. The oxygen sensor element 90
As shown in FIGS. 11 and 12, the outer electrode 131 and the inner electrode 132 are provided on both surfaces of the solid electrolyte 13, and the electrode protection layer 8 covering the outer electrode 131. Further, the oxygen sensor element 90 is a bottomed cylindrical body, and the heater 5 is inserted into the inner cavity 15 thereof. In addition, the outer electrode 13
1, the inner electrode 132 is made of platinum. Also,
The electrode protection layer 8 is made of a porous material, and its surface 80 has a large number of pores.
【0004】上記酸素センサ素子90は,図10に示す
ごとく,ハウジング96によりカバーされている。ま
た,上記酸素濃度検出器9は,ハウジング96に設けた
フランジ97により,自動車用内燃機関の排気経路に取
付けられる。上記酸素センサ素子90においてセンサ出
力は,排気ガスが上記電極保護層8の細孔を通って外側
電極131に到達することにより,該外側電極131及
び上記内側電側132との間において,生じる。The oxygen sensor element 90 is covered by a housing 96 as shown in FIG. Further, the oxygen concentration detector 9 is attached to the exhaust path of the internal combustion engine for automobiles by a flange 97 provided on the housing 96. In the oxygen sensor element 90, a sensor output is generated between the outer electrode 131 and the inner charge side 132 when the exhaust gas reaches the outer electrode 131 through the pores of the electrode protection layer 8.
【0005】ところで,上記排気ガス中には,未燃焼ガ
ス成分と残存酸素とが含まれており,両者を外側電極1
31を構成する白金の触媒作用により反応させ,平衡状
態とすることにより,シャープな特性を有するセンサ出
力を得ることができる。従って,上記反応を促進するこ
とにより,酸素センサ素子90の応答性を向上させるこ
とができる。By the way, the exhaust gas contains unburned gas components and residual oxygen.
By causing the platinum constituting 31 to react by the catalytic action to bring it into an equilibrium state, it is possible to obtain a sensor output having sharp characteristics. Therefore, the responsiveness of the oxygen sensor element 90 can be improved by promoting the above reaction.
【0006】そして,上記反応の促進には,外側電極1
31に到達する排気ガスの流量を適当に制限することが
重要である。上記流量を制限するためには,上記電極保
護層8が,気孔率が低く,平均細孔径が小さい緻密な層
であることが必要である。The outer electrode 1 is used to promote the above reaction.
It is important to properly limit the flow rate of exhaust gas reaching 31. In order to limit the flow rate, the electrode protection layer 8 needs to be a dense layer having a low porosity and a small average pore diameter.
【0007】上述のごとき緻密な電極保護層8は,一般
にプラズマ溶射という方法によって形成することができ
る。上記プラズマ溶射により形成された電極保護層8は
適度に多孔質であるため,白金よりなる外側電極131
との密着性がよい。さらに,上記プラズマ溶射は,電極
保護層8における細孔の分布状態,形成する電極保護層
8の厚みの制御が容易であるという点においても優れて
いる。The dense electrode protective layer 8 as described above can be generally formed by a method called plasma spraying. Since the electrode protective layer 8 formed by the plasma spraying is appropriately porous, the outer electrode 131 made of platinum is used.
Good adhesion with. Further, the plasma spraying is also excellent in that it is easy to control the distribution of pores in the electrode protection layer 8 and the thickness of the electrode protection layer 8 to be formed.
【0008】しかしながら,図12に示すごとく,この
様な電極保護層8は上述の効果を有する反面,ある種の
実用条件下において,その表面80全体が排気ガスに由
来する被毒物79により被覆され,排気ガスの外側電極
131への拡散が妨げられるおそれがある。この結果,
酸素センサ素子90のセンサ出力の低下,応答性の低下
といった種々の問題が生じる。なお,上記被毒物79
は,P,Ca,Zn,Si等のオイル成分,及びK,N
a,Pb等のガソリン混合成分からなる微細な粒子や膜
状のガラス質等よりなる。However, as shown in FIG. 12, such an electrode protective layer 8 has the above-mentioned effect, but under certain practical conditions, the entire surface 80 is covered with poisonous substances 79 derived from exhaust gas. The diffusion of exhaust gas to the outer electrode 131 may be hindered. As a result,
Various problems such as a decrease in sensor output of the oxygen sensor element 90 and a decrease in responsiveness occur. The poisonous substances 79
Is an oil component such as P, Ca, Zn, Si, and K, N
It is composed of fine particles composed of gasoline mixed components such as a and Pb, filmy glass, and the like.
【0009】更に,近年,内燃機関の燃費向上やその性
能向上に伴い,ガス検出器が,より高温雰囲気において
使用される機会が増大すると共に,上記排気ガス中の被
毒物の量も増大している。Furthermore, in recent years, as the fuel consumption of internal combustion engines has been improved and the performance thereof has been improved, the chances of the gas detector being used in a higher temperature atmosphere have increased, and the amount of poisonous substances in the exhaust gas has also increased. There is.
【0010】高温雰囲気において,上記表面に付着した
被毒物は,互いに化学反応を起こしたり,あるいは溶融
を起こすおそれがある。化学反応を起こし,溶融した上
記被毒物は,その後のガス検出器の周囲温度が低下する
ことにより,通気性のない緻密なガラス状付着被膜を電
極保護層の表面に形成するおそれがある。この場合に
は,上記ガラス状付着被膜により,排気ガスの電極への
到達が大きく妨げられ,通常のセンサ出力が得られなく
なる。In a high temperature atmosphere, the poisoning substances attached to the surface may cause a chemical reaction with each other or may melt. The above-described poisoning substances that have undergone a chemical reaction and melted may form a dense glass-like adhered coating having no air permeability on the surface of the electrode protective layer due to the subsequent decrease in the ambient temperature of the gas detector. In this case, the glass-like adhered coating greatly hinders the exhaust gas from reaching the electrode, and a normal sensor output cannot be obtained.
【0011】これらの酸素センサ素子においては,時間
の経過と共にそのセンサ出力が変化するおそれがあり,
従って自動車用内燃機関の正確な空燃比測定を行うこと
ができない。以上により,上記酸素センサ素子の耐久性
は,あまり高くないといえる。In these oxygen sensor elements, the sensor output may change over time,
Therefore, it is impossible to accurately measure the air-fuel ratio of the internal combustion engine for automobiles. From the above, it can be said that the durability of the oxygen sensor element is not so high.
【0012】上記問題を解決するために,被毒物トラッ
プ層を酸素センサ素子に設け,電極保護層における目詰
まりを防止する改良が提案されている。即ち,酸素セン
サ素子における電極保護層の表面に,アルミナ等により
一定の細孔径,厚み,気孔率を有する被毒物トラップ層
を形成する方法が提案されている(特開平6−1746
83号)。In order to solve the above problems, an improvement has been proposed in which a poisoning substance trap layer is provided in the oxygen sensor element to prevent clogging of the electrode protective layer. That is, there has been proposed a method of forming a poisoning substance trap layer having a constant pore diameter, thickness and porosity on the surface of the electrode protective layer of the oxygen sensor element by using alumina or the like (Japanese Patent Laid-Open No. 6-1746).
No. 83).
【0013】上記酸素センサ素子は,上記被毒物トラッ
プ層において被毒物を捕獲することができる。このた
め,電極保護層における目詰まりが生じない。また,上
記被毒物トラップ層を,平均細孔径の大きな多孔質体と
なし,その厚みを厚くすることにより,上記被毒物トラ
ップ層の表面でのガラス状付着被膜の形成を防止するこ
とができる。更に,上記被毒物トラップ層における排気
ガスの導通を確実に確保することができる。従って,上
記被毒物トラップ層は,酸素センサ素子の耐久性を大幅
に向上させる効果がある。The oxygen sensor element can capture a poisonous substance in the poisoning substance trap layer. Therefore, the electrode protection layer is not clogged. Further, by forming the poisonous substance trap layer as a porous body having a large average pore diameter and increasing the thickness thereof, it is possible to prevent the formation of a glassy adhered coating film on the surface of the poisonous substance trap layer. Further, the conduction of exhaust gas in the poisonous substance trap layer can be reliably ensured. Therefore, the poisoning substance trap layer has an effect of significantly improving the durability of the oxygen sensor element.
【0014】なお,上述のごとき被毒物トラップ層は,
例えば下記の方法にて形成することができる。耐熱性の
粒子に,無機バインダ,分散剤及び水とを混合してスラ
リーを作成し,上記スラリーを上記電極保護層の表面
に,ディッピング又はスプレーにより付着させる。その
後,上記スラリーを500〜900℃で焼き付けること
により被毒物トラップ層を形成することができる。The poisonous substance trap layer as described above is
For example, it can be formed by the following method. The heat resistant particles are mixed with an inorganic binder, a dispersant and water to prepare a slurry, and the slurry is attached to the surface of the electrode protective layer by dipping or spraying. After that, the poisoning substance trap layer can be formed by baking the slurry at 500 to 900 ° C.
【0015】[0015]
【解決しようとする課題】しかしながら,上記被毒物ト
ラップ層は,多数の粒子を無機バインダを用いて結合す
ることにより構成されている。このため,粒子間の結合
は弱い。従って,上記被毒物トラップ層を有する酸素セ
ンサ素子を,高温雰囲気等の激しい使用条件の下で長時
間使用する場合には,上記被毒物トラップ層が剥離し,
上記電極保護層を露出させてしまう。この場合,電極保
護層の目詰まりが生じ,酸素センサ素子における通常の
センサ出力が得られなくなるおそれがある。However, the poisonous substance trap layer is formed by binding a large number of particles with an inorganic binder. Therefore, the bond between particles is weak. Therefore, when the oxygen sensor element having the poisoning substance trap layer is used for a long time under a severe use condition such as a high temperature atmosphere, the poisoning substance trap layer peels off,
The electrode protective layer is exposed. In this case, the electrode protection layer may be clogged, and the normal sensor output of the oxygen sensor element may not be obtained.
【0016】また,上記被毒物トラップ層は非常にポー
ラスである。このため,ガス拡散抑制機能(前述した,
『電極に到達する排気ガスの流量を適当に制限するこ
と』)は電極保護層のみが負うこととなる。このため,
上記酸素センサ素子では,電極の表面に電極保護層を,
更に電極保護層の表面に被毒物トラップ層を設けてあ
る。このため,製造コストが高くなるという問題もあ
る。The poisonous substance trapping layer is very porous. Therefore, the gas diffusion suppression function (described above,
Only the electrode protective layer bears "to appropriately limit the flow rate of the exhaust gas reaching the electrode"). For this reason,
In the above oxygen sensor element, an electrode protective layer is provided on the surface of the electrode.
Further, a poisoning substance trap layer is provided on the surface of the electrode protective layer. Therefore, there is also a problem that the manufacturing cost becomes high.
【0017】本発明は,かかる問題点に鑑み,被毒物ト
ラップ層を用いることなく,電極保護層のみで安定した
センサ出力を確保することのできる酸素センサ素子を提
供しようとするものである。In view of the above problems, the present invention aims to provide an oxygen sensor element which can secure a stable sensor output only with an electrode protection layer without using a poisoning substance trap layer.
【0018】[0018]
【課題の解決手段】本発明は,固体電解質と該固体電解
質に配設した一対の電極とよりなり,少なくとも上記電
極の一方はその表面を覆う電極保護層を有してなる酸素
センサ素子において,該電極保護層はプラズマ溶射によ
り形成された多孔質体よりなり,その表面粗度が十点平
均粗さで50μm以上であることを特徴とする酸素セン
サ素子にある。The present invention provides an oxygen sensor element comprising a solid electrolyte and a pair of electrodes arranged on the solid electrolyte, at least one of the electrodes having an electrode protective layer covering the surface thereof. In the oxygen sensor element, the electrode protective layer is made of a porous body formed by plasma spraying and has a surface roughness of 50 μm or more in ten-point average roughness.
【0019】まず,本発明における作用につき以下に説
明する。上記電極保護層の表面は,上記特定の範囲内の
表面粗度を有し,多数の凹部及び凸部を有する,凹凸面
である(後述の図2参照)。また,上記電極保護層は多
孔質体であり,その表面に多数の細孔を有する。First, the operation of the present invention will be described below. The surface of the electrode protective layer is a concavo-convex surface having a surface roughness within the specific range and having a large number of concaves and convexes (see FIG. 2 described later). The electrode protective layer is a porous body and has a large number of pores on its surface.
【0020】これにより,上記電極保護層の表面に被毒
物が付着した場合においても,凸部と凹部とによって付
着した被毒物が分断され,両者の間の中間部に被毒物が
付着することは殆どない。それ故,上記被毒物が上記電
極保護層の表面全体を覆うことを防止できる。As a result, even when a poisonous substance adheres to the surface of the electrode protective layer, the poisonous substance adhered by the convex portion and the concave portion is divided, and the poisonous substance does not adhere to the intermediate portion between the two. Almost never. Therefore, it is possible to prevent the poisoning substance from covering the entire surface of the electrode protection layer.
【0021】また,上記電極保護層の分断された被毒物
の中間部における細孔が排気ガスの通気経路となり,外
側電極へ排気ガスを導くことができる。従って,本発明
によれば,被毒物トラップ層を用いることなく,電極保
護層のみで,安定したセンサ出力を確保することのでき
る酸素センサ素子を提供することができる。Further, the pores in the middle portion of the poisoned substance which is divided in the electrode protective layer serve as a ventilation passage for the exhaust gas, and the exhaust gas can be guided to the outer electrode. Therefore, according to the present invention, it is possible to provide an oxygen sensor element capable of ensuring a stable sensor output only by the electrode protection layer without using the poisoning substance trapping layer.
【0022】なお,上記電極保護層の表面粗度は十点平
均粗さにより規定されている。上記十点平均粗さとは,
基準長さにおける平均の表面位置と平行で,断面曲線を
横切らない任意の曲線を仮定する。この曲線と凸部の頂
点との長さa(高いほうから5番目までの凸部について
測定する),この線と凹部の最深部の点との長さb(深
いほうから5番目までの凹部について測定する)を測定
する。これにより得られた5つのaの平均値より,5つ
のbの平均値を差し引いた値が十点平均粗さである(J
IS規格のJIS B 0601−1982に準拠)。
なお,上記断面曲線とは,電極保護層における凹凸面の
輪郭を示している。The surface roughness of the electrode protective layer is defined by the ten-point average roughness. What is the above ten-point average roughness?
Assume an arbitrary curve that is parallel to the average surface position at the reference length and does not cross the profile curve. The length a between this curve and the apex of the convex portion (measured from the highest to the fifth convex portion), the length b between this line and the deepest point of the concave portion (the deepest to fifth concave portion) Measure). The value obtained by subtracting the average value of 5 b from the average value of 5 a thus obtained is the ten-point average roughness (J
According to IS standard JIS B 0601-1982).
The cross-sectional curve indicates the contour of the uneven surface of the electrode protection layer.
【0023】上記表面粗度が十点平均粗さで50μm未
満である場合には,表面における凸部と凹部との間が充
填され,電極保護層の表面全体を被毒物が被覆し,電極
保護層における排気ガスの通過が阻害されるおそれがあ
る。この問題は,特に使用時間が長くなった場合に顕著
である(使用時間が比較的短い場合には,被毒物の付着
量が少なく,電極保護層の表面全体が被覆されないこと
もある。)。更に,上記十点平均粗さの下限は,より好
ましくは,80μm以上である。一方,上記表面粗度が
十点平均粗さで200μmを越えた場合には,実質的
に,製造が困難となるおそれがある。When the surface roughness is less than 50 μm in terms of ten-point average roughness, the space between the convex portions and the concave portions on the surface is filled, and the entire surface of the electrode protective layer is covered with poisonous substances to protect the electrode. The passage of exhaust gases through the formation may be impeded. This problem is particularly noticeable when the usage time is long (when the usage time is relatively short, the amount of poisonous substances deposited is small and the entire surface of the electrode protective layer may not be covered). Further, the lower limit of the ten-point average roughness is more preferably 80 μm or more. On the other hand, when the surface roughness exceeds 200 μm in terms of ten-point average roughness, manufacturing may be substantially difficult.
【0024】また,上記表面において,凸部は測定長さ
1mmに対し5個以上存在することが好ましい。上記凸
部の数が5個未満である場合には,被毒物により覆われ
ていない部分(例えば,図3に示す中間部25等)が少
なく,センサ出力を得るに十分な排気ガスが通過できな
いおそれがある。この場合には,酸素センサ素子の応答
速度やセンサ出力の大きさに悪影響を及ぼすおそれがあ
る。Further, it is preferable that, on the above-mentioned surface, there are five or more protrusions for a measurement length of 1 mm. When the number of the convex portions is less than 5, the portion not covered with the poisonous substance (for example, the intermediate portion 25 shown in FIG. 3) is small, and exhaust gas sufficient to obtain the sensor output cannot pass through. There is a risk. In this case, the response speed of the oxygen sensor element and the magnitude of the sensor output may be adversely affected.
【0025】次に,上記電極保護層は,粒子をプラズマ
溶射することにより形成する。上記プラズマ溶射により
形成された電極保護層は電極との密着性がよい。更に,
細孔分布や形成する電極保護層の厚みを容易に制御する
ことができる。このため,要求される各種の条件(表面
粗度,厚み,気孔率)を満たす電極保護層を形成するの
に非常に優れた方法である。Next, the electrode protection layer is formed by plasma spraying particles. The electrode protective layer formed by the plasma spraying has good adhesion to the electrode. Furthermore,
The distribution of pores and the thickness of the electrode protective layer to be formed can be easily controlled. Therefore, it is a very excellent method for forming an electrode protective layer that satisfies various required conditions (surface roughness, thickness, porosity).
【0026】例えば,上記プラズマ溶射において,溶射
する粒子の粒径を変えることにより,電極保護層の表面
粗度を調整することができる。例えば,粒径の大きい粒
子を用いることで表面粗度をより大きくすることができ
る。For example, in the above plasma spraying, the surface roughness of the electrode protective layer can be adjusted by changing the particle size of the sprayed particles. For example, the surface roughness can be further increased by using particles having a large particle size.
【0027】また,溶射条件を調整することでも表面粗
度を調整できる。即ち,上記プラズマ溶射とは,例え
ば,プラズマガン内の電極間にアークを発生させ,その
後方からガスを供給し,高温,高速のプラズマジェット
を発生させる。このプラズマジェットのフレーム中に溶
射させる粉末を投入し,溶融させる。溶融した粉末を母
材に衝突させ,付着させることにより,母材の表面に皮
膜を形成させるものである。この時,例えば,粉末の供
給に故意に脈動を加える,溶射ガンを故意に振動させ
る,更に溶射ガンの移動速度を変えること等により,表
面粗度を調整することもできる。The surface roughness can also be adjusted by adjusting the spraying conditions. That is, the plasma spraying is, for example, to generate an arc between the electrodes in the plasma gun and supply a gas from the rear of the arc to generate a high temperature and high speed plasma jet. The powder to be sprayed is put into the flame of this plasma jet and melted. The molten powder is made to collide with and adhere to the base material to form a film on the surface of the base material. At this time, the surface roughness can be adjusted by, for example, intentionally adding a pulsation to the powder supply, intentionally vibrating the spray gun, or changing the moving speed of the spray gun.
【0028】また,上記溶射する粒子を2種類用いるこ
ともできる。即ち,一方の粒子よりも他方の粒子を融点
の異なる粒子(例えば,MgO・Al2 O3 スピネルに
対してはZrO2 等)とする。これにより,溶融した粒
子を媒介として,半溶融の粒子が互いに不均一に付着す
ることができる。この方法においても,上記表面粗度を
調整することができる。It is also possible to use two types of the particles to be sprayed. That is, the one different particle and the other particles melting point than the particles (e.g., for a MgO · Al 2 O 3 spinel ZrO 2, etc.). As a result, the semi-molten particles can be nonuniformly attached to each other via the molten particles. Also in this method, the surface roughness can be adjusted.
【0029】なお,上記プラズマ溶射により溶射する粒
子は,MgO2 ・Al2 O3 スピネルの他,Al
2 O3 ,ZrO2 ,CaOムライト等のグループより選
ばれる1種類以上の耐熱粒子からなることが好ましい。
これらの粒子は,高温での使用において変化することが
なく,安定した電極保護層を形成することができる。Particles sprayed by the plasma spraying are not only MgO 2 .Al 2 O 3 spinel but also Al.
It is preferably composed of one or more kinds of heat resistant particles selected from the group consisting of 2 O 3 , ZrO 2 , CaO mullite and the like.
These particles do not change during use at high temperature and can form a stable electrode protective layer.
【0030】次に,上記電極保護層の厚みは,80〜5
00μmであることが好ましい。上記厚みが80μm未
満である場合には,電極保護層の最も薄い部分が30μ
m未満となり,電極保護層としての効果を十分発揮する
ことができないおそれがある。Next, the thickness of the electrode protective layer is 80 to 5
It is preferably 00 μm. If the thickness is less than 80 μm, the thinnest part of the electrode protection layer is 30 μm.
Since it is less than m, the effect as the electrode protective layer may not be sufficiently exhibited.
【0031】一方,500μmより厚い場合には,電極
保護層が厚すぎるため,排気ガスの拡散時間(電極保護
層を排気ガスが通過するに要する時間)が長くなり,酸
素センサ素子の応答速度や出力に悪影響を及ぼすおそれ
がある。On the other hand, when the thickness is more than 500 μm, the diffusion time of the exhaust gas (the time required for the exhaust gas to pass through the electrode protection layer) becomes long because the electrode protection layer is too thick, and the response speed of the oxygen sensor element and the The output may be adversely affected.
【0032】次に,上記電極保護層は,その気孔率が6
〜40%であることが好ましい。上記気孔率が6%未満
である場合には,電極保護層の表面に多数形成されてい
る細孔より連続性が失われ,排気ガスが電極に達するこ
とができず,センサ出力が得られなくなるおそれがあ
る。Next, the electrode protective layer has a porosity of 6
It is preferably -40%. When the porosity is less than 6%, continuity is lost due to a large number of pores formed on the surface of the electrode protective layer, exhaust gas cannot reach the electrode, and sensor output cannot be obtained. There is a risk.
【0033】一方,40%を越える場合には,電極保護
層が多孔質すぎるため,排気ガスの流量を抑制すること
(ガス拡散抑制機能)ができなくなるおそれがある。ま
た,電極保護層と電極との付着力が弱くなり,酸素セン
サ素子の使用中に電極保護層が剥離するおそれがある。On the other hand, when it exceeds 40%, the electrode protective layer is too porous, so that the flow rate of the exhaust gas cannot be suppressed (gas diffusion suppressing function). Further, the adhesive force between the electrode protective layer and the electrode becomes weak, and the electrode protective layer may peel off during use of the oxygen sensor element.
【0034】次に,上記電極保護層の平均細孔径は,
0.05〜0.5μmであることが好ましい。上記平均
細孔径が0.05μm未満では,電極保護層が緻密過ぎ
るため,十分な量の排気ガスが電極に到達することがで
きず,酸素センサ素子の応答速度や出力に悪影響を及ぼ
すおそれがある。特にこの問題は電極保護層が厚くなっ
た場合に顕著となる。また,0.5μmを越える場合に
は,上記電極保護層が多孔質すぎるため,排気ガスの流
量を抑制すること(ガス拡散抑制機能)ができなくなる
おそれがある。更に,特に粒径の細かい被毒物が電極保
護層を素通りし,電極に付着するおそれがある。Next, the average pore diameter of the electrode protective layer is
It is preferably 0.05 to 0.5 μm. If the average pore diameter is less than 0.05 μm, the electrode protective layer is too dense, and a sufficient amount of exhaust gas cannot reach the electrode, which may adversely affect the response speed and output of the oxygen sensor element. . In particular, this problem becomes remarkable when the electrode protective layer becomes thick. On the other hand, when the thickness exceeds 0.5 μm, the above-mentioned electrode protective layer is too porous, so that it may not be possible to suppress the flow rate of exhaust gas (gas diffusion suppressing function). In addition, poisonous substances with a particularly small particle size may pass through the electrode protective layer and adhere to the electrodes.
【0035】次に,本発明にかかる他の酸素センサ素子
について説明する。上記酸素センサ素子は,固体電解質
と該固体電解質に配設した一対の電極とよりなり,少な
くとも上記電極の一方にはその表面を覆う電極保護層を
有してなる酸素センサ素子において,上記電極保護層は
第一電極保護層と第二電極保護層とから構成され,しか
も上記第一電極保護層が電極上に形成され,また上記第
二電極保護層が上記第一電極保護層の上に形成された構
造を有し,上記第二電極保護層はその表面粗度が十点平
均粗さで50μm以上であり,上記第一電極保護層は上
記第二電極保護層よりも緻密であることを特徴とする酸
素センサ素子である。Next, another oxygen sensor element according to the present invention will be described. The oxygen sensor element comprises a solid electrolyte and a pair of electrodes arranged on the solid electrolyte, and at least one of the electrodes has an electrode protective layer covering the surface thereof. The layer is composed of a first electrode protection layer and a second electrode protection layer, and further, the first electrode protection layer is formed on the electrode, and the second electrode protection layer is formed on the first electrode protection layer. The second electrode protective layer has a surface roughness of 50 μm or more in terms of ten-point average roughness, and the first electrode protective layer is denser than the second electrode protective layer. It is a characteristic oxygen sensor element.
【0036】上記第二電極保護層の表面粗度が,上記特
定範囲内にあることにより,その表面に被毒物が付着し
た場合,凸部と凹部との間で付着物が分断され,上記凸
部と凹部との中間部において被毒物が付着することが殆
どない部分が形成される(後述の図5参照)。従って,
上記被毒物が上記第二電極保護層の表面全体を覆うこと
を防止できる。When the surface roughness of the second electrode protective layer is within the above specified range, when a poisonous substance adheres to the surface thereof, the adhered substance is divided between the convex portion and the concave portion, and the convex portion A portion where the poisonous substance hardly adheres is formed in the intermediate portion between the portion and the concave portion (see FIG. 5 described later). Therefore,
It is possible to prevent the poisoning substance from covering the entire surface of the second electrode protection layer.
【0037】通常,電極保護層が特にポーラスである場
合には,被毒物が電極保護層を素通りし,電極を劣化さ
せることがある。また,電極保護層と電極との付着力が
弱くなり,該電極保護層が剥離することがある。しか
し,第一電極保護層が,上記第二電極保護層よりも緻密
であるため,第二電極保護層を素通りした被毒物は,第
一電極保護層においてトラップされる。このため,被毒
物による電極の劣化は殆ど生じない。Usually, when the electrode protective layer is particularly porous, poisonous substances may pass through the electrode protective layer and deteriorate the electrode. Further, the adhesive force between the electrode protective layer and the electrode becomes weak, and the electrode protective layer may peel off. However, since the first electrode protective layer is denser than the second electrode protective layer, the poisonous substances passing through the second electrode protective layer are trapped in the first electrode protective layer. Therefore, the deterioration of the electrode due to the poisonous substance hardly occurs.
【0038】また,第一電極保護層は緻密であるため,
電極と第一電極保護層との付着力は,該第一電極保護層
の剥離が生じない程度に強い。更に,第二電極保護層と
第一電極保護層との間の付着力は,両者が共にプラズマ
溶射により形成されているため,両者の間には機械的噛
み合いによる強い付着力が生じる。このため,第二電極
保護層の剥離が生じることもない。Since the first electrode protective layer is dense,
The adhesive force between the electrode and the first electrode protection layer is so strong that peeling of the first electrode protection layer does not occur. Furthermore, since the adhesive force between the second electrode protective layer and the first electrode protective layer is both formed by plasma spraying, a strong adhesive force is generated between them due to mechanical meshing. Therefore, the peeling of the second electrode protective layer does not occur.
【0039】また,比較的緻密な第一電極保護層にガス
拡散抑制機能を持たせることで,第二電極保護層は,付
着物分断機能を発揮するに必要な膜厚のみとすることが
できる。このため,上記第二電極保護層の厚みを薄くす
ることができる。Further, by providing the relatively dense first electrode protective layer with the gas diffusion suppressing function, the second electrode protective layer can have only the film thickness necessary for exhibiting the function of cutting off the deposit. . Therefore, the thickness of the second electrode protection layer can be reduced.
【0040】上記第二電極保護層は,上記一層よりなる
電極保護層に記した理由と同様の理由により,その表面
粗度が十点平均粗さで50μm以上であることが好まし
い。その他,凹凸面における凸部の数は測定長さ1mm
当たり5以上であることが好ましい。上記電極保護層の
膜厚は80〜500μmであることが好ましい。The surface roughness of the second electrode protective layer is preferably 50 μm or more in terms of ten-point average roughness for the same reason as described for the electrode protective layer consisting of one layer. In addition, the number of protrusions on the uneven surface is a measurement length of 1 mm
It is preferably 5 or more. The thickness of the electrode protective layer is preferably 80 to 500 μm.
【0041】また,上記第二電極保護層は,付着物分断
機能を優先することができるため,その効果をより発揮
するため,その平均細孔径は0.1〜0.5μmである
ことが好ましい。また,上記第二電極保護層の気孔率も
同様に10〜40%であることが好ましい。Further, the second electrode protective layer can give priority to the function of separating the adhered substances, and therefore exerts its effect more, so that the average pore diameter thereof is preferably 0.1 to 0.5 μm. . The porosity of the second electrode protective layer is also preferably 10 to 40%.
【0042】次に,上記第一電極保護層の平均細孔径は
0.05〜0.2μmであることが好ましい。上記平均
細孔径が0.05μm未満である場合には,第一電極保
護層が緻密すぎるため,十分な量の排気ガスが電極に到
達することができず,酸素センサ素子の応答性や出力に
悪影響を及ぼすおそれがある。Next, the average pore diameter of the first electrode protective layer is preferably 0.05 to 0.2 μm. If the average pore diameter is less than 0.05 μm, the first electrode protective layer is too dense and a sufficient amount of exhaust gas cannot reach the electrode, which may affect the responsiveness and output of the oxygen sensor element. May have an adverse effect.
【0043】一方,0.2μmより大きい場合には,第
二電極保護層が特にポーラスな場合,第一電極保護層の
膜厚が薄いときには,第二電極保護層を素通りしてきた
被毒物を捕獲することができず,電極を劣化させるおそ
れがある。また,第一電極保護層がポーラスとなり,ガ
ス拡散抑制機能が低下し,電極保護層全体の膜厚を薄く
する効果が発揮されないおそれがある。On the other hand, when it is larger than 0.2 μm, when the second electrode protective layer is particularly porous, and when the first electrode protective layer is thin, the poisonous substances passing through the second electrode protective layer are trapped. Cannot be done, and the electrodes may deteriorate. In addition, the first electrode protective layer becomes porous, the gas diffusion suppressing function is deteriorated, and the effect of reducing the thickness of the entire electrode protective layer may not be exhibited.
【0044】また,上記第一電極保護層の気孔率は6〜
20%であることが好ましい。上記気孔率が6%未満で
ある場合には,細孔の連続性が失われ,排気ガスが電極
に達することができず,センサ出力が得られなくなるお
それがある。一方,上記気孔率が20%よりも大きい場
合には,第一電極保護層がポーラスとなり,ガス拡散抑
制機能が低下して,電極保護層全体の膜厚を薄くすると
いう効果が発揮されないおそれがある。また,上記第二
電極保護層がポーラスでかつ第一電極の膜厚が薄いと
き,第二電極保護層を通過した被毒物を捕獲することが
できず,電極を劣化させるおそれがある。The porosity of the first electrode protective layer is 6 to
It is preferably 20%. If the porosity is less than 6%, the continuity of pores may be lost, exhaust gas may not reach the electrode, and sensor output may not be obtained. On the other hand, when the porosity is larger than 20%, the first electrode protective layer becomes porous, the gas diffusion suppressing function is deteriorated, and the effect of reducing the thickness of the entire electrode protective layer may not be exhibited. is there. Further, when the second electrode protection layer is porous and the thickness of the first electrode is thin, poisonous substances that have passed through the second electrode protection layer cannot be captured, which may deteriorate the electrode.
【0045】また,上記第一電極保護層の厚みは30〜
200μmであることが好ましい。上記厚みが30μm
未満である場合には,第二電極保護層がポーラスな場
合,電極保護層としての効果を発揮することができない
おそれがある。一方,上記厚みが200μmより大きい
場合には,緻密な第一電極保護層が厚くなりすぎて,ガ
ス拡散を妨げるおそれがある。The thickness of the first electrode protective layer is 30 to
It is preferably 200 μm. The thickness is 30 μm
If it is less than the above range, the effect as an electrode protective layer may not be exhibited when the second electrode protective layer is porous. On the other hand, if the thickness is greater than 200 μm, the dense first electrode protective layer may be too thick, which may hinder gas diffusion.
【0046】また,上記第一電極保護層は,MgO・A
l2 O3 スピネルの他,Al2 O3,ZrO2 ,CaO
ムライト等のグループより選ばれる一種以上の耐熱粒子
からなることが好ましい。これらの粒子には,高温での
使用において変化することがなく,よって安定した第一
電極保護層を形成することができる。The first electrode protective layer is made of MgO.A.
In addition to l 2 O 3 spinel, Al 2 O 3 , ZrO 2 , CaO
It is preferably composed of one or more heat-resistant particles selected from the group such as mullite. These particles do not change during use at high temperature, and thus a stable first electrode protective layer can be formed.
【0047】[0047]
実施形態例1
本発明の実施形態例にかかる酸素センサ素子につき,図
1〜図3を用いて説明する。図1に示すごとく,本例の
酸素センサ素子1は,固体電解質13と該固体電解質1
3に配設した外側電極131と内側電極132とよりな
り,上記外側電極131を覆う電極保護層2を有してな
る。First Exemplary Embodiment An oxygen sensor element according to an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 1, the oxygen sensor element 1 of the present embodiment comprises a solid electrolyte 13 and the solid electrolyte 1
3 is provided with an outer electrode 131 and an inner electrode 132, and has an electrode protection layer 2 covering the outer electrode 131.
【0048】図2に示すごとく,上記電極保護層2は,
平均粒径50μmのMgO・Al2O3 スピネルをプラ
ズマ溶射することにより形成された多孔質体よりなり,
その表面粗度が十点平均粗さで100μmである。ま
た,上記電極保護層2は,その表面20に多数の細孔が
存在する。また,その気孔率が15%であり,その平均
細孔径が0.15μmである。また,その膜厚は200
μmである。なお,同図において符号5はヒータである
(図10参照)。As shown in FIG. 2, the electrode protection layer 2 is
It is composed of a porous body formed by plasma spraying MgO.Al 2 O 3 spinel having an average particle size of 50 μm,
The surface roughness is 100 μm in ten-point average roughness. Further, the electrode protection layer 2 has a large number of pores on its surface 20. The porosity is 15% and the average pore size is 0.15 μm. The film thickness is 200
μm. In the figure, reference numeral 5 is a heater (see FIG. 10).
【0049】次に,本例における作用効果につき説明す
る。上記電極保護層2の表面20は,上記特定の表面粗
度を有し,図2に示すごとく,多数の凹部24及び凸部
23を有する,凹凸面である。これにより,図3に示す
ごとく,上記電極保護層2の表面20に被毒物79が付
着した場合においても,凸部23と凹部24とによって
付着した被毒物79が分断され,両者の間の中間部25
に被毒物79が付着することは殆どない。Next, the function and effect of this example will be described. The surface 20 of the electrode protection layer 2 is an uneven surface having the above-mentioned specific surface roughness and having a large number of concave portions 24 and convex portions 23 as shown in FIG. As a result, as shown in FIG. 3, even when the poisoning substance 79 adheres to the surface 20 of the electrode protection layer 2, the poisoning substance 79 adhered by the convex portions 23 and the concave portions 24 is divided, and an intermediate portion between them is formed. Part 25
The poisonous substance 79 hardly adheres to.
【0050】それ故,上記被毒物79が上記電極保護層
2の表面20の全体を覆うことを防止できる。また,上
記電極保護層2の中間部25に存在する細孔が排気ガス
の通気経路となり,外側電極131へ排気ガスを導くこ
とができる。Therefore, it is possible to prevent the poisoning substance 79 from covering the entire surface 20 of the electrode protection layer 2. Further, the pores present in the intermediate portion 25 of the electrode protection layer 2 serve as a ventilation path for the exhaust gas and can guide the exhaust gas to the outer electrode 131.
【0051】従って,本例によれば,被毒物トラップ層
を設けることなく,電極保護層のみで安定したセンサ出
力を確保することのできる酸素センサ素子を提供するこ
とができる。Therefore, according to this example, it is possible to provide an oxygen sensor element which can secure a stable sensor output only by the electrode protection layer without providing the poisonous substance trapping layer.
【0052】実施形態例2
本例は,表1に示すごとく,酸素センサ素子の被毒耐久
性及び初期応答性について測定するものである。まず,
上記測定に使用した各試料1〜21は,実施形態例1と
同様の酸素センサ素子である。ただし,各試料は,電極
保護層の表面粗度,平均細孔径,気孔率,厚みがそれぞ
れ異なる。Embodiment 2 As shown in Table 1, this embodiment measures the durability of poisoning and the initial response of the oxygen sensor element. First,
Each of the samples 1 to 21 used for the above measurement is the same oxygen sensor element as in the first embodiment. However, each sample has different surface roughness, average pore diameter, porosity, and thickness of the electrode protective layer.
【0053】上記被毒耐久性は,加速被毒耐久試験の前
後における各試料1〜21の応答性変化率により判定し
た。即ち,上記変化率が5%未満である試料を◎,5%
以上10%未満の試料を○,10%以上20%未満の試
料を△,20%以上の試料を×とし,結果を表1に記し
た。The poisoning durability was judged by the rate of change in responsiveness of each of the samples 1 to 21 before and after the accelerated poisoning durability test. That is, the sample whose rate of change is less than 5% is ◎, 5%
The results are shown in Table 1 with the samples of 10% or more and less than 10%, the samples of 10% or more and less than 20% as Δ, and the samples of 20% or more as x.
【0054】次に,上記加速被毒耐久試験について説明
する。上記各試料1〜21を酸素濃度検出器(図10参
照)に組付け,燃料噴射装置付き2000cc直列4気
筒エンジンの排気経路に装置した。次いで,上記エンジ
ンをアイドリング30分の後,回転数4000rpmに
て30分駆動させるという条件を連続的に繰返した。な
お,この時の排気ガスの温度は500〜700℃であっ
た。また,エンジン駆動に使用した燃料は,無鉛ガソリ
ンに対し,エンジンオイルと洗浄剤とを合わせて5重量
%添加したものであった。なお,上記試験の継続時間は
100時間である。Next, the accelerated poisoning durability test will be described. Each of the samples 1 to 21 was assembled in an oxygen concentration detector (see FIG. 10) and installed in the exhaust path of a 2000 cc in-line 4-cylinder engine with a fuel injection device. Then, the condition of idling the engine for 30 minutes and then driving the engine at 4000 rpm for 30 minutes was continuously repeated. The temperature of the exhaust gas at this time was 500 to 700 ° C. The fuel used to drive the engine was unleaded gasoline to which 5% by weight of engine oil and detergent was added. The duration of the above test is 100 hours.
【0055】上記応答性変化率の測定方法について説明
する。上記各試料1〜21を取付けた上記酸素濃度検出
器を,それぞれ燃料噴射装置付き2000cc直列6気
筒エンジンの排気経路に装置した。燃料として無鉛ガソ
リンを用い,該エンジンを回転数1100rpmにて駆
動させて行った。A method of measuring the response change rate will be described. The oxygen concentration detectors to which the samples 1 to 21 were attached were installed in the exhaust path of a 2000 cc in-line 6-cylinder engine with a fuel injection device. Using unleaded gasoline as fuel, the engine was driven at a rotation speed of 1100 rpm.
【0056】この状態において,ガス応答時間,即ち空
気過剰率λ=0.9〜1.1への切り替え時において,
上記各試料1〜21の出力が0.6V〜0.3Vへと変
化するまでの時間について測定した。そして,上記応答
性の測定を上述の加速被毒耐久試験の前後に行った。試
験前における応答時間t1 ,試験後における応答時間t
2 とし,{(t2 −t1 )/t1 }×100により得ら
れた値を応答性変化率とした。In this state, the gas response time, that is, when switching to the excess air ratio λ = 0.9 to 1.1,
It measured about the time until the output of each said sample 1-21 changed to 0.6V-0.3V. Then, the response measurement was performed before and after the accelerated poisoning durability test. Response time t1 before the test, response time t after the test
2, and the value obtained by {(t2-t1) / t1} × 100 was taken as the response change rate.
【0057】また,初期応答性は,応答性の測定結果が
150ms未満の場合を○,150〜200msの場合
を△,200msの場合を×とし,結果を表1に記し
た。The initial responsiveness is shown in Table 1 when the responsiveness measurement result is less than 150 ms, ◯, 150 to 200 ms is Δ, and 200 ms is x.
【0058】表1に示すごとく,電極保護層の表面粗度
が50〜200μm,厚みが80〜500μm,平均細
孔径が0.05〜0.40μm,気孔率が6〜40%の
範囲にある場合には,被毒耐久性に優れ,初期応答性に
優れる酸素センサ素子となることが分かった。As shown in Table 1, the electrode protective layer has a surface roughness of 50 to 200 μm, a thickness of 80 to 500 μm, an average pore diameter of 0.05 to 0.40 μm, and a porosity of 6 to 40%. In this case, it was found that the oxygen sensor element has excellent poisoning durability and initial response.
【0059】[0059]
【表1】 [Table 1]
【0060】実施形態例3
本例は,図4〜図7に示すごとく,二層構造の電極保護
層を有する酸素センサ素子に関するものである。図4,
図5に示すごとく,本例の酸素センサ素子19における
電極保護層3は第一電極保護層31と第二電極保護層3
2とよりなる二層構造を有する。上記第二電極保護層3
2の表面30は,凹凸面であり,凹部34と凸部33と
が交互に形成されている。Embodiment 3 As shown in FIGS. 4 to 7, this embodiment relates to an oxygen sensor element having an electrode protective layer having a two-layer structure. Figure 4,
As shown in FIG. 5, the electrode protective layer 3 in the oxygen sensor element 19 of this example is composed of the first electrode protective layer 31 and the second electrode protective layer 3.
2 has a two-layer structure. The second electrode protective layer 3
The second surface 30 is an uneven surface, and the concave portions 34 and the convex portions 33 are alternately formed.
【0061】なお,上記第一電極保護層31及び第二電
極保護層32の十点平均粗さによる表面粗度,平均細孔
径,気孔率,厚さの値は表2に示す。その他は,実施形
態例1と同様である。Table 2 shows the surface roughness, the average pore diameter, the porosity, and the thickness of the first electrode protective layer 31 and the second electrode protective layer 32, which are based on the ten-point average roughness. Others are the same as those in the first embodiment.
【0062】本例の酸素センサ素子19においては,図
6に示すごとく,第二電極保護層32は,その表面30
が上記特定の表面粗度を有し,多数の凸部33と凹部3
4とを有する。これにより,表面30に被毒物79が付
着した場合においても,該付着物79を上記凸部33及
び凹部34が分断する。このため,上記凸部33と凹部
34との間の中間部35に被毒物79が付着することは
ない。従って,上記被毒物79が上記第二電極保護層3
2の表面30の全体を覆うことが防止できる。In the oxygen sensor element 19 of this example, as shown in FIG. 6, the second electrode protective layer 32 has the surface 30 thereof.
Has the above-mentioned specific surface roughness and has a large number of projections 33 and recesses 3.
4 and. As a result, even when the poisonous substance 79 adheres to the surface 30, the adhering substance 79 is divided by the convex portion 33 and the concave portion 34. Therefore, the poisoning substance 79 does not adhere to the intermediate portion 35 between the convex portion 33 and the concave portion 34. Therefore, the poison 79 may be the second electrode protection layer 3.
It is possible to prevent the entire second surface 30 from being covered.
【0063】そして,上記第一電極保護層31は第二電
極保護層32よりも平均細孔径及び気孔率が小さい,即
ち緻密である。特に粒径の小さい被毒物は第二電極保護
層32を素通りするおそれがあるが,本例においては,
第一電極保護層31にて,上記被毒物をトラップするこ
とができる。The first electrode protective layer 31 has a smaller average pore diameter and porosity than the second electrode protective layer 32, that is, is dense. Particularly, a poisonous substance having a small particle size may pass through the second electrode protection layer 32, but in this example,
The poisoning substance can be trapped by the first electrode protection layer 31.
【0064】なお,上記第一電極保護層31と第二電極
保護層32とは,共にプラズマ溶射により形成されてい
るため,機械的噛み合いにより強固に結合している。そ
の他は実施形態例1と同様の作用効果を有する。Since the first electrode protection layer 31 and the second electrode protection layer 32 are both formed by plasma spraying, they are firmly joined by mechanical meshing. Others have the same effects as those of the first embodiment.
【0065】次に,本例の酸素センサ素子の被毒耐久性
について,従来例に示した酸素センサ素子(図11,図
12参照)と比較説明する。本例にかかる酸素センサ素
子19及び従来例にかかる酸素センサ素子90とを準備
する。上記従来例にかかる酸素センサ素子は,表面粗度
の小さい(30μm)電極保護層を有している。そし
て,両酸素センサ素子の加速度被毒耐久試験の前後にお
ける応答性変化率を,実施形態例2と同様の方法にて,
測定した。その結果を図7に示す。Next, the poisoning durability of the oxygen sensor element of this example will be described in comparison with the oxygen sensor element of the conventional example (see FIGS. 11 and 12). An oxygen sensor element 19 according to this example and an oxygen sensor element 90 according to a conventional example are prepared. The oxygen sensor element according to the conventional example has an electrode protective layer having a small surface roughness (30 μm). Then, the rate of change in responsiveness before and after the acceleration poisoning durability test of both oxygen sensor elements was determined by the same method as in the second embodiment.
It was measured. The result is shown in FIG. 7.
【0066】同図によれば,本発明にかかる酸素センサ
素子は,上記耐久試験の継続する時間が200時間に達
しても応答性変化率が変化しない。しかしながら,従来
例にかかる酸素センサ素子は耐久試験の開始直後より一
貫して応答性変化率が上昇し続け,センサ出力が時間と
共に変化することが分かった。According to the figure, in the oxygen sensor element according to the present invention, the responsiveness change rate does not change even when the duration of the durability test reaches 200 hours. However, it was found that the oxygen sensor element according to the conventional example had a responsiveness change rate that consistently increased immediately after the start of the durability test, and the sensor output changed with time.
【0067】[0067]
【表2】 [Table 2]
【0068】実施形態例4
本例は,図8,図9に示すごとく,本発明にかかる電極
保護層を有する各種の酸素センサ素子である。まず,図
8は積層型の酸素センサ素子3である。上記酸素センサ
素子3は,固体電解質33の両面に内側電極332及び
外側電極331が設けてあり,該外側電極331を覆う
電極保護層4を有してなる。また,上記固体電解質33
の下方には大気導入用ダクト451を形成するための形
成板45が配設されている。更に,上記形成板45の下
方には,発熱体461を内蔵したヒータ部46が設けて
ある。Fourth Embodiment As shown in FIGS. 8 and 9, this embodiment is various oxygen sensor elements having an electrode protective layer according to the present invention. First, FIG. 8 shows a laminated oxygen sensor element 3. The oxygen sensor element 3 is provided with an inner electrode 332 and an outer electrode 331 on both surfaces of the solid electrolyte 33, and has an electrode protection layer 4 covering the outer electrode 331. In addition, the solid electrolyte 33
A forming plate 45 for forming the air introducing duct 451 is disposed below the. Further, below the forming plate 45, a heater portion 46 having a heating element 461 built therein is provided.
【0069】次に,図9は限界電流式の酸素センサ素子
18である。上記酸素センサ素子18においては,有底
円筒体の固体電解質13の両面に配設した内側電極13
2,外側電極133と,該外側電極133を覆う電極保
護層2を有してなる。また,上記外側電極133は固体
電解質13の表面に,帯状に設けてある。その他は,実
施形態例1と同様である。また,上記酸素センサ素子
3,18においても,実施形態例1と同様の作用効果を
有する。Next, FIG. 9 shows a limiting current type oxygen sensor element 18. In the oxygen sensor element 18, the inner electrodes 13 arranged on both sides of the solid electrolyte 13 having a bottomed cylindrical body are used.
2. It has an outer electrode 133 and an electrode protection layer 2 that covers the outer electrode 133. The outer electrode 133 is provided in a strip shape on the surface of the solid electrolyte 13. Others are the same as those in the first embodiment. Further, the oxygen sensor elements 3 and 18 also have the same effects as those of the first embodiment.
【0070】[0070]
【発明の効果】上記のごとく,本発明によれば,被毒物
トラップ層を用いることなく,電極保護層のみで安定し
たセンサ出力を確保することのできる酸素センサ素子を
提供することができる。As described above, according to the present invention, it is possible to provide an oxygen sensor element which can secure a stable sensor output only by the electrode protection layer without using the poisoning substance trap layer.
【図1】実施形態例1における,酸素センサ素子の断面
説明図。FIG. 1 is an explanatory cross-sectional view of an oxygen sensor element according to a first embodiment.
【図2】実施形態例1における,酸素センサ素子の電極
保護層の断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view of an electrode protective layer of an oxygen sensor element according to the first embodiment.
【図3】実施形態例1における,酸素センサ素子の被毒
物の付着した電極保護層の断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view of an electrode protective layer with a poisoning substance of an oxygen sensor element according to the first embodiment.
【図4】実施形態例3における,酸素センサ素子の断面
説明図。FIG. 4 is an explanatory cross-sectional view of an oxygen sensor element according to the third embodiment.
【図5】実施形態例3における,酸素センサ素子の電極
保護層の断面図。FIG. 5 is a sectional view of an electrode protective layer of an oxygen sensor element according to the third embodiment.
【図6】実施形態例3における,酸素センサ素子の被毒
物の付着した電極保護層の断面図。FIG. 6 is a cross-sectional view of an electrode protective layer with a poisoning substance of an oxygen sensor element according to a third embodiment.
【図7】実施形態例3における,酸素センサ素子の応答
性変化率と被毒耐久試験の継続時間との関係を示す線
図。FIG. 7 is a graph showing the relationship between the response change rate of the oxygen sensor element and the duration of the poisoning durability test in the third embodiment.
【図8】実施形態例4における,酸素センサ素子の断面
説明図。FIG. 8 is an explanatory cross-sectional view of an oxygen sensor element according to the fourth embodiment.
【図9】実施形態例4における,他の酸素センサ素子の
断面説明図。FIG. 9 is an explanatory cross-sectional view of another oxygen sensor element according to the fourth embodiment.
【図10】従来例における,酸素濃度検出器の一部切欠
断面図。FIG. 10 is a partially cutaway sectional view of an oxygen concentration detector in a conventional example.
【図11】従来例における,酸素センサ素子の断面説明
図。FIG. 11 is a cross-sectional explanatory view of an oxygen sensor element in a conventional example.
【図12】従来例における,酸素センサ素子の被毒物の
付着した電極保護層の断面図。FIG. 12 is a cross-sectional view of an electrode protective layer with a poisonous substance attached to an oxygen sensor element in a conventional example.
1,18,19,3...酸素センサ素子, 13,33...固体電解質, 131,331...外側電極, 132,332...内側電極, 2,4...電極保護層, 31...第一電極保護層, 32...第二電極保護層, 1, 18, 19, 3. . . Oxygen sensor element, 13, 33. . . Solid electrolyte, 131, 331. . . Outer electrode, 132,332. . . Inner electrode, 2,4. . . Electrode protection layer, 31. . . First electrode protective layer, 32. . . Second electrode protective layer,
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 堀田 泰道 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 日本 電装株式会社内 (72)発明者 三輪 直人 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 日本 電装株式会社内 (56)参考文献 特開 平7−333191(JP,A) 特開 平6−174683(JP,A) 特開 平2−276956(JP,A) 特開 平7−110315(JP,A) 特開 平2−222831(JP,A) 特開 平1−274057(JP,A) 特開 平2−85756(JP,A) 特開 平8−128988(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 27/409 G01N 27/41 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Yasumichi Hotta 1-1, Showa-cho, Kariya city, Aichi Prefecture, Nippon Denso Co., Ltd. (72) Naoto Miwa 1-1-1, Showa-cho, Kariya city, Aichi prefecture Nippon Denso Co., Ltd. (56) Reference JP-A-7-333191 (JP, A) JP-A-6-174683 (JP, A) JP-A-2-276956 (JP, A) JP-A-7-110315 (JP, A) JP-A-2-222831 (JP, A) JP-A 1-274057 (JP, A) JP-A 2-85756 (JP, A) JP-A 8-128988 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G01N 27/409 G01N 27/41
Claims (5)
対の電極とよりなり,少なくとも上記電極の一方にはそ
の表面を覆う電極保護層を有してなる酸素センサ素子に
おいて,該電極保護層はプラズマ溶射により形成された
多孔質体よりなり,その表面粗度が十点平均粗さで50
μm以上であることを特徴とする酸素センサ素子。1. An oxygen sensor element comprising a solid electrolyte and a pair of electrodes disposed on the solid electrolyte, wherein at least one of the electrodes has an electrode protection layer covering the surface thereof. Is a porous body formed by plasma spraying, and has a surface roughness of 10-point average roughness of 50.
An oxygen sensor element having a thickness of at least μm.
その気孔率が6〜40%であり,その平均細孔径が0.
05〜0.5μmであることを特徴とする酸素センサ素
子。2. The electrode protective layer according to claim 1, wherein
The porosity is 6 to 40%, and the average pore diameter is 0.
An oxygen sensor element having a thickness of 05 to 0.5 μm.
対の電極とよりなり,少なくとも上記電極の一方にはそ
の表面を覆う電極保護層を有してなる酸素センサ素子に
おいて,上記電極保護層は第一電極保護層と第二電極保
護層とから構成され,しかも上記第一電極保護層が電極
上に形成され,また上記第二電極保護層が上記第一電極
保護層の上に形成された構造を有し,上記第二電極保護
層はその表面粗度が十点平均粗さで50μm以上であ
り,上記第一電極保護層は上記第二電極保護層よりも緻
密であることを特徴とする酸素センサ素子。3. An oxygen sensor element comprising a solid electrolyte and a pair of electrodes arranged on the solid electrolyte, wherein at least one of the electrodes has an electrode protection layer covering the surface thereof. Is composed of a first electrode protection layer and a second electrode protection layer, wherein the first electrode protection layer is formed on the electrode, and the second electrode protection layer is formed on the first electrode protection layer. The second electrode protective layer has a surface roughness of 50 μm or more in ten-point average roughness, and the first electrode protective layer is denser than the second electrode protective layer. Oxygen sensor element.
は,その気孔率が6〜40%であり,その平均細孔径が
0.05〜0.5μmであることを特徴とする酸素セン
サ素子。4. The oxygen sensor according to claim 3, wherein the second electrode protective layer has a porosity of 6 to 40% and an average pore diameter of 0.05 to 0.5 μm. element.
上記十点平均粗さは,200μm以下であることを特徴
とする酸素センサ素子。5. The method according to any one of claims 1 to 4,
An oxygen sensor element, wherein the ten-point average roughness is 200 μm or less.
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