JP3472042B2 - Inkjet recording head - Google Patents

Inkjet recording head

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JP3472042B2
JP3472042B2 JP20256896A JP20256896A JP3472042B2 JP 3472042 B2 JP3472042 B2 JP 3472042B2 JP 20256896 A JP20256896 A JP 20256896A JP 20256896 A JP20256896 A JP 20256896A JP 3472042 B2 JP3472042 B2 JP 3472042B2
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recording head
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稔明 広沢
省吾 河村
理 佐藤
攻 森田
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、記録媒体の記録面
に対してインクを吐出し記録画像を得るインクジェット
記録ヘッドに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet recording head for ejecting ink onto a recording surface of a recording medium to obtain a recorded image.

【0002】[0002]

【従来の技術】複数のインク吐出口からインクが記録デ
ータに基づき記録媒体の記録面に対して選択的に吐出さ
れてそのインクがその記録面に付着されて画像を形成す
るインクジェット記録装置が実用に供されている。この
ようなインクジェット記録装置においては、記録媒体の
記録面に対して対向して配され記録媒体の搬送方向に直
交する方向に走査されるキャリッジ部に選択的に搭載さ
れるインクジェット記録ヘッドが備えられている。
2. Description of the Related Art An ink jet recording apparatus for selectively ejecting ink from a plurality of ink ejection ports to a recording surface of a recording medium based on recording data and attaching the ink to the recording surface to form an image is practical. Has been offered to. In such an ink jet recording apparatus, an ink jet recording head is provided which is selectively opposed to a recording surface of a recording medium and which is selectively mounted on a carriage portion which is scanned in a direction orthogonal to a conveying direction of the recording medium. ing.

【0003】サイドシュータ型とされるインクジェット
記録ヘッドは、例えば、図25に示されるように、イン
クタンクITが装着されるインク供給部2Bと、図示が
省略されるキャリッジ部に電気的に接続されキャリッジ
部からの駆動制御信号群が入力される入力端子部2Aと
からなる本体部2と、本体部2のインク供給部2Bにお
ける被接合面に接合される記録素子基板6と、記録素子
基板6に電気的に接続され入力端子部2Aからの駆動制
御信号群を供給するプリント配線基板4とを含んで構成
されている。
An ink jet recording head of a side shooter type is, for example, as shown in FIG. 25, electrically connected to an ink supply section 2B in which an ink tank IT is mounted and a carriage section (not shown). A main body portion 2 including an input terminal portion 2A to which a drive control signal group from the carriage portion is input; a printing element substrate 6 bonded to a surface to be bonded of the ink supply portion 2B of the main body portion 2; And a printed wiring board 4 that is electrically connected to the input terminal 2A and supplies a drive control signal group from the input terminal unit 2A.

【0004】本体部2におけるインク供給部2Bは、図
26の(A)で示されるように、例えば、アルミウム合
金で作られたブロック片8が一体に樹脂で成形されたも
のである。インク供給部2Bには、インクタンクITか
らのインクを導入するインク供給路2aが設けられてい
る。インク供給路2aの一方の開口端部は、ブロック片
8における外部に露出した部分を含む被接合面2bに開
口している。
As shown in FIG. 26A, the ink supply section 2B of the main body 2 is formed by integrally forming a block piece 8 made of an aluminum alloy with a resin. The ink supply section 2B is provided with an ink supply path 2a for introducing ink from the ink tank IT. One opening end of the ink supply path 2a is open to the surface 2b to be joined including a portion of the block piece 8 exposed to the outside.

【0005】記録素子基板6は、図26の(B)、およ
び、図29に示されるように、インク供給部2Bにおけ
るインク供給路2aの開口端部に連通するインク供給開
口部10cを有する基板10と、基板10におけるイン
ク加熱部としてのヒータ10aに対応してそれぞれ設け
られる複数のインク分岐供給路12aを形成する隔壁部
材12と、基板10における各ヒータ10aに対向して
設けられる複数のインク吐出口14aの配列が平行に2
列形成されるオリフィスプレート14とを含んで構成さ
れている。
As shown in FIGS. 26B and 29, the recording element substrate 6 has an ink supply opening 10c communicating with the opening end of the ink supply passage 2a in the ink supply section 2B. 10, a partition member 12 that forms a plurality of ink branch supply paths 12 a that are respectively provided corresponding to heaters 10 a as an ink heating unit in the substrate 10, and a plurality of ink that is provided to face each heater 10 a in the substrate 10. The arrangement of the discharge ports 14a is 2 in parallel.
And an orifice plate 14 formed in a row.

【0006】記録素子基板6における基板10には、例
えば、厚さ0.5〜1.0mmのシリコン材料で薄膜が
形成されている。また、基板10におけるインク供給部
2Bの被接合面2bに接着剤により接着せしめられる面
には、図27の(A)および図26の(B)に示される
ように、オリフィスプレート14に対向しインク吐出口
14aの配列方向に伸びるインク供給開口部10cが設
けられている。
On the substrate 10 of the recording element substrate 6, a thin film is formed of, for example, a silicon material having a thickness of 0.5 to 1.0 mm. As shown in FIGS. 27A and 26B, the surface of the substrate 10 adhered to the joined surface 2b of the ink supply unit 2B with the adhesive faces the orifice plate 14. An ink supply opening 10c extending in the direction in which the ink ejection ports 14a are arranged is provided.

【0007】さらに、基板10におけるインク供給開口
部10cを挟んだ両側部分には、ヒータ10aが所定の
相互間隔をもってそれぞれ配されている。隔壁部材12
におけるインク分岐供給路12aの一方の端部は、イン
ク供給開口部10cに連通しており、各インク分岐供給
路12aは、インク供給開口部10cを通じて供給され
るインクをそれぞれのヒータ10aに導くものとされ
る。
Further, heaters 10a are arranged on both sides of the substrate 10 across the ink supply opening 10c with a predetermined mutual interval. Partition member 12
The one end of the ink branch supply path 12a communicates with the ink supply opening 10c, and each ink branch supply path 12a guides the ink supplied through the ink supply opening 10c to the corresponding heater 10a. It is said.

【0008】記録素子基板6における基板10の各電極
10bには、図29に示されるように、プリント配線基
板4が電気的に接続されている。プリント配線基板4
は、記録素子基板6が配置される記録素子基板収容部4
Bと、本体部2における入力端子部2Aに配される端子
部4Aとを有している。
[0008] As shown in FIG. 29, a printed wiring board 4 is electrically connected to each electrode 10b of the substrate 10 in the recording element substrate 6. Printed wiring board 4
Is a recording element substrate housing 4 in which the recording element substrate 6 is disposed.
B and a terminal part 4A arranged on the input terminal part 2A of the main body part 2.

【0009】かかる構成のもとで、プリント配線基板4
を通じて記録素子基板6における基板10の各ヒータ1
0aに駆動制御信号が供給されてヒータ10aが発熱す
るとき、インク分岐供給路12aを通じて導入されたイ
ンクが加熱されて膜沸騰現象により気泡が発生し気泡の
膨張に伴ってそのインクがインク吐出口14aから記録
媒体の記録面に向けて吐出されることとなる。
With this configuration, the printed wiring board 4
Each heater 1 of the substrate 10 in the printing element substrate 6 through
When the drive control signal is supplied to the heater 10a and the heater 10a generates heat, the ink introduced through the ink branch supply path 12a is heated to generate bubbles due to a film boiling phenomenon, and the ink is discharged from the ink ejection port with the expansion of the bubbles. The ink is ejected from 14a toward the recording surface of the recording medium.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】上述のように本体部2
に固定されるプリント配線基板4における記録素子基板
6が、本体部2における被接合面2bに接着剤により接
着されるもとで、上述のように記録素子基板6が記録動
作状態がとられるとき、記録素子基板6の温度が上昇す
るとともに本体部2における被接合面2bにおけるブロ
ック片8の温度が上昇することとなる。これにより、記
録素子基板6およびブロック片8がそれぞれ熱膨張する
が、しかし、シリコンで作られた記録素子基板6の膨張
率とアルミウム合金で作られたブロック片の膨張率との
間に差があるので記録素子基板6は、図28に示される
ように、中央部付近のインク吐出口の配列が直線となら
ず互いに近接するように湾曲したものとなるように変形
する場合、あるいは、破損する場合がある。特に、熱硬
化性接着剤が使用された場合においては、変形する場
合、あるいは、破損する虞がある。
As described above, the main body 2
When the recording element substrate 6 in the printed circuit board 4 is fixed to the surface to be joined 2b of the main body 2 with an adhesive as described above, The temperature of the recording element substrate 6 rises, and the temperature of the block pieces 8 on the surface 2b to be joined in the main body 2 rises. As a result, the recording element substrate 6 and the block piece 8 thermally expand, respectively, but the difference between the expansion coefficient of the recording element substrate 6 made of silicon and the expansion coefficient of the block piece made of an aluminum alloy is increased. Therefore, as shown in FIG. 28, the recording element substrate 6 is deformed or broken such that the arrangement of the ink ejection ports near the center is not straight but curved so as to be close to each other. There are cases. In particular, when a thermosetting adhesive is used, it may be deformed or damaged.

【0011】このような場合、記録素子基板6の剛性を
高めるためにその厚さを厚くしたり、その表面積をより
広くすることも考えられるが、記録素子基板6の製造コ
ストが嵩むこととなるので得策ではない。
In such a case, it is conceivable to increase the thickness or increase the surface area of the recording element substrate 6 in order to increase the rigidity of the recording element substrate 6, but the manufacturing cost of the recording element substrate 6 increases. Not so good.

【0012】以上の問題点を考慮し、本発明は、記録媒
体の記録面に対してインクを吐出し記録画像を得るイン
クジェット記録ヘッドであって、記録素子基板を本体部
に接着固定するにあたり、記録素子基板の温度変化によ
り記録素子基板が破損することなく、しかも、記録素子
基板の製造コストが嵩むことが回避できるインクジェッ
ト記録ヘッドを提供することを目的とする。
In consideration of the above problems, the present invention relates to an ink jet recording head for ejecting ink to a recording surface of a recording medium to obtain a recorded image. It is an object of the present invention to provide an ink jet recording head which does not damage the recording element substrate due to a change in the temperature of the recording element substrate, and can avoid increasing the production cost of the recording element substrate.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明に係るインクジェット記録ヘッドは、イン
クを加熱するインク加熱部と、インク加熱部に対向して
設けられインク加熱部により加熱されたインクを吐出す
るインク吐出口が形成されるインク吐出口形成部とを含
んでなる記録素子基板と、記録素子基板と電気的に接続
される配線基板と、インクを保持するインク貯留部と記
録素子基板とを連通し記録素子基板にインクを供給する
ための連通路を有するとともに記録素子基板を接合面に
て支持する第1の支持部材と、第1の支持部材の記録素
子基板の接合面に接合されるとともに開口部を有する第
2の支持部材と、を具備し、記録素子基板は第1の支持
部材上の第2の支持部材の開口部内に配され、配線基板
は第2の支持部材に支持された状態で記録素子基板と電
気的に接続されて構成される
Means for Solving the Problems] To achieve the above object, an ink jet recording head according to the present invention, in
An ink heating unit that heats the ink
Discharges ink heated by the provided ink heating unit
An ink discharge port forming section in which the ink discharge ports are formed.
Electrically connected to the recording element substrate
Printed circuit board and an ink reservoir for holding ink.
Supply ink to the recording element substrate by communicating with the recording element substrate
And the printing element substrate on the joint surface
First support member for supporting the recording element, and a recording element of the first support member.
A second portion joined to the joining surface of the daughter board and having an opening;
And a supporting element, wherein the printing element substrate has a first supporting member.
A wiring board disposed in the opening of the second support member on the member;
Is electrically connected to the recording element substrate while being supported by the second support member.
It is configured to be connected pneumatically .

【0014】[0014]

【0015】[0015]

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】図1は、本発明に係るインクジェ
ット記録ヘッドの第1の実施例の要部を概略的に示す。
FIG. 1 schematically shows a main part of a first embodiment of an ink jet recording head according to the present invention.

【0017】図1においては、サイドシュータ型とされ
るインクジェット記録ヘッド16は、例えば、インクタ
ンクITが装着されるインク供給部18Bと、図示が省
略されるキャリッジ部に電気的に接続されキャリッジ部
からの駆動制御信号群が入力される入力端子部18Aと
からなる本体部18と、本体部18のインク供給部18
Bにおける凹部18BGの被接合面18bに接合される
支持部材20と、支持部材20における第2の接合面と
しての上面に接着される記録素子基板24と、記録素子
基板24に電気的に接続され入力端子部18Aからの駆
動制御信号群を供給するプリント配線基板22とを含ん
で構成されている。
In FIG. 1, an ink jet recording head 16 of a side shooter type has, for example, an ink supply section 18B to which an ink tank IT is mounted, and a carriage section electrically connected to a carriage section (not shown). Unit 18 comprising an input terminal 18A to which a drive control signal group from the main unit 18 is input, and an ink supply unit 18 of the main unit 18.
B, a support member 20 joined to the joined surface 18b of the recess 18BG, a recording element substrate 24 adhered to the upper surface of the support member 20 as a second joining surface, and electrically connected to the recording element substrate 24. And a printed wiring board 22 for supplying a drive control signal group from the input terminal section 18A.

【0018】本体部18は、入力端子部18Aとインク
供給部18Bとが例えば、樹脂により一体に成形されて
いる。本体部18のインク供給部18Bにおけるインク
タンクITが装着される部分に対向する上面には、図1
および図2に示されるように、略長方形の凹部18BG
が設けられている。凹部18BGの底部は、支持部材2
0が接着される被接合面18bとされる。被接合面18
bの一部は、例えば、アルミウム合金で作られたブロッ
ク片26の表面によって形成されている。ブロック片2
6は、本体部18が成形されるとき、金型内に配置され
て樹脂で包囲されたものである。被接合面18bの略中
央部には、インクタンクITからのインクを導入するイ
ンク供給路18aの細長い開口端部が開口している。
The main body 18 has an input terminal 18A and an ink supply 18B integrally formed of, for example, resin. The upper surface of the main body portion 18 opposite to the portion where the ink tank IT is mounted in the ink supply portion 18B has a structure shown in FIG.
And a substantially rectangular recess 18BG as shown in FIG.
Is provided. The bottom of the recess 18BG is
0 is the bonded surface 18b to be bonded. Surface 18 to be joined
A part of b is formed by the surface of the block piece 26 made of, for example, an aluminum alloy. Block piece 2
Numeral 6 denotes a member arranged in a mold and surrounded by a resin when the main body 18 is molded. An elongated opening end of an ink supply path 18a for introducing ink from the ink tank IT is opened at a substantially central portion of the joined surface 18b.

【0019】記録素子基板24は、図26の(B)に示
される記録素子基板6と同様な構造とされるのでその内
部構造についての詳細な説明は省略する。
Since the recording element substrate 24 has the same structure as the recording element substrate 6 shown in FIG. 26B, a detailed description of its internal structure will be omitted.

【0020】記録素子基板24における基板には、例え
ば、厚さ0.5〜1.0mmのシリコン材料で薄膜が形
成されている。また、基板におけるインク供給部18B
の凹部18BGの被接合面18bに接着剤により接着せ
しめられる面には、図2の(A)に示されるように、オ
リフィスプレートに対向しインク吐出口24aの配列方
向に伸びるインク供給開口部24cが設けられている。
さらに、その基板におけるインク供給開口部24cを挟
んだ両側部分には、図示が省略されるヒータが所定の相
互間隔をもってそれぞれ配されている。隔壁部材におけ
るインク分岐供給路の一方の端部はインク供給開口部2
4cに連通しており、各インク分岐供給路は、インク供
給開口部24cを通じて供給されるインクをそれぞれの
ヒータに導くものとされる。
On the substrate of the recording element substrate 24, for example, a thin film is formed of a silicon material having a thickness of 0.5 to 1.0 mm. Also, the ink supply unit 18B on the substrate
As shown in FIG. 2A, an ink supply opening 24c that faces the orifice plate and extends in the arrangement direction of the ink discharge ports 24a is provided on the surface of the concave portion 18BG that is bonded to the surface 18b to be bonded by the adhesive. Is provided.
Further, heaters (not shown) are arranged at predetermined mutual intervals on both sides of the substrate with the ink supply opening 24c interposed therebetween. One end of the ink branch supply path in the partition member is the ink supply opening 2.
4c, each ink branch supply path guides ink supplied through the ink supply opening 24c to each heater.

【0021】記録素子基板24における基板の各電極に
は、図1および図2に示されるように、プリント配線基
板22が電気的に接続されている。プリント配線基板2
2は、記録素子基板24が配置される記録素子基板収容
部24Bと、本体部18における入力端子部18Aに配
される端子部24Aとを有している。プリント配線基板
22と記録素子基板24とをボンディングするにあたっ
ては、例えば、TAB(テープ・オートメイティド・ボ
ンディング)方式により接続される。
As shown in FIGS. 1 and 2, a printed wiring board 22 is electrically connected to each electrode of the recording element substrate 24. Printed wiring board 2
Reference numeral 2 has a printing element substrate housing portion 24B in which the printing element substrate 24 is arranged, and a terminal portion 24A arranged on the input terminal portion 18A in the main body portion 18. In bonding the printed wiring board 22 and the recording element board 24, they are connected by, for example, a TAB (tape automated bonding) method.

【0022】記録素子基板24とインク供給部18Bの
凹部18BGの被接合面18bとの間に配される支持部
材20は、図1および図2に示されるように、長方形の
板状に形成されている。支持部材20は、例えば、記録
素子基板24の材質と同一のシリコンで作られている。
なお、支持部材20の素材は、シリコンに限られること
なく、記録素子基板24の材料の線膨張率と同等の線膨
張率を有し、かつ、記録素子基板24の材料の熱伝導率
と同等もしくは同等以上の熱伝導率を有する材料で作ら
れてもよい。支持部材20の素材は、例えば、アルミナ
(Al2 3 )、窒化アルミウム(AlN)、炭化珪素
(SiC)、4窒化3珪素(Si3 4)、モリブデン
(Mo)、タングステン(W)のうちのいずれであって
もよい。
The support member 20 disposed between the recording element substrate 24 and the surface 18b to be joined of the concave portion 18BG of the ink supply section 18B is formed in a rectangular plate shape as shown in FIGS. ing. The support member 20 is made of, for example, the same silicon as the material of the recording element substrate 24.
In addition, the material of the support member 20 is not limited to silicon, has a linear expansion coefficient equal to the linear expansion coefficient of the material of the recording element substrate 24, and is equal to the thermal conductivity of the material of the recording element substrate 24. Alternatively, it may be made of a material having the same or higher thermal conductivity. The material of the support member 20 is, for example, alumina (Al 2 O 3 ), aluminum nitride (AlN), silicon carbide (SiC), trisilicon tetranitride (Si 3 N 4 ), molybdenum (Mo), or tungsten (W). Any of them may be used.

【0023】支持部材20は、図2の(A)に示される
ように、記録素子基板24におけるインク供給開口部2
4cが設けられる面に接着される第2の接合面20sa
と、インク供給部18Bの凹部18BGの被接合面18
bに接着される第1の接合面20sbとを有している。
また、支持部材20は、記録素子基板24におけるイン
ク供給開口部24cとインク供給部18Bの凹部18B
Gの被接合面18bに設けられるインク供給路18aと
に対応する位置に、長手方向に細長く伸びる連通路20
aが設けられている。さらに、支持部材20の短辺、お
よび、長辺の長さは、それぞれ、記録素子基板24の短
辺、および、長辺の長さと同一とされ、支持部材20の
厚さは、記録素子基板24の厚さと略同一とされる。
As shown in FIG. 2A, the support member 20 is provided with the ink supply opening 2 in the recording element substrate 24.
Bonding surface 20sa adhered to the surface on which 4c is provided
And the joined surface 18 of the concave portion 18BG of the ink supply portion 18B
b and a first bonding surface 20sb bonded to the first bonding surface 20b.
Further, the support member 20 is provided between the ink supply opening 24c of the recording element substrate 24 and the concave portion 18B of the ink supply portion 18B.
A communication passage 20 extending in the longitudinal direction at a position corresponding to the ink supply passage 18a provided on the joined surface 18b of G.
a is provided. Further, the length of the short side and the length of the long side of the support member 20 are the same as the length of the short side and the long side of the recording element substrate 24, respectively. 24 is approximately the same thickness.

【0024】プリント配線基板22が接続された記録素
子基板24をインク供給部18Bに配置するにあたって
は、先ず、支持部材20の第1の接合面20sbが被接
合面18bの所定の位置に接着剤により接着される。続
いて、図2の(B)に示されるように、支持部材20の
第2の接合面20saが記録素子基板24におけるイン
ク供給開口部24cが設けられる面に接着剤により接着
される。その接着剤は例えば、粘度が低く、接触面に形
成される接着層が薄く、かつ、硬化後、比較的高い硬度
を有するものが望ましい。
In arranging the recording element substrate 24 to which the printed wiring board 22 is connected in the ink supply section 18B, first, the first bonding surface 20sb of the support member 20 is placed in a predetermined position on the surface 18b to be bonded by an adhesive. It is adhered by. Subsequently, as shown in FIG. 2B, the second bonding surface 20sa of the support member 20 is bonded to the surface of the recording element substrate 24 where the ink supply opening 24c is provided by an adhesive. For example, the adhesive desirably has a low viscosity, a thin adhesive layer formed on the contact surface, and a relatively high hardness after curing.

【0025】なお、支持部材20における連通路20a
は、上述の例のように1個に限られる必要はない。連通
路は、例えば、図3の(A)および(B)に示されるよ
うに、複数に分割されてもよい。図3の(A)および
(B)は、支持部材20の他の例である支持部材28お
よび30をそれぞれ示す。支持部材28および30は、
支持部材20と同様な材料で作られ、支持部材28にお
いては、長手方向に伸びるスリット状の連通路28aお
よび28bが同一直線上に設けられたものである。ま
た、支持部材30においては、長手方向に伸びるスリッ
ト状の連通路30a、30b、および30cが同一直線
上にそれぞれ設けられたものである。図3の(C)は、
支持部材20のさらなる他の例である支持部材32を示
す。支持部材32も上述の支持部材20の材料と同一の
材料により作られている。支持部材32は、略中央位置
に円形状の透孔32aが設けられている。これにより、
支持部材28および30においては、連通路を除く部分
が略中央部分における1箇所、もしくは、2箇所で連結
される構造なので機械的強度、もしくは、剛性が、支持
部材20の機械的強度、もしくは、剛性に比して改善さ
れることとなる。また、支持部材32においては、支持
部材20、28および30に比しても機械的強度がさら
に改善されることとなる。
The communication path 20a in the support member 20
Need not be limited to one as in the above example. The communication path may be divided into a plurality of sections, for example, as shown in FIGS. FIGS. 3A and 3B show support members 28 and 30 which are other examples of the support member 20, respectively. The support members 28 and 30
The support member 28 is made of the same material as the support member 20, and has slit-shaped communication passages 28a and 28b extending in the longitudinal direction provided on the same straight line. In the support member 30, slit-shaped communication paths 30a, 30b, and 30c extending in the longitudinal direction are provided on the same straight line, respectively. (C) of FIG.
9 shows a support member 32 which is still another example of the support member 20. The support member 32 is also made of the same material as that of the support member 20 described above. The support member 32 is provided with a circular through hole 32a at a substantially central position. This allows
In the support members 28 and 30, the portion excluding the communication path is connected at one or two locations in the substantially central portion, so that the mechanical strength or rigidity is the mechanical strength of the support member 20, or It will be improved compared to the rigidity. Further, in the support member 32, the mechanical strength is further improved as compared with the support members 20, 28 and 30.

【0026】かかる構成のもとで、プリント配線基板2
2を通じて記録素子基板24における基板の各ヒータに
駆動制御信号が供給されて各ヒータが発熱するとき、イ
ンク供給路18aを通じてインクが隔絶部材のインク分
岐供給路を介し導入される。インクが各ヒータにより加
熱されて膜沸騰現象により気泡が発生し気泡の膨張に伴
ってそのインクがインク吐出口24aから記録媒体の記
録面に向けて吐出されることとなる。その際、記録素子
基板24がそのヒータによる熱によって膨張した場合で
あっても支持部材20が記録素子基板24と一体に膨張
することとなるので記録素子基板24の実質的な横断面
積が増すこととなり温度変化によって破損されることが
回避されることとなる。
Under such a configuration, the printed wiring board 2
When a drive control signal is supplied to each heater of the substrate in the printing element substrate 24 through 2 and each heater generates heat, ink is introduced through the ink supply path 18a through the ink branch supply path of the isolation member. The ink is heated by the respective heaters to generate bubbles due to the film boiling phenomenon, and the ink is discharged from the ink discharge ports 24a toward the recording surface of the recording medium as the bubbles expand. At this time, even if the recording element substrate 24 expands due to the heat generated by the heater, the support member 20 expands integrally with the recording element substrate 24, so that the substantial cross-sectional area of the recording element substrate 24 increases. Thus, damage due to temperature change is avoided.

【0027】図4は本発明に係るインクジェット記録ヘ
ッドの第2の実施例の要部を概略的に示す。
FIG. 4 schematically shows a main part of a second embodiment of the ink jet recording head according to the present invention.

【0028】図4においては、図1に示される例では、
支持部材20の短辺、および、長辺の長さは、それぞ
れ、記録素子基板24の短辺、および、長辺の長さと同
一とされ、支持部材20の厚さは、記録素子基板24の
厚さと略同一とされるが、その代わりに、支持部材34
の短辺の長さが記録素子基板24の短辺の長さに比して
長く、インク供給部18Bの凹部18BGの被接合面1
8bの幅寸法と略同一の長さに設定されるものである。
In FIG. 4, in the example shown in FIG.
The length of the short side and the length of the long side of the support member 20 are the same as the length of the short side and the length of the long side of the recording element substrate 24, respectively. The thickness is substantially the same, but instead the support members 34
Is shorter than the length of the shorter side of the recording element substrate 24, and the surface 1 to be joined of the concave portion 18BG of the ink supply portion 18B is
The length is set to be substantially the same as the width dimension of 8b.

【0029】なお、図4においては、図1に示される例
における構成要素と同一の構成要素については同一の符
号を付して示し、その重複説明を省略する。
In FIG. 4, the same components as those in the example shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will not be repeated.

【0030】支持部材34は、長方形の板状に形成され
ている。支持部材34は、例えば、記録素子基板24の
材料と同一のシリコンで作られている。なお、支持部材
20の素材は、シリコンに限られることなく、記録素子
基板24の材料の線膨張率と同等の線膨張率を有し、か
つ、記録素子基板24の材料の熱伝導率と同等もしくは
同等以上の熱伝導率を有する材料で作られてもよい。支
持部材20の素材は、例えば、アルミナ(Al
2 3 )、窒化アルミウム(AlN)、炭化珪素(Si
C)、4窒化3珪素(Si3 4 )、モリブデン(M
o)、タングステン(W)のうちのいずれであってもよ
い。
The support member 34 is formed in a rectangular plate shape. The support member 34 is made of, for example, the same silicon as the material of the recording element substrate 24. In addition, the material of the support member 20 is not limited to silicon, has a linear expansion coefficient equal to the linear expansion coefficient of the material of the recording element substrate 24, and is equal to the thermal conductivity of the material of the recording element substrate 24. Alternatively, it may be made of a material having the same or higher thermal conductivity. The material of the support member 20 is, for example, alumina (Al
2 O 3 ), aluminum nitride (AlN), silicon carbide (Si
C) trisilicon tetranitride (Si 3 N 4 ), molybdenum (M
o) or tungsten (W).

【0031】支持部材34は、図5の(A)および
(B)に示されるように、記録素子基板24におけるイ
ンク供給開口部24cが設けられる面に接着される第2
の接合面34saと、インク供給部18Bの凹部18B
Gの被接合面18bに接着される第1の接合面34sb
とを有している。また、支持部材34は、記録素子基板
24におけるインク供給開口部24cとインク供給部1
8Bの凹部18BGの被接合面18bに設けられるイン
ク供給路18aとに対応する位置に、長手方向に細長く
伸びる連通路34aが設けられている。なお、連通路3
4aは、図3に示されるように、複数に分割された形状
であってもよい。
As shown in FIGS. 5A and 5B, the support member 34 is bonded to the second surface of the recording element substrate 24 where the ink supply opening 24c is provided.
Of the ink supply unit 18B and the joint surface 34sa of the ink supply unit 18B
The first bonding surface 34sb bonded to the surface 18b to be bonded of G
And The support member 34 is provided between the ink supply opening 24 c of the recording element substrate 24 and the ink supply section 1.
At a position corresponding to the ink supply path 18a provided on the joined surface 18b of the concave portion 18BG of the 8B, a communication path 34a that is elongated in the longitudinal direction is provided. The communication passage 3
4a may have a shape divided into a plurality of parts as shown in FIG.

【0032】かかる構成のもとで、プリント配線基板2
2を通じて記録素子基板24における基板の各ヒータに
駆動制御信号が供給されて各ヒータが発熱するとき、イ
ンク供給路18aを通じてインクが隔絶部材のインク分
岐供給路を介し導入される。インクが各ヒータにより加
熱されて膜沸騰現象により気泡が発生し気泡の膨張に伴
ってそのインクがインク吐出口24aから記録媒体の記
録面に向けて吐出されることとなる。
Under such a configuration, the printed wiring board 2
When a drive control signal is supplied to each heater of the substrate in the printing element substrate 24 through 2 and each heater generates heat, ink is introduced through the ink supply path 18a through the ink branch supply path of the isolation member. The ink is heated by the respective heaters to generate bubbles due to the film boiling phenomenon, and the ink is discharged from the ink discharge ports 24a toward the recording surface of the recording medium as the bubbles expand.

【0033】その際、記録素子基板24がそのヒータに
よる熱によって膨張した場合であっても上述の例と同様
に支持部材34が記録素子基板24と一体に膨張するこ
ととなるので記録素子基板24の実質的な横断面積が増
すこととなり温度変化によって破損されることが回避さ
れることとなる。しかも、支持部材34の短辺は、図1
に示される例における支持部材20の短辺よりも長いの
でさらに機械的強度および剛性が向上することとなる。
At this time, even when the recording element substrate 24 expands due to the heat generated by the heater, the support member 34 expands integrally with the recording element substrate 24 in the same manner as in the above-described example. Is increased, and damage due to temperature changes is avoided. Moreover, the short side of the support member 34 is
Since the length is longer than the short side of the support member 20 in the example shown in FIG. 1, the mechanical strength and the rigidity are further improved.

【0034】図6の(A)および(B)は、本発明に係
るインクジェット記録ヘッドの第3の実施例の要部を概
略的に示す。
FIGS. 6A and 6B schematically show the main parts of a third embodiment of the ink jet recording head according to the present invention.

【0035】図6の(A)および(B)においては、図
1に示される例では、支持部材20の短辺、および、長
辺の長さは、それぞれ、記録素子基板24の短辺、およ
び、長辺の長さと同一とされ、支持部材20の厚さは、
記録素子基板24の厚さと略同一とされるが、その代わ
りに、支持部材36の短辺の長さが記録素子基板24の
短辺の長さに比して長く設定され、かつ、支持部材36
の厚さが記録素子基板24の厚さに比して厚いものとさ
れる。なお、図6の(A)および(B)においては、図
1に示される例における構成要素と同一の構成要素につ
いては同一の符号を付して示し、その重複説明を省略す
る。
In FIGS. 6A and 6B, in the example shown in FIG. 1, the length of the short side and the length of the long side of the support member 20 are respectively equal to the short side of the recording element substrate 24, And, it is the same as the length of the long side, and the thickness of the support member 20 is
The thickness of the recording element substrate 24 is substantially the same as that of the recording element substrate 24. Instead, the length of the short side of the support member 36 is set longer than the length of the short side of the recording element substrate 24, and 36
Is thicker than the thickness of the recording element substrate 24. In FIGS. 6A and 6B, the same components as those in the example shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted.

【0036】支持部材36は、長方形の板状に形成され
ている。支持部材36は、例えば、記録素子基板24の
材料と同一のシリコンで作られている。なお、支持部材
36の素材は、シリコンに限られることなく、記録素子
基板24の材料の線膨張率と同等の線膨張率を有し、か
つ、記録素子基板24の材料の熱伝導率と同等もしくは
同等以上の熱伝導率を有する材料で作られてもよい。支
持部材36の素材は、例えば、アルミナ(Al
2 3 )、窒化アルミウム(AlN)、炭化珪素(Si
C)、4窒化3珪素(Si3 4 )、モリブデン(M
o)、タングステン(W)のうちのいずれであってもよ
い。
The support member 36 is formed in a rectangular plate shape. The support member 36 is made of, for example, the same silicon as the material of the recording element substrate 24. In addition, the material of the support member 36 is not limited to silicon, has a linear expansion coefficient equal to the linear expansion coefficient of the material of the recording element substrate 24, and is equal to the thermal conductivity of the material of the recording element substrate 24. Alternatively, it may be made of a material having the same or higher thermal conductivity. The material of the support member 36 is, for example, alumina (Al
2 O 3 ), aluminum nitride (AlN), silicon carbide (Si
C) trisilicon tetranitride (Si 3 N 4 ), molybdenum (M
o) or tungsten (W).

【0037】支持部材36は、図6の(A)および
(B)に示されるように、記録素子基板24におけるイ
ンク供給開口部24cが設けられる面に接着される第2
の接合面36saと、インク供給部18Bの凹部18B
Gの被接合面18bに接着される第1の接合面36sb
とを有している。また、支持部材36は、記録素子基板
24におけるインク供給開口部24cとインク供給部1
8Bの凹部18BGの被接合面18bに設けられるイン
ク供給路18aとに対応する位置に、長手方向に細長く
伸びる連通路36aが設けられている。なお、連通路3
6aは、図3に示されるように、複数に分割された形状
であってもよい。
As shown in FIGS. 6A and 6B, the support member 36 is adhered to the surface of the recording element substrate 24 where the ink supply opening 24c is provided.
36sa and the concave portion 18B of the ink supply portion 18B.
G first bonding surface 36sb bonded to the bonded surface 18b of G
And The support member 36 is provided between the ink supply opening 24 c of the recording element substrate 24 and the ink supply section 1.
At a position corresponding to the ink supply path 18a provided on the joined surface 18b of the concave portion 18BG of the 8B, a communication path 36a that is elongated in the longitudinal direction is provided. The communication passage 3
As shown in FIG. 3, 6a may have a shape divided into a plurality.

【0038】かかる構成のもとで、プリント配線基板2
2を通じて記録素子基板24における基板の各ヒータに
駆動制御信号が供給されてヒータが発熱するとき、イン
ク供給路18aを通じてインクが隔絶部材のインク分岐
供給路を介し導入される。インクが各ヒータにより加熱
されて膜沸騰現象により気泡が発生し気泡の膨張に伴っ
てそのインクがインク吐出口24aから記録媒体の記録
面に向けて吐出されることとなる。その際、記録素子基
板24がそのヒータによる熱によって膨張した場合であ
っても上述の例と同様に支持部材36が記録素子基板2
4と一体に膨張することとなるので記録素子基板24の
実質的な横断面積が増すこととなり温度変化によって破
損されることが回避されることとなる。しかも、支持部
材36の短辺、および厚さは、それぞれ、図1に示され
る例における支持部材20の短辺よりも長く、厚いので
さらに機械的強度および剛性が向上することとなる。
Under such a configuration, the printed wiring board 2
When a drive control signal is supplied to each heater of the substrate in the printing element substrate 24 through 2 and the heater generates heat, ink is introduced through the ink supply path 18a through the ink branch supply path of the isolation member. The ink is heated by the respective heaters to generate bubbles due to the film boiling phenomenon, and the ink is discharged from the ink discharge ports 24a toward the recording surface of the recording medium as the bubbles expand. At this time, even when the printing element substrate 24 expands due to the heat generated by the heater, the support member 36 is connected to the printing element substrate 2 similarly to the above-described example.
Since the recording element substrate 24 expands integrally, the substantial cross-sectional area of the recording element substrate 24 increases, and damage due to a temperature change is avoided. Moreover, the short side and the thickness of the support member 36 are longer and thicker than the short side of the support member 20 in the example shown in FIG. 1, respectively, so that the mechanical strength and the rigidity are further improved.

【0039】図7は、本発明に係るインクジェット記録
ヘッドの第4の実施例の要部を概略的に示す。
FIG. 7 schematically shows a main part of a fourth embodiment of the ink jet recording head according to the present invention.

【0040】図7においては、図4に示される例では、
記録素子基板24が接着される支持部材34の短辺の長
さが記録素子基板24の短辺の長さに比して長く、イン
ク供給部18Bの凹部18BGの被接合面18bの幅寸
法と略同一の長さに設定され、記録素子基板24に接続
されるプリント配線基板22がインク供給部18Bの凹
部18BGの周縁部に接着されるものであるが、加え
て、第2の支持部材としてのフレーム部材38が設けら
れるもとで、記録素子基板24に接続されるプリント配
線基板22が、フレーム部材38を介してインク供給部
18Bの凹部18BGの周縁部に配されるものである。
In FIG. 7, in the example shown in FIG.
The length of the short side of the support member 34 to which the recording element substrate 24 is adhered is longer than the length of the short side of the recording element substrate 24, and the width dimension of the joining surface 18b of the concave portion 18BG of the ink supply unit 18B The printed wiring board 22 which is set to have substantially the same length and is connected to the recording element board 24 is adhered to the peripheral portion of the concave portion 18BG of the ink supply section 18B. The printed wiring board 22 connected to the recording element substrate 24 is disposed on the periphery of the concave portion 18BG of the ink supply section 18B via the frame member 38 with the frame member 38 provided.

【0041】なお、図7においては、図4に示される例
における構成要素と同一とされる構成要素については同
一の符号を付して示し、その重複説明を省略する。
In FIG. 7, components that are the same as the components in the example shown in FIG. 4 are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

【0042】図7に示される例は、本体部42は、イン
クタンクITが装着されるインク供給部42Bと、図示
が省略されるキャリッジ部に電気的に接続されキャリッ
ジ部からの駆動制御信号群が入力される入力端子部42
Aとから構成されている。
In the example shown in FIG. 7, the main body section 42 includes an ink supply section 42B in which the ink tank IT is mounted, and a drive control signal group from the carriage section which is electrically connected to a carriage section (not shown). Input terminal 42 to which is input
A.

【0043】本体部42は、入力端子部42Aとインク
供給部42Bとが例えば、樹脂により一体に成形されて
いる。本体部42のインク供給部42Bにおけるインク
タンクITが装着される部分に対向する上面には、図7
および図8で示されるように、略長方形の凹部42BG
が設けられている。凹部42BGの底部は、第1の支持
部材としての支持部材40が接着される被接合面42b
とされる。また、凹部42BGの周縁部における平坦な
面は、第2の支持部材としてのフレーム部材38が接着
される被接合面42cとされる。
In the main body 42, an input terminal 42A and an ink supply section 42B are integrally formed of, for example, resin. The upper surface of the ink supply section 42B of the main body section 42 opposite to the portion where the ink tank IT is mounted is provided with FIG.
And as shown in FIG. 8, a substantially rectangular concave portion 42BG
Is provided. The bottom of the concave portion 42BG has a surface 42b to which the support member 40 as the first support member is bonded.
It is said. The flat surface at the peripheral edge of the concave portion 42BG is the joined surface 42c to which the frame member 38 as the second support member is adhered.

【0044】被接合面42bの略中央部には、インクタ
ンクITからのインクを導入するインク供給路42aの
細長い開口端部が開口している。
An elongated opening end of an ink supply path 42a for introducing ink from the ink tank IT is opened at a substantially central portion of the surface 42b to be joined.

【0045】支持部材40は、記録素子基板24の厚さ
と略同一の厚さで長方形の板状に形成されている。支持
部材40は、例えば、記録素子基板24の材料と同一の
シリコンで作られている。なお、支持部材40の素材
は、シリコンに限られることなく、記録素子基板24の
材料の線膨張率と同等の線膨張率を有し、かつ、記録素
子基板24の材料の熱伝導率と同等もしくは同等以上の
熱伝導率を有する材料で作られてもよい。支持部材40
の素材は、例えば、アルミナ(Al2 3 )、窒化アル
ミウム(AlN)、炭化珪素(SiC)、4窒化3珪素
(Si3 4 )、モリブデン(Mo)、タングステン
(W)のうちのいずれであってもよい。
The support member 40 is formed in a rectangular plate shape with a thickness substantially equal to the thickness of the recording element substrate 24. The support member 40 is made of, for example, the same silicon as the material of the recording element substrate 24. In addition, the material of the support member 40 is not limited to silicon, has a linear expansion coefficient equal to the linear expansion coefficient of the material of the recording element substrate 24, and is equal to the thermal conductivity of the material of the recording element substrate 24. Alternatively, it may be made of a material having the same or higher thermal conductivity. Support member 40
Is made of, for example, any of alumina (Al 2 O 3 ), aluminum nitride (AlN), silicon carbide (SiC), trisilicon tetranitride (Si 3 N 4 ), molybdenum (Mo), and tungsten (W). It may be.

【0046】支持部材40は、図8の(A)および
(B)に示されるように、インク供給部42Bの凹部4
2BGの深さと略同一の厚さを有し、かつ、凹部42B
Gの幅および長さと略同一の幅および長さを有してい
る。支持部材40は、記録素子基板24におけるインク
供給開口部24cが設けられる面、および、フレーム部
材38の一方の接合面に接着される第2の接合面40s
aと、インク供給部42Bの凹部42BGの被接合面4
2bに接着される第1の接合面40sbとを有してい
る。また、支持部材40は、記録素子基板24における
インク供給開口部24cとインク供給部42Bの凹部4
2BGの被接合面42bに設けられるインク供給路42
aとに対応する位置に、長手方向に細長く伸びる連通路
40aが設けられている。なお、連通路40aは、図3
に示されるように、複数に分割された形状であってもよ
い。
As shown in FIGS. 8A and 8B, the support member 40 is provided with the concave portion 4 of the ink supply portion 42B.
2BG having a thickness substantially equal to the depth of the recess 42B.
G has substantially the same width and length as the width and length of G. The support member 40 has a surface on which the ink supply opening 24 c of the recording element substrate 24 is provided, and a second bonding surface 40 s bonded to one of the bonding surfaces of the frame member 38.
a and the surface 4 to be joined of the concave portion 42BG of the ink supply portion 42B
2b and a first bonding surface 40sb bonded to the second bonding surface 2s. The support member 40 is provided between the ink supply opening 24c of the recording element substrate 24 and the recess 4 of the ink supply section 42B.
Ink supply path 42 provided on 2BG bonded surface 42b
A communication passage 40a is provided at a position corresponding to a. Note that the communication passage 40a is shown in FIG.
As shown in the above, the shape may be divided into a plurality.

【0047】フレーム部材38は、例えば、アルミニウ
ム合金で所定の厚さで板状に作られている。なお、フレ
ーム部材38はアルミウム合金に限られることなく、熱
伝導率の比較的大なる材料が適宜選択されてもよい。フ
レーム部材38は、記録素子基板24の厚さと略同一の
厚さを有し、インク供給部42Bの被接合面42cの幅
および長さと略同一の幅および長さで形成されている。
また、フレーム部材38の中央部分には、接着された記
録素子基板24を包囲する開口部38aが設けられてい
る。
The frame member 38 is made of, for example, an aluminum alloy in a plate shape with a predetermined thickness. The material of the frame member 38 is not limited to an aluminum alloy, and a material having a relatively large thermal conductivity may be appropriately selected. The frame member 38 has a thickness substantially the same as the thickness of the recording element substrate 24, and is formed with a width and a length substantially the same as the width and the length of the joined surface 42c of the ink supply section 42B.
An opening 38 a surrounding the bonded recording element substrate 24 is provided in the center of the frame member 38.

【0048】プリント配線基板22が接続された記録素
子基板24をインク供給部18Bに配置するにあたって
は、図8の(A)に示されるように、先ず、支持部材4
0の第1の接合面20sbが被接合面18bに対して対
向配置された後、被接合面42bの所定の位置に接着剤
により接着される。この接着剤は、例えば、粘度が高
く、硬化後、硬度が比較的低く弾性を有するものが望ま
しい。
In arranging the recording element substrate 24 to which the printed wiring board 22 is connected in the ink supply section 18B, first, as shown in FIG.
After the first first bonding surface 20sb is disposed to face the surface 18b to be bonded, the first bonding surface 20sb is bonded to a predetermined position of the surface 42b to be bonded with an adhesive. It is desirable that the adhesive has, for example, a high viscosity and a relatively low hardness after being cured and has elasticity.

【0049】続いて、図8の(B)に示されるように、
フレーム部材38がインク供給部42Bにおける被接合
面42c、および、支持部材40の第2の接合面40s
aに接着剤により所定の位置に位置決めされて隙間無く
密着されて接着される。この接着剤は、例えば、硬化
後、熱伝導率の比較的高いものが望ましい。
Subsequently, as shown in FIG. 8B,
The frame member 38 is connected to the surface 42c to be bonded in the ink supply section 42B and the second bonding surface 40s of the support member 40.
a is positioned at a predetermined position by an adhesive, and is adhered and adhered without any gap. The adhesive preferably has a relatively high thermal conductivity after curing, for example.

【0050】そして、図8の(B)に示されるように、
支持部材40の第2の接合面40saが記録素子基板2
4におけるインク供給開口部24cが設けられる面に接
着剤により接着される。その接着剤は例えば、粘度が低
く、接触面に形成される接着層が薄く、かつ、硬化後、
比較的高い硬度を有するものが望ましい。その際、プリ
ント配線基板22と接続された記録素子基板24との間
の隙間は、硬化後、弾性を有する接着剤で封止されるこ
とが望ましい。
Then, as shown in FIG. 8B,
The second bonding surface 40sa of the support member 40 is
4 is bonded by an adhesive to the surface on which the ink supply opening 24c is provided. The adhesive has, for example, a low viscosity, a thin adhesive layer formed on the contact surface, and after curing,
Those having relatively high hardness are desirable. At this time, it is desirable that the gap between the printed wiring board 22 and the connected recording element substrate 24 be sealed with an elastic adhesive after curing.

【0051】これにより、プリント配線基板22が接続
された記録素子基板24がインク供給部18Bに配置さ
れることとなる。
Thus, the recording element substrate 24 to which the printed wiring board 22 is connected is arranged in the ink supply section 18B.

【0052】かかる構成のもとで、プリント配線基板2
2を通じて記録素子基板24における基板の各ヒータに
駆動制御信号が供給されて各ヒータが発熱するとき、イ
ンク供給路18aを通じてインクが隔絶部材のインク分
岐供給路を介し導入される。インクが各ヒータにより加
熱されて膜沸騰現象により気泡が発生し気泡の膨張に伴
ってそのインクがインク吐出口24aから記録媒体の記
録面に向けて吐出されることとなる。その際、記録素子
基板24がそのヒータによる熱によって膨張した場合で
あっても支持部材40が記録素子基板24と一体に膨張
することとなるので記録素子基板24の実質的な横断面
積が増すこととなり温度変化によって破損されることが
回避されることとなる。
Under such a configuration, the printed wiring board 2
When a drive control signal is supplied to each heater of the substrate in the printing element substrate 24 through 2 and each heater generates heat, ink is introduced through the ink supply path 18a through the ink branch supply path of the isolation member. The ink is heated by the respective heaters to generate bubbles due to the film boiling phenomenon, and the ink is discharged from the ink discharge ports 24a toward the recording surface of the recording medium as the bubbles expand. At this time, even when the printing element substrate 24 expands due to the heat generated by the heater, the support member 40 expands integrally with the printing element substrate 24, and the substantial cross-sectional area of the printing element substrate 24 increases. Thus, damage due to temperature change is avoided.

【0053】また、支持部材40の第2の接合面40s
aが記録素子基板24におけるインク供給開口部24c
が設けられる面に硬化後、比較的高い硬度を有する接着
剤により接着されることにより記録素子基板24の機械
的強度、および、剛性がさらに高められる。支持部材4
0の第1の接合面20sbが被接合面42bの所定の位
置に硬化後、硬度が比較的低く弾性を有する接着剤によ
り接着されることにより支持部材40の線膨張率とイン
ク供給部42Bの線膨張率との差に起因する熱応力に基
づく記録素子基板24の変形が回避される。さらに、記
録素子基板24からの熱が支持部材40を介してフレー
ム部材38により放熱されることとなる。
The second joint surface 40s of the support member 40
a is an ink supply opening 24c in the printing element substrate 24;
After being hardened on the surface on which the recording element substrate is provided, the recording element substrate 24 is further bonded with an adhesive having relatively high hardness to further increase the mechanical strength and rigidity of the recording element substrate 24. Support member 4
After the first bonding surface 20sb is hardened at a predetermined position on the surface 42b to be bonded, the linear expansion coefficient of the support member 40 and the ink supply portion 42B are bonded by bonding with a relatively low-hardness and elastic adhesive. The deformation of the recording element substrate 24 based on the thermal stress caused by the difference from the linear expansion coefficient is avoided. Further, heat from the recording element substrate 24 is radiated by the frame member 38 via the support member 40.

【0054】図9の(A)および(B)は、図7に示さ
れる例におけるフレーム部材38の他の例を示す。な
お、図7に示される例における構成要素と同一とされる
構成要素については同一の符号を付して示し、その重複
説明を省略する。
FIGS. 9A and 9B show another example of the frame member 38 in the example shown in FIG. Note that components that are the same as the components in the example shown in FIG. 7 are denoted by the same reference numerals, and redundant description thereof will be omitted.

【0055】図9の(A)および(B)においては、フ
レーム部材44は、図7に示される例と同様に例えば、
アルミニウム合金で所定の厚さで板状にプレス加工によ
り作られている。フレーム部材44は、記録素子基板2
4の厚さと略同一の一様な厚さを有し、インク供給部4
2Bの被接合面42cの幅および長さと略同一の幅およ
び長さで形成されている。また、フレーム部材44は、
その両端部にそれぞれ折曲部44aを有している。さら
に、フレーム部材44は、その中央部に、接着された記
録素子基板24を包囲する開口部44bを有している。
In FIGS. 9A and 9B, the frame member 44 is, for example, similar to the example shown in FIG.
It is made of an aluminum alloy by pressing into a plate with a predetermined thickness. The frame member 44 is connected to the recording element substrate 2.
4 has a uniform thickness substantially equal to the thickness of the ink supply unit 4.
The width and the length are substantially the same as the width and the length of the bonded surface 42c of 2B. Also, the frame member 44 is
Each end has a bent portion 44a. Further, the frame member 44 has an opening 44b surrounding the recording element substrate 24 adhered at the center thereof.

【0056】一方、インク供給部42Bには、フレーム
部材44の折曲部44aがそれぞれ係合される細長い溝
46が凹部42BGの長手方向に沿って設けられてい
る。
On the other hand, the ink supply section 42B is provided with an elongated groove 46 with which the bent section 44a of the frame member 44 is engaged, along the longitudinal direction of the concave section 42BG.

【0057】このようなフレーム部材44が用いられて
プリント配線基板22が接続された記録素子基板24を
インク供給部18Bに配置するにあたっては、図9の
(A)に示されるように、先ず、支持部材40の第1の
接合面20sbが被接合面18bに対して対向配置され
た後、被接合面42bの所定の位置に接着剤により接着
される。この接着剤は、例えば、粘度が高く、硬化後、
硬度が比較的低く弾性を有するものが望ましい。
In arranging the recording element substrate 24 to which the printed wiring board 22 is connected by using such a frame member 44 in the ink supply section 18B, first, as shown in FIG. After the first joint surface 20sb of the support member 40 is disposed to face the joint surface 18b, the first joint surface 20sb is bonded to a predetermined position of the joint surface 42b with an adhesive. This adhesive has, for example, a high viscosity and after curing,
Those having relatively low hardness and elasticity are desirable.

【0058】続いて、図9の(B)に示されるように、
フレーム部材44の折曲部44aがそれぞれ、溝46に
所定の隙間をもって係合されるもとでフレーム部材44
は、インク供給部42Bにおける被接合面42c、およ
び、支持部材40の第2の接合面40saに接着剤によ
り所定の位置に位置決めされて隙間無く密着されて接着
される。この接着剤は、例えば、硬化後、熱伝導率の比
較的高いものが望ましい。
Subsequently, as shown in FIG. 9B,
Each of the bent portions 44a of the frame member 44 is engaged with the groove 46 with a predetermined gap.
Is positioned at a predetermined position by an adhesive on the surface 42c to be bonded in the ink supply unit 42B and the second bonding surface 40sa of the support member 40, and is adhered without any gap. The adhesive preferably has a relatively high thermal conductivity after curing, for example.

【0059】そして、図9の(B)に示されるように、
支持部材40の第2の接合面40saに記録素子基板2
4におけるインク供給開口部24cが設けられる面が接
着剤により接着される。その接着剤は例えば、粘度が低
く、接触面に形成される接着層が薄く、かつ、硬化後、
比較的高い硬度を有するものが望ましい。従って、フレ
ーム部材44の放熱面積は、上述のフレーム部材38の
放熱面積に比して大となり、フレーム部材44の放熱に
よる冷却効果が改善されることとなる。
Then, as shown in FIG. 9B,
The recording element substrate 2 is provided on the second joint surface 40sa of the support member 40.
The surface provided with the ink supply opening 24c in No. 4 is bonded with an adhesive. The adhesive has, for example, a low viscosity, a thin adhesive layer formed on the contact surface, and after curing,
Those having relatively high hardness are desirable. Therefore, the heat dissipation area of the frame member 44 is larger than the heat dissipation area of the frame member 38 described above, and the cooling effect by the heat dissipation of the frame member 44 is improved.

【0060】さらに、図10の(A)および(B)は、
フレーム部材38のさらなる他の例を示す。上述のフレ
ーム部材44は、一様な厚さの板により形成されている
が、図10の(A)に示されるフレーム部材48は、そ
の両端部にそれぞれ折曲部48aを有している。また、
フレーム部材48の中央部には接着された記録素子基板
24が配される開口部48bが設けられている。折曲部
48aは、ヘミング曲げ加工などにより折り返されて形
成されているので厚さが他の部分に比して厚くなってい
る。これにより、フレーム部材48における放熱面積が
フレーム部材44に比して増大することとなる。
Further, FIGS. 10A and 10B show
9 shows still another example of the frame member 38. The above-mentioned frame member 44 is formed of a plate having a uniform thickness, but the frame member 48 shown in FIG. 10A has bent portions 48a at both ends. Also,
At the center of the frame member 48, an opening 48b in which the bonded recording element substrate 24 is disposed is provided. The bent portion 48a is formed by being folded back by a hemming bending process or the like, and thus has a greater thickness than other portions. As a result, the heat radiation area of the frame member 48 is increased as compared with the frame member 44.

【0061】図10の(B)に示されるフレーム部材5
0は、押し出し成形により成形されるものである。フレ
ーム部材50は、その両端部にそれぞれ折曲部50aを
有している。また、フレーム部材50の中央部には接着
された記録素子基板24が配される開口部50bが設け
られている。折曲部50aは、他の部分に比して厚く成
形されている。これにより、上述の例と同様にフレーム
部材50における放熱面積がフレーム部材44に比して
増大することとなる。
The frame member 5 shown in FIG.
0 is formed by extrusion molding. The frame member 50 has bent portions 50a at both ends. Further, an opening 50b in which the bonded recording element substrate 24 is disposed is provided at the center of the frame member 50. The bent portion 50a is formed thicker than other portions. Thus, the heat radiation area of the frame member 50 is increased as compared with the frame member 44 as in the above-described example.

【0062】図11は、本発明に係るインクジェット記
録ヘッドの第5の実施例の要部を概略的に示す。
FIG. 11 schematically shows a main part of a fifth embodiment of the ink jet recording head according to the present invention.

【0063】図11においては、図7に示される例で
は、第2の支持部材としてのフレーム部材38が設けら
れるもとで、記録素子基板24に接続されるプリント配
線基板22が、フレーム部材38を介してインク供給部
18Bの凹部18BGの周縁部に配されるものである
が、加えて、インク供給部52Bの凹部52BGの底部
に、塗布された接着剤を保持する溝54が設けられるも
のである。
In FIG. 11, in the example shown in FIG. 7, the printed wiring board 22 connected to the recording element substrate 24 is connected to the frame member 38 under the provision of the frame member 38 as the second support member. And a groove 54 for holding the applied adhesive is provided at the bottom of the concave portion 52BG of the ink supply portion 52B through the peripheral portion of the concave portion 18BG of the ink supply portion 18B. It is.

【0064】なお、図11においては、図7に示される
例における構成要素と同一とされる構成要素については
同一の符号を付して示し、その重複説明を省略する。
In FIG. 11, the same components as those in the example shown in FIG. 7 are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted.

【0065】図11に示される例は、本体部52は、イ
ンクタンクITが装着されるインク供給部52Bと、図
示が省略されるキャリッジ部に電気的に接続されキャリ
ッジ部からの駆動制御信号群が入力される入力端子部5
2Aとから構成されている。本体部52は、入力端子部
52Aとインク供給部52Bとが例えば、樹脂により一
体に成形されている。本体部52のインク供給部52B
におけるインクタンクITが装着される部分に対向する
上面には、図11および図12で示されるように、略長
方形の凹部52BGが設けられている。凹部52BGの
底部は、第1の支持部材としての支持部材40が接着さ
れる被接合面52bとされる。また、凹部52BGの周
縁部における平坦な面は、第2の支持部材としてのフレ
ーム部材38が接着される被接合面52cとされる。
In the example shown in FIG. 11, the main body 52 has an ink supply section 52B in which the ink tank IT is mounted, and a drive control signal group from the carriage electrically connected to a carriage (not shown). Input terminal section 5 to which is input
2A. In the main body section 52, the input terminal section 52A and the ink supply section 52B are integrally formed of, for example, resin. Ink supply section 52B of main body section 52
As shown in FIGS. 11 and 12, a substantially rectangular concave portion 52BG is provided on the upper surface facing the portion where the ink tank IT is mounted. The bottom of the concave portion 52BG is a joined surface 52b to which the support member 40 as the first support member is adhered. The flat surface at the peripheral edge of the concave portion 52BG is the joined surface 52c to which the frame member 38 as the second support member is adhered.

【0066】被接合面52bの略中央部には、インクタ
ンクITからのインクを導入するインク供給路52aの
細長い開口端部が開口している。また、被接合面52b
におけるインク供給路52aの細長い開口端部の周縁部
には、断面形状が例えば、V字状の溝54がその開口端
部の周囲を囲むように設けられている。なお、溝54の
断面形状は、V字状に限られることなく、U字状、コ字
状であってもよい。
An elongated opening end of an ink supply path 52a for introducing ink from the ink tank IT is opened at a substantially central portion of the surface 52b to be joined. Also, the surface to be joined 52b
In the periphery of the elongated opening end of the ink supply path 52a, a groove 54 having a V-shaped cross section is provided so as to surround the periphery of the opening end. The cross-sectional shape of the groove 54 is not limited to the V-shape, but may be a U-shape or a U-shape.

【0067】フレーム部材38が用いられてプリント配
線基板22が接続された記録素子基板24をインク供給
部52Bに配置するにあたっては、図12の(A)に示
されるように、先ず、支持部材40の第1の接合面40
sbが被接合面52bに対して対向配置された後、被接
合面52bの所定の位置に塗布された接着剤により接着
される。この接着剤は、例えば、粘度が高く、硬化後、
硬度が比較的低く弾性を有するものが望ましい。その
際、塗布された接着剤Paは、図12の(B)に示され
るように、溝54内に保持されることとなる。これによ
り、溝54の深さに応じた所定の厚さの接着剤層が得ら
れ、その結果、インクの不所望な漏れが回避されるとと
もに支持部材40の被接合面52bに対する平面度が精
度よく確保されることとなる。
In arranging the recording element substrate 24 to which the printed wiring board 22 is connected by using the frame member 38 in the ink supply section 52B, first, as shown in FIG. First joint surface 40
After the sb is disposed to face the surface 52b to be joined, the sb is adhered by an adhesive applied to a predetermined position on the surface 52b to be joined. This adhesive has, for example, a high viscosity and after curing,
Those having relatively low hardness and elasticity are desirable. At this time, the applied adhesive Pa is held in the groove 54 as shown in FIG. As a result, an adhesive layer having a predetermined thickness corresponding to the depth of the groove 54 is obtained. As a result, undesired leakage of the ink is avoided, and the flatness of the support member 40 with respect to the surface 52b to be joined is precisely adjusted. It will be well secured.

【0068】続いて、図12の(B)に示されるよう
に、フレーム部材38がインク供給部52Bにおける被
接合面52c、および、支持部材40の第2の接合面4
0saに接着剤により所定の位置に位置決めされて隙間
無く密着されて接着される。この接着剤は、例えば、硬
化後、熱伝導率の比較的高いものが望ましい。
Subsequently, as shown in FIG. 12B, the frame member 38 is connected to the surface 52c to be bonded in the ink supply section 52B and the second bonding surface 4 of the support member 40.
At 0sa, the adhesive is positioned at a predetermined position by an adhesive and closely adhered without any gap. The adhesive preferably has a relatively high thermal conductivity after curing, for example.

【0069】そして、図12の(B)に示されるよう
に、支持部材40の第2の接合面40saが記録素子基
板24におけるインク供給開口部24cが設けられる面
に接着剤により接着される。その接着剤は例えば、粘度
が低く、接触面に形成される接着層が薄く、かつ、硬化
後、比較的高い硬度を有するものが望ましい。その際、
プリント配線基板22と接続された記録素子基板24と
の間の隙間は、硬化後、弾性を有する接着剤で封止され
ることが望ましい。
Then, as shown in FIG. 12B, the second bonding surface 40sa of the support member 40 is bonded to the surface of the recording element substrate 24 where the ink supply opening 24c is provided by an adhesive. For example, the adhesive desirably has a low viscosity, a thin adhesive layer formed on the contact surface, and a relatively high hardness after curing. that time,
After the curing, the gap between the printed wiring board 22 and the connected recording element board 24 is desirably sealed with an elastic adhesive.

【0070】これにより、プリント配線基板22が接続
された記録素子基板24がインク供給部18Bに配置さ
れることとなる。
Thus, the recording element substrate 24 to which the printed wiring board 22 is connected is arranged in the ink supply section 18B.

【0071】図13および図14は、本発明に係るイン
クジェット記録ヘッドの第6の実施例の要部を概略的に
示す。
FIGS. 13 and 14 schematically show the essential parts of a sixth embodiment of the ink jet recording head according to the present invention.

【0072】図13および図14においては、サイドシ
ュータ型とされるインクジェット記録ヘッド60は、例
えば、インクタンクINT1、INT2、および、IN
T3が装着されるインク供給部72Bと、図示が省略さ
れるキャリッジ部に電気的に接続されキャリッジ部から
の駆動制御信号群が入力される入力端子部72Aとから
なる本体部72と、本体部72におけるインク供給部7
2Bに対向する部分に設けられ、インク供給部72Bか
らのインクが選択的に吐出されるインク吐出口が形成さ
れるインク吐出部74とを含んで構成されている。
In FIGS. 13 and 14, the ink jet recording head 60 of the side shooter type has, for example, ink tanks INT1, INT2, and IN.
A main unit 72 including an ink supply unit 72B to which T3 is mounted, an input terminal unit 72A electrically connected to a carriage unit (not shown), and receiving a drive control signal group from the carriage unit; Ink supply unit 7 at 72
An ink ejection section 74 is provided at a portion facing 2B and has an ink ejection port for selectively ejecting ink from the ink supply section 72B.

【0073】インク供給部72Bには、インクタンクI
NT1、INT2、および、INT3が装着されるイン
クタンク収容部78A、78B、および、78Cが、図
14に示す座標軸Xに沿ったインクジェット記録ヘッド
60の走査方向に沿って配列されて設けられている。イ
ンクタンク収容部78A、78B、および、78Cを形
成する外殻部における図14に示す座標軸Yの方向に向
かう端部には、インクジェット記録ヘッド60が搭載さ
れるキャリッジ部80の装着部80aに対する位置決め
を行う一対の当接部76ay、および、76byが設け
られている。当接部76ay、および、76byは、互
いに平行に対向配置され、図15に示されるように、イ
ンクジェット記録ヘッド60のキャリッジ部80におけ
る装着部80aの図14に示す座標軸Yの方向に対する
位置決めを行う。
The ink supply section 72B has an ink tank I
The ink tank storage units 78A, 78B, and 78C to which the NT1, INT2, and INT3 are mounted are arranged in the scanning direction of the inkjet recording head 60 along the coordinate axis X shown in FIG. . At the ends of the outer shells forming the ink tank accommodating sections 78A, 78B, and 78C in the direction of the coordinate axis Y shown in FIG. 14, the positioning of the carriage section 80 on which the inkjet recording head 60 is mounted with respect to the mounting section 80a. Are provided. The contact portions 76ay and 76by are opposed to each other in parallel to each other, and position the mounting portion 80a of the carriage portion 80 of the ink jet recording head 60 in the direction of the coordinate axis Y shown in FIG. 14 as shown in FIG. .

【0074】当接部76ayと当接部76byとの間に
は、当接部76azが設けられている。当接部76az
は、図16に示されるように、インクジェット記録ヘッ
ド60のキャリッジ部80における装着部80aの図1
4に示す座標軸Zの方向に対する位置決めを行う。
A contact portion 76az is provided between the contact portion 76ay and the contact portion 76by. Contact part 76az
As shown in FIG. 16, FIG. 1 shows the mounting portion 80a of the carriage portion 80 of the ink jet recording head 60.
Positioning in the direction of the coordinate axis Z shown in FIG.

【0075】また、インクタンク収容部78A、78
B、および、78Cを形成する外殻部における座標軸X
に沿った方向の両側壁部には、図13および図14に示
されるように、対向配置される当接部76bzおよび7
6czがそれぞれ設けられている。当接部76bzおよ
び76czは、図15に示されるように、インクジェッ
ト記録ヘッド60のキャリッジ部80における装着部8
0aの図14に示す座標軸Zの方向に対する位置決めを
行う。
The ink tank housings 78A and 78A
B and the coordinate axis X in the shell forming 78C
As shown in FIG. 13 and FIG. 14, the contact portions 76bz and 7
6cz are provided respectively. As shown in FIG. 15, the abutting portions 76bz and 76cz are attached to the mounting portion 8
Positioning is performed in the direction of the coordinate axis Z shown in FIG.

【0076】さらに、当接部76bzが設けられる側壁
部には、当接部76bzの下方部分に当接部76axが
設けられている。当接部76axは、図16に示される
ように、インクジェット記録ヘッド60のキャリッジ部
80における装着部80aの図14に示す座標軸Xの方
向に対する位置決めを行う。
Further, a contact portion 76ax is provided below the contact portion 76bz on the side wall portion where the contact portion 76bz is provided. As shown in FIG. 16, the contact portion 76ax positions the mounting portion 80a of the carriage portion 80 of the inkjet recording head 60 in the direction of the coordinate axis X shown in FIG.

【0077】これにより、キャリッジ部80における装
着部80aにおいて、インクジェット記録ヘッド60の
図14に示す座標軸Xの方向に対する位置決めは、当接
部76axに例えば、板ばねの付勢力が図16の矢印P
xが示す方向に沿って作用されて1箇所で行われる。ま
た、インクジェット記録ヘッド60の図14に示す座標
軸Yの方向に対する位置決めは、当接部76ayおよび
76byに矢印Pyの示す方向に沿って例えば、コンタ
クトパッド(ゴムバッド)による押圧力が作用されて2
箇所で行われる。さらに、インクジェット記録ヘッド6
0の図14に示す座標軸Zの方向に対する位置決めは、
当接部76az、76bzおよび76czに矢印Pzの
示す方向に沿って例えば、コイルバネの付勢力が作用さ
れて3箇所で行われる。
In the mounting section 80a of the carriage section 80, the positioning of the ink jet recording head 60 in the direction of the coordinate axis X shown in FIG.
It is performed in one direction, acting along the direction indicated by x. Further, the positioning of the ink jet recording head 60 in the direction of the coordinate axis Y shown in FIG. 14 is performed by applying a pressing force by, for example, a contact pad (rubber pad) to the contact portions 76ay and 76by in the direction indicated by the arrow Py.
Done in places. Further, the ink jet recording head 6
0 in the direction of the coordinate axis Z shown in FIG.
For example, the contact portions 76az, 76bz, and 76cz are applied in three directions along the direction indicated by the arrow Pz by the urging force of a coil spring.

【0078】従って、インクジェット記録ヘッド60の
キャリッジ部80における装着部80aに対する適正な
位置決めが、インクジェット記録ヘッド60が装着部8
0aに装着されることにより自動的に、かつ、確実に行
われることとなる。
Therefore, the proper positioning of the ink jet recording head 60 with respect to the mounting section 80a in the carriage section 80 is achieved by the ink jet recording head 60 being mounted on the mounting section 8a.
The mounting is performed automatically and reliably by being attached to 0a.

【0079】本体部72におけるインク吐出部74側に
は、図13に示されるように、被接合面72Sが形成さ
れている。被接合面72Sには、図13および図17に
示されるように、インクタンク収容部78A、78B、
および、78Cに連通するインク供給路82A、82
B、82Cの一方の開口端82a、82b、および、8
2cが開口している。また、被接合面72Sには、図1
3に示されるように、インク吐出部79が配されてい
る。
As shown in FIG. 13, a surface 72S to be joined is formed on the ink ejection section 74 side of the main body section 72. As shown in FIG. 13 and FIG. 17, the ink tank housing portions 78A, 78B,
And ink supply paths 82A and 82 communicating with 78C.
B, 82C, one open end 82a, 82b, and 8
2c is open. Also, FIG.
As shown in FIG. 3, an ink ejection section 79 is provided.

【0080】インク吐出部79は、被接合面72Sに接
合される支持部材70と、支持部材70における第2の
接合面としての上面に接着される複数の記録素子基板6
2、64、および、66と、記録素子基板62、64、
および、66にそれぞれ電気的に接続され入力端子部7
2Aからの駆動制御信号群を供給するプリント配線基板
62P、64P、および、66Pと、支持部材70の上
面に配され複数の記録素子基板62、64、および、6
6とともにプリント配線基板62P、64P、および、
66Pの位置決めを行うフレーム部材68とを含んで構
成されている。
The ink discharge section 79 includes a support member 70 joined to the surface 72S to be joined, and a plurality of recording element substrates 6 adhered to the upper surface of the support member 70 as a second joint surface.
2, 64, and 66, and recording element substrates 62, 64,
And 66, which are electrically connected to the input terminal 7 respectively.
Printed wiring boards 62P, 64P, and 66P for supplying a drive control signal group from 2A, and a plurality of printing element boards 62, 64, and 6 disposed on the upper surface of the support member 70
6, and printed wiring boards 62P, 64P, and
And a frame member 68 for positioning at 66P.

【0081】第1の支持部材としての支持部材70は、
記録素子基板62〜66の厚さと略同一の厚さで長方形
の板状に形成されている。また、支持部材70における
後述する記録素子基板62〜66の配列方向に沿った幅
Wは、図19に示されるように、記録素子基板62の一
方の端部から記録素子基板66の他方の端部までの長さ
Lと同一もしくはそれよりも長く設定されている。支持
部材70は、例えば、記録素子基板24の材料と同一の
シリコンで作られている。なお、支持部材70の素材
は、シリコンに限られることなく、記録素子基板62〜
66の材料の線膨張率と同等の線膨張率を有し、かつ、
記録素子基板24の材料の熱伝導率と同等もしくは同等
以上の熱伝導率を有する材料で作られてもよい。支持部
材40の素材は、例えば、アルミナ(Al2 3 )、窒
化アルミウム(AlN)、炭化珪素(SiC)、4窒化
3珪素(Si3 4 )、モリブデン(Mo)、タングス
テン(W)のうちのいずれであってもよい。
The supporting member 70 as the first supporting member is
The recording element substrates 62 to 66 are formed in a rectangular plate shape with substantially the same thickness as the thickness. As shown in FIG. 19, the width W of the support member 70 along the direction in which the recording element substrates 62 to 66 are arranged is changed from one end of the recording element substrate 62 to the other end of the recording element substrate 66. The length is set equal to or longer than the length L to the portion. The support member 70 is made of, for example, the same silicon as the material of the recording element substrate 24. The material of the support member 70 is not limited to silicon, but may be any of the recording element substrates 62 to 62.
66 has a linear expansion coefficient equivalent to the linear expansion coefficient of the material No. 66, and
It may be made of a material having a thermal conductivity equal to or higher than the thermal conductivity of the material of the recording element substrate 24. The material of the support member 40 is, for example, alumina (Al 2 O 3 ), aluminum nitride (AlN), silicon carbide (SiC), trisilicon tetranitride (Si 3 N 4 ), molybdenum (Mo), tungsten (W). Any of them may be used.

【0082】支持部材70は、透孔70a、70b、お
よび、70cを同一直線上に有している。支持部材70
は、フレーム部材68に対向する第1の接合面70sa
と本体部72の被接合面72Sに対向する第2の接合面
70sbとを有する。支持部材70における第2の接合
面70sbが接着剤により被接合面72Sに接着され
る。
The support member 70 has through holes 70a, 70b, and 70c on the same straight line. Support member 70
Is a first joint surface 70sa facing the frame member 68.
And a second joint surface 70sb facing the joined surface 72S of the main body 72. The second joint surface 70sb of the support member 70 is adhered to the joint surface 72S with an adhesive.

【0083】その際、図13および図17に示されるよ
うに、透孔70aは、被接合面72Sに設けられるイン
ク流路86Aを通じてインク供給路82Aの開口端82
aに連通している。透孔70bは、被接合面72Sに設
けられるインク流路86Cを通じてインク供給路82C
の開口端82cに連通している。透孔70cは、被接合
面72Sにインク流路86A側に湾曲して設けられるイ
ンク流路86Bを通じてインク供給路82Bの開口端8
2bに連通している。
At this time, as shown in FIGS. 13 and 17, the through-hole 70a is formed at the opening end 82 of the ink supply path 82A through the ink flow path 86A provided on the surface 72S to be joined.
a. The through hole 70b is formed through an ink supply path 82C through an ink flow path 86C provided on the surface 72S to be joined.
Communicates with the open end 82c. The through hole 70c is formed at the opening end 8 of the ink supply path 82B through an ink flow path 86B which is provided on the surface to be bonded 72S so as to curve toward the ink flow path 86A.
2b.

【0084】これにより、インク供給路82Cを通じて
供給されたインクは、インク流路86Cを介して支持部
材70の透孔70bに供給され、記録素子基板64に供
給されることとなる。また、インク供給路82Bを通じ
て供給されたインクは、インク流路86Bを介して支持
部材70の透孔70cに供給され記録素子基板62に供
給されることとなる。さらに、インク供給路82Aを通
じて供給されたインクは、インク流路86Aを介して支
持部材70の透孔70aに供給され、記録素子基板66
に供給されることとなる。
Thus, the ink supplied through the ink supply path 82C is supplied to the through hole 70b of the support member 70 via the ink flow path 86C, and is supplied to the recording element substrate 64. The ink supplied through the ink supply path 82B is supplied to the through-hole 70c of the support member 70 via the ink flow path 86B, and is supplied to the recording element substrate 62. Further, the ink supplied through the ink supply path 82A is supplied to the through hole 70a of the support member 70 through the ink flow path 86A, and the recording element substrate 66
Will be supplied.

【0085】従って、記録素子基板62および66にお
いて、同一色のインクを吐出させ、記録素子基板64に
おいて異なるインク色のインクを吐出させる必要がある
場合、図18に示されるように、任意の色のインクがイ
ンクタンクINT3に貯留され、また、同色とされるイ
ンクがそれぞれ、インクタンクINT1およびINT2
に貯留されるもとで、それぞれのインクが供給されると
き、インクタンクINT3に貯留されているインクが支
持部材70の透孔70bを通じて記録素子基板64に供
給され、インクタンクINT1およびINT2に貯留さ
れていたインクがそれぞれ記録素子基板62、および、
66に供給されるのでインクタンクINT1およびIN
T2の配置が容易となる。また、インクタンクINT1
およびINT2を同一のインクタンクとした場合でも記
録素子基板62および66にインクをそれぞれ供給でき
ることとなる。
Therefore, when it is necessary to eject ink of the same color on the recording element substrates 62 and 66 and eject ink of different ink colors on the recording element substrate 64, as shown in FIG. Is stored in an ink tank INT3, and inks of the same color are stored in ink tanks INT1 and INT2, respectively.
When the respective inks are supplied while being stored in the ink tank INT3, the ink stored in the ink tank INT3 is supplied to the recording element substrate 64 through the through hole 70b of the support member 70, and stored in the ink tanks INT1 and INT2. The inks that have been used are respectively the recording element substrate 62, and
66, the ink tanks INT1 and IN1
The arrangement of T2 becomes easy. Also, the ink tank INT1
Even if INT2 and INT2 are the same ink tank, ink can be supplied to the recording element substrates 62 and 66, respectively.

【0086】記録素子基板62、64、および、66
は、それぞれ、同様な構造とされるので記録素子基板6
2のみについて説明する。
Recording element substrates 62, 64 and 66
Have the same structure, so that the recording element substrate 6
Only 2 will be described.

【0087】記録素子基板62の基板62kには、例え
ば、厚さ0.5〜1.0mmのシリコン材料で薄膜が形
成されている。シリコン材料で厚さ数μmの薄膜状に作
られている。また、基板62kにおける支持部材70の
第1の接合面70saに接着剤により接着せしめられる
面には、図19に示されるように、オリフィスプレート
62Fに対向しインク吐出口62Faの配列方向に伸び
るインク供給開口部62kaが設けられている。さら
に、そのオリフィスプレート62Fにおけるインク供給
開口部62kaを挟んだ両側部分には、図示が省略され
るヒータが所定の相互間隔をもってそれぞれ配されてい
る。インク供給開口部62kaを通じて供給されるイン
クは、オリフィスプレート62Fに形成される流路を通
じてそれぞれのヒータに導かれるものとされる。
On the substrate 62k of the recording element substrate 62, for example, a thin film is formed from a silicon material having a thickness of 0.5 to 1.0 mm. It is made of a silicon material into a thin film having a thickness of several μm. Further, as shown in FIG. 19, the surface of the substrate 62k, which is bonded to the first bonding surface 70sa of the support member 70 with an adhesive, has the ink extending in the arrangement direction of the ink discharge ports 62Fa facing the orifice plate 62F. A supply opening 62ka is provided. Further, heaters, not shown, are arranged at predetermined mutual intervals on both sides of the orifice plate 62F across the ink supply opening 62ka. The ink supplied through the ink supply opening 62ka is guided to each heater through a flow path formed in the orifice plate 62F.

【0088】記録素子基板62における基板の各電極に
は、図13および図17に示されるように、プリント配
線基板62Pが電気的に接続されている。プリント配線
基板62Pと記録素子基板62とをボンディングするに
あたっては、例えば、TAB(テープ・オートメイティ
ド・ボンディング)方式により接続される。
As shown in FIGS. 13 and 17, a printed wiring board 62P is electrically connected to each electrode of the printing element board 62. In bonding the printed wiring board 62P and the recording element board 62, they are connected by, for example, a TAB (tape automated bonding) method.

【0089】第2の支持部材としてのフレーム部材68
は、記録素子基板62、64、66の位置を規制する開
口部68a、68b、68cが並列に記録素子基板6
2、64、66に対応して設けられている。
The frame member 68 as the second support member
The openings 68a, 68b, 68c for regulating the positions of the printing element substrates 62, 64, 66
2, 64 and 66 are provided.

【0090】プリント配線基板62Pが接続された記録
素子基板62、プリント配線基板64Pが接続された記
録素子基板64、プリント配線基板66Pが接続された
記録素子基板66をそれぞれフレーム部材68および支
持部材70を介して本体部72の被接合面72Sに配置
するにあたっては、図19および図20に示されるよう
に、先ず、支持部材70の第2の接合面70sbが被接
合面72Sに接着剤により接着される。続いて、フレー
ム部材68が透孔70a、70b、および、70cに対
応させて支持部材70の第1の接合面70saに接着さ
れる。そして、プリント配線基板62Pが接続された記
録素子基板62、プリント配線基板64Pが接続された
記録素子基板64、プリント配線基板66Pが接続され
た記録素子基板66が各開口部68a〜68cに挿入さ
れ接着剤により支持部材70の第1の接合面70saに
接着される。その際、各オリフィスプレート62F〜6
6Fのインク吐出口が互いに同一方向に向くように例え
ば、画像認識技術が用いられて位置決めされる。
The printing element substrate 62 to which the printed wiring board 62P is connected, the printing element substrate 64 to which the printed wiring board 64P is connected, and the printing element substrate 66 to which the printed wiring board 66P is connected are respectively framed by a frame member 68 and a supporting member 70. 19 and 20, the second joint surface 70sb of the support member 70 is first adhered to the joint surface 72S with an adhesive, as shown in FIGS. 19 and 20. Is done. Subsequently, the frame member 68 is bonded to the first joint surface 70sa of the support member 70 corresponding to the through holes 70a, 70b, and 70c. Then, the recording element substrate 62 to which the printed wiring board 62P is connected, the recording element substrate 64 to which the printed wiring board 64P is connected, and the recording element substrate 66 to which the printed wiring board 66P is connected are inserted into the openings 68a to 68c. It is adhered to the first joint surface 70sa of the support member 70 by an adhesive. At that time, each orifice plate 62F-6F
For example, the ink ejection ports of the 6F are positioned so as to face the same direction by using an image recognition technique.

【0091】これにより、複数の記録素子基板62、6
4、および、66が1個の支持部材70に接着されて組
み付けられるので組付け精度が向上し、ひいては、記録
精度も向上することとなる。また、支持部材70が上述
のような材料により作られているので記録素子基板6
2、64、および、66の熱膨張に起因する記録素子基
板62、64、および、66の熱変形が回避されること
となる。
Thus, the plurality of recording element substrates 62, 6
4 and 66 are bonded and assembled to one support member 70, so that the assembling accuracy is improved and, consequently, the recording accuracy is also improved. Further, since the support member 70 is made of the above-described material, the recording element substrate 6
Thermal deformation of the print element substrates 62, 64, and 66 due to thermal expansion of the print elements 2, 64, and 66 is avoided.

【0092】図21は、支持部材70′における第1の
接合面70sa′および第2の接合面70sb′の被接
合面72Sに対する平面度が良好でない状態の場合を示
す。このような場合において、記録素子基板62、6
4、および、66が支持部材70′に接着されるとき、
記録素子基板62、64、および、66から吐出される
それぞれのインクが図21の矢印Ia〜Icの示す異な
る吐出方向に吐出されることとなる。
FIG. 21 shows a case where the flatness of the first joint surface 70sa 'and the second joint surface 70sb' of the support member 70 'with respect to the joined surface 72S is not good. In such a case, the recording element substrates 62, 6
4 and 66 are bonded to the support member 70 '
The respective inks ejected from the recording element substrates 62, 64, and 66 are ejected in different ejection directions indicated by arrows Ia to Ic in FIG.

【0093】そこで、支持部材70における第1の接合
面の平面度を高精度に保持し、形成される接着剤層を薄
くする。あるいは、接着剤を比較的低粘度のものを用い
接着剤に所定の圧力を作用させることにより図21に示
される事態は回避される。
Therefore, the flatness of the first joint surface of the support member 70 is maintained with high precision, and the formed adhesive layer is thinned. Alternatively, the situation shown in FIG. 21 can be avoided by using a relatively low-viscosity adhesive and applying a predetermined pressure to the adhesive.

【0094】図22に示される例においては、支持部材
90における記録素子基板62〜66の配列方向に沿っ
た幅Wが、透孔90aと透孔90cとの間の寸法Kに比
して若干大なる寸法とされるものである。なお、図19
に示される例における構成要素と同一の構成要素は同一
の符号を付して示し、その重複説明を省略する。
In the example shown in FIG. 22, the width W of the support member 90 along the arrangement direction of the recording element substrates 62 to 66 is slightly larger than the dimension K between the through holes 90a and 90c. This is a large dimension. Note that FIG.
The same components as those in the example shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will not be repeated.

【0095】これにより、支持部材90は、複数の記録
素子基板の位置決め精度を主たる目的とした部材である
ので支持部材90の少なくとも一方の端部が、被接合面
72Sにおける周壁部72Gの内周面に接触するような
寸法に設定されていればよいこととなる。一方、図23
に示されるように、支持部材90′の両端部が被接合面
72Sにおける周壁部72Gの内周面に接触しない状態
の場合は、各記録素子基板62〜66のインク供給開口
部62k〜66kがヒータの熱により変形する虞がある
こととなる。
Thus, since the support member 90 is a member whose main purpose is positioning accuracy of the plurality of recording element substrates, at least one end of the support member 90 is connected to the inner periphery of the peripheral wall portion 72G on the surface 72S to be joined. It is only necessary to set the dimensions so as to contact the surface. On the other hand, FIG.
As shown in FIG. 7, when both ends of the support member 90 'do not contact the inner peripheral surface of the peripheral wall portion 72G in the joined surface 72S, the ink supply openings 62k to 66k of the recording element substrates 62 to 66 are closed. It may be deformed by the heat of the heater.

【0096】図24は、支持部材92における第1の接
合面92saおよび第2の接合面92sbのうち第1の
接合面92saに、記録素子基板62〜66に対応した
凹部92GA、92GB、および、92GCが設けられ
るものである。
FIG. 24 shows concave portions 92GA and 92GB corresponding to the recording element substrates 62 to 66 in the first bonding surface 92sa of the first bonding surface 92sa and the second bonding surface 92sb of the support member 92. 92GC is provided.

【0097】なお、図24においては、図20に示され
る例における構成要素と同一とされる構成要素は同一の
符号を付して示し、その重複説明を省略する。
In FIG. 24, components that are the same as the components in the example shown in FIG. 20 are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

【0098】凹部92GA、92GB、および、92G
Cは、所定の深さを有し、所定の間隔をもって設けられ
ている。凹部92GA、92GB、および、92GC
は、例えば、サンドブラスト、異方性エッチング処理等
の加工により形成される。
Recesses 92GA, 92GB and 92G
C has a predetermined depth and is provided at a predetermined interval. Recesses 92GA, 92GB, and 92GC
Is formed, for example, by processing such as sandblasting or anisotropic etching.

【0099】これにより、記録素子基板62〜66の外
周部が、それぞれ、凹部92GA、92GB、および、
92GCの内周部により精度よく位置決めされることと
なる。
Thus, the outer peripheral portions of the recording element substrates 62 to 66 are respectively provided with concave portions 92GA, 92GB, and
The position is accurately determined by the inner peripheral portion of the 92GC.

【0100】[0100]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係るインクジェット記録ヘッドによれば、第1の支持
部材および第2の支持部材を具備し、記録素子基板は第
1の支持部材上の第2の支持部材の開口部内に配され、
配線基板は第2の支持部材に支持された状態で記録素子
基板と電気的に接続されるので記録素子基板の剛性が増
し記録素子基板の温度変化により記録素子基板が破損す
ることなく、しかも、記録素子基板の製造コストが嵩む
ことが回避できることとなる。また、記録素子基板がイ
ンク加熱部による熱により熱膨張したとしても配線基板
と記録素子基板との電気接続状態を良好に維持すること
ができ さらに、第2の支持部材を通じて記録素子基板
からの熱を効果的に放熱することができる
As is apparent from the above description, according to the ink jet recording head of the present invention, the recording head includes the first supporting member and the second supporting member, and the recording element substrate is provided on the first supporting member. Disposed in the opening of the second support member,
The wiring substrate is electrically connected to the recording element substrate while being supported by the second support member, so that the rigidity of the recording element substrate is increased, and the recording element substrate is not damaged by a temperature change of the recording element substrate. It is possible to avoid increasing the manufacturing cost of the recording element substrate. Also, if the recording element substrate is
Wiring board even if thermally expanded by the heat of the ink heating section
Maintain good electrical connection between the substrate and the printing element substrate
It can be further recording element substrate through a second support member
Can effectively dissipate the heat .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの第1
の実施例を示す分解斜視図である。
FIG. 1 is a first view of an ink jet recording head according to the present invention.
FIG. 3 is an exploded perspective view showing the embodiment of FIG.

【図2】(A)、(B)は、図1に示される例における
断面図である。
FIGS. 2A and 2B are cross-sectional views of the example shown in FIG.

【図3】(A)、(B)、(C)は、図1に示される例
に用いられる支持部材の他の例を示す斜視図である。
FIGS. 3A, 3B, and 3C are perspective views showing other examples of the support member used in the example shown in FIG.

【図4】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの第2
の実施例を示す分解斜視図である。
FIG. 4 shows a second example of the ink jet recording head according to the present invention.
FIG. 3 is an exploded perspective view showing the embodiment of FIG.

【図5】(A)、(B)は、図4に示される例における
断面図である。
FIGS. 5A and 5B are cross-sectional views of the example shown in FIG.

【図6】(A)、(B)は、本発明に係るインクジェッ
ト記録ヘッドの第3の実施例を示す断面図である。
FIGS. 6A and 6B are cross-sectional views showing a third embodiment of the ink jet recording head according to the present invention.

【図7】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの第4
の実施例を示す分解斜視図である。
FIG. 7 shows a fourth example of the ink jet recording head according to the present invention.
FIG. 3 is an exploded perspective view showing the embodiment of FIG.

【図8】(A)、(B)は、図7に示される例における
断面図である。
8A and 8B are cross-sectional views of the example shown in FIG.

【図9】(A)、(B)は、図7に示される例に用いら
れるフレーム部材の他の例を示す断面図である。
FIGS. 9A and 9B are cross-sectional views showing another example of the frame member used in the example shown in FIG.

【図10】(A)、(B)は、図7に示される例に用い
られるフレーム部材の他の例を示す断面図である。
FIGS. 10A and 10B are cross-sectional views showing another example of the frame member used in the example shown in FIG. 7;

【図11】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの第
5の実施例を示す分解斜視図である。
FIG. 11 is an exploded perspective view showing a fifth embodiment of the ink jet recording head according to the present invention.

【図12】(A)、(B)は、図11に示される例にお
ける断面図である。
12A and 12B are cross-sectional views of the example shown in FIG.

【図13】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの第
6の実施例を示す分解斜視図である。
FIG. 13 is an exploded perspective view showing a sixth embodiment of the ink jet recording head according to the present invention.

【図14】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの第
6の実施例を示す斜視図である。
FIG. 14 is a perspective view showing a sixth embodiment of the ink jet recording head according to the present invention.

【図15】図13に示される例における動作説明に供さ
れる図である。
FIG. 15 is a diagram which is used for describing the operation in the example shown in FIG.

【図16】図13に示される例における動作説明に供さ
れる図である。
FIG. 16 is a diagram provided for an explanation of the operation in the example shown in FIG. 13;

【図17】図13に示される例におけるインクジェット
記録ヘッドの平面図である。
FIG. 17 is a plan view of the ink jet recording head in the example shown in FIG.

【図18】図13に示される例における動作説明に供さ
れる図である。
FIG. 18 is a diagram which is used for describing the operation in the example shown in FIG.

【図19】図13に示される例における要部を示す断面
図である。
FIG. 19 is a sectional view showing a main part in the example shown in FIG. 13;

【図20】図13に示される例における要部を示す断面
図である。
20 is a cross-sectional view showing a main part in the example shown in FIG.

【図21】図13に示される例における動作説明に供さ
れる部分断面図である。
FIG. 21 is a partial cross-sectional view used for describing the operation in the example shown in FIG. 13;

【図22】図13に示される例において用いられる支持
部材の他の例を示す部分断面図である。
FIG. 22 is a partial cross-sectional view showing another example of the support member used in the example shown in FIG.

【図23】図13に示される例における動作説明に供さ
れる部分断面図である。
FIG. 23 is a partial cross-sectional view used for explaining the operation in the example shown in FIG. 13;

【図24】図13に示される例において用いられる支持
部材のさらなる他の例を示す部分断面図である。
24 is a partial cross-sectional view showing still another example of the support member used in the example shown in FIG.

【図25】従来の装置を示す斜視図である。FIG. 25 is a perspective view showing a conventional device.

【図26】(A)、(B)は、図25に示される例にお
ける部分断面図である。
26A and 26B are partial cross-sectional views of the example shown in FIG.

【図27】(A)、(B)は、従来の装置における記録
素子基板を示す平面図である。
FIGS. 27A and 27B are plan views showing recording element substrates in a conventional apparatus.

【図28】従来の装置における記録素子基板の動作説明
に供される平面図である。
FIG. 28 is a plan view for explaining the operation of a printing element substrate in a conventional apparatus.

【図29】図25に示される装置に用いられるプリント
配線基板を示す斜視図である。
FIG. 29 is a perspective view showing a printed wiring board used in the device shown in FIG. 25;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

16 インクジェット記録ヘッド 18、42、52、72 本体部 18b、42b、52b、72S 被接合面 20、28、30、32、34、36、40、70 支
持部材 20a、28a、28b、30a、30b、30c 連
通路 24、62、64、66 記録素子基板 38、44、48、50、68 フレーム部材 54 溝
16 Inkjet recording heads 18, 42, 52, 72 Body portions 18b, 42b, 52b, 72S Joined surfaces 20, 28, 30, 32, 34, 36, 40, 70 Support members 20a, 28a, 28b, 30a, 30b, 30c Communication paths 24, 62, 64, 66 Recording element substrates 38, 44, 48, 50, 68 Frame member 54 Groove

フロントページの続き (72)発明者 森田 攻 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 平3−182359(JP,A) 特開 平5−212876(JP,A) 特開 平5−147222(JP,A) 特開 平1−108050(JP,A) 特開 昭60−262649(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B41J 2/05 B41J 2/16 Continuation of the front page (72) Inventor: Osamu Morita 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (56) References JP-A-3-182359 (JP, A) JP-A-5-212876 ( JP, A) JP-A-5-147222 (JP, A) JP-A-1-108050 (JP, A) JP-A-60-262649 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , (DB name) B41J 2/05 B41J 2/16

Claims (9)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 インクを加熱するインク加熱部と、該イ
ンク加熱部に対向して設けられ該インク加熱部により加
熱されたインクを吐出するインク吐出口が形成されるイ
ンク吐出口形成部とを含んでなる記録素子基板と、 該記録素子基板と電気的に接続される配線基板と、 前記インクを保持するインク貯留部と前記記録素子基板
とを連通し前記記録素子基板にインクを供給するための
連通路を有するとともに該記録素子基板を接合面にて支
持する第1の支持部材と、 前記第1の支持部材の前記記録素子基板の接合面に接合
されるとともに開口部を有する第2の支持部材と、を具
備し、 前記記録素子基板は前記第1の支持部材上の前記第2の
支持部材の開口部内に配され、前記配線基板は前記第2
の支持部材に支持された状態で前記記録素子基板と電気
的に接続されて構成されるインクジェット記録ヘッド。
1. An ink heating section for heating ink, and an ink ejection port forming section provided opposite to the ink heating section and formed with an ink ejection port for ejecting ink heated by the ink heating section. A recording element substrate comprising: a wiring substrate electrically connected to the recording element substrate; an ink reservoir for holding the ink and the recording element substrate communicating with each other to supply ink to the recording element substrate. A first support member having a communication path and supporting the printing element substrate at a bonding surface; and a second supporting member bonded to the bonding surface of the printing element substrate of the first support member and having an opening. A support member, wherein the recording element substrate is disposed in an opening of the second support member on the first support member, and the wiring substrate is the second support member.
An ink jet recording head configured to be electrically connected to the recording element substrate while being supported by the supporting member.
【請求項2】 前記第1の支持部材の第2の接合面が前
記第2の支持部材に第1の接着剤で接着され、前記記録
素子基板が該第1の支持部材における第2の接合面に第
2の接着剤で接着されることを特徴とする請求項1記載
のインクジェット記録ヘッド。
2. A second bonding surface of the first support member is bonded to the second support member with a first adhesive, and the printing element substrate is bonded to the second support member by a second bonding. 2. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the surface is adhered with a second adhesive.
【請求項3】 前記配線基板と前記記録素子基板との隙
間が弾性を有する接着剤により封止されることを特徴と
する請求項1記載のインクジェット記録ヘッド。
3. The ink jet recording head according to claim 1, wherein a gap between the wiring substrate and the recording element substrate is sealed with an adhesive having elasticity.
【請求項4】 前記第2の支持部材の厚さが前記記録素
子基板の厚さと略同一であることを特徴とする請求項1
記載のインクジェット記録ヘッド。
4. The printing apparatus according to claim 1, wherein the thickness of the second support member is substantially the same as the thickness of the printing element substrate.
The inkjet recording head according to the above.
【請求項5】 前記第1の支持部材の素材がシリコン、
アルミナ、窒化アルミウム、炭化珪素、窒化珪素、モリ
ブデン、タングステンのうちのいずれかであることを特
徴とする請求項1記載のインクジェット記録ヘッド。
5. The material of the first support member is silicon,
2. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the ink jet recording head is any one of alumina, aluminum nitride, silicon carbide, silicon nitride, molybdenum, and tungsten.
【請求項6】 前記第1の支持部材の素材、および、前
記記録素子基板の素材における熱的性質が同質であるこ
とを特徴とする請求項5記載のインクジェット記録ヘッ
ド。
6. The ink jet recording head according to claim 5, wherein the material of the first support member and the material of the recording element substrate have the same thermal properties.
【請求項7】 前記記録素子基板からの熱が前記第1の
支持部材を介して前記第2の支持部材より放熱されるこ
とを特徴とする請求項6記載のインクジェット記録ヘッ
ド。
7. The ink jet recording head according to claim 6, wherein heat from said recording element substrate is radiated from said second support member via said first support member.
【請求項8】 前記第2の支持部材は、前記記録素子基
板の位置規制を行う位置規制部を有することを特徴とす
る請求項1記載のインクジェット記録ヘッド。
8. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the second support member has a position regulating portion for regulating a position of the recording element substrate.
【請求項9】 前記第1の支持部材における連通路が複
数設けられ、異なるインク色のインクが各連通路を通じ
てそれぞれ前記記録素子基板に供給されることを特徴と
する請求項1記載のインクジェット記録ヘッド。
9. The ink jet recording apparatus according to claim 1, wherein a plurality of communication paths in the first support member are provided, and inks of different ink colors are supplied to the recording element substrate through the respective communication paths. head.
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