JP3391364B2 - Manufacturing method of tantalum solid electrolytic capacitor - Google Patents

Manufacturing method of tantalum solid electrolytic capacitor

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JP3391364B2
JP3391364B2 JP12582095A JP12582095A JP3391364B2 JP 3391364 B2 JP3391364 B2 JP 3391364B2 JP 12582095 A JP12582095 A JP 12582095A JP 12582095 A JP12582095 A JP 12582095A JP 3391364 B2 JP3391364 B2 JP 3391364B2
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はタンタル固体電解コンデ
ンサの製造方法に関し、さらに詳しく言えば、陰極引き
出し層としての銀層を不要としたタンタル固体電解コン
デンサの製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a tantalum solid electrolytic capacitor, and more particularly to a method for manufacturing a tantalum solid electrolytic capacitor which does not require a silver layer as a cathode extraction layer.

【0002】[0002]

【従来の技術】図2にはタンタル固体電解コンデンサ素
子の一部分を拡大した断面図が示されている。これによ
ると、同コンデンサ素子はタンタル粉末を焼結してなる
焼結ペレット1を備え、まず、この焼結ペレット1の表
面にTaよりなる化成皮膜2が形成される。
2. Description of the Related Art FIG. 2 shows a partially enlarged sectional view of a tantalum solid electrolytic capacitor element. According to this, the capacitor element is provided with the sintered pellet 1 obtained by sintering tantalum powder, and first, the conversion coating 2 made of Ta 2 O 5 is formed on the surface of the sintered pellet 1.

【0003】そして、この化成皮膜2上に固体電解質と
しての二酸化マンガン層3が形成され、さらに同二酸化
マンガン層3上に陰極引き出し層としてのカーボン層4
と銀層5とが順次形成される。
Then, a manganese dioxide layer 3 as a solid electrolyte is formed on the chemical conversion film 2, and a carbon layer 4 as a cathode extraction layer is further formed on the manganese dioxide layer 3.
And the silver layer 5 are sequentially formed.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】カーボン層4は、二酸
化マンガン層3が形成された焼結ペレット1をグラファ
イト懸濁水溶液内に浸漬し、引き上げて所定温度で焼成
することにより形成されるが、二酸化マンガン層3とカ
ーボン層4は、それぞれ異なる性質を有しているため、
ハンダ付け時に加えられる熱ストレスにより、二酸化マ
ンガン層3とカーボン層4との接合面で剥離が生じやす
い。
The carbon layer 4 is formed by immersing the sintered pellet 1 on which the manganese dioxide layer 3 is formed in a graphite suspension aqueous solution, pulling it up and firing it at a predetermined temperature. Since the manganese dioxide layer 3 and the carbon layer 4 have different properties,
Due to the thermal stress applied at the time of soldering, peeling easily occurs at the joint surface between the manganese dioxide layer 3 and the carbon layer 4.

【0005】特に、二酸化マンガン層3の表面はそのほ
とんどが0.5μm以下の凹凸となっているのに対し、
従来ではそのグラファイトに粒子の大きさが0.3〜2
μm程度の鱗片状のものが使用されているため、このこ
とからも二酸化マンガン層3の表面にカーボン層4を均
一に付着させることは困難とされていた。
In particular, most of the surface of the manganese dioxide layer 3 has unevenness of 0.5 μm or less, whereas
Conventionally, the graphite has a particle size of 0.3 to 2
Since scale-like particles having a size of about μm are used, it has been difficult to evenly attach the carbon layer 4 to the surface of the manganese dioxide layer 3 also from this fact.

【0006】また、従来生産の主体であったディップ型
では、そのコンデンサ素子に陰極リードをハンダ付けす
るようにしているが、二酸化マンガン層3およびカーボ
ン層4はハンダ付け性が悪いため、カーボン層4上に銀
層5を形成し、この銀層5に対して陰極リードをハンダ
付けするようにしている。
Further, in the dip type, which has been the main production in the past, the cathode lead is soldered to the capacitor element. However, since the manganese dioxide layer 3 and the carbon layer 4 have poor solderability, the carbon layer 4 is formed with a silver layer 5, and a cathode lead is soldered to the silver layer 5.

【0007】同様な理由により、樹脂モールドによりコ
ンデンサ素子の周りに樹脂外装体を形成してチップ型と
する場合においても、カーボン層4上に銀層5を形成
し、この銀層5に対して導電性接着材(接着銀)6を介
してリードフレームの陰極端子板7を取り付けるように
している。
For the same reason, when a resin package is formed around the capacitor element by resin molding to form a chip type, the silver layer 5 is formed on the carbon layer 4 and the silver layer 5 is formed. The cathode terminal plate 7 of the lead frame is attached via a conductive adhesive material (adhesive silver) 6.

【0008】しかしながら、上記銀層5は高温高湿下で
電圧が加えられると、エレクトロマイグレーションを生
じ、しばしばLC(漏れ電流)不良およびこれに伴うシ
ョートが発生するという問題を抱えている。
However, the silver layer 5 has a problem that, when a voltage is applied under high temperature and high humidity, electromigration occurs, and often LC (leakage current) defects and short circuits associated therewith occur.

【0009】本発明は、上記従来の欠点を解決するため
になされたもので、その目的は、二酸化マンガン層に対
してカーボン層を高密度に密着させるとともに、エレク
トロマイグレーションの発生原因となる銀層を省略し
て、コンデンサ素子のカーボン層に直接的にリードフレ
ームの陰極端子板を取り付けることができるようにした
タンタル固体電解コンデンサの製造方法を提供すること
にある。
The present invention has been made in order to solve the above-mentioned conventional drawbacks, and its purpose is to bring a carbon layer into close contact with a manganese dioxide layer at a high density and to cause a silver layer which causes electromigration. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a tantalum solid electrolytic capacitor in which the cathode terminal plate of the lead frame can be directly attached to the carbon layer of the capacitor element by omitting.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、タンタル焼結ペレットに化成皮膜を形成
した後、硝酸マンガン水溶液への浸漬、熱分解を複数回
繰り返して上記化成被膜上に固体電解質としての二酸化
マンガン層を形成するにあたって、少なくとも最終段階
における硝酸マンガン水溶液にカーボンブラックを混合
し、最外側に形成される二酸化マンガン層内に上記カー
ボンブラックによる高密着カーボン層を混在させ、同高
密着カーボン層に接着銀を介して陰極端子板を取り付け
ることを特徴としている。
In order to achieve the above object, the present invention provides a method for forming a chemical conversion coating on tantalum sintered pellets, and then dipping in a manganese nitrate aqueous solution and thermal decomposition a plurality of times to form a chemical conversion coating on the chemical conversion coating. In forming a manganese dioxide layer as a solid electrolyte in, to mix carbon black in the manganese nitrate aqueous solution at least in the final stage, to mix the high adhesion carbon layer of carbon black in the manganese dioxide layer formed on the outermost, It is characterized in that the cathode terminal plate is attached to the high adhesion carbon layer via adhesive silver.

【0011】この場合、上記最終段階での硝酸マンガン
水溶液に対する上記カーボンブラック含有量は1〜10
wt%であることが好ましい。1wt%未満であると、
前段階で形成された二酸化マンガン層との密着性が劣
り、その界面抵抗が大きくなるおそれが生ずる。他方、
10wt%を超えると、乾燥収縮時に割れが発生しやす
くなる。
In this case, the carbon black content in the manganese nitrate aqueous solution in the final step is 1-10.
It is preferably wt%. If it is less than 1 wt%,
Adhesion to the manganese dioxide layer formed in the previous step is poor, and the interface resistance may increase. On the other hand,
If it exceeds 10 wt%, cracking tends to occur during drying shrinkage.

【0012】また、上記カーボンブラックはその粒子径
が0.1〜0.5μmであることが好ましい。これは、
二酸化マンガン層表面の微細な凹凸の大きさがほとんど
0.5μm以下であることを考慮したことによるもので
ある。
The carbon black preferably has a particle size of 0.1 to 0.5 μm. this is,
This is because it is considered that the size of the fine irregularities on the surface of the manganese dioxide layer is almost 0.5 μm or less.

【0013】さらに、上記最終段階での硝酸マンガン水
溶液に対してポリビニルアルコール(PVA)などの水
溶性接着剤を0.1〜2wt%の範囲内で混合すること
が望ましい。これによれば、二酸化マンガン層とカーボ
ン層との密着性がより高められる。なお、0.1wt%
未満の場合には、接着効果が認められず、これに対し
て、接着剤を2wt%を超えて添加すると、その分抵抗
値が増えることになり好ましくない。
Further, it is desirable to mix a water-soluble adhesive such as polyvinyl alcohol (PVA) in the range of 0.1 to 2 wt% with the manganese nitrate aqueous solution at the final stage. According to this, the adhesiveness between the manganese dioxide layer and the carbon layer is further enhanced. In addition, 0.1 wt%
If the amount is less than the above, the adhesive effect is not recognized. On the other hand, if the adhesive is added in excess of 2 wt%, the resistance value increases correspondingly, which is not preferable.

【0014】一方、上記高密着カーボン層に接着銀を介
して陰極端子板を取り付ける際、前もってその高密着カ
ーボン層上に有機溶剤系のカーボン層を形成することが
好ましい。
On the other hand, when the cathode terminal plate is attached to the high adhesion carbon layer via the adhesive silver, it is preferable to previously form an organic solvent-based carbon layer on the high adhesion carbon layer.

【0015】[0015]

【作用】上記の構成によると、固体電解質形成工程の最
終段階における硝酸マンガン水溶液にカーボンブラック
が含まれているため、最外側の二酸化マンガン層が形成
されるのと同時に、カーボンブラックによるカーボン層
が形成される。このカーボン層は二酸化マンガン層と渾
然一体に形成されるため、ハンダ付け時の熱ストレスに
よっても剥離するようなことはない。この意味からし
て、このカーボン層を高密着カーボン層という。
With the above structure, since carbon black is contained in the manganese nitrate aqueous solution in the final stage of the solid electrolyte forming step, the outermost manganese dioxide layer is formed and at the same time, the carbon layer formed by carbon black is formed. It is formed. Since this carbon layer is naturally formed integrally with the manganese dioxide layer, it does not peel off due to thermal stress during soldering. In this sense, this carbon layer is called a high adhesion carbon layer.

【0016】また、これによれば、その後にカーボン層
を改めて形成する必要がなく、したがって従来固体電解
質形成工程の後に用意されていたカーボン層形成工程が
不要となるとともに、高密着カーボン層に接着銀を介し
てリードフレームの陰極端子板を接続することができる
ため、銀層をも不要となる。したがって、接着銀が存在
するにせよ、陰極引き出し層中の銀層のエレクトロマイ
グレーション現象が抑制され、信頼性の高いタンタル固
体電解コンデンサが得られる。
Further, according to this, there is no need to newly form the carbon layer thereafter, and therefore the carbon layer forming step which has been conventionally prepared after the solid electrolyte forming step becomes unnecessary, and the carbon layer is adhered to the high adhesion carbon layer. Since the cathode terminal plate of the lead frame can be connected via silver, the silver layer is also unnecessary. Therefore, even if the adhesive silver is present, the electromigration phenomenon of the silver layer in the cathode extraction layer is suppressed, and a highly reliable tantalum solid electrolytic capacitor can be obtained.

【0017】[0017]

【実施例】図1は本発明により製造されたタンタル固体
電解コンデンサの一部拡大断面図であるが、まず、従来
と同様にタンタル焼結ペレット1の表面にTa
らなる化成皮膜2が形成される。
EXAMPLE FIG. 1 is a partially enlarged sectional view of a tantalum solid electrolytic capacitor manufactured according to the present invention. First, a conversion coating film 2 made of Ta 2 O 5 is formed on the surface of a tantalum sintered pellet 1 as in the conventional case. Is formed.

【0018】次に、硝酸マンガン水溶液への浸漬、熱分
解を複数回繰り返すことにより、固体電解質としての二
酸化マンガン層3Aが形成されるのであるが、その最終
段階での硝酸マンガン水溶液にカーボンブラックが混合
され、これにより最外側に形成される二酸化マンガン層
内にそのカーボンブラックによるカーボン層、すなわち
高密着カーボン層4Aが渾然一体に形成される。
Next, the manganese dioxide layer 3A as a solid electrolyte is formed by repeating immersion in an aqueous solution of manganese nitrate and thermal decomposition a plurality of times. Carbon black is added to the aqueous solution of manganese nitrate at the final stage. As a result, the carbon layer of the carbon black, that is, the high adhesion carbon layer 4A is naturally formed integrally in the manganese dioxide layer formed by being mixed and formed on the outermost side.

【0019】しかる後、従来のカーボン層形成工程およ
び銀層形成工程を省いて、高密着カーボン層4A上に接
着銀6を介してリードフレームの陰極端子板7が電気
的、機械的に接続される。そして、この固体電解コンデ
ンサ素子の周りに樹脂モールドによる樹脂外装体が形成
される。
Then, the conventional carbon layer forming step and silver layer forming step are omitted, and the cathode terminal plate 7 of the lead frame is electrically and mechanically connected to the high adhesion carbon layer 4A via the adhesive silver 6. It Then, a resin exterior body is formed by resin molding around the solid electrolytic capacitor element.

【0020】なお、この実施例では、固体電解質形成時
の最終段階での硝酸マンガン水溶液内にカーボンブラッ
クを混合するようにしているが、その前段階もしくは前
々段階からカーボンブラックを混合してもよく、その場
合にはカーボンブラック混合量を徐々に増やすようにす
ることが好ましい。また、陰極端子板7を取り付ける前
に、高密着カーボン層4A上に有機溶剤系のカーボン層
を形成し、同カーボン層に対して接着銀6を介して陰極
端子板7を取り付けるようにしてもよい。
In this embodiment, carbon black is mixed in the manganese nitrate aqueous solution at the final stage of solid electrolyte formation, but carbon black may be mixed before or after the previous stage. Well, in that case, it is preferable to gradually increase the amount of carbon black mixed. Further, before attaching the cathode terminal plate 7, an organic solvent-based carbon layer may be formed on the high adhesion carbon layer 4A, and the cathode terminal plate 7 may be attached to the carbon layer via the adhesive silver 6. Good.

【0021】《実施例1》 〔化成工程〕1mm立方体サイズのタンタル焼結ペレッ
トを0.01wt%のリン酸水溶液中に浸漬し、直流電
圧18Vを4時間印加して化成皮膜を形成した。 〔固体電解質形成工程〕 (1)10wt%の硝酸マンガン水溶液に浸漬した後、
240℃にて熱分解させ二酸化マンガンを形成した。 (2)上記(1)を繰り返し行なった。 (3)0.001wt%のリン酸水溶液中に浸漬し、直
流電圧10Vを10分間印加して再化成を行なった。 (4)20wt%の硝酸マンガン水溶液に浸漬した後、
240℃にて熱分解させ二酸化マンガンを形成した。 (5)40wt%の硝酸マンガン水溶液に浸漬した後、
240℃にて熱分解させ二酸化マンガンを形成した。 (6)0.001wt%のリン酸水溶液中に浸漬し、直
流電圧9Vを10分間印加して再化成を行なった。 (7)70wt%の硝酸マンガン水溶液に浸漬した後、
240℃にて熱分解させ二酸化マンガンを形成した。 (8)上記(7)を繰り返し行なった。 (9)0.001wt%のリン酸水溶液中に浸漬し、直
流電圧8Vを10分間印加して再化成を行なった。 (10)二酸化マンガン形成工程の最終段階としての2
0wt%の硝酸マンガン水溶液に、平均粒子径が約0.
28μmのカーボンブラックを5wt%、また、PVA
(水溶性接着剤)を1wt%を混合したものに浸漬し、
引き上げて240℃にて熱分解させ二酸化マンガンとカ
ーボン(高密着カーボン層)とが混在した層を形成し
た。 (11)しかる後、有機溶剤系のカーボン(例えば、藤
倉化成社製のPC−403など)に浸漬し、引き上げて
180℃にて硬化させた。そして、上記タンタル焼結ペ
レットに植設されている陽極リード棒にリードフレーム
の陽極端子板を溶接するとともに、上記(11)におい
て形成されたカーボン層上に接着銀を介して同リードフ
レームの陰極端子板を取り付け、樹脂モールドにより樹
脂外装体を形成した。
Example 1 [Chemical conversion step] Tantalum sintered pellets of 1 mm cubic size were immersed in a 0.01 wt% phosphoric acid aqueous solution, and a DC voltage of 18 V was applied for 4 hours to form a chemical conversion film. [Solid Electrolyte Forming Step] (1) After immersing in a 10 wt% manganese nitrate aqueous solution,
It was pyrolyzed at 240 ° C. to form manganese dioxide. (2) The above (1) was repeated. (3) It was immersed in a 0.001 wt% phosphoric acid aqueous solution, and a DC voltage of 10 V was applied for 10 minutes for re-formation. (4) After immersing in a 20 wt% manganese nitrate aqueous solution,
It was pyrolyzed at 240 ° C. to form manganese dioxide. (5) After immersing in a 40 wt% manganese nitrate aqueous solution,
It was pyrolyzed at 240 ° C. to form manganese dioxide. (6) It was immersed in a 0.001 wt% phosphoric acid aqueous solution, and a DC voltage of 9 V was applied for 10 minutes for re-formation. (7) After immersing in a 70 wt% manganese nitrate aqueous solution,
It was pyrolyzed at 240 ° C. to form manganese dioxide. (8) The above (7) was repeated. (9) It was immersed in a 0.001 wt% phosphoric acid aqueous solution, and a DC voltage of 8 V was applied for 10 minutes for re-formation. (10) 2 as the final stage of the manganese dioxide formation process
An average particle size of about 0.
5 wt% of 28 μm carbon black, PVA
(Water-soluble adhesive) soaked in a mixture of 1 wt%,
The layer was pulled up and thermally decomposed at 240 ° C. to form a layer in which manganese dioxide and carbon (high adhesion carbon layer) were mixed. (11) After that, it was immersed in organic solvent-based carbon (for example, PC-403 manufactured by Fujikura Kasei Co., Ltd.), pulled up, and cured at 180 ° C. Then, the anode terminal plate of the lead frame is welded to the anode lead rod planted in the tantalum sintered pellet, and the cathode of the lead frame is bonded to the carbon layer formed in the above (11) via the adhesive silver. The terminal board was attached, and the resin exterior body was formed by resin molding.

【0022】このようにして、定格4V10μFのタン
タル固体電解コンデンサを100個作製し、温度85
℃、相対湿度85%の雰囲気下で定格電圧の4Vを印加
して2000時間におよぶ耐湿負荷テストを行なったと
ころ、不良品発生数は100個中、0個であった。ま
た、上記製品100個について、温度121℃、圧力2
026hPa(ヘクトパスカル)、相対湿度100%の
雰囲気下で96時間におよぶPCT(プレッシャー・ク
ッカー・テスト)を行なったところ、やはり不良品発生
数は100個中、0個であった。
In this way, 100 tantalum solid electrolytic capacitors having a rated voltage of 4V and 10 μF were produced, and the temperature was set to 85.
When a humidity resistance load test was performed for 2000 hours by applying a rated voltage of 4 V in an atmosphere of ° C and relative humidity of 85%, the number of defective products was 0 out of 100. In addition, regarding the above 100 products, the temperature is 121 ° C and the pressure is 2
When a PCT (pressure cooker test) was performed for 96 hours in an atmosphere of 026 hPa (hectopascals) and a relative humidity of 100%, the number of defective products was 0 out of 100.

【0023】〈比較例1〉 〔化成工程〕上記実施例1と同じ。 〔固体電解質形成工程〕(1)〜(9)までは上記実施
例1と同じ。 (10)平均粒子径が約2.0μmのカーボンブラック
3wt%、メチルセルロース(水溶性接着剤)を0.5
wt%、残部を水としたカーボンブラック懸濁水溶液内
に浸漬した後、180℃にて焼成して第1のカーボン層
を形成した。 (11)グラファイト10wt%、メチルセルロース1
wt%、残部を水としたカーボンブラック懸濁水溶液内
に浸漬した後、180℃にて焼成して第2のカーボン層
を形成した。そして、この第2のカーボン層上に銀層を
形成した後、上記タンタル焼結ペレットに植設されてい
る陽極リード棒にリードフレームの陽極端子板を溶接す
るとともに、上記銀層上に接着銀を介して同リードフレ
ームの陰極端子板を取り付け、樹脂モールドにより樹脂
外装体を形成した。
<Comparative Example 1> [Chemical conversion step] The same as in Example 1 above. [Solid Electrolyte Forming Step] (1) to (9) are the same as in Example 1 above. (10) 3% by weight of carbon black having an average particle diameter of about 2.0 μm and 0.5% of methyl cellulose (water-soluble adhesive)
The first carbon layer was formed by immersing in a carbon black suspension aqueous solution with wt% and the balance being water, and then firing at 180 ° C. (11) Graphite 10 wt%, methyl cellulose 1
After dipping in a carbon black suspension aqueous solution containing wt% and the balance being water, the second carbon layer was formed by firing at 180 ° C. Then, after forming a silver layer on the second carbon layer, the anode terminal plate of the lead frame is welded to the anode lead rod implanted in the tantalum sintered pellets, and the adhesive silver is adhered on the silver layer. The cathode terminal plate of the same lead frame was attached via the above, and a resin exterior body was formed by resin molding.

【0024】このようにして、定格4V10μFのタン
タル固体電解コンデンサを100個作製し、温度85
℃、相対湿度85%の雰囲気下で定格電圧の4Vを印加
して2000時間におよぶ耐湿負荷テストを行なったと
ころ、不良品発生数は100個中、3個であった。ま
た、上記製品100個について、温度121℃、圧力2
026hPa、相対湿度100%の雰囲気下で96時間
におよぶPCTを行なったところ、不良品発生数は10
0個中、3個であった。
In this way, 100 tantalum solid electrolytic capacitors having a rating of 4V and 10 μF were produced and the temperature was set to 85.
When a humidity resistance load test was performed for 2000 hours by applying a rated voltage of 4 V in an atmosphere of ° C and relative humidity of 85%, the number of defective products was 3 out of 100. In addition, regarding the above 100 products, the temperature is 121 ° C and the pressure is 2
When PCT was performed for 96 hours in an atmosphere of 026 hPa and relative humidity of 100%, the number of defective products was 10
It was 3 out of 0.

【0025】《実施例2》 〔化成工程〕1mm立方体サイズのタンタル焼結ペレッ
トを0.01wt%のリン酸水溶液中に浸漬し、直流電
圧64Vを4時間印加して化成皮膜を形成した。 〔固体電解質形成工程〕 (1)10wt%の硝酸マンガン水溶液に浸漬した後、
240℃にて熱分解させ二酸化マンガンを形成した。 (2)上記(1)を繰り返し行なった。 (3)0.001wt%のリン酸水溶液中に浸漬し、直
流電圧30Vを10分時間印加して再化成を行なった。 (4)20wt%の硝酸マンガン水溶液に浸漬した後、
240℃にて熱分解させ二酸化マンガンを形成した。 (5)40wt%の硝酸マンガン水溶液に浸漬した後、
240℃にて熱分解させ二酸化マンガンを形成した。 (6)0.001wt%のリン酸水溶液中に浸漬し、直
流電圧28Vを10分間印加して再化成を行なった。 (7)70wt%の硝酸マンガン水溶液に浸漬した後、
240℃にて熱分解させ二酸化マンガンを形成した。 (8)上記(7)を繰り返し行なった。 (9)0.001wt%のリン酸水溶液中に浸漬し、直
流電圧26Vを10分間印加して再化成を行なった。 (10)二酸化マンガン形成工程の最終段階としての2
0wt%の硝酸マンガン水溶液に、平均粒子径が約0.
28μmのカーボンブラックを5wt%、また、PVA
(水溶性接着剤)を1wt%を混合したものに浸漬し、
引き上げて240℃にて熱分解させ二酸化マンガンとカ
ーボンとが混在した層を形成した。 (11)しかる後、有機溶剤系のカーボン(例えば、藤
倉化成社製のPC−403など)に浸漬し、引き上げて
180℃にて硬化させた。そして、上記タンタル焼結ペ
レットに植設されている陽極リード棒にリードフレーム
の陽極端子板を溶接するとともに、上記(11)におい
て形成されたカーボン層上に接着銀を介して同リードフ
レームの陰極端子板を取り付け、樹脂モールドにより樹
脂外装体を形成した。
Example 2 [Chemical conversion step] Tantalum sintered pellets of 1 mm cube size were immersed in a 0.01 wt% phosphoric acid aqueous solution, and a DC voltage of 64 V was applied for 4 hours to form a chemical conversion film. [Solid Electrolyte Forming Step] (1) After immersing in a 10 wt% manganese nitrate aqueous solution,
It was pyrolyzed at 240 ° C. to form manganese dioxide. (2) The above (1) was repeated. (3) It was immersed in a 0.001 wt% phosphoric acid aqueous solution, and a DC voltage of 30 V was applied for 10 minutes for re-formation. (4) After immersing in a 20 wt% manganese nitrate aqueous solution,
It was pyrolyzed at 240 ° C. to form manganese dioxide. (5) After immersing in a 40 wt% manganese nitrate aqueous solution,
It was pyrolyzed at 240 ° C. to form manganese dioxide. (6) It was immersed in a 0.001 wt% phosphoric acid aqueous solution, and a DC voltage of 28 V was applied for 10 minutes for re-formation. (7) After immersing in a 70 wt% manganese nitrate aqueous solution,
It was pyrolyzed at 240 ° C. to form manganese dioxide. (8) The above (7) was repeated. (9) It was immersed in a 0.001 wt% phosphoric acid aqueous solution, and a DC voltage of 26 V was applied for 10 minutes for re-formation. (10) 2 as the final stage of the manganese dioxide formation process
An average particle size of about 0.
5 wt% of 28 μm carbon black, PVA
(Water-soluble adhesive) soaked in a mixture of 1 wt%,
It was pulled up and thermally decomposed at 240 ° C. to form a layer in which manganese dioxide and carbon were mixed. (11) After that, it was immersed in organic solvent-based carbon (for example, PC-403 manufactured by Fujikura Kasei Co., Ltd.), pulled up, and cured at 180 ° C. Then, the anode terminal plate of the lead frame is welded to the anode lead rod planted in the tantalum sintered pellet, and the cathode of the lead frame is bonded to the carbon layer formed in the above (11) via the adhesive silver. The terminal board was attached, and the resin exterior body was formed by resin molding.

【0026】このようにして、定格16V3.3μFの
タンタル固体電解コンデンサを100個作製し、温度8
5℃、相対湿度85%の雰囲気下で定格電圧の16Vを
印加して2000時間におよぶ耐湿負荷テストを行なっ
たところ、不良品発生数は100個中、0個であった。
また、上記製品100個について、温度121℃、圧力
2026hPa、相対湿度100%の雰囲気下で96時
間におよぶPCTを行なったところ、やはり不良品発生
数は100個中、0個であった。
In this way, 100 tantalum solid electrolytic capacitors having a rated voltage of 16V and 3.3 μF were manufactured, and the temperature was 8
When a humidity resistance load test for 2000 hours was performed by applying a rated voltage of 16 V under an atmosphere of 5 ° C. and a relative humidity of 85%, the number of defective products was 0 out of 100.
Further, when 100 pieces of the above-mentioned products were subjected to PCT for 96 hours in an atmosphere of a temperature of 121 ° C., a pressure of 2026 hPa and a relative humidity of 100%, the number of defective products was 0 out of 100.

【0027】〈比較例2〉 〔化成工程〕上記実施例2と同じ。 〔固体電解質形成工程〕(1)〜(9)までは上記実施
例2と同じ。 (10)上記比較例1と同じく、平均粒子径が約2.0
μmのカーボンブラック3wt%、メチルセルロース
(水溶性接着剤)を0.5wt%、残部を水としたカー
ボンブラック懸濁水溶液内に浸漬した後、180℃にて
焼成して第1のカーボン層を形成した。 (11)上記比較例1と同じく、グラファイト10wt
%、メチルセルロース1wt%、残部を水としたカーボ
ンブラック懸濁水溶液内に浸漬した後、180℃にて焼
成して第2のカーボン層を形成した。そして、この第2
のカーボン層上に銀層を形成した後、上記タンタル焼結
ペレットに植設されている陽極リード棒にリードフレー
ムの陽極端子板を溶接するとともに、上記銀層上に接着
銀を介して同リードフレームの陰極端子板を取り付け、
樹脂モールドにより樹脂外装体を形成した。
<Comparative Example 2> [Chemical conversion step] Same as Example 2 above. [Solid Electrolyte Forming Step] From (1) to (9), the same as in Example 2 above. (10) As in Comparative Example 1 above, the average particle size is about 2.0.
After immersing in a carbon black suspension aqueous solution containing 3 wt% of carbon black of 3 μm, 0.5 wt% of methylcellulose (water-soluble adhesive), and the balance being water, baking is performed at 180 ° C. to form a first carbon layer. did. (11) 10 wt% of graphite as in Comparative Example 1
%, 1% by weight of methyl cellulose, and the remainder was water, and the resultant was immersed in a carbon black suspension aqueous solution and then baked at 180 ° C. to form a second carbon layer. And this second
After forming a silver layer on the carbon layer, the anode terminal plate of the lead frame is welded to the anode lead rod planted in the tantalum sintered pellet, and the lead is formed on the silver layer via adhesive silver. Attach the cathode terminal plate of the frame,
A resin exterior body was formed by resin molding.

【0028】このようにして、定格16V3.3μFの
タンタル固体電解コンデンサを100個作製し、温度8
5℃、相対湿度85%の雰囲気下で定格電圧の16Vを
印加して2000時間におよぶ耐湿負荷テストを行なっ
たところ、不良品発生数は100個中、5個であった。
また、上記製品100個について、温度121℃、圧力
2026hPa、相対湿度100%の雰囲気下で96時
間におよぶPCTを行なったところ、不良品発生数は1
00個中、2個であった。
In this way, 100 tantalum solid electrolytic capacitors having a rated voltage of 16V and 3.3 μF were manufactured, and the temperature was 8
When a humidity resistance load test for 2000 hours was performed by applying a rated voltage of 16 V in an atmosphere of 5 ° C. and a relative humidity of 85%, the number of defective products was 5 out of 100.
Moreover, when 100 pieces of the above-mentioned products were subjected to PCT for 96 hours in an atmosphere of a temperature of 121 ° C., a pressure of 2026 hPa and a relative humidity of 100%, the number of defective products was 1
The number was 2 out of 00.

【0029】《実施例3》 〔化成工程〕1mm立方体サイズのタンタル焼結ペレッ
トを0.01wt%のリン酸水溶液中に浸漬し、直流電
圧140Vを4時間印加して化成皮膜を形成した。 〔固体電解質形成工程〕 (1)10wt%の硝酸マンガン水溶液に浸漬した後、
240℃にて熱分解させ二酸化マンガンを形成した。 (2)上記(1)を繰り返し行なった。 (3)0.001wt%のリン酸水溶液中に浸漬し、直
流電圧56Vを10分時間印加して再化成を行なった。 (4)20wt%の硝酸マンガン水溶液に浸漬した後、
240℃にて熱分解させ二酸化マンガンを形成した。 (5)40wt%の硝酸マンガン水溶液に浸漬した後、
240℃にて熱分解させ二酸化マンガンを形成した。 (6)0.001wt%のリン酸水溶液中に浸漬し、直
流電圧54Vを10分間印加して再化成を行なった。 (7)70wt%の硝酸マンガン水溶液に浸漬した後、
240℃にて熱分解させ二酸化マンガンを形成した。 (8)上記(7)を繰り返し行なった。 (9)0.001wt%のリン酸水溶液中に浸漬し、直
流電圧52Vを10分間印加して再化成を行なった。 (10)二酸化マンガン形成工程の最終段階としての2
0wt%の硝酸マンガン水溶液に、平均粒子径が約0.
28μmのカーボンブラックを5wt%、また、PVA
(水溶性接着剤)を1wt%を混合したものに浸漬し、
引き上げて240℃にて熱分解させ二酸化マンガンとカ
ーボンとが混在した層を形成した。 (11)しかる後、有機溶剤系のカーボン(例えば、藤
倉化成社製のPC−403など)に浸漬し、引き上げて
180℃にて硬化させた。そして、上記タンタル焼結ペ
レットに植設されている陽極リード棒にリードフレーム
の陽極端子板を溶接するとともに、上記(11)で形成
されたカーボン層上に接着銀を介して同リードフレーム
の陰極端子板を取り付け、樹脂モールドにより樹脂外装
体を形成した。
Example 3 [Chemical conversion step] Tantalum sintered pellets of 1 mm cubic size were immersed in a 0.01 wt% phosphoric acid aqueous solution, and a DC voltage of 140 V was applied for 4 hours to form a chemical conversion film. [Solid Electrolyte Forming Step] (1) After immersing in a 10 wt% manganese nitrate aqueous solution,
It was pyrolyzed at 240 ° C. to form manganese dioxide. (2) The above (1) was repeated. (3) It was immersed in a 0.001 wt% phosphoric acid aqueous solution, and a direct current voltage of 56 V was applied for 10 minutes for re-formation. (4) After immersing in a 20 wt% manganese nitrate aqueous solution,
It was pyrolyzed at 240 ° C. to form manganese dioxide. (5) After immersing in a 40 wt% manganese nitrate aqueous solution,
It was pyrolyzed at 240 ° C. to form manganese dioxide. (6) It was immersed in a 0.001 wt% phosphoric acid aqueous solution, and a DC voltage of 54 V was applied for 10 minutes for re-formation. (7) After immersing in a 70 wt% manganese nitrate aqueous solution,
It was pyrolyzed at 240 ° C. to form manganese dioxide. (8) The above (7) was repeated. (9) It was immersed in a 0.001 wt% phosphoric acid aqueous solution, and a direct current voltage of 52 V was applied for 10 minutes for re-formation. (10) 2 as the final stage of the manganese dioxide formation process
An average particle size of about 0.
5 wt% of 28 μm carbon black, PVA
(Water-soluble adhesive) soaked in a mixture of 1 wt%,
It was pulled up and thermally decomposed at 240 ° C. to form a layer in which manganese dioxide and carbon were mixed. (11) After that, it was immersed in organic solvent-based carbon (for example, PC-403 manufactured by Fujikura Kasei Co., Ltd.), pulled up, and cured at 180 ° C. Then, the anode terminal plate of the lead frame is welded to the anode lead rod planted in the tantalum sintered pellet, and the cathode of the lead frame is bonded to the carbon layer formed in the above (11) via the adhesive silver. The terminal board was attached, and the resin exterior body was formed by resin molding.

【0030】このようにして、定格35V1μFのタン
タル固体電解コンデンサを100個作製し、温度85
℃、相対湿度85%の雰囲気下で定格電圧の35Vを印
加して2000時間におよぶ耐湿負荷テストを行なった
ところ、不良品発生数は100個中、0個であった。ま
た、上記製品100個について、温度121℃、圧力2
026hPa、相対湿度100%の雰囲気下で96時間
におよぶPCTを行なったところ、やはり不良品発生数
は100個中、0個であった。
In this way, 100 tantalum solid electrolytic capacitors having a rating of 35V and 1 μF were manufactured and the temperature was set to 85.
When a humidity resistance load test for 2000 hours was performed by applying a rated voltage of 35 V in an atmosphere of ° C and relative humidity of 85%, the number of defective products was 0 out of 100. In addition, regarding the above 100 products, the temperature is 121 ° C and the pressure is 2
When PCT was performed for 96 hours in an atmosphere of 026 hPa and 100% relative humidity, the number of defective products was 0 out of 100.

【0031】〈比較例3〉 〔化成工程〕上記実施例3と同じ。 〔固体電解質形成工程〕(1)〜(9)までは上記実施
例3と同じ。 (10)上記比較例1と同じく、平均粒子径が約2.0
μmのカーボンブラック3wt%、メチルセルロース
(水溶性接着剤)を0.5wt%、残部を水としたカー
ボンブラック懸濁水溶液内に浸漬した後、180℃にて
焼成して第1のカーボン層を形成した。 (11)上記比較例1と同じく、グラファイト10wt
%、メチルセルロース1wt%、残部を水としたカーボ
ンブラック懸濁水溶液内に浸漬した後、180℃にて焼
成して第2のカーボン層を形成した。そして、この第2
のカーボン層上に銀層を形成した後、上記タンタル焼結
ペレットに植設されている陽極リード棒にリードフレー
ムの陽極端子板を溶接するとともに、上記銀層上に接着
銀を介して同リードフレームの陰極端子板を取り付け、
樹脂モールドにより樹脂外装体を形成した。
<Comparative Example 3> [Chemical conversion step] The same as in Example 3 above. [Solid Electrolyte Forming Step] From (1) to (9), the same as in Example 3 above. (10) As in Comparative Example 1 above, the average particle size is about 2.0.
After immersing in a carbon black suspension aqueous solution containing 3 wt% of carbon black of 3 μm, 0.5 wt% of methylcellulose (water-soluble adhesive), and the balance being water, baking is performed at 180 ° C. to form a first carbon layer. did. (11) 10 wt% of graphite as in Comparative Example 1
%, 1% by weight of methyl cellulose, and the remainder was water, and the resultant was immersed in a carbon black suspension aqueous solution and then baked at 180 ° C. to form a second carbon layer. And this second
After forming a silver layer on the carbon layer, the anode terminal plate of the lead frame is welded to the anode lead rod planted in the tantalum sintered pellet, and the lead is formed on the silver layer via adhesive silver. Attach the cathode terminal plate of the frame,
A resin exterior body was formed by resin molding.

【0032】このようにして、定格35V1μFのタン
タル固体電解コンデンサを100個作製し、温度85
℃、相対湿度85%の雰囲気下で定格電圧の35Vを印
加して2000時間におよぶ耐湿負荷テストを行なった
ところ、不良品発生数は100個中、6個であった。ま
た、上記製品100個について、温度121℃、圧力2
026hPa、相対湿度100%の雰囲気下で96時間
におよぶPCTを行なったところ、不良品発生数は10
0個中、2個であった。
In this way, 100 tantalum solid electrolytic capacitors having a rating of 35V and 1 μF were manufactured and the temperature was set to 85.
When a humidity resistance load test for 2000 hours was performed by applying a rated voltage of 35 V in an atmosphere of ° C and relative humidity of 85%, the number of defective products was 6 out of 100. In addition, regarding the above 100 products, the temperature is 121 ° C and the pressure is 2
When PCT was performed for 96 hours in an atmosphere of 026 hPa and relative humidity of 100%, the number of defective products was 10
It was 2 out of 0.

【0033】このように、本発明によれば、陰極引き出
し層としての銀層がないことにより、高温高湿度下にお
いて銀のマイグレーション現象が発生せず、信頼性の高
いタンタル固体電解コンデンサが得られる。また、本発
明によれば、銀層およびカーボン層形成工程が省けるた
め、工程の簡素化も図れる。参考までに、上記実施例1
〜3および比較例1〜3のテスト結果を表1に示す。
As described above, according to the present invention, since there is no silver layer as the cathode extraction layer, the migration phenomenon of silver does not occur under high temperature and high humidity, and a highly reliable tantalum solid electrolytic capacitor can be obtained. . Further, according to the present invention, the steps of forming the silver layer and the carbon layer can be omitted, so that the steps can be simplified. For reference, the above-mentioned Example 1
Table 3 shows the test results of Comparative Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 3.

【0034】[0034]

【表1】 [Table 1]

【0035】[0035]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
次のような効果が奏される。すなわち、固体電解質形成
工程の少なくとも最終段階における硝酸マンガン水溶液
にカーボンブラックを混合し、最外側に形成される二酸
化マンガン層内にカーボンブラックによる高密着カーボ
ン層を混在させ、同高密着カーボン層に接着銀を介して
陰極端子板を取り付けるようにした請求項1に記載の発
明によれば、カーボン層形成工程に加えて銀層形成工程
も省略できるばかりでなく、高温高湿度下においても銀
のマイグレーション現象の発生がない、高信頼性のタン
タル固体電解コンデンサが提供される。
As described above, according to the present invention,
The following effects are achieved. That is, carbon black is mixed with the manganese nitrate aqueous solution at least at the final stage of the solid electrolyte forming step, and the high adhesion carbon layer of carbon black is mixed in the manganese dioxide layer formed on the outermost side, and adhered to the high adhesion carbon layer. According to the invention as set forth in claim 1, wherein the cathode terminal plate is attached via silver, not only the carbon layer forming step but also the silver layer forming step can be omitted, and the silver migration also occurs under high temperature and high humidity. Provided is a highly reliable tantalum solid electrolytic capacitor in which no phenomenon occurs.

【0036】また、二酸化マンガン形成の最終段階での
硝酸マンガン水溶液に対するカーボンブラック含有量を
1〜10wt%とした請求項2に記載の発明によれば、
二酸化マンガン層とカーボン層との密着性がより強固と
なり、請求項1の効果がより高められる。
Further, according to the invention of claim 2, the carbon black content in the manganese nitrate aqueous solution at the final stage of manganese dioxide formation is 1 to 10 wt%.
The adhesion between the manganese dioxide layer and the carbon layer becomes stronger, and the effect of claim 1 is further enhanced.

【0037】硝酸マンガン水溶液に混合されるカーボン
ブラックの粒子径を0.1〜0.5μmとした請求項3
に記載の発明によれば、同カーボンブラックが二酸化マ
ンガン層表面の微細な凹凸の内部にまで入り込むことが
できるため、より緊密な密着状態が得られる。
The particle size of the carbon black mixed with the manganese nitrate aqueous solution is 0.1 to 0.5 μm.
According to the invention described in (1), since the carbon black can penetrate even into the inside of the fine irregularities on the surface of the manganese dioxide layer, a tighter adhered state can be obtained.

【0038】さらに、硝酸マンガン水溶液内にポリビニ
ルアルコールなどの水溶性接着剤を0.1〜2wt%混
合した請求項4に記載の発明によれば、乾燥後において
も二酸化マンガン層とカーボン層の密着性がより長期に
わたって維持され、耐熱特性の安定した長寿命のタンタ
ル固体電解コンデンサが提供される。
Further, according to the invention of claim 4, wherein 0.1 to 2 wt% of a water-soluble adhesive such as polyvinyl alcohol is mixed in the manganese nitrate aqueous solution, the manganese dioxide layer and the carbon layer are adhered even after drying. The long-life tantalum solid electrolytic capacitor having stable heat resistance and stable heat resistance is provided.

【0039】同様に、上記高密着カーボン層上に、さら
に有機溶剤系のカーボン層を形成するようにした請求項
5に記載の発明によれば、上記高密着カーボン層と陰極
端子板との電気的接続状態が長期にわたって保証され
る。
Similarly, according to the invention of claim 5, wherein an organic solvent-based carbon layer is further formed on the high adhesion carbon layer, the electrical connection between the high adhesion carbon layer and the cathode terminal plate is achieved. Connection status is guaranteed for a long time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明により製造された一実施例としてのタン
タル固体電解コンデンサ素子の一部拡大断面図。
FIG. 1 is a partially enlarged cross-sectional view of a tantalum solid electrolytic capacitor element as one embodiment manufactured by the present invention.

【図2】従来例としてのタンタル固体電解コンデンサ素
子の一部拡大断面図。
FIG. 2 is a partially enlarged sectional view of a tantalum solid electrolytic capacitor element as a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 タンタル焼結ペレット 2 化成皮膜 3A 二酸化マンガン層 4A カーボン層 5 銀層 1 Tantalum sintered pellet 2 Chemical conversion film 3A Manganese dioxide layer 4A carbon layer 5 silver layers

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−31107(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01G 9/04 H01G 9/032 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) Reference JP-A-63-31107 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) H01G 9/04 H01G 9/032

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 タンタル焼結ペレットに化成皮膜を形成
した後、硝酸マンガン水溶液への浸漬、熱分解を複数回
繰り返して上記化成被膜上に固体電解質としての二酸化
マンガン層を形成するにあたって、少なくとも最終段階
における硝酸マンガン水溶液にカーボンブラックを混合
し、最外側に形成される二酸化マンガン層内に上記カー
ボンブラックによる高密着カーボン層を混在させ、同高
密着カーボン層に接着銀を介して陰極端子板を取り付け
ることを特徴とするタンタル固体電解コンデンサの製造
方法。
1. A manganese dioxide layer as a solid electrolyte is formed on the chemical conversion film by forming a chemical conversion film on the tantalum sintered pellet, dipping it in an aqueous solution of manganese nitrate, and then repeating thermal decomposition a plurality of times. The carbon black is mixed with the manganese nitrate aqueous solution in the step, the high adhesion carbon layer is mixed with the carbon black in the manganese dioxide layer formed on the outermost side, and the cathode terminal plate is bonded to the high adhesion carbon layer through the adhesive silver. A method for manufacturing a tantalum solid electrolytic capacitor, which is characterized by being attached.
【請求項2】 上記最終段階での硝酸マンガン水溶液に
対する上記カーボンブラック含有量は1〜10wt%で
あることを特徴とする請求項1に記載のタンタル固体電
解コンデンサの製造方法。
2. The method for producing a tantalum solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the carbon black content in the manganese nitrate aqueous solution at the final stage is 1 to 10 wt%.
【請求項3】 上記カーボンブラックはその粒子径が
0.1〜0.5μmであることを特徴とする請求項1ま
たは2に記載のタンタル固体電解コンデンサの製造方
法。
3. The method for producing a tantalum solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the carbon black has a particle size of 0.1 to 0.5 μm.
【請求項4】 上記最終段階での硝酸マンガン水溶液に
対してポリビニルアルコール(PVA)などの水溶性接
着剤が0.1〜2wt%の範囲内で混合されることを特
徴とする請求項1または2に記載のタンタル固体電解コ
ンデンサの製造方法。
4. The water-soluble adhesive such as polyvinyl alcohol (PVA) is mixed with the manganese nitrate aqueous solution at the final stage in the range of 0.1 to 2 wt%. 2. The method for producing a tantalum solid electrolytic capacitor as described in 2.
【請求項5】 上記高密着カーボン層上に、さらに有機
溶剤系のカーボン層を形成することを特徴とする請求項
1ないし4のいずれか1項に記載のタンタル固体電解コ
ンデンサの製造方法。
5. The method for producing a tantalum solid electrolytic capacitor according to claim 1, further comprising forming an organic solvent-based carbon layer on the high adhesion carbon layer.
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