JP3364470B2 - Manufacturing method of magnetic disk - Google Patents

Manufacturing method of magnetic disk

Info

Publication number
JP3364470B2
JP3364470B2 JP2000119015A JP2000119015A JP3364470B2 JP 3364470 B2 JP3364470 B2 JP 3364470B2 JP 2000119015 A JP2000119015 A JP 2000119015A JP 2000119015 A JP2000119015 A JP 2000119015A JP 3364470 B2 JP3364470 B2 JP 3364470B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
magnetic disk
master
disk
transfer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2000119015A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2001006169A (en
Inventor
秀幸 橋
泰三 浜田
薫 松岡
俊夫 真壁
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Corp, Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Panasonic Corp
Priority to JP2000119015A priority Critical patent/JP3364470B2/en
Publication of JP2001006169A publication Critical patent/JP2001006169A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3364470B2 publication Critical patent/JP3364470B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【発明の属する技術分野】本発明は、ハードディスク装
置やフロッピーディスク装置に用いられる磁気ディスク
の製造方法に関するものである。 【0002】 【従来の技術】現在、代表的な磁気ディスク装置である
ハードディスクドライブは、すでに面記録密度が1Gb
it/sqinを越える装置が商品化され、数年後には
10Gbit/sqinの実用化が議論されるほどの急
激な技術進歩が認められる。 【0003】このような高記録密度を可能とした技術的
背景には、線記録密度の向上もさることながら、わずか
数μmのトラック幅の信号をSN良く再生できる磁気抵
抗素子型ヘッドに依るところが大である。また、高記録
密度に伴い磁気記録媒体に対する浮動磁気スライダの浮
上量の低減化も要求されてきており、浮上中も何らかの
要因でディスク/スライダの接触が発生する可能性が増
大している。このような状況下において、記録媒体には
より平滑性が要求されてきている。 【0004】さて、ヘッドが狭トラックを正確に走査す
るためにはヘッドのトラッキングサーボ技術が重要な役
割を果たしている。このようなトラッキングサーボ技術
を用いた現在のハードディスクドライブでは、ディスク
の一周中、一定の角度間隔でトラッキング用のサーボ信
号やアドレス情報信号、再生クロック信号等が記録され
ている。そして、ドライブ装置においては、ヘッドから
一定時間間隔で再生されるこれらの信号によりヘッドの
位置を検出するとともに修正することにより、ヘッドが
正確にトラック上を走査するように制御している。 【0005】上述したサーボ信号やアドレス情報信号、
再生クロック信号等は、ヘッドが正確にトラック上を走
査するための基準信号となるものであり、このためその
書き込み(以下、フォーマティングと記す)には高い位
置決め精度が必要である。現在のハードディスクドライ
ブでは、光干渉を利用した高精度位置検出装置を組み込
んだ専用のサーボ装置(以下サーボライタと記す)を用
い、記録ヘッドを位置決めしてフォーマティングを行っ
ている。 【0006】しかしながら、上記サーボライタによるフ
ォーマティングには以下の課題が存在する。すなわち、
ヘッドを高精度に位置決めしながら多数のトラックにわ
たって信号を書き込むためには、多くの時間がかかり、
生産性を上げるには多くのサーボライタを同時に稼働さ
せなければならない。また、多くのサーボライタの導
入、維持管理には多額のコストがかかってしまい、これ
らの課題はトラック密度が向上し、トラック数が多くな
るほど深刻である。 【0007】そこで、フォーマティングをサーボライタ
ではなく、予め全てのサーボ情報が書き込まれたマスタ
と呼ばれるディスクとフォーマティングすべき磁気ディ
スクを重ね合わせ、外部から転写用のエネルギーを与え
ることによりマスタの情報を磁気ディスクに一括転写す
る方式が提案されている。 【0008】その一例として、特開平10−40544
号公報に示す例があるが、この例では、磁気記録媒体と
マスタ情報担体の凸部とを密着させ、外部磁界を加える
ことによって磁気転写を行うものである。 【0009】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の磁気転写装置においては、磁気記録媒体とマスタ情
報担体の凸部との間に異常突起が存在する場合、両者が
接触することによって磁気記録媒体の表面に陥没部が発
生する。また、この陥没部において、50nm程度窪ん
だ陥没部のまわりには20nm程度の微小突起が存在し
てしまう。図16にこのような突起を光学的な測定方法
で測定した結果を示しており、上記接触によって磁気デ
ィスク表面に20nm程度の微小突起が多く存在するこ
とがわかる。 【0010】ところで、ハードディスクドライブ装置に
おいて、スライダの磁気ディスク表面からの浮上量とし
ては20〜30nm程度であり、磁気ディスク上に20
nm程度の突起が存在すれば、データ記録再生時に、磁
気ヘッドと磁気ディスクとが接触することになり、この
ような場合には接触した瞬間に磁気ヘッドと磁気ディス
クのクリアランスが大となって、信号の記録再生性能が
低下し、また磁気ヘッドが磁気ディスクと物理的に接触
することにより磁気ヘッドの寿命が低下してしまう原因
となる。このように従来の磁気転写方法によれば、磁気
ディスク上に多数の突起が存在することとなり、記録再
生性能および磁気ヘッド寿命の低下という課題を有して
いた。 【0011】本発明はこのような課題に鑑みなされたも
ので、信号の記録再生の性能が低下させたり、磁気ヘッ
ドの寿命を低下させることのない信頼性の高い磁気ディ
スクの製造方法を提供することを目的とするものであ
る。 【0012】 【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の磁気ディスク製造方法は、強磁性層を有する
磁気ディスクの記録面上にバーニッシュ処理を施した
後、前記磁気ディスクに潤滑剤層を形成し、その後、
性部を所定の情報信号に対応する配列パターン形状にな
るように形成してなる磁気転写用マスタを前記磁気ディ
スクの表面に重ね合わせるとともに、前記磁気転写用マ
スタの磁性部を磁化することにより、前記磁気転写用マ
スタの情報信号の配列パターンを情報信号の磁化パター
ンとして前記磁気ディスクに転写記録することを特徴と
る。 【0013】 【発明の実施の形態】本発明においては、強磁性層を有
する磁気ディスクの記録面上にバーニッシュ処理を施し
た後、前記磁気ディスクに潤滑剤層を形成し、その後、
磁性部を所定の情報信号に対応する配列パターン形状に
なるように形成してなる磁気転写用マスタを前記磁気デ
ィスクの表面に重ね合わせるとともに、前記磁気転写用
マスタの磁性部を磁化することにより、前記磁気転写用
マスタの情報信号の配列パターンを情報信号の磁化パタ
ーンとして前記磁気ディスクに転写記録して、ハードデ
ィスクドライブ用磁気ディスクを製造する。 【0014】 【0015】 【0016】本発明によれば、磁気ディスクにバーニッ
シュ処理を施した後潤滑剤層を形成し、その後磁気転写
を行うことにより、スレーブに付着している異物を磁気
転写前に確実に除去できるため、磁気転写時に異常突起
が発生するのを未然に防ぐことが可能となる。 【0017】以下に、本発明の実施の形態について、図
面を参照しながら説明する。 【0018】(実施の形態1)図1〜図13を用いて本
実施の形態における磁気記録媒体を製造する方法につい
て説明する。 【0019】図1に本実施の形態の工程図を示してお
り、図1に示すように、アルミニウムなどのディスク基
板に強磁性層を形成して磁気ディスク本体とし、その磁
気ディスク本体に潤滑剤層を形成した後、磁気転写を行
い、その後バーニッシュ処理を行う。 【0020】ここで、ディスク基板に強磁性層を形成す
る工程や潤滑剤層を形成する工程については、従来から
磁気ディスクの製造工程で知られている技術をそのまま
利用することができる。例えば、強磁性層の形成につい
ては、アルミニウム製の基板上に蒸着やスパッタ手段の
ような乾式めっき手段により磁性層を設ける方法があ
る。また、通常は磁性層上に蒸着やスパッタ手段のよう
な乾式めっき手段あるいはディッピングやスピンコート
法により保護層を設ける工程を行うことによって、磁性
層を保護する方法が採られている。 【0021】また、潤滑剤層の形成工程では、潤滑剤溶
液中に磁気ディスクを浸漬した後、所定の速度で引き上
げることによって磁気ディスク表面全体に潤滑剤を塗布
する。潤滑剤層の厚みは、15〜20オングストローム
(1.5〜2.0nm)で、構成物質としては、炭素
(C),水素(H),酸素(O),フッ素(F)が望ま
しい。 【0022】次に、図2〜図5を用いて、図1に示す磁
気転写工程の内容について詳細に説明する。 【0023】図2は本実施の形態における磁気転写工程
を行うための装置の一部を断面で示す斜視図である。図
2において、1はドーナツ円盤状の磁気ディスクであ
り、2はこの磁気ディスク1に情報信号を磁化パターン
として転写記録するための円盤状の磁気転写用のマスタ
で、表面には強磁性薄膜からなる磁性部が形成され、ま
たこのマスタ2は磁気ディスク1を上下から挟み込むよ
うに配置される構成となっている。3はマスタ2の転写
面、4はマスタ2の転写面3と反対側の面に固着されて
いる位置決めリング、5は2枚のマスタ2の一方を保持
するための上フランジ、6は同じく2枚のマスタ2の他
方を保持するための下フランジ、7はマスタ2と上フラ
ンジ5または下フランジ6を連結する可撓性膜である。 【0024】8は磁気ディスク2の中心透孔と2枚のマ
スタ2の中心透孔に貫挿される弾性体からなるスピンド
ル、9はスピンドル8を押しつぶし変形させるためのキ
ャップで、前記スピンドル8は円筒形状であり、中心部
にはキャップ9の心棒9aが挿入されている。また、こ
のスピンドル8と心棒9aとの間には、所定の隙間が設
けられている。10はスピンドル8とマスタ2の一方を
支えるためのマスタ台座、11はマスタ2と磁気ディス
ク1の間の空気を排出するための空気通路、12は空気
通路から空気を排出するための空気排出口、13は空気
排出口に接続された吸引ポンプ、14は下フランジを支
えるフランジ台座、15は磁気ディスク1にマスタ2の
磁気パターンを転写するためのマグネットである。 【0025】次に、本発明の方法に使用するマスタの一
例について説明する。 【0026】図3にマスタ2の一例の平面を模式的に示
しており、図3に示すように、マスタ2の一主面、すな
わち磁気ディスク1の強磁性層表面に接触する側の表面
には、略放射状に信号領域2aが形成されている。 【0027】図3の点線で囲んだ部分Aの拡大図を、図
4に模式的に示す。図4に示すように、信号領域2aに
は、磁気記録媒体に記録されるディジタル情報信号、例
えばプリフォーマット記録に対応する位置に、上記情報
信号に対応したパターン形状で強磁性薄膜からなる磁性
部による情報パターンが形成されている。図4におい
て、ハッチングを施した部分が強磁性薄膜によって構成
された磁性部である。この図4に示す情報パターンは、
クロック信号、トラッキング用サーボ信号、アドレス情
報信号等の各々の領域をトラック長さ方向に順次配列し
たものである。なお、図4に示す情報パターンは一例で
あり、磁気記録媒体に記録されるディジタル情報信号に
応じて、情報パターンの構成や配置等を適宜決定するこ
ととなる。 【0028】例えば、ハードディスクドライブのよう
に、ハードディスクの磁性膜に、まずリファレンス信号
を記録し、そのリファレンス信号に基づきトラッキング
用サーボ信号などのプリフォーマット記録を行う場合に
は、本発明によるマスタを用いてハードディスクの磁性
膜に、あらかじめプリフォーマット記録に用いるリファ
レンス信号のみを転写記録し、そしてそのハードディス
クをドライブの筐体内に組み込み、トラッキング用サー
ボ信号などのプリフォーマット記録は、ハードディスク
ドライブの磁気ヘッドを使用して行うようにしてもよ
い。 【0029】図5にマスタの主要部を拡大して示してお
り、図5において、16は磁気ディスク1に磁化パター
ンを転写記録するための強磁性薄膜からなる磁性部、1
7はマスタ2の磁性部16が設けられている転写面3に
放射状に設けられた溝である。 【0030】また、図6に図3、図4に示した信号領域
の断面を示しており、図6に示すように、マスタ2は、
Si基板、ガラス基板、プラスチック基板などの非磁性
材料からなる円盤状の基体2bの一主面、すなわち磁気
ディスク1の表面が接触する側の表面に、情報信号に対
応する複数の微細な配列パターン形状で凹部2cを形成
し、その基体2bの凹部2cに磁性部16である強磁性薄
膜を埋め込む形態で形成することにより構成されてい
る。 【0031】ここで、強磁性薄膜としては、硬質磁性材
料、半硬質磁性材料、軟質磁性材料を問わず、多くの種
類の磁性材料を用いることができ、磁気ディスクにディ
ジタル情報信号を転写記録できるものであればよい。例
えば、Fe、Co、Fe−Co合金などを用いることが
できる。なお、情報信号が記録される磁気ディスクの種
類によらずに十分な記録磁界を発生させるためには、磁
性材料の飽和磁束密度が大きいほどよい。特に、200
0エルステッドを超える高保磁力の磁気ディスクや磁性
層の厚みの大きいフレキシブルディスクに対しては、飽
和磁束密度が0.8テスラ以下になると十分な記録を行
うことができない場合があるので、一般的には、0.8
テスラ以上、好ましくは1.0テスラ以上の飽和磁束密
度を有する磁性材料が用いられる。また、強磁性薄膜の
厚さは、ビット長や磁気ディスクの飽和磁化や磁性層の
膜厚によるが、例えばビット長約1μm、磁気ディスク
の飽和磁化約500emu/cc、磁気ディスクの強磁
性層の厚さが約20nmの場合では、50nm〜500
nm程度あればよい。 【0032】図7、図8は本実施の形態における磁気転
写工程を行うための装置の動作を説明する図であり、以
下この工程における動作を説明する。まず、図2に示す
ように、磁気ディスク1は2つのマスタ2に挟まれ、位
置決めリング4と磁気ディスク1の中心透孔はともにス
ピンドル8に貫挿される。また、位置決めリング4と磁
気ディスク1の中心透孔がスピンドル8に貫挿されると
き、上フランジ5と下フランジ6は接合する。この時、
位置決めリング4と磁気ディスク1の接合部は、図7
(a)に示す状態である。すなわち、マスタ2の内径は
スピンドル8の外径より大きく、またマスタ2と磁気デ
ィスク1間には微少ながら厚み方向にクリアランスが存
在している。 【0033】次に、芯棒9aを図2に示す矢印Pの方向
に引っ張ることにより、弾性体からなるスピンドル8
は、キャップ9により圧縮変形し、厚み方向に圧縮され
ると同時に、その外径は大きくなり、図7(b)に示す
ように位置決めリング4や磁気ディスク1の中心透孔の
内側からそれらを内張状態にして位置決めする。スピン
ドル8により磁気ディスク1とマスタ2の位置決めが終
了したら、スピンドル8は変形状態のままで、吸引ポン
プ13により空気排出口12から空気を排出する。この
時、位置決めリング4は弾性を有する材質からなってお
り、吸引ポンプ13の排気により位置決めリング4が変
形し、図7(c)に示すように、磁気ディスク1とマス
タ2間のクリアランスはゼロとなり、完全な密着状態と
なる。 【0034】すなわち、図2に示すように、磁気ディス
ク1は、上フランジ5、下フランジ6、2つの可撓性リ
ング7、2枚のマスタ2、2つの位置決めリング4、ス
ピンドル8に囲まれた閉空間を形成しており、空気排出
口12から空気が排出されると、その中の圧力は大気圧
より低くなる。その結果、2枚のマスタ2は大気圧によ
り磁気ディスク1を挟む方向に力を受け、マスタ2の転
写面3と磁気ディスク1の表面が強く密着されることと
なる。この時、磁気ディスク1とマスタ2との間に突起
等の異物が存在すると、陥没部のまわりには突起部が存
在することになる。 【0035】磁気ディスク1とマスタ2の密着が完了し
たら、図8に示すようにマグネット15をマスタ2に接
近させ、転写に必要な磁界を印加するとともに、マグネ
ット15を磁気ディスク1の円周方向、すなわち図8の
矢印B方向に回転させることにより、磁気ディスク1の
全円周方向にわたって転写を行うことができる。 【0036】ここで、マスタに形成したパターン形状に
対応した情報信号を磁気ディスクに転写記録する手順に
ついて、図9〜図11を用いてさらに詳しく説明する。 【0037】まず、マグネット15を磁気ディスク1に
近づけた状態で、磁気ディスク1の中心軸を回転軸とし
て磁気ディスク1と平行に回転させることにより、図9
の矢印で示すように磁気ディスク1を予め一方向に磁化
する(初期磁化)。次に、上述したように、磁気ディス
ク1にマスタ2を位置決めして重ね合わせた状態で、マ
スタ2と磁気ディスク1とを均一に密着させ、その後図
8に示すように、初期磁化とは逆方向に磁界を印加する
ことにより、マスタ2の磁性部16が磁化され、そして
マスタ2に重ね合わせた磁気ディスク1の所定の領域1
bに、図10に示すように磁性部16のパターン形状に
対応した情報信号が記録される。なお、図10に示す矢
印は、この時磁気ディスク1に転写記録される磁化パタ
ーンの磁界の方向を示している。 【0038】図11にその磁化処理時の様子を示してお
り、図11に示すように、マスタ2を磁気ディスク1に
密着させた状態で、マスタ2に外部から磁界を印加して
磁性部16を磁化することによって、磁気ディスク1の
強磁性層1cに情報信号を記録することができる。すな
わち、非磁性の基体2bに所定の情報信号に対応する配
列パターン形状で強磁性薄膜からなる磁性部11を形成
して構成したマスタ2を用いることにより、その情報信
号に対応した磁化パターンとして磁気ディスク1に磁気
的に転写記録することができる。 【0039】なお、マスタ2のパターンを磁気ディスク
1に転写記録する際の方法として、上述のようにマスタ
2を磁気ディスク1に接触させた状態で外部磁界を印加
する方法以外に、マスタ2の磁性部16をあらかじめ磁
化させておき、その状態でマスタ2を磁気ディスク1に
密着するように接触させる方法であっても情報信号を記
録することができる。 【0040】次に、本発明においては、図1に示すよう
にバーニッシュ処理の工程を行うのであるが、そのバー
ニッシュ処理工程の内容について、図12を用いて詳細
に説明する。 【0041】図12は本実施の形態におけるバーニッシ
ュ処理工程を行うための装置を説明する斜視図である。
図12に示すようにバーニッシュ処理を行う装置は、上
記磁気転写工程を行った後の磁気ディスク1を保持して
回転させるスピンドル21と、磁気ディスク1をスピン
ドル21に固定するクランプ機構22と、バーニッシュ
用のバーニッシュヘッド20を備えるヘッド支持機構2
3と、ヘッド支持機構23をその根元で片持ち支持する
ガイドアーム24と、バーニッシュヘッド20をヘッド
支持機構23及びガイドアーム24を介して磁気ディス
ク1の記録面上で動かして位置決めするバーニッシュヘ
ッド位置決め部25と、バーニッシュヘッド位置決め部
25の動作を制御する位置決め制御部26と、スピンド
ル21の動作を制御するスピンドル制御部27と、位置
決め制御部26とスピンドル制御部27を制御するコン
トローラ28とから構成されている。 【0042】まず、コントローラ28によって、スピン
ドル制御部27によって磁気ディスク1を定速回転させ
る。次に、バーニッシュヘッド位置決め部25を図12
のA方向に移動させるように位置決め制御部26で制御
し、磁気ディスク1とバーニッシュヘッド20との間が
所定の間隔、例えば15nmになった位置で停止させ
る。この位置の設定方法を以下に示す。 【0043】予めバーニッシュヘッド位置決め部25が
ある任意の位置に位置している時の磁気ディスク1とバ
ーニッシュヘッド20との間の距離を測定しておく。そ
して、磁気ディスク1とバーニッシュヘッド20との間
の間隔を所定の間隔、例えば15nmとするために移動
させるべき距離を算出し、コントローラ28に記憶させ
る。コントローラ28は位置決め制御部26を介してバ
ーニッシュヘッド位置決め部2を移動させ、磁気ディス
ク1とバーニッシュヘッド20との間の間隔を15nm
に設定する。ここで、磁気ディスク1とバーニッシュヘ
ッド20との間の間隔、すなわち15nmは、実際のハ
ードディスクドライブ装置で記録再生を行う時のヘッド
の浮上量よりも小さい値に設定する。 【0044】その後、磁気ディスク1を回転させた状態
で図12のB方向、すなわち磁気ディスク1の半径方向
にバーニッシュヘッド20を移動させるように位置決め
制御部27によって制御し、磁気転写を行う際にマスタ
2と接触した面に対してバーニッシュ処理を行う。これ
によって、磁気ディスク1の表面に存在する異常突起、
特に記録再生途中における磁気ディスクと磁気ヘッドと
のクリアランス以上の突起を衝突エネルギーによって除
去することができる。 【0045】図13に、バーニッシュ処理を行った後の
磁気ディスク1の表面状態を光学的な測定方法で測定し
た結果を示す。従来の技術で説明した図12と比較すれ
ば、磁気転写工程を行った後にバーニッシュ処理工程を
実施することによって、磁気ディスク1の表面に存在す
る微小突起が激減していることがわかる。 【0046】以上のように本実施の形態によれば、磁気
転写工程の後にバーニッシュ処理を施すことにより、磁
気転写が行われた磁気ディスクの表面平滑性が改善さ
れ、信号の記録再生性能および磁気ヘッドの寿命を低下
させることのない信頼性の高い装置を実現することがで
きる。 【0047】(実施の形態2)図14、図15を用いて
本発明の実施の形態2における方法について説明する。 【0048】図14に本実施の形態における工程図を示
しており、各工程に関しては実施の形態1と同様な構成
である。すなわち、本実施の形態においては、ディスク
基板に強磁性層を形成した後、バーニッシュ処理を行
い、その後磁気ディスクに潤滑剤を形成した後、磁気転
写工程を行う方法である。 【0049】まず、本実施の形態では、バーニッシュ処
理工程の後に、磁気転写工程を実施しており、このこと
によって磁気ディスク1上に存在する異物を予め取り除
くことができるため、磁気転写の時に、マスタ2と磁気
ディスク1との間に異物が存在することを未然に防ぐこ
とが可能となり、実施の形態1と同様に、信号の記録再
生性能および磁気ヘッドの寿命を低下させることのな
い、信頼性の高い装置を実現することができる。 【0050】また、本実施の形態では、潤滑剤を塗布す
る工程の後に磁気転写の工程を実施していることによ
り、磁気転写時に発生するダメージを未然に防止でき
る。すなわち、磁気転写時に磁気ディスク1とマスタ2
とが接触する際、接触を行う前に、炭素,水素,酸素ま
たはフッ素等より構成される潤滑剤を1.5〜2.0n
mの厚みで塗布させておくことにより、両者の接触時に
発生する可能性のあるダメージを未然に防止することが
できる。 【0051】図15に潤滑剤を塗布しない状態で磁気転
写を行った時に発生した磁気ディスク表面の観察結果を
示している。図15(a)は磁気転写後の磁気ディスク
表面全体の様子を示したもので、同図より、磁気ディス
ク表面全体、特に中心部近傍に、同一方向に長手方向を
有する微細傷が生じていることがわかる。図15(b)
はかかる微細傷を拡大した図であり、3〜5μm程度の
引っ掻き傷のような窪んだ形状のものであることがわか
る。 【0052】すなわち、これらの観察結果より、潤滑剤
を塗布しない状態で磁気ディスク1とマスタ2とを接触
させると、磁気ディスク1に方向性を同じくする微細な
引っ掻き傷が、特にディスク中心部近傍に多く発生する
ことがわかった。これは、図7(c)に示したように、
磁気ディスク1とマスタ2が密着する際に、スピンドル
8の変形により磁気ディスク1とマスタ2が位置ずれを
起こし、潤滑材を塗布しない状態においては、このとき
に傷が発生するものと考えられる。逆に、磁気ディスク
1とマスタ2との磁気転写に先立って磁気ディスク1に
潤滑剤を塗布することにより、ダメージが発生しにくく
なることも実験結果より明らかになった。これは、潤滑
剤が接触時のダメージを防止するための保護膜の役割を
果たすためである。 【0053】以上のように本実施の形態によれば、バー
ニッシュ処理の工程の後に磁気転写の工程を実施するこ
とによって、磁気ディスク上に存在する異物を予め取り
除くことができるため、マスタと磁気ディスクとの間に
異物を存在させることを未然に防ぐことが可能となる。 【0054】また、潤滑剤を塗布する工程の後に磁気転
写の工程を実施したため、両者の接触時に発生する可能
性のあるダメージを未然に防止することができる。 【0055】また、本実施の形態では、バーニッシュ処
理工程の後に磁気転写工程を行ったが、実施の形態1と
の組合せ、すなわちバーニッシュ処理工程の後に磁気転
写工程を行い、さらにバーニッシュ処理工程を行えば、
磁気ディスク上に存在する異物を予め取り除いた状態で
磁気転写が行え、そして磁気転写後の磁気ディスクの表
面平滑性もさらに改善できることとなり、信号記録再生
性能及び磁気ヘッドの耐久性がさらに向上し、信頼性の
高い装置を実現することができる。 【0056】なお、上記例においては、バーニッシュ処
理をバーニッシュヘッドを用いて行ったが、これに限定
されるものではなく、例えばバーニッシュ用テープある
いはバフ研磨等を用いて、テープあるいはバフ研磨と微
小突起との衝突エネルギーによって微小突起を除去する
ような構成としても同等の効果が得られる。 【0057】また、磁気転写の方法についてもこれに限
定されるものではなく、他の方式を用いて磁気ディスク
1とマスタ2とを接触させる方法を採ってもよい。 【0058】 【発明の効果】以上のように本発明によれば、バーニッ
シュ処理の工程の後に潤滑剤層を形成し、その後磁気転
写の工程を実施することによって、磁気ディスク上に存
在する異物を予め取り除くことができるため、磁気転写
の時にマスタと磁気ディスクとの間に異物を存在させる
ことを未然に防ぐことが可能となり、信号の記録再生の
性能が低下することや、磁気ヘッドの寿命を低下させる
ことのない信頼性の高い装置を実現することができる。 【0059】 【0060】
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [0001] [0001] The present invention relates to a hard disk drive.
Disk used in storage and floppy disk drives
And a method for producing the same. [0002] 2. Description of the Related Art At present, a typical magnetic disk drive is used.
Hard disk drives already have an areal recording density of 1 Gb
A device exceeding it / sqin has been commercialized, and a few years later
As fast as 10 Gbit / sqin is being discussed for practical use
Intense technological progress is recognized. [0003] The technical requirements for achieving such a high recording density
Behind the increase in linear recording density,
A magnetic resistor capable of reproducing a signal having a track width of several μm with good SN.
This is largely due to the anti-element type head. Also high record
Floating magnetic slider floating on magnetic recording media with density
There is also a demand for a reduction in the amount of airborne
Increased possibility of disk / slider contact due to factors
Great. Under these circumstances, the recording medium
More smoothness is required. The head scans a narrow track accurately.
Tracking servo technology is an important part of
It plays a part. Such tracking servo technology
With current hard disk drives using
Servo signal for tracking at regular angular intervals during
Signal, address information signal, reproduced clock signal, etc.
ing. And in the drive device, from the head
These signals, which are played back at regular intervals,
By detecting and correcting the position, the head
Control is performed so as to accurately scan the track. The above-mentioned servo signal and address information signal,
The playback clock signal, etc., causes the head to run exactly on the track.
The reference signal for the inspection.
High ranking for writing (hereinafter referred to as formatting)
Positioning accuracy is required. Current hard disk drive
Incorporates a high-precision position detection device using optical interference
Using a dedicated servo device (hereinafter referred to as a servo writer)
Position the recording head and perform formatting.
ing. [0006] However, the servo writer
The following issues exist for formatting. That is,
While positioning the head with high precision,
It takes a lot of time to write a signal,
To increase productivity, operate many servo writers simultaneously.
I have to do it. In addition, many servo writers
Installation and maintenance costs a lot of money.
The challenge is that track density increases and the number of tracks increases.
Serious. Therefore, formatting is performed by a servo writer.
Not a master with all servo information written in advance
Disk and the magnetic disk to be formatted
Stack the disks and apply transfer energy from outside
Transfer the master information to the magnetic disk
Have been proposed. As one example, Japanese Patent Application Laid-Open No.
In this example, the magnetic recording medium and
Applying an external magnetic field by bringing the protruding part of the master information carrier into close contact
In this way, magnetic transfer is performed. [0009] SUMMARY OF THE INVENTION
In a conventional magnetic transfer device, a magnetic recording medium and master information are used.
If an abnormal projection exists between the projection of the information carrier and
Contact causes a depression on the surface of the magnetic recording medium.
Live. Also, in this depression, a depression of about 50 nm
There is a small protrusion of about 20 nm around the depression
Would. FIG. 16 shows an optical measurement method for such a protrusion.
The result of the measurement is shown.
Many fine protrusions of about 20 nm exist on the disk surface.
I understand. By the way, in a hard disk drive,
The flying height of the slider from the surface of the magnetic disk
Is about 20 to 30 nm, and 20
If there is a protrusion of about nm,
The magnetic head comes into contact with the magnetic disk,
In such cases, the magnetic head and magnetic disk
Signal clearance and signal recording / reproducing performance
Drop, and the magnetic head physically contacts the magnetic disk
Causes the life of the magnetic head to decrease
Becomes As described above, according to the conventional magnetic transfer method,
There are many protrusions on the disc,
With the issues of raw performance and reduced magnetic head life
Was. The present invention has been made in view of such problems.
Therefore, the signal recording / reproducing performance may be reduced or the magnetic head
Reliable magnetic disk that does not shorten the life of the
The purpose is to provide a manufacturing method for discs.
You. [0012] [MEANS FOR SOLVING THE PROBLEMS] To achieve this object
The method for manufacturing a magnetic disk of the present invention has a ferromagnetic layer
On the recording surface of the magnetic diskTo ba-Nished
rear,Forming a lubricant layer on the magnetic disk,Magnetic
Characteristic part in an array pattern shape corresponding to the predetermined information signal.
The magnetic transfer master formed so as to be
Superimposed on the surface of the
By magnetizing the magnetic part of the star, the magnetic transfer
The arrangement pattern of the information signal of the star is changed to the magnetization pattern of the information signal.
Transfer recording to the magnetic disk as a
YouYou. [0013] DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION In the present invention, a ferromagnetic layer is provided.
On the recording surface of a rotating magnetic diskTo ba-Nish treatment
AfterForming a lubricant layer on the magnetic disk,
The magnetic part has an array pattern shape corresponding to the predetermined information signal
The magnetic transfer master formed as described above is
Superimposed on the surface of the disk and
By magnetizing the magnetic part of the master, the magnetic transfer
The arrangement pattern of the master information signal is changed to the magnetization pattern of the information signal.
The data is transferred and recorded on the magnetic disk as a
Manufactures magnetic disks for disk drives.You. [0014] [0015] According to the present invention,On magnetic diskBerni
After applyingAfter forming a lubricant layer,Magnetic transfer
To remove foreign substances adhering to the slave
Abnormal protrusion during magnetic transfer because it can be reliably removed before transfer
Can be prevented from occurring. Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
This will be described with reference to a plane. (Embodiment 1) Referring to FIGS.
A method for manufacturing a magnetic recording medium according to the embodiment will be described.
Will be explained. FIG. 1 shows a process chart of the present embodiment.
As shown in FIG.
A ferromagnetic layer is formed on a plate to form a magnetic disk body.
After forming a lubricant layer on the main disk, magnetic transfer is performed.
After that, burnishing is performed. Here, a ferromagnetic layer is formed on the disk substrate.
Process and forming lubricant layer
The technology known in the magnetic disk manufacturing process
Can be used. For example, the formation of a ferromagnetic layer
Of evaporation or sputtering means on an aluminum substrate
There is a method of providing a magnetic layer by such a dry plating method.
You. Also, usually, such as vapor deposition or sputtering means on the magnetic layer
Dry plating method or dipping or spin coating
By performing the step of providing a protective layer by the method,
Methods have been taken to protect the layers. In the step of forming the lubricant layer, the lubricant
After immersing the magnetic disk in the solution, pull it up at a specified speed.
By applying lubricant to the entire surface of the magnetic disk
I do. The thickness of the lubricant layer is 15 to 20 angstroms
(1.5-2.0 nm), and the constituent material is carbon
(C), hydrogen (H), oxygen (O), fluorine (F) are desirable
New Next, referring to FIG. 2 to FIG.
The contents of the air transfer step will be described in detail. FIG. 2 shows a magnetic transfer step in the present embodiment.
FIG. 1 is a perspective view showing a part of a device for performing the above in a cross section. Figure
In 2, 1 is a donut disk-shaped magnetic disk.
2, a magnetic pattern is applied to the magnetic disk 1 by an information signal.
Disc-shaped magnetic transfer master for transfer recording
On the surface, a magnetic part made of a ferromagnetic thin film is formed.
Octopus master 2 sandwiches magnetic disk 1 from above and below
It is configured to be arranged as follows. 3 is transcription of master 2
Surface 4 is fixed to the surface of master 2 opposite to transfer surface 3
Positioning ring, 5 holds one of the two masters 2
Upper flange 6 for the other two masters 2
The lower flange for holding the
It is a flexible film that connects the flange 5 or the lower flange 6. Reference numeral 8 denotes a center through hole of the magnetic disk 2 and two
Spind made of an elastic material inserted through the center through hole of the star 2
And 9 are keys for crushing and deforming the spindle 8.
In the cap, the spindle 8 has a cylindrical shape,
The mandrel 9a of the cap 9 is inserted into the. Also,
A predetermined gap is provided between the spindle 8 and the mandrel 9a.
Have been killed. 10 is the spindle 8 or the master 2
Master pedestal 11 for supporting
An air passage for discharging air between the first and second air
An air outlet for discharging air from the passage, 13 is air
The suction pump connected to the outlet, 14 supports the lower flange.
The flange base 15 is provided on the magnetic disk 1 for the master 2
This is a magnet for transferring a magnetic pattern. Next, one of the masters used in the method of the present invention will be described.
An example will be described. FIG. 3 schematically shows a plane of an example of the master 2.
As shown in FIG. 3, one main surface of the master 2,
That is, the surface of the magnetic disk 1 on the side in contact with the ferromagnetic layer surface
, A signal region 2a is formed substantially radially. FIG. 3 is an enlarged view of a portion A surrounded by a dotted line in FIG.
FIG. As shown in FIG. 4, the signal region 2a
Is the digital information signal recorded on the magnetic recording medium, eg
For example, at the position corresponding to preformat recording,
Magnetism made of ferromagnetic thin film with pattern shape corresponding to signal
An information pattern is formed by the sections. Figure 4
The hatched part is composed of a ferromagnetic thin film
The magnetic part. The information pattern shown in FIG.
Clock signal, tracking servo signal, address information
Each area of the information signal etc. is sequentially arranged in the track length direction.
It is a thing. The information pattern shown in FIG. 4 is an example.
Yes, for digital information signals recorded on magnetic recording media
Accordingly, the configuration and arrangement of the information pattern should be determined appropriately.
And For example, like a hard disk drive
First, the reference signal on the magnetic film of the hard disk
And track based on the reference signal
When performing preformat recording of servo signals for
Shows the magnetic properties of a hard disk using a master according to the present invention.
The reference used in advance for preformat recording
Transfer and record only the
The tracking service in the drive housing.
Pre-format recording of signals such as
It may be performed using the magnetic head of the drive.
No. FIG. 5 is an enlarged view of the main part of the master.
In FIG. 5, reference numeral 16 denotes a magnetization pattern on the magnetic disk 1.
Magnetic part consisting of a ferromagnetic thin film for transfer recording
Reference numeral 7 denotes a transfer surface 3 on which the magnetic portion 16 of the master 2 is provided.
It is a groove provided radially. FIG. 6 shows the signal area shown in FIGS.
The master 2 is, as shown in FIG.
Non-magnetic such as Si substrate, glass substrate, plastic substrate
One main surface of the disk-shaped substrate 2b made of a material,
The surface on the side where the surface of the disk 1 comes in contact
Concave part 2c is formed with a plurality of corresponding fine array patterns
The ferromagnetic thin film, which is the magnetic portion 16, is provided in the concave portion 2c of the base 2b.
Is formed by embedding the film.
You. Here, a hard magnetic material is used as the ferromagnetic thin film.
Materials, semi-hard magnetic materials and soft magnetic materials
Types of magnetic materials can be used, and
Any digital information signal can be transferred and recorded. An example
For example, it is possible to use Fe, Co, an Fe—Co alloy, or the like.
it can. The type of magnetic disk on which information signals are recorded
In order to generate a sufficient recording magnetic field regardless of the type,
The larger the saturation magnetic flux density of the conductive material, the better. In particular, 200
High coercivity magnetic disks and magnetic properties exceeding 0 Oersted
For a flexible disk with a thick layer,
Sufficient recording is performed when the total magnetic flux density falls below 0.8 Tesla.
In general, 0.8
Saturation magnetic flux density of Tesla or more, preferably 1.0 Tesla or more
A magnetic material having a degree is used. In addition, ferromagnetic thin film
The thickness depends on the bit length, the saturation magnetization of the magnetic disk, and the magnetic layer.
Depending on the film thickness, for example, a bit length of about 1 μm, a magnetic disk
Saturation magnetization of about 500 emu / cc, strong magnetic field of magnetic disk
When the thickness of the conductive layer is about 20 nm, 50 nm to 500 nm
It may be about nm. FIGS. 7 and 8 show a magnetic recording medium according to this embodiment.
FIG. 9 is a diagram for explaining the operation of the apparatus for performing the copying process.
The operation in this step will be described below. First, as shown in FIG.
As shown, the magnetic disk 1 is sandwiched between two masters 2 and
The positioning ring 4 and the center through hole of the magnetic disk 1 are both
The pindle 8 is inserted. Also, the positioning ring 4 and the magnetic
When the center through hole of the air disk 1 is inserted through the spindle 8
At this time, the upper flange 5 and the lower flange 6 are joined. At this time,
The joint between the positioning ring 4 and the magnetic disk 1 is shown in FIG.
This is the state shown in FIG. That is, the inner diameter of the master 2 is
It is larger than the outer diameter of the spindle 8 and is
There is a small clearance in the thickness direction between discs 1
Are there. Next, the core rod 9a is moved in the direction of the arrow P shown in FIG.
The spindle 8 made of an elastic body
Is compressed and deformed by the cap 9 and is compressed in the thickness direction.
At the same time, the outer diameter increases, as shown in FIG.
The positioning ring 4 and the center through hole of the magnetic disk 1
They are lined from the inside and positioned. spin
Dollar 8 completes positioning of magnetic disk 1 and master 2
When the operation is completed, the spindle 8 remains in the deformed state and the suction pump is
The air is discharged from the air discharge port 12 by the pump 13. this
At this time, the positioning ring 4 is made of an elastic material.
The positioning ring 4 is changed by the exhaust of the suction pump 13.
As shown in FIG. 7C, the magnetic disk 1 and the mass
The clearance between the two becomes zero,
Become. That is, as shown in FIG.
1 has an upper flange 5, a lower flange 6, and two flexible
Ring 7, two masters 2, two positioning rings 4,
It forms a closed space surrounded by pindles 8 and discharges air.
When the air is exhausted from the port 12, the pressure therein becomes atmospheric pressure.
Lower. As a result, the two masters 2
The master 2 receives the force in the direction sandwiching the magnetic disk 1 and
The imaging surface 3 and the surface of the magnetic disk 1 are strongly adhered to each other.
Become. At this time, a protrusion is provided between the magnetic disk 1 and the master 2.
If there is a foreign substance such as
Will be there. The close contact between the magnetic disk 1 and the master 2 is completed.
Then, connect the magnet 15 to the master 2 as shown in FIG.
And apply the magnetic field necessary for transfer, and
8 in the circumferential direction of the magnetic disk 1, ie, in FIG.
By rotating the magnetic disk 1 in the direction of arrow B,
Transfer can be performed over the entire circumferential direction. Here, the pattern shape formed on the master is
Transferring the corresponding information signal to the magnetic disk for recording
This will be described in more detail with reference to FIGS. First, the magnet 15 is attached to the magnetic disk 1.
With the magnetic disk 1 close to the central axis,
9 by rotating the magnetic disk 1 in parallel with the magnetic disk 1.
The magnetic disk 1 is previously magnetized in one direction as indicated by the arrow.
(Initial magnetization). Next, as described above, the magnetic disk
With the master 2 positioned on the mask 1 and superimposed,
The star 2 and the magnetic disk 1 are evenly brought into close contact with each other.
As shown in FIG. 8, a magnetic field is applied in a direction opposite to the initial magnetization.
Thereby, the magnetic part 16 of the master 2 is magnetized, and
A predetermined area 1 of the magnetic disk 1 superimposed on the master 2
FIG. 10B shows the pattern shape of the magnetic portion 16 as shown in FIG.
The corresponding information signal is recorded. The arrow shown in FIG.
The mark indicates the magnetization pattern transferred and recorded on the magnetic disk 1 at this time.
The direction of the magnetic field of the FIG. 11 shows the state during the magnetization process.
As shown in FIG. 11, the master 2 is
When the magnetic field is applied to master 2 from outside,
By magnetizing the magnetic part 16, the magnetic disk 1
An information signal can be recorded on the ferromagnetic layer 1c. sand
That is, an arrangement corresponding to a predetermined information signal is provided on the non-magnetic base 2b.
Form magnetic part 11 made of ferromagnetic thin film in column pattern
By using the master 2 configured as
On the magnetic disk 1 as a magnetization pattern corresponding to the
Can be transferred and recorded. Note that the pattern of the master 2 is
As a method of transfer recording to the master 1, as described above, the master
An external magnetic field is applied while the magnetic disk 2 is in contact with the magnetic disk 1
The magnetic part 16 of the master 2 must be
The master 2 on the magnetic disk 1 in that state.
The information signal is recorded even if the contact
Can be recorded. Next, in the present invention, as shown in FIG.
The burnishing process is performed on the bar.
Details of the nish processing step will be described with reference to FIG.
Will be described. FIG. 12 shows a burnisher in this embodiment.
FIG. 3 is a perspective view illustrating an apparatus for performing a processing step.
As shown in FIG. 12, the device for performing burnishing is
Holding the magnetic disk 1 after performing the magnetic transfer step
Spin the spindle 21 to rotate and spin the magnetic disk 1
Clamp mechanism 22 for fixing to dollar 21 and burnish
Support mechanism 2 having burnish head 20 for use
3 and the head support mechanism 23 is cantilevered at its base.
Guide arm 24 and burnish head 20
The magnetic disk is supported via the support mechanism 23 and the guide arm 24.
Burnish that moves and positions on the recording surface of
Head positioning unit 25 and burnish head positioning unit
25, a positioning control unit 26 for controlling the operation of the
A spindle control unit 27 for controlling the operation of the
Control unit for controlling the decision control unit 26 and the spindle control unit 27.
And a roller 28. First, the controller 28
The magnetic disk 1 is rotated at a constant speed by the dollar controller 27.
You. Next, the burnish head positioning unit 25 is
Is controlled by the positioning control unit 26 so as to move in the direction A of FIG.
Between the magnetic disk 1 and the burnishing head 20
Stop at predetermined intervals, for example, at a position of 15 nm.
You. The setting method of this position is shown below. The burnish head positioning unit 25 is
When the magnetic disk 1 and the magnetic disk 1 are located at an arbitrary position,
The distance from the varnish head 20 is measured in advance. So
Between the magnetic disk 1 and the burnishing head 20
Move to make the interval of the predetermined interval, for example, 15 nm
The distance to be calculated is calculated and stored in the controller 28.
You. The controller 28 controls the bus via the positioning control unit 26.
Move the polishing head positioning section 2
15 nm between the burner 1 and the burnishing head 20
Set to. Here, the magnetic disk 1 and burnish
The distance between the head and the pad 20, that is, 15 nm, is
Head for recording and playback with hard disk drive
Is set to a value smaller than the flying height. Thereafter, the state where the magnetic disk 1 is rotated
In the direction B of FIG. 12, ie, the radial direction of the magnetic disk 1.
Position to move burnish head 20
Controlled by the control unit 27, the master is used when performing magnetic transfer.
Burnishing is performed on the surface that has come into contact with 2. this
Abnormal projections on the surface of the magnetic disk 1
In particular, the magnetic disk and the magnetic head during recording / reproduction
Protrusions larger than the clearance of
You can leave. FIG. 13 shows the state after the burnishing process.
The surface condition of the magnetic disk 1 is measured by an optical measuring method.
The results are shown below. Compare with FIG. 12 described in the related art.
For example, after performing the magnetic transfer process, the burnishing process
By performing this, the magnetic disk 1
It can be seen that the number of minute projections has decreased sharply. As described above, according to the present embodiment, the magnetic
By applying a burnishing process after the transfer process,
Improves surface smoothness of magnetic disk on which air transfer has been performed
Signal read / write performance and magnetic head life
A highly reliable device that does not
Wear. (Embodiment 2) Referring to FIG. 14 and FIG.
A method according to the second embodiment of the present invention will be described. FIG. 14 shows a process chart in the present embodiment.
Each step has the same configuration as in the first embodiment.
It is. That is, in the present embodiment,
After forming a ferromagnetic layer on the substrate, burnishing is performed.
After forming lubricant on the magnetic disk,
This is a method for performing a copying process. First, in this embodiment, the burnishing process is performed.
After the process, a magnetic transfer process is performed.
Foreign matter existing on the magnetic disk 1
The master 2 and the magnetic
Prevent the presence of foreign matter between the disc 1
It becomes possible to record and replay signals as in the first embodiment.
Do not reduce the raw performance and the life of the magnetic head.
And a highly reliable device can be realized. In this embodiment, the lubricant is applied.
That the magnetic transfer process is performed after the
Damage caused during magnetic transfer can be prevented beforehand.
You. That is, the magnetic disk 1 and the master 2
When contact is made with carbon, hydrogen, oxygen, etc.
1.5 to 2.0 n
m so that when they contact each other,
To prevent potential damage from occurring.
it can. FIG. 15 shows the magnetic rotation without the lubricant applied.
Observation results of the magnetic disk surface generated when performing the copying
Is shown. FIG. 15A shows a magnetic disk after magnetic transfer.
This figure shows the appearance of the entire surface.
Over the entire surface, especially near the center, in the same direction
It can be seen that the fine scratches have occurred. FIG. 15 (b)
Is an enlarged view of such a fine scratch, and is about 3 to 5 μm.
You can see that it has a depressed shape like a scratch
You. That is, from these observation results, the lubricant
Contact between the magnetic disk 1 and the master 2 without applying
As a result, a fine
Many scratches occur, especially near the center of the disc
I understand. This is, as shown in FIG.
When the magnetic disk 1 and the master 2 come into close contact, the spindle
8 causes the magnetic disk 1 and master 2 to shift
Wake up and do not apply lubricant.
It is considered that a scratch occurs on the surface. Conversely, magnetic disk
Prior to magnetic transfer between master 1 and master 2,
By applying a lubricant, damage is less likely to occur
It became clear from the experimental results. This is lubrication
Acts as a protective film to prevent damage when the agent contacts
To fulfill. As described above, according to the present embodiment, the bar
Perform the magnetic transfer process after the nishing process.
Foreign matter existing on the magnetic disk
Between the master and magnetic disk
It is possible to prevent the presence of foreign matter beforehand. Further, after the step of applying the lubricant, the magnetic transfer is performed.
Due to the process of copying, it may occur when both touch
The potential damage can be prevented beforehand. In this embodiment, the burnishing process is performed.
The magnetic transfer step was performed after the processing step.
Combination, i.e., magnetic transfer after the burnishing process
If you perform the copying process and then perform the burnishing process,
With foreign matter present on the magnetic disk removed in advance
Magnetic transfer can be performed and the surface of the magnetic disk after magnetic transfer
The surface smoothness can be further improved, and signal recording / reproducing
Performance and durability of the magnetic head are further improved,
An expensive device can be realized. In the above example, the burnishing process is performed.
Was performed using a burnishing head, but is not limited to this.
Not for example, for burnishing tape
Or buffing, etc.
Small protrusions are removed by collision energy with small protrusions
Even with such a configuration, the same effect can be obtained. The method of magnetic transfer is not limited to this.
Not specified, but using other methods
A method of bringing the master 1 into contact with the master 2 may be adopted. [0058] As described above, according to the present invention, the varnish
After the processing stepAfter forming a lubricant layer,Magnetic rotation
By performing the copying process, the
Magnetic transfer is possible because foreign substances can be removed in advance.
A foreign object between the master and the magnetic disk
Can be prevented beforehand, and signal recording and playback
Decreases performance or shortens the life of the magnetic head
It is possible to realize a highly reliable device without any problem. [0059] [0060]

【図面の簡単な説明】 【図1】本発明の実施の形態1による磁気ディスクの製
造方法を示す工程図 【図2】本発明の実施の形態1において、磁気転写の工
程を行うための装置を一部断面で示す斜視図 【図3】同磁気転写の工程を行うためのマスタの構成を
説明する平面図 【図4】同マスタに形成する情報信号の構成を説明する
説明図 【図5】同マスタの主要部を拡大して示す斜視図 【図6】同なじく断面図 【図7】(a)〜(c)は同磁気転写の工程を行う時の
ディスク位置決めを説明する断面図 【図8】同磁気転写の工程を行う際の装置の動作を説明
する斜視図 【図9】同磁気転写の工程において、初期磁化を行った
磁気ディスクの状態を説明するための斜視図 【図10】同磁気転写の工程において、転写記録を行っ
た磁気ディスクの状態を説明するための斜視図 【図11】同磁気転写の工程において、転写記録原理を
説明するための断面図 【図12】同バーニッシュ工程を行うための装置を説明
する斜視図 【図13】同バーニッシュ処理を行った後の磁気ディス
ク表面の状態を示す説明図 【図14】本発明の実施の形態2による磁気ディスクの
製造方法を示す工程図 【図15】潤滑剤を塗布しないで磁気転写を行った時の
磁気ディスク表面を説明するための説明図 【図16】従来の技術において、磁気ディスクとマスタ
とを接触させた後の磁気ディスク表面の状態を示す説明
図 【符号の説明】 1 磁気ディスク 2 マスタ 2a 信号領域 2b 基体 15 マグネット 16 磁性部 20 バーニッシュヘッド
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a process chart showing a method of manufacturing a magnetic disk according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is an apparatus for performing a magnetic transfer process in the first embodiment of the present invention. FIG. 3 is a plan view illustrating a configuration of a master for performing the magnetic transfer process. FIG. 4 is an explanatory diagram illustrating a configuration of an information signal formed on the master. FIG. 6 is an enlarged perspective view showing a main part of the master. FIG. 6 is a similar sectional view. FIGS. 7A to 7C are cross-sectional views for explaining disk positioning when performing the magnetic transfer process. FIG. 8 is a perspective view illustrating the operation of the apparatus when performing the magnetic transfer step. FIG. 9 is a perspective view illustrating the state of the magnetic disk that has been initially magnetized in the magnetic transfer step. 10. The state of the magnetic disk on which the transfer recording was performed in the magnetic transfer process FIG. 11 is a cross-sectional view illustrating the principle of transfer recording in the magnetic transfer process. FIG. 12 is a perspective view illustrating an apparatus for performing the burnishing process. FIG. 14 is an explanatory view showing a state of a magnetic disk surface after the burnishing process is performed. FIG. 14 is a process diagram showing a method of manufacturing a magnetic disk according to a second embodiment of the present invention. FIG. 16 is an explanatory diagram for explaining a magnetic disk surface when transfer is performed. FIG. 16 is an explanatory diagram showing a state of a magnetic disk surface after a magnetic disk and a master are brought into contact with each other in a conventional technique. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Magnetic disk 2 Master 2a Signal area 2b Base 15 Magnet 16 Magnetic part 20 Burnish head

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 真壁 俊夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平10−269566(JP,A) 特開 昭62−208431(JP,A) 特開 昭64−55736(JP,A) 特開 昭64−78753(JP,A) 特開 平10−293923(JP,A) 特開 平7−129954(JP,A) 特開 平2−162515(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 5/62 - 5/86 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Toshio Makabe 1006 Kazuma Kadoma, Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (56) References JP-A-10-269566 (JP, A) JP-A-62- 208431 (JP, A) JP-A-64-55736 (JP, A) JP-A-64-78753 (JP, A) JP-A-10-293923 (JP, A) JP-A-7-129954 (JP, A) JP-A-2-162515 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G11B 5/62-5/86

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 強磁性層を有する磁気ディスクの記録面
にバーニッシュ処理を施した後、前記磁気ディスクに
潤滑剤層を形成し、その後、磁性部を所定の情報信号に
対応する配列パターン形状になるように形成してなる磁
気転写用マスタを前記磁気ディスクの表面に重ね合わせ
るとともに、前記磁気転写用マスタの磁性部を磁化する
ことにより、前記磁気転写用マスタの情報信号の配列パ
ターンを情報信号の磁化パターンとして前記磁気ディス
クに転写記録することを特徴とするハードディスクドラ
イブ用磁気ディスクの製造方法。
(57) [Claims 1] was subjected to a server Nisshu processing on the recording surface of the magnetic disk having a ferromagnetic layer, the magnetic disk
A lubricant layer is formed, and thereafter, a magnetic transfer master formed by forming a magnetic part to have an array pattern shape corresponding to a predetermined information signal is superimposed on the surface of the magnetic disk, and the magnetic transfer master is formed. of by magnetizing the magnetic portion producing how the magnetic disk for a hard disk drive, which comprises transferring the recording to the magnetic disk array pattern of the information signal of the magnetic transfer master as the magnetization pattern of the information signal.
JP2000119015A 1999-04-21 2000-04-20 Manufacturing method of magnetic disk Expired - Fee Related JP3364470B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000119015A JP3364470B2 (en) 1999-04-21 2000-04-20 Manufacturing method of magnetic disk

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11-113267 1999-04-21
JP11326799 1999-04-21
JP2000119015A JP3364470B2 (en) 1999-04-21 2000-04-20 Manufacturing method of magnetic disk

Related Child Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002198680A Division JP3587464B2 (en) 1999-04-21 2002-07-08 Manufacturing method of magnetic disk
JP2002198679A Division JP3587463B2 (en) 1999-04-21 2002-07-08 Manufacturing method of magnetic disk

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001006169A JP2001006169A (en) 2001-01-12
JP3364470B2 true JP3364470B2 (en) 2003-01-08

Family

ID=26452258

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000119015A Expired - Fee Related JP3364470B2 (en) 1999-04-21 2000-04-20 Manufacturing method of magnetic disk

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3364470B2 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
JP2001006169A (en) 2001-01-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0997419A (en) Magnetic disk, production of magnetic disk and magnetic recorder
WO1999049456A1 (en) Master information magnetic recorder
EP2037454A1 (en) Master carrier for magnetic transfer, magnetic transfer method and magnetic recording medium
JP2001243624A (en) Magnetic transfer method
JP3364470B2 (en) Manufacturing method of magnetic disk
JP2008257753A (en) Method for magnetic transfer and magnetic recording medium
JP3587464B2 (en) Manufacturing method of magnetic disk
JP3587463B2 (en) Manufacturing method of magnetic disk
JP2001006170A (en) Manufacture for magnetic disk
US6715032B1 (en) Hard disk onto which table information depending on model is written, and hard disk drive adopting such a disk
JPH03127327A (en) Magnetic disk, manufacturing method and magnetic disk device
JP2000322849A (en) Method for recording tracking servo signal
JP2004265474A (en) Magnetic recorder
JP3337024B2 (en) Manufacturing method of magnetic disk
JP2001209934A (en) Method for producing magnetic recording medium and magnetic disk device
JP2000285449A (en) Magnetic recording medium, method and system for producing it, and magnetic memory employing it
JP3587455B2 (en) Magnetic transfer master cleaning apparatus and method, or magnetic recording / reproducing apparatus using them
JP2947863B2 (en) Magnetic disk device and magnetic recording medium
JP4146005B2 (en) Magnetic recording medium and magnetic recording / reproducing apparatus
JP4044065B2 (en) Master carrier for magnetic transfer, magnetic transfer method
JPH11353639A (en) Magnetic recording medium and magnetic recorder
JP2004022031A (en) Magnetic disk and magnetic disk device
JP2001084580A (en) Production of magnetic recording medium
JP2002008229A (en) Method for magnetic transfer
JP2000222728A (en) Master information carrier

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20021008

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071025

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081025

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091025

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091025

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101025

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111025

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121025

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131025

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131025

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141025

Year of fee payment: 12

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees