JP3396237B2 - 分光測定装置 - Google Patents
分光測定装置Info
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Description
作をする一次元光検出器または、二次元光検出器を配置
して、分光測定を行なう分光測定装置に関し、特に測定
のダイナミックレンジを広げることに関する。
作を繰り返して行い、積分値を積算し、目標値に達する
までの積分回数を求め、積分回数と、積分値の総和とか
ら、測定値を求めていた。あるいは、飽和しない適当な
時間の積分動作を一定回数繰り返した後、その積分値を
積算して、測定値を求めていた。
ジを得るために、飽和が起こらないように積分時間を十
分小さくするときには、積分動作を繰り返すことや、積
算した値が目標値よりも小さいことを確認することに、
積分時間と同等の多大な時間を要し、測定時間の増大を
もたらす。
は、積分動作を十回繰り返すことが必要である。このた
め、三から四桁のダイナミックレンジの拡大を行なうこ
とは、積分回数の指数的な増加を伴い、測定時間の指数
的な増加を招き、ほとんど不可能であった。また、検出
器に入射する光が極めて弱い場合には、検出器から積分
値もきわめて小さく、積算する際に量子化誤差が発生す
るとともに、周囲からのノイズの影響が無視できなくな
り、SN比が悪くなった。
作を行ない、飽和積分値よりも小さいものの中で最大の
ものを積分値として用い、積分時間が異なるものに付い
ては、積分時間に依って、換算を行ない、測定値とす
る。ダイナミックレンジを拡大するためには、積分時間
を一桁ずつ変えるのが効果的である。
け、(回数ではなく)、積分時間を変化させる。また、
光が弱い場合には、積分時間の長い積分値を用いること
により積分値を大きくする。
は、本発明を説明するブロック図である。分光器1の波
長分散面に配置された一次元光検出器2には、分光器1
内で分光された光が結像する。光検出器2上には、光を
検出する複数の素子が設けられている。分光器1内で分
光された光は、複数の素子上に、波長が異なるように入
射するように構成され、分光測定が行なわれる。本発明
による測定は、次のようにして行なわれる。
arge Injection Device)+PDA(Photo−Diode Array)
等の固体素子が用いられる。分光器1に測定される光を
入射させる。制御回路3はまず、0.01秒だけ光検出
器2の積分動作を行なう。積分動作の後、各素子の積分
値を、記憶回路4に記憶する。続いて、制御回路3は、
0.1秒、1秒、10秒、100秒だけ光検出器2の積
分動作を順次行ない、各素子の各積分時間に対応した積
分値を、記憶回路4に記憶する。全ての積分動作が終了
したら、各素子毎に、予め測定してある、飽和積分値よ
りも小さい積分値の内で、最も大きな積分値を検出回路
5が検出する。検出された積分値を、積分時間を用い
て、単位積分時間当りの積分値に、換算回路6が換算し
測定値とする。
基づいて時間的に制限するシャッター機構を設け、積分
時間のゲートとすることができる。以後、図示しない測
定回路に依って測定値が処理され、分光測定が実施され
る。表1に測定の例を示す。
検出器2の例である。各素子の飽和積分値は、1,00
0,000である。縦の欄には各素子が順番に並べられ
ており、横の欄には各素子の時間による積分値である。
表1に示すように、0.01秒から100秒まで一桁ず
つ異なる積分時間で積分動作を行ない、各積分時間によ
る積分値が得られる。各素子毎に、飽和積分値よりも小
さいものの内で最も大きな積分値を枠で囲ってある。こ
の積分値を積分時間で割ったものを測定値とすると、測
定値は、単位時間当りの積分値となり、積分時間の大小
には無関係で、光の強弱に比例したものになる。
る。
ジは、0から1,000,000まで6桁であるが、測
定値のダイナミックレンジは、0.01から100,0
00,000まで、10桁であることがわかる。制御回
路3は、積分動作を積分時間が短いほうから順次行うよ
うに構成されるとともに、検出回路5は、積分動作の度
毎に積分値を検査し、光検出器2中の全ての素子の積分
値が飽和積分値を越えたら、制御回路3に終了信号を送
るように構成されるとともに、制御回路3は終了信号を
受けたら、測定を終了するように構成するようにしても
よい。
が短いほうから順次行うように構成されるとともに、検
出回路5は、最初の積分値を検査し、各素子の中で最小
の値を与える素子の積分値が、飽和積分値を越える時間
(飽和時間)を算出し、飽和時間を制御回路3に送るよ
うに構成されるとともに、制御回路3は飽和時間よりも
小さい範囲の積分時間でのみ積分動作を行うように構成
することも可能である。
作を10,000回繰り返すことに依っても達成できる
が、その場合には、次のような障害が発生する。 (1) 積分値の、記憶や積算や目標値との大小の比較など
の処理に0.001秒から0.01秒程度の時間がかか
るため、測定に時間がかかる。 (2) 光強度が小さい場合には、積分値が小さいため、デ
ジタル値に変換する場合の量子化誤差が発生する。ま
た、積分値を送る際に周囲からのノイズを受け易い(こ
うしたノイズは、単位時間当りの積分値に関係なく一定
であると考えられる)。このため、一度に長い積分時間
の積分動作をすることに依るSN比の改善が少ない。
時間の増加なしに、ダイナミックレンジの拡大と、SN
比の改善が実施できる。なお、この実施例では、積分時
間を一桁ずつ違えたが、1、2、5、10のように、対
数目盛りに近い時間ずつ違えて実施すると、より細かく
ダイナミックレンジを拡大できる。また、2桁ずつ違え
て実施すると、より短い測定時間で、より大きくダイナ
ミックレンジが拡大できる。
時間当りの積分値を測定値としたが、測定値を取り扱う
方法については、別のやり方も考えられる。例として
は、小数点を頭に持ってくるために、積分時間が最小の
ものに換算する方法や、整数にするために、積分時間が
最大のものに換算する方法がある。また、検出器の各素
子の飽和積分値は、同一としてあるが、現実には、各素
子毎に異なることも有り得る。その場合には、各素子毎
に飽和積分値を記憶しておく方法や、飽和積分値の最小
のものを全素子に適用する方法などが考えられる。
元的に素子を配したものを用いたが、素子を2次元的に
配した光検出器2を用いることができる。この場合、分
光1により、分光された光を面構成した場合に有用であ
る。
なだけ、積分回数ではなく、積分時間を変化させるの
で、積分回数が指数的に拡大することが無い。これに依
って、測定に必要な時間を短縮できる。また、光が弱い
場合には、積分時間の長い信号を用いることにより積分
値を大きくでき、量子化誤差や周囲からのノイズの影響
を受け難くすることに依って、SN比の低下を防ぐこと
ができる。
Claims (4)
- 【請求項1】 波長分散面上に、積分動作を行なう一次
元または二次元光検出器を配置した分光器と、積分動作
を異なる複数の積分時間について行うように制御する制
御回路と、前記検出器上の各素子の各積分時間毎に得ら
れた複数の積分値を記憶する記憶回路と、前記複数の積
分値のうち、前記各素子が飽和する積分値(飽和積分
値)を越えない範囲で最大の積分値を検出する検出回路
と、前記最大の積分値を該最大の積分値を得た積分時間
で除算した値を前記各素子の測定値とする換算回路とを
設けたことを特徴とする分光測定装置。 - 【請求項2】 前記制御回路により制御される複数の積
分時間は、1桁ずつ異なる、または対数目盛りに近い時
間で異なることを特徴とする請求項1に記載の分光測定
装置。 - 【請求項3】 前記制御回路は、前記積分動作を積分時
間が短いほうから順次行なうように構成されるととも
に、前記検出回路は、積分動作の度毎に積分値を検査
し、検出器中の全ての素子の積分値が飽和積分値を越え
たら、前記制御回路に終了信号を送るように構成される
とともに、前記制御回路は、前記終了信号を受けたら、
測定を終了するように構成されたことを特徴とする請求
項1または2に記載の分光測定装置。 - 【請求項4】 前記制御回路は、前記積分動作を積分時
間が短いほうから順次行なうように構成されるととも
に、前記検出回路は、最初の積分値を検査し、各素子の
中で最小の値を与える素子の積分値が、飽和積分値を越
える時間(飽和時間)を算出し、飽和時間を、前記制御
回路に送るように構成されるとともに、前記制御回路
は、飽和時間よりも小さい範囲の積分時間でのみ積分動
作を行なうように構成されたことを特徴とする請求項1
または2に記載の分光測定装置。
Priority Applications (1)
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JP14751992A JP3396237B2 (ja) | 1992-06-08 | 1992-06-08 | 分光測定装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP14751992A JP3396237B2 (ja) | 1992-06-08 | 1992-06-08 | 分光測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH05340816A JPH05340816A (ja) | 1993-12-24 |
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Family
ID=15432168
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP14751992A Expired - Fee Related JP3396237B2 (ja) | 1992-06-08 | 1992-06-08 | 分光測定装置 |
Country Status (1)
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-
1992
- 1992-06-08 JP JP14751992A patent/JP3396237B2/ja not_active Expired - Fee Related
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