JP3381826B2 - 回折格子 - Google Patents
回折格子Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光スペクトラムア
ナライザー等の分光用部品である回折格子に関し、特に
回折格子の構造上生じる迷光の影響を除去することが可
能な回折格子に関する。
ナライザー等の分光用部品である回折格子に関し、特に
回折格子の構造上生じる迷光の影響を除去することが可
能な回折格子に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の回折格子はガラス母材上の樹脂層
に溝を形成し、この溝に入射された光の波長により生じ
る異なる角度の回折によって入射光の分光を行うもので
ある。
に溝を形成し、この溝に入射された光の波長により生じ
る異なる角度の回折によって入射光の分光を行うもので
ある。
【０００３】図３はこのような従来の回折格子の一例を
示す断面図である。図３において１がガラス母材、２は
樹脂層である。また、１及び２は回折格子５０を構成し
ている。
示す断面図である。図３において１がガラス母材、２は
樹脂層である。また、１及び２は回折格子５０を構成し
ている。
【０００４】ガラス母材１上には樹脂層２が形成され、
さらに樹脂層２には図３中”イ”に示すような溝が互い
に平行に複数本形成される。
さらに樹脂層２には図３中”イ”に示すような溝が互い
に平行に複数本形成される。
【０００５】但し、樹脂層２は周辺雰囲気に接している
たため、周辺温度や湿度による樹脂層２の劣化等の影響
を受け易く、耐環境特性が悪いと言った問題点があっ
た。
たため、周辺温度や湿度による樹脂層２の劣化等の影響
を受け易く、耐環境特性が悪いと言った問題点があっ
た。
【０００６】このため、樹脂層２の表面に光学的に透明
な物質である水晶結晶やガラス板等を接着して樹脂層２
の表面を保護する構造が用いられている。
な物質である水晶結晶やガラス板等を接着して樹脂層２
の表面を保護する構造が用いられている。
【０００７】図４はこのような樹脂層２を保護した回折
格子の一例を示す断面図である。図４において１，２及
び５０は図３と同一符号を付してあり、３は接着剤、４
はガラス板、１００は入射光、１０１は１次回折光であ
る。
格子の一例を示す断面図である。図４において１，２及
び５０は図３と同一符号を付してあり、３は接着剤、４
はガラス板、１００は入射光、１０１は１次回折光であ
る。
【０００８】ガラス母材１上には樹脂層２が形成され、
さらに樹脂層２には図４中”イ”に示すような溝が互い
に平行に複数本形成される。また、樹脂層２の表面側に
はガラス板４が接着剤３を介して回折格子５０と平行に
接着される。
さらに樹脂層２には図４中”イ”に示すような溝が互い
に平行に複数本形成される。また、樹脂層２の表面側に
はガラス板４が接着剤３を介して回折格子５０と平行に
接着される。
【０００９】ここで、図４に示す回折格子の動作を説明
する。図４中”イ”に示す溝の密度を”５００本／ｍｍ
（ピッチｄ＝２μｍ）”、入射光の波長を”λ＝１５０
０ｎｍ”、接着剤３及びガラス板４の屈折率を”１．
５”とし、図４中”ロ”に示す入射角を”ａ”、図４
中”ハ”に示す出射角を”ｂ”、接着剤３及びガラス板
４中を伝播する光の角度を”ｂ’”及び”ａ’”とす
る。
する。図４中”イ”に示す溝の密度を”５００本／ｍｍ
（ピッチｄ＝２μｍ）”、入射光の波長を”λ＝１５０
０ｎｍ”、接着剤３及びガラス板４の屈折率を”１．
５”とし、図４中”ロ”に示す入射角を”ａ”、図４
中”ハ”に示す出射角を”ｂ”、接着剤３及びガラス板
４中を伝播する光の角度を”ｂ’”及び”ａ’”とす
る。
【００１０】この時、スネルの式から、
ｎ×｛ｓｉｎ（ａ’）｝＝ｓｉｎ（ａ） （１）
が成り立つので、
１．５×｛ｓｉｎ（ａ’）｝＝ｓｉｎ（１０°）
ｂ’＝ｓｉｎ-1｛ｓｉｎ（１０°）／１．５｝
＝６．６４８° （２）
となる。
【００１１】また、回折の式により、
λ＝｛ｓｉｎ（ｂ’）−ｓｉｎ（ａ’）｝×ｎ・ｄ （３）
が成り立つので、
ｓｉｎ（ｂ’）＝０．５＋ｓｉｎ（６．６４８°）
ｂ’＝ｓｉｎ-1｛０．５＋ｓｉｎ（６．６４８°）｝
＝３８．００７８° （４）
となる。
【００１２】さらに、スネルの式から
ｎ×｛ｓｉｎ（ｂ’）｝＝ｓｉｎ（ｂ） （５）
が成り立つので、
１．５×｛ｓｉｎ（３８．００７８°）｝＝ｓｉｎ（ｂ）
ｂ＝ｓｉｎ-1｛１．５×ｓｉｎ（３８．００７８°）｝
＝６７．４６７° （６）
となる。
【００１３】この結果、ガラス母材１上に複数本の溝が
形成された樹脂層２を形成し、樹脂層２の表面側にガラ
ス板４を接着する構造にすることにより、回折格子の耐
環境特性を向上させることが可能になる。
形成された樹脂層２を形成し、樹脂層２の表面側にガラ
ス板４を接着する構造にすることにより、回折格子の耐
環境特性を向上させることが可能になる。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、樹脂層２を保
護するガラス板４は完全な平行状態ではなく、取付精度
上若干の傾きが生じており、ガラス板４の”ヘ”の面の
反射に起因する迷光が生じてしまうと言った問題点があ
る。
護するガラス板４は完全な平行状態ではなく、取付精度
上若干の傾きが生じており、ガラス板４の”ヘ”の面の
反射に起因する迷光が生じてしまうと言った問題点があ
る。
【００１５】図５はこのような迷光の発生を説明する説
明図であり、１〜４，５０，１００及び１０１は図４と
同一符号を付してある。また、１０２及び１０３は迷光
である。
明図であり、１〜４，５０，１００及び１０１は図４と
同一符号を付してある。また、１０２及び１０３は迷光
である。
【００１６】例えば、樹脂層２での０次回折光（反射
光）は図５中”イ”に示す点で樹脂層２側に反射され、
樹脂層２で回折して迷光１０２として出射される。
光）は図５中”イ”に示す点で樹脂層２側に反射され、
樹脂層２で回折して迷光１０２として出射される。
【００１７】また、例えば、図５中”ロ”に示す１次回
折光が図５中”ハ”に示す点で樹脂層２側に反射され、
樹脂層２で反射して迷光１０３として出射される。
折光が図５中”ハ”に示す点で樹脂層２側に反射され、
樹脂層２で反射して迷光１０３として出射される。
【００１８】この状態で、ガラス板４が回折格子５０に
対して取付精度上”０．０１°”傾いて取り付けられて
しまった場合、樹脂層２での０次回折光（反射光）は図
５中”ニ”に示すガラス板４の表面で反射されるので、
再び樹脂層２に入射される角度は式（２）に示す角度
に”０．０１°×２”加算されて”６．６６８°”にな
る。
対して取付精度上”０．０１°”傾いて取り付けられて
しまった場合、樹脂層２での０次回折光（反射光）は図
５中”ニ”に示すガラス板４の表面で反射されるので、
再び樹脂層２に入射される角度は式（２）に示す角度
に”０．０１°×２”加算されて”６．６６８°”にな
る。
【００１９】この光が樹脂層２で回折するので回折角
を”ｃ’”とすれば、回折の式により、 ｓｉｎ（ｃ’）＝０．５＋ｓｉｎ（６．６６８°） ｃ’＝ｓｉｎ-1｛０．５＋ｓｉｎ（６．６６８°）｝ ＝３８．０３３° （７） となる。
を”ｃ’”とすれば、回折の式により、 ｓｉｎ（ｃ’）＝０．５＋ｓｉｎ（６．６６８°） ｃ’＝ｓｉｎ-1｛０．５＋ｓｉｎ（６．６６８°）｝ ＝３８．０３３° （７） となる。
【００２０】さらに、迷光１０２の出射角を”ｃ”とす
れば、スネルの式から １．５×｛ｓｉｎ（３８．０３３°）｝＝ｓｉｎ（ｃ） ｃ＝ｓｉｎ-1｛１．５×ｓｉｎ（３８．０３３°）｝ ＝６７．５４３° （８） となる。
れば、スネルの式から １．５×｛ｓｉｎ（３８．０３３°）｝＝ｓｉｎ（ｃ） ｃ＝ｓｉｎ-1｛１．５×ｓｉｎ（３８．０３３°）｝ ＝６７．５４３° （８） となる。
【００２１】従って、式（６）と式（８）の差は
６７．５４３−６７．４６７＝０．０７６
≒０．０８ （９）
なる。
【００２２】同様に、図５中”ロ”に示す１次回折光が
図５中”ハ”に示す点で樹脂層２側に反射される角度は
式（４）に示す角度には”０．０１°×２”加算され
て”３８．０２７８°”になる。
図５中”ハ”に示す点で樹脂層２側に反射される角度は
式（４）に示す角度には”０．０１°×２”加算され
て”３８．０２７８°”になる。
【００２３】この光は樹脂層２で反射されるので図５
中”ホ”に示すガラス板４の表面への入射角度は”３
８．０２７８°”のままである。
中”ホ”に示すガラス板４の表面への入射角度は”３
８．０２７８°”のままである。
【００２４】また、迷光１０３の出射角を”ｄ”とすれ
ば、スネルの式から １．５×｛ｓｉｎ（３８．０２７８°）｝＝ｓｉｎ（ｄ） ｄ＝ｓｉｎ-1｛１．５×ｓｉｎ（３８．０２７８°）｝ ＝６７．５２８° （１０） となる。
ば、スネルの式から １．５×｛ｓｉｎ（３８．０２７８°）｝＝ｓｉｎ（ｄ） ｄ＝ｓｉｎ-1｛１．５×ｓｉｎ（３８．０２７８°）｝ ＝６７．５２８° （１０） となる。
【００２５】従って、式（６）と式（１０）の差は
６７．５２８−６７．４６７＝０．０６１
≒０．０６ （１１）
なる。
【００２６】即ち、１次回折光１０１に対して迷光１０
２には”約０．０８°”の角度差が、迷光１０３には”
約０．０６°”の角度差がそれぞれ生じる。
２には”約０．０８°”の角度差が、迷光１０３には”
約０．０６°”の角度差がそれぞれ生じる。
【００２７】そして、この迷光１０２及び１０３は回折
格子５０の回折方向に出射されるため、光検出器側（図
示せず。）ではあたかも別波長の光が存在するものと誤
認してしまうと言った問題点が生じる。
格子５０の回折方向に出射されるため、光検出器側（図
示せず。）ではあたかも別波長の光が存在するものと誤
認してしまうと言った問題点が生じる。
【００２８】これら迷光１０２及び１０３はガラス板４
の表面に反射防止膜を形成することにより防止すること
が可能であるが、回折格子５０に入射される光の波長が
広範囲の場合には全ての波長領域で反射を防止すること
は困難である。
の表面に反射防止膜を形成することにより防止すること
が可能であるが、回折格子５０に入射される光の波長が
広範囲の場合には全ての波長領域で反射を防止すること
は困難である。
【００２９】また、入射波長範囲を限定した場合であっ
ても入射光の入射角と回折光の出射角はそれぞれ異なる
ので、入射光及び回折光の双方の反射を防止する反射防
止膜を形成することは困難である。
ても入射光の入射角と回折光の出射角はそれぞれ異なる
ので、入射光及び回折光の双方の反射を防止する反射防
止膜を形成することは困難である。
【００３０】勿論、平行且つ十分に平面であるガラス板
４を回折格子５０に対して平行に取り付けた場合は、ガ
ラス板４の表面での反射があっても上述の問題は生じな
いが、実用上困難であり、もし、可能であったとしても
非常にコストが高くなってしまう。従って本発明が解決
しようとする課題は、ガラス板の反射により生じる迷光
の影響を除去することが可能な回折格子を実現すること
にある。
４を回折格子５０に対して平行に取り付けた場合は、ガ
ラス板４の表面での反射があっても上述の問題は生じな
いが、実用上困難であり、もし、可能であったとしても
非常にコストが高くなってしまう。従って本発明が解決
しようとする課題は、ガラス板の反射により生じる迷光
の影響を除去することが可能な回折格子を実現すること
にある。
【００３１】
【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために、本発明の第１では、ガラス母材上の樹脂層に
溝を形成して溝に入射された光の波長により生じる異な
る角度の回折によって入射光の分光を行う回折格子にお
いて、ガラス母材と、このガラス母材上に形成され互い
に平行な複数本の溝が形成された樹脂層と、この樹脂層
の表面側であって前記溝に沿う方向に関して一定角度傾
けて接着されたガラス板とを備えたことを特徴とするも
のである。
るために、本発明の第１では、ガラス母材上の樹脂層に
溝を形成して溝に入射された光の波長により生じる異な
る角度の回折によって入射光の分光を行う回折格子にお
いて、ガラス母材と、このガラス母材上に形成され互い
に平行な複数本の溝が形成された樹脂層と、この樹脂層
の表面側であって前記溝に沿う方向に関して一定角度傾
けて接着されたガラス板とを備えたことを特徴とするも
のである。
【００３２】このような課題を達成するために、本発明
の第２では、ガラス母材上の樹脂層に溝を形成して溝に
入射された光の波長により生じる異なる角度の回折によ
って入射光の分光を行う回折格子において、ガラス母材
と、このガラス母材上に形成され互いに平行な複数本の
溝が形成された樹脂層と、この樹脂層の表面側であって
前記溝に沿う方向に関し一定角度傾くように接着された
ウェッジ板とを備えたことを特徴とするものである。
の第２では、ガラス母材上の樹脂層に溝を形成して溝に
入射された光の波長により生じる異なる角度の回折によ
って入射光の分光を行う回折格子において、ガラス母材
と、このガラス母材上に形成され互いに平行な複数本の
溝が形成された樹脂層と、この樹脂層の表面側であって
前記溝に沿う方向に関し一定角度傾くように接着された
ウェッジ板とを備えたことを特徴とするものである。
【００３３】このような課題を達成するために、本発明
の第３では、本発明の第１若しくは第２の回折格子を光
スペクトラムアナライザに用いたことを特徴とするもの
である。
の第３では、本発明の第１若しくは第２の回折格子を光
スペクトラムアナライザに用いたことを特徴とするもの
である。
【００３４】このような課題を達成するために、本発明
の第４では、本発明の第１若しくは第２の回折格子を分
光器に用いたことを特徴とするものである。
の第４では、本発明の第１若しくは第２の回折格子を分
光器に用いたことを特徴とするものである。
【００３５】このような課題を達成するために、本発明
の第５では、本発明の第１若しくは第２の回折格子を可
変波長光源に用いたことを特徴とするものである。
の第５では、本発明の第１若しくは第２の回折格子を可
変波長光源に用いたことを特徴とするものである。
【００３６】
【発明の実施の形態】以下本発明を図面を用いて詳細に
説明する。図１は本発明に係る回折格子の一実施例を示
す構成図である。ここで、１，２及び４は図４と同一符
号を付してあり、３ａは接着剤、１００ａは入射光、１
０１ａは１次回折光、１０３ａは迷光である。また、図
１（Ａ）は平面図であり、図１（Ｂ）は側面図である。
説明する。図１は本発明に係る回折格子の一実施例を示
す構成図である。ここで、１，２及び４は図４と同一符
号を付してあり、３ａは接着剤、１００ａは入射光、１
０１ａは１次回折光、１０３ａは迷光である。また、図
１（Ａ）は平面図であり、図１（Ｂ）は側面図である。
【００３７】ガラス母材１上には樹脂層２が形成され、
さらに樹脂層２には図１中”イ”に示すような溝が互い
に平行に複数本形成される。また、樹脂層２の表面側に
はガラス板４が接着剤３ａを介して接着される。
さらに樹脂層２には図１中”イ”に示すような溝が互い
に平行に複数本形成される。また、樹脂層２の表面側に
はガラス板４が接着剤３ａを介して接着される。
【００３８】また、ガラス板４は図１中”イ”に示す溝
に直交する方向（以下、説明の簡単のために”回折方
向”と呼ぶ。）に関して樹脂層２との取付精度上平行を
保ち、溝に沿う方向（以下、説明の簡単のために”回折
方向に垂直な方向”と呼ぶ。）に関しては図１中”ロ”
に示すように一定角度”θ”だけ僅かに傾けて接着され
ている。
に直交する方向（以下、説明の簡単のために”回折方
向”と呼ぶ。）に関して樹脂層２との取付精度上平行を
保ち、溝に沿う方向（以下、説明の簡単のために”回折
方向に垂直な方向”と呼ぶ。）に関しては図１中”ロ”
に示すように一定角度”θ”だけ僅かに傾けて接着され
ている。
【００３９】ここで、図１に示す実施例の動作を説明す
る。但し、図１（Ａ）に示す平面図、即ち、回折方向に
おける入射光１００ａ、１次回折光１０１ａ及び迷光１
０３ａの関係は図５における１００，１０１及び１０３
の関係と同様であるので説明は省略する。
る。但し、図１（Ａ）に示す平面図、即ち、回折方向に
おける入射光１００ａ、１次回折光１０１ａ及び迷光１
０３ａの関係は図５における１００，１０１及び１０３
の関係と同様であるので説明は省略する。
【００４０】図１（Ｂ）に示す側面図において入射光１
００ａはガラス板４及び接着剤３ａを透過して樹脂層２
に到達し、樹脂層２での回折光は再び、接着剤３ａ及び
ガラス板４を透過して１次回折光１０１ａとして出射さ
れる。
００ａはガラス板４及び接着剤３ａを透過して樹脂層２
に到達し、樹脂層２での回折光は再び、接着剤３ａ及び
ガラス板４を透過して１次回折光１０１ａとして出射さ
れる。
【００４１】一方、前記回折光のうち図１中”ハ”の点
でガラス板４により反射された光は更に樹脂層２で反射
され迷光１０３ａとして出射される。
でガラス板４により反射された光は更に樹脂層２で反射
され迷光１０３ａとして出射される。
【００４２】このため、１次回折光１０１ａと迷光１０
３ａとの間には回折方向に垂直な方向に対して図１中”
ニ”に示すような角度差が生じる。
３ａとの間には回折方向に垂直な方向に対して図１中”
ニ”に示すような角度差が生じる。
【００４３】例えば、回折方向に垂直な方向に対する傾
きを”θ＝０．１°”とすると、回折光はウェッジ板５
の表面で反射されるので、再び樹脂層２に入射される角
度には”０．１°×２＝０．２°”が加算される。
きを”θ＝０．１°”とすると、回折光はウェッジ板５
の表面で反射されるので、再び樹脂層２に入射される角
度には”０．１°×２＝０．２°”が加算される。
【００４４】すなわち、迷光１０３ａは回折方向に垂直
な方向に関しては１次回折光１０１ａに対して”約０．
２°”角度差を持って出射されることになる。
な方向に関しては１次回折光１０１ａに対して”約０．
２°”角度差を持って出射されることになる。
【００４５】また、回折方向に関して迷光１０３ａは１
次回折光１０１ａに対して前述のようにガラス板４の傾
き”０．００１°”毎に”約０．０６°”の角度差を持
って出射される。
次回折光１０１ａに対して前述のようにガラス板４の傾
き”０．００１°”毎に”約０．０６°”の角度差を持
って出射される。
【００４６】従って、迷光１０３ａは１次回折光１０１
ａに対して回折格子５０の回折方向のみならず、回折方
向に垂直な方向に関しても一定の角度差を持って出射さ
れることになる。また、図５に示した迷光１０２に関し
ても同様の角度差が生じる。
ａに対して回折格子５０の回折方向のみならず、回折方
向に垂直な方向に関しても一定の角度差を持って出射さ
れることになる。また、図５に示した迷光１０２に関し
ても同様の角度差が生じる。
【００４７】この状態で光検出器（図示せず。）の設置
位置を回折方向に垂直な方向の適切な位置に設置するこ
とにより、迷光１０３ａ等が光検出器に入射されること
を防ぐことができる。
位置を回折方向に垂直な方向の適切な位置に設置するこ
とにより、迷光１０３ａ等が光検出器に入射されること
を防ぐことができる。
【００４８】この結果、ガラス板４を回折方向に垂直な
方向に対して一定角度傾けて接着することにより、迷光
１０３ａ等の光検出器への入射を防止できるのでガラス
板４の反射により生じる迷光の影響が除去できる。
方向に対して一定角度傾けて接着することにより、迷光
１０３ａ等の光検出器への入射を防止できるのでガラス
板４の反射により生じる迷光の影響が除去できる。
【００４９】また、図１に示す実施例では接着剤３ａに
よりガラス板４を回折方向に垂直な方向に一定角度”
θ”だけ僅かに傾けて接着したが、ガラス板の表面が互
いに平行平面ではなく一定角度（ウェッジ度）傾いたウ
ェッジ板を用いても構わない。
よりガラス板４を回折方向に垂直な方向に一定角度”
θ”だけ僅かに傾けて接着したが、ガラス板の表面が互
いに平行平面ではなく一定角度（ウェッジ度）傾いたウ
ェッジ板を用いても構わない。
【００５０】図２はウェッジ板を用いた回折格子の実施
例を示す構成図である。図２において１及び２は図１と
同一符号を付してあり、３ｂは接着剤、５はウェッジ
板、１００ｂは入射光、１０１ｂは１次回折光、１０３
ｂは迷光である。また、平面図に関しては図１（Ａ）に
示す平面図と同様であるので記載は省略する。
例を示す構成図である。図２において１及び２は図１と
同一符号を付してあり、３ｂは接着剤、５はウェッジ
板、１００ｂは入射光、１０１ｂは１次回折光、１０３
ｂは迷光である。また、平面図に関しては図１（Ａ）に
示す平面図と同様であるので記載は省略する。
【００５１】ガラス母材１上には樹脂層２が形成され、
さらに樹脂層２には溝が互いに平行に複数本形成され
る。また、樹脂層２の表面側にはウェッジ板５が接着剤
３ｂを介して接着される。
さらに樹脂層２には溝が互いに平行に複数本形成され
る。また、樹脂層２の表面側にはウェッジ板５が接着剤
３ｂを介して接着される。
【００５２】但し、ウェッジ板５の一方の面を回折方向
のみならず回折方向に垂直な方向に対しても取付精度上
平行に接着し、尚且つ、ウェッジ板５の他方の面が回折
方向に垂直な方向に一定角度傾くように接着する。
のみならず回折方向に垂直な方向に対しても取付精度上
平行に接着し、尚且つ、ウェッジ板５の他方の面が回折
方向に垂直な方向に一定角度傾くように接着する。
【００５３】ここで、図２に示す実施例の動作を説明す
る。ウェッジ板５の他方の面は図２中”イ”に示すよう
に一定角度”Θ”だけ僅かに傾くことになる。
る。ウェッジ板５の他方の面は図２中”イ”に示すよう
に一定角度”Θ”だけ僅かに傾くことになる。
【００５４】従って、図１に示す実施例と同様にウェッ
ジ板５の表面の反射による生じる迷光１０３ｂ等は１次
回折光１０１ｂに対して回折格子５０の回折方向のみな
らず、回折方向に垂直な方向に関しても一定の角度差を
持って出射されることになる。
ジ板５の表面の反射による生じる迷光１０３ｂ等は１次
回折光１０１ｂに対して回折格子５０の回折方向のみな
らず、回折方向に垂直な方向に関しても一定の角度差を
持って出射されることになる。
【００５５】この結果、ウェッジ板５の表面を回折方向
に垂直な方向に対して一定角度傾けることにより、迷光
１０３ｂ等の光検出器への入射を防止できるのでウェッ
ジ板５の反射により生じる迷光の影響が除去できる。
に垂直な方向に対して一定角度傾けることにより、迷光
１０３ｂ等の光検出器への入射を防止できるのでウェッ
ジ板５の反射により生じる迷光の影響が除去できる。
【００５６】なお、上述の回折格子は光スペクトラムア
ナライザにのみならず、分光器、波長多重通信のマルチ
プレクサ、波長多重通信のデマルチプレクサ、可変波長
光源等に用いることが可能である。
ナライザにのみならず、分光器、波長多重通信のマルチ
プレクサ、波長多重通信のデマルチプレクサ、可変波長
光源等に用いることが可能である。
【００５７】また、樹脂槽２の保護の他にガラスに直接
溝を形成した回折格子のアルミニウム等による表面コー
トの保護にも用いることが可能である。
溝を形成した回折格子のアルミニウム等による表面コー
トの保護にも用いることが可能である。
【００５８】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば次のような効果がある。ガラス板を回折
方向に垂直な方向に対して一定角度傾けて接着すること
により、迷光の光検出器への入射を防止できるのでガラ
ス板の反射により生じる迷光の影響を除去することが可
能な回折格子が実現できる。
本発明によれば次のような効果がある。ガラス板を回折
方向に垂直な方向に対して一定角度傾けて接着すること
により、迷光の光検出器への入射を防止できるのでガラ
ス板の反射により生じる迷光の影響を除去することが可
能な回折格子が実現できる。
【００５９】ウェッジ板の表面を回折方向に垂直な方向
に対して一定角度傾けることにより、迷光の光検出器へ
の入射を防止できるのでウェッジ板の反射により生じる
迷光の影響を除去することが可能な回折格子が実現でき
る。
に対して一定角度傾けることにより、迷光の光検出器へ
の入射を防止できるのでウェッジ板の反射により生じる
迷光の影響を除去することが可能な回折格子が実現でき
る。
【図１】本発明に係る回折格子の一実施例を示す構成図
である。
である。
【図２】ウェッジ板を用いた回折格子の実施例を示す構
成図である。
成図である。
【図３】従来の回折格子の一例を示す断面図である。
【図４】樹脂層を保護した回折格子の一例を示す断面図
である。
である。
【図５】迷光の発生を説明する説明図である。
１ ガラス母材
２ 樹脂層
３，３ａ，３ｂ 接着剤
４ ガラス板
５ ウェッジ板
５０ 回折格子
１００，１００ａ，１００ｂ 入射光
１０１，１０１ａ，１０１ｂ １次回折光
１０２，１０３，１０３ａ，１０３ｂ 迷光
フロントページの続き
(72)発明者 皆川 恭之
東京都武蔵野市中町２丁目９番32号 横
河電機株式会社内
(56)参考文献 特開 平６−317705（ＪＰ，Ａ)
特開 昭62−61002（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−159609（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−9803（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G02B 5/18
Claims (5)
- 【請求項１】ガラス母材上の樹脂層に溝を形成して溝に
入射された光の波長により生じる異なる角度の回折によ
って入射光の分光を行う回折格子において、 ガラス母材と、 このガラス母材上に形成され互いに平行な複数本の溝が
形成された樹脂層と、 この樹脂層の表面側であって前記溝に沿う方向に関して
一定角度傾けて接着されたガラス板とを備えたことを特
徴とする回折格子。 - 【請求項２】ガラス母材上の樹脂層に溝を形成して溝に
入射された光の波長により生じる異なる角度の回折によ
って入射光の分光を行う回折格子において、 ガラス母材と、 このガラス母材上に形成され互いに平行な複数本の溝が
形成された樹脂層と、 この樹脂層の表面側であって前記溝に沿う方向に関し一
定角度傾くように接着されたウェッジ板とを備えたこと
を特徴とする回折格子。 - 【請求項３】特許請求の範囲請求項１若しくは範囲請求
項２記載の回折格子を用いたことを特徴とする光スペク
トラムアナライザ。 - 【請求項４】特許請求の範囲請求項１若しくは範囲請求
項２記載の回折格子を用いたことを特徴とする分光器。 - 【請求項５】特許請求の範囲請求項１若しくは範囲請求
項２記載の回折格子を用いたことを特徴とする可変波長
光源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11915097A JP3381826B2 (ja) | 1997-05-09 | 1997-05-09 | 回折格子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11915097A JP3381826B2 (ja) | 1997-05-09 | 1997-05-09 | 回折格子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10307203A JPH10307203A (ja) | 1998-11-17 |
| JP3381826B2 true JP3381826B2 (ja) | 2003-03-04 |
Family
ID=14754164
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11915097A Expired - Fee Related JP3381826B2 (ja) | 1997-05-09 | 1997-05-09 | 回折格子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3381826B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102114161B1 (ko) * | 2019-01-23 | 2020-05-22 | 한국과학기술연구원 | 집적화된 분광기 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7180590B2 (en) * | 2003-07-09 | 2007-02-20 | Ibsen Photonics A/S | Transmission spectrometer with improved spectral and temperature characteristics |
| JP2011128259A (ja) * | 2009-12-16 | 2011-06-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 回折光学素子 |
-
1997
- 1997-05-09 JP JP11915097A patent/JP3381826B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102114161B1 (ko) * | 2019-01-23 | 2020-05-22 | 한국과학기술연구원 | 집적화된 분광기 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10307203A (ja) | 1998-11-17 |
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