JP3486108B2 - Power resistor, method of manufacturing the same, and power resistor - Google Patents

Power resistor, method of manufacturing the same, and power resistor

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JP3486108B2 JP18491298A JP18491298A JP3486108B2 JP 3486108 B2 JP3486108 B2 JP 3486108B2 JP 18491298 A JP18491298 A JP 18491298A JP 18491298 A JP18491298 A JP 18491298A JP 3486108 B2 JP3486108 B2 JP 3486108B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電力用抵抗体、そ
の製造方法及び電力用抵抗器に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a power resistor, a method for manufacturing the same, and a power resistor.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、電力用抵抗体の材料には金属系
抵抗材料、およびセラミック系抵抗材料に大別される。
この中でセラミック系抵抗材料は、金属系抵抗材料に比
べて、電圧電流特性および高電気エネルギーを吸収する
エネルギー耐量が高いという特徴を有する。
2. Description of the Related Art Generally, power resistor materials are roughly classified into metal-based resistance materials and ceramic-based resistance materials.
Among them, the ceramic-based resistance material has a characteristic that it has a higher voltage-current characteristic and a higher energy withstand capacity for absorbing high electric energy than the metal-based resistance material.

【0003】特開昭58-139401 号公報および特開昭59-2
17668 号公報には、代表的なセラミック系抵抗体が開示
されている。特開昭58-139401 号公報には、絶縁性の酸
化アルミニウム結晶中に導電性を有するカーボン粉末が
分散された、炭素粒子分散型セラミック抵抗体が記載さ
れている。
JP-A-58-139401 and JP-A-59-2
Japanese Patent No. 17668 discloses a typical ceramic resistor. Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. 58-139401 describes a carbon particle-dispersed ceramic resistor in which electrically conductive carbon powder is dispersed in an insulating aluminum oxide crystal.

【0004】特開昭59-217668 号公報には、酸化アルミ
ニウム、ムライト、焼成粘土の絶縁性無機材料粉末に炭
素粉末及び結合材を加え、混合、混練、加熱処理した原
料を主原料として用いた炭素系電力用抵抗体について記
載されており、このときの炭素粉末が0.1 μm 以下の微
粉で、1.5 〜5 重量%の含有量であることが記載されて
いる。
In Japanese Patent Laid-Open No. 59-217668, a raw material obtained by adding carbon powder and a binder to an insulating inorganic material powder of aluminum oxide, mullite and calcined clay, mixing, kneading and heat-treating is used as a main raw material. It is described that a carbon-based power resistor is used, in which the carbon powder is a fine powder having a particle size of 0.1 μm or less and a content of 1.5 to 5% by weight.

【0005】また特開昭57-52101号公報には、酸化アル
ミニウムを主原料とし、他に酸化珪素、酸化マグネシウ
ムなどの粘土材、さらに導電材としてのカーボンを3 〜
10重量%含有する抵抗部材について記載されている。
Further, in Japanese Patent Laid-Open No. 57-52101, aluminum oxide is used as a main raw material, and other clay materials such as silicon oxide and magnesium oxide, and carbon as a conductive material are used in an amount of 3 to 3.
A resistance member containing 10% by weight is described.

【0006】 ところで、一般的に、酸化アルミニウム
粉末にカーボン粉末を添加し焼結体を製造しようとする
と、酸化アルミニウムの焼結性が阻害されることが知ら
れている。このため、前述した炭素粒子分散型セラミッ
ク抵抗体は、酸化アルミニウム粉末にカーボン粉末を添
加するが、さらに酸化アルミニウムの焼結性を補う目
で粘土を添加している。しかし、この粘土は、単に焼結
体中の酸化アルミニウム粒子と酸化アルミニウム粒子、
酸化アルミニウム粒子とカーボン粉末を結合させるだけ
で、焼結性を向上させることはない。そのため焼結体の
気孔率は10〜30%と高く、緻密性に劣る。緻密な酸化ア
ルミニウムセラミックは単位体積当たりの熱容量は3J/c
m 3 ・degある。ところが従来の炭素粒子分散型セラミ
ック抵抗体は、緻密性に劣るため単位体積当たりの熱容
量が2J/cm 3 ・degと小さい。そのため、電気エネルギ
ーの吸収に伴って抵抗体の温度上昇が著しくなる。また
通電時にカーボン粉末が気孔内で放電を起こすため貫通
放電が発生する。
By the way, it is generally known that when carbon powder is added to aluminum oxide powder to manufacture a sintered body, the sinterability of aluminum oxide is impaired. Therefore, the carbon particle-dispersed ceramic resistor described above, the aluminum oxide powder is added with carbon powder, and further the sintering of aluminum oxide was added boric purpose clay. However, this clay is simply aluminum oxide particles and aluminum oxide particles in the sintered body,
Only by combining the aluminum oxide particles and the carbon powder, the sinterability is not improved. Therefore, the porosity of the sintered body is as high as 10 to 30% and the compactness is poor. Dense aluminum oxide ceramic has a heat capacity of 3 J / c per unit volume
There is m 3 deg. However, the conventional carbon particle-dispersed ceramic resistor has a low heat capacity per unit volume of 2 J / cm 3 · deg because of its poor denseness. Therefore, the temperature rise of the resistor becomes remarkable as the electric energy is absorbed. In addition, since the carbon powder discharges in the pores when electricity is applied, through discharge occurs.

【0007】また、カーボンは抵抗値の温度依存性が負
であり、温度が上昇すると抵抗値が小さくなる。従って
電気エネルギーを吸収して抵抗体の温度が上昇すると、
抵抗値が小さくなりより多くの電流が抵抗体に流れ、著
しい温度上昇を引き起こす問題がある。
Further, carbon has a negative resistance value with respect to temperature, and the resistance value decreases as the temperature rises. Therefore, when electric energy is absorbed and the temperature of the resistor rises,
There is a problem that the resistance becomes small and more current flows through the resistor, causing a remarkable temperature rise.

【0008】さらに、電力用抵抗体を空気中で使用する
場合、例えば、車両搭載回生電流吸収抵抗体のようにガ
ス封入タンクに入れず大気中で使用する場合には、エネ
ルギー吸収による抵抗体の温度上昇によって、セラミッ
ク中のカーボン粒子が酸化されてしまう。その結果、抵
抗値が高くなり抵抗器として使用できなくなってしま
う。従来の炭素粒子分散型抵抗体では約300 ℃で酸化
し、絶縁化がおこる。これを防ぐためには、フィンなど
の冷却器を装備する必要があり、抵抗器ユニットが大き
くなってしまう問題があった。
Further, when the power resistor is used in the air, for example, when it is used in the air without being put in a gas filled tank like a vehicle-mounted regenerative current absorbing resistor, the resistor due to energy absorption is used. The increase in temperature causes the carbon particles in the ceramic to be oxidized. As a result, the resistance value becomes high and it cannot be used as a resistor. Conventional carbon particle-dispersed resistors oxidize at about 300 ° C, resulting in insulation. In order to prevent this, it is necessary to equip a cooler such as fins, which causes a problem that the resistor unit becomes large.

【0009】ところで、酸化アルミニウムと導電性材料
との複合セラミックには前述した炭素粒子分散型セラミ
ック以外に別の複合体が開示されている。代表的な酸化
アルミニウムと導電性材料との複合セラミックとして、
酸化アルミニウム−炭化チタン複合セラミックがある。
By the way, as the composite ceramic of aluminum oxide and a conductive material, another composite is disclosed in addition to the above-mentioned carbon particle dispersion type ceramic. As a typical composite ceramic of aluminum oxide and conductive material,
There is an aluminum oxide-titanium carbide composite ceramic.

【0010】酸化アルミニウム−炭化チタン複合セラミ
ックは、切削工具材料( 特開平4-367572号公報、特開平
4-300241号公報、特開平4-243959号公報、特開平3-2941
01号公報、特開平3-247555号公報、特開平2-255561号公
報、特開平2-116673号公報等) 、磁気ヘッド用基板材料
( 特開平4-321556号公報、特開平3-119508号公報、特開
平2-199808号公報、特開平2-187915号公報、特開平2-15
3860号公報等) 、ディスクブレーキローターディスク(
特開平4-224880号公報) 、耐火材料( 特開平2-229757号
公報) への応用が開示されている。酸化アルミニウム−
炭化チタン複合セラミックを電力用抵抗体材料に使用す
る技術はまだ開示されていない。
Aluminum oxide-titanium carbide composite ceramics are used as cutting tool materials (JP-A-4-367572 and JP-A-4-367572).
4-300241 JP, JP 4-243959 JP, JP 3-2941
No. 01, JP 3-247555 A, JP 2-255561 A, JP 2-116673 A, etc.), magnetic head substrate material
(JP 4-321556 JP, JP 3-119508 JP, JP 2-199808 JP, JP 2-187915 JP, JP 2-15
3860 publication), disc brake rotor disc (
Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-224880) and a refractory material (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-229757) are disclosed. Aluminum oxide-
The technology of using the titanium carbide composite ceramic as a power resistor material has not been disclosed yet.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】酸化アルミニウム−炭
化チタン複合セラミックを電力用抵抗体材料に使用する
ためには、以下のような、問題がある。第一に、炭化チ
タン粉末はカーボン粉末ほど著しくはないが、酸化アル
ミニウムの焼結性を阻害する。そのため従来、緻密さを
必要とする切削工具に酸化アルミニウム−炭化チタン複
合セラミックを用いる場合、特開平3-247555号公報、特
開平3-228870号公報、特開平3-28159 号公報、特開平3-
28158 号公報、特開平2-255561号公報等に開示されてい
るように、酸化マグネシウム、酸化珪素等の焼結助剤を
添加した上でホットプレスまたHIP 焼成等の加圧焼成を
するか、または、特開平2-229757号公報に開示されてい
るように、酸化アルミニウム粉末及び炭化チタニウム粉
末を微粉砕することで焼結性を向上させ、大気圧中での
焼成を可能にしている。加圧焼成は、バッチ式炉でしか
行うことができず、また切削工具のように小さなものに
は可能だが、電力用抵抗体のような比較的大きな焼結体
を焼成する方法としてはコストが高くなり、現実的では
ない。また炭化チタン粉末は高硬度( ビッカース硬度;3
200kg/cm2 )なため、粉砕には長時間を必要とし、また
粉砕工程で使用するボールなどからの不純物の混入を招
きやすく、炭化チタン粉末を微粉末に粉砕することも、
やはり適切ではない。
The use of aluminum oxide-titanium carbide composite ceramics as a power resistor material has the following problems. First, titanium carbide powder is less significant than carbon powder, but interferes with the sinterability of aluminum oxide. Therefore, conventionally, when the aluminum oxide-titanium carbide composite ceramic is used for a cutting tool that requires high density, JP-A-3-247555, JP-A-3-228870, JP-A-3-28159, and JP-A-3-28159. -
As disclosed in JP-A-28158, JP-A-2-2555561, etc., a sintering aid such as magnesium oxide, silicon oxide or the like is added, followed by hot firing or pressure firing such as HIP firing, or Alternatively, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-229757, aluminum oxide powder and titanium carbide powder are finely pulverized to improve sinterability and enable firing under atmospheric pressure. Pressure firing can be performed only in a batch type furnace, and it is possible for a small tool such as a cutting tool, but it is costly as a method for firing a relatively large sintered body such as a power resistor. High and unrealistic. Titanium carbide powder has a high hardness (Vickers hardness: 3
Since it is 200 kg / cm 2 ), it takes a long time to pulverize, and it is easy to introduce impurities from the balls used in the pulverizing process, so it is possible to pulverize titanium carbide powder into fine powder.
After all it is not appropriate.

【0012】さらに、これまで開示されている酸化アル
ミニウム−炭化チタン複合セラミック材料の室温での抵
抗率は10-4〜10-2Ωcm程度である。これ以上高抵抗な酸
化アルミニウム−炭化チタン複合セラミック材料に関す
る開示はない。抵抗率が10-2Ωcm以下であることは、特
開平2-271965号公報、特開平2-289464号公報に開示され
ているように、放電加工により複雑な形状の加工が容易
となる利点ではある。しかし、電力用抵抗体としては、
一般に少なくとも10-2Ωcm以上の抵抗率が必要とされ、
これまで開示されている酸化アルミニウム−炭化チタン
複合セラミック材料は、低抵抗率なため電力用抵抗体と
して利用することはできないという問題があった。
Further, the room temperature resistivity of the aluminum oxide-titanium carbide composite ceramic material disclosed so far is about 10 -4 to 10 -2 Ωcm. There is no disclosure of a higher resistance aluminum oxide-titanium carbide composite ceramic material. Resistivity of 10 -2 Ωcm or less, as disclosed in JP-A-2-271965, JP-A-2-289464, in the advantage that it is easy to process a complicated shape by electrical discharge machining is there. However, as a power resistor,
Generally, a resistivity of at least 10 -2 Ωcm or higher is required,
The aluminum oxide-titanium carbide composite ceramic material disclosed so far has a problem that it cannot be used as a power resistor because of its low resistivity.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本願第1の発明は、酸化
アルミニウム、チタンと炭素を含む化合物、および不可
避不純物を含む焼結体と、前記焼結体の対向する二つの
面に形成された一対の電極とを具備した電力用抵抗体で
あって、前記焼結体は、チタンと炭素を含む化合物が少
ないかもしくはチタンと炭素を含む化合物を含まない第
一領域と、この第一領域よりチタンと炭素を含む化合物
量が多く、かつ前記一対の電極に繋がるように配置され
た第二領域とからなることを特徴とする電力用抵抗体で
ある。
According to a first aspect of the present invention, a sintered body containing aluminum oxide, a compound containing titanium and carbon, and an unavoidable impurity, and two surfaces facing each other of the sintered body are formed. A power resistor comprising a pair of electrodes, wherein the sintered body has a first region containing little compound containing titanium and carbon or containing no compound containing titanium and carbon; A power resistor comprising a large amount of a compound containing titanium and carbon, and a second region arranged so as to be connected to the pair of electrodes.

【0014】このような構成にすることで、抵抗率の制
御性が高まるとともに、焼結性の高い抵抗体を得ること
ができる。また、炭化チタンなどのチタンと炭素を含む
化合物は、酸化アルミニウムに対して熱膨張率が同程度
であるため、熱膨張の差によるクラックの発生などを低
減させることができる。
With such a structure, the controllability of the resistivity is enhanced and a resistor having high sinterability can be obtained. In addition, since a compound containing titanium and carbon, such as titanium carbide, has a thermal expansion coefficient similar to that of aluminum oxide, it is possible to reduce the occurrence of cracks due to the difference in thermal expansion.

【0015】本願第2の発明は、前記チタンと炭素を含
む化合物が炭化チタンであることを特徴とする前記第1
の発明に記載の電力用抵抗体である。本願第3の発明
は、前記第二領域中の炭素とチタンを含む化合物の平均
粒径は、20μm以下であることを特徴とする前記第1
の発明に記載の電力用抵抗体である。
In a second aspect of the present invention, the compound containing titanium and carbon is titanium carbide.
The power resistor according to the invention. In the third invention of the present application, the average particle diameter of the compound containing carbon and titanium in the second region is 20 μm or less.
The power resistor according to the invention.

【0016】前記第1の発明において、前述の範囲の粒
径にすることで、特に抵抗体の焼結性を向上させること
が可能となる。本願第4の発明は、前記第二領域中の酸
化アルミニウム粒子の平均粒径をRAl、炭素とチタンを
含む化合物の平均粒径をRTiC とした時、 RAl/RTiC ≧ 0.1 を満たすことを特徴とする前記第1の発明に記載の電力
用抵抗体である。
In the first aspect of the present invention, by setting the particle size within the above range, it becomes possible to improve the sinterability of the resistor. The fourth invention of the present application satisfies R Al / R TiC ≧ 0.1, where R Al is the average particle diameter of the aluminum oxide particles in the second region and RT iC is the average particle diameter of the compound containing carbon and titanium. The power resistor according to the first invention is characterized in that.

【0017】 このような粒径にすることで、特に緻密
な焼結体を得ることが可能となる。本願第5の発明は、
炭化チタン粉末が少ないかもしくは炭化チタン粉末を含
まない酸化アルミニウム粉末を含有する第一領域を形成
する第一造粒原料を調整する工程と、炭化チタン粉末と
酸化アルミニウム粉末を含み、前記第一領域より炭化チ
タン粉末量が多い第二領域を形成する第二造粒原料を調
整する工程と、前記第一造粒原料及び前記第二造粒原料
とを混合した後、成型、焼結することにより焼結体を作
成する工程と、前記焼結体の対向する主面に一対の電極
を形成する工程とを具備したことを特徴とする電力用抵
抗体の製造方法である。
With such a particle size, a particularly dense sintered body can be obtained. The fifth invention of the present application is
A step of adjusting a first granulation raw material to form a first region containing an aluminum oxide powder containing a small amount of titanium carbide powder or containing no titanium carbide powder; and including the titanium carbide powder and the aluminum oxide powder, the first region A step of adjusting a second granulation raw material forming a second region having a larger amount of titanium carbide powder, and after mixing the first granulation raw material and the second granulation raw material, by molding and sintering A method for producing a power resistor, comprising: a step of forming a sintered body; and a step of forming a pair of electrodes on the main surfaces of the sintered body that face each other.

【0018】本願第6の発明は、酸化アルミニウムおよ
び炭化チタン及び不可避不純物を含む焼結体と、前記焼
結体の対向する二つの面に形成された一対の電極とから
なり、前記焼結体は、炭化チタンが少ないかもしくは炭
化チタンを含まない第一領域と、この第一領域より炭化
チタン量が多く、かつ前記一対の電極に繋がるように配
置された第二領域とからなる抵抗体と、この抵抗体を複
数積層した積層抵抗体と、前記積層抵抗体の間に介在さ
れた導電性を有する冷却媒体とを具備したことを特徴と
する電力用抵抗器である。
The sixth invention of the present application comprises a sintered body containing aluminum oxide, titanium carbide and unavoidable impurities, and a pair of electrodes formed on two opposing surfaces of the sintered body. Is a resistor comprising a first region containing less titanium carbide or containing no titanium carbide, and a second region containing a larger amount of titanium carbide than the first region and arranged so as to be connected to the pair of electrodes. A power resistor comprising: a laminated resistor in which a plurality of the resistors are laminated, and a conductive cooling medium interposed between the laminated resistors.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】本発明に係わる電力用抵抗体を図
1〜3を参照に詳細に説明する。図1は本発明に係わる
電力用抵抗体を示す概観図、図2は、本発明に係わる電
力用抵抗体を示す断面図、図3は図1の焼結体の微構造
を示す模式的に示す図である。抵抗体1は、円板状の焼
結体2の円形両面に形成された一対の電極3とから構成
されている。前記焼結体2は、図3に示すように、酸化
アルミニウム粒子4a、4bと、炭化チタン粒子5、及
び不可避不純物を含む組織を有する。また前記焼結体2
は図3に示すように、炭化チタン量が少ないかもしくは
炭化チタンを含まない第一領域6と、この第一領域6よ
り炭化チタン量の多い第二領域7とからなり、前記第一
領域6は実質的に絶縁性を示し、前記第二領域7は実質
的に導電性を示す。前記焼結体2において、前記第二領
域7中の炭化チタン粒子5は三次元的なネットワーク構
造で互いに接続されている。また前記第二領域7は、三
次元的なネットワーク構造で互いに接続されていると共
に、前記一対の電極3に繋がるように配置されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION A power resistor according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 is a schematic view showing a power resistor according to the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view showing a power resistor according to the present invention, and FIG. 3 is a schematic diagram showing a microstructure of the sintered body of FIG. FIG. The resistor 1 is composed of a pair of electrodes 3 formed on both circular surfaces of a disc-shaped sintered body 2. As shown in FIG. 3, the sintered body 2 has a structure containing aluminum oxide particles 4a and 4b, titanium carbide particles 5, and unavoidable impurities. Also, the sintered body 2
As shown in FIG. 3, the first region 6 has a small amount of titanium carbide or does not contain titanium carbide, and the second region 7 has a larger amount of titanium carbide than the first region 6. Indicates a substantially insulating property, and the second region 7 indicates a substantially conductive property. In the sintered body 2, the titanium carbide particles 5 in the second region 7 are connected to each other by a three-dimensional network structure. The second regions 7 are connected to each other by a three-dimensional network structure and are arranged so as to be connected to the pair of electrodes 3.

【0020】従来の酸化アルミニウム−炭化チタン複合
セラミックの微構造を図4に示す。このように、酸化ア
ルミニウム粒子8と、炭化チタン粒子9を含む組織を有
する。この様な組織を有するセラミックの、炭化チタン
組成と抵抗率の関係を図5に示す。
The microstructure of a conventional aluminum oxide-titanium carbide composite ceramic is shown in FIG. Thus, it has a structure containing the aluminum oxide particles 8 and the titanium carbide particles 9. FIG. 5 shows the relationship between the titanium carbide composition and the resistivity of the ceramic having such a structure.

【0021】図4に示したような、酸化アルミニウム−
炭化チタン複合セラミック材料の抵抗率は、導電物質で
ある炭化チタン9の量を変えることで調節することがで
きる。図5から判るように、炭化チタンが20体積%以下
では、抵抗率は10-2Ωcm以下であり、組成の変化に対す
る抵抗率の変化は小さい。10-2〜1014Ωcmの抵抗率を有
する焼結体を得ることも、理論上不可能ではない。しか
し、図5からもわかるように、組成の変化に対する抵抗
率の変化が大きくなる。例えば、抵抗率10-2〜10-1Ωcm
での組成差は5.2 体積%あるのに対し、抵抗率10-1〜10
0 Ωcmでの組成差は1.6 体積%、抵抗率100 〜10Ωcmで
の組成差は0.5 体積%となり、事実上、抵抗率の制御は
非常に困難なものとなる。その結果、複数の抵抗体を製
造した場合、個々の抵抗値の違いが著しく大きくなり、
また、一個の抵抗体内部の抵抗値も著しく不均一にな
り、安定した抵抗値を持つ抵抗体を作ることは非常に困
難になる。
Aluminum oxide, as shown in FIG.
The resistivity of the titanium carbide composite ceramic material can be adjusted by changing the amount of titanium carbide 9 which is a conductive substance. As can be seen from FIG. 5, when the titanium carbide content is 20% by volume or less, the resistivity is 10 −2 Ωcm or less, and the change in the resistivity due to the change in the composition is small. It is theoretically not impossible to obtain a sintered body having a resistivity of 10 -2 to 10 14 Ωcm. However, as can be seen from FIG. 5, the change in resistivity with respect to the change in composition becomes large. For example, resistivity 10 -2 to 10 -1 Ωcm
Although the compositional difference at 5.2% by volume, the resistivity is 10 -1 to 10
0 composition difference at Ωcm 1.6 vol%, the composition difference between the resistivity of 10 0 ~10Omucm stood 0.5% by volume, effect, control of the resistivity becomes very difficult. As a result, when multiple resistors are manufactured, the difference in individual resistance values becomes significantly large,
In addition, the resistance value inside one resistor becomes remarkably non-uniform, and it becomes very difficult to manufacture a resistor having a stable resistance value.

【0022】図3中、炭化チタン量が少ないかもしくは
炭化チタンを含まない前記第一領域6が絶縁性物質相、
この第一領域6より炭化チタン量の多い前記第二領域7
が導電性物質相になる。導電性物質相の抵抗率の調整を
炭化チタンで制御するために、焼結体中の第二領域7の
体積分率と、焼結体の抵抗率の関係は図6の様になり、
10-2〜102 Ωcmの範囲で抵抗率の制御性が良好な焼結体
を得ることが可能になった。
In FIG. 3, the first region 6 containing a small amount of titanium carbide or containing no titanium carbide is an insulating material phase,
The second region 7 having a larger amount of titanium carbide than the first region 6
Becomes the conductive material phase. In order to control the adjustment of the resistivity of the conductive material phase with titanium carbide, the relationship between the volume fraction of the second region 7 in the sintered body and the resistivity of the sintered body is as shown in FIG.
In the range of 10 -2 to 10 2 Ωcm, it became possible to obtain a sintered body with excellent controllability of resistivity.

【0023】また、図3に示したような、炭化チタン量
が少ないかもしくは炭化チタンを含まない第一領域6
と、この第一領域6より炭化チタン量の多い第二領域7
とからなる構造により、焼結性を阻害する炭化チタンが
存在しても、炭化チタン量が少ないかもしくは炭化チタ
ンを含まない第一領域6が緻密化するため、全体の焼結
性が向上する利点も有する。
Further, as shown in FIG. 3, the first region 6 containing a small amount of titanium carbide or containing no titanium carbide.
And the second region 7 having a larger amount of titanium carbide than the first region 6.
Even if there is titanium carbide that inhibits sinterability, the structure consisting of and improves the overall sinterability because the first region 6 having a small amount of titanium carbide or no titanium carbide is densified. It also has advantages.

【0024】前記第二領域7中の炭化チタン粒子5の平
均粒径(RTiC )は、20μm 以下であることが好まし
い。結晶粒の平均粒径がこれ以上だと、焼結性を阻害し
焼結体が緻密化しないおそれがある。すなわち、炭化チ
タン粒子粒径が大きくなることは同じ抵抗率を得るため
に、より高濃度の炭化チタンが必要になる。そのため、
焼結体の密度の低下を招き好ましくない。焼結体の相対
密度が85%以上の緻密な焼結体を得るためには、前記第
二領域中の炭化チタンは70体積%以下にすることが好ま
しい。
The average particle diameter (R TiC ) of the titanium carbide particles 5 in the second region 7 is preferably 20 μm or less. If the average grain size of the crystal grains is larger than this, the sinterability may be hindered and the sintered body may not be densified. That is, increasing the particle size of titanium carbide particles requires a higher concentration of titanium carbide in order to obtain the same resistivity. for that reason,
This is not preferable because it causes a decrease in the density of the sintered body. In order to obtain a dense sintered body having a relative density of 85% or more, the titanium carbide content in the second region is preferably 70% by volume or less.

【0025】また、前記第二領域7中の酸化アルミニウ
ム粒子4bの平均粒径(RAl)と、炭化チタン粒子5の
平均粒径(RTiC )との比(RAl/RTiC )は、その粒
径比は0.1 以上であることが好ましい。
The ratio (R Al / R TiC ) of the average particle size (R Al ) of the aluminum oxide particles 4b to the average particle size (R TiC ) of the titanium carbide particles 5 in the second region 7 is: The particle size ratio is preferably 0.1 or more.

【0026】前記第二領域7中の酸化アルミニウム粒子
4bの平均粒径RAlと、炭化チタン粒子5の平均粒径R
TiC との比RAl/RTiC が0.1未満になると、前記第
二領域7が導電性を持つためには、前記第二領域7中の
炭化チタン粒子の割合が著しく増加する。これにともな
い、焼結体が緻密化しなくなるおそれがある。
The average particle size R Al of the aluminum oxide particles 4b and the average particle size R of the titanium carbide particles 5 in the second region 7
If the ratio R Al / R TiC to TiC is less than 0.1, the ratio of titanium carbide particles in the second region 7 remarkably increases because the second region 7 has conductivity. As a result, the sintered body may not be densified.

【0027】また、炭化チタン量が少ないかもしくは炭
化チタンを含まない前記第一領域と、この第一領域6よ
り炭化チタン量の多い前記第二領域7の、個々の大きさ
は、特に限定されるものではない。ただし、前記第二領
域7は前記第一領域6の大きさの10倍以内であることが
好ましい。これ以上大きくなると、同じ抵抗率を得るた
めに、より多量の第二領域組成が必要になる。そのた
め、焼結体中の炭化チタン濃度が高濃度になることで、
焼結体の密度の低下を招き好ましくない。
The individual sizes of the first region containing a small amount of titanium carbide or containing no titanium carbide and the second region 7 containing a larger amount of titanium carbide than the first region 6 are not particularly limited. Not something. However, it is preferable that the second area 7 is within 10 times the size of the first area 6. Above this, a larger amount of second region composition is required to obtain the same resistivity. Therefore, by increasing the concentration of titanium carbide in the sintered body,
This is not preferable because it causes a decrease in the density of the sintered body.

【0028】前記焼結体に含まれる導電物質は化学量論
的に定比な炭化チタンに限定されるものではない。実質
的に導電性を有する組成であれば、非科学的量論組成で
ある炭化チタンTiCX であってもかまわない。また、
実質的に導電性を有する組成であれば、炭窒化チタンで
あることも許容する。
The conductive material contained in the sintered body is not limited to stoichiometrically stoichiometric titanium carbide. Titanium carbide TiC X , which is a non-scientifically stoichiometric composition, may be used as long as it has a substantially conductive composition. Also,
Titanium carbonitride is also acceptable as long as it has a composition that is substantially conductive.

【0029】以上説明したように、本発明に係わる電力
用抵抗体は、緻密で、適切かつ安定な電気抵抗有し、温
度変化に対して抵抗値の変化が少なく、高温での耐酸化
特性に極めて優れている。
As described above, the power resistor according to the present invention has a precise, appropriate and stable electric resistance, has a small change in resistance value with respect to temperature changes, and has excellent oxidation resistance at high temperatures. Very good.

【0030】前記焼結体2には、熱容量に影響を与えな
い程度の量の不純物、例えば酸窒化アルミニウム、酸炭
化アルミニウムなどであれば、少なくとも20重量%程
度の含有量であれば許容する。前記焼結体2の円形両面
に形成された一対の電極3はアルミニウム、鉄、真鍮等
の金属、または、Hf、Nb、Ta、Tiの炭化物あるいは窒化
物等、良好な導電性を有する材料で形成することが好ま
しい。
In the sintered body 2, if the amount of impurities such as aluminum oxynitride, aluminum oxycarbide, etc. is not large enough to affect the heat capacity, a content of at least about 20% by weight is acceptable. The pair of electrodes 3 formed on both circular surfaces of the sintered body 2 are made of a metal such as aluminum, iron or brass, or a material having good conductivity such as a carbide or nitride of Hf, Nb, Ta or Ti. It is preferably formed.

【0031】また、高電圧下で前記電力用抵抗体1を使
用する場合には、前記焼結体2の沿面での放電を防止す
るため、前記焼結体2の外周面に、酸化アルミニウム、
酸化珪素、ホウ珪酸ガラスの様なセラミック。またはポ
リイミドのような絶縁性耐熱樹脂で、絶縁層を形成する
ことが好ましい。
When the power resistor 1 is used under a high voltage, aluminum oxide is formed on the outer peripheral surface of the sintered body 2 in order to prevent discharge on the surface of the sintered body 2.
Ceramics such as silicon oxide and borosilicate glass. Alternatively, the insulating layer is preferably formed of an insulating heat resistant resin such as polyimide.

【0032】なお、本発明に係わる電力用抵抗体は前述
したように円板状を有する構造に限定されない、例え
ば、図7に示すように環状の焼結体10と、前記焼結体10
の対向する環状両面に形成された電極11から電力用抵抗
体12を構成してもよい。また図8に示すように、棒状焼
結体13と前記焼結体13の両端に形成された一対の電極14
から電力用抵抗体15を構成してもよい。
The power resistor according to the present invention is not limited to the disk-shaped structure as described above. For example, as shown in FIG. 7, a ring-shaped sintered body 10 and the sintered body 10 are provided.
The power resistor 12 may be composed of the electrodes 11 formed on both of the opposed annular surfaces. Further, as shown in FIG. 8, a rod-shaped sintered body 13 and a pair of electrodes 14 formed on both ends of the sintered body 13
Alternatively, the power resistor 15 may be configured.

【0033】次に本発明に係わる電力用抵抗体の製造方
法を詳細に説明する。まず、平均粒径1 μm 以下、好ま
しくは焼結性が良好な0.5 μm 以下の酸化アルミニウム
粉末と、平均粒径5 μm 以下、好ましくは焼結性を阻害
しない平均粒径2 μm 以下の炭化チタン粉末とを水また
は有機溶剤の存在下でボールミル中で混合する。この工
程において、炭化チタン粉末の量が少ないかもしくは炭
化チタン粉末を含まない第一混合粉末と炭化チタン粉末
が前記第一粉末より多い第二混合粉末を調整する。
Next, a method of manufacturing the power resistor according to the present invention will be described in detail. First, an aluminum oxide powder having an average particle size of 1 μm or less, preferably 0.5 μm or less, which has good sinterability, and titanium carbide having an average particle size of 5 μm or less, preferably 2 μm or less, which does not impair sinterability. The powder is mixed in a ball mill in the presence of water or an organic solvent. In this step, a first mixed powder containing a small amount of titanium carbide powder or containing no titanium carbide powder and a second mixed powder containing more titanium carbide powder than the first powder are prepared.

【0034】次いで、前記第一、第二の混合粉末に必要
に応じてパラフィン、ポリビニルアルコール等の成型用
バインダーをそれぞれ添加し、所定の目開きの篩を通過
させることにより第一、第二の造粒原料を作る。第一、
第二の造粒原料は、この様な方法の他に、前記第一、第
二の混合粉末に、それぞれ有機溶剤、成型用バインダー
を混合してスラリーを調整し、これらスラリーをそれぞ
れスプレードライヤーなどを用いて前記溶剤を除去する
ことにより調整することもできる。
Next, if necessary, a molding binder such as paraffin or polyvinyl alcohol is added to each of the first and second mixed powders, and the mixture is passed through a sieve having a predetermined opening to obtain first and second powders. Make a granulation raw material. first,
In addition to such a method, the second granulation raw material is prepared by mixing the first and second mixed powders with an organic solvent and a molding binder to prepare a slurry, and spraying the slurry with a spray dryer or the like. It can also be adjusted by removing the solvent with.

【0035】次いで、前記第一、第二の造粒原料を所定
の比率で例えばV型混合機などで乾式混合した後、成型
して成形体を得る。成型手段としては、例えば金型プレ
ス法、押し出し法、射出成型法などを採用することがで
きる。金型プレス法で成型する場合には、焼結体の相対
密度を高めるために成型圧力は少なくとも20MPa 以上で
あることが好ましい。これ以下では成形体の充填率が小
さく、充分に焼結しないおそれがある。さらに均一な充
填率を持つ成形体を得るためには、金型の内面が充分に
なめらかな状態、可能であるならば鏡面仕上げであるこ
とが望ましい。静水圧加圧することは、成形体の充填率
を均一化することに有効である。
Next, the first and second granulation raw materials are dry-mixed in a predetermined ratio by, for example, a V-type mixer, and then molded to obtain a molded body. As the molding means, for example, a die pressing method, an extrusion method, an injection molding method or the like can be adopted. When molding by a die pressing method, the molding pressure is preferably at least 20 MPa or more in order to increase the relative density of the sintered body. If it is less than this, the filling rate of the molded body is small, and there is a possibility that it will not be sufficiently sintered. In order to obtain a molded product having a more uniform filling rate, it is desirable that the inner surface of the mold is sufficiently smooth, and if possible, mirror finished. Applying hydrostatic pressure is effective in making the filling rate of the molded body uniform.

【0036】得られた成形体は、用いたバインダーに適
した温度で脱バインダーを行う。例えばバインダーにパ
ラフィンを用いた場合には、500 〜600 ℃が好適であ
る。焼成工程を脱バインダーと異なる炉で実施する場合
には、脱バインダー工程後なるべく速やかに行うことが
好ましい。また、焼成は、1300〜1800℃の範囲で行うこ
とが好ましい。1300℃以下では、焼結が進まず焼結体の
緻密性に劣る。この結果、単位体積あたりの熱容量が小
さくなる。一方、1800℃以上では、焼結体中の炭化チタ
ンと酸化アルミニウムとの反応が著しくなり、炭化チタ
ン粒子の導電性が失われるため好ましくない。保持温度
までの昇温速度は500 ℃/ 時間以下であることが好まし
い。これ以上早く昇温すると、成形体の収縮の不均一に
よって、成形体が壊れてしまうことがある。保持時間は
1時間以上であることが好ましい。これより短いと焼結
が進まず、焼結体の緻密性に劣る。
The obtained molded product is debindered at a temperature suitable for the binder used. For example, when paraffin is used as the binder, the temperature is preferably 500 to 600 ° C. When the firing step is performed in a furnace different from the binder removal step, it is preferable to perform the firing step as soon as possible after the binder removal step. Further, the firing is preferably performed in the range of 1300 to 1800 ° C. At 1300 ° C or lower, sintering does not proceed and the compactness of the sintered body is poor. As a result, the heat capacity per unit volume becomes small. On the other hand, if the temperature is 1800 ° C. or higher, the reaction between titanium carbide and aluminum oxide in the sintered body becomes remarkable, and the conductivity of the titanium carbide particles is lost, which is not preferable. The rate of temperature increase up to the holding temperature is preferably 500 ° C./hour or less. If the temperature is raised faster than this, the molded body may be broken due to uneven shrinkage of the molded body. The holding time is preferably 1 hour or more. If it is shorter than this, sintering will not proceed and the compactness of the sintered body will be poor.

【0037】均熱をとるために成形体はカーボン、また
は酸化アルミニウム製の匣に入れて焼成することが好ま
しい。雰囲気は、窒素またはアルゴンガス等非酸化性雰
囲気が好ましい。
In order to obtain a uniform temperature, it is preferable that the molded body is placed in a box made of carbon or aluminum oxide and baked. The atmosphere is preferably a non-oxidizing atmosphere such as nitrogen or argon gas.

【0038】得られた焼結体の両主面を研磨し、スパッ
タリング、溶射、焼き付けなどの手段によりアルミニウ
ム、ニッケルのような金属、またはHf、Nb、Taもしくは
Tiの炭化物或いはTiN などからなる電極3を形成する。
Both main surfaces of the obtained sintered body are polished, and a metal such as aluminum or nickel or Hf, Nb, Ta or
An electrode 3 made of Ti carbide or TiN is formed.

【0039】抵抗体に高電圧がかかる場合には、前記焼
結体の外周面に必要に応じて、絶縁層を形成する。絶縁
層の材料としては有機系材料、無機系材料があるが、耐
熱性の点からは無機系材料が好ましい。さらに熱膨張率
も焼結体2と同程度のものが好ましい。両者に大きな差
があれば、絶縁層と焼結体との接触界面に亀裂が発生
し、絶縁層が剥離してしまう。また、充分な遮蔽効果を
得るためには、気孔率が10%以下の緻密な層にする必要
がある。以上の制約から絶縁層には、ホウケイ酸ガラ
ス、鉛ガラス等のガラス材料、酸化アルミニウム、およ
びまたは、酸化ケイ素を主成分とする無機系コーティン
グ材料、例えば酸化アルミニウムと燐酸アルミニウムを
主成分とするコーティング材料が最適である。
When a high voltage is applied to the resistor, an insulating layer is formed on the outer peripheral surface of the sintered body, if necessary. As a material for the insulating layer, there are an organic material and an inorganic material, but the inorganic material is preferable from the viewpoint of heat resistance. Further, it is preferable that the coefficient of thermal expansion is similar to that of the sintered body 2. If there is a large difference between the two, a crack occurs at the contact interface between the insulating layer and the sintered body, and the insulating layer peels off. Further, in order to obtain a sufficient shielding effect, it is necessary to form a dense layer having a porosity of 10% or less. Due to the above restrictions, the insulating layer is formed of a glass material such as borosilicate glass or lead glass, aluminum oxide, and / or an inorganic coating material containing silicon oxide as a main component, for example, a coating containing aluminum oxide and aluminum phosphate as a main component. The material is optimal.

【0040】上記材料は、刷毛により塗布またはスプレ
ーコーティングまたはディップコーティング等の方法で
皮膜を形成した後、材料に適した温度で熱処理して絶縁
層を形成する。絶縁層の厚さは、抵抗体の形状および使
用する電流電圧によるが、電力用抵抗体として使用する
場合には100 μm 以上あることが望ましい。
The above material is applied with a brush to form a film by a method such as spray coating or dip coating, and then heat treated at a temperature suitable for the material to form an insulating layer. The thickness of the insulating layer depends on the shape of the resistor and the current and voltage used, but it is desirable that the thickness be 100 μm or more when used as a power resistor.

【0041】以上説明したように、本発明に係わる電力
用抵抗体の製造方法は、緻密で、適切かつ安定な電気抵
抗有し、温度変化に対して抵抗値の変化が少なく、高温
での耐酸化特性に極めて優れている電力用抵抗体を提供
できる。
As described above, the method of manufacturing a power resistor according to the present invention has a precise, appropriate and stable electric resistance, has a small change in resistance value with respect to a temperature change, and has an acid resistance at a high temperature. It is possible to provide a power resistor having extremely excellent conversion characteristics.

【0042】次に、本発明に係わる電力用抵抗器を図9
を参照して説明する。電力用抵抗器16は、絶縁性指示棒
17と一対の絶縁性支持板18a 、18b と、複数の中空円筒
状の抵抗体19と、冷却フィン22と、弾性体20とから構成
されている。
Next, the power resistor according to the present invention is shown in FIG.
Will be described with reference to. The power resistor 16 is an insulating indicator rod.
17 and a pair of insulating support plates 18a and 18b, a plurality of hollow cylindrical resistors 19, cooling fins 22, and an elastic body 20.

【0043】前記一対の絶縁性支持板18a 、18b は、前
記に指示棒17に嵌入されている。複数の中空円筒状の抵
抗体19は、それぞれの間に例えばステンレス、またはア
ルミニウムからなる複数の冷却フィン25が介在され、前
記支持板18a 、18b 間に位置する前記指示棒17部分に嵌
入されている。前記弾性体20は、一方の支持板、例えば
支持板18a と前記冷却フィン22が介在された前記複数の
抵抗体19の間に配置されると共に、前記支持棒17に嵌入
されている。前記弾性体20は、前記複数の抵抗体19と、
これらに介在する複数の冷却フィン22に弾性力を付与し
てそれらを前記支持棒17に積層するために用いられる。
ナット21a 、21b は、前記支持棒17の両端に螺合されて
いる。前記ナット21a 、21b は前記支持板18a 、18b 間
に配置された前記弾性体20を押圧するために用いられ
る。
The pair of insulating support plates 18a and 18b are fitted in the indicator rod 17 as described above. The plurality of hollow cylindrical resistors 19 have a plurality of cooling fins 25 made of, for example, stainless steel or aluminum interposed therebetween, and are fitted into the indicator rod 17 portion located between the support plates 18a and 18b. There is. The elastic body 20 is arranged between one support plate, for example, the support plate 18a and the plurality of resistors 19 in which the cooling fins 22 are interposed, and is fitted into the support rod 17. The elastic body 20, the plurality of resistors 19 and
It is used to apply an elastic force to a plurality of cooling fins 22 interposed therebetween and to stack them on the support rod 17.
The nuts 21a and 21b are screwed onto both ends of the support rod 17. The nuts 21a and 21b are used to press the elastic body 20 arranged between the support plates 18a and 18b.

【0044】前期投入抵抗ユニットに組み込まれた抵抗
体( 電力用抵抗体)19 は、図7に示すように環状の焼結
体10と、前記焼結体10の対向する環状両面に形成された
電極11から電力用抵抗体12を構成される。前記焼結体
は、炭化チタンが少ないかもしくは炭化チタンを含まな
い第一領域と、この第一領域より炭化チタン量が多く、
かつ前記一対の電極に繋がるように配置された第二領域
とから構成されている。
The resistor (power resistor) 19 incorporated in the closing resistor unit is formed on the annular sintered body 10 and on both of the opposing annular surfaces of the sintered body 10 as shown in FIG. The electrode 11 constitutes a power resistor 12. The sintered body has a first region containing less titanium carbide or containing no titanium carbide, and a larger amount of titanium carbide than the first region,
And a second region arranged so as to be connected to the pair of electrodes.

【0045】以上説明したように、本発明によれば、緻
密で、適切かつ安定な電気抵抗有し、温度変化に対して
抵抗値の変化が少なく、高温での耐酸化特性に極めて優
れる複数の電力用抵抗体に、隣接して冷却フィンを配置
することにより、電気エネルギー吸収に伴う温度上昇
を、前記冷却フィンにより放散でき、前記抵抗体の温度
上昇を、抵抗体の酸化温度以下に抑制できる。このよう
な、抵抗体を複数備えた電力用抵抗器は、高温で安定し
て使用できるため、電力用抵抗器の小型化および高性能
化を図ることができる。
As described above, according to the present invention, a plurality of dense, appropriate and stable electric resistances, having a small change in resistance value with respect to temperature changes, and having extremely excellent oxidation resistance at high temperatures are provided. By disposing the cooling fin adjacent to the power resistor, the temperature rise due to absorption of electric energy can be dissipated by the cooling fin, and the temperature rise of the resistor can be suppressed below the oxidation temperature of the resistor. . Since such a power resistor including a plurality of resistors can be used stably at high temperatures, the power resistor can be made smaller and have higher performance.

【0046】[0046]

【実施例】以下、本発明の好ましい実施例を詳細に説明
する。 実施例1〜22 まず、平均粒径0.2μm 以下の酸化アルミニウム粉末
に、パラフィンエマルジョンを水に5重量%添加混合し
た溶液を加え、スラリー化した後、スプレードライヤー
を使用して平均粒径100μm に造粒、第一の造粒粉末
を得た。次に、平均粒径0.2μm 以下の酸化アルミニ
ウム粉末と、平均粒径0.5μm の炭化チタン粉末とを
秤量し、エタノール溶剤の存在下でボールミル中で混合
した。これを乾燥した後、この乾燥混合粉末に、パラフ
ィンエマルジョンを水に5重量%添加混合した溶液を加
えスラリー化し、スプレードライヤーを使用して平均粒
径100μm に造粒、第二の造粒粉末を得た。第一の造
粒粉末と第二の造粒粉末を表1に示すような割合でV型
混合機を使用して混合し、混合造粒粉末を得た。
The preferred embodiments of the present invention will be described in detail below. Examples 1 to 22 First, a solution prepared by adding 5% by weight of paraffin emulsion to water was mixed with aluminum oxide powder having an average particle size of 0.2 μm or less, and the mixture was slurried, and then the average particle size was 100 μm using a spray dryer. Then, the first granulated powder was obtained. Next, aluminum oxide powder having an average particle diameter of 0.2 μm or less and titanium carbide powder having an average particle diameter of 0.5 μm were weighed and mixed in a ball mill in the presence of an ethanol solvent. After drying this, a solution of paraffin emulsion added to water in an amount of 5% by weight was added to this dry mixed powder to form a slurry, which was then granulated to an average particle size of 100 μm using a spray drier, and a second granulated powder was obtained. Obtained. The first granulated powder and the second granulated powder were mixed at a ratio shown in Table 1 using a V-type mixer to obtain a mixed granulated powder.

【0047】これら混合造粒粉末を、鋼鉄製金型を用
い、成型圧力500kg/cm 2 で、直径12.5cm、厚さ
3.1cmの円板状に成型し成形体を得た。この成型体の
上下円面と外周面の境界線部を1mm、面取りを行った
後、窒素ガス中600℃で4時間保持することにより、
脱バインダーを行った。次にこの脱脂体を、アルゴンガ
ス雰囲気中、200℃/時間で昇温し、1500℃で1
時間保持することにより、直径10cm、厚さ2.5cmの
焼結体を得た。
Using a steel mold, these mixed granulated powders were molded at a molding pressure of 500 kg / cm 2 into a disk shape having a diameter of 12.5 cm and a thickness of 3.1 cm to obtain a molded body. After chamfering the boundary between the upper and lower circular surfaces and the outer peripheral surface of this molded body by 1 mm, by holding in nitrogen gas at 600 ° C. for 4 hours,
The binder was removed. Next, this degreased body is heated at a temperature of 200 ° C./hour in an argon gas atmosphere, and then heated at 1500 ° C. for 1 hour.
By holding for a time, a sintered body having a diameter of 10 cm and a thickness of 2.5 cm was obtained.

【0048】この焼結体の上下両端面を400番砥石で
研削し、この面にアルミニウム電極を溶射法で形成し、
電力用抵抗体を得た。得られた電力用抵抗体について、
焼結体中の第一領域、第二領域中の炭化チタン含有量、
焼結体中心部の抵抗率、焼結体内の抵抗比、抵抗温度特
性、空気中での耐酸化性を調査した。結果を表1に示
す。なお、各調査の方法は以下の通りである。
The upper and lower end surfaces of this sintered body were ground with a No. 400 grindstone, and aluminum electrodes were formed on this surface by a thermal spraying method.
A power resistor was obtained. Regarding the obtained power resistor,
First region in the sintered body, titanium carbide content in the second region,
The resistivity of the center of the sintered body, the resistance ratio in the sintered body, the resistance temperature characteristic, and the oxidation resistance in air were investigated. The results are shown in Table 1. The method of each survey is as follows.

【0049】(1)炭化チタン含有量 第一の造粒原料または第二の造粒原料を、それぞれ混合
することなく単独で金型プレスを用いて成型した。バイ
ンダーを除去した後、アルゴン雰囲気中、15000
℃、50MPaで1時間ホットプレスした。この焼結体
を炭化珪素乳棒と乳鉢で粉砕して粉末化した後、カーボ
ン組成は高周波加熱赤外吸収法で、チタンはICP吸光
分析法で定量分析し、炭化チタン組成を求め、この値を
便宜上、各領域の炭化チタン量とした。重量組成から体
積組成への換算は、炭化チタンの真密度を4.9g/cm3
として行った。
(1) Content of Titanium Carbide The first granulation raw material and the second granulation raw material were individually molded using a die press without mixing. After removing the binder, 15000 in an argon atmosphere
It hot-pressed at 50 degreeC and 50 degreeC for 1 hour. This sinter was pulverized with a silicon carbide pestle and a mortar and pulverized, and then the carbon composition was quantitatively analyzed by a high frequency heating infrared absorption method, and titanium was quantitatively analyzed by an ICP absorption spectroscopy method to obtain a titanium carbide composition. For convenience, the amount of titanium carbide in each region is used. The true density of titanium carbide is calculated to be 4.9 g / cm 3 from the weight composition to the volume composition.
Went as.

【0050】(2)焼結体中の酸化アルミニウム粒子粒
径、炭化チタニウム粒子粒径 焼結体をダイアモンドカッターで切断した後、切断面を
鏡面研磨した。この面を化学エッチングして粒子粒界を
可視化し、各粒子の平均粒径を測定した。
(2) Particle size of aluminum oxide particles and titanium carbide particles in the sintered body After cutting the sintered body with a diamond cutter, the cut surface was mirror-polished. This surface was chemically etched to visualize the grain boundaries, and the average grain size of each grain was measured.

【0051】(3)焼結体中心部の抵抗率 焼結体中心部から、ダイアモンドカッターを使用して、
2×2×30mmの試験片を切り出した。スパッタリング
法にて電極を形成し、4端子法で抵抗率を測定した。
(3) Resistivity of the center of the sintered body From the center of the sintered body, using a diamond cutter,
A 2 × 2 × 30 mm test piece was cut out. An electrode was formed by the sputtering method, and the resistivity was measured by the 4-terminal method.

【0052】(4)焼結体内の抵抗比 抵抗体の一方の電極を研削除去し、露出した焼結体表面
に直径4mm の電極を等間隔で185個形成した。これら
点電極と対面の電極との間の抵抗値を測定し、この値の
最小値と最大値の比を焼結体内の抵抗比とした。実用
上、抵抗比は10以下であることが好ましい。
(4) Resistance One electrode of the resistivity body in the sintered body was ground and removed, and 185 electrodes having a diameter of 4 mm were formed on the exposed surface of the sintered body at equal intervals. The resistance value between the point electrode and the facing electrode was measured, and the ratio of the minimum value and the maximum value of this value was defined as the resistance ratio in the sintered body. In practice, the resistance ratio is preferably 10 or less.

【0053】(5)抵抗温度特性、空気中での耐酸化性 抵抗体を温度が制御できる恒温槽、または電気炉に入
れ、抵抗値を測定した。耐酸化性は任意温度に一定時間
抵抗体を電気炉入れ、入れる前との間の抵抗値の比を求
めた。この抵抗値の比が2を超える値になる温度を酸化
温度とした。
(5) Resistance-temperature characteristics, oxidation resistance in air The resistance value was measured by placing the resistance element in a thermostat or electric furnace whose temperature can be controlled. As for the oxidation resistance, the resistance value was calculated by placing the resistor in an electric furnace at an arbitrary temperature for a certain period of time and before putting it in an electric furnace. The temperature at which the ratio of the resistance values exceeded 2 was defined as the oxidation temperature.

【0054】 実施例23〜45 原料に用いる酸化アルミニウム粉末に、平均粒径0.9
μm の粉末を使用した以外は、実施例1〜22と同様な
方法で電力用抵抗体を作成し、実施例1〜2と同様な
方法で評価した。結果を表2に示す。
Examples 23 to 45 Aluminum oxide powder used as a raw material had an average particle size of 0.9.
except using powders μm creates a power resistor in the same manner as in Example 1-22 method was evaluated in the same manner as in Example 1-2 2 method. The results are shown in Table 2.

【0055】 実施例46〜66 原料に用いる炭化チタン粉末に、平均粒径1.4 μm の粉
末を使用した以外は、実施例1〜22と同様な方法で電
力用抵抗体を作成し、実施例1〜2と同様な方法で評
価した。結果を表3に示す。
Examples 46 to 66 A power resistor was prepared in the same manner as in Examples 1 to 22 except that the titanium carbide powder used as a raw material was a powder having an average particle size of 1.4 μm. It was evaluated in to 2 2 the same way. The results are shown in Table 3.

【0056】[0056]

【表1】 [Table 1]

【0057】[0057]

【表2】 [Table 2]

【0058】[0058]

【表3】 [Table 3]

【0059】 実施例47 実施例1〜22と同じ原料を用い、実施例1〜22と同
様な方法で、図7に示したような、外径125mm、内径
25mm、厚さ25mmの環状の電力用抵抗体を作成した。
この抵抗体の抵抗値は0.03Ωであった。この抵抗体
を図9に示すように、外径200mm、内径25mm、厚さ
2mmのアルミニウム製冷却フィンを介して所定枚数積み
重ね、各抵抗体および冷却フィンの中心部を貫通する酸
化アルミニウムからなる絶縁性指示棒と、弾性体により
支持して抵抗器を構成した。この抵抗器の抵抗値は1Ω
であった。空気中、この抵抗器に、100V 電圧で6k
Wの電気エネルギーを流し続けた。その結果、2時間
後、抵抗器の抵抗値は1.3Ω、温度480℃で一定と
なった。このまま通電を続けても抵抗値に変化はないこ
とが確認された。
Example 47 Using the same raw materials as in Examples 1 to 22, in the same manner as in Examples 1 to 22 , an annular power having an outer diameter of 125 mm, an inner diameter of 25 mm, and a thickness of 25 mm as shown in FIG. I made a resistor.
The resistance value of this resistor was 0.03Ω. As shown in FIG. 9, a predetermined number of these resistors are stacked through aluminum cooling fins having an outer diameter of 200 mm, an inner diameter of 25 mm, and a thickness of 2 mm, and insulation made of aluminum oxide penetrating the center of each resistor and cooling fin. A resistor was constructed by being supported by a sex indicator rod and an elastic body. The resistance value of this resistor is 1Ω
Met. 6k at 100V voltage to this resistor in the air
The electric energy of W was kept flowing. As a result, after 2 hours, the resistance value of the resistor was 1.3Ω and the temperature became constant at 480 ° C. It was confirmed that the resistance value did not change even if the current was continued as it was.

【0060】比較例1〜3 実施例1〜22の第二の造粒粉末のみで実施例1〜22
と同様な成形体を作成し、実施例1 〜22と同様にして、
電力用抵抗体を作成、評価した。
Comparative Examples 1-3 Examples 1-22 using only the second granulated powder of Examples 1-22
Create a molded body similar to, in the same manner as in Examples 1 to 22,
A power resistor was created and evaluated.

【0061】比較例4〜6 実施例1〜22の第二の造粒粉末のみで実施例1〜22
と同様な成形体を作成した。
Comparative Examples 4 to 6 Examples 1 to 22 using only the second granulated powder of Examples 1 to 22
A molded body similar to that was prepared.

【0062】比較例7〜9 実施例23〜45の第二の造粒粉末のみで実施例23〜
45と同様な成形体を作成した。
Comparative Examples 7 to 9 Only the second granulated powder of Examples 23 to 45 was used in Examples 23 to.
A molded body similar to 45 was prepared.

【0063】比較例10〜12 実施例46〜66の第二の造粒粉末のみで実施例46〜
66と同様な成形体を作成した。
Comparative Examples 10 to 12 Only the second granulated powder of Examples 46 to 66 was used in Examples 46 to 66.
A molded body similar to 66 was prepared.

【0064】以上の成形体を、バインダーを除去した
後、アルゴン雰囲気中、1500℃、50MPaで1時
間ホットプレスした。この後、実施例1〜66と同様に
して、電力用抵抗体を作成、評価した。以上、比較例の
結果を表4に示す。
After removing the binder, the above molded body was hot pressed at 1500 ° C. and 50 MPa for 1 hour in an argon atmosphere. After that, a power resistor was prepared and evaluated in the same manner as in Examples 1 to 66. The results of the comparative example are shown in Table 4 above.

【0065】[0065]

【表4】 [Table 4]

【0066】比較例13 比較例4と同じ原料を用い、同じ方法で、図7に示した
ような、外径125mm、内径25mm、厚さ25mmの環状
の電力用抵抗体を作成した。この抵抗体の抵抗値は0.
03Ωであった。この抵抗体を図9に示すように、外径
200mm、内径25mm、厚さ2mmのアルミニウム製冷却
フィンを介して所定枚数積み重ね、各抵抗体および冷却
フィンの中心部を貫通する酸化アルミニウムからなる絶
縁性指示棒と、弾性体により支持して抵抗器を構成し
た。この抵抗器の抵抗値は1 Ωであった。空気中、この
抵抗器に、100V 電圧で6kWの電気エネルギーを流し
続けた。その結果、1時間後、抵抗体内部の部分的な異
常発熱が原因で、前記抵抗体の複数枚に亀裂が発生し、
抵抗体が破壊された。
Comparative Example 13 The same raw material as in Comparative Example 4 was used and the same method was used to produce an annular power resistor having an outer diameter of 125 mm, an inner diameter of 25 mm and a thickness of 25 mm as shown in FIG. The resistance value of this resistor is 0.
It was 03Ω. As shown in FIG. 9, a predetermined number of these resistors are stacked through aluminum cooling fins having an outer diameter of 200 mm, an inner diameter of 25 mm, and a thickness of 2 mm, and insulation made of aluminum oxide penetrating the center of each resistor and cooling fin. A resistor was constructed by being supported by a sex indicator rod and an elastic body. The resistance value of this resistor was 1 Ω. In the air, 6 kW of electrical energy was continuously applied to this resistor at a voltage of 100V. As a result, after one hour, due to a partial abnormal heat generation inside the resistor, cracks occurred in a plurality of the resistors,
The resistor was destroyed.

【0067】 以上、前記表1〜4から明らかなよう
に、炭化チタンが少ないかもしくは炭化チタンを含まな
い第一領域と、この第一領域より炭化チタン量が多く、
かつ前記一対の電極に繋がるように配置された第二領域
とからなる電力用抵抗体において、従来の酸化アルミニ
ウム−炭化チタン複合体に比較して、抵抗率が高く、抵
抗体内の抵抗比が10以下と均一性に優れた抵抗体を製
造できることがわかる。また、従来の炭素粒子分散型抵
抗体に比較して、300℃ほど高い耐酸化特性を有する
抵抗体を製造できることがわかる。これに対して、炭化
チタン粒子が均一に分散された比較例の抵抗体のうち、
大気圧下で焼成したものは緻密化しない。一方加圧焼成
を行うと、ほぼ真密度まで緻密化はするものの、抵抗体
内の抵抗比が10以上になり、均一性が悪いことが判
る。
[0067] above, wherein the As is clear from Table 1-4, the first region where the titanium carbide contains no less to or titanium carbide, many titanium carbide content than the first region,
Further, in the power resistor including the second region arranged so as to be connected to the pair of electrodes, the resistivity is higher and the resistance ratio in the resistor is 10 as compared with the conventional aluminum oxide-titanium carbide composite. It can be seen that a resistor having excellent uniformity can be manufactured as follows. Further, it can be seen that a resistor having an oxidation resistance as high as about 300 ° C. can be manufactured as compared with the conventional carbon particle-dispersed resistor. On the other hand, among the resistors of Comparative Example in which titanium carbide particles are uniformly dispersed,
Those calcinated under atmospheric pressure do not become densified. On the other hand, when pressure firing is performed, the density is increased to almost the true density, but the resistance ratio in the resistor becomes 10 or more, and it is understood that the uniformity is poor.

【0068】さらに前記抵抗体を複数枚積層した積層抵
抗体と、前記積層抵抗体の間に介在された導電性を有す
る冷却フィンからなる電力用抵抗器は、連続使用しても
安定な抵抗器として使用できる。
Further, a power resistor comprising a laminated resistor in which a plurality of the resistors are laminated and a conductive cooling fin interposed between the laminated resistors is a stable resistor even when continuously used. Can be used as

【0069】[0069]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
緻密で、適切かつ安定な電気抵抗有し、温度変化に対し
て抵抗値の変化が少なく、高温での耐酸化特性に極めて
優れている電力用抵抗体、並びにこの抵抗体が複数積層
された電力用抵抗器を提供できる。
As described above, according to the present invention,
A power resistor that has a precise, appropriate, and stable electrical resistance, has little change in resistance value with temperature changes, and has excellent oxidation resistance at high temperatures, and a power resistor in which a plurality of these resistors are stacked. Can provide a resistor for use.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の電力用抵抗体を示す概念図。FIG. 1 is a conceptual diagram showing a power resistor of the present invention.

【図2】本発明の電力用抵抗体を示す断面図。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a power resistor of the present invention.

【図3】図1の抵抗体における焼結体の微構造を模式的
に示す図。
FIG. 3 is a diagram schematically showing a microstructure of a sintered body in the resistor of FIG.

【図4】従来の酸化アルミニウム−炭化チタン複合焼結
体の微構造を模式的に示す図。
FIG. 4 is a view schematically showing a microstructure of a conventional aluminum oxide-titanium carbide composite sintered body.

【図5】従来の酸化アルミニウム−炭化チタン複合セラ
ミック材料の、炭化チタン組成と抵抗率の関係を示す
図。
FIG. 5 is a graph showing the relationship between the titanium carbide composition and the resistivity of a conventional aluminum oxide-titanium carbide composite ceramic material.

【図6】本発明の酸化アルミニウム−炭化チタン複合セ
ラミック材料の、第二領域の組成と抵抗率の関係を示す
図。
FIG. 6 is a graph showing the relationship between the composition of the second region and the resistivity of the aluminum oxide-titanium carbide composite ceramic material of the present invention.

【図7】本発明の電力用抵抗体の他の形態を示す図。FIG. 7 is a diagram showing another form of the power resistor of the present invention.

【図8】本発明の電力用抵抗体の他の形態を示す図。FIG. 8 is a diagram showing another embodiment of the power resistor of the present invention.

【図9】本発明の電力用抵抗器を示す図。FIG. 9 is a diagram showing a power resistor of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、12、15…電力用抵抗体 2、10、13…焼結体 3、11、14…電極 4a、4b、8…酸化アルミニウム粒子 5、9…炭化チタン粒子 6…第一領域 7…第2領域 1, 12, 15 ... Power resistors 2, 10, 13 ... Sintered body 3, 11, 14 ... Electrodes 4a, 4b, 8 ... Aluminum oxide particles 5, 9 ... Titanium carbide particles 6 ... First area 7 ... Second area

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平8−45702(JP,A) 特開 平10−106802(JP,A) 特開 昭61−104581(JP,A) 特開 昭58−135183(JP,A) 特開 平7−147204(JP,A) 特開 昭61−230281(JP,A) 特開 平5−114506(JP,A)   ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page       (56) References JP-A-8-45702 (JP, A)                 Japanese Patent Laid-Open No. 10-106802 (JP, A)                 JP-A-61-104581 (JP, A)                 JP 58-135183 (JP, A)                 JP-A-7-147204 (JP, A)                 JP 61-230281 (JP, A)                 JP-A-5-114506 (JP, A)

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】酸化アルミニウム、チタンと炭素を含む化
合物、および不可避不純物を含む焼結体と、前記焼結体
の対向する二つの面に形成された一対の電極とを具備し
た電力用抵抗体であって、 前記焼結体は、チタンと炭素を含む化合物が少ないかも
しくはチタンと炭素を含む化合物を含まない第一領域
と、この第一領域よりチタンと炭素を含む化合物量が多
く、かつ前記一対の電極に繋がるように配置された第二
領域とからなることを特徴とする電力用抵抗体。
1. A power resistor comprising a sintered body containing aluminum oxide, a compound containing titanium and carbon, and an unavoidable impurity, and a pair of electrodes formed on two opposing surfaces of the sintered body. The sintered body is a first region containing less compound containing titanium and carbon or containing no compound containing titanium and carbon, and having a larger amount of compound containing titanium and carbon than the first region, and A power resistor comprising a second region arranged so as to be connected to the pair of electrodes.
【請求項2】前記チタンと炭素を含む化合物が炭化チタ
ンであることを特徴とする請求項1に記載の電力用抵抗
体。
2. The power resistor according to claim 1, wherein the compound containing titanium and carbon is titanium carbide.
【請求項3】前記第二領域中の炭素とチタンを含む化合
物の平均粒径は、20μm以下であることを特徴とする
請求項1に記載の電力用抵抗体。
3. The power resistor according to claim 1, wherein an average particle diameter of the compound containing carbon and titanium in the second region is 20 μm or less.
【請求項4】前記第二領域中の酸化アルミニウム粒子の
平均粒径をRAl、炭素とチタンを含む化合物の平均粒径
をRTiC とした時、 RAl/RTiC ≧ 0.1 を満たすことを特徴とする請求項1 に記載の電力用抵抗
体。
4. When the average particle size of the aluminum oxide particles in the second region is R Al and the average particle size of the compound containing carbon and titanium is R TiC , R Al / R TiC ≧ 0.1 is satisfied. The power resistor according to claim 1, characterized in that
【請求項5】 炭化チタン粉末が少ないかもしくは炭化
チタン粉末を含まない酸化アルミニウム粉末を含有する
第一領域を形成する第一造粒原料を調整する工程と、 炭化チタン粉末と酸化アルミニウム粉末を含み、前記第
一領域より炭化チタン粉末量が多い第二領域を形成する
第二造粒原料を調整する工程と、 前記第一造粒原料及び前記第二造粒原料とを混合した
後、成型、焼結することにより焼結体を作成する工程
と、 前記焼結体の対向する主面に一対の電極を形成する工程
とを具備したことを特徴とする電力用抵抗体の製造方
法。
5. A step of adjusting a first granulation raw material for forming a first region containing an aluminum oxide powder which is low in titanium carbide powder or does not contain titanium carbide powder, comprising titanium carbide powder and aluminum oxide powder Forming a second region having a larger amount of titanium carbide powder than the first region
A step of preparing a second granulation raw material , a step of mixing the first granulation raw material and the second granulation raw material, and then forming and sintering the mixture to form a sintered body, the sintered body And a step of forming a pair of electrodes on the main surfaces facing each other, the method for manufacturing a power resistor.
【請求項6】酸化アルミニウムおよび炭化チタン及び不
可避不純物を含む焼結体と、前記焼結体の対向する二つ
の面に形成された一対の電極とからなり、前記焼結体
は、炭化チタンが少ないかもしくは炭化チタンを含まな
い第一領域と、この第一領域より炭化チタン量が多く、
かつ前記一対の電極に繋がるように配置された第二領域
とからなる抵抗体と、この抵抗体を複数積層した積層抵
抗体と、前記積層抵抗体の間に介在された導電性を有す
る冷却媒体とを具備したことを特徴とする電力用抵抗
器。
6. A sintered body containing aluminum oxide, titanium carbide and unavoidable impurities, and a pair of electrodes formed on two opposing surfaces of the sintered body, wherein the sintered body contains titanium carbide. A first region containing less or no titanium carbide, and having a larger amount of titanium carbide than this first region,
And a resistor comprising a second region arranged so as to be connected to the pair of electrodes, a laminated resistor in which a plurality of the resistors are laminated, and a conductive cooling medium interposed between the laminated resistors. A resistor for electric power, comprising:
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