JP2000021603A - Power resistor, its manufacture and power resistor - Google Patents

Power resistor, its manufacture and power resistor

Info

Publication number
JP2000021603A
JP2000021603A JP10184912A JP18491298A JP2000021603A JP 2000021603 A JP2000021603 A JP 2000021603A JP 10184912 A JP10184912 A JP 10184912A JP 18491298 A JP18491298 A JP 18491298A JP 2000021603 A JP2000021603 A JP 2000021603A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
titanium carbide
region
sintered body
resistor
power resistor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP10184912A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3486108B2 (en
Inventor
Naoki Shudo
直樹 首藤
Motomasa Imai
基真 今井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP18491298A priority Critical patent/JP3486108B2/en
Publication of JP2000021603A publication Critical patent/JP2000021603A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3486108B2 publication Critical patent/JP3486108B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
  • Non-Adjustable Resistors (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a power resistor which has high resistivity and superior uniformity of resistivity, compared with the conventional aluminum oxide- titanium carbide composite, and has antioxidant resistance compared with the conventional carbon particle dispersed resistor. SOLUTION: In a power resistor 1 which is provided with a sintered body 2 containing aluminum oxide, titanium carbide and unavoidable impurities, and a pair of electrodes 3 formed on two facing surfaces of the sintered body 2, it is constituted of a first region in which quantity of titanium carbide is low or titanium carbide is not contained, and a second region in which quantity of titanium carbide is greater than that of the first region and which is arranged, so as to be connected with a pair of the electrodes. Thereby the power resistor 1 is dense, and has proper and stable electric resistance and little change in resistance with respect to the temperature change.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電力用抵抗体、そ
の製造方法及び電力用抵抗器に関する。
The present invention relates to a power resistor, a method of manufacturing the same, and a power resistor.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、電力用抵抗体の材料には金属系
抵抗材料、およびセラミック系抵抗材料に大別される。
この中でセラミック系抵抗材料は、金属系抵抗材料に比
べて、電圧電流特性および高電気エネルギーを吸収する
エネルギー耐量が高いという特徴を有する。
2. Description of the Related Art In general, materials for electric power resistors are roughly classified into metal-based resistance materials and ceramic-based resistance materials.
Among these, ceramic-based resistance materials are characterized by having higher voltage-current characteristics and higher energy resistance to absorb high electric energy than metal-based resistance materials.

【0003】特開昭58-139401 号公報および特開昭59-2
17668 号公報には、代表的なセラミック系抵抗体が開示
されている。特開昭58-139401 号公報には、絶縁性の酸
化アルミニウム結晶中に導電性を有するカーボン粉末が
分散された、炭素粒子分散型セラミック抵抗体が記載さ
れている。
JP-A-58-139401 and JP-A-59-2
No. 17668 discloses a typical ceramic resistor. JP-A-58-139401 describes a carbon particle-dispersed ceramic resistor in which conductive carbon powder is dispersed in insulating aluminum oxide crystals.

【0004】特開昭59-217668 号公報には、酸化アルミ
ニウム、ムライト、焼成粘土の絶縁性無機材料粉末に炭
素粉末及び結合材を加え、混合、混練、加熱処理した原
料を主原料として用いた炭素系電力用抵抗体について記
載されており、このときの炭素粉末が0.1 μm 以下の微
粉で、1.5 〜5 重量%の含有量であることが記載されて
いる。
Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 59-217668 discloses that as a main raw material, a carbon powder and a binder are added to an insulating inorganic material powder of aluminum oxide, mullite, and calcined clay, mixed, kneaded, and heat-treated. It describes a carbon-based power resistor, and describes that the carbon powder at this time is a fine powder of 0.1 μm or less and has a content of 1.5 to 5% by weight.

【0005】また特開昭57-52101号公報には、酸化アル
ミニウムを主原料とし、他に酸化珪素、酸化マグネシウ
ムなどの粘土材、さらに導電材としてのカーボンを3 〜
10重量%含有する抵抗部材について記載されている。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-52101 discloses that aluminum oxide is used as a main material, clay material such as silicon oxide and magnesium oxide, and carbon as a conductive material is used in an amount of 3 to 3 times.
A resistance member containing 10% by weight is described.

【0006】ところで、一般的に、酸化アルミニウム粉
末にカーボン粉末を添加し焼結体を製造しようとする
と、酸化アルミニウムの焼結性が阻害されることが知ら
れている。このため、前述した炭素粒子分散型セラミッ
ク抵抗体は、酸化アルミニウム粉末にカーボン粉末を添
加するが、さらに酸化アルミニウムの焼結性を補う意目
的で粘土を添加している。しかし、この粘土は、単に焼
結体中の酸化アルミニウム粒子と酸化アルミニウム粒
子、酸化アルミニウム粒子とカーボン粉末を結合させる
だけで、焼結性を向上させることはない。そのため焼結
体の気孔率は10〜30%と高く、緻密性に劣る。緻密な酸
化アルミニウムセラミックは単位体積当たりの熱容量は
3J/cm 3 ・degある。ところが従来の炭素粒子分散型セラ
ミック抵抗体は、緻密性に劣るため単位体積当たりの熱
容量が2J/cm 3 ・degと小さい。そのため、電気エネルギ
ーの吸収に伴って抵抗体の温度上昇が著しくなる。また
通電時にカーボン粉末が気孔内で放電を起こすため貫通
放電が発生する。
Incidentally, it is generally known that when a carbon powder is added to aluminum oxide powder to produce a sintered body, the sinterability of aluminum oxide is hindered. For this reason, in the above-mentioned carbon particle-dispersed ceramic resistor, carbon powder is added to aluminum oxide powder, and clay is further added for the purpose of supplementing the sinterability of aluminum oxide. However, this clay does not improve the sinterability merely by binding the aluminum oxide particles and the aluminum oxide particles, or the aluminum oxide particles and the carbon powder in the sintered body. Therefore, the porosity of the sintered body is as high as 10 to 30%, and is inferior in denseness. Dense aluminum oxide ceramics have a heat capacity per unit volume
3J / cm 3 · deg. However, the conventional carbon particle-dispersed ceramic resistor has a low heat capacity per unit volume of 2 J / cm 3 · deg due to poor denseness. For this reason, the temperature of the resistor increases significantly with the absorption of electric energy. In addition, a penetrating discharge occurs because the carbon powder causes a discharge in the pores when electricity is supplied.

【0007】また、カーボンは抵抗値の温度依存性が負
であり、温度が上昇すると抵抗値が小さくなる。従って
電気エネルギーを吸収して抵抗体の温度が上昇すると、
抵抗値が小さくなりより多くの電流が抵抗体に流れ、著
しい温度上昇を引き起こす問題がある。
[0007] Carbon has a negative temperature dependence of resistance, and the resistance decreases as the temperature rises. Therefore, when the temperature of the resistor rises due to the absorption of electric energy,
There is a problem that the resistance value decreases and more current flows through the resistor, causing a significant temperature rise.

【0008】さらに、電力用抵抗体を空気中で使用する
場合、例えば、車両搭載回生電流吸収抵抗体のようにガ
ス封入タンクに入れず大気中で使用する場合には、エネ
ルギー吸収による抵抗体の温度上昇によって、セラミッ
ク中のカーボン粒子が酸化されてしまう。その結果、抵
抗値が高くなり抵抗器として使用できなくなってしま
う。従来の炭素粒子分散型抵抗体では約300 ℃で酸化
し、絶縁化がおこる。これを防ぐためには、フィンなど
の冷却器を装備する必要があり、抵抗器ユニットが大き
くなってしまう問題があった。
Further, when the power resistor is used in the air, for example, when the power resistor is used in the atmosphere without being put in a gas-filled tank as in a vehicle-mounted regenerative current absorbing resistor, the resistance of the resistor due to energy absorption is reduced. Due to the temperature rise, the carbon particles in the ceramic are oxidized. As a result, the resistance value increases, and the resistor cannot be used. A conventional carbon particle-dispersed resistor is oxidized at about 300 ° C., resulting in insulation. In order to prevent this, it is necessary to equip a cooler such as a fin, and there has been a problem that the resistor unit becomes large.

【0009】ところで、酸化アルミニウムと導電性材料
との複合セラミックには前述した炭素粒子分散型セラミ
ック以外に別の複合体が開示されている。代表的な酸化
アルミニウムと導電性材料との複合セラミックとして、
酸化アルミニウム−炭化チタン複合セラミックがある。
By the way, as a composite ceramic of aluminum oxide and a conductive material, other composites are disclosed in addition to the above-mentioned carbon particle dispersed ceramic. As a composite ceramic of representative aluminum oxide and conductive material,
There is an aluminum oxide-titanium carbide composite ceramic.

【0010】酸化アルミニウム−炭化チタン複合セラミ
ックは、切削工具材料( 特開平4-367572号公報、特開平
4-300241号公報、特開平4-243959号公報、特開平3-2941
01号公報、特開平3-247555号公報、特開平2-255561号公
報、特開平2-116673号公報等) 、磁気ヘッド用基板材料
( 特開平4-321556号公報、特開平3-119508号公報、特開
平2-199808号公報、特開平2-187915号公報、特開平2-15
3860号公報等) 、ディスクブレーキローターディスク(
特開平4-224880号公報) 、耐火材料( 特開平2-229757号
公報) への応用が開示されている。酸化アルミニウム−
炭化チタン複合セラミックを電力用抵抗体材料に使用す
る技術はまだ開示されていない。
[0010] Aluminum oxide-titanium carbide composite ceramics are used as cutting tool materials (Japanese Patent Application Laid-Open Nos.
JP-A-4-300241, JP-A-4-43959, JP-A-3-2941
No. 01 gazette, JP-A-3-247555, JP-A-2-255561, JP-A-2-16673, etc.), substrate material for magnetic head
(JP-A-4-321556, JP-A-3-119508, JP-A-2-199808, JP-A-2-87915, JP-A-2-15
No. 3860), disc brake rotor disc (
Application to a refractory material (Japanese Unexamined Patent Publication No. 2-229757) is disclosed. Aluminum oxide
The technique of using the titanium carbide composite ceramic for the power resistor material has not yet been disclosed.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】酸化アルミニウム−炭
化チタン複合セラミックを電力用抵抗体材料に使用する
ためには、以下のような、問題がある。第一に、炭化チ
タン粉末はカーボン粉末ほど著しくはないが、酸化アル
ミニウムの焼結性を阻害する。そのため従来、緻密さを
必要とする切削工具に酸化アルミニウム−炭化チタン複
合セラミックを用いる場合、特開平3-247555号公報、特
開平3-228870号公報、特開平3-28159 号公報、特開平3-
28158 号公報、特開平2-255561号公報等に開示されてい
るように、酸化マグネシウム、酸化珪素等の焼結助剤を
添加した上でホットプレスまたHIP 焼成等の加圧焼成を
するか、または、特開平2-229757号公報に開示されてい
るように、酸化アルミニウム粉末及び炭化チタニウム粉
末を微粉砕することで焼結性を向上させ、大気圧中での
焼成を可能にしている。加圧焼成は、バッチ式炉でしか
行うことができず、また切削工具のように小さなものに
は可能だが、電力用抵抗体のような比較的大きな焼結体
を焼成する方法としてはコストが高くなり、現実的では
ない。また炭化チタン粉末は高硬度( ビッカース硬度;3
200kg/cm2 )なため、粉砕には長時間を必要とし、また
粉砕工程で使用するボールなどからの不純物の混入を招
きやすく、炭化チタン粉末を微粉末に粉砕することも、
やはり適切ではない。
The use of aluminum oxide-titanium carbide composite ceramic as a power resistor material has the following problems. First, titanium carbide powder is not as significant as carbon powder, but impairs the sinterability of aluminum oxide. Therefore, conventionally, when using an aluminum oxide-titanium carbide composite ceramic for a cutting tool requiring denseness, Japanese Unexamined Patent Application Publication Nos. 3-247555, 3-228870, 3-28159, 3-28159, and 3 -
No. 28158, as disclosed in JP-A-2-255561, etc., after adding a sintering aid such as magnesium oxide, silicon oxide, etc., hot pressing or pressure firing such as HIP firing, Alternatively, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-229757, sinterability is improved by finely pulverizing an aluminum oxide powder and a titanium carbide powder to enable firing at atmospheric pressure. Pressure sintering can be performed only in a batch type furnace, and it is possible to use a small one such as a cutting tool. However, as a method for sintering a relatively large sintered body such as a power resistor, the cost is high. Higher, not realistic. Titanium carbide powder has high hardness (Vickers hardness; 3
200 kg / cm 2 ), it takes a long time to grind, and it is easy to introduce impurities from the balls used in the grinding process.
Again not appropriate.

【0012】さらに、これまで開示されている酸化アル
ミニウム−炭化チタン複合セラミック材料の室温での抵
抗率は10-4〜10-2Ωcm程度である。これ以上高抵抗な酸
化アルミニウム−炭化チタン複合セラミック材料に関す
る開示はない。抵抗率が10-2Ωcm以下であることは、特
開平2-271965号公報、特開平2-289464号公報に開示され
ているように、放電加工により複雑な形状の加工が容易
となる利点ではある。しかし、電力用抵抗体としては、
一般に少なくとも10-2Ωcm以上の抵抗率が必要とされ、
これまで開示されている酸化アルミニウム−炭化チタン
複合セラミック材料は、低抵抗率なため電力用抵抗体と
して利用することはできないという問題があった。
Further, the resistivity at room temperature of the aluminum oxide-titanium carbide composite ceramic material disclosed so far is about 10 -4 to 10 -2 Ωcm. There is no disclosure of an aluminum oxide-titanium carbide composite ceramic material having a higher resistance. That the resistivity is 10 -2 Ωcm or less, as disclosed in JP-A-2-271965 and JP-A-2-289864, the advantage that machining of a complicated shape by electric discharge machining becomes easy. is there. However, as a power resistor,
Generally, a resistivity of at least 10 -2 Ωcm or more is required,
The aluminum oxide-titanium carbide composite ceramic material disclosed so far has a problem that it cannot be used as a power resistor because of its low resistivity.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本願第1の発明は、酸化
アルミニウム、チタンと炭素を含む化合物、および不可
避不純物を含む焼結体と、前記焼結体の対向する二つの
面に形成された一対の電極とを具備した電力用抵抗体で
あって、前記焼結体は、チタンと炭素を含む化合物が少
ないかもしくはチタンと炭素を含む化合物を含まない第
一領域と、この第一領域よりチタンと炭素を含む化合物
量が多く、かつ前記一対の電極に繋がるように配置され
た第二領域とからなることを特徴とする電力用抵抗体で
ある。
According to a first aspect of the present invention, a sintered body containing aluminum oxide, a compound containing titanium and carbon, and an unavoidable impurity, and two opposing surfaces of the sintered body are formed. A power resistor including a pair of electrodes, wherein the sintered body is a first region containing a small amount of a compound containing titanium and carbon or containing no compound containing titanium and carbon, A power resistor characterized by comprising a second region having a large amount of a compound containing titanium and carbon and being arranged so as to be connected to the pair of electrodes.

【0014】このような構成にすることで、抵抗率の制
御性が高まるとともに、焼結性の高い抵抗体を得ること
ができる。また、炭化チタンなどのチタンと炭素を含む
化合物は、酸化アルミニウムに対して熱膨張率が同程度
であるため、熱膨張の差によるクラックの発生などを低
減させることができる。
With such a structure, the controllability of the resistivity is improved and a resistor having a high sinterability can be obtained. Further, a compound containing titanium and carbon, such as titanium carbide, has a thermal expansion coefficient similar to that of aluminum oxide, so that cracks due to a difference in thermal expansion can be reduced.

【0015】本願第2の発明は、前記チタンと炭素を含
む化合物が炭化チタンであることを特徴とする前記第1
の発明に記載の電力用抵抗体である。本願第3の発明
は、前記第二領域中の炭素とチタンを含む化合物の平均
粒径は、20μm以下であることを特徴とする前記第1
の発明に記載の電力用抵抗体である。
The second invention of the present application is characterized in that the compound containing titanium and carbon is titanium carbide.
A power resistor according to the invention. In the third invention of the present application, the compound containing carbon and titanium in the second region has an average particle diameter of 20 μm or less.
A power resistor according to the invention.

【0016】前記第1の発明において、前述の範囲の粒
径にすることで、特に抵抗体の焼結性を向上させること
が可能となる。本願第4の発明は、前記第二領域中の酸
化アルミニウム粒子の平均粒径をRAl、炭素とチタンを
含む化合物の平均粒径をRTiC とした時、 RAl/RTiC ≧ 0.1 を満たすことを特徴とする前記第1の発明に記載の電力
用抵抗体である。
In the first aspect of the invention, by setting the particle diameter in the above range, it is possible to particularly improve the sinterability of the resistor. The fourth invention of the present application satisfies R Al / R TiC ≧ 0.1 when the average particle diameter of the aluminum oxide particles in the second region is RAl, and the average particle diameter of the compound containing carbon and titanium is RTiC. A power resistor according to the first aspect of the invention.

【0017】このような粒径にすることで、特に緻密な
焼結体を得ることが可能となる。本願第5の発明は、炭
化チタン粉末が少ないかもしくは炭化チタン粉末を含ま
ない酸化アルミニウム粉末を含有する第一領域を形成す
る第一造粒粉末を調整する工程と、炭化チタン粉末と酸
化アルミニウム粉末を含み、前記第一領域より炭化チタ
ン粉末量が多い第二領域を調整する工程と、前記第一造
粒原料及び前記第二造粒原料とを混合した後、成型、焼
結することにより焼結体を作成する工程と、前記焼結体
の対向する主面に一対の電極を形成する工程とを具備し
たことを特徴とする電力用抵抗体の製造方法である。
With such a particle size, a particularly dense sintered body can be obtained. The fifth invention of the present application is directed to a step of adjusting a first granulated powder forming a first region containing a small amount of titanium carbide powder or containing aluminum oxide powder not containing titanium carbide powder; And a step of adjusting a second region in which the amount of titanium carbide powder is larger than that of the first region, and after mixing the first granulated raw material and the second granulated raw material, molding and sintering A method for manufacturing a power resistor, comprising: a step of forming a body; and a step of forming a pair of electrodes on opposing main surfaces of the sintered body.

【0018】本願第6の発明は、酸化アルミニウムおよ
び炭化チタン及び不可避不純物を含む焼結体と、前記焼
結体の対向する二つの面に形成された一対の電極とから
なり、前記焼結体は、炭化チタンが少ないかもしくは炭
化チタンを含まない第一領域と、この第一領域より炭化
チタン量が多く、かつ前記一対の電極に繋がるように配
置された第二領域とからなる抵抗体と、この抵抗体を複
数積層した積層抵抗体と、前記積層抵抗体の間に介在さ
れた導電性を有する冷却媒体とを具備したことを特徴と
する電力用抵抗器である。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a sintered body containing aluminum oxide, titanium carbide and unavoidable impurities, and a pair of electrodes formed on two opposing surfaces of the sintered body. A resistor comprising a first region having a small amount of titanium carbide or not containing titanium carbide and a second region having a larger amount of titanium carbide than the first region and connected to the pair of electrodes. A power resistor comprising: a multilayer resistor in which a plurality of the resistors are stacked; and a conductive cooling medium interposed between the multilayer resistors.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】本発明に係わる電力用抵抗体を図
1〜3を参照に詳細に説明する。図1は本発明に係わる
電力用抵抗体を示す概観図、図2は、本発明に係わる電
力用抵抗体を示す断面図、図3は図1の焼結体の微構造
を示す模式的に示す図である。抵抗体1は、円板状の焼
結体2の円形両面に形成された一対の電極3とから構成
されている。前記焼結体2は、図3に示すように、酸化
アルミニウム粒子4a、4bと、炭化チタン粒子5、及
び不可避不純物を含む組織を有する。また前記焼結体2
は図3に示すように、炭化チタン量が少ないかもしくは
炭化チタンを含まない第一領域6と、この第一領域6よ
り炭化チタン量の多い第二領域7とからなり、前記第一
領域6は実質的に絶縁性を示し、前記第二領域7は実質
的に導電性を示す。前記焼結体2において、前記第二領
域7中の炭化チタン粒子5は三次元的なネットワーク構
造で互いに接続されている。また前記第二領域7は、三
次元的なネットワーク構造で互いに接続されていると共
に、前記一対の電極3に繋がるように配置されている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A power resistor according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 1 is a schematic view showing a power resistor according to the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view showing a power resistor according to the present invention, and FIG. 3 is a schematic diagram showing a microstructure of the sintered body of FIG. FIG. The resistor 1 is composed of a pair of electrodes 3 formed on both sides of a disk-shaped sintered body 2. As shown in FIG. 3, the sintered body 2 has a structure containing aluminum oxide particles 4a and 4b, titanium carbide particles 5, and unavoidable impurities. The sintered body 2
As shown in FIG. 3, the first region 6 has a small amount of titanium carbide or does not contain titanium carbide, and the second region 7 has a larger amount of titanium carbide than the first region 6. Indicates a substantially insulating property, and the second region 7 indicates a substantially conductive property. In the sintered body 2, the titanium carbide particles 5 in the second region 7 are connected to each other in a three-dimensional network structure. The second regions 7 are connected to each other in a three-dimensional network structure, and are arranged so as to be connected to the pair of electrodes 3.

【0020】従来の酸化アルミニウム−炭化チタン複合
セラミックの微構造を図4に示す。このように、酸化ア
ルミニウム粒子8と、炭化チタン粒子9を含む組織を有
する。この様な組織を有するセラミックの、炭化チタン
組成と抵抗率の関係を図5に示す。
FIG. 4 shows the microstructure of a conventional aluminum oxide-titanium carbide composite ceramic. Thus, it has a structure including aluminum oxide particles 8 and titanium carbide particles 9. FIG. 5 shows the relationship between the titanium carbide composition and the resistivity of the ceramic having such a structure.

【0021】図4に示したような、酸化アルミニウム−
炭化チタン複合セラミック材料の抵抗率は、導電物質で
ある炭化チタン9の量を変えることで調節することがで
きる。図5から判るように、炭化チタンが20体積%以下
では、抵抗率は10-2Ωcm以下であり、組成の変化に対す
る抵抗率の変化は小さい。10-2〜1014Ωcmの抵抗率を有
する焼結体を得ることも、理論上不可能ではない。しか
し、図5からもわかるように、組成の変化に対する抵抗
率の変化が大きくなる。例えば、抵抗率10-2〜10-1Ωcm
での組成差は5.2 体積%あるのに対し、抵抗率10-1〜10
0 Ωcmでの組成差は1.6 体積%、抵抗率100 〜10Ωcmで
の組成差は0.5 体積%となり、事実上、抵抗率の制御は
非常に困難なものとなる。その結果、複数の抵抗体を製
造した場合、個々の抵抗値の違いが著しく大きくなり、
また、一個の抵抗体内部の抵抗値も著しく不均一にな
り、安定した抵抗値を持つ抵抗体を作ることは非常に困
難になる。
Aluminum oxide as shown in FIG.
The resistivity of the titanium carbide composite ceramic material can be adjusted by changing the amount of the titanium carbide 9 as the conductive substance. As can be seen from FIG. 5, when titanium carbide is 20% by volume or less, the resistivity is 10 −2 Ωcm or less, and the change in resistivity with respect to the change in composition is small. It is not theoretically impossible to obtain a sintered body having a resistivity of 10 -2 to 10 14 Ωcm. However, as can be seen from FIG. 5, the change in the resistivity with respect to the change in the composition is large. For example, resistivity 10 -2 to 10 -1 Ωcm
Is 5.2% by volume, whereas the resistivity is 10 -1 to 10
0 composition difference at Ωcm 1.6 vol%, the composition difference between the resistivity of 10 0 ~10Omucm stood 0.5% by volume, effect, control of the resistivity becomes very difficult. As a result, when a plurality of resistors are manufactured, the difference between the individual resistance values becomes extremely large,
In addition, the resistance value inside one resistor becomes extremely non-uniform, and it becomes very difficult to produce a resistor having a stable resistance value.

【0022】図3中、炭化チタン量が少ないかもしくは
炭化チタンを含まない前記第一領域6が絶縁性物質相、
この第一領域6より炭化チタン量の多い前記第二領域7
が導電性物質相になる。導電性物質相の抵抗率の調整を
炭化チタンで制御するために、焼結体中の第二領域7の
体積分率と、焼結体の抵抗率の関係は図6の様になり、
10-2〜102 Ωcmの範囲で抵抗率の制御性が良好な焼結体
を得ることが可能になった。
In FIG. 3, the first region 6 having a small amount of titanium carbide or containing no titanium carbide has an insulating material phase,
The second region 7 having a larger amount of titanium carbide than the first region 6
Becomes a conductive substance phase. In order to control the adjustment of the resistivity of the conductive substance phase with titanium carbide, the relationship between the volume fraction of the second region 7 in the sintered body and the resistivity of the sintered body is as shown in FIG.
It has become possible to obtain a sintered body having good controllability of resistivity in the range of 10 -2 to 10 2 Ωcm.

【0023】また、図3に示したような、炭化チタン量
が少ないかもしくは炭化チタンを含まない第一領域6
と、この第一領域6より炭化チタン量の多い第二領域7
とからなる構造により、焼結性を阻害する炭化チタンが
存在しても、炭化チタン量が少ないかもしくは炭化チタ
ンを含まない第一領域6が緻密化するため、全体の焼結
性が向上する利点も有する。
Further, as shown in FIG. 3, the first region 6 containing a small amount of titanium carbide or containing no titanium carbide is used.
And a second region 7 having a larger amount of titanium carbide than the first region 6.
By the structure comprising, even if titanium carbide that inhibits sinterability is present, the amount of titanium carbide is small or the first region 6 containing no titanium carbide is densified, so that the overall sinterability is improved. It also has advantages.

【0024】前記第二領域7中の炭化チタン粒子5の平
均粒径(RTiC )は、20μm 以下であることが好まし
い。結晶粒の平均粒径がこれ以上だと、焼結性を阻害し
焼結体が緻密化しないおそれがある。すなわち、炭化チ
タン粒子粒径が大きくなることは同じ抵抗率を得るため
に、より高濃度の炭化チタンが必要になる。そのため、
焼結体の密度の低下を招き好ましくない。焼結体の相対
密度が85%以上の緻密な焼結体を得るためには、前記第
二領域中の炭化チタンは70体積%以下にすることが好ま
しい。
The average particle size (R TiC ) of the titanium carbide particles 5 in the second region 7 is preferably not more than 20 μm. If the average grain size of the crystal grains is more than this, sinterability may be impaired and the sintered body may not be densified. That is, an increase in the particle size of the titanium carbide particles requires a higher concentration of titanium carbide in order to obtain the same resistivity. for that reason,
It is not preferable because the density of the sintered body is reduced. In order to obtain a dense sintered body having a relative density of the sintered body of 85% or more, it is preferable that the titanium carbide in the second region is 70% by volume or less.

【0025】また、前記第二領域7中の酸化アルミニウ
ム粒子4bの平均粒径(RAl)と、炭化チタン粒子5の
平均粒径(RTiC )との比(RAl/RTiC )は、その粒
径比は0.1 以上であることが好ましい。
The ratio (R Al / R TiC ) between the average particle size (R Al ) of the aluminum oxide particles 4b in the second region 7 and the average particle size (R TiC ) of the titanium carbide particles 5 is as follows: The particle size ratio is preferably 0.1 or more.

【0026】前記第二領域7中の酸化アルミニウム粒子
4bの平均粒径RAlと、炭化チタン粒子5の平均粒径R
TiC との比RAl/RTiC が0.1未満になると、前記第
二領域7が導電性を持つためには、前記第二領域7中の
炭化チタン粒子の割合が著しく増加する。これにともな
い、焼結体が緻密化しなくなるおそれがある。
The average particle size R Al of the aluminum oxide particles 4b in the second region 7 and the average particle size R of the titanium carbide particles 5
When the ratio R Al / R TiC to TiC is less than 0.1, the ratio of titanium carbide particles in the second region 7 is significantly increased in order for the second region 7 to have conductivity. Accordingly, the sintered body may not be densified.

【0027】また、炭化チタン量が少ないかもしくは炭
化チタンを含まない前記第一領域と、この第一領域6よ
り炭化チタン量の多い前記第二領域7の、個々の大きさ
は、特に限定されるものではない。ただし、前記第二領
域7は前記第一領域6の大きさの10倍以内であることが
好ましい。これ以上大きくなると、同じ抵抗率を得るた
めに、より多量の第二領域組成が必要になる。そのた
め、焼結体中の炭化チタン濃度が高濃度になることで、
焼結体の密度の低下を招き好ましくない。
The respective sizes of the first region having a small amount of titanium carbide or containing no titanium carbide and the second region 7 having a larger amount of titanium carbide than the first region 6 are particularly limited. Not something. However, the size of the second region 7 is preferably within 10 times the size of the first region 6. If it is larger than this, a larger amount of the second region composition is required to obtain the same resistivity. Therefore, by increasing the concentration of titanium carbide in the sintered body,
It is not preferable because the density of the sintered body is reduced.

【0028】前記焼結体に含まれる導電物質は化学量論
的に定比な炭化チタンに限定されるものではない。実質
的に導電性を有する組成であれば、非科学的量論組成で
ある炭化チタンTiCX であってもかまわない。また、
実質的に導電性を有する組成であれば、炭窒化チタンで
あることも許容する。
The conductive material contained in the sintered body is not limited to stoichiometric stoichiometric titanium carbide. As long as the composition has substantially conductivity, titanium carbide TiC X which is a non-stoichiometric stoichiometric composition may be used. Also,
Titanium carbonitride is acceptable as long as the composition has substantially conductivity.

【0029】以上説明したように、本発明に係わる電力
用抵抗体は、緻密で、適切かつ安定な電気抵抗有し、温
度変化に対して抵抗値の変化が少なく、高温での耐酸化
特性に極めて優れている。
As described above, the power resistor according to the present invention has a dense, appropriate and stable electric resistance, has a small change in resistance value with respect to temperature change, and has excellent oxidation resistance at high temperatures. Very good.

【0030】前記焼結体2には、熱容量に影響を与えな
い程度の量の不純物、例えば酸窒化アルミニウム、酸炭
化アルミニウムなどであれば、少なくとも20重量%程
度の含有量であれば許容する。前記焼結体2の円形両面
に形成された一対の電極3はアルミニウム、鉄、真鍮等
の金属、または、Hf、Nb、Ta、Tiの炭化物あるいは窒化
物等、良好な導電性を有する材料で形成することが好ま
しい。
The sintered body 2 is allowed to have at least about 20% by weight of impurities, such as aluminum oxynitride and aluminum oxycarbide, in such an amount that does not affect the heat capacity. The pair of electrodes 3 formed on both circular surfaces of the sintered body 2 are made of a metal having good conductivity, such as a metal such as aluminum, iron, or brass, or a carbide or nitride of Hf, Nb, Ta, or Ti. Preferably, it is formed.

【0031】また、高電圧下で前記電力用抵抗体1を使
用する場合には、前記焼結体2の沿面での放電を防止す
るため、前記焼結体2の外周面に、酸化アルミニウム、
酸化珪素、ホウ珪酸ガラスの様なセラミック。またはポ
リイミドのような絶縁性耐熱樹脂で、絶縁層を形成する
ことが好ましい。
When the power resistor 1 is used under a high voltage, aluminum oxide, aluminum oxide, or the like is applied to the outer peripheral surface of the sintered body 2 in order to prevent discharge on the surface of the sintered body 2.
Ceramics such as silicon oxide and borosilicate glass. Alternatively, the insulating layer is preferably formed using an insulating heat-resistant resin such as polyimide.

【0032】なお、本発明に係わる電力用抵抗体は前述
したように円板状を有する構造に限定されない、例え
ば、図7に示すように環状の焼結体10と、前記焼結体10
の対向する環状両面に形成された電極11から電力用抵抗
体12を構成してもよい。また図8に示すように、棒状焼
結体13と前記焼結体13の両端に形成された一対の電極14
から電力用抵抗体15を構成してもよい。
The power resistor according to the present invention is not limited to a disk-shaped structure as described above. For example, as shown in FIG.
The power resistor 12 may be composed of the electrodes 11 formed on the opposite annular surfaces. As shown in FIG. 8, a rod-shaped sintered body 13 and a pair of electrodes 14 formed at both ends of the sintered body 13 are formed.
, The power resistor 15 may be formed.

【0033】次に本発明に係わる電力用抵抗体の製造方
法を詳細に説明する。まず、平均粒径1 μm 以下、好ま
しくは焼結性が良好な0.5 μm 以下の酸化アルミニウム
粉末と、平均粒径5 μm 以下、好ましくは焼結性を阻害
しない平均粒径2 μm 以下の炭化チタン粉末とを水また
は有機溶剤の存在下でボールミル中で混合する。この工
程において、炭化チタン粉末の量が少ないかもしくは炭
化チタン粉末を含まない第一混合粉末と炭化チタン粉末
が前記第一粉末より多い第二混合粉末を調整する。
Next, a method of manufacturing a power resistor according to the present invention will be described in detail. First, an aluminum oxide powder having an average particle size of 1 μm or less, preferably 0.5 μm or less, which has good sinterability, and titanium carbide having an average particle size of 5 μm or less, and preferably having an average particle size of 2 μm or less which does not hinder sinterability. The powder is mixed in a ball mill in the presence of water or an organic solvent. In this step, a first mixed powder containing a small amount of titanium carbide powder or containing no titanium carbide powder and a second mixed powder containing more titanium carbide powder than the first powder are prepared.

【0034】次いで、前記第一、第二の混合粉末に必要
に応じてパラフィン、ポリビニルアルコール等の成型用
バインダーをそれぞれ添加し、所定の目開きの篩を通過
させることにより第一、第二の造粒原料を作る。第一、
第二の造粒原料は、この様な方法の他に、前記第一、第
二の混合粉末に、それぞれ有機溶剤、成型用バインダー
を混合してスラリーを調整し、これらスラリーをそれぞ
れスプレードライヤーなどを用いて前記溶剤を除去する
ことにより調整することもできる。
Next, if necessary, a molding binder such as paraffin or polyvinyl alcohol is added to each of the first and second mixed powders, and the mixture is passed through a sieve having a predetermined opening to thereby form the first and second mixed powders. Make granulated raw materials. first,
In addition to the above method, the second granulated raw material is mixed with the first and second mixed powders, respectively, with an organic solvent and a molding binder to prepare slurries. It can also be adjusted by removing the solvent using

【0035】次いで、前記第一、第二の造粒原料を所定
の比率で例えばV型混合機などで乾式混合した後、成型
して成形体を得る。成型手段としては、例えば金型プレ
ス法、押し出し法、射出成型法などを採用することがで
きる。金型プレス法で成型する場合には、焼結体の相対
密度を高めるために成型圧力は少なくとも20MPa 以上で
あることが好ましい。これ以下では成形体の充填率が小
さく、充分に焼結しないおそれがある。さらに均一な充
填率を持つ成形体を得るためには、金型の内面が充分に
なめらかな状態、可能であるならば鏡面仕上げであるこ
とが望ましい。静水圧加圧することは、成形体の充填率
を均一化することに有効である。
Next, the first and second granulated raw materials are dry-mixed at a predetermined ratio using, for example, a V-type mixer, and then molded to obtain a molded body. As the molding means, for example, a mold pressing method, an extrusion method, an injection molding method, or the like can be adopted. When molding by a die pressing method, the molding pressure is preferably at least 20 MPa or more in order to increase the relative density of the sintered body. Below this, there is a possibility that the filling rate of the compact is small and the compact is not sufficiently sintered. In order to obtain a molded product having a more uniform filling rate, it is desirable that the inner surface of the mold be sufficiently smooth, and if possible, be mirror-finished. Applying hydrostatic pressure is effective in making the filling rate of the molded body uniform.

【0036】得られた成形体は、用いたバインダーに適
した温度で脱バインダーを行う。例えばバインダーにパ
ラフィンを用いた場合には、500 〜600 ℃が好適であ
る。焼成工程を脱バインダーと異なる炉で実施する場合
には、脱バインダー工程後なるべく速やかに行うことが
好ましい。また、焼成は、1300〜1800℃の範囲で行うこ
とが好ましい。1300℃以下では、焼結が進まず焼結体の
緻密性に劣る。この結果、単位体積あたりの熱容量が小
さくなる。一方、1800℃以上では、焼結体中の炭化チタ
ンと酸化アルミニウムとの反応が著しくなり、炭化チタ
ン粒子の導電性が失われるため好ましくない。保持温度
までの昇温速度は500 ℃/ 時間以下であることが好まし
い。これ以上早く昇温すると、成形体の収縮の不均一に
よって、成形体が壊れてしまうことがある。保持時間は
1時間以上であることが好ましい。これより短いと焼結
が進まず、焼結体の緻密性に劣る。
The obtained molded body is debindered at a temperature suitable for the binder used. For example, when paraffin is used as the binder, the temperature is preferably 500 to 600 ° C. When the firing step is performed in a furnace different from the binder removing step, it is preferable to perform the firing step as quickly as possible after the binder removing step. Further, it is preferable that the firing is performed in the range of 1300 to 1800 ° C. At a temperature of 1300 ° C. or lower, sintering does not proceed and the sintered body is inferior in density. As a result, the heat capacity per unit volume decreases. On the other hand, when the temperature is 1800 ° C. or more, the reaction between titanium carbide and aluminum oxide in the sintered body becomes remarkable, and the conductivity of the titanium carbide particles is lost. The rate of temperature rise up to the holding temperature is preferably 500 ° C./hour or less. If the temperature is raised earlier than this, the molded body may be broken due to uneven shrinkage of the molded body. The holding time is preferably one hour or more. If it is shorter than this, sintering will not proceed and the sintered body will be inferior in density.

【0037】均熱をとるために成形体はカーボン、また
は酸化アルミニウム製の匣に入れて焼成することが好ま
しい。雰囲気は、窒素またはアルゴンガス等非酸化性雰
囲気が好ましい。
In order to obtain a uniform temperature, the molded body is preferably placed in a box made of carbon or aluminum oxide and fired. The atmosphere is preferably a non-oxidizing atmosphere such as nitrogen or argon gas.

【0038】得られた焼結体の両主面を研磨し、スパッ
タリング、溶射、焼き付けなどの手段によりアルミニウ
ム、ニッケルのような金属、またはHf、Nb、Taもしくは
Tiの炭化物或いはTiN などからなる電極3を形成する。
Both main surfaces of the obtained sintered body are polished, and a metal such as aluminum or nickel, or a metal such as Hf, Nb, Ta or
An electrode 3 made of Ti carbide or TiN is formed.

【0039】抵抗体に高電圧がかかる場合には、前記焼
結体の外周面に必要に応じて、絶縁層を形成する。絶縁
層の材料としては有機系材料、無機系材料があるが、耐
熱性の点からは無機系材料が好ましい。さらに熱膨張率
も焼結体2と同程度のものが好ましい。両者に大きな差
があれば、絶縁層と焼結体との接触界面に亀裂が発生
し、絶縁層が剥離してしまう。また、充分な遮蔽効果を
得るためには、気孔率が10%以下の緻密な層にする必要
がある。以上の制約から絶縁層には、ホウケイ酸ガラ
ス、鉛ガラス等のガラス材料、酸化アルミニウム、およ
びまたは、酸化ケイ素を主成分とする無機系コーティン
グ材料、例えば酸化アルミニウムと燐酸アルミニウムを
主成分とするコーティング材料が最適である。
When a high voltage is applied to the resistor, an insulating layer is formed on the outer peripheral surface of the sintered body as necessary. As a material of the insulating layer, there are an organic material and an inorganic material, and from the viewpoint of heat resistance, an inorganic material is preferable. Further, the coefficient of thermal expansion is preferably the same as that of the sintered body 2. If there is a large difference between the two, a crack will be generated at the contact interface between the insulating layer and the sintered body, and the insulating layer will peel off. In order to obtain a sufficient shielding effect, it is necessary to form a dense layer having a porosity of 10% or less. Due to the above restrictions, the insulating layer is made of a glass material such as borosilicate glass and lead glass, aluminum oxide, and / or an inorganic coating material mainly containing silicon oxide, for example, a coating mainly containing aluminum oxide and aluminum phosphate. The material is optimal.

【0040】上記材料は、刷毛により塗布またはスプレ
ーコーティングまたはディップコーティング等の方法で
皮膜を形成した後、材料に適した温度で熱処理して絶縁
層を形成する。絶縁層の厚さは、抵抗体の形状および使
用する電流電圧によるが、電力用抵抗体として使用する
場合には100 μm 以上あることが望ましい。
The above material is coated with a brush, formed into a film by a method such as spray coating or dip coating, and then heat-treated at a temperature suitable for the material to form an insulating layer. The thickness of the insulating layer depends on the shape of the resistor and the current and voltage to be used. However, when used as a power resistor, the thickness is preferably 100 μm or more.

【0041】以上説明したように、本発明に係わる電力
用抵抗体の製造方法は、緻密で、適切かつ安定な電気抵
抗有し、温度変化に対して抵抗値の変化が少なく、高温
での耐酸化特性に極めて優れている電力用抵抗体を提供
できる。
As described above, the method for manufacturing a power resistor according to the present invention has a dense, appropriate and stable electric resistance, has a small change in resistance with respect to temperature change, and has a high resistance to acid at high temperatures. It is possible to provide a power resistor having extremely excellent chemical characteristics.

【0042】次に、本発明に係わる電力用抵抗器を図9
を参照して説明する。電力用抵抗器16は、絶縁性指示棒
17と一対の絶縁性支持板18a 、18b と、複数の中空円筒
状の抵抗体19と、冷却フィン22と、弾性体20とから構成
されている。
Next, a power resistor according to the present invention is shown in FIG.
This will be described with reference to FIG. The power resistor 16 is an insulating indicator rod
17, a pair of insulating support plates 18 a and 18 b, a plurality of hollow cylindrical resistors 19, cooling fins 22, and elastic bodies 20.

【0043】前記一対の絶縁性支持板18a 、18b は、前
記に指示棒17に嵌入されている。複数の中空円筒状の抵
抗体19は、それぞれの間に例えばステンレス、またはア
ルミニウムからなる複数の冷却フィン25が介在され、前
記支持板18a 、18b 間に位置する前記指示棒17部分に嵌
入されている。前記弾性体20は、一方の支持板、例えば
支持板18a と前記冷却フィン22が介在された前記複数の
抵抗体19の間に配置されると共に、前記支持棒17に嵌入
されている。前記弾性体20は、前記複数の抵抗体19と、
これらに介在する複数の冷却フィン22に弾性力を付与し
てそれらを前記支持棒17に積層するために用いられる。
ナット21a 、21b は、前記支持棒17の両端に螺合されて
いる。前記ナット21a 、21b は前記支持板18a 、18b 間
に配置された前記弾性体20を押圧するために用いられ
る。
The pair of insulating support plates 18a and 18b are fitted on the indicator rod 17 as described above. The plurality of hollow cylindrical resistors 19 are interposed between the plurality of cooling fins 25 made of, for example, stainless steel or aluminum, and fitted into the indicator rod 17 located between the support plates 18a and 18b. I have. The elastic body 20 is disposed between one support plate, for example, the support plate 18a and the plurality of resistors 19 with the cooling fins 22 interposed therebetween, and is fitted into the support rod 17. The elastic body 20 includes the plurality of resistors 19,
The plurality of cooling fins 22 interposed therebetween are used to apply elastic force to laminate the cooling fins 22 on the support rod 17.
The nuts 21a and 21b are screwed to both ends of the support rod 17. The nuts 21a and 21b are used to press the elastic body 20 disposed between the support plates 18a and 18b.

【0044】前期投入抵抗ユニットに組み込まれた抵抗
体( 電力用抵抗体)19 は、図7に示すように環状の焼結
体10と、前記焼結体10の対向する環状両面に形成された
電極11から電力用抵抗体12を構成される。前記焼結体
は、炭化チタンが少ないかもしくは炭化チタンを含まな
い第一領域と、この第一領域より炭化チタン量が多く、
かつ前記一対の電極に繋がるように配置された第二領域
とから構成されている。
As shown in FIG. 7, the resistor (power resistor) 19 incorporated in the closing resistor unit is formed on the annular sintered body 10 and on both opposed annular faces of the sintered body 10. An electrode 11 constitutes a power resistor 12. The sintered body has a low titanium carbide or a first region containing no titanium carbide, and a large amount of titanium carbide than the first region,
And a second region arranged to be connected to the pair of electrodes.

【0045】以上説明したように、本発明によれば、緻
密で、適切かつ安定な電気抵抗有し、温度変化に対して
抵抗値の変化が少なく、高温での耐酸化特性に極めて優
れる複数の電力用抵抗体に、隣接して冷却フィンを配置
することにより、電気エネルギー吸収に伴う温度上昇
を、前記冷却フィンにより放散でき、前記抵抗体の温度
上昇を、抵抗体の酸化温度以下に抑制できる。このよう
な、抵抗体を複数備えた電力用抵抗器は、高温で安定し
て使用できるため、電力用抵抗器の小型化および高性能
化を図ることができる。
As described above, according to the present invention, there are provided a plurality of fine and excellent electric resistances having a small resistance change with respect to temperature change, and having excellent resistance to oxidation at high temperature. By arranging the cooling fins adjacent to the power resistor, the temperature rise caused by the absorption of electric energy can be dissipated by the cooling fins, and the temperature rise of the resistor can be suppressed below the oxidation temperature of the resistor. . Such a power resistor provided with a plurality of resistors can be used stably at a high temperature, so that the power resistor can be reduced in size and improved in performance.

【0046】[0046]

【実施例】以下、本発明の好ましい実施例を詳細に説明
する。 実施例1〜22 まず、平均粒径0.2μm 以下の酸化アルミニウム粉末
に、パラフィンエマルジョンを水に5重量%添加混合し
た溶液を加え、スラリー化した後、スプレードライヤー
を使用して平均粒径100μm に造粒、第一の造粒粉末
を得た。次に、平均粒径0.2μm 以下の酸化アルミニ
ウム粉末と、平均粒径0.5μm の炭化チタン粉末とを
秤量し、エタノール溶剤の存在下でボールミル中で混合
した。これを乾燥した後、この乾燥混合粉末に、パラフ
ィンエマルジョンを水に5重量%添加混合した溶液を加
えスラリー化し、スプレードライヤーを使用して平均粒
径100μm に造粒、第二の造粒粉末を得た。第一の造
粒粉末と第二の造粒粉末を表1に示すような割合でV型
混合機を使用して混合し、混合造粒粉末を得た。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail. Examples 1 to 22 First, a solution obtained by adding 5% by weight of a paraffin emulsion to water was added to aluminum oxide powder having an average particle diameter of 0.2 μm or less, and the mixture was slurried. To obtain a first granulated powder. Next, an aluminum oxide powder having an average particle size of 0.2 μm or less and a titanium carbide powder having an average particle size of 0.5 μm were weighed and mixed in a ball mill in the presence of an ethanol solvent. After drying, a solution obtained by adding 5% by weight of a paraffin emulsion to water is added to the dried mixed powder to form a slurry, and the slurry is granulated to have an average particle diameter of 100 μm using a spray drier. Obtained. The first granulated powder and the second granulated powder were mixed at a ratio as shown in Table 1 using a V-type mixer to obtain a mixed granulated powder.

【0047】これら混合造粒粉末を、鋼鉄製金型を用
い、成型圧力500kg/cm 2 で、直径12.5cm、厚さ
3.1cmの円板状に成型し成形体を得た。この成型体の
上下円面と外周面の境界線部を1mm、面取りを行った
後、窒素ガス中600℃で4時間保持することにより、
脱バインダーを行った。次にこの脱脂体を、アルゴンガ
ス雰囲気中、200℃/時間で昇温し、1500℃で1
時間保持することにより、直径10cm、厚さ2.5cmの
焼結体を得た。
Using a steel mold, the mixed granulated powder was molded into a disk having a diameter of 12.5 cm and a thickness of 3.1 cm at a molding pressure of 500 kg / cm 2 to obtain a molded body. The boundary between the upper and lower circular surfaces and the outer peripheral surface of the molded body was chamfered by 1 mm, and then held at 600 ° C. for 4 hours in a nitrogen gas.
The binder was removed. Next, the degreased body was heated at a rate of 200 ° C./hour in an argon gas atmosphere.
By holding for a time, a sintered body having a diameter of 10 cm and a thickness of 2.5 cm was obtained.

【0048】この焼結体の上下両端面を400番砥石で
研削し、この面にアルミニウム電極を溶射法で形成し、
電力用抵抗体を得た。得られた電力用抵抗体について、
焼結体中の第一領域、第二領域中の炭化チタン含有量、
焼結体中心部の抵抗率、焼結体内の抵抗比、抵抗温度特
性、空気中での耐酸化性を調査した。結果を表1に示
す。なお、各調査の方法は以下の通りである。
The upper and lower end surfaces of this sintered body are ground with a No. 400 grindstone, and aluminum electrodes are formed on this surface by thermal spraying.
A power resistor was obtained. About the obtained power resistor,
First region in the sintered body, titanium carbide content in the second region,
The resistivity of the center of the sintered body, the resistance ratio in the sintered body, the resistance temperature characteristic, and the oxidation resistance in air were investigated. Table 1 shows the results. The method of each survey is as follows.

【0049】(1)炭化チタン含有量 第一の造粒原料または第二の造粒原料を、それぞれ混合
することなく単独で金型プレスを用いて成型した。バイ
ンダーを除去した後、アルゴン雰囲気中、15000
℃、50MPaで1時間ホットプレスした。この焼結体
を炭化珪素乳棒と乳鉢で粉砕して粉末化した後、カーボ
ン組成は高周波加熱赤外吸収法で、チタンはICP吸光
分析法で定量分析し、炭化チタン組成を求め、この値を
便宜上、各領域の炭化チタン量とした。重量組成から体
積組成への換算は、炭化チタンの真密度を4.9g/cm3
として行った。
(1) Titanium Carbide Content The first granulated raw material or the second granulated raw material was molded independently using a mold press without mixing. After removing the binder, 15000 in an argon atmosphere
It hot-pressed at 50 degreeC and 50 degreeC for 1 hour. After pulverizing this sintered body with a silicon carbide pestle and a mortar and pulverizing it, the carbon composition is quantitatively analyzed by high frequency heating infrared absorption method, and the titanium is quantitatively analyzed by ICP absorption spectrometry to obtain the titanium carbide composition. For convenience, the amount of titanium carbide in each region was used. The conversion from the weight composition to the volume composition is obtained by calculating the true density of titanium carbide to 4.9 g / cm 3.
Went as.

【0050】(2)焼結体中の酸化アルミニウム粒子粒
径、炭化チタニウム粒子粒径 焼結体をダイアモンドカッターで切断した後、切断面を
鏡面研磨した。この面を化学エッチングして粒子粒界を
可視化し、各粒子の平均粒径を測定した。
(2) Particle Size of Aluminum Oxide Particles and Particle Size of Titanium Carbide Particles in Sintered Body After cutting the sintered body with a diamond cutter, the cut surface was mirror-polished. This surface was chemically etched to visualize the grain boundaries, and the average grain size of each grain was measured.

【0051】(3)焼結体中心部の抵抗率 焼結体中心部から、ダイアモンドカッターを使用して、
2×2×30mmの試験片を切り出した。スパッタリング
法にて電極を形成し、4端子法で抵抗率を測定した。
(3) Resistivity at the center of the sintered body From the center of the sintered body, using a diamond cutter,
A test piece of 2 × 2 × 30 mm was cut out. Electrodes were formed by a sputtering method, and the resistivity was measured by a four-terminal method.

【0052】(4)焼結体内の抵抗比 抵抗体の一方の電極を研削除去し、露出した焼結体表面
に直径4mm の電極を等間隔で185個形成した。これら
点電極と対面の電極との間の抵抗値を測定し、この値の
最小値と最大値の比を焼結体内の抵抗比とした。実用
上、抵抗比は10以下であることが好ましい。
(4) Resistance Ratio in the Sintered Body One electrode of the resistor was removed by grinding, and 185 electrodes having a diameter of 4 mm were formed at equal intervals on the exposed surface of the sintered body. The resistance value between the point electrode and the facing electrode was measured, and the ratio of the minimum value to the maximum value was defined as the resistance ratio in the sintered body. In practice, the resistance ratio is preferably 10 or less.

【0053】(5)抵抗温度特性、空気中での耐酸化性 抵抗体を温度が制御できる恒温槽、または電気炉に入
れ、抵抗値を測定した。耐酸化性は任意温度に一定時間
抵抗体を電気炉入れ、入れる前との間の抵抗値の比を求
めた。この抵抗値の比が2を超える値になる温度を酸化
温度とした。
(5) Resistance temperature characteristics, oxidation resistance in air The resistors were placed in a constant temperature bath or an electric furnace whose temperature could be controlled, and the resistance value was measured. The oxidation resistance was determined by placing a resistor in an electric furnace at an arbitrary temperature for a certain period of time, and calculating a ratio of resistance values before and after the resistor was placed. The temperature at which the ratio of the resistance values exceeds 2 was defined as the oxidation temperature.

【0054】実施例23〜45 原料に用いる酸化アルミニウム粉末に、平均粒径0.9
μm の粉末を使用した以外は、実施例1〜22と同様な
方法で電力用抵抗体を作成し、実施例1〜24と同様な
方法で評価した。結果を表2に示す。
Examples 23 to 45 The aluminum oxide powder used as a raw material had an average particle size of 0.9.
Power resistors were prepared in the same manner as in Examples 1 to 22, except that a powder of μm was used, and evaluated in the same manner as in Examples 1 to 24. Table 2 shows the results.

【0055】実施例46〜66 原料に用いる炭化チタン粉末に、平均粒径1.4 μm の粉
末を使用した以外は、実施例1 〜22と同様な方法で電力
用抵抗体を作成し、実施例1 〜24と同様な方法で評価し
た。結果を表3に示す。
Examples 46 to 66 A power resistor was prepared in the same manner as in Examples 1 to 22 except that a powder having an average particle size of 1.4 μm was used as the titanium carbide powder used as a raw material. 2424 were evaluated in the same manner. Table 3 shows the results.

【0056】[0056]

【表1】 [Table 1]

【0057】[0057]

【表2】 [Table 2]

【0058】[0058]

【表3】 [Table 3]

【0059】実施例47 実施例1〜22と同じ原料を用い、実施例11と同様な
方法で、図7に示したような、外径125mm、内径25
mm、厚さ25mmの環状の電力用抵抗体を作成した。この
抵抗体の抵抗値は0.03Ωであった。この抵抗体を図
9に示すように、外径200mm、内径25mm、厚さ2mm
のアルミニウム製冷却フィンを介して所定枚数積み重
ね、各抵抗体および冷却フィンの中心部を貫通する酸化
アルミニウムからなる絶縁性指示棒と、弾性体により支
持して抵抗器を構成した。この抵抗器の抵抗値は1Ωで
あった。空気中、この抵抗器に、100V 電圧で6kW
の電気エネルギーを流し続けた。その結果、2時間後、
抵抗器の抵抗値は1.3Ω、温度480℃で一定となっ
た。このまま通電を続けても抵抗値に変化はないことが
確認された。
Example 47 An outer diameter of 125 mm and an inner diameter of 25 mm as shown in FIG.
An annular power resistor having a thickness of 25 mm and a thickness of 25 mm was prepared. The resistance value of this resistor was 0.03Ω. As shown in FIG. 9, this resistor has an outer diameter of 200 mm, an inner diameter of 25 mm, and a thickness of 2 mm.
A predetermined number of the resistors were stacked via the aluminum cooling fins, and an insulating indicator rod made of aluminum oxide penetrating through each resistor and the center of the cooling fins, and supported by an elastic body to constitute a resistor. The resistance value of this resistor was 1Ω. 6kW at 100V voltage in air
Continued to flow electrical energy. As a result, two hours later,
The resistance value of the resistor became constant at 1.3Ω and the temperature was 480 ° C. It was confirmed that the resistance value did not change even if the energization was continued as it was.

【0060】比較例1〜3 実施例1〜22の第二の造粒粉末のみで実施例1〜22
と同様な成形体を作成し、実施例1 〜22と同様にして、
電力用抵抗体を作成、評価した。
Comparative Examples 1-3 Examples 1-22 using only the second granulated powder of Examples 1-22
A molded body similar to the above was prepared, and in the same manner as in Examples 1 to 22,
A power resistor was prepared and evaluated.

【0061】比較例4〜6 実施例1〜22の第二の造粒粉末のみで実施例1〜22
と同様な成形体を作成した。
Comparative Examples 4 to 6 Examples 1 to 22 using only the second granulated powder of Examples 1 to 22
A molded body similar to the above was prepared.

【0062】比較例7〜9 実施例23〜45の第二の造粒粉末のみで実施例23〜
45と同様な成形体を作成した。
Comparative Examples 7 to 9 Examples 23 to 45 were obtained using only the second granulated powder of Examples 23 to 45.
A molded product similar to that of No. 45 was produced.

【0063】比較例10〜12 実施例46〜66の第二の造粒粉末のみで実施例46〜
66と同様な成形体を作成した。
Comparative Examples 10 to 12 Only the second granulated powders of Examples 46 to 66 were used.
A molded product similar to that of No. 66 was produced.

【0064】以上の成形体を、バインダーを除去した
後、アルゴン雰囲気中、1500℃、50MPaで1時
間ホットプレスした。この後、実施例1〜66と同様に
して、電力用抵抗体を作成、評価した。以上、比較例の
結果を表4に示す。
After removing the binder, the above molded body was hot-pressed at 1500 ° C. and 50 MPa for 1 hour in an argon atmosphere. Thereafter, a power resistor was prepared and evaluated in the same manner as in Examples 1 to 66. Table 4 shows the results of the comparative example.

【0065】[0065]

【表4】 [Table 4]

【0066】比較例13 比較例4と同じ原料を用い、同じ方法で、図7に示した
ような、外径125mm、内径25mm、厚さ25mmの環状
の電力用抵抗体を作成した。この抵抗体の抵抗値は0.
03Ωであった。この抵抗体を図9に示すように、外径
200mm、内径25mm、厚さ2mmのアルミニウム製冷却
フィンを介して所定枚数積み重ね、各抵抗体および冷却
フィンの中心部を貫通する酸化アルミニウムからなる絶
縁性指示棒と、弾性体により支持して抵抗器を構成し
た。この抵抗器の抵抗値は1 Ωであった。空気中、この
抵抗器に、100V 電圧で6kWの電気エネルギーを流し
続けた。その結果、1時間後、抵抗体内部の部分的な異
常発熱が原因で、前記抵抗体の複数枚に亀裂が発生し、
抵抗体が破壊された。
COMPARATIVE EXAMPLE 13 An annular power resistor having an outer diameter of 125 mm, an inner diameter of 25 mm, and a thickness of 25 mm as shown in FIG. The resistance value of this resistor is 0.
03Ω. As shown in FIG. 9, a predetermined number of such resistors are stacked via aluminum cooling fins having an outer diameter of 200 mm, an inner diameter of 25 mm, and a thickness of 2 mm, and an insulating material made of aluminum oxide penetrating the center of each resistor and the cooling fins. The resistor was supported by the sex indicator rod and an elastic body. The resistance value of this resistor was 1 Ω. In air, the resistor continued to flow 6 kW of electrical energy at 100V voltage. As a result, one hour later, due to partial abnormal heat generation inside the resistor, cracks occur in a plurality of the resistors,
The resistor has been destroyed.

【0067】異常、前記表1〜4から明らかなように、
炭化チタンが少ないかもしくは炭化チタンを含まない第
一領域と、この第一領域より炭化チタン量が多く、かつ
前記一対の電極に繋がるように配置された第二領域とか
らなる電力用抵抗体において、従来の酸化アルミニウム
−炭化チタン複合体に比較して、抵抗率が高く、抵抗体
内の抵抗比が10以下と均一性に優れた抵抗体を製造で
きることがわかる。また、従来の炭素粒子分散型抵抗体
に比較して、300℃ほど高い耐酸化特性を有する抵抗
体を製造できることがわかる。これに対して、炭化チタ
ン粒子が均一に分散された比較例の抵抗体のうち、大気
圧下で焼成したものは緻密化しない。一方加圧焼成を行
うと、ほぼ真密度まで緻密化はするものの、抵抗体内の
抵抗比が10以上になり、均一性が悪いことが判る。
Abnormality, As is apparent from Tables 1 to 4,
In a power resistor comprising a first region in which titanium carbide is small or does not contain titanium carbide, and a second region arranged so as to be connected to the pair of electrodes, the amount of titanium carbide being larger than the first region, and It can be seen that a resistor having high resistivity and a resistance ratio within the resistor of 10 or less and excellent in uniformity can be manufactured as compared with the conventional aluminum oxide-titanium carbide composite. Further, it can be seen that a resistor having oxidation resistance higher by about 300 ° C. can be manufactured as compared with a conventional carbon particle dispersed resistor. On the other hand, among the resistors of the comparative example in which the titanium carbide particles are uniformly dispersed, those which are fired under the atmospheric pressure are not densified. On the other hand, when pressure sintering is performed, although the density is reduced to almost the true density, the resistance ratio in the resistor becomes 10 or more, which indicates that the uniformity is poor.

【0068】さらに前記抵抗体を複数枚積層した積層抵
抗体と、前記積層抵抗体の間に介在された導電性を有す
る冷却フィンからなる電力用抵抗器は、連続使用しても
安定な抵抗器として使用できる。
Further, a power resistor comprising a multilayer resistor in which a plurality of the resistors are stacked and a conductive cooling fin interposed between the multilayer resistors is stable even when used continuously. Can be used as

【0069】[0069]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
緻密で、適切かつ安定な電気抵抗有し、温度変化に対し
て抵抗値の変化が少なく、高温での耐酸化特性に極めて
優れている電力用抵抗体、並びにこの抵抗体が複数積層
された電力用抵抗器を提供できる。
As described above, according to the present invention,
A power resistor that has a dense, appropriate and stable electric resistance, has a small change in resistance value with respect to temperature change, and is extremely excellent in oxidation resistance at high temperatures, and a power resistor in which a plurality of such resistors are laminated Resistors can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の電力用抵抗体を示す概念図。FIG. 1 is a conceptual diagram showing a power resistor according to the present invention.

【図2】本発明の電力用抵抗体を示す断面図。FIG. 2 is a sectional view showing a power resistor according to the present invention.

【図3】図1の抵抗体における焼結体の微構造を模式的
に示す図。
FIG. 3 is a view schematically showing a microstructure of a sintered body in the resistor shown in FIG. 1;

【図4】従来の酸化アルミニウム−炭化チタン複合焼結
体の微構造を模式的に示す図。
FIG. 4 is a diagram schematically showing a microstructure of a conventional aluminum oxide-titanium carbide composite sintered body.

【図5】従来の酸化アルミニウム−炭化チタン複合セラ
ミック材料の、炭化チタン組成と抵抗率の関係を示す
図。
FIG. 5 is a diagram showing a relationship between a titanium carbide composition and a resistivity of a conventional aluminum oxide-titanium carbide composite ceramic material.

【図6】本発明の酸化アルミニウム−炭化チタン複合セ
ラミック材料の、第二領域の組成と抵抗率の関係を示す
図。
FIG. 6 is a view showing the relationship between the composition of the second region and the resistivity of the aluminum oxide-titanium carbide composite ceramic material of the present invention.

【図7】本発明の電力用抵抗体の他の形態を示す図。FIG. 7 is a view showing another embodiment of the power resistor of the present invention.

【図8】本発明の電力用抵抗体の他の形態を示す図。FIG. 8 is a diagram showing another embodiment of the power resistor of the present invention.

【図9】本発明の電力用抵抗器を示す図。FIG. 9 is a diagram showing a power resistor according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、12、15…電力用抵抗体 2、10、13…焼結体 3、11、14…電極 4a、4b、8…酸化アルミニウム粒子 5、9…炭化チタン粒子 6…第一領域 7…第2領域 1, 12, 15 ... Power resistor 2, 10, 13 ... Sintered body 3, 11, 14 ... Electrodes 4a, 4b, 8 ... Aluminum oxide particles 5, 9 ... Titanium carbide particles 6 ... First region 7 ... No. 2 areas

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4G030 AA16 AA36 AA45 AA60 BA02 CA03 CA04 GA05 GA24 GA28 5E032 AB10 BA23 BB01 CA11 CC05 CC06 CC14 5E033 AA43 BA01 BD11  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 4G030 AA16 AA36 AA45 AA60 BA02 CA03 CA04 GA05 GA24 GA28 5E032 AB10 BA23 BB01 CA11 CC05 CC06 CC14 5E033 AA43 BA01 BD11

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】酸化アルミニウム、チタンと炭素を含む化
合物、および不可避不純物を含む焼結体と、前記焼結体
の対向する二つの面に形成された一対の電極とを具備し
た電力用抵抗体であって、 前記焼結体は、チタンと炭素を含む化合物が少ないかも
しくはチタンと炭素を含む化合物を含まない第一領域
と、この第一領域よりチタンと炭素を含む化合物量が多
く、かつ前記一対の電極に繋がるように配置された第二
領域とからなることを特徴とする電力用抵抗体。
1. A power resistor comprising: a sintered body containing aluminum oxide, a compound containing titanium and carbon, and unavoidable impurities; and a pair of electrodes formed on two opposing surfaces of the sintered body. In the sintered body, the first region not containing a compound containing titanium and carbon or containing no compound containing titanium and carbon, the amount of the compound containing titanium and carbon is larger than the first region, and A power resistor comprising a second region arranged to be connected to the pair of electrodes.
【請求項2】前記チタンと炭素を含む化合物が炭化チタ
ンであることを特徴とする請求項1に記載の電力用抵抗
体。
2. The power resistor according to claim 1, wherein the compound containing titanium and carbon is titanium carbide.
【請求項3】前記第二領域中の炭素とチタンを含む化合
物の平均粒径は、20μm以下であることを特徴とする
請求項1に記載の電力用抵抗体。
3. The power resistor according to claim 1, wherein the compound containing carbon and titanium in the second region has an average particle size of 20 μm or less.
【請求項4】前記第二領域中の酸化アルミニウム粒子の
平均粒径をRAl、炭素とチタンを含む化合物の平均粒径
をRTiC とした時、 RAl/RTiC ≧ 0.1 を満たすことを特徴とする請求項1 に記載の電力用抵抗
体。
4. When the average particle diameter of the aluminum oxide particles in the second region is R Al , and the average particle diameter of the compound containing carbon and titanium is R TiC , R Al / R TiC ≧ 0.1 is satisfied. 2. The power resistor according to claim 1, wherein:
【請求項5】炭化チタン粉末が少ないかもしくは炭化チ
タン粉末を含まない酸化アルミニウム粉末を含有する第
一領域を形成する第一造粒粉末を調整する工程と、炭化
チタン粉末と酸化アルミニウム粉末を含み、前記第一領
域より炭化チタン粉末量が多い第二領域を調整する工程
と、前記第一造粒原料及び前記第二造粒原料とを混合し
た後、成型、焼結することにより焼結体を作成する工程
と、前記焼結体の対向する主面に一対の電極を形成する
工程とを具備したことを特徴とする電力用抵抗体の製造
方法。
5. A step of preparing a first granulated powder for forming a first region containing a small amount of titanium carbide powder or containing aluminum oxide powder containing no titanium carbide powder, and comprising a titanium carbide powder and an aluminum oxide powder. A step of adjusting a second region in which the amount of titanium carbide powder is larger than that of the first region, and mixing the first granulated raw material and the second granulated raw material, followed by molding and sintering to obtain a sintered body. And a step of forming a pair of electrodes on opposing main surfaces of the sintered body.
【請求項6】酸化アルミニウムおよび炭化チタン及び不
可避不純物を含む焼結体と、前記焼結体の対向する二つ
の面に形成された一対の電極とからなり、前記焼結体
は、炭化チタンが少ないかもしくは炭化チタンを含まな
い第一領域と、この第一領域より炭化チタン量が多く、
かつ前記一対の電極に繋がるように配置された第二領域
とからなる抵抗体と、この抵抗体を複数積層した積層抵
抗体と、前記積層抵抗体の間に介在された導電性を有す
る冷却媒体とを具備したことを特徴とする電力用抵抗
器。
6. A sintered body containing aluminum oxide, titanium carbide, and unavoidable impurities, and a pair of electrodes formed on two opposing surfaces of the sintered body. A first region containing less or no titanium carbide and a larger amount of titanium carbide than this first region,
And a resistor comprising a second region arranged so as to be connected to the pair of electrodes, a multilayer resistor in which a plurality of the resistors are stacked, and a conductive cooling medium interposed between the multilayer resistors. A power resistor characterized by comprising:
JP18491298A 1998-06-30 1998-06-30 Power resistor, method of manufacturing the same, and power resistor Expired - Fee Related JP3486108B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18491298A JP3486108B2 (en) 1998-06-30 1998-06-30 Power resistor, method of manufacturing the same, and power resistor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18491298A JP3486108B2 (en) 1998-06-30 1998-06-30 Power resistor, method of manufacturing the same, and power resistor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000021603A true JP2000021603A (en) 2000-01-21
JP3486108B2 JP3486108B2 (en) 2004-01-13

Family

ID=16161515

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18491298A Expired - Fee Related JP3486108B2 (en) 1998-06-30 1998-06-30 Power resistor, method of manufacturing the same, and power resistor

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3486108B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109243733A (en) * 2018-11-02 2019-01-18 西安神电高压电器有限公司 A kind of high-voltage resistor
CN111446197A (en) * 2019-01-16 2020-07-24 细美事有限公司 Electrostatic chuck and electrostatic chuck device comprising same

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109243733A (en) * 2018-11-02 2019-01-18 西安神电高压电器有限公司 A kind of high-voltage resistor
CN111446197A (en) * 2019-01-16 2020-07-24 细美事有限公司 Electrostatic chuck and electrostatic chuck device comprising same

Also Published As

Publication number Publication date
JP3486108B2 (en) 2004-01-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6187256B1 (en) Method of producing a conductive silicon carbide-based sintered compact
TWI445682B (en) Alumina sintered body, and its manufacturing method and semiconductor manufacturing device parts
TWI575634B (en) Ceramic heater, heater electrode and ceramic heater system
JP2013507526A (en) Tin oxide ceramic sputtering target and method for producing the same
JP7465771B2 (en) Compound sintered body, semiconductor manufacturing equipment member, and method for manufacturing compound sintered body
JP3486108B2 (en) Power resistor, method of manufacturing the same, and power resistor
JP2012246172A (en) Joined body of metal material and ceramics-carbon composite material, and method for producing the same
JP3488650B2 (en) Power resistor, method of manufacturing the same, and power resistor
CN112750692B (en) Composite sintered body and method for producing composite sintered body
JPS61183148A (en) Ceramics composition and use
JPS6033265A (en) Silicon carbide electroconductive ceramics
WO1995022722A1 (en) Hot surface igniter
JP4522963B2 (en) Heating device
JP3807235B2 (en) Discharge resistant composite material and manufacturing method thereof
JP3163143B2 (en) Heat treatment substrate and method of manufacturing the same
JP2010111560A (en) Zinc oxide sintered compact and sputtering target using the same
JP5746573B2 (en) Sputtering target
TWI240985B (en) Wafer holder for semiconductor manufacturing device and semiconductor manufacturing device in which it is installed
JP3425271B2 (en) Power resistor, method of manufacturing the same, and power circuit breaker
JP3422889B2 (en) Power resistors and power resistors
JP5324889B2 (en) Sputtering target and manufacturing method thereof
JPH05217663A (en) Heat emitting body of ceramic material and manufacture of the same
JPH04349387A (en) Conductive heating element
JPH08153572A (en) Far infrared radiation heater
JPH10209582A (en) Manufacture of ceramic substrate and ceramic circuit substrate

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081024

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081024

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091024

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101024

Year of fee payment: 7

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees