JP3349946B2 - Liquid crystal display device, liquid crystal device, and manufacturing method thereof - Google Patents

Liquid crystal display device, liquid crystal device, and manufacturing method thereof

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JP3349946B2 JP7007098A JP7007098A JP3349946B2 JP 3349946 B2 JP3349946 B2 JP 3349946B2 JP 7007098 A JP7007098 A JP 7007098A JP 7007098 A JP7007098 A JP 7007098A JP 3349946 B2 JP3349946 B2 JP 3349946B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、テレビジョンやコ
ンピュータディスプレイ等に用いられる、ツイステッド
ネマティック(TN)型やインプレーンスイッチング
(IPS)型等の液晶表示装置、および上記液晶表示装
置や、調光機能を有するブラインドガラス、液晶シャッ
ターなどに適用される液晶装置、並びにこれらの製造方
法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device such as a twisted nematic (TN) type or in-plane switching (IPS) type used for a television or a computer display, and to the liquid crystal display device described above. The present invention relates to a liquid crystal device applied to a blind glass having a function, a liquid crystal shutter, and the like, and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のTN型液晶表示装置は、一対のガ
ラス基板が、スペーサを介して所定のギャップを形成す
るように貼り合わされ、上記ギャップに液晶(ネマティ
ック液晶等)が注入されて液晶パネルが形成されるとと
もに、上記液晶パネルの両面側に偏光板が設けられて構
成されている。上記ガラス基板の一方には、透明画素電
極、および薄膜トランジスタ(TFT)が形成されてい
る。他方のガラス基板には、赤緑青の微小なフィルタ群
から構成されたカラーモザイクフィルタ、および透明共
通電極が形成されている。また、上記各ガラス基板の透
明画素電極、および透明共通電極上には、それぞれ配向
膜が形成されている。これらの配向膜は、例えば各電極
上にポリビニルアルコールやポリイミド溶液をスピナー
により塗布して被膜を形成した後、ラビングを行って配
向処理することにより形成されている。上記のような液
晶表示装置は、背面側からバックライトの光を照射する
とともに、TFTを介して各透明画素電極に画像信号電
圧を印加し、各画素に対応する液晶の光透過率を制御す
ることにより、カラー画像が表示されるようになってい
る。
2. Description of the Related Art In a conventional TN type liquid crystal display device, a pair of glass substrates are bonded together so as to form a predetermined gap via a spacer, and a liquid crystal (nematic liquid crystal or the like) is injected into the gap to form a liquid crystal panel. Are formed, and polarizing plates are provided on both sides of the liquid crystal panel. On one of the glass substrates, a transparent pixel electrode and a thin film transistor (TFT) are formed. On the other glass substrate, a color mosaic filter composed of a group of minute filters of red, green and blue, and a transparent common electrode are formed. An alignment film is formed on the transparent pixel electrode and the transparent common electrode of each of the glass substrates. These alignment films are formed by, for example, applying a polyvinyl alcohol or polyimide solution on each electrode by a spinner to form a coating film, and then performing rubbing and alignment treatment. The liquid crystal display device as described above irradiates the light of the backlight from the back side and applies an image signal voltage to each transparent pixel electrode via the TFT to control the light transmittance of the liquid crystal corresponding to each pixel. As a result, a color image is displayed.

【0003】また、IPS型液晶表示装置等において
も、電極の構成等は異なるが、一対のガラス基板の間に
形成されたギャップに液晶が注入されて構成されている
点は同様である。
[0003] In an IPS type liquid crystal display device and the like, the structure of the electrodes and the like are different, but they are the same in that the liquid crystal is injected into a gap formed between a pair of glass substrates.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の液晶表示装置は、ガラス基板のギャップに液晶を注
入する工程を必要とし、この工程に長時間を要するため
に、製造コストが高くつくという課題を有していた。具
体的には、液晶表示装置のサイズにも依存するが、例え
ば10インチ型の液晶表示装置において、5μm程度の
ギャップに真空脱気により液晶を注入するためには2時
間程度かかり、極めて製造効率が悪かった。
However, the above-mentioned conventional liquid crystal display device requires a step of injecting liquid crystal into a gap of a glass substrate, and this step requires a long time, and thus the manufacturing cost is high. Had. Specifically, although it depends on the size of the liquid crystal display device, for example, in a 10-inch liquid crystal display device, it takes about 2 hours to inject liquid crystal by vacuum degassing into a gap of about 5 μm, which is extremely manufacturing efficiency Was bad.

【0005】また、1対のガラス基板(すなわち2枚の
ガラス基板)を用いているために、重量の低減が困難で
あるという課題を有していた。この課題は、特に液晶表
示装置を携帯用の機器に適用する場合に大きな欠点とな
る。
Further, since a pair of glass substrates (that is, two glass substrates) is used, there is a problem that it is difficult to reduce the weight. This problem is a major drawback particularly when the liquid crystal display device is applied to portable equipment.

【0006】本発明は上記の点に鑑み、液晶注入工程を
必要とせず、製造工程の簡略化および製造コストの低減
を図ることができる液晶装置および液晶表示装置、並び
にこれらの製造方法の提供を目的としている。また、容
易に軽量化を図ることができ、携帯用の機器への適用に
も適した液晶表示装置の提供を目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above, the present invention provides a liquid crystal device and a liquid crystal display device which do not require a liquid crystal injecting step, can simplify the manufacturing process and reduce the manufacturing cost, and provide a method for manufacturing these. The purpose is. Another object of the present invention is to provide a liquid crystal display device which can be easily reduced in weight and is suitable for application to portable equipment.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、液晶表示装置にかかる第1の発明は、少なくとも、
画素電極、上記画素電極に接続されたスイッチング素
子、および配向膜が形成された基板と、感光性プレポリ
マーが露光により重合硬化して形成された樹脂膜と、上
記基板と上記樹脂膜との間に封止された液晶層とを有す
液晶表示装置であ って、上記樹脂膜と上記液晶層と
は、感光性プレポリマーと液晶とを含む混合液が上記基
板上で相分離することにより形成されたものであること
を特徴としている。
In order to achieve the above object, a first invention relating to a liquid crystal display device comprises at least
A substrate on which a pixel electrode, a switching element connected to the pixel electrode, and an alignment film are formed; a resin film formed by polymerizing and curing a photosensitive prepolymer by exposure; and a substrate between the substrate and the resin film. What liquid crystal display device der having a sealed liquid crystal layer, and the resin film and the liquid crystal layer
Is a mixture containing a photosensitive prepolymer and a liquid crystal.
Be formed by phase separation on a plate
It is characterized by.

【0008】この構成では、1枚の基板と樹脂膜との間
に液晶が封止されているので、1対の基板の間に液晶が
封止された液晶表示装置に比べて、軽量化を図ることが
できる。よって、この発明の液晶表示装置は、携帯機器
用の表示装置としての適応性が高い。
In this configuration, since liquid crystal is sealed between one substrate and the resin film, the weight is reduced as compared with a liquid crystal display device in which liquid crystal is sealed between a pair of substrates. To do
it can. Therefore, the liquid crystal display device of the present invention
The adaptability as a display device is high.

【0009】液晶表示装置にかかる第2の発明は、第1
の発明にかかる液晶表示装置において、さらに、上記基
板と上記樹脂膜との間に、感光性プレポリマーが露光に
より重合硬化して形成された支持部材が設けられている
ことを特徴としている。
A second invention according to a liquid crystal display device is the first invention.
The liquid crystal display device according to the invention is characterized in that a support member formed by polymerizing and curing a photosensitive prepolymer by exposure is provided between the substrate and the resin film.

【0010】この構成であると、基板と樹脂膜との間
隔、すなわち液晶層の厚さを一定に保つことが容易にで
き、表示むらの少ない液晶表示装置を得ることができ
る。
With this configuration, the distance between the substrate and the resin film, that is, the thickness of the liquid crystal layer can be easily kept constant, and a liquid crystal display device with less display unevenness can be obtained.

【0011】液晶表示装置にかかる第3の発明は、少な
くとも画素電極、上記画素電極に接続されたスイッチン
グ素子、および配向膜が形成された基板と、樹脂膜と、
上記基板と上記樹脂膜との間にあって上記樹脂膜を支持
する隔壁状の支持部材と、上記基板と上記樹脂膜との間
に封止された液晶層とを有する液晶表示装置であって、
上記樹脂膜と上記支持部材とが、一体的に形成されてい
ることを特徴としている。この第3の発明においては、
基板と樹脂膜との間に離壁状の支持部材が形成されてい
るので、スペーサを配さなくとも基板と樹脂膜との間隔
が一定に保たれる。しかも上記支持部材は樹脂膜と一体
的に形成されているので形状安定性がよい。したがっ
て、この発明によると、軽量で表示むらの少ない液晶表
示装置を実現できる。
The third invention relating to the liquid crystal display device has a small number.
At least a pixel electrode, a switch connected to the pixel electrode
A substrate on which an alignment element and an alignment film are formed, a resin film,
Supports the resin film between the substrate and the resin film
Between the substrate and the resin film,
A liquid crystal display device having a liquid crystal layer sealed to
The resin film and the support member are integrally formed.
It is characterized by that. In this third invention,
A separated support member is formed between the substrate and the resin film.
Therefore, even if no spacer is provided, the distance between the substrate and the resin film
Is kept constant. Moreover, the support member is integrated with the resin film
The shape stability is good because it is formed. Accordingly
Therefore, according to the present invention, a liquid crystal display having a light weight and less display unevenness is provided.
A display device can be realized.

【0012】液晶表示装置にかかる第4の発明は、第1
ないし第3の発明にかかる液晶表示 装置において、上記
樹脂膜が、アクリレート系の物質を含むことを特徴とし
ている。これにより、可視光域の光に対して透明性に優
れ、明るい表示が可能な液晶表示装置を得ることができ
る。
A fourth invention according to a liquid crystal display device is the first invention.
In the liquid crystal display device according to the third aspect ,
The resin film contains an acrylate-based substance.
ing. This makes it possible to obtain a liquid crystal display device having excellent transparency to light in the visible light range and capable of performing bright display.

【0013】液晶表示装置にかかる第5または第6の発
明は、第1ないし第3の発明にかかる液晶表示装置にお
いて、上記液晶層、ネマティック液晶、より具体的に
は、トラン系ネマティック液晶を含むことを特徴として
いる。
A fifth or sixth aspect of the liquid crystal display device
Akira describes the liquid crystal display device according to the first to third inventions.
There are, the liquid crystal layer is a nematic liquid crystal, more specifically, is characterized in that it comprises a tolane nematic liquid crystal.

【0014】これにより、安価で、しかも動作の安定し
た液晶表示装置を容易に得ることができる。
Thus, a liquid crystal display device which is inexpensive and has stable operation can be easily obtained.

【0015】液晶表示装置にかかる第7の発明は、第1
ないし第3の発明にかかる液晶表示装置において、上記
樹脂膜は、感光性プレポリマーの分子が偏光の露光によ
方向性を有するように重合硬化して形成されるととも
に、上記樹脂膜の上記液晶層と反対側に対向電極が形成
されていることを特徴としている。
A seventh invention according to a liquid crystal display device is the first invention.
In the liquid crystal display device according to the third aspect, the resin film is formed by exposing the molecules of the photosensitive prepolymer to polarized light.
Ri together are formed by polymerizing and curing so as to have a directional, it is characterized in that a counter electrode is formed on the opposite side of the liquid crystal layer of the resin film.

【0016】これにより、軽量なツイステッドネマティ
ックモードやホメオトロピックモードの液晶表示装置を
得ることができる。
As a result, a lightweight twisted nematic mode or homeotropic mode liquid crystal display device can be obtained.

【0017】液晶表示装置にかかる第8の発明は、第7
の発明にかかる液晶表示装置において、さらに、上記樹
脂膜の上記液晶層と反対側に、カラーフィルタが設けら
れていることを特徴としている。
An eighth invention according to a liquid crystal display device has a seventh aspect.
In the liquid crystal display device according to the invention , a color filter is further provided on a side of the resin film opposite to the liquid crystal layer.

【0018】これにより、軽量でカラー表示の可能なツ
イステッドネマティックモードやホメオトロピックモー
ドの液晶表示装置を得ることができる。
Thus, it is possible to obtain a liquid crystal display device of a twisted nematic mode or a homeotropic mode which is lightweight and capable of color display.

【0019】液晶表示装置にかかる第9の発明は、第8
の発明にかかる液晶表示装置において、上記対向電極
は、透明導電膜から形成されるとともに、上記対向電極
は、上記樹脂膜と上記カラーフィルタとの間、または上
記カラーフィルタの上記樹脂膜と反対側に設けられてい
ることを特徴としている。
A ninth aspect of the invention relates to a liquid crystal display device.
In the liquid crystal display device according to the invention, the counter electrode is formed of a transparent conductive film, and the counter electrode is provided between the resin film and the color filter or on the side of the color filter opposite to the resin film. It is characterized by being provided in.

【0020】これにより、軽量でカラー表示の可能なツ
イステッドネマティックモードやホメオトロピックモー
ドの透過型の液晶表示装置を得ることができる。
As a result, a light-transmitting liquid crystal display device of a twisted nematic mode or a homeotropic mode capable of color display can be obtained.

【0021】液晶表示装置にかかる第10の発明は、第
8の発明にかかる液晶表示装置において、上記対向電極
は、光を反射する材料から形成されるとともに、上記カ
ラーフィルタは、上記樹脂膜と上記対向電極との間に設
けられていることを特徴としている。
A tenth aspect of the invention relates to a liquid crystal display device.
In the liquid crystal display device according to the eighth aspect, the counter electrode is formed of a material that reflects light, and the color filter is provided between the resin film and the counter electrode. I have.

【0022】これにより、軽量でカラー表示の可能なツ
イステッドネマティックモードやホメオトロピックモー
ドの反射型の液晶表示装置を得ることができる。
As a result, it is possible to obtain a reflection type liquid crystal display device of a twisted nematic mode or a homeotropic mode, which is lightweight and capable of color display.

【0023】液晶表示装置にかかる第11の発明は、第
1ないし第3の発明にかかる液晶表示装置において、
記基板には、さらに、共通電極(対向電極)が形成され
ていることを特徴としている。
According to an eleventh aspect of the present invention, there is provided a liquid crystal display device comprising :
In the liquid crystal display devices according to the first to third inventions, the substrate is further provided with a common electrode (counter electrode).

【0024】これにより、軽量なインプレーンスイッチ
ング型の液晶表示装置を得ることができる。
Thus, a lightweight in-plane switching type liquid crystal display device can be obtained.

【0025】液晶表示装置にかかる第12の発明は、第
11の発明にかかる液晶表示装置において、上記樹脂膜
は、感光性プレポリマーの分子が偏光の露光により方向
性を有するように重合硬化して形成されていることを特
徴としている。
According to a twelfth aspect of the present invention, there is provided a liquid crystal display device comprising :
An eleventh aspect of the invention is directed to the liquid crystal display device, wherein the resin film is formed by polymerizing and curing the molecules of the photosensitive prepolymer so as to have directionality by exposure to polarized light .

【0026】これにより、樹脂膜が、その樹脂膜近傍の
液晶分子に所定のチルト角を与える配向機能を有するの
で、液晶の配向状態の安定度が向上し、軽量で、かつ、
良好な表示特性のインプレーンスイッチング型の液晶表
示装置を得ることができる。
Thus, the resin film has an alignment function of giving a predetermined tilt angle to the liquid crystal molecules in the vicinity of the resin film, so that the stability of the alignment state of the liquid crystal is improved, the weight is reduced, and
An in-plane switching type liquid crystal display device having good display characteristics can be obtained.

【0027】液晶表示装置にかかる第13の発明は、第
11の発明にかかる液晶表示装置において、さらに、上
記樹脂膜の上記液晶層と反対側に、カラーフィルタが設
けられていることを特徴としている。
A thirteenth aspect of the invention relates to a liquid crystal display device.
In the liquid crystal display device according to the eleventh aspect , a color filter is further provided on a side of the resin film opposite to the liquid crystal layer.

【0028】これにより、軽量でカラー表示の可能なイ
ンプレーンスイッチング型の液晶表示装置を得ることが
できる。
Thus, it is possible to obtain an in-plane switching type liquid crystal display device which is lightweight and capable of color display.

【0029】液晶表示装置にかかる第14の発明は、第
13の発明にかかる液晶表示装置において、さらに、上
記樹脂膜と上記カラーフィルタとの間、または上記カラ
ーフィルタの上記樹脂膜と反対側に、透明導電膜から形
成された電極が設けられていることを特徴としている。
A fourteenth aspect of the invention relates to a liquid crystal display device.
In the liquid crystal display device according to the thirteenth aspect, further, an electrode formed of a transparent conductive film is provided between the resin film and the color filter or on a side of the color filter opposite to the resin film. It is characterized by.

【0030】これにより、軽量でカラー表示が可能であ
るとともに、樹脂膜が薄くても、液晶分子の配向が静電
気の影響を受けにくいので、配向安定性に優れたインプ
レーンスイッチング型の液晶表示装置を得ることができ
る。
This makes it possible to provide a light-weight and color display, and even if the resin film is thin, the orientation of the liquid crystal molecules is hardly affected by static electricity. Therefore, an in-plane switching type liquid crystal display device having excellent alignment stability. Can be obtained.

【0031】液晶表示装置にかかる第15の発明は、第
13の発明にかかる液晶表示装置において、さらに、上
記カラーフィルタの上記樹脂膜と反対側に、光を反射す
る材料から形成された電極が設けられていることを特徴
としている。
A fifteenth aspect of the invention relates to a liquid crystal display device.
The liquid crystal display device according to the thirteenth aspect, is characterized in that an electrode made of a material that reflects light is provided on a side of the color filter opposite to the resin film.

【0032】これにより、軽量でカラー表示の可能なイ
ンプレーンスイッチング型の反射型の液晶表示装置を得
ることができる。
As a result, it is possible to obtain an in-plane switching type reflection type liquid crystal display device which is lightweight and capable of color display.

【0033】液晶表示装置の製造方法にかかる第16の
発明は、画素電極、上記画素電極に接続されたスイッチ
ング素子、および配向膜が形成された基板と、感光性プ
レポリマーが露光により重合硬化して形成された樹脂膜
と、上記基板と上記樹脂膜との間に封止された液晶層と
を有する液晶表示装置の製造方法において、上記基板上
に、上記画素電極、上記スイッチング素子、および上記
配向膜を形成する工程と、上記基板上に、感光性プレポ
リマーと液晶とを含む混合体膜を形成する工程と、上記
混合体膜を上記基板と反対側から第1の波長の光で露光
し、上記混合体膜中の感光性プレポリマーを析出させ、
重合硬化させて、上記混合体膜の表面に樹脂膜を形成す
る樹脂膜形成工程とを有することを特徴としている。
According to a sixteenth aspect of the method for manufacturing a liquid crystal display device,
The present invention provides a substrate on which a pixel electrode, a switching element connected to the pixel electrode, and an alignment film are formed, a resin film formed by polymerizing and curing a photosensitive prepolymer by exposure, and the substrate and the resin film. Forming a pixel electrode, the switching element, and the alignment film on the substrate; and forming a photosensitive layer on the substrate. Forming a mixture film containing a reactive prepolymer and liquid crystal, exposing the mixture film with light of a first wavelength from the side opposite to the substrate to deposit a photosensitive prepolymer in the mixture film Let
A resin film forming step of forming a resin film on the surface of the mixture film by polymerization and curing.

【0034】これにより、混合体膜中の感光性プレポリ
マーが析出して樹脂膜が形成されるとともに、残った液
晶によって液晶層が形成されるので、時間の長くかかる
液晶注入工程を必要とすることなく液晶層を形成するこ
とができ、製造工程の簡略化および製造コストの低減を
図ることができるとともに、1枚の基板と樹脂膜との間
に液晶が封止されるので、1対の基板の間に液晶が封止
された液晶表示装置に比べて、軽量化を容易に図ること
ができる。
As a result, the photosensitive prepolymer in the mixture film is deposited to form a resin film, and a liquid crystal layer is formed by the remaining liquid crystal, which requires a long liquid crystal injection step. A liquid crystal layer can be formed without the need for a liquid crystal layer, which simplifies the manufacturing process and reduces the manufacturing cost. In addition, since the liquid crystal is sealed between one substrate and the resin film, a pair of liquid crystal layers can be formed. Lightening can be easily achieved as compared with a liquid crystal display device in which liquid crystal is sealed between substrates.

【0035】液晶表示装置の製造方法にかかる第17の
発明は、第16の発明にかかる液晶表示装置の製造方法
において、上記樹脂膜形成工程は、上記混合体膜中の所
定の量の感光性プレポリマーを析出させて樹脂膜を形成
するとともに、さらに、上記混合体膜における所定の領
域を第2の波長の光で選択的に露光し、上記混合体膜中
に残っている感光性プレポリマーを重合硬化させて、上
記領域における上記基板と上記樹脂膜との間に支持部材
を形成する支持部材形成工程を有することを特徴として
いる。
The seventeenth aspect of the liquid crystal display device manufacturing method is as follows.
The invention is directed to a method of manufacturing a liquid crystal display device according to the sixteenth invention.
In the resin film forming step, a predetermined amount of the photosensitive prepolymer in the mixture film is deposited to form a resin film, and further, a predetermined region in the mixture film is formed at a second wavelength. Selectively exposing with light, polymerizing and curing the photosensitive prepolymer remaining in the mixture film, and forming a support member forming step of forming a support member between the substrate and the resin film in the region. It is characterized by having.

【0036】これにより、混合体膜中に残っている感光
性プレポリマーによって支持部材を形成することができ
るので、製造工程の簡略化を図りつつ、基板と樹脂膜と
の間隔、すなわち液晶層の厚さを一定に保った液晶表示
装置を製造することが容易にできる。
Thus, the supporting member can be formed by the photosensitive prepolymer remaining in the mixture film, so that the manufacturing process can be simplified and the distance between the substrate and the resin film, that is, the liquid crystal layer can be formed. A liquid crystal display device having a constant thickness can be easily manufactured.

【0037】液晶表示装置の製造方法にかかる第18の
発明は、第17の発明にかかる液晶表示装置の製造方法
において、上記支持部材形成工程は、上記混合体膜中に
残っている所定の量の感光性プレポリマーを析出させて
支持部材を形成するとともに、さらに、上記混合体膜を
上記樹脂膜側から第3の波長の光で露光し、上記混合体
膜中に残っている感光性プレポリマーを析出させ、重合
硬化させて、上記樹脂膜の上記基板側に内面側樹脂膜を
形成する内面側樹脂膜形成工程を有することを特徴とし
ている。
Eighteenth aspect of the liquid crystal display device manufacturing method
The invention provides a method for manufacturing a liquid crystal display device according to the seventeenth invention.
In the supporting member forming step, a predetermined amount of the photosensitive prepolymer remaining in the mixture film is deposited to form a supporting member, and further, the mixture film is formed from the side of the resin film. An inner surface resin film which is exposed to light having a wavelength of 3 to precipitate and cure the photosensitive prepolymer remaining in the mixture film to form an inner resin film on the substrate side of the resin film. It is characterized by having a forming step.

【0038】これにより、混合体膜中に残っている感光
性プレポリマーが析出して内面側樹脂膜が形成され、残
った液晶によって液晶層が形成されるので、液晶層にお
ける液晶の純度を高くすることが容易にできる。
As a result, the photosensitive prepolymer remaining in the mixture film is deposited to form an inner resin film, and the remaining liquid crystal forms a liquid crystal layer, thereby increasing the purity of the liquid crystal in the liquid crystal layer. Can be easily done.

【0039】液晶表示装置の製造方法にかかる第19ま
たは第20の発明は、第16ないし第18の発明にかか
る液晶表示装置の製造方法において、上記感光性プレポ
リマーは、光重合性モノマーまたはオリゴマー、より具
体的には、アクリレート系の物質を含むことを特徴とし
ている。
The nineteenth method according to the method for manufacturing a liquid crystal display device is described below.
The twentieth invention relates to the sixteenth to eighteenth inventions
In the method for manufacturing a liquid crystal display device, the photosensitive prepolymer contains a photopolymerizable monomer or oligomer, more specifically, an acrylate-based substance.

【0040】これにより、混合体膜の露光によって容易
に感光性プレポリマーを重合硬化させて樹脂膜等を形成
することができるとともに、可視光域の光に対して透明
性に優れた液晶表示装置を製造することができる。
This makes it possible to easily polymerize and cure the photosensitive prepolymer by exposing the mixture film to form a resin film and the like, and to provide a liquid crystal display device having excellent transparency to visible light. Can be manufactured.

【0041】液晶表示装置の製造方法にかかる第21ま
たは第22の発明は、第16ないし第18の発明にかか
る液晶表示装置の製造方法において、上記液晶は、ネマ
ティック液晶、より具体的には、トラン系ネマティック
液晶を含むことを特徴としている。
A twenty-first method according to a method of manufacturing a liquid crystal display device is described.
The twenty-second invention relates to the sixteenth to eighteenth inventions
In the method for manufacturing a liquid crystal display device , the liquid crystal includes a nematic liquid crystal, and more specifically, a trans nematic liquid crystal.

【0042】これにより、混合体膜の露光によって感光
性プレポリマーと液晶とが相分離しやすく、感光性プレ
ポリマーを析出させて容易に樹脂膜等を形成できるとと
もに、入手しやすい液晶を用いて、動作の安定した液晶
表示装置を容易に製造することができる。
Thus, the photosensitive prepolymer and the liquid crystal can be easily phase-separated by the exposure of the mixture film, and the photosensitive prepolymer can be easily deposited to form a resin film or the like. In addition, a liquid crystal display device with stable operation can be easily manufactured.

【0043】液晶表示装置の製造方法にかかる第23な
いし第25の発明は、第16ないし第18の発明にかか
る液晶表示装置の製造方法において、上記混合体膜は、
さらに、感光性プレポリマーの重合開始剤、または増感
剤、例えばベンゾイル系の物質、より具体的には、2,
2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン
を含むことを特徴としている。
The twenty-third embodiment of the method for manufacturing a liquid crystal display device is as follows.
The 25th invention relates to the 16th to 18th inventions.
In the method for manufacturing a liquid crystal display device according to
Further, a polymerization initiator or a sensitizer of a photosensitive prepolymer, for example, a benzoyl-based substance, more specifically, 2,2
It is characterized by including 2-dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one.

【0044】これにより、感光性プレポリマーの重合硬
化を効率よく行わせることができるので、感光性プレポ
リマーの硬化速度を増大させて、一層、製造工程の簡略
化を図ることができる。
Thus, the polymerization and curing of the photosensitive prepolymer can be efficiently performed, so that the curing speed of the photosensitive prepolymer can be increased and the manufacturing process can be further simplified.

【0045】液晶表示装置の製造方法にかかる第26の
発明は、第16ないし第18の発明にかかる液晶表示装
置の製造方法において、上記樹脂膜形成工程は、上記混
合体膜を相反則不軌の条件で上記第1の波長の光で露光
することにより行うことを特徴としている。
A twenty-sixth method according to a method for manufacturing a liquid crystal display device is described below.
The invention provides a liquid crystal display device according to the sixteenth to eighteenth aspects.
In the method for manufacturing a device, the step of forming the resin film is performed by exposing the mixed film to light having the first wavelength under conditions of reciprocity failure.

【0046】これにより、最も多くの光を吸収する混合
体膜の表面付近で、感光性プレポリマーが重合硬化しや
すく、また、相反則不軌の条件により感光性ポリマーを
析出させて混合体膜の表面に選択的に樹脂膜を形成する
ことが容易にできる。
As a result, the photosensitive prepolymer is easily polymerized and hardened near the surface of the mixture film which absorbs the most light, and the photosensitive polymer is deposited under the condition of reciprocity failure to form the mixture film. It is easy to selectively form a resin film on the surface.

【0047】液晶表示装置の製造方法にかかる第27ま
たは第28の発明は、第16ないし第18の発明にかか
る液晶表示装置の製造方法において、上記第1の波長の
光として、上記感光性プレポリマーの吸光特性における
吸収領域の波長の光を用い、より具体的には、上記感光
性プレポリマーは、ポリエステルアクリレート系の物質
を含むとともに、上記第1の波長の光として、波長が2
54nmの遠紫外線を用いることを特徴としている。
The twenty-seventh method according to the method for manufacturing a liquid crystal display device is described below.
The twenty-eighth invention relates to the sixteenth to eighteenth inventions.
In the method for manufacturing a liquid crystal display device, light having a wavelength in an absorption region in the light absorption characteristics of the photosensitive prepolymer is used as the first wavelength light, and more specifically, the photosensitive prepolymer is a polyester. It contains an acrylate-based substance and has a wavelength of 2 as the light of the first wavelength.
It is characterized by using a deep ultraviolet ray of 54 nm.

【0048】これにより、照射された光をほとんど混合
体膜の表面付近で吸収させて、感光性プレポリマーを重
合硬化させることができるので、混合体膜の表面に選択
的に樹脂膜を形成することが、一層、容易にできるとと
もに、樹脂膜の厚さを高い精度で制御することが容易に
できる。
As a result, the irradiated light is almost absorbed near the surface of the mixture film, and the photosensitive prepolymer can be polymerized and cured, so that a resin film is selectively formed on the surface of the mixture film. Can be more easily performed, and the thickness of the resin film can be easily controlled with high accuracy.

【0049】液晶表示装置の製造方法にかかる第29の
発明は、第17または第18の発明 にかかる液晶表示装
置の製造方法において、上記樹脂膜形成工程は、上記混
合体膜を相反則不軌の条件で上記第1の波長の光で露光
することにより行い、上記支持部材形成工程は、上記混
合体膜を相反則の条件で上記第2の波長の光で露光する
ことにより行うことを特徴としている。
The twenty-ninth method according to the method of manufacturing a liquid crystal display device,
The invention provides a liquid crystal display device according to the seventeenth or eighteenth invention.
In the manufacturing method of the device, the resin film forming step is performed by exposing the mixture film to light of the first wavelength under conditions of reciprocity failure, and the supporting member forming step includes removing the mixture film. It is characterized in that exposure is performed by light of the second wavelength under conditions of reciprocity.

【0050】これにより、相反則不軌の条件で第1の波
長の光が照射されると、混合体膜の表面付近で感光性ポ
リマーが析出して重合硬化しやすく、混合体膜の表面に
選択的に樹脂膜を形成することが容易にでき、また、相
反則の条件で第2の光が照射されると、混合体膜におけ
る基板近傍の部分にまで感光性ポリマーを重合硬化させ
やすく、樹脂膜と基板との間に確実かつ効率的に支持部
材を形成することが容易にできる。
Thus, when the light of the first wavelength is irradiated under the condition of reciprocity failure, the photosensitive polymer precipitates near the surface of the mixture film and is easily polymerized and cured. When the second light is irradiated under the condition of reciprocity, the photosensitive polymer is easily polymerized and hardened to the portion near the substrate in the mixed film, and the resin film is easily formed. The supporting member can be easily and reliably formed between the film and the substrate.

【0051】液晶表示装置の製造方法にかかる第30の
発明は、第17または第18の発明にかかる液晶表示装
置の製造方法において、上記第2の波長の光として、上
記感光性プレポリマーの吸光度が上記第1の波長の光よ
りも小さい波長の光を用いることを特徴としている。
A thirtieth embodiment according to a method of manufacturing a liquid crystal display device.
The invention provides a liquid crystal display device according to the seventeenth or eighteenth invention.
In the method for producing a device, light having a wavelength lower than the light having the first wavelength is used as the light having the second wavelength as the light having the second wavelength.

【0052】これにより、照射された第1の波長の光を
ほとんど混合体膜の表面付近で吸収させて、感光性プレ
ポリマーを重合硬化させることができ、混合体膜の表面
に選択的に樹脂膜を形成することが、一層、容易にでき
るとともに、第2の波長の光は、混合体膜における基板
近傍の部分にまで届きやすいので、樹脂膜と基板との間
に支持部材を形成することが容易にできる。
Thus, the irradiated light having the first wavelength is almost absorbed near the surface of the mixture film, and the photosensitive prepolymer can be polymerized and cured. Since the film can be formed more easily, and the light of the second wavelength easily reaches the portion near the substrate in the mixed film, a supporting member is formed between the resin film and the substrate. Can be easily done.

【0053】液晶表示装置の製造方法にかかる第31の
発明は、第18の発明にかかる液晶表示装置の製造方法
において、上記樹脂膜形成工程は、上記混合体膜を相反
則不軌の条件で上記第1の波長の光で露光することによ
り行い、上記支持部材形成工程は、上記混合体膜を相反
則の条件で上記第2の波長の光で露光することにより行
い、上記内面側樹脂膜形成工程は、上記混合体膜を相反
則不軌の条件で上記第3の波長の光で露光することによ
り行うことを特徴としている。
A thirty-first method according to a method of manufacturing a liquid crystal display device,
The invention is a method for manufacturing a liquid crystal display device according to the eighteenth invention.
Wherein the resin film forming step is performed by exposing the mixture film to light of the first wavelength under the condition of reciprocity failure, and the supporting member forming step comprises subjecting the mixture film to a condition of reciprocity law. The exposure is performed by light of the second wavelength, and the inner surface side resin film forming step is performed by exposing the mixture film to light of the third wavelength under the condition of reciprocity failure. Features.

【0054】これにより、相反則不軌の条件で第1の波
長の光または第3の波長の光が照射されると、混合体膜
の表面付近で感光性ポリマーが析出して重合硬化しやす
く、混合体膜の表面に選択的に樹脂膜や内面側樹脂膜を
形成することが容易にでき、また、相反則の条件で第2
の光が照射されると、混合体膜における基板近傍の部分
にまで感光性ポリマーを重合硬化させやすく、樹脂膜と
基板との間に確実かつ効率的に支持部材を形成すること
が容易にできる。
Thus, when the light of the first wavelength or the light of the third wavelength is irradiated under the condition of reciprocity failure, the photosensitive polymer precipitates near the surface of the mixture film and is easily polymerized and cured. A resin film or an inner resin film can be easily formed selectively on the surface of the mixture film, and the second resin film can be formed under the condition of reciprocity.
When the light is irradiated, the photosensitive polymer is easily polymerized and hardened to the portion near the substrate in the mixed film, and the support member can be easily and reliably formed between the resin film and the substrate. .

【0055】液晶表示装置の製造方法にかかる第32の
発明は、第18の発明にかかる液晶表示装置の製造方法
において、上記第3の波長の光として、上記感光性プレ
ポリマーの吸光度が、上記第1の波長の光よりも小さ
く、かつ、上記第2の波長の光よりも大きい波長の光を
用いることを特徴としている。
A thirty-second method according to a method of manufacturing a liquid crystal display device,
The invention is a method for manufacturing a liquid crystal display device according to the eighteenth invention.
In the above , it is preferable that, as the light of the third wavelength, light having a light absorbance of the photosensitive prepolymer smaller than the light of the first wavelength and larger than the light of the second wavelength is used. Features.

【0056】これにより、第1の波長の光は、混合体膜
を透過しにくく、ほとんど混合体膜の表面付近で吸収さ
れるので、混合体膜の表面に選択的に樹脂膜を形成する
ことが容易にでき、また、第2の波長の光は、混合体膜
における基板近傍の部分にまで届きやすいので、樹脂膜
と基板との間に確実に支持部材を形成することが容易に
できるとともに、第3の波長の光は、既に形成された樹
脂膜を比較的透過しやすい一方、混合体膜における、樹
脂膜の基板側付近で吸収されやすいので、樹脂膜の基板
側に内面側樹脂膜を形成することが容易にできる。
Accordingly, the light of the first wavelength hardly passes through the mixture film and is almost absorbed near the surface of the mixture film. Therefore, it is necessary to selectively form the resin film on the surface of the mixture film. And the light of the second wavelength easily reaches the portion of the mixture film near the substrate, so that it is easy to reliably form the support member between the resin film and the substrate. The light of the third wavelength is relatively easy to pass through the resin film already formed, but is easily absorbed near the substrate side of the resin film in the mixed film. Can be easily formed.

【0057】液晶表示装置の製造方法にかかる第33ま
たは第34の発明は、第18の発明にかかる液晶表示装
置の製造方法において、上記混合体膜は、さらに、感光
性プレポリマーの重合開始剤、または増感剤を含むとと
もに、上記第1の波長の光として、上記感光性プレポリ
マーの吸光特性における吸収領域端の波長より短波長の
光を用い、相反則不軌の条件で上記混合体膜を露光し、
上記第2の波長の光として、上記重合開始剤、または増
感剤の吸光特性における吸収ピーク波長より長波長の光
を用い、相反則の条件で上記混合体膜を露光し、上記第
3の波長の光として、上記感光性プレポリマーの吸光特
性における吸収領域端の波長と、上記重合開始剤、また
は増感剤の吸光特性における吸収ピーク波長との間の波
長の光を用い、相反則不軌の条件で上記混合体膜を露光
することを特徴としており、より具体的には、上記感光
性プレポリマーは、ポリエステルアクリレート系の物質
を含み、上記液晶は、トラン系ネマティック液晶を含
み、上記混合体膜は、さらに、2,2−ジメトキシ−
1,2−ジフェニルエタン−1−オンを含むとともに、
上記第1の波長の光として、波長が254nmの遠紫外
線を用い、上記第2の波長の光として、波長が365n
mの紫外線を用い、上記第3の波長の光として、波長が
313nmの紫外線を用いることを特徴としている。
The thirty-third method according to the method of manufacturing a liquid crystal display device.
A thirty-fourth invention is directed to the liquid crystal display device according to the eighteenth invention.
In the method for producing a prepolymer, the mixture film further contains a polymerization initiator or a sensitizer of the photosensitive prepolymer, and absorbs light of the first wavelength as light of the light absorption characteristic of the photosensitive prepolymer. Using light having a wavelength shorter than the wavelength at the end of the region, exposing the mixture film under conditions of reciprocity failure,
Using the polymerization initiator or light having a wavelength longer than the absorption peak wavelength in the light absorption characteristics of the sensitizer as the light of the second wavelength, exposing the mixture film under conditions of reciprocity, As light having a wavelength, light having a wavelength between the wavelength of the absorption region end in the light absorption characteristics of the photosensitive prepolymer and the absorption peak wavelength in the light absorption characteristics of the polymerization initiator or the sensitizer is used. The mixture film is exposed under the conditions described below, more specifically, the photosensitive prepolymer contains a polyester acrylate-based material, the liquid crystal contains a trans-nematic liquid crystal, and the mixed The body membrane further comprises 2,2-dimethoxy-
Including 1,2-diphenylethan-1-one;
Far-ultraviolet light having a wavelength of 254 nm is used as the light having the first wavelength, and light having a wavelength of 365 n is used as the light having the second wavelength.
m, and ultraviolet light having a wavelength of 313 nm is used as the light of the third wavelength.

【0058】これにより、第1の波長の光は、混合体膜
を透過しにくく、ほとんど混合体膜の表面付近で吸収さ
れるうえ、相反則不軌の条件により感光性ポリマーを析
出させて混合体膜の表面に選択的に樹脂膜を形成するこ
とが容易にでき、また、第2の波長の光は、混合体膜に
おける基板近傍の部分にまで届きやすいうえ、相反則の
条件により樹脂膜と基板との間に確実かつ効率的に支持
部材を形成することが容易にできるとともに、第3の波
長の光は、既に形成された樹脂膜を比較的透過しやす
く、混合体膜における、樹脂膜の基板側付近で吸収され
やすいうえ、相反則不軌の条件により感光性ポリマーを
析出させて樹脂膜の基板側に内面側樹脂膜を形成するこ
とが容易にできる。
As a result, the light of the first wavelength hardly passes through the mixture film, is almost absorbed near the surface of the mixture film, and precipitates the photosensitive polymer under the condition of reciprocity failure to form the mixture. The resin film can be easily formed selectively on the surface of the film, and the light of the second wavelength can easily reach the portion near the substrate in the mixed film, and the resin film and the resin film are formed under the reciprocity condition. The support member can be easily and reliably formed between the substrate and the substrate, and the light of the third wavelength is relatively easily transmitted through the already formed resin film. Is easily absorbed in the vicinity of the substrate side, and the photosensitive polymer can be easily deposited under the condition of reciprocity failure to form the inner resin film on the substrate side of the resin film.

【0059】液晶表示装置の製造方法にかかる第35の
発明は、第16ないし第18の発明にかかる液晶表示装
置の製造方法において、さらに、上記樹脂膜の上記液晶
層と反対側に対向電極を形成する対向電極形成工程を有
することを特徴としている。
The thirty-fifth aspect of the method for manufacturing a liquid crystal display device.
The invention provides a liquid crystal display device according to the sixteenth to eighteenth aspects.
The method of manufacturing a device further includes a counter electrode forming step of forming a counter electrode on the side of the resin film opposite to the liquid crystal layer.

【0060】これにより、軽量なツイステッドネマティ
ックモードや、ホメオトロピックモードなどの液晶表示
装置を製造することができる。
As a result, a light-weight liquid crystal display device such as a twisted nematic mode or a homeotropic mode can be manufactured.

【0061】液晶表示装置の製造方法にかかる第36の
発明は、第35の発明にかかる液晶表示装置の製造方法
において、上記内面側樹脂膜形成工程における第3の波
長の光による露光は、偏光板を介して行われることを特
徴としている。
The thirty-sixth method according to the method of manufacturing a liquid crystal display device,
The invention is a method for manufacturing a liquid crystal display device according to the thirty-fifth invention.
In the above , the exposure with the light having the third wavelength in the inner surface side resin film forming step is performed through a polarizing plate.

【0062】これにより、軽量なツイステッドネマティ
ックモードなどの液晶表示装置を製造することができ
る。
Thus, a light-weight liquid crystal display device such as a twisted nematic mode can be manufactured.

【0063】液晶表示装置の製造方法にかかる第37の
発明は、第35の発明にかかる液晶表示装置の製造方法
において、上記対向電極形成工程は、上記樹脂膜の上記
液晶層と反対側に透明導電膜を形成することにより、上
記対向電極を形成する工程であるとともに、さらに、上
記対向電極形成工程の前または後に、上記樹脂膜上また
は上記対向電極上に、カラーフィルタを形成する工程を
有することを特徴としている。
The thirty-seventh aspect of the method for manufacturing a liquid crystal display device is as follows.
The invention is a method for manufacturing a liquid crystal display device according to the thirty-fifth invention.
In the above, the counter electrode forming step is a step of forming the counter electrode by forming a transparent conductive film on the side of the resin film opposite to the liquid crystal layer, and further, before or before the counter electrode forming step. And a step of forming a color filter on the resin film or the counter electrode later.

【0064】これにより、軽量でカラー表示の可能なツ
イステッドネマティックモードやホメオトロピックモー
ドの透過型の液晶表示装置を製造することができる。
As a result, a light-transmitting liquid crystal display device of a twisted nematic mode or a homeotropic mode capable of color display can be manufactured.

【0065】液晶表示装置の製造方法にかかる第38の
発明は、第35の発明にかかる液晶表示装置の製造方法
において、上記対向電極形成工程は、上記樹脂膜の上記
液晶層と反対側に光の反射膜を形成することにより、上
記対向電極を形成する工程であるとともに、さらに、上
記対向電極形成工程の前に、上記樹脂膜上にカラーフィ
ルタを形成する工程を有することを特徴としている。
The thirty-eighth method according to the method for manufacturing a liquid crystal display device,
The invention is a method for manufacturing a liquid crystal display device according to the thirty-fifth invention.
In the above, the counter electrode forming step is a step of forming the counter electrode by forming a light reflection film on a side of the resin film opposite to the liquid crystal layer, and further, before the counter electrode forming step. And a step of forming a color filter on the resin film.

【0066】これにより、軽量でカラー表示の可能なツ
イステッドネマティックモードやホメオトロピックモー
ドの反射型の液晶表示装置を製造することができる。
Thus, a reflection type liquid crystal display device of a twisted nematic mode or a homeotropic mode capable of displaying a light color image can be manufactured.

【0067】液晶表示装置の製造方法にかかる第39の
発明は、第16ないし第18の発明にかかる液晶表示装
置の製造方法において、さらに、上記基板に共通電極を
形成する工程を有することを特徴としている。
A thirty-ninth method according to a method of manufacturing a liquid crystal display device,
The invention provides a liquid crystal display device according to the sixteenth to eighteenth aspects.
The method of manufacturing a device further includes a step of forming a common electrode on the substrate.

【0068】これにより、軽量なインプレーンスイッチ
ング型の液晶表示装置を製造することができる。
Thus, a lightweight in-plane switching type liquid crystal display device can be manufactured.

【0069】液晶表示装置の製造方法にかかる第40の
発明は、第39の発明にかかる液晶表示装置の製造方法
において、上記内面側樹脂膜形成工程における第3の波
長の光による露光は、偏光板を介して行われることを特
徴としている。
The fortieth method according to the method for manufacturing a liquid crystal display device,
The invention is a method for manufacturing a liquid crystal display device according to the thirty-ninth invention.
In the above , the exposure with the light having the third wavelength in the inner surface side resin film forming step is performed through a polarizing plate.

【0070】これにより、樹脂膜が、その樹脂膜近傍の
液晶分子に所定のチルト角を与える配向機能を有するの
で、液晶の配向状態の安定度が向上し、軽量で、かつ、
良好な表示特性のインプレーンスイッチング型の液晶表
示装置を製造することができる。
As a result, the resin film has an alignment function of giving a predetermined tilt angle to the liquid crystal molecules near the resin film, so that the stability of the alignment state of the liquid crystal is improved, the weight is reduced, and
An in-plane switching liquid crystal display device having good display characteristics can be manufactured.

【0071】液晶表示装置の製造方法にかかる第41の
発明は、第39の発明にかかる液晶表示装置の製造方法
において、さらに、上記封止膜上にカラーフィルタを形
成するカラーフィルタ形成工程を有することを特徴とし
ている。
The forty-first aspect of the method for manufacturing a liquid crystal display device is as follows.
The invention is a method for manufacturing a liquid crystal display device according to the thirty-ninth invention.
And a color filter forming step of forming a color filter on the sealing film.

【0072】これにより、軽量でカラー表示の可能なイ
ンプレーンスイッチング型の液晶表示装置を製造するこ
とができる。
As a result, it is possible to manufacture a light-weight in-plane switching type liquid crystal display device capable of color display.

【0073】液晶表示装置の製造方法にかかる第42の
発明は、第41の発明にかかる液晶表示装置の製造方法
において、さらに、上記カラーフィルタ形成工程の前ま
たは後に、上記樹脂膜上または上記カラーフィルタ上
に、透明電極を形成する工程を有することを特徴として
いる。
A forty-second liquid crystal display device manufacturing method
The invention provides a method for manufacturing a liquid crystal display device according to the forty-first invention.
And a step of forming a transparent electrode on the resin film or on the color filter before or after the color filter forming step.

【0074】これにより、軽量でカラー表示が可能であ
るとともに、樹脂膜が薄くても、液晶分子の配向が静電
気の影響を受けにくいので、配向安定性に優れたインプ
レーンスイッチング型の液晶表示装置を製造することが
できる。
As a result, an in-plane switching type liquid crystal display device having excellent alignment stability can be obtained because the alignment of liquid crystal molecules is hardly affected by static electricity even when the resin film is thin, and the color display is light. Can be manufactured.

【0075】液晶表示装置の製造方法にかかる第43の
発明は、第41の発明にかかる液晶表示装置の製造方法
において、さらに、上記カラーフィルタ上に導電性の光
の反射膜を形成する工程を有することを特徴としてい
る。
A forty-third liquid crystal display device manufacturing method
The invention provides a method for manufacturing a liquid crystal display device according to the forty-first invention.
And a step of forming a conductive light reflection film on the color filter.

【0076】これにより、軽量でカラー表示の可能なイ
ンプレーンスイッチング型の反射型の液晶表示装置を製
造することができる。
Thus, it is possible to manufacture a light-weight in-plane switching type reflection type liquid crystal display device capable of color display.

【0077】液晶表示装置にかかる第44の発明は、
像信号電極と走査電極とのうちの何れか一方、および配
向膜が形成された基板と、感光性プレポリマーが露光に
より重合硬化して形成され、上記画像信号電極と走査電
極とのうちの他方が形成された樹脂膜と、上記基板と上
記樹脂膜との間に封止された液晶層とを有することを特
徴としている。
According to a forty-fourth aspect of the present invention, there is provided a liquid crystal display device, wherein one of an image signal electrode and a scanning electrode, a substrate on which an alignment film is formed, and a photosensitive prepolymer are polymerized and cured by exposure. The liquid crystal display device further includes a resin film on which the other of the image signal electrode and the scanning electrode is formed, and a liquid crystal layer sealed between the substrate and the resin film.

【0078】これにより、1枚の基板と樹脂膜との間に
液晶が封止されているので、1対の基板の間に液晶が封
止された液晶表示装置に比べて、軽量化を容易に図るこ
とができ、携帯用の機器への適用にも適した単純マトリ
クス型の液晶表示装置を得ることができる。
Since the liquid crystal is sealed between one substrate and the resin film, the weight can be easily reduced as compared with a liquid crystal display device in which the liquid crystal is sealed between a pair of substrates. Thus, a simple matrix type liquid crystal display device suitable for application to portable equipment can be obtained.

【0079】液晶表示装置にかかる第45の発明は、画
素信号電極と走査電極とのうちの何れか一方、および配
向膜が形成された基板と、上記画像信号電極と走査電極
とのうちの他方が形成された樹脂膜と、上記基板と上記
樹脂膜との間にあって上記樹脂膜を支持する隔壁状の支
持部材と、上記基板と上記樹脂膜との間に封止された液
晶層と、を有する液晶表示装置であって、上記樹脂膜と
上記支持部材とが、一体的に形成されていることを特徴
としている。この構成では、基板と樹脂膜との間に離壁
状の支持部材が形成されているので、スペーサを配さな
くとも基板と樹脂膜との間隔が一定に保たれる。したが
って、この発明によると、軽量で表示むらの少ない単純
マトリクス型の液晶表示装置を提供でき、しかも上記支
持部材は樹脂膜と一体的に形成されているので形状安定
性がよい。
The forty-fifth invention according to the liquid crystal display device has an image
One of the elementary signal electrode and the scanning electrode, and
A substrate on which a film is formed, the image signal electrode and the scanning electrode
A resin film on which the other of
A partition-like support that supports the resin film between the resin film
Holding member, liquid sealed between the substrate and the resin film
A liquid crystal display device comprising:
The support member and the support member are integrally formed.
And In this configuration, a wall is separated between the substrate and the resin film.
Do not place spacers because the support
At least, the distance between the substrate and the resin film is kept constant. But
Thus, according to the present invention, it is possible to provide a simple matrix type liquid crystal display device which is lightweight and has less display unevenness.
Shape is stable because the holding member is formed integrally with the resin film
Good nature.

【0080】液晶表示装置にかかる第46の発明は、第
44または45の液晶表示装置において、さらに、上記
第2の電極の上記樹脂膜側、または上記樹脂膜と反対側
にカ ラーフィルタが設けられていることを特徴としてい
る。これにより、軽量でカラー表示の可能な単純マトリ
クス型の液晶表示装置を得ることができる。
A forty-sixth invention relating to a liquid crystal display device is a
44. In the liquid crystal display device of 44 or 45,
On the resin film side of the second electrode or on the side opposite to the resin film
Color filters are characterized in that provided in
You. Thus, a simple matrix type liquid crystal display device which is lightweight and capable of color display can be obtained.

【0081】液晶装置にかかる第47の発明は、配向膜
が形成された基板と、感光性プレポリマーが露光により
重合硬化して形成された樹脂膜と、上記基板と上記樹脂
膜との間に封止された液晶層と、を有する液晶装置であ
って、上記樹脂膜と上記液晶層とは、感光性プレポリマ
ーと液晶とを含む混合液が上記基板上で相分離すること
により形成されたものであることを特徴としている。
The forty-seventh aspect of the present invention relates to a liquid crystal device, comprising : a substrate on which an alignment film is formed; a resin film formed by polymerization and curing of a photosensitive prepolymer by exposure; the liquid crystal device der having a liquid crystal layer sealed,
Therefore, the resin film and the liquid crystal layer are formed of a photosensitive prepolymer.
Liquid and liquid crystal phase-separate on the substrate
Characterized in that it is formed by:

【0082】これにより、1枚の基板と樹脂膜との間に
液晶が封止されているので、1対の基板の間に液晶が封
止された液晶装置に比べて、軽量化を容易に図ることが
できる
Thus, between one substrate and the resin film
Since the liquid crystal is sealed, the liquid crystal is sealed between the pair of substrates.
It is easier to reduce the weight compared to a stopped liquid crystal device.
I can .

【0083】液晶装置にかかる請求項48の発明は、第
47の発明にかかる液晶装置において、さらに、上記基
板と上記樹脂膜との間に、感光性プレポリマーが露光に
より重合硬化して形成された支持部材が設けられている
ことを特徴としている。これにより、基板と樹脂膜との
間隔、すなわち液晶層の厚さを一定に保つことが容易に
できる。
The invention according to claim 48 relating to the liquid crystal device is characterized in that
The liquid crystal device according to the forty-seventh aspect, further comprising a support member formed by polymerizing and curing the photosensitive prepolymer by exposure between the substrate and the resin film. This allows the substrate and resin film to
It is easy to keep the spacing, that is, the thickness of the liquid crystal layer, constant
it can.

【0084】液晶装置にかかる第49の発明は、配向膜
が形成された基板と、樹脂膜と、上記基板と上記樹脂膜
との間にあって上記樹脂膜を支持する隔壁状の支持部材
と、上記基板と上記樹脂膜との間に封止された液晶層
と、を有する液晶装置であって、上記樹脂膜と上記支持
部材とが、一体的に形成されていることを特徴とする
この構成では、基板と樹脂膜との間に離壁状の支持部材
が形成されているので、スペーサを配さなくとも基板と
樹脂膜との間隔が一定に保たれる。したがって、この発
明によると、軽量で形状安定性のよい液晶装置を生産性
よく提供できる。
A forty-ninth aspect of the present invention relates to a liquid crystal device,
Formed with a substrate, a resin film, the substrate and the resin film
And a partition-like support member for supporting the resin film
And a liquid crystal layer sealed between the substrate and the resin film
Wherein the resin film and the support
The member is formed integrally .
In this configuration, a separated support member is provided between the substrate and the resin film.
Is formed, so that no
The distance from the resin film is kept constant. Therefore, this departure
According to Ming, productivity of liquid crystal devices with light weight and good shape stability
Can provide well.

【0085】液晶装置にかかる第50の発明は、第47
ないし第49の発明にかかる液晶装置において、さら
に、上記基板、および上記樹脂膜に、それぞれ透明電極
が形成されていることを特徴としている。
The fiftieth invention relating to the liquid crystal device is a forty-seventh invention.
In the liquid crystal device according to the thirty-ninth aspect , a transparent electrode is further formed on each of the substrate and the resin film.

【0086】これにより、透明電極に印加する電圧を制
御して光の透過率を制御する液晶装置を得ることができ
る。
As a result, it is possible to obtain a liquid crystal device in which the voltage applied to the transparent electrode is controlled to control the light transmittance.

【0087】液晶装置にかかる第51の発明は、第47
ないし第50の発明にかかる液晶装置において、上記樹
脂膜は、感光性プレポリマーの分子が偏光の露光により
方向性を有するように重合硬化して形成されていること
を特徴としている。
The fifty-first invention relating to the liquid crystal device is a forty-seventh invention.
In the liquid crystal device according to the fiftieth aspect, the resin film is formed by polymerizing and curing the photosensitive prepolymer so that molecules of the photosensitive prepolymer have directionality by exposure to polarized light . .

【0088】これにより、樹脂膜が、その樹脂膜近傍の
液晶分子に所定のチルト角を与える配向機能を有するの
で、液晶の安定な配向状態を容易に得ることができる。
Thus, the resin film has an alignment function of giving a predetermined tilt angle to liquid crystal molecules near the resin film, so that a stable alignment state of the liquid crystal can be easily obtained.

【0089】液晶装置にかかる第52の発明は、第47
ないし第50の発明にかかる液晶装置において、上記樹
脂膜は、アクリレート系の物質を含むことを特徴として
いる。
A fifty-second invention relating to a liquid crystal device is directed to a forty-seventh invention.
In the liquid crystal device according to the fiftieth aspect, the resin film contains an acrylate-based material.

【0090】これにより、可視光域の光に対して透明性
に優れた液晶装置を得ることができる。
As a result, a liquid crystal device having excellent transparency to light in the visible light range can be obtained.

【0091】液晶装置にかかる第53または第54の発
明は、第47ないし第50の発明にかかる液晶装置にお
いて、上記液晶層は、ネマティック液晶、より具体的に
は、トラン系ネマティック液晶を含むことを特徴として
いる。
The 53rd or 54th aspect of the liquid crystal device
Akira describes a liquid crystal device according to the forty-seventh to fifty-fifth inventions.
There are, the liquid crystal layer is a nematic liquid crystal, more specifically, is characterized in that it comprises a tolane nematic liquid crystal.

【0092】これにより、安価で、しかも動作の安定し
た液晶装置を容易に得ることができる。
As a result, an inexpensive and stable operation liquid crystal device can be easily obtained.

【0093】液晶装置の製造方法にかかる第55の発明
は、配向膜が形成された基板と、感光性プレポリマーが
露光により重合硬化して形成された樹脂膜と、上記基板
と上記樹脂膜との間に封止された液晶層とを有する液晶
装置の製造方法において、上記配向膜が形成された上記
基板上に、感光性プレポリマーと液晶とを含む混合体膜
を形成する工程と、上記混合体膜を上記基板と反対側か
ら第1の波長の光で露光し、上記混合体膜中の感光性プ
レポリマーを析出させ、重合硬化させて、上記混合体膜
の表面に樹脂膜を形成する樹脂膜形成工程とを有するこ
とを特徴としている。
A fifty-fifth invention according to a method for manufacturing a liquid crystal device.
A liquid crystal device comprising a substrate having an alignment film is formed, a resin film photosensitive prepolymer is formed by polymerizing cured by exposure, and a liquid crystal layer sealed between the substrate and the resin film Forming a mixture film containing a photosensitive prepolymer and a liquid crystal on the substrate on which the alignment film is formed; and forming the mixture film at a first wavelength from the side opposite to the substrate. And a polymer film forming step of forming a resin film on the surface of the mixture film by subjecting the mixture to light exposure to precipitate a photosensitive prepolymer in the mixture film, polymerizing and curing the same.

【0094】これにより、混合体膜中の感光性プレポリ
マーが析出して樹脂膜が形成されるとともに、残った液
晶によって液晶層が形成されるので、時間の長くかかる
液晶注入工程を必要とすることなく液晶層を形成するこ
とができ、製造工程の簡略化および製造コストの低減を
図ることができるとともに、1枚の基板と樹脂膜との間
に液晶が封止されるので、1対の基板の間に液晶が封止
された液晶装置に比べて、軽量化を容易に図ることがで
きる。
As a result, the photosensitive prepolymer in the mixture film is deposited to form a resin film, and a liquid crystal layer is formed by the remaining liquid crystal. Therefore, a time-consuming liquid crystal injection step is required. A liquid crystal layer can be formed without the need for a liquid crystal layer, which simplifies the manufacturing process and reduces the manufacturing cost. In addition, since the liquid crystal is sealed between one substrate and the resin film, a pair of liquid crystal layers can be formed. Lightening can be easily achieved as compared with a liquid crystal device in which liquid crystal is sealed between substrates.

【0095】液晶装置の製造方法にかかる第56の発明
は、第55の発明にかかる液晶装置の製造方法におい
て、上記樹脂膜形成工程は、上記混合体膜中の所定の量
の感光性プレポリマーを析出させて樹脂膜を形成すると
ともに、さらに、上記混合体膜における所定の領域を第
2の波長の光で選択的に露光し、上記混合体膜中に残っ
ている感光性プレポリマーを重合硬化させて、上記領域
における上記基板と上記樹脂膜との間に支持部材を形成
する支持部材形成工程を有することを特徴としている。
A fifty-sixth aspect according to a method for manufacturing a liquid crystal device.
Is a method of manufacturing a liquid crystal device according to the fifty-fifth invention.
In the resin film forming step, a predetermined amount of the photosensitive prepolymer in the mixture film is precipitated to form a resin film, and further, a predetermined region in the mixture film has a second wavelength. Selectively exposing with light, polymerizing and curing the photosensitive prepolymer remaining in the mixture film, and forming a support member forming step of forming a support member between the substrate and the resin film in the region. It is characterized by having.

【0096】これにより、混合体膜中に残っている感光
性プレポリマーによって支持部材を形成することができ
るので、製造工程の簡略化を図りつつ、基板と樹脂膜と
の間隔、すなわち液晶層の厚さを一定に保った液晶装置
を製造することが容易にできる。
Thus, the supporting member can be formed by the photosensitive prepolymer remaining in the mixture film, so that the manufacturing process can be simplified and the distance between the substrate and the resin film, that is, the liquid crystal layer can be formed. A liquid crystal device having a constant thickness can be easily manufactured.

【0097】液晶装置の製造方法にかかる第57の発明
は、第56の発明にかかる液晶装置 の製造方法におい
て、上記支持部材形成工程は、上記混合体膜中に残って
いる所定の量の感光性プレポリマーを析出させて支持部
材を形成するとともに、さらに、上記混合体膜を上記樹
脂膜側から第3の波長の光で露光し、上記混合体膜中に
残っている感光性プレポリマーを析出させ、重合硬化さ
せて、上記樹脂膜の上記基板側に内面側樹脂膜を形成す
る内面側樹脂膜形成工程を有することを特徴としてい
る。
A fifty-seventh invention according to a method for manufacturing a liquid crystal device.
Is a method of manufacturing a liquid crystal device according to the fifty-sixth invention.
In the supporting member forming step, the supporting member is formed by precipitating a predetermined amount of the photosensitive prepolymer remaining in the mixed film, and further, the mixed film is formed from the resin film side. An inner surface resin film which is exposed to light having a wavelength of 3 to precipitate and cure the photosensitive prepolymer remaining in the mixture film to form an inner resin film on the substrate side of the resin film. It is characterized by having a forming step.

【0098】これにより、混合体膜中に残っている感光
性プレポリマーが析出して内面側樹脂膜が形成され、残
った液晶によって液晶層が形成されるので、液晶層にお
ける液晶の純度を高くすることが容易にできる。
As a result, the photosensitive prepolymer remaining in the mixture film is deposited to form an inner resin film, and the remaining liquid crystal forms a liquid crystal layer, thereby increasing the purity of the liquid crystal in the liquid crystal layer. Can be easily done.

【0099】液晶装置の製造方法にかかる第58または
第59の発明は、第55ないし第57の発明にかかる液
晶装置の製造方法において、上記感光性プレポリマー
は、光重合性モノマーまたはオリゴマー、より具体的に
は、アクリレート系の物質を含むことを特徴としてい
る。
The fifty-eighth or fifty-eighth method according to the liquid crystal device manufacturing method,
A fifty-ninth invention is directed to a liquid according to the fifty-fifth to fifty-seventh inventions.
In the method for manufacturing a crystal apparatus, the photosensitive prepolymer contains a photopolymerizable monomer or oligomer, more specifically, an acrylate-based substance.

【0100】これにより、混合体膜の露光によって容易
に感光性プレポリマーを重合硬化させて樹脂膜等を形成
することができるとともに、可視光域の光に対して透明
性に優れた液晶装置を製造することができる。
Thus, a liquid crystal device having excellent transparency with respect to light in the visible light region can be formed while easily polymerizing and curing the photosensitive prepolymer by exposure of the mixture film to form a resin film. Can be manufactured.

【0101】液晶装置の製造方法にかかる第60または
第61の発明は、第55ないし第57の発明にかかる液
晶装置の製造方法において、上記液晶は、ネマティック
液晶、より具体的には、トラン系ネマティック液晶を含
むことを特徴としている。
The 60th or the 60th method according to the method for manufacturing a liquid crystal device,
A sixty-first invention is a liquid according to the fifty-fifth to fifty-seventh inventions.
In the method of manufacturing a crystal device , the liquid crystal includes a nematic liquid crystal, and more specifically, a trans nematic liquid crystal.

【0102】これにより、混合体膜の露光によって感光
性プレポリマーと液晶とが相分離しやすく、感光性プレ
ポリマーを析出させて容易に樹脂膜等を形成できるとと
もに、入手しやすい液晶を用いて、動作の安定した液晶
装置を容易に製造することができる。
As a result, the photosensitive prepolymer and the liquid crystal are easily phase-separated by the exposure of the mixture film, and the photosensitive prepolymer can be easily deposited to form a resin film or the like. A liquid crystal device with stable operation can be easily manufactured.

【0103】液晶装置の製造方法にかかる第62ないし
第64の発明は、第55ないし第57の発明にかかる液
晶装置の製造方法において、上記混合体膜は、さらに、
感光性プレポリマーの重合開始剤、または増感剤、例え
ばベンゾイル系の物質、より具体的には、2,2−ジメ
トキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オンを含むこ
とを特徴としている。
The 62nd to 62nd liquid crystal device manufacturing methods
A sixty-fourth invention is directed to a liquid according to the fifty-fifth to fifty-seventh inventions.
In the method for manufacturing a crystallographic apparatus, the mixed film further comprises:
It is characterized by containing a polymerization initiator or a sensitizer of a photosensitive prepolymer, for example, a benzoyl-based substance, more specifically, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one.

【0104】これにより、感光性プレポリマーの重合硬
化を効率よく行わせることができるので、感光性プレポ
リマーの硬化速度を増大させて、一層、製造工程の簡略
化を図ることができる。
Thus, the polymerization and curing of the photosensitive prepolymer can be efficiently performed, so that the curing speed of the photosensitive prepolymer can be increased and the manufacturing process can be further simplified.

【0105】液晶装置の製造方法にかかる第65の発明
は、第55ないし第57の発明にかかる液晶装置の製造
方法において、上記樹脂膜形成工程は、上記混合体膜を
相反則不軌の条件で上記第1の波長の光で露光すること
により行うことを特徴としている。
A 65th invention according to a method for manufacturing a liquid crystal device
Is a manufacture of the liquid crystal device according to the fifty-fifth to fifty-seventh inventions.
In the method, the step of forming the resin film is performed by exposing the mixture film to light having the first wavelength under conditions of reciprocity failure.

【0106】これにより、最も多くの光を吸収する混合
体膜の表面付近で、感光性プレポリマーが重合硬化しや
すく、また、相反則不軌の条件により感光性ポリマーを
析出させて混合体膜の表面に選択的に樹脂膜を形成する
ことが容易にできる。
As a result, the photosensitive prepolymer is easily polymerized and hardened near the surface of the mixture film that absorbs the most light, and the photosensitive polymer is deposited under the condition of reciprocity failure to form the mixture film. It is easy to selectively form a resin film on the surface.

【0107】液晶装置の製造方法にかかる第66または
第67の発明は、第55ないし第57の発明にかかる液
晶装置の製造方法において、上記第1の波長の光とし
て、上記感光性プレポリマーの吸光特性における吸収領
域の波長の光を用い、より具体的には、上記感光性プレ
ポリマーは、ポリエステルアクリレート系の物質を含む
とともに、上記第1の波長の光として、波長が254n
mの遠紫外線を用いることを特徴としている。
The sixty-sixth aspect related to the liquid crystal device manufacturing method,
A sixty-seventh invention is directed to a liquid according to the fifty-fifth to fifty-seventh inventions.
In the method for manufacturing a crystallographic apparatus, as the light of the first wavelength, light of a wavelength in an absorption region in the light absorption characteristics of the photosensitive prepolymer is used. More specifically, the photosensitive prepolymer is a polyester acrylate-based And the light of the first wavelength has a wavelength of 254n.
m is used.

【0108】これにより、照射された光をほとんど混合
体膜の表面付近で吸収させて、感光性プレポリマーを重
合硬化させることができるので、混合体膜の表面に選択
的に樹脂膜を形成することが、一層、容易にできるとと
もに、樹脂膜の厚さを高い精度で制御することが容易に
できる。
As a result, the irradiated light is absorbed almost in the vicinity of the surface of the mixture film, and the photosensitive prepolymer can be polymerized and cured, so that a resin film is selectively formed on the surface of the mixture film. Can be more easily performed, and the thickness of the resin film can be easily controlled with high accuracy.

【0109】液晶装置の製造方法にかかる第68の発明
は、第56または第57の発明にかかる液晶装置の製造
方法において、上記樹脂膜形成工程は、上記混合体膜を
相反則不軌の条件で上記第1の波長の光で露光すること
により行い、上記支持部材形成工程は、上記混合体膜を
相反則の条件で上記第2の波長の光で露光することによ
り行うことを特徴としている。
A 68th invention according to a method for manufacturing a liquid crystal device.
Is a manufacture of the liquid crystal device according to the fifty-sixth or fifty-seventh invention.
In the method, the resin film forming step is performed by exposing the mixture film to light having the first wavelength under conditions of reciprocity failure, and the supporting member forming step includes reciprocating the mixture film according to a reciprocity law. It is characterized in that the exposure is carried out by exposure to light of the second wavelength under the conditions.

【0110】これにより、相反則不軌の条件で第1の波
長の光が照射されると、混合体膜の表面付近で感光性ポ
リマーが析出して重合硬化しやすく、混合体膜の表面に
選択的に樹脂膜を形成することが容易にでき、また、相
反則の条件で第2の光が照射されると、混合体膜におけ
る基板近傍の部分にまで感光性ポリマーを重合硬化させ
やすく、樹脂膜と基板との間に確実かつ効率的に支持部
材を形成することが容易にできる。
Thus, when the light of the first wavelength is irradiated under the condition of reciprocity failure, the photosensitive polymer precipitates near the surface of the mixture film and is easily polymerized and cured. When the second light is irradiated under the condition of reciprocity, the photosensitive polymer is easily polymerized and hardened to the portion near the substrate in the mixed film, and the resin film is easily formed. The supporting member can be easily and reliably formed between the film and the substrate.

【0111】液晶装置の製造方法にかかる第69の発明
は、第56または第57の発明にかかる液晶装置の製造
方法において、上記第2の波長の光として、上記感光性
プレポリマーの吸光度が上記第1の波長の光よりも小さ
い波長の光を用いることを特徴としている。
A 69th invention according to a method for manufacturing a liquid crystal device.
Is a manufacture of the liquid crystal device according to the fifty-sixth or fifty-seventh invention.
The method is characterized in that, as the light having the second wavelength, light having a light absorbance of the photosensitive prepolymer smaller than that of the light having the first wavelength is used.

【0112】これにより、照射された第1の波長の光を
ほとんど混合体膜の表面付近で吸収させて、感光性プレ
ポリマーを重合硬化させることができ、混合体膜の表面
に選択的に樹脂膜を形成することが、一層、容易にでき
るとともに、第2の波長の光は、混合体膜における基板
近傍の部分にまで届きやすいので、樹脂膜と基板との間
に支持部材を形成することが容易にできる。
As a result, the irradiated light of the first wavelength is almost absorbed near the surface of the mixture film, and the photosensitive prepolymer can be polymerized and cured. Since the film can be formed more easily, and the light of the second wavelength easily reaches the portion near the substrate in the mixed film, a supporting member is formed between the resin film and the substrate. Can be easily done.

【0113】液晶装置の製造方法にかかる第70の発明
は、第57の発明にかかる液晶装置の製造方法におい
て、上記樹脂膜形成工程は、上記混合体膜を相反則不軌
の条件で上記第1の波長の光で露光することにより行
い、上記支持部材形成工程は、上記混合体膜を相反則の
条件で上記第2の波長の光で露光することにより行い、
上記内面側樹脂膜形成工程は、上記混合体膜を相反則不
軌の条件で上記第3の波長の光で露光することにより行
うことを特徴としている。
Seventy-Seventh Invention Related to a Method for Manufacturing a Liquid Crystal Device
Is a liquid crystal device manufacturing method according to a fifty-seventh aspect.
Te, the resin film forming step is carried out by exposing in a light of the first wavelength condition reciprocity failure the mixture film, the support member forming step, the conditions of reciprocity the mixture film By exposing with light of the second wavelength,
The inner surface side resin film forming step is characterized in that the mixture film is exposed to light of the third wavelength under conditions of reciprocity failure.

【0114】これにより、相反則不軌の条件で第1の波
長の光または第3の波長の光が照射されると、混合体膜
の表面付近で感光性ポリマーが析出して重合硬化しやす
く、混合体膜の表面に選択的に樹脂膜や内面側樹脂膜を
形成することが容易にでき、また、相反則の条件で第2
の光が照射されると、混合体膜における基板近傍の部分
にまで感光性ポリマーを重合硬化させやすく、樹脂膜と
基板との間に確実かつ効率的に支持部材を形成すること
が容易にできる。
Accordingly, when the light of the first wavelength or the light of the third wavelength is irradiated under the condition of reciprocity failure, the photosensitive polymer precipitates near the surface of the mixture film and is easily polymerized and cured. A resin film or an inner resin film can be easily formed selectively on the surface of the mixture film, and the second resin film can be formed under the condition of reciprocity.
When the light is irradiated, the photosensitive polymer is easily polymerized and hardened to the portion near the substrate in the mixed film, and the support member can be easily and reliably formed between the resin film and the substrate. .

【0115】液晶装置の製造方法にかかる第71の発明
は、第57の発明にかかる液晶装置の製造方法におい
て、上記第3の波長の光として、上記感光性プレポリマ
ーの吸光度が、上記第1の波長の光よりも小さく、か
つ、上記第2の波長の光よりも大きい波長の光を用いる
ことを特徴としている。
A seventy-first invention according to a method for manufacturing a liquid crystal device.
Is a liquid crystal device manufacturing method according to a fifty-seventh aspect.
Te, as light of said third wavelength, the absorbance of the photosensitive prepolymer is smaller than the light of the first wavelength, and the use of large wavelengths than the light of the second wavelength Features.

【0116】これにより、第1の波長の光は、混合体膜
を透過しにくく、ほとんど混合体膜の表面付近で吸収さ
れるので、混合体膜の表面に選択的に樹脂膜を形成する
ことが容易にでき、また、第2の波長の光は、混合体膜
における基板近傍の部分にまで届きやすいので、樹脂膜
と基板との間に確実に支持部材を形成することが容易に
できるとともに、第3の波長の光は、既に形成された樹
脂膜を比較的透過しやすい一方、混合体膜における、樹
脂膜の基板側付近で吸収されやすいので、樹脂膜の基板
側に内面側樹脂膜を形成することが容易にできる。
Thus, the light of the first wavelength hardly permeates the mixture film and is almost absorbed near the surface of the mixture film, so that the resin film can be selectively formed on the surface of the mixture film. And the light of the second wavelength easily reaches the portion of the mixture film near the substrate, so that it is easy to reliably form the support member between the resin film and the substrate. The light of the third wavelength is relatively easy to pass through the resin film already formed, but is easily absorbed near the substrate side of the resin film in the mixed film. Can be easily formed.

【0117】液晶装置の製造方法にかかる請求項72ま
たは請求項73の発明は、第57の発明にかかる液晶装
置の製造方法において、上記混合体膜は、さらに、感光
性プレポリマーの重合開始剤、または増感剤を含むとと
もに、上記第1の波長の光として、上記感光性プレポリ
マーの吸光特性における吸収領域端の波長より短波長の
光を用い、相反則不軌の条件で上記混合体膜を露光し、
上記第2の波長の光として、上記重合開始剤、または増
感剤の吸光特性における吸収ピーク波長より長波長の光
を用い、相反則の条件で上記混合体膜を露光し、上記第
3の波長の光として、上記感光性プレポリマーの吸光特
性における吸収領域端の波長と、上記重合開始剤、また
は増感剤の吸光特性における吸収ピーク波長との間の波
長の光を用い、相反則不軌の条件で上記混合体膜を露光
することを特徴としており、より具体的には、上記感光
性プレポリマーは、ポリエステルアクリレート系の物質
を含み、上記液晶は、トラン系ネマティック液晶を含
み、上記混合体膜は、さらに、2,2−ジメトキシ−
1,2−ジフェニルエタン−1−オンを含むとともに、
上記第1の波長の光として、波長が254nmの遠紫外
線を用い、上記第2の波長の光として、波長が365n
mの紫外線を用い、上記第3の波長の光として、波長が
313nmの紫外線を用いることを特徴としている。
A method for manufacturing a liquid crystal device according to claim 72.
Alternatively, the invention of claim 73 is a liquid crystal device according to the fifty-seventh invention.
In the method for producing a prepolymer, the mixture film further contains a polymerization initiator or a sensitizer of the photosensitive prepolymer, and absorbs light of the first wavelength as light of the light absorption characteristic of the photosensitive prepolymer. Using light having a wavelength shorter than the wavelength at the end of the region, exposing the mixture film under conditions of reciprocity failure,
Using the polymerization initiator or light having a wavelength longer than the absorption peak wavelength in the light absorption characteristics of the sensitizer as the light of the second wavelength, exposing the mixture film under conditions of reciprocity, As light having a wavelength, light having a wavelength between the wavelength of the absorption region end in the light absorption characteristics of the photosensitive prepolymer and the absorption peak wavelength in the light absorption characteristics of the polymerization initiator or the sensitizer is used. The mixture film is exposed under the conditions described below, more specifically, the photosensitive prepolymer contains a polyester acrylate-based material, the liquid crystal contains a trans-nematic liquid crystal, and the mixed The body membrane further comprises 2,2-dimethoxy-
Including 1,2-diphenylethan-1-one;
Far-ultraviolet light having a wavelength of 254 nm is used as the light having the first wavelength, and light having a wavelength of 365 n is used as the light having the second wavelength.
m, and ultraviolet light having a wavelength of 313 nm is used as the light of the third wavelength.

【0118】これにより、第1の波長の光は、混合体膜
を透過しにくく、ほとんど混合体膜の表面付近で吸収さ
れるうえ、相反則不軌の条件により感光性ポリマーを析
出させて混合体膜の表面に選択的に樹脂膜を形成するこ
とが容易にでき、また、第2の波長の光は、混合体膜に
おける基板近傍の部分にまで届きやすいうえ、相反則の
条件により樹脂膜と基板との間に確実かつ効率的に支持
部材を形成することが容易にできるとともに、第3の波
長の光は、既に形成された樹脂膜を比較的透過しやす
く、混合体膜における、樹脂膜の基板側付近で吸収され
やすいうえ、相反則不軌の条件により感光性ポリマーを
析出させて樹脂膜の基板側に内面側樹脂膜を形成するこ
とが容易にできる。
As a result, the light of the first wavelength hardly passes through the mixture film, is almost absorbed near the surface of the mixture film, and precipitates the photosensitive polymer under the condition of reciprocity failure to form the mixture. The resin film can be easily formed selectively on the surface of the film, and the light of the second wavelength can easily reach the portion near the substrate in the mixed film, and the resin film and the resin film are formed under the reciprocity condition. The support member can be easily and reliably formed between the substrate and the substrate, and the light of the third wavelength is relatively easily transmitted through the already formed resin film. Is easily absorbed in the vicinity of the substrate side, and the photosensitive polymer can be easily deposited under the condition of reciprocity failure to form the inner resin film on the substrate side of the resin film.

【0119】液晶装置の製造方法にかかる請求項74の
発明は、第57の発明にかかる液晶装置の製造方法にお
いて、上記内面側樹脂膜形成工程における上記第3の波
長の光による露光は、偏光板を介して行われることを特
徴としている。
The method according to claim 74, which relates to a method for manufacturing a liquid crystal device.
The invention provides a method of manufacturing a liquid crystal device according to the fifty-seventh invention.
The exposure with the light of the third wavelength in the inner surface side resin film forming step is performed through a polarizing plate.

【0120】これにより、内面側樹脂膜が、その樹脂膜
近傍の液晶分子に所定のチルト角を与える配向機能を有
するので、液晶の安定な配向状態を容易に得ることがで
きる。
Thus, since the inner resin film has an alignment function of giving a predetermined tilt angle to liquid crystal molecules near the resin film, a stable alignment state of the liquid crystal can be easily obtained.

【0121】[0121]

【発明の実施の形態】(実施の形態1) 本発明の実施の形態1として、薄膜トランジスタ(TF
T)によって駆動される、透過型のツイステッドネマテ
ィック(TN)型液晶表示装置の例を説明する。
(Embodiment 1) Embodiment 1 of the present invention relates to a thin film transistor (TF).
An example of a transmission type twisted nematic (TN) liquid crystal display device driven by T) will be described.

【0122】この液晶表示装置は、図1に示すように、
ガラス基板21上に、隔壁状の支持部材22、および支
持部材22に支持された膜厚が約1.2μmのフィルム
状の樹脂膜23が設けられるとともに、上記ガラス基板
21と樹脂膜23との間に液晶が封入された液晶層24
が形成されて構成されている。上記ガラス基板21上に
は、薄膜トランジスタ(TFT)アレイ25、酸化イン
ジウム錫(ITO)の透明導電膜から成る画素電極2
6、および配向膜27が形成されている。また、樹脂膜
23上には、シート抵抗が100〜50オーム/□のI
TOの透明導電膜から成る対向電極28、および赤緑青
の微小なフィルタ群から構成されたカラーモザイクフィ
ルタ29が設けられている。さらに、ガラス基板21、
およびカラーモザイクフィルタ29の外方側には、それ
ぞれ偏光板30,30が設置されている。
This liquid crystal display device, as shown in FIG.
On a glass substrate 21, a partition-like support member 22 and a film-like resin film 23 supported by the support member 22 and having a film thickness of about 1.2 μm are provided. Liquid crystal layer 24 with liquid crystal sealed between
Is formed. On the glass substrate 21, a thin film transistor (TFT) array 25, a pixel electrode 2 made of a transparent conductive film of indium tin oxide (ITO),
6, and an alignment film 27 are formed. Further, on the resin film 23, an I sheet having a sheet resistance of 100 to 50 ohms / square
A counter electrode 28 made of a transparent conductive film of TO and a color mosaic filter 29 composed of a group of fine filters of red, green and blue are provided. Further, the glass substrate 21,
Polarizing plates 30, 30 are provided on the outer side of the color mosaic filter 29, respectively.

【0123】上記支持部材22および樹脂膜23は、感
光性プレポリマーである光重合性モノマーまたはオリゴ
マーが紫外線の照射によって重合硬化して形成されてい
る。樹脂膜23は、より詳しくは、2回の紫外線の照射
によってそれぞれ形成された第1の樹脂膜23aと第2
の樹脂膜23bとから構成されている。第2の樹脂膜2
3bを形成するための紫外線の照射時には、所定の方向
に偏光した紫外線が用いられることにより、ガラス基板
21と樹脂膜23との間で液晶分子が90°ねじれたT
N型液晶表示装置が構成されている。
The support member 22 and the resin film 23 are formed by polymerizing and curing a photopolymerizable monomer or oligomer, which is a photosensitive prepolymer, by irradiation with ultraviolet rays. More specifically, the resin film 23 is formed of a first resin film 23a and a second
Resin film 23b. Second resin film 2
When irradiating ultraviolet rays for forming 3b, ultraviolet rays polarized in a predetermined direction are used, so that the liquid crystal molecules are twisted by 90 ° between the glass substrate 21 and the resin film 23.
An N-type liquid crystal display device is configured.

【0124】次に、上記液晶表示装置の製造方法につい
て説明する。
Next, a method for manufacturing the liquid crystal display device will be described.

【0125】(1) 図2(a)に示すように、ガラス
基板21上に、薄膜トランジスタアレイ25および画素
電極26を形成する。
(1) As shown in FIG. 2A, a thin film transistor array 25 and a pixel electrode 26 are formed on a glass substrate 21.

【0126】(2) 図2(b)に示すように、配向膜
用ポリイミド樹脂をスピナーを用いて100nm程度の
膜厚で塗布し、250度℃で20分程度加熱硬化させた
後、所定の方向にラビングして配向膜27を形成する。
(2) As shown in FIG. 2 (b), a polyimide resin for an alignment film is applied in a thickness of about 100 nm using a spinner, and is cured by heating at 250 ° C. for about 20 minutes. The alignment film 27 is formed by rubbing in the direction.

【0127】(3) 図2(c)に示すように、配向膜
27の表面全面に渡って、スピナーを用いて液晶分散プ
レポリマー31を6μm程度の膜厚に塗布する。上記液
晶分散プレポリマー31は、具体的には、感光性プレポ
リマーである光重合性モノマーまたはオリゴマーと、光
重合性モノマーまたはオリゴマーの反応性を向上させる
重合開始剤または増感剤と、ネマティック液晶とを混合
したものである。より具体的には、例えば、 (a)多官能ポリエステルアクリレート(大日本インキ
(株)製):20%、 (b)イルガキュアー651(チバガイギー社製):2
%、(ベンゾイル系の2,2−ジメトキシ−1,2−ジ
フェニルエタン−1−オン) (c)トラン系ネマティック液晶(KT450:大日本
インキ(株)製):78% を混合したものである。なお、液晶分散プレポリマー3
1の材料や混合割合は、上記のものに限るものではな
い。例えば、多官能ポリエステルアクリレートの混合割
合は、形成する樹脂膜23の膜厚等に応じて設定すれば
よい。また、混合割合等によっては、必ずしも液晶が混
合体中に分散した状態にならなくても、均質な混合体で
あればよい。
(3) As shown in FIG. 2C, a liquid crystal dispersed prepolymer 31 is applied to a thickness of about 6 μm over the entire surface of the alignment film 27 using a spinner. The liquid crystal-dispersed prepolymer 31 is, specifically, a photopolymerizable monomer or oligomer that is a photosensitive prepolymer, a polymerization initiator or a sensitizer that improves the reactivity of the photopolymerizable monomer or oligomer, and a nematic liquid crystal. Are mixed. More specifically, for example, (a) polyfunctional polyester acrylate (Dainippon Ink Co., Ltd.): 20%, (b) Irgacure 651 (Ciba Geigy): 2
%, (Benzoyl-based 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one) (c) Tolan-based nematic liquid crystal (KT450: manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd.): 78% . In addition, the liquid crystal dispersion prepolymer 3
The material 1 and the mixing ratio are not limited to those described above. For example, the mixing ratio of the polyfunctional polyester acrylate may be set according to the thickness of the resin film 23 to be formed. Further, depending on the mixing ratio and the like, a homogeneous mixture may be used even if the liquid crystal is not necessarily dispersed in the mixture.

【0128】ここで、上記液晶分散プレポリマー31
は、例えば図4に示すような可視・紫外分光吸収特性
(吸光特性)を示す。同図に示すように、液晶分散プレ
ポリマー31は、約300nm以下の波長の光に対して
吸光度が極めて大きい吸収領域を有する。なお、同図に
おいて、実線および破線は、それぞれ重合前後の吸光特
性を示す。
Here, the liquid crystal dispersion prepolymer 31 was used.
Indicates, for example, visible / ultraviolet spectral absorption characteristics (absorption characteristics) as shown in FIG. As shown in the figure, the liquid crystal dispersed prepolymer 31 has an absorption region where the absorbance is extremely large for light having a wavelength of about 300 nm or less. In addition, in the same figure, the solid line and the broken line show the light absorption characteristics before and after polymerization, respectively.

【0129】(4) 次に、図2(d)に示すように、
液晶分散プレポリマー31の全面にわたって、波長が2
54nm、強度が0.5mW/cmの第1の光で、3
00mJ/cm程度露光して、液晶分散プレポリマー
31の表面付近で、液晶分散プレポリマー31中のポリ
エステルアクリレートを50%程度だけ重合硬化させ
て、膜厚が約0.5μmの第1の樹脂膜23aを形成す
る。
(4) Next, as shown in FIG.
The wavelength is 2 over the entire surface of the liquid crystal dispersion prepolymer 31.
The first light having a wavelength of 54 nm and an intensity of 0.5 mW / cm 2 is 3
The first resin having a film thickness of about 0.5 μm is exposed by exposing about 100 mJ / cm 2 to polymerize and cure about 50% of the polyester acrylate in the liquid crystal dispersed prepolymer 31 near the surface of the liquid crystal dispersed prepolymer 31. The film 23a is formed.

【0130】ここで、上記第1の光の波長(254n
m)は、多官能ポリエステルアクリレート系の物質の吸
光特性における吸収領域端より短波長側に位置し、第1
の光は液晶分散プレポリマー31をほとんど透過せず、
その表面付近で吸収される。また、第1の光は強度が非
常に弱い(相反則不軌の条件)ため、液晶分散プレポリ
マー31の表面付近において、液晶分散プレポリマー3
1中のポリエステルアクリレートが相分離して析出し、
重合硬化して固定され、上記のように第1の樹脂膜23
aが形成される。
Here, the wavelength of the first light (254n
m) is located on the shorter wavelength side than the absorption region end in the light absorption characteristics of the polyfunctional polyester acrylate-based material,
Hardly transmits through the liquid crystal dispersed prepolymer 31,
It is absorbed near its surface. Since the first light has a very low intensity (the condition of reciprocity failure), the liquid crystal dispersed prepolymer 3
The polyester acrylate in 1 is phase separated and precipitated,
The first resin film 23 is fixed by polymerization and curing as described above.
a is formed.

【0131】(5) 次に、支持部材22を形成する位
置に対応した格子状の5μm程度のギャップ51aを有
するフォトマスク51を、図3(e)に示すように、液
晶分散プレポリマー31に重ねて位置合わせし、圧着し
て液晶分散プレポリマー31の膜厚を均一にした状態
で、波長が365nmで、十分大きな強度(相反則の条
件)の第2の光で露光して、上記フォトマスク51のギ
ャップ51aの位置に支持部材22を形成する。
(5) Next, a photomask 51 having a grid-like gap 51a of about 5 μm corresponding to the position where the support member 22 is to be formed is applied to the liquid crystal dispersed prepolymer 31 as shown in FIG. In a state where the film thickness of the liquid crystal dispersion prepolymer 31 is made uniform by superimposing and pressing, the film is exposed to a second light having a wavelength of 365 nm and a sufficiently large intensity (condition of reciprocity law). The support member 22 is formed at the position of the gap 51a of the mask 51.

【0132】上記第2の光の波長(365nm)は、重
合開始剤(2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエ
タン−1−オン)の吸光特性における吸収ピーク波長
(335nm)より長波長領域に位置し、第2の光は液
晶分散プレポリマー31を透過しやすいため、液晶分散
プレポリマー31中のポリエステルアクリレートは、そ
の厚さ方向に渡って、すなわち配向膜27から第1の樹
脂膜23aまでの間で重合硬化し、隔壁状の支持部材2
2が形成される。また、第2の光の強度は強いため、上
記重合は比較的短時間に行われる。なお、このように短
時間に重合が行われると、支持部材22には液晶分散プ
レポリマー31中の液晶が分散された状態で保持される
が、特に液晶表示装置の表示動作には影響しない。
The wavelength of the second light (365 nm) is longer than the absorption peak wavelength (335 nm) in the absorption characteristics of the polymerization initiator (2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one). Since the second light is easily transmitted through the liquid crystal dispersed prepolymer 31, the polyester acrylate in the liquid crystal dispersed prepolymer 31 spreads in the thickness direction, that is, from the alignment film 27 to the first resin film 23 a. Polymerized and cured until the partitioning support member 2
2 are formed. In addition, since the intensity of the second light is high, the polymerization is performed in a relatively short time. If the polymerization is performed in such a short time, the liquid crystal in the liquid crystal dispersion prepolymer 31 is maintained in a dispersed state on the support member 22, but does not particularly affect the display operation of the liquid crystal display device.

【0133】なお、上記格子状のギャップ51aを有す
るフォトマスク51に代えて、例えば数μm角の複数の
開口部を有するフォトマスクを用いて、柱状の支持部材
を形成するようにしてもよい。
Note that, instead of the photomask 51 having the lattice-shaped gap 51a, a columnar support member may be formed using a photomask having a plurality of openings each having a size of several μm, for example.

【0134】(6) さらに、図3(f)に示すよう
に、偏光板52を介して、液晶分散プレポリマー31の
全面にわたって、波長が313nm、強度が0.5mW
/cmの第3の光で、1000mJ/cm程度露光
して、第1の樹脂膜23aのガラス基板21側に、膜厚
が約0.7μmの第2の樹脂膜23bを形成するととも
に、液晶分散プレポリマー31中に残った液晶によって
液晶層24を形成する。
(6) Further, as shown in FIG. 3F, the wavelength is 313 nm and the intensity is 0.5 mW over the entire surface of the liquid crystal dispersion prepolymer 31 via the polarizing plate 52.
/ Third light cm 2, and exposure of about 1000 mJ / cm 2, the glass substrate 21 side of the first resin film 23a, with the membrane thickness to form a second resin film 23b of about 0.7μm The liquid crystal layer 24 is formed by the liquid crystal remaining in the liquid crystal dispersed prepolymer 31.

【0135】上記第3の光の波長(313nm)は、重
合開始剤の吸光特性における吸収ピーク波長と前記ポリ
エステルアクリレート系の光重合性物質の吸光特性にお
ける吸収領域端との間に位置し、第3の光は、第1の樹
脂膜23a(重合硬化したポリエステルアクリレート)
を比較的よく透過する一方、液晶分散プレポリマー31
(未硬化のポリエステルアクリレート)はあまり透過し
ないため、液晶分散プレポリマー31の表面付近で吸収
される。また、第3の光は第1の光と同様に強度が非常
に弱い(相反則不軌の条件)ため、液晶分散プレポリマ
ー31中のポリエステルアクリレートは、相分離して第
1の樹脂膜23aの下面付近に析出し、重合硬化して、
上記のように第2の樹脂膜23bが形成される。また、
液晶層24は、液晶分散プレポリマー31中のポリエス
テルアクリレートが全て析出することによって、配向膜
27と第2の樹脂膜23bとの間に比較的純度の高い液
晶が封止された状態になる。
The wavelength of the third light (313 nm) is located between the absorption peak wavelength in the light absorption characteristic of the polymerization initiator and the end of the absorption region in the light absorption characteristic of the polyester acrylate photopolymerizable substance. The third light is the first resin film 23a (polymerized and cured polyester acrylate).
While the liquid crystal dispersed prepolymer 31
Since (uncured polyester acrylate) does not transmit much, it is absorbed near the surface of the liquid crystal dispersed prepolymer 31. Further, since the third light has a very low intensity similarly to the first light (the condition of reciprocity failure), the polyester acrylate in the liquid crystal dispersed prepolymer 31 undergoes phase separation to form the first resin film 23a. Precipitated near the lower surface, polymerized and cured,
The second resin film 23b is formed as described above. Also,
The liquid crystal layer 24 is in a state in which relatively high purity liquid crystal is sealed between the alignment film 27 and the second resin film 23b because all of the polyester acrylate in the liquid crystal dispersed prepolymer 31 is precipitated.

【0136】ここで、上記露光が偏光板52を介して行
われることにより、ポリエステルアクリレートは分子が
方向性をもって重合するため、第2の樹脂膜23bは、
その表面付近の液晶分子を偏光板52の偏光方向に配向
させる配向膜としての機能を有するようになる。そこ
で、偏光板52の偏光方向を前記配向膜27のラビング
方向と例えば90°の角度をなす方向に設定することに
より、配向膜27と樹脂膜23との間で、液晶分子の配
向方向が90°ねじれたTN型液晶セル構造が形成され
る。
Here, when the above exposure is performed through the polarizing plate 52, the molecules of the polyester acrylate are polymerized in a directional manner, so that the second resin film 23b is
It has a function as an alignment film that aligns liquid crystal molecules near the surface in the polarization direction of the polarizing plate 52. Therefore, by setting the polarization direction of the polarizing plate 52 to a direction making an angle of, for example, 90 ° with the rubbing direction of the alignment film 27, the alignment direction of the liquid crystal molecules between the alignment film 27 and the resin film 23 becomes 90 °. ° A twisted TN liquid crystal cell structure is formed.

【0137】なお、上記のように、重合硬化後に所定の
波長の光の透過率が大きくなるプレポリマーを用いる場
合には、第2の樹脂膜23bの形成を特に効率よく行う
ことができるが、重合前後で透過率があまり変化しない
材料を用いる場合でも、上記第3の光として、ある程
度、第1の樹脂膜23aを透過し得る波長の光を照射す
るようにすれば、同様に第2の樹脂膜23bを形成する
ことはできる。
As described above, in the case where a prepolymer having a high transmittance of light having a predetermined wavelength after polymerization and curing is used, the second resin film 23b can be formed particularly efficiently. Even when a material whose transmittance does not change much before and after polymerization is used, if the third light is irradiated to a certain degree with light having a wavelength that can transmit through the first resin film 23a, the second light is similarly formed. The resin film 23b can be formed.

【0138】(7) 次に、図3(g)に示すように、
樹脂膜23上にITOの透明導電膜(シート抵抗100
〜50オーム/□)を蒸着して対向電極28を形成し、
さらに、公知の手法によって対向電極28上に赤緑青の
カラーモザイクフィルタ29を形成する。なお、樹脂膜
23上にカラーモザイクフィルタ29を形成し、カラー
モザイクフィルタ29上に対向電極28を形成するよう
にしてもよい。
(7) Next, as shown in FIG.
A transparent conductive film of ITO (sheet resistance 100
To 50 ohms / square) to form a counter electrode 28,
Further, a red, green and blue color mosaic filter 29 is formed on the counter electrode 28 by a known method. The color mosaic filter 29 may be formed on the resin film 23, and the counter electrode 28 may be formed on the color mosaic filter 29.

【0139】(8) この状態で、ガラス基板21、お
よびカラーモザイクフィルタ29の外方側に偏光板3
0,30を設けることにより、図1に示す液晶表示装置
が得られる。
(8) In this state, the polarizing plate 3 is provided outside the glass substrate 21 and the color mosaic filter 29.
By providing 0 and 30, the liquid crystal display device shown in FIG. 1 is obtained.

【0140】なお、上記のような第2の樹脂膜23b
は、必ずしも形成しなくてもよいが、これを形成するこ
とにより、液晶分散プレポリマー31中に残存している
ポリエステルアクリレートを析出させて、液晶層24に
おける液晶の純度を高くすることが容易にできる。
The second resin film 23b as described above
Is not necessarily formed, but by forming this, it is easy to precipitate the polyester acrylate remaining in the liquid crystal dispersed prepolymer 31 and increase the purity of the liquid crystal in the liquid crystal layer 24. it can.

【0141】また、先に支持部材22を形成した後に、
樹脂膜を形成するようにしてもよいが、通常、上記のよ
うに先に樹脂膜を形成する方が、樹脂膜の凹凸を小さく
抑えることが容易である。また、上記(4)(5)の工
程を逆の順序で行う場合、(5)の工程のマスク合わせ
は、プロキシミティー露光、または投影露光を行う必要
がある。
After forming the supporting member 22 first,
Although a resin film may be formed, it is usually easier to suppress the unevenness of the resin film by forming the resin film first as described above. When the steps (4) and (5) are performed in reverse order, the mask alignment in the step (5) needs to be performed by proximity exposure or projection exposure.

【0142】また、支持部材22は、上記のように液晶
分散プレポリマー31中のポリエステルアクリレートを
重合硬化させて形成するのに代えて、液晶分散プレポリ
マー31の塗布前に、あらかじめ、公知の印刷や、リソ
グラフィ、レジストの露光および現像などによって形成
するなどしてもよい。なお、この場合には、もちろん
(5)の工程は不要となる。
Further, instead of forming the support member 22 by polymerizing and curing the polyester acrylate in the liquid crystal dispersion prepolymer 31 as described above, a known printing method is applied before the application of the liquid crystal dispersion prepolymer 31. Alternatively, it may be formed by lithography, exposure and development of a resist, or the like. In this case, of course, the step (5) becomes unnecessary.

【0143】さらに、他のスペーサなどによって液晶層
24の厚さが一定に保たれる場合などには、必ずしも上
記のようにして支持部材22を形成しなくてもよい。
Further, when the thickness of the liquid crystal layer 24 is kept constant by another spacer or the like, it is not always necessary to form the support member 22 as described above.

【0144】また、液晶分散プレポリマー31の露光前
に、または露光に代えて、液晶分散プレポリマー31の
表面にアミン系活性化剤など、プレポリマーの重合を促
進する物質を接触させて、樹脂膜を形成するようにして
もよい。
Before or instead of exposing the liquid crystal-dispersed prepolymer 31, the surface of the liquid-crystal-dispersed prepolymer 31 is brought into contact with a substance that promotes the polymerization of the prepolymer, such as an amine activator. A film may be formed.

【0145】また、TNモードではなく、ホメオトロピ
ック配向モードの液晶表示装置を構成する場合などに
は、上記第2の樹脂膜23bを形成する際に、偏光によ
る露光を行わなくてもよい。
In the case where a liquid crystal display device of a homeotropic alignment mode instead of the TN mode is formed, the exposure with polarized light may not be performed when the second resin film 23b is formed.

【0146】(実施の形態2) 上記実施の形態1では、透過型のTN型液晶表示装置を
構成した例を示したが、これに限らず、例えば図5に示
すように、樹脂膜23上にカラーモザイクフィルタ29
を形成した後、カラーモザイクフィルタ29の上に、対
向電極として、金属アルミニウムを主成分とした(例え
ばアルミニウムが98%、シリコンが2%)、膜厚が1
μm程度の反射膜41を蒸着して形成することにより、
反射型のTN型液晶表示装置を構成することができる。
また、反射型のTN型液晶表示装置を構成するために
は、画素電極26として反射膜を用いたり、ガラス基板
21の外方側に反射膜を形成したりしてもよい。
(Embodiment 2) In Embodiment 1 described above, an example was described in which a transmission type TN type liquid crystal display device was formed. However, the present invention is not limited to this. For example, as shown in FIG. Color mosaic filter 29
Is formed on the color mosaic filter 29, as a counter electrode, metal aluminum as a main component (for example, 98% of aluminum and 2% of silicon).
By depositing and forming a reflective film 41 of about μm,
A reflective TN liquid crystal display device can be configured.
In addition, in order to configure a reflective TN liquid crystal display device, a reflective film may be used as the pixel electrode 26, or a reflective film may be formed on the outer side of the glass substrate 21.

【0147】(実施の形態3) 図6に示すように、ガラス基板21上に画素電極42と
共通電極(対向電極)43とを設けて、透過型のインプ
レーンスイッチング(IPS)型液晶表示装置を構成し
てもよい。この場合には、必ずしも前記のように偏光の
露光によって第2の樹脂膜23bに配向機能を持たせる
必要はないが、配向機能を持たせることによって、液晶
分子の配向安定性に優れたIPS型の液晶表示装置を得
ることができる。また、液晶分子の配向は画素電極42
と共通電極43との間に形成される電界によって制御さ
れるので、前記のように樹脂膜23の表面に対向電極2
8を設ける必要はないが、対向電極28と同様の、シー
ト抵抗が100〜50オーム/□程度の透明電極44を
カラーモザイクフィルタ29上または樹脂膜23上など
に蒸着等により形成すれば、樹脂膜23が薄くても、液
晶分子の配向が静電気の影響を受けにくく、配向安定性
に優れたIPS型の液晶表示装置が得られる。
(Embodiment 3) As shown in FIG. 6, a pixel electrode 42 and a common electrode (counter electrode) 43 are provided on a glass substrate 21 to form a transmissive in-plane switching (IPS) liquid crystal display device. May be configured. In this case, the second resin film 23b does not necessarily have to have an alignment function by exposure to polarized light as described above, but by having the alignment function, the IPS type film having excellent alignment stability of liquid crystal molecules can be obtained. Can be obtained. The alignment of the liquid crystal molecules is determined by the pixel electrode 42.
Is controlled by an electric field formed between the first electrode and the common electrode 43, and thus the counter electrode 2 is formed on the surface of the resin film 23 as described above.
It is not necessary to provide the transparent electrode 44 having a sheet resistance of about 100 to 50 ohms / square on the color mosaic filter 29 or the resin film 23 by vapor deposition or the like. Even if the film 23 is thin, the orientation of the liquid crystal molecules is hardly affected by static electricity, and an IPS type liquid crystal display device with excellent orientation stability can be obtained.

【0148】(実施の形態4) 実施の形態3の透明電極44に代えて、図7に示すよう
に、実施の形態2と同様の反射膜41を設ければ、反射
型のIPS型液晶表示装置を構成することができる。
(Embodiment 4) If a reflective film 41 similar to that of Embodiment 2 is provided as shown in FIG. 7 instead of the transparent electrode 44 of Embodiment 3, a reflective IPS liquid crystal display The device can be configured.

【0149】なお、上記実施の形態1〜4においては、
TFTによって駆動される液晶表示装置の例を示した
が、これに限らず、走査信号線と画像信号線とを液晶層
24の両側、すなわちガラス基板21上と樹脂膜23上
とに設けて、単純マトリクス駆動される液晶表示装置を
構成してもよい。また、カラーモザイクフィルタ29を
設けず、モノクロの液晶表示装置を構成してもよい。
In the first to fourth embodiments,
Although the example of the liquid crystal display device driven by the TFT has been described, the invention is not limited thereto. Scanning signal lines and image signal lines are provided on both sides of the liquid crystal layer 24, that is, on the glass substrate 21 and the resin film 23, A liquid crystal display device driven by a simple matrix may be configured. Further, a monochrome liquid crystal display device may be configured without providing the color mosaic filter 29.

【0150】(実施の形態5) 基板全面にわたって液晶の配向が均一に制御され、調光
機能を有するブラインドガラスや、液晶シャッターなど
に適用される液晶装置について説明する。
Embodiment Mode 5 A description will be given of a liquid crystal device in which the orientation of liquid crystal is uniformly controlled over the entire surface of the substrate and which is applied to blind glass having a light control function, a liquid crystal shutter, and the like.

【0151】この液晶装置は、図8に示すように、1対
のガラス基板21,61の間に、ガラス基板21の全面
にわたる制御電極62、配向膜27、液晶層24、前記
実施の形態1と同様にして形成された樹脂膜23、およ
び対向電極28が設けられて構成されている。一方、実
施の形態1のような支持部材22は設けられていない
が、ガラス基板21,61の図示しない周辺部におい
て、シール部材によって液晶が封止されるとともに、ガ
ラス基板21,61の間隔が一定に保たれるようになっ
ている。
In this liquid crystal device, as shown in FIG. 8, between a pair of glass substrates 21, 61, a control electrode 62 over the entire surface of the glass substrate 21, the alignment film 27, the liquid crystal layer 24, A resin film 23 and a counter electrode 28 formed in the same manner as described above are provided. On the other hand, although the support member 22 as in the first embodiment is not provided, the liquid crystal is sealed by the seal member in the peripheral portions (not shown) of the glass substrates 21 and 61, and the gap between the glass substrates 21 and 61 is reduced. It is kept constant.

【0152】次に、上記のような液晶装置の製造方法に
ついて説明する。
Next, a method of manufacturing the above-described liquid crystal device will be described.

【0153】(11) 実施の形態1における画素電極
26の形成と同様の工程により、ガラス基板21上に、
全面にわたってITO膜から成る制御電極62を形成す
る。
(11) By the same process as the formation of the pixel electrode 26 in the first embodiment,
A control electrode 62 made of an ITO film is formed over the entire surface.

【0154】(12) 実施の形態1の(2)と同様に
して、配向膜27を形成する。
(12) An alignment film 27 is formed in the same manner as in (2) of the first embodiment.

【0155】(13) 実施の形態1の(3)と同様に
して、配向膜27の表面に液晶分散プレポリマー31を
塗布する。
(13) The liquid crystal dispersed prepolymer 31 is applied to the surface of the alignment film 27 in the same manner as in (3) of the first embodiment.

【0156】(14) 実施の形態1の(4)と同様に
して、波長が254nm、強度が0.5mW/cm
第1の光で、液晶分散プレポリマー31を300mJ/
cm程度露光して、第1の樹脂膜23aを形成する。
(14) In the same manner as in (4) of the first embodiment, the liquid crystal-dispersed prepolymer 31 is irradiated with the first light having a wavelength of 254 nm and an intensity of 0.5 mW / cm 2 by 300 mJ / cm 2 .
The first resin film 23a is formed by exposing to about 2 cm 2 .

【0157】(15) 実施の形態1の(6)と同様に
して、波長が313nm、強度が0.5mW/cm
第3の光で、液晶分散プレポリマー31を1000mJ
/cm程度露光して、第2の樹脂膜23bを形成する
とともに、液晶分散プレポリマー31中に残った液晶に
よって液晶層24を形成する。このように、液晶を注入
することなく液晶層24を形成することができるので、
特にブラインドガラスのような大面積の液晶装置などで
も、容易に製造することができる。
(15) In the same manner as in (6) of the first embodiment, the liquid crystal-dispersed prepolymer 31 is irradiated with a third light having a wavelength of 313 nm and an intensity of 0.5 mW / cm 2 by 1000 mJ.
/ Cm 2 to form a second resin film 23b, and form a liquid crystal layer 24 from liquid crystal remaining in the liquid crystal dispersed prepolymer 31. As described above, since the liquid crystal layer 24 can be formed without injecting liquid crystal,
In particular, a large area liquid crystal device such as blind glass can be easily manufactured.

【0158】(16) 実施の形態1の(7)と同様に
して、対向電極28を形成する。
(16) The counter electrode 28 is formed in the same manner as (7) of the first embodiment.

【0159】(17) 対向電極28上にガラス基板6
1を貼り合わせる。
(17) The glass substrate 6 on the counter electrode 28
Paste 1 together.

【0160】(18)ガラス基板21,61の両側に偏
光板30,30を設けることにより、図8に示す液晶装
置が得られる。
(18) By providing the polarizing plates 30, 30 on both sides of the glass substrates 21, 61, the liquid crystal device shown in FIG. 8 is obtained.

【0161】なお、本実施の形態5においても、実施の
形態1と同様に支持部材22を設けてもよい。この場合
には、ガラス基板61を設けなくても、液晶層24の厚
さを一定に保つことが容易にできる。
In the fifth embodiment, the support member 22 may be provided as in the first embodiment. In this case, the thickness of the liquid crystal layer 24 can be easily kept constant without providing the glass substrate 61.

【0162】また、ガラス基板61に代えて保護膜や樹
脂基板を設けたり、樹脂膜23を十分な強度および剛性
を有する厚さに形成したりしてもよい。
In place of the glass substrate 61, a protective film or a resin substrate may be provided, or the resin film 23 may be formed to a thickness having sufficient strength and rigidity.

【0163】また、液晶の配向を電界によって制御する
のではなく、光や温度などによって制御する場合には、
制御電極62および対向電極28を設ける必要はない。
In the case where the alignment of the liquid crystal is controlled not by an electric field but by light, temperature, etc.,
It is not necessary to provide the control electrode 62 and the counter electrode 28.

【0164】[0164]

【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。
The present invention is embodied in the form described above and has the following effects.

【0165】すなわち、感光性プレポリマーと液晶とを
含む混合体膜を露光し、混合体膜中の感光性プレポリマ
ーを析出させ、重合硬化させて、混合体膜の表面に樹脂
膜を形成するとともに、基板と樹脂膜との間に、感光性
プレポリマーが析出して残った液晶によって液晶層を形
成することにより、液晶注入工程を必要とすることなく
液晶層を形成することができ、製造工程の簡略化および
製造コストの低減を図ることができるとともに、1枚の
基板と樹脂膜との間に液晶が封止されるので、1対の基
板の間に液晶が封止された液晶装置や液晶表示装置に比
べて、軽量化を容易に図ることができるという効果を奏
する。
That is, the mixture film containing the photosensitive prepolymer and the liquid crystal is exposed to light, the photosensitive prepolymer in the mixture film is precipitated, polymerized and cured, and a resin film is formed on the surface of the mixture film. At the same time, by forming a liquid crystal layer between the substrate and the resin film using the liquid crystal remaining after the photosensitive prepolymer is deposited, the liquid crystal layer can be formed without the necessity of a liquid crystal injection step. A liquid crystal device in which liquid crystal is sealed between a single substrate and a resin film because the process can be simplified and the manufacturing cost can be reduced, and the liquid crystal is sealed between a pair of substrates. And an effect that the weight can be easily reduced as compared with the liquid crystal display device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施の形態1の透過型のTN型液晶表示装置の
構成を示す縦断面図である。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a configuration of a transmissive TN liquid crystal display device according to a first embodiment.

【図2】実施の形態1の液晶表示装置の製造工程を示す
説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram illustrating a manufacturing process of the liquid crystal display device of the first embodiment.

【図3】実施の形態1の液晶表示装置の製造工程を示す
説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram illustrating a manufacturing process of the liquid crystal display device of the first embodiment.

【図4】実施の形態1の液晶分散プレポリマーの可視・
紫外分光吸収特性を示すグラフである。
FIG. 4 is a graph showing the visibility of the liquid crystal-dispersed prepolymer of Embodiment 1;
4 is a graph showing ultraviolet spectral absorption characteristics.

【図5】実施の形態2の反射型のTN型液晶表示装置の
構成を示す縦断面図である。
FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing a configuration of a reflective TN liquid crystal display device according to a second embodiment.

【図6】実施の形態3の透過型のIPS型液晶表示装置
の構成を示す縦断面図である。
FIG. 6 is a longitudinal sectional view illustrating a configuration of a transmission type IPS type liquid crystal display device according to a third embodiment.

【図7】実施の形態4の反射型のIPS型液晶表示装置
の構成を示す縦断面図である。
FIG. 7 is a longitudinal sectional view illustrating a configuration of a reflection type IPS type liquid crystal display device according to a fourth embodiment.

【図8】実施の形態5の液晶装置の構成を示す縦断面図
である。
FIG. 8 is a longitudinal sectional view illustrating a configuration of a liquid crystal device according to a fifth embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

21,61 ガラス基板 22 支持部材 23 樹脂膜 23a 第1の樹脂膜 23b 第2の樹脂膜 24 液晶層 25 薄膜トランジスタアレイ 26 画素電極 27 配向膜 28 対向電極 29 カラーモザイクフィルタ 30 偏光板 31 液晶分散プレポリマー 41 反射膜 42 画素電極 43 共通電極(対向電極) 44 透明電極 51 フォトマスク 51a ギャップ 52 偏光板 61 ガラス基板 62 制御電極 21, 61 Glass substrate 22 Support member 23 Resin film 23a First resin film 23b Second resin film 24 Liquid crystal layer 25 Thin film transistor array 26 Pixel electrode 27 Alignment film 28 Counter electrode 29 Color mosaic filter 30 Polarizer 31 Liquid crystal dispersion prepolymer 41 Reflective film 42 Pixel electrode 43 Common electrode (counter electrode) 44 Transparent electrode 51 Photomask 51a Gap 52 Polarizer 61 Glass substrate 62 Control electrode

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02F 1/1333 505 G02F 1/1335 505 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G02F 1/1333 505 G02F 1/1335 505

Claims (20)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】少なくとも、画素電極、上記画素電極に接
続されたスイッチング素子、および配向膜が形成された
基板と、 感光性プレポリマーが露光により重合硬化して形成され
た樹脂膜と、 上記基板と上記樹脂膜との間に封止された液晶層と、 を有する液晶表示装置であって、 上記樹脂膜と上記液晶層とは、感光性プレポリマーと液
晶とを含む混合液が上記基板上で相分離することにより
形成されたものであることを特徴とする液晶表示装置。
1. A substrate on which at least a pixel electrode, a switching element connected to the pixel electrode, and an alignment film are formed; a resin film formed by polymerizing and curing a photosensitive prepolymer by exposure; And a liquid crystal layer sealed between the resin film and the liquid crystal display device, wherein the resin film and the liquid crystal layer are formed by mixing a liquid mixture containing a photosensitive prepolymer and liquid crystal on the substrate. A liquid crystal display device formed by phase separation in the above.
【請求項2】請求項1の液晶表示装置において、さら
に、 上記基板と上記樹脂膜との間に、感光性プレポリマーが
露光により重合硬化して形成された支持部材が設けられ
ていることを特徴とする液晶表示装置。
2. The liquid crystal display device according to claim 1, further comprising a support member formed by polymerizing and curing a photosensitive prepolymer by exposure between said substrate and said resin film. Characteristic liquid crystal display device.
【請求項3】請求項1または請求項2の液晶表示装置に
おいて、 上記樹脂膜は、アクリレート系の物質を含み、 上記液晶層は、トラン系ネマティック液晶を含む、 ことを特徴とする液晶表示装置。
3. The liquid crystal display device according to claim 1,
Oite, the resin film contains a substance acrylate, the liquid crystal layer includes a liquid crystal display device including a tolane nematic liquid crystal, it is characterized.
【請求項4】請求項1または請求項2の液晶表示装置に
おいて、 上記樹脂膜は、感光性プレポリマーが、偏光の露光によ
り、分子が方向性を有するように重合硬化して形成され
るとともに、 上記樹脂膜の上記液晶層と反対側に対向電極が形成され
ている、 ことを特徴とする液晶表示装置。
4. The liquid crystal display device according to claim 1,
In the above resin film, the photosensitive prepolymer is formed by exposure to polarized light.
Is formed by polymerizing and curing so that the molecules have directionality.
And a counter electrode is formed on the opposite side of the resin film from the liquid crystal layer.
And it has a liquid crystal display device, characterized in that.
【請求項5】請求項4の液晶表示装置において、さら
に、 上記樹脂膜の上記液晶層と反対側に、カラーフィルタが
設けられている、 ことを特徴とする液晶表示装置。
5. The liquid crystal display device according to claim 4, further comprising:
A color filter is provided on the opposite side of the resin film from the liquid crystal layer.
A liquid crystal display device , which is provided .
【請求項6】請求項5の液晶表示装置において、 上記対向電極は、透明導電膜から形成されるとともに、 上記対向電極は、上記樹脂膜と上記カラーフィルタとの
間、または上記カラーフィルタの上記樹脂膜と反対側に
設けられている、 ことを特徴とする液晶表示装置。
6. A liquid crystal display device according to claim 5, wherein said counter electrode is formed of a transparent conductive film , and said counter electrode is formed of a resin film and said color filter.
Between or on the opposite side of the color filter from the resin film
A liquid crystal display device , which is provided .
【請求項7】請求項5の液晶表示装置において、 上記対向電極は、光を反射する材料から形成されるとと
もに、 上記カラーフィルタは、上記樹脂膜と上記対向電極との
間に設けられている、 ことを特徴とする液晶表示装置。
7. The liquid crystal display device according to claim 5, wherein said counter electrode is formed of a material that reflects light.
In addition, the color filter is formed between the resin film and the counter electrode.
A liquid crystal display device provided between the liquid crystal display devices.
【請求項8】請求項1または請求項2の液晶表示装置に
おいて、 上記基板には、さらに、共通電極が形成されており、 上記樹脂膜は、感光性プレポリマーが偏光の露光によ
り、分子が方向性を有するように重合硬化して形成さ
れ、 上記樹脂膜の上記液晶層と反対側には、カラーフィルタ
が設けられている、 ことを特徴とする液晶表示装置。
8. The liquid crystal display device according to claim 1 or claim 2.
In addition, a common electrode is further formed on the substrate, and the resin film is formed by exposing a photosensitive prepolymer to polarized light.
Formed by polymerizing and curing so that the molecules are directional.
A color filter on the opposite side of the resin film from the liquid crystal layer.
Is provided , the liquid crystal display device.
【請求項9】請求項8の液晶表示装置において、さら
に、 上記樹脂膜と上記カラーフィルタとの間、または上記カ
ラーフィルタの上記樹脂膜と反対側に、透明導電膜から
形成された電極が設けられている、 ことを特徴とする液晶表示装置。
9. The liquid crystal display device according to claim 8, further comprising:
Between the resin film and the color filter, or
On the opposite side of the color filter from the resin film, a transparent conductive film
A liquid crystal display device comprising a formed electrode .
【請求項10】請求項9の液晶表示装置において、さら
に、 上記カラーフィルタの上記樹脂膜と反対側に、光を反射
する材料から形成された電極が設けられている、 ことを特徴とする液晶表示装置。
10. The liquid crystal display device according to claim 9, further comprising:
To, on the opposite side of the resin film of the color filter, reflecting light
A liquid crystal display device , comprising an electrode formed of a material that is made of a material .
【請求項11】画素電極、上記画素電極に接続されたス
イッチング素子、および配向膜が形成された基板と、 感光性プレポリマーが露光により重合硬化して形成され
た樹脂膜と、 上記基板と上記樹脂膜との間に封止された液晶層とを有
する液晶表示装置の製造方法であって、少なくとも、 上記基板上に、上記画素電極、上記スイッチング素子、
および上記配向膜を形成する工程と、 上記基板上に、感光性プレポリマーと液晶とを含む混合
体膜を形成する工程と、 上記混合体膜を上記基板と反対側から第1の波長の光で
露光し、上記混合体膜中の感光性プレポリマーを析出さ
せ、重合硬化させて、上記混合体膜の表面に樹脂膜を形
成する樹脂膜形成工程とを有することを特徴とする液晶
表示装置の製造方法。
11. A pixel electrode, and a switch connected to the pixel electrode.
A substrate on which an etching element and an alignment film are formed, and a photosensitive prepolymer formed by polymerization and curing by exposure.
And a liquid crystal layer sealed between the substrate and the resin film.
A method of manufacturing a liquid crystal display device, wherein at least on the substrate, the pixel electrode, the switching element,
Forming the alignment film, and mixing the photosensitive prepolymer and the liquid crystal on the substrate.
Forming a body film, and applying the first wavelength light from the side opposite to the substrate to the mixed film.
Exposure to precipitate the photosensitive prepolymer in the mixture film
To form a resin film on the surface of the mixture film.
Characterized by having a resin film forming step of forming
A method for manufacturing a display device.
【請求項12】請求項11の液晶表示装置の製造方法に
おいて、 上記樹脂膜形成工程は、上記混合体膜中の所定の量の感
光性プレポリマーを析出させて樹脂膜を形成するととも
に、 さらに、上記混合体膜における所定の領域を第2の波長
の光で選択的に露光し、上記混合体膜中に残っている感
光性プレポリマーを重合硬化させて、上記領域における
上記基板と上記樹脂膜との間に支持部材を形成する支持
部材形成工程を有することを特徴とする液晶表示装置の
製造方法。
12. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 11.
In the resin film forming step, a predetermined amount of sensitivity in the mixture film may be used.
Precipitating optical prepolymer and forming resin film
The further second wavelength a predetermined area in the mixture film
Selectively exposed to the light of the
Polymerize and cure the light prepolymer, and
Support for forming a support member between the substrate and the resin film
A liquid crystal display device comprising a member forming step.
Production method.
【請求項13】請求項12の液晶表示装置の製造方法に
おいて、 上記支持部材形成工程は、上記混合体膜中に残っている
所定の量の感光性プレポリマーを析出させて支持部材を
形成するとともに、 さらに、上記混合体膜を上記樹脂膜側から第3の波長の
光で露光し、上記混合体膜中に残っている感光性プレポ
リマーを析出させ、重合硬化させて、上記樹脂膜の上記
基板側に内面側樹脂膜を形成する内面側樹脂膜形成工程
を有することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
13. A method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 12.
In the above, the supporting member forming step remains in the mixed film.
Precipitate a predetermined amount of photosensitive prepolymer to support the support
And forming the mixed film at a third wavelength from the resin film side.
Exposure to light, the photosensitive pre-polymer remaining in the mixture film
Precipitate the rimer, polymerize and cure it,
An inner resin film forming step of forming an inner resin film on the substrate side
A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising:
【請求項14】請求項11ないし請求項13の液晶表示
装置の製造方法において、 上記樹脂膜形成工程は、上記混合体膜を相反則不軌の条
件で上記第1の波長の光で露光することにより行うこと
を特徴とする液晶表示装置の製造方法。
14. A liquid crystal display according to claim 11, wherein :
In the method for manufacturing an apparatus, the resin film forming step includes the step of reciprocity failure of the mixture film.
To be performed by exposing with light of the first wavelength
A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising:
【請求項15】請求項11ないし請求項13の液晶表示
装置の製造方法において、 上記第1の波長の光として、上記感光性プレポリマーの
吸光特性における吸収領域の波長の光を用いることを特
徴とする液晶表示装置の製造方法。
15. A liquid crystal display according to claim 11, wherein :
In the method of manufacturing a device, the light of the first wavelength may be used as the light of the first wavelength.
The use of light having a wavelength in the absorption region in the light absorption characteristics is
A method for manufacturing a liquid crystal display device.
【請求項16】請求項12または請求項13の液晶表示
装置の製造方法において、 上記樹脂膜形成工程は、上記混合体膜を相反則不軌の条
件で上記第1の波長の光で露光することにより行い、 上記支持部材形成工程は、上記混合体膜を相反則の条件
で上記第2の波長の光で露光することにより行うことを
特徴とする液晶表示装置の製造方法。
16. A liquid crystal display according to claim 12 or 13.
In the method for manufacturing an apparatus, the resin film forming step includes the step of reciprocity failure of the mixture film.
The supporting member forming step is performed by exposing the mixed film to a reciprocity condition.
The exposure by the light of the second wavelength.
A method for manufacturing a liquid crystal display device characterized by the above-mentioned.
【請求項17】請求項12または請求項13の液晶表示
装置の製造方法において、 上記第2の波長の光として、上記感光性プレポリマーの
吸光度が上記第1の波長の光よりも小さい波長の光を用
いることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
17. A liquid crystal display according to claim 12 or 13.
In the device manufacturing method, the light of the photosensitive prepolymer may be used as the light of the second wavelength.
Use light of a wavelength whose absorbance is smaller than the light of the first wavelength.
A method of manufacturing a liquid crystal display device.
【請求項18】請求項13の液晶表示装置の製造方法に
おいて、 上記樹脂膜形成工程は、上記混合体膜を相反則不軌の条
件で上記第1の波長の光で露光することにより行い、 上記支持部材形成工程は、上記混合体膜を相反則の条件
で上記第2の波長の光で露光することにより行い、 上記内面側樹脂膜形成工程は、上記混合体膜を相反則不
軌の条件で上記第3の波長の光で露光することにより行
うことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
18. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 13,
In the resin film forming step, the mixture film is formed by a reciprocity failure.
The supporting member forming step is performed by exposing the mixed film to a reciprocity condition.
And exposing the mixture film to a reciprocity law by exposing the mixture film to light of the second wavelength.
Exposure with light of the above third wavelength under the condition of a gauge
A method of manufacturing a liquid crystal display device.
【請求項19】請求項13の液晶表示装置の製造方法に
おいて、 上記第3の波長の光として、上記感光性プレポリマーの
吸光度が、上記第1の波長の光よりも小さく、かつ、上
記第2の波長の光よりも大きい波長の光を用いることを
特徴とする液晶表示装置の製造方法。
19. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 13,
Here, as the light of the third wavelength, the photosensitive prepolymer
Absorbance is smaller than the light of the first wavelength, and
The use of light of a wavelength larger than the light of the second wavelength is considered.
A method for manufacturing a liquid crystal display device characterized by the above-mentioned.
【請求項20】請求項13の液晶表示装置の製造方法に
おいて、 上記混合体膜は、さらに、感光性プレポリマーの重合開
始剤、または増感剤を含むとともに、 上記第1の波長の光として、上記感光性プレポリマーの
吸光特性における吸収領域端の波長より短波長の光を用
い、相反則不軌の条件で上記混合体膜を露光し、 上記第2の波長の光として、上記重合開始剤、または増
感剤の吸光特性における吸収ピーク波長より長波長の光
を用い、相反則の条件で上記混合体膜を露光し、 上記第3の波長の光として、上記感光性プレポリマーの
吸光特性における吸収領域端の波長と、上記重合開始
剤、または増感剤の吸光特性における吸収ピーク波長と
の間の波長の光を用い、相反則不軌の条件で上記混合体
膜を露光することを特徴とする液晶表示装置の製造方
法。
20. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 13,
In addition , the above-mentioned mixture film further includes a polymerization prepolymer of a photosensitive prepolymer.
Including an initiator or a sensitizer, the light of the first wavelength is used as the light of the first wavelength.
Use light with a wavelength shorter than the wavelength at the end of the absorption region in the absorption characteristics
Then, the mixture film is exposed to light under the condition of reciprocity failure, and the light of the second wavelength is used as the polymerization initiator or the polymerization initiator.
Light longer than the absorption peak wavelength in the light-absorbing characteristics of the sensitizer
And exposing the mixture film under conditions of reciprocity, and as the light of the third wavelength, the photosensitive prepolymer
The wavelength at the end of the absorption region in the light absorption characteristics and the above polymerization initiation
Peak wavelength in the absorption characteristics of the sensitizer or sensitizer
The above mixture under the condition of reciprocity failure using light of wavelength between
Method for manufacturing liquid crystal display device, characterized by exposing film
Law.
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