JPH0997419A - Magnetic disk, production of magnetic disk and magnetic recorder - Google Patents

Magnetic disk, production of magnetic disk and magnetic recorder

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JPH0997419A
JPH0997419A JP19184696A JP19184696A JPH0997419A JP H0997419 A JPH0997419 A JP H0997419A JP 19184696 A JP19184696 A JP 19184696A JP 19184696 A JP19184696 A JP 19184696A JP H0997419 A JPH0997419 A JP H0997419A
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JP
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magnetic
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recording
layer
guard band
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Application number
JP19184696A
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Japanese (ja)
Inventor
Katsutaro Ichihara
Satoru Kikitsu
Koichi Tateyama
哲 喜々津
勝太郎 市原
公一 館山
Original Assignee
Toshiba Corp
株式会社東芝
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To increase the density of magnetic recording by separating recording magnetic members from each other by hard guard band members. SOLUTION: A substrate 1a is provided thereon with a recording layer 2. This recording layer 2 includes band-shaped magnetic members 2a long in the direction of the recording tracks and the guard band members 4a consisting of different materials embedded between these members 2a. The magnetic members 2a and the guard band members 4a are periodically and alternately arranged with the track pitch as one period in the radial direction of the disk in the recording layer 2. The track pitch is given by (T+G) and the effective recording magnetic domain area corresponding to the inverse number of the surface density is given by (T×G)×B when the width of the band-shaped recording magnetic members 2a, i.e., recording track width, is defined as T and the width of the band-shaped guard band members 4a, i.e., guard band width, as G and the length of the recording magnetic domains as B. The surface recording density attains about 1.5Gbpsi and the storage capacity with the drive of the four surfaces of two sheets of the disk attains 1.5GB when a disk substrate of a 2.5-inch size is used for the disk substrate 1 and the red track width T is set at 1.8±0.1μm and the guard width G at 0.2±0.1μm.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、主に計算機周辺記憶装置に使用される磁気ディスク、磁気ディスクの製造方法、及び磁気記録装置に関する。 The present invention relates to a magnetic disk that is mainly used for computer peripheral storage device, a method of manufacturing a magnetic disk, and a magnetic recording apparatus.

【0002】 [0002]

【従来の技術】磁気ディスクは、高面記録密度、高データ転送速度、高速アクセス、高信頼性、低価格等の特長を有しており、計算機周辺記憶装置の主流をなしている。 2. Description of the Related Art A magnetic disk, high surface recording density, high data transfer rates, fast access, high reliability, has features such as low cost, are the mainstream of the computer peripheral storage devices. 過去10年間に磁気ディスクの面記録密度は数10 The number areal density of the magnetic disk in the past 10 years 10
倍の伸びを示しており、今後もその面記録密度の向上に期待が持たれている。 It shows the growth times are given the expected improvement in the surface recording density in the future.

【0003】磁気記録は、磁気ヘッドから発生する信号磁界によって磁気記録層中に記録磁区列を形成して記録を行い、この記録磁区列から記録層外部に漏洩する信号磁界を磁気ヘッドによって再生する事を原理とする。 The magnetic recording performs recording by forming a recording magnetic domain sequence in the magnetic recording layer by a signal magnetic field generated from the magnetic head, to reproduce a signal magnetic field leaking to the recording layer outside from the recording magnetic domain sequence by the magnetic head things to the principle. 面記録密度を向上する上では、磁気記録層中に形成する記録磁区をいかに微細化できるか、微細な記録磁区から漏洩する微小磁界をいかに高感度に再生できるかがポイントである。 In order to improve the surface recording density, how you can refine the magnetic domains to be formed on the magnetic recording layer is either playback on how sensitive a small magnetic field leaking from the fine recording magnetic domain points.

【0004】記録磁区を微細化する上では、第1に、磁気記録層に最近接する磁気ヘッド先端部を微細化すること、より具体的には、記録(再生)磁気ギャップを狭くすることと、記録(再生)磁極トラック幅を狭くすることにあり、第2に、磁気ヘッド先端部と磁気記録層との間隙(スペーシング)を狭くすること、第3に、磁気ヘッド先端部から空間的に発散する磁界による記録磁区端部のにじみ(フリンジング)を極力低減すること、第4 [0004] In order to miniaturize the recording magnetic domain, the first, miniaturizing the magnetic head tip closest to the magnetic recording layer, more specifically, the method comprising narrowing the recording (reproducing) magnetic gap, recording (reproducing) lies in narrowing the magnetic pole track width, the second, narrowing the gap (spacing) between the magnetic head tip and the magnetic recording layer, the third, spatially from the magnetic head tip bleeding of the recording magnetic domain edge by diverging magnetic field (fringing) as much as possible to reduce the fourth
に、磁気ヘッド先端部を磁気記録層の所定の記録再生位置にできるだけ高精度で位置決めすること、が重要である。 , The positioning in the highest possible accuracy magnetic head tip to a predetermined recording position of the magnetic recording layer, is important.

【0005】また、微細記録磁区からの微小磁界を高感度再生する上では再生原理的なブレークスルーが必要とされている。 [0005] Further, in order to highly sensitive reproducing a minute magnetic field from the fine recording magnetic domains are required reproduction principle breakthrough. 近年、従来の誘導再生原理とは異なる磁気抵抗効果を利用する再生原理が提案され実証されてきており、さらに巨大磁気抵抗効果材料の研究開発が進められていることから、今後の微小磁界再生の主流をなすものとみなされている。 Recently, from the fact that advanced research and development of different magnetic reproduction principle utilizing resistive been proposed has been demonstrated, further giant magnetoresistance effect material and conventional inductive reproduction principle, the future micro magnetic reproduction It is considered to mainstream.

【0006】上記した記録再生密度の高密度化への技術ポイントは、現行の磁気記録で採用されている長手媒体を用いたヘッド浮上形の記録再生形態(誘導再生型)でも、垂直媒体を用いたヘッド接触形の記録再生形態(磁気抵抗再生型)でも、共通する事項である。 [0006] Technical points to higher recording reproducing density described above, use the current recording form of head flying type with longitudinal medium which is employed in a magnetic recording (derived regenerative) But the perpendicular medium But have head contact type of recording mode has (magnetoresistance regenerative), is a matter of common.

【0007】従来からフリンジングを低減化する方策として、狭スペーシング化によるヘッドからのフリンジ磁界の低減と、記録層の磁化転移幅の低減化と、をあげることができる。 [0007] As a measure for reducing the fringing conventionally, reduction of fringe field from the head by the narrow spacing of the reduction of magnetic transition width of the recording layer, can be mentioned. しかしながら従来の磁気ディスクにおいては、原理的にフリンジングを無くすのは不可能であるため、あるフリンジ値を見込んだ余裕のあるトラック幅とする必要があり、狭トラック化の阻害要因となっている。 However, in the conventional magnetic disk, since it is theoretically eliminate the fringing impossible, it must be the track width having a margin in anticipation of certain fringe value, which is an impediment to narrow track .

【0008】また、ヘッドの位置決めについては、磁気記録ディスクと磁気ヘッドをドライブに設置した後で、 Further, the positioning of the head, after installing the magnetic recording disk and magnetic head drive,
サーボライターを用いて記録層中に磁気的なサーボ信号とアドレス信号を記録し、実動作中にこのサーボ情報を用いて行っているのが現状である。 The magnetic servo signal and the address signal recorded on the recording layer by using a servo writer, the during actual operation is performed by using the servo information at present. しかしながら、磁気記録層が単純に連続する平坦面である限り、トラッキング精度はヘッドの機械的精度に制限されるので、これも狭トラック化の阻害要因となっている。 However, as long as the magnetic recording layer is a flat surface that simply continuous, tracking accuracy is therefore limited to the mechanical accuracy of the head, which also impedes the narrow track.

【0009】高精度トラッキング化の一つのアプローチは、特開平2−201730号公報に開示されるディスクリートトラックである。 [0009] One approach accurate tracking of is a discrete track which is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2-201730. これは、予め磁気ディスク基板に物理的な凹凸を設けておき、この上に磁気記録層を形成して、凹部からの信号と凸部からの信号の違いを利用してトラックサーボを行うものである。 This may be provided a physical irregularities in advance a magnetic disk substrate, by forming a magnetic recording layer thereon, and performs tracking servo by utilizing the difference of the signal from the signal and the convex portion of the concave portion is there. このようなP Such a P
ERM(Pre Embossed Rigid Magnetic )ディスクでは、トラッキング精度は基板に設けられる物理的な凹凸の精度で決定され、凹凸は光ディスク基板プロセスにしたがって設ければ、変動量が0.01μmオーダ程度の高精度化を実現することができる。 The ERM (Pre Embossed Rigid Magnetic) disk, the tracking accuracy is determined by the physical unevenness of accuracy provided on the substrate, unevenness is be provided in accordance with the optical disc substrate process, a high accuracy the amount of variation of about 0.01μm order it can be realized.

【0010】しかしながら、上記のPERMディスクにおいてはガードバンドをなす部材が軟質のレジストであるために、レジストのみが選択的に摩耗しやすい。 However, in order member forming the guard bands in the above PERM disk is resist soft, resist only tends to selectively wear. この摩耗を防ぐためにディスク表面を硬質の保護膜で被覆する必要があり、狭スペーシング化しにくいことから、総合的には高精度化技術とは言えない。 Must coat the disk surface with a protective film of hard to prevent this wear, since hardly narrowed spacing of, not be comprehensive and accurate techniques.

【0011】特開平2−189715号公報には、基板上にレジストに代表される有機系の厚膜を設けて、それに凹凸状スタンパーを押し当てる等して有機膜上面に物理的な凹凸を設け、凹部中に磁性体薄膜を埋め込み有機膜と磁性体膜が実質的に平坦面をなす磁気記録媒体が開示されている。 [0011] Japanese Patent Laid-Open No. 2-189715, provided with a thick film organic typified by a resist on a substrate, providing a physical irregularities on the organic film upper surface thereto and the like pressing the uneven stamper the magnetic recording medium of the organic film and the magnetic film embedded magnetic thin film in the recess forms a substantially planar surface is disclosed. この磁気記録媒体では磁性体膜の下部は有機膜が存在するために、磁性体膜下部に界面無効層が厚く形成され、所定の特性の磁性体膜を得るには磁性体膜の厚さを厚くせざるをえず、高分解記録が困難であることから、やはり高密度化技術とは言えない。 For this magnetic recording medium has a lower portion of the magnetic film is present an organic film, it is formed interfacial invalid layer is thick in the lower magnetic film, a thickness of the magnetic film to obtain a magnetic film having a predetermined characteristic pictorial forced to thick, since the high-resolution recording is difficult, it can not be said still densification techniques. さらに、 further,
この従来技術においては記録磁性体膜下部に高透磁率膜を設けることができないので、将来の高密度記録技術として期待されている垂直磁気記録への適用が困難である。 Since this can not be provided high permeability film on the lower recording magnetic film in the prior art, it is difficult to apply in the perpendicular magnetic recording which is expected as a future high density recording technology.

【0012】また、特願平5−205257号公報には、磁気記録層の記録トラック間領域にイオン注入もしくはレーザ照射する等して記録機能を失わせてガードバンドとなす技術が提案されている。 Further, Japanese Patent Application No. Hei 5-205257, a technique of forming a guard band to lose the recording function by, for example ion implantation or laser irradiation to the recording tracks between the regions of the magnetic recording layer has been proposed . しかしながら、この従来技術ではガードバンドに記録層の変質部を使用しているため、均質なガードバンドを形成することが困難であり、また、記録トラックとガードバンドとの境界が不明確になるといった問題点がある。 However, because this in the prior art using the altered portion of the recording layer in the guard band, it is difficult to form a homogeneous guard band, also said that the boundary between the recording track and the guard band is unclear there is a problem.

【0013】ところで、「磁気抵抗効果」とは、外部磁界により電気抵抗が変化する効果であり、(a)再生用の磁性体薄膜の電気抵抗値が電流の向きと再生磁性体の磁化の向きの相対的角度に依存して変化する現象(AM By the way, the term "magnetoresistive" is an effect that a change in electrical resistance by an external magnetic field, (a) the magnetization direction of orientation and the reproduction magnetic electric resistance of the magnetic thin film for reproduction current Symptoms vary depending on the relative angle (AM
R)、(b)非磁性層を介して積層された磁性層間の磁化の相対角度で抵抗が変化する現象(GMR)などがある。 R), and the like (b) a phenomenon relative angle in the resistance of the magnetization of the magnetic layers laminated via non-magnetic layer is changed (GMR). これは従来の誘導再生に比較すると、再生感度が非常に高く、再生信号強度がヘッド走行速度に依存しないという特長がある。 This Compared to conventional induction reproduction, reproduction sensitivity is very high, there is a feature that the reproduced signal intensity does not depend on the head speed.

【0014】磁気抵抗ヘッドに用いられる磁性体の構造としては、異方性磁気抵抗効果を利用する、例えばNi [0014] As a structure of the magnetic material used in the magnetoresistive head utilizes anisotropic magnetoresistance effect such as Ni
Fe単層膜、二つの磁性体薄膜で導電性非磁性膜を挟み込んだスピンバルブ構造、例えばCoFe/Cu/Co Fe single layer, spin valve structure sandwiching a conductive nonmagnetic layer in two magnetic thin films, for example, CoFe / Cu / Co
Fe三層膜、導電性非磁性部材中に磁性粒子を分散させたグラニュラー構造、例えばNiFe/Ag、多数の磁性体薄膜と多数の導電性非磁性薄膜を交互に積層した磁性人工格子構造、例えば(Co/Cu)n膜、の4種類が上げられる。 Fe three-layered film, a conductive nonmagnetic member granular structure in which magnetic particles are dispersed in, for example, NiFe / Ag, a large number of the magnetic thin film and a large number of conductive non-magnetic thin film alternately laminated magnetic artificial lattice structure, e.g. (Co / Cu) n film, it raised four of.

【0015】これらのうち単層膜構造のものは素子の作成が比較的簡単なことから実用レベルにあるが、抵抗変化率が高々2%程度にすぎないので、今後さらに記録磁区の微細化すなわち再生磁界の微小化が進展する上では、再生感度的に不十分とされている。 [0015] Although a practical level since creation of the device is relatively simple ones monolayer structure of these, the resistance change rate is only at most about 2%, i.e. finer further recorded magnetic domain future in terms of miniaturization of the reproducing magnetic field is progress, there is a reproduction sensitivity to inadequate.

【0016】また、グラニュラー構造と磁性人工格子構造は、数10%以上の抵抗変化率を呈し、将来的に極めて期待度が高いが、大きな抵抗変化を得る上では数kO Further, granular structure and magnetic super-lattice structure exhibits a number of more than 10% resistance change rate, number kO is on is high future very expectation, to obtain a large resistance change
e〜数10kOeもの大きな磁界を要するため、微小な媒体磁界の再生は現状では困難とされている。 It takes a large magnetic field e~ number 10kOe ones, reproduction of fine media field is difficult at present.

【0017】そこで、数百Oe未満の比較的小さな磁界変化で10%程度の実用上十分な抵抗変化率を呈するスピンバルブ構造が注目を集め、単層膜構造の次の再生素子として最もその実用化が期待されている。 [0017] Therefore hundreds spin valve structure exhibiting a relatively small magnetic field varies about 10% practically sufficient rate of resistance change of less than Oe is widespread, most its practical use as a next reproduction device monolayer structure reduction is expected. スピンバルブ構造の再生原理は、二つの磁性体薄膜の磁化の相対的な向きによって電気抵抗率が変化するところにあり、実際には一つの磁性体薄膜の磁化の向きを固定しておき、 Reproduction principle of the spin valve structure is in place the electrical resistivity is changed by the relative orientations of the magnetization of the two magnetic thin film, in fact advance by fixing the magnetization direction of one of the magnetic thin film is
もう一方の磁性体薄膜の磁化の向きを媒体磁界の向きに追随させて二つの磁性体薄膜の磁化の相対的な向き関係を変化させて用いる。 It used the magnetization direction of the other magnetic thin layer by following the direction of the medium magnetic field by changing the relative orientation relationship of the magnetization of the two magnetic thin films. 片側の磁性体薄膜の磁化の固定のためには、保磁力の高い磁性体膜を磁化固着膜としてこの膜に交換結合し、磁化固定膜とする。 For fixation of magnetization of the magnetic thin film of one side, a high coercive force magnetic layer exchange-coupled to the membrane as a magnetization pinned layer, a magnetization fixed layer. もう片側の磁性体薄膜はその磁化が媒体磁界に追随して回転するので、 Since magnetic thin film of the other side thereof magnetization rotates following the media field,
以下これを「磁化回転膜」と略記する。 Hereinafter, this product is referred to as "the magnetization rotation film". 媒体磁界の無い状態でのこの磁化回転膜の磁化の向きは磁化固定膜の磁化の向きと直交状態とすることが、再生信号の対称性を確保する上では重要であり、媒体磁界の向きとの関係も含めると、磁化固定膜の磁化方向は媒体磁界と同じ向き、すなわち媒体面に垂直な方向に設定され、一方の磁化回転膜の磁化方向は媒体磁界が無い状態では媒体のトラック幅方向に向いていることが好ましい。 The magnetization direction of the magnetization rotation membranes in the absence of medium magnetic field be perpendicular state and the direction of magnetization of the magnetization fixed layer is important in ensuring the symmetry of the reproduced signal, and the direction of the medium field When the relationship is also included, the magnetization direction the same direction as the medium magnetic field of the fixed layer, that is, set in a direction perpendicular to the medium surface, the track width direction of the medium in a state in which the magnetization direction is media field is not in one of the magnetization rotation film it is preferable that the opposite to.

【0018】上記した磁化固定膜と磁化回転膜の磁化方向の設定には、幾つかの方式が採用されている。 [0018] setting of the magnetization directions of the above-mentioned magnetization fixed layer and the magnetization rotation film, some methods have been adopted. 磁化固定膜の磁化方向の設定には、磁化固着膜の利用が一般的であり、一方の磁化回転膜の磁化方向の設定には次の2 The setting of the magnetization directions of the magnetization fixed layer, use of the magnetization pinned layer are common, the next 2 to set the magnetization direction of one of the magnetization rotation film
つの方法が提案されている。 One of the methods have been proposed. 第1にセンス電流によって発生する磁界を利用する方法があり、第2に磁化回転膜にも適度なバイアス磁界を印加するためのハード膜を交換結合もしくは静磁結合する方法がある。 There is a method of utilizing the magnetic field generated by a sense current to the first, there is a hard film how to exchange coupling or magnetostatic coupling a for applying a moderate bias magnetic field to magnetization rotation film to the second.

【0019】 [0019]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者のセンス電流を用いる方法では、センス電流値が磁化回転膜へのバイアス磁界によって規定されるので、大電流化による大出力化が図れないこと、磁化回転膜へのバイアス磁界は磁化固定膜に対してはその磁化方向を逆転させる向きに作用するので、動作上の信頼性が確保しにくいこと等の問題点がある。 [SUMMARY OF THE INVENTION However, in the method of using the former sense current, the sense current value is defined by the bias magnetic field to the magnetization rotation film, that can not be ensured large output power by large current, magnetization since the bias magnetic field to the spinning membrane acts in the direction of reversing the direction of magnetization to the magnetization fixed layer, there are problems such that the operational reliability is difficult to ensure.

【0020】一方、後者のハード膜バイアスを用いる方法では、ヘッドの膜構造が複雑化して製造プロセス工程数が増加し、安価にヘッドを提供することが困難であること等の問題点がある。 Meanwhile, the method using the latter hard film bias, the film structure of the head is increased manufacturing number of process steps complicated, there are problems such that it is difficult to provide a low cost head.

【0021】以上、磁気抵抗効果素子を使用する際のバイアスの重要性と具体的な手段について、スピンバルブ構造の例をとって説明したが、他のいずれの構造の磁気抵抗効果膜を使用する場合においても、実用上は磁化の回転を媒体磁界の向きに対して対称にすることが、波形歪みを防止する上で必要であり、磁気抵抗効果膜に対して何等かの手段で磁界をバイアスさせて用いる。 [0021] Although the bias of importance and specific means for using magneto-resistance effect element, has been described by taking an example of a spin valve structure, to use a magnetoresistive film of any other structure in case, practically be symmetrical with respect to the orientation of the medium magnetic field rotation of the magnetization is required in order to prevent the waveform distortion, a bias magnetic field in some kind of means with respect to the magnetoresistive film used to.

【0022】本発明の目的は、記録磁区のサイドフリンジを低減することができ、磁気ヘッドの位置決め精度を狭スペーシング時にも向上させることができる磁気ディスク及びその製造方法を提供することにある。 An object of the present invention, it is possible to reduce the side fringe of the recording magnetic domain is to provide a magnetic disk and a manufacturing method thereof can also improve the positioning accuracy of the magnetic head in the narrow spacing at.

【0023】また、本発明の目的は、記録磁性体膜の膜厚を高分解能記録可能な膜厚に設定することができ、将来の垂直磁気記録もしくは接触記録にも適用することができ、とくに磁気抵抗効果型記録ヘッドに適する高密度記録可能な磁気ディスク及びその製造方法を提供することにある。 Further, an object of the present invention, it is possible to set the film thickness of the recording magnetic film in high resolution recordable thickness, it can be applied to future perpendicular magnetic recording or contact recording, in particular and to provide a high-density recordable magnetic disk and a manufacturing method thereof suitable for magnetoresistive recording head.

【0024】さらに、本発明の目的は、磁気抵抗効果型記録再生ヘッドに大きなセンス電流を流すことができ、 Furthermore, object of the present invention can supply a large sense current to the magnetoresistive reproducing head,
ヘッドの動作信頼性を確保することができ、かつ安価にヘッドを製造できる磁気ディスク及びその製造方法を提供することにある。 It is possible to ensure the operational reliability of the head, and to provide a magnetic disk and a manufacturing method thereof can be manufactured at low cost the head.

【0025】さらに、本発明の目的は、サイドフリンジが少なく、かつトラッキングサーボ特性の安定した狭スペーシング記録または接触記録の動作を可能とする磁気ディスク及びその製造方法を提供することにある。 Furthermore, object of the present invention is that the side fringe is small, and to provide a magnetic disk and a manufacturing method thereof enabling a stable operation of the narrow spacing recording or contact recording has the tracking servo characteristic.

【0026】さらに、本発明の目的は、大容量で高密度記録可能な磁気記録装置を提供することにある。 Furthermore, object of the present invention is to provide a high-density recordable magnetic recording device with a large capacity.

【0027】本発明に係る磁気ディスクは、基板と、この基板上に設けられ、情報を磁気的に記録再生する磁性部材でつくられた記録トラック部と、互いに隣接する前記記録トラック部間にトラック方向に実質的に連続するように設けられ、前記磁性部材よりも硬く、かつ非磁性の材料でつくられたガードバンド部材と、を具備し、上記ガードバンド部材の下方領域には、上記磁性部材が存在しないか、又は、上記記録トラック部をなす磁性部材の厚みとは異なる厚みの磁性部材が設けられていることを特徴とする。 The magnetic disk according to the present invention includes a substrate and a track provided on the substrate, the information recording track portion made of a magnetic member magnetically recording and reproducing, between the recording track portion adjacent to each other provided as substantially continuous in the direction, the harder than the magnetic member, and includes a guard band member made of non-magnetic material, and the lower region of said guard band member, the magnetic member there does not exist, or, characterized in that it is provided a magnetic member of a different thickness than the thickness of the magnetic members that constitute the recording track portion.

【0028】本発明に係る磁気ディスクの製造方法は、 The method of manufacturing a magnetic disk according to the present invention,
(a)実質的に平坦な表面をもつ基板上に磁性材料からなる磁性層を形成する工程と、(b)この磁性層の一部を除去してトラック方向に実質的に連続するように互いに隣接する記録トラック部を規定するガードバンドスペースをパターン形成する工程と、(c)このガードバンドスペースを、前記磁性層をなす磁性材料よりも硬く、 (A) forming a magnetic layer of a magnetic material onto a substrate having a substantially planar surface, (b) from one another so as substantially continuous in the track direction by removing part of the magnetic layer a step of patterning the guard band space which defines the recording track portion adjacent, (c) the guard band space, harder than the magnetic material forming the magnetic layer,
かつ非磁性の材料からなるガードバンド部材で満たす工程と、(d)このガードバンド部材及び前記磁性層の表面がそれぞれ実質的に平坦になるように加工する工程と、を備えることを特徴とする。 And a step of filling with a guard band member made of a nonmagnetic material, characterized in that it and a step of processing to be substantially flat (d) the surface of the guard band member and the magnetic layer respectively .

【0029】上記ガードバンド部材は、ディスク表面にあらわれてさえいればよく、その厚みは磁性部材の厚みと同じであってもよいし、これより厚くてもよいし、これより薄くてもよい。 [0029] The guard band member may if only appear on the disc surface, to the thickness may be the same as the thickness of the magnetic member may be thicker than this may be thinner than this.

【0030】また、ガードバンド部材は、非磁性の硬質材料でできていることが望ましく、SiO 2 ,Al 2 Further, the guard band member is desirably made of a non-magnetic rigid material, SiO 2, Al 2 O
3 ,TiO 2のような酸化物、Si 34 ,AlN,T 3, oxides such as TiO 2, Si 3 N 4, AlN, T
iNのような窒化物、TiCのような炭化物、BNのような硼化物、あるいはC系,CH系,CF系のうちいずれかの重合化合物でできていることが好ましい。 Nitrides such as iN, carbides such as TiC, borides such as BN, or C type, CH system, is preferably made of any of the polymeric compounds of the CF-based. ガードバンド部材が非磁性であるため、サイドフリンジの問題はほぼ完全に解決される。 Since the guard band member is non-magnetic, the side fringe problem is solved almost completely. また、ガードバンド部材が磁性部材より硬質であるため、コンタクトスタートストップ(CSS)耐性に優れ、さらには将来の接触記録方式においても耐久性に優れたものとなる。 Further, since the guard band member is harder than the magnetic member, excellent contact start-stop (CSS) resistance, and further also excellent in durability in future contact recording system.

【0031】本発明の磁気ディスクにおいては、磁性部材そのものは微細な凹凸状の物理的な形状変化をなしている。 [0031] In the magnetic disk of the present invention, the magnetic member itself forms a physical shape change in fine uneven shape. この磁性部材の凹部に、ガードバンド部材が磁性部材の凸部表面まで埋め込まれ、ディスク表面が実質的に平坦面をなすことが望ましい。 The recess of the magnetic member, the guard band member is embedded to the surface of the protrusion of the magnetic member, it is desirable that the disc surface forms a substantially flat surface. 磁性部材の凹凸形状は重要であり、サイドフリンジングを低減し、かつ高精度のトラッキングを行なう上では、記録トラック方向に実質的に連続して設けられることが好ましい。 Irregularities of the magnetic member is important to reduce side fringing, and in performing highly accurate tracking is preferably provided substantially continuously to the recording track direction. ガードバンド部材がこのような形態を採ることで、サイドフリンジングの問題は本質的に解決できると同時に、光ディスクに類似の高精度トラッキングが可能となる。 Guard band member by adopting such a configuration, the side fringing problem becomes possible essentially solve it and at the same time, high-precision tracking similar to the optical disk.

【0032】ここで、「実質的に連続」の意味は、ガードバンド部材は必ずしもトラック一周に亘って連続している必要は無いが、記録磁区列形成部分もしくは必要があれば設けられる磁気的サーボ情報記録部分に亘ってトラック方向に連続してさえいればよい。 [0032] Here, the "substantially continuous" means the guard band member always is not necessarily continuous over the track circumference, magnetic servo provided if the recording magnetic domain sequence forming portion or required It needs only continuously in the track direction over the information recording portion. より好ましい凹凸形状は、前記したトラック方向に実質的に連続する形状に加えて、トラック方向に略連続する形状以外に必要があれば設けられるアドレス信号が記録磁性層の形状変化として情報記録されている形態である。 More preferred irregularities in addition to the substantially continuous shape on the track direction, the address signal provided if necessary in addition to shape substantially continuous in the track direction is the information recorded as the shape change of the recording magnetic layer it is in the form you are. このような形態を採れば、従来から実施されているサーボライティングの必要性は全く無くなる。 Taking such a form, completely eliminates the need for servo writing being performed conventionally.

【0033】また、高密度記録上重要な本発明の効果として、記録分解能の向上すなわち線記録密度の向上もあげることができる。 Further, as an effect of the high-density recording important present invention, it may be mentioned also improve increased or the linear recording density of the recording resolution. これは記録磁性部材を非磁性ガードバンド部材で記録トラック部ごとに分離することによって、磁性部材の形状磁気異方性が記録トラック方向に付与され、磁化転移部における再生信号の揺らぎが小さくなることによっている。 This By separating each recording track portion the recording magnetic member of a non-magnetic guard band member, the shape magnetic anisotropy of the magnetic member is applied to the recording track direction, the fluctuation of the reproduced signal in the magnetic transition portion decreases It is by.

【0034】記録磁性部材の凹凸部に埋め込まれているガードバンド部材と磁性部材面を実質的に平坦面とすれば、記録層の上に耐摩耗性保護層を設けなくてもよくなる。 [0034] If a substantially planar surface of the guard band member and the magnetic member surface embedded in the concave-convex portion of the recording magnetic member, made may not be provided with abrasion-resistant protective layer on the recording layer. そのような場合はスペーシング損失を低減する上では最も好ましい形態である。 If such is in reducing the spacing loss is the most preferred form. 磁気ヘッドをディスクの記録面に接触走行させる場合は、ガードバンド部材は磁気ヘッドを案内するガイドレールの役割をもつ。 When contacting running the magnetic head to the recording surface of the disk, the guard band member has a role of a guide rail for guiding the magnetic head. なお、接触記録方式では記録磁性部材が露出していると十分な信頼性が得られない場合には、保護層を設けてもよい。 Incidentally, the contact recording system when sufficient reliability when the recording magnetic member is exposed can not be obtained, may be provided with a protective layer. 保護層はガードバンド部材と同じ材質からなる硬質非磁性部材であることが望ましい。 Protective layer is preferably a hard magnetic member made of the same material as the guard band member.

【0035】さらに、ガードバンド部材の電気抵抗は、 [0035] Furthermore, the electrical resistance of the guard band member,
磁性部材の電気抵抗よりも大きいほうが望ましい。 More preferably larger than the electric resistance of the magnetic member. 磁気抵抗効果方式の記録再生を考慮する場合に、ガードバンド部材は記録磁性部材に比べて電気的に絶縁性を有することが好ましく、比抵抗値として少なくとも記録磁性部材よりも一桁程度高い値をもつことが好ましい。 When considering the recording and reproducing of the magneto-resistive type, the guard band member preferably has electrical insulation properties than the recording magnetic member, an order of magnitude higher than at least a recording magnetic member as the specific resistance value it is preferable to have. このようにすれば、横通電方式の磁気抵抗ヘッドを用いて接触再生させた場合においても、電流が媒体に漏洩して再生出力を低下させてしまうといった問題をも解決することができる。 Thus, when contacted reproduced with a magnetoresistive head of the lateral conduction method also, current can also be solved problem that reduces the leaks reproduction output medium.

【0036】磁性部材としては、通常の磁気ディスクに用いられているCo系材料、例えばCoNiPt,Co Examples of the magnetic member, Co-based materials used in ordinary magnetic disk, for example CoNiPt, Co
Pt,CoPtCr,CoTaCr,CoNiCr,将来の垂直磁気記録材料として期待されているCoCr, Pt, CoPtCr, CoTaCr, CoNiCr, is expected as a future perpendicular magnetic recording material CoCr,
CoPtO,それ自体が硬質であることから接触記録材料として研究されているBaフェライト系、Fe系もしくはCo系粒子を硬質マトリクス中に分散させた材料系等を用いることができる。 CoPtO, can be used itself Ba ferrite being studied as a contact recording material because it is rigid, Fe-based or material system and the Co-based particles are dispersed in the hard matrix and the like.

【0037】なお、記録磁性部材の下地には基板が直接配置されてもよいが、好ましくは面内媒体に対しては配向制御膜としてNiP,Cr等、垂直媒体に対しては閉磁路形成膜として高透磁率膜、例えばNiFe膜等が形成されているのがよい。 [0037] The substrate is the base may be placed directly of the recording magnetic member is preferably NiP as an orientation control film for in-plane medium, Cr or the like, a closed magnetic path forming film for perpendicular media good to high permeability film, for example, NiFe film or the like is formed as a. 基板の材料は特に限定されないが、通常はアルミニウムやガラスを用いる。 The material of the substrate is not particularly limited, usually an aluminum or glass. さらに、耐薬品性に優れるガラス基板を用いることが好ましい。 Further, it is preferable to use a glass substrate having excellent chemical resistance.

【0038】本発明に係る磁気ディスクは、基板と、この基板上に設けられ情報を磁気的に記録再生する磁性部材でつくられた記録トラック部と、互いに隣接する前記記録トラック部間にトラック方向に実質的に連続するように設けられ、上記記録トラック部をなす磁性部材とは磁気的に異なる材料でつくられ、外部に直流磁界を供給する磁石部材と、を備えることを特徴とする。 The magnetic disk according to the present invention includes a substrate and a recording track portion made of a magnetic member for magnetically recording and reproducing the provided information on the substrate, the track direction between the recording track portion adjacent to each other substantially provided so as to be continuous to, the magnetic member having the recording track portions made of different materials magnetically, characterized in that it comprises a magnet member for supplying a DC magnetic field to the outside.

【0039】本発明に係る磁気ディスクの製造方法は、 The method of manufacturing a magnetic disk according to the present invention,
(A)実質的に平坦な表面をもつ基板上に磁性材料からなる磁性層を形成する工程と、(B)この磁性層の一部を除去してトラック方向に実質的に連続するように互いに隣接する記録トラック部を規定するスペースをパターン形成する工程と、(C)このスペースを、前記磁性材料とは磁気的に異なる材料でつくられ、外部に直流磁界を供給する磁石部材で満たす工程と、(D)この磁石部材及び前記磁性層の表面がそれぞれ実質的に平坦になるように加工する工程と、を備えることを特徴とする。 (A) forming a magnetic layer of a magnetic material onto a substrate having a substantially planar surface, (B) from each other to substantially continuously in the track direction by removing part of the magnetic layer a step of space for the patterning for defining the recording track portion adjacent the (C) this space, the a magnetic material made of a different material magnetically, and the filling step a magnet member for supplying a DC magnetic field to the outside characterized by and a step of processing (D) so that the surface of the magnet member and the magnetic layer is substantially planar, respectively.

【0040】「トラック方向に実質的に連続する」とは、少なくとも情報信号の記録/再生部分に磁石部材が存在していればよいことを意味する。 [0040] By "substantially continuous in the track direction" means that may exist magnet member to the recording / reproducing portion of at least the information signal. したがって、アドレス情報領域およびサーボ情報領域には磁石部材は有っても無くてもよく任意のものである。 Accordingly, the address information region and the servo information area magnet member is optional may or without.

【0041】また、アドレス情報やサーボ情報を磁石部材パターンによって設けてもよく、このような場合はこの部分の磁石部材はトラック方向に実質的に連続していなくとも構わない。 Further it may be provided address information and servo information by the magnet member pattern, a magnet member in such a case this portion may not necessarily have substantially continuous in the track direction.

【0042】磁石部材から外部(ヘッド方向)に発生する直流磁界は媒体面に平行な記録トラックに平行な方向とするのが一般的であるが、縦通電方式の磁気抵抗再生素子を用いる場合は媒体面に垂直に発生させるのがよい。 [0042] When the DC magnetic field generated from the magnet member to the outside (the head direction) is a common practice to the direction parallel to the parallel recording tracks on the medium surface, using a magnetoresistive reproduction element of a vertical conduction system it is to generate perpendicular to the medium surface.

【0043】さらに、磁気ディスクは、必要に応じて下地層、保護層、潤滑層等を備えてもよい。 [0043] Further, the magnetic disk, the base layer optionally protective layer may be provided with a lubricating layer or the like.

【0044】磁性部材には、Co−P、Co−Ni−P [0044] to the magnetic member, Co-P, Co-Ni-P
メッキ膜、Co−Ni蒸着膜、Baフェライトスパッタ膜、Co−Pt、Co−Cr、Co−Ni−Cr、Co Plating film, Co-Ni evaporation film, Ba ferrite sputtered film, Co-Pt, Co-Cr, Co-Ni-Cr, Co
−Cr−Ta、Co−Ni−PtのCo系スパッタ膜を用いることが望ましい。 -cr-Ta, it is desirable to use a Co-based sputtering film of Co-Ni-Pt.

【0045】磁石部材は、磁気ヘッドの記録媒体によって磁化方向が変化しない程度に大きな保磁力を持つ材料であればどのような材質のものであってもよい。 The magnet member may be of any material as long as the material having a large coercive force to the extent that the magnetization direction does not change by the recording medium of the magnetic head. 発生磁界の大きさも重要であるが、これは磁石部材の磁化の値(材料特性と製造方法に依存する値)以外に磁石部材のサイズ(幅と膜厚)や、磁石部材の下地に軟磁性膜を設けることによっても調整可能である。 Is important also the magnitude of the generated magnetic field, which is or magnetization values ​​of the magnet member size (material properties and value depend on the production method) other than the magnet member (width and thickness), soft to the underlying magnet member film can also be adjusted by providing a. 例えば、磁石部材としてフェライト系、SmCo系、NdFeB系等のバルク磁石材料を薄膜化して用いてもよく、Pt/Co多層膜系、MnBi系、TbCo系、TbFeCo系等の主に光磁気記録媒体に使用されるような高保磁力薄膜材料を用いてもよい。 For example, ferritic as a magnet member, SmCo system may bulk magnet material NdFeB system and the like used as a thin, Pt / Co multilayer system, MnBi system, TbCo system, mainly the magneto-optical recording medium of the TbFeCo-based and the like it may be used high-coercivity film material as used in the.

【0046】本発明に係る磁気記録装置は、基板と、この基板上に設けられ、情報を磁気的に記録再生する磁性部材でつくられた記録トラック部と、互いに隣接する前記記録トラック部間にトラック方向に実質的に連続するように設けられ、前記磁性部材よりも硬く、かつ非磁性の材料でつくられたガードバンド部材と、を具備し、上記ガードバンド部材の下方領域には、上記磁性部材が存在しないか、又は、上記記録トラック部をなす磁性部材の厚みとは異なる厚みの磁性部材が設けられている磁気ディスクに対して、情報を磁気的に読み込み書き込む磁気ヘッドと、外部装置から送られてくる書き込み情報をデータ処理し、データ処理された情報をリードライト回路を介して前記磁気ヘッドに送る制御部と、を備え、上記磁気ヘッドはス The magnetic recording apparatus according to the present invention comprises a substrate, provided on the substrate, and the recording track portion made of a magnetic member for recording and reproducing magnetically the information, between the recording track portion adjacent to each other provided as substantially continuous in the track direction, the harder than the magnetic member, and includes a guard band member made of non-magnetic material, and the lower region of said guard band member, the magnetic or member does not exist, or the magnetic disk which the magnetic member of a different thickness than the thickness of the magnetic members that constitute the recording track portion is provided, a magnetic head for writing magnetically reads information from an external device the transmitted write information to the data processing, the information data processed through the read-write circuit and a control unit for sending to the magnetic head, the magnetic head scan ンバルブ型の磁気抵抗素子を具備し、このスピンバルブ型の磁気抵抗素子は、上記リードライト回路に接続され、上記磁気ディスクの面に垂直方向に磁化が固定された第1の磁性層と、磁化が印加磁界により変化する第2の磁性層と、この第2の磁性層と上記第1の磁性層との間に挿入された非磁性導電層と、を備えていることを特徴とする。 Comprising a Nbarubu type magnetoresistive element, the magnetoresistive element of the spin-valve is connected to the read-write circuit, a first magnetic layer magnetized in a vertical direction is fixed to the surface of the magnetic disk, magnetic There a second magnetic layer varies with applied magnetic field, characterized in that it and a nonmagnetic conductive layer interposed between the second magnetic layer and the first magnetic layer.

【0047】 [0047]

【発明の実施の形態】以下、添付の図面を参照しながら本発明の種々の実施の形態について説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, with reference to the accompanying drawings the various embodiments of the present invention will be described.

【0048】図1は本発明の実施例に係る磁気ディスクの一部を示す拡大斜視図である。 [0048] Figure 1 is an enlarged perspective view showing a part of a magnetic disk according to an embodiment of the present invention. 図中にて符号1aは基板を、符号2は記録層を表わす。 Reference numeral 1a is a substrate in the figure, reference numeral 2 denotes a recording layer. 記録層2は、記録トラック方向に長い帯状をなす記録磁性部材2aと、記録磁性部材2aの間に埋め込まれた記録磁性部材2aとは異なる材料からなるガードバンド部材4aと、を含んでいる。 Recording layer 2 includes a recording magnetic member 2a forming a long strip shape in the recording track direction, and the guard band member 4a made of a material different from that of the recording magnetic member 2a embedded between the recording magnetic member 2a, a. このように記録層2においては、磁性部材2aとガードバンド部材4aとがディスク半径方向にトラックピッチを1周期として周期的に交互に配列されている。 In this way the recording layer 2, and a magnetic member 2a and the guard band member 4a are arranged regularly alternately as one cycle the track pitch in the radial direction of the disk.

【0049】帯状の記録磁性部材2aの幅すなわち記録トラック幅をTとし、帯状のガードバンド部材4aの幅すなわちガードバンド幅をGとし、記録磁区の長さをB [0049] The width or the recording track width of the belt-like recording magnetic member 2a is T, the width or the guard band width of the strip of the guard band member 4a and G, B the length of the recording magnetic domain
とすると、トラックピッチは(T+G)で与えられ、面密度の逆数に相当する実効的な記録磁区面積は(T+ When the track pitch is given by (T + G), effective recording magnetic domain area corresponding to the inverse of the areal density (T +
G)×Bで与えられる。 Given by G) × B. 本実施例においては、ディスク基板1aとしては2.5インチサイズのものを用い、記録トラック幅Tを1.8±0.1μm、ガードバンド幅Gを0.2±0.1μmとした。 In the present embodiment, the disc substrate 1a used as a 2.5-inch size, the recording track width T of 1.8 ± 0.1 [mu] m, and the guard band width G and 0.2 ± 0.1 [mu] m. これらは、記録セルのアスペクト比(トラックピッチ/最短ビットピッチ)を現行の磁気記録ディスク同様に10とし、ディスクへの記録としてゾーンコンタクトアンギュラーヴェロシティ(ZCAV)方式を採用するとした場合、面記録密度は1.5Gbpsi程度、ディスク2枚4面のドライブでは記憶容量が1.5GB、となるトラックピッチに相当する。 These, when the aspect ratio of the recording cell (track pitch / minimum bit pitch) as the current magnetic recording disk Similarly 10, zone contact angular velocity as the recording to the disk (ZCAV) adopting the method, the areal density about 1.5Gbpsi, the drive the two four-sided disc corresponding to the track pitch storage capacity 1.5GB, become.

【0050】次に、図2〜図6を参照しながら磁気ディスクの製造方法について説明する。 Next, a method of manufacturing the magnetic disk will be described with reference to Figures 2-6. 洗浄済みのガラスディスク基板1aを、多元マグネトロンスパッタ装置の処理台上に載置し、CoPt(20原子%Pt)ターゲットを約1分間スパッタして膜厚が約20nmの面内磁化の記録磁気層2aを形成した。 The washed glass disk substrate 1a, is placed on the processing table of a multiple magnetron sputtering device, CoPt (20 atomic% Pt) recording magnetic layer in-plane magnetization of the target about 1 minute sputtered film thickness of about 20nm 2a was formed. さらに連続してSiO 2 In addition to continuous SiO 2
ターゲットを1分間スパッタして膜厚約10nmのSi Si of the target was sputtered for one minute film thickness of about 10nm
2膜を形成して取り出した。 O 2 film is formed was taken out.

【0051】次に、この着膜後のディスクのSiO 2膜上にポジ形レジスト3を約50nmスピンコートしてプリベークした後に、Krレーザを光源とする光ディスク用の原盤カッティング装置を用いて、ディスク1を高精度で回転させながら、トラックピッチ2μm、露光幅0.2μm(ガードバンド部4aの幅G 1 ,G 2 Next, after pre-baking the positive type resist 3 on the SiO 2 film on the disk after the film deposition was about 50nm spin-coating, using a master disk cutting apparatus for an optical disk which the Kr laser as a light source, the disc while rotating 1 with high accuracy, the track pitch 2 [mu] m, exposure width 0.2 [mu] m (width G 1 of the guard band portions 4a, G 2,
3 ,…Gn)でレジスト3を露光処理した。 G 3, the resist 3 was exposed treated with ... Gn). なお、ディスク全面の露光に要する時間は約10分間とした。 Incidentally, the time required for exposure of the entire disk surface was about 10 minutes. 現像処理に供して記録層2a上に同心円状のレジストパターンを形成した。 To form a concentric resist pattern was subjected to development processing recording layer 2a. FIG2に示すように、記録層2の記録トラック部2aはSiO 2膜を介してレジスト被覆され、ガードバンド部4aに相当する部分はSiO 2膜のみで被覆されレジストは無い状態にあった。 As shown in FIG2, the recording track portion 2a of the recording layer 2 is resist coated over the SiO 2 film, a portion corresponding to a guard band section 4a resist is coated only with the SiO 2 film was in no state.

【0052】次に、このレジストパターンを有するディスク1をRIE装置内に装入し、CHF 3ガスを用いてSiO 2膜を約30秒間だけ反応性イオンエッチングした。 Next, the disk 1 having the resist pattern was loaded into the RIE apparatus to the SiO 2 film by about 30 seconds reactive ion etching using CHF 3 gas. ガードバンド部4aの記録層2aを露出させた後に、ディスクをレジストアッシング装置内に装入し、記録トラック部2a上のレジストパターンを除去した。 After exposing the recording layer 2a of the guard band portions 4a, it was charged with the disk in the resist ashing apparatus, removing the resist pattern on the recording track portion 2a.

【0053】次に、SiO 2膜パターンを有するディスクをRIE装置内に装入し、ディスクを約200℃に加熱して、塩素と三塩化硼素を主成分とする混合ガスプラズマを用いてCoPt膜を約1分間だけ反応性イオンエッチングした。 Next was charged a disk having a SiO 2 film pattern in RIE apparatus, by heating the disc to about 200 ° C., CoPt film with a mixed gas plasma composed mainly of chlorine and boron trichloride was only reactive ion etching about 1 minute. 下地の基板面までエッチング除去することにより、FIG3に示すように、隣り合うCoPt記録層2aの相互間に帯状のガードバンドスペースを形成した。 By etching away down to the substrate surface of the base, as shown in fig3, to form a belt-like guard band spaces between mutually adjacent CoPt recording layer 2a. さらに、FIG4に示すように、アッシング装置によりレジスト3を除去した。 Furthermore, as shown in FIG4, the resist was removed 3 by ashing apparatus.

【0054】次に、ガードバンドスペースをもつディスクをスパッタ装置内に装入し、ガードバンドスペースが完全に埋まるまで約2分間スパッタし、FIG5に示すように、ディスク表面をSiO 2膜で覆った。 Next was charged a disk with a guard band space into the sputtering apparatus, and sputtering about 2 minutes until the guard band space is completely filled, as shown in fig5, covering the disk surface with SiO 2 film . これを取り出してイオンポリッシング装置内に装入し、記録磁性部材2aの上面が露出するまで約30秒間ディスク面を研磨した。 Removed which was loaded into the ion polishing apparatus, polishing for about 30 seconds the disk surface to the upper surface of the recording magnetic member 2a are exposed. これにより同時に記録層上に凹凸面をなしていたSiO 2膜4を平坦化する。 Thus simultaneously planarizing the SiO 2 film 4 that has no an uneven surface on the recording layer. その結果、FIG6に示すように、帯状の記録磁性部材2a及びガードバンド部材4aが交互に表面にあらわれたディスク1が得られた。 As a result, as shown in FIG6, the disk 1 band of the recording magnetic member 2a and the guard band member 4a appeared on the surface alternately was obtained.

【0055】得られたディスク1の一部を破壊し、その断面構造を電子顕微鏡で観察したところ、図1に示すように、記録磁性部材2aとガードバンド部材4aとは段差の無い実質的に平滑な表面をもつことが確認された。 [0055] The obtained destroyed some disk 1, observation of the sectional structure thereof by an electron microscope, as shown in FIG. 1, the recording magnetic member 2a and the guard band member 4a and substantially no step is to have a smooth surface was confirmed.

【0056】なお、本実施例におけるトータルプロセス時間の増分は生産設備増強によって十分に補い得る程度であり、ディスクコストの上昇は微々たる程度に抑えることができる。 [0056] Incidentally, the increment of the total process time in this embodiment is a degree which can adequately compensate the production facilities, increase in the disk cost can be suppressed to the extent insignificant.

【0057】また、上記実施例では磁性膜のパターニングに反応性イオンエッチングを用いた場合につき説明したが、イオンミリング法を用いることもできる。 [0057] In the above embodiment has been explained the case of using a reactive ion etching to pattern the magnetic film, it is also possible to use an ion milling method. その場合は磁性膜上にSiO 2を設ける必要はなく、直接レジストをコートしてレーザ露光した後に、磁性膜をイオンミリングによりパターニングしてレジストを除去し、S Its need not a SiO 2 provided on the magnetic layer if, after the laser exposure was coated directly resist, the resist is removed by the magnetic film is patterned by ion milling, S
iO 2を埋め込みイオンポリッシュすればよい。 the iO 2 may be embedded ion polish. ただし、加工精度は反応性イオンエッチングの方が優れていた。 However, machining accuracy was superior to the reactive ion etching.

【0058】磁性膜をパターニングする際のマスクあるいはガードバンドを成す材料にはSiO 2以外に適当に記録磁性以外の材料を自由に用いることができるが、好ましくは記録磁性部材よりも硬質で絶縁性の良好な材料がよい。 [0058] While the material forming the mask or guard band for patterning a magnetic film can be formed using the material other than suitably recorded magnetic besides SiO 2 freely, preferably insulating hard than the recording magnetic member good good material of. 製造プロセス上は特に材料に限定されず、例えば、マスクにCを用いる場合は酸素ベースガスでマスクパターニングすることができる。 The manufacturing process is not limited to particular materials, for example, when using C as a mask can mask patterned by oxygen-based gas.

【0059】上記した製造方法によって試作した本発明の磁気ディスクを用いて以下の手順で本発明の効果を明らかにする実証試験を実施した。 [0059] was carried out to clarify demonstration test the effects of the present invention by the following procedure using the magnetic disk of the present invention the prototype by the manufacturing method described above. また、以下に記述する実証試験においては本発明の効果を明確化する目的で従来技術に従って磁気記録ディスクを作成して同時に評価した。 It was also evaluated at the same time by creating a magnetic recording disk according to the prior art for the purpose of clarifying the effect of the present invention in the Test described below. この従来の磁気記録ディスクは、上記実施例において、ガラス基板上にCoPt磁性層をスパッタ形成した段階で取り出したもの(以降、比較ディスクAと略記する)と、20nmのCoPt記録層と10nmのSi The conventional magnetic recording disk, in the above embodiments, those removed CoPt magnetic layer on a glass substrate at the stage of sputtered (hereinafter abbreviated as Comparative disk A) and, CoPt recording layer of 20nm and 10nm of Si
2層(従来技術においては保護層として機能する)をスパッタした段階で取り出したもの(以降、比較ディスクBと略記する)の2種類である。 O 2 layer which was removed at the stage of sputtering (which functions as a protective layer in the prior art) (hereinafter abbreviated as Comparative disk B) is a two.

【0060】以下、本発明の実施例に係るディスク(以下、実施例ディスクCという)と、比較ディスクA及びBとについて試験した結果について説明する。 [0060] Hereinafter, a disk according to an embodiment of the present invention (hereinafter, referred to as examples disk C) and will be described results of testing for the comparative disks A and B.

【0061】先ず、得られたディスクサンプルと各々同一条件で作成した試料につきバイブレイティングサンプルマグネトメーター(以下、VSMという)を用いて静的磁気特性を測定した。 [0061] First, the obtained disc samples and each identical conditions samples per Vibe Rating sample magnetometer created in (hereinafter, referred to as VSM) was measured static magnetic properties with. 本発明のディスク試料は記録層中に記録磁性部材の他に非磁性部材を具備しているので、断面電子顕微鏡観察結果に基づき、正味の磁性部材の体積を求めて磁化の大きさを決定した。 Since the disc samples of the present invention is provided in addition to the non-magnetic member of the recording magnetic member in the recording layer, based on the cross-sectional electron microscopic observation, to determine the magnitude of the magnetization seeking the volume of net magnetic member .

【0062】VSM測定を図1に示した膜面内平面の記録トラックに平行な方向と垂直な方向の二通りで測定した結果、比較ディスクA及びBではトラック平行方向と垂直方向でVSMループに有意差は見られなかったが、 [0062] VSM measurement results measured in duplicate in a direction parallel and perpendicular to the recording track on the film surface plane shown in FIG. 1, the VSM loop compares disc A and a track parallel to and vertically in B no significant difference was not observed,
実施例ディスクCでは、記録層の磁性部材の磁化がトラックと平行に容易軸を有しているようであった。 In Example disk C, the magnetization of the magnetic member of the recording layer was appears to have easy axis parallel to the track. これは、記録トラックに平行に磁性部材が形状異方性を有したためと考えられ、磁気記録上は好ましいことであるとみなせる。 This is believed to be due to parallel to the magnetic member to a recording track having a shape anisotropy, regarded as that on the magnetic recording preferred.

【0063】飽和磁化の大きさは、実施例ディスクC、 [0063] The size of the saturation magnetization embodiment disks C,
比較ディスクA,Bともに約650emu/ccと有意差は見られなかった。 Comparative disk A, B are both significantly different from about 650emu / cc was observed.

【0064】保磁力は、比較ディスクAとBとの間では有意差は無く、2kOe程度であったが、実施例ディスクCでは測定方向で値が異なり、トラック平行方向に磁界を印加した場合が2.5kOe、トラックと垂直方向に磁界を印加した場合が1.5kOeと、形状異方性を反映する値を示した。 [0064] coercivity, significant differences between the comparative disk A and B is not, but there was about 2 kOe, different values ​​in Examples disk C in measuring direction, if a magnetic field is applied in the track direction parallel 2.5 kOe, when a magnetic field is applied to the track and perpendicular showed a 1.5 kOe, a value reflecting the shape anisotropy. 磁気記録の高密度化上は高保磁力であることが重要であるが、記録磁区は、記録トラック方向に配列するので本発明の磁気記録ディスクの構造は高密度化上、記録波長を短くする上でも静的磁気特性の観点から効果的であることが判明した。 Although the density of magnetic recording it is important that a high coercive force, the recording magnetic domain, so arranged in the recording track direction structure of the magnetic recording disk of the present invention is the density, on to shorten the recording wavelength But it has been found to be effective in view of the static magnetic properties.

【0065】次に、実施例と比較用の2.5インチディスク(ルブリカントは塗布した)を磁気ディスク試験装置に設置してトラッキングサーボ精度の比較評価と記録再生動作を行った。 Next, was compared evaluation and recording and reproducing operation of the installation to the tracking servo accuracy 2.5 inch disk for comparison with Example (Lubricant was applied) to the magnetic disk testing apparatus. 磁気ヘッドは本発明の狭トラック動作が可能なように特別に試作した横通電磁気抵抗効果再生型の薄膜ヘッドを用いた。 Magnetic head using a thin film head Yokodori electromagnetic resistive reproduction type narrow track operation has been specially prototype as possible of the present invention. 本発明の効果を明確にする上で、磁気ヘッドのトラック幅は記録再生ともに2μm In order to clarify the effects of the present invention, the track width of the magnetic head is 2μm to the recording and reproducing both
とし、定格回転動作における浮上量を実施例ディスクC And then, carrying out the flying height at the rated rotational operation example disk C
と比較ディスクAでは0.04μmとし、比較ディスクBでは0.03μmとし、どのディスクでもヘッド−メディアスペーシングが0.04μmになるようにした。 A comparative 0.04 .mu.m in the disc A and, as a comparative disk B at 0.03 .mu.m, head any disk - medium spacing was set to 0.04 .mu.m.
また、ディスク上の任意の半径に磁気ヘッドを位置合わせし、適当な信号を記録して機械的なトラックずれに対して再生信号が最大になるようにトラッキングする制御系を用いた。 Further, aligning the magnetic head at an arbitrary radius of the disk, the reproduction signal to mechanical track deviation to record the appropriate signal using the control system to track to maximize.

【0066】先ず、トラッキング性能試験の結果を記述する。 [0066] First, describing the results of the tracking performance test. 実施例ディスクCと比較ディスクA,Bともに適当な信号を記録した後のトラッキング特性はほぼ一致した。 EXAMPLE disc C and Comparative disk A, the tracking characteristic of the after recording B both appropriate signals were almost identical. 次に隣接するトラックには記録せずにその次のトラックに信号の記録を行い、記録しなかったトラックにヘッドを送ってディスクの回転を継続したところ、磁気記録信号のみからトラッキング信号を得る比較用のディスクはスピンドルモータの機械的回転精度が不足することに起因して次第にトラックのずれを発生し、隣接トラックの記録信号を次第に再生するようになったのに対して、本発明の磁気ディスクは未記録状態のトラックでもガードバンド部とは磁気信号出力が全く異なるため、トラッキングずれの発生は皆無であった。 Then the adjacent tracks do recording signal to the next track without recording, it was continued rotation of the disk to send the head to a track that has not recorded, compared to only a magnetic recording signal to obtain a tracking signal disk use generates a displacement of progressively track due to lack of mechanical rotation precision of the spindle motor, whereas now reproducing the recorded signal of the adjacent track gradually, magnetic disk of the present invention since completely different magnetic signal output from the guard band portion in the track of unrecorded state, generation of the tracking deviation was none. 従って、本発明の磁気ディスクでは実際のドライブで駆動する場合にとくにトラッキングサーボ信号を予め記入する必要は無く、フォーマット効率が向上してユーザデータ容量が増加する他、アドレス信号もディスク作成時の磁性膜パターニング時に記入可能なので、サーボライティングの必要が無いことが明らかである。 Accordingly, the magnetic disk of the present invention need not be pre-filled especially tracking servo signal when driven by actual drive, in addition to the user data capacity is increased to improve the format efficiency, address signals even when creating disk magnetic because that can be entered at the time of film patterning, it is clear that the need of the servo writing is not.

【0067】次に、図1に示すような狭トラックピッチの記録を行った場合のサイドフリンジ特性をオフトラック再生動作とオーバーライト動作とによって評価した。 Next, it was evaluated by the off-track playback operation and the over-write operation of the side fringe performances of the recording of the track pitch as shown in FIG.
用いた磁気ヘッドは前記したトラッキング評価に用いたものと同一である。 The magnetic head used was the same as that used in the tracking evaluation described above. 先ず、適当な位置のトラックに信号記録を行った後にトラッキング信号にオフセットをかけながら少しずつオフトラックをかけ、オフトラック量と再生信号強度の関係を測定した。 First, over the off-track gradually while applying an offset to the tracking signal after the track on the signal recording suitable location, to measure the relationship between the reproduction signal intensity and the off-track amount. その結果、比較ディスクA,Bではヘッドトラック幅の両側にマグネティックフォースマイクロスコープ(以下、MFMという)で観察して0.2μm程度ずつのサイドフリンジを発生したために、2.2μm程度オフトラックしないと信号出力が零レベルに定価しなかったのに対して、本発明のディスクではMFM観察では全くサイドフリンジの発生は無く、2μmのオフトラック即ち隣接トラック上では信号出力は零レベルに低下した。 As a result, comparison disk A, the head track width of the magnetic force microscope (hereinafter, MFM hereinafter) on both sides B to generated the side fringe of each about 0.2μm was observed, when no off-track about 2.2μm whereas the signal output is not price to zero level, the disk of the present invention, not occur at all of the side fringe in MFM observation, on 2μm offtrack i.e. adjacent track signals output was reduced to zero level.

【0068】さらに、隣接し合う3本のトラックに同一周波数で信号記録を行い、次に真中のトラックに1.5 [0068] Further, it performs signal recorded at the same frequency to track the three mutually adjacent, next the middle track 1.5
倍の周波数の信号を記録してオーバライト特性とクロストーク特性を調べた結果、比較ディスクA,Bでは隣接トラックの信号を拾うと共に十分なオーバライト特性が得にくかったのに対して、本発明のディスクでは隣接トラック信号は全く無く十分なオーバライト特性が得られた。 Record the signal times the frequency result of examining the overwrite characteristics and the crosstalk characteristic, whereas sufficient overwrite characteristics with pick comparison disk A, the signal of the adjacent track B, it was difficult to obtain, the present invention in the disk sufficient overwrite characteristics adjacent track signal without any was obtained. 従って実施例ディスクCは狭トラック化に対して大きな効果を有することが実証された。 Thus examples disc C has been demonstrated to have a significant effect on the narrow track.

【0069】次に、本発明のさらなる効果の一つを明らかにする目的で、実施例ディスクC、比較ディスクA及びBの三種類のディスクをコンタクトスタートストップ試験(以下、CSS試験という)に供して、その耐摩耗性を調べた。 Next, in order to clarify one of the further advantages of the present invention, examples disk C, the contact start-stop testing three kinds of disks of Comparative disks A and B (hereinafter, referred to as CSS test) were subjected to Te, it was examined their wear resistance. CSS試験はディスクの回転起動から定格回転に至るまでの時間(起動時間)を調べることと、5 CSS tests and to examine the time from starting rotation of the disk up to the rated speed (startup time), 5
万パス試験後のディスク表面状態を遮光観察して調べた。 The disk surface state after ten thousand path test were examined shading observed. 平坦な磁性膜上に保護膜を有していないルブリカントのみの比較ディスクAでは数百パス程度で起動時間が数10秒という異常な値を示し、従来構造の保護膜とルブリカントの両方を有する比較ディスクBは5万パス後も起動時間は2.5秒程度と正常値を維持した。 Showed abnormal value of activation time of several 10 seconds in Comparative disk several hundred path about the A only Lubricant having no protective film on a flat magnetic layer, compared with both a protective layer and Lubricant conventional structure disk B after 50,000 paths also start time was maintained 2.5 seconds to the normal value. これらに対して本発明の磁性膜上には保護膜を有さないがSi No protective film on the magnetic layer of the present invention to these but Si
2ガードバンドを有する実施例ディスクCでは比較ディスクBと同様の結果が得られ、遮光観察の結果も特に摩耗は認められなかった。 O 2 Example disc C Comparative disk B and similar results with guard bands obtained were not particularly wear observed the results of shading observed. これにより実施例ディスクC Thus examples disc C
は保護膜無しでもヘッドが硬質ガードバンド部材によって案内されながら走行するので保護膜有りの場合と同様の強い耐摩耗性を示すことが実証でき、狭いスペーシング化する上でも有利であることが確認された。 Confirmed that the head even without the protective film could be demonstrated to exhibit similar strong abrasion resistance in the case of there protective film so travels while being guided by a rigid guard band member, it is also advantageous for narrow spacing of It has been.

【0070】さらに、磁気抵抗効果再生ヘッド再生での優位性を実証する目的で再生ヘッドに通電した状態でヘッド荷重を増加させてヘッドを媒体面に接触させて走行試験を行った。 [0070] In addition, we running test in contact with the medium surface of the head by increasing the head load while energized reproducing head in order to demonstrate the superiority of the magnetoresistive read head reproduction. 比較ディスクAでは接触させた瞬間に再生信号強度は半分以下に低下した。 Reproduction signal intensity at the moment the comparison disc contacted the A was reduced to less than half. これは導電性の記録層に電流が分流したためである。 This is because a current is shunted to the conductive recording layer.

【0071】また、比較用のディスクBでは接触走行させても再生信号の低下は見られなかったが、接触動作を連続的に行う試験を何回か行ったところ、突然信号が出なくなる場合があった。 [0071] In addition, it is also allowed to contact running in the disk B for comparison was observed a decrease in the reproduction signal, the contact operation where the continuously performed tests were carried out several times, may not be out suddenly signal there were. 信号が出なくなった磁気ヘッドを調べてみると絶縁破壊に至っていることが明らかとなった。 It became clear that the Examining the magnetic head that signal is no longer out has led to the breakdown. これはディスクの保護膜が絶縁性であるために回転動作で静電気が蓄積し、それがヘッドに集中して放電を起こしたためと考えられる。 This static electricity accumulated in the rotating operation for the protective film of the disk is insulative, presumably because it caused the discharge concentrates on the head.

【0072】一方、実施例ディスクCでは接触走行時の再生信号強度は浮上時よりも10%程度低下したものの、連続して接触再生試験を行っても全く絶縁破壊は発生しなかった。 [0072] On the other hand, although the reproduction signal intensity during Example disc C in contact running was reduced about 10% than when flying, not the all caused dielectric breakdown even if the contact regeneration test continuously. 信号の低下が比較ディスクAに比べて僅かなのは導電性の記録層が絶縁性のガードバンドで隔絶されているためであり、絶縁破壊が発生しないのはディスク面が完全に絶縁性の保護膜で覆われていないためと考えられる。 The decrease of the signal is small in comparison with the comparative disc A is because the conductivity of the recording layer is isolated by an insulating guard band, the dielectric breakdown does not occur in the protective film of the disk surface fully insulating It is considered to be due to uncovered.

【0073】上記の実施例では記録磁性材料としてCo [0073] Co as the magnetic recording material in the above Example
Ptを用い、特に下地層を設けない場合についてのべたが、本発明は記録材料の種類や下地の有無には特に限定を受けず、記録材料としてCoNiPt,CoCrP Using Pt, especially was mentioned for the case without the underlayer, the present invention is not particularly subjected to limitation on the presence or absence of the type and underlying recording material, CoNiPt as a recording material, CoCrP
t,CoTaCr,CoNiCr,垂直磁化のCoCr t, CoTaCr, CoNiCr, of perpendicular magnetization CoCr
等を自由に用いることができる。 It can be used freely and the like. また、下地にNiPメッキ層やCr配向制御層あるいはNiFe軟磁性層等が設けられていても実施可能である。 It is also feasible though NiP plating layer and Cr orientation control layer or a NiFe soft magnetic layer or the like is provided on the base.

【0074】さらに、ガードバンド部材は図1及び図6 [0074] Further, the guard band member 1 and 6
に示したもののみに限られない。 Not limited only to those shown in the. 図7に示すように、横断面V字状のガードバンド部材4bを磁性部材2aの膜厚の途中まで設けてもよい。 As shown in FIG. 7, it may be provided a cross-section V-shaped guard band member 4b to the middle of the thickness of the magnetic member 2a. このようなガードバンド部材4bは、磁性部材2aの結晶配向を所定方向に制御するとともに、特殊なエッチング法を用いることにより形成される。 Such guard band member 4b controls the crystal orientation of the magnetic member 2a in a predetermined direction, it is formed by using a special etching technique. なお、ガードバンド部材4bは横断面V字状の他に横断面長円形状であってもよい。 Incidentally, the guard band member 4b may be a transverse surface length circular to other cross-sectional V-shape.

【0075】また、図8に示すように、横断面矩形状のガードバンド部材4cを磁性部材2cの下方の下地層5 [0075] Further, as shown in FIG. 8, the base layer below the cross-sectional rectangular shape of the guard band member 4c magnetic member 2c 5
と基板1の境界まで設けてもよい。 And it may be provided to the boundary of the substrate 1. 下地層5を有する媒体に対してもこのようなガードバンド部材4cを形成することができ、高密度の記録再生を実現できる。 It can also be formed such guard band member 4c relative to the medium having a base layer 5 can realize high-density recording and reproduction.

【0076】さらに、図9に示すように、横断面長円形状のガードバンド部材4dを基板1aの一部に入り込むように形成してもよい。 [0076] Further, as shown in FIG. 9, the transverse face length circular guard band member 4d may be formed so as to enter a portion of the substrate 1a. 下地層の無い媒体1において基板1aの途中までこのようなガードバンド部材4dを形成することができ、高密度の記録再生を実現できる。 In medium 1 without the underlying layer to the middle of the substrate 1a may be formed such guard band member 4d, it can realize high-density recording and reproduction.

【0077】本発明によれば、硬質ガードバンド部材により記録磁性部材を互いに分離することで、サイドフリンジが大幅に低減化され、狭トラック化が容易となる。 According to [0077] the present invention, by separating from each other the recording magnetic member of a hard guard band member, side fringe can be reduced greatly, thereby facilitating the narrow track.
また、保護膜が無くても高耐久性を達成でき、狭スペーシング化が容易となり、かつ狭ビットピッチ化が容易となり、総合的に磁気記録の高密度化に貢献する所多大である。 Moreover, even without the protective film can achieve high durability, narrow spacing of is facilitated, and narrow bit pitch becomes easy and a great place to contribute to the densification of overall magnetic recording. さらに、高価格化を招くことなく、硬質ガードバンド部材の形成が可能な磁気ディスク及びその製造方法が提供される。 Furthermore, without causing high cost, magnetic disk and a manufacturing method thereof capable of forming the hard guard band member.

【0078】また、本発明によれば、記録層下部に配置する膜に対する自由度が高く、面内媒体の場合は配向制御膜を配置する等して記録磁性厚を高密度記録対応の薄さに設定するのが簡単になり、垂直媒体では記録層下部に高透磁率層を配置する等して記録再生磁界を強めることが容易になる。 [0078] Further, according to the present invention, high degree of freedom for the film to place the recording layer lower, thin high density recording corresponding to equal the recording magnetic thickness placing an alignment control film in the case of in-plane medium It makes it easier to set, it is easy to enhance the equal and reproducing magnetic field to place the high permeability layer to the recording layer lower in perpendicular media. また、硬質のガードバンド部材を採用することによりCSS耐性を大幅に向上することができるので、将来的には接触記録方式に対しても十分に応用できる。 Further, since the CSS resistance by adopting the guard band member rigid can be significantly improved, and sufficiently applicable to the contact recording system in the future. さらに、絶縁性のガードバンド部材を採用すれば磁気抵抗効果型ヘッドをディスク面に接触させることも可能であり、総合的に磁気記録の高密度化に大いに寄与する。 Moreover, by employing an insulating guard band member magnetoresistive head is also possible to contact the disk surface, greatly contributes to densification of the overall magnetic recording.

【0079】次に、図10〜図13を参照しながら磁気記録装置及び磁気ヘッドについて説明する。 [0079] Next, a magnetic recording apparatus and a magnetic head will be described with reference to FIGS. 10 to 13.

【0080】図10に示すように、磁気記録装置20のターンテーブル上にディスク1が載置され、スピンドルモータ21によってディスク1がスピン回転されるようになっている。 [0080] As shown in FIG. 10, the disk 1 is placed on a turntable of the magnetic recording device 20, so that the disk 1 is spinning by a spindle motor 21. 磁気ヘッド22はアーム28の先端部に設けられている。 The magnetic head 22 is provided at an end portion of the arm 28. アーム28の基端部はボイスコイルモータ(VCM)29によって支持されている。 Base end portion of the arm 28 is supported by a voice coil motor (VCM) 29.

【0081】図11に示すように、マイクロプロセッサ35は、スピンドルドライバ31、VCMドライバ3 [0081] As shown in FIG. 11, the microprocessor 35, the spindle driver 31, VCM driver 3
9、ハードディスクドライブ(HDD)コントローラ3 9, hard disk drive (HDD) controller 3
3のそれぞれに接続され、これらに制御信号を送るようになっている。 3 are respectively connected to, and adapted to deliver a control signal thereto. このマイクロプロセサ35はサーボ制御とデータ処理の両方を実行するものである。 The microprocessor 35 is to perform both of the servo control and data processing. 例えばマイクロプロセサ35は、VCM29の動作を制御するために毎秒3000回のサンプリングを行なう一方で、サーボ制御のためのディジタル信号を生成する。 For example microprocessor 35, while performing per 3000 times of sampling to control operation of VCM29, it generates a digital signal for servo control. このディジタル信号をD/A変換してVCMドライバ39の制御に使用する。 The digital signal by D / A conversion is used to control the VCM driver 39. これによりアーム28のアクチュエータとしてのVCM29を駆動制御し、磁気ヘッド22をディスク1の記録面の所望箇所に近接又は接触させる。 Thereby driving control VCM29 as an actuator arm 28, it is close to or in contact with the magnetic head 22 to a desired position of the recording surface of the disk 1. また、 Also,
マイクロプロセッサ35は、ディスク1が所望速度で回転するように、モータ21及びスピンドルドライバ31 The microprocessor 35, as the disk 1 is rotated at a desired speed, the motor 21 and the spindle driver 31
を制御する。 To control.

【0082】さらに、書き込み/読み出しの処理もマイクロプロセッサ35の監視のもとで実行されるようになっている。 [0082] Furthermore, the process of writing / reading is adapted to be executed under the supervision of the microprocessor 35. すなわち、マイクロプロセッサ35は、HD That is, the microprocessor 35, HD
Dコントローラ33と信号をやりとりし、ディスク1に記録すべきデータを信号化し、これをリードライト回路32を介して磁気ヘッド22に送る。 To exchange D controller 33 and the signal, and the signal of the data to be recorded on the disk 1, and sends to the magnetic head 22 which via a read-write circuit 32. 一方、HDDコントローラ33はホストインターフェース34を介して外部のホストコンピュータ(図示せず)に接続されている。 On the other hand, HDD controller 33 is connected to an external host computer (not shown) via the host interface 34. ディスク1に記録すべきデータはホストコンピュータからHDDコントローラ33に入力され、この入力データがマイクロプロセッサ35にいったん送られ、マイクロプロセッサ35でデータ処理され、さらにこれがH Data to be recorded on the disk 1 is inputted from the host computer to the HDD controller 33, the input data is temporarily sent to the microprocessor 35, is data processed by the microprocessor 35, further which H
DDコントローラ33にもどされる。 It is returned to the DD controller 33. なお、アーム28 It should be noted that the arm 28
に複数のヘッドが搭載されている場合には、マイクロプロセッサ35はこれらの多重化処理を実行する。 A plurality of heads when mounted, the microprocessor 35 executes these multiplexing process.

【0083】次に、図12,13を参照しながら磁気ヘッドについて説明する。 [0083] Next, the magnetic head will be described with reference to FIGS. 12 and 13.

【0084】図12は磁気ヘッドユニット22の原理的構成を模式的に示した図である。 [0084] FIG. 12 is a diagram schematically showing the basic configuration of the magnetic head unit 22. 磁気ヘッドユニット2 The magnetic head unit 2
2には記録ヘッド23および再生ヘッド24が搭載されている。 Recording head 23 and the reproducing head 24 is mounted in two. 記録ヘッド23は通常用いられているような記録磁極にコイルが巻回された機構を備える薄膜タイプの誘導型ヘッドである。 Recording head 23 is a thin film type of inductive head having a mechanism which a coil is wound on the magnetic pole, such as those commonly used. この記録ヘッド23は、端子25 The recording head 23, terminal 25
を介して記録アンプ(図示せず)からデータ信号に応じた記録電流が供給されることによって、磁気ディスク1 By recording current is supplied in response to the data signal from the recording amplifier (not shown) via a magnetic disk 1
上にデータ信号を記録するものである。 It is intended for recording data signals thereon.

【0085】再生ヘッド24はスピンバルブ型磁気抵抗素子(MR素子)を用いた巨大磁気抵抗効果型ヘッド(GMRヘッド)である。 [0085] reproducing head 24 is a giant magnetoresistive head using a spin valve-type magneto-resistive element (MR element) (GMR head). この再生ヘッド24は磁気ディスク1上に記録されたデータ信号や、データ信号の記録に先立ち予め記録されたサーボ信号の再生を行う。 The reproducing head 24 is performed and the data signal recorded on the magnetic disk 1, playback of pre-recorded servo signal prior to recording of the data signal. 再生ヘッド24のMR素子には端子26を介してセンス回路(図示せず)からセンス電流が供給されるようになっている。 Play the MR element of the head 24 sense current from the sense circuit (not shown) via the terminal 26 are supplied. また、磁気ディスク1上に記録された信号に基づく磁界によるMR素子の磁気抵抗の変化がセンス電流による電圧変化、すなわち電圧信号として端子26より取り出され、この電圧信号が再生アンプ(図示せず)に供給されるようになっている。 Moreover, the voltage variation change of the magnetoresistance of the MR element due to the magnetic field based on the signal recorded on the magnetic disk 1 by the sense current, i.e. taken out from the terminal 26 as a voltage signal, the voltage signal (not shown) reproducing amplifier It is adapted to be supplied to.

【0086】図13に示すように、記録ヘッド23のスピンバルブ型MR素子は、ピン層(第1の磁性層)23 [0086] As shown in FIG. 13, the spin valve type MR device of the recording head 23, the pin layer (first magnetic layer) 23
a、フリー層(第2の磁性層)23b、非磁性導電層2 a, the free layer (second magnetic layer) 23b, a nonmagnetic conductive layer 2
3c、並びに1対のリード23dを備えている。 3c, and it has a pair of lead 23d. ピン層23aは磁気ディスク1の面に垂直方向に磁化が固定されている。 Pinned layer 23a is magnetized in a direction perpendicular to the plane of the magnetic disk 1 is fixed. フリー層23bは磁化が印加磁界により変化する。 Free layer 23b is changed by the magnetization is an applied magnetic field. 非磁性導電層23cはピン層23aとフリー層2 Nonmagnetic conductive layer 23c is pinned layer 23a and the free layer 2
3bとの間に挿入されている。 It is inserted between the 3b. 1対のリード23dはピン層23aのトラック幅方向両端部に接続されている。 A pair of lead 23d is connected to the track width direction end portions of the pin layer 23a.
各リード23dには端子25がそれぞれ接続されている。 Each lead 23d terminals 25 are respectively connected. 各端子25はリードライト回路32に接続されている。 Each terminal 25 is connected to the read-write circuit 32.

【0087】ピン層23aおよびフリー層23bは例えばCo−Fe膜からなり、非磁性導電層23cは例えばCu膜からなる。 [0087] pinned layer 23a and the free layer 23b is made of, for example, Co-Fe film, a nonmagnetic conductive layer 23c is made of, for example, a Cu film. ここで、フリー層23aはトラック幅方向に磁気ディスク面と並行に磁化が揃うように配向されている。 Here, the free layer 23a is oriented so that the magnetization in parallel with the magnetic disk surface in the track width direction are aligned. 信号磁界を記録ヘッド23のMR素子に印加すると、フリー層23bの磁化方向が決まり、このフリー層23bの磁化方向とピン層23aの磁化方向との関係で、1対のリード23d間で見たMR素子の電気抵抗が変化する。 The application of a signal magnetic field to the MR element of the recording head 23, determines the direction of magnetization of the free layer 23b, in relation to the magnetization directions of the pin layer 23a of this free layer 23b, as viewed between a pair of lead 23d electric resistance of the MR element changes. この電気抵抗の変化現象が巨大磁気抵抗効果である。 Change phenomenon in the electrical resistance is a giant magneto-resistance effect.

【0088】次に、図14〜図19を参照しながら本発明の他の好ましい実施の形態について説明する。 [0088] Next, another preferred embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 14 to 19.

【0089】図14にて符号1aは基板、符号2は記録層、符号11は磁石部材、符号12は記録磁性部材をそれぞれ示す。 [0089] reference numeral 1a in FIG. 14 is a substrate, reference numeral 2 denotes a recording layer, reference numeral 11 denotes a magnet member, reference numeral 12 denotes a recording magnetic member, respectively. 本実施形態では記録磁性部材12として2 As the recording magnetic member 12 in the embodiment 2
0nm厚のCoPt膜を、磁石部材11として20nm 0nm a CoPt film having a thickness, 20 nm as a magnet member 11
厚のTbCo膜を、基板1aとして2.5インチ径のガラス基板を各々用いた。 The TbCo film thickness, was used each glass substrate 2.5 inches in diameter as the substrate 1a.

【0090】記録層2は磁石部材11と記録磁性部材1 [0090] recording layer 2 and the magnet member 11 recording magnetic member 1
2とをディスク半径方向に交互に備えている。 It is provided alternately and 2 in the radial direction of the disc. 記録磁性部材12は記録トラックT1,T2,…Tnをそれぞれ形成し、磁石部材11は直流磁界を発生する記録トラック間領域M1,M2,…Mnをそれぞれ形成している。 The recording magnetic member 12 is formed recording tracks T1, T2, a ... Tn, respectively, the magnet member 11 forms a DC recording track region between M1 of the magnetic field generates, M2, ... Mn, respectively.
記録磁性部材12の磁化の向きは、長手記録媒体の場合は記録トラックに平行であり、垂直記録媒体の場合は膜面に垂直である。 Magnetization direction of the recording magnetic member 12, in the case of longitudinal recording medium is parallel to the recording track, in the case of perpendicular recording medium is perpendicular to the film plane.

【0091】一方、磁石部材11の磁化の向きは、横通電方式の磁気抵抗ヘッドで動作させる場合は膜面に垂直であり、縦通電方式の磁気抵抗ヘッドで動作させる場合は膜面内で記録トラックT1,T2,…Tnに垂直である。 [0091] On the other hand, the magnetization direction of the magnet member 11, when operating in a magnetoresistive head of the transverse excitation method is perpendicular to the film plane, when operating in a magnetoresistive head of the vertical conduction method is recorded in the film plane track T1, T2, is perpendicular to the ... Tn. なお、横通電方式であっても縦通電方式であっても磁石部材11の磁化の向きは1トラック毎に逆向きに設定するのがよい。 Incidentally, the magnetization direction of the transverse excitation method is an even vertical conduction method also magnet member 11 is preferably set in the opposite direction for each track.

【0092】図14に示す磁気ディスク1Dは、例えば以下の方法で製造することができる。 [0092] The magnetic disk 1D shown in FIG. 14, for example, be produced by the following method. 平坦面を成すガラス基板1a上に先ず平坦なCoPt膜をスパッタリングによって形成し、連続してSiO 2膜を10nmの膜厚まで形成する。 Formed by sputtering a first flat CoPt film on a glass substrate 1a forming a flat surface to form a SiO 2 film to a thickness of 10nm continuously. 次いで、SiO 2膜上にレジストをスピンコートし、光ディスクの原盤カッティングに使用されるレーザ露光装置を使用してコンセントリックにレジストの露光を行い、現像処理してレジストのパターニングを行う。 Then, by spin coating a resist on the SiO 2 film, resist exposure of the concentric using a laser exposure apparatus used in the master cutting of an optical disc, performing patterning of the resist was developed.

【0093】次に、RIE装置内に基板1を装入し、例えばCHF 3ガスを用いてSiO 2膜をエッチングする。 Next, was charged with the substrate 1 in the RIE apparatus, an SiO 2 film is etched by using, for example, CHF 3 gas. さらに、アッシングによりレジストパターンを除去し、CoPt膜上にSiO 2パターンを形成する。 Furthermore, the resist pattern is removed by ashing to form a SiO 2 pattern on CoPt film. 次いでRIE装置により例えば塩素を三塩化硼素の混合ガスを用いてCoPt磁性膜を基板面に至るまでエッチングする。 Then CoPt magnetic film is etched down to the substrate surface using a mixed gas of boron trichloride by e.g. chlorine RIE apparatus.

【0094】さらに、スパッタ装置を用いて磁気的に補償組成(Tb;22原子%程度)付近の高保磁力(10 [0094] Furthermore, magnetically compensation composition using a sputtering apparatus (Tb; about 22 atomic%) near the high coercive force (10
kOe程度)のTbCo垂直磁化膜を20nmの膜厚まで形成し、その後イオンポリッシング装置を用いて記録磁性部材12上に形成された余分なTbCo膜を除去し、磁気ディスク1Dを得た。 Forming a TbCo perpendicular magnetization film of about kOe) to a film thickness of 20 nm, then the excess TbCo film formed on the recording magnetic member 12 is removed by using an ion polishing apparatus to obtain a magnetic disk 1D.

【0095】磁石部材11として用いたTbCo膜は非晶質合金で記録磁性部材12に用いたCoPt膜よりも高硬度であるので、このまま保護膜を特に形成することなくディスク評価に供した。 [0095] Since the TbCo film used as the magnet member 11 is a high hardness than CoPt film used for the recording magnetic member 12 in the amorphous alloy was subjected to a disk evaluation without particular form in this state protective film.

【0096】ところで、得られたディスクを評価に供する前に磁石部材(磁石層)11の初期磁化方向を設定する必要がある。 [0096] Incidentally, it is necessary to set the initial magnetization direction of the magnet member (magnet layer) 11 prior to subjecting the obtained disk evaluation. これはエアースピンドルモータを備えた高精度位置決め可能な光磁気記録装置を用いて行なった。 This was performed using a high-precision positioning capable magnetooptical recording apparatus comprising an air spindle motor. 先ず、光磁気記録装置にディスク1Dを設置する。 First, placing the disc 1D magneto-optical recording apparatus.
そして、膜面に対して垂直に記録磁界を印加して1トラック毎に記録磁界の向きを上下反転させながら、TbC Then, while the direction of the recording magnetic field is vertically inverted every track by applying a recording magnetic field perpendicular to the film surface, TBC
o膜11に半導体レーザ光を集光照射して膜の磁化を上向きもしくは下向きに1トラックに亘り一様に整え、2 A semiconductor laser light o film 11 by irradiating light collecting uniformly trimmed over 1 track the magnetization of film upward or downward, 2
μmのトラックピッチで光ヘッドをディスク半径方向にコンセントリックに送った。 Sent to concentric optical head in the radial direction of the disk at a track pitch of [mu] m. このようにして磁石層11 Magnet layer 11 in this way
の磁化方向が設定されたディスク1Dを磁気記録再生試験装置内に設置して評価した。 Magnetization direction is evaluated by installing a configured disk 1D to magnetic recording in the regeneration test device.

【0097】図15は磁気ディスク1Dの評価試験に用いた磁気抵抗再生型磁気ヘッドを再生部のABS面から見込んで示す模式図である。 [0097] Figure 15 is a schematic diagram showing expects a magnetoresistive reproducing magnetic head used for the evaluation test of the magnetic disk 1D from the ABS of the reproduction unit. 図15に示す磁気ヘッドは本実施形態の磁気ディスク1Dを評価するために特別に試作したものである。 Magnetic head shown in FIG. 15 is obtained by specially trial to evaluate the magnetic disk 1D of the present embodiment. 図中にて符号41は磁化回転膜、 Reference numeral 41 denotes the magnetization rotation film in the figure,
符号42は磁化固定膜、符号7は導電性非磁性膜、符号8は磁化固着膜、符号6は電極膜をそれぞれ表わす。 Reference numeral 42 denotes the magnetization fixed layer, reference numeral 7 is conductive non-magnetic film, reference numeral 8 is the magnetization pinned layer, reference numeral 6 is an electrode film, respectively.

【0098】磁化回転膜41および磁化固定膜42にはCoFe膜を、導電性非磁性膜7にはCuを、磁化固着膜8にはFeMnを、電極膜6にはCuを各々用いた。 [0098] The CoFe film to magnetization rotation film 41 and the magnetization fixed layer 42, the Cu is the conductive non-magnetic film 7, a FeMn the magnetization pinned layer 8, the electrode film 6 using each of Cu.
ヘッド試作の最終工程で真空中磁界中熱処理に供して磁化固着膜8とそれに交換結合される磁化固定膜42の磁化の向きを図15の紙面表側から裏側へ向かう向き(すなわち媒体面に垂直な方向)に設定した。 Perpendicular to the direction (i.e. medium surface the magnetization direction directed from the plane front side of Figure 15 to the back side of the fixed magnetization layer 42 and the magnetization pinned layer 8 is subjected to a vacuum in a magnetic field heat treatment is exchange coupled thereto in the final step of the head prototype It was set in the direction).

【0099】実際に用いたヘッドは上部に絶縁膜と磁気シールドと記録下磁極を兼ねたCoZrNb膜、記録ギャップを介してNiFe上部磁極を形成したものであり、記録・再生トラック幅は2μmとした。 [0099] heads actually used CoZrNb film also serving as a recording under magnetic pole and the insulating film and the magnetic shield in the upper, which has formed a NiFe upper magnetic pole through the recording gap, the recording and reproducing track width was 2μm . 本実施例の磁気ディスクを回転させて磁気ヘッドを浮上量0.04 Flying height 0.04 a magnetic head by rotating the magnetic disk of Example
μmで浮上させ、記録再生試験を実施した。 Is floated in [mu] m, it was carried out recording and reproducing tests. その結果、 as a result,
本実施例の磁気ディスクでは未記録状態においても記録磁性部材12からの磁気信号と磁石部材11からの磁気信号とは異なるので、とくにサーボライトしない場合であっても安定してトラッキング動作を実現することができた。 Since the magnetic disk of this embodiment differs from the magnetic signal from the magnetic signal and the magnet member 11 from even the recording magnetic member 12 in the unrecorded state, particularly even when no servo writing to realize stable tracking operation it could be. これによって本発明の効果の一つが実証された。 This one of the effects of the present invention was confirmed by.

【0100】次に、図16に示すように、上記の磁気抵抗再生型磁気ヘッドを用いて本実施形態の磁気ディスク1Dに情報の記録再生を行った。 Next, as shown in FIG. 16 was performed recording and reproducing information on a magnetic disk 1D of the present embodiment using the above magnetoresistive reproducing magnetic head. 図16は動作中の未記録状態の記録トラック上を走行するヘッドの磁化回転膜41と記録媒体の様子を示す断面模式図である。 Figure 16 is a schematic sectional view showing a state of magnetization rotation film 41 and the recording medium of the head which travels on a recording track of unrecorded state during operation.

【0101】記録磁極への記録信号の印加と再生ヘッド電極6への横通電(図15のなかで磁化回転膜41中に図示した矢印に対して反対の向きに通電)とによって記録再生動作を行った。 [0102] The recording and reproducing operation by the application of the recording signal to the recording magnetic pole and the lateral energization of the reproducing head electrode 6 (energized in the opposite orientation relative to the arrow illustrated in magnetization rotation film 41 among FIG. 15) went. トラックT2上の磁化回転膜41 Magnetization rotation film 41 on the track T2
の磁化の向きは磁石部材M2及びM3からの漏洩磁界の向きに揃い、これは前述のように対称波形再生可能な磁化方向である。 The magnetization direction of matching the direction of the leakage magnetic field from the magnet member M2 and M3, which is a symmetrical waveform renewable magnetization direction as described above.

【0102】次に、記録動作を行うと磁化反転部からの漏洩磁界(媒体面に垂直で上向きもしくは下向き)に従って磁化回転膜41の磁化が回転し、抵抗が変化して対称波形の再生信号が得られた。 [0102] Next, the magnetization of the magnetization rotation film 41 is rotated in accordance with the leakage magnetic field from the magnetization reversal unit performs a recording operation (upward or downward perpendicular to the medium surface), the reproduced signal of the symmetrical waveform resistance is changed obtained. センス電流を増加させるとほぼ線形に再生信号強度は増加し、センス電流磁界と磁化固着膜8の磁化の向きが一致しているために磁化固着膜8の磁化方向の変化は見られなかった。 Reproduction signal intensity approximately linearly increasing the sense current increases, the magnetization direction of the change in the magnetization pinned layer 8 to the direction of magnetization coincides with the sensing current magnetic field and the magnetization pinned layer 8 was observed.

【0103】トラックT2に隣接するトラックT3で動作させた場合には、磁化回転膜41の磁化の向きはトラックT2のときとは逆向きになるが、再生動作上はトラックT2とT3とは等価なのでまったく問題無く記録再生動作させることができた。 [0103] When operated at the track T3 adjacent to the track T2 is comprised in the opposite direction than when the magnetization direction is the track T2 of the magnetization rotation film 41, equivalent to the on reproducing operation to the track T2 T3 so it was possible to recording and reproducing operations without any problem at all.

【0104】次に、再生ヘッドを記録済みのトラックから未記録のトラックへ少しずつディスク半径方向に送ってオフトラック特性を調べた結果、トラックピッチの2 [0104] Next, results of examining the offtrack characteristics sends the playhead little by little in the radial direction of the disc to the unrecorded track from the recorded tracks, the track pitch 2
μmの送りで全く信号は無くなり、本実施形態のディスク1Dがサイドフリンジを低下させる上でも効果的であることが明らかとなった。 Exactly signal feed μm disappears, disk 1D of the present embodiment was found to be effective even in lowering the side fringe. また、CSS試験を繰り返し5千回行ったが、とくに媒体面の摩耗は認められなかった。 Also, it was performed 5,000 times repeating the CSS test, especially of the medium surface wear was observed. ただし、媒体面にルブリカントを塗布してCSS試験した。 However, the CSS test by applying a Lubricant to the medium surface. これから明らかなように、磁石部材11が記録磁性部材12よりも硬質であれば、磁石部材11がガイドレール的に作用してCSS耐性を向上させる効果を有することが判明した。 As is obvious from, if harder than the magnet member 11 is the recording magnetic member 12, to have the effect of improving the CSS resistant magnet member 11 acts on the guide rails manner was found.

【0105】さらに、CSS耐性を向上する上では磁石部材11としてTbCoの代わりにフェライト系の磁石部材を用いることが効果的であり、そのような場合は保護膜無しでも5万パス程度の実用的なCSS耐性が期待でき、狭スペーシング化上も効果的である。 [0105] Further, in order to improve the CSS resistance is it is effective to use a magnet member ferritic instead of TbCo as a magnet member 11, also practical about 50,000 pass without protective film in such a case such CSS resistance can be expected, on the narrow spacing of is also effective. なお、上記実施例に用いたTbCo磁石層の場合は、媒体面上に1 In the case of TbCo magnet layers used in the above Examples, 1 on a medium surface
0nm程度のSiO 2保護膜を設けるのが実用上は好ましい。 Practical to dispose the 0nm about SiO 2 protective film is preferably.

【0106】(比較例)以上、本発明の効果を明確にした実験の結果を記述したが、比較例として従来の方法を用いて磁石部材を持たない磁気ディスクを作成し、これを上記実施形態のディスク1Dと同様に評価した。 [0106] (Comparative Example) Although the results of experiments to clarify the effects of the present invention have been described, to create a magnetic disk having no magnet member using conventional methods as comparative examples, the above-described embodiment this It was evaluated in the same manner as the disk 1D. 比較例ディスクの構成は、ガラス基板上に20nmのCoP Configuration of the comparative example discs, of 20nm on a glass substrate CoP
t記録層と10nmのSi0 2保護層をスパッタ形成し、その上にディスク1Dに用いたのと同様のルブリカントを塗布したものである。 The Si0 2 protective layer of t recording layer and 10nm by sputtering formation is obtained by applying the same Lubricant to that used in the disc 1D thereon. ディスク動作試験の条件は、ヘッド浮上量を0.03μmとしてヘッド/メディア間のスペーシングを変えたことを除き、ディスク1D Conditions of the disk operation test, except that changing the spacing between the head / media head flying height as 0.03 .mu.m, disk 1D
の条件と同じにした。 It was the same as that of the conditions.

【0107】比較例ディスクからヘッドの磁化回転膜4 [0107] Comparative Example magnetization rotation film 4 from the disk heads
1へ漏洩する磁界は未記録状態ではランダムなので、磁化回転膜41の磁化方向は平均的に見て磁化固着膜8と磁化固定膜42の漏洩磁界の向き、すなわち図15で紙面に垂直な(裏から表)に向く。 Since magnetic field leaking to 1 random in unrecorded state, perpendicular magnetization directions of the magnetization rotation film 41 direction of the leakage magnetic field of the magnetization pinned layer 8 and the magnetization fixed layer 42 on average, i.e. the paper surface in FIG. 15 ( directed from the back to the table). これに起因して記録磁区列を再生する際に、比較例ディスク媒体からの磁界が図15中にて紙面の表から裏に向かう場合は磁化回転膜41の磁化が回転して再生信号が得られたが、裏から表に向かう場合は磁化回転膜41の磁化は回転せず信号が得られなかった。 When reproducing the recorded magnetic domain sequence due to this, the reproduction signal magnetization rotates the magnetization rotation film 41 when the magnetic field of the Comparative Examples disk medium toward the back from the front of the sheet in in FIG. 15 to obtain but it was, signal without magnetization rotation of the magnetization rotation film 41 if directed from the rear to the front is not obtained. すなわち、比較例ディスクでは再生信号出力は得られたものの磁化転移の半分に相当する出力しか得られなかった。 Namely, in the comparative example disc was only output corresponding to half the magnetic transition although the reproduced signal output was obtained.

【0108】また、比較例ディスクにおいてはサーボライト無しでは未記録状態のトラックからは何等トラッキング情報が得られないので、次第にトラックずれを生じるとともに、サイドフリンジが大きくなって隣接トラックからの余分なノイズ信号の混入が大きくなるという不都合を生じた。 [0108] Furthermore, since not obtained any way tracking information from a track of unrecorded state without servo write in Comparative Examples disk, with progressively causing track deviation, extra noise from the adjacent track side fringe becomes larger caused such a disadvantage that contamination of the signal increases.

【0109】上記の実施例と比較例では、基板としてガラス、記録磁性層としてCoPt膜、磁石層としてTb [0109] In the comparative example the above-mentioned embodiment, the glass as the substrate, CoPt film as a recording magnetic layer, Tb as a magnet layer
Co膜、保護膜としてSiO 2を使用した例を述べたが、本発明はとくにこれらの材料のみに限定されず、基板にAl等の金属を、記録磁性部材12にCoCrT Co film has been described an example of using SiO 2 as the protective film, the present invention is not particularly limited to these materials, a metal such as Al substrate, CoCrT the recording magnetic member 12
a、CoNiPt、CoCr、Baフェライト等を、磁石部材11にフェライト、SmCo、NdFe、MnB a, CoNiPt, CoCr, a Ba ferrite, ferrite magnet member 11, SmCo, NdFe, MnB
i等を、また保護膜としてC等の様々な材料を用いることができる。 I-like, also may be formed using a variety of materials such as C as a protective film. さらに、記録磁性部材11の下地にCr等の配向制御層、NiFe等の高透磁率層等が配置されていてもよい。 Further, the orientation control layer such as Cr underlayer of the recording magnetic member 11, the high-permeability layer or the like may be arranged such NiFe.

【0110】また、磁石部材の横断面形状も多用な変形例があげられ、矩形状以外にV字状、半円状でもよい。 [0110] In addition, the cross-sectional shape of the magnet member even modification of heavy can be mentioned, V-shape than the rectangular shape, or a semicircular shape.

【0111】また、上記実施形態の磁気ディスク1Dでは磁石部材11を設ける領域の深さを記録磁性層12の膜厚と同じにしたが、磁石部材11の深さ(厚さ)は必ずしも記録磁性層12の膜厚と同じであることを要しない。 [0111] Further, although the depth of the region providing the magnetic member 11 in the magnetic disk 1D of the embodiment the same as the thickness of the recording magnetic layer 12, the depth of the magnet member 11 (thickness) is not always recorded magnetic need not be the same as the thickness of the layer 12. 例えば図17に示すディスク1Eでは、磁石部材1 In the disk 1E shown in FIG. 17 for example, the magnet member 1
1aの深さを記録磁性部材12aの膜厚より小さくしている。 The depth of 1a is smaller than the thickness of the recording magnetic member 12a. また、図18に示すように、中間層(下地層)5 Further, as shown in FIG. 18, an intermediate layer (underlying layer) 5
を基板1aと記録層2との間に有するディスク1Fでは、磁石部材11bの深さを中間層3の膜厚と記録磁性部材12bの膜厚とを合計したものとしてもよい。 The the disk 1F having between the substrate 1a and the recording layer 2 may be the sum and the thickness of the recording depth and thickness of the intermediate layer 3 magnetic member 12b of the magnet member 11b. さらに、図19に示すディスク1Gでは、磁石部材11cの深さを記録磁性部材12cの膜厚より大きくしている。 Further, in the disk 1G shown in FIG. 19, and increasing the depth of the magnet member 11c than the thickness of the recording magnetic member 12c.

【0112】また、スピンバルブ構造以外の磁気抵抗効果形再生素子、例えば異方性磁気抵抗膜や、人工格子的な多層構造膜や、グラニュラー膜等に対しても同様の効果を得ることができる。 [0112] Further, the magnetoresistance effect type reproducing element other than the spin-valve structure, for example, anisotropic magnetoresistive film, and the artificial lattice specific multilayer film, it is possible to obtain the same effect on granular film, etc. . すなわち、再生信号の対称性を得る上で何等かの動作点バイアスを必要とする磁気抵抗効果素子全般に対して同様の効果を奏する。 That is, the same effect with respect to the magnetoresistive element in general that require something like one of the operating point bias in obtaining the symmetry of the reproduced signal.

【0113】本実施形態の磁気ディスクを用いれば、磁気抵抗効果型再生ヘッドを有する磁気記録再生装置において、大きなセンス電流を通電できるので高い再生信号強度を得ることができ、良好な再生信号波形の対称性が得られるのでエラーレートの少ない再生動作が安定してでき、再生ヘッド構造が簡略化されるので安価にヘッドを製造できる。 With the [0113] magnetic disk of this embodiment, the magnetic recording and reproducing apparatus having a magnetoresistive read head, it is possible to obtain a high reproduced signal strength since it passing a large sense current, a good reproduced signal waveform since symmetry is obtained less playback operation error rate can be stabilized, it can be manufactured head inexpensively because reproducing head structure is simplified. さらに付随的効果として、サイドフリンジの少ない記録が可能となり、かつ安定したトラッキング動作が可能となって狭トラック化が容易になり、かつ狭スペーシング動作をも可能たらしめる。 Further as incidental effects, less side fringe recording is possible, and stable tracking operation can and become in easier to track narrowing, and that make it possible to narrow the spacing operation.

【0114】 [0114]

【発明の効果】本発明によれば、硬質ガードバンド部材により記録磁性部材を互いに分離することで、サイドフリンジが大幅に低減化され、狭トラック化が容易となる。 According to the present invention, by separating from each other the recording magnetic member of a hard guard band member, side fringe can be reduced greatly, thereby facilitating the narrow track. また、保護膜が無くても高耐久性を達成でき、狭スペーシング化が容易となり、かつ狭ビットピッチ化が容易となり、総合的に磁気記録の高密度化に貢献する所多大である。 Moreover, even without the protective film can achieve high durability, narrow spacing of is facilitated, and narrow bit pitch becomes easy and a great place to contribute to the densification of overall magnetic recording. さらに、高価格化を招くことなく、硬質ガードバンド部材の形成が可能な磁気ディスク及びその製造方法が提供される。 Furthermore, without causing high cost, magnetic disk and a manufacturing method thereof capable of forming the hard guard band member.

【0115】また、本発明によれば、記録層下部に配置する膜に対する自由度が高く、面内媒体の場合は配向制御膜を配置する等して記録磁性厚を高密度記録対応の薄さに設定するのが簡単になり、垂直媒体では記録層下部に高透磁率層を配置する等して記録再生磁界を強めることが容易になる。 [0115] Further, according to the present invention, high degree of freedom for the film to place the recording layer lower, thin high density recording corresponding to equal the recording magnetic thickness placing an alignment control film in the case of in-plane medium It makes it easier to set, it is easy to enhance the equal and reproducing magnetic field to place the high permeability layer to the recording layer lower in perpendicular media. また、硬質のガードバンド部材を採用することによりCSS耐性を大幅に向上することができるので、将来的には接触記録方式に対しても十分に応用できる。 Further, since the CSS resistance by adopting the guard band member rigid can be significantly improved, and sufficiently applicable to the contact recording system in the future. さらに、絶縁性のガードバンド部材を採用すれば磁気抵抗効果型ヘッドをディスク面に接触させることも可能であり、総合的に磁気記録の高密度化に大いに寄与する。 Moreover, by employing an insulating guard band member magnetoresistive head is also possible to contact the disk surface, greatly contributes to densification of the overall magnetic recording.

【0116】本発明の磁気ディスクによれば、媒体磁界によって磁気抵抗効果形ヘッドに適当な動作点バイアスを印加するので、簡単な再生素子構造を用いても対称波型の安定した再生動作が可能となり、再生素子の製造が簡便になる。 [0116] According to the magnetic disk of the present invention, since applying a suitable operating point bias the magnetoresistive type head by the media field, can play operation stable symmetric wave even with simple reproduction device structure next, the simple manufacture of the playback device.

【0117】とくにサーボライトしない場合であっても安定して高精度のトラッキング動作をすることが可能となり、サイドフリンジの少ない記録が実現でき、かつ狭スペーシング動作がしやすくなるので、総合的に磁気記録の高密度化と高性能化に寄与するところが大である。 [0117] Particularly stable even in a case where no servo write becomes possible to highly accurate tracking operation, less side fringe recording can be realized, and since the narrow spacing operation is likely to, comprehensive which contributes However larger high density and high performance of the magnetic recording.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】図1は、本発明の第1実施形態に係る磁気ディスクの一部を切り欠いて記録トラック部分を拡大して示す拡大斜視図。 FIG. 1 is an enlarged perspective view showing an enlarged recording track portion by notching part of a magnetic disk according to the first embodiment of the present invention.

【図2】図2は、磁気ディスクの製造方法を説明するために製造プロセスの一工程にあるディスクを示す縦断面図。 Figure 2 is a longitudinal cross-sectional view showing a disk in one step of the manufacturing process for explaining a manufacturing method of a magnetic disk.

【図3】図3は、磁気ディスクの製造方法を説明するために製造プロセスの一工程にあるディスクを示す縦断面図。 Figure 3 is a longitudinal sectional view showing a disk in one step of the manufacturing process for explaining a manufacturing method of a magnetic disk.

【図4】図4は、磁気ディスクの製造方法を説明するために製造プロセスの一工程にあるディスクを示す縦断面図。 Figure 4 is a longitudinal cross-sectional view showing a disk in one step of the manufacturing process for explaining a manufacturing method of a magnetic disk.

【図5】図5は、磁気ディスクの製造方法を説明するために製造プロセスの一工程にあるディスクを示す縦断面図。 Figure 5 is a longitudinal cross-sectional view showing a disk in one step of the manufacturing process for explaining a manufacturing method of a magnetic disk.

【図6】図6は、磁気ディスクを示す縦断面図。 Figure 6 is a longitudinal sectional view of a magnetic disk.

【図7】図7は、他の実施形態の磁気ディスクを示す縦断面図。 Figure 7 is a longitudinal sectional view of a magnetic disk of the other embodiments.

【図8】図8は、他の実施形態の磁気ディスクを示す縦断面図。 Figure 8 is a longitudinal sectional view of a magnetic disk of the other embodiments.

【図9】図9は、他の実施形態の磁気ディスクを示す縦断面図。 Figure 9 is a longitudinal cross-sectional view showing a magnetic disk of the other embodiments.

【図10】図10は、磁気記録装置の全体概要斜視図。 Figure 10 is a whole schematic perspective view of a magnetic recording apparatus.

【図11】図11は、磁気記録装置の制御系を示す構成ブロック図。 Figure 11 is a block diagram showing a control system of the magnetic recording apparatus.

【図12】図12は、磁気ヘッドユニット及び磁気ディスクを模式的に示す部分拡大概要図。 Figure 12 is a partial enlarged schematic view showing a magnetic head unit and the magnetic disk schematically.

【図13】図13は、GMR型記録ヘッドの主要部を模式的に示す斜視図。 Figure 13 is a perspective view schematically showing a main portion of the GMR type recording head.

【図14】図14は、本発明の第2実施形態に係る磁気ディスクの一部を切り欠いて記録トラック部分を拡大して示す拡大斜視図。 Figure 14 is an enlarged perspective view showing an enlarged recording track portion by notching part of a magnetic disk according to a second embodiment of the present invention.

【図15】図15は、本発明の効果を実証するための動作試験に用いた磁気抵抗効果型再生素子を示す縦断面図。 Figure 15 is a longitudinal cross-sectional view showing a magnetoresistive effect reproducing device used for operation test for demonstrating the effect of the present invention.

【図16】図16は、第2実施形態に係る磁気ディスクと動作中のヘッドとの磁化の向きの関係を示す模式図。 Figure 16 is a schematic view showing the magnetization direction of the relationship between the magnetic disk and the head during operation according to the second embodiment.

【図17】図17は、本発明の他の実施形態に係る磁気ディスクの記録トラック部分を示す縦断面図。 Figure 17 is a longitudinal cross-sectional view showing a recording track of the magnetic disk according to another embodiment of the present invention.

【図18】図18は、本発明の他の実施形態に係る磁気ディスクの記録トラック部分を示す縦断面図。 Figure 18 is a longitudinal cross-sectional view showing a recording track of the magnetic disk according to another embodiment of the present invention.

【図19】図19は、本発明の他の実施形態に係る磁気ディスクの記録トラック部分を示す縦断面図である。 Figure 19 is a longitudinal sectional view showing a recording track of the magnetic disk according to another embodiment of the present invention.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1a…基板、2…記録層、2a…記録磁性部材、3…レジスト層、4a…ガードバンド部材、5…下地層、6… 1a ... substrate, 2 ... recording layer, 2a ... recording magnetic member, 3 ... resist layer, 4a ... guard band member, 5 ... underlayer, 6 ...
再生ヘッド電極(Cu電極膜)、7…導電性非磁性膜(Cu膜)、8…磁化固着膜、11,M2,M3,M Reproducing head electrode (Cu electrode film), 7 ... conductive non-magnetic film (Cu film), 8 ... magnetization pinned film, 11, M2, M3, M
4,M5…磁石部材(TbCo膜)、12…記録磁性部材(CoPt膜)、41…磁化回転膜、42…磁化固定膜。 4, M5 ... magnet member (TbCo film), 12 ... recording magnetic member (CoPt film), 41 ... magnetization rotation film, 42 ... fixed magnetization layer.

Claims (17)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 基板と、この基板上に設けられ、情報を磁気的に記録再生する磁性部材でつくられた記録トラック部と、互いに隣接する前記記録トラック部間にトラック方向に実質的に連続するように設けられ、前記磁性部材よりも硬く、かつ非磁性の材料でつくられたガードバンド部材と、を具備し、 上記ガードバンド部材の下方領域には、上記磁性部材が存在しないか、又は、上記記録トラック部をなす磁性部材の厚みとは異なる厚みの磁性部材が設けられていることを特徴とする磁気ディスク。 And 1. A substrate, a continuous this is provided on the substrate, the information recording track portion made of a magnetic member to be reproduced magnetically recording, substantially in the track direction between the recording track portion adjacent to each other provided so that the harder than the magnetic member, and includes a guard band member made of non-magnetic material, and the lower region of said guard band member, or not the magnetic member is present, or , a magnetic disk, wherein a magnetic member of different thicknesses are provided and the thickness of the magnetic member having the recording track portion.
  2. 【請求項2】 上記ガードバンド部材の電気抵抗のほうが、上記記録トラック部をなす磁性部材の電気抵抗よりも大きいことを特徴とする請求項1記載の磁気ディスク。 Wherein more of the electrical resistance of said guard band member, a magnetic disk according to claim 1, wherein a greater than the electric resistance of the magnetic member having the recording track portion.
  3. 【請求項3】 上記磁性部材と上記ガードバンド部材とで形成されるディスク表面が実質的に平坦であることを特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載の磁気ディスク。 3. A magnetic disk according to claim 1 or 2, characterized in that the disk surfaces formed between the magnetic member and the guard band member is substantially flat.
  4. 【請求項4】 上記ガードバンド部材の厚みは、上記記録トラック部をなす磁性部材の厚みと実質的に同じであることを特徴とする請求項1記載の磁気ディスク。 The thickness of wherein said guard band member, a magnetic disk according to claim 1, characterized in that the same essentially to the thickness of the magnetic member forming the recording track portion.
  5. 【請求項5】 上記ガードバンド部材の厚みは、上記記録トラック部をなす磁性部材の厚みより小さいことを特徴とする請求項1記載の磁気ディスク。 Thickness of claim 5 wherein said guard band member, a magnetic disk according to claim 1, wherein a smaller than the thickness of the magnetic member having the recording track portion.
  6. 【請求項6】 上記ガードバンド部材の厚みは上記記録トラック部をなす磁性部材の厚みより大きく、上記ガードバンド部材の一部が基板のなかに埋設されていることを特徴とする請求項1記載の磁気ディスク。 Wherein the thickness of said guard band member is greater than the thickness of the magnetic member having the recording track portion, according to claim 1, wherein a portion of said guard band member is characterized in that it is embedded Some substrate of the magnetic disk.
  7. 【請求項7】 さらに、上記磁性部材と基板との間にN 7. Further, N between the magnetic member and the substrate
    iPメッキ層、Cr配向制御層、NiFe軟磁性層のうちのいずれかからなる下地層を有し、 上記ガードバンド部材の厚みは、この下地層の厚みと上記磁性部材の厚みとを合計した厚みと実質的に同じであることを特徴とする請求項1記載の磁気ディスク。 iP plating layer, Cr orientation control layer has a base layer made of any of NiFe soft magnetic layer, the thickness of the guard band member has a thickness which is the sum of the thicknesses of the above magnetic member of the base layer the magnetic disk according to claim 1, wherein the substantially the same as.
  8. 【請求項8】 基板と、この基板上に設けられ情報を磁気的に記録再生する磁性部材でつくられた記録トラック部と、互いに隣接する前記記録トラック部間にトラック方向に実質的に連続するように設けられ、上記記録トラック部をなす磁性部材とは磁気的に異なる材料でつくられ、外部に直流磁界を供給する磁石部材と、を備えることを特徴とする磁気ディスク。 8. A substrate, a recording track portion made of a magnetic member for recording and reproducing magnetically the provided information on the substrate, substantially continuous in the track direction between the recording track portion adjacent to each other provided such, the magnetic member having the recording track portions made of different materials in magnetic, magnetic disk characterized by comprising a magnet member for supplying a DC magnetic field to the outside.
  9. 【請求項9】 上記磁性部材と上記磁石部材とで形成されるディスク表面が実質的に平坦であることを特徴とする請求項8記載の磁気ディスク。 9. The magnetic disk according to claim 8, wherein the disc surface to be formed by the above magnetic member and the magnet member is substantially flat.
  10. 【請求項10】 上記磁石部材の厚みは、上記記録トラック部をなす磁性部材の厚みと実質的に同じであることを特徴とする請求項8記載の磁気ディスク。 The thickness of 10. The magnet member, a magnetic disk according to claim 8, characterized in that the same essentially to the thickness of the magnetic member forming the recording track portion.
  11. 【請求項11】 上記磁石部材の厚みは、上記記録トラック部をなす磁性部材の厚みより小さいことを特徴とする請求項8記載の磁気ディスク。 11. The thickness of the magnet member, a magnetic disk according to claim 8, wherein the smaller than the thickness of the magnetic member having the recording track portion.
  12. 【請求項12】 上記磁石部材の厚みは上記記録トラック部をなす磁性部材の厚みより大きく、上記磁石部材の一部が基板のなかに埋設されていることを特徴とする請求項8記載の磁気ディスク。 The thickness of 12. The magnet member is larger than the thickness of the magnetic member having the recording track portion, the magnetic according to claim 8, wherein a part of said magnet member is characterized in that it is embedded Some substrate disk.
  13. 【請求項13】 さらに、上記磁性部材と基板との間にNiPメッキ層、Cr配向制御層、NiFe軟磁性層のうちのいずれかからなる下地層を有し、 上記磁石部材の厚みは、この下地層の厚みと上記磁性部材の厚みとを合計した厚みと実質的に同じであることを特徴とする請求項8記載の磁気ディスク。 13. In addition, NiP plated layer between the magnetic member and the substrate, Cr orientation control layer has a base layer made of any of NiFe soft magnetic layer, the thickness of the magnet member, the the magnetic disk according to claim 8, wherein the underlying layer is the same as the thickness of the thickness and the magnetic member to have a thickness substantially the sum of.
  14. 【請求項14】 上記磁石部材は、記録用磁気ヘッドによって磁化方向が変化しないような大きさの保磁力を有する材料でできていることを特徴とする請求項8記載の磁気ディスク。 14. The magnet member, a magnetic disk according to claim 8, characterized in that a material having a size of coercive force so that the magnetization direction does not change by the recording magnetic head.
  15. 【請求項15】 (a)実質的に平坦な表面をもつ基板上に磁性材料からなる磁性層を形成する工程と、 (b)この磁性層の一部を除去してトラック方向に実質的に連続するように互いに隣接する記録トラック部を規定するガードバンドスペースをパターン形成する工程と、 (c)このガードバンドスペースを、前記磁性層をなす磁性材料よりも硬く、かつ非磁性の材料からなるガードバンド部材で満たす工程と、 (d)このガードバンド部材及び前記磁性層の表面がそれぞれ実質的に平坦になるように加工する工程と、を備えることを特徴とする磁気ディスクの製造方法。 15. A (a) on a substrate having a substantially planar surface and forming a magnetic layer of a magnetic material, (b) substantially in the track direction by removing part of the magnetic layer a step of patterning the guard band space which defines the recording track portions adjacent to each other as successive, consisting (c) the guard band space, harder than the magnetic material forming the magnetic layer, and a non-magnetic material a step of filling with the guard band member, (d) method for producing a magnetic disk, wherein a surface of the guard band member and the magnetic layer comprising the step of processing to be substantially flat, respectively, the.
  16. 【請求項16】 (A)実質的に平坦な表面をもつ基板上に磁性材料からなる磁性層を形成する工程と、 (B)この磁性層の一部を除去してトラック方向に実質的に連続するように互いに隣接する記録トラック部を規定するスペースをパターン形成する工程と、 (C)このスペースを、前記磁性材料とは磁気的に異なる材料でつくられ、外部に直流磁界を供給する磁石部材で満たす工程と、 (D)この磁石部材及び前記磁性層の表面がそれぞれ実質的に平坦になるように加工する工程と、を備えることを特徴とする磁気ディスクの製造方法。 To 16. (A) on a substrate having a substantially planar surface and forming a magnetic layer of a magnetic material, (B) substantially in the track direction by removing part of the magnetic layer a step of pattern space that defines the recording track portion as successive mutually adjacent forming, (C) this space, the a magnetic material made of a different material magnetically, magnet supplies a DC magnetic field to the outside a step of filling with members, (D) a manufacturing method of a magnetic disk, wherein a surface of the magnet member and the magnetic layer comprising the step of processing to be substantially flat, respectively, the.
  17. 【請求項17】 基板と、この基板上に設けられ、情報を磁気的に記録再生する磁性部材でつくられた記録トラック部と、互いに隣接する前記記録トラック部間にトラック方向に実質的に連続するように設けられ、前記磁性部材よりも硬く、かつ非磁性の材料でつくられたガードバンド部材と、を具備し、上記ガードバンド部材の下方領域には、上記磁性部材が存在しないか、又は、上記記録トラック部をなす磁性部材の厚みとは異なる厚みの磁性部材が設けられている磁気ディスクに対して、情報を磁気的に読み込み書き込む磁気ヘッドと、外部装置から送られてくる書き込み情報をデータ処理し、データ処理された情報をリードライト回路を介して前記磁気ヘッドに送る制御部と、を備え、 上記磁気ヘッドはスピンバルブ型の磁気抵抗素 17. A substrate, continuous this is provided on the substrate, the information recording track portion made of a magnetic member to be reproduced magnetically recording, substantially in the track direction between the recording track portion adjacent to each other provided so that the harder than the magnetic member, and includes a guard band member made of non-magnetic material, and the lower region of said guard band member, or not the magnetic member is present, or , the magnetic disk the magnetic member of a different thickness than the thickness of the magnetic members that constitute the recording track portion is provided, a magnetic head for writing magnetically reads information, write information transmitted from the external device and data processing, the information data processed through the read-write circuit and a control unit for sending to said magnetic head, a magnetic resistance element of the magnetic head spin valve を具備し、 このスピンバルブ型の磁気抵抗素子は、 上記リードライト回路に接続され、上記磁気ディスクの面に垂直方向に磁化が固定された第1の磁性層と、 磁化が印加磁界により変化する第2の磁性層と、 この第2の磁性層と上記第1の磁性層との間に挿入された非磁性導電層と、 を備えていることを特徴とする磁気記録装置。 Comprising a magnetoresistive element of the spin-valve is connected to the read-write circuit, a first magnetic layer magnetized in a direction perpendicular to the plane of the magnetic disk is fixed, the magnetization is changed by an applied magnetic field a second magnetic layer, the magnetic recording apparatus characterized by comprising a nonmagnetic conductive layer interposed between the second magnetic layer and the first magnetic layer.
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