JP3337767B2

JP3337767B2 - 光アドレス型空間光変調装置

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Publication number: JP3337767B2
Application number: JP19689193A
Authority: JP
Inventors: 直久向坂; 成浩吉田
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK
Priority date: 1993-07-13
Filing date: 1993-07-13
Publication date: 2002-10-21
Anticipated expiration: 2017-10-21
Also published as: JPH0728085A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光アドレス型空間光変
調装置、より詳しくは、合同変換相関器の後段の空間光
変調装置に特に好適な光アドレス型空間光変調装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、光アドレス型空間光変調装置
として、図１２に示すような、透明導電膜の形成された
一対のガラス面板で、光アドレス部としての光導電層と
光変調部としての液晶層を挟んだ構造のものが知られて
いる。

【０００３】かかる空間光変調装置を用いた合同変換型
相関器（Joint Transform Correlation: JTC）を図１３
に示す。合同変換型相関器は、二つの空間光変調装置
（第一及び第二の空間光変調装置）を用いて構成されて
いる。第一のパターンＰ_iと第二のパターンＰ_rとを同時
に第一の空間光変調装置に書き込み、これらを読みだし
て第一のフーリエ変換レンズにより空間的にフーリエ変
換して、合同フーリエ変換パターンを形成する。第二の
空間光変調装置は、その光導電層が第一のフーリエ変換
レンズのフーリエ変換面（焦点面）上に位置するように
配置されているため、合同フーリエ変換パターンの強度
パターン（すなわち、第一と第二のパターンのパワース
ペクトル）が第二の空間光変調装置に書き込まれる。こ
れを読みだして再度空間的にフーリエ変換し、第一のパ
ターンと第二のパターンの相関に応じた相関信号パター
ン光を形成する。検出器がその光強度を検出し、相関信
号として出力する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ここで、第二の空間光
変調装置の光アドレス部には、書き込みパターンとして
光フーリエ変換結果が入力されるため、その０次光成分
がノイズとなるという問題がある。このため、図１４に
示すように、第二の空間光変調装置のアドレス側ガラス
面板の直前に、０次光遮光用のマスクを配置していた。

【０００５】しかしながら、かかる配置方法では、０次
遮光マスクは少なくともガラス面板の厚さ分だけフーリ
エ変換面からずれてしまうため、０次光成分を有効にカ
ットできないばかりか、必要な情報である合同フーリエ
変換パターンの信号光成分までカットしてしまうおそれ
がある。

【０００６】そこで、本発明の目的は、書き込みパター
ンとして光フーリエ変換結果が入力されるように用いら
れる場合に、その０次光成分を有効にカットし、かつ、
信号光成分を有効に取り入れることが可能な光アドレス
型空間光変調装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、本発明の光アドレス型空間光変調装置では、図１に
示すように、実際のフーリエ変換面となる光導電層のう
ちの０次光成分が入射する部分の感度を無くすこととし
た。

【０００８】すなわち、本発明の光アドレス型空間光変
調装置は、光アドレス部としての光導電層と光変調部と
しての液晶層からなり、該光導電層が書き込み光を受け
取り該受け取った書き込み光に応じて該液晶層の光学的
特性を変化させ、該液晶層が読みだし光を受け取りこれ
を該光学的特性に応じて変調する光アドレス型空間光変
調装置において、該光アドレス部が、書き込み光に対す
る不感応部分を備えていることを特徴とする。ここで、
該不感応部分は、光アドレス部の略中央に設けられてい
ることが好ましい。また、該不感応部分の形状及び面積
は、カットしたい周波数成分を考慮して決定すれば良
い。

【０００９】光アドレス部と光変調部との間には、これ
らを分離するための入出力分離部を設けることが好まし
い。ここで、入出力分離部は、ミラー層及び／または遮
光層からなる。

【００１０】本発明の光アドレス型空間光変調装置は、
さらに、光アドレス部と光変調部に電圧を印加するため
の一対の透明電極であって、光アドレス部と光変調部と
を挟むように設けられるものを備えていることが好まし
い。なお、光アドレス部と光変調部との間に入出力分離
部が設けられている場合には、当該一対の透明電極は、
光アドレス部と入出力分離部と光変調部とを挟むように
設けられる。

【００１１】

【作用】光アドレス部たる光導電層と光変調部たる液晶
層に電圧が印加される。光導電層は書き込み光を受け取
り、該書き込み光に応じて液晶層の光学的特性（例え
ば、屈折率）を変化させる。液晶層は読みだし光を受け
取りこれをその光学的特性に応じて変調する。ここで、
光アドレス部の一部に不感応部分が形成されている。か
かる不感応部分は、書き込み光が入射しても液晶層の対
応する部分の光学的特性を変化させることがない。この
ため、液晶層に入射した読み出し光は、該不感応部分に
入射した書き込み光の光強度に応じた変調を受けること
がない。換言すれば、本発明の空間光変調装置によれ
ば、光アドレス部の不感応部分を除く領域に入射した書
き込み光のみに応じた読みだし光の変調を行うことがで
きる。

【００１２】ここで、光アドレス部と光変調部との間に
入出力分離部が設けられている場合には、当該入出力分
離部は、読みだし光が光アドレス部に入射するのを有効
に防止して、光アドレス部と光変調部を分離する。

【００１３】また、一対の透明電極が設けられている場
合には、これらが光アドレス部たる光導電層と光変調部
たる液晶層に電圧を印加する。

【００１４】本発明の空間光変調装置をフーリエ変換レ
ンズの後段に設け、書き込み光としてフーリエ変換パタ
ーンを光アドレス部に入射させる場合、フーリエ変換パ
ターンの０次光成分はフーリエ変換レンズの光軸を中心
として結像する。そこで、光アドレス部の略中央に不感
応部分を設け、当該不感応部分がフーリエ変換レンズの
光軸上に位置するように空間光変調装置をフーリエ変換
レンズに対し配置することが好ましい。この場合には、
フーリエ変換パターンのうち、０次光成分が不感応部分
に入射し、信号光成分が不感応部分以外の光アドレス部
に入射する。この結果、液晶層に入射した読みだし光
は、フーリエ変換パターンの信号光成分のみによる変調
を受けることができる。

【００１５】このように、本発明によれば、空間光変調
装置の光アドレス部たる光導電層に直接不感応部分を形
成したため、ガラス面板の厚さに関係なく、フーリエ変
換面上に形成される０次光成分を有効にカットし、か
つ、信号光成分をも有効に取り入れることが可能とな
る。

【００１６】

【実施例】以下、本発明を、光変調部に平行配向型ネマ
チック液晶層を採用した光アドレス型空間光変調装置に
応用した実施例を、図面を参照しながら説明する。

【００１７】まず、本発明の第一の実施例を図２乃至６
を参照して詳細に説明する。図２に示すように、この平
行配向型ネマチック液晶空間光変調装置１では、光変調
部としての平行配向ネマチック液晶層１６が、一対の配
向層１５と１７の間に設けられている。配向層１５の液
晶層１６と反対の側には、ミラー層１４と、遮光層１
４’と、光アドレス部としての光導電層１３と、透明導
電膜１２と、アドレス側ガラス基板１１が、この順に設
けられている。また、該配向層１７のネマチック液晶層
１６と反対の側には、透明導電膜１８と、読みだし側ガ
ラス基板１９とが設けられている。配向層１５と１７の
ラビングの向きは同方向にしてあり、ネマチック液晶層
１６の液晶分子は図４に示すように、捻れることなく基
板１１、１９に対し平行に並んだ構造になっている（平
行配向またはホモジニアス配向）。一対の導電膜１２と
１８との間には、駆動電源２から交流の駆動電圧（振幅
Ｖ）が印加される。なお、遮光層１４’は、必要に応じ
て設けても設けなくても良い。

【００１８】ここで、図２及び図３に示すように、透明
導電膜１２の略中央部がエッチングされ、円形状に除去
されている（以下、このエッチング領域を「エッチング
領域１２ａ」といい、エッチングされずに残された透明
導電膜１２の領域を「電極領域１２ｂ」という）。した
がって、エッチング領域１２ａに対応する光導電層１３
の領域１３ａ及び液晶層１６の領域１６ａには、電圧が
印加されない。（換言すれば、電極領域１２ｂに対応す
る光導電層１３の領域１３ｂ及び液晶層１６の領域１６
ｂにのみ、電圧が印加される。）

【００１９】なお、光導電層１３は、好ましくは、水素
化アモルファスシリコン（ａ−Ｓｉ：Ｈ）からなるが、
アモルファスシリコン（ａ−Ｓｉ）、ＣｄＳ、Ｂｉ₁₂Ｓ
ｉＯ₂₀、有機光導電体（ＰＶＫ）等からなるものでも良
い。透明導電膜１２、１８は、例えば、ＩＴＯ（Indium
-Tin-Oxide）からなる。また、ミラー層１４は、例え
ば、誘電体ミラーからなる。遮光層１４’は、例えば、
ＣｄＴｅからなる。配向層１５と１７は、ＰＶＡまたは
ポリイミドをミラー層１４及び透明導電膜１８にコーテ
ィングした後ラビングを施して作製しても良いし、Ｓｉ
Ｏの斜め蒸着やＬＢ膜の形成等で作製しても良い。

【００２０】かかる構成の空間光変調装置１の動作を以
下説明する。アドレス側ガラス基板１１を介して光導電
層１３に書き込み光が入射すると、その部分の抵抗が書
き込み光強度に応じて低くなり、液晶層１６に書き込み
光強度に応じた電圧がかかる。液晶分子がその電圧に応
じた度合いで導電膜１２・１８に対して立ち上がるよう
に動く。この結果、液晶分子の長さ方向に偏光した光
（図４の矢印ａで示す偏波面を有する光）に対する屈折
率が変化する。したがって、液晶分子の長さ方向に偏光
したコヒーレントな読みだし光を読みだし側ガラス基板
１９を介して液晶層１６に入射すると、この光は屈折率
変化に応じた位相変調を受ける。かかる読みだし光はミ
ラー層１４で反射され、再び液晶層１６内で位相変調を
受けた後、ガラス基板１９を介して出射する。

【００２１】かかる平行配向型ネマチック液晶空間光変
調装置１の詳細については、本出願人が既に出願した特
願平４−２０３５０５号明細書に記載されている。

【００２２】本実施例の空間光変調装置１においては、
光導電層１３の領域１３ａには電圧は印加されていな
い。したがって、書き込み光がエッチング領域１２ａを
介して領域１３ａに入射しても、領域１３ａに対応した
液晶層１６の領域１６ａの屈折率は変化することがな
い。したがって、領域１３ａに照射された書き込み光に
より、読みだし光が変調されることはない。すなわち、
領域１３ａは、書き込み光に対する不感応部分として機
能する。（また、領域１６ａは、読みだし光に対する非
変調部分として機能する。）換言すれば、空間光変調装
置１によれば、電極領域１２ｂに対応する領域１３ｂに
照射された書き込み光のみにより、読みだし光が変調さ
れる。

【００２３】かかる動作を行う空間光変調装置１を例え
ばフーリエ変換レンズの後段に配置し、書き込み光とし
てフーリエ変換パターンを入力させる場合には、図５に
示すように、フーリエ変換レンズ３の光軸３Ｘ上に円形
エッチング領域１２ａの中心がほぼ位置するように空間
光変調装置１を配置して、０次光成分がエッチング領域
１２ａに照射されるようにする。上記点に鑑み、円形エ
ッチング領域１２ａは、図３に示すように、透明導電膜
１２の略中央部に形成することが好ましい。

【００２４】一方、円形エッチング領域１２ａの半径ｒ
については、組み合わせるフーリエ変換レンズ３とカッ
トしたい最大空間周波数との関係から、以下の数式１に
より、適正な値を求めることができる。

【数１】ｒ＝ λ・ｆ・ｕここで、λは書き込み光の波長[mm]、ｆはフーリエ変換
レンズ３の焦点距離[mm]、及び、ｕはカットしたい最大
空間周波数[cycles/mm]である。具体的には、空間周波
数ｕ₁以下の０次光成分をカットしたい場合には、図６
の（Ａ）のような半径ｒ₁（＝λ・ｆ・ｕ₁）の円形領域
１２ａをエッチングすることによりハイパスフィルター
を構成させれば良い。

【００２５】なお、空間周波数ｕ₂以上の０次光成分を
カットしたい場合には、図６の（Ｂ）のような半径ｒ₂
（＝λ・ｆ・ｕ₂）の円形電極領域１２ｂが残るよう、
当該円形領域１２ｂを除く透明導電膜１２の全ての領域
１２ａをエッチングすることによりローパスフィルター
を構成させれば良い。

【００２６】また、空間周波数ｕ₃以上ｕ₄以下の０次光
成分をカットしたい場合には、図６の（Ｃ）のような半
径ｒがｒ₃（＝λ・ｆ・ｕ₃）以上ｒ₄（＝λ・ｆ・ｕ₄）
以下の同心円状領域１２ａをエッチングすることにより
バンドパスフィルターを構成させれば良い。

【００２７】以下、図７を参照して、本実施例の空間光
変調装置１を合同変換相関器に応用する応用例を説明す
る。

【００２８】この合同変換型相関器１００は、第一のパ
ターンと第二のパターンを同時に記録するための第一の
平行配向型ネマチック液晶空間光変調装置１Ａと、その
駆動電源２Ａと、その後段に配置された第一のフーリエ
変換レンズ２２と、読みだし光Ｙ₁を空間光変調装置１
Ａに導き、かつ、空間光変調装置１Ａにて変調された読
みだし光Ｙ₁を第一のフーリエ変換レンズ２２に導くた
めのハーフミラー２１と、第一のフーリエ変換レンズ２
２により得られた合同フーリエ変換パターンの強度分布
を記録するための第二の平行配向型ネマチック液晶空間
光変調装置１Ｂと、その駆動電源２Ｂと、その後段に配
置された第二のフーリエ変換レンズ２４と、読みだし光
Ｙ₂を空間光変調装置１Ｂに導き、かつ、空間光変調装
置１Ｂにて変調された読みだし光Ｙ₂を第二のフーリエ
変換レンズ２４に導くためのハーフミラー２３と、第二
のフーリエ変換レンズ２４により得られた相関信号光の
光強度を検出するための光強度検出器２５とからなる。

【００２９】ここで、第一の空間光変調装置１Ａとして
は、エッチング領域１２ａの形成されていない通常の平
行配向型ネマチック液晶空間光変調装置を用いる。ま
た、第二の空間光変調装置１Ｂとして、本実施例のエッ
チング領域１２ａの形成された平行配向型ネマチック液
晶空間光変調装置１を用いる。また、図５を参照して詳
細に説明したように、空間光変調装置１Ｂは、フーリエ
変換レンズ２２に対し、その光軸２２Ｘ上に円形エッチ
ング領域１２ａの中心が略位置するように配置する。な
お、円形エッチング領域１２ａの半径ｒは、例えば、空
間周波数ｕ以下をカットしたい場合、数式ｒ＝λ・ｆ・
ｕにより与えられる。ここで、ｆはフーリエ変換レンズ
２２の焦点距離、λは読みだし光Ｙ₁の波長である。

【００３０】かかる合同変換型相関器１００の動作につ
いて、以下説明する。

【００３１】空間光変調装置１Ａの光導電層１３に、ア
ドレス側ガラス基板１１を介して第一のパターンＰ_iと
第二のパターンＰ_rを同時に入射させ、液晶層１６内に
パターンＰ_iとＰ_r（詳しくはその強度分布）を記録す
る。液晶層１６の液晶分子の長さ方向に偏光した直線偏
光状態の読みだし光（コヒーレント光）Ｙ₁を、ハーフ
ミラー２１を介して空間光変調装置１Ａの読みだし側ガ
ラス基板１９に照射する。液晶層１６内でパターンＰ_i
・Ｐ_rに応じた位相変調を受け出射した読みだし光Ｙ
₁は、ハーフミラー２１を透過したのち第一のフーリエ
変換レンズ２２で空間的にフーリエ変換され、そのフー
リエ変換面上にパターンＰ_i・Ｐ_rの合同フーリエ変換パ
ターン（以下、「第一のフーリエパターン」という）Ｐ
_fを結像する。フーリエ変換面上には空間光変調装置１
Ｂの光導電層１３が配置されている。したがって、第一
のフーリエパターンＰ_fが空間光変調装置１Ｂの光導電
層１３に入射することになる。より詳しくは、第一のフ
ーリエパターンＰ_fのうち空間周波数ｕ以下の０次光成
分が、円形エッチング領域１２ａを経て光導電層１３の
対応する円形領域１３ａに入射する。空間周波数ｕより
大きい０次光成分と１次光以上の成分（すなわち、信号
光成分）が、円形領域１３ａ以外の残りの領域（すなわ
ち、電極領域１２ｂに対応する領域１３ｂ）に入射す
る。ここで、駆動電圧は、液晶層１６のうち、円形領域
１３ａに対応する領域１６ａには印加されていない。し
たがって、円形領域１３ａに０次光成分が入射しても、
液晶層１６の対応する領域１６ａの屈折率は変化しな
い。一方、液晶層１６のうち領域１６ａ以外の領域（す
なわち、領域１３ｂに対応する領域１６ｂ）には駆動電
圧が有効に印加されているため、空間周波数ｕより大き
い０次光成分と信号光成分の強度分布が記録される。つ
まり、パターンＰ_i、Ｐ_rのパワースペクトルがノイズの
少ない形で液晶層内に記録される。液晶層１６の液晶分
子の長さ方向に偏光した直線偏光状態の読みだし光（コ
ヒーレント光）Ｙ₂を、ハーフミラー２３を介して空間
光変調装置１Ｂの読みだし側ガラス基板１９に照射す
る。この読みだし光Ｙ₂は、液晶層１６内で、パターン
Ｐ_i、Ｐ_rのパワースペクトル分布による位相変調を受け
たのち出射し、ハーフミラー２３を透過しフーリエ変換
レンズ２４で空間的にフーリエ変換されて、そのフーリ
エ変換面上に、パターンＰ_i、Ｐ_rのパワースペクトルの
フーリエパターン（以下、第二のフーリエパターン」と
いう）Ｐ_f’を結像する。ここで、第二のフーリエパタ
ーンＰ_f’は、パターンＰ_i、Ｐ_rの強度に対応した０次
光と、これを中心として点対称上に並んだ＋１次及び−
１次光からなる。＋１次及び−１次光の結像位置はパタ
ーンＰ_i、Ｐ_rの相対的位置に対応しており、その光強度
は互いに等しくパターンＰ_i、Ｐ_rの相関に対応してい
る。すなわち、＋１次及び−１次光はパターンＰ_i、Ｐ_r
に対する相関信号光である。フーリエ変換面上の＋１次
光が結像される位置には、例えばフォトダイオードから
なる光強度検出器２５が配置されている。検出器２５
は、＋１次光強度を検出しパターンＰ_i、Ｐ_rの相関を示
す相関信号を出力する。ここで、＋１次光は、パターン
Ｐ_i、Ｐ_rのパワースペクトルの信号光成分と所望の空間
周波数の０次光成分に基づき得られたものである。した
がって、その光強度はパターンＰ_i、Ｐ_rの相関を高Ｓ／
Ｎ比で示している。つまり、この合同変換型相関器１０
０によれば、パターンＰ_i、Ｐ_rの相関を高Ｓ／Ｎ比で検
出することができる。

【００３２】以下、本発明の第二の実施例を、図８乃至
１０を参照して説明する。図８及び９に示すように、本
実施例の空間光変調装置１’では、透明導電膜１２をエ
ッチングする代わりに、透明導電膜１２の光導電層１３
に接する面上に、反射あるいは吸収型の円形マスク２０
ａを形成している。たとえば、光導電層１３を水素化ア
モルファスシリコン（a-Si:H）で構成する場合には、透
明導電膜１２上にあらかじめ反射あるいは吸収型のマス
ク２０ａを形成した後、a-Si:H光導電層を形成するよう
にすれば良い。

【００３３】ここで、反射型のマスクの材料としては、
金属、例えば、アルミニウム（Al）、クロム（Cr）、チ
タン（Ti）等が、好ましい。また、吸収型のマスクの材
料としては、例えば、カドミウムテルル（CdTe）等が、
好ましい。

【００３４】本実施例の空間光変調装置１’によれば、
円形マスク２０ａ上に入射した書き込み光は光導電層１
３の対応する領域１３ａには入射することがない。した
がって、領域１３ａに対応する液晶層１６の領域１６ａ
の屈折率は変化することがない。すなわち、領域１３ａ
は、書き込み光に対する不感応部分として機能する。
（また、領域１６ａは、読みだし光に対する非変調部分
として機能する。）このように、本実施例の空間光変調
装置１’によれば、マスク２０ａの位置に入射した書き
込み光強度に応じて読みだし光を変調することがない。
光導電層１３のうち領域１３ａを除く領域１３ｂに入射
した書き込み光強度のみに応じて読みだし光を変調する
ことができる。

【００３５】かかる構成の空間光変調装置１’をフーリ
エ変換レンズと組み合わせて使用する場合には、第一の
実施例と同様、図１０に示すように、レンズ３の光軸３
Ｘが円形マスク２０ａの略中心を貫くように、レンズと
空間光変調装置１’の相対位置を選択する。したがっ
て、マスク２０ａも、第一の実施例と同様、図９に示す
ように、透明導電膜１２の面上の略中心部に形成するこ
とが好ましい。

【００３６】円形マスク２０ａの半径ｒもまた、第一の
実施例と同様に、図６の（Ａ）に示すように与えられ
る。

【００３７】マスク２０ａの形状及び大きさは、カット
したい０次光成分の空間周波数によっては、第一の実施
例の図６の（Ｂ）または（Ｃ）に示すエッチング領域１
２ａと同様にすることが好ましい。

【００３８】本実施例の空間光変調装置１’を合同変換
相関器の後段の空間光変調装置１Ｂに応用する場合に
は、第一の実施例の空間光変調装置１と同様にすれば良
い。この応用例を図１１に示す。

【００３９】本発明は、上述した実施例の空間光変調装
置に限定されることなく、本発明の主旨から逸脱するこ
となく、種々の変更が可能となる。

【００４０】例えば、上述の実施例は光変調部として平
行配向型ネマチック液晶を用いた光アドレス型空間光変
調装置に関するものだが、本発明はこれに限られない。
本発明は、光変調部として様々の液晶を用いた光アドレ
ス型空間光変調装置に適用することができる。たとえ
ば、ツイストネマチック（TN）液晶、表面安定化強誘電
性液晶（SSFLC）、反強誘電性液晶（AFLC）、電界効果
複屈折モード（ECB）液晶、及び、スーパーツイストネ
マチック（STN）液晶等、一般的な液晶を用いた空間光
変調装置の全てに適用することができる。この場合の空
間光変調装置は、上記実施例の平行配向型ネマチック液
晶空間光変調装置と同様、ミラー層１４と遮光層１４’
を両方備えていても良いし、ミラー層と遮光層のいずれ
か一方のみを備えていても良く、また、両方とも備えて
いなくとも良い。

【００４１】本発明の空間光変調装置の用途は、合同変
換型相関処理における合同フーリエ変換パターンを書き
込むものとして使用するものに限られない。フーリエ変
換を使った様々な光学系において、フーリエ変換面で行
ったフィルタリングの結果を書き込むものとして、広く
使用することができる。本発明の空間光変調装置によれ
ば、フィルターと空間光変調装置の間に別途遮光マスク
を設ける必要がないため、空間光変調装置のアドレス部
に最近接してフィルターを設けることができる。

【００４２】

【発明の効果】以上詳述したことから明かなように、本
発明の光アドレス型空間光変調装置においては、その光
アドレス部に書き込み光に対する不感応部分が直接形成
されている。したがって、書き込みパターンとして光フ
ーリエ変換結果が入力される場合、該不感応部分により
０次光成分が有効にカットされると共に、信号光成分が
有効に取り入れられる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の光アドレス型空間光変調装置の構造を
示す模式断面図である。

【図２】本発明の第一の実施例の平行配向型ネマチック
液晶空間光変調装置の構造を示す模式断面図である。

【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。

【図４】平行配向ネマチック液晶層内の液晶の配向の状
態を示す説明図である。

【図５】図２の空間光変調装置をフーリエ変換レンズと
組み合わせて使用する際の、空間光変調装置とフーリエ
変換レンズとの位置関係を示す側面説明図である。

【図６】（Ａ）は、空間周波数ｕ₁以下の０次光成分を
カットしたい場合のエッチング領域１２ａを示す、図３
に対応した断面図、（Ｂ）は、空間周波数ｕ₂以上の０
次光成分をカットしたい場合のエッチング領域１２ａを
示す、図３に対応した断面図、（Ｃ）は、空間周波数ｕ
₃以上ｕ₄以下の０次光成分をカットしたい場合のエッチ
ング領域１２ａを示す、図３に対応した断面図である。

【図７】図２の空間光変調装置を採用した合同変換型相
関器を示す光学系統平面図である。

【図８】本発明の第二の実施例の平行配向型ネマチック
液晶空間光変調装置の構造を示す模式断面図である。

【図９】図８のＩＸ−ＩＸ線断面図である。

【図１０】図８の空間光変調装置をフーリエ変換レンズ
と組み合わせて使用する際の、空間光変調装置とフーリ
エ変換レンズとの位置関係を示す側面説明図である。

【図１１】図８の空間光変調装置を採用した合同変換型
相関器を示す光学系統平面図である。

【図１２】光アドレス型空間光変調装置の構造を示す模
式断面図である。

【図１３】光アドレス型空間光変調装置を採用した合同
変換型相関器を示す光学系統平面図である。

【図１４】図１３の合同変換型相関器の第二の光アドレ
ス型空間光変調装置に０次遮蔽マスクを配置した状態を
示す模式断面図である。

【符号の説明】

１、１’ 光アドレス型空間光変調装置１２透明導電膜１２ａエッチング領域１２ｂ電極領域１３光導電層１３ａ書き込み光不感応部分１６液晶層１６ａ読みだし光非変調部分２０ａ反射あるいは吸収型マスク１００合同変換型相関器２２第一のフーリエ変換レンズ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G02B 27/46 G02F 1/135

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】光アドレス部としての光導電層と光変調
部としての液晶層からなり、該光導電層が書き込み光を
受け取り該受け取った書き込み光に応じて該液晶層の光
学的特性を変化させ、該液晶層が読みだし光を受け取り
これを該光学的特性に応じて変調する光アドレス型空間
光変調装置において、該光アドレス部が、書き込み光に対する不感応部分を備
えていることを特徴とする光アドレス型空間光変調装
置。
【請求項２】前記不感応部分が、該光アドレス部の略
中央に設けられていることを特徴とする請求項１記載の
光アドレス型空間光変調装置。