JP3441265B2 - 差圧検出器 - Google Patents

差圧検出器

Info

Publication number
JP3441265B2
JP3441265B2 JP25292395A JP25292395A JP3441265B2 JP 3441265 B2 JP3441265 B2 JP 3441265B2 JP 25292395 A JP25292395 A JP 25292395A JP 25292395 A JP25292395 A JP 25292395A JP 3441265 B2 JP3441265 B2 JP 3441265B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
diaphragm
pressure side
low
main diaphragm
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP25292395A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0996580A (ja
Inventor
幸三 後藤
一夫 山泉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nagano Keiki Co Ltd
Original Assignee
Nagano Keiki Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nagano Keiki Co Ltd filed Critical Nagano Keiki Co Ltd
Priority to JP25292395A priority Critical patent/JP3441265B2/ja
Publication of JPH0996580A publication Critical patent/JPH0996580A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3441265B2 publication Critical patent/JP3441265B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、差圧検出器に関
し、水道用逆流防止弁のポータブルタイプ漏れ検出器等
として利用できる。
【0002】
【背景技術】一般に、水道用減圧式逆流防止弁の漏れ試
験においては、高基準圧でかつ低差圧な測定が可能なポ
ータブルタイプの小型簡便な差圧検出器が必要とされ
る。従来より、このような水道用減圧式逆流防止弁の漏
れ試験には、機械式差圧計や複雑な機構の電子式差圧計
が使用されている。例えば、機械式差圧計としては、図
2に示すようなべローズを用いた機械式差圧計90等が
あり、電子式差圧計としては、図3に示すようなダイア
フラムを二枚使用した電子式差圧計80等がある。
【0003】図2において、従来使用されていた機械式
差圧計90は、高圧PHおよび低圧PLの被測定流体
を、高圧側導入口91Aおよび低圧側導入口91Bから
高圧側圧力室92Aおよび低圧側圧力室92B内にそれ
ぞれ導き、これらの各被測定流体を図中上下方向に伸縮
自在とされたべローズ93の上下両側に作用させ、その
際のべローズ93の上下方向の伸縮量を連結棒94を介
して図示されない指示機構(回転指示)に伝達すること
により、高圧PHおよび低圧PLの被測定流体の差圧を
測定するようになっている。通常、このような機械式差
圧計90の回転指示の目盛りは、50〜100分割であ
り、重量は、約3kgf程度である。
【0004】図3において、従来使用されていた電子式
差圧計80は、高圧PHおよび低圧PLの被測定流体
を、高圧側導入口81Aおよび低圧側導入口81Bから
高圧側圧力室82Aおよび低圧側圧力室82B内にそれ
ぞれ導き、これらの各被測定流体を図中波形で示された
薄板状の弾性を有する二枚のダイヤフラム83A,83
Bに作用させ、その際の各ダイヤフラム83A,83B
の変形量を検出部84で検出することにより、高圧PH
および低圧PLの被測定流体の差圧を測定するようにな
っている。また、各ダイヤフラム83A,83Bの内側
には、封入液85A,85Bが封入されている。さら
に、高圧側圧力室82Aおよび低圧側圧力室82B内の
各被測定流体は、ドレンバルブ86A,86Bを通して
排水可能となっている。
【0005】また、従来使用されていた別の電子式差圧
計として、圧力センサ素子二個で個々に高圧PHおよび
低圧PLの被測定流体の圧力を検出し、電気的に演算を
行ってこれらの差圧を求めるものもある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来使
用されていた各差圧計では、測定において個人的読み取
り誤差が発生する、重量が大きい、操作性が悪いなどの
問題があった。すなわち、前述した図2の機械式差圧計
90では、目盛りが50〜100分割程度の回転指示に
よるアナログ式であるため、読み取り誤差が生じるとい
う問題があり、高精度のものは大型で重いという問題が
あった。
【0007】また、前述した図3の電子式差圧計80で
は、各ダイヤフラム83A,83Bの内側に封入液85
A,85Bを封入するなど構造が複雑でコストが高いと
いう問題があった。さらに、前述した圧力センサ素子二
個で個々に圧力を検出する電子式差圧計では、圧力セン
サ素子のレンジに対して差圧レンジが小さい場合には、
検出値を拡大して捉える必要が生じるが、このような拡
大を行うと、圧力センサ素子の特性の差が同時に拡大さ
れてしまい、誤差として大きく現れてしまうという問題
があった。
【0008】本発明の目的は、高精度な差圧検出を行う
ことができ、かつ小型化や低コスト化を図ることができ
る差圧検出器を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、主ダイアフラ
ム、高圧側副ダイアフラム、および低圧側副ダイアフラ
ムの三者の各中央部を連結部材で連結して前記目的を達
成しようとするものである。具体的には、本発明の差圧
検出器は、両側に受圧面が形成された弾性を有する主ダ
イアフラムと、この主ダイアフラムの一方の側に配置さ
れた高圧側圧力室と、他方の側に配置された低圧側圧力
室と、前記高圧側圧力室を挟んで前記主ダイアフラムに
対向配置された弾性を有する高圧側副ダイアフラムと、
前記低圧側圧力室を挟んで前記主ダイアフラムに対向配
置された弾性を有する低圧側副ダイアフラムと、前記主
ダイアフラムと前記高圧側副ダイアフラムとの間および
前記主ダイアフラムと前記低圧側副ダイアフラムとの間
をそれぞれの中央部で連結する連結部材と、前記主ダイ
アフラムの変位を検出する検出手段とを備えたことを特
徴とする。
【0010】ここで、中央部とは、主ダイアフラム、高
圧側副ダイアフラム、および低圧側副ダイアフラムのそ
れぞれの端部を除く部分を意味し、必ずしも各ダイアフ
ラムの中心(完全な真ん中)のみを意味するものではな
い。
【0011】このような本発明においては、差圧検出の
対象とされる各被測定流体を高圧側圧力室および低圧側
圧力室に導き、これらの圧力を主ダイアフラムの両側の
受圧面に作用させる。また、これと同時に、高圧側圧力
室に導かれた被測定流体の圧力を高圧側副ダイアフラム
に作用させるとともに、低圧側圧力室に導かれた被測定
流体の圧力を低圧側副ダイアフラムに作用させる。
【0012】この際、主ダイアフラム、高圧側副ダイア
フラム、および低圧側副ダイアフラムの三者の各中央部
は、連結部材で連結されているので、これらの三者の各
中央部は、高圧側圧力室内および低圧側圧力室内の各被
測定流体から受ける力により連動する。従って、これら
の連動する主ダイアフラム、高圧側副ダイアフラム、若
しくは低圧側副ダイアフラム、または連結部材のうちの
いずれかの部分の変位(変位量そのものであってもよ
く、変位に伴う各ダイアフラムの歪み量等の諸量であっ
てもよい)を検出手段により捉えることで、主ダイアフ
ラムの変位が検出され、差圧の検出が行われる。
【0013】また、高圧側副ダイアフラムが高圧側圧力
室内の被測定流体から受ける力と、低圧側副ダイアフラ
ムが低圧側圧力室内の被測定流体から受ける力とは、互
いに相殺し合う方向に働くので、主ダイアフラムに両側
から働く力のバランスが必要以上に大きく崩れることは
ない。
【0014】このため、主ダイアフラムの片側のみに副
ダイアフラム(高圧側副ダイアフラムまたは低圧側副ダ
イアフラムに相当するもの)を設けて測定を行う場合に
比べ、誤差の小さい検出が可能となる。
【0015】従って、基準圧(各被測定流体の絶対圧)
が昇圧あるいは降圧しても、差圧の測定に誤差は生じな
い。また、基準圧の変化量に対して差圧が小さい場合で
あっても、高精度な検出が可能となる。さらに、構造が
簡易であるため、小型化、低コスト化が図られ、これら
により前記目的が達成される。
【0016】また、前記高圧側副ダイアフラムと前記低
圧側副ダイアフラムとは、同一受圧面積でかつ同一形状
を有する同一種類のものとされていることが望ましい。
このように同一種類のものを用いることで、主ダイアフ
ラムに両側から働く力のバランスが必要以上に大きく崩
れることのない差圧検出器を容易に構成できるようにな
るうえ、部品共通化により低コスト化を図ることが可能
となる。なお、高圧側副ダイアフラムと低圧側副ダイア
フラムとは、このように同一種類のものを用いることが
望ましいが、主ダイアフラムに両側から働く力のバラン
スが必要以上に大きく崩れることのない差圧検出器を構
成できれば、異なる種類(異なる受圧面積、異なる形
状、あるいは異なる材料等)のものを用いてもよく、こ
のように異なる種類とした場合も本発明に含まれるもの
とする。但し、受圧面積が異なると各被測定流体の差圧
が全く無い場合において主ダイアフラムに働く合成力が
ゼロにならないため、異なる種類のものを用いるにして
も、受圧面積だけは一致させておくことが好ましい。
【0017】さらに、前記検出手段は、前記高圧側副ダ
イアフラムの前記高圧側圧力室とは反対側の面または前
記低圧側副ダイアフラムの前記低圧側圧力室とは反対側
の面のいずれか一方に設けられた歪ゲージを用いて検出
を行う構成とされていることが望ましい。このように検
出手段を歪ゲージを用いた構成とした場合には、低コス
ト化や構造の簡略化がより一層図られる。なお、検出手
段は、このように歪ゲージを用いた構成とすることが望
ましいが、例えば、静電容量の変化により高圧側副ダイ
アフラムまたは低圧側副ダイアフラムの変位を捉える構
成のもの等も本発明に含まれるものとする。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。図1には、本実施形態の差圧検出
器10の断面図が示されている。差圧検出器10は、外
周を第一筐体11、第二筐体12、および第三筐体13
で覆われている。第一筐体11と第二筐体12との間に
は、弾性を有する薄板状のステンレス製の主ダイアフラ
ム20が挟み込まれ、この主ダイアフラム20の両側の
表面には、ステンレス製等の硬質な表面部材21,22
が取り付けられている。
【0019】主ダイアフラム20の図中左右両側には、
差圧検出対象とされる被測定流体が導かれる高圧側圧力
室23および低圧側圧力室24が設けられている。な
お、高圧側および低圧側と呼んでいるのは、あくまでも
標準的な使用状態でのことであり、この呼び名によって
実際の圧力の高低が高圧側と低圧側とにおいて逆転した
状態での使用が妨げられるものではない。
【0020】高圧側圧力室23の図中下側位置には、圧
力PHの被測定流体を高圧側圧力室23内に導くための
高圧側導入口25が設けられ、低圧側圧力室24の図中
下側位置には、圧力PLの被測定流体を低圧側圧力室2
4内に導くための低圧側導入口26が設けられている。
また、高圧側圧力室23および低圧側圧力室24には、
主ダイアフラム20の過剰な撓みを防止するためのスト
ッパ27が設けられている。
【0021】高圧側圧力室23の図中左側には、高圧側
圧力室23を挟んで主ダイアフラム20(表面部材2
1)に対向配置された弾性を有するステンレス製の高圧
側副ダイアフラム30を備えた検出素子31が設けられ
ている。また、低圧側圧力室24の図中右側には、低圧
側圧力室24を挟んで主ダイアフラム20(表面部材2
2)に対向配置された弾性を有するステンレス製の低圧
側副ダイアフラム40を備えた検出素子41が設けられ
ている。
【0022】これらの検出素子31,41は、Oリング
32,42を間に挟んで第一筐体11、第二筐体12の
内部に嵌合装着され、リング33,43を介して押し螺
子34,44により外側から押されて固定されている。
検出素子31,41は、同じ種類の素子であり、同一受
圧面積でかつ同一形状を有し、また、同一材料であり、
同一弾性係数を有している。
【0023】主ダイアフラム20の中央部と高圧側副ダ
イアフラム30の中央部との間、および主ダイアフラム
20の中央部と低圧側副ダイアフラム40の中央部との
間には、これらの三者の各中央部を連結する一本の中実
丸棒状のステンレス製の連結部材15が、主ダイアフラ
ム20を貫通して設けられている。
【0024】従って、主ダイアフラム20の中央部、高
圧側副ダイアフラム30の中央部、低圧側副ダイアフラ
ム40の中央部、および連結部材15は、高圧側圧力室
23内および低圧側圧力室24内の各被測定流体から受
ける力により、図中左右方向に連動して一体的に動くよ
うになっている。
【0025】主ダイアフラム20(表面部材22)の中
央部と連結部材15の中間部との結合、高圧側副ダイア
フラム30の中央部と連結部材15の一方の端部との結
合、および低圧側副ダイアフラム40の中央部と連結部
材15の他方の端部との結合は、それぞれ溶接により行
われている。
【0026】検出素子31の高圧側副ダイアフラム30
の図中左側(高圧側圧力室23とは反対側)の面には、
歪ゲージ51が張り付けられ、この歪ゲージ51には、
検出出力線52が接続されている。これらの歪ゲージ5
1および検出出力線52により、主ダイアフラム20の
変位を検出する検出手段50が構成されている。つま
り、検出手段50は、高圧側副ダイアフラム30に生じ
る歪を歪ゲージ51により検出することで、主ダイアフ
ラム20の変位を間接的に検出するようになっている。
なお、他方の検出素子41には、このような検出手段5
0は設けられておらず、検出素子41は、主ダイアフラ
ム20に両側から働く力をバランスさせるために設けら
れた、いわばダミーの素子である。
【0027】このような本実施形態においては、以下の
ようにして差圧の検出を行う。先ず、差圧検出の対象と
される各被測定流体を高圧側圧力室23および低圧側圧
力室24に導き、これらの圧力PH,PLを主ダイアフ
ラム20の両側の受圧面(大部分は、表面部材21,2
2)に作用させる。また、これと同時に、高圧側圧力室
23に導かれた被測定流体の圧力PHを高圧側副ダイア
フラム30に作用させるとともに、低圧側圧力室24に
導かれた被測定流体の圧力PLを低圧側副ダイアフラム
40に作用させる。
【0028】ここで、高圧側から主ダイアフラム20に
働く力については、主ダイアフラム20の図中左側の面
(表面部材21)に働く図中右向きの力FH(主ダイア
フラム20の受圧面積×圧力PH)と、高圧側副ダイア
フラム30の図中右側の面に働く図中左向きの力fH
(高圧側副ダイアフラム30の受圧面積×圧力PH)と
があり、主ダイアフラム20と高圧側副ダイアフラム3
0とが連結部材15により連結されているので、結局、
高圧側から主ダイアフラム20へは、FH−fH(FH
>fH)の力が図中右向きに働く。
【0029】一方、低圧側から主ダイアフラム20に働
く力については、主ダイアフラム20の図中右側の面
(表面部材22)に働く図中左向きの力FL(主ダイア
フラム20の受圧面積×圧力PL)と、低圧側副ダイア
フラム40の図中左側の面に働く図中右向きの力fL
(低圧側副ダイアフラム40の受圧面積×圧力PL)と
があり、主ダイアフラム20と低圧側副ダイアフラム4
0とが連結部材15により連結されているので、結局、
低圧側から主ダイアフラム20へは、FL−fL(FL
>fL)の力が図中左向きに働く。
【0030】従って、高圧側および低圧側の双方から主
ダイアフラム20に働く合成力は、FH−fH−(FL
−fL)となり、この合成力を受けた主ダイアフラム2
0の変位を、検出手段50により電気信号に変換し、予
めキャリブレーション等を行って用意された信号値と差
圧との関係から差圧を把握する。
【0031】以上の場合は、高圧側圧力室23内の圧力
PHが低圧側圧力室24内の圧力PLよりも高い場合で
あるが、圧力PHと圧力PLとが等しい場合(差圧が全
く無い場合)には、高圧側および低圧側の双方から主ダ
イアフラム20に働く合成力は、FH−fH−(FL−
fL)と表現されることに変わりはなく、この際、FH
=FL、fH=fLであるので、FH−fH−(FL−
fL)=0となる。また、高圧側圧力室23内の圧力P
Hが低圧側圧力室24内の圧力PLよりも低い場合に
は、主ダイアフラム20に働く合成力は、やはりFH−
fH−(FL−fL)と表現されることに変わりはな
く、この値は、負となる。
【0032】このような本実施形態によれば、次のよう
な効果がある。すなわち、差圧検出器10は、主ダイア
フラム20、高圧側副ダイアフラム30、および低圧側
副ダイアフラム40の三者の各中央部が連結部材15で
連結され、高圧側圧力室23内および低圧側圧力室24
内の被測定流体から力を受けると、これらが連動して一
体的に変位する構成となっているので、基準圧(各被測
定流体の絶対圧)が昇圧あるいは降圧しても差圧の測定
に誤差が生じることがないうえ、基準圧の変化量に対し
て差圧が小さい場合であっても高精度な検出を行うこと
ができる。
【0033】また、主ダイアフラム20、高圧側副ダイ
アフラム30、および低圧側副ダイアフラム40の三者
の各中央部を連結部材15で連結しただけの簡易な構造
であるため、小型化、低コスト化を図ることができる。
【0034】さらに、検出素子31,41は、同じ種類
の素子とされ、高圧側副ダイアフラム30および低圧側
副ダイアフラム40は、同一受圧面積でかつ同一形状と
され、また同一材料で同一弾性係数とされているので、
主ダイアフラム20に両側から働く力のバランスが必要
以上に大きく崩れることのない差圧検出器10を容易に
構成できるうえ、部品共通化により低コスト化を図るこ
とができる。そして、高圧側副ダイアフラム30と低圧
側副ダイアフラム40とが同一受圧面積とされているこ
とから、各被測定流体の差圧が全く無い場合において主
ダイアフラム20に働く合成力をゼロにすることができ
る。
【0035】さらに、検出手段50は、歪ゲージ51を
用いた構成とされているので、差圧検出器10の低コス
ト化や構造の簡略化をより一層図ることができる。
【0036】なお、本発明は前記実施形態に限定される
ものではなく、本発明の目的を達成できる範囲内での変
形等は本発明に含まれるものである。すなわち、前記実
施形態では、検出手段50は、検出素子31側に設けら
れていたが、検出手段50を他方の検出素子41側に設
け、検出素子31をダミーの素子としてもよい。また、
検出手段50は、歪ゲージ51を用いた構成とされてい
たが、本発明の検出手段は、このような構成に限定され
るものではなく、例えば、高圧側副ダイアフラム30あ
るいは低圧側副ダイアフラム40に電極を設け、静電容
量の変化を利用して主ダイアフラム20の変位を検出で
きる構成のものとしてもよい。しかし、歪ゲージ51を
用いた構成としておくことが、低コスト化や構造の簡略
化の点で好ましい。
【0037】さらに、前記実施形態では、主ダイアフラ
ム20、高圧側副ダイアフラム30、および低圧側副ダ
イアフラム40の三者の各中央部は、主ダイアフラム2
0を貫通する連結部材15により連結されていたが、本
発明の連結部材は、必ずしも主ダイアフラム20を貫通
する構成となっている必要はなく、分割式の連結部材と
してもよく、つまり主ダイアフラム20の中央部と高圧
側副ダイアフラム30の中央部との間、および主ダイア
フラム20の中央部と低圧側副ダイアフラム40の中央
部との間に、それぞれ別部材からなる連結部材を設ける
ようにしてもよく、要するに、三つのダイアフラム2
0,30,40の各中央部を一体的に変位可能なように
連結できればよい。
【0038】また、前記実施形態では、連結部材15
は、中実丸棒状とされていたが、本発明の連結部材は、
丸棒状に限定されるものではなく、例えば、角棒状等で
あってもよく、あるいは中実ではなく、中空のものであ
ってもよく、さらには図2に示すような長い棒状部材で
はなく、主ダイアフラム20と高圧側副ダイアフラム3
0との間の距離や主ダイアフラム20と低圧側副ダイア
フラム40との間の距離に応じ、扁平な部材としてもよ
い。そして、連結部材15の本数は、一本ではなく、複
数本としてもよい。
【0039】さらに、主ダイアフラム20、高圧側副ダ
イアフラム30、低圧側副ダイアフラム40、連結部材
15の各材質は、前記実施形態の記載に限定されるもの
ではなく、各ダイアフラム20,30,40は、被測定
流体からの圧力を受けて適度に撓むような弾性を有する
材質であればよく、連結部材15は、各ダイアフラム2
0,30,40の中央部を連動させて一体的に変位させ
ることができる程度の硬質なものであればよい。
【0040】
【発明の効果】以上に述べたように本発明によれば、主
ダイアフラム、高圧側副ダイアフラム、および低圧側副
ダイアフラムの三者の各中央部が連結部材で連結され、
高圧側圧力室内および低圧側圧力室内の被測定流体から
力を受けると、これらが連動して一体的に変位するよう
になっているので、基準圧(各被測定流体の絶対圧)が
昇圧あるいは降圧しても差圧の測定に誤差が生じること
がないうえ、基準圧の変化量に対して差圧が小さい場合
であっても高精度な検出を行うことができるとともに、
構造が簡易であるため小型化や低コスト化を図ることが
できるという効果がある。
【0041】また、高圧側副ダイアフラムと低圧側副ダ
イアフラムとを、同一受圧面積でかつ同一形状を有する
同一種類のものとした場合には、主ダイアフラムに両側
から働く力のバランスが必要以上に大きく崩れることの
ない差圧検出器を容易に構成できるうえ、部品共通化に
より低コスト化を図ることができるという効果がある。
【0042】さらに、検出手段を歪ゲージを用いた構成
とした場合には、低コスト化や構造の簡略化をより一層
図ることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態の差圧検出器を示す断面
図。
【図2】従来使用されていた機械式差圧計を示す断面
図。
【図3】従来使用されていた電子式差圧計を示す断面
図。
【符号の説明】
10 差圧検出器 15 連結部材 20 主ダイアフラム 23 高圧側圧力室 24 低圧側圧力室 30 高圧側副ダイアフラム 40 低圧側副ダイアフラム 50 検出手段 51 歪ゲージ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01L 13/02 101 G01L 13/06

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 両側に受圧面が形成された弾性を有する
    主ダイアフラムと、この主ダイアフラムの一方の側に配
    置された高圧側圧力室と、他方の側に配置された低圧側
    圧力室と、前記高圧側圧力室を挟んで前記主ダイアフラ
    ムに対向配置された弾性を有する高圧側副ダイアフラム
    と、前記低圧側圧力室を挟んで前記主ダイアフラムに対
    向配置された弾性を有する低圧側副ダイアフラムと、前
    記主ダイアフラムと前記高圧側副ダイアフラムとの間お
    よび前記主ダイアフラムと前記低圧側副ダイアフラムと
    の間をそれぞれの中央部で連結する連結部材と、前記主
    ダイアフラムの変位を検出する検出手段とを備えたこと
    を特徴とする差圧検出器。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載した差圧検出器におい
    て、前記高圧側副ダイアフラムと前記低圧側副ダイアフ
    ラムとは、同一受圧面積でかつ同一形状を有する同一種
    類のものとされていることを特徴とする差圧検出器。
  3. 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載した差圧
    検出器において、前記検出手段は、前記高圧側副ダイア
    フラムの前記高圧側圧力室とは反対側の面または前記低
    圧側副ダイアフラムの前記低圧側圧力室とは反対側の面
    のいずれか一方に設けられた歪ゲージを用いて検出を行
    う構成とされていることを特徴とする差圧検出器。
JP25292395A 1995-09-29 1995-09-29 差圧検出器 Expired - Fee Related JP3441265B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25292395A JP3441265B2 (ja) 1995-09-29 1995-09-29 差圧検出器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25292395A JP3441265B2 (ja) 1995-09-29 1995-09-29 差圧検出器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0996580A JPH0996580A (ja) 1997-04-08
JP3441265B2 true JP3441265B2 (ja) 2003-08-25

Family

ID=17244055

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP25292395A Expired - Fee Related JP3441265B2 (ja) 1995-09-29 1995-09-29 差圧検出器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3441265B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3075957B1 (fr) * 2017-12-21 2020-01-03 Arianegroup Sas Capteur de pression differentiel
CN114279621B (zh) * 2021-12-23 2025-03-28 宜昌兆峰自动化仪表有限责任公司 一种差压表

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0996580A (ja) 1997-04-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA1076832A (en) Differential pressure transmitter with pressure sensor protection
US5753820A (en) Fluid pressure sensing unit incorporating diaphragm deflection sensing array
US3691842A (en) Differential pressure transducer
US5386729A (en) Temperature compensated microbend fiber optic differential pressure transducer
JPH06201421A (ja) 流量計
NO782271L (no) Media-uavhengig differensialtrykktransduser
EP0593676A1 (en) Method and apparatus for measurement of forces and pressures using tensioned bellows
US4787249A (en) Differential pressure transducer
JP3441265B2 (ja) 差圧検出器
EP2635886B1 (en) Differential pressure transmitter with intrinsic verification
US3747042A (en) Pressure transducer
US2840675A (en) Transducer
FI61959C (fi) Differentialtryckmaetare
US5902932A (en) Force balancing capacitance manometer
GB2146438A (en) Differential pressure/static pressure unit
US2984109A (en) Device for the protection of pressure measuring elements
US3427884A (en) Differential pressure transducer
US3508431A (en) System for calibration of a differential pressure transducer
JPH046890B2 (ja)
US4614118A (en) Non-compliant pressure cell
WO1982003916A1 (en) Pressure transducer
RU2152013C1 (ru) Датчик разности давлений
SU459699A1 (ru) Тензорезистивный преобразователь разности давлений
US4928529A (en) Force multiplying membrane instrument
SU1763917A1 (ru) Датчик разности давлений

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20030520

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees