JP3507027B2 - インターネットを利用した生産設備の状態情報アクセス方法とそのシステム - Google Patents

インターネットを利用した生産設備の状態情報アクセス方法とそのシステム

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JP3507027B2
JP3507027B2 JP2000343602A JP2000343602A JP3507027B2 JP 3507027 B2 JP3507027 B2 JP 3507027B2 JP 2000343602 A JP2000343602 A JP 2000343602A JP 2000343602 A JP2000343602 A JP 2000343602A JP 3507027 B2 JP3507027 B2 JP 3507027B2
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    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing

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  • Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
  • Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
  • General Factory Administration (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はインターネットを利
用した生産設備の状態情報アクセス方法及びそのシステ
ムに関するものであり、より詳細にはインターネットを
通じて外部でも使用者が各種設備の作動現況などを含ん
だ各種状態情報をリアルタイムで得ることができる方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１は従来工場の生産ラインを構成する
各種設備１０１ないし１０３とホストコンピュータ１０
５による通信方式を示す。ホストコンピューターは多数
の設備に適切な作動命令を付与してそれぞれの生産単位
(Lot)らの処理有無などの簡単な作動状態などを管理す
るのに使用されてきた。しかし、このような通信方式だ
けでは現在生産工場での要求条件すなわち生産過程で発
生するいろいろな状況と過去運営資料の活用を積極的に
期待することは不可能である。
【０００３】いろいろな状況とは各種生産設備から始ま
る状態情報として生産工程中に発生する設備の障害、原
料物質の投与量及び濃度、各種環境条件(温度、圧力等
を含む)、生産設備内の運搬主体の作動状態、設備内の
補助装置の異常有無及び定期点検の時点判断のための使
用時間等に関する情報らであり、既存ホストの処理速度
と資料保管容量によっては前記情報に関する使用者の要
求条件を受け入れるのができないことが実情である。ま
た従来の通信方式では外部で使用者が状態情報資料に関
するアクセスが不可能であり、ホストコンピュータが存
在する空間に直接移動しなければならない不便さがあっ
た。
【０００４】しかし、今のところは工場の各種設備に対
する外部アクセスを支援するシステムに関して報告され
た例は発見できないし、さらにインターネットを利用し
て望みの形態の情報を外部で容易に接近できるようにす
る技術は本発明が初めてである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明者は上記の通り
に従来の通信方式が有する問題点に対する解決方案を模
索する中に、現在大衆化されたインターネット網を利用
すれば外部でも容易に各種生産設備に対する状態情報を
アクセスでき、またホストとは別途にウェブ管理サーバ
ーを生産設備内部や生産設備とは別途に外部に設置する
ことによってホストの処理速度と容量の限界を克服でき
るという事実を見出し、本発明を完成した。
【０００６】よって本発明の目的はインターネットを利
用した生産設備の状態情報アクセス方法を提供するとこ
ろにある。
【０００７】また本発明のまた他の目的としては、生産
設備の状態情報を要求する使用者システムと、前記使用
者システムと通信網で相互連結されて、使用者の要請に
よって各種生産設備の状態情報を提供するウェブサーバ
ーと、生産ラインに供与されるし、前記ウェブサーバー
と通信網で相互連結されて前記ウェブサーバーの要請に
よって自分の状態情報をウェブサーバーに転送する各種
生産設備システムを含むインターネットを利用した生産
設備の状態情報アクセスシステムを提供するところにあ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記した目的を達成する
ために、本発明はインターネットを利用した生産設備の
状態情報アクセス方法とそのシステムを含む。
【０００９】本発明のインターネットを利用した生産設
備の状態情報アクセス方法は、工場の生産ラインに配置
された各種設備の現在、過去、または将来の状態情報に
関する資料を外部でインターネット網を利用してアクセ
スする方法である。
【００１０】本発明の前記方法は、生産設備に関する状
態情報を提供するウェブサーバー(以下単に'ウェブサー
バー'と称する)と使用者システムが相互連結されたコン
ピュータ通信網によって使用者がウェブサーバーに接続
する段階、各種生産設備の状態情報資料を要請できるよ
うに使用者の要求の定義項目を具備した画面を前記ウェ
ブサーバーがディスプレーする段階、ひとつ以上の生産
設備に対する前記使用者の要求を定義して前記ウェブサ
ーバーに要請する段階、前記ウェブサーバーが前記ひと
つ以上の生産設備に使用者が要求した状態情報資料を要
求する段階、および前記ウェブサーバーが前記生産設備
から転送されてデータベース管理部に保存された前記状
態情報資料を使用者が定義した形態で前記使用者システ
ムに転送する段階を含む。
【００１１】前記生産設備としては各種製品の生産ライ
ンに配置される設備ならばいずれも構わなく、特別に限
定されることを要しないが、特に半導体やLCD/TFT関連
生産設備がこれに含まれる。
【００１２】以上のような本発明の目的と別の特徴及び
長所などは次ぎに参照する本発明の好適な実施例に対す
る以下の説明から明確になるであろう。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明を詳細
に説明する。図２a、２bは本発明の全体的な構成図を示
す。
【００１４】本発明のインターネットを利用した生産設
備の状態情報アクセスシステムは生産設備の状態情報を
要求する使用者システムと、前記使用者システムと通信
網で相互連結されて、使用者の要請によって各種生産設
備の状態情報を提供するウェブサーバーと、生産ライン
に供与され、前記ウェブサーバーと通信網で相互連結さ
れて前記ウェブサーバーの要請によって自分の状態情報
をウェブサーバーに転送する各種生産設備システムを含
むことを特徴とする。
【００１５】少なくともひとつ以上で構成された生産設
備ら２０１，２２０はイントラネット２０３または内部
直接連結２２１を通じウェブサーバー２０５，２２５に
各々連結されるし前記ウェブサーバーと状態情報を交換
するための通信用プログラムを内蔵していることが望ま
しい。
【００１６】またホストコンピュータ２０７，２２７は
工場システムの各種設備に対する適切な作動命令を付与
してそれぞれの生産単位(Lot)らの処理有無などの簡単
な作動状態などを管理するために一般的に配置される前
記ホストコンピューターはウェブサーバーとイントラネ
ットで連結されており、各設備に関する資料は一旦ウェ
ブサーバーを経由して伝えられるようにすることが望ま
しい
【００１７】生産設備とウェブサーバー間の通信は工場
に配置された設備の性格によって製造時に決められたプ
ロトコルにしたがうことが一般的である。例えば半導体
生産装備と関連しては主にSIMI(Semiconductor Equipme
ntand Materials International)が定義したプロトコル
のSECS-I/II(SEMI E４/SEMI E５ standard)またはHSMS/
GEM(SEMI E３７(E３７．１)/SEMl E３０ standard)を利
用して通信を遂行する。
【００１８】使用者システム２１０，２３０はインター
ネット網２０９，２２９を通じてウェブサーバーと接続
して前記接続によって使用者は各種設備に対する状態情
報の資料を要求して、これに対する応答として前記ウェ
ブサーバーは各種設備から前記使用者が要求した資料を
問い合わせした結果得た資料を使用者システムで見るこ
とができる形式に変換して転送する。
【００１９】図３は本発明のインターネットを利用した
生産設備の状態情報アクセス方法を段階別に見せる手続
きブロック図である。
【００２０】使用者はウェブサーバーに接続するために
通常的な方法、すなわち、エクスプローラやネットスケ
ープなどを利用してウェブブラウザを駆動して３０１、
使用者のウェブサーバーへの接続３０２はHTTPの要請に
よって、通常的にはウェブブラウザで前記ウェブサーバ
ーのURLを入力したり該当URLリンクをクリックする過程
によって遂行することがこれに含まれる。
【００２１】前記ウェブサーバーを各工程別生産設備等
の配置単位ごとにひとつずつ配置して複数個で具備する
こともでき(図２a)、また各生産設備別に内部に設置す
ること(図２b)も本発明の実施に望ましいが、使用者は
各工程別配置単位ごとに具備されたウェブサーバーのUR
Lを独立的に入力して接続することもでき、一つのウェ
ブサーバーが提供するホームページを利用して各ウェブ
サーバーをハイパーリンクで連結して接続することも可
能である。
【００２２】使用者が前記ウェブサーバーに接続をした
後、前記ウェブサーバーは各種生産設備の状態情報資料
を要請できるように使用者要求の定義項目を具備した画
面を使用者システムにディスプレー３０３するようにな
る。この場合、使用者要求の定義項目には特定設備に問
い合わせする項目、その時点及び回数に関する情報とウ
ェブサーバーから前記状態情報資料の転送形態に関する
項目を含むことが望ましい。前記項目を通じて使用者は
ウェブサーバーに望みの設備の状態情報を定義して要請
３０４することができて、またウェブサーバーから前記
状態情報資料の転送形態を定義することにより望みの形
態で資料にアクセスすることが可能である。この場合、
前記転送形態としてはHTMLに基盤をおいた画面上の文書
出力またはSMTPに基盤をおいたE-mail転送の形態を含む
ことが望ましい。
【００２３】前記ウェブサーバーに対し使用者がひとつ
以上の生産設備に対する状態情報資料を要求する場合前
記ウェブサーバーは前記生産設備から転送されてデータ
ベース管理部に保存された状態情報資料を検索して既に
存在する資料なのか否かを判断する過程３０５を含むこ
とが望ましい。これが既に存在する資料である場合、別
途に生産設備に問い合わせする過程をおく必要がないの
でシステムの効率的な運営を可能にすることとなる。も
しも、前記段階で既にウェブサーバーのデータベースに
保存された資料である場合、前記資料を使用者システム
に転送３０８し、これとは異なって現在保存されていな
い資料である場合には該当設備に前記状態情報に関する
資料を問い合わせ３０６するようになる。問い合わせに
対する応答として該当設備から転送された資料はデータ
貯蔵部に保存された後３０７使用者が定義した形態で前
記使用者システムに転送３０８される。
【００２４】生産設備からウェブサーバーに転送される
状態情報がリアルタイムで変化する場合に前記状態情報
資料はリアルタイムで更新されることが要求される。こ
の場合、前記資料の更新はCGIまたはJavaスクリプトを
利用することが望ましい。これによってリアルタイムで
変化する資料に対する躍動的な資料更新が可能になる。
【００２５】図４は前記ウェブサーバーの内部構成を示
す。前記本発明のウェブサーバー４００は外部の生産設
備４０１とウェブサーバー間の資料の送受信を担当する
ネット接続インターフェース部４０２と、前記インター
フェース部から転送される資料を分析して前記資料をデ
ータベース管理部またはホストコンピューターに転送し
てまた特定生産設備で要求される資料は当該設備に転送
することを前記ネット接続インターフェース部に要求す
る資料解釈部４０３と、前記資料解釈部から転送された
資料を当該設備に割当された所定領域に保存して、使用
者の要求によって前記割当領域に保存された資料を提供
するデータベース管理部４０４と、該当生産設備別使用
者の要求条件を管理して、ウェブサーバーと使用者シス
テム４０６とのインターフェースを提供する使用者要求
管理部４０５を含むことを特徴とする。
【００２６】前記ネット接続インターフェース部４０２
は生産設備から物理階層を通じ転送される資料を使用す
るプロトコルによって決められるメッセージの形態に変
換して資料解釈部４０３に転送して、また前記資料解釈
部から生産設備に送信の要請を受けた資料は前記プロト
コルで定義した通信方式によって前記メッセージを変換
して物理階層を通じ送信するようになる。
【００２７】また前記資料解釈部４０３は転送される資
料のヘッダを分析して設備番号と設備バイトで判断して
使用者の要求によったものとして判断時にはデータ貯蔵
部４０４に転送して、使用者要求によったものではない
ものとして判断時にはネット接続インターフェース部に
ホストコンピューターに転送を要求する役割を遂行す
る。前記のような構成によってウェブサーバーを既存の
各設備とホスト間の通信に介入するようになる。この時
前記ウェブサーバーはホストコンピューターに転送され
る資料の場合とホストコンピューターから各設備に転送
される資料はそのまま変調なしで通過(Pass through)さ
せるようになって、このような構成を通じ既存の生産工
程の各設備とホストコンピューター間の通信方式とそれ
に沿い使用している資料をそのまま修正及び追加なしで
使用することを可能にする。
【００２８】また、前記データベース管理部４０４は資
料解釈部から入る資料を分析して、添付された設備住所
を通じ該当データベースをオープン(open)した後、レコ
ードに定義したフィールドらに受信された資料を分類し
て記録することが望ましい。また前記データエース貯蔵
部は使用者要求管理部で依頼される項目及び条件を既存
のデータベースを通じ提供するようになって、もしも、
使用者の要求が新規のデータベースを望みの場合にはこ
れを生成してフィールドを具現するレコードを具現する
役割をする。
【００２９】また、前記使用者要求管理部４０５は使用
者が要求する資料をデータベースから伝送されて使用者
が読むことができる形態の文書に変換する役割をする。
前記使用者要求管理階層は細部的には２種類の機能部分
で構成されて、ひとつは使用者が設備に問い合わせする
ように定義した項目及び条件表を管理する部分であり、
使用者は特定設備に問い合わせする項目とその時点及び
回数(sampling)を定義するが、このような情報は該当生
産設備別に管理されて定義した時点になればデータベー
ス管理部に前記情報が伝えられて資料集め(data collec
tion）が始まる。他のひとつは使用者がウェブブラウザ
を使用してウェブサーバーに接続することができる使用
者インターフェースを提供する機能を遂行するものであ
り、通常HTML文書生成及びLAN管理階層との接続を担当
して現在使用者が定義した中心項目とその生産設備の目
録を見せて使用者が任意の目録から選択した項目の内容
を図表やグラフィックの形態で見せる。
【００３０】図５は本発明の望ましい実施例であり、半
導体生産装備に適用した例を示す。前記実施例はSEMIが
定義した通信プロトコルであるSECS-I/IIとHSMS(SEMI E
quipment Communications Standard １Message Transfe
r；E４、SEMI Equipment Communications Standard ２M
essage Transfer；E５、High speed message service、
SEMI E-３７、E-３７．１)にしたがう生産設備に関する
全体システム構成図を見せる。
【００３１】SECS-IはRS-２３２Cを物理的階層とする直
列(serial)資料交換方式であり、しばしば半導体生産装
備や液晶画面装置(LCD）の生産装備などで外部統制装置
であるホストコンピューター間の通信に活用されてい
る。またSECS-IIはSECS-Iを物理的基盤で定義したメッ
セージの形態であり、該当生産設備や統制装置は望みの
資料をSECS-IIで定義したメッセージ形態に変換してこ
れを下位階層であるSICS-Iの方式で相手方に転送する。
また前記HSMSはSECS-Iの転送速度を改善した転送方式で
あり、最近SECS-Iを代えている趨勢であり、設備はSICS
-IまたはHSMSを使用することができる。
【００３２】図５aは本発明の一側面で見た望ましい実
施例であり、インターネットを利用した半導体生産設備
の状態情報アクセスシステムは各生産設備５０１の状態
情報資料を要求する使用者システム５１０と、前記使用
者システムと通信網５０３で相互連結されて使用者の要
請によって各種生産設備の状態情報を提供するウェブサ
ーバー５０５と、生産ラインに供与されるし前記ウェブ
サーバーと通信網で相互連結されて前記ウェブサーバー
の要請によって自分の状態情報をウェブサーバーに転送
する各種生産設備システムを含む。
【００３３】図５bは本発明のまた他の側面で見た望ま
しい実施例であり、インターネットを利用した半導体生
産設備の状態情報アクセスシステムは各生産設備５２０
の状態情報資料を要求する使用者システム５３０と、前
記使用者システムと内部通信網５２３で相互連結されて
使用者の要請によって各種生産設備の状態情報を提供す
るウェブサーバー５２５と、生産ラインに供与され、前
記ウェブサーバーと通信網で相互連結されて前記ウェブ
サーバーの要請によって自分の状態情報をウェブサーバ
ーに転送する各種生産設備システムを含む。
【００３４】前記で状態情報資料ということは生産工程
で発生する設備の障害(trouble)内容、各種ガスの投与
量、生産容器(chamber)内部の圧力、生産材料の設備内
の運搬主体(robot等）の作動状態、各種化学物質の供給
量及び濃度、設備内の各種補助装置(sub-module）の異
常有無及び定期点検(periodic maintenance）の時点判
断のための使用時間に関する情報がこれに含まれる。
【００３５】前記資料らの貯蔵空間は前記SEMI規範を遵
守する生産設備らが設計される時、基本的に設備内の運
営ソフトウェア内に保管されて該当設備が作動時リアル
タイムで更新及び保管されてSIMI規約に適合した方式で
外部に提供される。したがって前記資料を各設備から受
信しようとするならば、通信網５０３，５２３を通じ前
記言及したSECS-I/II/HSMSという形態で該当設備に要請
しなければならない。
【００３６】図５bのようにサーバー５２５が各生産設
備に内蔵される場合を除いて、設備の外部に設置される
場合には図５aでのように前記ウェブサーバー５０５は
各工程別生産設備らの配置単位(bay)ごとにひとつずつ
複数個で具備することが望ましい。前記配置単位は装備
らの機能によって類似のものらを概略１０〜２０個の単
位で縛ることが可能であるが、必ずこれらの数値で限定
されるものではなく、サーバーの効率などを考慮して全
体的に判断しなければならない。したがって、場合によ
っては各配置単位内の設備の個数が前記範囲を超過する
ことも本発明の実施において好適である。
【００３７】前記図面でウェブサーバーはSECS-I/IIま
たはHSMSを外部通信方式で使用する設備にRS-２３２Cま
たはTCP/IPで連結されてリアルタイムでSICS-I/IIまた
はHSMS形態で設備らに資料を要求して各設備は該当資料
をSECS-I/IIまたはHSMSの形態でウェブサーバーに転送
する。この時ウェブサーバーは多数の設備を相手にする
ために、入った資料らをSECS-I/IIまたはHSMS方式の各
ヘッダの中にある設備IDで区分してそれぞれのデータベ
ースに区分記録する。
【００３８】ウェブサーバーが各設備らに要求する資料
目録は要求前に使用者が各設備で支援可能な要求項目(S
VID、status variable ID)らと各要求時点を選定すれば
ウェブサーバーはこれを自体内に特性ファイル(configu
ration file)に保存した後に、その設定された時点で前
記要求項目(SVID)らを該当設備に問い合わせする。該当
設備はこれに対する資料項目をウェブサーバーにSECS-I
/IIまたはHSMS形態で転送してウェブサーバーを前記要
求に対する応答として入る前記資料を各設備に割当され
たデータエースの所定領域にこれを記録する。
【００３９】使用者が関心資料を自分の個人用コンピュ
ータでウェブブラウザを通じて要請すればウェブサーバ
ーはこれに対する資料を該当データベースで探索した
後、使用者のウェブブラウザに表示するために前記探索
結果得られた資料をインターネット５０９，５２９を通
じてHTML文書で変換してTCP/IPに転送する。ウェブサー
バーは使用者が設定した各特性ファイルを土台に上記の
作業を続けて遂行し、それぞれのデータベースを蓄積す
るようになる。また使用者はウェブブラウザを通じ前記
資料を一定報告書の形式でウェブサーバーに定義するこ
ともできる。この場合、ウェブサーバーは使用者に決め
られた時刻に使用者が定義した報告書形式で電子メール
で転送することが可能である。
【００４０】ウェブサーバーは前で詳述したように各設
備とホストコンピュータ間の通信に介入して各設備でホ
ストコンピュータに伝えられる資料と、反対にホストコ
ンピュータから各該当装備に転送される資料をそのまま
変調なしで通過させる。したがって、該当装備とホスト
コンピュータは既存のホスト中心の方式とソフトウェア
的な差異点を全く感じなくなるが、これはウェブサーバ
ーが自分に受信される資料を上記の通りに変調なしでそ
のまま通過させるためである。
【００４１】ネット接続部であるRS-２３２Cインターフ
ェース部は物理的に生産装備にRS-２３２C形態で接続し
てSECS-Iの通信を担当する。もしも、設備がSICS-I方式
でないHSMSの場合はTCP/IPの通信を担当する。前記イン
ターフェース部は受信される信号がSEMIで規定した体系
によって受信される可否と各種物理的エラー検出及び再
転送を要求する機能を遂行する。また資料解釈部で転送
することを要求するSECS-II形態の資料をSICS-I(または
HSMS）の形態に変換して該当出力端子に送信して物理的
エラー検出及び必要時再転送を遂行する。また接続対象
生産設備が一つ以上である場合とSECS-Iである場合はRS
-２３２Cを支援する多重端子(multi-port)で接続する
が、前記多重端子は入力端子とそれに相応する出力端子
で構成される対(pair）の集合となら構成されている。
入力端子に受信されるRS-２３２Cの信号受信に問題がな
いならば前記インターフェース部は受信された資料を受
信した端子の住所と送信した生産設備の住所が添付され
てSECS-IIの資料形態に転換した後、直ちに資料解釈部
に送られる。
【００４２】資料解釈部はRS-２３２Cインターフェース
部(またはHSMS)から入る資料を分析(SECS-II message p
arsing)して実質的な意味を把握してメッセージ階層の
エラー検出及び必要時に再転送をRS-２３２Cインターフ
ェース部(またはHSMS）に依頼する。前記過程で問題が
ないならば前記資料解釈部は資料分析後生成されたトー
クン(token)の中、システムバイト(system byte)を通じ
該当資料が生産設備でウェブサーバーに送られた資料で
あるかの可否を決定する。もしも、受信された資料がウ
ェブサーバーに送られたものでなければ前記資料解釈部
は資料を歪曲なく直ちにRS-２３２Cインターフェース部
(またはHSMS）に送信端子の住所を添付して送信を依頼
するようになる。これとは異なり資料がウェブサーバー
に該当する内容ならば前記資料をデータベース管理部に
送る。また前記データベース管理部で特定生産装備に要
求される資料を該当設備住所と送信端子の住所を添付し
てRS-２３２Cインターフェース部(またはHSMS）に送信
を依頼する機能を遂行する。
【００４３】データベース管理部は前記資料解釈部から
入る資料を分析して添付された設備住所を通じ該当デー
タベースをオープン(open)した後、レコード(record)に
定義したフィールド(field)らに受信された資料を分類
して記録することが望ましい。また前記データベース管
理部は使用者要求管理部で依頼する項目及び条件(quer
y)を既存データベースを通じ提供する機能を遂行する。
また前記データベース管理部は使用者が新規データベー
スを必要とすればこれを生成(create)してフィールドを
構成するレコードを具現する。
【００４４】使用者要求管理部は２種類機能部分となら
構成されてひとつは使用者が設備に問い合わせするよう
に定義した項目及び条件表管理部分(item and query ma
nagement table)である。使用者は特定設備に問い合わ
せする項目とその時点及び回数(sampling)を定義する
が、前記情報は該当生産設備別に前記使用者要求管理部
で管理されて定義した時点になればデータベース管理部
に前記情報が伝えられて資料集め(data collection）が
始まるようになって、この過程は連続的に反復される。
使用者は定義した項目のうち、特定項目らを報告書の項
目として分類することができて前記項目らは定義した時
点に使用者にE-mail形式で送信することが可能である。
他のひとつはHTML文書生成及びLAN管理階層との接続を
担当し、上位階層から要求された資料を送付する
【００４５】HTML文書生成及びLAN管理階層は使用者が
ウェブブラウザーを使用して接続することができるイン
ターフェースを提供して(Web Server)、現在使用者が定
義した関心項目とその生産設備の目録を見せて使用者が
その任意の目録から選択した項目の内容を図表やグラフ
で見せる。使用者は関心項目と問い合わせ時点を新しく
定義することもできるが、この情報は下位階層で管理さ
れて該当時点に生産設備で問い合わせされる。
【００４６】上記のように本発明の構成によれば使用者
はインターネットを利用して望みの生産装備の各種状態
情報を自分が定義した形態で受けることが可能になる。
【００４７】
【発明の効果】本発明によれば各種生産設備に対する状
態情報を使用者が外部で難無くアクセスすることが可能
になり、それだけでなく使用者は自分が定義した形態で
望みの各種設備の状態情報を求めることができる長所が
ある。
【００４８】以上では本発明を実施例によって詳細に説
明したが、本発明は実施例によって限定されず、本発明
が属する技術分野において通常の知識を有するものであ
れば本発明の思想と精神を離れることなく、本発明を修
正または変更できるであろう。
【図面の簡単な説明】
【図１】 従来のホストと各生産設備との通信方式であ
る。
【図２a】 本発明のシステムのうち生産設備の外部に
ウェブサーバーを具備するシステム構成図である。
【図２b】 本発明のシステムのうち生産設備内部にウ
ェブサーバーを具備するシステム構成図である。
【図３】 本発明のインターネットを利用した生産設備
の状態情報アクセス方法を示す手続き流れ図である。
【図４】 本発明のウェブサーバーの構成図である。
【図５a】 半導体生産装備に対する本発明の一側面で
見た実施例である。
【図５b】 半導体生産装備に対する本発明のまた他の
側面で見た実施例である。
【符号の説明】
２０１，２２０ 生産設備 ２０３ イントラネット ２２１ 内部直接連結 ２０５，２２５ ウェブサーバー ２０７，２２７ ホストコンピュータ ２１０，２３０ 使用者システム ２０９，２２９ インターネット網
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G05B 23/02 G06F 17/60

Claims (17)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】各種生産設備が提供する状態情報資料に外
    部からアクセスする方法において、 ウェブサーバーと使用者システムが相互連結されたコン
    ピュータ通信網によって、使用者がウェブサーバーに接
    続する段階、 各種生産設備の状態情報資料を要請することができるよ
    うに、使用者の要求の定義項目を具備した画面を前記ウ
    ェブサーバーがディスプレーする段階、 ひとつ以上の生産設備に対する前記使用者の要求を定義
    して前記ウェブサーバーに要請する段階、 前記ウェブサーバーが、前記ひとつ以上の生産設備に、
    使用者が要求した状態情報資料を要求する段階、および
    前記ウェブサーバーが前記生産設備から転送されてデー
    タベース管理部に保存された前記状態情報資料を使用者
    が定義した形態に変換して前記使用者システムに転送す
    る段階を含み、 ウェブサーバーが生産設備システムと該生産設備システ
    ムに対する作動命令を付与するホストコンピューターと
    の間の通信に介入しており、生産設備に要求して得た各
    種状態情報資料が、ヘッダ領域に存在する設備番号と設
    備バイトで判断して使用者が要求するものであると判断
    した場合には、データ貯蔵部の該当設備に割当された領
    域に保存し、ホストコンピューターに通常的に転送され
    る資料である場合には、ホストコンピューターに変調な
    しで転送する ことを特徴とするインターネットを利用し
    た生産設備の状態情報アクセス方法。
  2. 【請求項２】使用者が要求した特定の生産設備に対する
    状態情報資料が、既にデータベース管理部に保存されて
    いる場合には、該資料を該生産設備に問い合わせするこ
    となく直ちに使用者が定義した形態で使用者システムに
    転送することを特徴とする、請求項１に記載のインター
    ネットを利用した生産設備の状態情報アクセス方法。
  3. 【請求項３】生産設備が、SEMIが定義した通信プロトコ
    ルのSECS-I/IIまたはHSMSにしたがう生産設備であるこ
    とを特徴とする、請求項１または２に記載のインターネ
    ットを利用した生産設備の状態情報アクセス方法。
  4. 【請求項４】生産設備からウェブサーバーに転送される
    状態情報がリアルタイムで変化する場合に、該ウェブサ
    ーバーから使用者システムに転送される状態情報資料
    が、CGIまたはJavaスクリプトを使用してリアルタイム
    でアップデートされることを特徴とする、請求項１また
    は２に記載のインターネットを利用した生産設備の状態
    情報アクセス方法。
  5. 【請求項５】状態情報として、生産工程中に発生する設
    備の障害内容、各種ガスの投与量、生産容器内部の圧
    力、生産材料の設備内の運搬主体である作動状態、各種
    化学物質の供給量及び濃度、設備内の各種補助装置の異
    常の有無、及び定期点検の時点判断のための使用時間に
    関する情報を含むことを特徴とする、請求項３に記載の
    インターネットを利用した生産設備の状態情報アクセス
    方法。
  6. 【請求項６】ウェブサーバーが提供する生産設備に対す
    る状態情報資料が、画面出力、ディスク貯蔵または電子
    メールの形態を含むことを特徴とする、請求項１に記載
    のインターネットを利用した生産設備の状態情報アクセ
    ス方法。
  7. 【請求項７】ウェブサーバーによる使用者システムへの
    該当設備の状態情報資料の転送が、TCP/IPを基盤とする
    HTML形態であることを特徴とする、請求項３に記載のイ
    ンターネットを利用した生産設備の状態情報アクセス方
    法。
  8. 【請求項８】生産設備の状態情報を要求する使用者シス
    テム、 使用者システムと通信網で相互連結されて、使用者の要
    請によって各種生産設備の状態情報を使用者が定義した
    形態に変換して提供するウェブサーバー、 生産ラインに供与され、該ウェブサーバーと通信網で相
    互連結されて該ウェブサーバーの要請によって自らの状
    態情報をウェブサーバーに転送する各種生産設備システ
    ム、および生産設備システムに対する作動命令を付与す
    るホストコンピューターを含み、 ウェブサーバーが生産設備システムとホストコンピュー
    ターとの間の通信に介入しており、生産設備に要求して
    得た各種状態情報資料が、ヘッダ領域に存在する設備番
    号と設備バイトで判断して使用者が要求するものである
    と判断した場合には、データ貯蔵部の該当設備に割当さ
    れた領域に保存し、ホストコンピューターに通常的に転
    送される資料である場合には、ホストコンピューターに
    変調なしで転送することを特徴とするインターネットを
    利用した生産設備の状態情報アクセスシステム。
  9. 【請求項９】ウェブサーバーと各種生産設備との通信
    が、 SECS-I/II または HSMS プロトコルにより、該ウェブ
    サーバーと使用者システムとの通信が、 TCP/IP プロトコ
    ルによることを特徴とする、請求項８に記載のインター
    ネットを利用した生産設備の状態情報アクセスシステ
    ム。
  10. 【請求項１０】ウェブサーバーが、 外部の生産設備とウェブサーバー間の資料の送受信を担
    当するネット接続インターフェース部、 該インターフェース部から転送される資料を分析して、
    該資料をデータベース管理部またはホストコンピュータ
    ーに転送し、また特定生産設備で要求される資料を当該
    設備に転送することを前記ネット接続インターフェース
    部に要求する資料解釈部、 該資料解釈部から転送された資料を当該設備に割当され
    た所定領域に保存し、使用者の要求によって前記割当領
    域に保存された資料を提供するデータベース管理部、お
    よび該当生産設備別の使用者の要求条件を管理し、ウェ
    ブサーバーとの使用者インターフェースを提供する使用
    者要求管理部を含むことを特徴とする、請求項８に記載
    のインターネットを利用した生産設備の状態情報アクセ
    スシステム。
  11. 【請求項１１】生産設備が、 SEMI が定義した通信プロト
    コルの SECS-I/II または HSMS にしたがう生産設備である
    ことを特徴とする、請求項１０に記載のインターネット
    を利用した生産設備の状態情報アクセスシステム。
  12. 【請求項１２】ネット接続インターフェース部が、生産
    設備から転送される資料は SECS-II 形態に変換して資料
    解釈部に転送し、該資料解釈部から生産設備に送信の要
    請を受けた資料は SECS-I または HSMS の形態に変換して送
    信することを特徴とする、請求項１１に記載のインター
    ネットを利用した生産設備の状態情報アクセスシステ
    ム。
  13. 【請求項１３】資料解釈部が、転送される資料のヘッダ
    を分析して設備番号と設備バイトとして判断して使用者
    の要求によるものとして判断した場合には、データ貯蔵
    部に転送し、 使用者要求によるものではないものとして判断した場合
    には、ネット接続インターフェース部にホストコンピュ
    ーターに転送を要求することを特徴とする、請求項１１
    に記載のインターネットを利用した生産設備の状態情報
    アクセスシステム。
  14. 【請求項１４】使用者要求管理部が、使用者が要求する
    資料をデータベースから伝送されて HTML 文書に変換する
    ことを特徴とする、請求項１１に記載のインターネット
    を利用した生産設備のアクセスシステム。
  15. 【請求項１５】使用者が要求する資料が、特定設備に問
    い合わせする項目と時点または回数情報を含むことを特
    徴とする、請求項１４に記載のインターネットを利用し
    た生産設備のアクセスシステム。
  16. 【請求項１６】ウェブサーバーが、各工程別生産設備ら
    の配置単位ごとに複数個で具備されることを特徴とす
    る、請求項８に記載のインターネットを利用した生産設
    備の状態情報アクセスシステム。
  17. 【請求項１７】ウェブサーバーが、各工程別生産設備に
    内蔵されることを特徴とする、請求項８に記載のインタ
    ーネットを利用した生産設備の状態情報アクセスシステ
    ム。
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