JP3288274B2 - Scribe cleaning mechanism - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、表面に微
細パターンが設けられた光ディスクのスタンパーを、表
面の微細パターンを傷つけないように、効率よく、しか
も、確実に洗浄することができるスクライブ洗浄機構に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scribing method which can efficiently and reliably clean a stamper of an optical disk having a fine pattern provided on its surface so as not to damage the fine pattern on the surface. Regarding the mechanism.
【０００２】[0002]
【従来の技術】光ディスクの表面に、所定の微細パター
ンを形成するために使用されるスタンパーは、その表面
に、微細なパターンが形成されてており、そのスタンパ
ーの微細パターンが光ディスクの表面に転写されるよう
になっている。このようなスタンパーは、微細パターン
に汚れが付着しやすいために、その汚れを除去するため
に洗浄する必要がある。2. Description of the Related Art A stamper used to form a predetermined fine pattern on the surface of an optical disk has a fine pattern formed on the surface, and the fine pattern of the stamper is transferred to the surface of the optical disk. It is supposed to be. Such a stamper needs to be cleaned in order to remove the stain since the stain easily adheres to the fine pattern.
【０００３】光ディスクのスタンパーは、通常、図６に
示すように、有機溶剤によって洗浄した後に、仕上げ洗
浄されるようになっている。有機溶剤洗浄では、洗浄槽
に収容された有機溶剤を超音波振動子によって振動させ
ることにより、スタンパーの微細パターンに付着した汚
れを効率よく除去することができる。スタンパー表面に
比較的弱い付着力で付着したダスト等の汚れは、有機溶
剤洗浄および仕上げ洗浄によって容易に除去することが
できる。As shown in FIG. 6, a stamper of an optical disk is usually cleaned with an organic solvent and then subjected to finish cleaning. In the organic solvent cleaning, the organic solvent contained in the cleaning tank is vibrated by an ultrasonic vibrator, so that dirt attached to the fine pattern of the stamper can be efficiently removed. Dirt such as dust adhering to the surface of the stamper with relatively weak adhesion can be easily removed by organic solvent cleaning and finish cleaning.
【０００４】しかしながら、レジスト残渣、容器溶剤の
乾燥ムラ等のように、スタンパーの表面に強固に付着し
た汚れは、有機溶剤洗浄および仕上げ洗浄だけでは確実
に除去することができず、汚れが残ったまま、ドライア
ッシングを行った場合には、その汚れがスタンパ表面に
付着した状態でこげ付き、除去することができなくな
る。このために、仕上げ洗浄されたスタンパーは、スタ
ンパー表面に、乾燥ムラ、レジスト残渣等の汚れが付着
しているかを目視によって外観検査され、スタンパー表
面に、乾燥ムラ、レジスト残渣等の汚れが付着している
場合には、スタンパーは、スクライブ洗浄される。However, dirt firmly adhered to the surface of the stamper, such as resist residues and uneven drying of the solvent in the container, cannot be reliably removed only by cleaning with an organic solvent and finish cleaning, and the dirt remains. If dry ashing is performed as it is, the dirt sticks to the surface of the stamper and cannot be removed. For this purpose, the finish-cleaned stamper is visually inspected for any stains such as drying unevenness and resist residue on the surface of the stamper, and the stamper surface is stained such as drying unevenness and resist residue. If so, the stamper is scribed.
【０００５】この場合のスクライブ洗浄は、ブラシによ
る手作業によって実施される。スクライブ洗浄されたス
タンパーは、再度、有機溶剤洗浄および仕上げ洗浄が実
施された後に、外観検査によって、スタンパー表面に汚
れが付着していないことが確認されると、ドライアッシ
ングされる。[0005] In this case, scribing is performed manually by a brush. The scribe-cleaned stamper is subjected to dry-ashing after the organic solvent cleaning and the final cleaning are performed again, and after the appearance inspection confirms that the surface of the stamper is free from dirt.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】このようなスタンパー
の洗浄工程では、スクライブ洗浄がブラシによる手作業
によって実施されているために、洗浄ムラ等によって、
スタンパー表面に強固に付着した汚れを完全に除去する
ことができないおそれがある。また、スクライブ洗浄す
るかどうかは、作業員の目視による外観検査によって判
断しなければならず、効率が悪く、また、判断ミスによ
って、スタンパーに汚れが付着していることを見逃すお
それもある。In such a stamper cleaning process, scribe cleaning is performed manually with a brush.
There is a possibility that dirt firmly attached to the surface of the stamper cannot be completely removed. In addition, whether or not to perform scribe cleaning must be determined by visual inspection by an operator, which is inefficient. Further, due to a determination error, it is possible to overlook that dirt is attached to the stamper.
【０００７】また、特開平５−１６００９８号公報に
は、被洗浄物の表面に洗浄液をジェット噴射しつつブラ
ッシング装置によってブラッシングする洗浄装置が開示
されている。しかし、このような洗浄装置では、ブラッ
シング装置によって、被洗浄液の表面をブラッシングす
るために、被洗浄物の表面が損傷するおそれがある。ま
た、被洗浄物に対して洗浄液が直接ジェット噴射される
ようになっているために、多量の洗浄液が必要になり、
経済性が損なわれるおそれもある。Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-160098 discloses a cleaning apparatus in which a cleaning liquid is jetted onto a surface of an object to be cleaned and brushing is performed by a brushing apparatus. However, in such a cleaning apparatus, since the surface of the liquid to be cleaned is brushed by the brushing apparatus, the surface of the object to be cleaned may be damaged. Also, since the cleaning liquid is directly jetted onto the object to be cleaned, a large amount of the cleaning liquid is required,
Economics may be impaired.
【０００８】本発明は、このような問題を解決するもの
であり、その目的は、光ディスクのスタンパーのような
被洗浄物に付着した汚れを、効率よく確実に、しかも、
被洗浄物の表面を損傷させることなく、除去することが
できるスクライブ洗浄機構を提供することにある。An object of the present invention is to solve such a problem, and an object of the present invention is to efficiently and reliably remove dirt adhering to an object to be cleaned such as a stamper of an optical disk.
An object of the present invention is to provide a scribing cleaning mechanism that can remove the object to be cleaned without damaging the surface thereof.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明のスクライブ洗浄
機構は、無端帯状に形成された含水性を有する洗浄シー
トの外周面が、被洗浄物に接触するように支持されてお
り、被洗浄物に接触した洗浄シートの内周面に、洗浄液
を噴射して洗浄シートの外周面を被洗浄物に押圧するこ
とを特徴とする。According to the scribing cleaning mechanism of the present invention, the outer peripheral surface of a water-containing cleaning sheet formed in an endless belt shape is supported so as to come into contact with the object to be cleaned. The cleaning liquid is sprayed onto the inner peripheral surface of the cleaning sheet that has come into contact with the cleaning sheet, and the outer peripheral surface of the cleaning sheet is pressed against the object to be cleaned.
【００１０】前記被洗浄物がターンテーブルに載置され
て回転される。前記洗浄シートは、洗浄液が圧力供給さ
れるようになった洗浄液噴射管に支持されている。The object to be cleaned is placed on a turntable and rotated. The cleaning sheet is supported by a cleaning liquid jet pipe to which the cleaning liquid is supplied under pressure.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面に基づいて詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【００１２】図１は、本発明のスクライブ洗浄機構の実
施の形態の一例を示す要部の斜視図である。このスクラ
イブ洗浄機構１０は、円板状をした光ディスクのスタン
パー２０における微細パターンが形成された表面を洗浄
するために使用される。光ディスクのスタンパー２０
は、図２のフローチャートに示すように、有機溶剤によ
ってその表面が洗浄された後に、本発明のスクライブ洗
浄機構１０によって洗浄される。そして、本発明のスク
ライブ洗浄機構１０によって洗浄されたスタンパー２０
が、仕上げ洗浄されて乾燥された後に、ドライアッシン
グによって表面の有機物が完全に除去される。FIG. 1 is a perspective view of a main part showing an example of an embodiment of a scribe cleaning mechanism of the present invention. The scribing cleaning mechanism 10 is used for cleaning the surface of the stamper 20 of a disk-shaped optical disc on which a fine pattern is formed. Optical disc stamper 20
As shown in the flowchart of FIG. 2, after the surface is cleaned with an organic solvent, the scribe cleaning mechanism 10 of the present invention cleans the surface. And, the stamper 20 cleaned by the scribe cleaning mechanism 10 of the present invention.
However, after finishing cleaning and drying, organic substances on the surface are completely removed by dry ashing.
【００１３】本発明のスクライブ洗浄機構１０は、スタ
ンパー２０が載置されて回転されるターンテーブル１１
を有している。被洗浄物である光ディスクのスタンパー
２０は、微細パターンが形成された表面を上方に向けた
状態で、ターンテーブル１１上に載置される。The scribe cleaning mechanism 10 of the present invention comprises a turntable 11 on which a stamper 20 is mounted and rotated.
have. The stamper 20 of the optical disc to be cleaned is placed on the turntable 11 with the surface on which the fine pattern is formed facing upward.
【００１４】ターンテーブル１１の上方には、無端帯状
の洗浄シート１２が配置されている。この洗浄シート１
２は、ターンテーブル１１上に載置されたスタンパー２
０の半径とほぼ同様の幅方向寸法を有しており、不織布
等のように、含水性を有する材質によって構成されてお
り、例えば、カネボウ株式会社製の合成不織布（商品名
「サヴィーナ」）のように、含水性が高く柔軟性に優れ
たシートが好適に使用される。An endless cleaning sheet 12 is disposed above the turntable 11. This cleaning sheet 1
2 is a stamper 2 mounted on the turntable 11
It has a dimension in the width direction substantially similar to the radius of 0, and is made of a water-containing material such as a nonwoven fabric. For example, a synthetic nonwoven fabric (trade name “Savina”) manufactured by Kanebo Co., Ltd. As described above, a sheet having high water content and excellent flexibility is preferably used.
【００１５】無端帯状の洗浄シート１２は、ターンテー
ブル１１とは適当な間隔をあけて、ターンテーブル１１
の半径方向に沿って水平に配置された支持ロッド１３
に、上端部が巻き掛けられて、支持ロッド１３にて垂下
した状態で支持されている。洗浄シート１２の幅方向寸
法は、スタンパー２０の半径長さにほぼ等しくなってお
り、支持ロッド１３に支持された洗浄シート１２の下端
部は、ターンテーブル１１上に載置されたスタンパー２
０の微細パターンが形成された表面に、適当な面積で接
触し得るようになっている。The endless belt-shaped cleaning sheet 12 is provided at an appropriate distance from the turntable 11,
Support rod 13 horizontally arranged along the radial direction of
, And is supported by a support rod 13 in a hanging state. The width of the cleaning sheet 12 is substantially equal to the radial length of the stamper 20, and the lower end of the cleaning sheet 12 supported by the support rod 13 is connected to the stamper 2 placed on the turntable 11.
It can come in contact with the surface on which the fine pattern of 0 is formed in an appropriate area.
【００１６】支持ロッド１３の下方には、洗浄液噴射管
１４が、支持ロッド１３に対して適当な間隔をあけて支
持ロッド１３とは平行な水平状態で配置されている。洗
浄液噴射管１４は、その内部に、アルカリ系界面活性剤
によって構成された洗浄液が供給されるようになってお
り、その先端部が無端帯状になった洗浄シート１２の内
部に挿入されている。そして、洗浄シート１２内に位置
する洗浄液噴射管１４の先端部の下側周面には、洗浄シ
ート１２の下端部内周面に向かって洗浄液を噴射する複
数のノズル部（図示せず）が、洗浄液噴射管１４の軸方
向に沿って並んだ状態で設けられている。洗浄液噴射管
１４の各ノズル部は、例えば、それぞれ、０．１ｍｍの
直径であって、０．３ｍｍのピッチで設けられており、
各ノズル部からは、洗浄液噴射管１４に圧力供給される
アルカリ系界面活性剤である洗浄液が、２〜６ kgf／cm
2 の圧力で噴射されるようになっている。Below the support rod 13, a cleaning liquid injection pipe 14 is disposed at an appropriate distance from the support rod 13 and in a horizontal state parallel to the support rod 13. The cleaning liquid injection pipe 14 is configured such that a cleaning liquid composed of an alkaline surfactant is supplied to the inside thereof, and the cleaning liquid injection pipe 14 is inserted into the cleaning sheet 12 having an endless belt shape. A plurality of nozzles (not shown) for jetting the cleaning liquid toward the inner peripheral surface at the lower end portion of the cleaning sheet 12 are provided on the lower peripheral surface of the distal end portion of the cleaning liquid injection tube 14 located in the cleaning sheet 12. The cleaning liquid injection pipes 14 are provided in a state of being arranged along the axial direction. Each nozzle portion of the cleaning liquid injection pipe 14 has, for example, a diameter of 0.1 mm and a pitch of 0.3 mm, respectively.
From each nozzle part, a cleaning liquid, which is an alkaline surfactant, supplied under pressure to the cleaning liquid injection pipe 14 is supplied with 2 to 6 kgf / cm 2.
It is designed to be injected at a pressure of 2 .
【００１７】このような構成のスクライブ洗浄機構で
は、被洗浄物であるスタンパー２０が載置されたターン
テーブル１１が、所定の回転速度で回転されると、洗浄
液噴射管１４内に洗浄液が所定の圧力で供給されて、先
端部のノズル部から洗浄液が、下方の洗浄シート１２の
内周面に向かって噴射される。洗浄液噴射管１４の先端
部から噴射される洗浄液は、無端帯状になった洗浄シー
ト１２の下端部内周面に吹きつけられるために、洗浄シ
ート１２の下端部が下方に押圧され、下方に引っ張られ
る。これにより、洗浄シート１２の下端部は、ターンテ
ーブル１１上に載置されて回転しているスタンパー２０
に、適当な面積で摺接し、回転しているスタンパー２０
の表面が、洗浄液が噴射されて洗浄液が含浸された洗浄
シートによって拭き取られる。従って、スタンパー２０
における微細パターンが形成された表面にこびりついた
汚れが、微細パターンを損傷することなく、洗浄液を含
浸した洗浄シート１２によって、確実に除去される。In the scribe cleaning mechanism having such a configuration, when the turntable 11 on which the stamper 20 to be cleaned is mounted is rotated at a predetermined rotation speed, a predetermined amount of the cleaning liquid is supplied into the cleaning liquid injection pipe 14. The cleaning liquid is supplied under pressure, and the cleaning liquid is sprayed toward the inner peripheral surface of the lower cleaning sheet 12 from the nozzle portion at the front end. The cleaning liquid jetted from the tip of the cleaning liquid jet pipe 14 is sprayed on the inner peripheral surface of the lower end of the endless belt-shaped cleaning sheet 12, so that the lower end of the cleaning sheet 12 is pressed downward and pulled downward. . Thus, the lower end of the cleaning sheet 12 is placed on the turntable 11 and the rotating stamper 20 is rotated.
The stamper 20 which is in sliding contact with an appropriate area and is rotating
Is wiped off by a cleaning sheet that has been sprayed with a cleaning liquid and impregnated with the cleaning liquid. Therefore, the stamper 20
The dirt sticking to the surface on which the fine pattern is formed is reliably removed by the cleaning sheet 12 impregnated with the cleaning liquid without damaging the fine pattern.
【００１８】スタンパー２０の表面が全体にわたって洗
浄シート１２によって洗浄されると、洗浄されたターン
テーブル１１から取り除かれて、新たに洗浄すべきスタ
ンパー２０がターンテーブル１１に載置される。このと
き、支持ロッド１３に巻き掛けられた洗浄シート１２の
上端部が、周回移動されて、スタンパー２０に摺接する
洗浄シート１２の下端部位置が変更される。これによ
り、ターンテーブル１１上に新たに載置されたスタンパ
ー２０の表面は、洗浄に使用されていない新たな洗浄シ
ート１２部分によって洗浄されることになる。When the entire surface of the stamper 20 is cleaned by the cleaning sheet 12, the stamper 20 is removed from the cleaned turntable 11, and the stamper 20 to be newly cleaned is placed on the turntable 11. At this time, the upper end of the cleaning sheet 12 wound around the support rod 13 is moved around, and the position of the lower end of the cleaning sheet 12 that slides on the stamper 20 is changed. Thus, the surface of the stamper 20 newly placed on the turntable 11 is cleaned by the new cleaning sheet 12 that is not used for cleaning.
【００１９】図３は、本発明のスクライブ洗浄機構１０
が使用される光ディスクのスタンパー２０の洗浄システ
ムの構成の一例を示すブロック図である。被洗浄物であ
る光ディスクのスタンパー２０は、ローダー３１によっ
て、搬送装置３２に載置されて、前洗浄である有機溶剤
槽３３に搬送されて有機溶剤洗浄された後に、本発明の
スクライブ洗浄機構１０に搬送されて洗浄される。その
後、搬送装置によって、スタンパー２０が、仕上げ洗浄
槽および乾燥槽が一体化された仕上げ装置３４に搬送さ
れて仕上げ洗浄および乾燥される。そして、最後に、ア
ッシング装置３５に搬送されてアッシングされた後に、
アンローダー３６によって、搬送装置３２から排出され
る。FIG. 3 shows a scribe cleaning mechanism 10 according to the present invention.
1 is a block diagram showing an example of a configuration of a cleaning system for a stamper 20 of an optical disk in which is used. The stamper 20 of the optical disc to be cleaned is placed on the transport device 32 by the loader 31 and transported to the organic solvent tank 33 for pre-cleaning, where the organic solvent cleaning is performed. Is transported and washed. Thereafter, the transfer device transports the stamper 20 to the finishing device 34 in which the finish cleaning tank and the drying tank are integrated, and performs finish cleaning and drying. And finally, after being transported to the ashing device 35 and ashing,
The sheet is discharged from the transfer device 32 by the unloader 36.
【００２０】このように、有機溶剤によって前洗浄され
た全てのスタンパー２０を、連続して、本発明のスクラ
イブ洗浄機構１０によって洗浄するようになっているた
めに、有機溶剤洗浄によって完全に汚れが除去されてい
るかを目視によって外観観察することなく、全てのスタ
ンパー２０を効率よく洗浄することができる。しかも、
スタンパー２０は、搬送装置３２によって、順次、各工
程に搬送されるために、人手によって搬送することによ
る汚れの付着が防止される。As described above, since all the stampers 20 pre-cleaned by the organic solvent are successively cleaned by the scribe cleaning mechanism 10 of the present invention, dirt is completely removed by the organic solvent cleaning. All the stampers 20 can be efficiently cleaned without visually observing the appearance of whether or not they have been removed. Moreover,
Since the stamper 20 is sequentially transported to each step by the transport device 32, adhesion of dirt due to manual transport is prevented.
【００２１】図４は、本発明のスクライブ洗浄機構１０
が使用される光ディスクのスタンパー２０の洗浄システ
ムの構成の他の例を示すブロック図である。この洗浄シ
ステムでは、ローダー３１によって搬送装置３２に移載
されたスタンパー２０が、有機溶剤槽３３にて前洗浄さ
れた後に、洗浄および仕上げ装置３７によって、洗浄
と、仕上げ洗浄および乾燥とが順次、実施される。洗浄
および仕上げ装置３７は、本発明のスクライブ洗浄機構
１０と、仕上げ洗浄および乾燥機構３７ａとが一体的に
設けられており、スクライブ洗浄機構１０のターンテー
ブル１１上に載置されて洗浄シート１２によって洗浄さ
れたスタンパー２０が、ターンテーブル１１上に載置さ
れた状態で、仕上げ洗浄および乾燥機構３７ａによっ
て、仕上げ洗浄および乾燥が、順次、実施される。そし
て、洗浄および仕上げ装置３７によって乾燥されたスタ
ンパー２０は、アッシング装置３５に搬送されてアッシ
ングされ、アンローダー３６によって搬送装置３２から
排出される。FIG. 4 shows a scribe cleaning mechanism 10 according to the present invention.
FIG. 10 is a block diagram showing another example of the configuration of the cleaning system for the stamper 20 of the optical disk in which the stamper 20 is used. In this cleaning system, after the stamper 20 transferred to the transfer device 32 by the loader 31 is pre-cleaned in the organic solvent tank 33, cleaning and finishing cleaning and drying are sequentially performed by the cleaning and finishing device 37. Will be implemented. The cleaning and finishing device 37 is provided integrally with the scribe cleaning mechanism 10 of the present invention and the finish cleaning and drying mechanism 37a. The cleaning and finishing device 37 is placed on the turntable 11 of the scribe cleaning mechanism 10 and the cleaning sheet 12 is used. With the cleaned stamper 20 placed on the turntable 11, the finish cleaning and drying mechanism 37a sequentially performs the finish cleaning and drying. Then, the stamper 20 dried by the cleaning and finishing device 37 is transported to the ashing device 35 for ashing, and is discharged from the transport device 32 by the unloader 36.
【００２２】このように、洗浄および仕上げ装置３７と
して、本発明のスクライブ洗浄機構１０と、そのターン
テーブル１１を利用した仕上げ洗浄および乾燥機構３７
ａとを一体化することにより、構成を著しく簡略化する
ことができる。As described above, as the cleaning and finishing device 37, the scribe cleaning mechanism 10 of the present invention and the finish cleaning and drying mechanism 37 using the turntable 11 are used.
By integrating a with a, the configuration can be significantly simplified.
【００２３】図５は、本発明のスクライブ洗浄機構１０
の実施の形態の他の例を示す概略構成図である。このス
クライブ洗浄機構１０は、無端帯状に構成された洗浄シ
ート１２が、洗浄液供給部１５に支持された洗浄液噴射
管１４に巻き掛けられている。洗浄液噴射管１４の周面
には、洗浄液供給部１５とは反対側に向かって複数のノ
ズル部が軸方向に沿って設けられている。FIG. 5 shows a scribe cleaning mechanism 10 according to the present invention.
FIG. 14 is a schematic configuration diagram showing another example of the embodiment. In the scribe cleaning mechanism 10, a cleaning sheet 12 configured in an endless belt shape is wound around a cleaning liquid jet pipe 14 supported by a cleaning liquid supply unit 15. A plurality of nozzles are provided on the peripheral surface of the cleaning liquid injection pipe 14 along the axial direction toward the side opposite to the cleaning liquid supply unit 15.
【００２４】洗浄液供給部１５は、洗浄液供給チューブ
１５ｂから洗浄液が供給される洗浄液供給管１５ａを有
しており、洗浄液供給管１５ａの先端部に、洗浄液噴射
管１４の長手方向の中央部が直交状態で支持されてい
る。洗浄液供給管１５ａの基端部には、片手で把持でき
る把手部１５ｄが設けられており、また、洗浄液供給管
１５ａの中央部には、洗浄液供給チューブ１５ｂから圧
力供給される洗浄液を、洗浄液供給管１５ａを通して洗
浄液噴射管１４に供給および停止させるトリガー部１５
ｃが設けられている。The cleaning liquid supply section 15 has a cleaning liquid supply pipe 15a to which the cleaning liquid is supplied from a cleaning liquid supply tube 15b. The longitudinal center of the cleaning liquid injection pipe 14 is perpendicular to the tip of the cleaning liquid supply pipe 15a. Supported in state. At the base end of the cleaning liquid supply pipe 15a, a handle 15d that can be gripped by one hand is provided, and at the center of the cleaning liquid supply pipe 15a, the cleaning liquid supplied from the cleaning liquid supply tube 15b is supplied with the cleaning liquid. Trigger section 15 for supplying and stopping cleaning liquid injection pipe 14 through pipe 15a
c is provided.
【００２５】このようなスクライブ洗浄機構１０は、片
手にて洗浄液供給部１５の把手部１５ｄを把持した状態
で、洗浄シート１２が、被洗浄物である光ディスクのス
タンパー２０における微細パターンが形成された表面に
接触するように対向される。このような状態で、トリガ
ー部１５ｃを牽引すると、洗浄液供給チューブ１５ｂか
ら圧力供給される洗浄液が、洗浄液供給管１５ａを通っ
て、洗浄液噴射管１４に供給される。そして、洗浄液噴
射管１４に供給された洗浄液が、各ノズル部から、スタ
ンパー２０に接触した洗浄シート１２の内周面に噴射さ
れ、洗浄シート１２がスタンパー２０に押圧される。こ
のような状態で、洗浄シート１２を、スタンパー２０の
表面に沿って移動させることにより、スタンパー２０の
表面が洗浄シート１２の表面に摺接させると、スタンパ
ー２０の表面に付着したレジスト残渣や乾燥ムラ等の汚
れが、洗浄液が含浸された洗浄シート１２によって除去
される。In such a scribe cleaning mechanism 10, the cleaning sheet 12 has a fine pattern formed on the stamper 20 of the optical disc to be cleaned while the handle 15d of the cleaning liquid supply unit 15 is gripped by one hand. Opposed to contact the surface. In this state, when the trigger portion 15c is pulled, the cleaning liquid supplied from the cleaning liquid supply tube 15b under pressure is supplied to the cleaning liquid injection pipe 14 through the cleaning liquid supply pipe 15a. Then, the cleaning liquid supplied to the cleaning liquid jet pipe 14 is jetted from each nozzle to the inner peripheral surface of the cleaning sheet 12 that has come into contact with the stamper 20, and the cleaning sheet 12 is pressed by the stamper 20. In such a state, the cleaning sheet 12 is moved along the surface of the stamper 20 so that the surface of the stamper 20 slides on the surface of the cleaning sheet 12. Dirt such as unevenness is removed by the cleaning sheet 12 impregnated with the cleaning liquid.
【００２６】なお、本発明の洗浄装置１０は、光ディス
クのスタンパー２０の洗浄の使用に限らず、表面が傷つ
きやすいプラスチック平板等の洗浄にも好適に使用する
ことができる。The cleaning apparatus 10 of the present invention can be suitably used not only for cleaning the stamper 20 of an optical disk but also for cleaning a flat plastic plate whose surface is easily damaged.
【００２７】[0027]
【発明の効果】本発明のスクライブ洗浄機構は、このよ
うに、無端帯状に形成された洗浄シートの内周面に洗浄
液を噴射して、洗浄シートを被洗浄物に押圧するように
なっているために、洗浄液が含浸された洗浄シートによ
って、被洗浄物が効率よく、また、確実に洗浄される。
しかも、洗浄シートは洗浄液によって被洗浄物に押圧さ
れているために、被洗浄物の表面が損傷するようなおそ
れもない。According to the scribing cleaning mechanism of the present invention, the cleaning liquid is sprayed onto the inner peripheral surface of the cleaning sheet formed in an endless band, and the cleaning sheet is pressed against the object to be cleaned. Therefore, the object to be cleaned is efficiently and reliably cleaned by the cleaning sheet impregnated with the cleaning liquid.
Moreover, since the cleaning sheet is pressed against the object to be cleaned by the cleaning liquid, there is no possibility that the surface of the object to be cleaned is damaged.
【図１】本発明のスクライブ洗浄機構の実施の形態の一
例を示す概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an example of an embodiment of a scribe cleaning mechanism of the present invention.
【図２】そのスクライブ洗浄機構を使用して実施される
光ディスクのスタンパーの洗浄工程を示すフローチャー
トである。FIG. 2 is a flowchart showing a step of cleaning a stamper of an optical disc performed using the scribe cleaning mechanism.
【図３】そのスクライブ洗浄機構が使用された光ディス
クのスタンパーの洗浄システムの構成の一例を示すブロ
ック図である。FIG. 3 is a block diagram showing an example of a configuration of a system for cleaning a stamper of an optical disk using the scribe cleaning mechanism.
【図４】そのスクライブ洗浄機構が使用された光ディス
クのスタンパーの洗浄システムの構成の他の例を示すブ
ロック図である。FIG. 4 is a block diagram showing another example of the configuration of a system for cleaning a stamper of an optical disc using the scribe cleaning mechanism.
【図５】本発明のスクライブ洗浄機構の実施の形態のさ
らに他の例を示す概略構成図である。FIG. 5 is a schematic configuration diagram showing still another example of the embodiment of the scribe cleaning mechanism of the present invention.
【図６】従来の光ディスクのスタンパーの洗浄工程を示
すフローチャートである。FIG. 6 is a flow chart showing a conventional optical disc stamper cleaning process.
１０ スクライブ洗浄機構 １１ ターンテーブル １２ 洗浄シート １３ 支持ロッド １４ 洗浄液噴射管 １５ 洗浄液供給部 １５ａ 洗浄液供給管 ２０ スタンパー Reference Signs List 10 scribing cleaning mechanism 11 turntable 12 cleaning sheet 13 support rod 14 cleaning liquid injection pipe 15 cleaning liquid supply section 15a cleaning liquid supply pipe 20 stamper
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−16990（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−177636（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−241880（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−317783（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−168483（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−110968（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−307038（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−130009（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 7/26 B08B 3/02 Continuation of front page (56) References JP-A-60-16990 (JP, A) JP-A-61-177636 (JP, A) JP-A-8-241880 (JP, A) JP-A-5-317783 (JP) JP-A-6-168483 (JP, A) JP-A-7-110968 (JP, A) JP-A-7-307038 (JP, A) JP-A-7-130009 (JP, A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) G11B 7/26 B08B 3/02
Claims (3)
浄シートの外周面が、被洗浄物に接触するように支持さ
れており、被洗浄物に接触した洗浄シートの内周面に、
洗浄液を噴射して洗浄シートの外周面を被洗浄物に押圧
することを特徴とするスクライブ洗浄機構。An outer peripheral surface of a water-containing cleaning sheet formed in an endless belt shape is supported so as to contact an object to be cleaned, and an inner peripheral surface of the cleaning sheet contacting the object to be cleaned is
A scribing cleaning mechanism characterized by spraying a cleaning liquid to press an outer peripheral surface of a cleaning sheet against an object to be cleaned.
れて回転される請求項１に記載のスクライブ洗浄機構。2. The scribe cleaning mechanism according to claim 1, wherein the object to be cleaned is placed on a turntable and rotated.
れるようになった洗浄液噴射管に支持されている請求項
１に記載のスクライブ洗浄機構。3. The scribe cleaning mechanism according to claim 1, wherein the cleaning sheet is supported by a cleaning liquid jet pipe to which a cleaning liquid is supplied under pressure.
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|---|---|---|---|
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