JP2810109B2 - Ultrasonic motor - Google Patents

Ultrasonic motor

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JP2810109B2
JP2810109B2 JP1126052A JP12605289A JP2810109B2 JP 2810109 B2 JP2810109 B2 JP 2810109B2 JP 1126052 A JP1126052 A JP 1126052A JP 12605289 A JP12605289 A JP 12605289A JP 2810109 B2 JP2810109 B2 JP 2810109B2
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mover
stator
ultrasonic motor
pressing force
disc spring
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孝夫 佐伯
保雄 桑原
睦朗 青山
信治 相良
忠良 村上
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Fukoku Co Ltd
Aisin Corp
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Aisin Seiki Co Ltd
Fukoku Co Ltd
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【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は可動子をばね手段によって固定子に加圧し、
その固定子に発生した弾性進行波により可動子を駆動す
るように構成した超音波モータに係り、詳しくは、ばね
手段と可動子との接合部の構造に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention presses a mover to a stator by spring means,
The present invention relates to an ultrasonic motor configured to drive a mover by an elastic traveling wave generated in the stator, and more particularly, to a structure of a joint between a spring means and a mover.

[従来の技術] 従来のこの種の超音波モータとして、特開昭63−7388
7号公報に掲載された技術が挙げられる。
[Prior Art] A conventional ultrasonic motor of this type is disclosed in JP-A-63-7388.
The technology described in Japanese Patent Publication No. 7 is cited.

第3図は従来の超音波モータを示す縦断面図、第4図
は第3図の超音波モータにおいて固定子と可動子との接
触部分を拡大して示す部分断面図、第5図は第4図の超
音波モータで使用されている皿ばねの加圧力の分布状態
を示す説明図である。
FIG. 3 is a longitudinal sectional view showing a conventional ultrasonic motor, FIG. 4 is an enlarged partial sectional view showing a contact portion between a stator and a mover in the ultrasonic motor shown in FIG. 3, and FIG. FIG. 5 is an explanatory diagram showing a distribution state of a pressing force of a disc spring used in the ultrasonic motor of FIG. 4.

第3図において、41は超音波モータの外郭となるケー
ス、42はケース41を閉じるカバー、43は固定子、44は前
記固定子43に配設された圧電素子、45はライナー46を介
して固定子43に接合すべく配置された可動子、47は前記
可動子45と一体に回転する回転軸である。前記回転軸47
の大径鍔部48の下側には、可動子45の薄肉部49を押圧す
る皿ばね50が配設されている。また、回転軸47の下部に
はスナップリング51によってシム52が保持されていて、
このシム52の厚みを選択することにより、皿ばね50の押
圧力を適宜に調整できるように構成されている。
In FIG. 3, reference numeral 41 denotes a case serving as an outer shell of the ultrasonic motor, reference numeral 42 denotes a cover for closing the case 41, reference numeral 43 denotes a stator, reference numeral 44 denotes a piezoelectric element provided on the stator 43, and reference numeral 45 denotes a liner 46 A mover 47 that is arranged to be joined to the stator 43 is a rotating shaft that rotates integrally with the mover 45. The rotary shaft 47
Below the large-diameter flange portion 48, a disc spring 50 that presses the thin portion 49 of the mover 45 is disposed. In addition, a shim 52 is held by a snap ring 51 at a lower portion of the rotating shaft 47,
By selecting the thickness of the shim 52, the pressing force of the disc spring 50 can be appropriately adjusted.

上記のように構成された従来の超音波モータにおい
て、圧電素子44に高周波電圧が印加されると、圧電素子
44の変形に伴って固定子43に弾性進行波が発生し、この
弾性進行波によって固定子43の表面上の質点に楕円運動
が生起する。そして、この楕円運動に伴い固定子43と可
動子45に固定されたライナー46との接触面に摩擦力が発
生し、その摩擦力で可動子45に回転モーメントが作用し
て、可動子45と一体に回転軸47が回転される。
In the conventional ultrasonic motor configured as described above, when a high-frequency voltage is applied to the piezoelectric element 44, the piezoelectric element
An elastic traveling wave is generated in the stator 43 along with the deformation of 44, and the elastic traveling wave causes an elliptical motion to occur at a mass point on the surface of the stator 43. Then, a frictional force is generated on the contact surface between the stator 43 and the liner 46 fixed to the mover 45 due to the elliptical motion, and a rotational moment acts on the mover 45 by the frictional force. The rotation shaft 47 is integrally rotated.

[発明が解決しようとする課題] ところで、この種の超音波モータの出力は、一般に、
固定子43とライナー46との摩擦係数及び皿ばね50の加圧
力に依存する。しかしながら、従来の超音波モータにお
いて皿ばね50の加圧力を大きく設定した場合、第4図に
拡大して示すように、その加圧力で可動子45の薄肉部49
及び固定子43の薄肉部54がそれぞれ彎曲されて、固定子
43と可動子45に固着されたライナー46とが片当りの状態
で圧接される。また、皿ばね50はそれ自身のばね特性か
らして、第5図に矢印で示すように、周方向の加圧力が
不均一となっているので、固定子43に対し可動子45を各
部均一な力で加圧することが困難である。
[Problems to be Solved by the Invention] The output of this type of ultrasonic motor is generally
It depends on the friction coefficient between the stator 43 and the liner 46 and the pressing force of the disc spring 50. However, when the pressing force of the disc spring 50 is set to be large in the conventional ultrasonic motor, as shown in an enlarged view in FIG.
And the thin portion 54 of the stator 43 is curved, respectively,
43 and the liner 46 fixed to the mover 45 are pressed against each other in a one-sided state. Further, since the disc spring 50 has a nonuniform pressing force in the circumferential direction as shown by an arrow in FIG. It is difficult to pressurize with great force.

したがって、固定子43と可動子45に固着されたライナ
ー46との摩擦係数及び圧接力の変動幅が大きくなり、回
転むらまたはトルクむらが生じて、モータ出力が不安定
になることが予想される。しかも、摩擦係数及び圧接力
が不安定な状態では、可動子45に固定子43とは異なる周
波数の固有振動が生じ、異音が発生するという不都合も
想定される。そして、これらの理由によって、従来は超
音波モータの高出力化が妨げられていた。
Therefore, it is expected that the fluctuation range of the friction coefficient and the pressing force between the stator 43 and the liner 46 fixed to the mover 45 becomes large, and uneven rotation or torque occurs, and the motor output becomes unstable. . In addition, in a state where the friction coefficient and the pressing force are unstable, a natural vibration of a frequency different from that of the stator 43 is generated in the mover 45, which may cause an inconvenience that abnormal noise is generated. For these reasons, conventionally, high output of the ultrasonic motor has been hindered.

そこで、本発明の課題は、簡単な構造によってばね手
段の加圧力を可動子の周方向に一様に分布させ、回転む
ら及びトルクむら、並びに、異音の発生を抑制でき、も
って、高出力を得ることができる超音波モータを提供す
ることにある。
Therefore, an object of the present invention is to distribute the pressing force of the spring means evenly in the circumferential direction of the mover with a simple structure, thereby suppressing the occurrence of uneven rotation and uneven torque, and the occurrence of abnormal noise, thereby achieving high output. To provide an ultrasonic motor capable of obtaining the following.

[課題を解決するための手段] 本発明にかかる超音波モータは、圧電素子の変形によ
り弾性進行波を発生する固定子に弾接するように配置さ
れて弾性進行波によって駆動される可動子と、その可動
子を固定子の方向に向けて加圧するばね手段と、そのば
ね手段の加圧力を受けるように可動子に配設された突起
とから構成されている。
[Means for Solving the Problems] An ultrasonic motor according to the present invention includes: a movable element that is disposed so as to elastically contact a stator that generates an elastic traveling wave by deformation of a piezoelectric element and is driven by the elastic traveling wave; It comprises a spring means for pressing the mover in the direction of the stator, and a projection arranged on the mover to receive the pressing force of the spring means.

[作用] 本発明の超音波モータにおいては、可動子にばね手段
の加圧力を受ける突起が配設されているため、ばね手段
の加圧力が突起に沿って可動子に一様に分布される。ま
た、可動子はばね手段の加圧力に係合する部分において
突起により補強されるから、ばね手段の加圧力で可動子
に彎曲が生じるおそれがなくなり、固定子と可動子とが
常に安定した接触面を介して圧接される。したがって、
固定子及び可動子に固定されたライナーの摩擦係数及び
圧接力が安定化し、回転むら及びトルクむらが抑制され
るとともに、可動子の固有振動が抑制されて、異音の発
生が防止される。その結果、圧電素子に高電力を供給し
て、高いモータ出力を支障なく得ることができる。
[Operation] In the ultrasonic motor of the present invention, since the projection receiving the pressing force of the spring means is provided on the movable element, the pressing force of the spring means is uniformly distributed on the movable element along the projection. . Further, since the mover is reinforced by the projection at a portion where the mover engages with the pressing force of the spring means, there is no possibility that the mover may be bent by the pressing force of the spring means, and the stator and the mover always have stable contact. Pressed through the surface. Therefore,
The coefficient of friction and the pressure contact force of the liner fixed to the stator and the mover are stabilized, and uneven rotation and torque are suppressed, and natural vibration of the mover is suppressed, thereby preventing generation of abnormal noise. As a result, high power can be supplied to the piezoelectric element, and a high motor output can be obtained without any trouble.

[実施例] 以下、本発明を具体化した実施例を図面に基づいて説
明する。
Examples Examples of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は本発明の一実施例による超音波モータの縦断
面図、第2図は第1図の超音波モータに装備された可動
子を示す斜視図である。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of an ultrasonic motor according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing a mover mounted on the ultrasonic motor of FIG.

この実施例の超音波モータのハウジング1はベース2
と、前記ベース2の上方を覆うカバー3とから構成され
ている。ベース2の中央部には支持筒4が内方に突出し
た状態で形成されている。前記支持筒4にはベアリング
17が圧入され、支持筒4の張出部5によって内方への移
動が規制されている。前記ベアリング17の内輪17aに回
転軸20が下方から挿着されている。前記回転軸20はハウ
ジング1の下方へ突出する出力部21と、ベアリング17の
下面に当接する鍔部22と、上端の連結部23とを備えてい
て、前記鍔部22によってハウジング1の内方への移動を
規制している。
The housing 1 of the ultrasonic motor of this embodiment has a base 2
And a cover 3 that covers the base 2 from above. A support cylinder 4 is formed at the center of the base 2 so as to protrude inward. The support cylinder 4 has a bearing
17 is press-fitted, and the inward movement is regulated by the overhang portion 5 of the support cylinder 4. The rotating shaft 20 is inserted into the inner ring 17a of the bearing 17 from below. The rotating shaft 20 includes an output portion 21 protruding downward from the housing 1, a flange portion 22 abutting on the lower surface of the bearing 17, and a connecting portion 23 at an upper end. Regulates movement to

前記回転軸20の連結部23には、ホルダ18が面接合また
はスプライン結合等の回り止め手段を介して相対回動不
能に挿入されている。前記ホルダ18とベアリング17との
間にはシム34が介装されている。そして、ホルダ18の上
部凹所18aに座金15を収容して、螺子19を回転軸20の上
端に締付けることにより、前記座金15でホルダ18が抜け
止めされるとともに、シム34が挾持され、その状態で、
回転軸20、ベアリング17の内輪17a、ホルダ18、及びシ
ム34がそれぞれ一体回転可能に連結される。
The holder 18 is inserted into the connecting portion 23 of the rotating shaft 20 via a rotation preventing means such as surface joining or spline joining so as to be relatively non-rotatable. A shim 34 is interposed between the holder 18 and the bearing 17. Then, the washer 15 is accommodated in the upper recess 18a of the holder 18, and the screw 19 is fastened to the upper end of the rotating shaft 20, so that the holder 18 is prevented from coming off with the washer 15, and the shim 34 is clamped. In the state,
The rotating shaft 20, the inner ring 17a of the bearing 17, the holder 18, and the shim 34 are connected so as to be integrally rotatable.

ベース2の支持筒4の外周は固定子6の内孔7を挿着
している。固定子6は小径リング部8、大径リング部9
及び薄肉部10から、りん青銅等の金属弾性材料で一体的
に構成されている。前記小径リング部8はベース2の支
持面11に接合した状態で螺子12によって固定されてい
る。前記大径リング部9の上面には全周にわたって多数
のくし歯13が一定ピッチで突設されている。
The outer periphery of the support tube 4 of the base 2 has an inner hole 7 of the stator 6 inserted therein. The stator 6 has a small-diameter ring portion 8 and a large-diameter ring portion 9.
The thin portion 10 is integrally formed of a metal elastic material such as phosphor bronze. The small-diameter ring portion 8 is fixed by screws 12 in a state of being joined to the support surface 11 of the base 2. On the upper surface of the large-diameter ring portion 9, a large number of comb teeth 13 project at a constant pitch over the entire circumference.

前記固定子6の大径リング部9の下面には、セラミッ
クス材料等でリング状に成形された圧電素子14が図示し
ない導電性の接着材を介して固着されている。前記圧電
素子14はフレキシブルプリント基板31及びその端部に配
設されたプリント基板32を介してコネクタ33に接続され
ている。そして、前記圧電素子14に高周波電力が印加さ
れると、圧電素子14の伸縮変形に伴い固定子6の大径リ
ング部9に弾性進行波、すなわち、超音波振動が発生す
る。
A piezoelectric element 14 formed in a ring shape from a ceramic material or the like is fixed to the lower surface of the large-diameter ring portion 9 of the stator 6 via a conductive adhesive (not shown). The piezoelectric element 14 is connected to a connector 33 via a flexible printed board 31 and a printed board 32 provided at an end thereof. When high-frequency power is applied to the piezoelectric element 14, elastic traveling waves, that is, ultrasonic vibrations are generated in the large-diameter ring portion 9 of the stator 6 as the piezoelectric element 14 expands and contracts.

前記固定子6に対し上方から接合するように、ホルダ
18には可動子24が面接合またはスプライン結合等の回り
止め手段を介して相対回動不能に挿着されている。前記
可動子24はアルミニウム等の金属材料で円板状に形成さ
れていて、その外周にはリング状凸部26が下向に突設さ
れている。そして、前記リング状凸部26の下面はライナ
ー28を介して固定子6のくし歯13に対接している。
Holder so as to be joined to the stator 6 from above
A mover 24 is inserted into the member 18 via a rotation preventing means such as a surface joint or a spline joint so as to be relatively non-rotatable. The mover 24 is formed in a disk shape from a metal material such as aluminum, and a ring-shaped convex portion 26 is provided on an outer periphery thereof so as to protrude downward. The lower surface of the ring-shaped convex portion 26 is in contact with the comb teeth 13 of the stator 6 via the liner 28.

前記可動子24の上方においてホルダ18には、可動子24
を固定子6に向けて加圧するばね手段としての皿ばね30
が挿入され、ホルダ18の上端鍔部18bによって上方から
押圧保持されている。
Above the mover 24, the holder 18
Spring 30 as a spring means for pressing the spring toward the stator 6
Is inserted and pressed and held from above by the upper end flange 18b of the holder 18.

また、前記皿ばね30の外周縁と対応する位置におい
て、可動子24の上面には環状突起25が一体形成されてい
る。前記環状突起25の内周には、皿ばね30の外周縁、す
なわち、加圧作用部30aを受けるばね受け部25aが切欠形
成されている。ばね受け部25aと加圧作用部30aとの間に
は、弾性部材としてのゴムリング27が介装されている。
なお、皿ばね30の加圧力は前記シム34の厚みを変更する
ことによって適宜に調整されている。
An annular projection 25 is integrally formed on the upper surface of the mover 24 at a position corresponding to the outer peripheral edge of the disc spring 30. The inner periphery of the annular projection 25 is formed with a notch at the outer periphery of the disc spring 30, that is, a spring receiving portion 25a for receiving the pressurizing portion 30a. A rubber ring 27 as an elastic member is interposed between the spring receiving portion 25a and the pressing portion 30a.
The pressing force of the disc spring 30 is appropriately adjusted by changing the thickness of the shim 34.

次に、上記のように構成された本実施例の超音波モー
タの動作を説明する。
Next, the operation of the ultrasonic motor of the present embodiment configured as described above will be described.

固定子6に固着された圧電素子14に高周波電力が印加
されると、その圧電素子14が歪み、固定子6に弾性進行
波が発生する。この弾性進行波は固定子6の大径リング
部9に沿って周回し、その過程で、弾性進行波の振幅が
大径リング部9のくし歯13によって拡大される。する
と、くし歯13の表面上の質点には楕円運動が生起され、
この楕円運動に伴い、固定子6と可動子24に固定された
ライナー28との接触面に摩擦力が発生する。そして、こ
の摩擦力で可動子24に回転モーメントが作用し、これに
よって、可動子24、ホルダ18及び回転軸20が一体に回転
される。
When high frequency power is applied to the piezoelectric element 14 fixed to the stator 6, the piezoelectric element 14 is distorted, and an elastic traveling wave is generated in the stator 6. The elastic traveling wave circulates along the large-diameter ring portion 9 of the stator 6, and in the process, the amplitude of the elastic traveling wave is enlarged by the comb teeth 13 of the large-diameter ring portion 9. Then, an elliptic motion is generated at the mass point on the surface of the comb tooth 13,
With this elliptical motion, a frictional force is generated on the contact surface between the stator 6 and the liner 28 fixed to the mover 24. Then, a rotational moment acts on the mover 24 due to this frictional force, whereby the mover 24, the holder 18, and the rotating shaft 20 are integrally rotated.

このように、本実施例の超音波モータにおいては、可
動子24の上面に皿ばね30の加圧作用部30aを受ける環状
突起25が一体形成されているため、皿ばね30の加圧力が
その環状突起25に沿って可動子24の周方向に一様に分布
される。また、皿ばね30の加圧作用部30aに係合する部
分で可動子24が環状突起25により補強されるため、皿ば
ね30の加圧力で可動子24に彎曲が生じるおそれがなくな
り、固定子6と可動子24とが常に安定した接触面を介し
て圧接される。
As described above, in the ultrasonic motor of the present embodiment, the annular projection 25 that receives the pressurizing portion 30a of the disc spring 30 is integrally formed on the upper surface of the mover 24, so that the pressing force of the disc spring 30 Along the annular protrusion 25, the movable member 24 is uniformly distributed in the circumferential direction. In addition, since the mover 24 is reinforced by the annular projection 25 at a portion of the disc spring 30 that engages with the pressurizing action portion 30a, there is no possibility that the mover 24 will be bent by the pressing force of the disc spring 30. 6 and the mover 24 are always pressed into contact with each other via a stable contact surface.

したがって、可動子24に固定されたライナー28及び固
定子6間の摩擦係数及び圧接力が安定化し、回転むら及
びトルクむらが抑制される。また、可動子24に固定され
たライナー28及び固定子6が安定して圧接する状態で
は、可動子24に固定子6とは異なる周波数の固有振動が
発生しにくくなり、可動子24及び皿ばね30等における異
音の発生が防止される。その結果、圧電素子14に高電力
を供給して、高いモータ出力を支障なく得ることができ
る。
Therefore, the friction coefficient and the pressing force between the liner 28 fixed to the mover 24 and the stator 6 are stabilized, and the uneven rotation and the uneven torque are suppressed. Further, when the liner 28 and the stator 6 fixed to the mover 24 are stably pressed against each other, natural vibration of a frequency different from that of the stator 6 is less likely to occur on the mover 24, and the mover 24 and the disc spring Generation of abnormal noise at 30 mag is prevented. As a result, high power can be supplied to the piezoelectric element 14, and a high motor output can be obtained without any trouble.

しかも、環状突起25が可動子24に一体状に固定されて
いるため、可動子24と皿ばね30との間に別部品を介装す
る場合と比較して部品点数が少なくなり、軽量でかつ組
付け容易な構造により、皿ばね30の加圧力を安定化させ
ることができる。更に、本実施例においては、環状突起
25と皿ばね30との間に弾性部材としてのゴムリング27が
介在しているので、可動子24の振動が皿ばね30側に伝わ
りにくくなり、振動エネルギーの減衰を抑制することが
できる。
Moreover, since the annular projection 25 is integrally fixed to the mover 24, the number of components is reduced as compared with a case where another component is interposed between the mover 24 and the disc spring 30, and the weight is reduced. With a structure that is easy to assemble, the pressing force of the disc spring 30 can be stabilized. Further, in the present embodiment, the annular projection
Since the rubber ring 27 as an elastic member is interposed between the disc spring 30 and the disc spring 30, the vibration of the mover 24 is not easily transmitted to the disc spring 30 side, and the attenuation of the vibration energy can be suppressed.

なお、上記実施例では環状突起25が可動子24に一体形
成されているが、本発明を実施する場合にはこれに限定
されるものではなく、環状突起25と可動子24とを分割し
て形成し、それらを接着剤または溶接等の固着手段で予
め一体に固定したのちに組付けることもできる。或い
は、環状突起25は所定のピッチに配設した突起として使
用することもできる。しかしながら、前記環状突起25を
可動子25に一体形成した本実施例によれば、環状突起25
の精度が向上し、その分、皿ばね30の加圧力を可動子24
の周方向に均一に分布できるという特有の効果が得られ
る。
Although the annular projection 25 is formed integrally with the mover 24 in the above embodiment, the present invention is not limited to this, and the annular projection 25 and the movable element 24 may be divided. It is also possible to assemble them after forming them and fixing them together in advance with a fixing means such as an adhesive or welding. Alternatively, the annular projections 25 can be used as projections arranged at a predetermined pitch. However, according to the present embodiment in which the annular projection 25 is formed integrally with the mover 25, the annular projection 25
Of the disc spring 30 and the moving force of the mover 24
Has a specific effect that it can be uniformly distributed in the circumferential direction.

また、本実施例の超音波モータは可動子24が回転運動
を行なうように構成されているが、可動子が直線運動す
るように構成したリニア形の超音波モータに本発明を応
用して具体化することも可能である。勿論、この場合に
は、上記実施例の環状突起25は直線状の突起または所定
のピッチに配設した突起とすることができる。
Further, the ultrasonic motor of the present embodiment is configured so that the mover 24 performs a rotational movement, but the present invention is applied to a linear ultrasonic motor configured so that the mover moves linearly. It is also possible to convert. Of course, in this case, the annular projection 25 of the above embodiment can be a linear projection or a projection arranged at a predetermined pitch.

[発明の効果] 以上、詳述したように、本発明の超音波モータは、圧
電素子によって弾性進行波を発生する固定子と、その固
定子に弾接するように配置された弾性進行波により駆動
される可動子と、その可動子を固定子に向けて加圧する
ばね手段と、そのばね手段の加圧力を受けるように可動
子に配設された突起とから構成したものであるから、至
って簡単な構造により、ばね手段の加圧力を可動子の周
方向に一様に分布させ、回転むら及びトルクむら、並び
に、異音の発生を抑制でき、もって、高出力を得ること
ができる。
[Effects of the Invention] As described in detail above, the ultrasonic motor of the present invention is driven by a stator that generates an elastic traveling wave by a piezoelectric element and an elastic traveling wave that is arranged to elastically contact the stator. The movable element is composed of a movable element, a spring means for pressing the movable element toward the stator, and a projection arranged on the movable element so as to receive the pressing force of the spring means. With such a structure, the pressing force of the spring means can be evenly distributed in the circumferential direction of the mover, so that uneven rotation and uneven torque and occurrence of abnormal noise can be suppressed, and thus a high output can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の一実施例による超音波モータの縦断面
図、第2図は第1図の超音波モータに装備された可動子
を示す斜視図、第3図は従来の超音波モータを示す縦断
面図、第4図は第3図の超音波モータにおいて固定子と
可動子との接触部分を拡大して示す部分断面図、第5図
は第3図の超音波モータで使用されている皿ばねの加圧
力の分布状態を示す説明図である。 図において、 6:固定子、14:圧電素子、 24:可動子、25:環状突起、 30:皿ばね である。 なお、図中、同一符号及び同一記号は同一または相当部
分を示すものである。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of an ultrasonic motor according to one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing a mover mounted on the ultrasonic motor of FIG. 1, and FIG. 3 is a conventional ultrasonic motor. FIG. 4 is an enlarged partial sectional view showing a contact portion between a stator and a mover in the ultrasonic motor of FIG. 3, and FIG. 5 is used in the ultrasonic motor of FIG. FIG. 4 is an explanatory diagram showing a distribution state of a pressing force of a coned disc spring. In the figure, 6: stator, 14: piezoelectric element, 24: mover, 25: annular projection, 30: disc spring. In the drawings, the same reference numerals and symbols indicate the same or corresponding parts.

フロントページの続き (72)発明者 青山 睦朗 愛知県刈谷市朝日町2丁目1番地 アイ シン精機株式会社内 (72)発明者 相良 信治 埼玉県上尾市菅谷3丁目105番地 株式 会社フコク内 (72)発明者 村上 忠良 埼玉県上尾市菅谷3丁目105番地 株式 会社フコク内 (56)参考文献 特開 平2−41677(JP,A) 特開 平1−110068(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H02N 2/00Continued on the front page (72) Inventor Mutsuro Aoyama 2-1-1 Asahi-cho, Kariya-shi, Aichi Aisin Seiki Co., Ltd. (72) Inventor Shinji 3-105 Sugaya, Ageo-shi, Saitama Fukukoku (72) ) Inventor Tadayoshi Murakami 3-105 Sugaya, Ageo-shi, Saitama Fukuk Co., Ltd. (56) References JP-A-2-41677 (JP, A) JP-A 1-1110068 (JP, A) (58) Field (Int.Cl. 6 , DB name) H02N 2/00

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】圧電素子によって弾性進行波を発生する固
定子と、 前記固定子に弾接するように配置されて、前記弾性進行
波によって駆動される可動子と、 前記可動子を前記固定子に向けて加圧するばね手段と、 前記ばね手段の加圧力を受けるように前記可動子に配設
された突起と を具備することを特徴とする超音波モータ。
A stator configured to generate an elastic traveling wave by a piezoelectric element; a movable member arranged to be in elastic contact with the stator and driven by the elastic traveling wave; and the movable member attached to the stator. An ultrasonic motor comprising: spring means for applying pressure toward the movable member; and a projection disposed on the mover so as to receive a pressing force of the spring means.
【請求項2】前記突起は、可動子と一体的に形成された
環状突起としたことを特徴とする請求項1に記載の超音
波モータ。
2. The ultrasonic motor according to claim 1, wherein the projection is an annular projection formed integrally with the mover.
【請求項3】前記環状突起とばね手段との間に弾性部材
が介在していることを特徴とする請求項1または請求項
2に記載の超音波モータ。
3. An ultrasonic motor according to claim 1, wherein an elastic member is interposed between said annular projection and said spring means.
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