JP3466718B2 - Optical scale molding die and method of manufacturing optical scale - Google Patents

Optical scale molding die and method of manufacturing optical scale

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JP3466718B2 JP17975894A JP17975894A JP3466718B2 JP 3466718 B2 JP3466718 B2 JP 3466718B2 JP 17975894 A JP17975894 A JP 17975894A JP 17975894 A JP17975894 A JP 17975894A JP 3466718 B2 JP3466718 B2 JP 3466718B2
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【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光学式スケールに関
し、特に光学式エンコーダー等に用いるのに適した光学
式スケールの成形に用いる型およびその型を用いた光学
式スケールの製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical scale, and more particularly to a mold used for molding an optical scale suitable for use in an optical encoder and the like, and a method for manufacturing an optical scale using the mold.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、プリンター等の情報機器におい
て、キャリッジ等の可動部の位置・速度を検出するため
に、光学式エンコーダーが多く用いられてきた。このよ
うな光学式エンコーダーは、通常可動部に固定され、光
学式符号が記録された光学式スケールに光を投射し、変
調された光を光電変換することによって、前記可動部の
位置情報を符号化された電気信号として取り出すように
構成されていた。
2. Description of the Related Art Conventionally, in information devices such as printers, optical encoders have often been used to detect the position and speed of movable parts such as carriages. Such an optical encoder is usually fixed to a movable part, projects light on an optical scale on which an optical code is recorded, and photoelectrically converts the modulated light to encode the position information of the movable part. It was configured to take out as a converted electric signal.

【0003】そして、光学式スケールとしては、 (1)金属板にエッチングによってスリットを設けたも
の (2)ガラス、プラスチック等の透明基板上に銀、銅、
クロム、アルミニウムなどの金属を蒸着し、金属層のみ
をエッチングによってスリット状に削除したもの (3)マスクブランクスにレジストを用いてスリットパ
ターンを描き、エッチングによってスリット状に削除し
たフォトマスクをマスター型にして銀塩フィルムに露光
し、現像処理によりパターニングされたもの 等が用いられていた。
The optical scale includes (1) a metal plate provided with slits by etching, (2) silver, copper, etc. on a transparent substrate such as glass or plastic.
A metal such as chrome or aluminum is vapor-deposited, and only the metal layer is removed by etching into a slit shape (3) A slit pattern is drawn on the mask blanks using a resist, and the photomask removed by etching into a slit shape is used as a master mold. A silver salt film that has been exposed to light and patterned by a development process has been used.

【0004】しかし、(1)はエッチング可能なスリッ
ト幅が金属の厚みの2倍以上に制限され、微細な符号を
記録することが困難であった。また、他のものは製作工
程が複雑で、しかもエッチングに高価な感光性樹脂を用
いるため、コストが高くなるといった欠点があった。ま
た、銀塩フィルムを用いる方法でも銀塩フィルムの価格
が高いため、コストの低減には限界があった。
However, in (1), the width of the slit that can be etched is limited to twice the metal thickness or more, and it is difficult to record a fine code. In addition, the other ones have a drawback that the manufacturing process is complicated and the cost is high because an expensive photosensitive resin is used for etching. Further, even if the method using a silver salt film is used, the cost of the silver salt film is high, so that there is a limit to cost reduction.

【0005】そこで、井垣らは特開昭62−3616号
公報に開示されたような形状のスケールとすることによ
って、インジェクション成形やコンプレッション成形に
より安価な光学式スケールを提供できることを開示てい
る。キャリッジ等の可動部の位置・速度を検出するため
に、上記形状の光学式エンコーダーをプリンターに搭載
する場合、スケールの長さはA4縦対応で210mm以
上必要である。また、その幅は通常3〜15mm程度で
ある。このような細長い形状のスケールをインジェクシ
ョン法で成形する場合には、厚みを厚くする必要がある
うえに、枚葉処理なので生産性がよくない。一方、コン
プレッション法では一枚の型に多数のパターンを配置で
きるが、転写時間が長いのと枚葉処理であるので、これ
も生産性が低い。
Therefore, Igaki et al. Disclose that an inexpensive optical scale can be provided by injection molding or compression molding by using a scale having the shape disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 62-3616. When the optical encoder having the above-mentioned shape is mounted on the printer in order to detect the position and speed of the movable part such as the carriage, the scale length is required to be 210 mm or more for A4 portrait. The width is usually about 3 to 15 mm. When molding such a slender-shaped scale by the injection method, it is necessary to increase the thickness, and the productivity is not good because it is a single-wafer process. On the other hand, in the compression method, a large number of patterns can be arranged on one die, but since the transfer time is long and the single wafer processing is used, this also has low productivity.

【0006】以上述べたように、従来用いられてきた光
学式スケールは、どの製造方法を用いても製造コストが
高く、価格の低い汎用プリンター等に搭載することがで
きなかった。
As described above, the conventionally used optical scale cannot be mounted on a low-priced general-purpose printer or the like because of high manufacturing cost regardless of which manufacturing method is used.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】そこで、生産性が高く
コストの低い光学式スケールの製造方法を検討した結果
本発明のローラーグルービング法(RG法)に至った。
Therefore, as a result of studying a method of manufacturing an optical scale having high productivity and low cost, the roller grooving method (RG method) of the present invention has been reached.

【0008】すなわち、透光性部材の一部に標識部を有
し、該標識部に光透過部と、入射する光線に対しその入
射角が臨界角以上に設定された傾斜面からなる光非透過
部とが交互に形成された光学式スケールを製造する方法
において、 1.所望の光学式スケールの対応するパターンよりも大
きい型をロール上に取付けてロール状スタンパーを作製
する第1の工程 2.使用する波長における光線透過率が50%以上の熱
可塑性樹脂を押し出し機で熔融してTダイから押し出す
第2の工程 3.ロール状スタンパーと鏡面ロールとの間で熔融した
樹脂を挟み込み、シート化すると同時にスケールのパタ
ーンも転写する第3の工程 からなる一連の工程を含み、厚みが0.1〜1.0mm
のシート状の光学式スケールを製造する光学式スケール
の製造方法を用いることにより、従来では不可能であっ
た劇的なコストダウンが可能であることを見いだした。
That is, a light-transmitting member has a marking portion, and the marking portion has a light-transmitting portion and an optical non-lighting surface which is an inclined surface whose incident angle is set to a critical angle or more with respect to an incident light ray. In a method of manufacturing an optical scale in which transmissive portions are alternately formed, 1. 1. The first step of making a roll stamper by mounting a mold on the roll that is larger than the corresponding pattern of the desired optical scale. 2. The second step of melting a thermoplastic resin having a light transmittance of 50% or more at a wavelength to be used with an extruder and extruding it from a T-die. The molten resin is sandwiched between the roll-shaped stamper and the mirror-like roll to form a sheet, and the scale pattern is transferred at the same time.
It has been found that by using the optical scale manufacturing method for manufacturing the sheet-shaped optical scale, it is possible to dramatically reduce the cost, which was impossible in the past.

【0009】例えば、薄い板状の成形品を作成する場
合、従来のコンプレッション法では加熱、冷却のサイク
ルがあり、1回当たりの成形タクトは最短でも3分程度
はかかるために、たとえ1つの型に60本のスケールパ
ターンを設けたとしても、1分間の生産量は20本にし
かならない。
For example, in the case of producing a thin plate-shaped molded product, the conventional compression method has a cycle of heating and cooling, and the molding tact per one time takes at least about 3 minutes. Even if 60 scale patterns are provided, the production amount per minute is only 20.

【0010】一方、上記のRG法では、1枚の型に15
本のスケールパターンを設けたとしても、1本のロール
型には2枚の型を取付けられるうえに、成形速度が1〜
7m/minと高速成形可能であるために、1分間の生
産量は30〜210本となりコンプレッション法と比較
して1.5〜10.5倍の生産性がある。また、RG法
では樹脂が熔融している状態で成形が行なわれるので、
成形圧力はコンプレッション法と比較して小さくてすむ
ので、型の耐久性もよいというメリットもある。
On the other hand, in the above-mentioned RG method, one mold has 15
Even if the scale pattern of the book is provided, two rolls can be attached to one roll die and the molding speed is 1 to 1.
Since high-speed molding is possible at 7 m / min, the production amount per minute is 30 to 210 and the productivity is 1.5 to 10.5 times that of the compression method. Further, in the RG method, molding is performed in a state where the resin is molten,
Since the molding pressure is smaller than that of the compression method, there is also an advantage that the mold has good durability.

【0011】このように非常に生産性が高く、型の耐久
性も良いために低コストの成形品を提供することが出来
るRG法であるが、この方法で成形を行なった場合、成
形品の不良率の減少とコストを更に下げるためには種々
の工夫が必要である。そのためには、コストに影響する
因子を分析し、コストアップとなる要因を排除しなけれ
ばならない。
[0011] As described above, the RG method can provide a low-cost molded product because of its extremely high productivity and good mold durability. Various measures are required to reduce the defect rate and further reduce the cost. For that purpose, it is necessary to analyze the factors that affect the cost and eliminate the factors that increase the cost.

【0012】この方法で上記光学式スケールを製造する
場合、最もコストに影響するのは成形機の価格に起因す
る償却費と成形品の不良率である。装置価格を下げるた
めには、ロールの幅を狭くし、コンパクトな装置とする
ことが効果的である。また、小さい装置の方が、精度も
上げやすく、設置スペース、取り扱いの容易さ、安全
性、付帯設備のコストの低減等の面からも有利である。
When the above-mentioned optical scale is manufactured by this method, it is the depreciation cost due to the price of the molding machine and the defective rate of the molded product that have the greatest influence on the cost. In order to reduce the apparatus price, it is effective to narrow the width of the roll and make the apparatus compact. In addition, a smaller device is more advantageous in terms of accuracy, ease of installation, ease of handling, safety, reduction of costs of incidental equipment, and the like.

【0013】一方、幅の狭い装置を用いて長尺の光学式
スケールを製造する場合、スケールの溝の列は成形方向
と直交するように配置され、そのまま成形を行なうと透
光部または遮光部のうち、型上で凹になっている部分に
樹脂を挟み込む時点で空気を巻き込み、気泡欠陥が発生
し、不良率が高くなるという問題が生じることが種々の
検討の結果判明した。
On the other hand, when a long optical scale is manufactured by using a narrow device, the rows of the scale grooves are arranged so as to be orthogonal to the molding direction. As a result of various studies, it has been found that there is a problem that air is entrapped at the time when the resin is sandwiched between the concave portions on the mold, bubble defects occur, and the defective rate increases.

【0014】したがって、上記気泡欠陥の発生を防止す
ることが、幅の狭い装置を用いて、品質がよく、コスト
の低い光学式スケールを製造するための技術課題となっ
ていた。
Therefore, preventing the occurrence of bubble defects has been a technical problem for manufacturing an optical scale of good quality and low cost by using a narrow device.

【0015】本発明は、この様な従来技術の問題点を解
決するためになされたものであり、押し出し成形法によ
り、長尺の光学式スケールを精度良くしかも低コストで
製造することができる光学式スケール成形用型およびそ
の成形用型を用いた光学式スケールの製造方法を提供す
ることを目的とするものである。
The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems of the prior art, and it is possible to manufacture a long optical scale with high precision and at low cost by an extrusion molding method. An object of the present invention is to provide a mold for molding a scale and a method for manufacturing an optical scale using the mold.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】即ち、本発明は、光学式
スケールを押し出し成形法によって製造するために用い
られる型において、成形シートの搬送方向に平行な連続
した空気排出の為の溝を設けたことを特徴とする光学式
スケール成形用型である。
That is, the present invention is an optical type
Used to manufacture scales by extrusion
In a mold that is continuous parallel to the conveying direction of the molded sheet
Optical type characterized by having a groove for exhausting air
This is a scale molding die.

【0017】また、本発明は、光学式スケールを押し出
し成形法によって製造するために用いられる型におい
て、スケールの透光部と遮光部の境界線上に空気排出の
為の溝を設けたことを特徴とする光学式スケール成形用
型である。また、本発明は、光学式スケールを押し出し
成形法によって製造するために用いられる型において、
空気を排出する溝が、スケール部のパターンの裏面にの
み設けた下引き層により成形型のスケールパターンが凸
となるように変形させる機構であることを特徴とする光
学式スケール成形用型である。
Further , the present invention extrudes an optical scale.
Smell used for manufacturing by sushi molding method
The air discharge on the boundary line between the light-transmitting part and the light-shielding part of the scale.
For optical scale molding, which is provided with a groove for
It is a type. Further, the present invention is an optical scale extruder.
In the mold used to manufacture by the molding method,
The groove that discharges air is on the back side of the pattern on the scale.
The scale pattern of the mold is convex due to the provided undercoat layer
Light that has a mechanism that deforms so that
This is a mold for academic scale molding.

【0018】[0018]

【0019】[0019]

【0020】また、本発明は、周面にスケールパターン
を有するロール型および該ロール型に対向配置されたロ
ールをそれぞれ所望の速度で回転させつつ熱可塑性樹脂
を押し出す手段から、所定の温度に加熱された熱可塑性
樹脂を該ロール型と該ロールとの間に供給する工程と、
該熱可塑性樹脂を該ロール型と該ロールとで挟圧して該
スケールパターンを転写せしめる工程とを有する押し出
し成形法により光学式スケールを連続的に製造する方法
において、該ロール型に成形シートの搬送方向に平行な
連続した空気排出の為の溝を設けた型を用いて成形する
ことを特徴とする光学式スケールの製造方法である。
Further , according to the present invention, a roll type having a scale pattern on its peripheral surface and a roll arranged opposite to the roll type are heated at a predetermined temperature from a means for extruding a thermoplastic resin while rotating each at a desired speed. A step of supplying the thermoplastic resin thus prepared between the roll mold and the roll;
In a method for continuously producing an optical scale by an extrusion molding method, which comprises a step of pressing the thermoplastic resin between the roll mold and the roll to transfer the scale pattern , a molded sheet is conveyed to the roll mold. Mold using a mold that has grooves for continuous air discharge parallel to the direction
It is a method of manufacturing an optical scale characterized by the above.

【0021】また、本発明は、周面にスケールパターン
を有するロール型および該ロール型に対向配置されたロ
ールをそれぞれ所望の速度で回転させつつ熱可塑性樹脂
を押し出す手段から、所定の温度に加熱された熱可塑性
樹脂を該ロール型と該ロールとの間に供給する工程と、
該熱可塑性樹脂を該ロール型と該ロールとで挟圧して該
スケールパターンを転写せしめる工程とを有する押し出
し成形法により光学式スケールを連続的に製造する方法
において、該ロール型にスケールの透光部と遮光部の境
界線上に空気排出の為の溝を設けた型を用いて成形する
ことを特徴とする光学式スケールの製造方法である。
Further , according to the present invention, a roll die having a scale pattern on its peripheral surface and a roll arranged opposite to the roll die are heated at a predetermined temperature from a means for extruding a thermoplastic resin while rotating the roll die at a desired speed. A step of supplying the thermoplastic resin thus prepared between the roll mold and the roll;
In a method for continuously producing an optical scale by an extrusion molding method, which comprises a step of pressing the thermoplastic resin between the roll mold and the roll to transfer the scale pattern , the scale of the roll mold is transparent. Using a mold that has a groove for air discharge on the boundary between the light shielding part and the light shielding part
It is a method of manufacturing an optical scale characterized by the above.

【0022】また、本発明は、周面にスケールパターン
を有するロール型および該ロール型に対向配置されたロ
ールをそれぞれ所望の速度で回転させつつ熱可塑性樹脂
を押し出す手段から、所定の温度に加熱された熱可塑性
樹脂を該ロール型と該ロールとの間に供給する工程と、
該熱可塑性樹脂を該ロール型と該ロールとで挟圧して該
スケールパターンを転写せしめる工程とを有する押し出
し成形法により光学式スケールを連続的に製造する方法
において、該ロール型にスケール部のパターンの裏面に
のみ設けた下引き層により成形型のスケールパターンが
凸となるように変形させた空気を排出する機構を設けた
型を用いて成形することを特徴とする光学式スケールの
製造方法である。
Further , according to the present invention, a roll die having a scale pattern on its peripheral surface and a roll arranged opposite to the roll die are heated to a predetermined temperature from a means for extruding a thermoplastic resin while rotating the roll die at a desired speed. A step of supplying the thermoplastic resin thus prepared between the roll mold and the roll;
In a method for continuously producing an optical scale by an extrusion molding method including a step of pressing the thermoplastic resin between the roll mold and the roll to transfer the scale pattern, a pattern of a scale portion on the roll mold. A mechanism for discharging the air that has been deformed so that the scale pattern of the mold becomes convex by the undercoat layer provided only on the back surface of
Of an optical scale characterized by molding using a mold
It is a manufacturing method.

【0023】[0023]

【0024】[0024]

【0025】また、本発明は、周面にスケールパターン
を有するロール型および該ロール型に対向配置されたロ
ールをそれぞれ所望の速度で回転させつつ熱可塑性樹脂
を押し出す手段から、所定の温度に加熱された熱可塑性
樹脂を該ロール型と該ロールとの間に供給する工程と、
該熱可塑性樹脂を該ロール型と該ロールとで挟圧して該
スケールパターンを転写せしめる工程とを有する押し出
し成形法により光学式スケールを連続的に製造する方法
において、成形に用いるロールとして表面に耐熱性樹脂
層を設けたものを用い、成形に用いるロール型として空
気を排出する機構を設けたものを用いて、該ロール型の
回転軸と該ロールの回転軸とを30度以下の範囲で傾け
て配置した装置を用いて成形することを特徴とする光学
式スケールの製造方法である。
Further , according to the present invention, a roll die having a scale pattern on its peripheral surface and a roll arranged opposite to the roll die are heated to a predetermined temperature from a means for extruding a thermoplastic resin while rotating the roll die at a desired speed. A step of supplying the thermoplastic resin thus prepared between the roll mold and the roll;
In a method for continuously producing an optical scale by an extrusion molding method having a step of pressing the thermoplastic resin between the roll mold and the roll to transfer the scale pattern, the surface of the roll used for molding is heat-resistant. Of the roll mold used in the molding is used, and the rotary shaft of the roll mold and the rotary shaft of the roll are tilted within a range of 30 degrees or less. Optics characterized by molding using a device placed in parallel
It is a manufacturing method of a formula scale.

【0026】次に、本発明を図面を用いて詳細に説明す
る。本発明の光学式スケール成形用型の空気を排出する
ための機構は、例えば図1に示すように、スケール部2
の長手方向が成形方向(図中の矢印の方向)と一致する
ように配置された型1において、スケール部2とスケー
ル部2との間に成形シートの搬送方向に平行な連続した
空気排出用溝3を設けることにより構成される。
Next, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The mechanism for discharging the air of the optical scale molding die of the present invention is, for example, as shown in FIG.
In the mold 1 arranged so that the longitudinal direction of the mold coincides with the molding direction (the direction of the arrow in the figure), for continuous air discharge between the scale part 2 and the scale part 2 in parallel with the conveying direction of the molded sheet. It is configured by providing the groove 3.

【0027】空気排出用溝3の深さは、浅すぎると空気
排出効果が弱くなり、深すぎると成形品の型離れ不良の
原因となるため、5〜100μmが良く、好ましくは1
0〜80μmが良い。
If the depth of the air discharge groove 3 is too shallow, the air discharge effect is weakened, and if it is too deep, it causes defective release of the molded product. Therefore, the depth is preferably 5 to 100 μm, preferably 1
0-80 μm is preferable.

【0028】空気排出用溝の幅は、狭すぎると気泡欠陥
防止効果が弱くなり、広すぎると成形品の不要部分が増
加してスケールのコストが上がるため、0.1〜10m
mが良く、好ましくは0.3〜8mmが良い。
If the width of the air discharge groove is too narrow, the effect of preventing bubble defects becomes weak, and if it is too wide, unnecessary parts of the molded product increase and the cost of the scale increases, so the width is 0.1 to 10 m.
m is good, and preferably 0.3 to 8 mm.

【0029】また、本発明の空気を排出するための別の
機構は、例えば図2に示すように、型1′のスケール部
2′の遮光部4と透光部5との境界部に空気排出用溝6
を設けることにより、気泡欠陥の発生を防止することが
できる。この場合の空気排出用溝6の斜面は、入射する
光線に対しその入射角が臨界角以上に設定された傾斜面
となっていることが望ましい。
Another mechanism for discharging air according to the present invention is, for example, as shown in FIG. 2, air is provided at the boundary between the light shielding portion 4 and the light transmitting portion 5 of the scale portion 2'of the mold 1 '. Discharge groove 6
By providing, it is possible to prevent the occurrence of bubble defects. In this case, the inclined surface of the air discharge groove 6 is preferably an inclined surface whose incident angle is set to a critical angle or more with respect to the incident light ray.

【0030】また、図3(a)に示すように、型1″の
厚みが0.3mm以下の場合には、スケール部2″の下
に下引き層7を厚く設けて成形を行なうと、図3(b)
のように樹脂の成形圧力によって型1″のスケール部
2″がカマボコ型に変形し、気泡欠陥を防止することが
できる。この場合、下引き層7は、スケール部2″の中
心にあることが望ましいが、図3中の下引き層7の位置
が左右に片寄っていてもよく、スケール部2″の高さが
連続して変化するように配置されていればよい。
Further, as shown in FIG. 3 (a), when the thickness of the mold 1 "is 0.3 mm or less, if the undercoat layer 7 is thickly provided below the scale portion 2", molding is performed. Figure 3 (b)
As described above, the scale portion 2 ″ of the mold 1 ″ is deformed into a semi-cylindrical mold by the molding pressure of the resin, and the bubble defect can be prevented. In this case, the undercoat layer 7 is preferably located at the center of the scale portion 2 ″, but the position of the undercoat layer 7 in FIG. 3 may be offset to the left or right, and the height of the scale portion 2 ″ is continuous. It may be arranged so as to change.

【0031】さらに、空気を排出する機構としては、図
4に示すように、スケールパターンの方向(透光部また
は遮光部の方向)と成形方向とが角度φだけ傾いている
ように型11を製造することによって、スケールパター
ンの透光部または遮光部の溝自体を空気排出用溝として
利用するようにしてもよい。このときの角度φは、90
度に近いと気泡欠陥防止効果が小さく、0度に近いと短
手方向の感度が大きくなりスケールとしての性能が劣化
するため、25〜80度が好ましい。
Further, as a mechanism for discharging air, as shown in FIG. 4, the mold 11 is arranged so that the direction of the scale pattern (the direction of the light transmitting portion or the light shielding portion) and the molding direction are inclined by an angle φ. By manufacturing, the groove of the transparent portion or the light shielding portion of the scale pattern itself may be used as the air discharge groove. The angle φ at this time is 90
If it is close to 0 degree, the effect of preventing bubble defects is small, and if it is close to 0 degree, the sensitivity in the lateral direction becomes large and the performance as a scale deteriorates, so that it is preferably 25 to 80 degrees.

【0032】図4では、型11の全面にパターンを配置
した例を示したが、これに図1で示したような空気排出
用溝を設けて成形方向と平行に分割されたパターンを形
成すると、さらに気泡欠陥防止効果が大きくなる。
FIG. 4 shows an example in which a pattern is arranged on the entire surface of the mold 11, but if an air discharge groove as shown in FIG. 1 is provided in this pattern to form a divided pattern parallel to the molding direction. Further, the effect of preventing bubble defects is further increased.

【0033】さらに、図5に示すようにスケール部12
の遮光部4′を2つ以上の山に分割した構成にし、遮光
部4′の中に空気排出用溝を設けることによっても気泡
欠如を防止することができる。このとき、一つ一つの溝
の深さ(山の高さ)は10μm以下、好ましくは6μm
以下にすることが好ましく、また溝の数が多いほうが気
泡欠陥防止効果が大きくなる。
Further, as shown in FIG.
It is also possible to prevent the lack of air bubbles by forming the light-shielding portion 4 ′ into two or more ridges and providing an air discharge groove in the light-shielding portion 4 ′. At this time, the depth of each groove (height of peak) is 10 μm or less, preferably 6 μm.
It is preferable that the number be less than that, and the larger the number of grooves, the greater the effect of preventing bubble defects.

【0034】さらに、図14に示すように、シリコーン
ゴムやフッソ樹脂等の耐熱性樹脂で被覆した成形ロール
19′を用いてロール型18の回転軸に対して成形ロー
ル19′の回転軸を30度以下の範囲で傾けて取付けた
装置を用いて成形することにより、さらに気泡欠陥防止
効果が大きくなる。
Further, as shown in FIG. 14, a molding roll 19 'coated with a heat-resistant resin such as silicone rubber or fluorine resin is used, and the rotation axis of the molding roll 19' is set to 30 with respect to the rotation axis of the roll die 18. The effect of preventing bubble defects is further enhanced by molding using a device that is installed with a tilt within a range of not more than 100 degrees.

【0035】本発明に用いられる光学式スケール成形用
型の製造方法には、所定のスケール形状をもつマスター
型を金属板の切削加工によって製造し、樹脂等でレプリ
カを取り、さらにレプリカ表面の導電化処理を施した後
に、電鋳、研磨、トリミング、固定具の溶接をしてワー
クスタンパーを作成する方法が好適に用いられる。ま
た、薄い厚みの均一な金属の板に、直接切削加工によっ
て所定のスケール形状を刻み込んでもよい。
In the method for producing the optical scale forming die used in the present invention, a master die having a predetermined scale shape is produced by cutting a metal plate, a replica is taken with a resin, and the replica surface is electrically conductive. After the chemical treatment, a method of forming a work stamper by electroforming, polishing, trimming, and welding a fixture is preferably used. Further, a predetermined scale shape may be engraved by a direct cutting process on a thin metal plate having a uniform thickness.

【0036】また、本発明の光学式スケールの製造方法
は、図11に示す様に押し出し成形法により光学式スケ
ールを連続的に製造する方法であり、周面にスケールパ
ターンを有し、空気を排出する機構を設けたロール型1
8に対向させて成形ロール19を設け、それぞれを所望
の速度で回転させつつ所定の温度に加熱された熱可塑性
樹脂をTダイ20から押し出してロール型18と成形ロ
ール19の間に供給し、熱可塑性樹脂を挟圧してスケー
ルパターンを転写せしめ、次いでロール型18と搬送ロ
ール21の間を通過して光学式スケールシート22を得
ることができる。
Further, the method for producing an optical scale of the present invention is a method for continuously producing an optical scale by an extrusion molding method as shown in FIG. Roll type 1 equipped with a mechanism for discharging
8, a molding roll 19 is provided so as to face each other, and a thermoplastic resin heated to a predetermined temperature is extruded from the T die 20 while rotating each at a desired speed, and is supplied between the roll die 18 and the molding roll 19. An optical scale sheet 22 can be obtained by pressing the thermoplastic resin to transfer the scale pattern, and then passing the scale pattern between the roll mold 18 and the transport roll 21.

【0037】本発明の光学式スケールの製造に用いられ
る熱可塑性樹脂としては、使用する光の波長における光
線透過率が50%以上のものであればよいが、光の利用
率の点からは70%以上のものが好適に用いられる。中
でも機械的強度や光学特性等の面から、ポリイミド樹
脂、ポリサルフォン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン
樹脂、ポリカーボネート樹脂、アモルファスポリオレフ
ィン樹脂、アクリル樹脂、スチロール樹脂、PET樹
脂、ABS樹脂、ビニル樹脂等が好適に用いられる。
The thermoplastic resin used in the production of the optical scale of the present invention may have a light transmittance of 50% or more at the wavelength of the light used, but 70 from the viewpoint of the light utilization rate. % Or more is preferably used. Among them, polyimide resin, polysulfone resin, polyether ether ketone resin, polycarbonate resin, amorphous polyolefin resin, acrylic resin, styrene resin, PET resin, ABS resin, vinyl resin, etc. are preferably used from the viewpoint of mechanical strength and optical characteristics. To be

【0038】本発明において、ロール型および対向する
ロールの基材としては、硬度が高く、熱伝導率が良く、
また、周囲の鏡面加工の容易なものが好ましく、例え
ば、鉄鋼、クロム鋼、アルミニウム、アルミニウム合
金、金型用鋼(マルエージング鋼)、リン青銅、ステン
レス鋼等を用いることができる。
In the present invention, the base material of the roll type and the opposing roll has a high hardness and a good thermal conductivity,
Further, it is preferable that the peripheral mirror surface is easily processed, and, for example, steel, chrome steel, aluminum, aluminum alloy, steel for molds (maraging steel), phosphor bronze, stainless steel and the like can be used.

【0039】[0039]

【作用】従来の押し出し成形法により長尺の光学式スケ
ールを連続的に製造する方法では、スケールパターンを
有する光学式スケール成形用型を設けたロール型とそれ
に対向する成形ロールの間に熱可塑性樹脂を通して挟圧
してスケールパターンを転写するが、スケールの溝の列
は成形方向と直交するように配置され、そのまま成形を
行なうために透光部または遮光部のうち、型上で凹にな
っている部分に樹脂を挟み込む時点で空気を巻き込み、
気泡欠陥が発生していた。
In the conventional method for continuously producing a long optical scale by the extrusion molding method, the thermoplastic resin is provided between the roll mold provided with the optical scale molding die having the scale pattern and the molding roll facing the roll die. The scale pattern is transferred by pinching through the resin, but the rows of the scale grooves are arranged so as to be orthogonal to the molding direction, and in order to perform the molding as it is, the translucent part or the light-shielding part is concave on the mold. Air is caught when the resin is sandwiched between the
A bubble defect had occurred.

【0040】本発明は、光学式スケール成形用型に上記
のような空気を排出するための機構を設けることによ
り、成形時に型の凹部に巻き込まれた空気を排出するこ
とができ、長尺の光学式スケールを精度良くしかも低コ
ストで製造することができる。
According to the present invention, by providing the optical scale molding die with a mechanism for discharging air as described above, the air trapped in the concave portion of the mold during molding can be discharged, and the long scale can be discharged. The optical scale can be manufactured accurately and at low cost.

【0041】[0041]

【実施例】以下に実施例を用いて、本発明を更に詳細に
説明する。但し、本発明は本実施例によって何ら限定さ
れるものではない。
EXAMPLES The present invention will be described in more detail with reference to the following examples. However, the present invention is not limited to this embodiment.

【0042】実施例1 マスター型の材料として450×200×80mmの燐
青銅板を用意した。それを研削加工機に取り付け、ま
ず、図6に示す様に、空気排出用溝3として深さ60μ
m、幅6mmの溝を長辺と平行に10mmの間隔(山と
溝のピッチが10mm)でダイヤモンド砥石を用いて1
6本設け、溝付き燐青銅板13を得た。
Example 1 A phosphor bronze plate of 450 × 200 × 80 mm was prepared as a material for the master mold. It was attached to a grinding machine, and first, as shown in FIG.
1m by using a diamond grindstone with a groove of m and a width of 6 mm parallel to the long side at an interval of 10 mm (the pitch between the crest and the groove is 10 mm)
Six pieces were provided to obtain a grooved phosphor bronze plate 13.

【0043】次に、図7に示すような先端が35.3μ
mの幅で平坦な台形ダイヤモンドバイト14を用いて、
図8に示す様に、空気排出用溝3に直角に送りピッチ7
0.6μmで4700本の台形溝5″を空気排出用溝3
からの台形溝5″までの高さが30μmとなるように研
削して、図8に示すような形状のマスター型15を作製
した。
Next, as shown in FIG. 7, the tip is 35.3 μm.
Using a trapezoidal diamond tool 14 with a flat width of m,
As shown in FIG. 8, the feed pitch 7 is perpendicular to the air discharge groove 3.
4700 trapezoidal grooves 5 ″ with 0.6 μm are used as air exhaust grooves 3
The master mold 15 having a shape as shown in FIG. 8 was manufactured by grinding so that the height from the to the trapezoidal groove 5 ″ was 30 μm.

【0044】これに、ウレタンアクリレート30重量
部、ネオペンチルグリコール変性トリメチロールプロパ
ンジアクリレート67重量部、1−ヒドロキシシクロヘ
キシルフェニルケトン3重量部の組成比の紫外線硬化樹
脂を十分脱気したものを30g滴下した。
30 g of urethane acrylate, 67 parts by weight of neopentyl glycol-modified trimethylolpropane diacrylate, and 3 parts by weight of 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone were thoroughly degassed, and 30 g of UV-cured resin was dropped. did.

【0045】次に、片面にシランカップリング剤の1v
ol%メタメール溶液(商品名:A−174;日本ユニ
カー(株)製)をスピンコートし、70℃のオーブンで
2時間ベーキング処理した大きさ480×250×15
mmのガラス板を用意し、上記紫外線硬化樹脂の上にシ
ランカップリング処理面を下にして、端からゆっくり重
ね合わせ、紫外線硬化樹脂が外周部まで広がった時点で
メタルハライドランプ(商品名:UVC−2533;ウ
シオ電機(株)製)を用いて160W/cm2、ランプ
距離130mmの条件で紫外線を照射して樹脂を硬化さ
せた。
Next, 1 v of silane coupling agent was applied on one side.
An ol% metamail solution (trade name: A-174; manufactured by Nippon Unicar Co., Ltd.) was spin-coated and baked in an oven at 70 ° C. for 2 hours to obtain a size of 480 × 250 × 15.
mm glass plate is prepared, and the silane coupling treatment surface is faced down on the UV curable resin, and the UV curable resin is slowly overlapped from the end, and when the UV curable resin spreads to the outer peripheral portion, a metal halide lamp (trade name: UVC- 2533; Ushio Denki Co., Ltd.) was used to irradiate ultraviolet rays under the conditions of 160 W / cm 2 and a lamp distance of 130 mm to cure the resin.

【0046】次いでこれを剥離して、ガラス基板上に紫
外線硬化樹脂による凹凸スケールパターンが形成された
ガラス原盤を得た。該ガラス原盤をスパッタ装置(商品
名:SPF−530H;日電アネルバ(株)製)の試料
ステージに乗せた。チャンバー内を真空引きし、到達真
空度4.0×10-3Pa、Arガス圧1.2Pa、RF
パワー1kW、ガラス原盤回転数10rpmの条件で逆
スパッタを5分間行った。
Then, this was peeled off to obtain a glass master having an uneven scale pattern formed of an ultraviolet curable resin on a glass substrate. The glass master was placed on a sample stage of a sputtering device (trade name: SPF-530H; manufactured by Nichiden Anelva Co., Ltd.). The chamber is evacuated and the ultimate vacuum is 4.0 × 10 -3 Pa, Ar gas pressure is 1.2 Pa, RF
Reverse sputtering was performed for 5 minutes under the conditions of a power of 1 kW and a glass master disk rotation speed of 10 rpm.

【0047】次いで、同条件でDCパワー0.5kWで
0.11μmの厚さにニッケルをスパッタ成膜した。そ
の後、200μmの厚さまでニッケルを電鋳し、裏面研
磨を行なった。このニッケル型をクリーンルーム内で剥
離し、保護フィルムをパターンの有効部分に貼り付けた
後、440×180mmの大きさに切断し、両端の短辺
に固定具16、16′を取付けて図9に示すような形状
の成形用型17を得た。
Next, under the same conditions, a DC power of 0.5 kW was used to sputter-deposit nickel to a thickness of 0.11 μm. Then, nickel was electroformed to a thickness of 200 μm, and the back surface was polished. This nickel mold is peeled off in a clean room, a protective film is attached to the effective portion of the pattern, cut into a size of 440 × 180 mm, and fixing tools 16 and 16 ′ are attached to the short sides of both ends, as shown in FIG. A molding die 17 having a shape as shown was obtained.

【0048】その後、保護フィルムを剥離し、大きさ4
40×178mm、厚み100μmのポリイミドフィル
ムを介して前記形状の成形用型2枚を固定具取付け用溝
2本を設けた直径300mmφの溝付きロールに取付け
た後、固定具間の溝をシリコーン樹脂(商品名:KE1
204A、B;信越化学工業(株)製)を充填して10
0℃で30分間硬化した後、余分にはみでた樹脂をカッ
ターで除去して図10に示すようなロール型18を作製
した。
Thereafter, the protective film was peeled off, and the size 4
After mounting two molding dies of the above shape through a polyimide film of 40 × 178 mm and a thickness of 100 μm on a grooved roll having a diameter of 300 mmφ provided with two fixing tool mounting grooves, the groove between the fixing tools is made of silicone resin. (Product name: KE1
204A, B; 10 by filling with Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
After curing at 0 ° C. for 30 minutes, the excess resin that had been squeezed out was removed by a cutter to produce a roll mold 18 as shown in FIG.

【0049】このロール型18を図11に示すような押
し出し成形装置に取付けると共に、ロール型18に対す
る成形ロール19の押圧力を2500Kgfに調節して
Tダイ20からビスフェノールA系ポリカーボネート
(商品名:S−2000R;三菱ガス化学(株)製)の
樹脂シートを押し出して、厚さ0.3mm×幅250m
mの連続した光学式スケールシート22を製造した。
The roll die 18 is attached to an extrusion molding apparatus as shown in FIG. 11, and the pressing force of the molding roll 19 against the roll die 18 is adjusted to 2500 Kgf to adjust the bisphenol A-based polycarbonate (trade name: S) from the T die 20. -2000R: Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd. resin sheet is extruded, thickness 0.3 mm x width 250 m
m continuous optical scale sheet 22 was produced.

【0050】成形条件としては、Tダイ20の温度32
0℃、ロール型18の表面温度145℃、樹脂シートの
搬送速度5m/min、樹脂の押し出し量27Kg/h
となるように調整して4時間の連続成形を行なった。こ
うして成形された光学式スケールについて気泡欠陥を各
スケールパターン毎に4×4mmの範囲で3ヶ所づつ調
べたが、欠陥の数は10個以下であり、光学式スケール
としての性能にはほとんど影響がなかった。
As molding conditions, the temperature of the T die 20 is 32
0 ° C., surface temperature of roll die 145 ° C., resin sheet conveying speed 5 m / min, resin extrusion amount 27 Kg / h
Was adjusted so that continuous molding was performed for 4 hours. With respect to the optical scale formed in this manner, bubble defects were examined at 3 locations within a range of 4 × 4 mm for each scale pattern. The number of defects was 10 or less, and the performance as an optical scale was hardly affected. There wasn't.

【0051】また、転写精度は95%以上であり、非常
に高品質な光学式スケールを短時間にしかも大量に得る
ことができた。なお、本実施例において転写精度は、触
針式段差測定機(商品名:アルファステップ200;テ
ンコール・インスツルメンツ(株)製)で針圧3mg、
スキャン範囲400μm、スキャン時間40秒の設定で
ガラス原盤の光透過部の幅を測定した値Aを基準とし
て、成形したスケールでの光透過部の幅の測定値aとの
比a/Aの値で評価した。
Further, the transfer accuracy was 95% or more, and a very high quality optical scale could be obtained in a short time and in a large amount. In this embodiment, the transfer accuracy is 3 mg with a stylus type step measuring device (trade name: Alphastep 200; manufactured by Tencor Instruments Inc.).
A value of the ratio a / A with the measured value a of the width of the light transmission part on the molded scale, with the value A obtained by measuring the width of the light transmission part of the glass master under the setting of the scanning range of 400 μm and the scanning time of 40 seconds. It was evaluated by.

【0052】比較例1 マスター型を製作するときに空気排出用溝を設けなかっ
た以外は、実施例1と全く同様の工程で成形用型を2枚
作製し、ロール型を作製した。このロール型を用いて実
施例1と同じ条件で光学式スケールを成形して気泡欠陥
の数を調べた。各スケールパターン毎に4×4mmの範
囲で3ヶ所づつ調べたが、欠陥の数は100個以上あ
り、光学式スケールとしての性能を評価したところ信号
振幅の振れ幅が10%以上あり不十分であった。また、
転写精度も、a/Aの値が0.8以下の部分があった。
Comparative Example 1 Two molding dies were produced by the same steps as in Example 1 except that the air discharge groove was not provided when the master die was produced, and a roll die was produced. Using this roll mold, an optical scale was molded under the same conditions as in Example 1 and the number of bubble defects was examined. Each scale pattern was inspected at 3 points within a range of 4 × 4 mm, but the number of defects was 100 or more, and when the performance as an optical scale was evaluated, the fluctuation range of the signal amplitude was 10% or more, which was insufficient. there were. Also,
Regarding the transfer accuracy, there was a portion where the value of a / A was 0.8 or less.

【0053】実施例2 先ず、実施例1と同様に、図6の様な空気排出用溝3の
形成された燐青銅板13を用意した。これを、図15の
様な先端形状のバイト14′を用いて送りピッチ70.
6μmで空気排出用溝3に直角に、図8に示す台形溝
5″と空気排出用溝3との高さの差が30μm、図2に
示す透光部5と境界部に設けた空気排出用溝6との高さ
の差が5μm、透光部の平坦な部分の幅が35.3μm
の形状のマスター型を製造した。
Example 2 First, similarly to Example 1, a phosphor bronze plate 13 having an air discharge groove 3 as shown in FIG. 6 was prepared. Using a cutting tool 14 'having a tip shape as shown in FIG.
The trapezoidal groove 5 ″ shown in FIG. 8 and the air discharging groove 3 have a height difference of 30 μm at a right angle to the air discharging groove 3 at 6 μm, and the air discharging provided at the boundary with the transparent portion 5 shown in FIG. The height difference from the groove 6 is 5 μm, and the width of the flat portion of the light transmitting portion is 35.3 μm.
The master mold of the shape of was manufactured.

【0054】次に、洗浄を行った後、腐食防止と表面硬
度の向上のために、硬質ニッケルメッキを0.1μmの
厚みで表面に施しマスター型を得た。以下、実施例1と
同様にしてガラス原盤、成形用型を2枚製造し、溝付き
ロールにポリイミドシートを介して取付けた後、固定具
間の溝をシリコーン樹脂で埋めてロール型を製造した。
Next, after washing, hard nickel plating was applied to the surface to a thickness of 0.1 μm to obtain a master mold for the purpose of preventing corrosion and improving the surface hardness. Thereafter, two glass masters and two molding dies were manufactured in the same manner as in Example 1, and after being mounted on a grooved roll via a polyimide sheet, the grooves between the fixtures were filled with silicone resin to manufacture a roll mold. .

【0055】これを用いて、実施例1と同じ装置を用
い、ロール型に対する成形ロールの押圧力を2000K
gfに調節してTダイからアモルファスポリオレフィン
(商品名:ゼオネックス250;日本ゼオン(株)製)
の樹脂シートを押し出して、厚さ0.25mm、幅24
0mmの連続した光学式スケールシートを製造した。
Using this, the same apparatus as in Example 1 was used and the pressing force of the forming roll against the roll mold was 2000 K.
Adjusted to gf and changed from T-die to amorphous polyolefin (trade name: ZEONEX 250; manufactured by Nippon Zeon Co., Ltd.)
Extruding the resin sheet of, 0.25mm thickness, width 24
A 0 mm continuous optical scale sheet was produced.

【0056】成形条件としては、Tダイの温度330
℃、ロール型の表面温度145℃、樹脂シートの搬送速
度4m/min、樹脂の押し出し量14.5Kg/hと
なるように調整して3時間の連続成形を行なった。こう
して成形された光学式スケールについて気泡欠陥を各ス
ケールパターン毎に4×4mmの範囲で3ヶ所づつ調べ
たが、欠陥の数は10個以下であり、光学式スケールと
しての性能にはほとんど影響がなかった。また、転写精
度は95%以上であり、非常に高品質な光学式スケール
を短時間にしかも大量に得ることができた。
As molding conditions, a T-die temperature of 330
C., the surface temperature of the roll mold was 145.degree. C., the resin sheet conveying speed was 4 m / min, and the resin extrusion amount was 14.5 Kg / h, and continuous molding was performed for 3 hours. With respect to the optical scale formed in this manner, bubble defects were examined at 3 locations within a range of 4 × 4 mm for each scale pattern. The number of defects was 10 or less, and the performance as an optical scale was hardly affected. There wasn't. Further, the transfer accuracy was 95% or more, and a very high quality optical scale could be obtained in a large amount in a short time.

【0057】実施例3 実施例1で用いた2枚のスタンパーの各17本のパター
ン部の裏面すべてに幅3mm、長さ430mm、厚み1
00μmのポリイミドフィルムを瞬間接着剤(商品名:
SC−55;ソニーケミカル(株)製)を用いて貼り付
けた。
Example 3 A width of 3 mm, a length of 430 mm, and a thickness of 1 were formed on all the back surfaces of the 17 pattern portions of each of the two stampers used in Example 1.
Instant adhesive with 00 μm polyimide film (trade name:
SC-55: Sony Chemical Co., Ltd. was used for attachment.

【0058】上記2枚のスタンパーを用いて、樹脂にビ
スフェノールA系ポリカーボネート(商品名:パンライ
トL−1225;帝人化成(株)製)を用い実施例1と
同様の条件で厚さ0.3mm×幅250mmの連続した
光学式スケールを製造した。実施例1と同様の評価を行
ったところ、欠陥の数は8個以下で、また、転写精度も
95%以上であり、非常に高品質な光学式スケールを短
時間にしかも大量に製造することができた。
Using the above two stampers, a bisphenol A type polycarbonate (trade name: Panlite L-1225; Teijin Kasei Co., Ltd.) was used as the resin, and the thickness was 0.3 mm under the same conditions as in Example 1. A continuous optical scale having a width of 250 mm was manufactured. When the same evaluation as in Example 1 was performed, the number of defects was 8 or less, and the transfer accuracy was 95% or more, and a very high quality optical scale was manufactured in a short time and in a large amount. I was able to.

【0059】実施例4 実施例1と同じ大きさで、実施例1と同じ図6の様な溝
加工を施した燐青銅板を用意した。これを研削加工盤の
バイトの切削方向に対して45度傾けて取り付け直し
た。
Example 4 A phosphor bronze plate having the same size as that of Example 1 and having the same groove processing as that of Example 1 as shown in FIG. 6 was prepared. This was reattached with an inclination of 45 degrees with respect to the cutting direction of the cutting tool of the grinding machine.

【0060】次に、図7に示すような先端が35.3μ
mの幅で平坦な台形ダイヤモンドバイト14を用いて、
空気排出用溝3と45度の角度で送りピッチ70.6μ
mで燐青銅板の全面に台形溝5″を空気排出用溝3から
の台形溝5″までの高さが25μmとなるように研削し
た後、洗浄、硬質ニッケルメツキ(厚み0.1μm)を
施して、図13に示すような形状のマスター型24を作
製した。
Next, the tip as shown in FIG.
Using a trapezoidal diamond tool 14 with a flat width of m,
Feed pitch 70.6μ at an angle of 45 degrees with the air exhaust groove 3
After grinding a trapezoidal groove 5 ″ on the entire surface of the phosphor bronze plate so that the height from the air discharge groove 3 to the trapezoidal groove 5 ″ is 25 μm, wash it and apply a hard nickel plating (thickness 0.1 μm). Then, a master mold 24 having a shape as shown in FIG. 13 was produced.

【0061】これに、ウレタンアクリレート30重量
部、ネオペンチルグリコール変性トリメチロールプロパ
ンジアクリレート67重量部、1−ヒドロキシシクロヘ
キシルフェニルケトン3重量部の組成比の紫外線硬化樹
脂を十分脱気したものを30g滴下した。
30 g of urethane acrylate, 67 parts by weight of neopentyl glycol-modified trimethylolpropane diacrylate, and 3 parts by weight of 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone were thoroughly degassed, and 30 g of UV-cured resin was dropped. did.

【0062】次に、片面にシランカップリング剤の1v
ol%メタメール溶液(商品名:A−174;日本ユニ
カー(株)製)をスピンコートし、70℃のオーブンで
2時間ベーキング処理した大きさ480×250×15
mmのガラス板を用意し、上記紫外線硬化樹脂の上にシ
ランカップリング処理面を下にして、端からゆっくり重
ね合わせ、紫外線硬化樹脂が外周部まで広がった時点で
メタルハライドランプ(商品名:UVC−2533;ウ
シオ電機(株)製)を用いて160W/cm2、ランプ
距離130mmの条件で紫外線を照射して樹脂を硬化さ
せた。
Next, 1 v of silane coupling agent was applied on one side.
An ol% metamail solution (trade name: A-174; manufactured by Nippon Unicar Co., Ltd.) was spin-coated and baked in an oven at 70 ° C. for 2 hours to obtain a size of 480 × 250 × 15.
mm glass plate is prepared, and the silane coupling treatment surface is faced down on the UV curable resin, and the UV curable resin is slowly overlapped from the end, and when the UV curable resin spreads to the outer peripheral portion, a metal halide lamp (trade name: UVC- 2533; Ushio Denki Co., Ltd.) was used to irradiate ultraviolet rays under the conditions of 160 W / cm 2 and a lamp distance of 130 mm to cure the resin.

【0063】次いでこれを剥離して、ガラス基板上に紫
外線硬化樹脂による凹凸スケールパターンが形成された
ガラス原盤を得た。該ガラス原盤をスパッタ装置(商品
名:SPF−530H;日電アネルバ(株)製)の試料
ステージに乗せた。チャンバー内を真空引きし、到達真
空度4.0×10-3Pa、Arガス圧1.2Pa、RF
パワー1kW、ガラス原盤回転数10rpmの条件で逆
スパッタを5分間行った。
Then, this was peeled off to obtain a glass master disk having an uneven scale pattern formed of an ultraviolet curable resin on a glass substrate. The glass master was placed on a sample stage of a sputtering device (trade name: SPF-530H; manufactured by Nichiden Anelva Co., Ltd.). The chamber is evacuated and the ultimate vacuum is 4.0 × 10 -3 Pa, Ar gas pressure is 1.2 Pa, RF
Reverse sputtering was performed for 5 minutes under the conditions of a power of 1 kW and a glass master disk rotation speed of 10 rpm.

【0064】次いで、同条件でDCパワー0.5kWで
0.11μmの厚さにニッケルをスパッタ成膜した。そ
の後、200μmの厚さまでニッケルを電鋳し、裏面研
磨を行なった。このニッケル型をクリーンルーム内で剥
離し、保護フィルムをパターンの有効部分に貼り付けた
後、440×180mmの大きさに切断し、両端の短辺
に固定具16、16′を取付けて図12に示すような台
形溝を斜めに作製した形状の成形用型23を2枚得た。
Next, under the same conditions, a DC power of 0.5 kW was used to sputter-deposit nickel to a thickness of 0.11 μm. Then, nickel was electroformed to a thickness of 200 μm, and the back surface was polished. This nickel mold is peeled off in a clean room, a protective film is attached to the effective portion of the pattern, then cut into a size of 440 × 180 mm, and fixing tools 16 and 16 ′ are attached to the short sides of both ends, as shown in FIG. Two molding dies 23 each having a trapezoidal groove formed obliquely were obtained.

【0065】前記2枚のスタンパーを用いて、実施例1
と同様にロール型を作製し、樹脂にビスフェノールA系
ポリカーボネート(商品名:H−3000R;三菱ガス
化学(株)製)を用い、樹脂シートの搬送速度1.2m
/min、樹脂の押し出し量13kg/hとした以外は
実施例1と同様の条件で厚さ0.6mm×幅250mm
の連続した光学式スケールを製造した。実施例1と同様
の評価を行なったところ、欠陥の数は3個以下で、ま
た、転写精度も95%以上であり、非常に高品質な光学
式スケールを短時間にしかも大量に製造することができ
た。
Example 1 using the two stampers
A roll type is prepared in the same manner as above, and bisphenol A-based polycarbonate (trade name: H-3000R; manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Inc.) is used as the resin, and the resin sheet conveying speed is 1.2 m.
/ Min, the resin extrusion rate was 13 kg / h, and the conditions were the same as in Example 1 except that the thickness was 0.6 mm and the width was 250 mm.
Of continuous optical scales were manufactured. When the same evaluation as in Example 1 was performed, the number of defects was 3 or less, and the transfer accuracy was 95% or more, and a very high quality optical scale was manufactured in a short time and in a large amount. I was able to.

【0066】実施例5 マスター型の材料として470×220×60mmの銅
板を用意し、実施例1と同様の溝加工を施したものを研
削加工機に取付けた。
Example 5 A copper plate having a size of 470 × 220 × 60 mm was prepared as a material for the master mold, and subjected to the same groove machining as in Example 1 and attached to a grinding machine.

【0067】次に、先端が直角な剣バイトを用意し、銅
板の全面を短辺方向に平行にピッチ70.6μmで切削
し、全面が洗濯板状の銅版を得た。次に、実施例1で用
いた台形バイトに取り替えて、70.6μmの送りピツ
チで三角山がなくなるまで(山の頂点から約3.5μm
の深さまで)前記銅版を研磨した後に、洗浄、硬質ニッ
ケルメツキ(厚み0.1μm)を施してマスター型を得
た。この型の形状の概略図を図5に示す。
Next, a sword bite having a right-angled tip was prepared, and the entire surface of the copper plate was cut in parallel with the short side direction at a pitch of 70.6 μm to obtain a copper plate having a washing plate shape on the entire surface. Next, the trapezoidal cutting tool used in Example 1 was replaced, and until the triangular peak disappeared with the feed pitch of 70.6 μm (about 3.5 μm from the top of the peak).
After polishing the copper plate to a depth of (1), washing and hard nickel plating (thickness 0.1 μm) were performed to obtain a master mold. A schematic diagram of the shape of this mold is shown in FIG.

【0068】これに、ウレタンアクリレート30重量
部、ネオペンチルグリコール変性トリメチロールプロパ
ンジアクリレート67重量部、1−ヒドロキシシクロヘ
キシルフェニルケトン3重量部の組成比の紫外線硬化樹
脂を十分脱気したものを30g滴下した。
30 g of urethane acrylate, 67 parts by weight of neopentyl glycol-modified trimethylolpropane diacrylate and 3 parts by weight of 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone were thoroughly degassed, and 30 g of UV-cured resin was dropped. did.

【0069】次に、片面にシランカップリング剤の1v
ol%メタメール溶液(商品名:A−174;日本ユニ
カー(株)製)をスピンコートし、70℃のオーブンで
2時間ベーキング処理した大きさ480×250×15
mmのガラス板を用意し、上記紫外線硬化樹脂の上にシ
ランカップリング処理面を下にして、端からゆっくり重
ね合わせ、紫外線硬化樹脂が外周部まで広がった時点で
メタルハライドランプ(商品名:UVC−2533;ウ
シオ電機(株)製)を用いて160W/cm2、ランプ
距離130mmの条件で紫外線を照射して樹脂を硬化さ
せた。
Next, 1 v of silane coupling agent was applied on one side.
An ol% metamail solution (trade name: A-174; manufactured by Nippon Unicar Co., Ltd.) was spin-coated and baked in an oven at 70 ° C. for 2 hours to obtain a size of 480 × 250 × 15.
mm glass plate is prepared, and the silane coupling treatment surface is faced down on the UV curable resin, and the UV curable resin is slowly overlapped from the end, and when the UV curable resin spreads to the outer peripheral portion, a metal halide lamp (trade name: UVC- 2533; Ushio Denki Co., Ltd.) was used to irradiate ultraviolet rays under the conditions of 160 W / cm 2 and a lamp distance of 130 mm to cure the resin.

【0070】次いでこれを剥離して、ガラス基板上に紫
外線硬化樹脂による凹凸スケールパターンが形成された
ガラス原盤を得た。該ガラス原盤をスパッタ装置(商品
名:SPF−530H;日電アネルバ(株)製)の試料
ステージに乗せた。チャンバー内を真空引きし、到達真
空度4.0×10-3Pa、Arガス圧1.2Pa、RF
パワー1kW、ガラス原盤回転数10rpmの条件で逆
スパッタを5分間行った。
Then, this was peeled off to obtain a glass master having a concave-convex scale pattern formed of an ultraviolet curable resin on a glass substrate. The glass master was placed on a sample stage of a sputtering device (trade name: SPF-530H; manufactured by Nichiden Anelva Co., Ltd.). The chamber is evacuated and the ultimate vacuum is 4.0 × 10 -3 Pa, Ar gas pressure is 1.2 Pa, RF
Reverse sputtering was performed for 5 minutes under the conditions of a power of 1 kW and a glass master disk rotation speed of 10 rpm.

【0071】次いで、同条件でDCパワー0.5kWで
0.11μmの厚さにニッケルをスパッタ成膜した。そ
の後、160μmの厚さまでニッケルを電鋳し、裏面研
磨を行なった。このニッケル型をクリーンルーム内で剥
離し、保護フィルムをパターンの有効部分に貼り付けた
後、440×180mmの大きさに切断し、両端の短辺
に固定具16、16′を取付けて図12に示すような台
形溝を斜めに作製した形状の成形用型23を2枚得た。
Next, under the same conditions, a DC power of 0.5 kW was used to sputter-deposit nickel to a thickness of 0.11 μm. Then, nickel was electroformed to a thickness of 160 μm, and the back surface was polished. This nickel mold is peeled off in a clean room, a protective film is attached to the effective portion of the pattern, then cut into a size of 440 × 180 mm, and fixing tools 16 and 16 ′ are attached to the short sides of both ends, as shown in FIG. Two molding dies 23 each having a trapezoidal groove formed obliquely were obtained.

【0072】前記2枚のスタンパーを用いて、ポリイミ
ドシートの厚みを125μmとした以外は実施例1と同
様にロール型を作製し、実施例1と同様の条件で厚さ
0.3mm×幅250mmの連続した光学式スケールを
製造した。実施例1と同様の評価を行なったところ、欠
陥の数は3個以下、転写精度も95%以上であり、非常
に高品質な光学式スケールを短時間にしかも大量に製造
することができた。
A roll mold was prepared in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the polyimide sheet was 125 μm using the two stampers, and the conditions were the same as in Example 1 with a thickness of 0.3 mm and a width of 250 mm. Of continuous optical scales were manufactured. When the same evaluation as in Example 1 was performed, the number of defects was 3 or less and the transfer accuracy was 95% or more, and it was possible to manufacture a very high quality optical scale in a short time and in a large amount. .

【0073】実施例6 実施例1と同様の工程で、図10に示すようなロール型
18を作成した。このロール型18を図14に示すよう
に成形装置に取付け、シリコーンゴムで被覆された成形
ロール19′を該ロール型18に対して15度傾けて取
付けた。このとき、成形ロール19′は、厚さ20mm
のシリコーンゴムでその表面を被覆したものを用いた。
Example 6 A roll die 18 as shown in FIG. 10 was produced by the same steps as in Example 1. This roll die 18 was attached to a forming apparatus as shown in FIG. 14, and a forming roll 19 'covered with silicone rubber was attached at an angle of 15 degrees with respect to the roll die 18. At this time, the forming roll 19 'has a thickness of 20 mm.
The silicone rubber whose surface was coated with was used.

【0074】図11に示す様に、ロール型18に対する
成形19′の押圧力を1300Kgfに調節して、Tダ
イ20からビスフェノールA系ポリカーボネート(商品
名:S−2000R;三菱ガス化学(株)製)の樹脂シ
ートを押し出して、厚さ0.25mm×幅240mmの
連続した光学式スケールシートを製造した。
As shown in FIG. 11, the pressing force of the molding 19 'against the roll mold 18 was adjusted to 1300 Kgf, and the bisphenol A-based polycarbonate (trade name: S-2000R; manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Inc.) The resin sheet of 1) was extruded to manufacture a continuous optical scale sheet having a thickness of 0.25 mm and a width of 240 mm.

【0075】成形条件としては、Tダイ20の温度33
0℃、ロール型18の表面温度138℃、樹脂シートの
搬送速度6m/min、樹脂の押し出し量26.0Kg
/hとなるように調整した。
As molding conditions, the temperature of the T die 20 is 33
0 ° C., surface temperature of roll mold 18 138 ° C., resin sheet conveying speed 6 m / min, resin extrusion amount 26.0 Kg
It was adjusted to be / h.

【0076】こうして成形された光学式スケールについ
て気泡欠陥を各スケールパターン毎に4×4mmの範囲
で3ヶ所づつ調べたが、欠陥の数は5個以下であり、光
学式スケールとしての性能にはほとんど影響がなかっ
た。また、転写精度に関しても95%以上で、非常に良
好であった。
For the optical scale thus molded, three bubble defects were examined for each scale pattern within a range of 4 × 4 mm. The number of defects was 5 or less, and the performance as an optical scale was It had almost no effect. The transfer accuracy was 95% or more, which was very good.

【0077】[0077]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の光学式ス
ケール成形用型は、空気を排出するための機構を設けた
ことにより、従来歩留りが低い等の面でコストを下げる
ことが困難だったロール幅の狭い装置を用いて長尺の光
学式スケールを精度良くしかも低コストで製造すること
を可能にした。
As described above, in the optical scale molding die of the present invention, it is difficult to reduce the cost in view of the low yield because the mechanism for discharging the air is provided. Using a device with a narrow roll width, it has become possible to manufacture a long optical scale accurately and at low cost.

【0078】また、上記光学式スケール成形用型を用い
て光学式スケールを連続的に押し出し成形することによ
り、精度良くしかも非常に安価な光学式スケールを提供
することが可能となったため、従来コストの面で搭載で
きなかった普及タイプのプリンター等にも光学式エンコ
ーダーを搭載できるようになり、高品位、高信頼性の製
品を安価に提供することも可能となった。
Further, by continuously extruding the optical scale using the above-mentioned optical scale molding die, it becomes possible to provide an accurate and very inexpensive optical scale. It became possible to install optical encoders in popular printers that could not be installed because of the above, and it became possible to provide high-quality, high-reliability products at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の光学式スケール成形用型の一例を示す
模式的斜視図である。
FIG. 1 is a schematic perspective view showing an example of an optical scale molding die of the present invention.

【図2】本発明の光学式スケール成形用型の別の構成の
一例を示す模式的斜視図である。
FIG. 2 is a schematic perspective view showing an example of another configuration of the optical scale molding die of the present invention.

【図3】本発明の光学式スケール成形用型の別の構成の
一例を示す模式的断面図である。
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an example of another configuration of the optical scale molding die of the present invention.

【図4】本発明の光学式スケール成形用型の別の構成の
一例を示す模式図である。
FIG. 4 is a schematic view showing an example of another configuration of the optical scale molding die of the present invention.

【図5】本発明の光学式スケール成形用型の別の構成の
一例を示す模式的斜視図である。
FIG. 5 is a schematic perspective view showing an example of another configuration of the optical scale molding die of the present invention.

【図6】本発明の光学式スケール成形用型を作製するの
に用いるマスター型材料の加工途中の一例を示す模式的
斜視図である。
FIG. 6 is a schematic perspective view showing an example of a master mold material used for manufacturing the optical scale molding mold of the present invention during processing.

【図7】本発明の光学式スケール成形用型の作製に用い
るダイヤモンドバイトの形状の一例を示す模式図であ
る。
FIG. 7 is a schematic view showing an example of the shape of a diamond bite used for producing the optical scale molding die of the present invention.

【図8】本発明の光学式スケール成形用型の製造に用い
るマスター型の形状の一例を示す模式的斜視図である。
FIG. 8 is a schematic perspective view showing an example of the shape of a master mold used for manufacturing the optical scale molding mold of the present invention.

【図9】本発明の光学式スケール成形用型の全体形状の
一例を示す模式図である。
FIG. 9 is a schematic view showing an example of the overall shape of the optical scale molding die of the present invention.

【図10】本発明の光学式スケール成形用型を取付けた
ロール型の一例を示す模式的斜視図である。
FIG. 10 is a schematic perspective view showing an example of a roll mold to which the optical scale molding mold of the present invention is attached.

【図11】本発明の光学式スケール成形用型を取付けた
ロール型を用いて光学式スケールを連続的に製造する方
法の一例を示す模式図である。
FIG. 11 is a schematic view showing an example of a method for continuously producing an optical scale using a roll die to which an optical scale molding die of the present invention is attached.

【図12】本発明の光学式スケール成形用型の全体形状
の別な構成の一例を示す模式図である。
FIG. 12 is a schematic view showing an example of another configuration of the overall shape of the optical scale molding die of the present invention.

【図13】本発明の光学式スケール成形用型の製造に用
いるマスター型の形状の別の一例を示す模式図である。
FIG. 13 is a schematic view showing another example of the shape of the master mold used for manufacturing the optical scale molding mold of the present invention.

【図14】本発明の光学式スケール成形用型を取付けた
ロール型を用いて光学式スケールを製造する方法におけ
るロールの配置の一例を示す模式図である。
FIG. 14 is a schematic view showing an example of the arrangement of rolls in a method for producing an optical scale using a roll die to which an optical scale molding die of the present invention is attached.

【図15】本発明の光学式スケール成形用型の作製に用
いるダイヤモンドバイトの形状の他の例を示す模式図で
ある。
FIG. 15 is a schematic view showing another example of the shape of the diamond bite used for producing the optical scale molding die of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,1′,1″ 光学式スケール成形用型 2,2′,2″ スケール部 3 空気排出用溝部 4 遮光部 5,5′,5″ 透光部 6 空気排出用溝部 7 下引き層 8 ロール基材 11 型 12 スケール部 13 マスター型製造用燐青銅板 14 台形溝加工用ダイヤモンドバイト 14′ダイヤモンドバイト 15 マスター型 16,16′ 固定具 17 成形用型 18 ロール型 19 成形ロール 19′ 成形ロール 20 Tダイ 21 搬送ロール 22 光学式スケールシート 23 成形用型 24 マスター型 1,1 ', 1 "Optical scale mold 2,2 ', 2 "Scale part 3 Air discharge groove 4 Light shield 5,5 ', 5 "translucent part 6 Air exhaust groove 7 Undercoat layer 8-roll base material Type 11 12 Scale section 13 Master type phosphor bronze plate for manufacturing 14 Diamond Bit for Trapezoid Grooving 14 'diamond tool 15 Master type 16,16 'Fixture 17 Mold 18 roll type 19 Forming roll 19 'forming roll 20 T die 21 Conveyor roll 22 Optical scale sheet 23 Mold 24 master type

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−107503(JP,A) 特開 平6−182855(JP,A) 特開 昭59−78811(JP,A) 特開 昭62−163917(JP,A) 実開 平5−16270(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01D 5/00 - 5/62 B29C 47/00 - 47/96 B29C 53/00 - 67/00 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-4-107503 (JP, A) JP-A-6-182855 (JP, A) JP-A 59-78811 (JP, A) JP-A 62- 163917 (JP, A) Actual Kaihei 5-16270 (JP, U) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) G01D 5/00-5/62 B29C 47/00-47/96 B29C 53/00-67/00

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 光学式スケールを押し出し成形法によっ
て製造するために用いられる型において、 成形シートの
搬送方向に平行な連続した空気排出の為の溝を設けたこ
とを特徴とする光学式スケール成形用型。
1. An optical scale is extruded by a molding method.
In the mold used for manufacturing, it is necessary to provide a groove for continuous air discharge parallel to the conveying direction of the formed sheet.
An optical scale molding die characterized by and .
【請求項2】 光学式スケールを押し出し成形法によっ
て製造するために用いられる型において、 スケールの透
光部と遮光部の境界線上に空気排出の為の溝を設けたこ
とを特徴とする光学式スケール成形用型。
2. An optical scale is extruded by a molding method.
In the mold used for manufacturing, it is necessary to provide a groove for air discharge on the boundary line between the translucent part and the light shield part of the scale.
An optical scale molding die characterized by and .
【請求項3】 光学式スケールを押し出し成形法によっ
て製造するために用いられる型において、 空気を排出す
が、スケール部のパターンの裏面にのみ設けた下引
き層により成形型のスケールパターンが凸となるように
変形させる機構であることを特徴とする光学式スケール
成形用型。
3. An optical scale is extruded by a molding method.
In the mold used for manufacturing, the groove that discharges air is a mechanism that deforms the scale pattern of the mold so that it is convex by the undercoat layer provided only on the back surface of the pattern of the scale part. optical scale molding die to.
【請求項4】 周面にスケールパターンを有するロール
型および該ロール型に対向配置されたロールをそれぞれ
所望の速度で回転させつつ熱可塑性樹脂を押し出す手段
から、所定の温度に加熱された熱可塑性樹脂を該ロール
型と該ロールとの間に供給する工程と、該熱可塑性樹脂
を該ロール型と該ロールとで挟圧して該スケールパター
ンを転写せしめる工程とを有する押し出し成形法により
光学式スケールを連続的に製造する方法において、該ロ
ール型に 成形シートの搬送方向に平行な連続した空気排
出の為の溝を設けた型を用いて成形することを特徴とす
光学式スケールの製造方法。
4. A roll having a scale pattern on its peripheral surface.
The mold and the rolls arranged to face the roll, respectively.
A means for extruding a thermoplastic resin while rotating it at a desired speed
The thermoplastic resin heated to a predetermined temperature from the roll
Supplying between the mold and the roll, and the thermoplastic resin
Is pressed by the roll mold and the roll to produce the scale pattern.
By the extrusion molding method including the step of transferring
A method for continuously producing an optical scale, comprising the steps of:
Continuous air exhaust parallel to the conveying direction of the molded sheet
Characterized by molding using a mold with a groove for protrusion
Method of manufacturing the optical scale that.
【請求項5】 周面にスケールパターンを有するロール
型および該ロール型に対向配置されたロールをそれぞれ
所望の速度で回転させつつ熱可塑性樹脂を押し出す手段
から、所定の温度に加熱された熱可塑性樹脂を該ロール
型と該ロールとの間に供給する工程と、該熱可塑性樹脂
を該ロール型と該ロールとで挟圧して該スケールパター
ンを転写せしめる工程とを有する押し出し成形法により
光学式スケールを連続的に製造する方法において、該ロ
ール型に スケールの透光部と遮光部の境界線上に空気排
出の為の溝を設けた型を用いて成形することを特徴とす
る光学式スケールの製造方法。
5. A roll having a scale pattern on its peripheral surface.
The mold and the rolls arranged to face the roll, respectively.
A means for extruding a thermoplastic resin while rotating it at a desired speed
The thermoplastic resin heated to a predetermined temperature from the roll
Supplying between the mold and the roll, and the thermoplastic resin
Is pressed by the roll mold and the roll to produce the scale pattern.
By the extrusion molding method including the step of transferring
A method for continuously producing an optical scale, comprising the steps of:
The air is exhausted on the boundary line between the translucent and light-shielding parts of the scale.
Characterized by molding using a mold with a groove for protrusion
Optical scale manufacturing method.
【請求項6】 周面にスケールパターンを有するロール
型および該ロール型に対向配置されたロールをそれぞれ
所望の速度で回転させつつ熱可塑性樹脂を押 し出す手段
から、所定の温度に加熱された熱可塑性樹脂を該ロール
型と該ロールとの間に供給する工程と、該熱可塑性樹脂
を該ロール型と該ロールとで挟圧して該スケールパター
ンを転写せしめる工程とを有する押し出し成形法により
光学式スケールを連続的に製造する方法において、該ロ
ール型に スケール部のパターンの裏面にのみ設けた下引
き層により成形型のスケールパターンが凸となるように
変形させた空気を排出する機構を設けた型を用いて成形
することを特徴とする光学式スケールの製造方法。
6. A roll having a scale pattern on its peripheral surface.
The mold and the rolls arranged to face the roll, respectively.
Desired rotated at a speed while means starts to press the thermoplastic resin
The thermoplastic resin heated to a predetermined temperature from the roll
Supplying between the mold and the roll, and the thermoplastic resin
Is pressed by the roll mold and the roll to produce the scale pattern.
By the extrusion molding method including the step of transferring
A method for continuously producing an optical scale, comprising the steps of:
Molding using a mold scale pattern of the mold is provided with a mechanism for discharging the air is deformed in a convex by an undercoat layer provided only on the back surface of the pattern of the scale portion Lumpur type
A method for manufacturing an optical scale, comprising:
【請求項7】 周面にスケールパターンを有するロール
型および該ロール型に対向配置されたロールをそれぞれ
所望の速度で回転させつつ熱可塑性樹脂を押し出す手段
から、所定の温度に加熱された熱可塑性樹脂を該ロール
型と該ロールとの間に供給する工程と、該熱可塑性樹脂
を該ロール型と該ロールとで挟圧して該スケールパター
ンを転写せしめる工程とを有する押し出し成形法により
光学式スケールを連続的に製造する方法において、 成形
に用いるロールとして表面に耐熱性樹脂層を設けたもの
を用い、成形に用いるロール型として空気を排出する機
構を設けたものを用いて、該ロール型の回転軸と該ロー
ルの回転軸とを30度以下の範囲で傾けて配置した装置
を用いて成形することを特徴とする光学式スケールの製
造方法。
7. A roll having a scale pattern on its peripheral surface.
The mold and the rolls arranged to face the roll, respectively.
A means for extruding a thermoplastic resin while rotating it at a desired speed
The thermoplastic resin heated to a predetermined temperature from the roll
Supplying between the mold and the roll, and the thermoplastic resin
Is pressed by the roll mold and the roll to produce the scale pattern.
By the extrusion molding method including the step of transferring
In a method for continuously producing an optical scale, a roll provided with a heat-resistant resin layer on the surface is used as a roll used for molding, and a roll type used for molding is provided with a mechanism for discharging air, A method for manufacturing an optical scale, which comprises molding using a device in which a roll type rotation axis and a rotation axis of the roll are tilted within a range of 30 degrees or less.
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