JP3494795B2 - Wire saw - Google Patents
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- JP3494795B2 JP3494795B2 JP05953696A JP5953696A JP3494795B2 JP 3494795 B2 JP3494795 B2 JP 3494795B2 JP 05953696 A JP05953696 A JP 05953696A JP 5953696 A JP5953696 A JP 5953696A JP 3494795 B2 JP3494795 B2 JP 3494795B2
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/007—Use, recovery or regeneration of abrasive mediums
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D1/00—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
- B28D1/02—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing
- B28D1/025—Use, recovery or regeneration of abrasive mediums
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体材
料、磁性材料、セラミック等からなるワークを切断用ワ
イヤの走行により切断するワイヤソーに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wire saw for cutting a work made of, for example, a semiconductor material, a magnetic material, or a ceramic by running a cutting wire.
【０００２】[0002]
【従来の技術】この種のワイヤソーにおいては、一本の
切断用ワイヤが所定の間隔で配置された複数の加工用ロ
ーラ間に螺旋状に巻き付けられている。従って、同切断
用ワイヤは加工用ローラ間において複数列設されてい
る。2. Description of the Related Art In this type of wire saw, a single cutting wire is spirally wound around a plurality of processing rollers arranged at predetermined intervals. Therefore, the cutting wires are arranged in a plurality of rows between the processing rollers.
【０００３】そして、砥粒を含むスラリが切断用ワイヤ
列の全幅にわたって供給され、このワイヤ列にワークが
押し付けられて、砥粒のラッピング作用によりワークが
多数枚にスライス加工される。Then, a slurry containing abrasive grains is supplied over the entire width of the cutting wire array, the work is pressed against this wire array, and the work is sliced into a large number of pieces by the lapping action of the abrasive particles.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記ワ
ークは切断用ワイヤ列と平行面内において該切断用ワイ
ヤの走行方向（以下、単にワイヤ方向とする）に対して
直交された状態で加工に供されるものばかりでなく、ワ
イヤ方向に対して傾斜された状態で加工に供されるもの
もある。However, the work is cut in the plane parallel to the cutting wire row.
There are not only those used for processing in a state orthogonal to the traveling direction of the yarn (hereinafter, simply referred to as a wire direction) but also those used for processing in a state inclined with respect to the wire direction.
【０００５】ワークがワイヤ方向に対して傾斜されてい
る場合、切断用ワイヤ上に供給されたスラリは、傾斜さ
れたワーク外形に沿ってワイヤ列の幅広方向の一方側に
流動されてしまう。When the work is tilted with respect to the wire direction, the slurry supplied onto the cutting wire is flowed to one side in the width direction of the wire row along the tilted work outline.
【０００６】従って、ワーク外形の傾斜に沿うスラリ流
の上流側においてはスラリが供給薄となり、逆に下流側
においては供給過剰となる。このため、ワークの両端側
においてそれぞれ切断に関与する砥粒の量が異なり、ワ
ークの切断厚みにばらつきが生じる等の問題があった。Therefore, the slurry is thinly supplied on the upstream side of the slurry flow along the inclination of the outer shape of the work, and is excessively supplied on the downstream side. Therefore, there is a problem in that the amount of abrasive grains involved in cutting is different on both end sides of the work, and the cutting thickness of the work varies.
【０００７】本発明は、上記従来技術に存在する問題点
に着目してなされたものであって、その目的は、ワーク
外形がワイヤの走行方向に対して傾斜していても、同ワ
ークに対してその幅広方向においてスラリを均一に供給
できるワイヤソーを提供することにある。The present invention has been made by paying attention to the problems existing in the above-mentioned prior art, and its object is to achieve the same work even if the outer shape of the work is inclined with respect to the traveling direction of the wire. An object of the present invention is to provide a wire saw that can uniformly supply the slurry in its wide direction.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に採用される請求項１の発明の構成は、複数の加工用ロ
ーラ間に巻き掛けられて、同加工用ローラ間を複数列で
走行される切断用ワイヤと、同切断用ワイヤに対してそ
の走行方向の上流側に砥粒を含むスラリを供給するスラ
リ供給機構とを備え、前記切断用ワイヤ列と平行面内に
おいて該切断用ワイヤの走行方向に対して交差するよう
に傾斜して配置されたワークを前記切断用ワイヤに押し
付けることにより同ワークの切断を行うワイヤソーにお
いて、前記ワークの両側方には、前記スラリ供給機構及
び該スラリ供給機構よりも前記切断用ワイヤの走行方向
の少なくとも上流側で各列の切断用ワイヤに摺接されて
同切断用ワイヤの付着物を掻き取る摺接板が配置されて
おり、前記摺接板は、前記傾斜して配置されたワークと
平行をなすようにワイヤの走行方向に対して傾斜可能に
構成され、ワークとの対向面を前記ワークと同じ側へ傾
斜されている。According to a first aspect of the present invention , which is adopted to achieve the above object, a plurality of processing rollers are used.
Between the rollers for multiple rows between the rollers for processing.
The cutting wire to be run and the cutting wire
Slurry that supplies slurry containing abrasive grains to the upstream side of the
Re-feeding mechanism, and in a plane parallel to the cutting wire row
So that it intersects the running direction of the cutting wire.
Push the workpiece placed at an angle to the cutting wire.
Attach it to a wire saw that cuts the same work
The slurry supply mechanism and the
And the traveling direction of the cutting wire rather than the slurry supply mechanism
Of the cutting wires in each row on at least the upstream side of
There is a sliding contact plate that scrapes off the deposits on the cutting wire.
The sliding contact plate and the slanted work piece.
Can be tilted parallel to the running direction of the wire
The surface facing the work is tilted to the same side as the work.
Beveled .
【０００９】請求項２の発明の構成は、複数の加工用ロ
ーラ間に巻き掛けられて、同加工用ローラ間を複数列で
走行される切断用ワイヤと、同切断用ワイヤに対してそ
の走行方向の上流側に砥粒を含むスラリを供給するスラ
リ供給機構とを備え、前記切断用ワイヤ列と平行面内に
おいて該切断用ワイヤの走行方向に対して交差するよう
に傾斜して配置されたワークを前記切断用ワイヤに押し
付けることにより同ワークの切断を行うワイヤソーにお
いて、前記スラリ供給機構は、前記ワークとの距離が前
記切断用ワイヤ列の一方から他方に向けて拡がるように
切断用ワイヤの走行方向に対して傾斜可能に構成され、
前記ワークとは逆側に傾斜する領域にスラリを供給す
る。[0009] configuration of the invention of claim 2, b for multiple processing
Between the rollers for multiple rows between the rollers for processing.
The cutting wire to be run and the cutting wire
Slurry that supplies slurry containing abrasive grains to the upstream side of the
Re-feeding mechanism, and in a plane parallel to the cutting wire row
So that it intersects the running direction of the cutting wire.
Push the workpiece placed at an angle to the cutting wire.
Attach it to a wire saw that cuts the same work
The distance between the work and the slurry supply mechanism is
Make sure that the cutting wire array spreads from one side to the other
It is configured to be tiltable with respect to the traveling direction of the cutting wire,
Slurry is supplied to the area inclined to the side opposite to the work.
It
【００１０】（作用）
上記構成の請求項１の発明においては、切断用ワイヤが
加工用ローラ間を走行される。スラリ供給機構はこの切
断用ワイヤの走行方向の上流側に砥粒を含むスラリを供
給する。そして、ワークをワイヤ列に押し付けることに
より、同ワークの切断加工がなされる。[0010] In (action) The invention of claim 1 constructed as described above, the cutting wire is running between the processing rollers. The slurry supply mechanism supplies a slurry containing abrasive grains to the upstream side in the running direction of the cutting wire. Then, by pressing the work against the wire row, the work is cut.
【００１１】ここで、前記加工中にワイヤ列に対して供
給されたスラリは、ワーク外形の傾斜に応じてワイヤ列
の幅広方向の一方側に流動される。しかし、ワイヤ列上
に配置された摺接板は、そのワークとの対向面を切断用
ワイヤの走行方向に対して前記ワークと同じ側へ傾斜さ
せている。従って、ワークの傾斜に沿ったスラリ流は、
同摺接板の対向面によって妨げられて停滞される。その
結果、ワーク外形の傾斜に沿ったスラリの流動が阻害さ
れ、切断用ワイヤの列方向へのスラリ供給量の偏りが抑
えられる。Here, the slurry supplied to the wire row during the machining is flowed to one side in the width direction of the wire row according to the inclination of the outer shape of the work. However, the sliding contact plate arranged on the wire row has the surface facing the work inclined to the same side as the work with respect to the traveling direction of the cutting wire. Therefore, the slurry flow along the inclination of the work is
The sliding contact plate is blocked by the opposing surfaces of the sliding contact plate. As a result, the flow of the slurry along the inclination of the outer shape of the work is hindered, and the deviation of the slurry supply amount in the row direction of the cutting wires is suppressed.
【００１２】また、摺接板が切断用ワイヤに対して摺接
されることにより、各切断用ワイヤに付着された切粉や
ワークの破片を含むスラリ等の掻き取りがなされる。 Furthermore, sliding contact plate by being in sliding contact against the cutting wire, scraping the slurry or the like including debris of the deposited chips and the workpiece to each cutting wire is made.
【００１３】請求項２の発明においては、スラリ供給機
構を傾斜させることにより、スラリを切断用ワイヤの走
行方向に対して前記ワークとは逆側に傾斜する領域に供
給する。従って、ワーク外形の傾斜に沿ったスラリの流
れの下流側においては、切断用ワイヤ列の間から落下さ
れるスラリの量が多くなり、上流側においては落下量が
少なくなる。つまり、ワークの傾斜に起因したスラリ供
給量の偏りが、切断用ワイヤの各列間からのスラリの落
下により相殺される。According to the second aspect of the present invention, the slurry supply mechanism is inclined so that the slurry is supplied to the region inclined to the side opposite to the work with respect to the traveling direction of the cutting wire. Therefore, the amount of slurry dropped from between the cutting wire rows is large on the downstream side of the flow of the slurry along the inclination of the outer shape of the workpiece, and the amount dropped on the upstream side is small. That is, the deviation of the slurry supply amount due to the inclination of the work is offset by the falling of the slurry from between the rows of the cutting wire.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した第１実
施形態及び第２実施形態についてそれぞれ説明する。な
お、第２実施形態において第１実施形態と同一部材には
同じ番号が付してある。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The first and second embodiments of the present invention will be described below. In the second embodiment, the same members as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals.
【００１５】（第１実施形態）図１〜図３に示すよう
に、３つの加工用ローラ１A 〜１C は装置フレーム２上
において逆三角形の各頂点に対応する位置に平行配置さ
れている。各加工用ローラ１A 〜１C は図示しないロー
ラ用モータにより回転駆動される。多数の環状溝１ａは
各加工用ローラ１A 〜１C の外周面に所定ピッチで凹設
されている。鋼線よりなる一本の切断用ワイヤ３は、前
記加工用ローラ１A 〜１C の各環状溝１ａに連続的に螺
旋状に巻き掛けられている。従って、同切断用ワイヤ３
は各加工用ローラ１A 〜１C 間において多数巻回されて
いる。(First Embodiment) As shown in FIGS. 1 to 3, three processing rollers 1A to 1C are arranged in parallel on the apparatus frame 2 at positions corresponding to the respective vertices of an inverted triangle. Each of the processing rollers 1A to 1C is rotationally driven by a roller motor (not shown). A large number of annular grooves 1a are provided in the outer peripheral surface of each of the processing rollers 1A to 1C at a predetermined pitch. A single cutting wire 3 made of a steel wire is continuously spirally wound around each annular groove 1a of the processing rollers 1A to 1C. Therefore, the cutting wire 3
Is wound many times between the processing rollers 1A to 1C.
【００１６】そして、各加工用ローラ１A 〜１C がロー
ラ用モータにより積極回転されることにより、各加工用
ローラ１A 〜１C 間を切断用ワイヤ３が走行される。ロ
ーラ用モータは所定の任意の時間毎に回転方向が反転さ
れ、従って、前記切断用ワイヤ３の走行は矢印Ａ，Ｂの
両方向になされる。Then, the respective cutting rollers 1A to 1C are positively rotated by the roller motor, so that the cutting wire 3 travels between the respective processing rollers 1A to 1C. The rotation direction of the roller motor is reversed every predetermined time, so that the cutting wire 3 travels in both directions A and B.
【００１７】ワーク支持機構４は切断用ワイヤ３の上方
位置において、装置フレーム２上のコラム１９に上下動
可能に支持されている。ワークＷはワーク支持機構４の
下部に着脱自在にセットされている。同ワーク支持機構
４はコラム１９に設けられたワーク昇降用モータ４ａに
より上下動可能である。The work supporting mechanism 4 is supported above the cutting wire 3 by a column 19 on the apparatus frame 2 so as to be vertically movable. The work W is detachably set under the work support mechanism 4. The work supporting mechanism 4 can be moved up and down by a work lifting motor 4a provided on the column 19.
【００１８】リール機構６は前記装置フレーム２上に配
置されている。同リール機構６は２つのリール６ａ（一
方のみを図示する）を備え、一方のリール６ａは前記加
工用ローラ間に切断用ワイヤ３を繰り出すためのもので
あり、他方のリール６ａは、加工用ローラ間を通過され
た切断用ワイヤ３を巻き取るためのものである。各リー
ル６ａはリール用モータ６ｂにより駆動回転される。ワ
イヤ３のトラバース機構７はリール機構６に近接して配
置され、各リール６ａによる切断用ワイヤ３の繰り出し
及び巻き取りを上下方向にトラバースしながらワイヤ３
を案内する。The reel mechanism 6 is arranged on the apparatus frame 2. The reel mechanism 6 includes two reels 6a (only one of which is shown), one reel 6a is for feeding the cutting wire 3 between the processing rollers, and the other reel 6a is for processing. It is for winding up the cutting wire 3 passed between the rollers. Each reel 6a is driven and rotated by a reel motor 6b. The traverse mechanism 7 for the wire 3 is arranged in the vicinity of the reel mechanism 6, and the wire 3 is traversed in the up-down direction while unwinding and winding the cutting wire 3 by each reel 6a.
To guide you.
【００１９】そして、前記リール機構６により、加工用
ローラ１A 〜１C 間へ切断用ワイヤ３が繰り出されると
ともに、同加工用ローラ１A 〜１C 間を通過した切断用
ワイヤ３の巻き取りがなされる。また、前述したように
切断用ワイヤ３の走行方向が反転されるため、それに応
じてリール用モータ６ｂの回転方向も切り換えられて、
両リール６ａは繰り出し及び巻き取り機能の反転動作を
繰り返す。Then, the reel mechanism 6 feeds the cutting wire 3 between the processing rollers 1A to 1C and winds the cutting wire 3 passing through the processing rollers 1A to 1C. Further, since the traveling direction of the cutting wire 3 is reversed as described above, the rotation direction of the reel motor 6b is also switched accordingly,
Both reels 6a repeat the reversing operation of the feeding and winding functions.
【００２０】張力付与機構８は前記加工用ローラ１A 〜
１C とリール機構６との間に配設されている。同張力付
与機構８はコラム１９上に回動可能に支持された一対の
ダンサアーム８ａを備えている。ガイドローラ８ｂはダ
ンサアーム８ａの先端に回転自在に支持され、同ガイド
ローラ８ｂには加工用ローラ１A 〜１C と各リール６ａ
との間の切断用ワイヤ３を案内する。そして、同ダンサ
アーム８ａがウエイト８ｃにより下方に回動付勢され
て、切断用ワイヤ３に所定の張力が付与される。The tension applying mechanism 8 comprises the processing rollers 1A ...
It is arranged between 1C and the reel mechanism 6. The tension applying mechanism 8 includes a pair of dancer arms 8a rotatably supported on a column 19. The guide roller 8b is rotatably supported by the tip of the dancer arm 8a, and the guide roller 8b includes processing rollers 1A to 1C and each reel 6a.
Guide the cutting wire 3 between and. Then, the dancer arm 8a is urged to rotate downward by the weight 8c, and a predetermined tension is applied to the cutting wire 3.
【００２１】スラリ供給機構９は、コラム１９によって
支持された（図示しない）一対のスラリ供給用のパイプ
１０を備えている。この一対の供給用パイプ１０は、上
部の２つの加工用ローラ１A ，１B 近傍の上方にそれぞ
れ配置されている。同供給用パイプ１０はその途中位置
においてＬ字形に屈曲されており、同屈曲部付近に介在
された回転継手１０ｂによりワイヤ列と平行面内をそれ
ぞれ回動して角度調節可能である。The slurry supply mechanism 9 comprises a pair of slurry supply pipes 10 (not shown) supported by a column 19. The pair of supply pipes 10 are arranged above and near the upper two processing rollers 1A and 1B, respectively. The supply pipe 10 is bent in an L-shape at an intermediate position, and the angle can be adjusted by rotating in a plane parallel to the wire row by a rotary joint 10b interposed near the bent portion.
【００２２】複数の供給孔１０ａは各供給用パイプ１０
の長手方向に等間隔で貫通形成されている。各供給用パ
イプ１０は、スラリタンク１１にポンプ１２を介して接
続されており、同ポンプ１２の作用により各供給孔１０
ａを介して砥粒を含むスラリを切断用ワイヤ３の列方向
に対して一線状をなすようにして供給する。なお、ポン
プ１２から各供給用パイプ１０への管路上の分岐点には
流路切換バルブ１３が介在されており、切断用ワイヤ３
の走行方向が矢印Ａである場合には図面右方の供給用パ
イプ１０を、矢印Ｂである場合には図面左方の供給用パ
イプ１０を択一的に選択してポンプ１２に対して接続す
る。A plurality of supply holes 10a are provided for each supply pipe 10.
Are formed at regular intervals in the longitudinal direction. Each supply pipe 10 is connected to a slurry tank 11 via a pump 12, and the action of the pump 12 causes each supply hole 10 to be supplied.
Slurry containing abrasive grains is supplied through a through the a so as to form a straight line in the row direction of the cutting wires 3. A flow path switching valve 13 is interposed at a branch point on the pipeline from the pump 12 to each supply pipe 10, and the cutting wire 3
When the traveling direction of the arrow is the arrow A, the supply pipe 10 on the right side of the drawing is selected and when the traveling direction of the arrow is the arrow B, the supply pipe 10 on the left side of the drawing is selectively selected and connected to the pump 12. To do.
【００２３】受け容器１４は加工用ローラ１A 〜１C に
より囲まれた空間内においてワイヤ列の下方に配置さ
れ、切断用ワイヤ３の間から落下されるスラリや切粉等
を受けるようになっている。同受け容器１４はフィルタ
１５を介してスラリタンク１１に接続されており、落下
されたスラリは濾過されてスラリタンク１１に戻され
る。The receiving container 14 is arranged below the wire row in the space surrounded by the processing rollers 1A to 1C, and receives the slurry, chips and the like dropped from between the cutting wires 3. . The receiving container 14 is connected to the slurry tank 11 via a filter 15, and the dropped slurry is filtered and returned to the slurry tank 11.
【００２４】仕切り板としての一対の摺接板１６は、受
け容器１４の開口縁部において供給用パイプ１０を挟む
位置に装着されている。従って、同摺接板１６はワイヤ
列の裏面側において上部の２つの加工用ローラ１A ，１
B の近傍にそれぞれ配置されている。複数のスリット１
６ａは摺接板１６の上端縁部に、所定間隔をおいて切り
欠かれている。同スリット１６ａは前記各列の切断用ワ
イヤ３の通過を許容し、従って、各摺接板１６はその上
端縁部を切断用ワイヤ３の走行方向（以下、単にワイヤ
方向とする）Ｙと交差させるように各切断用ワイヤ３の
間から突出させている。そして、各列の切断用ワイヤ３
が、その走行方向の下流側に配置された摺接板１６を通
過されることにより、同ワイヤ３に付着されたスラリや
切粉等がスリット１６ａにより掻き取られるようになっ
ている。A pair of sliding contact plates 16 as partition plates are mounted at positions where the supply pipe 10 is sandwiched between the opening edges of the receiving container 14. Therefore, the sliding contact plate 16 has two upper processing rollers 1A, 1 on the back side of the wire row.
They are located near B respectively. Multiple slits 1
6a is cut out at an upper edge of the sliding contact plate 16 at a predetermined interval. The slits 16a allow passage of the cutting wires 3 in the respective rows, and therefore, the upper edge portions of the sliding contact plates 16 intersect the traveling direction (hereinafter, simply referred to as the wire direction) Y of the cutting wires 3. It is made to protrude from between each cutting wire 3 so that it may be made. And the cutting wire 3 of each row
However, by passing through the sliding contact plate 16 arranged on the downstream side in the traveling direction, the slurry, cuttings, etc. attached to the wire 3 are scraped off by the slit 16a.
【００２５】ところで、前記ワークＷは、ワイヤ方向Ｙ
に対して傾斜された状態で加工に供される。但し、図面
においては傾斜を誇張して描いてある。そこで、本実施
形態においては、前記摺接板１６を仕切板とし、同摺接
板１６のワークＷとの対向面１８をワイヤ方向Ｙに対し
てワークＷと同じ方向に傾斜させている。この摺接板１
６の傾斜配置は、同摺接板１６と受け容器１４との間に
三角柱状をなすスペーサ１７を介在することによりなさ
れる。By the way, the work W has a wire direction Y.
It is used for processing in a state inclined with respect to. However, the inclination is exaggerated in the drawings. Therefore, in the present embodiment, the sliding contact plate 16 is a partition plate, and the surface 18 of the sliding contact plate 16 facing the work W is inclined in the same direction as the work W with respect to the wire direction Y. This sliding contact plate 1
The inclined arrangement of 6 is made by interposing a spacer 17 having a triangular prism shape between the sliding contact plate 16 and the receiving container 14.
【００２６】前記スペーサ１７は傾角Ｘがそれぞれ異な
る複数種が準備されており、この中から適宜、スペーサ
１７を選択することにより、摺接板１６（対向面１８）
のワイヤ方向Ｙに対する傾斜度合いが調節される。この
摺接板１６の傾斜度合いの調節と同時に、前記供給用パ
イプ１０もワークＷの傾斜と同じ側に回動調節され、各
切断用ワイヤ３上において摺接板１６とワークＷとの間
にスラリを供給可能としている。なお、摺接板１６のス
リット１６ａは、ワイヤ３で直接切削して形成しても良
い。A plurality of kinds of spacers 17 having different inclination angles X are prepared, and the sliding contact plate 16 (opposing surface 18) can be selected by appropriately selecting the spacer 17 from these.
The degree of inclination of the wire with respect to the wire direction Y is adjusted. Simultaneously with the adjustment of the inclination degree of the slide contact plate 16, the supply pipe 10 is also rotated and adjusted to the same side as the inclination of the work W, and between the slide contact plate 16 and the work W on each cutting wire 3. It is possible to supply slurry. The slit 16a of the sliding contact plate 16 may be formed by directly cutting with the wire 3.
【００２７】次に、本実施形態の作用について説明す
る。さて、切断用ワイヤ３が上部の２つの加工用ローラ
１A ，１B 間において走行された状態で、ワーク支持機
構４によりワークＷが各切断用ワイヤ３に向けて下降さ
れる。また、スラリ供給機構９により、切断用ワイヤ３
に対して摺接板１６とワークＷとの間に砥粒を含むスラ
リが供給される。そして、スラリが供給された切断用ワ
イヤ３に対してワークＷが押し付けられ、砥粒のラッピ
ング作用によって同ワークＷが複数枚にスライス加工さ
れる。Next, the operation of this embodiment will be described. Now, with the cutting wire 3 running between the upper two processing rollers 1A and 1B, the work W is lowered toward the respective cutting wires 3 by the work supporting mechanism 4. Further, the cutting wire 3 is made by the slurry supply mechanism 9.
On the other hand, a slurry containing abrasive grains is supplied between the sliding contact plate 16 and the work W. Then, the work W is pressed against the cutting wire 3 supplied with the slurry, and the work W is sliced into a plurality of pieces by the lapping action of the abrasive grains.
【００２８】ここで、摺接板１６が加工用ローラ１A 〜
１C と平行に配置された場合、前記切断用ワイヤ３に供
給されたスラリは、図中矢印Ｆで示すようにワークＷの
傾斜に応じて各切断用ワイヤ３の幅広方向に偏ろうとす
る。しかし、摺接板１６の対向面１８がワークＷと同じ
方向に傾斜配置した場合、同対向面１８はワークＷの傾
斜に沿ったスラリの流れに対向される。従って、同対向
面１８によりワイヤ列の幅広方向へ向かうスラリの流動
が妨げられる。Here, the sliding contact plate 16 is the processing rollers 1A ...
When arranged in parallel with 1C, the slurry supplied to the cutting wires 3 tends to be biased in the wide direction of each cutting wire 3 in accordance with the inclination of the work W as shown by the arrow F in the figure. However, when the facing surface 18 of the sliding contact plate 16 is inclined in the same direction as the work W, the facing surface 18 faces the flow of the slurry along the tilt of the work W. Therefore, the facing surface 18 prevents the slurry from flowing in the wide direction of the wire row.
【００２９】上記構成の本実施形態においては、次のよ
うな効果を奏する。
（１）摺接板１６のワークＷとの対向面１８は、ワイヤ
方向Ｙに対してワークＷの外形と同じ側に傾斜されてい
る。従って、ワークＷに対するスラリ供給量の偏りが抑
えられる。よって、砥粒の供給量の差によるワークＷの
切断厚みのばらつきを抑えることができる。
（２）摺接板１６のワイヤ方向Ｙに対する傾角Ｘはスペ
ーサ１７により決定され、同スペーサ１７は異なる傾角
Ｘを有する複数種が準備されている。従って、各ワーク
Ｗのワイヤ方向Ｙに対する傾斜度合いや、スラリ供給量
が異なっても容易に摺接板１６の傾角を変更して対応で
きる。
（３）摺接板１６が仕切板を兼ねるため、ワイヤ３に付
着したスラリや切粉等がスリット１６ａにより掻き取ら
れ、その回収が容易となる。The present embodiment having the above-mentioned structure has the following effects. (1) The surface 18 of the sliding contact plate 16 facing the work W is inclined to the same side as the outer shape of the work W with respect to the wire direction Y. Therefore, the deviation of the slurry supply amount with respect to the work W is suppressed. Therefore, it is possible to suppress the variation in the cutting thickness of the work W due to the difference in the supply amount of the abrasive grains. (2) The inclination X of the sliding contact plate 16 with respect to the wire direction Y is determined by the spacer 17, and a plurality of types of the same spacer 17 having different inclinations X are prepared. Therefore, even if the inclination degree of each work W with respect to the wire direction Y and the slurry supply amount are different, the inclination angle of the sliding contact plate 16 can be easily changed and dealt with. (3) Since the sliding contact plate 16 also serves as a partition plate, the slurry, chips and the like adhering to the wire 3 are scraped off by the slit 16a, and the recovery thereof is facilitated.
【００３０】（第２実施形態）図４においては第２実施
形態を示す。本実施形態において摺接板１６は、ワイヤ
方向Ｙと直交方向に配置されている。このため、その代
替として供給用パイプ２１をワイヤ方向Ｙに対してワー
クの傾斜側とは逆方向に傾斜させて対応している。(Second Embodiment) FIG. 4 shows a second embodiment. In this embodiment, the sliding contact plate 16 is arranged in a direction orthogonal to the wire direction Y. Therefore, as an alternative, the supply pipe 21 is tilted in the direction opposite to the tilted side of the workpiece with respect to the wire direction Y.
【００３１】従って、図面からも明らかなように、ワー
クＷの傾斜とワイヤ３の幅広方向に沿ったスラリの流れ
（矢印Ｆ）の下流側においてはスラリの切断用ワイヤ３
に対する供給位置からワークまでの距離が長くなってい
る。逆に、上流側においては距離が短くなっている。つ
まり、本実施形態においては、切断用ワイヤ３に対する
スラリの落下位置を、矢印Ｆの下流側ほどワークＷから
遠ざけている。その結果、供給用パイプ２１によるスラ
リの落下位置からワークＷに至るまでの間に、切断用ワ
イヤ３間から落下されるスラリの量が多くなって、ワー
クＷの傾斜に起因したスラリ供給量の偏りと相殺され
る。Therefore, as is apparent from the drawing, the wire 3 for cutting the slurry is provided downstream of the inclination of the work W and the flow of the slurry (arrow F) along the width direction of the wire 3.
The distance from the supply position to the work is long. On the contrary, the distance is shorter on the upstream side. That is, in the present embodiment, the falling position of the slurry with respect to the cutting wire 3 is farther from the work W on the downstream side of the arrow F. As a result, the amount of slurry dropped from between the cutting wires 3 increases from the position where the slurry is dropped by the supply pipe 21 to the work W, and the amount of slurry supplied due to the inclination of the work W is increased. Offset with bias.
【００３２】なお、供給用パイプ２１のワイヤ方向Ｙに
対する傾斜度合いは少量であるが、図面においては理解
を容易とするために誇張して描いてある。上記構成の本
実施形態においては、次のような効果を奏する。
（１）切断用ワイヤ３の各列間からのスラリの落下量を
調節することにより、ワークＷがワイヤ方向Ｙに対して
傾斜されることに起因したスラリ供給量の偏りを解消す
る。従って、ワークＷの切断厚みのばらつきを抑えるこ
とができる。
（２）供給用パイプ２１をワイヤ列と平行面内において
回動可能に構成するのみの、簡単かつ安価な構成で前記
（１）の効果を奏することができる。Although the inclination of the supply pipe 21 with respect to the wire direction Y is small, it is exaggerated in the drawings for easy understanding. The present embodiment having the above configuration has the following effects. (1) By adjusting the falling amount of the slurry from between the rows of the cutting wire 3, the deviation of the slurry supply amount caused by the work W being inclined with respect to the wire direction Y is eliminated. Therefore, it is possible to suppress the variation in the cutting thickness of the work W. (2) The effect of (1) above can be obtained with a simple and inexpensive structure in which the supply pipe 21 is only rotatable in a plane parallel to the wire row.
【００３３】なお、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で
以下の態様でも実施できる。
（１）上記第１実施形態において第２実施形態を具体化
すること。
（２）加工用ローラ１を、１A ，１B の一対のみとする
こと。The following embodiments can be carried out without departing from the spirit of the present invention. (1) Embodying the second embodiment in the first embodiment. (2) The processing roller 1 should be only a pair of 1A and 1B.
【００３４】上記実施形態から把握できる技術的思想に
ついて記載する。前記仕切板１６は角度調節部材１７に
よりワイヤ方向Ｙに対する角度を調節可能に構成されて
いるワイヤソー。The technical idea that can be understood from the above embodiment will be described. The partition plate 16 by the angle adjusting member 17 have <br/> is adjustably configure the angle with respect to the wire direction Y Ruwa Iyaso.
【００３５】このようにすれば、ワイヤ方向Ｙに対する
傾斜度合いが異なるワークＷに対しても、容易に対応で
きる。By doing so, it is possible to easily deal with the work W having different degrees of inclination with respect to the wire direction Y.
【００３６】[0036]
【発明の効果】上記構成の請求項１及び２の発明によれ
ば、ワイヤによるワークへのスラリの供給量が一定し、
ワークを均一に精度良く加工し得る。According to the first and second aspects of the present invention, the amount of slurry supplied to the work by the wire is constant,
Work can be processed uniformly and accurately.
【００３７】また、ワイヤに付着したスラリや切粉等の
回収が容易となる。 Further, the recovery slurry or chips or the like adhering to the wire is facilitated.
【図１】 ワイヤソーの側面図。FIG. 1 is a side view of a wire saw.
【図２】 ワイヤソーの要部拡大断面図。FIG. 2 is an enlarged sectional view of a main part of the wire saw.
【図３】 ワイヤソーの要部拡大平面図。FIG. 3 is an enlarged plan view of a main part of the wire saw.
【図４】 第２実施形態を示す要部拡大平面図。FIG. 4 is an enlarged plan view of an essential part showing a second embodiment.
１A 〜１C …加工用ローラ、３…切断用ワイヤ、９…ス
ラリ供給機構、１６…仕切板としての摺接板、１８…対
向面、Ｗ…ワーク、Ｙ…切断用ワイヤの走行方向。1A to 1C ... Processing roller, 3 ... Cutting wire, 9 ... Slurry supply mechanism, 16 ... Sliding plate as partition plate, 18 ... Opposing surface, W ... Work piece, Y ... Running direction of cutting wire.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−136922（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−251062（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−76366（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−11047（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B24B 27/06 B28D 5/04 ─────────────────────────────────────────────────── --- Continuation of the front page (56) Reference JP-A-7-136922 (JP, A) JP-A-62-251062 (JP, A) JP-A-56-76366 (JP, A) JP-A-8- 11047 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) B24B 27/06 B28D 5/04
Claims (2)
て、同加工用ローラ間を複数列で走行される切断用ワイ
ヤと、同切断用ワイヤに対してその走行方向の上流側に
砥粒を含むスラリを供給するスラリ供給機構とを備え、
前記切断用ワイヤ列と平行面内において該切断用ワイヤ
の走行方向に対して交差するように傾斜して配置された
ワークを前記切断用ワイヤに押し付けることにより同ワ
ークの切断を行うワイヤソーにおいて、前記ワークの両側方には、前記スラリ供給機構及び該ス
ラリ供給機構よりも前記切断用ワイヤの走行方向の少な
くとも上流側で各列の切断用ワイヤに摺接されて同切断
用ワイヤの付着物を掻き取る摺接板が配置されており、
前記摺接板は、前記傾斜して配置されたワークと平行を
なすようにワイヤの走行方向に対して傾斜可能に構成さ
れ、ワークとの対向面を前記ワークと同じ側へ傾斜され
ている ワイヤソー。1. A cutting wire wound between a plurality of processing rollers and traveling in a plurality of rows between the processing rollers, and abrasive grains on the upstream side in the traveling direction with respect to the cutting wire. And a slurry supply mechanism for supplying a slurry containing
The cutting wire in a plane parallel to the cutting wire row
It was placed so that it intersected with the running direction of
In the wire saw to cut the same work by attaching press work to the cutting wire, wherein the both sides of the workpiece, the slurry supply mechanism and該Su
The cutting wire travels less than the lari supply mechanism.
At the same time, at the upstream side, the wires are slid on the cutting wires in each row and cut
There is a sliding contact plate that scrapes off the deposits on the work wire.
The sliding contact plate should be parallel to the inclined workpiece.
It is constructed so that it can be tilted with respect to the running direction of the wire.
The surface facing the work is tilted to the same side as the work.
And it has a wire saw.
て、同加工用ローラ間を複数列で走行される切断用ワイ
ヤと、同切断用ワイヤに対してその走行方向の上流側に
砥粒を含むスラリを供給するスラリ供給機構とを備え、
前記切断用ワイヤ列と平行面内において該切断用ワイヤ
の走行方向に対して交差するように傾斜して配置された
ワークを前記切断用ワイヤに押し付けることにより同ワ
ークの切断を行うワイヤソーにおいて、 前記スラリ供給機構は、前記ワークとの距離が前記切断
用ワイヤ列の一方から他方に向けて拡がるように切断用
ワイヤの走行方向に対して傾斜可能に構成され、前記ワ
ークとは逆側に傾斜する領域にスラリを供給する ワイヤ
ソー。2. Wound between a plurality of processing rollers
The cutting wires that run in multiple rows between the processing rollers.
And upstream of the cutting wire in the direction of travel.
A slurry supply mechanism for supplying a slurry containing abrasive grains,
The cutting wire in a plane parallel to the cutting wire row
It was placed so that it intersected with the running direction of
By pressing the workpiece against the cutting wire,
In the wire saw that cuts the slab, the slurry supply mechanism is arranged so that the distance to the work is the cutting
For cutting so that it spreads from one side of the wire row to the other
The wire is tiltable with respect to the traveling direction, and
Wire saw that supplies the slurry to the area that is inclined to the opposite side of the bark.
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- 1996-03-15 JP JP05953696A patent/JP3494795B2/en not_active Expired - Fee Related
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