JP3414368B2 - 波面センサ - Google Patents
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光波の波面を計測する波
面センサーに関するもので、特に使用環境や、入射光の
条件が変化しても高精度に計測する波面センサーに関す
る。
面センサーに関するもので、特に使用環境や、入射光の
条件が変化しても高精度に計測する波面センサーに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の装置として、C.S.Gardne
r et al."Design and Performance Analysis of Adapti
ve Optical Telescopes Using Laser Guide Stars" Pro
c.IEEEvol.78 NO.11 p1721-1743(1990)、およびT.Noguc
hi et al."Active Optics Experiments 1" Publ. Natl.
Astr. Obs. Japan vol.1 P49-55 (1989)に示されたも
のがある。図１１は上記文献に示されたものを組合わせ
たものである。図において、１は望遠鏡の主鏡、２は副
鏡、３は主鏡コントローラ、４は参照光源用ランプ、５
はランプ光集光レンズ、６はピンホール、２９は参照光
源、７はビームスプリッタ、８はコリメータレンズ、９
はレンズアレー、１０はＣＣＤ、１１はシャックハルト
マン方式の波面センサの光学系、２５は波面センサの光
学系１１の視野絞り、１２は被計測光コリメータレン
ズ、１３はデフォーマブルミラー、１４はビームスプリ
ッタ、１５は参照波面発生器、１６は対物レンズ、１７
は接眼レンズ、２８は１６、１７、２６から成るアフォ
ーカル光学系、１８はレンズアレー、１９はＣＣＤ、２
０はシャックハルトマン方式の波面センサの光学系、２
６は波面センサの光学系２０の視野絞り、２１は波面演
算器、２２はデフォーマブルミラーコントローラ、２３
は観測装置用集光レンズ、２４は観測装置の像面、５
０，５１は波面センサである。
r et al."Design and Performance Analysis of Adapti
ve Optical Telescopes Using Laser Guide Stars" Pro
c.IEEEvol.78 NO.11 p1721-1743(1990)、およびT.Noguc
hi et al."Active Optics Experiments 1" Publ. Natl.
Astr. Obs. Japan vol.1 P49-55 (1989)に示されたも
のがある。図１１は上記文献に示されたものを組合わせ
たものである。図において、１は望遠鏡の主鏡、２は副
鏡、３は主鏡コントローラ、４は参照光源用ランプ、５
はランプ光集光レンズ、６はピンホール、２９は参照光
源、７はビームスプリッタ、８はコリメータレンズ、９
はレンズアレー、１０はＣＣＤ、１１はシャックハルト
マン方式の波面センサの光学系、２５は波面センサの光
学系１１の視野絞り、１２は被計測光コリメータレン
ズ、１３はデフォーマブルミラー、１４はビームスプリ
ッタ、１５は参照波面発生器、１６は対物レンズ、１７
は接眼レンズ、２８は１６、１７、２６から成るアフォ
ーカル光学系、１８はレンズアレー、１９はＣＣＤ、２
０はシャックハルトマン方式の波面センサの光学系、２
６は波面センサの光学系２０の視野絞り、２１は波面演
算器、２２はデフォーマブルミラーコントローラ、２３
は観測装置用集光レンズ、２４は観測装置の像面、５
０，５１は波面センサである。
【０００３】先ず、上記装置の概要について説明する。
星からの光は主鏡１および副鏡２で集光され、視野絞り
２５、ビームスプリッタ７を通過した後コリメータレン
ズ１２で平行光にされる。その後、デフォーマブルミラ
ー１３、ビームスプリッタ１４を介して集光レンズ２３
により観測装置の像面２４に集光され観測される。上記
の主鏡１は数ｍにも及ぶ大型望遠鏡であり、自重による
主鏡形状の変形が生じやすい。この対策として主鏡１に
能動支持機構を設け、最適形状に補正を行っている。星
の光は時間的に平均すれば平面波と考えられるため、ビ
ームスプリッタ７を反射した光を波面センサの光学系１
１で計測し、その出力を基に波面演算器２１で波面形状
を算出することにより主鏡１の形状がわかる。主鏡コン
トローラ３は波面演算器２１の出力を基に能動支持機構
を駆動し、主鏡１の形状を補正する。
星からの光は主鏡１および副鏡２で集光され、視野絞り
２５、ビームスプリッタ７を通過した後コリメータレン
ズ１２で平行光にされる。その後、デフォーマブルミラ
ー１３、ビームスプリッタ１４を介して集光レンズ２３
により観測装置の像面２４に集光され観測される。上記
の主鏡１は数ｍにも及ぶ大型望遠鏡であり、自重による
主鏡形状の変形が生じやすい。この対策として主鏡１に
能動支持機構を設け、最適形状に補正を行っている。星
の光は時間的に平均すれば平面波と考えられるため、ビ
ームスプリッタ７を反射した光を波面センサの光学系１
１で計測し、その出力を基に波面演算器２１で波面形状
を算出することにより主鏡１の形状がわかる。主鏡コン
トローラ３は波面演算器２１の出力を基に能動支持機構
を駆動し、主鏡１の形状を補正する。
【０００４】また、短かい時間間隔を考えた場合、大気
には屈折率の空間的、時間的な変動がある。その結果、
星からの光は平面波からの乱れがあり、理想的な結像状
態が得られる望遠鏡であっても星の像が移動したり、ぼ
けを生じる。デフォーマブルミラー１３は主鏡１で補正
できない上記のような短い時間周期で生じる星像の移
動、ぼけを補正するものである。星からの光の波面揺ら
ぎを波面センサの光学系２０により求め、計測結果を基
にデフォーマブルミラーコントローラ２２はデフォーマ
ブルミラー１３の制御を行い波面を補正する。
には屈折率の空間的、時間的な変動がある。その結果、
星からの光は平面波からの乱れがあり、理想的な結像状
態が得られる望遠鏡であっても星の像が移動したり、ぼ
けを生じる。デフォーマブルミラー１３は主鏡１で補正
できない上記のような短い時間周期で生じる星像の移
動、ぼけを補正するものである。星からの光の波面揺ら
ぎを波面センサの光学系２０により求め、計測結果を基
にデフォーマブルミラーコントローラ２２はデフォーマ
ブルミラー１３の制御を行い波面を補正する。
【０００５】次に、波面センサ５０，５１の構成につい
て説明を行う。波面センサ５０，５１の光学系１１，２
０の基本部分はレンズアレー９，１８およびＣＣＤ１
０，１９からなる。本方式の波面センサはレンズアレー
９，１８の位置での被計測光の波面を計測するものであ
る。波面は伝搬により変化するため、波面センサの光学
系１１ではコリメータレンズ８により主鏡１での波面を
レンズアレー９上に投影させている。波面センサ５１の
アフォーカル光学系２８はマイクロレンズアレー１８の
寸法で決まる測定範囲と被測定波面の径の整合性を取っ
ている。
て説明を行う。波面センサ５０，５１の光学系１１，２
０の基本部分はレンズアレー９，１８およびＣＣＤ１
０，１９からなる。本方式の波面センサはレンズアレー
９，１８の位置での被計測光の波面を計測するものであ
る。波面は伝搬により変化するため、波面センサの光学
系１１ではコリメータレンズ８により主鏡１での波面を
レンズアレー９上に投影させている。波面センサ５１の
アフォーカル光学系２８はマイクロレンズアレー１８の
寸法で決まる測定範囲と被測定波面の径の整合性を取っ
ている。
【０００６】次に波面センサ５０，５１の測定原理を説
明する。波面演算器２１はＣＣＤ１０，１９上の集光ス
ポットの移動からレンズアレー９，１８の各レンズ（レ
ンズレット）に入射する波面の傾きを計測し、各レンズ
レットで計測された波面の傾きΔＷi を加え合わせて波
面を求める。集光スポットの移動量Δｒはレンズレット
に入射する波面の傾き角θとレンズアレーの焦点距離ｆ
m から次式で求められる。 Δｒ＝ｆm ・ｔａｎθ （１） いま、ｉ番目のレンズレットで計測される波面の傾きΔ
Ｗi は、レンズレット口径をＤm とすると、次式で求め
られる。 ΔＷi ＝Ｄm ・ｔａｎθi ＝Ｄm ・Δｒi ／ｆm （２） また、計測波面Ｗは、次式で表される。 Ｗ＝ΣΔＷi （３）
明する。波面演算器２１はＣＣＤ１０，１９上の集光ス
ポットの移動からレンズアレー９，１８の各レンズ（レ
ンズレット）に入射する波面の傾きを計測し、各レンズ
レットで計測された波面の傾きΔＷi を加え合わせて波
面を求める。集光スポットの移動量Δｒはレンズレット
に入射する波面の傾き角θとレンズアレーの焦点距離ｆ
m から次式で求められる。 Δｒ＝ｆm ・ｔａｎθ （１） いま、ｉ番目のレンズレットで計測される波面の傾きΔ
Ｗi は、レンズレット口径をＤm とすると、次式で求め
られる。 ΔＷi ＝Ｄm ・ｔａｎθi ＝Ｄm ・Δｒi ／ｆm （２） また、計測波面Ｗは、次式で表される。 Ｗ＝ΣΔＷi （３）
【０００７】波面計測はスポットの基準位置からの変位
を基に行うため、基準スポット位置が必要となる。参照
光源による集光スポットを基準スポット位置として用い
る。予め参照光源の出射波面を計測しておくことにより
基準のスポット位置が示す基準波面がわかる。被計測光
が入射したときのスポット位置の変位から、波面の変化
分を求め、上記基準波面に変化分を加えることにより計
測光の波面を求める。
を基に行うため、基準スポット位置が必要となる。参照
光源による集光スポットを基準スポット位置として用い
る。予め参照光源の出射波面を計測しておくことにより
基準のスポット位置が示す基準波面がわかる。被計測光
が入射したときのスポット位置の変位から、波面の変化
分を求め、上記基準波面に変化分を加えることにより計
測光の波面を求める。
【０００８】参照光源１５，２９は波面センサに合った
出射光波面でなければならない。この波面センサ５０は
鏡面形状の光波を計測するため入射光が球面波である必
要がある。参照光源２９は波面センサ１１の基準スポッ
ト位置を求めるものである。ランプ４から出た光はレン
ズ５でピンホール６に集光され、ピンホール６での回折
により歪みのない球面波が得られる。またアフォーカル
光学系２８を有する波面センサ５１には、コリメートし
た参照光を出射する参照波面発生器１５を設けている。
出射光波面でなければならない。この波面センサ５０は
鏡面形状の光波を計測するため入射光が球面波である必
要がある。参照光源２９は波面センサ１１の基準スポッ
ト位置を求めるものである。ランプ４から出た光はレン
ズ５でピンホール６に集光され、ピンホール６での回折
により歪みのない球面波が得られる。またアフォーカル
光学系２８を有する波面センサ５１には、コリメートし
た参照光を出射する参照波面発生器１５を設けている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】従来の波面センサは、
以上のように構成されていて、レンズアレー９，１８の
焦点位置にＣＣＤ１０，１９を設置すると仮定している
ため、式（２）では焦点距離ｆm を用いている。しか
し、図１２に示すように波面の傾きを算出するために必
要な値はレンズアレー９，１８のレンズレット３１とＣ
ＣＤ１０，１９の間隔ｌm である。レンズアレー９，１
８からＣＣＤ１０，１９までの距離は製造公差により焦
点距離と異なるにもかかわらず、従来例では波面の傾き
の算出に焦点距離を用いていたため、波面計測誤差を生
じるという課題があった。
以上のように構成されていて、レンズアレー９，１８の
焦点位置にＣＣＤ１０，１９を設置すると仮定している
ため、式（２）では焦点距離ｆm を用いている。しか
し、図１２に示すように波面の傾きを算出するために必
要な値はレンズアレー９，１８のレンズレット３１とＣ
ＣＤ１０，１９の間隔ｌm である。レンズアレー９，１
８からＣＣＤ１０，１９までの距離は製造公差により焦
点距離と異なるにもかかわらず、従来例では波面の傾き
の算出に焦点距離を用いていたため、波面計測誤差を生
じるという課題があった。
【００１０】また、波面センサ５１の参照波面発生器１
５では安定した波面を形成するため環境条件の変化に対
して安定な光学系を構成する必要があり構成が複雑にな
るという課題があった。
５では安定した波面を形成するため環境条件の変化に対
して安定な光学系を構成する必要があり構成が複雑にな
るという課題があった。
【００１１】また、波面センサでは被計測光以外の光
（以下、迷光と呼ぶ）が入射した場合、誤動作する可能
性がある。図１３は波面センサ５１の光学系２０に迷光
３２が入射すると、波面センサ５１が誤動作することを
説明するための図である。図に示すように、被計測光と
ともに迷光３２が入射した場合、レンズアレー１８によ
り被計測光の集光スポットに加えて、迷光３２による集
光スポットが生じる。迷光３２によるスポットを基に波
面計測を行った場合、誤動作することはあきらかであ
る。従来の装置では、対策として固定開口の視野絞り２
６を設けることにより迷光を防いでいる。しかし、計測
光の波面が乱れている場合、視野絞り２６位置での光束
径が太くなるため、計測光を遮らない程度に視野絞り２
６の開口径を大きくする必要がある。その結果、迷光３
２を十分遮ることができず、誤動作や計測誤差を発生さ
せるという課題があった。
（以下、迷光と呼ぶ）が入射した場合、誤動作する可能
性がある。図１３は波面センサ５１の光学系２０に迷光
３２が入射すると、波面センサ５１が誤動作することを
説明するための図である。図に示すように、被計測光と
ともに迷光３２が入射した場合、レンズアレー１８によ
り被計測光の集光スポットに加えて、迷光３２による集
光スポットが生じる。迷光３２によるスポットを基に波
面計測を行った場合、誤動作することはあきらかであ
る。従来の装置では、対策として固定開口の視野絞り２
６を設けることにより迷光を防いでいる。しかし、計測
光の波面が乱れている場合、視野絞り２６位置での光束
径が太くなるため、計測光を遮らない程度に視野絞り２
６の開口径を大きくする必要がある。その結果、迷光３
２を十分遮ることができず、誤動作や計測誤差を発生さ
せるという課題があった。
【００１２】また、波面センサ５１では測定波面をレン
ズアレーにより空間的に分割して測定しているため、計
測光のＦ値が大きくなると、図１４の斜線部分に示すよ
うに波面の空間的な分解能が低下するという課題があっ
た。解決策の一つとしてＦ値が大きい場合にも十分な空
間分解能が得られるようにレンズアレー数を多くする方
法が考えられる。しかし、レンズアレー数を多くすれば
空間的な分解能は向上するが、一方、レンズアレー１個
当りの入射光量が減少するためＳ／Ｎが低下し、また、
レンズアレー数の増加により全スポット位置の計測に要
する時間が増加するという問題がある。以上のことか
ら、レンズアレー数にはシステムに最適な値が存在す
る。よって、入射光の変化によらず同等の性能を維持す
るには、計測光のＦ値に合ったコリメータレンズ８に交
換するか、Ｆ値ごとにそれぞれ波面センサを備える必要
があった。
ズアレーにより空間的に分割して測定しているため、計
測光のＦ値が大きくなると、図１４の斜線部分に示すよ
うに波面の空間的な分解能が低下するという課題があっ
た。解決策の一つとしてＦ値が大きい場合にも十分な空
間分解能が得られるようにレンズアレー数を多くする方
法が考えられる。しかし、レンズアレー数を多くすれば
空間的な分解能は向上するが、一方、レンズアレー１個
当りの入射光量が減少するためＳ／Ｎが低下し、また、
レンズアレー数の増加により全スポット位置の計測に要
する時間が増加するという問題がある。以上のことか
ら、レンズアレー数にはシステムに最適な値が存在す
る。よって、入射光の変化によらず同等の性能を維持す
るには、計測光のＦ値に合ったコリメータレンズ８に交
換するか、Ｆ値ごとにそれぞれ波面センサを備える必要
があった。
【００１３】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたもので、入射光の条件が変化しても高精度
に波面を計測する装置を得ることを目的とする。
めになされたもので、入射光の条件が変化しても高精度
に波面を計測する装置を得ることを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に係わる発明の波面センサは、レンズア
レーと、このレンズアレーに被計測光を投影させるレン
ズと、この投影された被計測光による前記レンズアレー
の集光スポット位置を検出する光電変換器と、を有する
光学系を具備し、参照光源からの光を前記レンズに光を
入射したときの前記レンズアレーの集光スポット位置と
前記被計測光が前記レンズに入射したときの前記レンズ
アレーの集光スポット位置との変位に基づいて、前記被
計測光の波面を計測する波面センサにおいて、前記参照
光源からの光に対して前記光学系の設置角度を変化させ
る角度コントローラと、該角度コントローラに基づく前
記光学系の設置角度の変化前後に得られた前記光電変換
器の出力を基に前記レンズアレーと前記光電変換器との
間の距離を求める校正値演算器と、を設けたものであ
る。
めに、請求項１に係わる発明の波面センサは、レンズア
レーと、このレンズアレーに被計測光を投影させるレン
ズと、この投影された被計測光による前記レンズアレー
の集光スポット位置を検出する光電変換器と、を有する
光学系を具備し、参照光源からの光を前記レンズに光を
入射したときの前記レンズアレーの集光スポット位置と
前記被計測光が前記レンズに入射したときの前記レンズ
アレーの集光スポット位置との変位に基づいて、前記被
計測光の波面を計測する波面センサにおいて、前記参照
光源からの光に対して前記光学系の設置角度を変化させ
る角度コントローラと、該角度コントローラに基づく前
記光学系の設置角度の変化前後に得られた前記光電変換
器の出力を基に前記レンズアレーと前記光電変換器との
間の距離を求める校正値演算器と、を設けたものであ
る。
【００１５】また、請求項２に係わる発明の波面センサ
は、レンズアレー、該レンズアレーに被計測光を投影さ
せるレンズ、及びこの投影された被計測光による前記レ
ンズアレーの集光スポット位置を検出する光電変換器、
を有する光学系と、前記レンズアレーと前記光電変換器
との間に前記被計測光の光軸に対して傾斜して設置され
る第一のハーフミラーと、前記レンズの被計測光入射側
に前記レンズに正対して設置される第二のハーフミラー
と、前記第一のハーフミラーと前記第二のハーフミラー
とによる前記光電変換器の鏡像位置に前記レンズアレー
を構成するレンズの数と同数の光源を有するアレー状光
源と、を設けたものである。
は、レンズアレー、該レンズアレーに被計測光を投影さ
せるレンズ、及びこの投影された被計測光による前記レ
ンズアレーの集光スポット位置を検出する光電変換器、
を有する光学系と、前記レンズアレーと前記光電変換器
との間に前記被計測光の光軸に対して傾斜して設置され
る第一のハーフミラーと、前記レンズの被計測光入射側
に前記レンズに正対して設置される第二のハーフミラー
と、前記第一のハーフミラーと前記第二のハーフミラー
とによる前記光電変換器の鏡像位置に前記レンズアレー
を構成するレンズの数と同数の光源を有するアレー状光
源と、を設けたものである。
【００１６】また、請求項３に係わる発明の波面センサ
は、前記光電変換器は、前記アレー状光源からの出射光
により前記レンズアレーの集光スポット位置の配列の乱
れを求め、該乱れを基に誤差波面を算出する誤差波面演
算器と、前記光電変換器の出力を基に求めた前記被計測
光の波面から前記誤差波面を差し引く波面演算器と、を
設けたものである。
は、前記光電変換器は、前記アレー状光源からの出射光
により前記レンズアレーの集光スポット位置の配列の乱
れを求め、該乱れを基に誤差波面を算出する誤差波面演
算器と、前記光電変換器の出力を基に求めた前記被計測
光の波面から前記誤差波面を差し引く波面演算器と、を
設けたものである。
【００１７】また、請求項４に係わる発明の波面センサ
は、前記第二のハーフミラーの代わりに偏向板を設け、
該偏向板の偏光方向と前記被計測光の偏光方向とを一致
させたものである。
は、前記第二のハーフミラーの代わりに偏向板を設け、
該偏向板の偏光方向と前記被計測光の偏光方向とを一致
させたものである。
【００１８】また、請求項５に係わる発明の波面センサ
は、前記第二のハーフミラーの代わりに、前記被計測光
の波長域では光を透過して前記アレー状光源の出射光の
波長域では光を反射するミラーを設けたものである。
は、前記第二のハーフミラーの代わりに、前記被計測光
の波長域では光を透過して前記アレー状光源の出射光の
波長域では光を反射するミラーを設けたものである。
【００１９】
【作用】上記のように構成された請求項１に係わる発明
の波面センサでは、校正時に、参照光源からの入射光に
対する光学系の設置角度を変化させ、前記光学系の角度
変化前後に得られた光電変換器の出力を基に、光学系の
レンズアレーと光電変換器間の距離の校正値を実装状態
で求めることにより、波面計測精度を上げることができ
る。
の波面センサでは、校正時に、参照光源からの入射光に
対する光学系の設置角度を変化させ、前記光学系の角度
変化前後に得られた光電変換器の出力を基に、光学系の
レンズアレーと光電変換器間の距離の校正値を実装状態
で求めることにより、波面計測精度を上げることができ
る。
【００２０】また、上記のように構成された請求項２に
係わる発明の波面センサでは、光電変換器の直前に光軸
から傾斜させた第一のハーフミラーを設置するととも
に、前記波面センサの被計測光入射側に第二のハーフミ
ラーを正対させて設置し、前記第一のハーフミラーと第
二のハーフミラーとで生じる前記光電変換器の鏡像位置
に備えたレンズアレー数と同数の光源を有するアレー状
光源を設けたことにより、構成が簡易で、正確な配列の
参照波面発生器が得られ、また、アレー状光源の設置位
置が光軸方向に移動した場合、前記光電変換器との共役
関係が崩れスポットのぼけが生ずるが、図示していない
波面演算器においてスポットの重心をスポットの計測位
置とすることにより、波面センサの温度変化等に対して
安定度を上げることができる。
係わる発明の波面センサでは、光電変換器の直前に光軸
から傾斜させた第一のハーフミラーを設置するととも
に、前記波面センサの被計測光入射側に第二のハーフミ
ラーを正対させて設置し、前記第一のハーフミラーと第
二のハーフミラーとで生じる前記光電変換器の鏡像位置
に備えたレンズアレー数と同数の光源を有するアレー状
光源を設けたことにより、構成が簡易で、正確な配列の
参照波面発生器が得られ、また、アレー状光源の設置位
置が光軸方向に移動した場合、前記光電変換器との共役
関係が崩れスポットのぼけが生ずるが、図示していない
波面演算器においてスポットの重心をスポットの計測位
置とすることにより、波面センサの温度変化等に対して
安定度を上げることができる。
【００２１】また、上記のように構成された請求項３に
係わる発明の波面センサでは、アレー状光源からの出射
光を用いて前記レンズアレーの集光スポット位置の配列
の乱れを求め、これから誤差波面を算出し、前記光電変
換器の出力を基に求めた前記被計測光の波面から前記誤
差波面を差し引くので、構成が簡易で、正確な配列の参
照波面発生器が得られる。
係わる発明の波面センサでは、アレー状光源からの出射
光を用いて前記レンズアレーの集光スポット位置の配列
の乱れを求め、これから誤差波面を算出し、前記光電変
換器の出力を基に求めた前記被計測光の波面から前記誤
差波面を差し引くので、構成が簡易で、正確な配列の参
照波面発生器が得られる。
【００２２】また、上記のように構成された請求項４に
係わる発明の波面センサでは、前記光電変換器の直前に
光軸から傾斜させたハーフミラーを設置するとともに、
前記波面センサの被計測光入射側に偏光板を正対させて
設置し、前記ハーフミラーと偏光板とで生じる前記光電
変換器の鏡像位置に備えたレンズアレー数と同数の光源
を有するアレー状光源を設けたことにより、構成が簡易
で、正確な配列の参照波面発生器が得られ、また、アレ
ー状光源の設置位置が光軸方向に移動した場合、前記光
電変換器との共役関係が崩れスポットのぼけが生ずる
が、図示していない波面演算器においてスポットの重心
をスポットの計測位置とすることにより、波面センサの
温度変化等に対して安定度を上げることができる。
係わる発明の波面センサでは、前記光電変換器の直前に
光軸から傾斜させたハーフミラーを設置するとともに、
前記波面センサの被計測光入射側に偏光板を正対させて
設置し、前記ハーフミラーと偏光板とで生じる前記光電
変換器の鏡像位置に備えたレンズアレー数と同数の光源
を有するアレー状光源を設けたことにより、構成が簡易
で、正確な配列の参照波面発生器が得られ、また、アレ
ー状光源の設置位置が光軸方向に移動した場合、前記光
電変換器との共役関係が崩れスポットのぼけが生ずる
が、図示していない波面演算器においてスポットの重心
をスポットの計測位置とすることにより、波面センサの
温度変化等に対して安定度を上げることができる。
【００２３】また、上記のように構成された請求項５に
係わる発明の波面センサでは、前記光電変換器の直前に
光軸から傾斜させたハーフミラーを設置するとともに、
前記波面センサの被計測光入射側に被計測光の波長域で
は光を透過し前記アレー状光源の出射光の波長域では光
を反射するミラーを正対させて設置し、この正対配置し
たミラーと前記ハーフミラーとで生じる前記光電変換器
の鏡像位置に備えたレンズアレー数と同数の光源を有す
るアレー状光源を設けたことにより、構成が簡易で、正
確な配列の参照波面発生器が得られ、また、アレー状光
源の設置位置が光軸方向に移動した場合、前記光電変換
器との共役関係が崩れスポットのぼけが生ずるが、図示
していない波面演算器においてスポットの重心をスポッ
トの計測位置とすることにより、波面センサの温度変化
等に対して安定度を上げることができる。
係わる発明の波面センサでは、前記光電変換器の直前に
光軸から傾斜させたハーフミラーを設置するとともに、
前記波面センサの被計測光入射側に被計測光の波長域で
は光を透過し前記アレー状光源の出射光の波長域では光
を反射するミラーを正対させて設置し、この正対配置し
たミラーと前記ハーフミラーとで生じる前記光電変換器
の鏡像位置に備えたレンズアレー数と同数の光源を有す
るアレー状光源を設けたことにより、構成が簡易で、正
確な配列の参照波面発生器が得られ、また、アレー状光
源の設置位置が光軸方向に移動した場合、前記光電変換
器との共役関係が崩れスポットのぼけが生ずるが、図示
していない波面演算器においてスポットの重心をスポッ
トの計測位置とすることにより、波面センサの温度変化
等に対して安定度を上げることができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】参考例１．
図１は本発明の参考例１を示す構成図である。図１にお
いて図１１と同一符号は同一または相当部分を示す。図
１において、１は望遠鏡の主鏡、２は望遠鏡の副鏡、８
はコリメータレンズ、９はレンズアレー、１０はＣＣ
Ｄ、１１は波面センサの光学系、１００は波面センサ、
１０１は温度センサ、１０２は誤差波面演算器、１０３
は波面演算器である。
いて図１１と同一符号は同一または相当部分を示す。図
１において、１は望遠鏡の主鏡、２は望遠鏡の副鏡、８
はコリメータレンズ、９はレンズアレー、１０はＣＣ
Ｄ、１１は波面センサの光学系、１００は波面センサ、
１０１は温度センサ、１０２は誤差波面演算器、１０３
は波面演算器である。
【００２５】従来例で説明したように、温度変化により
光学材料の屈折率変化、形状変化、鏡筒の熱膨脹による
レンズ間隔の変化等で生じる収差により波面計測誤差が
生じる。本参考例は、温度センサ１０１、誤差波面演算
器１０２を設けて、使用温度において発生する収差を誤
差波面として求め、波面演算器１０３でＣＣＤ１０の出
力から求めた計測波面から前記誤差波面を差し引くこと
で温度補償を行うものである。
光学材料の屈折率変化、形状変化、鏡筒の熱膨脹による
レンズ間隔の変化等で生じる収差により波面計測誤差が
生じる。本参考例は、温度センサ１０１、誤差波面演算
器１０２を設けて、使用温度において発生する収差を誤
差波面として求め、波面演算器１０３でＣＣＤ１０の出
力から求めた計測波面から前記誤差波面を差し引くこと
で温度補償を行うものである。
【００２６】以下、誤差波面演算器１０２の詳細につい
て説明する。誤差波面演算器１０２は、温度センサ１０
１の出力を基に温度変化によってコリメータレンズ８で
生じるフォーカス位置の変化を所定の式から算出し、こ
れを波面に変換する。さらに、誤差波面演算器１０２は
レンズアレー９とＣＣＤ１０の線膨脹率の違いによるス
ポット位置の変位で生じる波面を算出する。誤差波面演
算器１０２は上記の２波面を加え合わせたものを誤差波
面として波面演算器１０３に出力する。
て説明する。誤差波面演算器１０２は、温度センサ１０
１の出力を基に温度変化によってコリメータレンズ８で
生じるフォーカス位置の変化を所定の式から算出し、こ
れを波面に変換する。さらに、誤差波面演算器１０２は
レンズアレー９とＣＣＤ１０の線膨脹率の違いによるス
ポット位置の変位で生じる波面を算出する。誤差波面演
算器１０２は上記の２波面を加え合わせたものを誤差波
面として波面演算器１０３に出力する。
【００２７】誤差波面演算器１０２が行う演算内容を、
温度変化によるコリメータレンズ８のフォーカス位置の
変化を算出する方法、上記フォーカス位置の変化から誤
差波面を求める方法、およびレンズアレー９とＣＣＤ１
０の線膨脹率の違いによる誤差波面を求める方法に分け
て以下、順に説明する。
温度変化によるコリメータレンズ８のフォーカス位置の
変化を算出する方法、上記フォーカス位置の変化から誤
差波面を求める方法、およびレンズアレー９とＣＣＤ１
０の線膨脹率の違いによる誤差波面を求める方法に分け
て以下、順に説明する。
【００２８】コリメータレンズ８のフォーカス位置の変
化は、温度変化によるコリメータレンズの屈折率変化で
生じるパワーの変化、および鏡筒の伸縮によって生じ
る。コリメータレンズ８のバックフォーカスをｆb 、鏡
筒の線膨脹係数をαとすると、温度Ｔの変化に対するフ
ォーカス位置の変化は式（１０１）のように表わせる。 ここで、β＝（１／φ）・ｄφ／ｄＴ ：熱分散率
化は、温度変化によるコリメータレンズの屈折率変化で
生じるパワーの変化、および鏡筒の伸縮によって生じ
る。コリメータレンズ８のバックフォーカスをｆb 、鏡
筒の線膨脹係数をαとすると、温度Ｔの変化に対するフ
ォーカス位置の変化は式（１０１）のように表わせる。 ここで、β＝（１／φ）・ｄφ／ｄＴ ：熱分散率
【００２９】よって、温度変化が分かった場合のフォー
カス位置変化は次式により求められる。
カス位置変化は次式により求められる。
【００３０】また、フォーカス位置変化Δｘと誤差波面
ΔＷT は以下のように関係づけられる。 ΔＷT ＝Δｘ／８λＦ2 （１０３） ここで、λは波長、ＦはレンズのＦ値である。
ΔＷT は以下のように関係づけられる。 ΔＷT ＝Δｘ／８λＦ2 （１０３） ここで、λは波長、ＦはレンズのＦ値である。
【００３１】よって、式（１０３）と温度変化によるコ
リメータレンズのフォーカス位置変化の式（１０２）か
ら誤差波面は次式により算出することができる。
リメータレンズのフォーカス位置変化の式（１０２）か
ら誤差波面は次式により算出することができる。
【００３２】次いで、レンズアレーとＣＣＤの線膨脹率
の違いで生じる誤差波面について説明する。レンズアレ
ー基板材料の線膨脹率をαm ，ＣＣＤの線膨脹率をαc
光軸からの距離をｒとする。温度変化による形状変化で
生じるスポット移動量Δｒは次式で表される。
の違いで生じる誤差波面について説明する。レンズアレ
ー基板材料の線膨脹率をαm ，ＣＣＤの線膨脹率をαc
光軸からの距離をｒとする。温度変化による形状変化で
生じるスポット移動量Δｒは次式で表される。
【００３３】スポット移動量Δｒと誤差波面の関係は以
下のように関係づけられる。 ここで、ｎはレンズアレー数、ｆm はレンズアレーの焦
点距離，Ｄm はレンズレットの開口径である。
下のように関係づけられる。 ここで、ｎはレンズアレー数、ｆm はレンズアレーの焦
点距離，Ｄm はレンズレットの開口径である。
【００３４】以上から温度変化に対する誤差波面の変化
の関係は以下の式で表される。
の関係は以下の式で表される。
【００３５】よって、温度変化ΔＴが生じたときの誤差
波面は式（１０８）で算出することができる。
波面は式（１０８）で算出することができる。
【００３６】以上に説明した式（１０４）および式（１
０８）により誤差波面演算器１０２では誤差波面ΔＷ
T ，ΔＷM を求め、波面演算器１０３で式（１０９）の
ように温度変化の影響を受けた計測波面Ｗから誤差波面
を差し引くことにより、正しい波面ＷI を求めることが
できる。
０８）により誤差波面演算器１０２では誤差波面ΔＷ
T ，ΔＷM を求め、波面演算器１０３で式（１０９）の
ように温度変化の影響を受けた計測波面Ｗから誤差波面
を差し引くことにより、正しい波面ＷI を求めることが
できる。
【００３７】参考例２．
図２は本発明の参考例２を示す構成図である。図２にお
いて図１１と同一符号は同一または相当部分を示す。図
２において、１は望遠鏡の主鏡、２は望遠鏡の副鏡、８
はコリメータレンズ、９はレンズアレー、１０はＣＣ
Ｄ、１１は波面センサの光学系、２００は波面センサ、
２０１は気圧センサ、２０２は誤差波面演算器、２０３
は波面演算器である。
いて図１１と同一符号は同一または相当部分を示す。図
２において、１は望遠鏡の主鏡、２は望遠鏡の副鏡、８
はコリメータレンズ、９はレンズアレー、１０はＣＣ
Ｄ、１１は波面センサの光学系、２００は波面センサ、
２０１は気圧センサ、２０２は誤差波面演算器、２０３
は波面演算器である。
【００３８】従来例に示したように、気圧変化により大
気の屈折率が変化することによって、波面計測誤差が生
じる。本参考例では、補償手段として気圧センサ２０１
と誤差波面演算器２０２を設けて、使用気圧における誤
差波面を求め、波面演算器２０３でＣＣＤ１０の出力か
ら求めた気圧変化の影響を受けた計測波面から上記誤差
波面を差し引くことで気圧補償を行うものである。
気の屈折率が変化することによって、波面計測誤差が生
じる。本参考例では、補償手段として気圧センサ２０１
と誤差波面演算器２０２を設けて、使用気圧における誤
差波面を求め、波面演算器２０３でＣＣＤ１０の出力か
ら求めた気圧変化の影響を受けた計測波面から上記誤差
波面を差し引くことで気圧補償を行うものである。
【００３９】以下、誤差波面演算器２０２の詳細につい
て説明する。誤差波面演算器２０２は、気圧センサ２０
１の出力を基に気圧変化によりコリメータレンズ８で生
じるレンズパワーの変化を算出し、これを波面に変換
し、誤差波面として波面演算器２０３に出力する。
て説明する。誤差波面演算器２０２は、気圧センサ２０
１の出力を基に気圧変化によりコリメータレンズ８で生
じるレンズパワーの変化を算出し、これを波面に変換
し、誤差波面として波面演算器２０３に出力する。
【００４０】以下、誤差波面演算器２０２が行う気圧変
化によるコリメータレンズ８のパワー変化の算出方法、
パワー変化から誤差波面への変換方法の２点について説
明する。
化によるコリメータレンズ８のパワー変化の算出方法、
パワー変化から誤差波面への変換方法の２点について説
明する。
【００４１】先ず、気圧変化によるコリメータレンズ８
のパワー変化の算出方法について説明する。気圧Ｐの変
化によるパワーφの変化は次式で表される。
のパワー変化の算出方法について説明する。気圧Ｐの変
化によるパワーφの変化は次式で表される。
【００４２】これから気圧変化によるフォーカス位置の
変化Δｘは次式で表される。 ｄΔｘ／ｄＰ ＝（ｄΔｘ／ｄφ）（ｄφ／ｄｎa ）（ｄｎa ／ｄＰ） ＝（−１／φ2 ）（ｄφ／ｄｎa ）（ｄｎa ／ｄＰ） ＝（１／φ）（１／ｎ−ｎa ）（ｄｎa ／ｄＰ） ＝（１／φ）・γ・（ｄｎa ／ｄＰ） （２０２） 但し、γ＝１／ｎ−ｎa ：気圧分散 （２０３）
変化Δｘは次式で表される。 ｄΔｘ／ｄＰ ＝（ｄΔｘ／ｄφ）（ｄφ／ｄｎa ）（ｄｎa ／ｄＰ） ＝（−１／φ2 ）（ｄφ／ｄｎa ）（ｄｎa ／ｄＰ） ＝（１／φ）（１／ｎ−ｎa ）（ｄｎa ／ｄＰ） ＝（１／φ）・γ・（ｄｎa ／ｄＰ） （２０２） 但し、γ＝１／ｎ−ｎa ：気圧分散 （２０３）
【００４３】よって気圧変化によるデフォーカス波面収
差の割合は、レンズ間媒質の屈折率変化を介して次式で
表される。
差の割合は、レンズ間媒質の屈折率変化を介して次式で
表される。
【００４４】従って、気圧変化ΔＰが生じたときの波面
ΔＷP は式（２０５）より算出することができる。 ΔＷ＝（ｄＷP ／ｄＰ）・ΔＰ （２０５）
ΔＷP は式（２０５）より算出することができる。 ΔＷ＝（ｄＷP ／ｄＰ）・ΔＰ （２０５）
【００４５】以上のように、式（２０５）により誤差波
面演算器２０２で誤差波面ΔＷP を求め、波面演算器２
０３で式（２０６）のように気圧変化の影響を受けた計
測波面Ｗから誤差波面を差し引くことにより正しい波面
ＷI を求めることができる。 ＷI ＝Ｗ−ΔＷP （２０６）
面演算器２０２で誤差波面ΔＷP を求め、波面演算器２
０３で式（２０６）のように気圧変化の影響を受けた計
測波面Ｗから誤差波面を差し引くことにより正しい波面
ＷI を求めることができる。 ＷI ＝Ｗ−ΔＷP （２０６）
【００４６】参考例３．
図３は本発明の参考例３を示す構成図である。図３にお
いて図１１と同一符号は同一または相当部分を示す。図
３において、３０１は温度補償アフォーカル光学系、３
０２はレンズアレー、３０３は対物レンズ、３０４は接
眼レンズ、１９はＣＣＤである。なお、ここでＣＣＤ１
９の出力を基に波面を求める波面演算器は図示していな
い。
いて図１１と同一符号は同一または相当部分を示す。図
３において、３０１は温度補償アフォーカル光学系、３
０２はレンズアレー、３０３は対物レンズ、３０４は接
眼レンズ、１９はＣＣＤである。なお、ここでＣＣＤ１
９の出力を基に波面を求める波面演算器は図示していな
い。
【００４７】本参考例では、レンズアレー３０２とＣＣ
Ｄ１９との線膨脹率の違いにより生じる誤差波面を温度
補償アフォーカル光学系３０１の残留収差により補償す
るものである。レンズアレー３０２の基板材料の線膨脹
率をαm 、ＣＣＤ１９の線膨脹率をαc とする。スポッ
ト移動量と誤差波面の関係は前出の式（１０７）で表さ
れ、これをθとおくと ここで、ｎはレンズアレー数、ｆm はレンズアレーの焦
点距離，Ｄm はレンズレットの開口径である。
Ｄ１９との線膨脹率の違いにより生じる誤差波面を温度
補償アフォーカル光学系３０１の残留収差により補償す
るものである。レンズアレー３０２の基板材料の線膨脹
率をαm 、ＣＣＤ１９の線膨脹率をαc とする。スポッ
ト移動量と誤差波面の関係は前出の式（１０７）で表さ
れ、これをθとおくと ここで、ｎはレンズアレー数、ｆm はレンズアレーの焦
点距離，Ｄm はレンズレットの開口径である。
【００４８】次いで、温度補償条件を満たすアフォーカ
ル光学系３０１のレンズパワーに関して説明する。先
ず、温度変化によるアフォーカル光学系３０１のパワー
変化の算出方法について説明する。アフォーカル光学系
３０１のパワーは式（３０２）で表される。 φ＝φo ＋φe −ｅφo φe ＝（ｍ＋１）φo −ｍｅφo 2 （３０２） 但し、 φo ：対物レンズ３０３のパワー φe ：接眼レンズ３０４のパワー ｍ＝φe ／φo ：アフォーカル光学系３０１の倍率 ｅ＝（１／φo ）＋（１／φe ） ＝｛（ｍ＋１）／ｍ｝・（１／φo ）（３０３） ：対物レンズ３０３と接眼レンズ３０４の間隔
ル光学系３０１のレンズパワーに関して説明する。先
ず、温度変化によるアフォーカル光学系３０１のパワー
変化の算出方法について説明する。アフォーカル光学系
３０１のパワーは式（３０２）で表される。 φ＝φo ＋φe −ｅφo φe ＝（ｍ＋１）φo −ｍｅφo 2 （３０２） 但し、 φo ：対物レンズ３０３のパワー φe ：接眼レンズ３０４のパワー ｍ＝φe ／φo ：アフォーカル光学系３０１の倍率 ｅ＝（１／φo ）＋（１／φe ） ＝｛（ｍ＋１）／ｍ｝・（１／φo ）（３０３） ：対物レンズ３０３と接眼レンズ３０４の間隔
【００４９】アフォーカル光学系３０１のパワーの温度
変化率は式（３０４）で表される。 （ｄφ／ｄＴ） ＝φo ｛ｄ（ｍ＋１）／ｄＴ｝ ＋（ｍ＋１）（ｄφO ／ｄＴ） −ｍφo 2 （ｄｅ／ｄＴ） −２ｍｅφo （ｄφO ／ｄＴ） −ｅφo 2 （ｄｍ／ｄＴ） （３０４） 対物レンズ３０３と接眼レンズ３０４のパワ−の熱分散
βo 、βe を等しくとることで、アフォーカル光学系３
０１の倍率ｍが温度によって変わらないようにすると、
次式で表わされる。 ｄｍ／ｄＴ＝０ （３０５） 以上の式（３０３），（３０４），（３０５）を用いる
と、アフォーカル光学系３０１のパワーの温度変化率は
式（３０６）で示される。 但し、αB ＝（１／ｅ）・（ｄｅ／ｄＴ）：鏡筒の線膨
脹率 βo ＝（１／φo ）・（ｄφo ／ｄＴ）
変化率は式（３０４）で表される。 （ｄφ／ｄＴ） ＝φo ｛ｄ（ｍ＋１）／ｄＴ｝ ＋（ｍ＋１）（ｄφO ／ｄＴ） −ｍφo 2 （ｄｅ／ｄＴ） −２ｍｅφo （ｄφO ／ｄＴ） −ｅφo 2 （ｄｍ／ｄＴ） （３０４） 対物レンズ３０３と接眼レンズ３０４のパワ−の熱分散
βo 、βe を等しくとることで、アフォーカル光学系３
０１の倍率ｍが温度によって変わらないようにすると、
次式で表わされる。 ｄｍ／ｄＴ＝０ （３０５） 以上の式（３０３），（３０４），（３０５）を用いる
と、アフォーカル光学系３０１のパワーの温度変化率は
式（３０６）で示される。 但し、αB ＝（１／ｅ）・（ｄｅ／ｄＴ）：鏡筒の線膨
脹率 βo ＝（１／φo ）・（ｄφo ／ｄＴ）
【００５０】よって、温度補償条件としてスポット移動
で生じる誤差波面θを打ち消す波面を生じさせるため、
次式を満足させる必要がある。 （ｄＷT ／ｄＴ） ＝（１／８λＦ2 ）・（ｄΔｘ／ｄφ）・（ｄφ／ｄＴ） ＝（１／８λＦ2 ）・（−１／φ2 ）・（ｄφ／ｄＴ） ＝−θ （３０７）
で生じる誤差波面θを打ち消す波面を生じさせるため、
次式を満足させる必要がある。 （ｄＷT ／ｄＴ） ＝（１／８λＦ2 ）・（ｄΔｘ／ｄφ）・（ｄφ／ｄＴ） ＝（１／８λＦ2 ）・（−１／φ2 ）・（ｄφ／ｄＴ） ＝−θ （３０７）
【００５１】一方、複数種材料で構成される薄肉レンズ
を近接させた合成レンズにおいて、ｉ番目の材料の分散
をμi 、レンズパワーをφi としたとき、合成パワーお
よび色消し条件から、 が成り立つ必要がある。この条件と、上記の温度補償条
件を満たすパワーに関する式（３０７）を加えた３式か
ら各レンズのパワーを決定する。
を近接させた合成レンズにおいて、ｉ番目の材料の分散
をμi 、レンズパワーをφi としたとき、合成パワーお
よび色消し条件から、 が成り立つ必要がある。この条件と、上記の温度補償条
件を満たすパワーに関する式（３０７）を加えた３式か
ら各レンズのパワーを決定する。
【００５２】以上のように、最低３種の材料を用いて対
物レンズ３０３および接眼レンズ３０４を構成すること
により、合成パワー条件を満足した上で色消し、温度補
償の２条件を必ず満足する波面センサを構成することが
できる。
物レンズ３０３および接眼レンズ３０４を構成すること
により、合成パワー条件を満足した上で色消し、温度補
償の２条件を必ず満足する波面センサを構成することが
できる。
【００５３】参考例４．
図４は本発明の参考例４を示す構成図である。図４にお
いて図１１と同一符号は同一または相当部分を示す。図
４において、１は望遠鏡の主鏡、２は望遠鏡の副鏡、４
００は波面センサ、４０１は気圧補償コリメータレンズ
である。なお、ここでＣＣＤ１０の出力を基に波面を求
める波面演算器は図示していない。
いて図１１と同一符号は同一または相当部分を示す。図
４において、１は望遠鏡の主鏡、２は望遠鏡の副鏡、４
００は波面センサ、４０１は気圧補償コリメータレンズ
である。なお、ここでＣＣＤ１０の出力を基に波面を求
める波面演算器は図示していない。
【００５４】式（４０１）で示される気圧分散γはいわ
ゆる色消しレンズにおける分散μと同様に扱うことがで
きる。 γ＝１／（ｎ−ｎa ） （４０１）
ゆる色消しレンズにおける分散μと同様に扱うことがで
きる。 γ＝１／（ｎ−ｎa ） （４０１）
【００５５】コリメータレンズ４０１を異種材料を組み
合わせた複数レンズで構成すると等価的に気圧分散γと
いった材料特性を合成してつくりだすことが可能であ
る。複数種材料で構成される薄肉レンズを近接させた合
成レンズにおいて、ｉ番目の材料の分散をμi 、気圧分
散をγi 、レンズパワーをφi としたとき、コリメータ
レンズ４０１について、以下の条件を満足する必要があ
る。
合わせた複数レンズで構成すると等価的に気圧分散γと
いった材料特性を合成してつくりだすことが可能であ
る。複数種材料で構成される薄肉レンズを近接させた合
成レンズにおいて、ｉ番目の材料の分散をμi 、気圧分
散をγi 、レンズパワーをφi としたとき、コリメータ
レンズ４０１について、以下の条件を満足する必要があ
る。
【００５６】以上のように、最低３種材料を用いてコリ
メータレンズを構成すれば、合成パワー条件を満足した
上で色消し、気圧補償の２条件を必ず満足させるアフォ
ーカル光学系を構成することができる。
メータレンズを構成すれば、合成パワー条件を満足した
上で色消し、気圧補償の２条件を必ず満足させるアフォ
ーカル光学系を構成することができる。
【００５７】実施形態１．
図５は本発明の実施形態１を示す構成図である。図５に
おいて図１１と同一符号は同一または相当部分を示す。
図５において、５０１は校正値演算器、５０２は波面セ
ンサ角度コントローラ、２９は参照光源である。
おいて図１１と同一符号は同一または相当部分を示す。
図５において、５０１は校正値演算器、５０２は波面セ
ンサ角度コントローラ、２９は参照光源である。
【００５８】本実施形態では、波面の傾きを正確に算出
するのに必要なＣＣＤ１０とレンズアレー９間の距離を
直接的に測定せず、実装状態で計測し校正ている。
するのに必要なＣＣＤ１０とレンズアレー９間の距離を
直接的に測定せず、実装状態で計測し校正ている。
【００５９】従来例に示すように、ＣＣＤ１０上のスポ
ット位置のずれ量Δｒとｔａｎθとの関係は以下の式で
表される。 ｔａｎθ＝Δｒ／ｌm （５０１） ここで、ｌm はマイクロレンズアレー９とＣＣＤ１０間
の距離である。いま、波面センサへ入射角θの光を入射
し、基準スポット位置からのずれΔｒを計測し、上記
θ、Δｒから式（５０１）により距離ｌm を求める。
ット位置のずれ量Δｒとｔａｎθとの関係は以下の式で
表される。 ｔａｎθ＝Δｒ／ｌm （５０１） ここで、ｌm はマイクロレンズアレー９とＣＣＤ１０間
の距離である。いま、波面センサへ入射角θの光を入射
し、基準スポット位置からのずれΔｒを計測し、上記
θ、Δｒから式（５０１）により距離ｌm を求める。
【００６０】以下、波面センサの校正方法について説明
する。 （１）波面演算器２１が参照光源２９により基準スポッ
ト位置を計測し、 （２）波面センサ角度コントローラ５０２が波面センサ
の光学系１１をθだけ傾けるとともに、上記傾斜角θを
校正値演算器５０１に送出する。 （３）波面演算器２１が校正データ用スポット位置を計
測し、 （４）波面演算器２１が校正データ用スポット位置から
基準スポット位置を差し引いたスポット位置の変位Δｒ
を校正値演算器５０１に送出する。 （５）校正値演算器５０１がΔｒとθから画素を単位と
するレンズアレー９とＣＣＤ１０間の距離ｌm を算出
し、波面演算器２１は内部のメモリにデータを格納す
る。以上により校正を終了する。
する。 （１）波面演算器２１が参照光源２９により基準スポッ
ト位置を計測し、 （２）波面センサ角度コントローラ５０２が波面センサ
の光学系１１をθだけ傾けるとともに、上記傾斜角θを
校正値演算器５０１に送出する。 （３）波面演算器２１が校正データ用スポット位置を計
測し、 （４）波面演算器２１が校正データ用スポット位置から
基準スポット位置を差し引いたスポット位置の変位Δｒ
を校正値演算器５０１に送出する。 （５）校正値演算器５０１がΔｒとθから画素を単位と
するレンズアレー９とＣＣＤ１０間の距離ｌm を算出
し、波面演算器２１は内部のメモリにデータを格納す
る。以上により校正を終了する。
【００６１】波面計測を行う際、予め以上のような校正
を行うことにより、実際のレンズアレー９とＣＣＤ１０
間の距離が正確に求められ、波面計測精度が向上させる
ことができる。
を行うことにより、実際のレンズアレー９とＣＣＤ１０
間の距離が正確に求められ、波面計測精度が向上させる
ことができる。
【００６２】実施形態２．
図６は本発明の実施形態２を示す構成図である。図６に
おいて図１１と同一符号は同一または相当部分を示す。
図６において、６００は波面センサ、６０１はハーフミ
ラー、６０２は校正光導入用ハーフミラー、６０３はア
レー状光源ＮＡ調整マスク、６０４はアレー状光源、６
０５はシャッタである。なお、ここでＣＣＤ１９の出力
を基に波面を求める波面演算器は図示していない。
おいて図１１と同一符号は同一または相当部分を示す。
図６において、６００は波面センサ、６０１はハーフミ
ラー、６０２は校正光導入用ハーフミラー、６０３はア
レー状光源ＮＡ調整マスク、６０４はアレー状光源、６
０５はシャッタである。なお、ここでＣＣＤ１９の出力
を基に波面を求める波面演算器は図示していない。
【００６３】本実施形態では、従来の技術の項で説明し
たアフォーカル系２８を有する波面センサに必要なコリ
メートした参照光を出射する参照波面発生器１５に代わ
り、簡素な構成で参照光を得るようにしている。
たアフォーカル系２８を有する波面センサに必要なコリ
メートした参照光を出射する参照波面発生器１５に代わ
り、簡素な構成で参照光を得るようにしている。
【００６４】先ず、波面センサの構成について説明す
る。アレー状光源６０４出射光を波面センサの光学系２
０に導入するため、校正光導入用ハーフミラー６０２
を、ＣＣＤ１９の前面に配置している。上記のハーフミ
ラー６０１、６０２により生じるＣＣＤ１９の鏡像位置
にアレー状光源６０４を設置している。アレー状光源６
０４の前面に設けたＮＡ調整用マスク６０３は、平板内
にアレー状光源６０４に対応する数の開口を設けたもの
であり、アレー状光源６０４を構成する各光源の出射角
を制限し、各光源の出射光とレンズアレー１８を構成す
るレンズを１対１に対応させる。レンズアレー１８のＦ
値をＦとし、アレー状光源６０４からマスク６０３まで
の距離をｘとした場合、マスク６０３の開口径Ｄは次式
で得られる。 Ｄ＝ｘ／Ｆ （６０１）
る。アレー状光源６０４出射光を波面センサの光学系２
０に導入するため、校正光導入用ハーフミラー６０２
を、ＣＣＤ１９の前面に配置している。上記のハーフミ
ラー６０１、６０２により生じるＣＣＤ１９の鏡像位置
にアレー状光源６０４を設置している。アレー状光源６
０４の前面に設けたＮＡ調整用マスク６０３は、平板内
にアレー状光源６０４に対応する数の開口を設けたもの
であり、アレー状光源６０４を構成する各光源の出射角
を制限し、各光源の出射光とレンズアレー１８を構成す
るレンズを１対１に対応させる。レンズアレー１８のＦ
値をＦとし、アレー状光源６０４からマスク６０３まで
の距離をｘとした場合、マスク６０３の開口径Ｄは次式
で得られる。 Ｄ＝ｘ／Ｆ （６０１）
【００６５】アレー状光源６０４出射光は、校正光導入
用ハーフミラー６０２を介して波面センサに導入され、
ハーフミラー６０１で反射した後、レンズアレー１８に
よってＣＣＤ１９上に集光する。なお、参照光源使用時
にはシャッタ６０５により被計測光を遮断する。
用ハーフミラー６０２を介して波面センサに導入され、
ハーフミラー６０１で反射した後、レンズアレー１８に
よってＣＣＤ１９上に集光する。なお、参照光源使用時
にはシャッタ６０５により被計測光を遮断する。
【００６６】次に、参照光源を用いた計測波面の補正方
法について説明する。アレー状光源６０４の出射光は、
波面センサの光学系を２回通過するため、光学系収差の
２倍の影響が計測されることになる。アレー状光源６０
４には、例えば、レ−ザダイオードアレーを用いること
により、正確な配列が得られるため、スポットの配列の
乱れは光学系収差の影響で生じたものとなる。測定され
たスポットの配列の乱れを基に波面を求め、その１／２
を光学系の収差で生じる誤差波面として、波面演算器２
１が波面計測時に計測波面から先に求めた誤差波面を差
し引くことにより、正しい波面が計測できる。
法について説明する。アレー状光源６０４の出射光は、
波面センサの光学系を２回通過するため、光学系収差の
２倍の影響が計測されることになる。アレー状光源６０
４には、例えば、レ−ザダイオードアレーを用いること
により、正確な配列が得られるため、スポットの配列の
乱れは光学系収差の影響で生じたものとなる。測定され
たスポットの配列の乱れを基に波面を求め、その１／２
を光学系の収差で生じる誤差波面として、波面演算器２
１が波面計測時に計測波面から先に求めた誤差波面を差
し引くことにより、正しい波面が計測できる。
【００６７】従来の方式では、周囲温度変化等により参
照光源２９の位置が光軸方向に移動した場合、波面セン
サには歪んだ球面波が入射し、スポットの位置が変化す
る。しかし、本実施形態では、アレー状光源６０４の設
置位置が、光軸方向に移動した場合、ＣＣＤとの共役関
係が崩れることによるスポットのぼけが生じる。しか
し、波面演算器２１において、一般に用いられるスポッ
トの重心をもってスポット位置計測と定義すると、ぼけ
が生じた場合でも重心位置は変化しない。
照光源２９の位置が光軸方向に移動した場合、波面セン
サには歪んだ球面波が入射し、スポットの位置が変化す
る。しかし、本実施形態では、アレー状光源６０４の設
置位置が、光軸方向に移動した場合、ＣＣＤとの共役関
係が崩れることによるスポットのぼけが生じる。しか
し、波面演算器２１において、一般に用いられるスポッ
トの重心をもってスポット位置計測と定義すると、ぼけ
が生じた場合でも重心位置は変化しない。
【００６８】以上のように、使用環境条件の変化に対し
て強い参照光源が実現でき、また、このことは、アレー
状光源の配置位置をＣＣＤと共役位置とする際の製造上
の公差を緩くとることができる。
て強い参照光源が実現でき、また、このことは、アレー
状光源の配置位置をＣＣＤと共役位置とする際の製造上
の公差を緩くとることができる。
【００６９】実施形態３．
図７は本発明の実施形態３を示す構成図である。図７に
おいて図１１および図６と同一符号は同一または相当部
分を示す。図７において、７００は波面センサ、７０１
は偏光板、７０４はアレー状偏光光源である。なお、こ
こでＣＣＤ１９の出力を基に波面を求める波面演算器は
図示していない。
おいて図１１および図６と同一符号は同一または相当部
分を示す。図７において、７００は波面センサ、７０１
は偏光板、７０４はアレー状偏光光源である。なお、こ
こでＣＣＤ１９の出力を基に波面を求める波面演算器は
図示していない。
【００７０】本実施形態では、被計測光が偏光してお
り、実施形態２のハーフミラー６０１の代りに偏光板７
０１を用い、アレー状光源６０４にはアレー状偏光光源
７０４を用いている。
り、実施形態２のハーフミラー６０１の代りに偏光板７
０１を用い、アレー状光源６０４にはアレー状偏光光源
７０４を用いている。
【００７１】アレー状偏光光源７０４は、ハーフミラー
６０２および偏光板７０１で生じるＣＣＤ１９の鏡像位
置に設置し、且つ被計測光の偏光方向と直交させる。偏
光板７０１の偏光方向と被計測光の偏光方向とを一致さ
せて設置すると、被計測光は、偏光板７０４を透過し、
ＣＣＤ１９上に集光スポットを形成する。参照光は偏光
板７０１により反射され、ＣＣＤ１９上にスポットを形
成する。なお、アレー状偏光光源７０４使用時には、シ
ャッタ６０５により被計測光を遮断する。その他の動作
に関しては実施形態２と同様である。
６０２および偏光板７０１で生じるＣＣＤ１９の鏡像位
置に設置し、且つ被計測光の偏光方向と直交させる。偏
光板７０１の偏光方向と被計測光の偏光方向とを一致さ
せて設置すると、被計測光は、偏光板７０４を透過し、
ＣＣＤ１９上に集光スポットを形成する。参照光は偏光
板７０１により反射され、ＣＣＤ１９上にスポットを形
成する。なお、アレー状偏光光源７０４使用時には、シ
ャッタ６０５により被計測光を遮断する。その他の動作
に関しては実施形態２と同様である。
【００７２】以上のように、偏光板７０１は校正光をほ
ぼ１００％反射するとともに、被計測光をほぼ１００％
透過するため、校正用に挿入した偏光板７０１による参
照光および被計測光の光量損失の極めて少ない光学系を
実現することができる。
ぼ１００％反射するとともに、被計測光をほぼ１００％
透過するため、校正用に挿入した偏光板７０１による参
照光および被計測光の光量損失の極めて少ない光学系を
実現することができる。
【００７３】実施形態４．
図８は本発明の実施形態４を示す構成図である。図８に
おいて図１１および図６と同一符号は同一または相当部
分を示す。図８において、８００は波面センサ、８０１
はダイクロイックミラー、８０４は被計測光と波長の異
なるアレー状光源である。なお、ここでＣＣＤ１９の出
力を基に波面を求める波面演算器は図示していない。
おいて図１１および図６と同一符号は同一または相当部
分を示す。図８において、８００は波面センサ、８０１
はダイクロイックミラー、８０４は被計測光と波長の異
なるアレー状光源である。なお、ここでＣＣＤ１９の出
力を基に波面を求める波面演算器は図示していない。
【００７４】本実施形態では、被計測光と参照光の波長
が異なる。ダイクロイックミラー８０１は、被計測光の
波長域では光を透過し、参照光の波長域では反射するよ
うに構成している。
が異なる。ダイクロイックミラー８０１は、被計測光の
波長域では光を透過し、参照光の波長域では反射するよ
うに構成している。
【００７５】アレー状光源８０４は、ハーフミラー６０
２とダイクロイックミラー８０１とで生じるＣＣＤ１９
の鏡像位置に設置している。被計測光はダイクロイック
ミラー８０１を通過しＣＣＤ１９上にスポットを形成す
る。一方、アレー状光源８０４出射光は、ハーフミラー
６０２により導入されダイクロイックミラー８０１によ
り反射され、ＣＣＤ１９上にスポットを形成する。な
お、参照光源使用時には、シャッタ６０５により被計測
光を遮断する。その他の動作に関しては実施形態２と同
様である。
２とダイクロイックミラー８０１とで生じるＣＣＤ１９
の鏡像位置に設置している。被計測光はダイクロイック
ミラー８０１を通過しＣＣＤ１９上にスポットを形成す
る。一方、アレー状光源８０４出射光は、ハーフミラー
６０２により導入されダイクロイックミラー８０１によ
り反射され、ＣＣＤ１９上にスポットを形成する。な
お、参照光源使用時には、シャッタ６０５により被計測
光を遮断する。その他の動作に関しては実施形態２と同
様である。
【００７６】以上のように、ダイクロイックミラー８０
１は、参照光をほぼ１００％反射するとともに、被計測
光もほぼ１００％透過するため、ダイクロイックミラー
８０１による参照光および被計測光の光量損失の極めて
少ない光学系を実現することができる。
１は、参照光をほぼ１００％反射するとともに、被計測
光もほぼ１００％透過するため、ダイクロイックミラー
８０１による参照光および被計測光の光量損失の極めて
少ない光学系を実現することができる。
【００７７】参考例５．
図９は本発明の参考例５を示す構成図である。図９にお
いて図１１と同一符号は同一または相当部分を示す。図
９において、９００は波面センサ、９０１は可変径の絞
り、９０２は絞り径コントローラ、９０３は絞り径演算
手段である絞り径演算器、９０４はＦＦＴ演算手段であ
るＦＦＴ演算器である。
いて図１１と同一符号は同一または相当部分を示す。図
９において、９００は波面センサ、９０１は可変径の絞
り、９０２は絞り径コントローラ、９０３は絞り径演算
手段である絞り径演算器、９０４はＦＦＴ演算手段であ
るＦＦＴ演算器である。
【００７８】本参考例では、迷光を抑制するため、アフ
ォーカル光学系の対物レンズ１６による集光状態に合わ
せ、絞り径を変化させるものである。
ォーカル光学系の対物レンズ１６による集光状態に合わ
せ、絞り径を変化させるものである。
【００７９】迷光を抑制するため、絞り径は被計測光を
けらない程度に小さくすることが必要である。対物レン
ズ１６の前側焦点面を波面計測位置とした場合、対物レ
ンズ１６による点像強度分布は計測波面のフーリエ変換
結果に従う。ＦＦＴ演算器９０４は波面演算器２１で求
めた計測波面のフーリエ変換を行い、点像強度分布を求
める。絞り径演算器９０３は上記点像強度分布にしきい
値を与え、しきい値を越えた範囲を絞り径とする。この
情報に基づいて絞り径コントローラ９０２が絞り径を調
整する。
けらない程度に小さくすることが必要である。対物レン
ズ１６の前側焦点面を波面計測位置とした場合、対物レ
ンズ１６による点像強度分布は計測波面のフーリエ変換
結果に従う。ＦＦＴ演算器９０４は波面演算器２１で求
めた計測波面のフーリエ変換を行い、点像強度分布を求
める。絞り径演算器９０３は上記点像強度分布にしきい
値を与え、しきい値を越えた範囲を絞り径とする。この
情報に基づいて絞り径コントローラ９０２が絞り径を調
整する。
【００８０】以上のように、固定絞りの場合に問題にな
っていた迷光が低減でき、誤動作を抑えることができ
る。
っていた迷光が低減でき、誤動作を抑えることができ
る。
【００８１】参考例６．
図１０は本発明の参考例６を示す構成図である。図１０
において図１１と同一符号は同一または相当部分を示
す。図１０において、８は第１のコリメータレンズ、１
１１，１１３はそれぞれ第１と第２のダイクロイックミ
ラー、１１４，１１５はバンドパスフィルタ、１１６，
１１８はミラー、１１７は第２のコリメータレンズ、１
１０は波面センサである。なお、ここでＣＣＤ１９の出
力を基に波面を求める波面演算器は図示していない。
において図１１と同一符号は同一または相当部分を示
す。図１０において、８は第１のコリメータレンズ、１
１１，１１３はそれぞれ第１と第２のダイクロイックミ
ラー、１１４，１１５はバンドパスフィルタ、１１６，
１１８はミラー、１１７は第２のコリメータレンズ、１
１０は波面センサである。なお、ここでＣＣＤ１９の出
力を基に波面を求める波面演算器は図示していない。
【００８２】望遠鏡は副鏡２を交換する構成であり、副
鏡２の変更にともない図１０の破線のようにＦ値も変化
する。従来例に示したように、Ｆ値の変化によりコリメ
ータレンズ８を交換するか、各Ｆ値に対応する別の波面
センサを用意する必要があった。
鏡２の変更にともない図１０の破線のようにＦ値も変化
する。従来例に示したように、Ｆ値の変化によりコリメ
ータレンズ８を交換するか、各Ｆ値に対応する別の波面
センサを用意する必要があった。
【００８３】異なるＦ値でレンズアレー１８に入射する
波面の径を同一にするには、第１のコリメータレンズ８
の焦点距離をＦ値に合わせ変更すればよい。本参考例は
第１のダイクロイックミラー１１１により光路を分離
し、分離した光路中にＦ値に適合する第２のコリメータ
レンズ１１７を設置することでＦ値の変化に対応するも
のである。
波面の径を同一にするには、第１のコリメータレンズ８
の焦点距離をＦ値に合わせ変更すればよい。本参考例は
第１のダイクロイックミラー１１１により光路を分離
し、分離した光路中にＦ値に適合する第２のコリメータ
レンズ１１７を設置することでＦ値の変化に対応するも
のである。
【００８４】光路の変更により第２のコリメータレンズ
１１７および光路長を自由に設定できるため、Ｆ値に適
した第２のコリメータレンズ１１７を用いることがで
き、且つレンズアレー１８以降を共用することができ
る。なお、レンズアレーには２波長の光が入射するため
バンドパスフィルタ１１４、１１５を交換し波長選択を
行う。
１１７および光路長を自由に設定できるため、Ｆ値に適
した第２のコリメータレンズ１１７を用いることがで
き、且つレンズアレー１８以降を共用することができ
る。なお、レンズアレーには２波長の光が入射するため
バンドパスフィルタ１１４、１１５を交換し波長選択を
行う。
【００８５】以上のように、Ｆ値によって光学系全体を
交換する必要がなくなるとともに、バンドパスフィルタ
１１４、１１５以外に可動部品が存在しないため、光学
系の公差を小さく抑えることができ高精度の波面計測を
実現することができる。
交換する必要がなくなるとともに、バンドパスフィルタ
１１４、１１５以外に可動部品が存在しないため、光学
系の公差を小さく抑えることができ高精度の波面計測を
実現することができる。
【００８６】
【発明の効果】以上のように構成された本発明によれ
ば、入射光の条件が変化しても、高精度に被計測光の波
面を計測できる波面センサを得ることができる。
ば、入射光の条件が変化しても、高精度に被計測光の波
面を計測できる波面センサを得ることができる。
【図１】参考例１の波面センサの構成図である。
【図２】参考例２の波面センサの構成図である。
【図３】参考例３の波面センサの構成図である。
【図４】参考例４の波面センサの構成図である。
【図５】実施形態１の波面センサの構成図である。
【図６】実施形態２の波面センサの構成図である。
【図７】実施形態３の波面センサの構成図である。
【図８】実施形態４の波面センサの構成図である。
【図９】参考例５の波面センサの構成図である。
【図１０】参考例６の波面センサの構成図である。
【図１１】従来の波面センサを含む装置（望遠鏡）の構
成図である。
成図である。
【図１２】レンズアレーとＣＣＤ間の距離と、レンズア
レー焦点距離の関係を説明するための図である。
レー焦点距離の関係を説明するための図である。
【図１３】迷光による波面センサの誤動作を説明するた
めの図である。
めの図である。
【図１４】Ｆ値の違いによる有効レンズアレー数の変化
を説明するための図である。
を説明するための図である。
１：望遠鏡の主鏡
２：望遠鏡の副鏡
４：参照光源用ランプ
５：ランプ光集光レンズ
６：ピンホール
７：ビームスプリッタ
８：コリメータレンズ（第１コリメータレンズ）
９：レンズアレー
１０：ＣＣＤ
１１：波面センサの光学系
１３：デフォーマブルミラー
１４：ビームスプリッタ
１６：対物レンズ
１７：接眼レンズ
１８：レンズアレー
１９：ＣＣＤ
２０：波面センサの光学系
２１：波面演算器
２２：デフォーマブルミラー
２８：アフォーカル光学系
２９：参照光源
５０：波面センサ
５１：波面センサ
１００：波面センサ
１０１：温度センサ
１０２：誤差波面演算器
１０３：波面演算器
１１０：波面センサ
１１１，１１３：ダイクロイックミラー
１１４，１１５：バンドパスフィルタ
１１７：第２コリメータレンズ
１１６，１１８：ミラー
２００：波面センサ
２０１：気圧センサ
２０２：誤差波面演算器
２０３：波面演算器
３０１：温度補償アフォーカル光学系
３０２：レンズアレー
３０３：対物レンズ
３０４：接眼レンズ
４００：波面センサ
４０１：気圧補償コリメータレンズ
５０１：校正値演算器
５０２：波面センサ角度コントローラ
６００：波面センサ
６０１：ハーフミラー
６０２：校正光導入用ハーフミラー
６０３：アレー状光源ＮＡ調整マスク
６０４：アレー状光源
６０５：シャッタ
７００：波面センサ
７０１：偏光板
７０４：アレー状偏光光源
８００：波面センサ
８０１：ダイクロイックミラー
８０４：被計測光と波長の異なるアレー状光源
９００：波面センサ
９０１：可変径の絞り
９０２：絞り径コントローラ
９０３：絞り径演算器
９０４：ＦＦＴ演算器
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平５−18719（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01J 9/00
G01B 11/00
Claims (5)
- 【請求項１】 レンズアレーと、このレンズアレーに被
計測光を投影させるレンズと、この投影された被計測光
による前記レンズアレーの集光スポット位置を検出する
光電変換器と、を有する光学系を具備し、参照光源から
の光を前記レンズに光を入射したときの前記レンズアレ
ーの集光スポット位置と前記被計測光が前記レンズに入
射したときの前記レンズアレーの集光スポット位置との
変位に基づいて、前記被計測光の波面を計測する波面セ
ンサにおいて、 前記参照光源からの光に対して前記光学系の設置角度を
変化させる角度コントローラと、該角度コントローラに
基づく前記光学系の設置角度の変化前後に得られた前記
光電変換器の出力を基に前記レンズアレーと前記光電変
換器との間の距離を求める校正値演算器と、を具備する
ことを特徴とする波面センサ。 - 【請求項２】 レンズアレー、該レンズアレーに被計測
光を投影させるレンズ、及びこの投影された被計測光に
よる前記レンズアレーの集光スポット位置を検出する光
電変換器、を有する光学系と、 前記レンズアレーと前記光電変換器との間に前記被計測
光の光軸に対して傾斜して設置される第一のハーフミラ
ーと、 前記レンズの被計測光入射側に前記レンズに正対して設
置される第二のハーフミラーと、 前記第一のハーフミラーと前記第二のハーフミラーとに
よる前記光電変換器の鏡像位置に前記レンズアレーを構
成するレンズの数と同数の光源を有するアレー状光源
と、を具備することを特徴とする波面センサ。 - 【請求項３】 前記光電変換器は、前記アレー状光源か
らの出射光により前記レンズアレーの集光スポット位置
の配列の乱れを求め、該乱れを基に誤差波面を算出する
誤差波面演算器と、前記光電変換器の出力を基に求めた
前記被計測光の波面から前記誤差波面を差し引く波面演
算器と、を具備することを特徴とする請求項２記載の波
面センサ。 - 【請求項４】 前記第二のハーフミラーの代わりに偏向
板を設け、該偏向板の偏光方向と前記被計測光の偏光方
向とを一致させたことを特徴とする請求項２又は３記載
の波面センサ。 - 【請求項５】 前記第二のハーフミラーの代わりに、前
記被計測光の波長域では光を透過して前記アレー状光源
の出射光の波長域では光を反射するミラーを設けたこと
を特徴とする請求項２又は３記載の波面センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000205140A JP3414368B2 (ja) | 1994-09-16 | 2000-07-06 | 波面センサ |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22197094A JP3203972B2 (ja) | 1994-09-16 | 1994-09-16 | 波面センサ |
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|---|---|---|---|
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Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001056254A JP2001056254A (ja) | 2001-02-27 |
| JP3414368B2 true JP3414368B2 (ja) | 2003-06-09 |
Family
ID=26524604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000205140A Expired - Fee Related JP3414368B2 (ja) | 1994-09-16 | 2000-07-06 | 波面センサ |
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