JP3387489B2 - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
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Description
用いたCRT表示装置に係り、特に超音波モータとして
改良されたロータ機構を有する電歪公転子形超音波モー
タに関する。
非常に細かな動作が可能で、無電圧時の保持トルクが大
きいため、精密調整機構のサーボモータとして有用であ
る。とりわけ、特開昭63−257474号,特開昭6
3−181676号で開示されている超音波による励振
で重心がすりこぎ偏心運動をする圧電素子(セラミック)
の円板をステータとして利用する、いわゆる電歪公転子
形の超音波モータは、構造が比較的簡単で、小形,低コ
スト化に適している。
構造図を示している。図9の構造は、予め分極処理され
た強誘電体のPZT等の圧電素子で作られている円板状
のステータ1と、その外周に嵌合されているりん青銅板
をシャーレ状に絞り加工したロータ2、およびステータ
表面の電極を金属製のロータ2で短絡することを防止す
るためのマイラシート製の絶縁スペーサ6等で構成され
ている。ロータ2には絞り加工によって3個の突起部が
設けられており、ロータ2はこの突起部3を介して適当
な接触圧でステータ1の外周に接している。
極11〜14がスパッタされており、表面の電極の一つ
と180°対向した側の裏面電極とが互いに接続されて
2組(2相分)の電極を構成している。2組の電極には
ステータ1の機械的な共振を妨げないようにコイルバネ
(図示せず)を介して周波数が共振周波数に合致した2
相のパルス電圧を加える構成である(ステータ駆動の詳
細は上記で掲げた特許の明細書中に記載しており、ここ
では省略する)。
ータは、印加パルス電圧の極性に対応してステータ1の
一方の電極側は僅かに伸び(通常1μm弱)、180°
異なる他方は縮む結果、ステータ1の重心が偏心してい
わゆる「すりこぎ」偏心運動を起こす。この運動が摩擦
接触を介してロータの突起部3に伝わり、ロータ2に回
転トルクが生じて回転する。
構成では、発生する回転トルクが小さく、発生するトル
クのばらつきも大きくて、個々に突起部バネ圧力の複雑
微妙な調整が不可欠であった。また、回転トルクが生じ
てもステータ接触面の損傷等による経時的なトルク変化
が大きい、等の問題があり、この構造の超音波モータは
今日に至るも量産可能な工業製品として実用化するに至
っていない。また、従来例ではロータ材質が金属である
ため、電界や磁界に対する相互作用(干渉)等が問題に
なる応用、例えば強力な電磁界が発生するCRT表示装
置内でのフライバック電圧調整(フォーカス調整)、或
いは微弱な電磁界の乱れが問題になる医用電子計測器な
ど、の応用には適さなかった。
題点の発生は、りん青銅板の絞り加工法によるロータに
あることが明らかになった。りん青銅板のような薄い金
属バネ材にあっては、量産向の成形加工法として絞り加
工法はほとんど唯一の手段であるが、絞り加工法の寸法
精度のばらつきは±50μm程度あることが分った。こ
れは電歪公転子形超音波モータのこの場合におけるロー
タの接触時の撓み量の許容ばらつき約±15μmを越
え、大き過ぎることが分った。加えて絞り加工による
延,展時の応力による硬度変化も接触圧力ばらつきの原
因になることも明らかになった。さらに、金属バネ材で
構成したロータ接触部の硬度が高いため接触回転時にス
テータの接触面を経時的に傷つけ易く、接触摩擦力に大
きなばらつきと経時変化をもたらすことが分った。
ないロータを構成して安定で高トルクが得られると共に
低コストの超音波モータを提供するにある。さらに他の
目的は、電界,磁界等の影響を受け難い、或いは与え難
い対環境性の良い非金属ロータを用いた超音波モータを
提供するにある。
転子型超音波モータにおいて、超音波振動子によるステ
ータに、バネ構成が内接する円筒形状を基本としたロー
タを射出成形により形成することにより達成される。さ
らにロータの成形材としてステータ材よりも低硬度でか
つ、ヤング率の高い材質、例えばプラスチック材、具体
的にはポリカーボネートやアクリルを主体とした材料
(強化材を含む)を用いることで達成される。
形成するため、寸法ばらつき,加工歪とも少なくなり、
その結果、ステータに対するロータの接触圧力が予め所
望したほぼ一定な範囲に収めることができ、ばらつきの
少ない安定した回転トルクが得られる。
ヤング率の高いプラスチック材を用いることにより生産
性良く低コスト化でき、硬質の金属材料に比較して柔ら
かなロータは誘電体セラミック材によるステータの接触
面に対する接触圧力を大きくしても損傷なく安定な摩擦
力が得られる結果、超音波モータの回転トルク,静止保
持トルクとも大きくなり、かつ安定になる。さらに、ロ
ータに金属を用いないことにより、電界,磁界の影響を
受けず、電気的に耐環境性の高い応用、例えばTV受像
機のフライバック回路におけるフォーカス電圧調整サー
ボ等に適用可能となる。
において、圧電セラミックによる円板状のステータ1に
は外接して円筒状のロータ2が組み込まれている。円筒
状のロータ2には120°毎の等間隔で円筒の一部を直
線化してステータ1に接触させるロータの接触部3が設
けられている。また、円筒状のリングロータ2には、外
部の負荷(図示せず)に回転トルクを取り出すための円
板状のロータ側板4が各接触部3の中間に設けられてい
る側板支持部5を介して取付けられている。
3,ロータ側板4,側板支持部5は、ポリカーボネート
若しくはアクリル樹脂のような弾性に富む、比較的ヤン
グ率の高いプラスチック材料(必要に応じてフィラーを
含む)を用い、射出成形法により一体形成されている。
したように4分割した扇形のスパッタ蒸着した電極(図
示せず)が設けられており、金属スプリング線を介して
セラミックステータの共振周波数の2相パルス電圧が加
えられる。
は、一例として20mmφ、厚みは1.5mm、ロータ2の円
筒内径は23mmφ、円筒部の幅は3mm、厚みは1mm強で
ある。このロータ2にステータ1が嵌合された状態で
は、ロータ2の接触部3はステータ1によって約50μ
m程撓んで150gfcm程の保持トルクを有する。
共振周波数約100kHz,5VP−Pの2相パルス電
圧で励振すると、分極に対して同極性の電圧印加部は圧
縮されて径方向に伸び反対部は縮む結果、ステータは共
振周波数で1μm弱の偏心すりこぎ運動を起こし、その
運動は摩擦接触によって外側のロータ2に伝えられ、ロ
ータ2は回転する。
無負荷で100rpm 程度、最大起動トルクは70gf−
cmが得られた。このトルクは従来の絞り加工によるりん
青銅のロータを用いた同じ寸法のモータの最大トルクに
比較し2倍以上であり、かつ接触部の不安定性によるば
らつきも大幅に減少した。その原因は射出成形により寸
法ばらつきが±10μm以下と従来比1/5以下になり
加工歪も少ないこと、プラスチックのリング状ロータは
バネ材に用いる硬質金属の場合のようにセラミックのス
テータ接触面を損傷することがなくなった。したがっ
て、接触圧力を高めても接触摩擦は経時的に安定し、接
触面積の広い構造と相俟って、安定で高トルクが得られ
るようになった。
法は、無調整化と併せて低コスト化できる。
2においても既述の図1と同等部は同一符号で示してい
る。
ータ1と外接するリングロータ2,ロータの突起部3
1,ロータ側板4,側板支持部5から成る。ここで、ロ
ータの突起部31,ロータ側板4、及び側板支持部5は
ロータ2と同一材質で、射出成形法でロータ2と同時に
一体形成されている。
は、既に図9,図1で説明したものと同様であり、基本
動作として、高周波の2相パルス電圧の印加によりステ
ータ1が偏心運動を起こし、ロータ2を回転させる点も
また同様である。
テータ1の接触が、簡単な形状の突起部31に依ってい
るため、比較的作り易く、ロータ2の最大径も幾分小さ
くできる利点がある。反面、既述の図1のロータ構造に
比較すると、接触部の経時摩耗によるトルク変動が幾分
大きくなる。
3の参考例におけるロータ2は、図1の参考例よりも多
い4個所のロータ接触部を有している。このため図3の
構成の超音波モータは、接触摩擦伝達による回転トルク
を幾分大きくすることができる。
を発生するので摩擦接触個所が増えればトルクも順次増
加すると考えられるが、他方、接触個所が増すにつれて
寸法ばらつき(特に真円からのひずみ)等の影響により
各接触点の接触圧を均一にすることが難しくなり、接触
圧力の不均一は回転ムラの原因となる。したがって、ロ
ータの接触個所は3個所ないし4個所が望ましく、最大
でも6個所位である。図4は超音波モータの参考例4で
ある。図4の参考例においては、超音波振動子によるス
テータ1の外側にあるリング状のロータ2にはステータ
1と接触するカンチレバー32が設けてある。また、ロ
ータ2の側板4は、他の参考例と異なりリング状ロータ
2と隙間なく一体になっている。
グ部が側板によって拘束され撓むことができなくともカ
ンチレバー部の撓みによってロータとステータは安定な
摩擦接触が得られるため、ロータのリング2と側板4は
隙間なく一体化することができる。したがって、隙間が
無い分ステータ側と負荷側(ロータ側板の外側)は大き
な縁面距離が得られ、高電圧の負荷駆動に適している。
この利点を最大に享受しうる応用には、CRT表示装置
のフォーカス高電圧調整用のサーボモータがある。この
応用例は図8に示しており、後程詳述する。
総てカンチレバーより与える構成によって、リング部の
撓みによるバネを省略することができる。
図5においては、超音波モータはステータ1とロータの
側板2と、接触部32が一体成形されたロータから構成
されている。接触部32はカンチレバーを構成し、ロー
タ1に接触圧力を与えている。
リング部を省略できるので、ロータが軽量化され、その
分ロータの慣性が小さくなり、起動,停止応答時間(1
0〜20ms程度)がより速められるとともに、簡単な
形状なので低コスト化できる利点がある。
ンチレバーの実効的な長さが短かくて、ステータの厚み
が相対的に無視できず、ステータの厚み方向に対する接
触圧が等しく見做せないため、最適摩擦力(或いは保持
トルク)の設計が幾分面倒である。そのため、次にカン
チレバーの実効長をより長くする構造が示される。
6の参考例においては、ステータ1に接触するロータの
接触部32のカンチレバーをコの字形にすることにより
カンチレバーの長さをステータの厚みに対して十分長く
設定し、ステータの厚み方向に対して一定の接触圧が得
られるようにしている。
ステータへの接触圧をロータ自体の剛性によって保持し
たが、ロータの剛性に加えて他の力を接触圧の保持に利
用することも可能である。
る構造の特徴は、正面図(略図)に見る如く、圧電体の
円板状ステータ1にリング状ロータ2が直線部3を介し
て接触していること、また側面図に示すように、ステー
タ1とロータ2は共に斜角度の接触面を有していること
である。
成を示すと、ステータ1の電極面は給電と保持を兼ねた
金属コイル10及び端子板21を介して保持筐体22に
沿って基板7の給電導体23へ導いている。他方、ロー
タ2には負荷へ回転トルクを伝達するための(手動回転
用シャフト41付の)側板4が嵌合してあり、側板4に
は負荷となるポテンショメータの金属レバー形の刷子9
が取付けてある。刷子9の先端は、基板7に予め厚膜印
刷してあるポテンショメータの抵抗体パターン8及び集
電用の共通導体パターン81に接触している。
のようになる。給電導体23より高周波電圧がステータ
1に印加されるとステータ1の公転振動は円錐状の接触
面を介してロータ2に回転トルクとして伝えられ、ロー
タ2及び側板4が回転する。したがって、ポテンショメ
ータの刷子9が回転して、小形で精密動作の電動ポテン
ショメータが実現できる。
ータ2の接触面の接触圧は、ロータ2の剛性のみに依ら
ず、主としてステータ側の金属コイル10と負荷側ポテ
ンショメータの刷子9との推力によっても調整可能なの
で、ロータ2の材質はより広い範囲の剛性のものを使用
することができ、設計の自由度が増す利点がある。ま
た、第2の利点は、負荷側からの推力を接触面で保持し
ているので、推力を必要とする負荷に対して推力軸受が
不要にできることである。
て軸受を不要にする従来例は特開昭63−181677
号に開示されているが、従来例に述べられている如く接
触面がステータ,ロータの全周に亘る円周接触のため、
ステータ,ロータとも極めて高い真円度と平滑度(例え
ば共に±数μm程度)を必要とし、製造及び寿命の点で
難しかった。その点開示した図7の実施例では全周でな
く3点接触であり、真円度,平滑度とも制限は大幅に許
容される。
音波モータの実施例及び参考例の構成を示したが、ロー
タの形状は実施例に限定されたものでなく、必要に応じ
適宜変更できる。プラスチック材質についても同様であ
る。
的に応じて各種の強化材料(フィラー)が適宜混入され
る。例えば、より小形にするために弾性率(ヤング率)
を向上するには、シリカ,アルミナ等の酸化物微粒子,
炭酸カルシウムの如き炭酸塩やガラス等の珪酸塩が用い
られる。また、次の応用例で述べるような、高電圧フォ
ーカス調整用サーボモータとして高電圧フライバック回
路部と一体化するには、難燃化と温度特性向上(線膨張
係数低減)が必要であり、前者のためには水酸化マグネ
シウム,水酸化アルミニウムなどの水酸化物、後者には
シリカ,アルミナ等の酸化物,炭酸カルシウムのような
炭酸塩,ガラス類の珪酸塩が混入される。また、ロータ
側の摩擦接触面に少なくとも数μmの耐摩耗性の高いフ
ィラーを含む塗料を塗布することは長寿命化の点で有効
である。
な応用例について示す。
ス電圧調整及びスクリーン電圧調整に適用した実施例を
示す。図8において、高電圧発生回路100は、フライ
バックトランス110及び自動調整装置120、その他
で構成されており、可動部を除き高電圧部が露出しない
よう一体に樹脂モールドしてある。フライバックトラン
ス110の1次巻線131は、抵抗512を介して水平
偏向コイル511に並列に接続されており、端子513
に供給される+B電源と水平偏向駆動回路300により駆
動され、より具体的にはその水平帰線期間に発生するパ
ルス電圧により駆動される。なお端子310には水平同
期パルスが入力される。
側巻線132,133の出力は整流ダイオード136,
137により整流され、コンデンサ138で平滑され
て、高電圧出力端子153を介し、CRT200のアノード電
圧として供給される。アノード電圧の一例は25kVな
いし30kV程度の範囲である。フライバックトランス
110の2次側巻線133の他端は抵抗527,コンデ
ンサ526の並列回路からなる過電流検出回路520を
介して接地されている。
力電圧は高抵抗141,142からなる分圧回路を介し
て検出し、高電圧制御回路400を介してアノード電圧
が所定の一定値になるよう水平偏向駆動回路300のパ
ルス電圧を制御するように構成されている。
抵抗143,高抵抗値のポテンショメータ121a,1
21bとその超音波モータ111a,111bからなる
自動調整装置120で分圧され、その分圧出力は、端子
154からCRT200のフォーカス電極へ与えられている
(通常、高精細CRT表示装置や大形TVでは2個のフ
ォーカス電極を有するが、図7の実施例では図面の簡略
化のため、1個しか示していない)。同様にして、端子
155からはCRT200のスクリーン電極へ与えられてい
る。これらの必要とする分圧電圧は、通常、フォーカス
電極では6〜8kV、スクリーン電極では500〜80
0Vの範囲である。
タ121aの抵抗値は数〜10MΩである。ポテンショ
メータ124aとその超音波モータ111aは機械的に
一体化してあり、その駆動用モータには、フライバック
トランスと一体化モールドするに適した、小形で比較的
磁気的な影響が少ない、本発明の電歪公転子形の小形超
音波モータが用いられている。
系と受光センサを備える工業的な撮像装置(ITV)6
00が配置されており、その出力610は、マイクロコ
ンピュータ内蔵のコントローラ700へ接続されてい
る。コントローラ700の駆動出力710,720は、
それぞれフォーカス電圧調整用の超音波モータ111a
の入力線116a、及びスクリーン電圧調整用の超音波
モータ111bの入力線116bへ接続されている。
入力端子310に同期入力を受けて水平偏向駆動回路3
00は偏向コイル511と共にフライバックトランスの
1次コイル131を駆動し、フライバックトランス2次
側アノード出力端子153に30kV程度の電圧を発生
する。この電圧は、高抵抗141,142の分圧回路で
検出され、高圧制御回路400で一定電圧となるよう負
帰還制御され、定電圧となり、CRT200は表示可能な状態
にある。
調整は、次のようにして行われる。まず、CRT200の管面
上の焦点を調節すべき位置に最細の線分によるクロスハ
ッチ(十字パターン、図示せず)を写し出し、撮像装置
600により焦点調節すべき個所のクロスハッチに焦点
を合わせてクロスハッチ線分を図8に示すような線幅に
比例した時間幅の電気信号に変換する。すなわち、図8
の波形は、クロスハッチの線分を撮像装置600によっ
て走査した場合の電気信号出力で、ここでは線幅(太
さ)として振幅A/2における走査時間幅tW をもって
定義する。すなわち、tW を一定クロックのカウンタで
計数した値Wをフォーカス情報として用い、Wが最小に
なるようにフォーカス電圧を調整し、その状態をベスト
フォーカスと見做す。
断は、マイクロコンピュータを用いた図8のコントロー
ラ700によって行われる。すなわち、図8において、
コントローラ700の出力710から歩進的な駆動電圧
を自動調整装置120の超音波モータ111aに与え、
それによってフォーカス用ポテンショメータ121aの
分圧電圧を微調し、前記の線幅の信号tW を最小とする
よう調整する。
記と同様に、ITVより管面の輝度を測定し、規定の輝
度になるようにスクリーン用ポテンショメータ121b
を駆動する。
ーン電圧)の自動調整システムの構成においては、電動
ポテンショメータの機能で示してある自動調整装置12
0が、調整精度や信頼性の点で特に重要である。
は出力電圧の1%程度が必要なので、1ステップ当りの
調整の刻みはその1/4(0.25% )程度に選ぶのが
適当である。また、自動調整装置120は、動作の信頼
性の点で、フライバックトランスと一体化モールドして
動作し得ることが望ましい。したがって、自動調整装置
の駆動用モータとしては、以下のような要件を満足する
ことが望ましい。
と。
大きいこと。
発明の実施例では、駆動用モータとして、本明細書で詳
述した超音波モータを使用している。
メータと超音波モータを予め一体化して高圧側のフライ
バック回路筺体内に収納した例で示したが、他の実装方
法としては、ポテンショメータ側のみを高圧側筺体内に
収納してポテンショメータのシャフトを外部に出してお
き、超音波モータは後から外部シャフトに嵌合して駆動
する構成としてもよい。このような実装においては、シ
ャフトの回転機構により負荷トルクは増加するが、高電
圧のポテンショメータ側と低電圧の超音波モータ側は筺
体によって隔離されるため、必要な絶縁距離の制約は実
際上受けない利点がある。
波モータが実現できる。
である。
である。
である。
である。
である。
である。
音波モータの構成図である。
構成図である。
部)、4…ロータの側板、5…側板支持部、7…基板、
8…抵抗体パターン、9…刷子、10…金属コイル、4
1…シャフト、81…導体パターン、100…高電圧発
生回路、110…フライバックトランス、111a,1
11b…超音波モータ、120…自動調整装置、121
a,121b…ポテンショメータ、200…CRT、3
00…水平偏向駆動回路、400…高圧制御回路、60
0…撮像装置、700…コントローラ。
Claims (4)
- 【請求項1】給電と保持を兼ねた金属コイル及び端子板
を有し、超音波の共振周波数信号で励振されて偏心公転
する円板状ステータと、 前記円板状ステータに直線部を介して接触されたリング
状ロータと、 前記円板状ステータ及び前記リング状ローラを保持する
保持筐体と、 前記保持筐体上に設けられ、印刷されたポテンショメー
タの抵抗体パターン及び集電用の共通導体パターンを有
する基板と、 前記基板の端に設けられ前記端子板と前記保持筐体を介
して前記金属コイルと電気的に接続された給電導体と、 前記リング状ロータに嵌合され、負荷へ回転トルクを伝
達する手動回転用シャフト付の側板と、 前記側板上に設けられ、且つ前記基板の前記抵抗体パタ
ーンと前記共通導体パターンとに接続された負荷となる
ポテンショメータの金属レバー形の刷子とを有する超音
波モータ。 - 【請求項2】請求項1記載の超音波モータにおいて、 前記円板状ステータと前記リング状ロータは斜角度の接
触面を有し、前記接触面の接触圧は、前記円板状ステー
タの前記金属コイルと負荷側ポテンショメータの前記刷
子との推力によって調整可能である超音波モータ。 - 【請求項3】請求項1又は2記載の超音波モータにおい
て、 前記リング状ロータには強化材料が混入されたプラスチ
ック材料が用いられた超音波モータ。 - 【請求項4】請求項3記載の超音波モータにおいて、 前記強化材料には酸化物微粒子、又は炭酸塩、又は珪酸
塩が用いられた超音波モータ。
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