JP3310109B2 - 光干渉式流体特性測定装置 - Google Patents
光干渉式流体特性測定装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被測定流体と標準流体
との光の屈折率の相異を干渉縞の変移として検出し、こ
の変移に基づいて被測定流体の発熱量や濃度等の特性を
測定する装置に関する。
との光の屈折率の相異を干渉縞の変移として検出し、こ
の変移に基づいて被測定流体の発熱量や濃度等の特性を
測定する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】液化天然ガスのようにプロパンやｎーブ
タン等を所定の割合で混合して調製された燃料ガスの熱
量は、一方に被測定燃料ガスを、他方に標準ガスを収容
する２つの光学セルを併設し、これらセルに同一光源か
ら出た光を分割して照射し、各セルを透過した光により
干渉縞を発生させ、干渉縞の特定領域の変移量、例えば
最高輝度を示す部分の変移量から測定する装置が実用化
されている。
タン等を所定の割合で混合して調製された燃料ガスの熱
量は、一方に被測定燃料ガスを、他方に標準ガスを収容
する２つの光学セルを併設し、これらセルに同一光源か
ら出た光を分割して照射し、各セルを透過した光により
干渉縞を発生させ、干渉縞の特定領域の変移量、例えば
最高輝度を示す部分の変移量から測定する装置が実用化
されている。
【０００３】図６は、上述した光干渉式流体特性測定装
置の一例を示すものであって、図中符号Ａはその両端を
光透過性の板より封止された測定セルで、一端に被測定
ガス流入口Ｂが、また他端にガス流出口Ｃが形成されて
いて被測定ガスが流入するように構成されている。
置の一例を示すものであって、図中符号Ａはその両端を
光透過性の板より封止された測定セルで、一端に被測定
ガス流入口Ｂが、また他端にガス流出口Ｃが形成されて
いて被測定ガスが流入するように構成されている。
【０００４】Ｄは、リファレンスセルで、一端に標準ガ
ス源Ｅからの標準ガスが流入する流入口Ｆを、また他端
に標準ガスの流出口Ｇを設けて構成されている。
ス源Ｅからの標準ガスが流入する流入口Ｆを、また他端
に標準ガスの流出口Ｇを設けて構成されている。
【０００５】これら測定セルＡ、及びリファレンスセル
Ｄには、光源となる白熱電球Ｈからの光をレンズＪによ
り平行光ビームにした後、ビームスプリッタをなす平行
平面鏡Ｋで分割されて発生した光ビームＬ１、Ｌ２を入
射させ、これら各セルＡ、Ｄから出射した２本のビーム
をプリズムＬにより同一光路Ｌ３に重ね合わせて干渉縞
を発生させ、干渉縞検出手段Ｓにより電気信号に変換す
るように構成されている。
Ｄには、光源となる白熱電球Ｈからの光をレンズＪによ
り平行光ビームにした後、ビームスプリッタをなす平行
平面鏡Ｋで分割されて発生した光ビームＬ１、Ｌ２を入
射させ、これら各セルＡ、Ｄから出射した２本のビーム
をプリズムＬにより同一光路Ｌ３に重ね合わせて干渉縞
を発生させ、干渉縞検出手段Ｓにより電気信号に変換す
るように構成されている。
【０００６】ところで、流体の特性変動に伴って生じる
干渉縞の変移量は、極めて微小であるため、光源となる
白熱電球Ｈからの光ビームの位置や、形状が測定精度に
影響を与えるため、白熱電球Ｈのフィラメントの位置
や、姿勢を最適な状態に調整する作業が必要となる。こ
のため、多数の電球の中からフィラメントが特定の位置
に取り付けられている電球だけを選別し、その上で、図
７に示したように電球Ｈを球面受座Ｑを備えた取付具Ｒ
を介して電球Ｈを筐体Ｍに取り付け、筐体Ｍから突出し
た突起Ｎにより電球Ｈを揺動させてフィラメントの姿勢
を微調整することが行われている。しかしながら、フィ
ラメントの姿勢の調整は極めて微妙で、技術を要するた
め、測定装置本体を工場に持ち帰って調整する必要があ
り、メンテナンスに手間が掛かるという問題を抱えてい
る。
干渉縞の変移量は、極めて微小であるため、光源となる
白熱電球Ｈからの光ビームの位置や、形状が測定精度に
影響を与えるため、白熱電球Ｈのフィラメントの位置
や、姿勢を最適な状態に調整する作業が必要となる。こ
のため、多数の電球の中からフィラメントが特定の位置
に取り付けられている電球だけを選別し、その上で、図
７に示したように電球Ｈを球面受座Ｑを備えた取付具Ｒ
を介して電球Ｈを筐体Ｍに取り付け、筐体Ｍから突出し
た突起Ｎにより電球Ｈを揺動させてフィラメントの姿勢
を微調整することが行われている。しかしながら、フィ
ラメントの姿勢の調整は極めて微妙で、技術を要するた
め、測定装置本体を工場に持ち帰って調整する必要があ
り、メンテナンスに手間が掛かるという問題を抱えてい
る。
【０００７】
【発明が解決しようする課題】本発明はこのような問題
に鑑みてなされたものであって、その目的とするところ
は、光源装置の交換後に発光素子の位置調整を不要とし
た新規な光干渉式流体特性測定装置を提供することであ
る。
に鑑みてなされたものであって、その目的とするところ
は、光源装置の交換後に発光素子の位置調整を不要とし
た新規な光干渉式流体特性測定装置を提供することであ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために、本発明においては同一の光源からの平行光ビ
ームをビームスプリッタにより分割して測定セルと標準
セルとに入射させ、前記各セルを通過した光ビームの干
渉縞から流体の特性を測定する光干渉式流体特性測定装
置において、前記ビームスプリッタに対向する位置に挿
入口、及び第１の基準位置出し用ピン挿入孔が穿設され
た測定装置本体の筐体と、前記挿入口に弾接する筒状部
と第２の基準位置出し用ピン挿入孔が形成されたフラン
ジとからなる基台と、該基台の先端に位置決め可能で、
かつ平行光ビーム発生手段が固定された位置決めリング
とからなる光源手段を備え、第１、及び第２の基準位置
出し用ピン挿入孔に基準位置出し用ピンを挿入して前記
平行光ビーム発生手段の位置が調整されている。
るために、本発明においては同一の光源からの平行光ビ
ームをビームスプリッタにより分割して測定セルと標準
セルとに入射させ、前記各セルを通過した光ビームの干
渉縞から流体の特性を測定する光干渉式流体特性測定装
置において、前記ビームスプリッタに対向する位置に挿
入口、及び第１の基準位置出し用ピン挿入孔が穿設され
た測定装置本体の筐体と、前記挿入口に弾接する筒状部
と第２の基準位置出し用ピン挿入孔が形成されたフラン
ジとからなる基台と、該基台の先端に位置決め可能で、
かつ平行光ビーム発生手段が固定された位置決めリング
とからなる光源手段を備え、第１、及び第２の基準位置
出し用ピン挿入孔に基準位置出し用ピンを挿入して前記
平行光ビーム発生手段の位置が調整されている。
【０００９】
【実施例】そこで以下に本発明の詳細を図示した実施例
に基づいて説明する。図１は本発明の一実施例を示すも
のであって、図中符号１は測定チャンバ、また符号２、
３は、測定チャンバ１の両側に配置されたリファレンス
チャンバで、これら各チャンバ１、２、３はその両端を
光透過性の板４、４により封止され、またそれぞれの端
部に流体流入口、流出口Ｈ１、Ｈ２、Ｈ３、Ｈ４、Ｈ
５、Ｈ６を設けて構成されている。
に基づいて説明する。図１は本発明の一実施例を示すも
のであって、図中符号１は測定チャンバ、また符号２、
３は、測定チャンバ１の両側に配置されたリファレンス
チャンバで、これら各チャンバ１、２、３はその両端を
光透過性の板４、４により封止され、またそれぞれの端
部に流体流入口、流出口Ｈ１、Ｈ２、Ｈ３、Ｈ４、Ｈ
５、Ｈ６を設けて構成されている。
【００１０】リファレンスチャンバ２、３は、それぞれ
端部に設けられた通孔Ｈ３、Ｈ６を図示しない流路によ
り接続され、１つの標準ガス源からの同一の標準ガスの
供給を受けることができるように構成されている。これ
ら各チャンバ１、２、３の一側側にはビームスプリッタ
をなす平行平面鏡５が、また他側側にはメインプリズム
６が配置されている。
端部に設けられた通孔Ｈ３、Ｈ６を図示しない流路によ
り接続され、１つの標準ガス源からの同一の標準ガスの
供給を受けることができるように構成されている。これ
ら各チャンバ１、２、３の一側側にはビームスプリッタ
をなす平行平面鏡５が、また他側側にはメインプリズム
６が配置されている。
【００１１】１０は、後述する光源装置で、測定装置本
体の筐体１１に平行平面鏡５の一側寄りの所定位置Ｐ０
に、出射口１４が対向するように、筐体１１に穿設され
た位置出し用のピン挿入孔１８と光源装置１０の位置出
し用のピン挿入孔２６とをピン１３で一致させて取り付
けられている。
体の筐体１１に平行平面鏡５の一側寄りの所定位置Ｐ０
に、出射口１４が対向するように、筐体１１に穿設され
た位置出し用のピン挿入孔１８と光源装置１０の位置出
し用のピン挿入孔２６とをピン１３で一致させて取り付
けられている。
【００１２】光源装置１０からの平行ビームＬ０は、平
行平面鏡５により２本のビームＬ１、Ｌ２に分割され、
一方のビームＬ１は測定セル１の一側寄りの光路を通っ
て、メインプリズム６に入射し、再び測定セル１の他側
寄りの光路を通るビームＬ３となって平行平面鏡５に入
射する。
行平面鏡５により２本のビームＬ１、Ｌ２に分割され、
一方のビームＬ１は測定セル１の一側寄りの光路を通っ
て、メインプリズム６に入射し、再び測定セル１の他側
寄りの光路を通るビームＬ３となって平行平面鏡５に入
射する。
【００１３】また他方のビームＬ２は、一方のリファレ
ンスセル２を通過してプリズム６により他方のリファレ
ンスセル３からビームＬ４として出射し、平行平面鏡５
の、測定セル１からの出射したビームＬ３の照射点と同
一点Ｐ１で重なって干渉縞を生じ、ビームＬ５としてプ
リズム１５に入射する。プリズム１５から出射したビー
ムは、対物レンズ１６と、後述する筒状体５０の前面の
光学部材、この実施例では凹レンズ５１とにより形成さ
れる拡大光学系により検出に適した大きさの拡大されて
検出手段１７の像検出面に干渉縞の像を結ぶ。この検出
手段１７は、像の各座標と、そこにおける明るさとを電
気信号に変換できる撮像手段により構成されている。
ンスセル２を通過してプリズム６により他方のリファレ
ンスセル３からビームＬ４として出射し、平行平面鏡５
の、測定セル１からの出射したビームＬ３の照射点と同
一点Ｐ１で重なって干渉縞を生じ、ビームＬ５としてプ
リズム１５に入射する。プリズム１５から出射したビー
ムは、対物レンズ１６と、後述する筒状体５０の前面の
光学部材、この実施例では凹レンズ５１とにより形成さ
れる拡大光学系により検出に適した大きさの拡大されて
検出手段１７の像検出面に干渉縞の像を結ぶ。この検出
手段１７は、像の各座標と、そこにおける明るさとを電
気信号に変換できる撮像手段により構成されている。
【００１４】これにより、測定セル１の流体とリファレ
ンスセル２、３の流体との特性の相異により生じる光路
差に基づいて干渉縞の像の変位を検出手段１７のアドレ
ス信号として検出することができる。
ンスセル２、３の流体との特性の相異により生じる光路
差に基づいて干渉縞の像の変位を検出手段１７のアドレ
ス信号として検出することができる。
【００１５】図中符号５０は、筒状体で、検出手段１７
の受光面から一定の距離を確保して後述するレンズ５１
に塵埃が付着しても検出手段１７の出力が影響を受けな
いように、所定の長さ、この実施例では３０ｍｍを有し
ており、先端側に前方の凸レンズ１６に対して接眼レン
ズとして機能して拡大光学系を形成する凹レンズ５１が
密閉状態で固定されており、また他端には透光用の窓５
２を有し、フランジ５０ａを介して筐体１１の通孔５４
に固定されている。フランジ５０ａと検出手段１７との
間には窓５６を有するパッキン５５が介装されていて、
検出手段１７と筒状体５０との気密を確保するようにな
っている。
の受光面から一定の距離を確保して後述するレンズ５１
に塵埃が付着しても検出手段１７の出力が影響を受けな
いように、所定の長さ、この実施例では３０ｍｍを有し
ており、先端側に前方の凸レンズ１６に対して接眼レン
ズとして機能して拡大光学系を形成する凹レンズ５１が
密閉状態で固定されており、また他端には透光用の窓５
２を有し、フランジ５０ａを介して筐体１１の通孔５４
に固定されている。フランジ５０ａと検出手段１７との
間には窓５６を有するパッキン５５が介装されていて、
検出手段１７と筒状体５０との気密を確保するようにな
っている。
【００１６】この実施例において、上述の工程により製
造された光源装置１０の基台２０を測定装置本体の筐体
１１の挿入口１２に挿入すると、基台２０は周囲の弾性
部材２２、２２により挿入口１２の中心軸を平行平面鏡
５側に向かって移動する。このようにしてフランジ２１
が筐体１１に当接するまで挿入した段階で、フランジ２
１のピン挿入孔２６にピン１３を挿入して筐体１１のピ
ン挿入孔１８に位置合わせする。これにより、光源装置
１０からのビームＬ０は、平行平面鏡５の所定位置Ｐ０
を照射し、各セル１、２、３に最適なビームＬ１、Ｌ２
が入射することになる。
造された光源装置１０の基台２０を測定装置本体の筐体
１１の挿入口１２に挿入すると、基台２０は周囲の弾性
部材２２、２２により挿入口１２の中心軸を平行平面鏡
５側に向かって移動する。このようにしてフランジ２１
が筐体１１に当接するまで挿入した段階で、フランジ２
１のピン挿入孔２６にピン１３を挿入して筐体１１のピ
ン挿入孔１８に位置合わせする。これにより、光源装置
１０からのビームＬ０は、平行平面鏡５の所定位置Ｐ０
を照射し、各セル１、２、３に最適なビームＬ１、Ｌ２
が入射することになる。
【００１７】図２は、前述の光源装置１０の一実施例を
示すものであって、図中符号２０は、光干渉測定装置本
体の挿入口１２に挿入可能な基台で、一端にフランジ２
１を有する筒状体として構成され、また外周にはＯリン
グ等の弾性部材２２、２２が設けられ、さらに先端側に
は後述する位置決めリング２５をネジ止めするための複
数のネジ孔２３、２３が螺設されている。
示すものであって、図中符号２０は、光干渉測定装置本
体の挿入口１２に挿入可能な基台で、一端にフランジ２
１を有する筒状体として構成され、また外周にはＯリン
グ等の弾性部材２２、２２が設けられ、さらに先端側に
は後述する位置決めリング２５をネジ止めするための複
数のネジ孔２３、２３が螺設されている。
【００１８】フランジ２１には筐体１１のピン挿入孔１
８と協同して発光素子３２からの平行ビームＬ０を平行
平面鏡５の所定の位置Ｐ０に位置決めするためのピン挿
入孔２６が穿設されている。
８と協同して発光素子３２からの平行ビームＬ０を平行
平面鏡５の所定の位置Ｐ０に位置決めするためのピン挿
入孔２６が穿設されている。
【００１９】位置決めリング２５は、後述する平行光ビ
ーム発生手段３０を螺合させるネジ孔２７が穿設され、
また周囲には位置決め用のネジ２８、２８よりも若干大
きめの径を備え、ネジ２８との間で相対移動可能ならし
める通孔２９、２９が穿設されている。
ーム発生手段３０を螺合させるネジ孔２７が穿設され、
また周囲には位置決め用のネジ２８、２８よりも若干大
きめの径を備え、ネジ２８との間で相対移動可能ならし
める通孔２９、２９が穿設されている。
【００２０】３０は、前述の平行光ビーム発生手段で、
筒状ケース３１の後端に発光素子３２、たとえば白熱ラ
ンプが、また他端に発光素子３２の発光点、例えば白熱
ランプの場合にはフィラメントに焦点を結び、発光素子
３２からの光を平行ビームに変換するレンズ３３を収容
して構成されている。
筒状ケース３１の後端に発光素子３２、たとえば白熱ラ
ンプが、また他端に発光素子３２の発光点、例えば白熱
ランプの場合にはフィラメントに焦点を結び、発光素子
３２からの光を平行ビームに変換するレンズ３３を収容
して構成されている。
【００２１】そして筒状ケース３１の少なくとも先端側
の外周にはネジ３１ａが切られていて、位置決めリング
２５のネジ孔２７に螺合し、出射口１４とフランジ２１
との相対距離を調整できるようになっている。なお、図
中符号３７は、平行光ビーム発生手段３０を位置決めリ
ング２５に固定するためのナットを、また３８は発光素
子３２に電力供給するためのリード線をそれぞれ示す。
の外周にはネジ３１ａが切られていて、位置決めリング
２５のネジ孔２７に螺合し、出射口１４とフランジ２１
との相対距離を調整できるようになっている。なお、図
中符号３７は、平行光ビーム発生手段３０を位置決めリ
ング２５に固定するためのナットを、また３８は発光素
子３２に電力供給するためのリード線をそれぞれ示す。
【００２２】図３は、前述の位置決めリング２５と基台
２０との位置出しを行うための治具の一実施例を示すも
のであって、図中符号４０は、基台で、測定装置の筐体
１１の挿入口１２と、ピン挿入孔１８と同一の位置関係
となるように基台取り付け口４１とピン挿入孔４２とが
穿設され、またピン挿入孔４２に対して平行平面鏡５の
照射点Ｐ０とピン孔１８の位置関係と同一となる位置に
ビーム検出手段４３が設けられている。
２０との位置出しを行うための治具の一実施例を示すも
のであって、図中符号４０は、基台で、測定装置の筐体
１１の挿入口１２と、ピン挿入孔１８と同一の位置関係
となるように基台取り付け口４１とピン挿入孔４２とが
穿設され、またピン挿入孔４２に対して平行平面鏡５の
照射点Ｐ０とピン孔１８の位置関係と同一となる位置に
ビーム検出手段４３が設けられている。
【００２３】次ぎに、基台２０と位置決めリング２５と
の位置決め作業について説明する。基台２０とリング２
５とが相対移動可能な程度にネジ２８、２８を緩めた状
態で、基台２０を取り付け口４１に挿入し、ピン１３に
より基台２０のピン挿入孔２６と治具の基台４０の挿入
孔４２とを一致させる。
の位置決め作業について説明する。基台２０とリング２
５とが相対移動可能な程度にネジ２８、２８を緩めた状
態で、基台２０を取り付け口４１に挿入し、ピン１３に
より基台２０のピン挿入孔２６と治具の基台４０の挿入
孔４２とを一致させる。
【００２４】この状態で発光素子３２に電力を供給して
発光させ、位置決めリング２５の通孔２９、２９、２９
‥‥とネジ２８、２８、２８‥‥とのガタを利用してリ
ング２５を基台２０に対して相対移動させて、位置決め
リング２０をその面内でＸ軸方向、及びＹ軸方向にそれ
ぞれ基台２０、つまりピン１３に対して所定量ΔＸ、Δ
Ｙ調整ながら、出射口１４からの光ビームＬ６がビーム
検出手段４３に入射するように位置調整を行い、最適な
位置でネジ２８、２８、２８‥‥を閉めて位置決めリン
グ２５を基台２０に固定する。これにより出射口１４か
らのビームＬ６がピン孔２６に対して所定の位置に調整
された光源装置１０が完成する。
発光させ、位置決めリング２５の通孔２９、２９、２９
‥‥とネジ２８、２８、２８‥‥とのガタを利用してリ
ング２５を基台２０に対して相対移動させて、位置決め
リング２０をその面内でＸ軸方向、及びＹ軸方向にそれ
ぞれ基台２０、つまりピン１３に対して所定量ΔＸ、Δ
Ｙ調整ながら、出射口１４からの光ビームＬ６がビーム
検出手段４３に入射するように位置調整を行い、最適な
位置でネジ２８、２８、２８‥‥を閉めて位置決めリン
グ２５を基台２０に固定する。これにより出射口１４か
らのビームＬ６がピン孔２６に対して所定の位置に調整
された光源装置１０が完成する。
【００２５】一方、長期間に使用により発光素子３２の
光量が低下した場合には、筐体１１から光源装置１０を
取り外し、出し、代わって新しい光源装置１０を挿入
し、位置決めピン１３で筐体１１の所定位置に位置決め
するだけで、出射口１４が平行平面鏡５の所定位置Ｐ０
に対向する状態に正確に位置決めされ、正常な測定が可
能となる。
光量が低下した場合には、筐体１１から光源装置１０を
取り外し、出し、代わって新しい光源装置１０を挿入
し、位置決めピン１３で筐体１１の所定位置に位置決め
するだけで、出射口１４が平行平面鏡５の所定位置Ｐ０
に対向する状態に正確に位置決めされ、正常な測定が可
能となる。
【００２６】また、長時間の使用により筒状体５０先端
の凹レンズ５１に塵埃が付着しても、凹レンズ５１と検
出手段１７との間には距離が確保されているため、例え
ば変換手段としてＣＣＤのように画像を複数の光電検出
素子のアレイで構成されているものを用い、各光電変換
素子の出力の大きさとそのアドレス（図５（イ））に基
づいて、最高レベルの信号のアドレス変化から干渉縞の
移動を検出するようなものに適用した場合にあっても、
凹レンズ５１に付着した塵埃が像全体の明るさを減少さ
せるものの、特定のアドレスＡ１、Ａ２の信号を特異的
に変動させる（図５（ロ））ことがなく、しかも全体が
気密的に封止されて検出手段の受光面に塵埃が直接付着
することが防止されているから、高い精度で干渉縞の移
動を検出することができる。
の凹レンズ５１に塵埃が付着しても、凹レンズ５１と検
出手段１７との間には距離が確保されているため、例え
ば変換手段としてＣＣＤのように画像を複数の光電検出
素子のアレイで構成されているものを用い、各光電変換
素子の出力の大きさとそのアドレス（図５（イ））に基
づいて、最高レベルの信号のアドレス変化から干渉縞の
移動を検出するようなものに適用した場合にあっても、
凹レンズ５１に付着した塵埃が像全体の明るさを減少さ
せるものの、特定のアドレスＡ１、Ａ２の信号を特異的
に変動させる（図５（ロ））ことがなく、しかも全体が
気密的に封止されて検出手段の受光面に塵埃が直接付着
することが防止されているから、高い精度で干渉縞の移
動を検出することができる。
【００２７】なお、この実施例においては白熱ランプを
使用した場合に例を採って説明したが、発光ダイオード
等他の発光素子を使用しても同様の作用を奏することは
明らかである。
使用した場合に例を採って説明したが、発光ダイオード
等他の発光素子を使用しても同様の作用を奏することは
明らかである。
【００２８】また、この実施例においては、弾性部材を
光源装置に設けているが、本体の挿入口内に設けても同
様の作用を奏することは明らかである。
光源装置に設けているが、本体の挿入口内に設けても同
様の作用を奏することは明らかである。
【００２９】さらに上述の実施例では、位置決めリング
と基台とをネジにより固定するようにしているが、接着
剤等他の固定手段を用いることもできる。
と基台とをネジにより固定するようにしているが、接着
剤等他の固定手段を用いることもできる。
【００３０】また上述の実施例においては筒状体５０の
前面を凹レンズにより封止して筒状体５０前方の凸レン
ズとにより拡大光学系を構成しているが、拡大光学系が
必要な場合には凸レンズで封止してもよく、また特に干
渉縞の像の拡大を必要としない場合には平板ガラスで封
止しても塵埃の影響を小さくできることは明らかであ
る。
前面を凹レンズにより封止して筒状体５０前方の凸レン
ズとにより拡大光学系を構成しているが、拡大光学系が
必要な場合には凸レンズで封止してもよく、また特に干
渉縞の像の拡大を必要としない場合には平板ガラスで封
止しても塵埃の影響を小さくできることは明らかであ
る。
【００３１】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
位置決めリングと基台との相対位置を予め工場で調整し
ておくことにより、基台を本体筐体の挿入口に挿入し
て、ピンにより所定位置に位置決めするという簡単な操
作で、ビームスプリッタに対して光源手段を適正な位置
にセットすることができる。
位置決めリングと基台との相対位置を予め工場で調整し
ておくことにより、基台を本体筐体の挿入口に挿入し
て、ピンにより所定位置に位置決めするという簡単な操
作で、ビームスプリッタに対して光源手段を適正な位置
にセットすることができる。
【図１】本発明の一実施例を、筐体の蓋と、測定セル、
及びリファレンスセルの上板を外して示す装置の正面図
である。
及びリファレンスセルの上板を外して示す装置の正面図
である。
【図２】図（イ）、（ロ）は、それぞれ同上装置に使用
されている光源装置の一実施例を示す断面図と正面図で
ある。
されている光源装置の一実施例を示す断面図と正面図で
ある。
【図３】同上光源装置の位置決めリングの調整装置の一
実施例を示す一部断面図である。
実施例を示す一部断面図である。
【図４】光源装置を本体筐体に取り付けた状態を示す正
面図である。
面図である。
【図５】図（イ）、（ロ）は、それぞれ光電変換手段か
らの出力と、これに塵埃が付着した場合の出力とを示す
説明図である。
らの出力と、これに塵埃が付着した場合の出力とを示す
説明図である。
【図６】光干渉を利用した従来の流体特性測定装置の一
例を示す図である
例を示す図である
【図７】従来の光源装置をなすランプ取付具の一例を示
す図である。
す図である。
１ 測定セル ２、３ リファレンスセル ５ 平行平面鏡 ６ メインプリズム １０ 光源装置 １２ 光源装置挿入口 １３ ピン １４ 出射口 １７ 光電変換手段 ２０ 基台 ２１ フランジ １８、２６ ピン挿入孔 ３０ 平行光ビーム発生手段 ５０ 筒状体 ５１ 接眼レンズ ５２、５６ 窓
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭47−45692（ＪＰ，Ａ) 実開 昭48−37691（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭53−47883（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭38−11345（ＪＰ，Ｂ１) 特公 昭26−1694（ＪＰ，Ｂ１) 特公 昭41−12994（ＪＰ，Ｂ１) 特公 昭48−38277（ＪＰ，Ｂ１) 実公 昭39−22299（ＪＰ，Ｙ１) 実公 昭42−19641（ＪＰ，Ｙ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/00 - 21/01 G01N 21/17 - 21/61 G01J 3/00 - 3/52 G01J 9/00 - 9/04 G01B 11/00 - 11/30 G01B 9/00 - 9/10 実用ファイル（ＰＡＴＯＬＩＳ) 特許ファイル（ＰＡＴＯＬＩＳ)
Claims (6)
- 【請求項１】 同一の光源からの平行光ビームをビーム
スプリッタにより分割して測定セルと標準セルとに入射
させ、前記各セルを通過した光ビームの干渉縞から流体
の特性を測定する光干渉式流体特性測定装置において、 前記ビームスプリッタに対向する位置に挿入口、及び第
１の基準位置出し用ピン挿入孔が穿設された測定装置本
体の筐体と、 前記挿入口に弾接する筒状部と第２の基準位置出し用ピ
ン挿入孔が形成されたフランジとからなる基台と、該基
台の先端に位置決め可能で、かつ平行光ビーム発生手段
が固定された位置決めリングとからなる光源手段を備
え、第１、及び第２の 基準位置出し用ピン挿入孔に基準位置
出し用ピンを挿入して前記平行光ビーム発生手段の位置
が調整されている光干渉式流体特性測定装置。 - 【請求項２】 前記平行ビーム発生手段は、前記位置決
めリングに対して前記平行光ビームに平行な方向に位置
調整が可能な請求項１の光干渉式流体特性測定装置。 - 【請求項３】 前記基台の筒状部の外周に複数のリング
状弾性部材が設けられている請求項１の光干渉式流体特
性測定装置。 - 【請求項４】 前記平行ビーム発生手段は、筒状のケー
スにレンズと発光素子を収容するとともに、前記筒状の
ケースの外周にネジを有し、また前記位置決めリングは
前記ネジに螺合するネジ孔が設けられている請求項１の
光干渉式流体特性測定装置。 - 【請求項５】 同一の光源からの平行光ビームをビーム
スプリッタにより分割して測定セルと標準セルとに入射
させ、前記各セルを通過した光ビームの干渉縞から流体
の特性を測定する光干渉式流体特性測定装置において、 前記ビームスプリッタに対向する位置に挿入口、及び第
１の基準位置出し用ピン挿入孔が穿設された測定装置本
体の筐体と、 前記挿入口に弾接する筒状部と第２の基準位置出し用ピ
ン挿入孔が形成されたフランジとからなる基台と、該基
台の先端に位置決め可能で、かつ平行光ビーム発生手段
が固定された位置決めリングとからなる光源手段を備
え、第１、及び第２の 基準位置出し用ピン挿入孔に基準位置
出し用ピンを挿入して 前記平行光ビーム発生手段の位置
が調整され、 また前記光電変換手段が、一端側を光学部材により封止
された筒状体の他端側に封止されている光干渉式流体特
性測定装置。 - 【請求項６】 前記筒状体の前方に凸レンズが配置さ
れ、また前記光学部材が前記凸レンズと拡大光学系を構
成するレンズである請求項５に記載の光干渉式流体特性
測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13100194A JP3310109B2 (ja) | 1994-05-20 | 1994-05-20 | 光干渉式流体特性測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13100194A JP3310109B2 (ja) | 1994-05-20 | 1994-05-20 | 光干渉式流体特性測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07311150A JPH07311150A (ja) | 1995-11-28 |
| JP3310109B2 true JP3310109B2 (ja) | 2002-07-29 |
Family
ID=15047636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13100194A Expired - Fee Related JP3310109B2 (ja) | 1994-05-20 | 1994-05-20 | 光干渉式流体特性測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3310109B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4842852B2 (ja) * | 2007-02-19 | 2011-12-21 | 理研計器株式会社 | 光干渉式ガス濃度測定装置 |
| JP5861355B2 (ja) * | 2011-09-22 | 2016-02-16 | アイシン精機株式会社 | テラヘルツ波伝播装置、及びテラヘルツ波発生部又は検出部の固定部材 |
-
1994
- 1994-05-20 JP JP13100194A patent/JP3310109B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07311150A (ja) | 1995-11-28 |
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