JP3345560B2 - Ultrasonic motor stator - Google Patents
Ultrasonic motor statorInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は超音波モータのステ
ータに係り、詳しくは板状の形成されている超音波モー
タのステータに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a stator of an ultrasonic motor, and more particularly, to a plate-shaped ultrasonic motor stator.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、鋼板等の板材をプレス打ち抜き成
形にて加工した振動板を用いて製作したステータが提案
されている。これは製作のし易さ及びコスト低減を図る
上で益々注目されている。図１４は、そのステータを用
いた超音波モータの断面を示す。該ステータ５０は、振
動板５１、該振動板５１の外周部下面にロウ付けしたベ
ースリング５２、及び、該ベースリング５２の下面に接
着した圧電素子５３とから構成されている。2. Description of the Related Art In recent years, there has been proposed a stator manufactured by using a diaphragm obtained by processing a plate material such as a steel plate by press punching. This is gaining more and more attention in terms of ease of manufacture and cost reduction. FIG. 14 shows a cross section of an ultrasonic motor using the stator. The stator 50 includes a vibration plate 51, a base ring 52 brazed to a lower surface of an outer peripheral portion of the vibration plate 51, and a piezoelectric element 53 bonded to a lower surface of the base ring 52.
【０００３】振動板５１は鋼板等の板材をプレス打ち抜
き成形にて加工されている。振動板５１は、中央部の固
定部５１ａ中心位置には貫通孔５１ｂが形成され、外周
部には上方に屈曲させて延出部５１ｃが形成されてい
る。そして、その延出部５１の上方に向いた先端面を接
触部５１ｄとしている。ベースリング５２は、前記延出
部５１ｃより内側の振動板５１下面に対してロウ付けに
て接合されている。[0003] The diaphragm 51 is formed by stamping a plate material such as a steel plate. The diaphragm 51 has a through-hole 51b formed at the center of the fixed portion 51a at the center, and an extended portion 51c formed by bending upward at the outer peripheral portion. The top end face of the extension portion 51 facing upward is defined as a contact portion 51d. The base ring 52 is brazed to the lower surface of the diaphragm 51 inside the extension 51c.
【０００４】該ステータ５０は、その振動板５１の固定
部５１ａが超音波モータの本体ケース５４を構成する剛
性が高く及び容量（体積）のある基台５５の載置部５５
ａの上面に配置され、該載置部５５ａに対して該振動板
５１を複数本（一般に３本）のネジ５６にて締め付け固
定している。In the stator 50, a mounting portion 55 of a base 55 having a high rigidity and a capacity (volume) in which a fixing portion 51a of a vibration plate 51 forms a main body case 54 of an ultrasonic motor.
The diaphragm 51 is disposed on the upper surface of the mounting plate 55a, and the diaphragm 51 is fastened and fixed to the mounting portion 55a with a plurality of (generally three) screws 56.
【０００５】基台５５に対して固定されたステータ５０
は、回転可能に支持された回転軸５６に軸線方向に移動
可能かつ回転不能に支持されたロータ５７が圧接されて
いる。即ち、前記振動板５１の先端部に形成された接触
部５１ｄにロータ５７の外周部下面が圧接する。そし
て、圧電素子５３を駆動させると、ベースリング５２、
振動板５１の延出部５１ｃを介して振動エネルギーが接
触部５１ｄに伝わる。該接触部５１ｄに伝わった振動エ
ネルギーにより進行波が発生し、該進行波にてロータ５
７は回転することになる。[0005] Stator 50 fixed to base 55
A rotor 57, which is axially movable and non-rotatably supported, is pressed against a rotatably supported rotation shaft 56. That is, the lower surface of the outer peripheral portion of the rotor 57 is pressed against the contact portion 51d formed at the tip of the diaphragm 51. When the piezoelectric element 53 is driven, the base ring 52,
Vibration energy is transmitted to the contact part 51d via the extension part 51c of the diaphragm 51. A traveling wave is generated by the vibration energy transmitted to the contact portion 51d, and the traveling wave
7 will rotate.
【０００６】又、圧電素子５３からベースリング５２に
伝わる振動エネルギーの内、固定部５１ａに伝わる振動
エネルギーもあり、この固定部５１ａに伝わる振動エネ
ルギーは小さいほどよい。なぜなら、固定部５１ａに伝
わる振動エネルギーが小さいこということは、接触部５
１ｄに伝わる振動エネルギーがその分だけ増加してエネ
ルギー変換効率がよくなることを意味する。[0006] Among the vibration energies transmitted from the piezoelectric element 53 to the base ring 52, there are vibration energies transmitted to the fixed portion 51a, and the smaller the vibration energy transmitted to the fixed portion 51a is, the better. This is because the fact that the vibration energy transmitted to the fixed portion 51a is small means that the contact portion 5
This means that the vibration energy transmitted to 1d is increased by that amount and the energy conversion efficiency is improved.
【０００７】さらに、固定部５１ａ側に伝わった振動エ
ネルギーは、反射して延出部５１ｃを介して接触部５１
ｄに伝達されないで該固定部５１ａ側で吸収されること
が望ましい。なぜなら、反射して接触部５１ｄ側に反射
して戻る振動エネルギーは、直接圧電素子５３から接触
部５１ｄに伝わる振動エネルギーと合成されることにな
り、振動特性に悪影響を与えるからである。Further, the vibration energy transmitted to the fixed portion 51a is reflected and reflected via the extension portion 51c.
It is desirable that the light be absorbed by the fixed portion 51a side without being transmitted to d. This is because the vibration energy reflected and returned to the contact portion 51d side is combined with the vibration energy transmitted directly from the piezoelectric element 53 to the contact portion 51d, which adversely affects the vibration characteristics.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】ところで、ステータ５
０を構成する振動板５１は、前記したように板材をプレ
ス打ち抜き成形して加工した。そして、該板材は非常に
薄いため、成形加工後の固定部５１ａの板厚はほぼ１ミ
リメートルと薄く剛性が低い。この薄く剛性の低い固定
部５１ａをネジ５６にて基台５５の載置部５５ａに締め
付け固定していることから、圧電素子５３からベースリ
ング５２を介して固定部５１ａ側に伝わる振動エネルギ
ーが固定部５１ａ側で充分に吸収されず接触部５１ｄ側
に反射し易い。By the way, the stator 5
The diaphragm 51 constituting No. 0 was formed by press-punching a plate material as described above. Since the plate material is very thin, the plate thickness of the fixed portion 51a after the forming process is as thin as approximately 1 mm and the rigidity is low. Since the thin and rigid fixing portion 51a is fastened and fixed to the mounting portion 55a of the base 55 with the screw 56, the vibration energy transmitted from the piezoelectric element 53 to the fixing portion 51a via the base ring 52 is fixed. The light is not sufficiently absorbed by the portion 51a and is easily reflected by the contact portion 51d.
【０００９】これは、薄く剛性の低い固定部５１ａを厚
く剛性の高い基台５５に対して固定する場合、３本のネ
ジ５６で固定している。従って、ネジ５６にて締め付け
固定すると、薄く剛性の低い固定部５１ａはその締結力
にて変形し易くなる。その結果、固定部５１ａと基台５
５の接触度合は、ネジ５６による締め付け部分では高く
ネジ５６から離間している部分は接触度合は低い。When the thin and low rigidity fixing portion 51a is fixed to the thick and high rigidity base 55, it is fixed with three screws 56. Therefore, when the fixing portion 51a is tightened and fixed with the screw 56, the thin and rigid fixing portion 51a is easily deformed by the fastening force. As a result, the fixing portion 51a and the base 5
The degree of contact of No. 5 is high in a portion tightened by the screw 56 and low in a portion separated from the screw 56.
【００１０】このことから、固定部５１ａ側に伝わって
くる振動エネルギーは、接触度合の高い箇所（ネジ５６
近辺）を介して基台５５に伝わり、ネジ５６から離間し
た接触度合の低い箇所から基台５５に伝わり難い。その
結果、振動エネルギーは接触度合の高い箇所を介して基
台５５に伝わり該基台５５から放出されるだけで、その
振動エネルギーの放出は充分でない。その結果、基台５
５への伝達が充分に行われないことからその振動エネル
ギーは再び接触部５１ｄ側に反射する。For this reason, the vibration energy transmitted to the fixing portion 51a is transmitted to a portion having a high degree of contact (the screw 56).
(In the vicinity) to the base 55, and hardly to be transmitted to the base 55 from a portion having a low degree of contact separated from the screw 56. As a result, only the vibration energy is transmitted to the base 55 through a portion having a high degree of contact and is released from the base 55, but the release of the vibration energy is not sufficient. As a result, the base 5
5 is not sufficiently transmitted, the vibration energy is reflected back to the contact portion 51d.
【００１１】しかも、固定部５１ａの全ての箇所におけ
る接触度合は均一でないため、その反射する振動エネル
ギーの大きさはその接触度合の相違する箇所毎に相違し
均一でない。その結果、接触部５１ｄの各箇所でそれぞ
れ大きさの相違する反射してくる振動エネルギーが合成
されることになり振動特性に悪影響を与えていた。Moreover, since the degree of contact at all locations of the fixed portion 51a is not uniform, the magnitude of the reflected vibration energy differs at each location where the degree of contact differs and is not uniform. As a result, reflected vibration energies having different magnitudes are synthesized at the respective portions of the contact portion 51d, which adversely affects the vibration characteristics.
【００１２】本発明は、上記問題点を解消するためにな
されたものであって、その目的は、薄い振動板にて構成
されたステータにおいて、該振動板の固定部側に伝わっ
た振動を該固定部側で効率よくしかも均一に吸収し反射
を抑えることができる超音波モータのステータを提供す
ることにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a stator constituted by a thin diaphragm which transmits vibration transmitted to a fixed portion of the diaphragm. An object of the present invention is to provide a stator of an ultrasonic motor which can efficiently and uniformly absorb and suppress reflection on a fixed portion side.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、中央部に形成された固定部が、中央部に載置部が突
出形成された基台に固定される振動板と、該振動板の外
周部に固着されるベースリングと、該ベースリングに固
着され、該ベースリングを介して前記振動板の外周部に
形成した接触部に進行波を発生させるための振動を発生
する圧電素子とからなる超音波モータのステータにおい
て、前記振動板の固定部に該固定部の剛性を高めるため
の剛体をロウ付けにて接合したことをその要旨とする。According to the first aspect of the present invention, a fixing portion formed at a central portion has a mounting portion projecting from the central portion.
A diaphragm which is fixed to the base which was issued forming a base ring which is fixed to the outer peripheral portion of the diaphragm, is fixed to the base ring, formed on the outer peripheral portion of the diaphragm through the base ring In a stator of an ultrasonic motor including a piezoelectric element that generates vibration for generating a traveling wave at a contact portion, a rigid body for increasing rigidity of the fixed portion is joined to a fixed portion of the diaphragm by brazing. That is the gist.
【００１４】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の超音波モータのステータにおいて、前記剛体は前記振
動板の板厚より厚い基板であって、前記振動板の固定部
と該基台とをロウ付けで接合するとともに、その基板を
接合した固定部を前記基台に形成した載置部に対して少
なくとも回転不能に固定したことをその要旨とする。According to a second aspect of the present invention, in the stator of the ultrasonic motor according to the first aspect, the rigid body is a substrate having a thickness greater than a thickness of the diaphragm, and the rigid portion is fixed to the fixed portion of the diaphragm. The gist of the present invention is that the base is joined by brazing, and the fixing part to which the substrate is joined is fixed at least non-rotatably with respect to the mounting part formed on the base.
【００１５】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
の超音波モータのステータにおいて、前記基板を接合し
た固定部を前記基台に形成した載置部に対してネジにて
固定したことをその要旨とする。According to a third aspect of the present invention, in the ultrasonic motor stator according to the second aspect, the fixed portion to which the substrate is joined is fixed to the mounting portion formed on the base with screws. That is the gist.
【００１６】請求項４に記載の発明は、請求項２に記載
した超音波モータのステータにおいて、前記基板を接合
した固定部を基台に形成した載置部に対して該載置部に
形成したキーと基板に形成したキー溝にて軸線方向に移
動可能にかつ回転不能に固定したことをその要旨とす
る。According to a fourth aspect of the present invention, in the stator of the ultrasonic motor according to the second aspect, a fixing portion formed by joining the substrates is formed on the mounting portion with respect to a mounting portion formed on a base. The gist is that the key and the key groove formed in the substrate are fixed so as to be movable in the axial direction and not to rotate.
【００１７】請求項５に記載の発明は、請求項２に記載
の超音波モータのステータにおいて、前記基板を接合し
た固定部を基台に形成した載置部に対してロウ付け又は
接着剤にて固定したことをその要旨とする。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the ultrasonic motor stator according to the second aspect, wherein the fixed portion to which the substrate is joined is brazed or bonded to a mounting portion formed on a base. The gist is that they have been fixed.
【００１８】請求項６に記載の発明は、請求項１に記載
の超音波モータのステータにおいて、前記剛体は基台で
あって、基台に形成した載置部に対して振動板の固定部
をロウ付けにて接合したことをその要旨とする。According to a sixth aspect of the present invention, in the ultrasonic motor stator according to the first aspect, the rigid body is a base, and the diaphragm is fixed to a mounting portion formed on the base. The gist is that they were joined by brazing.
【００１９】請求項１に記載の発明によれば、基台に固
定される固定部は剛体と接合することから該振動板の固
定部の部分は剛性が高くなる。その結果、固定部を介し
て振動板を基台に固定する際、固定部の部分は剛性が高
くなっていることから固定する時に加わる力によって該
振動板の固定部が変形することはない。その結果、基台
との接触度合は高くなり固定部側に伝わってくる圧電素
子からの振動は基台に伝わり易くなる。しかも、変形し
にくいことから、ステータを組み付け時において、振動
板の接触部の上面の精度を上げることができ、ロータに
対する接触部の振動特性の向上を図ることができる。
又、ロウ付けにより固定部と剛体は接合されているため
固定部と剛体との間には隙間がなく接触度合は高く均一
である。その結果、固定部側に伝わってくる圧電素子か
らの振動は確実に剛性のある剛体の各箇所に均一に伝わ
る。According to the first aspect of the present invention, since the fixing portion fixed to the base is joined to a rigid body, the rigidity of the fixing portion of the diaphragm is increased. As a result, when the diaphragm is fixed to the base via the fixing portion, the fixing portion of the diaphragm does not deform due to the force applied when fixing because the rigidity of the fixing portion is high. As a result, the degree of contact with the base is increased, and the vibration from the piezoelectric element transmitted to the fixed portion side is easily transmitted to the base. In addition, since the stator is hardly deformed, the accuracy of the upper surface of the contact portion of the diaphragm can be improved when the stator is assembled, and the vibration characteristics of the contact portion with respect to the rotor can be improved.
Further, since the fixed portion and the rigid body are joined by brazing, there is no gap between the fixed portion and the rigid body, and the degree of contact is high and uniform. As a result, the vibration transmitted from the piezoelectric element to the fixed portion side is surely transmitted uniformly to each portion of the rigid body having rigidity.
【００２０】請求項２に記載の発明によれば、振動板の
固定部と振動板の板厚より厚い該基板とをロウ付けで接
合したことにより、該振動板の固定部の部分は剛性が高
くなる。その結果、固定部の部分は剛性が高くなってい
ることから固定する時に加わる力によって該振動板の固
定部が変形することはなく、基台との接触度合は高くな
り固定部側に伝わってくる圧電素子からの振動は基台に
伝わり易くなる。しかも、変形し難いことから、ステー
タを組み付け時において、振動板の接触部の上面の精度
を上げることができ、ロータに対する接触部の振動特性
の向上を図ることができる。又、ロウ付けにより固定部
と基板は接合されているため固定部と基板との間には隙
間がなく接触度合は高く一様である。その結果、固定部
側に伝わってくる圧電素子からの振動は確実に剛性のあ
る基板の各箇所に均一に伝わる。According to the second aspect of the present invention, the fixed portion of the diaphragm and the substrate having a thickness greater than the thickness of the diaphragm are joined by brazing, so that the fixed portion of the diaphragm has rigidity. Get higher. As a result, since the rigidity of the fixed portion is high, the fixed portion of the diaphragm is not deformed by the force applied when fixing, and the degree of contact with the base is increased and transmitted to the fixed portion side. Vibration coming from the piezoelectric element is easily transmitted to the base. In addition, since it is difficult to deform, when the stator is assembled, the accuracy of the upper surface of the contact portion of the diaphragm can be improved, and the vibration characteristics of the contact portion with respect to the rotor can be improved. Further, since the fixed portion and the substrate are joined by brazing, there is no gap between the fixed portion and the substrate, and the degree of contact is high and uniform. As a result, the vibration from the piezoelectric element transmitted to the fixed portion side is surely transmitted uniformly to each portion of the rigid substrate.
【００２１】請求項３に記載の発明によれば、前記基板
を接合した固定部を前記基台に形成した載置部に対して
ネジにて固定したことにより、固定部と載置部との間の
接触度合は向上する。その結果、固定部側に伝わってく
る圧電素子からの振動はより効率よく基台側に伝わるこ
とになる。According to the third aspect of the present invention, the fixing portion to which the substrate is joined is fixed to the mounting portion formed on the base with screws, so that the fixing portion and the mounting portion The degree of contact between them is improved. As a result, the vibration from the piezoelectric element transmitted to the fixed portion side is more efficiently transmitted to the base side.
【００２２】請求項４に記載の発明によれは、載置部に
形成したキーと基板に形成したキー溝にて軸線方向に移
動可能にかつ回転不能に載置部と固定部は固定されるた
め、固定部側に伝わってくる圧電素子からの振動は効率
よく基台側に伝わることになる。According to the fourth aspect of the present invention, the mounting portion and the fixed portion are fixed so as to be axially movable and non-rotatably by the key formed in the mounting portion and the key groove formed in the substrate. Therefore, the vibration from the piezoelectric element transmitted to the fixed portion is efficiently transmitted to the base.
【００２３】請求項５に記載の発明によれば、基板を接
合した固定部を基台に形成した載置部に対してロウ付け
又は接着剤にて固定したことにより、基板と載置部の接
触度合は高くなる。その結果、基板から載置部への振動
はより効率よく伝搬することになる。According to the fifth aspect of the present invention, the fixing portion to which the substrate is joined is fixed to the mounting portion formed on the base by brazing or using an adhesive, so that the substrate and the mounting portion are fixed. The degree of contact increases. As a result, the vibration from the substrate to the mounting portion propagates more efficiently.
【００２４】請求項６に記載の発明によれば、振動板の
固定部は直接基台に形成した載置部に対して直接ロウ付
けにて接合されることから、固定部側に伝わってくる圧
電素子からの振動はより効率よくしかも各箇所において
均一に基台側に伝わることになる。According to the sixth aspect of the present invention, since the fixed portion of the diaphragm is directly joined to the mounting portion formed on the base by brazing, it is transmitted to the fixed portion side. Vibration from the piezoelectric element is more efficiently transmitted to the base side at each location.
【００２５】[0025]
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
形態を図１〜図３に従って説明する。図１は超音波モー
タの断面を示し、本体ケース１は基台２とカバー３とか
ら構成されている。そして、基台２の中央部には載置部
２ａが突出形成され、その載置部２ａの中央部には挿通
孔２ｂが形成されている。挿通孔２ｂにはボールベアリ
ング４が設けられ、該ベアリング４は該挿通孔２ｂを介
してケース１内に嵌挿された回転軸５を回転可能に支持
している。又、カバー３の上部中央に形成した張り出し
凹部３ａにはボールベアリング６が設けられ、該ベアリ
ング６は回転軸５の基端部を回転可能に支持している。
つまり、回転軸５はボールベアリング４，６を介して本
体ケース１に対して回転可能に支持されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. FIG. 1 shows a cross section of an ultrasonic motor, and a main body case 1 is composed of a base 2 and a cover 3. A mounting portion 2a is formed at the center of the base 2 to protrude, and an insertion hole 2b is formed at the center of the mounting portion 2a. A ball bearing 4 is provided in the insertion hole 2b, and the bearing 4 rotatably supports a rotating shaft 5 inserted into the case 1 through the insertion hole 2b. A ball bearing 6 is provided in an overhanging recess 3 a formed in the upper center of the cover 3, and the bearing 6 rotatably supports the base end of the rotating shaft 5.
That is, the rotating shaft 5 is rotatably supported by the main body case 1 via the ball bearings 4 and 6.
【００２６】基台２の載置部２ａの上面にはステータ７
が載置され、該ステータ７は３本のネジ８にて載置部２
ａに対して締め付け固定されている。図２はステータの
一部切り欠き斜視図、図３はステータの底面図である。
ステータ７は、振動板９、ベースリング１０、圧電素子
１１及び剛体としての基板１２を備えている。振動板９
は円形状の圧延鋼板例えば冷間圧延鋼板（ＳＰＣＣ）よ
りなり、前記基台２の載置部２ａと対応する中央位置を
固定部９ａとしている。その固定部９ａの中央には前記
載置部２ａの挿通孔２ｂと連通する挿通孔９ｂが形成さ
れて前記回転軸５が嵌挿するようになっている。振動板
９はその外周部がクランク状に屈曲形成されている。そ
して、上方に屈曲した部分を延出部９ｃとし、該延出部
９ｃの先端から外側に水平に延びた部分を接触部９ｄと
している。又、固定部９ａと延出部９ｃとの間の振動板
９には、複数の貫通孔９ｅが等角度間隔に、即ち放射状
に形成されている。A stator 7 is provided on the upper surface of the mounting portion 2a of the base 2.
And the stator 7 is mounted on the mounting portion 2 with three screws 8.
a. FIG. 2 is a partially cutaway perspective view of the stator, and FIG. 3 is a bottom view of the stator.
The stator 7 includes a vibration plate 9, a base ring 10, a piezoelectric element 11, and a substrate 12 as a rigid body. Diaphragm 9
Is made of a circular rolled steel plate, for example, a cold-rolled steel plate (SPCC), and a center position corresponding to the mounting portion 2a of the base 2 is a fixing portion 9a. An insertion hole 9b communicating with the insertion hole 2b of the mounting portion 2a is formed at the center of the fixing portion 9a so that the rotary shaft 5 can be fitted therein. The outer periphery of the diaphragm 9 is formed to be bent in a crank shape. The upwardly bent portion is referred to as an extension 9c, and the portion horizontally extending outward from the tip of the extension 9c is referred to as a contact portion 9d. A plurality of through holes 9e are formed in the diaphragm 9 between the fixed portion 9a and the extending portion 9c at equal angular intervals, that is, radially.
【００２７】尚、固定部９ａには前記ネジ８の頭部が収
容される収容孔９ｆが３個が等角度間隔に形成されてい
る。そして、このように、各部９ａ，９ｃ，９ｄ及び各
孔９ｂ，９ｅ，９ｆが形成された振動板９の形状は圧延
鋼板をプレス打ち抜き成形により加工されている。In the fixing portion 9a, three receiving holes 9f for receiving the heads of the screws 8 are formed at equal angular intervals. In this way, the shape of the diaphragm 9 in which the portions 9a, 9c, 9d and the holes 9b, 9e, 9f are formed is formed by press stamping a rolled steel plate.
【００２８】前記延出部９ｃと貫通孔９ｅの外側開口端
間における振動板９の外周部下面にはベースリング１０
がロウ付けにて接合されている。ベースリング１０は断
面長方形であって、厚さ（図１において上下方向の幅）
は振動板９より厚く圧延鋼板をプレス打ち抜き成形によ
り加工されている。ベースリング１０はその上面内側部
分が振動板９に対してロウ付けされ、ロウ付けされてな
い外周部はクランク状に屈曲させて形成した接触部９ｄ
と相対向するよう配置されている。A base ring 10 is provided on the lower surface of the outer peripheral portion of the diaphragm 9 between the extension 9c and the outer opening end of the through hole 9e.
Are joined by brazing. The base ring 10 has a rectangular cross section and a thickness (width in the vertical direction in FIG. 1).
Is processed by press punching of a rolled steel plate thicker than the diaphragm 9. The base ring 10 has its upper surface inner portion brazed to the diaphragm 9, and the non-brazed outer peripheral portion has a contact portion 9 d formed by bending in a crank shape.
And are arranged to face each other.
【００２９】ベースリング１０の下面には圧電素子１１
を接着剤にて接着させている。圧電素子１１は本実施形
態ではＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）で形成されてい
るが、ＰＬＺＴ（チタン酸ジルコン酸ランタン鉛）で形
成してもよい。尚、環状に形成された圧電素子１１は、
公知の方法で分極処理が施され、その分極された各箇所
に電極（図示しない）が設けられている。The piezoelectric element 11 is provided on the lower surface of the base ring 10.
Are bonded with an adhesive. In this embodiment, the piezoelectric element 11 is formed of PZT (lead zirconate titanate), but may be formed of PLZT (lead lanthanum zirconate titanate). In addition, the piezoelectric element 11 formed in an annular shape
Polarization is performed by a known method, and electrodes (not shown) are provided at each of the polarized portions.
【００３０】前記固定部９ａにおける振動板９の下面に
は、中央部に貫通孔１２ａが形成された剛体としての環
状の基板１２がロウ付けにて接合されている。基板１２
は断面長方形であって、厚さ（図１において上下方向の
幅）は振動板９より厚く圧延鋼板をプレス打ち抜き成形
により形成される。従って、振動板９と基板１２との間
は隙間なく接合されるとともに固定部９ａの剛性は基板
１２がロウ付けされることによって高いものとなる。
又、基板１２には前記固定部９ａに形成した収容孔９ｆ
に対応する位置に前記ネジ８が嵌挿する嵌挿孔１３が形
成されている。An annular substrate 12 as a rigid body having a through hole 12a formed in the center is joined to the lower surface of the diaphragm 9 in the fixed portion 9a by brazing. Substrate 12
Is a rectangular cross section, and has a thickness (width in the vertical direction in FIG. 1) that is thicker than the diaphragm 9 and is formed by press punching a rolled steel plate. Therefore, the diaphragm 9 and the substrate 12 are joined without any gap, and the rigidity of the fixing portion 9a is increased by brazing the substrate 12.
The substrate 12 has an accommodation hole 9f formed in the fixing portion 9a.
A fitting hole 13 into which the screw 8 is fitted is formed at a position corresponding to.
【００３１】このように構成されたステータ７は基台２
の載置部２ａに載置され、基板１２に形成された各嵌挿
孔１３を対応する載置部２ａの上面に形成したネジ孔２
ｃに合わせる。そして、ネジ８を嵌挿孔１３を介してネ
ジ孔２ｃに螺合させることにより、該基板１２は載置部
２ａに対して締め付け固定されている。即ち、ステータ
７は基台２に対して固定されている。The stator 7 thus constructed is mounted on the base 2
Each of the insertion holes 13 formed on the mounting portion 2a and formed on the upper surface of the corresponding mounting portion 2a with the corresponding one of the fitting holes 13 formed in the substrate 12.
Adjust to c. The substrate 12 is fastened and fixed to the mounting portion 2a by screwing the screw 8 into the screw hole 2c through the fitting hole 13. That is, the stator 7 is fixed to the base 2.
【００３２】ステータ７の上方には円形のロータ１５が
配設されている。ロータ１５はアルミ製であって、外周
部が上下方向に突出していて、その下側突出部１５ａが
前記振動板９の接触部９ｄに載置されている。詳述する
と、該突出部１５ａの下面に設けた耐磨耗性のあるポリ
イミド系樹脂よりなるライニング材１６が接触部９ｄの
上面に当接するようになっている。ロータ１５の中央に
は挿入孔１７が形成されている。この挿入孔１７には前
記回転軸５の軸嵌合部５ａ挿入され、該ロータ１５は軸
嵌合部５ａに対して軸方向に移動可能でかつ回転不能に
支持されている。従って、ロータ１５を回転させると、
回転軸５はロータ１５とともに回転する。A circular rotor 15 is provided above the stator 7. The rotor 15 is made of aluminum and has an outer peripheral portion projecting in the vertical direction, and a lower projecting portion 15a is placed on the contact portion 9d of the diaphragm 9. More specifically, a lining material 16 made of an abrasion-resistant polyimide resin provided on the lower surface of the protruding portion 15a comes into contact with the upper surface of the contact portion 9d. An insertion hole 17 is formed in the center of the rotor 15. The shaft fitting portion 5a of the rotary shaft 5 is inserted into the insertion hole 17, and the rotor 15 is supported so as to be movable in the axial direction and non-rotatably with respect to the shaft fitting portion 5a. Therefore, when the rotor 15 is rotated,
The rotation shaft 5 rotates together with the rotor 15.
【００３３】軸嵌合部５ａには加圧プレート１８が挿通
され、加圧プレート１８は軸嵌合部５ａに対して軸線方
向に移動かつ回転不能に支持されている。加圧プレート
１８の下面には、金属板を円錐台形状に形成してなる弾
性部材１９が配設され、該弾性部材１９の下側開口端部
は前記ロータ１５の上面に配設した防振ゴム２０に当接
している。前記加圧プレート１８と前記上側ボールベア
リング６の間の回転軸５にはカラー２１とワッシャ２２
が回転及び軸線方向に移動可能に挿通されている。そし
て、カラー２１とワッシャ２２により加圧プレート１８
を下方に加圧するようになっている。従って、弾性部材
１９は加圧プレート１８により防振ゴム２０を介して前
記ロータ１５を下方に加圧する。その結果、ロータ１５
の該突出部１５ａの下面はライニング材１６を介して接
触部９ｄの上面に圧接するようになっている。尚、この
圧接力は前記ワッシャ２２の厚さを変更することにより
調整することができる。A pressure plate 18 is inserted through the shaft fitting portion 5a, and the pressure plate 18 is axially moved relative to the shaft fitting portion 5a and supported so as not to rotate. An elastic member 19 formed by forming a metal plate into a truncated cone shape is disposed on the lower surface of the pressure plate 18, and a lower opening end of the elastic member 19 is disposed on the upper surface of the rotor 15. It is in contact with rubber 20. A collar 21 and a washer 22 are provided on the rotating shaft 5 between the pressure plate 18 and the upper ball bearing 6.
Are inserted to be rotatable and movable in the axial direction. The pressing plate 18 is formed by the collar 21 and the washer 22.
Is pressed downward. Therefore, the elastic member 19 presses the rotor 15 downward by the pressure plate 18 via the vibration isolating rubber 20. As a result, the rotor 15
The lower surface of the projecting portion 15a comes into pressure contact with the upper surface of the contact portion 9d via the lining material 16. The pressing force can be adjusted by changing the thickness of the washer 22.
【００３４】そして、公知の方法にて圧電素子１１に電
圧を印加することにより、圧電素子１１を振動させる。
この振動はベースリング１０を介して延出部９ｃに伝わ
り該延出部９ｃに伝わった振動は接触部９ｄに伝わり、
その接触部９ｄの上面に一方向の進行波が発生する。こ
の進行波によりロータ１５は回転する。従って、ロータ
１５の回転により回転軸５は回転することになる。Then, the piezoelectric element 11 is vibrated by applying a voltage to the piezoelectric element 11 by a known method.
This vibration is transmitted to the extension portion 9c via the base ring 10, and the vibration transmitted to the extension portion 9c is transmitted to the contact portion 9d.
A traveling wave in one direction is generated on the upper surface of the contact portion 9d. The traveling wave causes the rotor 15 to rotate. Therefore, the rotation shaft 5 is rotated by the rotation of the rotor 15.
【００３５】次に、上記のように構成した超音波モータ
のステータの特徴を以下に記載する。 （１）本実施形態では、ステータ７を構成する振動板９
においてその固定部９ａの下面に基板１２をロウ付けで
接合したことから、固定部９ａと基板１２との間はこの
ロウ付けにより隙間なく接合されている。その結果、延
出部９ｃから固定部９ａ側に伝わってくる圧電素子１１
からの振動は確実に薄い固定部９ａから厚く剛性の高い
基板１２に伝わり該基板１２にて吸収されたり、該基板
１２を介して載置部２ａに伝搬される。Next, the features of the stator of the ultrasonic motor configured as described above will be described below. (1) In the present embodiment, the diaphragm 9 constituting the stator 7
Since the substrate 12 is joined to the lower surface of the fixed portion 9a by brazing, the fixed portion 9a and the substrate 12 are joined without gaps by this brazing. As a result, the piezoelectric element 11 transmitted from the extension portion 9c to the fixed portion 9a side
Vibration from is reliably transmitted from the thin fixing portion 9a to the thick and highly rigid substrate 12, absorbed by the substrate 12, or propagated to the mounting portion 2a via the substrate 12.
【００３６】（２）本実施形態では、ステータ７を構成
する振動板９においてその固定部９ａの下面に基板１２
をロウ付けで接合した。つまり、このロウ付けした基板
１２により固定部９ａ部分を厚くしかも剛性を高くし
た。従って、この固定部９ａを厚く剛性の高い基台２の
載置部２ａに対してネジ８で固定するとき、固定部９ａ
部分は剛性が高いことから締結力にて変形しない。その
結果、基板１２の下面と載置部２ａの上面の接触度合
は、ネジ８から離間している部分でも高くどの箇所にお
いても一様である。このため、延出部９ｃから固定部９
ａ側に伝わってくる圧電素子１１からの振動の一部は、
基板１２を介して基台２の載置部２ａのどの箇所におい
ても一様に伝わり易くなる。その結果、効率よく振動の
放出が行われ、再び接触部９ｄ側に反射するのを抑える
ことができる。(2) In the present embodiment, the base plate 12 is provided on the lower surface of the fixed portion 9a of the diaphragm 9 constituting the stator 7.
Were joined by brazing. That is, the fixed portion 9a is made thicker and more rigid by the brazed substrate 12. Therefore, when this fixing portion 9a is fixed to the mounting portion 2a of the base 2 having a large thickness and high rigidity with the screw 8, the fixing portion 9a
The portion is not deformed by the fastening force because of its high rigidity. As a result, the degree of contact between the lower surface of the substrate 12 and the upper surface of the mounting portion 2a is high even at a portion separated from the screw 8 and is uniform at any portion. For this reason, the extending portion 9c is moved from the fixing portion 9
Part of the vibration transmitted from the piezoelectric element 11 to the side a is
It is easy to be transmitted uniformly to any portion of the mounting portion 2a of the base 2 via the substrate 12. As a result, the vibration is efficiently emitted, and it is possible to suppress the reflection to the contact portion 9d again.
【００３７】しかも、固定部９ａの各箇所おいて一様に
振動を載置部２ａに伝搬することができるため、一部反
射する振動が発生しても固定部９ａの外周部から外方に
放射状に反射する振動は、その外周部のどの部分におい
ても均一な振動モードの振動となる。その結果、環状の
接触部９ｄにおいて均一な進行波を生成することができ
モータ特性の向上を図ることができる。Moreover, since the vibration can be evenly transmitted to the mounting portion 2a at each position of the fixed portion 9a, even if the partially reflected vibration occurs, the vibration extends outward from the outer peripheral portion of the fixed portion 9a. The radially reflected vibration becomes a vibration in a uniform vibration mode in any part of the outer peripheral portion. As a result, a uniform traveling wave can be generated in the annular contact portion 9d, and the motor characteristics can be improved.
【００３８】（３）本実施形態では、ロウ付けした基板
１２により固定部９ａ部分（基板１２を含）の容量を大
きくするとともに重量を重くしたので、延出部９ｃから
固定部９ａ側に伝わってくる圧電素子１１からの振動の
一部は、この部分でも放出され吸収することができる。
その結果、再び接触部９ｄ側に反射するのを抑えること
ができる。(3) In the present embodiment, the capacity of the fixed portion 9a (including the substrate 12) is increased and the weight is increased by the brazed substrate 12, so that the extension 9c is transmitted to the fixed portion 9a side. A part of the vibrations coming from the piezoelectric element 11 can also be emitted and absorbed in this part.
As a result, it is possible to suppress the reflection on the contact portion 9d again.
【００３９】（４）本実施形態では、製作容易でコスト
の低減が図れる振動板９に対して基板１２をロウ付けす
るだけの簡単な構成で上記（１）〜（３）の優れたステ
ータ７を製作することができる。(4) In this embodiment, the excellent stator 7 of the above (1) to (3) has a simple structure in which the substrate 12 is simply brazed to the diaphragm 9 which can be easily manufactured and cost can be reduced. Can be manufactured.
【００４０】（５）本実施形態では、固定部９ａにロウ
付けした基板１２をネジ８にて載置部９ａに固定した。
従って、容量があり重量がある基板１２により、基台２
に発生することがある超音波モータ自身の振動と共振す
ることがない。(5) In this embodiment, the substrate 12 brazed to the fixing portion 9a is fixed to the mounting portion 9a with the screw 8.
Therefore, the substrate 2 having a large capacity and a large weight
It does not resonate with the vibration of the ultrasonic motor itself, which may occur during the operation.
【００４１】（６）本実施形態では、前記したように、
この固定部９ａを厚く剛性の高い基台２の載置部２ａに
対してネジ８で固定するとき、固定部９ａ部分は剛性が
高いことから締結力にて変形しない。しかも、ネジ８は
直接振動板９に係合していないことから振動板９の締め
付け固定による変形はさらに生じ難い。従って、ステー
タ７を組み付け時において、ロータ１５の該突出部１５
ａの下面に形成したライニング材１６と当接する振動板
９の接触部９ｄの上面の精度を向上させることができ
る。その結果、ロータ１５に対する接触部９ｄの振動特
性の向上を図ることができる。(6) In this embodiment, as described above,
When the fixing portion 9a is fixed to the mounting portion 2a of the base 2 having a large thickness and high rigidity with the screw 8, the fixing portion 9a is not deformed by the fastening force due to its high rigidity. Moreover, since the screw 8 is not directly engaged with the diaphragm 9, deformation due to the tightening and fixing of the diaphragm 9 hardly occurs. Therefore, when assembling the stator 7, the protrusion 15
The accuracy of the upper surface of the contact portion 9d of the diaphragm 9 that comes into contact with the lining material 16 formed on the lower surface of “a” can be improved. As a result, the vibration characteristics of the contact portion 9d with respect to the rotor 15 can be improved.
【００４２】尚、実施の形態は上記した実施形態に限定
されるものではなく、以下のように実施してもよい。 ○上記実施形態では、固定部９ａに収容孔９ｆを形成し
た。そして、ネジ８の頭部が基板１２に係合し、ネジ８
により基板１２を直接ネジ８にて締め付けることで載置
部２ａと固定するようにした。これを図４に示すよう
に、前記収容孔９ｆに代えてネジ８の頭部が固定部９ａ
の上面に係合する嵌挿孔９ｇを固定部９ａに形成した。
即ち、ネジ８にて締め付け固定する際、固定部９ａの上
面に対してネジ８の頭部が係合し、該固定部９ａを直接
ネジ８にて締め付けることで載置部２ａと固定するよう
にした。The embodiment is not limited to the above-described embodiment, but may be carried out as follows. In the above embodiment, the accommodation hole 9f is formed in the fixing portion 9a. Then, the head of the screw 8 engages with the substrate 12 and the screw 8
Thus, the substrate 12 is fixed directly to the mounting portion 2a by directly tightening with the screw 8. As shown in FIG. 4, instead of the accommodation hole 9f, the head of the screw 8 is fixed to the fixing portion 9a.
9g is formed in the fixing portion 9a so as to engage with the upper surface of the fixing portion 9a.
That is, when tightening with the screw 8, the head of the screw 8 is engaged with the upper surface of the fixing portion 9 a, and the fixing portion 9 a is fixed to the mounting portion 2 a by directly tightening the fixing portion 9 a with the screw 8. I made it.
【００４３】この場合、直接にネジ８の締め付け力が固
定部９ａに加わるが、該固定部９ａは剛性の高い基板１
２とロウ付けにて固着され剛性の高いものになってい
る。従って、この場合においても上記実施形態にて述べ
た（１）〜（５）と同様な優れた特徴を有する。In this case, the tightening force of the screw 8 is directly applied to the fixing portion 9a.
It is fixed by brazing to 2 and has high rigidity. Therefore, this case also has the same excellent features as (1) to (5) described in the above embodiment.
【００４４】○上記実施形態では、基板１２をロウ付け
した固定部９ａを載置部２ａに対してネジ８にて締め付
け固定した。これを図５〜図７に示すように、固定部９
ａにロウ付けにて固着された基板１２を載置部２ａに対
して軸線方向に移動可能かつ回転不能に支持するように
して実施してもよい。つまり、図６に示すように、上記
実施形態より厚みのある基板１２の下面に前記貫通孔１
２ａと同じ中心であって該孔１２ａより大径の嵌合凹部
１２ｂを形成するとともにその凹部側壁にキー溝１２ｃ
を軸線方向に形成する。一方、載置部２ａの上部外周面
を切り欠いて前記嵌合凹部１２ｂと嵌合する円筒状の嵌
合突部２ｄを形成するとともにその嵌合突部２ｄの外周
面に前記キー溝１２と嵌合するキー２ｅを軸線方向に形
成する。そして、キー溝１２ｃにキー２ｅが嵌合するよ
うに該嵌合凹部１２ｂを嵌合突部２ｄに嵌合させて、基
板１２を載置部２ａに対して固定するようにした。In the above embodiment, the fixing portion 9a to which the substrate 12 is brazed is fixedly fastened to the mounting portion 2a with the screw 8. As shown in FIG. 5 to FIG.
The substrate 12 fixed by brazing to a may be supported so as to be axially movable and non-rotatably with respect to the mounting portion 2a. That is, as shown in FIG. 6, the through hole 1 is formed on the lower surface of the substrate 12 which is thicker than the above embodiment.
2a, a fitting recess 12b having a larger diameter than the hole 12a is formed at the same center as the hole 12a, and a key groove 12c
Are formed in the axial direction. On the other hand, an upper outer peripheral surface of the mounting portion 2a is cut out to form a cylindrical fitting protrusion 2d that fits with the fitting concave portion 12b, and the key groove 12 is formed on the outer circumferential surface of the fitting protrusion 2d. The key 2e to be fitted is formed in the axial direction. The fitting recess 12b is fitted to the fitting projection 2d so that the key 2e fits in the key groove 12c, and the substrate 12 is fixed to the mounting portion 2a.
【００４５】この場合、ステータ７はその基板１２が載
置部２ａに対して軸線方向に対して移動可能に支持され
ることになるが、ロータ１５が上方から押圧しているた
め、基板１２は載置部２ａに対しては確実に固定され
る。この時、ネジ８による固定よりその固定する力は小
さいく、基板１２と載置部２ａの接する箇所の接触度合
は小さいと考えられるが、逆に当接面積が大きくなるこ
とから、基板１２から載置部２ａに伝わる振動は当接面
積が増加した分増加する。従って、この場合においても
上記実施形態にて述べた（１）〜（５）と同様な優れた
特徴を有する。又、この場合、組立時のネジ８による締
め付け固定の作業がないため、その分だけ組立作業は簡
単になる。In this case, the stator 7 has its substrate 12 supported movably in the axial direction with respect to the mounting portion 2a. However, since the rotor 15 presses from above, the substrate 12 It is securely fixed to the mounting portion 2a. At this time, the fixing force is smaller than the fixing by the screw 8, and the degree of contact at the place where the substrate 12 and the mounting portion 2a are in contact is considered to be small. The vibration transmitted to the mounting portion 2a increases by an increase in the contact area. Therefore, this case also has the same excellent features as (1) to (5) described in the above embodiment. Further, in this case, since there is no work of fastening and fixing with the screw 8 at the time of assembling, the assembling work is simplified by that much.
【００４６】○上記実施形態では、固定部９ａの下面に
基板１２の上面をロウ付けした。これを図８、図９に示
すように、固定部９ａの上面に基板１２の下面をロウ付
けする。つまり、基板１２を固定部９ａの上側に配置構
成し、固定部９ａの剛性を強くするようにした。又、ネ
ジ８にて載置部２ａに対して固定する際、固定部９ａ
は、基板１２と載置部２ａと挟持固定された状態にな
り、その当接面積は増加するとともに密着度は向上し、
しかも変形し難い。従って、この場合においても上記実
施形態にて述べた（１）〜（６）と同様な優れた特徴を
有する。In the above embodiment, the upper surface of the substrate 12 is brazed to the lower surface of the fixing portion 9a. As shown in FIGS. 8 and 9, the lower surface of the substrate 12 is brazed to the upper surface of the fixing portion 9a. That is, the substrate 12 is arranged above the fixing portion 9a, and the rigidity of the fixing portion 9a is increased. Also, when fixing to the mounting portion 2a with the screw 8, the fixing portion 9a
Is in a state of being clamped and fixed between the substrate 12 and the mounting portion 2a, the contact area thereof is increased and the degree of adhesion is improved,
Moreover, it is difficult to deform. Therefore, also in this case, it has the same excellent features as (1) to (6) described in the above embodiment.
【００４７】○上記実施形態では基板１２をロウ付けす
ることにより固定部９ａの剛性を高くしたが、基板１２
を用いずに振動板９の固定部９ａを基台２の載置部２ａ
の上面に対してロウ付けして実施してもよい。即ち載置
部２ａを剛体とする。例えば、図１０及び図１１に示す
ように、複数の貫通孔９ｅを放射状に形成した振動板９
の部分を上方に突出するように折り曲げて補強部９ｈを
形成する。補強部９ｈを形成してなる振動板９の固定部
９ａの下面を載置部２ａの上面に対してロウ付けで固定
する。さらに、ネジ８にて載置部２ａに対して固定部９
ａを締め付けるようにした。従って、振動板９の固定部
９ａはロウ付けにより載置部２ａと一体化し剛性を高く
できるとともに、固定部９ａと載置部２ａとの間はこの
ロウ付けにより隙間なく接合されている。従って、この
場合においても記実施形態にて述べた（１）〜（５）と
同様な優れた特徴を有する。又、この場合、固定部９ａ
の外側に上方に屈曲した補強部ｈが形成され、固定部９
ａの外側部の剛性を高くしたので、延出部９ｃから固定
部９ａ側に伝わってくる振動はこの補強部９ｈにて減衰
されることになり、固定部９ａに伝搬される振動を低減
することができる。さらに、この場合、ネジ８にて載置
部２ａに対して固定部９ａを締め付けて固定部９ａの上
面部を該ネジ８にて締め付けられているこから、該固定
部９ａの上面側においても剛性が高くなり、前記補強部
９ｈとの関係でより補強部９ｈの剛性を高くすることが
できる。In the above embodiment, the rigidity of the fixing portion 9a is increased by brazing the substrate 12,
The fixing portion 9a of the diaphragm 9 is not used and the mounting portion 2a of the base 2 is used.
May be implemented by brazing to the upper surface of the substrate. That is, the mounting portion 2a is made rigid. For example, as shown in FIGS. 10 and 11, a diaphragm 9 in which a plurality of through holes 9e are radially formed.
Is bent so as to protrude upward to form a reinforcing portion 9h. The lower surface of the fixed portion 9a of the diaphragm 9 having the reinforcing portion 9h is fixed to the upper surface of the mounting portion 2a by brazing. Further, the fixing portion 9 is fixed to the mounting portion 2a with the screw 8.
a was tightened. Therefore, the fixed portion 9a of the vibration plate 9 is integrated with the mounting portion 2a by brazing and the rigidity can be increased, and the fixed portion 9a and the mounting portion 2a are joined without any gap by this brazing. Therefore, also in this case, it has the same excellent features as (1) to (5) described in the embodiment. In this case, the fixing portion 9a
A reinforcing portion h that is bent upward is formed outside of the fixing portion 9.
Since the rigidity of the outer portion of the portion a is increased, the vibration transmitted from the extension portion 9c to the fixed portion 9a is attenuated by the reinforcing portion 9h, and the vibration transmitted to the fixed portion 9a is reduced. be able to. Further, in this case, since the fixing portion 9a is tightened with respect to the mounting portion 2a with the screw 8, and the upper surface of the fixing portion 9a is tightened with the screw 8, the upper surface of the fixing portion 9a is also formed. The rigidity is increased, and the rigidity of the reinforcing portion 9h can be further increased in relation to the reinforcing portion 9h.
【００４８】○上記実施形態では、振動板９に形成した
接触部９ｄは連続した環状帯であった。これを図１２及
び図１３に示すように、振動板９の外周部にスリット９
ｉを形成し接触部９ｄを櫛歯状に形成したステータ７に
応用してもよい。この場合においても、基板１２を固定
部９ａにロウ付けして剛性を高くしてもよい。又、図１
２及び図１３に示すように固定部９ａに上方に突出する
ように膨出した補強部９ｊを放射状に等角度間隔に形成
し、補強部９ｊが形成されてない部分の固定部９ａを載
置部２ａに対して直接ロウ付けするようにして実施して
もよい。この場合も固定部９ａの剛性は高くなるため、
上記実施形態にて述べた（１）〜（５）と同様な優れた
特徴を有する。In the above embodiment, the contact portion 9d formed on the diaphragm 9 is a continuous annular band. As shown in FIG. 12 and FIG.
The present invention may be applied to the stator 7 in which i is formed and the contact portion 9d is formed in a comb shape. Also in this case, the rigidity may be increased by brazing the substrate 12 to the fixing portion 9a. Also, FIG.
As shown in FIG. 2 and FIG. 13, reinforcing portions 9j that protrude upward from the fixing portion 9a are formed radially at equal angular intervals, and the fixing portion 9a in a portion where the reinforcing portion 9j is not formed is placed. It may be carried out by directly brazing to the portion 2a. Also in this case, since the rigidity of the fixing portion 9a is high,
It has the same excellent features as (1) to (5) described in the above embodiment.
【００４９】○前記実施形態では、基板１２と基台２の
載置部２ａとをネジ８にて固定したが、これを、基板１
２と載置部２ａとの間をロウ付けまたは接着剤にて固定
してもよい。又、図４に示す超音波モータにおいても、
ロウ付け又は接着剤にて、基板１２と載置部２ａとの間
を固定してもよい。この場合、上記実施形態にて述べた
（１）〜（５）と同様な優れた特徴を有する。しかも、
基板１２と載置部２ａとの間の密着度はより高くなるの
で、基板１２から載置部２ａへの振動はより効率よく伝
搬することになる。勿論、基板１２と載置部２ａとの間
をロウ付けまたは接着剤してさらにネジ８にて締め付け
固定するようにしてもよい。In the above embodiment, the substrate 12 and the mounting portion 2a of the base 2 are fixed with the screws 8, but this is
2 and the mounting portion 2a may be fixed by brazing or an adhesive. Also, in the ultrasonic motor shown in FIG.
The space between the substrate 12 and the mounting portion 2a may be fixed by brazing or an adhesive. In this case, it has the same excellent features as (1) to (5) described in the above embodiment. Moreover,
Since the degree of adhesion between the substrate 12 and the mounting portion 2a becomes higher, the vibration from the substrate 12 to the mounting portion 2a propagates more efficiently. Of course, the space between the substrate 12 and the mounting portion 2a may be brazed or adhered and further fixed with screws 8.
【００５０】○上記実施形態では振動板９は冷間圧延鋼
板（ＳＰＣＣ）を用いたが、例えばステンレス鋼板、リ
ン青銅板を用いて実施してもよい。 ○上記実施形態を圧延鋼板をプレス打ち抜き成形によっ
て、振動板９を加工したが、薄い振動板９であるならば
プレス加工以外の方法で製作された振動板に応用しても
よい。例えば、焼結法で製作された薄く剛性の低い振動
板や、切削加工により製作された薄く剛性の低い振動板
に剛体をロウ付けにて接合して実施しても同様な効果を
奏する。In the above embodiment, the diaphragm 9 is a cold rolled steel plate (SPCC), but may be a stainless steel plate or a phosphor bronze plate, for example. In the above embodiment, the diaphragm 9 is processed by press punching of a rolled steel plate. However, if the diaphragm 9 is a thin diaphragm, the diaphragm 9 may be applied to a diaphragm manufactured by a method other than press working. For example, a similar effect can be obtained by bonding a rigid body to a thin, low-rigidity vibration plate manufactured by a sintering method or a thin, low-rigidity vibration plate manufactured by cutting work.
【００５１】○上記実施形態の基板１２は冷間圧延鋼板
（ＳＰＣＣ）にて製作されたが、冷間圧延鋼板に限定さ
れず、例えばステンレス鋼板、リン青銅板等その他金属
板で実施してもよい。又、基板１２の厚さ及び形状を振
動板９の厚さ等に応じて適宜変更して実施してもよい。The substrate 12 in the above embodiment was manufactured from a cold-rolled steel plate (SPCC), but is not limited to a cold-rolled steel plate. Good. Further, the thickness and shape of the substrate 12 may be appropriately changed according to the thickness of the diaphragm 9 or the like.
【００５２】[0052]
【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、固定部
側に伝わってくる圧電素子からの振動は基台に伝わり易
くでき、しかも、振動板の接触部の上面の精度を上げる
ことができ接触部の振動特性の向上を図ることができる
優れた効果を有する。According to the first aspect of the present invention, the vibration from the piezoelectric element transmitted to the fixed portion can be easily transmitted to the base, and the accuracy of the upper surface of the contact portion of the diaphragm can be improved. And has an excellent effect that the vibration characteristics of the contact portion can be improved.
【００５３】請求項２に記載の発明によれば、固定部側
に伝わってくる圧電素子からの振動は基台に伝わり易く
でき、しかも、振動板の接触部の上面の精度を上げるこ
とができロータに対する接触部の振動特性の向上を図る
ことができるとともに、振動を基板の各箇所に均一に伝
えることがてきる優れた効果を有する。According to the second aspect of the invention, the vibration transmitted from the piezoelectric element to the fixed portion can be easily transmitted to the base, and the accuracy of the upper surface of the contact portion of the diaphragm can be improved. The vibration characteristics of the contact portion with respect to the rotor can be improved, and the vibration can be uniformly transmitted to each portion of the substrate.
【００５４】請求項３に記載の発明よれば、基板を接合
した固定部を基台に形成した載置部に対してネジにて固
定したので、固定部側に伝わってくる圧電素子からの振
動をより効率よく基台側に伝えることができる優れた効
果を有する。According to the third aspect of the present invention, since the fixing portion to which the substrate is joined is fixed to the mounting portion formed on the base with the screw, vibration from the piezoelectric element transmitted to the fixing portion side. Is more effectively transmitted to the base side.
【００５５】請求項４に記載の発明によれは、載置部に
形成したキーと基板に形成したキー溝にて軸線方向に移
動可能にかつ回転不能に載置部と固定部を固定したの
で、固定部側に伝わってくる圧電素子からの振動は効率
よく基台側に伝えることができるとともに組立作業も容
易となる優れた効果を有する。According to the fourth aspect of the present invention, the mounting portion and the fixed portion are fixed so as to be axially movable and non-rotatably by the key formed in the mounting portion and the key groove formed in the substrate. Vibration from the piezoelectric element transmitted to the fixed portion side can be efficiently transmitted to the base side, and has an excellent effect that the assembling work is also facilitated.
【００５６】請求項５に記載の発明によれば、基板を接
合した固定部を基台に形成した載置部に対してロウ付け
又は接着剤にて固定したので、基板から載置部への振動
はより効率よく伝えることができる優れた効果を有す
る。According to the fifth aspect of the present invention, since the fixing portion to which the substrates are bonded is fixed to the mounting portion formed on the base by brazing or using an adhesive, the fixing portion from the substrate to the mounting portion is fixed. Vibration has an excellent effect that can be transmitted more efficiently.
【００５７】請求項６に記載の発明によれば、振動板の
固定部を基台に形成した載置部に対して直接ロウ付けに
て接合したので、固定部側に伝わってくる圧電素子から
の振動はより効率よく基台側に伝えることができる優れ
た効果を有する。According to the sixth aspect of the present invention, the fixed portion of the diaphragm is directly brazed to the mounting portion formed on the base, so that the piezoelectric element transmitted to the fixed portion side Has an excellent effect that can be transmitted to the base more efficiently.
【図１】 本発明を具体化した超音波モータの断面図。FIG. 1 is a sectional view of an ultrasonic motor embodying the present invention.
【図２】 同じくステータの一部切り欠いた斜視図。FIG. 2 is a perspective view of the same stator with a part cut away.
【図３】 同じくステータの底面図。FIG. 3 is a bottom view of the same stator.
【図４】 別例を説明するための超音波モータの断面
図。FIG. 4 is a sectional view of an ultrasonic motor for explaining another example.
【図５】 別例を説明するための超音波モータの断面
図。FIG. 5 is a sectional view of an ultrasonic motor for explaining another example.
【図６】 同じくステータの底面図。FIG. 6 is a bottom view of the same stator.
【図７】 同じく基台の平面図。FIG. 7 is a plan view of the base.
【図８】 別例を説明するための超音波モータの断面
図。FIG. 8 is a sectional view of an ultrasonic motor for explaining another example.
【図９】 同じくステータの一部切り欠いた斜視図。FIG. 9 is a partially cutaway perspective view of the same stator.
【図１０】 別例を説明するためのステータの一部切り
欠いた斜視図。FIG. 10 is a partially cutaway perspective view of a stator for explaining another example.
【図１１】 同じく超音波モータの断面図。FIG. 11 is a sectional view of the ultrasonic motor.
【図１２】 別例を説明するための超音波モータの断面
図。FIG. 12 is a sectional view of an ultrasonic motor for explaining another example.
【図１３】 同じくステータの一部切り欠いた斜視図。FIG. 13 is a perspective view of the stator with a part cut away.
【図１４】 従来の超音波モータの断面図。FIG. 14 is a sectional view of a conventional ultrasonic motor.
２…基台、２ａ…載置部、５…回転軸、７…ステータ、
８…ネジ、９…振動板、９ａ…固定部、９ｃ…延出部、
９ｄ…接触部、９ｆ…収容孔、９ｇ…嵌挿孔、１０…ベ
ースリング、１１…圧電素子、１２…基板、１３…嵌挿
孔、１５…ロータ、１５ａ…突出部、１６…ライニング
材。2 ... Base, 2a ... Placement section, 5 ... Rotating shaft, 7 ... Stator
8 screw, 9 diaphragm, 9a fixed part, 9c extended part,
9d: contact portion, 9f: accommodation hole, 9g: fitting hole, 10: base ring, 11: piezoelectric element, 12: substrate, 13: fitting hole, 15: rotor, 15a: protruding portion, 16: lining material.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 浅井 鉅和 愛知県愛知郡長久手町大字長湫字横道41 番地の１株式会社 豊田中央研究所 内 (56)参考文献 特開 平８−214569（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−174280（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−98566（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−135591（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H02N 2/00 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Shuwa Asai 41 Central Ochimichi Yokomichi, Nagakute-cho, Aichi-gun, Aichi Prefecture Toyota Central R & D Laboratories Co., Ltd. (56) References JP-A-8-214569 (JP, A) JP-A-1-174280 (JP, A) JP-A-8-98566 (JP, A) JP-A-62-135591 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) ) H02N 2/00
Claims (6)
中央部に載置部（２ａ）が突出形成された基台（２）に
固定される振動板（９）と、 該振動板（９）の外周部に固着されるベースリング（１
０）と、 該ベースリング（１０）に固着され、該ベースリング
（１０）を介して前記振動板（９）の外周部に形成した
接触部（９ｄ）に進行波を発生させるための振動を発生
する圧電素子（１１）とからなる超音波モータのステー
タにおいて、 前記振動板（９）の固定部（９ａ）に該固定部（９ａ）
の剛性を高めるための剛体（１２，２ａ）をロウ付けに
て接合した超音波モータのステータ。1. A fixing part (9a) formed in a central part ,
A vibrating plate (9) fixed to a base (2) having a mounting portion (2a) protruding at a central portion ; and a base ring (1) fixed to an outer peripheral portion of the vibrating plate (9).
0) and a vibration for generating a traveling wave at a contact portion (9d) formed on the outer peripheral portion of the diaphragm (9) through the base ring (10). In the stator of the ultrasonic motor including the piezoelectric element (11) generated, the fixed part (9a) is fixed to the fixed part (9a) of the diaphragm (9).
An ultrasonic motor stator in which rigid bodies (12, 2a) for increasing the rigidity of the motor are joined by brazing.
タにおいて、前記剛体は前記振動板（９）の板厚より厚
い基板（１２）であって、前記振動板（９）の固定部
（９ａ）と該基板（１２）とをロウ付けで接合するとと
もに、その基板（１２）を接合した固定部（９ａ）を前
記基台（２）に形成した載置部（２ａ）に対して少なく
とも回転不能に固定した超音波モータのステータ。2. The stator for an ultrasonic motor according to claim 1, wherein said rigid body is a substrate (12) having a thickness greater than a thickness of said diaphragm (9), and said rigid part is a fixed part of said diaphragm (9). 9a) and the substrate (12) are joined by brazing, and the fixing portion (9a) to which the substrate (12) is joined is attached at least to the mounting portion (2a) formed on the base (2). Ultrasonic motor stator fixed so that it cannot rotate.
タにおいて、前記基板（１２）を接合した固定部（９
ａ）を前記基台（２）に形成した載置部（２ａ）に対し
てネジ（８）にて固定した超音波モータのステータ。3. A stator for an ultrasonic motor according to claim 2, wherein said fixed portion is formed by joining said substrate.
a) A stator of an ultrasonic motor in which a) is fixed to a mounting portion (2a) formed on the base (2) with screws (8).
ータにおいて、前記基板（１２）を接合した固定部（９
ａ）を基台（２）に形成した載置部（２ａ）に対して該
載置部（２ａ）に形成したキー（２ｅ）と基板（１２）
に形成したキー溝（１２ｃ）にて軸線方向に移動可能に
かつ回転不能に固定した超音波モータのステータ。4. A stator for an ultrasonic motor according to claim 2, wherein said fixed portion (9) to which said substrate (12) is joined.
a) a key (2e) formed on the mounting portion (2a) and a substrate (12) with respect to a mounting portion (2a) formed on the base (2).
The stator of the ultrasonic motor fixed so as to be movable in the axial direction and non-rotatably by the key groove (12c) formed in the above.
タにおいて、前記基板（１２）を接合した固定部（９
ａ）を基台（２）に形成した載置部（２ａ）に対してロ
ウ付け又は接着剤にて固定した超音波モータのステー
タ。5. The stator for an ultrasonic motor according to claim 2, wherein said fixed portion (9) to which said substrate (12) is joined.
a) A stator of an ultrasonic motor in which a) is fixed to a mounting portion (2a) formed on a base (2) by brazing or an adhesive.
タにおいて、前記剛体は基台（２）であって、基台
（２）に形成した載置部（２ａ）に対して振動板（９）
の固定部（９ａ）をロウ付けにて接合した超音波モータ
のステータ。6. A stator for an ultrasonic motor according to claim 1, wherein said rigid body is a base (2), and a diaphragm (2a) formed on said base (2). 9)
The stator of the ultrasonic motor in which the fixing portions (9a) are joined by brazing.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP04560997A JP3345560B2 (en) | 1997-02-28 | 1997-02-28 | Ultrasonic motor stator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04560997A JP3345560B2 (en) | 1997-02-28 | 1997-02-28 | Ultrasonic motor stator |
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| JPH10248273A JPH10248273A (en) | 1998-09-14 |
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