JP3049522B2 - Positioning device with displacement enlargement mechanism - Google Patents
Positioning device with displacement enlargement mechanismInfo
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- JP3049522B2 JP3049522B2 JP4042328A JP4232892A JP3049522B2 JP 3049522 B2 JP3049522 B2 JP 3049522B2 JP 4042328 A JP4042328 A JP 4042328A JP 4232892 A JP4232892 A JP 4232892A JP 3049522 B2 JP3049522 B2 JP 3049522B2
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- Japan
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- hinge
- lever
- parallel
- displacement
- spring
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Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、機械や装置を所要の
正確な位置に位置決めするための位置決め装置に係り、
さらに詳しくは、精密工作機、精密測定器、半導体露光
装置、ハードディスク、プリンタヘッド、などの利用分
野においてサブミクロンの変位を発生して超精密な位置
決めを行うための変位拡大機構付位置決め装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a positioning device for positioning a machine or a device at a required accurate position.
More specifically, the present invention relates to a positioning device with a displacement magnifying mechanism for generating a submicron displacement and performing ultra-precise positioning in fields of use such as a precision machine tool, a precision measuring device, a semiconductor exposure apparatus, a hard disk, and a printer head.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の位置決め装置には、アクチュエー
タ素子を用いた変位拡大機構が設けられているが、その
形式として押圧方式、１段リレー式、複合式、座屈レバ
ー式、等が知られてる。しかし、これらの変位拡大機構
は、いずれも形状が非対称形であるので、構造上剛性が
低く、従って、固有振動数が低いという欠点がある。
又、復元用ばねに結合されていないので零点（原点）復
帰に問題がある。又、座屈レバー式は対称形であるが、
座屈形であるので、十分な変位を与えようとすると、復
元性を悪くする恐れがあって拡大率に限界があり、又、
反力に対しても曲がる恐れがあり、大きい力は出せない
という欠点がある。そこで、これらの問題を解決するた
め、一体構造型変位縮小機構付複合平行ばねが用いられ
ている。この複合平行ばねは、図３に示す様にアクチュ
エータ素子１の上方に順次２段てこ機構２と複合平行ば
ね３とが設けられている。７は連続出力テーブル、ハッ
チングを施した部分は固定されている部分を示す。2. Description of the Related Art A conventional positioning apparatus is provided with a displacement enlarging mechanism using an actuator element, and known types include a pressing system, a one-stage relay system, a compound system, and a buckling lever system. Te However, since these displacement enlargement mechanisms are all asymmetrical in shape, they have a drawback that they have low structural rigidity and therefore low natural frequency.
In addition, since it is not connected to the restoring spring, there is a problem in returning to the zero point (origin). The buckling lever type is symmetrical,
Since it is a buckling type, there is a possibility that the restorability may be deteriorated when trying to give a sufficient displacement, and there is a limit to the enlargement ratio.
There is a drawback that there is a risk of bending against the reaction force, and a large force cannot be given. Therefore, in order to solve these problems, a composite parallel spring with an integral structure type displacement reduction mechanism is used. In this composite parallel spring, a two-stage lever mechanism 2 and a composite parallel spring 3 are sequentially provided above the actuator element 1 as shown in FIG. Reference numeral 7 denotes a continuous output table, and a hatched portion indicates a fixed portion.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】この複合平行ばねで
は、ヒンジばね６が結合体５に対して平行方向に配列さ
れているので、該平行ばねに大きい垂直変位が加わる
と、該ばね６が引っ張られるためへたってしまう。その
ため、テーブルを元の位置に戻す所謂原点復帰を確実に
行うことは困難となる。又、微小変位を任意の拡大率の
変位に変換することは困難である。又、この平行ばね
は、圧電アクチュエータ素子が縦型に配置されているの
で、変位拡大量を増大しようとして圧電アクチュエータ
素子を縦方向に長くすると、装置全体が長くなるので大
型となってしまう。In this composite parallel spring, since the hinge springs 6 are arranged in a direction parallel to the coupling body 5, when a large vertical displacement is applied to the parallel springs, the springs 6 are pulled. It's so terrible. For this reason, it is difficult to surely perform the so-called home return, which returns the table to the original position. Also, it is difficult to convert a minute displacement into a displacement at an arbitrary magnification. Further, since the piezoelectric actuator elements of the parallel spring are arranged vertically, if the piezoelectric actuator elements are lengthened in the vertical direction in order to increase the amount of displacement expansion, the entire device becomes longer, resulting in an increase in size.
【０００４】この発明は前記事情に鑑み、変位拡大率を
任意に得られる様にすることを目的とする。他の目的
は、ヒンジばねのへたりを防止し、確実に零点復帰でき
る様にすることである。更に、他の目的は装置の小型化
を図ることである。[0004] In view of the above circumstances, an object of the present invention is to make it possible to arbitrarily obtain a displacement enlargement ratio. Another object is to prevent the setting of the hinge spring and to make it possible to surely return to the zero point. Still another object is to reduce the size of the device.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】 この発明は、収容部(2)
に横置に配設されたアクチュエータ素子(1)と；アクチ
ュエータ素子(1)の左右に対称形に配設された多段レバ
ー変位拡大機構であって、前記収容部(2)の底部を支持
ヒンジ(3a)とし、アクチェータ素子(1)の左右頂点を中
心力点(1a)とし、かつ、前記支持ヒンジ(3a)が設けられ
ている一端部と反対側の他端部を可動点ヒンジ（3b)と
する第１レバー(3)と、前記可動点ヒンジ(3b)を力点と
し、かつ、前記収容部(2)の固定部（6）の固定点(2a)を
支点とし、該支点の設けられている一端部と反対側の他
端部を可動ヒンジ(4b)とする第２レバー(4)と、該第２
レバー(4)の可動ヒンジ(4b)を力点とし、かつ、固定部
(6)を支点とし、該支点が設けられている一端部と反対
側の他端部を可動ヒンジ(5b)とする第３レバー(5)と、
を備えた多段レバー変位拡大機構と；前記左右の第３レ
バー(5)に前記可動ヒンジ(5b)を介して結合され、か
つ、アクチュエータ素子(1)の伸縮方向と直交する方向
に変位する位置決めテーブル(8)と；左右対象に配設さ
れ、かつ、前記位置決めテーブル(8)と固定部(6)とを連
結する複合平行ばね機構と；から構成された変位拡大機
構付位置決め装置であって； 前記複合平行ばね機構
が、前記位置決めテーブル(8)の中心部(8b)と固定部(6)
とを連結する複数の平行結合体(10,12,15,16)を備えて
おり、該平行結合体が、一端に平行ヒンジばね(9,13)を
有し、他端に直角ヒンジばね(11)を有しており、前記複
数の平行結合体(10,12,15,16)が連結されて直列結合ヒ
ンジが構成されていることを特徴とする。 According to the present invention, a housing (2) is provided.
An actuator element (1) arranged next location in; multistage lever disposed symmetrically to the left and right of the actuator device (1)
A displacement magnifying mechanism, wherein the bottom of the housing part (2) is a support hinge (3a) , the left and right vertices of the actuator element (1) are central force points (1a) , and the support hinge (3a) is provided. Is
A first lever (3) having a movable point hinge (3b) at the other end opposite to the one end, and a movable part hinge (3b) as a power point, and a fixing part of the housing part (2). A second lever (4) having the fixed point (2a ) of (6) as a fulcrum and the other end opposite to the one end provided with the fulcrum as a movable hinge (4b) ; Second
The movable hinge (4b) of the lever (4) is used as the power point and
(6) as a fulcrum, opposite to one end where the fulcrum is provided
A third lever (5) having a movable hinge (5b) at the other end on the side;
Multistage lever displacement enlarging mechanism and having a; the left and right third les
Is connected to the bar (5) via the movable hinge (5b) ,
Direction perpendicular to the direction of expansion and contraction of the actuator element (1)
A positioning table with a displacement magnifying mechanism, comprising: a positioning table (8) that is displaced in a horizontal direction; and a composite parallel spring mechanism that is disposed symmetrically to the left and right and connects the positioning table (8) and the fixed portion (6) . An apparatus; wherein the compound parallel spring mechanism comprises a center part (8b) of the positioning table (8 ) and a fixed part (6).
And a plurality of parallel joints (10, 12, 15, 16) for connecting the parallel hinges, each having a parallel hinge spring (9, 13) at one end, and a right-angle hinge spring ( 11) , wherein the plurality of parallel coupled bodies (10, 12, 15, 16) are connected to form a series coupled hinge.
【０００６】[0006]
【作用】横置に配設されたアクチュエータ素子、例え
ば、圧電素子に電圧を印加すると、圧電素子が伸びて、
多段レバー変位拡大機構を作動させる。この機構の作動
によりてこの作用が発生し前記圧電素子の変位量が拡大
され、その拡大された変位量が位置決めテーブルに伝達
され該テーブルが圧電素子の変位に比べ、大幅に変位す
る。次に、前記印加電圧を零にする複合平行ばね力によ
り前記テーブルは確実に零点復帰し元の位置に戻る。When a voltage is applied to an actuator element disposed horizontally, for example, a piezoelectric element, the piezoelectric element expands,
Activate the multi-stage lever displacement enlargement mechanism. Due to the operation of this mechanism, this action occurs, and the displacement amount of the piezoelectric element is enlarged, and the enlarged displacement amount is transmitted to the positioning table, and the table is displaced significantly compared to the displacement of the piezoelectric element. Next, the table reliably returns to the zero point and returns to the original position by the composite parallel spring force that makes the applied voltage zero.
【０００７】[0007]
【実施例】以下、この発明の一実施例を図面に基づいて
説明する。図１は、この実施例に係る拡大機構付位置決
め装置の断面図、図２は、その側断面図である。図１に
おいて、１は圧電アクチュエータであり、圧電素子を内
蔵し収容部２に中心線を横方向にして収容される。圧電
素子の変位と力は、両側端板Ｓの中心力点１ａを介して
左右の第１レバー３に伝達される構造になっている。第
１レバー３は収容部２に支点ヒンジ３ａを介して一端が
結合され、他端可動点３ｂは、一端が収容部２と結合さ
れた固定点２ａとヒンジ４ａを介して結合された第２レ
バー４にヒンジ結合されている。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view of a positioning device with an enlargement mechanism according to this embodiment, and FIG. 2 is a side sectional view thereof. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a piezoelectric actuator, which contains a piezoelectric element and is accommodated in an accommodating portion 2 with a center line in a lateral direction. The displacement and the force of the piezoelectric element are transmitted to the left and right first levers 3 via the central force point 1a of the both end plates S. One end of the first lever 3 is connected to the housing 2 via a fulcrum hinge 3a, and the other end movable point 3b is connected to a fixed point 2a whose one end is connected to the housing 2 via a hinge 4a. The lever 4 is hinged.
【０００８】この実施例では、第２レバーの他端可動点
４ｂは、固定部６にヒンジ５ａで支持された第３レバー
５の一端にヒンジ４ｃで結合されている。第３レバー５
はＬ字状、即ち、直角に曲げられた形状であり、他端は
ヒンジ５ｂを介して位置決めテーブル８のスカート８ａ
と結合されている。この様に、複数のレバーを段状に配
設したものを多段レバー変位拡大機構と称するが、この
段数は、必要に応じて決定される。この段数の決定方法
は、拡大率が、レバー比の積 ｌ2 ／ｌ1 ×ｌ4 ／l3×……×ｌN ／ｌN-1 と等しくなる様にする。ここで、拡大率は、位置決めテ
ーブル８の所要変位を圧電ユニット変位／2 で除したも
のと等しい。In this embodiment, the other end movable point 4b of the second lever is connected to one end of the third lever 5 supported on the fixed portion 6 by the hinge 5a via a hinge 4c. Third lever 5
Has an L shape, that is, a shape bent at a right angle, and the other end is provided with a skirt 8a of the positioning table 8 via a hinge 5b.
Is combined with A mechanism in which a plurality of levers are arranged in a step-like manner is referred to as a multi-stage lever displacement enlarging mechanism. The number of steps is determined as necessary. The method for determining the number of steps is such that the enlargement ratio is equal to the product of the lever ratios l 2 / l 1 × l 4 / l 3 ×... × l N / l N -1 . Here, the magnification is equal to the required displacement of the positioning table 8 divided by the piezoelectric unit displacement / 2.
【０００９】該テーブル８の中心部８ｂは、ヒンジばね
９を介して平行結合体１０に結合され、平行結合体１０
は、他端が直角方向ヒンジばね１１を介して平行結合体
１２に結合される。次に平行結合体１２はヒンジばね１
３を介して中心結合体１４に結合される。平行結合体１
５、１６は、平行結合体１０、１２と同様な関係をヒン
ジばねと直角方向ヒンジばねと間に持ち、平行結合体１
６はヒンジばね１７を介して収容部２と結合された固定
部６に結合されている。ヒンジばねと直角方向ヒンジば
ねとを有する複数本の平行結合体を備えたものを複合平
行ばね機構というが、これらは、すべて左右対称に配置
されている。A central portion 8b of the table 8 is connected to a parallel connecting member 10 via a hinge spring 9, and the parallel connecting member 10
The other end is coupled to a parallel coupling body 12 via a right-angle hinge spring 11. Next, the parallel joint 12 is the hinge spring 1
3 to the central conjugate 14. Parallel combination 1
5 and 16 have a similar relationship between the parallel joints 10 and 12 between the hinge spring and the orthogonal hinge spring, and
6 is connected to the fixed part 6 connected to the housing part 2 via a hinge spring 17. A mechanism provided with a plurality of parallel coupling bodies each having a hinge spring and a right-angle hinge spring is referred to as a composite parallel spring mechanism, and these are all arranged symmetrically.
【００１０】なお、この複合平行ばね機構の複合平行ば
ねの段数は、必要に応じて決定されるが、その段数の決
定方法は、 ｔａｎθ≒θ＝Ｄ／２Ｎ×Ｌ＜弾性限界たわみ角θｍａ
ｘ を満足する様にする。ここで、Ｄは変位テーブルの変位
量、Ｌはヒンジ平行結合体の長さ、Ｎは複合平行ばねの
段数（ヒンジばねの個数２Ｎ）、θはヒンジばねの曲げ
角度、である。The number of steps of the compound parallel spring of the compound parallel spring mechanism is determined as necessary. The method of determining the number of steps is as follows: tan θ ≒ θ = D / 2N × L <elastic limit deflection angle θma
x is satisfied. Here, D is the displacement amount of the displacement table, L is the length of the hinge parallel combination, N is the number of steps of the composite parallel spring (the number of hinge springs is 2N), and θ is the bending angle of the hinge spring.
【００１１】第１レバー３の片側、例えば、右側には圧
電アクチュエータ１を入れるための穴３ｃがあけられて
おり、穴３ｃの蓋１８が止めねじで固定されている。蓋
１８には圧電アクチュフータ１の右側中心力点に接触
し、該テーブル８の変位を調整する調整ねじ１９がねじ
込まれている。圧電アクチュエータ１のリード線２５は
端子２０を介して外部へ導かれる。図２の側面断面図に
おいて、２１及び２２は収容部２、固定部６及び固定部
１７を結合する側壁である。図１の形状を放電加工する
ために、側壁２１及び２２は、別箇の部品とし、収容部
２、固定部６、及び固定部１７をはめ合わせた後ねじ止
めし、接着剤で固定する構造にしてある。A hole 3c for receiving the piezoelectric actuator 1 is formed on one side, for example, on the right side of the first lever 3, and a cover 18 of the hole 3c is fixed with a set screw. An adjusting screw 19 that contacts the right central force point of the piezoelectric actuator 1 and adjusts the displacement of the table 8 is screwed into the lid 18. The lead wire 25 of the piezoelectric actuator 1 is guided to the outside via the terminal 20. In the side sectional view of FIG. 2, reference numerals 21 and 22 denote side walls connecting the housing 2, the fixing part 6 and the fixing part 17. In order to subject the shape of FIG. 1 to electrical discharge machining, the side walls 21 and 22 are separate parts, and the receiving part 2, the fixing part 6, and the fixing part 17 are fitted, screwed, and fixed with an adhesive. It is.
【００１２】以上のような構成において、圧電アクチュ
エータ１に電圧を与えると、圧電アクチュエータ１は微
小変位と大きい力を発生して左右の中心力点１ａで左右
の第１レバー３を押す。第１レバー３はヒンジ３ｂで第
２レバー４を引っ張る。前述の様に、同様なレバー機構
をさらに第（ｎ−１）段まで設ければ、拡大率はレバー
比の積であるので、空間を拡げればいくらでも大きくす
ることができる。In the above configuration, when a voltage is applied to the piezoelectric actuator 1, the piezoelectric actuator 1 generates a small displacement and a large force, and pushes the first left and right levers 3 at the left and right central force points 1a. The first lever 3 pulls the second lever 4 with the hinge 3b. As described above, if the same lever mechanism is further provided up to the (n-1) th stage, the enlargement ratio is the product of the lever ratios, so that the space can be increased as much as possible.
【００１３】この場合は、第２レバー４までにしてあ
り、ヒンジ４ｂで第３レバー５を引っ張る。第３レバー
５は直角に曲げられているため、ヒンジ５ｂを介してス
カート８ａを押し上げるので、該テーブル８は上方へ変
位する。その変位量は、圧電アクチュエータ１の変位量
に該レバー拡大機構のレバー比の積を乗じたものに拡大
される。但し、力の方はその分縮小される。他方、該テ
ーブル８が変位すると、複合平行ばねの、この場合は６
個の鎖状直列結合ヒンジばねに曲げ変位が分配されて蓄
積される。In this case, the third lever 5 is pulled by the hinge 4b up to the second lever 4. Since the third lever 5 is bent at a right angle, the skirt 8a is pushed up via the hinge 5b, so that the table 8 is displaced upward. The displacement amount is enlarged to the displacement amount of the piezoelectric actuator 1 multiplied by the product of the lever ratio of the lever enlargement mechanism. However, the power is reduced accordingly. On the other hand, when the table 8 is displaced, the composite parallel spring, in this case 6
The bending displacement is distributed and accumulated in the chain-like serially connected hinge springs.
【００１４】前記の様に、６個のヒンジばねの個数は必
要により変えることができる。圧電アクチュエータ１に
加えられた電圧を０にすると、複合平行ばねの復元力に
よって、該テーブル８は確実に零点に復帰することがで
きる。以上によってこの発明による変位拡大機構付位置
決め装置は、所要のサブミクロンの位置決めを行い、確
実に原点（零点）復帰して繰り返し使用することが可能
となる。As described above, the number of the six hinge springs can be changed as required. When the voltage applied to the piezoelectric actuator 1 is set to 0, the table 8 can be reliably returned to the zero point by the restoring force of the composite parallel spring. As described above, the positioning device with a displacement magnifying mechanism according to the present invention can perform positioning at a required submicron, reliably return to the origin (zero point), and can be repeatedly used.
【００１５】[0015]
【発明の効果】この発明は以上の様に構成したので、次
の如き顕著な効果を奏する。 （１）多段レバー変位拡大機構なので、微小変位を任意
の拡大率の変位に変換することができる。 （２）平行結合体と直角方向のヒンジばねを採用した複
合平行ばねなので、狭い空間に鎖状直列ばね構造を構成
することができる。そのため、位置決めテーブルの比較
的大きい変位を複数のヒンジばねに分散することができ
るので、各ヒンジばねに発生する曲げ応力は材料の弾性
限界内に収めることができる。従って、ヒンジばねが従
来例と異なりへたることがないので、該テーブルを確実
に原点復帰することができる。 （３）横置にアクチュエータ素子を配設したので、従来
例の縦置のそれに比し、小型にすることができる。As described above, the present invention has the following remarkable effects. (1) Since it is a multi-stage lever displacement magnifying mechanism, it is possible to convert a minute displacement into a displacement having an arbitrary magnification. (2) Since it is a composite parallel spring employing a parallel coupled body and a hinge spring in a direction perpendicular to the chain, a chain-shaped series spring structure can be formed in a narrow space. Therefore, since a relatively large displacement of the positioning table can be distributed to the plurality of hinge springs, the bending stress generated in each hinge spring can be kept within the elastic limit of the material. Therefore, since the hinge spring does not fall apart from the conventional example, the table can be reliably returned to the home position. (3) Since the actuator elements are disposed horizontally, the size can be reduced as compared with the conventional vertical arrangement.
【図１】本発明の実施例を示す縦断面図である。FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an embodiment of the present invention.
【図２】図１のII-II 線断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II of FIG.
【図３】従来例を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a conventional example.
１ アクチュエータ素子 ３ 第１レバー ４ 第２レバー ５ 第３レバー ６ 固定部 ８ 位置決めテーブル ９ ヒンジばね １０ 平行結合体 １１ 直角方向ヒンジばね DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Actuator element 3 1st lever 4 2nd lever 5 3rd lever 6 Fixed part 8 Positioning table 9 Hinge spring 10 Parallel coupling body 11 Right angle hinge spring
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−244514（ＪＰ，Ａ) 特公 昭63−18681（ＪＰ，Ｂ２) 実公 平４−32237（ＪＰ，Ｙ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B23Q 5/28 G01B 5/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-1-244514 (JP, A) JP-B-63-18681 (JP, B2) Jiko 4-32237 (JP, Y2) (58) Field (Int. Cl. 7 , DB name) B23Q 5/28 G01B 5/00
Claims (1)
ータ素子(1)と； アクチュエータ素子(1)の左右に対称形に配設された多
段レバー変位拡大機構であって、前記収容部(2)の底部
を支持ヒンジ(3a)とし、アクチェータ素子(1)の左右頂
点を中心力点(1a)とし、かつ、前記支持ヒンジ(3a)が設
けられている一端部と反対側の他端部を可動点ヒンジ
（3b)とする第１レバー(3)と、前記可動点ヒンジ(3b)を
力点とし、かつ、前記収容部(2)の固定部（6）の固定点
(2a)を支点とし、該支点の設けられている一端部と反対
側の他端部を可動ヒンジ(4b)とする第２レバー(4)と、
該第２レバー(4)の可動ヒンジ(4b)を力点とし、かつ、
固定部(6)を支点とし、該支点が設けられている一端部
と反対側の他端部を可動ヒンジ(5b)とする第３レバー
(5)と、を備えた多段レバー変位拡大機構と； 前記左右の第３レバー(5)に前記可動ヒンジ(5b)を介し
て結合され、かつ、アクチュエータ素子(1)の伸縮方向
と直交する方向に変位する位置決めテーブル(8)と； 左右対象に配設され、かつ、前記位置決めテーブル(8)
と固定部(6)とを連結する複合平行ばね機構と； から構成された変位拡大機構付位置決め装置であって； 前記複合平行ばね機構が、前記位置決めテーブル(8)の
中心部(8b)と固定部(6)とを連結する複数の平行結合体
(10,12,15,16)を備えており、 該平行結合体が、一端に平行ヒンジばね(9,13)を有し、
他端に直角ヒンジばね(11)を有しており、 前記複数の平行結合体(10,12,15,16)が連結されて直列
結合ヒンジが構成されていることを特徴とする変位拡大
機構付位置決め装置。An actuator element (1) disposed laterally in a housing (2) ; a plurality of actuator elements (1) disposed symmetrically to the left and right of the actuator element (1).
A step lever displacement magnifying mechanism, wherein the bottom of the housing portion (2) is a support hinge (3a) , the left and right apexes of the actuator element (1) are central force points (1a) , and the support hinge (3a) is Setting
A first lever (3) having a movable point hinge (3b) at the other end opposite to the one end portion , and a movable point hinge (3b) serving as a power point ; Fixed point of fixing part (6)
And (2a) as a fulcrum, and the second lever (4) to the other end opposite to one end portion provided with fulcrum and movable hinge (4b),
The movable hinge (4b) of the second lever (4) is used as a power point, and
One end where the fixing portion (6) is a fulcrum and the fulcrum is provided
3rd lever whose other end on the opposite side to the movable hinge (5b)
Through the movable hinge to the left and right third levers (5) (5b); ( 5) and a multi-stage lever displacement enlarging mechanism having a
And the expansion and contraction direction of the actuator element (1)
Positioning table which is displaced in a direction perpendicular to the (8) and; disposed symmetrically, and said positioning table (8)
And a composite parallel spring mechanism for connecting the fixed part (6) and the composite parallel spring mechanism. The composite parallel spring mechanism comprises a central part (8b) of the positioning table (8). Multiple parallel joints connecting the fixing part (6)
(10, 12, 15, 16) , the parallel joint body has a parallel hinge spring (9, 13) at one end,
A displacement magnifying mechanism having a right-angle hinge spring (11) at the other end, wherein the plurality of parallel coupled bodies (10, 12, 15, 16) are connected to form a series coupled hinge. With positioning device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4042328A JP3049522B2 (en) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | Positioning device with displacement enlargement mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP4042328A JP3049522B2 (en) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | Positioning device with displacement enlargement mechanism |
Publications (2)
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| JPH05212647A JPH05212647A (en) | 1993-08-24 |
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