JP3383153B2

JP3383153B2 - Slit device

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Publication number: JP3383153B2
Application number: JP12877996A
Authority: JP
Inventors: 昌男清水; 賢次石川
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 1996-05-23
Filing date: 1996-05-23
Publication date: 2003-03-04
Anticipated expiration: 2016-05-23
Also published as: JPH09312146A

Description

【発明の詳細な説明】【０００１】【発明の属する技術分野】本発明は質量分析装置等で使
用するスリット装置に関し、特に、イオンの通路に配置
され、その位置を通過するイオンを選択するスリット装
置に関する。【０００２】【従来の技術】質量分析装置等で使用されるスリット装
置は、μｍの精度でスリット幅を調節することが要求さ
れる。このようなスリット装置として、本出願人は先に
次の（Ｊ01）の技術を開発した。（Ｊ01）図９に示すスリット装置図９は本出願人が先に開発したスリット装置の説明図
で、図９Ａは縦断面図、図９Ｂは前記図９Ａの上面図
で、前記図９Ａの矢印IＸＢから見た図である。図９に
おいて、金属製のベース０１は円筒状側壁部０２および
プレート部０３を有している。プレート部０３にはビー
ム通過孔０４、複数の通気孔０５、一対の圧電体収容孔
０６、および切り溝０７が形成されている。前記プレー
ト部０３の前記各孔０４〜０６および切り溝０７によ
り、固定プレート部０８および一対のレバー０９，０１
０が形成されている。前記レバー０１０，０１０にはそ
れぞれスリット形成用のブレード０１１，０１１（図９
Ａ参照）が固定されており、前記一対のブレード０１
１，０１１間にはスリットが形成されるようになってい
る。【０００３】前記レバー０９および０１０はヒンジ部Ｈ
1およびＨ2により前記固定プレート部０８に回動可能に
連結されている。そして、前記一対のレバー０１０，０
１０は前記ビーム通過孔０４の両側に配置されている。
また、前記レバー０９および０１０は連結部Ｈ3により
連結されている。前記圧電体収容孔０６には圧電体０１
２が配置されており、圧電体０１２の両端には黄銅製の
スペーサ０１３を介してステンレス製のチップ０１４、
０１５が取付けられている。前記圧電体０１２内端側の
チップ０１４は、前記レバー０９を上下から挟むように
二股状に形成されている。また、前記圧電体０１２の外
端側のチップ０１５には球面座が形成されている。前記
円筒状外周部０２にはネジ０１６のためのタップ孔が形
成されており、ネジ０１６先端部の球０１６aを前記圧
電体０１２の外端のチップ０１４の球面座に当接させる
ことにより圧電体０１２の固定が行われている。【０００４】前記圧電体収容孔０６に収容された前記圧
電体０１２は電圧印加によって前記ビーム通過孔０４側
である内端部の位置を変位させる。この位置変位は前記
スペーサ０１３，０１３前記チップ０１４、０１５を介
して前記回動レバー０９、０１０へと伝わる。前記回動
レバー０９、０１０は前記ヒンジＨ1およびＨ2を支点と
し前記圧電体０１２内端側の前記チップ０１４と前記レ
バー０９とが接する点および前記ヒンジＨ3（回転レバ
ー０９の作用点）を力点として、てこの原理により前記
圧電体０１２の内端部の位置変位量を拡大させる機能を
有する（この拡大倍率を実効倍率という）。これにより
前記回動レバー０１０の前記対向する自由端部に支持さ
れた一対のブレード０１１、０１１間に形成されたスリ
ット幅が変化する。したがってスリット幅の調整が電圧
印加によって可能となる。【０００５】【発明が解決しようとする課題】前記図９に示す従来技
術を用いた質量分析装置により作業を行う場合、質量分
析装置の設置室の温度は２２℃±２℃に設定されてい
る。しかしながら、前記スリット装置は質量分析装置の
コンソール内に有り、コンソール内は使用状況によって
室温よりも温度差が大きくなる。このため、前記ブレー
ド０１１，０１１間のスリットが閉まらなくなるという
問題点が発生することがあった。また、前記スリット幅
は、日々、時間等によって幅が変化するため、スリット
装置の使用が困難な状態になるという問題点が発生する
こともあった。【０００６】前記問題点の原因を研究した結果次のこと
が分かった。前記ベース０１と圧電体０１２との平面図
での位置関係は図９上の２点鎖線で囲った矢印Ｘで示す
部分の拡大図として、図１０に示される。図１０におい
て、積層セラミック製の圧電体０１２、黄銅製のスペー
サ０１３、およびステンレス製のチップ０１４，０１５
は一体的に構成されており、リン青銅製のベース０１に
より支持されている。前記ベース０１の材料であるリン
青銅の線膨張係数をλ1、圧電体０１２の材料である積
層セラミックの線膨張係数をλ2、スペーサ０１３の材
料である黄銅の線膨張係数をλ3、およびチップ０１
４，０１５の材料であるステンレスの線膨張係数λ4の
値は次のとおりである。ベース０１のλ1＝１８.１×１０^-6／℃ 圧電体０１２のλ2＝１.６×１０^-6／℃ スペーサ０１３のλ3＝１９.９×１０^-6／℃ チップ０１４，０１５のλ4＝１７.３×１０^-6／℃ 【０００７】前記一体的に構成された部材（符号０１２
〜０１５で示される部材）の内端支持点（レバー０９と
の当接点）をＡ、外端支持点（ネジ０１６の球状先端部
０１６aとの当接点）をＢとする。そして、次のような
寸法に設定されているものとする。点ＡＢ間の長さＬ1＝２４ｍｍ圧電体０１２の長さＬ2＝１８ｍｍスペーサ０１３の１個の厚さＬ3＝１ｍｍチップ０１４の厚さＬ4＝２ｍｍチップ０１５の厚さＬ5＝２ｍｍ【０００８】前記寸法の場合、温度が１℃変化した時の
前記Ｌ1のベース０１側の長さの変化量（ΔＬ1b）およ
び圧電体０１２側の長さの変化量（ΔＬ1a）は次のよう
になる。 ΔＬ1b（ベース０１側）＝Ｌ1λ1 ＝２４×１８.１×１０^-6 ＝４３４.４×１０^-6（ｍｍ）＝０.４３４４μｍ ΔＬ1a（圧電体０１２側）＝Ｌ2λ2＋２×Ｌ3λ3＋２×Ｌ4λ4 ＝（１８×１.６＋２×１９.９＋２×２×１７.３）×１０^-6 ＝１３７.８×１０^-6（ｍｍ）＝０.１３７８μｍ【０００９】したがって、前記ΔＬ1bとΔＬ1aとの差は
次のようになる。 ΔＬ1b−ΔＬ1a ＝０.４３４４μｍ−０.１３７８μｍ＝０.２９６６μｍ＝約０.３μｍすなわち、１℃の上昇時にはベース０１の伸びに比べて
圧電体０１２側の伸びは約０.３μｍ短い。この伸びの
差０.３μｍは、前記レバー０９，０１０による実効倍
率約１０倍の値３μｍとなって、前記ブレード０１１，
０１１間のスリット間隔を広げることとなる。前記圧電
体０１２は左右一対有るので、温度１℃の変化により前
記スリット間隔は約６μｍ変化することになる。前記ス
リットの仕様は０〜２２０μｍをコントロールする様に
なっているので、前記変化量は無視できない値である。【００１０】本発明は、前述の事情に鑑み、下記の記載
内容を課題とする。（Ｏ01）温度変化に応じて生じるスリット間隔の変化量
を少なくすること。【００１１】【課題を解決するための手段】次に、前記課題を解決す
るために案出した本発明を説明するが、本発明の要素に
は、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実
施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。ま
た、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する
理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明
の範囲を実施例に限定するためではない。【００１２】（本発明）前記課題を解決するために、本
出願の第１発明のスリット装置は、下記の要件を備えた
ことを特徴とする、（Ａ01）弾力性を有する金属製のプ
レート（４）を備えたベース部材（２）、（Ａ02）前記
プレート（４）の中央部に形成されたビーム通過孔（１
０）、（Ａ03）前記ビーム通過孔（１０）の両側に切り
溝（１１）により形成され、前記ビーム通過孔（１０）
を挟んで自由端部が対向するように配置された回動レバ
ー（１２）、（Ａ04）前記回動レバー（１２）の外側に
形成された圧電体収容孔（８）、（Ａ05）前記圧電体収
容孔（８）に収容され且つ電圧印加時に前記ビーム通過
孔（１０）に向かう内方およびその反対方向の外方に沿
って伸縮するように配置された圧電体（３１）、（Ａ0
6）前記圧電体（３１）の内端部近傍位置において前記
プレート（４）によりホルダ内端部が支持されるととも
にホルダ外端部が前記圧電体（３１）の外端部近傍位置
に配置され、且つ前記ホルダ外端部により前記圧電体
（３１）外端部を支持する線膨張係数が前記プレート
（４）より前記圧電体（３１）に近い値の材料により構
成された圧電体ホルダ（２７）、（Ａ07）前記圧電体
（３１）外端部を支持された圧電体（３１）が伸縮した
ときに圧電体（３１）内端部の位置変位を前記回動レバ
ー（１２）に伝達する圧電体伸縮伝達部材（３２＋３
３）、（Ａ08）圧電体（３１）の伸縮が伝達されたとき
に回動して、前記自由端部の位置変位が前記圧電体（３
１）内端部の位置変位量より拡大される前記回動レバー
（１２）、（Ａ09）前記回動レバー（１２）の前記対向
する自由端部にそれぞれ支持されるとともにスリットを
形成するように配置されたブレード（１６）、【００１３】（用語の説明）前記（Ａ01）の記載「弾力
性を有する金属製のプレート（４）を備えたベース部材
（２）」中の「ベース部材（２）」は、「弾力性を有す
る金属製のプレート（４）」と他の部材とを連結して組
み立てた組立品により構成したり、プレート（４）を有
する一体成形品により構成したりすることが可能であ
る。前記（Ａ06）の記載中、「…前記プレート（４）に
よりホルダ内端部が支持されるとともに…圧電体ホルダ
（２７）、」は、圧電体ホルダ（２７）内端部が前記プ
レート（４）に直接支持される構成、または前記プレー
ト（４）に他の部材（圧電体ホルダ（２７）を支持する
部材）を介して間接的に支持される構成を含むものとす
る。【００１４】【作用】前述の特徴を備えた本発明のスリット装置で
は、ベース部材（２）の弾力性を有する金属製のプレー
ト（４）の中央部にビーム通過孔（１０）が形成され
る。回動レバー（１２）は、前記ビーム通過孔（１０）
の両側に切り溝（１１）により形成され、前記ビーム通
過孔（１０）を挟んで自由端部が対向するように配置さ
れる。前記回動レバー（１２）の外側には圧電体収容孔
（８）が形成される。前記圧電体収容孔（８）に収容さ
れた圧電体（３１）は、電圧印加時に前記ビーム通過孔
（１０）に向かう内方およびその反対方向の外方に沿っ
て伸縮する。前記圧電体（３１）の内端部近傍位置にお
いて前記プレート（４）によりホルダ内端部が支持され
るとともに線膨張係数が前記プレート（４）より前記圧
電体（３１）に近い値の材料により構成された圧電体ホ
ルダ（２７）は、前記圧電体（３１）の外端部近傍位置
に配置されたホルダ外端部により圧電体（３１）外端部
を支持する。前記圧電体（３１）外端部を支持された圧
電体（３１）が伸縮したときに圧電体伸縮伝達部材（３
２）は、圧電体（３１）内端部の位置変位を前記回動レ
バー（１２）に伝達する。前記回動レバー（１２）は、
圧電体（３１）の伸縮が伝達されたときに回動して、前
記自由端部の位置変位が前記圧電体（３１）内端の位置
変位量を拡大する。前記回動レバー（１２）の前記対向
する自由端部にそれぞれ支持されたブレード（１６）間
に形成されるスリットは、前記圧電体（３１）の印加電
圧によりスリット幅が調整される。【００１５】ところで、前記スリット装置の各構成要素
は、使用する材料により線膨張係数が異なるので、温度
変化時に生じる各要素毎に長さの変化には差が生じる。
前記圧電体（３１）内端部の位置変位量は前記回動レバ
ー（１２）に増幅伝達されて、回動レバー（１２）の自
由端部にそれぞれ支持されたスリット形成用のブレード
（１６）の位置を変化させるので、前記温度変化時の前
記圧電体（３１）内端位置の変位量は少ない方が好まし
い。前記本発明の圧電体ホルダ（２７）は、線膨張係数
が前記プレート（４）よりも圧電体（３１）の線膨張係
数に近いので、温度変化時の圧電体（３１）および圧電
体ホルダ（２７）の長さの変化の差は、圧電体（３１）
およびプレート（４）の長さの変化の差よりも小さい。
このため、温度変化時の圧電体（３１）内端位置の変化
は、圧電体ホルダ（２７）により圧電体（３１）を支持
した場合の方が、プレート（４）により圧電体（３１）
を支持した場合に比べて小さくなる。すなわち、本発明
は従来技術のようにプレート（４）により圧電体（３
１）の外端部を支持する構造に比較して、前記温度変化
時の前記圧電体（３１）内端位置の変化を少なくするこ
とができるので、前記スリット間隔の調節が容易とな
る。【００１６】【発明の実施の形態】次に図面を参照しながら、本発明
のスリット装置の実施の態様の例（実施例）を説明する
が、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面にお
いて互いに直交する座標軸Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を定義し、
矢印Ｘ方向を前方、矢印Ｙ方向を左方、矢印Ｚ方向を
上方とする。この場合、Ｘ方向と逆向き（−Ｘ方向）は
後方、Ｙ方向と逆向き（−Ｙ方向）は右方、Ｚ方向と逆
向き（−Ｚ方向）は下方となる。また、Ｘ方向及び−Ｘ
方向を含めて前後方向又はＸ軸方向といい、Ｙ方向及び
−Ｙ方向を含めて左右方向又はＹ軸方向といい、Ｚ方向
及び−Ｚ方向を含めて上下方向又はＺ軸方向ということ
にする。さらに図中、「○」の中に「・」が記載された
ものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の
中に「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう
矢印を意味するものとする。【００１７】（実施例）図１は本発明の実施例１のスリ
ット装置の上面図である。図２は同実施例１のスリット
装置の断面図で、前記図１のII−II線断面図である。図
３は同実施例１の下面図で前記図２の矢印IIIから見た
図である。図４は同実施例１のスリット装置のベース部
材の上面図で、前記図１からベース部材以外の部材を除
去して状態を示す図である。図５は前記図４のＶ−Ｖ線
断面図である。図６は前記図４のＶI−ＶI線断面図であ
る。図７は同実施例で使用される圧電体ホルダおよびそ
の支持部材の説明図で、前記図１に示した部材の詳細説
明図である。【００１８】図１〜図６において、スリット装置１は、
弾性を有する金属材料であるリン青銅により構成された
ベース部材２を有している。ベース部材２は、図４〜図
６に示すように、円筒状側壁部３およびプレート４を有
している。図４、図５において、前記円筒状側壁部３に
は左右（Ｙ軸方向）両端に圧電体ホルダ収容孔６，６が
形成されており、前記圧電体ホルダ収容孔６，６の下部
は前記円筒状側壁部３の厚さが分厚くなっており、その
分厚い部分にネジ貫通孔７，７が形成されている。【００１９】前記プレート４には前記ネジ貫通孔７，７
に接続する左右一対の圧電体収容孔８，８が形成されて
おり、また、前記プレート４には複数の通気孔９が形成
されている。また、プレート４の中央部にはビーム通過
孔１０が形成されている。前記ビーム通過孔１０の両側
には、切り溝１１により回動レバー１２が形成されてい
る。回動レバー１２は、外側回動レバー１３および内側
回動レバー１４により構成されている。図４において、
外側回動レバー１３はヒンジ部Ｈ1により前記プレート
４の固定部分に支持されており、前記ヒンジ部Ｈ1の鉛
直軸（Ｚ軸）周りに回動可能である。また、内側回動レ
バー１４はヒンジ部Ｈ2により前記プレート４の固定部
分に支持されており、前記ヒンジ部Ｈ2の鉛直軸（Ｚ
軸）周りに回動可能である。前記外側回動レバー１３お
よび内側回動レバー１４は連結部Ｈ3において連結され
ている。前記ビーム通過孔１０の左右両側において内側
回動レバー１４の自由端部は前記ビーム通過孔１０を挟
んで対向する位置に配置されている。図２，図３から分
かるように、前記内側回動レバー１４，１４下面の自由
端部にはスリット形成用のブレード１６，１６がそれぞ
れ対向して固定されており、前記両ブレード１６，１６
間にはスリットが形成されている。【００２０】図７において、前記プレート４上に固定支
持されるホルダ支持部材２１は平面図（図７Ａ）で略Ｕ
字型をしており、一対の脚部２２，２２及びそれらを接
続する接続部２３を有している。図７Ａにおいて前記接
続部２３の右側半分はその下部（−Ｚ側部分）が切除さ
れて切除部２３a（図７Ｂ参照）が形成されている。前
記接続部２３の左側半分はその前後方向（Ｘ軸方向）の
中央部が切除されてホルダ収容溝２３b（図７Ｄ参照）
が形成されている。前記接続部２３の右側面上部には前
記ホルダ収容溝２３bに通じるネジ収容孔２３cが形成さ
れている。前記ホルダ支持部材２１には前記プレート４
上に固定するための４個のネジ貫通孔２４が設けられて
いる。図１において、前記ホルダ支持部材２１は前記４
個のネジ貫通孔２４を貫通するネジ２６により前記プレ
ート４上に固定されている。なお図１，図２から分かる
ように、前記ホルダ支持部材２１は左右一対配置されて
いる。また、後述の図８に示す位置Ｃは、前記４個のネ
ジ２６の中の内側に配置されたネジ２６のＹ軸方向の中
心位置を示している。【００２１】図７において、前記ホルダ収容溝２３bに
はモリブデン製の圧電体ホルダ２７の内端部が挿入され
前記ネジ収容孔２３cに収容されるネジ（図示せず）に
より固定されている。なお、前記圧電体ホルダ２７の材
料であるモリブデンの線膨張係数λ5の値は次のとおり
である。 λ5＝５.４４×１０^-6／℃ 前記圧電体ホルダ２７の外端部は下方に延びており、そ
の外端部の下端部にはネジ孔２７aが形成されている。
図１，２から分かるように、前記圧電体ホルダ２７の下
方に延びる外端部は、前記円筒状側壁部３の圧電体ホル
ダ収容孔６内に収容され、その下端部の前記ネジ孔２７
aは、前記圧電体収容孔８の外端部に配置され且つ、前
記円筒状側壁部３のネジ貫通孔７に隣接対向して配置さ
れている。【００２２】図１、図２において、前記圧電体収容孔８
内には、圧電体３１が収容されている。圧電体３１は、
電圧を印加されたときに前記ビーム通過孔１０の有る内
方及びその反対方向である外方に沿って伸縮するように
配置されている。前記圧電体３１の内外両端には黄銅製
のスペーサ３２，３２を介してステンレス製のチップ３
３，３４が取付けられている。前記圧電体３１内端側の
チップ３３は、前記外側回動レバー１３を上下から挟む
ように二股状に形成されている。前記内端側のチップ３
３およびこのチップ３３を支持するスペーサ３２により
圧電体伸縮伝達部材（３２＋３３）が構成されている。
また、前記圧電体３１の外端側のチップ３４には球面座
が形成されている。前記圧電体ホルダ２７の外端部の前
記ネジ孔２７aに螺合するネジ３６の球状先端部３６aを
前記圧電体３１外端の前記チップ３４の球面座に押し当
てることにより、圧電体３１内端側のチップ３３を前記
回動レバー１２に当接させて、前記圧電体３１の固定が
行われている。【００２３】前記図３において、前記チップ３３と前記
回動レバー１２との当接点をＰ1とし、前記対向する二
つのブレード１６の対向面の中心部分をＰ2とする。Ｈ1
Ｐ4のＸ軸方向の長さをｒ1、Ｈ1Ｈ3のＸ軸方向の長さを
ｒ2、Ｈ2Ｈ3のＸ軸方向の長さをｒ3、Ｈ2Ｐ2のＸ軸方向
の長さをｒ4とする。前記ｒ1〜ｒ4の値は、（ｒ2／ｒ
1）×（ｒ4／ｒ3）＝約１０に設定されていて、前記Ｐ4
の変位量をΔｙとしたとき前記Ｐ5の変位量は約１０倍
（すなわち、実効倍率＝約１０）となるように構成され
ている。【００２４】前記プレート４、圧電体ホルダ２７および
圧電体３１の平面図での位置関係は図８に示される。図
８において、積層セラミック製の圧電体３１、黄銅製の
スペーサ３２、３２およびステンレス製のチップ３３，
３４は一体的に構成されている。前記一体的に構成され
た部材（３１＋３２＋３３＋３４）の内端支持点（外側
回動レバー１３との当接点）をＡ、外端支持点（ネジ３
６の球状先端部３６aとの当接点）をＢとする。また、
前記リン青銅製のベース部材２のプレート４に前記ホル
ダ支持部材２１を介して支持された圧電体ホルダ２７の
内端位置をＣとする。なお、前記内端位置Ｃは、前記４
個のネジ２６の中の内側に配置されたネジ２６のＹ軸方
向の中心位置である。【００２５】前記図８の各寸法は、次のように設定され
ている。点ＡＢ間の長さＬ1＝２４ｍｍ圧電体３１の長さＬ2＝１８ｍｍスペーサ３２の１個の厚さＬ3＝１ｍｍチップ３３の厚さＬ4＝２ｍｍチップ３４の厚さＬ4＝２ｍｍ点ＣＢ間の長さＬ5＝２１.５ｍｍ点ＡＣ間の長さＬ6＝２.５ｍｍなお、温度変化に応じて、ＡＣ間はリン青銅の線膨張係
数により伸縮し、ＣＢ間は圧電体ホルダ２７の材質であ
るモリブデンの線膨張係数により伸縮する。【００２６】（実施例の作用）前記ベース部材２のプレ
ート４の材料であるリン青銅の線膨張係数をλ1、圧電
体３１の材料である積層セラミックの線膨張係数をλ
2、スペーサ３２の材料である黄銅の線膨張係数をλ3、
チップ３３，３４の材料であるステンレスの線膨張係数
λ4、および圧電体ホルダ２７の材料であるモリブデン
の線膨張係数λ5の値は次のとおりである。ベース部材２のプレート４のλ1＝１８.１×１０^-6／℃ 圧電体３１のλ2＝１.６×１０^-6／℃ スペーサ３２のλ3＝１９.９×１０^-6／℃ チップ３３，３４のλ4＝１７.３×１０^-6／℃ 圧電体ホルダ２７のλ5＝５.４４×１０^-6／℃ 【００２７】前記寸法の場合、温度が１℃変化した時の
前記点ＡＢ間の長さＬ1のプレート４および圧電体ホル
ダ２７側の変化（ΔＬ1c）および圧電体３１側の変化
（ΔＬ1a）は次のようになる。 ΔＬ1c（プレート４および圧電体ホルダ２７側の変化）＝Ｌ5λ5＋Ｌ6λ1 ＝（２１.５×５.４４×１０^-6＋２.５×１８.１×１０^-6 ＝１６２.２１×１０^-6（ｍｍ）＝０.１６２２１μｍ ΔＬ1a（圧電体３１側の変化）＝Ｌ2λ2＋２×Ｌ3λ3＋２×Ｌ4λ4 ＝（１８×１.６＋２×１９.９＋２×２×１７.３）×１０^-6 ＝１３７.８×１０^-6（ｍｍ）＝０.１３７８μｍ【００２８】したがって、前記ΔＬ1cとΔＬ1aとの差は
次のようになる。 ΔＬ1c−ΔＬ1a ＝０.１６２２１μｍ−０.１３７８μｍ＝０.０２４４１μｍ＝約０.０２４μｍすなわち、１℃の上昇時にはプレート４の伸びに比べて
圧電体３１側の伸びは約０.０２４μｍ短い。この伸び
の差０.０２４μｍは、前記回動レバー１２による実効
倍率約１０倍の値０.２４μｍとなって、前記スリット
形成用の両ブレード１６，１６間のスリット間隔を広げ
ることとなる。前記圧電体３１は左右一対有るので、温
度１℃の変化により前記スリット間隔は約０.４８μｍ
変化することになる。この実施例の前記１℃の温度変化
によるスリット間隔の変化約０.４８μｍは、前述の図
１０で説明した従来技術のスリット間隔の変化約６μｍ
に比べて小さくなっている。したがって前記実施例は、
温度変化が生じても従来に比べて前記スリット間隔の制
御を容易に行うことができる。【００２９】（変更例）以上、本発明の実施例を詳述し
たが、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内
で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更
実施例を下記に例示する。【００３０】（Ｈ01）圧電体ホルダ２７は、実施例で示
した以外の種々の形状を採用することが可能であり、ま
た、ベース部材２のプレート４に直接支持することが可
能である。（Ｈ02）回動レバー１２は、直列に接続される外側回動
レバー１３および内側回動レバー１４の２個の回動レバ
ーから構成する代わりに、１個の回動レバーにより構成
したり、３個以上の直列接続した回動レバーにより構成
することが可能である。（Ｈ03）圧電体ホルダ２７の材質としては、線膨張係数
が前記プレートよりも圧電体に近い値の材料であれば種
々の材料を使用することが可能であり、例えば、コバー
ル、セラミックス等を使用することが可能である。な
お、モリブデンは単金属材料であるので、合金やセラミ
ックスのように成分によって材質が変化するようなこと
が無く、材質が一定であるので、品質のバラツキが少な
いスリット装置を得ることができる。【００３１】【発明の効果】前述の本発明のスリット装置は、下記の
効果を奏することができる。（Ｅ01）温度変化に応じて生じるスリット間隔の変化量
を少なくすることができる。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a slit device used in a mass spectrometer and the like, and more particularly, to a slit device which is disposed in an ion passage and selects ions passing therethrough. Related to the device. 2. Description of the Related Art A slit device used in a mass spectrometer or the like is required to adjust a slit width with an accuracy of μm. As such a slit device, the present applicant has previously developed the following technology (J01). (J01) Slit device shown in FIG. 9 FIG. 9 is an explanatory view of a slit device developed earlier by the present applicant, FIG. 9A is a longitudinal sectional view, FIG. 9B is a top view of FIG. 9A, and an arrow in FIG. 9A. It is the figure seen from IXB. In FIG. 9, a metal base 01 has a cylindrical side wall portion 02 and a plate portion 03. In the plate portion 03, a beam passage hole 04, a plurality of ventilation holes 05, a pair of piezoelectric body accommodation holes 06, and a cut groove 07 are formed. The fixed plate portion 08 and the pair of levers 09 and 01 are formed by the holes 04 to 06 and the cut grooves 07 of the plate portion 03.
0 is formed. The levers 010 and 010 are provided with slit forming blades 011 and 011 (FIG. 9).
A) is fixed, and the pair of blades 01
A slit is formed between 1,011. The levers 09 and 110 are connected to a hinge H
It is rotatably connected to the fixed plate part 08 by 1 and H2. Then, the pair of levers 010, 0
Numerals 10 are arranged on both sides of the beam passage hole 04.
The levers 09 and 010 are connected by a connecting portion H3. The piezoelectric body accommodation hole 06 has a piezoelectric body 01 in it.
2 are arranged, and a chip 014 made of stainless steel is provided at both ends of the piezoelectric body 012 via a spacer 013 made of brass.
015 is attached. The chip 014 on the inner end side of the piezoelectric body 012 is formed in a forked shape so as to sandwich the lever 09 from above and below. Further, a spherical seat is formed on the chip 015 on the outer end side of the piezoelectric body 012. A tap hole for a screw 016 is formed in the cylindrical outer peripheral portion 02, and the ball 016 a at the tip of the screw 016 is brought into contact with the spherical seat of the chip 014 at the outer end of the piezoelectric body 012, thereby forming the piezoelectric body. 012 is fixed. The piezoelectric body 012 accommodated in the piezoelectric body accommodation hole 06 displaces the position of the inner end on the beam passage hole 04 side by applying a voltage. This positional displacement is transmitted to the rotating levers 09 and 010 via the spacers 013 and 013 and the chips 014 and 015. The pivoting levers 09 and 010 use the hinges H1 and H2 as fulcrums and use the point where the tip 014 on the inner end side of the piezoelectric body 012 contacts the lever 09 and the hinge H3 (the point of action of the rotating lever 09) as a power point. According to the principle of leverage, it has a function of enlarging the amount of positional displacement of the inner end of the piezoelectric body 012 (this magnification is referred to as the effective magnification). As a result, the width of the slit formed between the pair of blades 011 and 011 supported by the opposed free ends of the rotating lever 010 changes. Accordingly, the slit width can be adjusted by applying a voltage. [0005] When the work is performed by the mass spectrometer using the prior art shown in FIG. 9, the temperature of the installation room of the mass spectrometer is set to 22 ° C. ± 2 ° C. . However, the slit device is provided in the console of the mass spectrometer, and the temperature difference in the console becomes larger than the room temperature depending on the use condition. For this reason, there has been a problem that the slit between the blades 011 and 011 cannot be closed. In addition, since the width of the slit varies with time and the like every day, there has been a problem that it becomes difficult to use the slit device. As a result of studying the cause of the above problem, the following has been found. The positional relationship between the base 01 and the piezoelectric body 012 in a plan view is shown in FIG. 10 as an enlarged view of a portion indicated by an arrow X surrounded by a two-dot chain line in FIG. In FIG. 10, a piezoelectric body 012 made of a laminated ceramic, a spacer 013 made of brass, and chips 014 and 015 made of stainless steel.
Are integrally formed and are supported by a base 01 made of phosphor bronze. The linear expansion coefficient of phosphor bronze which is the material of the base 01 is λ1, the linear expansion coefficient of the laminated ceramic which is the material of the piezoelectric body 012 is λ2, the linear expansion coefficient of the brass which is the material of the spacer 013 is λ3, and the chip 01
The value of the linear expansion coefficient λ4 of stainless steel which is the material of 4,015 is as follows. Λ1 of base 01 = 18.1 × 10 ^-6 / ° C. Λ2 of piezoelectric body 012 = 1.6 × 10 ^-6 / ° C. Λ3 of spacer 013 = 19.9 × 10 ^-6 / ° C. Λ4 of chips 014 and 015 = 17.3 × 10 ⁻⁶ / ° C. [0007] The integrally formed member (numeral 012)
The support point at the inner end (contact point with the lever 09) of the member denoted by reference numeral 015 is denoted by A, and the support point at the outer end (contact point with the spherical tip 016a of the screw 016) by B. It is assumed that the following dimensions are set. Length L1 between points AB = 24 mm Length L2 of piezoelectric body 012 = 18 mm Thickness of one spacer L13 L3 = 1 mm Thickness of chip 014 L4 = 2 mm Thickness of chip 015 L5 = 2 mm In the case of (1), when the temperature changes by 1 ° C., the change amount (ΔL1b) of the length of the L1 on the base 01 side and the change amount (ΔL1a) of the length of the piezoelectric body 012 side are as follows. ΔL1b (base 01 side) = L1λ1 = 24 × 18.1 × 10 ⁻⁶ = 434.4 × 10 ⁻⁶ (mm) = 0.4344 μm ΔL1a (piezoelectric 012 side) = L2λ2 + 2 × L3λ3 + 2 × L4λ4 = (18 × 1.6 + 2 × 19.9 + 2 × 2 × 17.3) × 10 ⁻⁶ = 137.8 × 10 ⁻⁶ (mm) = 0.378 μm Therefore, the difference between ΔL1b and ΔL1a is as follows. Become. ΔL1b−ΔL1a = 0.344 μm−0.1378 μm = 0.2966 μm = approximately 0.3 μm That is, when the temperature rises at 1 ° C., the extension of the piezoelectric body 012 side is shorter than the extension of the base 01 by about 0.3 μm. The difference in elongation of 0.3 μm is 3 μm, which is about 10 times the effective magnification by the levers 09 and 010, and the blade 011 and
That is, the slit interval between 011 is widened. Since there is a pair of left and right piezoelectric members 012, the slit interval changes by about 6 μm when the temperature changes by 1 ° C. Since the specification of the slit controls the range of 0 to 220 μm, the variation is a value that cannot be ignored. The present invention has been made in view of the above circumstances, and has the following content as an object. (O01) To reduce the amount of change in the slit interval caused by the temperature change. Next, the present invention devised to solve the above-mentioned problems will be described. The elements of the present invention can be easily associated with the elements of the embodiments described later. In this case, the reference numerals of the elements of the embodiment are enclosed in parentheses. The reason why the present invention is described in correspondence with the reference numerals of the embodiments described below is to facilitate understanding of the present invention and not to limit the scope of the present invention to the embodiments. (Solution of the Invention) In order to solve the above problems, a slit device according to a first invention of the present application has the following requirements, and (A01) an elastic metal plate ( (A02) a beam passing hole (1) formed in the center of the plate (4);
0), (A03) formed by cut grooves (11) on both sides of the beam passage hole (10), and the beam passage hole (10)
(A04) a piezoelectric body receiving hole (8) formed outside the rotating lever (12), and (A05) the piezoelectric Piezoelectric bodies (31), (A0) housed in the body housing hole (8) and arranged to expand and contract inward toward the beam passage hole (10) and outward in the opposite direction when voltage is applied.
6) The inner end of the holder is supported by the plate (4) at a position near the inner end of the piezoelectric body (31), and the outer end of the holder is arranged near the outer end of the piezoelectric body (31). And a piezoelectric holder (27) made of a material having a coefficient of linear expansion that supports the outer end of the piezoelectric body (31) by the outer end of the holder and is closer to the piezoelectric body (31) than the plate (4). (A07) When the piezoelectric body (31) whose outer end is supported expands and contracts, the displacement of the inner end of the piezoelectric body (31) is transmitted to the rotating lever (12). Piezoelectric expansion / contraction transmission member (32 + 3
3), (A08) When the expansion and contraction of the piezoelectric body (31) is transmitted, the piezoelectric body (31) rotates, and the displacement of the free end is changed by the piezoelectric body (3).
1) The rotating levers (12) and (A09), which are enlarged by the amount of positional displacement of the inner end, are supported by the opposed free ends of the rotating lever (12) and form slits. (Explanation of terms) The "base member (2)" in the "base member (2) provided with an elastic metal plate (4)" described in the above (A01). ) "Means an assembly formed by connecting the" elastic metal plate (4) "and another member, or an integrally formed article having the plate (4). Is possible. In the description of the above (A06), “... the inner end of the holder is supported by the plate (4) and the piezoelectric holder (27).” The inner end of the piezoelectric holder (27) is the plate (4). ), Or indirectly supported by the plate (4) via another member (a member supporting the piezoelectric body holder (27)). In the slit device of the present invention having the above-described features, a beam passage hole (10) is formed in the center of the elastic metal plate (4) of the base member (2). . The rotation lever (12) is provided in the beam passage hole (10).
Are formed by cut grooves (11) on both sides thereof, and are arranged such that free ends face each other with the beam passage hole (10) interposed therebetween. A piezoelectric body receiving hole (8) is formed outside the rotating lever (12). The piezoelectric body (31) accommodated in the piezoelectric body accommodation hole (8) expands and contracts inward toward the beam passage hole (10) and outward in the opposite direction when a voltage is applied. The inner end of the holder is supported by the plate (4) at a position near the inner end of the piezoelectric body (31), and a material having a linear expansion coefficient closer to the piezoelectric body (31) than the plate (4) is made of a material. The configured piezoelectric body holder (27) supports the outer end of the piezoelectric body (31) by the holder outer end located near the outer end of the piezoelectric body (31). When the piezoelectric body (31) supported at the outer end of the piezoelectric body (31) expands and contracts, the piezoelectric expansion and contraction transmission member (3
2) transmits the displacement of the inner end of the piezoelectric body (31) to the rotating lever (12). The rotation lever (12)
When the expansion and contraction of the piezoelectric body (31) is transmitted, the piezoelectric body (31) rotates, and the displacement of the free end enlarges the displacement of the inner end of the piezoelectric body (31). The slit formed between the blades (16) supported on the opposed free ends of the rotating lever (12) has a slit width adjusted by a voltage applied to the piezoelectric body (31). Since the components of the slit device have different coefficients of linear expansion depending on the materials used, there is a difference in the change in length for each element that occurs when the temperature changes.
The amount of displacement of the inner end of the piezoelectric body (31) is amplified and transmitted to the rotating lever (12), and the slit forming blades (16) supported on the free ends of the rotating lever (12), respectively. It is preferable that the amount of displacement of the inner end position of the piezoelectric body (31) during the temperature change is small. Since the linear expansion coefficient of the piezoelectric body holder (27) of the present invention is closer to the linear expansion coefficient of the piezoelectric body (31) than that of the plate (4), the piezoelectric body (31) and the piezoelectric body holder ( 27) The difference in length change
And the difference in length change of the plate (4).
For this reason, the change in the inner end position of the piezoelectric body (31) at the time of temperature change occurs when the piezoelectric body (31) is supported by the piezoelectric body holder (27) by the plate (4).
Is smaller than in the case where is supported. That is, according to the present invention, the piezoelectric body (3) is formed by the plate (4) as in the prior art.
Since the change in the position of the inner end of the piezoelectric body (31) at the time of the temperature change can be reduced as compared with the structure of supporting the outer end in 1), the adjustment of the slit interval becomes easy. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, an embodiment (embodiment) of a slit device according to the present invention will be described with reference to the drawings, but the present invention is not limited to the following embodiment. is not.
In order to facilitate understanding of the following description, coordinate axes X, Y, and Z that are orthogonal to each other are defined in the drawings,
The direction of arrow X is forward, the direction of arrow Y is left, and the direction of arrow Z is upward. In this case, the direction opposite to the X direction (−X direction) is backward, the direction opposite to the Y direction (−Y direction) is rightward, and the direction opposite to the Z direction (−Z direction) is downward. In addition, the X direction and -X
The direction is referred to as the front-back direction or the X-axis direction including the direction, the left-right direction or the Y-axis direction including the Y direction and the -Y direction, and the up-down direction or the Z-axis direction including the Z direction and the -Z direction. . Furthermore, in the figure, those with “•” in “「 ”mean the arrow pointing from the back of the paper to the front, and those with“ x ”in“ ○ ”from the table on the paper It shall mean an arrow pointing to the back. FIG. 1 is a top view of a slit device according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a sectional view of the slit device of the first embodiment, and is a sectional view taken along line II-II of FIG. FIG. 3 is a bottom view of the first embodiment viewed from the arrow III in FIG. FIG. 4 is a top view of a base member of the slit device of the first embodiment, and shows a state where members other than the base member are removed from FIG. FIG. 5 is a sectional view taken along line VV of FIG. FIG. 6 is a sectional view taken along line VI-VI of FIG. FIG. 7 is an explanatory view of the piezoelectric holder and its supporting member used in the embodiment, and is a detailed explanatory view of the member shown in FIG. In FIG. 1 to FIG. 6, the slit device 1
It has a base member 2 made of phosphor bronze, which is a metal material having elasticity. The base member 2 has a cylindrical side wall 3 and a plate 4, as shown in FIGS. 4 and 5, the cylindrical side wall portion 3 is formed with piezoelectric holder receiving holes 6, 6 at both left and right (Y-axis direction) ends. The thickness of the cylindrical side wall 3 is increased, and screw through holes 7 are formed in the thicker portion. The plate 4 is provided with the screw through holes 7, 7.
And a pair of left and right piezoelectric body receiving holes 8, 8 connected to the plate 4, and a plurality of ventilation holes 9 are formed in the plate 4. Further, a beam passage hole 10 is formed in the center of the plate 4. On both sides of the beam passage hole 10, a turning lever 12 is formed by a cut groove 11. The rotation lever 12 includes an outer rotation lever 13 and an inner rotation lever 14. In FIG.
The outer rotating lever 13 is supported on a fixed portion of the plate 4 by a hinge H1, and is rotatable around a vertical axis (Z axis) of the hinge H1. The inner rotating lever 14 is supported on a fixed portion of the plate 4 by a hinge H2, and the vertical axis (Z
(Axis). The outer rotating lever 13 and the inner rotating lever 14 are connected at a connecting portion H3. The free ends of the inner rotation lever 14 on both the left and right sides of the beam passage hole 10 are arranged at positions facing each other with the beam passage hole 10 interposed therebetween. As can be seen from FIGS. 2 and 3, blades 16 for forming slits are fixed to the free ends of the lower surfaces of the inner rotary levers 14 and 14 so as to face each other.
A slit is formed between them. In FIG. 7, a holder supporting member 21 fixed and supported on the plate 4 is substantially U-shaped in a plan view (FIG. 7A).
It is shaped like a letter, and has a pair of legs 22, 22 and a connecting portion 23 for connecting them. In FIG. 7A, the lower half (-Z side portion) of the right half of the connection portion 23 is cut off to form a cutout portion 23a (see FIG. 7B). The left half of the connection portion 23 is cut off at the center in the front-rear direction (X-axis direction), so that a holder accommodating groove 23b (see FIG. 7D).
Are formed. A screw receiving hole 23c communicating with the holder receiving groove 23b is formed in an upper portion of the right side surface of the connecting portion 23. The holder support member 21 has the plate 4
Four screw through-holes 24 are provided for fixing on the upper side. In FIG. 1, the holder supporting member 21 is
It is fixed on the plate 4 by screws 26 passing through the individual screw through holes 24. As can be seen from FIGS. 1 and 2, the holder supporting members 21 are arranged in a pair on the left and right. A position C shown in FIG. 8 described later indicates a center position in the Y-axis direction of the screw 26 disposed inside of the four screws 26. In FIG. 7, an inner end of a piezoelectric body holder 27 made of molybdenum is inserted into the holder accommodating groove 23b and fixed by screws (not shown) accommodated in the screw accommodating holes 23c. The value of the coefficient of linear expansion λ5 of molybdenum as the material of the piezoelectric holder 27 is as follows. λ5 = 5.44 × 10 ⁻⁶ / ° C. The outer end of the piezoelectric body holder 27 extends downward, and a screw hole 27a is formed at the lower end of the outer end.
As can be seen from FIGS. 1 and 2, an outer end extending downward of the piezoelectric holder 27 is accommodated in the piezoelectric holder accommodation hole 6 of the cylindrical side wall 3, and the screw hole 27 at the lower end thereof is provided.
a is disposed at the outer end of the piezoelectric body receiving hole 8 and is disposed adjacent to and opposed to the screw through hole 7 of the cylindrical side wall 3. In FIG. 1 and FIG.
Inside, a piezoelectric body 31 is accommodated. The piezoelectric body 31 is
When a voltage is applied, they are arranged to expand and contract along the inside of the beam passage hole 10 and the outside opposite thereto. A stainless steel chip 3 is provided at both inner and outer ends of the piezoelectric body 31 through spacers 32, 32 made of brass.
3, 34 are attached. The tip 33 on the inner end side of the piezoelectric body 31 is formed in a forked shape so as to sandwich the outer rotating lever 13 from above and below. The inner end side chip 3
A piezoelectric expansion / contraction transmission member (32 + 33) is constituted by 3 and the spacer 32 supporting the chip 33.
Further, a spherical seat is formed on the chip 34 on the outer end side of the piezoelectric body 31. The spherical end portion 36 a of the screw 36 screwed into the screw hole 27 a at the outer end of the piezoelectric body holder 27 is pressed against the spherical seat of the chip 34 at the outer end of the piezoelectric body 31, thereby forming the inner end of the piezoelectric body 31. The piezoelectric body 31 is fixed by bringing the chip 33 on the side into contact with the rotating lever 12. In FIG. 3, the contact point between the tip 33 and the rotary lever 12 is denoted by P1, and the center of the opposing surface of the two opposing blades 16 is denoted by P2. H1
The length of P4 in the X-axis direction is r1, the length of H1H3 in the X-axis direction is r2, the length of H2H3 in the X-axis direction is r3, and the length of H2P2 in the X-axis direction is r4. The value of r1 to r4 is (r2 / r
1) × (r4 / r3) = about 10 and the above P4
The displacement of P5 is about 10 times (that is, the effective magnification = about 10) when the displacement of .DELTA.y is .DELTA.y. FIG. 8 shows a positional relationship of the plate 4, the piezoelectric body holder 27 and the piezoelectric body 31 in a plan view. In FIG. 8, a piezoelectric body 31 made of a laminated ceramic, spacers 32 and 32 made of brass, and a chip 33 made of stainless steel,
34 is integrally formed. The inner end support point (contact point with the outer rotary lever 13) of the integrally formed member (31 + 32 + 33 + 34) is denoted by A, and the outer end support point (screw 3).
The point of contact with the spherical tip 36a of No. 6) is B. Also,
Let C be the inner end position of the piezoelectric holder 27 supported on the plate 4 of the base member 2 made of phosphor bronze via the holder support member 21. Note that the inner end position C
This is the center position in the Y-axis direction of the screw 26 arranged inside of the screws 26. The dimensions shown in FIG. 8 are set as follows. Length L1 between points AB = 24 mm Length L2 of piezoelectric body 31 = 18 mm Thickness of one spacer 32 L3 = 1 mm Thickness of chip 33 L4 = 2 mm Thickness of chip 34 L4 = 2 mm Length between points CB Length L5 = 21.5 mm Length between points AC L6 = 2.5 mm In accordance with a temperature change, the space between ACs expands and contracts due to the linear expansion coefficient of phosphor bronze, and the space between CBs is molybdenum, which is the material of the piezoelectric holder 27. Expands and contracts according to the linear expansion coefficient. (Operation of the Embodiment) The linear expansion coefficient of phosphor bronze which is the material of the plate 4 of the base member 2 is λ1, and the linear expansion coefficient of the multilayer ceramic which is the material of the piezoelectric body 31 is λ.
2, the linear expansion coefficient of brass as a material of the spacer 32 is λ3,
The values of the linear expansion coefficient λ4 of stainless steel as the material of the chips 33 and 34 and the linear expansion coefficient λ5 of molybdenum as the material of the piezoelectric holder 27 are as follows. Λ1 of the plate 4 of the base member 2 = 18.1 × 10 ^-6 / ° C. Λ2 of the piezoelectric body 31 = 1.6 × 10 ^-6 / ° C. Λ3 of the spacer 32 = 19.9 × 10 ^-6 / ° C. Λ4 of 34 = 17.3 × 10 ⁻⁶ / ° C. λ5 of the piezoelectric holder 27 = 5.44 × 10 ⁻⁶ / ° C. In the case of the above dimensions, the point AB between the points AB when the temperature changes by 1 ° C. The change (ΔL1c) on the side of the plate 4 and the piezoelectric body holder 27 having the length L1 and the change (ΔL1a) on the side of the piezoelectric body 31 are as follows. ΔL1c (change on the side of the plate 4 and the piezoelectric body holder 27) = L5λ5 + L6λ1 = (21.5 × 5.44 × 10 ⁻⁶ + 2.5 × 18.1 × 10 ⁻⁶ = 162.21 × 10 ⁻⁶ (mm) = 0.12211 μm ΔL1a (change on the side of the piezoelectric body 31) = L2λ2 + 2 × L3λ3 + 2 × L4λ4 = (18 × 1.6 + 2 × 19.9 + 2 × 2 × 17.3) × 10 ^-6 = 137.8 × 10 ^-6 ( mm) = 0.1378 μm Therefore, the difference between ΔL1c and ΔL1a is as follows: ΔL1c−ΔL1a = 0.16221 μm−0.1378 μm = 0.024441 μm = approximately 0.024 μm That is, at 1 ° C. When ascending, the elongation on the piezoelectric body 31 side is shorter than the elongation of the plate 4 by about 0.024 μm, and the difference in elongation of 0.024 μm is 0.24 μm, which is about 10 times the effective magnification by the rotating lever 12. , The two brakes for forming the slit The piezoelectric element 31 has a pair of left and right, so that the slit distance is about 0.48 μm due to a change in temperature of 1 ° C.
Will change. The change of the slit interval of about 0.48 μm due to the temperature change of 1 ° C. in this embodiment is about 6 μm of the change of the slit interval of the prior art described with reference to FIG.
It is smaller than. Therefore, the above embodiment is
Even if a temperature change occurs, the control of the slit interval can be easily performed as compared with the related art. (Modifications) Although the embodiments of the present invention have been described in detail, the present invention is not limited to the above-described embodiments, but falls within the scope of the present invention described in the appended claims. Thus, various changes can be made. Modified embodiments of the present invention will be exemplified below. (H01) The piezoelectric holder 27 can adopt various shapes other than those shown in the embodiment, and can be directly supported on the plate 4 of the base member 2. (H02) Instead of being composed of two pivoting levers, an outer pivoting lever 13 and an inner pivoting lever 14, which are connected in series, the pivoting lever 12 is composed of one pivoting lever, It is possible to configure with more than two rotating levers connected in series. (H03) As the material of the piezoelectric body holder 27, various materials can be used as long as the material has a linear expansion coefficient closer to that of the piezoelectric body than that of the plate. For example, Kovar, ceramics, or the like is used. It is possible to In addition, since molybdenum is a single metal material, the material does not change depending on components such as alloys and ceramics, and since the material is constant, a slit device with less variation in quality can be obtained. The slit device according to the present invention has the following effects. (E01) It is possible to reduce the amount of change in the slit interval generated according to the temperature change.

【図面の簡単な説明】【図１】図１は本発明の実施例１のスリット装置の上
面図である。【図２】図２は同実施例１のスリット装置の断面図
で、前記図１のII−II線断面図である。【図３】図３は同実施例１の下面図で前記図２の矢印
IIIから見た図である。【図４】図４は同実施例１のスリット装置のベース部
材の上面図で、前記図１からベース部材以外の部材を除
去して状態を示す図である。【図５】図５は前記図４のＶ−Ｖ線断面図である。【図６】図６は前記図４のＶI−ＶI線断面図である。【図７】図７は同実施例で使用される圧電体ホルダお
よびその支持部材の説明図で、前記図１に示した部材の
詳細説明図である。【図８】図８は同実施例におけるプレート４、圧電体
ホルダ２７および圧電体３１の平面図での位置関係の説
明図である。【図９】図９は本出願人が先に開発したスリット装置
の説明図で、図９Ａは縦断面図、図９Ｂは前記図９Ａの
上面図で、前記図９Ａの矢印IＸＢから見た図である。【図１０】図１０は前記図９Ａに示すベース０１と圧
電体０１２との平面図での位置関係の説明図である。【符号の説明】２…ベース部材、４…プレート、８…圧電体収容孔、１
０…ビーム通過孔、１１…切り溝、１２…回動レバー、
１６…ブレード、２７…圧電体ホルダ、３１…圧電体、
（３２＋３３）…圧電体伸縮伝達部材、BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a top view of a slit device according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view of the slit device according to the first embodiment, and is a cross-sectional view taken along line II-II of FIG. FIG. 3 is a bottom view of the first embodiment and is an arrow of FIG. 2;
It is the figure seen from III. FIG. 4 is a top view of a base member of the slit device of the first embodiment, showing a state where members other than the base member are removed from FIG. FIG. 5 is a sectional view taken along line VV of FIG. 4; FIG. 6 is a sectional view taken along line VI-VI of FIG. 4; FIG. 7 is an explanatory view of a piezoelectric holder and a support member thereof used in the embodiment, and is a detailed explanatory view of the members shown in FIG. 1; FIG. 8 is an explanatory diagram of a positional relationship in a plan view of the plate 4, the piezoelectric body holder 27, and the piezoelectric body 31 in the embodiment. 9 is an explanatory view of a slit device developed earlier by the present applicant, FIG. 9A is a longitudinal sectional view, FIG. 9B is a top view of FIG. 9A, and is a view from the arrow IXB of FIG. 9A. It is. FIG. 10 is an explanatory diagram of a positional relationship in a plan view between the base 01 and the piezoelectric body 012 shown in FIG. 9A. [Description of Signs] 2 ... Base member, 4 ... Plate, 8 ... Piezoelectric housing hole, 1
0: Beam passing hole, 11: Cut groove, 12: Rotating lever,
16 ... blade, 27 ... piezoelectric body holder, 31 ... piezoelectric body,
(32 + 33): Piezoelectric expansion / contraction transmission member,

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01J 49/26 H01J 37/09 G01N 27/62 Continuation of the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. ⁷ , DB name) H01J 49/26 H01J 37/09 G01N 27/62

Claims

(57) [Claims 1] A slit device having the following requirements, (A01) a base member provided with a resilient metal plate, and (A02) the plate. (A03) a turning lever formed by a cut groove on both sides of the beam passing hole and having a free end opposed to the beam passing hole across the beam passing hole;
(A04) a piezoelectric body receiving hole formed outside the rotary lever; (A05) a piezoelectric body receiving hole which is housed in the piezoelectric body receiving hole and extends toward the beam passage hole when a voltage is applied and along the outside in the opposite direction. (A)
06) The inner end of the holder is supported by the plate at a position near the inner end of the piezoelectric body, and the outer end of the holder is arranged at a position near the outer end of the piezoelectric body. A piezoelectric body holder made of a material having a coefficient of linear expansion supporting the outer end of the piezoelectric body closer to that of the piezoelectric body than the plate; (A07) when the piezoelectric body supporting the outer end of the piezoelectric body expands and contracts; A piezoelectric expansion / contraction transmission member for transmitting the displacement of the inner end of the piezoelectric body to the rotating lever; (A08) rotating when the expansion / contraction of the piezoelectric body is transmitted; (A09) a blade supported by the opposed free ends of the rotating lever and arranged to form a slit, respectively;