JP3451829B2 - Acceleration sensor - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、印加された加速度
による振子の変位を打ち消すようフィードバック制御す
ることによってその加速度を検知する、いわゆるサーボ
型の加速度センサに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a so-called servo type acceleration sensor for detecting the acceleration of a pendulum by feedback control so as to cancel the displacement of the pendulum due to the applied acceleration.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種の加速度センサとして図２
に示す構成のものが存在する。このものは、振子A 、コ
イルB 、永久磁石C 、検出器D 、増幅器E 、読取部F 及
びベースG を備えてなっている。2. Description of the Related Art Conventionally, as an acceleration sensor of this type, FIG.
There is a configuration shown in. This one is equipped with a pendulum A, a coil B, a permanent magnet C 1, a detector D 1, an amplifier E 1, a reading section F 1 and a base G 2.
【０００３】振子A は、可撓性を有する磁性材料によ
り、棒状に形成され、その基端部がベースG に片持ち支
持されている。The pendulum A is formed of a flexible magnetic material into a rod shape, and its base end portion is supported by a base G in a cantilever manner.
【０００４】コイルB は、中心軸が振子A の長手方向に
直交する方向であって、かつ両開口端部が振子A の両側
に位置した状態で振子A に固定されている。The coil B is fixed to the pendulum A with its central axis being in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the pendulum A and with both open ends positioned on both sides of the pendulum A.
【０００５】永久磁石C は、一端部がコイルB の両開口
端部に挿入された状態で振子A の両側にそれぞれ配設さ
れており、その２個の永久磁石C,C の磁束はコイルB の
中心軸と直交する方向にてコイルB の各コイル線と交差
するよう発生している。The permanent magnets C are arranged on both sides of the pendulum A with one end inserted into both open ends of the coil B, and the magnetic flux of the two permanent magnets C, C is the coil B. It is generated so as to intersect each coil wire of coil B in the direction orthogonal to the central axis of.
【０００６】検出器D は、振子A の先端部の両側にそれ
ぞれ配設された２個の検知コイルD1,D1 に接続されてい
る。２個の検知コイルD1,D1 には、振子A を通った２個
の永久磁石C,C の磁束が、振子A の先端部から分かれて
平衡な状態でそれぞれ閉磁路を形成するよう流れてい
る。そして、加速度が印加されることによって撓んだ振
子A の先端部が２個の検知コイルD1,D1 のいずれかの方
向へ変位すると、２個の検知コイルD1,D1 の平衡状態が
失われてそれぞれに流れる磁束の増減が起こることによ
って変位量に比例した電圧が発生し、その電圧を検出器
D が検知するようになっている。The detector D is connected to two detection coils D 1 and D 1 arranged on both sides of the tip of the pendulum A. The magnetic fluxes of the two permanent magnets C, C that have passed through the pendulum A flow through the two detection coils D 1 , D 1 so as to form a closed magnetic circuit in a balanced state separated from the tip of the pendulum A. ing. When the tip of the pendulum A deflected by the acceleration is applied is displaced in the two sensing either direction of the coil D 1, D 1, two detection equilibrium coils D 1, D 1 Is lost and the magnetic flux flowing through each is increased or decreased to generate a voltage proportional to the displacement amount.
D is set to detect it.
【０００７】検出器D の検知信号は、増幅器E により増
幅された後、コイルB にフィードバックされ、変位量に
比例した励磁電流がコイルB に流される。そうすると、
永久磁石C,C の磁束はコイルB の中心軸と直交する方向
にて励磁電流の流れたコイルB の各コイル線と交差する
ことになるから、振子A に固定されているコイルB はロ
ーレンツ力により振子A の変位を打ち消す方向へ可動さ
れ、振子A は平衡状態に戻る。The detection signal from the detector D is amplified by the amplifier E and then fed back to the coil B, so that an exciting current proportional to the amount of displacement is supplied to the coil B. Then,
Since the magnetic flux of the permanent magnets C and C intersects with the coil wires of the coil B in which the exciting current flows in the direction orthogonal to the central axis of the coil B, the coil B fixed to the pendulum A has the Lorentz force. Is moved in the direction to cancel the displacement of pendulum A, and pendulum A returns to the equilibrium state.
【０００８】このとき、コイルB に流れる励磁電流の値
は印加された加速度に比例しており、読取部F では、そ
の励磁電流を抵抗に流すことによって発生する電圧とし
て加速度を読み取る。At this time, the value of the exciting current flowing through the coil B is proportional to the applied acceleration, and the reading unit F reads the acceleration as a voltage generated by causing the exciting current to flow through the resistor.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の加速度
センサにあっては、印加された加速度による振子A の変
位を打ち消すようフィードバック制御することによって
その加速度を検知できるものとなっている。In the above-mentioned conventional acceleration sensor, the acceleration can be detected by performing feedback control so as to cancel the displacement of the pendulum A due to the applied acceleration.
【００１０】しかしながら、フィードバック制御のため
の励磁電流を流すコイルB は、振子A に固定されている
ために、振子A と一緒に可動することになる。従って、
コイルB への配線を行うのに際し、可動に伴う断線防止
を配慮して行えるものにする必要があり、それだけ構造
が複雑なものとなる。However, since the coil B for supplying an exciting current for feedback control is fixed to the pendulum A, it moves together with the pendulum A. Therefore,
When wiring the coil B, it is necessary to consider the prevention of disconnection due to movement, which complicates the structure.
【００１１】本発明は、上記事由に鑑みてなしたもの
で、その目的とするところは、より簡単な構造となる加
速度センサを提供することにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide an acceleration sensor having a simpler structure.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ために、請求項１記載のものは、巻回されたコイルと、
可撓性を有する磁性材料により棒状に形成されてなり基
端部を片持ち支持してコイルの内方空間に挿通された振
子と、振子の先端部の両側面に対してそれぞれ所定空隙
を有するよう対向配置された２個の磁性片と、２個の磁
性片をそれぞれ異極に磁化する永久磁石と、加速度が印
加されたときの振子の撓み変位量を２箇所の前記所定空
隙に存在する静電容量の差により検知する検知器と、検
知器の信号に基づいて振子の変位を打ち消すようフィー
ドバック制御するために振子を磁化して２箇所の前記所
定空隙間の両磁気吸引力が平衡化されるようコイルを励
磁するための励磁電流の値を読み取る読取部と、を備え
た構成にしてある。In order to solve the above-mentioned problems, according to a first aspect of the present invention, a wound coil and
A pendulum formed of a flexible magnetic material in a rod shape and cantileveredly supporting the base end portion and inserted into the inner space of the coil, and has predetermined air gaps on both side surfaces of the tip end portion of the pendulum. The two magnetic pieces that are arranged so as to face each other, the permanent magnets that magnetize the two magnetic pieces to different polarities, and the flexural displacement amount of the pendulum when acceleration is applied is present in the two predetermined gaps. The detector that detects by the difference in capacitance and the magnetic attraction force between the two predetermined gaps are balanced by magnetizing the pendulum for feedback control to cancel the displacement of the pendulum based on the signal of the detector. And a reading unit for reading the value of the exciting current for exciting the coil.
【００１３】請求項２記載のものは、請求項１記載のも
のにおいて、前記読取部は前記励磁電流の流れる方向も
読み取る構成にしてある。According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the reading unit is configured to also read the flowing direction of the exciting current.
【００１４】請求項３記載のものは、請求項１記載のも
のにおいて、前記振子及び前記２個の磁性片は前記コイ
ルを巻回したコイル枠に支持された構成にしてある。According to a third aspect, in the first aspect, the pendulum and the two magnetic pieces are supported by a coil frame around which the coil is wound.
【００１５】請求項４記載のものは、請求項１記載のも
のにおいて、前記振子は基端部近傍に薄肉部が設けられ
た構成にしてある。According to a fourth aspect of the present invention, in the first aspect, the pendulum has a structure in which a thin portion is provided near the base end portion.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】本発明の一実施形態を図１に基づ
いて以下に説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.
【００１７】1 はコイルで、コイル枠11の巻胴部11a に
巻回され、その両端末がコイル枠11の一方鍔部11b に設
けたコイル端子1a,1b にそれぞれ接続されている。Reference numeral 1 denotes a coil, which is wound around a winding drum portion 11a of a coil frame 11, and both ends thereof are connected to coil terminals 1a and 1b provided on one flange portion 11b of the coil frame 11, respectively.
【００１８】2 は振子で、可撓性を有する磁性材料によ
り、棒状に形成され、コイル1 詳しくはコイル枠11の巻
胴部11a の内方空間1cに挿通されるよう、基端部2aがコ
イル枠11の一方鍔部11b に片持ち支持して固定されると
ともに、先端部2bがコイル枠11の他方鍔部11c から外方
へ突出している。また基端部2aの近傍には薄肉部2cが設
けられている。Reference numeral 2 denotes a pendulum, which is formed of a flexible magnetic material into a rod shape, and has a base end portion 2a formed so as to be inserted into the coil 1 in detail, the inner space 1c of the winding body portion 11a of the coil frame 11. The coil frame 11 is cantilevered and fixed to one flange portion 11b of the coil frame 11, and the tip portion 2b projects outward from the other flange portion 11c of the coil frame 11. A thin portion 2c is provided near the base end 2a.
【００１９】3,4 は２個の磁性片で、磁性材料により、
平板状に形成され、振子2 の先端部2bの両側面に対して
それぞれ等しい所定空隙3a,4a を有するよう、つまり振
子2の先端部2bが対向配置された２個の磁性片3,4 の間
の中央に位置するよう、コイル枠11の他方鍔部11c に一
端部が固定されている。Numerals 3 and 4 are two magnetic pieces.
It is formed in a flat plate shape and has the same predetermined gaps 3a, 4a on both sides of the tip 2b of the pendulum 2, that is, the tip 2b of the pendulum 2 is arranged to face each other. One end portion is fixed to the other flange portion 11c of the coil frame 11 so as to be located at the center of the space.
【００２０】5 は永久磁石で、２個の磁性片3,4 の他端
部側に挟持され、両磁性片3,4 をそれぞれ異極に、例え
ば一方磁性片3 をＮ極に他方磁性片4 をＳ極にそれぞれ
磁化している。Reference numeral 5 denotes a permanent magnet which is sandwiched between the other ends of the two magnetic pieces 3 and 4, and both magnetic pieces 3 and 4 have different polarities, for example, one magnetic piece 3 is an N pole and the other magnetic piece is a magnetic pole. 4 is magnetized to the south pole.
【００２１】6 は検知器で、２個の磁性片3,4 及び振子
2 の基端部2aに接続され、２箇所の上記所定空隙3a,4a
に存在する静電容量の差を検知するようになっている。
すなわち、加速度が印加されて振子2 が撓むと、その振
子2 の先端部2bが２個の磁性片3,4 間の中央位置にある
平衡状態からいずれかの方向へ変位することによって２
箇所の上記所定空隙3a,4a に存在する静電容量に差が生
じるので、その差を加速度に応じた振子2 の撓み変位量
の信号として検知するのである。Reference numeral 6 is a detector, which is composed of two magnetic pieces 3 and 4 and a pendulum.
It is connected to the base end 2a of the 2 and is connected to the above-mentioned predetermined gaps 3a and 4a at two locations.
It is designed to detect the difference in capacitance existing in the.
That is, when acceleration is applied and the pendulum 2 bends, the tip 2b of the pendulum 2 is displaced in either direction from the equilibrium state at the center position between the two magnetic pieces 3 and 4
Since there is a difference in the electrostatic capacities existing in the above-mentioned predetermined gaps 3a and 4a at the location, the difference is detected as a signal of the bending displacement amount of the pendulum 2 according to the acceleration.
【００２２】7 は増幅器で、検知器6 及び一方のコイル
端子1aに接続され、検知器6 の検知信号を増幅する。そ
の増幅された検知信号は、コイル1 にフィードバックさ
れ、振子2 の先端部2bの変位を打ち消すよう、印加され
た加速度に比例した励磁電流が、増幅器7 に接続されて
いる電源（図示せず）から供給されてコイル1 に流され
る。Reference numeral 7 denotes an amplifier, which is connected to the detector 6 and one coil terminal 1a and amplifies a detection signal of the detector 6. The amplified detection signal is fed back to the coil 1, and an exciting current proportional to the applied acceleration is applied to the amplifier 7 so as to cancel the displacement of the tip portion 2b of the pendulum 2 and a power source (not shown) connected to the amplifier 7. It is supplied from and is supplied to coil 1.
【００２３】詳しくは、例えば、加速度が印加されて平
衡状態にあった振子2 の先端部2bが一方の磁性片3 側に
近づく方向へ変位したとすると、２箇所の所定空隙3a,4
a においては、上記したように静電容量に差が生じると
ともに、その静電容量の差に比例する形で、永久磁石5
で異極に磁化された２個の磁性片3,4 により振子2 の先
端部2bに働く両磁気吸引力も、一方の磁性片3 の方が強
くなるが、検知器6 の検知信号に基づいた振子2 の変位
量に比例する励磁電流がコイル1 に流されて振子2 の先
端部2bがＮ極に磁化されることによって、振子2 の先端
部2bは一方の磁性片3 により反発力を、他方の磁性片4
により吸引力をそれぞれ受ける。そうすると、振子2 の
先端部2bはその変位を打ち消す方向である２個の磁性片
3,4 間の中央位置方向へ可動されて平衡状態に戻る。そ
の結果、２箇所の所定空隙3a,4aにおける両静電容量及
び両磁気吸引力が平衡化される。加速度の印加方向が上
記と逆の場合は、コイル1 の励磁電流も逆方向に流れる
ことになる。More specifically, for example, if the tip end portion 2b of the pendulum 2 that has been in an equilibrium state due to acceleration is displaced toward one magnetic piece 3 side, two predetermined gaps 3a, 4 are formed.
In a, as described above, there is a difference in capacitance, and the permanent magnet 5 is proportional to the difference in capacitance.
The magnetic attraction force acting on the tip 2b of the pendulum 2 by the two magnetic pieces 3 and 4 magnetized with different polarities is stronger on the one magnetic piece 3, but based on the detection signal of the detector 6. An exciting current proportional to the amount of displacement of the pendulum 2 is applied to the coil 1 and the tip 2b of the pendulum 2 is magnetized to the N pole. The other magnetic piece 4
Receives the suction force. Then, the tip portion 2b of the pendulum 2 has two magnetic pieces in the direction to cancel the displacement.
It is moved toward the center position between 3 and 4 and returns to the equilibrium state. As a result, both capacitances and magnetic attraction forces in the two predetermined gaps 3a and 4a are balanced. When the acceleration is applied in the opposite direction, the exciting current of the coil 1 also flows in the opposite direction.
【００２４】8 は読取部で、他方のコイル端子1bに抵抗
が接続され、印加された加速度に比例したコイル1 の励
磁電流を抵抗に流し、その抵抗の両端に発生する電圧を
読み取ることによって加速度の値が検知される。このと
き、励磁電流の流れる方向も読み取ることによって、加
速度の印加方向も検知される。Reference numeral 8 denotes a reading unit, in which a resistor is connected to the other coil terminal 1b, an exciting current of the coil 1 proportional to the applied acceleration is applied to the resistor, and the voltage generated across the resistor is read to accelerate the acceleration. The value of is detected. At this time, the application direction of acceleration is also detected by reading the flowing direction of the exciting current.
【００２５】かかる加速度センサにあっては、上述した
ように、加速度を印加したときの振子2 の先端部2bの変
位を打ち消すようフィードバック制御するための励磁電
流を流すコイル1 は、その巻回した内方空間1cに挿通さ
れた振子2 とは固定されていないため、振子2 が撓んで
変位したときに一緒に可動せず固定した状態にあってコ
イル断線が起こり難いので、可動に伴う断線防止を配慮
した配線を必要としない簡単な構造とすることができ
る。In such an acceleration sensor, as described above, the coil 1 for supplying an exciting current for feedback control so as to cancel the displacement of the tip portion 2b of the pendulum 2 when the acceleration is applied is wound around the coil 1. Since it is not fixed to the pendulum 2 inserted in the inner space 1c, it does not move along with the pendulum 2 when it is bent and displaced, and it is difficult for coil breakage to occur. It is possible to have a simple structure that does not require wiring.
【００２６】また、フィードバック制御するための励磁
電流の流れる方向を読取部8 で読み取ることによって、
加速度の値と共に、その印加方向も検知できる。By reading the direction of the exciting current for feedback control with the reading unit 8,
Along with the value of acceleration, the direction of application can be detected.
【００２７】また、振子2 及び２個の磁性片3,4 が、い
ずれもコイル1 を巻回した１個のコイル枠11に支持され
ているから、２個の磁性片3,4 が振子2 の先端部2bの両
側面に対してそれぞれ設ける所定空隙3a,4a を精度良く
設定でき、それだけ加速度の検知精度も向上する。Since the pendulum 2 and the two magnetic pieces 3 and 4 are both supported by the one coil frame 11 around which the coil 1 is wound, the two magnetic pieces 3 and 4 are attached to the pendulum 2. Predetermined gaps 3a and 4a respectively provided on both side surfaces of the tip portion 2b can be accurately set, and the acceleration detection accuracy is improved accordingly.
【００２８】また、振子2 は、基端部2a近傍に撓み易い
薄肉部2cが設けられているから、より小さな加速度の検
知精度もさらに向上する。Further, since the pendulum 2 is provided with the thin-walled portion 2c which is easily bent in the vicinity of the base end portion 2a, the accuracy of detecting a smaller acceleration is further improved.
【００２９】なお、本実施形態では、検知器6 により２
箇所の所定空隙3a,4a に存在する静電容量の差を検知す
るのに、検知器6 を２個の磁性片3,4 に直接接続してい
るが、振子2 の先端部2bの両側面に対面する２個の磁性
片3,4 の位置に、絶縁層を介して偏平状の電極をそれぞ
れ張り付け、その両電極と検知器6 とを接続するように
すれば、両電極は２個の磁性片3,4 と確実に電気的に絶
縁されるから、振子2の先端部2bの両側面との間の静電
容量がより正確となり、検知器6 により検知される静電
容量の差も正確なものとなる。In this embodiment, the detector 6
The detector 6 is directly connected to the two magnetic pieces 3 and 4 in order to detect the difference in the capacitances existing in the predetermined gaps 3a and 4a, but both sides of the tip 2b of the pendulum 2 are detected. If flat electrodes are attached to the positions of the two magnetic pieces 3 and 4 facing each other via an insulating layer and both electrodes are connected to the detector 6, the two electrodes are connected to each other. Since it is reliably electrically insulated from the magnetic pieces 3 and 4, the electrostatic capacitance between the both ends of the tip portion 2b of the pendulum 2 is more accurate, and the difference in the electrostatic capacitance detected by the detector 6 is also increased. Be accurate.
【００３０】また、本実施形態では、振子2 及び２個の
磁性片3,4 は、いずれもコイル枠11に支持されている
が、例えば、コイル枠11の強度が余り強くないような場
合には、強度の強い基台等の別に設けた部材に支持して
もよく、限定されない。In this embodiment, the pendulum 2 and the two magnetic pieces 3 and 4 are both supported by the coil frame 11, but, for example, when the coil frame 11 is not very strong, May be supported by a separately provided member such as a strong base and is not limited.
【００３１】その場合、振子2 が基端部2aを片持ち支持
してコイル1 の内方空間に挿通されるならば、コイル1
を巻回するのに、本実施形態のようにコイル枠11を使用
せずに、コイル1 自身だけで中空状に巻回したものであ
ってもよい。In that case, if the pendulum 2 is inserted into the inner space of the coil 1 while supporting the base end portion 2a in a cantilever manner,
The coil may be wound in a hollow shape only by the coil 1 itself without using the coil frame 11 as in the present embodiment.
【００３２】また、本実施形態では、読取部8 は励磁電
流の流れる方向も読み取るようになっているが、例え
ば、加速度の印加される方向が決まっているような場合
には、その必要はない。In the present embodiment, the reading unit 8 also reads the direction in which the exciting current flows, but this is not necessary if the direction in which the acceleration is applied is fixed, for example. .
【００３３】また、本実施形態では、振子2 は、基端部
2a近傍に撓み易い薄肉部2cが設けられているが、例え
ば、印加される加速度を検知するのに必要な撓み変位量
が十分確保できるような場合には、その必要はない。Further, in this embodiment, the pendulum 2 has a base end portion.
A thin portion 2c that easily bends is provided in the vicinity of 2a, but this is not necessary when, for example, the amount of bending displacement necessary to detect the applied acceleration can be sufficiently secured.
【００３４】また、本実施形態では、増幅器7 を使用し
ているが、検知器6 の検知信号によりフィードバック制
御するための励磁電流を流せ得るならば、必ずしも使用
する必要がなく、その場合、励磁電流を供給するための
電源は検知器6 に接続しておけばよい。Further, although the amplifier 7 is used in the present embodiment, if the exciting current for feedback control by the detection signal of the detector 6 can be passed, it is not necessarily used, and in that case, The power supply for supplying the current may be connected to the detector 6.
【００３５】[0035]
【発明の効果】請求項１記載のものは、加速度を印加し
たときの振子の変位を打ち消すようフィードバック制御
するための励磁電流を流すコイルは、その巻回した内方
空間に挿通された振子とは固定されていないため、振子
が撓んで変位したときに一緒に可動せず固定した状態に
あってコイル断線が起こり難いので、可動に伴う断線防
止を配慮した配線を必要としない簡単な構造とすること
ができる。According to the first aspect of the present invention, the coil for supplying an exciting current for feedback control so as to cancel the displacement of the pendulum when an acceleration is applied has a pendulum inserted in the wound inner space. Is not fixed, so when the pendulum bends and displaces, it does not move together and is in a fixed state, so coil disconnection does not easily occur, so a simple structure that does not require wiring to prevent disconnection due to movement can do.
【００３６】請求項２記載のものは、請求項１記載のも
のの効果に加えて、フィードバック制御するための励磁
電流の流れる方向を読取部で読み取ることによって、加
速度の値と共に、その印加方向も検知できる。According to a second aspect of the invention, in addition to the effect of the first aspect, the reading direction of the exciting current for feedback control is read by the reading unit to detect the acceleration value and the application direction thereof. it can.
【００３７】請求項３記載のものは、請求項１記載のも
のの効果に加えて、振子及び２個の磁性片が、いずれも
コイルを巻回した１個のコイル枠に支持されているか
ら、２個の磁性片が振子の先端部の両側面に対してそれ
ぞれ設ける所定空隙を精度良く設定でき、それだけ加速
度の検知精度も向上する。According to the third aspect, in addition to the effect of the first aspect, the pendulum and the two magnetic pieces are both supported by one coil frame around which a coil is wound. Predetermined air gaps provided by the two magnetic pieces on both side surfaces of the tip of the pendulum can be set with high accuracy, and the acceleration detection accuracy is improved accordingly.
【００３８】請求項４記載のものは、請求項１記載のも
のの効果に加えて、振子は、基端部近傍に撓み易い薄肉
部が設けられているから、より小さな加速度の検知精度
もさらに向上する。According to the fourth aspect, in addition to the effect of the first aspect, the pendulum is provided with a thin portion that easily bends in the vicinity of the base end portion, so that the detection accuracy of smaller acceleration is further improved. To do.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図１】本発明の一実施形態を回路図と共に示す正面断
面図である。FIG. 1 is a front cross-sectional view showing an embodiment of the present invention together with a circuit diagram.
【図２】従来例を回路図と共に示す正面断面図である。FIG. 2 is a front sectional view showing a conventional example together with a circuit diagram.
1 コイル 1c 内方空間 2 振子 2a 基端部 2b 先端部 2c 薄肉部 3,4 ２個の磁性片 3a,4a 所定空隙 5 永久磁石 6 検知器 8 読取部 1 coil 1c Inner space 2 pendulum 2a Base end 2b tip 2c Thin part 3,4 2 magnetic pieces 3a, 4a Predetermined space 5 permanent magnet 6 detector 8 scanning section
Claims (4)
性材料により棒状に形成されてなり基端部を片持ち支持
してコイルの内方空間に挿通された振子と、振子の先端
部の両側面に対してそれぞれ所定空隙を有するよう対向
配置された２個の磁性片と、２個の磁性片をそれぞれ異
極に磁化する永久磁石と、加速度が印加されたときの振
子の撓み変位量を２箇所の前記所定空隙に存在する静電
容量の差により検知する検知器と、検知器の信号に基づ
いて振子の変位を打ち消すようフィードバック制御する
ために振子を磁化して２箇所の前記所定空隙間の両磁気
吸引力が平衡化されるようコイルを励磁するための励磁
電流の値を読み取る読取部と、を備えてなることを特徴
とする加速度センサ。1. A wound coil, a pendulum formed of a flexible magnetic material in a rod shape and cantilevered at a base end portion thereof and inserted into an inner space of the coil, and a tip end of the pendulum. Of the two magnetic pieces, which are arranged so as to face each other on both side surfaces of the part so as to have a predetermined gap, permanent magnets that magnetize the two magnetic pieces to different polarities, and flexure of the pendulum when acceleration is applied. A detector that detects the amount of displacement based on the difference in the electrostatic capacities existing in the two predetermined gaps, and a pendulum that is magnetized to perform feedback control so as to cancel the displacement of the pendulum based on the signal from the detector. An acceleration sensor, comprising: a reading unit that reads a value of an exciting current for exciting a coil so that both magnetic attraction forces between the predetermined gaps are balanced.
も読み取ることを特徴とする請求項１記載の加速度セン
サ。2. The acceleration sensor according to claim 1, wherein the reading unit also reads a direction in which the exciting current flows.
イルを巻回したコイル枠に支持されてなることを特徴と
する請求項１記載の加速度センサ。3. The acceleration sensor according to claim 1, wherein the pendulum and the two magnetic pieces are supported by a coil frame around which the coil is wound.
れてなることを特徴とする請求項１記載の加速度セン
サ。4. The acceleration sensor according to claim 1, wherein the pendulum is provided with a thin portion near a base end portion.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07636696A JP3451829B2 (en) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | Acceleration sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07636696A JP3451829B2 (en) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | Acceleration sensor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09264904A JPH09264904A (en) | 1997-10-07 |
| JP3451829B2 true JP3451829B2 (en) | 2003-09-29 |
Family
ID=13603359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07636696A Expired - Fee Related JP3451829B2 (en) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | Acceleration sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3451829B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1996
- 1996-03-29 JP JP07636696A patent/JP3451829B2/en not_active Expired - Fee Related
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