JP3410560B2 - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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JP3410560B2
JP3410560B2 JP21427294A JP21427294A JP3410560B2 JP 3410560 B2 JP3410560 B2 JP 3410560B2 JP 21427294 A JP21427294 A JP 21427294A JP 21427294 A JP21427294 A JP 21427294A JP 3410560 B2 JP3410560 B2 JP 3410560B2
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雅雄 水上
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、クロスポイントスイッ
チ回路に係り、例えばSONET(Synchrono
us Optical Network)等に用いて有
効な空間分割スイッチ構成要素としてのスイッチ回路に
適用して有効な技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】B−ISDN(Broad−band
Integrated Services Digit
al Network)用に開発されたクロスポイント
スイッチ回路の例として、1989年5月「シー・アイ
・シー・シー(CICC;Custom Integr
ated Circuit Conference)」
論文の頁10.7.1〜頁10.7.4がある。同文献
においてクロスポイントスイッチは16×8のスイッチ
マトリクスとされ、セレクトデコーダによってスイッチ
アレイのスイッチ状態が選択されるとものと予想され
る。ここで、クロスポイントスイッチ回路は別の呼び名
で空間スイッチと言われることもある。
【0003】また、クロスポイントスイッチ回路それ自
体の公知例ではないが、1994年2月の「アイ・エス
・エス・シー・シー(ISSCC;Internati
onal Solid State Circuits
Conference)」論文の頁208〜頁209
には、セルフデコーディングマルチプレクサ(Self
−decoding multiplexer)と名付
けられた回路が示される。このセルフデコーディングマ
ルチプレクサは、図22に示されるように6個のCMO
Sトランスファゲートをツリー状に配置して、4入力か
ら一つを選択信号SEL1,SEL2にて選択出力する
セレクタとして機能される。このセレクタはマイクロプ
ロセッサにおいて一つの論理ユニットとして利用され
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】半導体素子の微細加工
技術の進展とSONET等の伝送システムの大規模化が
相互に関連し合って、より大きなマトリックスを構成で
きるクロスポイントスイッチ回路の実現が要望されてい
る。しかし、通常のCMOSプロセス適用のLSIにお
いては、上記公知のクロスポイントスイッチの例では、
マトリックスの規模は16×8であった。このマトリッ
クスの規模を大きくするとトランジスタの数が飛躍的に
増大し、1チップへの集積化が困難となる。更に動作速
度も急激に劣化してくる。
【0005】本発明の目的は、入力信号数×出力信号数
で代表されるようなスイッチアレイの規模の大型化に最
適なクロスポイントスイッチ回路を提供することにあ
る。さらに詳しくは、第1に、構成要素の素子数を減ら
す工夫をして、クロスポイントスイッチ回路のスイッチ
アレイの規模を大きくしても、素子数が従来より格段に
少ないクロスポイントスイッチ回路を提供し、伝送シス
テムにおいて、この部分の1チップ化を可能にしようと
するものである。第2に、論理的な規模を大きくしても
あまり動作速度の劣化を起こさないクロスポイントスイ
ッチ回路を提供することにある。第3には、動作速度を
なるべく速くして、入力信号の速度に比べてアドレス信
号の速度をn倍化し、出力端子数を減らして、構成要素
を更に少くしたクロスポイントスイッチ回路を提供する
ことにある。第4には、ディジタルテスタのようなファ
ンクションテスト向きのテスタを用いてある程度のAC
特性を評価可能にするための疑似ACテスト機能を内蔵
させたクロスポイントスイッチ回路を提供することにあ
る。第5には、チップ内に埋込まれたクロスポイントス
イッチ回路をマクロセルとして扱う場合、当該クロスポ
イントスイッチ回路のマクロセルを何個か並べて利用す
るときの配線効率を向上させることができるクロスポイ
ントスイッチ回路を提供することにある。
【0006】本発明の前記並びにその他の目的と新規な
特徴は本明細書の記述及び添付図面から明らかになるで
あろう。
【0007】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば下記
の通りである。
【0008】複数個の入力端子から一つの出力端子に至
る2分岐を主体としたツリー構造のスイッチアレイと、
このスイッチアレイにおける同一階層のスイッチ素子を
1ビットの相補アドレス信号にて相補的にスイッチ動作
させるための複数ビットの相補アドレス信号を入力アド
レス信号に基づいて形成するアドレスバッファと、から
成るセレクタを一単位として、上記入力端子の数に等し
い数の複数単位の上記セレクタを含み、上記複数個の入
力端子が各セレクタに共通接続され、夫々のアドレス信
号の論理値の組み合わせに応じて、所望の一つの入力端
子を所望の単数もしくは複数の出力端子に接続可能にし
てクロスポイントスイッチ回路を構成する。
【0009】アドレス信号などの時分割多重化により物
理的な回路規模を一層縮小することを企図した態様のク
ロスポイントスイッチ回路は、上記同様のセレクタを一
単位として、上記入力端子の数に対して正の整数分の一
の数の複数単位の上記セレクタを含み、上記複数個の入
力端子が各セレクタに共通接続され、上記入力端子に供
給される信号の信号周波数に対して上記正の整数倍され
た信号周波数を以て、外部から供給されるアドレス信号
を時分割多重化し、対応するセレクタに出力するアドレ
ス信号多重化回路を設け、外部から供給される夫々のア
ドレス信号の論理値の組み合わせに応じて、所望の一つ
の入力端子を所望の単数もしくは複数の出力端子に接続
可能にされて、入力端子からの信号が上記正の整数倍さ
れた信号周波数を以て多重化されて出力可能にされて成
る。
【0010】上記スイッチアレイを構成するスイッチ素
子の素子数最大限に減少させるには、当該スイッチ素子
として、Nチャンネル型MOSトランジスタを採用する
ことが望ましい。
【0011】スイッチアレイはツリー構造故にアドレス
バッファが駆動すべき負荷は下位側階層ほど大きくされ
る。そのような駆動負荷の相違による選択動作の遅れを
解消するには、アドレスバッファの相補アドレス信号線
の負荷が相対的に重いものにはサブドライバを介在させ
るとよい。
【0012】上記各セレクタとその出力端子との間にC
MOS出力バッファを設けた場合におけるスタンバイ状
態でのリーク電流テストを考慮すると、出力バッファを
正帰還制御するPチャンネル型MOSトランジスタをプ
ルアップ接続して、出力バッファに貫通電流が流れない
ようにすることが望ましい。
【0013】スタンバイ状態でのリーク電流テストと共
に擬似ACテストを考慮する場合、上記各セレクタから
その出力端子に至る出力経路に順次、トランスファゲー
ト、このトランスファゲートのターンオフに同期してラ
ッチ動作されるラッチ回路、及び上記ラッチ回路の出力
を入力とするCMOS出力バッファを配置することがで
きる。擬似ACテストに際してクロスポイントスイッチ
回路が正常に動作するときの動作遅延時間よりも長い所
定時間経過後にラッチ回路をラッチ動作せ、ラッチされ
たデータが期待値に一致するかを判定することによって
スイッチアレイのAC的な欠陥(例えばスイッチ素子パ
ターンの欠陥によるgmが異常に小さくなるような欠
陥)を判定できる。そのような動作遅延時間よりも長い
所定時間をクロスポイントスイッチ回路内部で形成し
て、それ自体で擬似ACテストを支援できるようにする
には、外部から供給されるクロック信号の所定の変化か
ら所定の遅延時間を経過するまでの期間に応ずるパルス
幅を持つ内部クロックを形成して、上記ラッチ回路及び
トランスファゲートの動作制御信号を形成するクロック
発生部を設ける。そのような遅延時間は遅延回路によっ
て形成できる。
【0014】上記クロスポイントスイッチ回路を複数個
並設して構成される半導体集積回路において、クロスポ
イントスイッチ回路へのアドレス信号配線などの配線効
率を向上させるには、夫々のクロスポイントスイッチ回
路を構成するセルの上層にスルー配線を並設し、当該ス
ルー配線を、夫々のクロスポイントスイッチ回路に共通
のアドレス信号を供給するためのアドレススルー配線、
又はその他の回路セルに接続されるセル渡りのスルー配
線として利用できる。
【0015】上記クロスポイントスイッチ回路はツリー
状のスイッチアレイ故にその論理規模(入力端子数×出
力端子数)が大きくてもその構成スイッチ素子数の増大
を最小限に抑えることができるため、ゲートアレイの敷
詰めゲート領域にクロスポイントスイッチ回路を構成す
ることが容易である。このときのクロスポイントスイッ
チ回路におけるセレクタを、上記敷詰めゲート領域がC
MOS基本セルのセル列から成るとき、上記CMOS基
本セルの複数のセル列から成る所定の矩形領域にレイア
ウトする事が、敷詰めゲート領域を利用するときの面積
効率を向上させる。
【0016】
【作用】上記した手段によれば、2分岐を主体とするツ
リー構造のスイッチアレイは、階層的に経路を選択する
トランジスタがスイッチマトリクスにおけるスイッチト
ランジスタとデコーダトランジスタとの双方の機能を実
現し、且つ、階層的に多段接続されたそのような経路選
択トランジスタの数は上位階層ほど少なくされ、これが
クロスポイントスイッチ回路におけるスイッチアレイの
論理的な規模に比べてその物理的な回路規模を縮小す
る。
【0017】サブドライバは、2分岐を主体とするツリ
ー構造故にアドレスバッファが駆動すべき負荷の相違を
見かけ上均一化して動作速度を向上させる。
【0018】アドレス信号多重化回路はその多重化数に
応じてセレクタの数を低減し、クロスポイントスイッチ
回路の物理的な規模をさらに減少させる。
【0019】トランスファゲート及びラッチ回路は擬似
ACテスト機能を実現する。特に、外部から供給される
クロック信号の所定の変化から所定のパルス幅を持つ内
部クロックを形成するクロック発生部は、クロスポイン
トスイッチ回路それ自体で擬似ACテストを支援する。
すなわち、テスト動作の遅いテスタを用いる場合にもラ
ッチ回路の制御は当該クロック発生部内蔵の遅延回路の
遅延時間で決定され、テスト動作周波数に依存すること
なくクロスポイントスイッチ回路のAC特性を保証す
る。
【0020】
【実施例】図20には非同期転送モードにて実現される
B−ISDNに従った一例システムであるSONETの
システム構成図が示される。同図に示されるシステム
は、多数のADM(Add Drop Multipl
exer)100を介して光ファイバーケーブルOLで
成る網が構成され、網は中央センタ101のディジタル
交換機102とADM100を介して接続される。ディ
ジタル交換機102は図示しない別の中央センタのディ
ジタル交換機などに接続される。上記各ADM100は
本発明の一実施例に係るクロスポイントスイッチ回路が
適用される。
【0021】図21には上記ADM100の一例が示さ
れる。同図において30はスイッチ部であり、例えば6
00Mb(メガビット)/s(second)のデータ
速度の信号8チャネルを切り換えられる。すなわち60
0Mb/sで8×8の機能(8個の各入力は8個の内の
任意の出力に接続可能)、また150Mb/sで32×
32の機能を持つ。ここに33は受信側回線インタフェ
ース、34は送信側回線インタフェース、35は受信側
低速インタフェース、36は送信側低速インタフェース
であり、マルチプレクサ31は受信側低速インタフェー
ス35からの低速入力を多重化してスイッチ部30に供
給し、デマルチプレクサ32はスイッチ部30からの出
力を分離して上記送信側低速インタフェース36に供給
する。このように構成されたADM100により、信号
の送入、分岐若しくは分配が可能にされる。
【0022】上記ADM100のスイッチ部30に本発
明に係るクロスポイントスイッチ回路が適用される。そ
の主な機能は例えば4×4のスイッチの場合、各4つの
出力には、各4つの入力信号のうちから1つが自由に接
続される。したがって、例えば1つの入力の信号が各4
つの出力へ同時に接続されることも可能にされなければ
ならない。
【0023】図1には本発明に係るクロスポイントスイ
ッチ回路の一実施例回路図が示されている。この図の場
合の例では、入力端子と出力端子の構成は4×4(入力
端子がI1〜I4、出力端子がO1〜O4)である。1
がスイッチ及びデコーダ一体部、2がアドレスバッファ
部である。スイッチ及びデコーダ一体部1は出力端子O
1〜O4に対応する4個のスイッチ及びデコーダ単位ユ
ニット1(1)〜1(4)にて構成され、各スイッチ及
びデコーダ単位ユニット1(1)〜1(4)には入力端
子I1〜I4が共通接続される。アドレスバッファ部2
は各スイッチ及びデコーダ単位ユニット10〜11に対
応するアドレスバッファ単位ユニット2(1)〜2
(4)にて構成され、夫々には2進のアドレス信号A1
(1),A2(1),A1(2),A2(2),A1
(3),A2(3),A1(4),A2(4)が供給さ
れ、夫々が相補アドレス信号とされ、相補アドレス信号
は対応するスイッチ及びデコーダ単位ユニット1(1)
〜1(4)に供給される。各スイッチ及びデコーダ単位
ユニット1(1)〜1(4)ではスイッチ及びデコーダ
兼用のNMOS(Nチャンネル型MOS)トランジスタ
Q1(1)〜Q6(1),…,Q1(4)〜Q6(4)
が、アドレス2進桁数の多段接続構成とされて、デコー
ドすべき対応相補アドレス信号を受けてオン・オフさ
れ、出力端子に対して入力端子が選択されるように信号
パスが形成される。
【0024】上記スイッチ及びデコーダ単位ユニット1
(1)〜1(4)は、複数個の入力端子から一つの出力
端子に至る2分岐を主体としたツリー構造のスイッチア
レイの一例とされる。上記アドレスバッファ単位ユニッ
ト2(1)〜2(4)は、上記スイッチアレイにおける
同一階層のスイッチ素子を1ビットの相補アドレス信号
にて相補的にスイッチ動作させるための複数ビットの相
補アドレス信号を入力アドレス信号に基づいて形成する
アドレスバッファの一例とされる。相互に対応されるス
イッチ及びデコーダ単位ユニットとアドレスバッファ単
位ユニットはセレクタを構成することになる。
【0025】上記一つのアドレスバッファ単位ユニット
2(1)は、直列2段のインバータIV1(1),IN
V3(1)と、双方のインバータの結合点に入力が結合
されたノンインバータNI1(1)によってアドレス信
号A2(1)の内部相補アドレス信号を形成し、直列2
段のインバータIV2(1),INV4(1)と、双方
のインバータの結合点に入力が結合されたノンインバー
タNI2(1)によってアドレス信号A1(1)の内部
相補アドレス信号を形成する。その他のアドレスバッフ
ァ単位ユニット2(2)〜2(4)も同様に構成され
る。
【0026】上記一つのスイッチ及びデコーダ単位ユニ
ット1(1)は、出力端子O1から入力端子I1〜I4
に至る2分岐の各経路に経路選択用のNMOSトランジ
スタQ1(1)Q6(1)が配置され、上位側より同一
階層のトランジスタのゲートには対応する内部相補アド
レス信号が供給されて構成される。例えば、アドレス信
号A2(1),A1(1)が1,0のとき、Q6(1)
のゲートに“H”レベル(ハイレベルとも記す)、Q5
(1)のゲートに“L”レベル(ローレベルとも記す)
が印加され、Q6(1)がオン、Q5(1)はオフす
る。更にQ2(1)とQ4(1)のゲートに“L”レベ
ルが印加され、Q1(1)とQ3(1)のゲートに
“H”レベルが印加されるので、Q1(1)とQ3
(1)がオン、Q2(1)とQ4(1)はオフする。従
って出力端子O1においては出力と入力が通じる信号パ
スはQ6(1)とQ3(1)の経路であり、入力端子の
うちI3が選択され、I3の信号が出力端子01へ伝達
される。出力の他のポートにおいても同様にアドレス信
号により信号パスが設定されて、自由に入力端子の選択
ができるようにされる。
【0027】図2には別の実施例に係るクロスポイント
スイッチの回路図が示される。図1の実施例に対してデ
ータの入力バッファ部3と出力バッファ部4を付加した
点が相違され、その他の構成は図1の実施例と同じであ
るのでその詳細な説明は省略する。本実施例によれば、
入出力のファンイン・ファンアウトを基準化できる。換
言すれば、クロスポイントスイッチ回路の出力の駆動能
力と必要な入力レベルとを規定することができる。
【0028】図3にはさらに別の実施例に係るクロスポ
イントスイッチ回路の回路図が示される。図2の実施例
に対してスイッチ及びデコーダ一体部1のスイッチをN
MOSトランスファゲートからCMOSトランスファゲ
ートに置き換えた点が相違され、その他の構成は上記実
施例と同じである。この構成を採用すると、スイッチ及
びデコーダ一体部1のスイッチ素子の数は上記実施例に
比べて2倍になるが、伝達される信号レベルがNMOS
トランジスタのしきい値電圧に応じて降下する点を改善
できて、トランスファスゲートのイッチ特性を向上させ
ることができる。本実施例のように4×4程度の規模の
クロスポイントスイッチ回路の場合にはCMOSトラン
スファゲートにすることによる素子数の増加は半導体集
積回路全体では左程ではない。但し、スイッチ及びデコ
ーダ一体部1の規模が大きいときは素子の倍増は物理的
回路規模の増大と言う点において無視し得なくなること
が予想される。その場合には製造プロセスに0.3μm
ルールを採用するなど、高集積化を考慮しなければなら
ないこともあり、ゲートアレイのような形式で容易に大
規模なクロスポイントスイッチ回路を構成することが制
限されることが予想される。
【0029】図4には本発明の他の実施例に係るクロス
ポイントスイッチ回路の回路図が示される。今まで説明
した実施例では入力と出力の数が同数であったが、本実
施例では、入力が4個に対して出力が2個とされ、出力
の数が入力の数の1/2とされる。この構成において図
1や図2と同様の4×4と同等の機能を実現するため
に、アドレス信号は入力端子の入力信号周波数の2倍で
動作(変化)され、出力は入力信号の2倍の周波数で多
重化された形式を以って出力される。本実施例では、ス
イッチ動作とともに多重化動作も加わるので、スイッチ
及びデコーダ一体部1は2個の単位ユニット1(1),
1(2)から構成すれば済み、その分だけ更に素子数を
減らしてクロスポイントスイッチ回路を構成することが
できる。
【0030】本実施例では、アドレスバッファ2の前段
にはアドレス信号多重化回路5が設けられている。この
アドレス信号多重化回路5は上記実施例におけるアドレ
ス信号A1(1),A2(1),A1(2),A2
(2),A1(3),A2(3),A1(4),A2
(4)による入力端子I1〜I4の選択と互換性を持た
せる構成とされる。即ち、アドレス信号多重化回路5は
アドレスバッファ単位ユニット2(1),2(2)の入
力に対応して多重化単位ユニット5(a)〜5(d)が
設けられ、それぞれの出力A1〔1〕,A2〔1〕,A
1〔2〕,A2〔2〕が対応するアドレスバッファ単位
ユニットの入力に結合される。例えば多重化単位ユニッ
ト5aはアドレスA1(1)とA1(2)とを多重化す
るものであり、例えばその一例論理構成は図6に示され
る。その論理はマルチプレクス論理を基本とし、切り換
えパルスMPのハイレベル期間にアドレスA1(1)を
通過させるアンドゲートAND1、切り換えパルスMP
のローレベル期間にアドレスA1(2)を通過させるア
ンドゲートAND2、双方のアンドゲートAND1,A
ND2の論理和をとって多重化アドレス信号A1〔1〕
を出力するオアゲートOR1にて構成される。上記切り
換えパルスMPはアドレス信号A1(1),A2
(1),A1(2),A2(2),A1(3),A2
(3),A1(4),A2(4)の周波数に対して2倍
の周波数を以て変化される。したがって、当該多重化単
位ユニット5aの多重化アドレス信号A1〔1〕はアド
レス信号A1(1),A1(2)をその2倍の周波数を
以て多重化する。多重化されるアドレス信号の組み合わ
せからも明らかなように、当該多重化単位ユニット5a
の多重化アドレス信号A1〔1〕を受けるアドレスバッ
ファ単位ユニット2(1)及びスイッチ及びでコード単
位ユニット1(1)の回路部分は、図1におけるアドレ
スA1(1)を受けるアドレスバッファ単位ユニット2
(1)及びスイッチ及びでコード単位ユニット1(1)
の回路部分と、アドレスA1(2)を受けるアドレスバ
ッファ単位ユニット2(2)及びスイッチ及びでコード
単位ユニット1(2)の回路部分との機能を兼用するこ
とになる。多重化単位ユニット5bはアドレスA2
(1)とA2(2)とを多重化し、多重化単位ユニット
5cはアドレスA1(3)とA1(4)とを多重化し、
多重化単位ユニット5dはアドレスA2(3)とA2
(4)とを多重化して、同様の機能を実現する。
【0031】図5には図4に示されるクロスポイントス
イッチ回路の一例タイミングチャートが示される。同図
において多重化アドレス信号A1〔1〕,A2〔1〕は
切り換えパルスMPのレベル変化に同期して順次入力端
子I3,I2,I1,I3…を選択する情報とされとさ
れ、多重化アドレス信号A1〔2〕,A2〔2〕は切り
換えパルスMPのレベル変化に同期して順次入力端子I
4,I1,I2,I4…を選択する情報とされている。
このときの出力端子O1にはI3,I2,I1,I3…
からの入力が、出力端子O2にはI4,I1,I2,I
4…からの入力が順次切り換えパルスMPの変化に同期
して出力される。この図から明らかなように、本実施例
においても上記実施例と同様に入力端子I1〜I4は任
意のアドレスの指定に従って所要の出力端子O1,O
2,O3,O4に接続されることが理解されよう。特に
この実施例では、入力信号の動作周波数に対してアドレ
ス周波数は2倍になっており、入力信号の1サイクルの
間に出力信号は2サイクルで出力される。スイッチ及び
デコーダ一体部の回路規模縮小と共に時分割多重化も併
せて実現されている。なお、図4の実施例において時分
割多重化された出力を逆多重化するには上記切り換えパ
ルスに同期動作される図示しないがデマルチプレクサ及
びラッチ回路を用いればよい。
【0032】図7にはアドレスバッファの分散駆動に関
する実施例が示される。図1〜図4の実施例からも明ら
かなように、スイッチ及びでコーダ一体部1に含まれる
スイッチは2分岐(ツリー状)の構成とされるので、入
力端子数が増えるそれぞれの単位スイッチ及びデコード
単位ユニットにおいてアドレス下位側ビットのアドレス
バッファの負荷は非常に重くなる。例えば一つのスイッ
チ及びデコーダ単位ユニットに供給される相補アドレス
信号が例えば7ビットの場合、NMOSトランスファゲ
ートのスイッチトランジスタは7段(7階層)構造とな
り、アドレス最上位ビットの相補アドレス線はそれぞれ
1個のスイッチMOSトランジスタを駆動すればよい
が、下位側になるに従って駆動すべきスイッチMOSト
ランジスタの数が増え、第7ビット目のアドレス最下位
ビットの相補アドレス線は夫々最大で64個のスイッチ
MOSトランジスタを駆動しなければならない。そこ
で、図7に示されるようにA1(j)で代表されるよう
な下位アドレス側に関してはアドレスバッファの負荷を
分散する。例えば同図に示されるようにアドレスバッフ
ァ単位ユニットの終段インバータIV10及び終段ノン
インバータNI11の出力に結合されたアドレス線を適
宜の複数箇所で分岐させ、各分岐基端部にノンインバー
タのようなサブドライバNI12を配置し、サブドライ
バNI12の出力に所定個数づつスイッチMOSトラン
ジスタのゲートを接続する。これにより、下位側の相補
アドレス信号によるスイッチMOSトランジスタの選択
動作が高速化されるので、大きなマトリックス(入出力
端子数の多いクロスポイントスイッチ回路)を構成した
場合でも、全体としての選択動作の高速化を実現でき
る。
【0033】図8には本発明に係るクロスポイントスイ
ッチ回路のさらに別の実施例が示される。本実施例は、
出力バッファ部4のCMOS出力バッファに帰還用PM
OS(Pチャンネル型MOS)トランジスタQpを設け
てある点が図2の実施例と相違される。PMOSトラン
ジスタQpはそのソースが電源端子VDDに、ドレイン
がCMOS出力バッファObuffの入力に、ゲートが
CMOS出力バッファObuffの入力に結合される。
これにより、スイッチ及びデコーダ一体部1において出
力バッファに伝達される、NMOSトランジスタのしき
い電圧分分だけ電圧降下した“H”レベルの信号を電源
電圧VDDまで引き上げることができる。
【0034】CMOS−LSIにおいては製品テスト
時、非動作状態でリーク電流テスト(IDDSテストと
も記す)が行われる。IDDSテストとは非動作時に流
れるLSIの電源電流(実質的にはリーク電流)を測定
するテストである。CMOS−LSIでは本来、非動作
時には電源電流は流れないから、もし製造時に欠陥が生
じているとリーク電流が大きくなり、それを検出するこ
とによってそのようなLSIを不良品として排除するこ
とができるため、LSIの信頼度を確保する上で重要な
テストである。クロスポイントスイッチ回路をCMOS
−LSIとして構成するとき、スイッチ及びデコーダ一
体部1のトランスファゲートをNMOSトランジスタで
構成したときは、NMOSトランジスタのドレイン−ソ
ース間にはそのしきい電圧分の電位降下が起きるので、
その信号を受けるCMOSインバータ(本実施例に従え
ばCMOS出力バッファObuff)では、IDDSテ
ストを行うと、もし信号が“H”レベルの場合、上記帰
還用のPMOSトランジスタQpを用いなければ過大な
リーク電流が流れることになって、IDDSテストを不
能にする。図8のようなCMOSインバータで構成され
るような出力バッファObuffにおいてプルアップさ
れた帰還用PMOSトランジスタQpは、スイッチアレ
イがNMOSトランジスタから成るクロスポイントスイ
ッチ回路には必須の回路とされる。
【0035】図9には本発明の更に別の実施例が示され
る。この実施例は図8の出力バッファ部4に代えて、I
DDテスト時における出力バッファ部での貫通電流防止
と擬似ACテスト機能を実現するための、出力バッファ
部7及びクロック発生部6を備える。
【0036】出力バッファ部7は出力端子O1〜O4に
一対一対応される出力単位ユニット7(1)〜7(4)
にて構成され、代表的にその詳細が示される出力単位ユ
ニット7(1)は、スイッチ及びデコーダ単位ユニット
1(1)の出力に結合されたCMOSトランスファゲー
トTG1、出力端子O1に結合されたCMOSインバー
タから成る出力バッファIN51(1)、出力バッファ
IN51(1)の入力とCMOSトランスファゲートT
G1の出力との間に配置されたラッチ回路LATにて構
成される。ラッチ回路LATは、逆並列接続されたCM
OSインバータIV50(1)及びIV52(1)とC
MOSトランスファゲートTG2から構成される。
【0037】クロック発生部6は、クロック信号CLK
とIDDテストイネーブル信号IDEN*(記号*はそ
れが付加された信号がローアクティブの信号であること
を意味する)を受けて、上記トランスファゲートTG
1,TG2をスイッチ制御する。クロック信号CLKは
2入力アンドゲートAND3の一方の入力に供給される
と共に、遅延素子としての直列5段のCMOSインバー
タIV62〜IV68を介してアンドゲートAND3の
他方の入力に供給される。これによってアンドゲートA
ND3はクロック信号CLKが変化されると、そのハイ
レベルへの変化に同期してハイレベルにされ、直列5段
のCMOSインバータIV62〜IV68によって規定
される遅延時間を待ってローレベルに変化される。アン
ドゲートAND3の出力(内部クロックの一例)は、2
入力ノアゲートNR1の一方の入力に供給されるIDD
テストイネーブル信号IDEN*のローレベル期間にお
いて当該ノアゲートNR1の反転通過が許容される。I
DDテストイネーブル信号IDEN*のハイレベル期間
において当該ノアゲートNR1の出力はローレベル固定
とされる。ノアゲートNR1の出力は、CMOSトラン
スファゲートTG1に含まれるPMOSトランジスタQ
7(1)とCMOSトランスファゲートTG2に含まれ
るNMOSトランジスタQ10(1)のそれぞれのゲー
トにノンインバータNI60を介して供給され、また、
CMOSトランスファゲートTG1に含まれるNMOS
トランジスタQ9(1)とCMOSトランスファゲート
TG2に含まれるPMOSトランジスタQ8(1)のそ
れぞれのゲートにインバータIV61を介して供給さ
れ、双方のトランスファゲートTG1,TG2はノアゲ
ートNR1の出力レベルに従って相補的にスイッチ動作
される。
【0038】上記出力バッファ部7及びクロック発生部
6を用いたIDDテスト時の動作を説明する。IDDテ
スト時においてIDDテストイネーブル信号IDEN*
は“L”レベル、クロック信号CLKは変化されず”
H”レベルまたは”L”レベルに固定される。この状態
においてアンドゲートAND3の出力は“L”レベルと
なり、ノアゲートNR1の出力は“H”レベル、インバ
ータIV61の出力は、“L”レベル、ノンインバータ
NI60の出力は“H”レベルとされる。これによっ
て、出力バッファ部7のCMOSトランスファゲートT
G1がオフ状態にされて、スイッチ及びデコーダ一体部
1と出力バッファ部7が分離され、これに同期してラッ
チ回路LATのCMOSトランスファゲートTG2がオ
ン状態にされるので、そのときスイッチ及びデコーダ一
体部1から与えられていた中間レベルは電源電圧VDD
又は接地電位GNDに強制され、欠陥がない限り出力バ
ッファ部7ではスタンバイ時にリーク電流が一切流れな
いようにされる。
【0039】次に出力バッファ部7及びクロック発生部
6における疑似ACテスト機能を説明する。高いテスト
動作周波数を以て回路をアナログ的にテストしてそのA
C特性をテストするアナログテスタは高価である。低い
テスト動作周波数でテストを行えばその目的を達するこ
とができるようなDCファンクションテストなどに専ら
用いられるディジタルテスタはその動作速度などの点に
おいてアナログテスタよりも安価である。擬似ACテス
ト機能とは、そのようなディジタルテスタを用いてある
程度のAC特性をテストできるようにする、被テストデ
バイス側のテスト支援機能である。
【0040】擬似ACテスト機能を用いたテストを行う
場合には、図10に示されるように、IDEN*は
“L”レベルとされ、クロック信号CLKはアドレス信
号の変化に同期した周波数のクロック信号とされる。そ
うすると、クロック信号CLKの周波数とは独立にイン
バータIV62〜IV68の遅延時間に相当するパルス
幅を持つ内部発生のパルスがアンドゲートAND1で生
成される。アンドゲートAND1の出力がハイレベルに
される期間においてトランスファゲートTG1はオン状
態、トランスファゲートTG2はオフ状態にされ、その
ときのスイッチ及びデコーダ一体部1の出力は出力バッ
ファ部7に伝達される。そして、アンドゲートAND1
の出力がローレベルに反転されると、トランスファゲー
トTG1がカット・オフ状態にされ、それまでの間に出
力バッファ部7に伝達された信号がラッチ回路LATに
ラッチされ、それ以降スイッチ及びデコーダ一体部1の
出力が変化されても出力端子O1〜O4はその影響を受
けないようにされる。したがって、インバータIV62
〜IV68による遅延時間を、アドレスを変化させてか
ら出力バッファ部7にデータが伝達されるまでの許容上
限時間もしくはその近傍の時間に設定しておけば、ラッ
チされたデータが期待値に一致しているか否かを以てク
ロスポイントスイッチ回路のAC特性を判定することが
可能になる。例えばスイッチ及びデコーダ一体部1に含
まれる特定のNMOSトランジスタにgm(相互コンダ
クタンス)が特に小さくなるような不良が存在する場合
(例えばゲートのパターン不良などによって発生す
る)、そのNMOSトランジスタを含む信号伝達経路が
アドレス信号にて選ばれると、信号伝達が著しく遅延す
る。したがって、そのような不良は、一定の時間内に正
規のデータがラッチ回路LATにラッチされないことを
以て検出することができる。これにより、テスタによる
テスト時、たとえクロックに同期されるテスト動作の速
度が遅くても、内部パルス幅(アンドゲートAND3の
ハイレベル期間)以上に入力端子からの信号伝達が遅れ
るとトランスファゲートTG1がオフしてしまい、この
ことにより、入力信号の遅延時間を選別テストできるの
で、そのような意味でのクロスポイントスイッチ回路の
AC特性のテストを、チップに内蔵した簡単な回路によ
って支援する事ができる。換言すれば、AC特性保証機
能をLSIチップそれ自体に持たせることができる。図
9においては直列インバータIV62〜IV68の段数
によって上記遅延時間を設定したが、例えば、実際のス
イッチ及びデコーダ一体部1の信号パスと等価なダミー
回路を採用し、その実際の伝播遅延時間をもって上記遅
延時間に代えることができ、プロセスばらつきの影響を
受けずに上記遅延時間を正確に実現できる。
【0041】実使用時にはIDEN*は“H”レベルと
され、トランスファゲートTG1はオン、トランスファ
ゲートTG2はオフとされ、出力バッファ部7はスルー
モードで動作される。尚、実使用時においても擬似AC
テスト時と同様に動作させて利用することも可能であ
る。専らそのような利用だけを考えるならば、アンドゲ
ートAND3の出力をインバータIV61,ノンインバ
ータNI60の入力に供給すればよい。
【0042】図11にはクロスポイントスイッチ回路セ
ルのレイアウトに関する実施例が示される。9はクロス
ポイントスイッチ回路セルであり、その上層には例えば
アルミニウム第3層目の配線を用いた配線(アドレスス
ルー配線)8が施される。すなわち上記実施例における
アドレス信号A1(1),A2(1),A1(2),A
2(2),A1(3),A2(3),A1(4),A2
(4)のような2進のアドレス信号の配線層をクロスポ
イントスイッチ回路セル9の上をスルーで並設する。通
常上記実施例に示されるようなクロスポイントスイッチ
回路はチップ上に複数個並べられて並列動作されるよう
に利用される。例えば1チャネルが8ビットのときクロ
スポイントスイッチ回路は深さ方向に8面存在される状
態を想定されたい。そのときのアドレス信号は各クロス
ポイントスイッチ回路に共通に供給されることになる。
したがって、共通のアドレス線をセル9の上空に配置し
ておくと、並べたセル間の短い距離を結ぶだけで、セル
9の周辺を迂回することなくアドレス信号を各セル7に
供給でき、高密度に実装が可能となる。クロスポイント
スイッチ回路をマクロセルもしくはスタンダードセルと
してライブラリ化しておく場合には、上記アドレススル
ー配線8も当該クロスポイントスイッチ回路の一部とし
てライブラリに登録されることになる。尚、A1
(1)′,A2(1)′,A1(2)′,A2
(2)′,A1(3)′,A2(3)′,A1
(4)′,A2(4)′で示される各端子はアドレスス
ルー配線8の端部を示すものと理解されたい。
【0043】図12にはそのようなレイアウトを採用し
たチップ全体のレイアウト図が示される。図12におい
てクロスポイントスイッチ回路セルは14〜17で示さ
れるように4個並設されている。8は例えばアルミニウ
ム第3層目を用いた共通のアドレススルー線、CHPは
チップ、10はボンディングパッド、11は入出力バッ
ファ部、12は敷詰めゲート領域、13は敷詰めゲート
領域の拡大図でありトランジスタが敷詰められている。
図12においてアドレススルー配線8以外の配線は図示
が省略されているが、実際には同一アドレス信号が供給
されるべきアドレススルー配線8は共通接続されてアド
レス入力バッファに割り当てられる入出力バッファ部1
1に結合される。尚、13で示される敷詰めゲート領域
の拡大図において、130で示される破線の矩形領域は
4個のPMPSトランジスタと4個のNMOSトランジ
スタから成る基本セルを構成する。クロスポイントスイ
ッチ回路セル14〜17はそのような基本セルにて構成
することも可能であり、また、予じめライブラリにマク
ロセルとして用意されたパターンを埋め込んで構成する
ことも可能である。前者による半導体集積回路を単なる
ゲートアレイを呼ぶ場合には、後者はエンベデッドアレ
イ(Embedded Array)と呼ぶことができ
る。
【0044】図13にはクロスポイントスイッチ回路を
構成する半導体集積回路の別のレイアウトに関する実施
例が示される。18〜21はクロスポイントスイッチ回
路セルであり、各セルには第4層目アルミニウム配線を
用いてセル渡りのスルー配線22を配線チャネルに実装
している。配線22は例えば敷詰めゲート領域12に構
成された別の回路への配線をクロスポイントスイッチ回
路を迂回させずに敷設できるという点において高集積化
に寄与する。
【0045】図14にはクロスポイントスイッチ回路を
構成する半導体集積回路のさらに別のレイアウトに関す
る実施例が示される。これは、図9で説明した実施例の
クロック発生部6においてIDDSテストを可能とする
ためのIDDSイネーブル信号IDDS*のための外部
端子を設けた例である。各セルのIDDSイネーブル信
号IDDS*の入力区端子は、相互に共通接続され、所
定の入出力バッファ部11を通過させた配線23により
所定のボンディングパッド10を通してLSIの外部端
子へ導かれる。これによりLSI外部よりIDDSテス
ト及び疑似ACテストを簡単に制御することができる。
【0046】図15にはLSIのアルミニウム配線層の
断面構造の一例が示されている。図において下地の拡散
層は図示が省略されている。AL1は第1層目のアルミ
ニウム配線、AL2は第2層目のアルミニウム配線、A
L3は第3層目のアルミニウム配線、AL4は第4層目
のアルミニウム配線である。24及び25は層間絶縁
膜、26は保護膜である。ここにAL1とAL3は紙面
の表裏方向に延在し、AL2とAL4は紙面の左右方向
に延在される。
【0047】次に敷詰めゲート領域の上記基本セル13
0を用いてクロスポイントスイッチ回路特にそのスイッ
チ及びデコーダ一体部1を構成する場合の具体的なレイ
アウトを図16及び図17を参照しながら説明する。図
16には4入力(IN1〜IN4)1出力(OUT)の
2階層ツリー構造スイッチ回路の単位ユニットが示され
る。この回路はNMOSトランジスタ6個を用いた2段
積のセレクタ回路であり、以下単にセレクタ4−1SE
LSWとも記す。このセレクタ4−1SELSWは図に
示すように、基本セル130を2個用いて構成できる。
PMOSトランジスタは利用されていない。
【0048】図17には入力×出力が96×96の規模
のクロスポイントスイッチ回路におけるスイッチ及びデ
コーダ一体部1のセルレイアウト例が示されている。同
図においてO1〜O96は出力端子、I1〜I96は入
力端子である。この規模のクロスポイントスイッチ回路
においては、一つの出力に対応されるスイッチ及びデコ
ーダ単位ユニットSD−Uは96段必要とされ、各段は
7ビットの相補アドレス信号a1〜a7(a1,…,a
7は夫々反転及び非反転の2本の相補信号を意味する)
によって選択動作が行われなければならない。すなわち
夫々のスイッチ及びデコーダ単位ユニットSD−Uは7
階層の2分岐スイッチアレイによって構成され、階層毎
に1ビットの相補アドレス信号を受けてスイッチ動作さ
れる。図17においてこれを満足するためのレイアウト
として、各スイッチ及びデコーダ単位ユニットSD−U
を、66個の基本セル130の列を用いて構成する。す
なわち、66個の基本セル列の左右に夫々12個のセレ
クタ4−1SELSWを構成して相補アドレスa7,a
6でスイッチ制御される下位側第1及び第2段目のスイ
ッチアレイを実現し、残りの中央部の18個の基本セル
にて9個のセレクタ4−1SELSWを構成して相補ア
ドレスa1〜a5でスイッチ制御される上層側のスイッ
チアレイを実現する。
【0049】図18には図1の基本的な回路構成を以て
96×96の大規模なクロスポイントスイッチ回路を図
17で説明したレイアウト形式のゲートアレイで構成し
た場合と図19に示されるような回路形式を以て同規模
のクロスポイントスイッチ回路を構成した場合とにおけ
る全所要トランジスタ数とチップ専有面積との比較例が
示される。図19の回路は公知ではないが本実施例との
比較例として挙げるものである。図19において41は
図1のスイッチ及びデコーダ一体部1に対応される回
路、42は図1のアドレスバッファ部2に対応される回
路である。図19に示されるスイッチ及びデコーダ部4
1は、入力信号線と出力信号線との各交点部分にNMO
Sトランジスタ410が配置され、どのNMOSトラン
ジスタ410をオン状態にすべきかをアドレスバッファ
部42からの相補アドレス信号に従ってデコードするデ
コーダが配置されている。デコーダは、夫々のNMOS
トランジスタ410に一対一対応で設けられたインバー
タ411及びナンドゲート412にて構成され、極めて
多くのMOSトランジスタを費やしている。双方を比較
した結果、本実施例に係るクロスポイントスイッチ回路
は図19のような回路構成に比べ、トランジスタ数で1
/6、面積で1/3と大幅に優れた特性を得ることが明
らかにされた。したがって、図1に代表されるような回
路構成をスイッチ及びデコーダ一体部に採用すること
は、回路規模が大きければ大きいほど面積効率を向上さ
れることができる。換言すれば、0.3μmというよう
なデバイスプロセス技術を用いたのと同様のチップサイ
ズを保ちつつ0.8μmのようなデバイスプロセス技術
に係るゲートアレイのような手法にて同一機能のクロス
ポイントスイッチ回路を実現できる。このことは、クロ
スポイントスイッチ回路用の半導体集積回路のコストを
著しく低減させる。
【0050】上記実施例によれば以下の効果がある。 (1)2分岐を主体とするツリー構造のスイッチアレイ
から成るスイッチ及びデコーダ一体部1は、階層的に経
路を選択するNMOSトランジスタが、図19のような
スイッチマトリクスにおけるスイッチトランジスタとデ
コーダトランジスタとの双方の機能を実現し、且つ、階
層的に多段接続されたそのような経路選択用NMOSト
ランジスタの数は上位階層ほど少なくされ、これによ
り、クロスポイントスイッチ回路におけるスイッチアレ
イの論理的な規模に比べてその物理的な回路規模を縮小
することができる。例えば、各セレクタのアドレスが7
ビットとされる規模の96×96クロスポイントスイッ
チ回路においてスイッチ部を図19のようなスイッチマ
トリクス構成に比べて1/6程度のトランジスタ数で構
成でき、素子数低減の効果が大きい。またゲートアレイ
上に実現した場合でもチップ上に占める面積が1/3と
なり大幅に高集積化できる。
【0051】(2)アドレス信号多重化回路5はその多
重化数に応じてセレクタの数を低減し、クロスポイント
スイッチ回路の物理的な規模をさらに減少させることが
できる。
【0052】(3)経路選択用トランジスタとしてNM
OSトランジスタを採用することにより、スタスイッチ
アレイを構成するスイッチ素子の素子数最大限に減少さ
せることができる。
【0053】(4)スイッチアレイはツリー構造故にア
ドレスバッファが駆動すべき負荷は下位側階層ほど大き
くされる。アドレスバッファの相補アドレス信号線の負
荷が相対的に重いものにはサブドライバNI12を介在
させることにより、そのような駆動負荷の相違による選
択動作の遅れを解消することができる。換言すれば、ア
ドレスバッファが駆動すべき負荷の相違を見かけ上均一
化して動作速度を向上させることができる。
【0054】(5)CMOS出力バッファObuffを
設けた場合におけるスタンバイ状態でのリーク電流テス
トを考慮すると、出力バッファObuffを正帰還制御
するPMOSトランジスタQpをプルアップ接続するこ
とにより、出力バッファObuffに貫通電流が流れる
ことを防止することができ、信頼性に高いリーク電流テ
ストを保証することができるようになる。
【0055】(6)擬似ACテストに際してクロスポイ
ントスイッチ回路が正常に動作するときの動作遅延時間
よりも長い所定時間経過後にラッチ回路LATをラッチ
動作せ、ラッチされたデータが期待値に一致するかを判
定することによってスイッチアレイのAC的な欠陥(例
えばスイッチ素子パターンの欠陥によるgmが異常に小
さくなるような欠陥)を判定できる。外部から供給され
るクロック信号CLKの所定の変化から所定の遅延時間
を経過するまでの期間に応ずるパルス幅を持つ内部クロ
ック(アンドゲートAND3の出力)を形成して、上記
ラッチ回路LAT及びトランスファゲートTG1の動作
制御信号を形成するクロック発生部6を設けることによ
り、そのような動作遅延時間よりも長い所定時間をクロ
スポイントスイッチ回路内部で形成して、それ自体で擬
似ACテストを支援できるようになる。換言すれば、テ
スト動作の遅いテスタを用いる場合にもラッチ回路LA
Tの制御は当該クロック発生部6内蔵の遅延回路(IV
62〜IV68)の遅延時間で決定され、テスト動作周
波数に依存することなくクロスポイントスイッチ回路の
AC特性を保証することができる。
【0056】(7)上記クロスポイントスイッチ回路を
複数個並設して構成される半導体集積回路において、夫
々のクロスポイントスイッチ回路を構成するセルの上層
にスルー配線を並設し、当該スルー配線を、夫々のクロ
スポイントスイッチ回路に共通のアドレス信号を供給す
るためのアドレススルー配線8、又はその他の回路セル
に接続されるセル渡りのスルー配線22として利用する
ことにより、クロスポイントスイッチ回路へのアドレス
信号配線などの配線効率を向上させることができる。
【0057】(8)上記クロスポイントスイッチ回路は
ツリー状のスイッチアレイ故にその論理規模(入力端子
数×出力端子数)が大きくてもその構成スイッチ素子数
の増大を最小限に抑えることができるため、ゲートアレ
イの敷詰めゲート領域にクロスポイントスイッチ回路を
構成することが容易である。このときのクロスポイント
スイッチ回路におけるセレクタを、上記敷詰めゲート領
域がCMOS基本セルのセル列から成るとき、上記CM
OS基本セルの複数のセル列から成る所定の矩形領域に
レイアウトする事が、敷詰めゲート領域を利用するとき
の面積効率を向上させることができる。
【0058】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づいて具体的に説明したが、本発明はそれに限定
されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲におい
て種々変更可能であることは言うまでもない。例えば、
スイッチアレイは完全に2分岐構造である必要はなく、
入力端子の数が2のべき乗以外の場合には上位側階層に
おいて部分的に2分岐でない部分が存在することにな
る。
【0059】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば下記
の通りである。
【0060】すなわち、クロスポイントスイッチ回路の
スイッチアレイの規模を大きくしても、素子数の増大を
格段に少なく抑えることができ、例えば伝送システムに
おいて、クロスポイントスイッチ回路を含む部分の1チ
ップ化を可能にすることができる。しかも、ゲートアレ
イを利用できる程度の素子数増大で済むからそのような
半導体集積回路を安価に且つ容易に提供可能にすること
ができる。動作速度が低下してくるが、スイッチアレイ
の規模を大きくしてもサブワードドライバにてあまり動
作速度の劣化を起こさないクロスポイントスイッチ回路
を実現できる。アドレス信号の多重化を採用することに
より、多重化数に応じてスイッチアレイの数を削減で
き、回路の物理的な規模を一層削減することができる。
擬似ACテスト機能によってディジタルテスタのような
ファンクションテスト向きのテスタを用いてある程度の
AC特性を評価可能にできる。クロスポイントスイッチ
回路の上層にスルー配線を施すことによりクロスポイン
トスイッチ回路を何個か並べて利用するときの配線効率
を向上させることができる。上記効果により、入力信号
数×出力信号数で代表されるようなスイッチアレイの規
模の大型化に最適なクロスポイントスイッチ回路を実現
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るクロスポイントスイッチ回路の一
実施例回路図である。
【図2】データの入力バッファ部と出力バッファ部を追
加したクロスポイントスイッチ回路の一実施例回路図で
ある。
【図3】ツリー状のスイッチをCMOS化したクロスポ
イントスイッチ回路の一実施例回路図である。
【図4】入力アドレスと出力データの時分割多重機能を
追加したクロスポイントスイッチ回路の一実施例回路図
である。
【図5】図4の一例動作タイムチャートである。
【図6】図4におけるアドレス信号多重論理の一例論理
説明図である。
【図7】アドレスバッファの負荷を分散駆動する回路構
成の一例説明図である。
【図8】リーク電流テストを考慮した出力バッファ部を
備えたクロスポイントスイッチ回路の一実施例回路図で
ある。
【図9】疑似ACテスト可能な出力バッファ部を備えた
クロスポイントスイッチ回路の一実施例回路図である。
【図10】擬似ACテスト時の一例動作タイムチャート
である。
【図11】アドレス信号用のスルー配線を上層に設けた
クロスポイントスイッチ回路の一例レイアウト図であ
る。
【図12】アドレス信号用のスルー配線を上層に設けた
複数のクロスポイントスイッチ回路セルを搭載して成る
半導体集積回路の一例チップレイアウト図である。
【図13】アドレス信号用スルー配線と共にセル渡りの
ためのスルー配線を施した複数のクロスポイントスイッ
チ回路セルを搭載して成る半導体集積回路の一例チップ
レイアウト図である。
【図14】信号IDDS*を半導体集積回路の外部端子
に引き出す様子を示した一例レイアウト図である。
【図15】アルミニウム多層配線構造の一例断面図であ
る。
【図16】クロスポイントスイッチ回路の構成要素であ
る4入力1出力セレクタをゲートアレイで実現する場合
における単位セルとの対応関係一例説明図である。
【図17】クロスポイントスイッチ回路における96×
96の規模のスイッチ及びデコーダ一体部を基本セルで
構成する場合におけるセル配置の一例説明図である。
【図18】96×96の規模を持つクロスポイントスイ
ッチ回路に図1に代表的に示される回路構成を採用した
場合と図19に代表的に示される回路構成を採用した場
合とにおける所要トランジスタ数とチップ面積との比較
例を示す説明図である。
【図19】スイッチマトリクスをアドレスデコーダの出
力で選択する形式のクロスポイントスイッチ回路の一例
説明図である。
【図20】本発明に係るクロスポイントスイッチ回路の
応用システムの一例であるSONETのシステム構成図
である。
【図21】図20のシステムにおいて本発明に係るクロ
スポイントスイッチ回路が適用されるADMの一例ブロ
ック図である。
【図22】公知のセルフデコーディングマルチプレクサ
の回路図である。
【符号の説明】
I1〜I4 入力端子 O1〜O4 出力端子 A1(1),A2(1),A1(2),A2(2),A
1(3),A2(3),A1(4),A2(4) アド
レス信号 1 スイッチ及びデコーダ一体部 1(1)〜1(4) スイッチ及びデコーダ単位ユニッ
ト(スイッチアレイ) Q1(1)〜Q6(1) スイッチ及びデコーダ単位ユ
ニット構成用NMOSトランジスタ 2 アドレスバッファ部 2(1)〜2(4) アドレスバッファ単位ユニット
(アドレスバッファ) NI12 サブドライバ 3 入力バッファ部 4 出力バッファ部 Obuff CMOS出力バッファ Qp 帰還用PMOSトランジスタ 5 アドレス信号多重化回路 6 クロック発生部 7 疑似ACテスト機能を持つ出力バッファ部 LAT ラッチ回路 TG1 トランスファゲート 8 クロスポイントスイッチ回路セル上に配置したアド
レススルー配線 9 クロスポイントスイッチ回路セル CHP チップ 10 ボンディングパッド 11 入出力バッファ部 12 敷詰めゲート領域 13 敷詰めゲート領域拡大図 14〜17 クロスポイントスイッチ回路セル 18〜21 クロスポイントスイッチ回路セル 22 セル渡りのスルー配線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 芦 賢浩 神奈川県横浜市戸塚区戸塚町216番地 株式会社日立製作所 情報通信事業部内 (56)参考文献 特開 昭60−201795(JP,A) 特開 昭63−76694(JP,A) 特開 平5−199255(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H04Q 3/52 101 H04L 12/28 H04Q 3/00

Claims (9)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 信号入力のための複数個の入力端子と、
    信号出力のための複数個の出力端子とを備えたクロスポ
    イントスイッチ回路を含む半導体集積回路において、 上記クロスポイントスイッチ回路は、 複数の入力端子から一つの出力端子に至る経路に設けら
    れ、経路選択用の複数個のスイッチ素子の組み合わせに
    よって形成された2分岐を主体とするツリー構造のスイ
    ッチアレイから成るスイッチ及びデコーダ単位ユニット
    と、 上記 スイッチアレイにおける同一階層の上記スイッチ素
    子を相補的に動作させるための相補アドレス信号を入力
    アドレス信号に基づいて形成するためのアドレスバッフ
    ァ単位ユニットと、を含んで成るセレクタを備え、 上記セレクタは上記入力端子の個数に等しい数だけ配置
    され、 上記複数個の入力端子は上記各セレクタに共通接続さ
    れ、 上記入力 アドレス信号の論理値の組合せに応じて、所望
    の一つの入力端子を所望の単数若しくは複数の出力端子
    に接続可能にされて成るものであることを特徴とする
    導体集積回路
  2. 【請求項2】 信号入力のための複数個の入力端子と、
    信号出力のための複数個の出力端子とを備えたクロスポ
    イントスイッチ回路を含む半導体集積回路において、 上記クロスポイントスイッチ回路は、 複数の入力端子から一つの出力端子に至る経路に設けら
    れ、経路選択用の複数個のスイッチ素子の組み合わせに
    よって形成された2分岐を主体とするツリー構造のスイ
    ッチアレイから成るスイッチ及びデコーダ単位ユニット
    と、 上記 スイッチアレイにおける同一階層の上記スイッチ素
    子を相補的に動作させるための相補アドレス信号を入力
    アドレス信号に基づいて形成するためのアドレスバッフ
    ァ単位ユニットと、を含むセレクタと、 上記入力端子に供給される信号の信号周波数に対して上
    記正の整数倍された信号周波数を以て、外部から供給さ
    れるアドレス信号を時分割多重化し、対応するセレクタ
    に出力するアドレス信号多重化回路と、を設け、上記セレクタは、上記入力端子の個数に対して正の整数
    分の一だけ配置され、 上記複数個の入力端子は上記各セレクタに共通接続さ
    れ、 上記入力アドレス信号の論理値の組み合わせに応じて、
    所望の一つの入力端子を所望の単数もしくは複数の出力
    端子に接続可能にされて、入力端子からの信号が上記正
    の整数倍された信号周波数を以て多重化されて出力可能
    にされて成るものであることを特徴とする半導体集積回
  3. 【請求項3】 上記スイッチアレイを構成するスイッチ
    素子はNチャンネル型MOSトランジスタであることを
    特徴とする請求項1又は2記載の半導体集積回路
  4. 【請求項4】 上記アドレスバッファの相補アドレス信
    号線の負荷が相対的に重いものにはサブドライバを介在
    させて成るものであることを特徴とする請求項1乃至3
    の何れか1項記載の半導体集積回路
  5. 【請求項5】 上記各セレクタとその出力端子との間に
    CMOS出力バッファを設け、出力バッファを正帰還制
    御するPチャンネル型MOSトランジスタをプルアップ
    接続して成るものであることを特徴とする請求項3又は
    4記載の半導体集積回路
  6. 【請求項6】 上記各セレクタからその出力端子に至る
    出力経路に順次、トランスファゲート、このトランスフ
    ァゲートのターンオフに同期してラッチ動作されるラッ
    チ回路、及び上記ラッチ回路の出力を入力とするCMO
    S出力バッファを配置して成るものであることを特徴と
    する請求項3又は4記載の半導体集積回路
  7. 【請求項7】 外部から供給されるクロック信号の所定
    の変化から所定の遅延時間を経過するまでの期間に応ず
    るパルス幅を持つ内部クロックを形成して、上記ラッチ
    回路及びトランスファゲートの動作制御信号を形成する
    クロック発生部を設け、該クロック発生部は、クロスポ
    イントスイッチ回路の動作遅延時間より長い所定の遅延
    時間を上記所定の遅延時間として形成する遅延回路を含
    んで成るものであることを特徴とする請求項6記載の
    導体集積回路
  8. 【請求項8】 上記クロスポイントスイッチ回路は、1
    個の半導体基板に複数個配置され、上記夫々のクロスポ
    イントスイッチ回路を構成するセルの上層にはスルー配
    線が並設され、当該スルー配線は、夫々のクロスポイン
    トスイッチ回路に共通のアドレス信号を供給するための
    アドレススルー配線、又はその他の回路セルに接続され
    るセル渡りのスルー配線とされて成るものであることを
    特徴とする請求項1乃至7の何れか1項記載の半導体集
    積回路。
  9. 【請求項9】 1個の半導体基板の敷詰めゲート領域に
    上記クロスポイントスイッチ回路が複数個形成されて成
    る半導体集積回路であって、 上記敷詰めゲート領域はCMOS基本セルのセル列が複
    数列配置されてなり、上記CMOS基本セルの複数のセ
    ル列から成る所定の矩形領域に上記クロスポイントスイ
    ッチ回路のセレクタが形成されて成るものであることを
    特徴とする請求項3記載の半導体集積回路。
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