JP3305634B2 - 吸光式ガス測定装置 - Google Patents
吸光式ガス測定装置Info
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- JP3305634B2 JP3305634B2 JP27811097A JP27811097A JP3305634B2 JP 3305634 B2 JP3305634 B2 JP 3305634B2 JP 27811097 A JP27811097 A JP 27811097A JP 27811097 A JP27811097 A JP 27811097A JP 3305634 B2 JP3305634 B2 JP 3305634B2
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- Japan
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- chamber
- hole
- optical path
- transmitting
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術の分野】本発明は、複数のチャンバ
に単一の光源からの光を照射して複数チャンネルでの測
定が可能な吸光式ガス測定装置に関する。
に単一の光源からの光を照射して複数チャンネルでの測
定が可能な吸光式ガス測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】吸光式ガス測定装置は、一定の光路長を
備えたチャンバの一端に発光素子を、また他端に受光素
子を配置して、被検ガスの濃度による減衰度の相違から
当該ガスの濃度を検出するように構成されている。
備えたチャンバの一端に発光素子を、また他端に受光素
子を配置して、被検ガスの濃度による減衰度の相違から
当該ガスの濃度を検出するように構成されている。
【０００３】ところで、吸光度はガスの種類により大き
く異なるため、チャンバの光路長を調整することにより
或程度の選択性を持たせることが可能で、このためプリ
ズム等の光路分割手段を介して単一の光源からの光を、
異なる光路長に構成された複数のチャンバに入射させて
複数のガスの検出が可能なガス濃度測定装置が提案され
ている。
く異なるため、チャンバの光路長を調整することにより
或程度の選択性を持たせることが可能で、このためプリ
ズム等の光路分割手段を介して単一の光源からの光を、
異なる光路長に構成された複数のチャンバに入射させて
複数のガスの検出が可能なガス濃度測定装置が提案され
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、プリズ
ム等の光路分割手段を必要として構造が複雑化するとい
う問題がある。本発明はこのような問題に鑑みてなされ
たものであって、その目的とするところは光路分割手段
を構成する光学部品を必要とすることなく、単一の光源
からの光を複数のチャンバに供給することができる吸光
式ガス濃度測定装置を提供することである。
ム等の光路分割手段を必要として構造が複雑化するとい
う問題がある。本発明はこのような問題に鑑みてなされ
たものであって、その目的とするところは光路分割手段
を構成する光学部品を必要とすることなく、単一の光源
からの光を複数のチャンバに供給することができる吸光
式ガス濃度測定装置を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るため、主光路軸に一致する貫通孔の一端に集光面と、
前記主光路軸に直交する透光用通孔と、前記透光用通孔
に連通し、かつチャンバ形成用の凹部を備えた基台と、
前記透光用通孔に発光領域が位置するように前記貫通孔
の一端に配置された発光手段と、前記集光面に対向する
位置に配置された第１チャンバと、前記透光用通孔に対
向する位置に凹部が形成され、前記凹部に収容された第
２チャンバと、前記各チャンバの出射口側に配置された
受光手段とからなり、第２チャンバの光路長が第１チャ
ンバの光路長よりも短く設定されている。
るため、主光路軸に一致する貫通孔の一端に集光面と、
前記主光路軸に直交する透光用通孔と、前記透光用通孔
に連通し、かつチャンバ形成用の凹部を備えた基台と、
前記透光用通孔に発光領域が位置するように前記貫通孔
の一端に配置された発光手段と、前記集光面に対向する
位置に配置された第１チャンバと、前記透光用通孔に対
向する位置に凹部が形成され、前記凹部に収容された第
２チャンバと、前記各チャンバの出射口側に配置された
受光手段とからなり、第２チャンバの光路長が第１チャ
ンバの光路長よりも短く設定されている。
【０００６】
【作用】発光手段の光の大半は集光面で集光されて第１
チャンバに入射し、また一部が透光用通孔を通過して第
２チャンバに入射する。第２チャンバに入射する光は、
発光手段の一部ではあるが、第１チャンバよりも近くに
位置するから測定に十分な強い光の照射を受ける。
チャンバに入射し、また一部が透光用通孔を通過して第
２チャンバに入射する。第２チャンバに入射する光は、
発光手段の一部ではあるが、第１チャンバよりも近くに
位置するから測定に十分な強い光の照射を受ける。
【０００７】
【発明の実施の形態】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例に基づいて説明する。図１（イ）、（ロ）は
それぞれ本発明の一実施例を示すものであって、基台１
は、後述する第１チャンバ２の光路Ｌ１に一致する貫通
孔３を備え、後端側を測定光発生手段をなす白熱電球４
の挿入固定部５とし、また他端側には発光領域には一方
向に光を集光して開口６から第１のチャンバ２に光を放
射する集光面７、この実施例では円錐鏡面が形成されて
いる。
した実施例に基づいて説明する。図１（イ）、（ロ）は
それぞれ本発明の一実施例を示すものであって、基台１
は、後述する第１チャンバ２の光路Ｌ１に一致する貫通
孔３を備え、後端側を測定光発生手段をなす白熱電球４
の挿入固定部５とし、また他端側には発光領域には一方
向に光を集光して開口６から第１のチャンバ２に光を放
射する集光面７、この実施例では円錐鏡面が形成されて
いる。
【０００８】集光面７の白熱電球４のフィラメント８に
対向する領域には第１のチャンバ２の光路Ｌ１に直交す
る光路Ｌ２に一致して透光用通孔９が形成され、その出
射口に後述する第２チャンバ１０が配置されている。
対向する領域には第１のチャンバ２の光路Ｌ１に直交す
る光路Ｌ２に一致して透光用通孔９が形成され、その出
射口に後述する第２チャンバ１０が配置されている。
【０００９】第１、第２チャンバ２、１０は、白熱電球
４からの光軸と対向する位置に受光手段１１、１２が配
置され、またそれぞれガス流入口１３、１４、ガス流出
口１５、１６に接続されている。なお、図中符号１７、
１８は、それぞれ第１、第２チャンバ２、１０を封止す
る透光板を示す。
４からの光軸と対向する位置に受光手段１１、１２が配
置され、またそれぞれガス流入口１３、１４、ガス流出
口１５、１６に接続されている。なお、図中符号１７、
１８は、それぞれ第１、第２チャンバ２、１０を封止す
る透光板を示す。
【００１０】ところで、この実施例においては第１チャ
ンバ２は、筒状体２０の両端を固定部材２１、２２を介
して基台１を固定する基板２３に位置決めして構成され
ている。
ンバ２は、筒状体２０の両端を固定部材２１、２２を介
して基台１を固定する基板２３に位置決めして構成され
ている。
【００１１】これに対して第２チャンバ１０は、図２に
示したように受光手段１２を保持するセンサーホルダ３
０の受光手段１２の位置決め孔３１に連通する貫通孔３
２を穿設し、光入射口側に透光板１８を固定する位置決
め凹部３３と、貫通孔３２に連通するガス流入口１４、
ガス流出口１６となる通孔３４、３５を穿設し、貫通孔
３２の両端を透光板１８で封止して構成されている。
示したように受光手段１２を保持するセンサーホルダ３
０の受光手段１２の位置決め孔３１に連通する貫通孔３
２を穿設し、光入射口側に透光板１８を固定する位置決
め凹部３３と、貫通孔３２に連通するガス流入口１４、
ガス流出口１６となる通孔３４、３５を穿設し、貫通孔
３２の両端を透光板１８で封止して構成されている。
【００１２】そして、透光用通孔９と同軸となるように
基台９に形成された凹部３６に嵌装して固定されてい
る。このように、第２チャンバ１０が基台１に埋め込む
ように作り付けられている関係上、測定装置全体をほぼ
第１チャンバ２だけ備えたもののサイズと同等に纏め上
げることが可能となる。
基台９に形成された凹部３６に嵌装して固定されてい
る。このように、第２チャンバ１０が基台１に埋め込む
ように作り付けられている関係上、測定装置全体をほぼ
第１チャンバ２だけ備えたもののサイズと同等に纏め上
げることが可能となる。
【００１３】この実施例において、白熱電球４を、その
フィラメント８の軸線が透光用通孔９の光路Ｌ２に対し
てほぼ垂直となるように位置決めして挿入固定部５に取
り付ける。ついで、図示しないガス流出口１５、１６を
吸引ポンプに接続して第１、第２チャンバ２、１０にガ
スを吸引すると、白熱電球４からの光の大半は集光面７
に集光されて第１チャンバ２に入射し、また一部が透光
用通孔９を通過して第２チャンバ１０に入射する。
フィラメント８の軸線が透光用通孔９の光路Ｌ２に対し
てほぼ垂直となるように位置決めして挿入固定部５に取
り付ける。ついで、図示しないガス流出口１５、１６を
吸引ポンプに接続して第１、第２チャンバ２、１０にガ
スを吸引すると、白熱電球４からの光の大半は集光面７
に集光されて第１チャンバ２に入射し、また一部が透光
用通孔９を通過して第２チャンバ１０に入射する。
【００１４】第１、第２チャンバ２、１０に入射した光
は、ここに存在する被検ガスの濃度に対応した吸収を受
けて受光手段１１、１２に受光され、各出力信号に基づ
いてガスの濃度が検出される。
は、ここに存在する被検ガスの濃度に対応した吸収を受
けて受光手段１１、１２に受光され、各出力信号に基づ
いてガスの濃度が検出される。
【００１５】ところで、第２チャンバ１０に入射する光
は、白熱電球４のごく一部ではあるが、第１チャンバ２
よりもフィラメント８の近くに位置し、かつフィラメン
ト８からの光がフィラメント８の支持部材であるステイ
に遮光されることなく入射するから、測定に十分な強度
を有する。
は、白熱電球４のごく一部ではあるが、第１チャンバ２
よりもフィラメント８の近くに位置し、かつフィラメン
ト８からの光がフィラメント８の支持部材であるステイ
に遮光されることなく入射するから、測定に十分な強度
を有する。
【００１６】なお、この実施例においては、集光面７に
よる主光束に対して直交する方向に１つの貫通孔を形成
しているが、複数の貫通孔を形成してこれら貫通孔の軸
線上にチャンバを配置することもで可能である。
よる主光束に対して直交する方向に１つの貫通孔を形成
しているが、複数の貫通孔を形成してこれら貫通孔の軸
線上にチャンバを配置することもで可能である。
【００１７】また、上述の実施例においては集光面を円
錐鏡面として形成しているが、放物面や球面等の集光面
でも同様の作用を奏することは明らかである。
錐鏡面として形成しているが、放物面や球面等の集光面
でも同様の作用を奏することは明らかである。
【００１８】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
第２チャンバを第１チャンバよりも発光手段の近くに位
置させることができ、光路分割素子を必要とすることな
く測定に十分な強い光を複数のチャンバに供給すること
ができ、また第２のチャンバを基台の凹部に作り付けた
ので、小型化を図ることができる。
第２チャンバを第１チャンバよりも発光手段の近くに位
置させることができ、光路分割素子を必要とすることな
く測定に十分な強い光を複数のチャンバに供給すること
ができ、また第２のチャンバを基台の凹部に作り付けた
ので、小型化を図ることができる。
【図１】図（イ）、（ロ）は、それぞれ本発明の吸光式
ガス測定装置の一実施例を示す断面図、及び上面図であ
る。
ガス測定装置の一実施例を示す断面図、及び上面図であ
る。
【図２】図（イ）乃至（ハ）は、それぞれ同上装置にお
ける第２チャンバを兼ねるセンサーホルダの一実施例を
示す側面図、正面図、及び断面図である。
ける第２チャンバを兼ねるセンサーホルダの一実施例を
示す側面図、正面図、及び断面図である。
１ 基台 ２ 第１チャンバ ４ 白熱電球 ７ 集光面 ８ フィラメント １０ 第２チャンバ １１、１２ 受光手段 １３、１４ ガス流入口 １５、１６ ガス流出口 ２０ 筒状体 ２１、２２ 固定部材 ３０ センサーホルダ Ｌ１、Ｌ２ 光路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−72130（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−203573（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−97650（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−84529（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭36−398（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/00 - 21/61 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (3)
- 【請求項１】 主光路軸に一致する貫通孔の一端に集光
面と、前記主光路軸に直交する透光用通孔と、前記透光
用通孔に連通し、かつチャンバ形成用の凹部を備えた基
台と、 前記透光用通孔に発光領域が位置するように前記貫通孔
の一端に配置された発光手段と、 前記集光面に対向する位置に配置された第１チャンバ
と、 前記透光用通孔に対向する位置に凹部が形成され、前記
凹部に収容された第２チャンバと、 前記各チャンバの出射口側に配置された受光手段とから
なり、 第２チャンバの光路長が第１チャンバの光路長よりも短
く設定されている吸収式ガス測定装置。 - 【請求項２】 前記受光手段が、センサーホルダを介し
て配置され、第２チャンバが前記センサーホルダに形成
されている請求項１に記載の吸光式ガス測定装置。 - 【請求項３】 前記発光手段が、白熱電球により構成さ
れ、前記透光用通孔が前記白熱電球のフィラメントに対
向する位置に形成されている請求項１に記載の吸光式ガ
ス測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27811097A JP3305634B2 (ja) | 1997-09-25 | 1997-09-25 | 吸光式ガス測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27811097A JP3305634B2 (ja) | 1997-09-25 | 1997-09-25 | 吸光式ガス測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11101734A JPH11101734A (ja) | 1999-04-13 |
| JP3305634B2 true JP3305634B2 (ja) | 2002-07-24 |
Family
ID=17592772
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27811097A Expired - Lifetime JP3305634B2 (ja) | 1997-09-25 | 1997-09-25 | 吸光式ガス測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3305634B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016023104A1 (en) * | 2014-08-15 | 2016-02-18 | Tenova Goodfellow Inc. | System and method for analyzing dusty industrial off-gas chemistry |
-
1997
- 1997-09-25 JP JP27811097A patent/JP3305634B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11101734A (ja) | 1999-04-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020424 |
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