JP3370671B2 - 空間光変調器システム - Google Patents

空間光変調器システム

Info

Publication number
JP3370671B2
JP3370671B2 JP51725293A JP51725293A JP3370671B2 JP 3370671 B2 JP3370671 B2 JP 3370671B2 JP 51725293 A JP51725293 A JP 51725293A JP 51725293 A JP51725293 A JP 51725293A JP 3370671 B2 JP3370671 B2 JP 3370671B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
spatial light
mirror
array
tiltable
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP51725293A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH08500470A (ja
Inventor
キャバナー，マーティン
フィールディング，レイモンド・ゴードン
Original Assignee
デジタル・プロジェクション・リミテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by デジタル・プロジェクション・リミテッド filed Critical デジタル・プロジェクション・リミテッド
Publication of JPH08500470A publication Critical patent/JPH08500470A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3370671B2 publication Critical patent/JP3370671B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N9/00—Details of colour television systems
    • H04N9/12—Picture reproducers
    • H04N9/31—Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM]
    • H04N9/3102—Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM] using two-dimensional electronic spatial light modulators
    • H04N9/3105—Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM] using two-dimensional electronic spatial light modulators for displaying all colours simultaneously, e.g. by using two or more electronic spatial light modulators
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/0025—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09F—DISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F9/00—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
    • G09F9/30—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements
    • G09F9/37—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements being movable elements
    • G09F9/372—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements being movable elements the positions of the elements being controlled by the application of an electric field

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Optical Communication System (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Projection Apparatus (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、空間光変調器システムに関する。本発明
は、これに限定されるわけではないが、投影システムに
おいて使用する空間光変調器システムに関連しており、
このような投影システムにおいては光源からの光を空間
光変調器装置によって変調し、この変調された光を表示
領域に投影することで投影像を形成し、この領域では色
成分が違うビームが、各々異なる映像信号に従い駆動さ
れる異なる空間光変調器装置により変調され、このよう
に変調されたビームが混合されて１つのカラー像が投影
される。
空間光変調器は光学部品であって、入射光ビームを変
調するよう制御することができる。このような空間光変
調器の比較的古い例がアイドホールであり、油の層を陰
極線で走査する。空間光変調器のより最近の例がアクテ
ィブマトリックス装置であり、個々に方向付けができる
画素ライトバルブまたは変調器のマトリックスを備え、
たとえばEP0401912に記載されるような液晶変調器もこ
のタイプの変調器アレイの１つである。EP0401912で
は、液晶マトリックスを光路に設けて、可変な態様で入
射光ビームを透過するのでこの入射光ビームを振幅変調
することになる（その経路または光軸を変えずに）。ア
クティブマトリックス装置のもう１つの例は、たとえば
US4856863、US4615595、およびUS4596992に記載される
いわゆる「変形可能ミラー装置」等の傾斜可能なミラー
アレイである。
この変形可能なミラー装置は、各々が電極を保持して
２つの位置の間で静電偏向が可能になっている小型ミラ
ー付カンチレバービーム素子のアレイを備える。偏向の
程度は、付与する静電電位によって制御することがで
き、反射の程度を変えることが可能で、またはこの装置
を予め定められた静電電位を付与してディスクリートな
偏向状態間で切換を行なう等の２進態様で操作すること
もできる。したがって、各素子は入射光ビームを角度を
付けて偏向するので、この光ビームの光軸を変更するこ
とになる。
各々個々に方向付けを行なうことができる、こういっ
た素子のアレイを使用することによって、このアレイを
入射光ビームに当て、画像信号から個々のミラー装置を
制御して入射ビームを変調し、かつ反射したビームを特
定の方向に揃えることによって二次元画像を再生するこ
とができる。このような変形可能ミラー装置は小型でか
つ切換時間が高速なため、映像データ速度で使用するこ
とが可能であり、揃えられたビームを投影するディスプ
レイスクリーン上にテレビまたはビデオの動く画像を表
示することが可能になる。
入射ビームは電子ビームの場合と違い走査されるわけ
ではなく、装置全体を照らす。したがってカラー画像を
表示するためには、各々が異なる原色または原色の組合
せに対して反応する、ミラー付カンチレバービーム素子
の３つの別個に照らされるアレイを設け、かつ各アレイ
から反射された変調ビームを光学的に合成して１つの光
学像にする必要がある。
このようなシステムの使用の例は、大規模な表示にお
ける場合で、たとえば私たちの先の国際出願である、WO
91/15843、WO91/15923、PCT/GB92/00002、PCT/GB92/001
32、およびPCT/GB93/00456に開示されるものがある（こ
れらのすべてについてここに引用により援用する）。
PCT/GB93/00456に記載の実施例には、色依存スプリッ
タおよびコイバンイナ面があって、これによって入来の
白色光ビームがビーム成分の第１の対に分けられ、この
対の一方がさらにビーム成分の第２の対に分けられてい
る。たとえば、第１の２色面から第１の傾斜可能なミラ
ーアレイに対し青色ビームを反射し、かつ透過したビー
ムがその後第２の２色面によって分けられて反射赤色ビ
ームと透過された緑色ビームとになる。赤、青および緑
のビームの各々がその後それぞれの傾斜可能ミラーアレ
イに送られて、それぞれのビームは変調され、かつ変調
されたビームが２色面によって同じやり方で再合成され
る（ただし原則的には異なる２色面を用いてこれらを合
成することも可能である）。
傾斜可能ミラーアレイにあたる色付ビームは対称なの
で、これらビームが経てきた反射数は無関係である。と
ころが、アレイによって変調されたビームは、「左右の
別」が決まっており、ビームが反射するたびにこの「左
右」が逆転することになる。３つの変調されたビームを
合成して１つのカラー画像にする場合、各々の左右を同
じにする必要がある。ところが、同じ面を上記のような
ビームの分離および合成の双方に使用した場合には、緑
色ビームを変調する変調器に関しては鏡で反転した画像
を生成するようにする必要があり、というのもの緑色ビ
ームが反射なしで双方の２色面を透過するようになって
いるのに対し、赤色および青色ビームは各々１回反射さ
れるからである。
本発明は、ビームの経路の少なくとも１つに反射素子
を１つ余分に設けて、確実に３つのビームすべての左右
を同じにするものである。
好ましくは、簡単に言えば、１つのレフレクタを緑色
映像信号で変調された傾斜可能ミラーアレイからの緑色
ビーム経路に設ける（緑色は両方の２色相を透過した色
である）。ただし、必要に応じて赤色および青色のビー
ム経路でも余分に反射を行なうことも同様に可能である
と考えられる。
PCT/GB93/00456には、２色面がプリズム内の内部表面
として設けられるシステムが記載されている。ただし、
２色面をガラスプレート上に設ける方が好ましい場合も
ある。このような場合には、側面が平行なガラスプレー
トの正面上に２色面を設ければよい。こうすれば、２色
面によって反射されたビームの成分がこのガラスプレー
トを通過せず、また２色面により透過されたビームの成
分がこのガラスプレートを通過することになる。ビーム
が非平行である場合、傾斜した平行な側面を有するガラ
スプレートをビーム経路に置けば、ビーム内に非点収差
ディストーションが生じるが、これはビームのある部分
が他の部分に比べてより小さな直径でプレートに衝突す
るからである。したがって、２色面の各々について、透
過されたビームには非点収差によりディストーションが
生じる一方、反射されたビームにはディストーションが
生じない。したがって、この３つの傾斜可能ミラーアレ
イ装置からの変調ビームを再合成する際には、これら３
つの変調ビームは程度は違うが非点収差の影響を受ける
ことになるので、ディストーションが生じ、相互の整合
が落ちる。
したがって、もう１つの局面においては、本発明は空
間光変調器システムを提供し、このシステムは複数の空
間光変調器と、この空間光変調器を照らすための手段
と、変調された光を合成して合成多重波長ビームにする
ための手段とを備え、また合成を行なうための手段は、
ビーム経路に対し傾斜して置かれ、ここを通る非平行ビ
ームのディストーションを生じさせる、波長依存反射面
を含み、かつこのシステムはさらにこのディストーショ
ンを修正するための手段を備える。
好ましくは、ディストーションを修正するための手段
は、前記波長依存面を保持するプレートと等しい寸法
で、システムの光路に置かれかつ非点収差を逆転させる
ように並べられた実質的なプレートを備える。
本発明に従う空間光変調器システムを表示システム内
に使用してもよい。この空間光変調器は傾斜可能ミラー
装置アレイを備え得る。このような光学的配置について
は私たちの同時係属出願であるPCT/GB92/00132号に記載
されるようなものでもよい。
本発明の他の局面および好ましい実施例については以
下の説明または特許請求の範囲に示すとおりである。
本発明の実施例についてここで例を挙げて以下の添付
の図面を参照しながら説明することにする。
図１は、公知の空間光変調器アレイ装置の構成を模式
的に示す図であり、 図２は、図１の装置の一部を光学的に照らす様子を模
式的に示す図であり、 図３は、図１および図２のアレイを組込む公知のカラ
ー光学投影ディスプレイシステムの斜視図であり、 図4Aは、図１に示す空間光変調器アレイの実施例を模
式的に示す図であり、 図4Bは、図4Aのミラー像を模式的に示す図であり、 図５は、本発明の第１の実施例の光学的配置を模式的
に示す図であり、 図６は、本発明の第２の実施例の光学的配置を模式的
に示す図である。
図１を参照して、本発明において使用する傾斜可能ミ
ラー装置アレイは、典型的にはｍ×ｎの偏向可能ミラー
装置のアレイを備え、これは低解像度の表示については
500×500程度の装置であり、また高解像度の表示につい
ては2000×2000程度の装置である。アレイ20は、方向付
け回路22に接続され、方向付け回路は回路14からの色信
号を受けかつそれぞれのレフレクタM11−Mmnの各々を方
向付けするが、これについては1992年１月４日付出願の
私たちの先の国際出願であるPCT/GB92/00002号に記載す
るとおりである（事務所事件番号3203299、ここに引用
により援用する）。各レフレクタはこうして異なるレフ
レクタの位置に対応する２つの反射状態のうちの一方で
走査され、すなわち「オン」状態では反射光が第１の経
路24aに向けられ、かつ「オフ」の状態では、光は第２
の経路24bに向けられる。第２の経路24bはシステムの後
に続く光学系の構成要素からは離れて置かれ、光は経路
24bに沿って通過しビームダンプ（図示せず）に至る。
こうして、「オン」の経路24aに沿ってみると、一瞬の
うちに、アレイ20が二次元画像を表示し、第１の偏向状
態に設定された変調器が明るく見えかつ第２の偏向状態
に設定された変調器が暗く見える。
図２を参照して、各レフレクタを２つの状態の間で偏
向させる角度は比較的小さく、したがってこの２つの状
態間で良好に区別を付けるためには、光源16からの入射
光ビームを約20度の角度α（表示に対する法線から）で
アレイ20に向ける。個々のレフレクタ装置Ｍがアレイ20
の面に対して平行にある場合には、入射ビームは経路24
bに沿った法線に対し20度の対応する角度で反射される
が、方向付け回路22からの制御信号が偏向器Ｍをアレイ
20の面に対してある角度を付けて第２の偏向状態に設定
する場合には、入射ビームは経路24a上でアレイに対し
直角の角度で反射される。
図３を参照して、白色光源16はハイパワーランプを含
み、たとえば表示スクリーン40の面に対し直角をなす面
にある入射光経路に沿って光を発する。たとえば、光源
16を表示スクリーン40の上方に置いてもよい。平らな傾
斜可能ミラー表示装置20bをスクリーン40から間隔をあ
けかつスクリーン40に平行な面に置き、かつ光源16がア
レイ20bの法線軸に対し20度の角度でアレイ20bを照らす
ようにする。アレイ20bで入射ビームを偏向して投影レ
ンズ10を介してスクリーン40を照らすようにする。
入射および偏向ビームの光路内には、ガラスプレート
対30a、30bを置き、その各々がそれぞれの層18b、18aを
保持しており、これらの層が２色ミラーとして働いて、
つまりはこれらの層18b、18a上に入射する光の方向に依
存するビームスプリッタまたはビームコンバイナとして
働く。プレート30a、30bは両方とも光軸に対して傾斜さ
せ、スクリーン40の面に対し垂直な軸を中心にある角度
を回転させてあり（典型的には20度から70度の間であり
かつ好ましくは45度）、これによってたとえば入射ビー
ムをさらなる傾斜可能なミラー偏向器アレイ20a、20cに
対し反射させる。
アレイ20a、20cは、各アレイ20a−20cからスクリーン
40まで通る光路が同じになるような距離に置かれる。第
１のスプリッタ／コンバイナ層18bは青色光成分のビー
ムを変形可能ミラー表示アレイ20aに反射するが、この
アレイは表示対象の画像の青色信号成分に応答して変調
されている。結果として、変調され反射されたビームは
20度縦方向に偏向されるが、横方向には実質的に変調さ
れない。層18bは実質的に減衰されていない光源16から
の光の赤および緑色波長成分を透過する。
第２の層30bは光源16からの光の赤色波長成分を反射
し、これらの成分を第２の傾斜可能ミラー装置アレイ20
cに当てるが、このアレイは表示対象の画像の赤色信号
成分に応答して変調されかつ結果的には縦方向に20度偏
向されている。第２の層30bによって光源16からの光の
うち緑色の光学波長成分が実質的に減衰されないまま通
過し、表示対象の画像の緑色信号成分に応答する第３の
傾斜可能ミラー装置アレイ20bにより偏向される。
変調された緑色ビームは、減衰されないまま再び双方
のプレートおよび層30b、30a、18a、18bを通り、投影レ
ンズ10を通ってスクリーン40に至る。最初に到達する２
色層18aでは、赤色アレイ20cからの変調されたビームが
反射されて変調された緑色ビームと同じ経路に至り、第
２の層18bでは、青色アレイからの変調された信号が反
射されて同じ光路に戻るので、投影レンズ10に入る光ビ
ームは、再合成されかつ変調された赤色、青色および緑
色のカラービームを含んでいる。
図4aに示すように、傾斜可能ミラーアレイ20は、アス
ペクト比が１ではない（ビデオ画像の場合は通常そうで
あるように）アレイに並べられた複数の方形の鏡を含み
得る。図示したこのアレイの場合には、ミラーＭは各ミ
ラーの対角線上の角を結ぶ蝶番で支持されているので、
図4aに示すように、鏡がアレイと斜めに交差するように
並べられている場合には蝶番H1、H2は水平方向にある。
アレイ20に対する入射ビームの垂直方向の偏向はしたが
ってミラーＭが蝶番Ｈを中心に回動する角度に依存す
る。アレイ20は、図３のシステムに組込んだ場合には、
反射軸を中心に固有の非対称を有する。
図4bを参照して、アスペクト比が１でない場合、アレ
イのミラー像はアレイと同じ形にはならない。すなわ
ち、アスペクト比が１でない場合、図３の構成において
は、青色アレイ20aと赤色アレイ20cからの変調ビームが
層18a、18bからの合成反射によって鏡面反転され、図4B
のようになるのに対し、緑色アレイ20bからの変調ビー
ムは層18a、18bの両方を透過されるので図4aに示すよう
になり、他の２つの変調ビームとは合成できなくなる。
この問題を克服するため、図５を参照して、本発明の
システムの第１の実施例においては、レフレクタ100を
層18aを保持するプレート30bと緑色アレイ20bとの間の
ビーム経路に設けた。こうして、緑色アレイ20bからの
変調されたビームはレフレクタ100で鏡面反転され、赤
色および青色アレイ20a、20cからの変調ビームと同じ左
右を有することになるので、合成カラー画像をスクリー
ン40に投影することができる。いずれか２つの２色層18
b、18aと追加のレフレクタ100とを用いて３つのアレイ2
0a、20b、20cを光学的に方向付ける図５に示すシステム
はしかしながら、依然として比較的小型であることがわ
かる。
ここで図６を参照して、図５の層18a、18bを平行な透
過プレート30b、30aの表面上にフィルム101a、101bとし
て設けてもよく、これらのプレートは必然的に入射ビー
ム経路に対し傾斜しているのでアレイ20a、ｂ、ｃから
のビーム経路から出るまたはビーム経路に入る光を反射
することになる。したがって、光源16からの光はこの平
行なプレート30a、30bを通過する際に屈折によって曲が
る。光源16からのビームが投影システムを通ってスクリ
ーン40に至る途中に分岐し、かつプレート30a、30bがビ
ーム経路において傾斜しているので、プレート30a、30b
が球面ディストーションおよび非点収差の双方を変調さ
れたビーム内に取込む。
青色アレイ20aから出たり青色アレイ20aに入ったりす
るビームはいずれのプレート30a、30bをも透過せず２色
面101aから反射され、最終的にはプレートを通過した際
の屈折によって歪曲することはない。緑色のアレイ20b
から出たりこのアレイに入ったりするビームにはしかし
ながら第１のプレート30aによりディストーションが取
込まれている。しかしながらこのディストーションはプ
レート30aに対して逆の角度（すなわち180度から第１の
プレートの傾斜角を引いたもの）でビーム経路において
傾斜している第２のプレート30bによって補償される。
また、第２のプレート30bは第１のプレート30aと厚さお
よび屈折率が同じである。したがって等しくかつ逆の非
点収差ディストーションが第２のプレート30bにより導
入されて、これが第１のプレート30aにより取込まれた
ものを打消す。
ただし、赤色アレイ20cに出入するビームの場合に
は、ビームは第２のプレート30bにより保持される層18a
によって反射されるので、このビームの場合には第２の
プレート30bではなく第１のプレート30aによって歪曲さ
れる点を理解されたい。しかしながらこの第１のプレー
ト30aにより導入される非点収差ディストーションは、
第１のプレート30aと厚さおよび屈折率（すなわち光路
長）が同じの第３のガラスプレート110によって補償さ
れる。プレート110は第２のプレート30bと赤色アレイ20
cとの間でビーム経路に導入されて、第１のプレート30a
に対し等しくかつビーム経路に対して逆の角度で並べら
れる。赤色ビームにおける第１のプレート30aにより取
込まれたディストーションはこの余分に設けられたプレ
ート110により打消される。
図６の構成に修正を加えても同じ効果を得ることがで
きる。たとえば、プレート110をプレート30aと30bとの
間の経路内に設けて、追加のプレートをプレート30bと
緑色アレイ20bとの間に設けてもよい。
さらに、修正プレート（図示せず）をさらに設けて修
正を行なう場合には、第２のプレート30bを第１のもの
に対して逆の角度から逸脱する角度に配置するかまたは
第２のプレートの厚さを変えてもよい。
ただし、図６に示される構成が最小限の光学部品で特
に小型のシステムを提供するものである点に留意された
い。
本発明に従うシステムに追加のレフレクタ100および
追加のプレート110の双方を組込むことが特に有利であ
る一方、この追加のレフレクタまたは追加のプレートの
いずれか一方のみを用いてもシステムにとっては有益で
ある点を理解されたい。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 フィールディング，レイモンド・ゴード ン イギリス、オー・エル・２ ５・エヌ・ イー オールドハム、ロイトン、セシ ル・ストリート、45 (56)参考文献 特開 昭61−13885（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−177079（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−92192（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−68090（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−103840（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−58242（ＪＰ，Ａ) 特表 平５−506108（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H04N 9/31 G02B 26/08

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】複数の傾斜可能ミラー装置と、 多重波長光源と前記傾斜可能ミラー装置との間の光路に
    配列された複数の２色ミラー素子を含み、２色ミラー素
    子は異なるそれぞれの波長帯の光を１つを除くすべての
    傾斜可能なミラー装置に反射するのに有効であり、前記
    １つの傾斜可能なミラー装置へ向かう光は２色ミラー素
    子を通過して前記１つの傾斜可能なミラー装置へ向か
    い、２色ミラー素子は前記傾斜可能なミラー装置からの
    空間的に変調された光を結合するのに有効であり、 前記傾斜可能なミラー装置の１つからの光路に設けら
    れ、傾斜可能なミラー装置からの空間的に変調された光
    の反射の数を等しくするためのもう１つの反射手段を含
    む、表示システム。
  2. 【請求項２】３つの傾斜可能ミラー装置と２つの２色ミ
    ラー素子が存在する、請求項１に記載のシステム。
  3. 【請求項３】各２色ミラー素子が、前記光路に位置決め
    された光学的に透過性のコンポーネントの上に設けら
    れ、該光学的に透過性のコンポーネントは、球面歪曲と
    非点収差のうち少なくともいずれかを変調合成ビーム内
    に取りこむよう、システムの光軸に対して角度をつけら
    れ、該システムは、光学特性を有する少なくとも１つの
    透過性コンポーネントをさらに含み、前記光学的に透過
    性のコンポーネントの少なくとも１つにおける前記歪曲
    を少なくとも部分的に打ち消すよう、システムの光軸に
    対してある角度で設定される、先行の請求項のいずれか
    に記載のシステム。
  4. 【請求項４】各々等しい光路長で、かつ透過性素子によ
    り作り出される歪曲を相互に補償するように、システム
    の光軸に対して角度がつけられる３つの透過性コンポー
    ネントがある、請求項３に記載のシステム。
  5. 【請求項５】先行する請求項のいずれかに記載の空間光
    変調器システムと、ディスプレイスクリーンとを組込む
    ディスプレイシステム。
  6. 【請求項６】請求項１から５のいずれかに記載の空間変
    調器システムと多重波長光源とを組込むディスプレイシ
    ステム。
JP51725293A 1992-04-03 1993-04-01 空間光変調器システム Expired - Fee Related JP3370671B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB9208076.1 1992-04-03
GB929208076A GB9208076D0 (en) 1992-04-03 1992-04-03 Spatial light modulator system
PCT/GB1993/000690 WO1993020656A1 (en) 1992-04-03 1993-04-01 Spatial light modulator system

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08500470A JPH08500470A (ja) 1996-01-16
JP3370671B2 true JP3370671B2 (ja) 2003-01-27

Family

ID=10713935

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP51725293A Expired - Fee Related JP3370671B2 (ja) 1992-04-03 1993-04-01 空間光変調器システム

Country Status (8)

Country Link
US (1) US5638142A (ja)
EP (1) EP0634076B1 (ja)
JP (1) JP3370671B2 (ja)
AT (1) ATE185036T1 (ja)
AU (1) AU3897793A (ja)
DE (1) DE69326547T2 (ja)
GB (1) GB9208076D0 (ja)
WO (1) WO1993020656A1 (ja)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0774130B1 (en) 1994-08-04 2006-12-20 Texas Instruments Incorporated Display system
JPH08327964A (ja) * 1995-06-02 1996-12-13 Matsushita Electric Ind Co Ltd 投写型画像表示装置
US6587159B1 (en) 1998-05-29 2003-07-01 Texas Instruments Incorporated Projector for digital cinema
US20080074621A1 (en) * 2006-08-23 2008-03-27 Hirotoshi Ichikawa Micro-mirror device with selectable rotational axis
US8102589B2 (en) * 2003-12-29 2012-01-24 Bernhard Rudolf Bausenwein Superposition system comprising micro electro mechanical systems
DE10361915B4 (de) * 2003-12-29 2009-03-05 Bausenwein, Bernhard, Dr. 2-Kanal-Stereo-Bildanzeigevorrichtung mit mikroelektromechanischen Systemen
US8085462B2 (en) * 2003-12-29 2011-12-27 Max Mayer Superposition method using a pair of stereo-isomeric micro electro mechanical systems (MEMSs)
JP5178107B2 (ja) 2007-09-14 2013-04-10 オリンパス株式会社 レーザー走査型顕微鏡
DE102011102132A1 (de) 2011-05-19 2012-11-22 blnsight3D GmbH Mehrkanalanzeige mit MOEMS und Verfahren der Superposition nicht-normal abgestrahlter Bildstrahlen in Mehrkanalanzeigen mit MOEMS

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2046937B (en) * 1979-04-09 1983-05-18 Crosfield Electronics Ltd Optical intensity modulators
US4680579A (en) * 1983-09-08 1987-07-14 Texas Instruments Incorporated Optical system for projection display using spatial light modulator device
EP0139991A3 (en) * 1983-09-08 1986-06-25 Texas Instruments Incorporated Optical system for projection display using spatial light modulator (1111111)
US4541688A (en) * 1984-06-11 1985-09-17 Eastman Kodak Company Optical beam splitters
JPS6113885A (ja) * 1984-06-29 1986-01-22 Sony Corp 投射型画像表示装置
JPH0664419B2 (ja) * 1987-08-18 1994-08-22 セイコーエプソン株式会社 投射型表示装置
JPS61177079A (ja) * 1985-01-31 1986-08-08 Sony Corp 投射形テレビジヨン受像機
JPS61236035A (ja) * 1985-04-09 1986-10-21 Sony Corp 光学ヘツド
US5040877A (en) * 1987-12-04 1991-08-20 Kent State University Low loss liquid crystal modulator for coloring and shaping a light beam
DE3829598A1 (de) * 1988-08-29 1990-03-01 Hertz Inst Heinrich Projektionsgeraet
JPH0642125B2 (ja) * 1988-10-04 1994-06-01 シャープ株式会社 プロジェクション装置
US5060058A (en) * 1989-06-07 1991-10-22 U.S. Philips Corporation Modulation system for projection display
NL8902205A (nl) * 1989-09-01 1991-04-02 Philips Nv Projektiesysteem.
GB9008031D0 (en) * 1990-04-09 1990-06-06 Rank Brimar Ltd Projection systems
US5115305A (en) * 1990-07-05 1992-05-19 Baur Thomas G Electrically addressable liquid crystal projection system with high efficiency and light output
GB2252173A (en) * 1991-01-25 1992-07-29 Rank Brimar Ltd Colour optical output system
JP2592646Y2 (ja) * 1991-06-26 1999-03-24 日本ビクター株式会社 投射型表示装置
JPH05249408A (ja) * 1992-03-06 1993-09-28 Seiko Epson Corp 投写型液晶表示装置
JPH05281511A (ja) * 1992-03-31 1993-10-29 Fujitsu General Ltd 液晶投写形ディスプレイ装置
JPH06138430A (ja) * 1992-10-23 1994-05-20 Fujitsu Ltd 投写型表示装置

Also Published As

Publication number Publication date
DE69326547T2 (de) 2000-05-25
WO1993020656A1 (en) 1993-10-14
EP0634076A1 (en) 1995-01-18
US5638142A (en) 1997-06-10
AU3897793A (en) 1993-11-08
GB9208076D0 (en) 1992-05-27
EP0634076B1 (en) 1999-09-22
DE69326547D1 (de) 1999-10-28
ATE185036T1 (de) 1999-10-15
JPH08500470A (ja) 1996-01-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6663243B2 (en) Projection device comprising a prism system including at least one totally internally reflecting surface at a boundary between two members of different refractive indices within the prism system
EP0629331B1 (en) Spatial light modulator system
JP3582732B2 (ja) 投影システム
EP0568603B1 (en) Color optical output system
EP1219118B1 (en) Image projection system
US6880936B2 (en) Micro mirror device and projector employing the same
JPH09500982A (ja) 液晶投射表示システム
JPH08240797A (ja) 反射光弁を使用したプロジェクション・ディスプレイ用光学装置
JP2000121811A (ja) Ｘプリズム及び投写システム
US6515801B1 (en) Lateral color compensation for projection displays
US5465174A (en) Single light valve full-color projector display
JP3370671B2 (ja) 空間光変調器システム
JP2004502189A (ja) カラー電気光学表示装置のための高コントラスト偏光光学系
US20020054276A1 (en) Projection type display apparatus
US6650460B2 (en) Projection type display apparatus
US6249387B1 (en) Stable enhanced contrast optical system for high resolution displays
KR20030079268A (ko) 프로젝션 디스플레이 시스템
KR100201829B1 (ko) 광학적 투사 시스템
CN114137784A (zh) 一种投影显示装置
JPH08313864A (ja) プロジエクタ装置

Legal Events

Date Code Title Description
S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071115

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081115

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081115

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091115

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101115

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101115

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111115

Year of fee payment: 9

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees