JP3344679B2 - Polyethylene naphthalate film for TAB - Google Patents

Polyethylene naphthalate film for TAB

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JP3344679B2
JP3344679B2 JP27178895A JP27178895A JP3344679B2 JP 3344679 B2 JP3344679 B2 JP 3344679B2 JP 27178895 A JP27178895 A JP 27178895A JP 27178895 A JP27178895 A JP 27178895A JP 3344679 B2 JP3344679 B2 JP 3344679B2
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polyethylene naphthalate
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thermal expansion
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一弘 椚原
昌司 稲垣
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三菱化学ポリエステルフィルム株式会社
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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    • H05K1/03Use of materials for the substrate
    • H05K1/0313Organic insulating material
    • H05K1/032Organic insulating material consisting of one material
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  • Wire Bonding (AREA)
  • Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、TAB用ポリエチ
レンナフタレートフイルムに関するものであり、詳しく
は、寸法安定性、耐熱性、耐吸湿性、耐薬品性、機械的
特性に優れ、且つ、フイルムの平面性、取り扱い作業
性、電気的諸特性に優れたTAB用ポリエチレンナフタ
レートフイルムに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polyethylene naphthalate film for TAB, and more particularly, to a film having excellent dimensional stability, heat resistance, moisture absorption resistance, chemical resistance, and mechanical properties. The present invention relates to a polyethylene naphthalate film for TAB having excellent flatness, workability, and various electrical properties.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、ICチップの実装技術において
は、優れた性能を備えた製品を量産するために自動化が
図られている。この自動化のために開発された方式の一
つとして、ワイヤレスボンデングにより、長尺のスプロ
ケットホールを有するフイルムにICチップを組み込ん
で行く方式[Tape Automated Bond
ing(TAB)]がある。
2. Description of the Related Art Conventionally, in the mounting technology of IC chips, automation has been attempted in order to mass-produce products having excellent performance. As one of the methods developed for this automation, a method of incorporating an IC chip into a film having a long sprocket hole by wireless bonding [Tape Automated Bond]
ing (TAB)].

【0003】従来、上記のTAB用キャリアフイルム材
料(絶縁性フイルム)としては、ポリイミドフイルム、
ガラス繊維にエポキシ樹脂を含浸させたガラスエポキシ
テープ、ガラス繊維にBTレジンを含浸させたBTレジ
ンテープ、ポリエチレンテレフタレートフイルム等が広
く使用されている。就中、ポリイミドフイルムは、その
優れた耐熱性よりTAB用キャリア材料の主流となって
いる。
Conventionally, as the above TAB carrier film material (insulating film), polyimide film,
Glass epoxy tape in which glass fiber is impregnated with epoxy resin, BT resin tape in which glass fiber is impregnated with BT resin, polyethylene terephthalate film and the like are widely used. Above all, polyimide films have become the main carrier material for TAB because of their excellent heat resistance.

【0004】しかしながら、ポリイミドフイルムは、他
の材料に比べて湿度膨張係数が高いために吸湿による寸
法変化が大きい。また、吸湿性が改良されたポリイミド
フイルムに関しては、曲げ性が悪いため、アウターリー
ドボンディング時の不良率が高く、また、TAB行程中
の搬送や位置決め用のガイドで裂けを生じ易く耐クラッ
チ性に欠ける。加えて、ポリイミドフイルムは、製造上
の問題で極めて高価である。
However, since the polyimide film has a higher coefficient of humidity expansion than other materials, the dimensional change due to moisture absorption is large. In addition, polyimide films with improved hygroscopicity have poor bendability, resulting in a high failure rate during outer lead bonding, and are liable to tear during transport and positioning guides during the TAB process, resulting in poor clutch resistance. Chip. In addition, polyimide films are extremely expensive due to manufacturing problems.

【0005】ガラスエポキシテープやBTレジンテープ
は、加熱、吸湿による寸法安定性に優れているが、打ち
抜きやスリット工程でテープの断面から、含浸樹脂やガ
ラス繊維のクズ等が多く発生してクリーンルームを汚染
すため、精密な半導体を実装するには向いていない。ま
た、打ち抜きやスリットの際にテープに無理な力が加わ
ると、テープが裂けたり、打ち抜きの金型やスリット刃
も磨耗し易い。ポリエチレンテレフタレートフイルム
は、耐熱性の点以外は全て優れているが、TAB製造工
程には厳しい熱工程がありその用途が限定される。従っ
て、TAB用フイルムキャリア材料においては、上記の
問題を克服し、コスト的に安価な単体材料の出現が望ま
れている。
[0005] Glass epoxy tape and BT resin tape are excellent in dimensional stability due to heating and moisture absorption. However, a large amount of impregnated resin and glass fiber scraps are generated from the cross section of the tape in the punching and slitting steps, and thus a clean room is required. It is not suitable for mounting precision semiconductors due to contamination. Further, if excessive force is applied to the tape during punching or slitting, the tape is torn, and the punching die and the slit blade are liable to wear. Polyethylene terephthalate films are all excellent except for the heat resistance, but the TAB manufacturing process has a severe heat process and its use is limited. Therefore, in the case of TAB film carrier materials, it is desired to overcome the above-mentioned problems and to develop a single material that is inexpensive.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記実情に
鑑みなされたものであり、その目的は、寸法安定性、耐
熱性、耐吸湿性、耐薬品性、機械的特性に優れ、且つ、
フイルムの平面性、取り扱い作業性、電気的諸特性に優
れたTAB用ポリエチレンナフタレートフイルムを提供
することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide excellent dimensional stability, heat resistance, moisture absorption resistance, chemical resistance, mechanical properties, and
An object of the present invention is to provide a polyethylene naphthalate film for TAB which is excellent in flatness, handling workability and various electrical properties of the film.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
に鑑みTAB用フイルムキャリヤー材料について鋭意検
討した結果、温度膨張係数がある特定範囲にあるポリエ
チレンナフタレートフイルムを使用することによりTA
B用フイルムキャリヤに必要な諸特性が高度に満足され
ることを見い出し本発明を完成するに至った。
Means for Solving the Problems In view of the above problems, the present inventors have made intensive studies on a film carrier material for TAB. As a result, by using a polyethylene naphthalate film having a specific coefficient of thermal expansion within a specific range, the TAB film can be used.
The inventors have found that the properties required for the film carrier for B are highly satisfied, and have completed the present invention.

【0008】すなわち、本発明の要旨は、フイルム面内
方向の温度膨張係数(αT)が9×10-6/℃以上、2
0×10-6/℃以下で、かつ、フイルム面内方向の最大
温度膨張係数αTmax と最小温度膨張係数αTmin の差
の絶対値が6×10-6/℃以内であることを特徴とする
TAB用ポリエチレンナフタレートフイルムに存する。
That is, the gist of the present invention is that the coefficient of thermal expansion (αT) in the in-plane direction of the film is not less than 9 × 10 −6 / ° C.
TAB characterized by being not more than 0 × 10 −6 / ° C. and the absolute value of the difference between the maximum thermal expansion coefficient αTmax and the minimum thermal expansion coefficient αTmin in the in-plane direction of the film is within 6 × 10 −6 / ° C. For polyethylene naphthalate film.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
本発明で言うポリエチレンナフタレートとは、その構成
単位が実質的にエチレン−2、6−ナフタレート単位か
ら構成されているポリマーを指すが、少量、例えば10
モル%以下、好ましくは5モル%以下の第三成分によっ
て変性されたエチレン−2,6−ナフタレートポリマー
も含まれる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in detail.
The polyethylene naphthalate referred to in the present invention refers to a polymer whose constituent units are substantially composed of ethylene-2,6-naphthalate units.
Also included are ethylene-2,6-naphthalate polymers modified with up to mol%, preferably up to 5 mol% of the third component.

【0010】一般に、ポリエチレンナフタレートは、ナ
フタレン−2,6−ジカルボン酸またはその機能的誘導
体(例えばナフタレン−2,6−ジカルボン酸ジメチ
ル)とエチレングリコールとを触媒の存在下に縮合せし
めることによって製造される。この場合、第三成分とし
て、例えば、アジピン酸、セバシン酸、フタル酸イソフ
タル酸、テレフタル酸、ナフタレン−2,7−ジカルボ
ン酸などのジカルボン酸もしくはその低級アルキルエス
テル、p−オキシ安息香酸の様なオキシカルボン酸もし
くはその低級アルキルエステル、または、プロピレング
リコール、トリメチレングリコール、テトラメチレング
ロコール、ペンタメチレングリコール、ヘキサメチレン
グリコール等の2価アルコール等を挙げることが出来
る。ポリエチレンナフタレートは、重合度が低すぎると
機械的特性が低下する。従って、本発明において使用す
るポリエチレンナフタレートの極限粘度は、0.40以
上が好ましく、0.45〜0.9の範囲が好ましい。
In general, polyethylene naphthalate is produced by condensing naphthalene-2,6-dicarboxylic acid or a functional derivative thereof (eg, dimethyl naphthalene-2,6-dicarboxylate) with ethylene glycol in the presence of a catalyst. Is done. In this case, as the third component, for example, a dicarboxylic acid such as adipic acid, sebacic acid, phthalic acid isophthalic acid, terephthalic acid, naphthalene-2,7-dicarboxylic acid, or a lower alkyl ester thereof, or p-oxybenzoic acid Oxycarboxylic acids or lower alkyl esters thereof, or dihydric alcohols such as propylene glycol, trimethylene glycol, tetramethylene glycol, pentamethylene glycol and hexamethylene glycol can be exemplified. If the degree of polymerization of polyethylene naphthalate is too low, the mechanical properties deteriorate. Therefore, the intrinsic viscosity of the polyethylene naphthalate used in the present invention is preferably 0.40 or more, more preferably 0.45 to 0.9.

【0011】本発明においては、上記の様なポリエチレ
ンナフタレートからTAB用フイルムキャリア材料とし
てのフイルムを得るが、そのためには次の様な方法を採
用する。例えば、通常290〜330℃でシート状に溶
融押出しを行い、40〜80℃で冷却固化して無定形シ
ートとした後、130〜170℃で縦および横方向に面
積倍率で4〜20倍となる様に逐次または同時に二軸延
伸し、その後、180〜270℃で熱処理する。
In the present invention, a film as a TAB film carrier material is obtained from the above-mentioned polyethylene naphthalate. For this purpose, the following method is employed. For example, usually melt-extruded into a sheet at 290 to 330 ° C., cooled and solidified at 40 to 80 ° C. to form an amorphous sheet, and then at 130 to 170 ° C. in the vertical and horizontal directions with an area magnification of 4 to 20 times. The film is biaxially stretched sequentially or simultaneously, and then heat-treated at 180 to 270 ° C.

【0012】縦および横方向に延伸するに際しては、各
々一段で延伸してもよいし、必要に応じて多段で延伸し
たり、多段延伸の間に配向緩和のための熱処理区間を設
けたりすることも出来る。更に、二軸延伸後、次工程の
熱処理工程に供する前に再度延伸してもよい。特に高強
度化のためには、二軸延伸後に更に140〜200℃の
温度で縦および横方向に1.05〜4.0倍の再延伸を
行った後に熱処理する方法がよく採られる。
When stretching in the longitudinal and transverse directions, each may be stretched in one step, or if necessary, may be stretched in multiple steps, or a heat treatment section for relaxing orientation may be provided between the multiple steps. You can also. Further, after the biaxial stretching, the film may be stretched again before being subjected to the next heat treatment step. In particular, in order to increase the strength, a method is often employed in which after biaxial stretching, re-stretching is performed at a temperature of 140 to 200 ° C. in the longitudinal and transverse directions by 1.05 to 4.0 times, and then heat treatment is performed.

【0013】本発明においては、上記の様にしてTAB
用フイルムキャリア材料用二軸延伸ポリエチレンナフタ
レートフイルムを得るが、本発明の最大の特徴は、フイ
ルムの面内方向の温度膨張係数(αT)を9×10-6
℃以上、20×10-6/℃以下とし、フイルム面内方向
の最大温度膨張係数αTmax と最小温度膨張係数αTmi
n の差の絶対値が6×10-6/℃以内とする点にある。
In the present invention, as described above, TAB
The most important feature of the present invention is that the film has a coefficient of thermal expansion (αT) of 9 × 10 −6 in the in-plane direction of the film.
℃ and 20 × 10 -6 / ℃ or less, the maximum thermal expansion coefficient αTmax and the minimum thermal expansion coefficient αTmi in the in-plane direction of the film.
The point is that the absolute value of the difference between n is within 6 × 10 −6 / ° C.

【0014】すなわち、本発明者らの知見によれば、T
AB用キャリヤフイルム材料は、銅箔と貼り合わせて使
用されるため、その温度膨張係数が銅に近い必要があ
り、温度膨張係数(αT)が20×10-6/℃を超えて
しまうと銅箔と貼り合わされた際に、銅箔の温度膨張係
数との違いによりカールを生じて使用できなくなる。ま
た、明確な原因は判明していないが、温度膨張係数(α
T)が9×10-6/℃未満でも同様にカールを生じて使
用できなくなる。また、フイルム面内方向の最大温度膨
張係数αTmax と最小温度膨張係数αTmin の差の絶対
値が6×10-6/℃を超えた場合も銅箔と貼り合わされ
た際にカールを生じて使用できなくなる。
That is, according to the findings of the present inventors, T
Since the carrier film material for AB is used by being bonded to a copper foil, its thermal expansion coefficient needs to be close to that of copper. If the thermal expansion coefficient (αT) exceeds 20 × 10 −6 / ° C., copper When bonded to the foil, the copper foil is curled due to a difference from the thermal expansion coefficient of the copper foil, and cannot be used. Although a clear cause is not known, the thermal expansion coefficient (α
Even if T) is less than 9 × 10 −6 / ° C., curling similarly occurs, making it unusable. Further, even when the absolute value of the difference between the maximum thermal expansion coefficient αTmax and the minimum thermal expansion coefficient αTmin in the in-plane direction of the film exceeds 6 × 10 −6 / ° C., it can be used because it is curled when it is bonded to a copper foil. Disappears.

【0015】上記の温度膨張係数を得るためには、二軸
配向されたポリエチレンナフタレートフイルムを180
〜270℃の範囲で熱処理する際に、フイルムの結晶化
度を30〜60%、好ましくは35〜55%の範囲に調
節する。そして、得られたポリエチレンナフタレートフ
イルムは、そのまま使用してもよく、銅箔との接着性を
改良するため、その表面にコロナ放電処理、低温プラズ
マ処理などの表面処理を施しても構わない。
In order to obtain the above-mentioned coefficient of thermal expansion, a biaxially oriented polyethylene naphthalate film is used for 180
When the heat treatment is performed at a temperature in the range of -270 ° C, the crystallinity of the film is adjusted to 30-60%, preferably 35-55%. The obtained polyethylene naphthalate film may be used as it is, and its surface may be subjected to a surface treatment such as a corona discharge treatment or a low-temperature plasma treatment in order to improve the adhesiveness to the copper foil.

【0016】本発明においては、フイルムの溶融比抵抗
が5×107 〜5×1010Ω−cmであることが好まし
い。溶融ポリマーから無定形シートを得るに際し、当該
シートに静電荷を与えてこれを静電的に回転冷却ドラム
に強く押しつける方法、すなわち、静電印加冷却法が有
効であることが知られており、この効果を充分に発揮す
るためには溶融ポリエチレンナフタレートの比抵抗を減
ずればよいことも知られている。
In the present invention, the film preferably has a melting specific resistance of 5 × 10 7 to 5 × 10 10 Ω-cm. In obtaining an amorphous sheet from a molten polymer, it is known that a method of giving an electrostatic charge to the sheet and strongly pressing it against a rotating cooling drum, that is, an electrostatic application cooling method is effective, It is also known that this effect can be sufficiently exerted by reducing the specific resistance of the molten polyethylene naphthalate.

【0017】しかしながら、溶融ポリエチレンナフタレ
ートの比抵抗が5×107 Ω−cm未満の場合には、静
電印加冷却法を効果的に適用することが出来てフイルム
の平面性優れるものの、高温時における体積抵抗率が小
さくなり電気絶縁材料としての価値を損ねる様になる。
一方、比抵抗が5×1010Ω−cmを超える場合には、
高温時における体積抵抗率が著しく改良されるものの、
静電印加冷却法の効果が不充分でフイルムの平面性は殆
ど改良されない。
However, when the specific resistance of the molten polyethylene naphthalate is less than 5 × 10 7 Ω-cm, the electrostatic application cooling method can be effectively applied, and the flatness of the film is excellent. , The volume resistivity becomes small and the value as an electrical insulating material is impaired.
On the other hand, when the specific resistance exceeds 5 × 10 10 Ω-cm,
Although the volume resistivity at high temperatures is significantly improved,
The cooling effect of the electrostatic application is insufficient, and the flatness of the film is hardly improved.

【0018】ポリエチレンナフタレートの比抵抗を上記
の所望の値に調節するためには次の様な方法を採用すれ
ばよい。すなわち、比抵抗を減ずるためにはポリエチレ
ンナフタレートに金属成分を可溶化せしめればよく。そ
のためには、例えば、エステル交換反応触媒として使用
された金属元素、または、必要に応じてエステル交換反
応もしくはエステル化反応後に添加した金属元素に対
し、比較的少量、例えば、当モル以下のリン化合物を添
加する手段が好ましく採用される。
In order to adjust the specific resistance of polyethylene naphthalate to the above-mentioned desired value, the following method may be adopted. That is, in order to reduce the specific resistance, the metal component may be solubilized in polyethylene naphthalate. For that purpose, for example, a relatively small amount, for example, an equimolar or less of a phosphorus compound with respect to the metal element used as a transesterification reaction catalyst or the metal element added after the transesterification reaction or the esterification reaction as necessary. Is preferably employed.

【0019】一方、比抵抗を高めるためにはポリエチレ
ンナフタレートに溶け込んでいる金属元素の量を減ずれ
ばよい。具体的には、反応系に可溶な金属化合物の添加
量を減ずるか、または、金属化合物をかなり多く使用し
た場合はその大部分をポリエチレンナフタレートに不溶
の金属塩、例えば、カルボン酸塩、リン酸塩、亜リン酸
塩などとして沈殿せしめればよい。より具体的には、例
えば、エステル交換触媒として使用したカルシウム、マ
ンガン等の金属元素に対して当モル以上のリン化合物を
作用せしめることにより達成することが出来る。
On the other hand, in order to increase the specific resistance, the amount of the metal element dissolved in the polyethylene naphthalate may be reduced. Specifically, the amount of the metal compound soluble in the reaction system is reduced or, if a large amount of the metal compound is used, most of the metal salt is insoluble in polyethylene naphthalate, such as a carboxylate, What is necessary is just to precipitate as phosphate, phosphite and the like. More specifically, for example, it can be achieved by allowing a phosphorus compound in an equimolar amount or more to act on a metal element such as calcium or manganese used as a transesterification catalyst.

【0020】本発明においては、上記の様な特定範囲の
比抵抗を有するポリエチレンナフタレートを得るため、
製膜に供するポリエチレンナフタレートの比抵抗を予め
調節しておくのがよい。そして、この様にして得られた
フイルムは、無定形シート作成時に静電印加冷却法が効
果的に適用できるため、平面性に優れ、また、高温時に
おける電気特性、特に、体積抵抗率の点で著しく改良さ
れる。本発明において、フイルム厚みは、通常20〜3
00μm、好ましくは30〜250μm、更に好ましく
は50〜200μmの範囲から選定される。
In the present invention, in order to obtain polyethylene naphthalate having a specific resistance in a specific range as described above,
It is preferable that the specific resistance of polyethylene naphthalate to be used for film formation is adjusted in advance. The film thus obtained is excellent in flatness because the electrostatic application cooling method can be effectively applied at the time of forming an amorphous sheet, and has excellent electrical properties at high temperatures, particularly, in terms of volume resistivity. Significantly improved. In the present invention, the film thickness is usually 20 to 3
It is selected from the range of 00 μm, preferably 30 to 250 μm, more preferably 50 to 200 μm.

【0021】本発明において、必要に応じ、ポリエチレ
ンナフタレートに微細な不活性化合物を配合する。不活
性化合物を配合する方法の中の一つにポリエチレンナフ
タレート製造時に反応系内に溶存している金属化合物、
例えば、エステル交換反応後の系内に溶存している金属
化合物にリン化合物などを作用させて微細な粒子析出さ
せる方法、いわゆる析出粒子法がある。この方法は、簡
便で工業的に容易に採用し得る。もう一つの方法とし
て、ポリエステル製造工程から製膜前の押出工程の何れ
かの工程において、ポリエステルに微細粒子を配合せし
める方法、いわゆる添加粒子法がある。上記のちらの方
法を採用しても構わない。
In the present invention, if necessary, a fine inert compound is mixed with polyethylene naphthalate. One of the methods of compounding the inert compound is a metal compound dissolved in the reaction system during the production of polyethylene naphthalate,
For example, there is a so-called precipitation particle method in which a phosphorus compound or the like is allowed to act on a metal compound dissolved in the system after the transesterification reaction to precipitate fine particles. This method is simple and can be industrially easily adopted. As another method, there is a so-called additive particle method in which fine particles are mixed with polyester in any of the steps from the polyester production step to the extrusion step before film formation. The above-mentioned method may be adopted.

【0022】添加粒子法で使用する微細粒子の例として
は、酸化ケイ素、酸化チタン、ゼオライト、窒化ケイ
素、窒化ホウ素、セライト、アルミナ、炭酸カルシウ
ム、炭酸マグネシウム、炭酸バリウム、硫酸カルシウ
ム、硫酸バリウム、リン酸カルシウム、リン酸リチウ
ム、リン酸マグネシム、フッ化リチウム、酸化アルミニ
ウム、酸化ケイ素、酸化チタン、カオリン、タルク、カ
ーボンブラック、窒化ケイ素、窒化ホウ素および特公昭
59−5216号公報に記載された様な架橋高分子微粉
体を挙げることが出来る。
Examples of the fine particles used in the additive particle method include silicon oxide, titanium oxide, zeolite, silicon nitride, boron nitride, celite, alumina, calcium carbonate, magnesium carbonate, barium carbonate, calcium sulfate, barium sulfate, and calcium phosphate. , Lithium phosphate, magnesium phosphate, lithium fluoride, aluminum oxide, silicon oxide, titanium oxide, kaolin, talc, carbon black, silicon nitride, boron nitride, and a cross-linked resin having a high crosslinking height as described in JP-B-59-5216. Molecular fine powder can be mentioned.

【0023】上記の微細粒子の形状は、球状、塊状、偏
平状の何れであってもよく、また、その硬度、比重、色
などについても特に制限はない。微細粒子の平均粒径
は、特に限定される訳けではないが、等価球直径とし
て、通常0.01〜10μm、好ましくは0.05〜8
μmの範囲から選ばれる。また、微細粒子は、単独で使
用しても2種以上を併用してもよい。
The shape of the fine particles may be spherical, massive, or flat, and the hardness, specific gravity, color and the like are not particularly limited. The average particle size of the fine particles is not particularly limited, but is usually 0.01 to 10 μm, preferably 0.05 to 8 as an equivalent spherical diameter.
It is selected from the range of μm. The fine particles may be used alone or in combination of two or more.

【0024】上記の微粒子の添加量は、通常0.05〜
3重量%、好ましくは0.1〜2重量%である。添加量
が0.05重量%未満の場合は、フイルムの滑り性が悪
くて巻き特性が劣る。また、3重量%を超える場合は、
フイルム表面の粗面化の度合いが大き過ぎて銅箔との貼
り合わせが不良となる。
The amount of the fine particles to be added is usually from 0.05 to
It is 3% by weight, preferably 0.1 to 2% by weight. If the addition amount is less than 0.05% by weight, the film has poor slipperiness and poor winding properties. If it exceeds 3% by weight,
The degree of roughening of the film surface is too large, resulting in poor bonding with the copper foil.

【0025】[0025]

【実施例】以下、本発明を実施例により更に詳細に説明
するが、本発明は、その要旨を超えない限り、以下の実
施例に限定されるものではない。なお、本発明で用いた
物性測定法を以下に示す。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist of the present invention. The methods for measuring physical properties used in the present invention are shown below.

【0026】(1)微粒子の平均粒径 遠心沈降式粒度分布測定装置((株)島津製作所製「S
A−CP3型」)を使用し、ストークスの抵抗則に基づ
く沈降法によって粒子の大きさを測定した。測定により
得られた粒子の等価球形分布における積算(体積基準)
50%の値を平均粒径とした。
(1) Average particle size of fine particles Centrifugal sedimentation type particle size distribution analyzer (Shimadzu Corporation “S”
A-CP3 type "), and the particle size was measured by a sedimentation method based on Stokes' resistance law. Integration of equivalent spherical distribution of particles obtained by measurement (based on volume)
The value of 50% was defined as the average particle size.

【0027】(2)溶融比抵抗〔ρv〕 ポリエチレンナフタレート12gを枝付試験管に入れ、
295℃のオイルバスに浸し、完全に溶融してから真空
−窒素ガスの繰り返しで完全に気泡を除去した後、溶融
液中にステンレス製の電極を挿入して10分間保持した
後、3KVの直流を印加する。印加直後の電流値を読み
取り、次式に従って比抵抗を計算する。式中ρvは比抵
抗(Ω・cm)、Iは電流値(A)、Sは電極の断面積
(cm2)及びlは電極間の距離(cm)である。
(2) Melt specific resistance [ρv] 12 g of polyethylene naphthalate was put into a test tube with branches.
After immersing in a 295 ° C. oil bath and completely melting, completely removing bubbles by repeating vacuum-nitrogen gas, inserting a stainless steel electrode into the melt, holding for 10 minutes, and then applying a DC voltage of 3 KV. Is applied. The current value immediately after the application is read, and the specific resistance is calculated according to the following equation. In the formula, ρv is a specific resistance (Ω · cm), I is a current value (A), S is a sectional area of the electrode (cm 2 ), and l is a distance between the electrodes (cm).

【0028】[0028]

【数1】 ρv(Ω・cm)=(3000÷I)×(S÷l)Ρv (Ω · cm) = (3000 ÷ I) × (S ÷ 1)

【0029】(3)温度膨張係数 定荷重伸び試験機(日本自動制御社製「TTL2型」)
を恒温恒湿槽内に置いて測定を行う。測定サンプルは、
予め、所定の条件(例えば70℃、30分)で熱処理を
施す。そして、このサンプルを試験機に取り付け、温度
20℃、相対湿度60%RHと、温度40℃、相対湿度
60%RHとの間での寸法変化を読み取ることによって
温度膨張係数を測定する。このときの原サンプル長は5
05mm、サンプル幅は1/4インチである。測定時に
加える荷重は、5g/(1/4)インチ幅当たりで一定
とした。
(3) Coefficient of thermal expansion Constant load elongation tester ("TTL2 type" manufactured by Nippon Automatic Control Co., Ltd.)
Is placed in a thermo-hygrostat to measure. The measurement sample is
A heat treatment is performed in advance under predetermined conditions (for example, 70 ° C., 30 minutes). Then, this sample is attached to a tester, and the temperature expansion coefficient is measured by reading a dimensional change between a temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 60% RH and a temperature of 40 ° C. and a relative humidity of 60% RH. The original sample length at this time is 5
05 mm, sample width is 1/4 inch. The load applied during the measurement was constant at a width of 5 g / (1/4) inch.

【0030】長いサンプルが得られない場合は、熱機械
分析装置(真空理工社製「TM−3000」)を使用し
て測定することも出来る。温度膨張係数の最大値および
最小値の差を求める場合は、「TM−3000」を使用
する。サンプルの寸法は、長さ15mm、幅5mmと
し、温度10℃、湿度0%RHと、温度40℃、湿度0
%RHにおける寸法変化を読み取ることによって求め
る。
When a long sample cannot be obtained, the measurement can be performed using a thermomechanical analyzer ("TM-3000" manufactured by Vacuum Riko Co., Ltd.). When calculating the difference between the maximum value and the minimum value of the thermal expansion coefficient, "TM-3000" is used. The dimensions of the sample were 15 mm in length and 5 mm in width. The temperature was 10 ° C., the humidity was 0% RH, the temperature was 40 ° C., and the humidity was 0.
Determined by reading the dimensional change in% RH.

【0031】(4)温度膨張係数のフイルム面内方向差 前記(3)で説明した方法により、15゜又は30゜毎
に各方向の値を測定し、〈最大値−最小値〉を求める。
(4) Difference in the in-plane direction of the thermal expansion coefficient in the film plane According to the method described in (3), the value in each direction is measured at every 15 ° or 30 ° to determine <maximum value−minimum value>.

【0032】(5)カール評価 ポリエチレンナフタレートフイルムにエポキシ系の接着
剤をリバースコーターで塗布厚さ15μmに塗布した
後、35mm幅にスリットしてフイルムキャリアテープ
とした。このフイルムキャリアテープと厚さ35μmの
銅箔とを表面温度200℃のロールラミネーターにより
で貼り合わせた。貼り合わせの線圧は4Kg/cm、速
度は0.6m/minとした。得られた35mm幅のラ
ミネートフイルムを上面が凹となる様にフラットな台上
に乗せ、角の台上からの捲くれ上がり高さをカール量と
した。そして、カール量7mm未満を○:カール量7m
m以上を×で表した。
(5) Evaluation of curl After a polyethylene naphthalate film was coated with an epoxy-based adhesive to a coating thickness of 15 μm using a reverse coater, it was slit to a width of 35 mm to obtain a film carrier tape. This film carrier tape and a copper foil having a thickness of 35 μm were bonded by a roll laminator having a surface temperature of 200 ° C. The bonding linear pressure was 4 kg / cm, and the speed was 0.6 m / min. The obtained 35-mm-wide laminated film was placed on a flat table so that the upper surface was concave, and the curling amount was the height of the curl up from the corner table. Then, when the curl amount is less than 7 mm, :: the curl amount is 7 m.
m or more was represented by x.

【0033】実施例1〜2及び比較例1〜4 ナフタレン−2,6−ジカルボン酸ジメチル100部、
エチレングリコール60部および酢酸マグネシウム4水
塩0.09部を反応器に採り、加熱昇温すると共にメタ
ノールを留去してエステル交換反応を行い、反応開始か
ら4時間を要して230℃まで昇温して実質的にエステ
ル交換反応を終了させた。次いで、粒子径が0.8μm
のカオリン粒子0.40部をエチレングリコールスラリ
ーとして添加し、更に、リン酸0.03部、三酸化アン
チモン0.035部を加えて常法により重縮合反応を行
って極限粘度0.50のポリエチレンナフタレートを得
た。得られたポリマーを0.3mmHg、240℃で8
時間固相重合し、極限粘度0.65のポリエチレンナフ
タレートを得た。得られたポリエチレンナフタレートの
溶融時の比抵抗は1.2×108 Ω−cmであった。
Examples 1-2 and Comparative Examples 1-4 100 parts of dimethyl naphthalene-2,6-dicarboxylate,
60 parts of ethylene glycol and 0.09 part of magnesium acetate tetrahydrate were placed in a reactor, heated and heated, and methanol was distilled off to carry out a transesterification reaction. The transesterification was substantially completed by heating. Next, the particle diameter is 0.8 μm
Was added as an ethylene glycol slurry, and 0.03 part of phosphoric acid and 0.035 part of antimony trioxide were further added, and a polycondensation reaction was carried out by a conventional method to obtain a polyethylene having an intrinsic viscosity of 0.50. Naphthalate was obtained. The obtained polymer was treated at 0.3 mmHg and 240 ° C for 8 hours.
Solid phase polymerization was carried out for an hour to obtain polyethylene naphthalate having an intrinsic viscosity of 0.65. The specific resistance of the obtained polyethylene naphthalate at the time of melting was 1.2 × 10 8 Ω-cm.

【0034】次いで、得られたポリエチレンナフタレー
トを295℃で押出機よりシート状に押し出し静電印加
冷却法で無定形シートとした。得られた無定形シートを
延伸後に熱処理を施して厚み120μmの二軸配向フイ
ルムを作成した。延伸および熱処理条件は表1に示す。
Next, the obtained polyethylene naphthalate was extruded at 295 ° C. from an extruder into a sheet to form an amorphous sheet by an electrostatic application cooling method. The obtained amorphous sheet was subjected to a heat treatment after stretching to prepare a biaxially oriented film having a thickness of 120 μm. The stretching and heat treatment conditions are shown in Table 1.

【0035】[0035]

【表1】 ──────────────────────────────────── 実施例 比較例 1 2 1 2 3 縦延伸倍率 3.6 3.5 3.4 3.6 3.2 横延伸倍率 3.6 3.6 3.4 3.6 3.7 熱固定温度(℃) 220 240 250 100 220 熱膨張係数(αT)(×106/℃) 13 10 7 25 13 |αT max −αT min |(×106/℃) 3 5 3 3 10 カール効果 ○ ○ × × × ────────────────────────────────────[Table 1] Example Comparative Example 1 2 1 2 3 Vertical Stretch ratio 3.6 3.5 3.4 3.6 3.2 Lateral stretch ratio 3.6 3.6 3.4 3.6 3.7 Heat setting temperature (° C) 220 240 250 100 220 Thermal expansion coefficient (αT) (× 10 6 / ° C) 13 10 7 25 13 | αT max −αT min | (× 10 6 / ℃) 3 5 3 3 10 Curl effect ○ ○ × × × ────────────────────────────── ──────

【0036】[0036]

【発明の効果】以上説明した本発明によれば、従来に比
べコスト的に安価で且つ諸特性が高度に満足されたTA
B用フイルムキャリヤ材料を提供することが出来、本発
明の工業的価値は高い。
According to the present invention as described above, a TA which is inexpensive and has various characteristics highly satisfied compared with the prior art.
A film carrier material for B can be provided, and the industrial value of the present invention is high.

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平5−21533(JP,A) 特開 平5−212787(JP,A) 特開 平6−58992(JP,A) 特開 平6−97235(JP,A) 特開 平7−43904(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 21/60 C08J 5/18 C08J 7/02 Continuation of the front page (56) References JP-A-5-21533 (JP, A) JP-A-5-212787 (JP, A) JP-A-6-58992 (JP, A) JP-A-6-97235 (JP) , A) JP-A-7-43904 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H01L 21/60 C08J 5/18 C08J 7/02

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 フイルム面内方向の温度膨張係数(α
T)が9×10-6/℃以上、20×10-6/℃以下で、
かつ、フイルム面内方向の最大温度膨張係数αTmax と
最小温度膨張係数αTmin の差の絶対値が6×10-6
℃以内であることを特徴とするTAB用ポリエチレンナ
フタレートフイルム。
1. A coefficient of thermal expansion (α) in the in-plane direction of a film.
T) is 9 × 10 −6 / ° C. or more and 20 × 10 −6 / ° C. or less,
The absolute value of the difference between the maximum thermal expansion coefficient αTmax and the minimum thermal expansion coefficient αTmin in the in-plane direction of the film is 6 × 10 −6 /
A polyethylene naphthalate film for TAB, wherein the temperature is within ° C.
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