JP3342072B2 - 積層形流体制御装置 - Google Patents
積層形流体制御装置Info
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- JP3342072B2 JP3342072B2 JP34523092A JP34523092A JP3342072B2 JP 3342072 B2 JP3342072 B2 JP 3342072B2 JP 34523092 A JP34523092 A JP 34523092A JP 34523092 A JP34523092 A JP 34523092A JP 3342072 B2 JP3342072 B2 JP 3342072B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、アクチュエータに接続
する負荷流路の圧力により作動する圧力スイッチを備え
た積層形流体制御装置に関する。
する負荷流路の圧力により作動する圧力スイッチを備え
た積層形流体制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の積層形流体制御装置とし
て実公平１−３４７２１号公報に示された図７の如きも
のがある。このものは、マニホールド４９の上面に、最
上段に電磁切換弁５３を位置して流体の流路を上下面に
規格化して貫通形成した積層形制御弁５０、５１、５２
を選択的に積層配設し、アクチュエータの作動制御回路
を構成している。そして、積層形の圧力スイッチ５４を
積層形制御弁５０、５１、５２とともにマニホールド４
９の上面に積層配設して、圧力スイッチ５４はアクチュ
エータに接続する負荷流路の圧力が設定した圧力値にな
ると作動し電気信号を外部の報知器等の負荷に出力する
よう電気接続して設けている。
て実公平１−３４７２１号公報に示された図７の如きも
のがある。このものは、マニホールド４９の上面に、最
上段に電磁切換弁５３を位置して流体の流路を上下面に
規格化して貫通形成した積層形制御弁５０、５１、５２
を選択的に積層配設し、アクチュエータの作動制御回路
を構成している。そして、積層形の圧力スイッチ５４を
積層形制御弁５０、５１、５２とともにマニホールド４
９の上面に積層配設して、圧力スイッチ５４はアクチュ
エータに接続する負荷流路の圧力が設定した圧力値にな
ると作動し電気信号を外部の報知器等の負荷に出力する
よう電気接続して設けている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、かかる構成
では、圧力スイッチ５４を積層形制御弁５０、５１、５
２とともにマニホールド４９の上面に積層配設している
ため、補修や回路変更により積層形制御弁５０、５１、
５２をマニホールド４９から取り外すとき、外部の電圧
源や負荷に電気接続する圧力スイッチ５４の電気配線５
５を取り外して圧力スイッチ５４を積層形制御弁５０、
５１、５２とともに取り外し再度取り付けせねばなら
ず、作業に手間がかかる問題点があった。本発明は、か
かる問題点を解決するもので、圧力スイッチを積層形制
御弁とともに積層配設することなくマニホールドに取り
付け、積層形制御弁の取り外しに伴う圧力スイッチの電
気配線の取り外しを不要にして補修や回路変更の作業を
簡単にし得るようにした積層形流体制御装置を提供する
ものである。
では、圧力スイッチ５４を積層形制御弁５０、５１、５
２とともにマニホールド４９の上面に積層配設している
ため、補修や回路変更により積層形制御弁５０、５１、
５２をマニホールド４９から取り外すとき、外部の電圧
源や負荷に電気接続する圧力スイッチ５４の電気配線５
５を取り外して圧力スイッチ５４を積層形制御弁５０、
５１、５２とともに取り外し再度取り付けせねばなら
ず、作業に手間がかかる問題点があった。本発明は、か
かる問題点を解決するもので、圧力スイッチを積層形制
御弁とともに積層配設することなくマニホールドに取り
付け、積層形制御弁の取り外しに伴う圧力スイッチの電
気配線の取り外しを不要にして補修や回路変更の作業を
簡単にし得るようにした積層形流体制御装置を提供する
ものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】このため、本発明は、圧
力源に接続する供給流路と低圧側に接続する低圧流路と
を長手方向に延在すると共にアクチュエータに接続する
負荷流路を長手方向の側面に開口するよう内部に形成し
たマニホールドを有し、このマニホールド上面の供給流
路、低圧流路、負荷流路とそれぞれ連通する流路を規格
化して開口形成した取付面に、パイロット操作式の切換
弁を最上段に位置して積層形制御弁を選択的に積層配設
し、切換弁をパイロット操作するパイロット流体の流れ
方向を制御する電磁弁をマニホールドに設け、このマニ
ホールドには電磁弁の電気配線と電磁弁のための外部か
らの電気配線を電気接続する端子台を内部に収容した端
子箱を装着し、端子箱は幅寸法をマニホールドの幅寸法
より長く設けて両側部をマニホールドより突出して設
け、マニホールドの側面に開口する負荷流路に取り付け
取り外し可能に接続して圧力スイッチを設け、圧力スイ
ッチの電気配線を端子箱のマニホールドより突出した底
板を挿通して端子箱内の端子台で圧力スイッチのための
外部からの電気配線と電気接続して成る。この場合、端
子箱のマニホールドより突出した底板にコネクタ部材を
装着し、圧力スイッチの端子台への電気接続をコネクタ
部材により着脱自在に設けても良い。
力源に接続する供給流路と低圧側に接続する低圧流路と
を長手方向に延在すると共にアクチュエータに接続する
負荷流路を長手方向の側面に開口するよう内部に形成し
たマニホールドを有し、このマニホールド上面の供給流
路、低圧流路、負荷流路とそれぞれ連通する流路を規格
化して開口形成した取付面に、パイロット操作式の切換
弁を最上段に位置して積層形制御弁を選択的に積層配設
し、切換弁をパイロット操作するパイロット流体の流れ
方向を制御する電磁弁をマニホールドに設け、このマニ
ホールドには電磁弁の電気配線と電磁弁のための外部か
らの電気配線を電気接続する端子台を内部に収容した端
子箱を装着し、端子箱は幅寸法をマニホールドの幅寸法
より長く設けて両側部をマニホールドより突出して設
け、マニホールドの側面に開口する負荷流路に取り付け
取り外し可能に接続して圧力スイッチを設け、圧力スイ
ッチの電気配線を端子箱のマニホールドより突出した底
板を挿通して端子箱内の端子台で圧力スイッチのための
外部からの電気配線と電気接続して成る。この場合、端
子箱のマニホールドより突出した底板にコネクタ部材を
装着し、圧力スイッチの端子台への電気接続をコネクタ
部材により着脱自在に設けても良い。
【０００５】
【作用】かかる本発明の構成において、マニホールド上
面の取付面に選択的に積層配設した積層形制御弁の最上
段に位置する切換弁をパイロット流体によるパイロット
操作式のものに設け、この積層形制御弁とは別に圧力ス
イッチを負荷流路に接続してマニホールドに設け、圧力
スイッチの電気配線を端子箱のマニホールドより突出し
た底板を挿通してマニホールドに設けた端子箱内に収容
した端子台に電気接続しているため、マニホールドに対
して積層配設する積層形制御弁および圧力スイッチを格
別に取り扱いできると共に、圧力スイッチの電気配線の
長さを短くでき、補修や回路変更の作業を簡単に行うこ
とができる。
面の取付面に選択的に積層配設した積層形制御弁の最上
段に位置する切換弁をパイロット流体によるパイロット
操作式のものに設け、この積層形制御弁とは別に圧力ス
イッチを負荷流路に接続してマニホールドに設け、圧力
スイッチの電気配線を端子箱のマニホールドより突出し
た底板を挿通してマニホールドに設けた端子箱内に収容
した端子台に電気接続しているため、マニホールドに対
して積層配設する積層形制御弁および圧力スイッチを格
別に取り扱いできると共に、圧力スイッチの電気配線の
長さを短くでき、補修や回路変更の作業を簡単に行うこ
とができる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１ないし図４において、１はマニホールド
で、圧力源Ｐに接続する供給流路２と低圧側としてのタ
ンクＴに接続する低圧流路３とを長手方向に延在して内
部に形成していると共に、２個のアクチュエータ４Ａ、
４Ｂにそれぞれ接続する２個で１組の負荷流路５Ａ、５
Ｂと６Ａ、６Ｂとを長手方向に離して供給流路２、低圧
流路３の延在方向と直交方向に内部を貫設して形成して
いる。負荷流路５Ａ、５Ｂ、６Ａ、６Ｂはマニホールド
１の内部を貫設して長手方向の一側面１Ａに開口した一
方の開口部をアクチュエータ４Ａ、４Ｂに接続して設け
ると共に、マニホールド１の長手方向の他側面１Ｂに開
口した負荷流路５Ａの他方の開口部には後述詳記する圧
力スイッチ７を取り付け取り外し可能に接続して設け、
他側面１Ｂに開口した負荷流路５Ｂ、６Ａ、６Ｂの他方
の開口部をマニホールド１に着脱自在に螺着した詰栓部
材８Ａ、８Ｂ、８Ｃにより閉塞して設けている。尚、負
荷流路５Ｂ、６Ａ、６Ｂの他方の開口部にも詰栓部材８
Ａ、８Ｂ、８Ｃを取り外して負荷流路５Ａと同様に圧力
スイッチを取り付け取り外し可能に接続して設けること
ができる。
明する。図１ないし図４において、１はマニホールド
で、圧力源Ｐに接続する供給流路２と低圧側としてのタ
ンクＴに接続する低圧流路３とを長手方向に延在して内
部に形成していると共に、２個のアクチュエータ４Ａ、
４Ｂにそれぞれ接続する２個で１組の負荷流路５Ａ、５
Ｂと６Ａ、６Ｂとを長手方向に離して供給流路２、低圧
流路３の延在方向と直交方向に内部を貫設して形成して
いる。負荷流路５Ａ、５Ｂ、６Ａ、６Ｂはマニホールド
１の内部を貫設して長手方向の一側面１Ａに開口した一
方の開口部をアクチュエータ４Ａ、４Ｂに接続して設け
ると共に、マニホールド１の長手方向の他側面１Ｂに開
口した負荷流路５Ａの他方の開口部には後述詳記する圧
力スイッチ７を取り付け取り外し可能に接続して設け、
他側面１Ｂに開口した負荷流路５Ｂ、６Ａ、６Ｂの他方
の開口部をマニホールド１に着脱自在に螺着した詰栓部
材８Ａ、８Ｂ、８Ｃにより閉塞して設けている。尚、負
荷流路５Ｂ、６Ａ、６Ｂの他方の開口部にも詰栓部材８
Ａ、８Ｂ、８Ｃを取り外して負荷流路５Ａと同様に圧力
スイッチを取り付け取り外し可能に接続して設けること
ができる。
【０００７】９Ａ、９Ｂはマニホールド１の上面に形成
した２個の取付面で、取付面９Ａには供給流路２、低圧
流路３、負荷流路５Ａ、５Ｂに分岐連通する流路を規格
化して開口形成し、取付面９Ｂには供給流路２、低圧流
路３、負荷流路６Ａ、６Ｂに分岐連通する流路を規格化
して開口形成している。１０はマニホールド１の取付面
９Ａに選択的に積層配設した積層形制御弁で、マニホー
ルド１の各流路２、３、５Ａ、５Ｂと連通する流路１１
Ａ、１２Ａ、１３Ａ、１４Ａ、１５Ａおよび、パイロッ
ト流体を流すパイロット流路１６Ａ、１７Ａを本体１０
Ａの上下面に規格化して貫通開口して設け、メータアウ
ト絞り機能を備えている。尚、仕様用途に応じてメータ
アウト絞り機能を備えた積層形制御弁１０以外にも各種
の流体制御機能を備えた積層形制御弁を選択的に積層配
設することができる。１８は取付面９Ａに選択的に積層
配設した積層形制御弁１０の最上段に位置したパイロッ
ト操作式の切換弁で、積層形制御弁１０の各流路１１
Ａ、１２Ａ、１３Ａ、１４Ａ、１５Ａ、１６Ａ、１７Ａ
と連通する流路１９Ａ、２０Ａ、２１Ａ、２２Ａ、２３
Ａ、２４Ａ、２５Ａを有し、パイロット流路２４Ａ、２
５Ａを流れるパイロット流体によりパイロット操作され
て各流路１９Ａ、２０Ａ、２１Ａ、２２Ａ、２３Ａ間を
切換制御自在に設けている。また、マニホールド１の取
付面９Ｂには、マニホールド１の各流路２、３、６Ａ、
６Ｂと連通する流路１１Ｂ、１２Ｂ、１３Ｂ、１４Ｂ、
１５Ｂおよびパイロット流路１６Ｂ、１７Ｂを本体２６
Ａの上下面に規格化して貫通開口しメータアウト絞り機
能を備えた積層形制御弁２６を選択的に積層配設し、そ
の最上段には、積層形制御弁２６の各流路１１Ｂ、１２
Ｂ、１３Ｂ、１４Ｂ、１５Ｂ、１６Ｂ、１７Ｂと連通す
る流路１９Ｂ、２０Ｂ、２１Ｂ、２２Ｂ、２３Ｂ、２４
Ｂ、２５Ｂを有してパイロット流路２４Ｂ、２５Ｂを流
れるパイロット流体によりパイロット操作されて各流路
１９Ｂ、２０Ｂ、２１Ｂ、２２Ｂ、２３Ｂ間を切換制御
するパイロット操作式の切換弁２７を位置している。そ
して、積層形制御弁１０と切換弁１８は４本のボルト部
材２８によりマニホールド１に着脱自在に固設され、積
層形制御弁２６と切換弁２７は４本のボルト部材２９に
よりマニホールド１に着脱自在に固設されている。
した２個の取付面で、取付面９Ａには供給流路２、低圧
流路３、負荷流路５Ａ、５Ｂに分岐連通する流路を規格
化して開口形成し、取付面９Ｂには供給流路２、低圧流
路３、負荷流路６Ａ、６Ｂに分岐連通する流路を規格化
して開口形成している。１０はマニホールド１の取付面
９Ａに選択的に積層配設した積層形制御弁で、マニホー
ルド１の各流路２、３、５Ａ、５Ｂと連通する流路１１
Ａ、１２Ａ、１３Ａ、１４Ａ、１５Ａおよび、パイロッ
ト流体を流すパイロット流路１６Ａ、１７Ａを本体１０
Ａの上下面に規格化して貫通開口して設け、メータアウ
ト絞り機能を備えている。尚、仕様用途に応じてメータ
アウト絞り機能を備えた積層形制御弁１０以外にも各種
の流体制御機能を備えた積層形制御弁を選択的に積層配
設することができる。１８は取付面９Ａに選択的に積層
配設した積層形制御弁１０の最上段に位置したパイロッ
ト操作式の切換弁で、積層形制御弁１０の各流路１１
Ａ、１２Ａ、１３Ａ、１４Ａ、１５Ａ、１６Ａ、１７Ａ
と連通する流路１９Ａ、２０Ａ、２１Ａ、２２Ａ、２３
Ａ、２４Ａ、２５Ａを有し、パイロット流路２４Ａ、２
５Ａを流れるパイロット流体によりパイロット操作され
て各流路１９Ａ、２０Ａ、２１Ａ、２２Ａ、２３Ａ間を
切換制御自在に設けている。また、マニホールド１の取
付面９Ｂには、マニホールド１の各流路２、３、６Ａ、
６Ｂと連通する流路１１Ｂ、１２Ｂ、１３Ｂ、１４Ｂ、
１５Ｂおよびパイロット流路１６Ｂ、１７Ｂを本体２６
Ａの上下面に規格化して貫通開口しメータアウト絞り機
能を備えた積層形制御弁２６を選択的に積層配設し、そ
の最上段には、積層形制御弁２６の各流路１１Ｂ、１２
Ｂ、１３Ｂ、１４Ｂ、１５Ｂ、１６Ｂ、１７Ｂと連通す
る流路１９Ｂ、２０Ｂ、２１Ｂ、２２Ｂ、２３Ｂ、２４
Ｂ、２５Ｂを有してパイロット流路２４Ｂ、２５Ｂを流
れるパイロット流体によりパイロット操作されて各流路
１９Ｂ、２０Ｂ、２１Ｂ、２２Ｂ、２３Ｂ間を切換制御
するパイロット操作式の切換弁２７を位置している。そ
して、積層形制御弁１０と切換弁１８は４本のボルト部
材２８によりマニホールド１に着脱自在に固設され、積
層形制御弁２６と切換弁２７は４本のボルト部材２９に
よりマニホールド１に着脱自在に固設されている。
【０００８】３０Ａ、３１Ａは切換弁１８をパイロット
操作するパイロット流体の流れ方向を制御する２個の電
磁弁で、マニホールド１の取付面９Ａと直交して相互に
対向する両側面に装着して設け、電磁弁３０Ａは通電非
通電により積層形制御弁１０のパイロット流路１６Ａと
連通してマニホールド１に有したパイロット流路３２Ａ
を供給流路２と低圧流路３とに切換連通自在に設け、電
磁弁３１Ａは通電非通電によりパイロット流路１７Ａと
連通してマニホールド１に有したパイロット流路３３Ａ
を供給流路２と低圧流路３とに切換連通自在に設けてい
る。３０Ｂ、３１Ｂは切換弁２７をパイロット操作する
パイロット流体の流れ方向を制御する２個の電磁弁で、
電磁弁３０Ｂは電磁弁３０Ａに隣接してマニホールド１
に装着し、通電非通電により積層形制御弁２６のパイロ
ット流路１６Ｂと連通してマニホールド１に有したパイ
ロット流路３２Ｂを供給流路２と低圧流路３とに切換連
通自在に設けている。また、電磁弁３１Ｂは電磁弁３１
Ａに隣接してマニホールド１に装着し、通電非通電によ
りパイロット流路１７Ｂと連通してマニホールド１に有
したパイロット流路３３Ｂを供給流路２と低圧流路３と
に切換連通自在に設けている。
操作するパイロット流体の流れ方向を制御する２個の電
磁弁で、マニホールド１の取付面９Ａと直交して相互に
対向する両側面に装着して設け、電磁弁３０Ａは通電非
通電により積層形制御弁１０のパイロット流路１６Ａと
連通してマニホールド１に有したパイロット流路３２Ａ
を供給流路２と低圧流路３とに切換連通自在に設け、電
磁弁３１Ａは通電非通電によりパイロット流路１７Ａと
連通してマニホールド１に有したパイロット流路３３Ａ
を供給流路２と低圧流路３とに切換連通自在に設けてい
る。３０Ｂ、３１Ｂは切換弁２７をパイロット操作する
パイロット流体の流れ方向を制御する２個の電磁弁で、
電磁弁３０Ｂは電磁弁３０Ａに隣接してマニホールド１
に装着し、通電非通電により積層形制御弁２６のパイロ
ット流路１６Ｂと連通してマニホールド１に有したパイ
ロット流路３２Ｂを供給流路２と低圧流路３とに切換連
通自在に設けている。また、電磁弁３１Ｂは電磁弁３１
Ａに隣接してマニホールド１に装着し、通電非通電によ
りパイロット流路１７Ｂと連通してマニホールド１に有
したパイロット流路３３Ｂを供給流路２と低圧流路３と
に切換連通自在に設けている。
【０００９】３４はマニホールド１に装着して設けた端
子箱で、上方を開口してその内部に電磁弁３０Ａ、３０
Ｂ、３１Ａ、３１Ｂのための外部の電圧源からの電気配
線（図示せず）を電気接続する端子台３５を収容して設
け、図３の上下方向の幅寸法をマニホールド１の幅寸法
より長く設けて両側部をマニホールド１より突出して設
けている。端子台３５は外部からの電気配線を取り付け
るビス３５Ａによる圧着端子と、これに電気接続して下
方に突出した端子３５Ｂとを複数組有している。３６は
端子箱３４の上方開口を閉塞する蓋部材で、端子箱３４
に着脱自在に装着して設けている。３７は端子箱３４に
形成した挿通孔で、端子台３５に電気接続する外部から
の電気配線を挿通するよう設けている。電磁弁３０Ａ、
３０Ｂの複数の電気配線３８Ａは電磁弁３０Ａ、３０Ｂ
に装着したダクト部材３９Ａの内部を挿通し、また電磁
弁３１Ａ、３１Ｂの複数の電気配線３８Ｂは電磁弁３１
Ａ、３１Ｂに装着したダクト部材３９Ｂの内部を挿通し
てそれぞれ端子箱３４内の端子台３５の端子３５Ｂに半
田付けして電気接続し、外部からの電気配線と電気接続
するよう設けている。
子箱で、上方を開口してその内部に電磁弁３０Ａ、３０
Ｂ、３１Ａ、３１Ｂのための外部の電圧源からの電気配
線（図示せず）を電気接続する端子台３５を収容して設
け、図３の上下方向の幅寸法をマニホールド１の幅寸法
より長く設けて両側部をマニホールド１より突出して設
けている。端子台３５は外部からの電気配線を取り付け
るビス３５Ａによる圧着端子と、これに電気接続して下
方に突出した端子３５Ｂとを複数組有している。３６は
端子箱３４の上方開口を閉塞する蓋部材で、端子箱３４
に着脱自在に装着して設けている。３７は端子箱３４に
形成した挿通孔で、端子台３５に電気接続する外部から
の電気配線を挿通するよう設けている。電磁弁３０Ａ、
３０Ｂの複数の電気配線３８Ａは電磁弁３０Ａ、３０Ｂ
に装着したダクト部材３９Ａの内部を挿通し、また電磁
弁３１Ａ、３１Ｂの複数の電気配線３８Ｂは電磁弁３１
Ａ、３１Ｂに装着したダクト部材３９Ｂの内部を挿通し
てそれぞれ端子箱３４内の端子台３５の端子３５Ｂに半
田付けして電気接続し、外部からの電気配線と電気接続
するよう設けている。
【００１０】負荷流路５Ａに接続した圧力スイッチ７
は、半導体歪ゲージを用いた半導体式のものであり、調
整ツマミ７Ａにより設定する圧力値を調整自在に設け、
負荷流路５Ａの他方の開口部に螺着した管継手部材４０
に取り付け取り外し可能に螺着してマニホールド１の他
側面１Ｂに突出して設けている。４１は端子箱３４の底
板に下方に突出して装着したコネクタ部材で、端子台３
５の電磁弁３０Ａ、…３１Ｂからの電気配線３８Ａ、３
８Ｂを半田付けした残余の端子３５Ｂに複数の電気配線
４２を半田付けして電気接続して設けている。４３は内
部に複数の電気配線を有した圧力スイッチ７の多芯ケー
ブルで、その先端には回動操作によりコネクタ部材４１
に着脱自在に螺着する連結部４３Ａを有し、コネクタ部
材４１への螺着により電気配線４２を介して端子台３５
に電気接続して設けている。そして、端子台３５の電気
配線４２を半田付けした複数の端子３５Ｂと電気接続す
るビス３５Ａによる圧着端子には、圧力スイッチ７のた
めの外部電圧源からの電気配線（図示せず）および、圧
力スイッチ７から出力する電気信号により作動する報知
器等の負荷からの圧力スイッチ７のための電気配線（図
示せず）を端子箱３４の挿通孔３７を挿通して取り付け
て電気接続するよう設けている。尚、圧力スイッチ７を
負荷流路５Ａ以外の負荷流路５Ｂもしくは６Ａもしくは
６Ｂにも接続して設けた場合には、この圧力スイッチ７
の個数に応じてコネクタ部材４１の個数を増加して端子
箱３４の底板に装着することができる。
は、半導体歪ゲージを用いた半導体式のものであり、調
整ツマミ７Ａにより設定する圧力値を調整自在に設け、
負荷流路５Ａの他方の開口部に螺着した管継手部材４０
に取り付け取り外し可能に螺着してマニホールド１の他
側面１Ｂに突出して設けている。４１は端子箱３４の底
板に下方に突出して装着したコネクタ部材で、端子台３
５の電磁弁３０Ａ、…３１Ｂからの電気配線３８Ａ、３
８Ｂを半田付けした残余の端子３５Ｂに複数の電気配線
４２を半田付けして電気接続して設けている。４３は内
部に複数の電気配線を有した圧力スイッチ７の多芯ケー
ブルで、その先端には回動操作によりコネクタ部材４１
に着脱自在に螺着する連結部４３Ａを有し、コネクタ部
材４１への螺着により電気配線４２を介して端子台３５
に電気接続して設けている。そして、端子台３５の電気
配線４２を半田付けした複数の端子３５Ｂと電気接続す
るビス３５Ａによる圧着端子には、圧力スイッチ７のた
めの外部電圧源からの電気配線（図示せず）および、圧
力スイッチ７から出力する電気信号により作動する報知
器等の負荷からの圧力スイッチ７のための電気配線（図
示せず）を端子箱３４の挿通孔３７を挿通して取り付け
て電気接続するよう設けている。尚、圧力スイッチ７を
負荷流路５Ａ以外の負荷流路５Ｂもしくは６Ａもしくは
６Ｂにも接続して設けた場合には、この圧力スイッチ７
の個数に応じてコネクタ部材４１の個数を増加して端子
箱３４の底板に装着することができる。
【００１１】次に、かかる構成の作動を説明する。図１
および図４の状態は、圧力源Ｐより供給流路２に圧力流
体を供給しておらず、２個のアクチュエータ４Ａ、４Ｂ
は停止している。この状態より、供給流路２に圧力流体
を供給すると、圧力流体は流路１１Ａ、１９Ａ、２２
Ａ、１４Ａ、負荷流路５Ａを流れてアクチュエータ４Ａ
のヘッド側に導入し、アクチュエータ４Ａのロッド側の
流体は負荷流路５Ｂ、流路１５Ａ、２３Ａ、２０Ａ、１
２Ａ、低圧流路３を流れてタンクＴに排出され、アクチ
ュエータ４Ａは図４の左方向にメータアウト絞り機能で
速度制御されて作動し左方端で停止する。このアクチュ
エータ４Ａの左方向への作動で、負荷流路５Ａを流れる
圧力流体の圧力が圧力スイッチ７の設定した圧力値にな
ると、圧力スイッチ７が作動して電気信号を多芯ケーブ
ル４３、コネクタ部材４１の電気配線４２、端子台３５
の端子３５Ｂとビス３５Ａによる圧着端子をとおり外部
の報知器等の負荷に出力する。そして、負荷流路５Ａを
流れる圧力流体の圧力が圧力スイッチ７の設定した圧力
値より低くなると、圧力スイッチ７は電気信号を出力し
なくなる。また、供給流路３の圧力流体は、流路１１
Ｂ、１９Ｂ、２２Ｂ、１４Ｂ、負荷流路６Ａを流れてア
クチュエータ４Ｂのヘッド側に導入し、アクチュエータ
４Ｂのロッド側の流体は負荷流路６Ｂ、流路１５Ｂ、２
３Ｂ、２０Ｂ、１２Ｂ、低圧流路３を流れてタンクＴに
排出され、アクチュエータ４Ｂは図４の左方向にメータ
アウト絞り機能で速度制御されて作動し左方端で停止す
る。
および図４の状態は、圧力源Ｐより供給流路２に圧力流
体を供給しておらず、２個のアクチュエータ４Ａ、４Ｂ
は停止している。この状態より、供給流路２に圧力流体
を供給すると、圧力流体は流路１１Ａ、１９Ａ、２２
Ａ、１４Ａ、負荷流路５Ａを流れてアクチュエータ４Ａ
のヘッド側に導入し、アクチュエータ４Ａのロッド側の
流体は負荷流路５Ｂ、流路１５Ａ、２３Ａ、２０Ａ、１
２Ａ、低圧流路３を流れてタンクＴに排出され、アクチ
ュエータ４Ａは図４の左方向にメータアウト絞り機能で
速度制御されて作動し左方端で停止する。このアクチュ
エータ４Ａの左方向への作動で、負荷流路５Ａを流れる
圧力流体の圧力が圧力スイッチ７の設定した圧力値にな
ると、圧力スイッチ７が作動して電気信号を多芯ケーブ
ル４３、コネクタ部材４１の電気配線４２、端子台３５
の端子３５Ｂとビス３５Ａによる圧着端子をとおり外部
の報知器等の負荷に出力する。そして、負荷流路５Ａを
流れる圧力流体の圧力が圧力スイッチ７の設定した圧力
値より低くなると、圧力スイッチ７は電気信号を出力し
なくなる。また、供給流路３の圧力流体は、流路１１
Ｂ、１９Ｂ、２２Ｂ、１４Ｂ、負荷流路６Ａを流れてア
クチュエータ４Ｂのヘッド側に導入し、アクチュエータ
４Ｂのロッド側の流体は負荷流路６Ｂ、流路１５Ｂ、２
３Ｂ、２０Ｂ、１２Ｂ、低圧流路３を流れてタンクＴに
排出され、アクチュエータ４Ｂは図４の左方向にメータ
アウト絞り機能で速度制御されて作動し左方端で停止す
る。
【００１２】アクチュエータ４Ａが左方端で停止した前
述の状態より、電磁弁３１Ａを通電すると、電磁弁３１
Ａはパイロット流路３３Ａを供給流路２に切換連通し、
供給流路２の圧力流体の一部がパイロット流体としてパ
イロット流路３３Ａ、１７Ａ、２５Ａを流れて切換弁１
８をパイロット操作し、切換弁１８は流路１９Ａを流路
２３Ａに流路２２Ａを流路２１Ａに切換制御する図４の
右側位置に切換り、供給流路３より流路１１Ａ、１９Ａ
を流れた圧力流体は流路２３Ａ、１５Ａ、負荷流路５Ｂ
を流れてアクチュエータ４Ａのロッド側に導入し、アク
チュエータ４Ａのヘッド側より負荷流路５Ａ、流路１４
Ａ、２２Ａを流れた流体は流路２１Ａ、１３Ａ、低圧流
路３を流れてタンクＴに排出され、アクチュエータ４Ａ
は図４の右方向にメータアウト絞り機能で速度制御され
て作動し、図４に示す右方端で停止する。そして、電磁
弁３１Ａは非通電によりパイロット流路３３Ａを低圧流
路３に切換連通する図４の状態に復帰する。そして、再
びアクチュエータ４Ａを図４の左方向に作動させる場合
には、電磁弁３０Ａの通電によりパイロット流路３２Ａ
を供給流路２に切換連通し、パイロット流体がパイロッ
ト流路３２Ａ、１６Ａ、２４Ａを流れて切換弁１８をパ
イロット操作し、切換弁１８は図４の状態に復帰作動
し、この後、電磁弁３０Ａを非通電して図４の状態に復
帰する。
述の状態より、電磁弁３１Ａを通電すると、電磁弁３１
Ａはパイロット流路３３Ａを供給流路２に切換連通し、
供給流路２の圧力流体の一部がパイロット流体としてパ
イロット流路３３Ａ、１７Ａ、２５Ａを流れて切換弁１
８をパイロット操作し、切換弁１８は流路１９Ａを流路
２３Ａに流路２２Ａを流路２１Ａに切換制御する図４の
右側位置に切換り、供給流路３より流路１１Ａ、１９Ａ
を流れた圧力流体は流路２３Ａ、１５Ａ、負荷流路５Ｂ
を流れてアクチュエータ４Ａのロッド側に導入し、アク
チュエータ４Ａのヘッド側より負荷流路５Ａ、流路１４
Ａ、２２Ａを流れた流体は流路２１Ａ、１３Ａ、低圧流
路３を流れてタンクＴに排出され、アクチュエータ４Ａ
は図４の右方向にメータアウト絞り機能で速度制御され
て作動し、図４に示す右方端で停止する。そして、電磁
弁３１Ａは非通電によりパイロット流路３３Ａを低圧流
路３に切換連通する図４の状態に復帰する。そして、再
びアクチュエータ４Ａを図４の左方向に作動させる場合
には、電磁弁３０Ａの通電によりパイロット流路３２Ａ
を供給流路２に切換連通し、パイロット流体がパイロッ
ト流路３２Ａ、１６Ａ、２４Ａを流れて切換弁１８をパ
イロット操作し、切換弁１８は図４の状態に復帰作動
し、この後、電磁弁３０Ａを非通電して図４の状態に復
帰する。
【００１３】また、左方端で停止したアクチュエータ４
Ｂを図４の状態の右方端まで作動するには、電磁弁３１
Ｂの通電によりパイロット流路３３Ｂを供給流路２に切
換連通し、パイロット流体がパイロット流路３３Ｂ、１
７Ｂ、２５Ｂを流れて切換弁２７をパイロット操作し、
切換弁２７は流路１９Ｂを流路２３Ｂに流路２２Ｂを流
路２１Ｂに切換制御する図４の右側位置に切換り、アク
チュエータ４Ｂは図４の右方向にメータアウト絞り機能
で速度制御されて作動し、図４に示す右方端で停止す
る。そして、電磁弁３１Ｂは非通電により図４の状態に
復帰する。そして、再びアクチュエータ４Ｂを左方向に
作動させる場合には、電磁弁３０Ｂを通電し、これによ
り切換弁２７は図４の状態に復帰作動し、この後、電磁
弁３０Ｂを非通電して図４の状態に復帰する。
Ｂを図４の状態の右方端まで作動するには、電磁弁３１
Ｂの通電によりパイロット流路３３Ｂを供給流路２に切
換連通し、パイロット流体がパイロット流路３３Ｂ、１
７Ｂ、２５Ｂを流れて切換弁２７をパイロット操作し、
切換弁２７は流路１９Ｂを流路２３Ｂに流路２２Ｂを流
路２１Ｂに切換制御する図４の右側位置に切換り、アク
チュエータ４Ｂは図４の右方向にメータアウト絞り機能
で速度制御されて作動し、図４に示す右方端で停止す
る。そして、電磁弁３１Ｂは非通電により図４の状態に
復帰する。そして、再びアクチュエータ４Ｂを左方向に
作動させる場合には、電磁弁３０Ｂを通電し、これによ
り切換弁２７は図４の状態に復帰作動し、この後、電磁
弁３０Ｂを非通電して図４の状態に復帰する。
【００１４】かかる作動で、マニホールド１の取付面９
Ａに、最上段にパイロット操作式の切換弁１８を位置し
て選択的に積層配設した積層形制御弁１０とは別に、圧
力スイッチ７をマニホールド１の他側面１Ｂに開口した
負荷流路５Ａの他方の開口部に螺着した管継手部材４０
に取り付け取り外し可能に螺着して設けているので、積
層形制御弁１０および圧力スイッチ７を格別に取り扱い
できると共に、弁の積層高さ寸法を抑制でき、補修や回
路変更の作業を簡単に行うことができる。また、圧力ス
イッチ７の多芯ケーブル４３内に有した電気配線を端子
箱３４内に収容した端子台３５に電気接続しているた
め、その電気配線の長さを短くでき、補修や回路変更の
作業を一層簡単に行うことができ、圧力スイッチ７の電
気配線の長さを短くできることによって、断線の発生を
軽減できて装置の信頼性を向上することができる。さら
にまた、端子箱３４の幅寸法をマニホールド１の幅寸法
より長く設けて端子箱３４の両側部をマニホールド１よ
り突出し、圧力スイッチ７の多芯ケーブル４３をマニホ
ールド１より突出した端子箱３４の底板に装着したコネ
クタ部材４１に螺着することで多芯ケーブル４３内に有
した電気配線を端子箱３４の底板を挿通し電気配線４２
を介して端子箱３４内の端子台３５に電気接続している
いるため、圧力スイッチ７から端子箱３４に至る外部へ
露呈した多芯ケーブル４３を端子箱３４の側方へ飛び出
し難くでき、作業者が誤って電気配線を引っ掛けること
による断線の発生をより一層軽減することができる。さ
らにまた、マニホールド１の一側面１Ａに開口した負荷
流路５Ａの一方の開口部にアクチュエータ４Ａを接続す
ると共に、マニホールド１の他側面１Ｂに開口した負荷
流路５Ａの他方の開口部に圧力スイッチ７を接続してマ
ニホールド１に設けているため、アクチュエータ４Ａと
圧力スイッチ７とをマニホールド１に対して別方向から
それぞれ負荷流路５Ａに接続でき、その接続作業を相互
に干渉することなく行い易くできる。さらにまた、圧力
スイッチ７の多芯ケーブル４３を着脱自在に螺着するコ
ネクタ部材４１を端子箱３４に設けているため、圧力ス
イッチ７の交換や点検作業に伴う圧力スイッチ７の電気
配線の取り外し取り付け作業を簡単に行うことができ
る。
Ａに、最上段にパイロット操作式の切換弁１８を位置し
て選択的に積層配設した積層形制御弁１０とは別に、圧
力スイッチ７をマニホールド１の他側面１Ｂに開口した
負荷流路５Ａの他方の開口部に螺着した管継手部材４０
に取り付け取り外し可能に螺着して設けているので、積
層形制御弁１０および圧力スイッチ７を格別に取り扱い
できると共に、弁の積層高さ寸法を抑制でき、補修や回
路変更の作業を簡単に行うことができる。また、圧力ス
イッチ７の多芯ケーブル４３内に有した電気配線を端子
箱３４内に収容した端子台３５に電気接続しているた
め、その電気配線の長さを短くでき、補修や回路変更の
作業を一層簡単に行うことができ、圧力スイッチ７の電
気配線の長さを短くできることによって、断線の発生を
軽減できて装置の信頼性を向上することができる。さら
にまた、端子箱３４の幅寸法をマニホールド１の幅寸法
より長く設けて端子箱３４の両側部をマニホールド１よ
り突出し、圧力スイッチ７の多芯ケーブル４３をマニホ
ールド１より突出した端子箱３４の底板に装着したコネ
クタ部材４１に螺着することで多芯ケーブル４３内に有
した電気配線を端子箱３４の底板を挿通し電気配線４２
を介して端子箱３４内の端子台３５に電気接続している
いるため、圧力スイッチ７から端子箱３４に至る外部へ
露呈した多芯ケーブル４３を端子箱３４の側方へ飛び出
し難くでき、作業者が誤って電気配線を引っ掛けること
による断線の発生をより一層軽減することができる。さ
らにまた、マニホールド１の一側面１Ａに開口した負荷
流路５Ａの一方の開口部にアクチュエータ４Ａを接続す
ると共に、マニホールド１の他側面１Ｂに開口した負荷
流路５Ａの他方の開口部に圧力スイッチ７を接続してマ
ニホールド１に設けているため、アクチュエータ４Ａと
圧力スイッチ７とをマニホールド１に対して別方向から
それぞれ負荷流路５Ａに接続でき、その接続作業を相互
に干渉することなく行い易くできる。さらにまた、圧力
スイッチ７の多芯ケーブル４３を着脱自在に螺着するコ
ネクタ部材４１を端子箱３４に設けているため、圧力ス
イッチ７の交換や点検作業に伴う圧力スイッチ７の電気
配線の取り外し取り付け作業を簡単に行うことができ
る。
【００１５】図５は本発明の他実施例を示し、一実施例
と同一個所には同符号を付して説明を省略し、異る個所
についてのみ説明する。圧力スイッチ７の複数の電気配
線４４は、端子箱３４の底板に装着した弾性材より成る
シール部材４５を液密に挿通し、端子箱３４内に収容し
た端子台３５の端子３５Ｂに半田付けして電気接続して
設けている。そして、一実施例に記載したコネクタ部材
４１に伴う作用効果の他は一実施例と同様の作用効果を
得ることができる。
と同一個所には同符号を付して説明を省略し、異る個所
についてのみ説明する。圧力スイッチ７の複数の電気配
線４４は、端子箱３４の底板に装着した弾性材より成る
シール部材４５を液密に挿通し、端子箱３４内に収容し
た端子台３５の端子３５Ｂに半田付けして電気接続して
設けている。そして、一実施例に記載したコネクタ部材
４１に伴う作用効果の他は一実施例と同様の作用効果を
得ることができる。
【００１６】図６は本発明のさらに他実施例を示し、一
実施例と同一個所には同符号を付して説明を省略し、異
る個所についてのみ説明する。マニホールド１に有した
負荷流路４６Ａ、４６Ｂは、マニホールド１の一側面１
Ａに開口して設け、マニホールド１の一側面１Ａに着脱
自在に装着して負荷流路４６Ａの開口部に接続してフラ
ンジ部材４７を設け、フランジ部材４７には負荷流路４
６Ａに分岐接続する分岐流路４８を有し、アクチュエー
タ４Ａを分岐流路４８の一方に接続すると共に、圧力ス
イッチ７をフランジ部材４７に着脱自在に螺着して分岐
流路４８の他方に接続して設け、圧力スイッチ７の多芯
ケーブル４３を着脱自在に螺着するコネクタ部材４１
は、端子箱３４の底板に一実施例のものとマニホールド
１を介して対向する位置に装着して設けている。そし
て、一実施例に記載した負荷流路５Ａをマニホールド１
の一側面１Ａと他側面１Ｂに開口したことによる作用効
果の他は一実施例と同様の作用効果を得ることができ
る。
実施例と同一個所には同符号を付して説明を省略し、異
る個所についてのみ説明する。マニホールド１に有した
負荷流路４６Ａ、４６Ｂは、マニホールド１の一側面１
Ａに開口して設け、マニホールド１の一側面１Ａに着脱
自在に装着して負荷流路４６Ａの開口部に接続してフラ
ンジ部材４７を設け、フランジ部材４７には負荷流路４
６Ａに分岐接続する分岐流路４８を有し、アクチュエー
タ４Ａを分岐流路４８の一方に接続すると共に、圧力ス
イッチ７をフランジ部材４７に着脱自在に螺着して分岐
流路４８の他方に接続して設け、圧力スイッチ７の多芯
ケーブル４３を着脱自在に螺着するコネクタ部材４１
は、端子箱３４の底板に一実施例のものとマニホールド
１を介して対向する位置に装着して設けている。そし
て、一実施例に記載した負荷流路５Ａをマニホールド１
の一側面１Ａと他側面１Ｂに開口したことによる作用効
果の他は一実施例と同様の作用効果を得ることができ
る。
【００１７】
【発明の効果】このように請求項１に係る発明では、圧
力源に接続する供給流路と低圧側に接続する低圧流路と
を長手方向に延在すると共にアクチュエータに接続する
負荷流路を長手方向の側面に開口するよう内部に形成し
たマニホールドを有し、このマニホールド上面の供給流
路、低圧流路、負荷流路とそれぞれ連通する流路を規格
化して開口形成した取付面に、パイロット操作式の切換
弁を最上段に位置して積層形制御弁を選択的に積層配設
し、切換弁をパイロット操作するパイロット流体の流れ
方向を制御する電磁弁をマニホールドに設け、このマニ
ホールドには電磁弁の電気配線と電磁弁のための外部か
らの電気配線を電気接続する端子台を内部に収容した端
子箱を装着し、端子箱は幅寸法をマニホールドの幅寸法
より長く設けて両側部をマニホールドより突出して設
け、マニホールドの側面に開口する負荷流路に取り付け
取り外し可能に接続して圧力スイッチを設け、圧力スイ
ッチの電気配線を端子箱のマニホールドより突出した底
板を挿通して端子箱内の端子台で圧力スイッチのための
外部からの電気配線と電気接続しているので、積層形制
御弁および圧力スイッチを格別に取り扱いできると共
に、弁の積層高さ寸法を抑制でき、補修や回路変更の作
業を簡単に行うことができる。また、圧力スイッチの電
気配線をマニホールドに装着した端子箱内の端子台に電
気接続しているため、圧力スイッチの電気配線の長さを
短くでき、補修や回路変更の作業を一層簡単に行うこと
ができ、圧力スイッチの電気配線の長さを短くできるこ
とによって、断線の発生を軽減できて装置の信頼性を向
上することができる。さらにまた、端子箱の幅寸法をマ
ニホールドの幅寸法より長く設けて端子箱の両側部をマ
ニホールドより突出し、圧力スイッチの電気配線を端子
箱のマニホールドより突出した底板を挿通して端子箱内
の端子台に電気接続しているため、圧力スイッチから端
子箱に至る外部へ露呈した電気配線を端子箱の側方へ飛
び出し難くでき、作業者が誤って電気配線を引っ掛ける
ことによる断線の発生をより一層軽減することができる
効果を有する。また、請求項２に係る発明では、請求項
１に係る発明の効果に加え、端子箱のマニホールドより
突出した底板にコネクタ部材を装着し、圧力スイッチの
端子台への電気接続をコネクタ部材により着脱自在に設
けているため、圧力スイッチの電気配線の取り外し取り
付け作業を簡単に行うことができる。
力源に接続する供給流路と低圧側に接続する低圧流路と
を長手方向に延在すると共にアクチュエータに接続する
負荷流路を長手方向の側面に開口するよう内部に形成し
たマニホールドを有し、このマニホールド上面の供給流
路、低圧流路、負荷流路とそれぞれ連通する流路を規格
化して開口形成した取付面に、パイロット操作式の切換
弁を最上段に位置して積層形制御弁を選択的に積層配設
し、切換弁をパイロット操作するパイロット流体の流れ
方向を制御する電磁弁をマニホールドに設け、このマニ
ホールドには電磁弁の電気配線と電磁弁のための外部か
らの電気配線を電気接続する端子台を内部に収容した端
子箱を装着し、端子箱は幅寸法をマニホールドの幅寸法
より長く設けて両側部をマニホールドより突出して設
け、マニホールドの側面に開口する負荷流路に取り付け
取り外し可能に接続して圧力スイッチを設け、圧力スイ
ッチの電気配線を端子箱のマニホールドより突出した底
板を挿通して端子箱内の端子台で圧力スイッチのための
外部からの電気配線と電気接続しているので、積層形制
御弁および圧力スイッチを格別に取り扱いできると共
に、弁の積層高さ寸法を抑制でき、補修や回路変更の作
業を簡単に行うことができる。また、圧力スイッチの電
気配線をマニホールドに装着した端子箱内の端子台に電
気接続しているため、圧力スイッチの電気配線の長さを
短くでき、補修や回路変更の作業を一層簡単に行うこと
ができ、圧力スイッチの電気配線の長さを短くできるこ
とによって、断線の発生を軽減できて装置の信頼性を向
上することができる。さらにまた、端子箱の幅寸法をマ
ニホールドの幅寸法より長く設けて端子箱の両側部をマ
ニホールドより突出し、圧力スイッチの電気配線を端子
箱のマニホールドより突出した底板を挿通して端子箱内
の端子台に電気接続しているため、圧力スイッチから端
子箱に至る外部へ露呈した電気配線を端子箱の側方へ飛
び出し難くでき、作業者が誤って電気配線を引っ掛ける
ことによる断線の発生をより一層軽減することができる
効果を有する。また、請求項２に係る発明では、請求項
１に係る発明の効果に加え、端子箱のマニホールドより
突出した底板にコネクタ部材を装着し、圧力スイッチの
端子台への電気接続をコネクタ部材により着脱自在に設
けているため、圧力スイッチの電気配線の取り外し取り
付け作業を簡単に行うことができる。
【図１】本発明の一実施例を示し、（Ａ）は積層形流体
制御装置の一部を断面にした正面図、（Ｂ）は（Ａ）の
矢視Ａから見た一部を断面にした図である。
制御装置の一部を断面にした正面図、（Ｂ）は（Ａ）の
矢視Ａから見た一部を断面にした図である。
【図２】図１（Ｂ）の矢視Ｂから見た一部内部を示した
図である。
図である。
【図３】図１（Ｂ）の矢視Ｃから見た図である。
【図４】本発明の一実施例を示した積層形流体制御装置
の回路図である。
の回路図である。
【図５】本発明の他実施例を示した図である。
【図６】本発明のさらに他実施例を示した図である。
【図７】従来例を示した図である。
１マニホールド ２供給流路 ３低圧流路 ４Ａ、４Ｂアクチュエータ ５Ａ、５Ｂ、６Ａ、６Ｂ、４６Ａ、４６Ｂ負荷流路 ７圧力スイッチ ９Ａ、９Ｂ取付面 １０、２６積層形制御弁 １８、２７切換弁 ３０Ａ、３０Ｂ、３１Ａ、３１Ｂ電磁弁 ３４端子箱 ３５端子台
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F15B 11/00 F16K 31/06 305
Claims (2)
- 【請求項１】 圧力源に接続する供給流路と低圧側に接
続する低圧流路とを長手方向に延在すると共にアクチュ
エータに接続する負荷流路を長手方向の側面に開口する
よう内部に形成したマニホールドを有し、このマニホー
ルド上面の供給流路、低圧流路、負荷流路とそれぞれ連
通する流路を規格化して開口形成した取付面に、パイロ
ット操作式の切換弁を最上段に位置して積層形制御弁を
選択的に積層配設し、切換弁をパイロット操作するパイ
ロット流体の流れ方向を制御する電磁弁をマニホールド
に設け、このマニホールドには電磁弁の電気配線と電磁
弁のための外部からの電気配線を電気接続する端子台を
内部に収容した端子箱を装着し、端子箱は幅寸法をマニ
ホールドの幅寸法より長く設けて両側部をマニホールド
より突出して設け、マニホールドの側面に開口する負荷
流路に取り付け取り外し可能に接続して圧力スイッチを
設け、圧力スイッチの電気配線を端子箱のマニホールド
より突出した底板を挿通して端子箱内の端子台で圧力ス
イッチのための外部からの電気配線と電気接続したこと
を特徴とする積層形流体制御装置。 - 【請求項２】 端子箱のマニホールドより突出した底板
にコネクタ部材を装着し、圧力スイッチの端子台への電
気接続をコネクタ部材により着脱自在に設けたことを特
徴とする請求項１に記載した積層形流体制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34523092A JP3342072B2 (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | 積層形流体制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34523092A JP3342072B2 (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | 積層形流体制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06173901A JPH06173901A (ja) | 1994-06-21 |
| JP3342072B2 true JP3342072B2 (ja) | 2002-11-05 |
Family
ID=18375182
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34523092A Expired - Fee Related JP3342072B2 (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | 積層形流体制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3342072B2 (ja) |
-
1992
- 1992-11-30 JP JP34523092A patent/JP3342072B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06173901A (ja) | 1994-06-21 |
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