JP3391927B2 - Method of manufacturing ink jet recording head - Google Patents

Method of manufacturing ink jet recording head

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JP3391927B2
JP3391927B2 JP4283495A JP4283495A JP3391927B2 JP 3391927 B2 JP3391927 B2 JP 3391927B2 JP 4283495 A JP4283495 A JP 4283495A JP 4283495 A JP4283495 A JP 4283495A JP 3391927 B2 JP3391927 B2 JP 3391927B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録ヘッドの製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a manufacturing method of the ink jet recording heads.

【0002】[0002]

【従来の技術】図4は、従来のインクジェット記録ヘッ
ドの構成の一例を示す分解模式図である。
2. Description of the Related Art FIG. 4 is an exploded schematic view showing an example of the configuration of a conventional ink jet recording head.

【0003】インクジェット記録ヘッドの一例であるI
JHを備えたインクジェットユニットIJUは、電気信
号に応じて膜沸騰をインクに対して生じせしめるための
熱エネルギーを生成する電気熱変換体を用いて記録を行
うバブルジェット方式のユニットである。
An example of an ink jet recording head, I
The inkjet unit IJU equipped with JH is a bubble jet type unit that performs recording using an electrothermal converter that generates thermal energy for causing film boiling to the ink in response to an electrical signal.

【0004】図4において、100はSi基板上に複数
の列状に配された電気熱変換体(吐出ヒータ)と、これ
に電力を供給するアルミニウム等の電気配線とが成膜技
術により形成されて成るヒータボードである。200は
ヒータボード100に対する配線基板であり、ヒータボ
ード100の配線に対応する配線(例えばワイヤボンデ
ィングにより接続される)と、この配線の端部に位置し
本体装置からの電気信号を受けるパッド201とを有し
ている。
In FIG. 4, reference numeral 100 denotes an electrothermal converter (discharge heater) arranged in a plurality of rows on a Si substrate, and electric wiring such as aluminum for supplying electric power to the electrothermal converter, which is formed by a film forming technique. It is a heater board consisting of. Reference numeral 200 denotes a wiring board for the heater board 100, and wiring (corresponding to, for example, wire bonding) corresponding to the wiring of the heater board 100, and a pad 201 located at an end of this wiring and receiving an electric signal from the main body device. have.

【0005】1300は複数のインク流路を夫々区分す
るための隔壁や各インク流路へインクを与えるためにイ
ンクを収納するための共通液室等を設けた溝付天板で、
インクタンクITから供給されるインクを受けて上述の
共通液室へ導入するインク受け口1500と、各インク
流路に対応した吐出口を複数有するオリフィスプレート
400を一体成型したものである。これらの一体成型材
料としてはポリサルフォンが好ましいが、他の成型用樹
脂材料でも良い。
Reference numeral 1300 is a grooved top plate provided with a partition wall for partitioning a plurality of ink flow paths and a common liquid chamber for accommodating ink to each ink flow path.
An ink receiving port 1500 that receives the ink supplied from the ink tank IT and is introduced into the common liquid chamber described above, and an orifice plate 400 that has a plurality of ejection ports corresponding to the respective ink flow paths are integrally molded. Polysulfone is preferable as the integral molding material, but other molding resin materials may be used.

【0006】300は配線基板200の裏面を平面で支
持する例えば金属製の支持体で、インクジェットユニッ
トの底板となる。500は押えばねであり、M字形状で
そのM字の中央で共通液室を軽圧で押圧すると共に前だ
れ部501で液路の一部、好ましくは吐出口近傍の領域
を線圧で集中押圧する。
Reference numeral 300 denotes a support member made of, for example, a metal that supports the back surface of the wiring board 200 on a flat surface and serves as a bottom plate of the ink jet unit. Reference numeral 500 denotes a presser spring, which is M-shaped and presses the common liquid chamber with a light pressure at the center of the M-shape, and the front droop portion 501 concentrates a part of the liquid passage, preferably a region near the discharge port, with a linear pressure. Press.

【0007】ヒータボード100及び天板1300を押
えばねの足部が支持体300の穴3121を通って支持
体300の裏面側に係合することでこれらを挟み込んだ
状態で両者を係合させることにより、押えばね500と
その前だれ部501の集中付勢力によってヒータボード
100と天板1300とを圧着固定する。又支持体30
0は、インクタンクITの2つの位置決め凸起1012
及び位置決め且つ熱融着保持用凸起1800,1801
に係合する位置決め用穴312,1900,2000を
有する他、装置本体IJRAのキャリッジHCに対する
位置決め用の突起2500,2600を裏面側に有して
いる。加えて支持体300はインクタンクからのインク
供給を可能とするインク供給管2200を貫通可能にす
る穴320をも有している。支持体300に対する配線
基板200の取付は、接着剤等で貼着して行われる。
尚、支持体300の凹部2400,2400は、それぞ
れ位置決め用突起2500,2600の近傍に設けられ
ており、組立てられたインクジェットカートリッジIJ
Cにおいて、その周囲の3辺を平行溝3000,300
1の複数で形成されたヘッド先端域の延長点にあって、
ゴミやインク等の不要物が突起2500,2600に至
ることがないように位置している。
By pressing the heater board 100 and the top plate 1300 through the holes 3121 of the supporting body 300 and engaging with the back side of the supporting body 300 through the holes 3121 of the supporting body 300, they are sandwiched and engaged with each other. Thus, the heater board 100 and the top plate 1300 are pressure-bonded to each other by the concentrated urging force of the presser spring 500 and its front slant portion 501. Also support 30
0 indicates two positioning protrusions 1012 of the ink tank IT.
And protrusions 1800 and 1801 for positioning and holding heat fusion
In addition to having positioning holes 312, 1900, 2000 for engaging with, the projections 2500, 2600 for positioning the apparatus main body IJRA with respect to the carriage HC are provided on the back surface side. In addition, the support 300 also has a hole 320 that allows the ink supply pipe 2200 that allows ink to be supplied from the ink tank to pass therethrough. The wiring board 200 is attached to the support 300 by adhering it with an adhesive or the like.
The recesses 2400 and 2400 of the support 300 are provided near the positioning protrusions 2500 and 2600, respectively, and the assembled ink jet cartridge IJ.
In C, the three parallel sides are parallel grooves 3000, 300
At the extension point of the head tip region formed by a plurality of 1,
It is positioned so that unnecessary substances such as dust and ink do not reach the protrusions 2500 and 2600.

【0008】この平行溝3000が形成されている蓋部
材800は、図4でわかるように、インクジェットカー
トリッジIJCの外壁を形成すると共に、インクタンク
とでインクジェットユニットIJUを収納する空間部を
形成している。また、平行溝3001が形成されている
インク供給部材600は、前述したインク供給管220
0に連続するインク導管1600を供給管2200側が
固定の片持ちばりとして形成し、インク導管の固定側と
インク供給管2200との毛管現象を確保するための封
止ピン602が挿入されている。尚、601はインクタ
ンクITと供給管2200との結合シールを行うパッキ
ン、700は供給管のタンク側端部に設けられたフィル
ターである。
As shown in FIG. 4, the lid member 800 in which the parallel groove 3000 is formed forms the outer wall of the ink jet cartridge IJC and also forms a space for accommodating the ink jet unit IJU together with the ink tank. There is. In addition, the ink supply member 600 in which the parallel groove 3001 is formed is the same as the ink supply tube 220 described above.
An ink conduit 1600 continuous to 0 is formed as a fixed cantilever on the supply pipe 2200 side, and a sealing pin 602 is inserted to secure a capillary phenomenon between the fixed side of the ink conduit and the ink supply pipe 2200. Incidentally, 601 is a packing for connecting and sealing the ink tank IT and the supply pipe 2200, and 700 is a filter provided at the end of the supply pipe on the tank side.

【0009】このインク供給部材600は、モールド成
型されているので、安価で位置精度が高く形成製造上の
精度低下を無くしているだけでなく、片持ちばりの導管
1600によって大量生産時においても導管1600の
上述インク受け口1500に対する圧接状態が安定化で
きる。本例では、この圧接状態下で封止用接着剤をイン
ク供給部材側から流し込むだけで、より完全な連通状態
を確実に得ることができている。尚、インク供給部材6
00の支持体300に対する固定は、支持体300の穴
1901,1902に対するインク供給部材600の裏
面側ピン(不図示)を支持体300の穴1901,19
02を介して貫通突出せしめ、支持体300の裏面側に
突出した部分を熱融着することで簡単に行われる。尚、
この熱融着された裏面部のわずかな突出領域は、インク
タンクITのインクジェットユニットIJU取付面側壁
面のくぼみ(不図示)内に収められるのでユニットIJ
Uの位置決め面は正確に得られる。
Since the ink supply member 600 is molded, the ink supply member 600 is inexpensive, has high positional accuracy, and eliminates a decrease in accuracy in forming and manufacturing. In addition, the cantilevered conduit 1600 allows the ink supplying member 600 to be used for mass production. The pressure contact state of 1600 to the ink receiving port 1500 can be stabilized. In this example, by simply pouring the sealing adhesive from the ink supply member side under this pressure contact state, a more complete communication state can be surely obtained. The ink supply member 6
00 is fixed to the support 300, the pins (not shown) on the back surface side of the ink supply member 600 with respect to the holes 1901 and 1902 of the support 300 are attached to the holes 1901 and 19 of the support 300.
It is easily carried out by projecting through through 02 and heat-sealing the portion projecting to the back surface side of the support 300. still,
The slightly projected area of the heat-sealed back surface is accommodated in the recess (not shown) on the side wall surface of the ink jet unit IJU mounting surface of the ink tank IT.
The positioning surface of U is accurately obtained.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】上記従来例だと、押え
ばね500をはめ込む工程に精度が要求されるため工程
が複雑になり、押えばね500も精度が必要なため高価
なものになった。又、押えばね500による固定のため
長期にわたると、ばね圧が変化するため信頼性が低下す
るという問題もあった。
In the above-mentioned conventional example, the process of fitting the pressing spring 500 requires precision, which complicates the process, and the pressing spring 500 also requires precision, which makes the process expensive. Further, there is also a problem that reliability is lowered due to a change in spring pressure over a long period of time because of fixing by the presser spring 500.

【0011】そのために、接着剤等で溝付天板1300
と基板(ヒーターボード)100を接着しようとすると
溝等に接着剤が流れ込み流路を塞いでしまう等の問題が
あった。
Therefore, a grooved top plate 1300 is made of an adhesive or the like.
When the substrate (heater board) 100 is attempted to be bonded, there is a problem that the adhesive flows into the groove or the like and blocks the flow path.

【0012】本発明は、上記従来の問題点を解消するた
めに成されたもので、天板と基板とを容易確実に接合さ
せたインクジェット記録ヘッドの製造方法の提供を目的
とするものである。
[0012] The present invention has been made to solve the above problems, aims to provide an ink jet recording heads method of manufacturing was joined to the top plate and the substrate easily reliably is there.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明は、下記の技術的
構成により前記目的を達成できたものである。 (1) インクを吐出するための吐出エネルギーを発生す
る吐出エネルギー発生素子を形成した基板と、該基板と
接合することにより前記吐出エネルギー発生素子の配設
部位に対応したインク流路を形成する凹部を有する樹脂
製の天板とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造
方法において、前記基板と前記天板の接合部にBステー
ジ状態の有機部材からなる溶着層を形成する工程と、前
記基板及び前記天板を張り合わせた状態で超音波溶着を
行う工程と、を備えることを特徴とするインクジェット
記録ヘッドの製造方法
The present invention has the following technical features.
The above-mentioned object can be achieved by the constitution. (1) A substrate on which an ejection energy generating element that generates ejection energy for ejecting ink is formed, and a concave portion that is joined to the substrate to form an ink flow path corresponding to a portion where the ejection energy generating element is disposed Resin with
And manufacturing of the top plate, in the method for manufacturing an ink jet recording head provided with a, B stay at the junction of the top plate and the substrate
And a step of forming a welding layer composed of an organic member in the state of
Ultrasonic welding with the base plate and the top plate stuck together.
The manufacturing method of the inkjet recording head characterized by including the process of performing .

【0014】(2)インクを吐出するための吐出エネル
ギーを発生する吐出エネルギー発生素子を形成した基板
と、該基板と接合することにより前記吐出エネルギー発
生素子の配設部位に対応したインク流路を形成する凹部
を有する樹脂製の天板と、前記インク流路に連通してイ
ンクを吐出する吐出口が形成された吐出口形成部材とを
備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記基板と前記天板の接合部にBステージ状態の有機部
材からなる溶着層を形成する工程と、前記基板及び前記
天板を張り合わせた状態で超音波溶着を行う工程と、を
備えることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製
造方法
(2) A substrate on which an ejection energy generating element for generating ejection energy for ejecting ink is formed, and an ink flow path corresponding to a portion where the ejection energy generating element is disposed by joining the substrate. In a method of manufacturing an inkjet recording head, comprising a resin-made top plate having a concave portion to be formed, and an ejection port forming member in which an ejection port for ejecting ink is formed in communication with the ink flow path,
The organic portion in the B stage state at the joint between the substrate and the top plate
A step of forming a welding layer made of a material, the substrate and the
The process of ultrasonic welding with the top plate stuck together,
A method for producing an ink jet recording head, characterized in that it comprises.

【0015】[0015]

【作用】上記の構成により、基板と天板の接合は、基板
及び天板の各接合面の有機部材を超音波溶着で接合する
ことにより、インクジェット記録ヘッドの前記接合を容
易・安価に精度よく実施でき、溶着は安定し記録性能を
維持できる。
With the above construction, the substrate and the top plate can be joined easily and inexpensively with high precision by joining the organic members on the respective joining surfaces of the substrate and the top plate by ultrasonic welding. It can be carried out and the welding is stable and the recording performance can be maintained.

【0016】[0016]

【実施例】本発明の実施例は、前記従来のインクジェッ
ト記録ヘッド等のように、複数の部材や基板等を組合わ
せ一体化して形成したインクジェット記録ヘッドに関連
するものであり、具体的には基板及び天板の接合に特徴
を有するインクジェット記録ヘッド及びその製造方法で
ある。
Embodiments of the present invention relate to an ink jet recording head formed by combining a plurality of members, substrates and the like and integrating them, like the conventional ink jet recording head described above. An inkjet recording head having a characteristic of joining a substrate and a top plate and a method for manufacturing the same.

【0017】以下、本発明実施例の特徴ある構成部分に
ついて説明する。図1ないし図3は、一実施例の製造方
法を示す模式斜視図である。
The characteristic components of the embodiment of the present invention will be described below. 1 to 3 are schematic perspective views showing a manufacturing method according to an embodiment.

【0018】図1は、溶着前のオリフィスプレート、及
び電気熱変換体(吐出用ヒータ)を備えた基板の接合前
の斜視図である。1はオリフィスプレート一体型溝付き
天板、2は液供給路、3は溝付き天板、4はオリフィ
ス、5はヒーター付き基板であり、斜線部6には溶着用
の樹脂層が設けられている。このような溶着層は天板の
溶着面と同じ材料が好ましい。参考のためにプラスチッ
ク溶着適性を表1に示す。
FIG. 1 is a perspective view of an orifice plate before welding and a substrate provided with an electrothermal converter (discharge heater) before joining. 1 is an orifice plate integrated grooved top plate, 2 is a liquid supply path, 3 is a grooved top plate, 4 is an orifice, 5 is a substrate with a heater, and a hatched portion 6 is provided with a resin layer for welding. There is. Such a welding layer is preferably made of the same material as the welding surface of the top plate. The plastic welding suitability is shown in Table 1 for reference.

【0019】[0019]

【表1】 [Table 1]

【0020】このような溶着層は溶着面ならどこにでも
設けることができるが、上記熱可塑性プラスチックでは
微細な溶着面のパターンに沿って塗布することができな
いため、ヒータ上など吐出障害のでる部分まで塗布され
てしまう。微細パターンの有機樹脂層を得るには、感光
性ネガレジストを用いBステージ状態の溶着層を設ける
ことができる例えば、フォトニース(商品名 東レ
(株)製 感光性ポリイミド)を基板上に塗布し、マス
クを用いて溶着面を露光し、現像することで微細なパタ
ーンのBステージ状態の溶着層を得ることができる。こ
のBステージ状態のもの同士を張り合わせ超音波をあて
ると震動による熱エネルギーのためBステージ状態のも
のが完全に硬化し強固に接着する。
Such a welding layer can be provided on any welding surface, but since the thermoplastic resin cannot be applied along the fine pattern of the welding surface, even a portion such as on the heater where discharge failure occurs. It will be applied. In order to obtain an organic resin layer having a fine pattern, a photosensitive negative resist can be used to provide a welding layer in a B-stage state. For example, Photonice (trade name: Toray Co., Ltd., photosensitive polyimide) is applied onto a substrate. By exposing the welding surface using a mask and developing it, a welding layer in a B-stage state having a fine pattern can be obtained. When the B-stages are bonded to each other and ultrasonic waves are applied, the B-stages are completely hardened and firmly bonded due to thermal energy due to vibration.

【0021】そして、図2に示すような超音波溶着用ケ
ース7に入れ溝付き天板3とヒータ付き基板5を位置合
わせ固定後、接着面の垂直方向に超音波を加えることで
天板3と基板5を精度良く接着することができ、図3に
示すように実施例のインクジェット記録ヘッドを完成す
る。
Then, after the ceiling grooved top plate 3 and the heater-equipped substrate 5 are aligned and fixed in an ultrasonic welding case 7 as shown in FIG. 2, ultrasonic waves are applied in a direction perpendicular to the bonding surface to form the top plate 3. The substrate 5 can be bonded to the substrate 5 with high precision, and the ink jet recording head of the embodiment is completed as shown in FIG.

【0022】なお、上記接着時には、震動を伝える工具
ホーンは天板上面と合わせた形状にし、接着面に均等に
超音波の震動が伝わるようにした。
At the time of the above-mentioned bonding, the tool horn for transmitting the vibration is shaped to match the top surface of the top plate so that the vibration of ultrasonic waves is evenly transmitted to the bonding surface.

【0023】上記実施例において、天板3は、PSF
(ポリサルフォン)を成形し、基板5は、シランカップ
リング剤を塗布し乾燥したものについてPSF(ポリサ
ルフォン)を塩化メチレンに溶解したものを塗布し乾燥
して膜を設けた。そして超音波溶着を行なった基板のP
SFと天板のPSFは強固に溶着され、また基板5にP
SFが塗布されていない部分については、天板3のPS
Fが溶け基板5に密着していた。
In the above embodiment, the top plate 3 is a PSF.
(Polysulfone) was molded, and the substrate 5 was formed by applying a silane coupling agent and drying it. Then, dissolving PSF (polysulfone) in methylene chloride was applied and dried to form a film. Then, P of the substrate subjected to ultrasonic welding
The SF and the PSF of the top plate are firmly welded together, and the P
For the parts not coated with SF, PS of the top plate 3
F melted and was in close contact with the substrate 5.

【0024】こうして出来上がったインクジェット記録
ヘッドと従来法で作成したインクジェット記録ヘッドを
用いて長期にわたる印字耐久試験を行なった、本発明の
実施例では結果印字に乱れが生じなかったが、従来法で
製造した記録ヘッドでは印字の乱れを生じた。
A long-term printing durability test was conducted using the thus-formed ink jet recording head and the ink jet recording head prepared by the conventional method. In the embodiment of the present invention, the resulting print did not have any disturbance, but the conventional method was used. The recording head produced the print disturbance.

【0025】[0025]

【発明の効果】上記説明のように、本発明によると、複
雑な工程を設けずに、押さえバネ等も精度が必要な高価
なものを用いずに、天板の張り合わせが安価に出来、ま
た従来は押さえバネによる固定のため長期にわたるとバ
ネ圧が変化するため信頼性が低下するという問題があっ
たが、これも解決できた。
As described above, according to the present invention, it is possible to bond the top plate at low cost without providing complicated steps and without using expensive pressing springs or the like that require precision. In the past, there was a problem that the reliability was lowered because the spring pressure changed over a long period of time because of the fixation by the pressing spring, but this could also be solved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 製造方法実施例を示す模式斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view showing an example of a manufacturing method.

【図2】 製造方法実施例を示す模式斜視図である。FIG. 2 is a schematic perspective view showing an example of a manufacturing method.

【図3】 製造方法実施例で製造したインクジェット記
録ヘッドの模式斜視図である。
FIG. 3 is a schematic perspective view of an inkjet recording head manufactured in a manufacturing method example.

【図4】 従来のインクジェット記録ヘッドの構成例を
示す分解模式図である。
FIG. 4 is an exploded schematic diagram showing a configuration example of a conventional inkjet recording head.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 オリフィスプレート一体型溝付き天板 2 液供給路 3 溝付き天板 4 オリフィス 5 ヒーター付き基板 6 有機膜塗布膜 7 超音波溶着用ケース 100 電気熱変換体 200 配線基板 201 電気信号を受け取るパッド 300 配線基板支持体 312 位置決め用穴 320 貫通を可能にする穴 400 オリフィスプレート 500 押さえバネ 501 押さえバネ前だれ部 600 インク供給部材 601 パッキン 1012 位置決め凸起 1300 オリフィスプレートを有する溝付き天板 1500 インク受口 1600 インク導管 1800 熱融着保持用凸起 1801 熱融着保持用凸起 1900 位置決め用穴 1901 熱融着用貫通穴 1902 熱融着用貫通穴 2000 位置決め用穴 2200 インク供給管 2400 ゴミやインクなどの侵入防止 2500 位置決め用突起 2600 位置決め用突起 3000 ゴミやインクなどの侵入防止用平行溝 3001 ゴミやインクなどの侵入防止用平行溝 1 Orifice plate integrated grooved top plate 2 liquid supply path 3 Groove top plate 4 orifice 5 Heated substrate 6 Organic film coating film 7 Ultrasonic welding case 100 electrothermal converter 200 wiring board 201 Pads that receive electrical signals 300 wiring board support 312 Positioning hole 320 holes that allow penetration 400 Orifice plate 500 holding spring 501 Pressing spring front slant 600 ink supply member 601 packing 1012 Positioning protrusion 1300 Grooved top plate with orifice plate 1500 ink receptacle 1600 ink conduit 1800 Protrusion for heat fusion retention 1801 Protrusion for heat fusion retention 1900 Positioning hole 1901 Through hole for heat fusion 1902 Through hole for heat fusion 2000 Positioning hole 2200 ink supply pipe 2400 Prevents invasion of dust and ink 2500 Positioning protrusion 2600 Positioning protrusion 3000 Parallel groove to prevent dust and ink from entering 3001 Parallel groove to prevent dust and ink from entering

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 インクを吐出するための吐出エネルギー
を発生する吐出エネルギー発生素子を形成した基板と、
該基板と接合することにより前記吐出エネルギー発生素
子の配設部位に対応したインク流路を形成する凹部を有
する樹脂製の天板とを備えたインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法において、前記基板と前記天板の接合部に
Bステージ状態の有機部材からなる溶着層を形成する工
程と、前記基板及び前記天板を張り合わせた状態で超音
波溶着を行う工程と、 を備える ことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの
製造方法。
1. A substrate on which an ejection energy generating element for generating ejection energy for ejecting ink is formed,
In the manufacturing method of the ink jet recording head provided with a top plate made of resin having a concave portion for forming the ink flow paths corresponding to the disposed position of the discharge energy generating elements by joining a substrate, said substrate and said At the top plate joint
Process for forming a welding layer consisting of an organic member in the B stage
And ultrasonic sound with the board and the top plate attached to each other.
A method for producing an ink jet recording head characterized by comprising a step of performing a wave welding, the.
【請求項2】 インクを吐出するための吐出エネルギー
を発生する吐出エネルギー発生素子を形成した基板と、
該基板と接合することにより前記吐出エネルギー発生素
子の配設部位に対応したインク流路を形成する凹部を有
する樹脂製の天板と、前記インク流路に連通してインク
を吐出する吐出口が形成された吐出口形成部材とを備え
たインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記
基板と前記天板の接合部にBステージ状態の有機部材か
らなる溶着層を形成する工程と、 前記基板及び前記天板を張り合わせた状態で超音波溶着
を行う工程と、 を備える ことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの
製造方法。
2. A substrate on which an ejection energy generating element for generating ejection energy for ejecting ink is formed,
A resin top plate having a concave portion that forms an ink flow path corresponding to a portion where the ejection energy generating element is disposed by joining with the substrate, and an ejection port that communicates with the ink flow path and ejects ink. in the manufacturing method of the ink jet recording head having the formed discharge port forming member, wherein
Is the organic member in the B stage state at the joint between the substrate and the top plate?
Forming a welding layer consisting of the above, and ultrasonic welding with the substrate and the top plate bonded together.
A method for producing an ink jet recording head, characterized by comprising the steps of performing.
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