JP3396123B2 - 基板洗浄用ブラシ収納体 - Google Patents
基板洗浄用ブラシ収納体Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウエハ、
液晶表示装置用或いはフォトマスク用のガラス基板、光
ディスク用の基板等の各種基板を水平姿勢に保持して鉛
直軸回りに回転させながら基板上に洗浄液を供給して基
板をブラシ洗浄する基板洗浄装置において使用される基
板洗浄用ブラシ、特に、ブラシ本体が親水性を有するス
ポンジ状の多孔質素材によって形成された基板洗浄用ブ
ラシをブラシ収納容器に収納した基板洗浄用ブラシ収納
体に関する。 【０００２】 【従来の技術】洗浄用ブラシによって基板を洗浄する基
板洗浄装置の構成及び動作の１例を簡単に説明すると、
基板、例えば半導体ウエハをスピンチャックの上面側に
真空吸着によって水平姿勢に保持し、スピンチャックに
保持された基板を鉛直軸回りに回転させながら、その基
板上に洗浄液を供給し、ブラシ保持アームのブラシ回転
軸を回転させ、その回転軸に固着されブラシ保持アーム
によって懸吊状態に保持された洗浄用ブラシを自転させ
ながら上方位置から下降させて、洗浄用ブラシの下端を
基板表面に接近させ、洗浄用ブラシ下端を基板表面に接
触させ或いは近接させた状態で、自転している洗浄用ブ
ラシを回転している基板の表面に沿って基板上を移動さ
せることにより、基板の洗浄を行なうようにする。この
ような基板洗浄装置においては、使用により劣化した洗
浄用ブラシを交換したり、基板の種類や洗浄の目的など
に応じて洗浄用ブラシの種類を変えたりしている。この
ため、洗浄用ブラシをブラシ保持アームのブラシ回転軸
に取り付け、また、洗浄用ブラシをブラシ回転軸から取
り外すことができるようにしている。 【０００３】洗浄用ブラシは、ブラシホルダとブラシ本
体とから構成され、ブラシ本体としては、下面側に多数
の毛を植設して形成されたものが一般に使用されている
が、最近では、例えばポリビニルアルコールを原料とし
て製造され親水性を有するスポンジ状の多孔質素材によ
って形成されたものが使用され始めている。このような
多孔質素材で形成されたブラシ本体をブラシホルダに取
着した洗浄用ブラシは、従来、乾燥状態で容器内に収納
されて保管及び輸送され、半導体製造工場等のユーザに
おいて、洗浄用ブラシを使用する前に、ブラシ本体に純
水等の洗浄液を十分に含浸させて、ブラシ本体を一旦湿
潤状態にしてから、ダミー基板を使用してブラシ洗浄を
行ない、その後に、ライン稼動を行なうようにしてい
た。ところが、親水性を有するスポンジ状の多孔質素材
からなるブラシ本体は、乾いた状態では全く弾力性が無
く硬質物化しており、これに純水等を含浸させて使用可
能な状態にまで軟らかくするためには、相当の時間がか
かり、ライン稼動に入るまでに３０分〜６時間といった
多くの時間を費やしていた。 【０００４】そこで、容器内に液体を収容し、その液体
中に親水性を有するスポンジ状の多孔質素材からなるブ
ラシ本体を浸漬させて、基板洗浄用ブラシを保管し輸送
する、といったことが行なわれる。この場合、スポンジ
状の多孔質素材からなるブラシ本体を常に湿潤状態に保
つことになるので、保管及び輸送中に容器内において微
生物が発生する、といった心配がある。このため、容器
内に注入する液体としては、ブラシ本体を腐食させたり
変質させたりすることがなくブラシ本体から物質を溶出
させることもなく、また、純水に溶解するといった性状
を有している他、容器内で微生物が発生するのを抑制す
る効果のあることが求められる。このような液体として
過酸化水素水やイソプロピルアルコールが使用され、そ
れらの薬液が容器内に注入されることになる。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た基板洗浄用ブラシの保管及び輸送方法では、過酸化水
素水やイソプロピルアルコールといった薬液が使用され
る。このため、半導体製造工場等のユーザにおいて、基
板洗浄用ブラシを使用する際に廃棄される過酸化水素水
やイソプロピルアルコールを廃液処理する必要が生じ
る。 【０００６】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、ブラシ本体が親水性を有するスポン
ジ状の多孔質素材によって形成された基板洗浄用ブラシ
を使用する場合に、過酸化水素水やイソプロピルアルコ
ールといった薬液を使用することなく、ブラシ本体を液
体中に浸漬させて基板洗浄用ブラシを保管及び輸送する
過程で容器内に微生物が発生する、といったことを防止
することができる基板洗浄用ブラシ収納体を提供するこ
とを目的とする。 【０００７】 【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
ブラシ本体が親水性を有するスポンジ状の多孔質素材に
よって形成された基板洗浄用ブラシと、この基板洗浄用
ブラシの少なくとも前記ブラシ本体を気密に収納し、内
部に液体が収容され、その液体中に前記ブラシ本体が浸
漬させられるブラシ収納容器とからなる基板洗浄用ブラ
シ収納体において、前記基板洗浄用ブラシのブラシ本体
を抗菌性ポリビニルアルコール、抗菌性ポリプロピレ
ン、抗菌性ナイロン及び抗菌性レーヨンからなる群より
選ばれた素材で形成するとともに、前記ブラシ収納容器
に収容される液体を純水としたことを特徴とする。 【０００８】 【０００９】請求項１に係る発明の基板洗浄用ブラシ収
納体では、基板洗浄用ブラシのブラシ本体が抗菌性素材
で形成されているため、過酸化水素水やイソプロピルア
ルコールといった薬液を使用しなくても、基板洗浄用ブ
ラシをブラシ収納容器内に収納して保管及び輸送する過
程で、収納容器内に微生物が発生することが抑えられ
る。また、ブラシ収納容器にはブラシ本体と反応する恐
れの無い純水が収容され、その純水中にブラシ本体が浸
漬させれられるので、ブラシ本体が腐食したり変質した
りすることがなく、ブラシ本体から物質が溶出すること
もない。また、半導体製造工場等のユーザにおいて、基
板洗浄用ブラシをブラシ収納容器から取り出してそのま
ま基板の純水洗浄に使用することが可能である。 【００１０】 【００１１】 【発明の実施の形態】以下、この発明の最良の実施形態
について図面を参照しながら説明する。 【００１２】図１ないし図３は、この発明の実施形態の
１例を示し、図１は、基板洗浄用ブラシ収納体を分解し
た状態を示す斜視図、図２は、収納容器に洗浄用ブラシ
を収納した状態の基板洗浄用ブラシ収納体を示す部分縦
断面図、図３は、洗浄用ブラシを基板洗浄装置のブラシ
回転軸に取着した状態を示す部分縦断面図である。 【００１３】この基板洗浄用ブラシ収納体は、洗浄用ブ
ラシ１０と収納容器３８とから構成されている。洗浄用
ブラシ１０は、上部取着部１２と下部保持部１４とから
なるブラシホルダにブラシ本体１６を保持して構成され
ている。ブラシ本体１６は、上半部が大径に形成され、
下半部が大径部１８より小径の小径部２０となってい
る。このブラシ本体１６は、親水性を有するスポンジ状
の多孔質素材、具体的にはポリビニルアルコール、ポリ
プロピレン、ナイロン又はレーヨンを原料とした多孔質
素材であって抗菌性素材により形成されている。多孔質
素材は、例えば、ポリビニルアルコールに酸を触媒とし
てホルムアルデヒドを結合させるホルマール化反応によ
りポリビニルホルマールを生成し、その際、気孔生成剤
を加えて気孔形成を行ない、不溶性の多孔質基質が完成
した後、気泡生成剤を抽出することにより製造される。
この素材により形成されたブラシ本体１６は、連続的な
気孔が形成され、親水性を有し、湿潤時には良好な柔軟
性、弾力性を呈し、乾燥時には全く弾力性が無くなって
硬質物化する。 【００１４】 【００１５】ブラシホルダの上部取着部１２の上面中央
部には、洗浄用ブラシ１０を基板洗浄装置のブラシ回転
軸に取着するための係止部２２が一体に突設されてお
り、係止部２２に雄ねじ２４が螺刻されている。また、
係止部２２の上端面には、その中央部に角穴２６が軸心
線方向に穿設されている。上部取着部１２の下半部は、
上半部に比べて若干細く形成されており、この下半部の
嵌合部２８に円筒状の下部保持部１４の上端部が嵌着さ
れる。図１中の符号３０は、上部取着部１２の嵌合部２
８の外周面に形設された係止小突起であり、符号３２
は、嵌合部２８に下部保持部１４の上端部を嵌着したと
きに係止小突起３０と係合する係止小凹部である。下部
保持部１４の外径寸法は、上部取着部１２の上半部の外
径と同じにし、また、下部保持部１４の内径寸法は、ブ
ラシ本体１６の大径部１８の外径より僅かに大きくされ
ている。また、下部保持部１４の下端近くの内周面に
は、支持環状部３４が一体に形設されている。支持環状
部３４の内径寸法は、ブラシ本体１６の小径部２０の外
径より僅かに大きくかつ大径部１８の外径より小さくさ
れている。また、下部保持部１４の下端には、互いに１
８０°の角度をなす位置関係で２個所に回り止め用切欠
き３６が形成されている。このブラシホルダは、例えば
ポリプロピレン等のプラスチック材によって形成され
る。 【００１６】ブラシホルダにブラシ本体１６を保持する
には、下部保持部１４の支持環状部３４の孔にブラシ本
体１６の小径部２０を挿入して、下部保持部１４内にブ
ラシ本体１６を収容した後、下部保持部１４の上端部に
上部取着部１２の嵌合部２８を嵌着させるようにすれば
よい。このとき、ブラシ本体１６は、下部保持部１４の
支持環状部３４によって支持されるとともに、上面が上
部取着部１２の下面に当接して、ブラシホルダに対する
上下方向の移動が規制され、また、下部保持部１４の内
周面によってブラシホルダに対する横方向の移動が規制
される。そして、ブラシ本体１６がブラシホルダに保持
されたときに、ブラシ本体１６の下端面が下部保持部１
４の下端より下方へ突き出た状態になる。 【００１７】収納容器３８は、容器本体４０と蓋体４２
とから構成されており、容器本体４０及び蓋体４２は、
例えばポリプロピレン等のプラスチック材によって形成
されている。容器本体４０は、その上面が開口し、内径
寸法が洗浄用ブラシ１０のブラシホルダの外径より僅か
に大きくされている。また、容器本体４０の内周面に
は、互いに１８０°の角度をなす位置関係で２個所に、
容器本体４０の内底面から容器本体４０の軸線方向に沿
って延びる回り止め用棒状突起４４がそれぞれ突設され
ており、また、両回り止め用棒状突起４４を含めて互い
に６０°ずつの角度をなす位置関係で４個所に、容器本
体４０の内底面から容器本体４０の軸線方向に沿って延
び回り止め用棒状突起４４より若干短い支持用棒状突起
４６がそれぞれ突設されている。そして、図２に示すよ
うに、洗浄用ブラシ１０を容器本体４０内へ、ブラシホ
ルダの下部保持部１４の回り止め用切欠き３６の位置と
容器本体４０の回り止め用棒状突起４４の位置とを合わ
せて嵌挿すると、４個の支持用棒状突起４６の上端に洗
浄用ブラシ１０のブラシホルダの下部保持部１４の下端
が当接し、４個の支持用棒状突起４６によって洗浄用ブ
ラシ１０が容器本体４０内において支持されるととも
に、各回り止め用棒状突起４４の上端部に各回り止め用
切欠き３６がそれぞれ嵌合して、洗浄用ブラシ１０が容
器本体４０内において軸心線回りに回動しないように固
定される。このとき、洗浄用ブラシ１０のブラシ本体１
６の下端面が容器本体４０の内底面に接触しないように
なっている。また、容器本体４０の上端部外周面には雄
ねじ４８が螺刻されている。 【００１８】蓋体４２の内周面には、図１には示されて
いないが、容器本体４０の上端部外周面に螺刻された雄
ねじ４８に螺合する雌ねじが螺刻されている。また、蓋
体４２の内側上面の中央部に、洗浄用ブラシ１０の係止
部２２が遊嵌する凹部５０が形成されている。そして、
蓋体４２の内側上面の、凹部５０の形成部分以外の面
が、洗浄用ブラシ１０のブラシホルダ上面と接触もしく
は近接して洗浄用ブラシ１０の移動を規制もしくは許容
範囲で制限する制動部をなすことになる。また、蓋体４
２の内側上面の周縁部には、蓋体４２の内周面の雌ねじ
に容器本体４０の上端部外周面の雄ねじ４８を螺入させ
て、蓋体４２を容器本体４０に螺合させたときに、容器
本体４０の上端側に密接して収納容器３８の内部を気密
に保持するガスケット５２が取着されている。 【００１９】洗浄用ブラシ１０は、収納容器３８の容器
本体４０内に図２に示すような状態で収納され、容器本
体４０内には純水が注入され、その後に、蓋体４２によ
って容器本体４０の上面開口が密閉される。収納容器３
８内に注入する純水の量は、保管や輸送中に収納容器３
８が傾いたり逆さになったりしても、ブラシ本体１６の
全体が常に純水中に浸漬された状態となる程度としてお
く。容器本体４０に蓋体４２を螺合させて収納容器３８
を密閉した状態においては、上記したように収納容器３
８内での洗浄用ブラシ１０の移動が規制されもしくは許
容範囲で制限され、保管や輸送中に洗浄用ブラシ１０が
収納容器３８内で大きく揺動することはない。また、ブ
ラシ本体１６の下端面が容器本体４０の内底面に接触し
ないように保持されるので、洗浄用ブラシ１０の保管や
輸送中にブラシ本体１６が変形するようなことがない。
さらに、収納容器３８が密閉された状態においては、保
管や輸送中に収納容器３８内から純水が漏れ出たり蒸発
したりすることがなく、また、保管や輸送中に収納容器
３８内へパーティクルが混入する心配も無い。また、洗
浄用ブラシ１０のブラシ本体１６は、常に全体が純水中
に浸漬しているので、柔軟化し弾力性を有する状態に保
たれる。従って、洗浄用ブラシ１０は、収納容器３８か
ら取り出して直ちに基板の洗浄処理に使用することが可
能である。そして、洗浄用ブラシ１０のブラシ本体１６
は抗菌性素材で形成されているため、収納容器内に微生
物が発生することが抑えられる。また、収納容器３８に
は純水が収容されているため、ブラシ本体が腐食したり
変質したりすることがなく、ブラシ本体から物質が溶出
することもなく、また、洗浄用ブラシ１０を収納容器３
８から取り出してそのまま基板の純水洗浄に使用するこ
とが可能である。 【００２０】次に、収納容器３８に収納された洗浄用ブ
ラシ１０を基板洗浄装置のブラシ回転軸に取着し、ま
た、ブラシ回転軸に取着された洗浄用ブラシ１０をブラ
シ回転軸から取り外して収納容器３８に収納する操作に
ついて、図３を参照しながら説明しておく。 【００２１】図３に示すように、洗浄用ブラシ１０が取
着されるブラシ回転軸５４は、その下端近くにフランジ
部５６が一体に形設されており、そのフランジ部５６よ
り下端側の部分５８が、洗浄用ブラシ１０の係止部２２
の上端面中央部に穿設された角穴２６と嵌合する角棒状
に形成されている。また、ブラシ回転軸５４のフランジ
部５６には、洗浄用ブラシ１０の係止部２２の雄ねじ２
４に螺合する雌ねじが螺刻されたナット６０が、ブラシ
回転軸５４の周りに回転可能に係合して保持されてい
る。そして、ブラシ回転軸５４に洗浄用ブラシ１０を取
着するには、まず、収納容器３８の蓋体４２を取り去っ
て容器本体４０の上面を開口させ、洗浄用ブラシ１０の
ブラシホルダの上面側を容器本体４０の上面開口から覗
かせた状態にする。次に、容器本体４０に洗浄用ブラシ
１０を収納したまま、容器本体４０を手で持って洗浄用
ブラシ１０を下方からブラシ回転軸５４に接近させ、係
止部２２の角穴２６をブラシ回転軸５４の下端部の角棒
状部分５８に嵌合させる。そして、容器本体４０を手で
支え持った状態で、係止部２２の雄ねじ２４にナット６
０を螺合させて締め付ける。この際、係止部２２の雄ね
じ２４にナット６０の雌ねじが螺合した状態で、手でナ
ット６０を回転させるように操作するが、ブラシホルダ
の下部保持部１４の回り止め用切欠き３６が容器本体４
０の内周面の回り止め用棒状突起４４の上端部に係合し
ているため、容器本体４０を手で把持しておくことによ
り、ナット６０を回転させても洗浄用ブラシ１０が共回
りすることはない。以上のようにして、図３に示すよう
に洗浄用ブラシ１０がブラシ回転軸５４に取着される
と、容器本体４０を下向きに引き上げて洗浄用ブラシ１
０から抜き出す。この間、洗浄用ブラシ１０には一切手
を触れずに、上記した一連の操作が行なわれる。 【００２２】一方、ブラシ回転軸５４から洗浄用ブラシ
１０を取り外すときは、ブラシ回転軸５４に取着された
洗浄用ブラシ１０に下方から容器本体４０を接近させ、
図３に示したように洗浄用ブラシ１０に容器本体４０を
外挿する。そして、容器本体４０を手で支え持った状態
でナット６０を回転させ、ナット６０を係止部２２から
離脱させる。この際、ブラシホルダの下部保持部１４の
回り止め用切欠き３６が容器本体４０の内周面の回り止
め用棒状突起４４の上端部に係合しているため、容器本
体４０を手で把持しておくことにより、ナット６０を回
転させても洗浄用ブラシ１０が共回りすることはない。
ナット６０が係止部２２から離脱すると、容器本体４０
を下向きに引き下げ、係止部２２の角穴２６をブラシ回
転軸５４の下端部の角棒状部分５８から抜き出して、ブ
ラシ回転軸５４から洗浄用ブラシ１０を取り外す。そし
て、容器本体４０内へ純水を注入した後、容器本体４０
に蓋体４２を螺合させる。この取外し操作の間も、洗浄
用ブラシ１０に一切手を触れることがない。 【００２３】この発明に係る基板洗浄用ブラシ収納体の
構成は以上説明した通りであるが、この発明の範囲は、
上記説明並びに図面の内容に限定されるものでないこと
は勿論である。すなわち、洗浄用ブラシのブラシホルダ
の構成やブラシ本体の形状などは、上記説明のものに限
定されないし、また、上記説明では、収納容器に１個の
基板洗浄用ブラシを収納するようにしているが、純水が
入った容器に複数個の洗浄用ブラシを同時に収納するよ
うにしても差し支えない。 【００２４】 【発明の効果】請求項１に係る発明の基板洗浄用ブラシ
収納体を使用すると、過酸化水素水やイソプロピルアル
コールといった薬液を使用しなくても、親水性を有する
スポンジ状の多孔質素材によって形成されたブラシ本体
をブラシ収納容器内の純水中に浸漬させて基板洗浄用ブ
ラシを保管及び輸送する過程において、ブラシ収納容器
内に微生物が発生することが抑えられる。そして、薬液
を使用しないので、基板洗浄用ブラシを使用する際にそ
の廃液処理を行なう必要が無くなる。 【００２５】
液晶表示装置用或いはフォトマスク用のガラス基板、光
ディスク用の基板等の各種基板を水平姿勢に保持して鉛
直軸回りに回転させながら基板上に洗浄液を供給して基
板をブラシ洗浄する基板洗浄装置において使用される基
板洗浄用ブラシ、特に、ブラシ本体が親水性を有するス
ポンジ状の多孔質素材によって形成された基板洗浄用ブ
ラシをブラシ収納容器に収納した基板洗浄用ブラシ収納
体に関する。 【０００２】 【従来の技術】洗浄用ブラシによって基板を洗浄する基
板洗浄装置の構成及び動作の１例を簡単に説明すると、
基板、例えば半導体ウエハをスピンチャックの上面側に
真空吸着によって水平姿勢に保持し、スピンチャックに
保持された基板を鉛直軸回りに回転させながら、その基
板上に洗浄液を供給し、ブラシ保持アームのブラシ回転
軸を回転させ、その回転軸に固着されブラシ保持アーム
によって懸吊状態に保持された洗浄用ブラシを自転させ
ながら上方位置から下降させて、洗浄用ブラシの下端を
基板表面に接近させ、洗浄用ブラシ下端を基板表面に接
触させ或いは近接させた状態で、自転している洗浄用ブ
ラシを回転している基板の表面に沿って基板上を移動さ
せることにより、基板の洗浄を行なうようにする。この
ような基板洗浄装置においては、使用により劣化した洗
浄用ブラシを交換したり、基板の種類や洗浄の目的など
に応じて洗浄用ブラシの種類を変えたりしている。この
ため、洗浄用ブラシをブラシ保持アームのブラシ回転軸
に取り付け、また、洗浄用ブラシをブラシ回転軸から取
り外すことができるようにしている。 【０００３】洗浄用ブラシは、ブラシホルダとブラシ本
体とから構成され、ブラシ本体としては、下面側に多数
の毛を植設して形成されたものが一般に使用されている
が、最近では、例えばポリビニルアルコールを原料とし
て製造され親水性を有するスポンジ状の多孔質素材によ
って形成されたものが使用され始めている。このような
多孔質素材で形成されたブラシ本体をブラシホルダに取
着した洗浄用ブラシは、従来、乾燥状態で容器内に収納
されて保管及び輸送され、半導体製造工場等のユーザに
おいて、洗浄用ブラシを使用する前に、ブラシ本体に純
水等の洗浄液を十分に含浸させて、ブラシ本体を一旦湿
潤状態にしてから、ダミー基板を使用してブラシ洗浄を
行ない、その後に、ライン稼動を行なうようにしてい
た。ところが、親水性を有するスポンジ状の多孔質素材
からなるブラシ本体は、乾いた状態では全く弾力性が無
く硬質物化しており、これに純水等を含浸させて使用可
能な状態にまで軟らかくするためには、相当の時間がか
かり、ライン稼動に入るまでに３０分〜６時間といった
多くの時間を費やしていた。 【０００４】そこで、容器内に液体を収容し、その液体
中に親水性を有するスポンジ状の多孔質素材からなるブ
ラシ本体を浸漬させて、基板洗浄用ブラシを保管し輸送
する、といったことが行なわれる。この場合、スポンジ
状の多孔質素材からなるブラシ本体を常に湿潤状態に保
つことになるので、保管及び輸送中に容器内において微
生物が発生する、といった心配がある。このため、容器
内に注入する液体としては、ブラシ本体を腐食させたり
変質させたりすることがなくブラシ本体から物質を溶出
させることもなく、また、純水に溶解するといった性状
を有している他、容器内で微生物が発生するのを抑制す
る効果のあることが求められる。このような液体として
過酸化水素水やイソプロピルアルコールが使用され、そ
れらの薬液が容器内に注入されることになる。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た基板洗浄用ブラシの保管及び輸送方法では、過酸化水
素水やイソプロピルアルコールといった薬液が使用され
る。このため、半導体製造工場等のユーザにおいて、基
板洗浄用ブラシを使用する際に廃棄される過酸化水素水
やイソプロピルアルコールを廃液処理する必要が生じ
る。 【０００６】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、ブラシ本体が親水性を有するスポン
ジ状の多孔質素材によって形成された基板洗浄用ブラシ
を使用する場合に、過酸化水素水やイソプロピルアルコ
ールといった薬液を使用することなく、ブラシ本体を液
体中に浸漬させて基板洗浄用ブラシを保管及び輸送する
過程で容器内に微生物が発生する、といったことを防止
することができる基板洗浄用ブラシ収納体を提供するこ
とを目的とする。 【０００７】 【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
ブラシ本体が親水性を有するスポンジ状の多孔質素材に
よって形成された基板洗浄用ブラシと、この基板洗浄用
ブラシの少なくとも前記ブラシ本体を気密に収納し、内
部に液体が収容され、その液体中に前記ブラシ本体が浸
漬させられるブラシ収納容器とからなる基板洗浄用ブラ
シ収納体において、前記基板洗浄用ブラシのブラシ本体
を抗菌性ポリビニルアルコール、抗菌性ポリプロピレ
ン、抗菌性ナイロン及び抗菌性レーヨンからなる群より
選ばれた素材で形成するとともに、前記ブラシ収納容器
に収容される液体を純水としたことを特徴とする。 【０００８】 【０００９】請求項１に係る発明の基板洗浄用ブラシ収
納体では、基板洗浄用ブラシのブラシ本体が抗菌性素材
で形成されているため、過酸化水素水やイソプロピルア
ルコールといった薬液を使用しなくても、基板洗浄用ブ
ラシをブラシ収納容器内に収納して保管及び輸送する過
程で、収納容器内に微生物が発生することが抑えられ
る。また、ブラシ収納容器にはブラシ本体と反応する恐
れの無い純水が収容され、その純水中にブラシ本体が浸
漬させれられるので、ブラシ本体が腐食したり変質した
りすることがなく、ブラシ本体から物質が溶出すること
もない。また、半導体製造工場等のユーザにおいて、基
板洗浄用ブラシをブラシ収納容器から取り出してそのま
ま基板の純水洗浄に使用することが可能である。 【００１０】 【００１１】 【発明の実施の形態】以下、この発明の最良の実施形態
について図面を参照しながら説明する。 【００１２】図１ないし図３は、この発明の実施形態の
１例を示し、図１は、基板洗浄用ブラシ収納体を分解し
た状態を示す斜視図、図２は、収納容器に洗浄用ブラシ
を収納した状態の基板洗浄用ブラシ収納体を示す部分縦
断面図、図３は、洗浄用ブラシを基板洗浄装置のブラシ
回転軸に取着した状態を示す部分縦断面図である。 【００１３】この基板洗浄用ブラシ収納体は、洗浄用ブ
ラシ１０と収納容器３８とから構成されている。洗浄用
ブラシ１０は、上部取着部１２と下部保持部１４とから
なるブラシホルダにブラシ本体１６を保持して構成され
ている。ブラシ本体１６は、上半部が大径に形成され、
下半部が大径部１８より小径の小径部２０となってい
る。このブラシ本体１６は、親水性を有するスポンジ状
の多孔質素材、具体的にはポリビニルアルコール、ポリ
プロピレン、ナイロン又はレーヨンを原料とした多孔質
素材であって抗菌性素材により形成されている。多孔質
素材は、例えば、ポリビニルアルコールに酸を触媒とし
てホルムアルデヒドを結合させるホルマール化反応によ
りポリビニルホルマールを生成し、その際、気孔生成剤
を加えて気孔形成を行ない、不溶性の多孔質基質が完成
した後、気泡生成剤を抽出することにより製造される。
この素材により形成されたブラシ本体１６は、連続的な
気孔が形成され、親水性を有し、湿潤時には良好な柔軟
性、弾力性を呈し、乾燥時には全く弾力性が無くなって
硬質物化する。 【００１４】 【００１５】ブラシホルダの上部取着部１２の上面中央
部には、洗浄用ブラシ１０を基板洗浄装置のブラシ回転
軸に取着するための係止部２２が一体に突設されてお
り、係止部２２に雄ねじ２４が螺刻されている。また、
係止部２２の上端面には、その中央部に角穴２６が軸心
線方向に穿設されている。上部取着部１２の下半部は、
上半部に比べて若干細く形成されており、この下半部の
嵌合部２８に円筒状の下部保持部１４の上端部が嵌着さ
れる。図１中の符号３０は、上部取着部１２の嵌合部２
８の外周面に形設された係止小突起であり、符号３２
は、嵌合部２８に下部保持部１４の上端部を嵌着したと
きに係止小突起３０と係合する係止小凹部である。下部
保持部１４の外径寸法は、上部取着部１２の上半部の外
径と同じにし、また、下部保持部１４の内径寸法は、ブ
ラシ本体１６の大径部１８の外径より僅かに大きくされ
ている。また、下部保持部１４の下端近くの内周面に
は、支持環状部３４が一体に形設されている。支持環状
部３４の内径寸法は、ブラシ本体１６の小径部２０の外
径より僅かに大きくかつ大径部１８の外径より小さくさ
れている。また、下部保持部１４の下端には、互いに１
８０°の角度をなす位置関係で２個所に回り止め用切欠
き３６が形成されている。このブラシホルダは、例えば
ポリプロピレン等のプラスチック材によって形成され
る。 【００１６】ブラシホルダにブラシ本体１６を保持する
には、下部保持部１４の支持環状部３４の孔にブラシ本
体１６の小径部２０を挿入して、下部保持部１４内にブ
ラシ本体１６を収容した後、下部保持部１４の上端部に
上部取着部１２の嵌合部２８を嵌着させるようにすれば
よい。このとき、ブラシ本体１６は、下部保持部１４の
支持環状部３４によって支持されるとともに、上面が上
部取着部１２の下面に当接して、ブラシホルダに対する
上下方向の移動が規制され、また、下部保持部１４の内
周面によってブラシホルダに対する横方向の移動が規制
される。そして、ブラシ本体１６がブラシホルダに保持
されたときに、ブラシ本体１６の下端面が下部保持部１
４の下端より下方へ突き出た状態になる。 【００１７】収納容器３８は、容器本体４０と蓋体４２
とから構成されており、容器本体４０及び蓋体４２は、
例えばポリプロピレン等のプラスチック材によって形成
されている。容器本体４０は、その上面が開口し、内径
寸法が洗浄用ブラシ１０のブラシホルダの外径より僅か
に大きくされている。また、容器本体４０の内周面に
は、互いに１８０°の角度をなす位置関係で２個所に、
容器本体４０の内底面から容器本体４０の軸線方向に沿
って延びる回り止め用棒状突起４４がそれぞれ突設され
ており、また、両回り止め用棒状突起４４を含めて互い
に６０°ずつの角度をなす位置関係で４個所に、容器本
体４０の内底面から容器本体４０の軸線方向に沿って延
び回り止め用棒状突起４４より若干短い支持用棒状突起
４６がそれぞれ突設されている。そして、図２に示すよ
うに、洗浄用ブラシ１０を容器本体４０内へ、ブラシホ
ルダの下部保持部１４の回り止め用切欠き３６の位置と
容器本体４０の回り止め用棒状突起４４の位置とを合わ
せて嵌挿すると、４個の支持用棒状突起４６の上端に洗
浄用ブラシ１０のブラシホルダの下部保持部１４の下端
が当接し、４個の支持用棒状突起４６によって洗浄用ブ
ラシ１０が容器本体４０内において支持されるととも
に、各回り止め用棒状突起４４の上端部に各回り止め用
切欠き３６がそれぞれ嵌合して、洗浄用ブラシ１０が容
器本体４０内において軸心線回りに回動しないように固
定される。このとき、洗浄用ブラシ１０のブラシ本体１
６の下端面が容器本体４０の内底面に接触しないように
なっている。また、容器本体４０の上端部外周面には雄
ねじ４８が螺刻されている。 【００１８】蓋体４２の内周面には、図１には示されて
いないが、容器本体４０の上端部外周面に螺刻された雄
ねじ４８に螺合する雌ねじが螺刻されている。また、蓋
体４２の内側上面の中央部に、洗浄用ブラシ１０の係止
部２２が遊嵌する凹部５０が形成されている。そして、
蓋体４２の内側上面の、凹部５０の形成部分以外の面
が、洗浄用ブラシ１０のブラシホルダ上面と接触もしく
は近接して洗浄用ブラシ１０の移動を規制もしくは許容
範囲で制限する制動部をなすことになる。また、蓋体４
２の内側上面の周縁部には、蓋体４２の内周面の雌ねじ
に容器本体４０の上端部外周面の雄ねじ４８を螺入させ
て、蓋体４２を容器本体４０に螺合させたときに、容器
本体４０の上端側に密接して収納容器３８の内部を気密
に保持するガスケット５２が取着されている。 【００１９】洗浄用ブラシ１０は、収納容器３８の容器
本体４０内に図２に示すような状態で収納され、容器本
体４０内には純水が注入され、その後に、蓋体４２によ
って容器本体４０の上面開口が密閉される。収納容器３
８内に注入する純水の量は、保管や輸送中に収納容器３
８が傾いたり逆さになったりしても、ブラシ本体１６の
全体が常に純水中に浸漬された状態となる程度としてお
く。容器本体４０に蓋体４２を螺合させて収納容器３８
を密閉した状態においては、上記したように収納容器３
８内での洗浄用ブラシ１０の移動が規制されもしくは許
容範囲で制限され、保管や輸送中に洗浄用ブラシ１０が
収納容器３８内で大きく揺動することはない。また、ブ
ラシ本体１６の下端面が容器本体４０の内底面に接触し
ないように保持されるので、洗浄用ブラシ１０の保管や
輸送中にブラシ本体１６が変形するようなことがない。
さらに、収納容器３８が密閉された状態においては、保
管や輸送中に収納容器３８内から純水が漏れ出たり蒸発
したりすることがなく、また、保管や輸送中に収納容器
３８内へパーティクルが混入する心配も無い。また、洗
浄用ブラシ１０のブラシ本体１６は、常に全体が純水中
に浸漬しているので、柔軟化し弾力性を有する状態に保
たれる。従って、洗浄用ブラシ１０は、収納容器３８か
ら取り出して直ちに基板の洗浄処理に使用することが可
能である。そして、洗浄用ブラシ１０のブラシ本体１６
は抗菌性素材で形成されているため、収納容器内に微生
物が発生することが抑えられる。また、収納容器３８に
は純水が収容されているため、ブラシ本体が腐食したり
変質したりすることがなく、ブラシ本体から物質が溶出
することもなく、また、洗浄用ブラシ１０を収納容器３
８から取り出してそのまま基板の純水洗浄に使用するこ
とが可能である。 【００２０】次に、収納容器３８に収納された洗浄用ブ
ラシ１０を基板洗浄装置のブラシ回転軸に取着し、ま
た、ブラシ回転軸に取着された洗浄用ブラシ１０をブラ
シ回転軸から取り外して収納容器３８に収納する操作に
ついて、図３を参照しながら説明しておく。 【００２１】図３に示すように、洗浄用ブラシ１０が取
着されるブラシ回転軸５４は、その下端近くにフランジ
部５６が一体に形設されており、そのフランジ部５６よ
り下端側の部分５８が、洗浄用ブラシ１０の係止部２２
の上端面中央部に穿設された角穴２６と嵌合する角棒状
に形成されている。また、ブラシ回転軸５４のフランジ
部５６には、洗浄用ブラシ１０の係止部２２の雄ねじ２
４に螺合する雌ねじが螺刻されたナット６０が、ブラシ
回転軸５４の周りに回転可能に係合して保持されてい
る。そして、ブラシ回転軸５４に洗浄用ブラシ１０を取
着するには、まず、収納容器３８の蓋体４２を取り去っ
て容器本体４０の上面を開口させ、洗浄用ブラシ１０の
ブラシホルダの上面側を容器本体４０の上面開口から覗
かせた状態にする。次に、容器本体４０に洗浄用ブラシ
１０を収納したまま、容器本体４０を手で持って洗浄用
ブラシ１０を下方からブラシ回転軸５４に接近させ、係
止部２２の角穴２６をブラシ回転軸５４の下端部の角棒
状部分５８に嵌合させる。そして、容器本体４０を手で
支え持った状態で、係止部２２の雄ねじ２４にナット６
０を螺合させて締め付ける。この際、係止部２２の雄ね
じ２４にナット６０の雌ねじが螺合した状態で、手でナ
ット６０を回転させるように操作するが、ブラシホルダ
の下部保持部１４の回り止め用切欠き３６が容器本体４
０の内周面の回り止め用棒状突起４４の上端部に係合し
ているため、容器本体４０を手で把持しておくことによ
り、ナット６０を回転させても洗浄用ブラシ１０が共回
りすることはない。以上のようにして、図３に示すよう
に洗浄用ブラシ１０がブラシ回転軸５４に取着される
と、容器本体４０を下向きに引き上げて洗浄用ブラシ１
０から抜き出す。この間、洗浄用ブラシ１０には一切手
を触れずに、上記した一連の操作が行なわれる。 【００２２】一方、ブラシ回転軸５４から洗浄用ブラシ
１０を取り外すときは、ブラシ回転軸５４に取着された
洗浄用ブラシ１０に下方から容器本体４０を接近させ、
図３に示したように洗浄用ブラシ１０に容器本体４０を
外挿する。そして、容器本体４０を手で支え持った状態
でナット６０を回転させ、ナット６０を係止部２２から
離脱させる。この際、ブラシホルダの下部保持部１４の
回り止め用切欠き３６が容器本体４０の内周面の回り止
め用棒状突起４４の上端部に係合しているため、容器本
体４０を手で把持しておくことにより、ナット６０を回
転させても洗浄用ブラシ１０が共回りすることはない。
ナット６０が係止部２２から離脱すると、容器本体４０
を下向きに引き下げ、係止部２２の角穴２６をブラシ回
転軸５４の下端部の角棒状部分５８から抜き出して、ブ
ラシ回転軸５４から洗浄用ブラシ１０を取り外す。そし
て、容器本体４０内へ純水を注入した後、容器本体４０
に蓋体４２を螺合させる。この取外し操作の間も、洗浄
用ブラシ１０に一切手を触れることがない。 【００２３】この発明に係る基板洗浄用ブラシ収納体の
構成は以上説明した通りであるが、この発明の範囲は、
上記説明並びに図面の内容に限定されるものでないこと
は勿論である。すなわち、洗浄用ブラシのブラシホルダ
の構成やブラシ本体の形状などは、上記説明のものに限
定されないし、また、上記説明では、収納容器に１個の
基板洗浄用ブラシを収納するようにしているが、純水が
入った容器に複数個の洗浄用ブラシを同時に収納するよ
うにしても差し支えない。 【００２４】 【発明の効果】請求項１に係る発明の基板洗浄用ブラシ
収納体を使用すると、過酸化水素水やイソプロピルアル
コールといった薬液を使用しなくても、親水性を有する
スポンジ状の多孔質素材によって形成されたブラシ本体
をブラシ収納容器内の純水中に浸漬させて基板洗浄用ブ
ラシを保管及び輸送する過程において、ブラシ収納容器
内に微生物が発生することが抑えられる。そして、薬液
を使用しないので、基板洗浄用ブラシを使用する際にそ
の廃液処理を行なう必要が無くなる。 【００２５】
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施形態の１例を示し、基板洗浄用
ブラシ収納体を分解した状態を示す斜視図である。 【図２】図１に示した基板洗浄用ブラシ収納体の収納容
器に洗浄用ブラシを収納した状態を示す部分縦断面図で
ある。 【図３】図１に示した基板洗浄用ブラシ収納体の洗浄用
ブラシを基板洗浄装置のブラシ回転軸に取着した状態を
示す部分縦断面図である。 【符号の説明】 １０ 洗浄用ブラシ １２ ブラシホルダの上部取着部 １４ ブラシホルダの下部保持部 １６ ブラシ本体 ２２ ブラシホルダの係止部 ３６ 回り止め用切欠き部 ３８ 収納容器 ４０ 容器本体 ４２ 蓋体 ４４ 回り止め用棒状突起 ４６ 支持用棒状突起 ５４ 基板洗浄装置のブラシ回転軸
ブラシ収納体を分解した状態を示す斜視図である。 【図２】図１に示した基板洗浄用ブラシ収納体の収納容
器に洗浄用ブラシを収納した状態を示す部分縦断面図で
ある。 【図３】図１に示した基板洗浄用ブラシ収納体の洗浄用
ブラシを基板洗浄装置のブラシ回転軸に取着した状態を
示す部分縦断面図である。 【符号の説明】 １０ 洗浄用ブラシ １２ ブラシホルダの上部取着部 １４ ブラシホルダの下部保持部 １６ ブラシ本体 ２２ ブラシホルダの係止部 ３６ 回り止め用切欠き部 ３８ 収納容器 ４０ 容器本体 ４２ 蓋体 ４４ 回り止め用棒状突起 ４６ 支持用棒状突起 ５４ 基板洗浄装置のブラシ回転軸
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ
Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１
1/1333 ５００ 1/1333 ５００
(56)参考文献 特開 平９−94543（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/304
G02F 1/1333
B08B 1/00
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 ブラシ本体が親水性を有するスポンジ状
の多孔質素材によって形成された基板洗浄用ブラシと、 この基板洗浄用ブラシの少なくとも前記ブラシ本体を気
密に収納し、内部に液体が収容され、その液体中に前記
ブラシ本体が浸漬させられるブラシ収納容器とからなる
基板洗浄用ブラシ収納体において、 前記基板洗浄用ブラシのブラシ本体を抗菌性ポリビニル
アルコール、抗菌性ポリプロピレン、抗菌性ナイロン及
び抗菌性レーヨンからなる群より選ばれた素材で形成す
るとともに、前記ブラシ収納容器に収容される液体を純
水としたことを特徴とする基板洗浄用ブラシ収納体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34758395A JP3396123B2 (ja) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | 基板洗浄用ブラシ収納体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34758395A JP3396123B2 (ja) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | 基板洗浄用ブラシ収納体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09167748A JPH09167748A (ja) | 1997-06-24 |
| JP3396123B2 true JP3396123B2 (ja) | 2003-04-14 |
Family
ID=18391205
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34758395A Expired - Lifetime JP3396123B2 (ja) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | 基板洗浄用ブラシ収納体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3396123B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114345042B (zh) * | 2022-01-07 | 2023-02-17 | 甘肃能源化工职业学院 | 一种矿山电气设备用的除尘设备 |
-
1995
- 1995-12-15 JP JP34758395A patent/JP3396123B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09167748A (ja) | 1997-06-24 |
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