JP3347209B2 - 油回転真空ポンプの圧力異常検出装置 - Google Patents
油回転真空ポンプの圧力異常検出装置Info
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
- F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
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- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は油回転真空ポンプの圧力
異常検出装置に関し、特に、各種の真空機器分野で使用
される油回転真空ポンプの改良に関するものである。
異常検出装置に関し、特に、各種の真空機器分野で使用
される油回転真空ポンプの改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一例として従来の２段式の油回転真空ポ
ンプの概略構成を図３に示す。図３において、油回転真
空ポンプの本体１は、モータ部２およびポンプ部３から
構成され、モータシャフト２ａの先部には冷却用ファン
１３が接続され、さらにポンプ部３の回転軸に直結され
ている。ポンプ部３は、油槽ケース３ａの内部にポンプ
機構部３ｂが設けられ、このポンプ機構部３ｂは油槽ケ
ース３ａ内に貯溜された油４に浸かった状態で作用す
る。ポンプ機構部３ｂのポンプ室５，６には、油ポンプ
７より少量ずつ油４が供給されて循環するようにしてあ
り、吸気口８から吸入されたガスは、１段目ポンプ室５
でロータ９ａおよびベーン１０ａの回転により圧縮さ
れ、２段目ポンプ室６に送られる。この際、油ポンプ７
より供給される少量の油４は機械部品の潤滑の他に、各
部の真空シールや放熱媒体の役目を行う。２段目ポンプ
室６でも１段目ポンプ室５と同様にしてロータ９ｂおよ
びベーン１０ｂで圧縮されたガスは、排気弁１１ｃを押
し上げて油槽ケース３ａ中に放出され、排気口１２より
排気される。また、排気ガス量が多い場合には、１段目
ポンプ室５のみの圧縮により排気弁１１ａ，１１ｂが押
し上げられ、排気されるように構成されている。
ンプの概略構成を図３に示す。図３において、油回転真
空ポンプの本体１は、モータ部２およびポンプ部３から
構成され、モータシャフト２ａの先部には冷却用ファン
１３が接続され、さらにポンプ部３の回転軸に直結され
ている。ポンプ部３は、油槽ケース３ａの内部にポンプ
機構部３ｂが設けられ、このポンプ機構部３ｂは油槽ケ
ース３ａ内に貯溜された油４に浸かった状態で作用す
る。ポンプ機構部３ｂのポンプ室５，６には、油ポンプ
７より少量ずつ油４が供給されて循環するようにしてあ
り、吸気口８から吸入されたガスは、１段目ポンプ室５
でロータ９ａおよびベーン１０ａの回転により圧縮さ
れ、２段目ポンプ室６に送られる。この際、油ポンプ７
より供給される少量の油４は機械部品の潤滑の他に、各
部の真空シールや放熱媒体の役目を行う。２段目ポンプ
室６でも１段目ポンプ室５と同様にしてロータ９ｂおよ
びベーン１０ｂで圧縮されたガスは、排気弁１１ｃを押
し上げて油槽ケース３ａ中に放出され、排気口１２より
排気される。また、排気ガス量が多い場合には、１段目
ポンプ室５のみの圧縮により排気弁１１ａ，１１ｂが押
し上げられ、排気されるように構成されている。
【０００３】図４は、危険ガス等を排気する場合に使用
される油回転真空ポンプを示し、付加設備を取り付けた
油回転真空ポンプの概略図である。この油回転真空ポン
プでは、付加設備として、例えば不活性ガスパージ口２
１を取り付け、ここから不活性ガス２２を内部に導入す
ることにより、危険ガスの希釈やポンプ内へのガスの滞
留を防止する構成を有する。また凝縮性ガス等を排気す
る場合には、このようなガスを凝縮させずに効率良く排
気するために、２段目ポンプ室６に不活性ガス２２を導
入するガスバラスト２３を装着しているものもある。ま
た腐食性のガス等を排気する場合には、これらのガスが
油中に溶け込み、油４を早期に劣化させることを防ぐた
めに、貯溜している油４中に不活性ガス２２を導入し、
油をバブリングするオイルバブラ２４を装着している。
その他の構成は、図３で説明した油回転真空ポンプと同
じである。
される油回転真空ポンプを示し、付加設備を取り付けた
油回転真空ポンプの概略図である。この油回転真空ポン
プでは、付加設備として、例えば不活性ガスパージ口２
１を取り付け、ここから不活性ガス２２を内部に導入す
ることにより、危険ガスの希釈やポンプ内へのガスの滞
留を防止する構成を有する。また凝縮性ガス等を排気す
る場合には、このようなガスを凝縮させずに効率良く排
気するために、２段目ポンプ室６に不活性ガス２２を導
入するガスバラスト２３を装着しているものもある。ま
た腐食性のガス等を排気する場合には、これらのガスが
油中に溶け込み、油４を早期に劣化させることを防ぐた
めに、貯溜している油４中に不活性ガス２２を導入し、
油をバブリングするオイルバブラ２４を装着している。
その他の構成は、図３で説明した油回転真空ポンプと同
じである。
【０００４】上記構成を有する油回転真空ポンプでは、
通常、吸気口側で１０-4Torr程度の圧力まで排気が可能
であり、また排気口側では大気圧程度の圧力で排気が行
われる。さらにかかる油回転真空ポンプの保護装置とし
ては、通常、モータの加熱焼損防止用にサーマルプロテ
クタ、サーマルリレー、ヒューズ、モータブレーカ等が
適宜装着されている。
通常、吸気口側で１０-4Torr程度の圧力まで排気が可能
であり、また排気口側では大気圧程度の圧力で排気が行
われる。さらにかかる油回転真空ポンプの保護装置とし
ては、通常、モータの加熱焼損防止用にサーマルプロテ
クタ、サーマルリレー、ヒューズ、モータブレーカ等が
適宜装着されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の装
置では、特に反応生成物を生じるようなガスを排気する
用途において、排気口から先の排気用配管が何らかの原
因により目詰まりした場合に、排気ガスを圧縮してしま
い、その結果、配管の接続部からの排気ガスリークや、
場合よってはポンプのガスケット１５ａ，１５ｂや油量
計等を破壊し、そこから排気ガスが漏洩するといった不
具合がある。
置では、特に反応生成物を生じるようなガスを排気する
用途において、排気口から先の排気用配管が何らかの原
因により目詰まりした場合に、排気ガスを圧縮してしま
い、その結果、配管の接続部からの排気ガスリークや、
場合よってはポンプのガスケット１５ａ，１５ｂや油量
計等を破壊し、そこから排気ガスが漏洩するといった不
具合がある。
【０００６】また上記油回転真空ポンプでは、寒冷時に
油の粘度が硬化した場合等でもポンプの起動が容易にで
きるよう、一般的に比較的十分な出力を持つモータが装
着されており、従って生成物等により排気用配管が詰ま
った場合には、排気口側を加圧する圧縮機として作用し
てしまうことがある。また、このような真空用の配管設
備は一般的に外圧用に設計されているため、内部圧力の
上昇にはあまり耐性がなく、比較的低度の圧力上昇に対
しても漏洩が起こる可能性がある。
油の粘度が硬化した場合等でもポンプの起動が容易にで
きるよう、一般的に比較的十分な出力を持つモータが装
着されており、従って生成物等により排気用配管が詰ま
った場合には、排気口側を加圧する圧縮機として作用し
てしまうことがある。また、このような真空用の配管設
備は一般的に外圧用に設計されているため、内部圧力の
上昇にはあまり耐性がなく、比較的低度の圧力上昇に対
しても漏洩が起こる可能性がある。
【０００７】半導体や電子部品の製造設備等に使用され
る油回転真空ポンプでは、その排気口側配管を定期的に
分解、清掃し、上述のような事故を未然に防止するよう
にしているが、装置の稼働状態や排気ガス種の変更、排
気ガスや周期温度の変化、排気側配管の履歴や排ガス処
理設備の状態等、様々な要因により定期保守よりも早い
時期に排気側配管が目詰まりすることがあり、上述のよ
うな不具合が発生することがあった。
る油回転真空ポンプでは、その排気口側配管を定期的に
分解、清掃し、上述のような事故を未然に防止するよう
にしているが、装置の稼働状態や排気ガス種の変更、排
気ガスや周期温度の変化、排気側配管の履歴や排ガス処
理設備の状態等、様々な要因により定期保守よりも早い
時期に排気側配管が目詰まりすることがあり、上述のよ
うな不具合が発生することがあった。
【０００８】上記の場合に通常用いられている保護装置
がどの程度効果があるかというと、一例として、１．１
ｋｗモータを装着した排気速度７００ l/min. クラスの
油回転真空ポンプにおける油槽ケース内の圧力上昇に対
するモータ電流値の変化を図５に示し、また同圧力上昇
に対するポンプ本体の温度変化の状況を図６に示す。こ
れらの図に示されたデータに従えば、モータ電流値やポ
ンプ本体の温度は共に排気口側の圧力上昇に対する加圧
保護として使用できるような顕著な変化を示さず、上記
のサーマルリレーやヒューズ等の保護装置設備を油槽ケ
ース内の圧力上昇保護として用いることは適当でないこ
とがわかる。
がどの程度効果があるかというと、一例として、１．１
ｋｗモータを装着した排気速度７００ l/min. クラスの
油回転真空ポンプにおける油槽ケース内の圧力上昇に対
するモータ電流値の変化を図５に示し、また同圧力上昇
に対するポンプ本体の温度変化の状況を図６に示す。こ
れらの図に示されたデータに従えば、モータ電流値やポ
ンプ本体の温度は共に排気口側の圧力上昇に対する加圧
保護として使用できるような顕著な変化を示さず、上記
のサーマルリレーやヒューズ等の保護装置設備を油槽ケ
ース内の圧力上昇保護として用いることは適当でないこ
とがわかる。
【０００９】また、近年の半導体や電子部品等の製造ラ
インでは、極微量でも非常に有害なガスや、大気中に漏
れるだけで爆発するおそれのある危険ガス等を多量に使
用しており、このような排気ガス漏れ事故が発生すると
大きな事故になる可能性がある。
インでは、極微量でも非常に有害なガスや、大気中に漏
れるだけで爆発するおそれのある危険ガス等を多量に使
用しており、このような排気ガス漏れ事故が発生すると
大きな事故になる可能性がある。
【００１０】本発明の目的は、上記の問題を解決し、油
槽ケース内の圧力上昇を迅速にかつ正確に検出し、排気
ガスの漏洩事故やポンプの破損事故を未然に防止する油
回転真空ポンプの圧力異常検出装置を提供することにあ
る。
槽ケース内の圧力上昇を迅速にかつ正確に検出し、排気
ガスの漏洩事故やポンプの破損事故を未然に防止する油
回転真空ポンプの圧力異常検出装置を提供することにあ
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明に係る油回転真空
ポンプの圧力異常検出装置は、上記の目的を達成するた
め、油槽ケース内に貯留された油の中に配置されたポン
プ部を有する油回転真空ポンプにおいて、油回転真空ポ
ンプの油槽ケースの内部の油面下に開口端を有しかつ油
槽ケースからリークタイトにポンプの外部に取り出され
た圧力検出用の管部材に圧力計に設置し、この圧力計は
管部材および油槽ケース内の油を介して油槽ケース内の
圧力を検出し、この圧力計の出力信号に基づいてポンプ
保護停止用のリレー接点や異常信号などを取り出せるよ
うに構成されている。
ポンプの圧力異常検出装置は、上記の目的を達成するた
め、油槽ケース内に貯留された油の中に配置されたポン
プ部を有する油回転真空ポンプにおいて、油回転真空ポ
ンプの油槽ケースの内部の油面下に開口端を有しかつ油
槽ケースからリークタイトにポンプの外部に取り出され
た圧力検出用の管部材に圧力計に設置し、この圧力計は
管部材および油槽ケース内の油を介して油槽ケース内の
圧力を検出し、この圧力計の出力信号に基づいてポンプ
保護停止用のリレー接点や異常信号などを取り出せるよ
うに構成されている。
【００１２】また本発明に係る油回転真空ポンプの圧力
異常検出装置は、油槽ケース内に貯留された油の中に配
置されたポンプ部と不活性ガス導入部とオイルバブラ用
配管を有する油回転真空ポンプにおいて、オイルバブラ
用配管に付設され油槽ケース内の圧力異常を検出するた
めの圧力計を備え、この圧力計はオイルバブラ用配管お
よび油槽ケース内の油を介して油槽ケース内の圧力を検
出するように構成されている。さらに圧力計で圧力異常
を検出するための基準圧力は１．５〜３ｋｇ／ｃｍ2程
度の範囲で設定されることが望ましい。
異常検出装置は、油槽ケース内に貯留された油の中に配
置されたポンプ部と不活性ガス導入部とオイルバブラ用
配管を有する油回転真空ポンプにおいて、オイルバブラ
用配管に付設され油槽ケース内の圧力異常を検出するた
めの圧力計を備え、この圧力計はオイルバブラ用配管お
よび油槽ケース内の油を介して油槽ケース内の圧力を検
出するように構成されている。さらに圧力計で圧力異常
を検出するための基準圧力は１．５〜３ｋｇ／ｃｍ2程
度の範囲で設定されることが望ましい。
【００１３】
【作用】本発明による油回転真空ポンプの圧力異常検出
装置では、油槽ケース内および排気口部以降の配管内の
圧力上昇を直ちに検出し、ポンプを保護停止することが
できるので、排気側配管からのガス漏れや、加圧による
ポンプの破損を未然に防止することができる。
装置では、油槽ケース内および排気口部以降の配管内の
圧力上昇を直ちに検出し、ポンプを保護停止することが
できるので、排気側配管からのガス漏れや、加圧による
ポンプの破損を未然に防止することができる。
【００１４】また油槽ケース内の油面上に開口端を有す
る配管に取り付けた圧力計や、排気口配管の一部に取り
付けた圧力計によりこれらの圧力をモニタすることも可
能であるが、腐食性のガス等を排気する場合には、この
ように設置した圧力計は、排気ガスにさらされるため早
期に劣化するおそれがある。そこで、油面下に開口端を
有する管部材を利用して油に介して圧力を検出すること
により、排気ガスが直接圧力計に接しなくなるため、特
に圧力計の耐食性等を考慮する必要もなく、安価な通常
型圧力計を保護設備として用いることが可能となる。
る配管に取り付けた圧力計や、排気口配管の一部に取り
付けた圧力計によりこれらの圧力をモニタすることも可
能であるが、腐食性のガス等を排気する場合には、この
ように設置した圧力計は、排気ガスにさらされるため早
期に劣化するおそれがある。そこで、油面下に開口端を
有する管部材を利用して油に介して圧力を検出すること
により、排気ガスが直接圧力計に接しなくなるため、特
に圧力計の耐食性等を考慮する必要もなく、安価な通常
型圧力計を保護設備として用いることが可能となる。
【００１５】
【実施例】以下に、本発明の実施例を添付図面に基づい
て説明する。
て説明する。
【００１６】図１は本発明の第１の実施例を示し、前述
した図３の油回転真空ポンプを改良したものである。図
１で、図３で説明した要素と実質的に同一の要素には同
一の符号を付している。
した図３の油回転真空ポンプを改良したものである。図
１で、図３で説明した要素と実質的に同一の要素には同
一の符号を付している。
【００１７】油回転真空ポンプのポンプ本体１はモータ
部２とポンプ部３から構成される。モータ部２はそのモ
ータシャフト２ａに冷却用ファン１３を備え、冷却用フ
ァン１３でポンプ本体１の温度上昇を抑制する。またモ
ータ部３の入力部には、サーマルリレーやヒューズ等の
保護装置（図示せず）が装着されており、モータ部２が
加熱した場合や過負荷状態となった場合の焼損保護につ
いては従来装置と同様に行われる。
部２とポンプ部３から構成される。モータ部２はそのモ
ータシャフト２ａに冷却用ファン１３を備え、冷却用フ
ァン１３でポンプ本体１の温度上昇を抑制する。またモ
ータ部３の入力部には、サーマルリレーやヒューズ等の
保護装置（図示せず）が装着されており、モータ部２が
加熱した場合や過負荷状態となった場合の焼損保護につ
いては従来装置と同様に行われる。
【００１８】ポンプ部３は、その大部分が油槽ケース３
ａに貯留された油４の中に配置される。この実施例では
一例として２段構成のポンプ部を示し、第１ポンプ室５
と第２ポンプ室６を備えている。第１ポンプ室５には第
１ポンプ用ロータ９ａとこれに固定された第１ポンプ用
ベーン１０ａを設け、第２ポンプ室６には第２ポンプ用
ロータ９ｂとこれに固定された第２ポンプ用ベーン１０
ｂを設ける。第１ポンプ用ロータ９ａと第２ポンプ用ロ
ータ９ｂの回転シャフトは、モータ部２のシャフト２ａ
に連結されている。ロータおよびベーンの構造はよく知
られているのでここでは詳述しない。ポンプ部３におい
て、８は吸気口、１１ａ〜１１ｃは排気口を形成する排
気弁である。１４ａ〜１４ｃは排気弁１１ａ〜１１ｃに
所定の圧力を加える排気弁押さえバネ、また７は油ポン
プで、油槽ケース３ａ内に貯留される油４から適当な量
の油を潤滑・真空シール・放熱のために第１ポンプ室５
および第２ポンプ室６に供給する。また１２は油槽ケー
ス３ａの排気口、１５ａ，１５ｂはガスケット、１６は
油量計、１７は油注入口、１８は油排出口である。上記
構成に対して、さらに一端の開口部が油４の中に配置さ
れた圧力検出用パイプ１９を設け、他端の開口部が油槽
ケース３ａの外に配置されるように延設された前記パイ
プ１９の他端に圧力計２０を付設している。圧力計２０
は、通常市販されている従来のものを用いている。具体
的に例えば半導体圧力センサを利用する。
ａに貯留された油４の中に配置される。この実施例では
一例として２段構成のポンプ部を示し、第１ポンプ室５
と第２ポンプ室６を備えている。第１ポンプ室５には第
１ポンプ用ロータ９ａとこれに固定された第１ポンプ用
ベーン１０ａを設け、第２ポンプ室６には第２ポンプ用
ロータ９ｂとこれに固定された第２ポンプ用ベーン１０
ｂを設ける。第１ポンプ用ロータ９ａと第２ポンプ用ロ
ータ９ｂの回転シャフトは、モータ部２のシャフト２ａ
に連結されている。ロータおよびベーンの構造はよく知
られているのでここでは詳述しない。ポンプ部３におい
て、８は吸気口、１１ａ〜１１ｃは排気口を形成する排
気弁である。１４ａ〜１４ｃは排気弁１１ａ〜１１ｃに
所定の圧力を加える排気弁押さえバネ、また７は油ポン
プで、油槽ケース３ａ内に貯留される油４から適当な量
の油を潤滑・真空シール・放熱のために第１ポンプ室５
および第２ポンプ室６に供給する。また１２は油槽ケー
ス３ａの排気口、１５ａ，１５ｂはガスケット、１６は
油量計、１７は油注入口、１８は油排出口である。上記
構成に対して、さらに一端の開口部が油４の中に配置さ
れた圧力検出用パイプ１９を設け、他端の開口部が油槽
ケース３ａの外に配置されるように延設された前記パイ
プ１９の他端に圧力計２０を付設している。圧力計２０
は、通常市販されている従来のものを用いている。具体
的に例えば半導体圧力センサを利用する。
【００１９】上記構成を有する油回転真空ポンプの基本
動作は、従来技術の箇所で図３を参照して説明した油回
転真空ポンプと全く同じである。
動作は、従来技術の箇所で図３を参照して説明した油回
転真空ポンプと全く同じである。
【００２０】図１に示した構成において、排気口１２の
先の配管が詰まる等の何等かの原因によって油槽ケース
３ａの内部が加圧状態となった場合、油槽ケース２内に
貯溜している油４にも加圧状態が生じ、その圧力が上昇
し、圧力検出パイプ１９を通じて圧力計２０により油槽
ケース３ａ内の圧力上昇が検出される。そこで予め基準
となる圧力を設定しておき、この基準圧力と上昇した圧
力を比較し、検出した圧力が基準圧力を越えたときには
異常を知らせる信号や油回転真空ポンプの保護停止する
信号Ｓ１を発するように構成している。信号Ｓ１を発生
する構成は、本実施例のごとく圧力計の中に設けること
もできるし、圧力計は検出した圧力信号を出力し、その
圧力信号を外部に付加した装置で処理して信号Ｓ１を発
生するように構成することもできる。
先の配管が詰まる等の何等かの原因によって油槽ケース
３ａの内部が加圧状態となった場合、油槽ケース２内に
貯溜している油４にも加圧状態が生じ、その圧力が上昇
し、圧力検出パイプ１９を通じて圧力計２０により油槽
ケース３ａ内の圧力上昇が検出される。そこで予め基準
となる圧力を設定しておき、この基準圧力と上昇した圧
力を比較し、検出した圧力が基準圧力を越えたときには
異常を知らせる信号や油回転真空ポンプの保護停止する
信号Ｓ１を発するように構成している。信号Ｓ１を発生
する構成は、本実施例のごとく圧力計の中に設けること
もできるし、圧力計は検出した圧力信号を出力し、その
圧力信号を外部に付加した装置で処理して信号Ｓ１を発
生するように構成することもできる。
【００２１】上記において、設定される基準圧力として
は絶対圧で１．５〜３ｋｇ／ｃｍ2程度の範囲が望まし
く、例えば１．５ｋｇ／ｃｍ2 で異常信号を発し、２ｋ
ｇ／ｃｍ2 でポンプを保護停止するように構成する。
は絶対圧で１．５〜３ｋｇ／ｃｍ2程度の範囲が望まし
く、例えば１．５ｋｇ／ｃｍ2 で異常信号を発し、２ｋ
ｇ／ｃｍ2 でポンプを保護停止するように構成する。
【００２２】図２は本発明の第２の実施例を示し、前述
の図４で説明した油回転真空ポンプに対応する実施例で
ある。図１で説明された油回転真空ポンプの構成に対し
て付加される要素として、２１は不活性ガスパージ導入
口、２３はガスバラスト導入口、２４はオイルバブラ
（オイルバブラ用配管の意味）、２４ａはオイルバブラ
導入口、２２は導入される不活性ガスである。この実施
例では、油槽ケース３ａ内の油４中に既にオイルバブラ
２４が設置されているので、前記実施例のごとく新たに
圧力検出パイプ１９を設ける必要はない。そこでオイル
バブラ２４に、前記実施例で説明した圧力上昇状態を検
出するための圧力計２０を付設し、さらに前記実施例の
場合と同様に保護接点等を設けるだけでよい。このとき
オイルバブラ２４から不活性ガス２２を導入していない
場合には、オイラバブラ２４は圧力検出パイプ１９と全
く同様に用いればよい。またオイルバブラ２４を使用
し、ここから不活性ガス２２等を導入している場合に
は、オイルバブラ２４のライン上に圧力計２０を設置す
ることにより、圧力計２０は油槽ケース３ａの内部圧力
に対応して変化するので、これにより保護出力が得られ
る。
の図４で説明した油回転真空ポンプに対応する実施例で
ある。図１で説明された油回転真空ポンプの構成に対し
て付加される要素として、２１は不活性ガスパージ導入
口、２３はガスバラスト導入口、２４はオイルバブラ
（オイルバブラ用配管の意味）、２４ａはオイルバブラ
導入口、２２は導入される不活性ガスである。この実施
例では、油槽ケース３ａ内の油４中に既にオイルバブラ
２４が設置されているので、前記実施例のごとく新たに
圧力検出パイプ１９を設ける必要はない。そこでオイル
バブラ２４に、前記実施例で説明した圧力上昇状態を検
出するための圧力計２０を付設し、さらに前記実施例の
場合と同様に保護接点等を設けるだけでよい。このとき
オイルバブラ２４から不活性ガス２２を導入していない
場合には、オイラバブラ２４は圧力検出パイプ１９と全
く同様に用いればよい。またオイルバブラ２４を使用
し、ここから不活性ガス２２等を導入している場合に
は、オイルバブラ２４のライン上に圧力計２０を設置す
ることにより、圧力計２０は油槽ケース３ａの内部圧力
に対応して変化するので、これにより保護出力が得られ
る。
【００２３】上記第２実施例の場合には、油槽ケース３
ａ内の圧力と、油の重さによる圧力と、さらに不活性ガ
ス２２の吹き出し圧力が付加されるので、圧力計２０で
検出を行うための基準となる圧力の設定は、圧力検出パ
イプ１９を用いる場合に比べて、やや高くした方が良
く、例えば２ｋｇ／ｃｍ2 で異常信号を発し、３ｋｇ／
ｃｍ2 でポンプを保護停止するよう構成する。
ａ内の圧力と、油の重さによる圧力と、さらに不活性ガ
ス２２の吹き出し圧力が付加されるので、圧力計２０で
検出を行うための基準となる圧力の設定は、圧力検出パ
イプ１９を用いる場合に比べて、やや高くした方が良
く、例えば２ｋｇ／ｃｍ2 で異常信号を発し、３ｋｇ／
ｃｍ2 でポンプを保護停止するよう構成する。
【００２４】上記のようにして、排気口配管の目詰まり
や排ガス処理設備等に何等かの異常が発生し、油回転真
空ポンプの油槽ケース３ａ内の圧力が上昇した場合に
は、直ちにこれを検出し、排気ガスの外部への漏洩やポ
ンプの破損を未然に防止することが可能となる。
や排ガス処理設備等に何等かの異常が発生し、油回転真
空ポンプの油槽ケース３ａ内の圧力が上昇した場合に
は、直ちにこれを検出し、排気ガスの外部への漏洩やポ
ンプの破損を未然に防止することが可能となる。
【００２５】前記各実施例では２段式ポンプについて説
明したが、１段式のポンプの場合も全く同様に構成する
ことができる。
明したが、１段式のポンプの場合も全く同様に構成する
ことができる。
【００２６】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように本発明によ
れば、油槽ケースに貯留した油の中に開口端を有する管
部材を配置して外部に延設し、さらに圧力計を設けるこ
とによって保護手段を施すようにしたため、油槽ケース
内の圧力上昇を正確にかつ迅速に検出することができ、
排気ガスの漏洩事故やポンプの破損事故を未然に防止す
ることができる。
れば、油槽ケースに貯留した油の中に開口端を有する管
部材を配置して外部に延設し、さらに圧力計を設けるこ
とによって保護手段を施すようにしたため、油槽ケース
内の圧力上昇を正確にかつ迅速に検出することができ、
排気ガスの漏洩事故やポンプの破損事故を未然に防止す
ることができる。
【図１】本発明に係る油回転真空ポンプの第１実施例を
示す縦断面図である。
示す縦断面図である。
【図２】本発明に係る油回転真空ポンプの第２実施例を
示す縦断面図である。
示す縦断面図である。
【図３】従来の油回転真空ポンプの第１の構成例を示す
縦断面図である。
縦断面図である。
【図４】従来の油回転真空ポンプの第２の構成例を示す
縦断面図である。
縦断面図である。
【図５】油槽ケース内圧力とモータ電流値の関係を示す
グラフである。
グラフである。
【図６】油槽ケース内圧力とポンプ本体の温度の関係を
示すグラフである。
示すグラフである。
１ ポンプ本体 ２ モータ部 ３ ポンプ部 ４ 油 ５ 第１ポンプ室 ６ 第２ポンプ室 ７ 油ポンプ ８ 吸気口 ９ａ，９ｂ ロータ １０ａ，１０ｂ ベーン １２ 排気口 １３ 冷却ファン １９ 圧力検出パイプ ２０ 圧力計 ２１ 不活性ガスパージ導入口 ２２ 不活性ガス ２３ ガスバラスト導入口 ２４ オイルバブラ（オイルバブラ用
配管）
配管）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−128588（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−140494（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−140493（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−51511（ＪＰ，Ａ) 特公 昭62−20117（ＪＰ，Ｂ１) 実公 平２−1513（ＪＰ，Ｙ２) 実公 昭63−27106（ＪＰ，Ｙ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F04C 25/02 F04C 29/10
Claims (3)
- 【請求項１】 油槽ケース内に貯留された油の中に配置
されたポンプ部を有する油回転真空ポンプにおいて、油
槽ケース内の油面下に開口端を有しかつ前記油槽ケース
から外部に延設された圧力検出用の管部材と、前記管部
材に付設され前記油槽ケース内の圧力異常を検出するた
めの圧力計とからなり、この圧力計は前記管部材および
前記油槽ケース内の前記油を介して前記油槽ケース内の
圧力を検出することを特徴とする油回転真空ポンプの圧
力異常検出装置。 - 【請求項２】 油槽ケース内に貯留された油の中に配置
されたポンプ部と不活性ガス導入部とオイルバブラ用配
管を有する油回転真空ポンプにおいて、前記オイルバブ
ラ用配管に付設され前記油槽ケース内の圧力異常を検出
するための圧力計を備え、この圧力計は前記オイルバブ
ラ用配管および前記油槽ケース内の前記油を介して前記
油槽ケース内の圧力を検出することを特徴とする油回転
真空ポンプの圧力異常検出装置。 - 【請求項３】 請求項１または２記載の油回転真空ポン
プの圧力異常検出装置において、前記圧力計で圧力異常
を検出するための基準圧力は１．５〜３ｋｇ／ｃｍ2程
度の範囲で設定されることを特徴とする油回転真空ポン
プの圧力異常検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03282794A JP3347209B2 (ja) | 1994-02-04 | 1994-02-04 | 油回転真空ポンプの圧力異常検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03282794A JP3347209B2 (ja) | 1994-02-04 | 1994-02-04 | 油回転真空ポンプの圧力異常検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07217570A JPH07217570A (ja) | 1995-08-15 |
| JP3347209B2 true JP3347209B2 (ja) | 2002-11-20 |
Family
ID=12369667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03282794A Expired - Fee Related JP3347209B2 (ja) | 1994-02-04 | 1994-02-04 | 油回転真空ポンプの圧力異常検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3347209B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7533685B2 (en) * | 2005-01-28 | 2009-05-19 | Agilent Technologies, Inc. | Lubricant collection apparatus |
-
1994
- 1994-02-04 JP JP03282794A patent/JP3347209B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07217570A (ja) | 1995-08-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |