JP3433398B2 - Partitioning device - Google Patents
Partitioning deviceInfo
- Publication number
- JP3433398B2 JP3433398B2 JP20356794A JP20356794A JP3433398B2 JP 3433398 B2 JP3433398 B2 JP 3433398B2 JP 20356794 A JP20356794 A JP 20356794A JP 20356794 A JP20356794 A JP 20356794A JP 3433398 B2 JP3433398 B2 JP 3433398B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- partition
- partition panel
- connecting mold
- clean room
- seal member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、半導体工場、食品工
場、薬品工場などの工業用クリーンルームの間仕切りに
使用されるミニマムリーク型の間仕切り装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a minimum leak type partition device used for partitioning an industrial clean room such as a semiconductor factory, a food factory, a chemical factory.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、半導体工場などの工業用クリー
ンルームを構成する建物は、図６に示すように、鉄骨構
造の柱１、梁２およびルーフトラス３等を組立てること
により構成されている。2. Description of the Related Art Generally, a building which constitutes an industrial clean room such as a semiconductor factory is constructed by assembling columns 1, beams 2 and a roof truss 3 having a steel frame structure, as shown in FIG.
【０００３】建物の各階は、天井（ＨＥＰＡ天井）上の
ダクトスペース（圧力チャンバ）４、床（アリセス床）
下のリターンプレナムエリア５、およびこのダクトスペ
ース４とリターンプレナムエリア５間に形成される清浄
作業エリア６とに区画されている。Each floor of the building has a duct space (pressure chamber) 4 on the ceiling (HEPA ceiling) and a floor (alises floor).
It is divided into a lower return plenum area 5 and a cleaning work area 6 formed between the duct space 4 and the return plenum area 5.
【０００４】そして、空調設備（図示せず）からダクト
スペース４の天井面に取り付けたＨＥＰＡ（High Effic
iency Particulate Air ）フィルタ７を通して作業エリ
ア６に清浄空気を供給するとともに、作業エリア６に供
給された空気は格子状床面８を通してリターンプレナム
エリア５に流れ込み、再び空調設備に還流することによ
り、作業エリア６内を清浄状態に維持するようにしてい
る。A HEPA (High Effic) installed on the ceiling surface of the duct space 4 from an air conditioner (not shown)
(iency Particulate Air) Clean air is supplied to the work area 6 through the filter 7, and the air supplied to the work area 6 flows into the return plenum area 5 through the grid-like floor surface 8 and is returned to the air conditioning equipment to perform the work. The inside of the area 6 is kept clean.
【０００５】また、作業エリア６内は、間仕切り９によ
って半導体製造に供されるクリーンルーム１０およびメ
ンテナンスエリアまたはバッファゾーン１１などに区画
される。The work area 6 is divided by a partition 9 into a clean room 10 used for semiconductor manufacturing, a maintenance area, a buffer zone 11 and the like.
【０００６】ところで、作業エリア６内を間仕切り９に
より区画する場合、この間仕切り９は、格子状床面８と
ダクトスペース４の天井面１２間に配設され、天井面１
２は吊り部材などによりルーフトラス３に結合されてい
る。By the way, when partitioning the inside of the work area 6 by the partition 9, this partition 9 is arranged between the lattice-shaped floor surface 8 and the ceiling surface 12 of the duct space 4, and the ceiling surface 1
2 is connected to the roof truss 3 by a suspension member or the like.
【０００７】この場合、ルーフトラス３または梁を支え
る柱のスパンが８〜１０ｍ程度のときは、風圧あるいは
積雪によるルーフトラス３あるいは梁の撓み量は小さい
ため、間仕切り９が破損されるような問題が生じない
が、ルーフトラス３または梁を支える柱のスパンが１０
ｍ以上になると、ルーフトラス３または梁が風圧あるい
は積雪による荷重を受けたときの撓み量は±数１０mmと
大きくなり、これによる撓み荷重が間仕切り９に作用す
ると、間仕切り９が破損したりする問題があるほか、こ
の破損部分から空気がリークしてクリーンルーム内の清
浄度を低下させ、半導体製造などに悪影響を及ぼすとい
う問題があった。In this case, when the roof truss 3 or the column supporting the beam has a span of about 8 to 10 m, the amount of bending of the roof truss 3 or the beam due to wind pressure or snow is small, so that the partition 9 is damaged. There is no roof truss 3 or the span of the pillar that supports the beam is 10
When the roof truss 3 or the beam receives a load due to wind pressure or snow, the amount of bending increases to ± several tens of mm or more, and when the bending load acts on the partition 9, the partition 9 may be damaged. In addition, there is a problem that air leaks from this damaged portion to reduce the cleanliness in the clean room and adversely affect semiconductor manufacturing.
【０００８】本出願人は、先に、このような問題を解決
した間仕切り装置を開発し、実願平４−７４５６１号と
して出願した。図７は、この間仕切り装置を示すもの
で、この間仕切り装置は、エアフィルタ１３を有する天
井面と格子状床面１４とにより構成されるクリーンルー
ム１５内を他のエリアと区画する間仕切り装置におい
て、前記クリーンルーム１５内を他のエリアと区画する
間仕切りパネル１６の下端を前記格子状床面１４に気密
に固定し、前記間仕切りパネル１６の上端部を前記天井
面の外側に配設される側面パネル１７の下端に設けた連
結用型材１８内に相対摺動可能に嵌合し、前記天井面の
エアフィルタ取付枠１９と前記間仕切りパネル１６に前
記連結用型材１８と間仕切りパネル１６との嵌合部から
のエア漏れを防止するシート材２０を張設して構成され
ている。The applicant of the present invention previously developed a partitioning device which solved such a problem and applied for it as Japanese Patent Application No. 4-74561. FIG. 7 shows this partitioning device, and this partitioning device is a partitioning device for partitioning a clean room 15 constituted by a ceiling surface having an air filter 13 and a lattice floor 14 from other areas. A lower end of a partition panel 16 for partitioning the inside of the clean room 15 from other areas is airtightly fixed to the grid-like floor surface 14, and an upper end portion of the partition panel 16 is a side panel 17 disposed outside the ceiling surface. It is fitted in the connecting mold member 18 provided at the lower end so as to be relatively slidable, and the air filter mounting frame 19 on the ceiling surface and the partition panel 16 are connected to each other from the fitting portion of the connecting mold member 18 and the partition panel 16. The sheet member 20 is stretched to prevent air leakage.
【０００９】この間仕切り装置では、クリーンルーム１
５の間仕切りパネル１６の下端を格子状床面１４に固定
し、かつ間仕切りパネル１６の上端部を天井面の外側に
配設される側面パネル１７の下端に設けた連結用型材１
８に相対摺動可能に嵌合したから、クリーンルーム１５
を構築する鉄骨構造の梁あるいはルーフトラスに風圧ま
たは積雪荷重で大きな撓みが生じても、この撓みを容易
にかつ確実に吸収することができる。In this partition device, the clean room 1
5, the lower end of the partition panel 16 is fixed to the grid-like floor surface 14, and the upper end of the partition panel 16 is provided at the lower end of the side panel 17 arranged outside the ceiling surface.
Clean room 15
Even if a beam or roof truss having a steel frame structure for building a large bending occurs due to wind pressure or snow load, this bending can be easily and surely absorbed.
【００１０】また、連結用型材１８と間仕切りパネル１
６との嵌合部分はシート材２０によりシールされている
から、特別構造の間仕切りパネルが不要になり、間仕切
りの低コスト化が可能になるほか、連結用型材１８から
のエア漏も最小限にすることができる。Further, the connecting member 18 and the partition panel 1
Since the fitting portion with 6 is sealed by the sheet material 20, a partition panel having a special structure is not required, the cost of the partition can be reduced, and the air leakage from the connecting mold material 18 is minimized. can do.
【００１１】[0011]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな間仕切り装置では、連結用型材１８と間仕切りパネ
ル１６との嵌合部分を可撓性のシート材２０によりシー
ルしているため、シート材２０の設置に多大な工数が必
要なり、また、シート材２０に塵等が付着する虞れがあ
るという問題があった。However, in such a partition device, since the fitting portion between the connecting mold member 18 and the partition panel 16 is sealed by the flexible sheet member 20, the sheet member 20 is not sealed. There is a problem that a great number of man-hours are required for installation and that dust or the like may adhere to the sheet material 20.
【００１２】そして、さらに、クリーンルーム１５内に
シート材２０が露出するため、見栄えが悪いという問題
があった。本発明は、上述のような問題を解決したもの
で、風圧、積雪荷重による鉄骨構造梁あるいはルーフト
ラスの撓みを容易に吸収できるとともに、シート材を配
置することなくエアーリーク量を少なくすることができ
る間仕切り装置を提供することを目的とする。Further, since the sheet material 20 is exposed in the clean room 15, there is a problem that the appearance is not good. The present invention solves the above problems, and can easily absorb the bending of the steel structure beam or roof truss due to wind pressure and snow load, and can reduce the air leak amount without disposing a sheet material. An object is to provide a partition device.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】請求項１の間仕切り装置
は、エアフィルタを有する天井面と格子状床面とにより
構成されるクリーンルーム内を他のエリアと区画する間
仕切り装置において、前記クリーンルーム内を他のエリ
アと区画する間仕切りパネルの下端を前記格子状床面に
気密に固定し、前記間仕切りパネルの上端部を、前記天
井面の外側に配設される吊り部材の下端に設けた連結用
型材内に相対摺動可能に嵌合するとともに、前記間仕切
りパネルの上端面と前記連結用型材の上面との間にシー
ル部材を配置し、このシール部材の下面を前記間仕切り
パネルの上端面から上方に向けて突設される押圧部材に
より押圧し、前記シール部材の上面を前記連結用型材の
上面に密着し、前記押圧部材の上面を、円弧状に形成し
てなるものである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a partition device for partitioning a clean room constituted by a ceiling surface having an air filter and a lattice floor surface from another area. A connecting template in which the lower end of a partition panel that partitions from another area is airtightly fixed to the grid-like floor surface, and the upper end of the partition panel is provided at the lower end of a hanging member arranged outside the ceiling surface. A relatively slidable fitting inside, a seal member is arranged between the upper end surface of the partition panel and the upper surface of the connecting mold member, the lower surface of the seal member is upward from the upper end surface of the partition panel. and pressed by the pressing member which is projected toward, and close contact with the upper surface of the seal member on the upper surface of the connecting mold member, the upper surface of the pressing member, made of Te is formed in an arc shape <br/> That.
【００１４】請求項２の間仕切り装置は、請求項１にお
いて、前記シール部材は、粘弾性材料からなるものであ
る。 According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the seal member is made of a viscoelastic material.
It
【００１５】[0015]
【００１６】請求項３の間仕切り装置は、請求項１また
は２において、前記間仕切りパネルは、透明材料からな
るものである。The partition device according to claim 3, also claim 1
2 , the partition panel is made of a transparent material.
【００１７】[0017]
【作用】請求項１の間仕切り装置では、クリーンルーム
を構築する鉄骨構造の梁あるいはルーフトラスが風圧ま
たは積雪荷重で撓むと、間仕切りパネルと吊り部材間は
連結用型材の部分で伸縮し、梁あるいはルーフトラスの
撓みが吸収される。According to the partition device of the present invention, when the beam or roof truss of the steel frame structure for constructing the clean room is bent by wind pressure or snow load, the partition panel and the suspension member are expanded and contracted at the part of the connecting mold member, and the beam or roof truss The bending is absorbed.
【００１８】そして、この時に、間仕切りパネルの上端
面と連結用型材の上面との間の距離が変動するが、この
変動に応じて、押圧部材により上方に押圧されるシール
部材が弾性変形し、シール部材の上面が連結用型材の上
面に、また、押圧部材がシール部材に常に密着され、連
結用型材からのエア漏れが防止される。また、押圧部材
の上面が円弧状に形成されるため、押圧部材とシール部
材との接触面積が増大し、気密性が向上される。 At this time, the distance between the upper end surface of the partition panel and the upper surface of the connecting mold member fluctuates. In response to this fluctuation, the sealing member pressed upward by the pressing member elastically deforms, The upper surface of the seal member is always in contact with the upper surface of the connecting mold member, and the pressing member is always in contact with the seal member, so that air leakage from the connecting mold member is prevented. Also, the pressing member
Since the upper surface of the
The contact area with the material is increased and the airtightness is improved.
【００１９】請求項２の間仕切り装置では、シール部材
が、粘弾性材料により形成されるため、特にその粘性に
より、押圧部材とシール部材との密着状態が良好にな
る。 In the partition device according to the second aspect, since the seal member is made of a viscoelastic material, the sticking state between the pressing member and the seal member is improved due to the viscosity thereof.
It
【００２０】[0020]
【００２１】請求項３の間仕切り装置では、間仕切りパ
ネルが透明材料により形成されるため、外部からクリー
ンルーム内を目視することが可能になる。In the partition device according to the third aspect , since the partition panel is made of a transparent material, it is possible to visually check the inside of the clean room from the outside.
【００２２】[0022]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１および図２は、工業用クリーンルームの間仕
切り装置の第１の実施例を示す要部の断面図および斜視
図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 and 2 are a cross-sectional view and a perspective view of a main part of a partitioning device according to a first embodiment of an industrial clean room.
【００２３】図１および図２において、符号３１は、ク
リーンルーム３３の天井面の側方に配置される吊り部材
である。この吊り部材３１は、フィルタ取付枠３５の上
面に固定される吊り部３７と、フィルタ取付枠３５の下
面に固定される連結用型材３９とを有している。In FIG. 1 and FIG. 2, reference numeral 31 is a suspending member arranged laterally on the ceiling surface of the clean room 33. The hanging member 31 has a hanging portion 37 fixed to the upper surface of the filter mounting frame 35, and a connecting mold member 39 fixed to the lower surface of the filter mounting frame 35.
【００２４】吊り部３７は、結合金具４１により吊りロ
ッド４３の下端に結合され、吊りロッド４３の上端は、
図示しない鉄骨構造の梁またはルーフトラスに連結され
ている。The suspending portion 37 is joined to the lower end of the suspending rod 43 by a joint fitting 41, and the upper end of the suspending rod 43 is
It is connected to a steel structure beam or roof truss (not shown).
【００２５】符号４５は、クリーンルーム３３の天井面
に配置されたＨＥＰＡフィルタである。このＨＥＰＡフ
ィルタ４５を支持するフィルタ枠４７は、ガスケット４
９を介してフィルタ取付枠３５の上面に乗せられてい
る。Reference numeral 45 is a HEPA filter arranged on the ceiling surface of the clean room 33. The filter frame 47 that supports the HEPA filter 45 includes the gasket 4
It is placed on the upper surface of the filter mounting frame 35 via 9.
【００２６】符号５１は、クリーンルーム３３と清浄度
の異なる他のクリーンルーム、例えばメンテナンスエリ
アまたはバッファゾーン５３間を区画する間仕切りパネ
ルである。Reference numeral 51 is a partition panel for partitioning the clean room 33 from another clean room having a different degree of cleanliness, for example, a maintenance area or a buffer zone 53.
【００２７】この間仕切りパネル５１の下端部および上
端部には、金属製の下枠５２および上枠５５が固定され
ている。下枠５２は、格子状床面５７に、コーキング処
理したシリコンシーラント材５９を介して気密に固定さ
れている。A metal lower frame 52 and an upper frame 55 are fixed to the lower and upper ends of the partition panel 51. The lower frame 52 is airtightly fixed to the lattice floor 57 with a silicon sealant material 59 that has been subjected to a caulking process.
【００２８】しかして、この実施例では、間仕切りパネ
ル５１の上枠５５が、フィルタ取付枠３５の下面に固定
されるチャネル状の間仕切りパネル連結用型材３９に上
下方向にスライド可能に嵌合されている。In this embodiment, however, the upper frame 55 of the partition panel 51 is fitted to the channel-shaped partition panel connecting mold 39 fixed to the lower surface of the filter mounting frame 35 so as to be slidable in the vertical direction. There is.
【００２９】そして、間仕切りパネル５１の上端面と、
連結用型材３９の上面との間には、シール部材６１が配
置されている。このシール部材６１は、粘弾性材料によ
り形成されている。Then, the upper end surface of the partition panel 51,
A seal member 61 is arranged between the upper surface of the connecting mold material 39. The seal member 61 is made of a viscoelastic material.
【００３０】なお、粘弾性材料としては、ポリエチレン
系ゲル材料，粘弾性ウレタン材料，シリコン・ゲル材料
等がある。ポリエチレン系ゲル材料は、ポリスチレンと
ポリエチレンの重合体であり、例えば、引っ張り強度が
７．９kg／cm2 であり、１３００〜１５００％の伸び率
を有している。Examples of viscoelastic materials include polyethylene gel materials, viscoelastic urethane materials, and silicon gel materials. The polyethylene gel material is a polymer of polystyrene and polyethylene, and has, for example, a tensile strength of 7.9 kg / cm 2 and an elongation of 1300 to 1500%.
【００３１】粘弾性ウレタン材料は、例えば、引っ張り
強度が７．１〜９．５kg／cm2 であり、９７５〜９８４
％の伸び率を有している。シリコン・ゲル材料は、例え
ば、引っ張り強度が１０kg／cm2 であり、７５０％の伸
び率を有している。The viscoelastic urethane material has, for example, a tensile strength of 7.1 to 9.5 kg / cm 2 and a tensile strength of 975 to 984.
It has an elongation rate of%. The silicon gel material has, for example, a tensile strength of 10 kg / cm 2 and an elongation of 750%.
【００３２】シール部材６１の下面は、間仕切りパネル
５１の上端面から上方に向けて突設される押圧部材６３
により上方に向けて押圧されている。そして、シール部
材６１の上面が、連結用型材３９の上面３９ａに密着さ
れている。The lower surface of the seal member 61 is provided with a pressing member 63 projecting upward from the upper end surface of the partition panel 51.
Is pressed upward by. The upper surface of the seal member 61 is in close contact with the upper surface 39a of the connecting mold member 39.
【００３３】押圧部材６３は、図２に示すように、断面
円環状の押圧部６３ａと、この押圧部６３ａを支持する
支持部６３ｂとからなり、支持部６３ｂが、上枠５５に
固定されている。As shown in FIG. 2, the pressing member 63 comprises a pressing portion 63a having an annular cross section and a supporting portion 63b for supporting the pressing portion 63a. The supporting portion 63b is fixed to the upper frame 55. There is.
【００３４】しかして、上述した間仕切り装置では、ク
リーンルーム３３を構築する鉄骨構造の梁あるいはルー
フトラスが風圧または積雪荷重で撓むと、間仕切りパネ
ル５１と吊り部材３１間が連結用型材３９の部分で伸縮
し、梁あるいはルーフトラスの撓みが吸収されるため、
風圧、積雪荷重による鉄骨構造梁あるいはルーフトラス
の撓みを容易に吸収することができる。However, in the partition device described above, when the beam or roof truss of the steel frame structure that constructs the clean room 33 is bent by wind pressure or snow load, the partition panel 51 and the suspension member 31 expand and contract at the connecting mold member 39. , Because the bending of the beam or roof truss is absorbed,
The bending of the steel structure beam or roof truss due to wind pressure and snow load can be easily absorbed.
【００３５】また、この時に、間仕切りパネル５１の上
端面と連結用型材３９の上面３９ａとの間の距離が変動
するが、この変動に応じて、押圧部材６３により上方に
押圧されるシール部材６１が弾性変形し、シール部材６
１の上面が連結用型材３９の上面３９ａに、また、押圧
部材６３がシール部材６１に常に密着され、連結用型材
３９からのエア漏れが防止される。At this time, the distance between the upper end surface of the partition panel 51 and the upper surface 39a of the connecting mold member 39 fluctuates. In response to this fluctuation, the pressing member 63 presses the sealing member 61 upward. Elastically deforms and the seal member 6
The upper surface of 1 is always in contact with the upper surface 39a of the connecting mold material 39, and the pressing member 63 is in close contact with the sealing member 61, so that air leakage from the connecting mold material 39 is prevented.
【００３６】従って、従来のようにシート材を配置する
ことなくエアーリーク量を少なくすることができる。さ
らに、上述した間仕切り装置では、シール部材６１が、
粘弾性材料により形成されるため、特にその粘性によ
り、押圧部材６３とシール部材６１との密着状態が良好
になり、エアーリーク量をより低減することができる。Therefore, the air leak amount can be reduced without disposing a sheet material as in the conventional case. Further, in the partition device described above, the seal member 61 is
Since it is made of a viscoelastic material, the viscosity thereof improves the close contact between the pressing member 63 and the seal member 61, and the air leak amount can be further reduced.
【００３７】また、押圧部材６３の押圧部６３ａが円弧
状に形成されるため、押圧部６３ａとシール部材６１と
の接触面積が増大し、気密性がより向上される。さら
に、上述した間仕切り装置では、連結用型材３９および
間仕切りパネル５１の上枠５５が金属により形成され、
嵌合面にテフロン塗装が施されるため、連結用型材３９
と間仕切りパネル５１との摺動が円滑になり、塵等の発
生を低減することができる。Further, since the pressing portion 63a of the pressing member 63 is formed in an arc shape, the contact area between the pressing portion 63a and the seal member 61 is increased and the airtightness is further improved. Further, in the partition device described above, the upper frame 55 of the connecting mold material 39 and the partition panel 51 is formed of metal,
Since the mating surface is coated with Teflon, the connecting mold 39
The sliding between the partition panel 51 and the partition panel 51 becomes smooth, and the generation of dust and the like can be reduced.
【００３８】図３は、第２の実施例を示すもので、この
実施例では、吊り部材３１のフィルタ取付枠３５に、電
線を敷設するためのダクト６５が固定され、このダクト
６５の下面に、照明灯６７が固定されている。FIG. 3 shows a second embodiment. In this embodiment, a duct 65 for laying an electric wire is fixed to the filter mounting frame 35 of the suspension member 31, and the lower surface of the duct 65 is fixed. The illumination lamp 67 is fixed.
【００３９】そして、ダクト６５の外側面に、直角三角
形をした支持枠６９が固定され、この支持枠６９の底面
に連結用型材３９が固定されている。この実施例におい
ても、第１の実施例とほぼ同様の効果を得ることができ
るが、この実施例では、ダクト６５に照明灯６７が支持
されるため、照明灯６７を、クリーンルーム３３内の天
井に設置することが容易に可能になる。A supporting frame 69 in the shape of a right triangle is fixed to the outer surface of the duct 65, and a connecting mold member 39 is fixed to the bottom surface of the supporting frame 69. In this embodiment as well, almost the same effect as in the first embodiment can be obtained, but in this embodiment, since the illuminating lamp 67 is supported by the duct 65, the illuminating lamp 67 is installed in the ceiling of the clean room 33. Can be easily installed in.
【００４０】図４は、第３の実施例を示すもので、この
実施例では、第２の実施例における支持枠６９の底面に
連結用型材７１が固定されている。一方、この実施例で
は、間仕切りパネル７３が、例えば、ガラスからなる透
明材料により形成され、間仕切りパネル７３の上下に
は、間仕切りパネル７３の上端および下端を支持する上
枠７５および下枠７７が配置されている。FIG. 4 shows a third embodiment. In this embodiment, a connecting mold member 71 is fixed to the bottom surface of the support frame 69 in the second embodiment. On the other hand, in this embodiment, the partition panel 73 is formed of, for example, a transparent material made of glass, and an upper frame 75 and a lower frame 77 that support the upper end and the lower end of the partition panel 73 are arranged above and below the partition panel 73. Has been done.
【００４１】そして、上枠７５は、連結用型材７１内に
嵌合されている。この実施例においても、第１および第
２の実施例とほぼ同様の効果を得ることができるが、こ
の実施例では、間仕切りパネル７３が透明材料により形
成されるため、外部からクリーンルーム３３内を目視す
ることができる。The upper frame 75 is fitted in the connecting mold material 71. In this embodiment as well, almost the same effects as in the first and second embodiments can be obtained, but since the partition panel 73 is made of a transparent material in this embodiment, the inside of the clean room 33 can be visually inspected from the outside. can do.
【００４２】なお、以上述べた実施例では、押圧部材６
３の押圧部６３ａを断面円環状にした例について説明し
たが、本発明はかかる実施例に限定されるものではな
く、例えば、図５の（ａ）に示すように、先端先細り状
でも良く、また、（ｂ）に示すように先端に円弧部を形
成しただけのものでも良い。In the embodiment described above, the pressing member 6
Although an example in which the pressing portion 63a of No. 3 has an annular cross-section has been described, the present invention is not limited to this embodiment, and for example, as shown in FIG. Further, as shown in (b), it is also possible to simply form an arc portion at the tip.
【００４３】なお、本発明の間仕切り装置は、上記実施
例に示す構成のものに限らず、請求項に記載した範囲を
逸脱しない限り、種々の変形が可能である。The partitioning device of the present invention is not limited to the structure shown in the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the claims.
【００４４】[0044]
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の間仕切
り装置では、クリーンルームを構築する鉄骨構造の梁あ
るいはルーフトラスが風圧または積雪荷重で撓むと、間
仕切りパネルと吊り部材間が連結用型材の部分で伸縮
し、梁あるいはルーフトラスの撓みが吸収されるため、
風圧、積雪荷重による鉄骨構造梁あるいはルーフトラス
の撓みを容易に吸収することができる。As described above, in the partition device according to the first aspect, when the beam or roof truss of the steel frame structure for constructing the clean room is bent by wind pressure or snow load, the partition panel and the hanging member are the parts of the connecting mold member. Because it expands and contracts with, and the bending of the beam or roof truss is absorbed,
The bending of the steel structure beam or roof truss due to wind pressure and snow load can be easily absorbed.
【００４５】また、この時に、間仕切りパネルの上端面
と連結用型材の上面との間の距離が変動するが、この変
動に応じて、押圧部材により上方に押圧されるシール部
材が弾性変形し、シール部材の上面が連結用型材の上面
に、また、押圧部材がシール部材に常に密着され、連結
用型材からのエア漏れが防止されるため、シート材を配
置することなくエアーリーク量を少なくすることができ
る。そして、押圧部材の上面が円弧状に形成されるた
め、押圧部材とシール部材との接触面積が増大し、気密
性をより向上することができる。 At this time, the distance between the upper end surface of the partition panel and the upper surface of the connecting mold member fluctuates. In response to this fluctuation, the sealing member pressed upward by the pressing member elastically deforms, Since the upper surface of the seal member is always in contact with the upper surface of the connecting mold member and the pressing member is always in contact with the seal member to prevent air leakage from the connecting mold member, the amount of air leak is reduced without disposing a sheet member. be able to. The upper surface of the pressing member is formed in an arc shape.
Therefore, the contact area between the pressing member and the sealing member increases
The sex can be further improved.
【００４６】請求項２の間仕切り装置では、シール部材
が、粘弾性材料により形成されるため、特にその粘性に
より、押圧部材とシール部材との密着状態を良好にする
ことができる。In the partition device according to the second aspect, since the seal member is made of a viscoelastic material, it is possible to improve the close contact between the pressing member and the seal member due to its viscosity.
【００４７】[0047]
【００４８】[0048]
【００４９】請求項３の間仕切り装置では、間仕切りパ
ネルが透明材料により形成されるため、外部からクリー
ンルーム内を目視することができるという利点がある。In the partition device according to claim 3 , since the partition panel is made of a transparent material, there is an advantage that the inside of the clean room can be visually observed from the outside.
【図１】本発明の間仕切り装置の第１の実施例を示す要
部の断面図である。FIG. 1 is a sectional view of an essential part showing a first embodiment of a partition device of the present invention.
【図２】図１の分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of FIG.
【図３】本発明の間仕切り装置の第２の実施例を示す要
部の断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of essential parts showing a second embodiment of the partition device of the present invention.
【図４】本発明の間仕切り装置の第３の実施例を示す要
部の断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view of essential parts showing a third embodiment of the partition device of the present invention.
【図５】押圧部材の他の例を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing another example of a pressing member.
【図６】従来の間仕切り装置を示す要部の断面図であ
る。FIG. 6 is a cross-sectional view of a main part showing a conventional partition device.
【図７】工業用クリーンルームを構成する鉄骨造建物の
概略断面図である。FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of a steel-framed building that constitutes an industrial clean room.
３１ 吊り部材 ３３ クリーンルーム ３９ 連結用型材 ４５ ＨＥＰＡフィルタ ５１ 間仕切りパネル ５７ 格子状床面 ６１ シール部材 ６３ 押圧部材 31 Hanging member 33 clean room 39 Connection material 45 HEPA filter 51 Partition panel 57 Lattice floor 61 Seal member 63 Pressing member
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−225527（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−60115（ＪＰ，Ｕ) 実開 平６−40227（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−2707（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) E04H 5/02 E04B 2/74 531,541 E04B 2/82 501 Continuation of the front page (56) Reference JP-A-61-225527 (JP, A) Actually open 2-60115 (JP, U) Actually open 6-40227 (JP, U) Actually open 62-2707 (JP , U) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) E04H 5/02 E04B 2/74 531,541 E04B 2/82 501
Claims (3)
面とにより構成されるクリーンルーム内を他のエリアと
区画する間仕切り装置において、 前記クリーンルーム内を他のエリアと区画する間仕切り
パネルの下端を前記格子状床面に気密に固定し、前記間
仕切りパネルの上端部を、前記天井面の外側に配設され
る吊り部材の下端に設けた連結用型材内に相対摺動可能
に嵌合するとともに、前記間仕切りパネルの上端面と前
記連結用型材の上面との間にシール部材を配置し、この
シール部材の下面を前記間仕切りパネルの上端面から上
方に向けて突設される押圧部材により押圧し、前記シー
ル部材の上面を前記連結用型材の上面に密着し、前記押
圧部材の上面を、円弧状に形成してなることを特徴とす
る間仕切り装置。1. A partition device for partitioning a clean room constituted by a ceiling surface having an air filter and a grid-like floor surface from another area, wherein a lower end of a partition panel partitioning the clean room from another area is Airtightly fixed to the lattice floor, the upper end of the partition panel, while fitting relatively slidably into the connecting mold member provided at the lower end of the hanging member arranged outside the ceiling surface, A seal member is arranged between the upper end surface of the partition panel and the upper surface of the connecting mold member, and the lower surface of the seal member is pressed by a pressing member protruding upward from the upper end surface of the partition panel, close contact with the upper surface of the seal member on the upper surface of the connecting mold member, said press
A partitioning device , wherein the upper surface of the pressure member is formed in an arc shape .
る間仕切り装置。2. The partition device according to claim 1, wherein the seal member is made of a viscoelastic material.
装置において、 前記間仕切りパネルは、透明材料からなることを特徴と
する間仕切り装置。3. The partition device according to claim 1 or 2, wherein the partition panel is made of a transparent material .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20356794A JP3433398B2 (en) | 1994-08-29 | 1994-08-29 | Partitioning device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20356794A JP3433398B2 (en) | 1994-08-29 | 1994-08-29 | Partitioning device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0868221A JPH0868221A (en) | 1996-03-12 |
| JP3433398B2 true JP3433398B2 (en) | 2003-08-04 |
Family
ID=16476272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20356794A Expired - Fee Related JP3433398B2 (en) | 1994-08-29 | 1994-08-29 | Partitioning device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3433398B2 (en) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2655399B2 (en) * | 1995-09-26 | 1997-09-17 | ベニックス株式会社 | Partition structure for clean room |
| JP2655400B2 (en) * | 1995-09-26 | 1997-09-17 | ベニックス株式会社 | Partition structure for clean room |
| JP4822627B2 (en) * | 2001-07-31 | 2011-11-24 | コクヨ株式会社 | Ceiling structure using ceiling plate fixing frame |
| CN103993758A (en) * | 2014-06-04 | 2014-08-20 | 深圳麦克维尔空调有限公司 | Laboratory used for air cabinet test |
| CN110093995B (en) * | 2019-05-09 | 2021-02-12 | 深圳市万城建设工程有限公司 | Building steel structure of adjustable illumination volume |
| JP6802548B1 (en) * | 2020-02-10 | 2020-12-16 | Ｆｔｂ研究所株式会社 | Airflow control device, airflow control method and airflow control system |
| EP4174256A4 (en) * | 2021-09-16 | 2023-11-01 | Hitachi Global Life Solutions, Inc. | Clean room facility |
-
1994
- 1994-08-29 JP JP20356794A patent/JP3433398B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0868221A (en) | 1996-03-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3433398B2 (en) | Partitioning device | |
| JP2004211376A (en) | Vacuum heat insulating panel | |
| KR20170102333A (en) | Clean gas cabin | |
| JP2523102Y2 (en) | Partitioning device | |
| JP2504147Y2 (en) | Partition device | |
| US10612236B1 (en) | Non-walkable clean room ceiling, mounting system, and method | |
| JP3271543B2 (en) | System ceiling | |
| KR102569797B1 (en) | Lip Seal panel for air conditioning equipment and housing case manufactured using the same | |
| JPH0217627Y2 (en) | ||
| JP5723755B2 (en) | Clean room ceiling structure and construction method | |
| CN216664723U (en) | Clean workshop fire-proof warehouse board | |
| JP3872573B2 (en) | Clean room ceiling structure | |
| JP2900984B2 (en) | Downward wall panel mounting structure | |
| JPH0328117Y2 (en) | ||
| JP2505563Y2 (en) | Frame structure | |
| JPH06158729A (en) | Fixture of beam | |
| JPH11216323A (en) | Installation structure of filter unit | |
| JP2002267224A (en) | Method for constructing existing room for cleaning room, and external filter unit | |
| CN2627107Y (en) | Air-proof board combination construction for roof slab and roof slab made therewith | |
| JP2006118225A (en) | Curtain wall | |
| JP2542769B2 (en) | Architectural panel | |
| KR100772144B1 (en) | Coupling device assembly for roof structure | |
| JPS6237447A (en) | Ceiling mount structure in steel bar clean room in snow area | |
| JP2747197B2 (en) | Skylight | |
| JP3250776B2 (en) | Telescopic sealing device and its mounting method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090530 Year of fee payment: 6 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |