JP3353262B2 - キャパシタンス形成方法 - Google Patents
キャパシタンス形成方法Info
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- JP3353262B2 JP3353262B2 JP27168794A JP27168794A JP3353262B2 JP 3353262 B2 JP3353262 B2 JP 3353262B2 JP 27168794 A JP27168794 A JP 27168794A JP 27168794 A JP27168794 A JP 27168794A JP 3353262 B2 JP3353262 B2 JP 3353262B2
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- capacitance
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はキャパシタンス形成方法
に係り、特に、所定形状の単位キャパシタンスをあらか
じめ定めておき、この単位キャパシタンスを並列接続し
て複数の定数に対応する容量のキャパシタンスを形成す
るキャパシタンス形成方法に関する。
に係り、特に、所定形状の単位キャパシタンスをあらか
じめ定めておき、この単位キャパシタンスを並列接続し
て複数の定数に対応する容量のキャパシタンスを形成す
るキャパシタンス形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】本発明の発明者等は特願平０５−３５０
８５６号において、この種キャパシタンス形成方法を提
案している。このキャパシタンス形成方法は、図６に示
すように、所定の単位キャパシタンスを整列し、ここか
ら、隣接する単位キャパシタンスが同一キャパシタンス
に使用されないように、単位キャパシタンスを割り当て
るものであり、単位キャパシタンスの位置に起因した容
量のバラツキを解消することによってキャパシタンス相
互の相対精度を補償している。
８５６号において、この種キャパシタンス形成方法を提
案している。このキャパシタンス形成方法は、図６に示
すように、所定の単位キャパシタンスを整列し、ここか
ら、隣接する単位キャパシタンスが同一キャパシタンス
に使用されないように、単位キャパシタンスを割り当て
るものであり、単位キャパシタンスの位置に起因した容
量のバラツキを解消することによってキャパシタンス相
互の相対精度を補償している。
【０００３】以上の例では略均等な容量のキャパシタン
スは良好な相対精度で形成されるが、２進数の各桁の重
みに対応した容量を形成するとき、すなわち容量の差が
大きいキャパシタンスを形成する場合には、近接した単
位キャパシタンスを採用せざるを得なくなる。
スは良好な相対精度で形成されるが、２進数の各桁の重
みに対応した容量を形成するとき、すなわち容量の差が
大きいキャパシタンスを形成する場合には、近接した単
位キャパシタンスを採用せざるを得なくなる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような従
来の問題点を解消すべく創案されたもので、２進数の各
桁の重みに対応したキャパシタンスのための単位キャパ
シタンス選択の方法を提供することを目的とする。
来の問題点を解消すべく創案されたもので、２進数の各
桁の重みに対応したキャパシタンスのための単位キャパ
シタンス選択の方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係るキャパシタ
ンス形成方法は、順次単位キャパシタンスの集合を選択
して上位桁から割り当てていくもので、未選択の単位キ
ャパシタンスの千鳥配列と正方格子状配列の単位キャパ
シタンス選択を交互に行い、均等分散配列を実現するも
のである。
ンス形成方法は、順次単位キャパシタンスの集合を選択
して上位桁から割り当てていくもので、未選択の単位キ
ャパシタンスの千鳥配列と正方格子状配列の単位キャパ
シタンス選択を交互に行い、均等分散配列を実現するも
のである。
【０００６】
【作用】本発明によれば、２進数各桁の重みに対応した
キャパシタンスを生成する際に、高い相対精度を確保し
得る。
キャパシタンスを生成する際に、高い相対精度を確保し
得る。
【０００７】
【実施例】次に本発明に係るキャパシタンス形成方法の
１実施例を図面に基づいて説明する。
１実施例を図面に基づいて説明する。
【０００８】図１は、３２：１６：８：４：２：１：１
の容量比を得るための６４個の単位キャパシタンスを８
×８の正方形領域に配列した状態を示す模式図である。
ここに、単位キャパシタンスの容量をＣｕとすると、最
大容量のキャパシタンスの容量を３２Ｃｕ、２番目以降
の容量のキャパシタンスを１６Ｃｕ、８Ｃｕ、４Ｃｕ、
２Ｃｕ、Ｃｕ、さらに基準容量Ｃｕとして容量を定義す
る。この容量定義のための単位キャパシタンス割当ては
以下のステップにより行う。
の容量比を得るための６４個の単位キャパシタンスを８
×８の正方形領域に配列した状態を示す模式図である。
ここに、単位キャパシタンスの容量をＣｕとすると、最
大容量のキャパシタンスの容量を３２Ｃｕ、２番目以降
の容量のキャパシタンスを１６Ｃｕ、８Ｃｕ、４Ｃｕ、
２Ｃｕ、Ｃｕ、さらに基準容量Ｃｕとして容量を定義す
る。この容量定義のための単位キャパシタンス割当ては
以下のステップにより行う。
【０００９】〔ステップ１〕図１の単位キャパシタンス
の配列順位を横方向ｉ、縦方向ｊと定義するとき、全て
の単位キャパシタンスの集合Ｇは、 Ｇ＝｛ｘｉｊ｝ （１） と定義し得る。ここで、ｇ１＝｛ｘｉｊ｜ｉ＝偶数、ｊ
＝偶数｝、ｇ２＝｛ｘｉｊ｜ｉ＝偶数、ｊ＝奇数｝、ｇ
３＝｛ｘｉｊ｜ｉ＝奇数、ｊ＝偶数｝、ｇ４＝｛ｘｉｊ
｜ｉ＝奇数、ｊ＝奇数｝の４個の集合を定義し、さらに
ｇ１とｇ４の和集合をｇ５、ｇ２とｇ３の和集合をｇ６
とする。そして、ｇ５またはｇ６を最上位桁のキャパシ
タンスのための単位キャパシタンスに割り当てる。図２
は、ｇ５を選択したときの配列を示し、最上位桁のため
の単位キャパシタンスを符号ａで示している。この最上
位桁の単位キャパシタンスの配列は千鳥状配列というこ
とができる。
の配列順位を横方向ｉ、縦方向ｊと定義するとき、全て
の単位キャパシタンスの集合Ｇは、 Ｇ＝｛ｘｉｊ｝ （１） と定義し得る。ここで、ｇ１＝｛ｘｉｊ｜ｉ＝偶数、ｊ
＝偶数｝、ｇ２＝｛ｘｉｊ｜ｉ＝偶数、ｊ＝奇数｝、ｇ
３＝｛ｘｉｊ｜ｉ＝奇数、ｊ＝偶数｝、ｇ４＝｛ｘｉｊ
｜ｉ＝奇数、ｊ＝奇数｝の４個の集合を定義し、さらに
ｇ１とｇ４の和集合をｇ５、ｇ２とｇ３の和集合をｇ６
とする。そして、ｇ５またはｇ６を最上位桁のキャパシ
タンスのための単位キャパシタンスに割り当てる。図２
は、ｇ５を選択したときの配列を示し、最上位桁のため
の単位キャパシタンスを符号ａで示している。この最上
位桁の単位キャパシタンスの配列は千鳥状配列というこ
とができる。
【００１０】〔ステップ２〕次に第２桁のための単位キ
ャパシタンスを選択する。ステップ１でｇ５が選択され
ているのでｇ６側からの選択が行われ、その１／２の部
分すなわちｇ２またはｇ３が選択される。図２は、ｇ２
を選択した状態を示し、選択された単位キャパシタンス
を符号ｂで示している。仮にｇ６が選択されたときに
は、ｇ１またはｇ４が選択されることになる。
ャパシタンスを選択する。ステップ１でｇ５が選択され
ているのでｇ６側からの選択が行われ、その１／２の部
分すなわちｇ２またはｇ３が選択される。図２は、ｇ２
を選択した状態を示し、選択された単位キャパシタンス
を符号ｂで示している。仮にｇ６が選択されたときに
は、ｇ１またはｇ４が選択されることになる。
【００１１】〔ステップ３〕図２において、ステップ２
で選択されなかった単位キャパシタンスは符号なしでし
めされているが、これら未選択の単位キャパシタンスに
対して新たな順位を付し（図３）、以下に示すように、
上記ステップ１以下と同様の処理にを繰り返す。
で選択されなかった単位キャパシタンスは符号なしでし
めされているが、これら未選択の単位キャパシタンスに
対して新たな順位を付し（図３）、以下に示すように、
上記ステップ１以下と同様の処理にを繰り返す。
【００１２】〔ステップ４〕図３において、あらたな順
位ｉ（横方向）、ｊ（縦方向）を未選択の１６個の単位
キャパシタンスのために定義し、これらについて上記と
同様集合を定義する（選択済の単位キャパシタンスを×
印で示す）。すなわち、全体の集合Ｇ＝｛ｘｉｊ｝、ｇ
１＝｛ｘｉｊ｜ｉ＝偶数、ｊ＝偶数｝、ｇ２＝｛ｘｉｊ
｜ｉ＝偶数、ｊ＝奇数｝、ｇ３＝｛ｘｉｊ｜ｉ＝奇数、
ｊ＝偶数｝、ｇ４＝｛ｘｉｊ｜ｉ＝奇数、ｊ＝奇数｝、
ｇ５＝ｇ１∪ｇ４、ｇ６＝ｇ２∪ｇ３を図３のように与
える。そしてステップ１と同様に、ｇ５またはｇ６を選
択して、未定義の最上位桁である第３桁に割当る。図４
はｇ５を選択したときの配列を示し、第３桁のための８
個の単位キャパシタンスを符号ａで示している。なお図
４においても、選択済の単位キャパシタンスを×印で示
している。
位ｉ（横方向）、ｊ（縦方向）を未選択の１６個の単位
キャパシタンスのために定義し、これらについて上記と
同様集合を定義する（選択済の単位キャパシタンスを×
印で示す）。すなわち、全体の集合Ｇ＝｛ｘｉｊ｝、ｇ
１＝｛ｘｉｊ｜ｉ＝偶数、ｊ＝偶数｝、ｇ２＝｛ｘｉｊ
｜ｉ＝偶数、ｊ＝奇数｝、ｇ３＝｛ｘｉｊ｜ｉ＝奇数、
ｊ＝偶数｝、ｇ４＝｛ｘｉｊ｜ｉ＝奇数、ｊ＝奇数｝、
ｇ５＝ｇ１∪ｇ４、ｇ６＝ｇ２∪ｇ３を図３のように与
える。そしてステップ１と同様に、ｇ５またはｇ６を選
択して、未定義の最上位桁である第３桁に割当る。図４
はｇ５を選択したときの配列を示し、第３桁のための８
個の単位キャパシタンスを符号ａで示している。なお図
４においても、選択済の単位キャパシタンスを×印で示
している。
【００１３】〔ステップ５〕上記ステップ２と同様にｇ
２を選択し、第４桁に割当る。図４では第４桁のための
４個の単位キャパシタンスを符号ｂで示している。 〔ステップ６〕ステップ３と同様に、未選択の単位キャ
パシタンスに対し新たな順位を付す（図５）。
２を選択し、第４桁に割当る。図４では第４桁のための
４個の単位キャパシタンスを符号ｂで示している。 〔ステップ６〕ステップ３と同様に、未選択の単位キャ
パシタンスに対し新たな順位を付す（図５）。
【００１４】〔ステップ７〕この段階では４個の単位キ
ャパシタンスが残っており、ステップ１、ステップ４と
同様に、新たな順位に基づき、Ｇ＝｛ｘ１１，ｘ１２，
ｘ２１，ｘ２２｝、ｇ１＝｛ｘ２２｝、ｇ２＝｛ｘ２
１｝、ｇ３＝｛ｘ１２｝、ｇ４＝｛ｘ１１｝、ｇ５＝
｛ｘ２２，ｘ１１｝、ｇ６＝｛ｘ２１，ｘ１２｝を定義
し得る（図中選択済の単位キャパシタンスを×印で示
す）。ここでｇ５を選択して第５桁のための２個の単位
キャパシタンスａを選択する。
ャパシタンスが残っており、ステップ１、ステップ４と
同様に、新たな順位に基づき、Ｇ＝｛ｘ１１，ｘ１２，
ｘ２１，ｘ２２｝、ｇ１＝｛ｘ２２｝、ｇ２＝｛ｘ２
１｝、ｇ３＝｛ｘ１２｝、ｇ４＝｛ｘ１１｝、ｇ５＝
｛ｘ２２，ｘ１１｝、ｇ６＝｛ｘ２１，ｘ１２｝を定義
し得る（図中選択済の単位キャパシタンスを×印で示
す）。ここでｇ５を選択して第５桁のための２個の単位
キャパシタンスａを選択する。
【００１５】〔ステップ８〕ステップ２、ステップ５と
同様に、ｇ２＝｛ｘ２１｝を第６桁のための単位キャパ
シタンスとして選択する。図５ではこの単位キャパシタ
ンスを符号ｂで示している。
同様に、ｇ２＝｛ｘ２１｝を第６桁のための単位キャパ
シタンスとして選択する。図５ではこの単位キャパシタ
ンスを符号ｂで示している。
【００１６】〔ステップ９〕この段階において１個の未
選択単位キャパシタンスが存在し、これを基準容量のた
めの単位キャパシタンスとして全ての割当てが終了す
る。
選択単位キャパシタンスが存在し、これを基準容量のた
めの単位キャパシタンスとして全ての割当てが終了す
る。
【００１７】以上のように、千鳥状配列と正方行列配列
とを交互に採用して、極力全体に分散した単位キャパシ
タンスを選択すれば、各キャパシタンスのための単位キ
ャパシタンスが均等分散され、位置的偏りに起因した容
量のばらつきが解消され、高い相対精度が確保される。
とを交互に採用して、極力全体に分散した単位キャパシ
タンスを選択すれば、各キャパシタンスのための単位キ
ャパシタンスが均等分散され、位置的偏りに起因した容
量のばらつきが解消され、高い相対精度が確保される。
【００１８】以上の処理は、以下の〔一般化ステップ
１〕〜〔一般化ステップ３〕のように一般化される。
１〕〜〔一般化ステップ３〕のように一般化される。
【００１９】〔ステップ１〕未選択の単位キャパシタン
スの集合をＧ＝｛ｘｉｊ｝（ｉ：横方向順位、ｊ：縦方
向順位）、ｇ１＝｛ｘｉｊ｜ｉ＝偶数、ｊ＝偶数｝、ｇ
２＝｛ｘｉｊ｜ｉ＝偶数、ｊ＝奇数｝、ｇ３＝｛ｘｉｊ
｜ｉ＝奇数、ｊ＝偶数｝、ｇ４＝｛ｘｉｊ｜ｉ＝奇数、
ｊ＝奇数｝とするとき、ｇ１とｇ４の和集合をｇ５、ｇ
２とｇ３の和集合をｇ６とするとき、ｇ５またはｇ６を
選択してその段階の最上位桁のための単位キャパシタン
スとする。
スの集合をＧ＝｛ｘｉｊ｝（ｉ：横方向順位、ｊ：縦方
向順位）、ｇ１＝｛ｘｉｊ｜ｉ＝偶数、ｊ＝偶数｝、ｇ
２＝｛ｘｉｊ｜ｉ＝偶数、ｊ＝奇数｝、ｇ３＝｛ｘｉｊ
｜ｉ＝奇数、ｊ＝偶数｝、ｇ４＝｛ｘｉｊ｜ｉ＝奇数、
ｊ＝奇数｝とするとき、ｇ１とｇ４の和集合をｇ５、ｇ
２とｇ３の和集合をｇ６とするとき、ｇ５またはｇ６を
選択してその段階の最上位桁のための単位キャパシタン
スとする。
【００２０】〔ステップ２〕ステップ１でｇ５が選択さ
れたときにはｇ２またはｇ３を選択してその段階の最上
位桁のための単位キャパシタンスとし、ｇ６が選択され
たときにはｇ１またはｇ４を選択してその段階の最上位
桁のための単位キャパシタンスとする。
れたときにはｇ２またはｇ３を選択してその段階の最上
位桁のための単位キャパシタンスとし、ｇ６が選択され
たときにはｇ１またはｇ４を選択してその段階の最上位
桁のための単位キャパシタンスとする。
【００２１】〔ステップ３〕この段階で最下位桁および
基準重みのみが残っているときには未選択の単位キャパ
シタンスを１／２ずつ最下位桁と基準重みに割り当て、
そうでないときには未選択の全て単位キャパシタンスを
｛ｘｉｊ｝に置き換えてステップ１に戻る。
基準重みのみが残っているときには未選択の単位キャパ
シタンスを１／２ずつ最下位桁と基準重みに割り当て、
そうでないときには未選択の全て単位キャパシタンスを
｛ｘｉｊ｝に置き換えてステップ１に戻る。
【００２２】以上の説明において最下位桁および基準容
量を１個の単位キャパシタンスで定義しているが、複数
（Ｌ個）の単位キャパシタンスとすることも可能であ
り、
量を１個の単位キャパシタンスで定義しているが、複数
（Ｌ個）の単位キャパシタンスとすることも可能であ
り、
【数１】 として、各桁に上記一般化ステップ１〜３に基づいて、
順次
順次
【数２】 の個数の単位キャパシタンスを割り当てることにより、
同等の均等分散を実現し得る。
同等の均等分散を実現し得る。
【００２３】なお単位キャパシタンスの総数が比較的多
い場合には最下位桁や基準容量まで上記のルールに反し
ていても充分な相対精度が得られている。例えば、１２
８個の総数において全体の１０％以下の単位キャパシタ
ンスについてはルールに沿った配線を行う必要がないこ
とが経験的に判明しており、２５６個程度の総数につい
ては極めて高い相対精度が保証される。このように１部
分ルールを度外視した選択を行うことにより配線の容易
さ、配線効率を改善し得る。
い場合には最下位桁や基準容量まで上記のルールに反し
ていても充分な相対精度が得られている。例えば、１２
８個の総数において全体の１０％以下の単位キャパシタ
ンスについてはルールに沿った配線を行う必要がないこ
とが経験的に判明しており、２５６個程度の総数につい
ては極めて高い相対精度が保証される。このように１部
分ルールを度外視した選択を行うことにより配線の容易
さ、配線効率を改善し得る。
【００２４】
【発明の効果】前述のとおり、本発明に係るキャパシタ
ンス形成方法は、順次単位キャパシタンスの集合を選択
して上位桁から割り当てていくもので、未選択の単位キ
ャパシタンスの千鳥配列と正方格子状配列の単位キャパ
シタンス選択を交互に行い、均等分散配列を行うので、
２進数各桁の重みに対応したキャパシタンスを生成する
際に、高い相対精度を確保し得るという優れた効果を有
する。
ンス形成方法は、順次単位キャパシタンスの集合を選択
して上位桁から割り当てていくもので、未選択の単位キ
ャパシタンスの千鳥配列と正方格子状配列の単位キャパ
シタンス選択を交互に行い、均等分散配列を行うので、
２進数各桁の重みに対応したキャパシタンスを生成する
際に、高い相対精度を確保し得るという優れた効果を有
する。
【図１】本発明に係るキャパシタンス形成方法の１実施
例における単位キャパシタンスの初期の集合を示す平面
図である。
例における単位キャパシタンスの初期の集合を示す平面
図である。
【図２】図１の集合に基づいて最上位桁および第２桁の
ための単位キャパシタンスを選択した状態を示す平面図
である。
ための単位キャパシタンスを選択した状態を示す平面図
である。
【図３】図２の選択の後に新たな順位による集合を定義
した状態を示す平面図である。
した状態を示す平面図である。
【図４】図３の順位に基づき第３桁および第４桁のため
の単位キャパシタンスを選択した状態を示す平面図であ
る。
の単位キャパシタンスを選択した状態を示す平面図であ
る。
【図５】図４の選択の後に新たな順位付けを行い、これ
に対して第５桁および最下位桁、基準容量のための単位
キャパシタンスを選択した状態を示す平面図である。
に対して第５桁および最下位桁、基準容量のための単位
キャパシタンスを選択した状態を示す平面図である。
【図６】比較例の単位キャパシタンス配列を示す回路図
である。
である。
ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ．．．単位キャパシタン
ス。
ス。
フロントページの続き (72)発明者 高取 直 東京都世田谷区北沢３−５−18 鷹山ビ ル 株式会社鷹山内 (72)発明者 山本 誠 東京都世田谷区北沢３−５−18 鷹山ビ ル 株式会社鷹山内 (56)参考文献 特開 平７−86519（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/82 - 21/822 H01L 27/04
Claims (3)
- 【請求項１】 所定の単位キャパシタンスを定義し、２
進数における各桁の重みに対応する個数の単位キャパシ
タンスおよび最下位桁の重みに等しい基準重みに対応す
る個数の単位キャパシタンスを設定し、これら単位キャ
パシタンスを長方形領域に配列し、上位桁から順次その
重みのための単位キャパシタンスを選択する、ＬＳＩ内
のキャパシタンス形成方法であって、以下のステップに
より、順次未選択の単位キャパシタンスから単位キャパ
シタンスの集合を選択し、これを最上位桁から順次下位
の桁のための単位キャパシタンスの集合とするキャパシ
タンス形成方法。 〔ステップ１〕 未選択の単位キャパシタンスの集合を
Ｇ＝｛ｘｉｊ｝（ｉ：横方向順位、ｊ：縦方向順位）、
ｇ１＝｛ｘｉｊ｜ｉ＝偶数、ｊ＝偶数｝、ｇ２＝｛ｘｉ
ｊ｜ｉ＝偶数、ｊ＝奇数｝、ｇ３＝｛ｘｉｊ｜ｉ＝奇
数、ｊ＝偶数｝、ｇ４＝｛ｘｉｊ｜ｉ＝奇数、ｊ＝奇
数｝とするとき、ｇ１とｇ４の和集合をｇ５、ｇ２とｇ
３の和集合をｇ６とするとき、ｇ５またはｇ６を選択し
てその段階の最上位桁のための単位キャパシタンスとす
る。 〔ステップ２〕 ステップ１でｇ５が選択されたときに
はｇ２またはｇ３を選択してその段階の最上位桁のため
の単位キャパシタンスとし、ｇ６が選択されたときには
ｇ１またはｇ４を選択してその段階の最上位桁のための
単位キャパシタンスとする。 〔ステップ３〕 この段階で最下位桁および基準重みの
みが残っているときには、未選択の単位キャパシタンス
を１／２ずつ最下位桁と基準重みに割り当て、そうでな
いときには未選択の全ての単位キャパシタンスを｛ｘｉ
ｊ｝に置き換えてステップ１に戻る。 - 【請求項２】 所定の単位キャパシタンスを定義し、２
進数における各桁の重みに対応する個数の単位キャパシ
タンスおよび最下位桁の重みに等しい基準重みに対応す
る個数の単位キャパシタンスを設定し、これら単位キャ
パシタンスを長方形領域に配列し、上位桁から順次その
重みのための単位キャパシタンスを選択する、ＬＳＩ内
のキャパシタンス形成方法であって、最上位桁から所定
の複数の上位桁について、以下のステップにより、順次
未選択の単位キャパシタンスから単位キャパシタンスの
集合を選択し、これを最上位桁から順次下位の桁のため
の単位キャパシタンスの集合とするキャパシタンス形成
方法。 〔ステップ１〕 未選択の単位キャパシタンスの集合を
Ｇ＝｛ｘｉｊ｝（ｉ：横方向順位、ｊ：縦方向順位）、
ｇ１＝｛ｘｉｊ｜ｉ＝偶数、ｊ＝偶数｝、ｇ２＝｛ｘｉ
ｊ｜ｉ＝偶数、ｊ＝奇数｝、ｇ３＝｛ｘｉｊ｜ｉ＝奇
数、ｊ＝偶数｝、ｇ４＝｛ｘｉｊ｜ｉ＝奇数、ｊ＝奇
数｝とするとき、ｇ１とｇ４の和集合をｇ５、ｇ２とｇ
３の和集合をｇ６とするとき、ｇ５またはｇ６を選択し
てその段階の最上位桁のための単位キャパシタンスとす
る。 〔ステップ２〕 この段階で最上位桁から所定の複数の
上位桁より下位の桁に達していない場合であって、ステ
ップ１でｇ５が選択されたときにはｇ２またはｇ３を選
択してその段階の最上位桁のための単位キャパシタンス
とし、ｇ６が選択されたときにはｇ１またはｇ４を選択
してその段 階の最上位桁のための単位キャパシタンス
とする。 〔ステップ３〕 この段階で最上位桁から所定の複数の
上位桁より下位の桁に達していなかった場合には、未選
択の全ての単位キャパシタンスを｛ｘｉｊ｝に置き換え
てステップ１に戻る。 - 【請求項３】 単位キャパシタンスは１６×１６の正方
形状に配置されていることを特徴とする請求項２記載の
キャパシタンス形成方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27168794A JP3353262B2 (ja) | 1994-10-11 | 1994-10-11 | キャパシタンス形成方法 |
| DE69509851T DE69509851T2 (de) | 1994-09-30 | 1995-09-29 | Kapazitätserzeugungsverfahren |
| EP95115448A EP0704904B1 (en) | 1994-09-30 | 1995-09-29 | Capacitance forming method |
| US08/536,326 US5734583A (en) | 1994-09-30 | 1995-09-29 | Capacitance forming method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27168794A JP3353262B2 (ja) | 1994-10-11 | 1994-10-11 | キャパシタンス形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08111505A JPH08111505A (ja) | 1996-04-30 |
| JP3353262B2 true JP3353262B2 (ja) | 2002-12-03 |
Family
ID=17503459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27168794A Expired - Fee Related JP3353262B2 (ja) | 1994-09-30 | 1994-10-11 | キャパシタンス形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3353262B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1863090A1 (en) | 2006-06-01 | 2007-12-05 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device |
-
1994
- 1994-10-11 JP JP27168794A patent/JP3353262B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08111505A (ja) | 1996-04-30 |
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