JP3282442B2 - Vibrating gyro - Google Patents
Vibrating gyroInfo
- Publication number
- JP3282442B2 JP3282442B2 JP11238095A JP11238095A JP3282442B2 JP 3282442 B2 JP3282442 B2 JP 3282442B2 JP 11238095 A JP11238095 A JP 11238095A JP 11238095 A JP11238095 A JP 11238095A JP 3282442 B2 JP3282442 B2 JP 3282442B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrating body
- vibrating
- support
- gyroscope
- vibrating gyroscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は振動ジャイロに関し、
特にたとえは、角速度を検知することにより移動体の位
置を検出して適切な誘導を行うナビゲーションシステ
ム、あるいは外的振動を検知して適切な制振を行うヨー
レートセンサなどに応用できる、振動ジャイロである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibrating gyroscope,
Especially, for example, a vibration gyro that can be applied to a navigation system that detects the position of a moving object by detecting angular velocity and performs appropriate guidance, or a yaw rate sensor that detects external vibration and performs appropriate vibration suppression. is there.
【0002】[0002]
【従来の技術】図7(A)は従来の振動ジャイロの一例
を示す斜視図であり、図7(B)はその断面図である。
図8は図7に示す振動ジャイロが屈曲振動している状態
を示す図解図である。振動ジャイロ1は振動子2を含
み、振動子2は振動体3を含む。振動体3は、たとえば
恒弾性金属材料で正3角柱状に形成される。振動体3の
3つの側面には、それぞれ圧電素子4a,4b,4cが
形成される。圧電素子4a,4b,4cは、それぞれ磁
器などからなる圧電層5を含む。そして、圧電層5の両
面に電極6が形成される。これらの電極6の一方が、振
動体3に接着される。さらに、振動体3のノード点付近
の稜線部には、支持部材7が固着される。支持部材7
は、たとえば金属線などで形成され、溶接などにより振
動体3に固着される。この支持部材7はコ字状に形成さ
れ、その両端部が支持台8などに取り付けられる。2. Description of the Related Art FIG. 7A is a perspective view showing an example of a conventional vibrating gyroscope, and FIG. 7B is a sectional view thereof.
FIG. 8 is an illustrative view showing a state in which the vibrating gyroscope shown in FIG. 7 is bending vibrating. The vibrating gyroscope 1 includes a vibrator 2, and the vibrator 2 includes a vibrating body 3. The vibrating body 3 is formed in a regular triangular prism shape using, for example, a constant elastic metal material. Piezoelectric elements 4a, 4b, 4c are formed on three side surfaces of the vibrating body 3, respectively. Each of the piezoelectric elements 4a, 4b, and 4c includes a piezoelectric layer 5 made of porcelain or the like. Then, electrodes 6 are formed on both surfaces of the piezoelectric layer 5. One of these electrodes 6 is adhered to the vibrating body 3. Further, a support member 7 is fixed to a ridge portion near the node point of the vibrating body 3. Support member 7
Is formed of, for example, a metal wire, and is fixed to the vibrating body 3 by welding or the like. The support member 7 is formed in a U-shape, and both ends of the support member 7 are attached to a support base 8 or the like.
【0003】この振動ジャイロ1では、圧電素子4a,
4bと圧電素子4cとの間に発振回路が接続される。こ
の発振回路によって、振動体3は圧電素子4c形成面に
直交する方向に屈曲振動する。この状態で、振動体3の
中心軸を中心として回転すると、コリオリ力によって屈
曲振動の方向が変わる。それによって、圧電素子4a,
4bの出力信号に差が生じる。したがって、圧電素子4
a,4b間の出力信号の差を測定すれば、回転角速度を
検出することができる。In this vibrating gyroscope 1, a piezoelectric element 4a,
An oscillation circuit is connected between 4b and the piezoelectric element 4c. With this oscillation circuit, the vibrating body 3 bends and vibrates in a direction orthogonal to the surface on which the piezoelectric element 4c is formed. In this state, when the vibrating body 3 rotates about the central axis, the direction of the bending vibration changes due to the Coriolis force. Thereby, the piezoelectric elements 4a,
4b produces a difference. Therefore, the piezoelectric element 4
By measuring the difference between the output signals a and 4b, the rotational angular velocity can be detected.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】図7に示すような従来
の振動ジャイロ1では、振動体3が正3角柱状の音片で
形成され、振動体3の自由振動のノード点で屈曲振動す
る。この場合、振動体3は、図8に示すように、2つの
ノード点を中心として屈曲振動し、振動体3のノード点
は、振動体3の長さをLとすると、その両端から0.2
24Lの位置の中心線上に存在する。また、振動体3が
その中心軸を中心にして回転した時に発生するコリオリ
力による変位は、振動体3の自由振動の変位と直交する
方向に発生する。さらに、それらの互いに直交する2つ
の方向に対して、振動体3の支持構造が高い自由度を保
つことで、振動ジャイロ1の感度が高められている。In the conventional vibrating gyroscope 1 as shown in FIG. 7, the vibrating body 3 is formed of a regular triangular prism-shaped sound piece, and flexurally vibrates at a node of free vibration of the vibrating body 3. . In this case, as shown in FIG. 8, the vibrating body 3 bends and vibrates around two node points. When the length of the vibrating body 3 is L, the nodal points of the vibrating body 3 are 0.1 mm from both ends. 2
It is on the center line at the position 24L. Further, the displacement due to the Coriolis force generated when the vibrating body 3 rotates around its central axis occurs in a direction orthogonal to the displacement of the free vibration of the vibrating body 3. Furthermore, the sensitivity of the vibrating gyroscope 1 is enhanced by maintaining a high degree of freedom in the support structure of the vibrating body 3 in the two directions orthogonal to each other.
【0005】これらの一連の理由によって、図7に示す
従来の振動ジャイロ1では、振動体3を支持するための
構造として、振動体3の自由度をできる限り高く保つた
めに、振動体3のノード点付近の稜線部に、金属線から
なるコ字状の支持部材7の中間部を溶接などにより固着
し、さらに、支持部材7の両端部を支持台8に固着する
という、立体的でかつ複雑な支持構造を構成している。
この場合、振動体3は、その長手方向の両側にある2つ
のノード点において支持部材7で支持されている。For a series of these reasons, in the conventional vibrating gyroscope 1 shown in FIG. 7, as a structure for supporting the vibrating body 3, the vibrating body 3 has a high degree of freedom as much as possible. The middle part of the U-shaped support member 7 made of a metal wire is fixed to the ridge near the node point by welding or the like, and both ends of the support member 7 are fixed to the support 8 in a three-dimensional manner. It constitutes a complex support structure.
In this case, the vibrating body 3 is supported by the support member 7 at two node points on both sides in the longitudinal direction.
【0006】図7に示す従来の振動ジャイロ1では、コ
字状の支持部材7がかさばるため、振動ジャイロの小型
化を阻害し、また、別途準備した支持部材7および支持
台8を用いて振動体3を支持するため、それらの材料コ
ストおよびそれらの組み立てコストも高くつき、製造コ
ストの低減化も阻害するものであった。こういった状況
下にある従来の振動ジャイロ1において、小型化を図る
ためには、振動体3の全長Lを短く形成することが考え
られるが、振動体3の全長Lを短く形成すると、振動体
3の自由振動時の振幅が小さくなるため、周波数が大き
くなる。そのため、振動ジャイロを小型化しても、振動
ジャイロ1の感度が低下し、支障をきたす。逆に、振動
ジャイロ1の感度を高めようとすると、振動体3の自由
振動の振幅を大きくするために、振動体3の全長Lを長
く形成する必要があるが、この場合、小型化を阻害する
ものとなる。In the conventional vibrating gyroscope 1 shown in FIG. 7, since the U-shaped supporting member 7 is bulky, the miniaturization of the vibrating gyroscope is hindered, and the vibrating gyroscope is prepared by using the separately prepared supporting member 7 and supporting stand 8. In order to support the body 3, their material costs and their assembling costs are also high, which hinders a reduction in manufacturing costs. In the conventional vibrating gyroscope 1 under such circumstances, it is conceivable to reduce the overall length L of the vibrating body 3 in order to reduce the size. Since the amplitude of the free vibration of the body 3 decreases, the frequency increases. Therefore, even if the vibrating gyroscope is reduced in size, the sensitivity of the vibrating gyroscope 1 is reduced, causing a problem. Conversely, in order to increase the sensitivity of the vibrating gyroscope 1, it is necessary to increase the total length L of the vibrating body 3 in order to increase the amplitude of free vibration of the vibrating body 3. Will do.
【0007】そこで、振動体3の全長Lが同じ場合に
は、周波数が小さくなり、振動ジャイロの感度を高める
ことができ、自由振動時の振動体3の周波数が同じ場合
には、振動体3の全長Lを短くして、小型化が図れる振
動モードを有する振動ジャイロが希求される。Therefore, when the entire length L of the vibrating body 3 is the same, the frequency is reduced, and the sensitivity of the vibrating gyroscope can be increased. When the frequency of the vibrating body 3 at the time of free vibration is the same, Therefore, there is a need for a vibrating gyroscope having a vibration mode in which the overall length L can be shortened and the size can be reduced.
【0008】それゆえに、この発明の主たる目的は、簡
単に製造することができ、高感度でしかも小型化が可能
な振動ジャイロを提供することである。Therefore, a main object of the present invention is to provide a vibrating gyroscope which can be manufactured easily, has high sensitivity and can be miniaturized.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】この発明は、筒状で中空
部を有するとともに屈曲振動をする振動体と、振動体の
軸方向の端部で振動体を支持する支持部とを含み、振動
体と支持部は、前加工材に絞り加工を施すことによって
一体的に形成され、振動体は支持部で片持ち支持され
る、振動ジャイロである。振動体は、有底筒状に形成さ
れてもよい。また、振動体は、多角形筒状に形成しても
よい。さらに、振動体は、円筒状に形成してもよい。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention includes a vibrating body having a cylindrical hollow portion and performing bending vibration and a supporting portion for supporting the vibrating body at an axial end of the vibrating body. The body and the support are integrally formed by subjecting the pre-processed material to drawing, and the vibrating body is a vibrating gyroscope that is cantilevered by the support. The vibrating body may be formed in a bottomed cylindrical shape. The vibration body may be formed in a polygonal cylindrical shape. Furthermore, the vibrating body may be formed in a circular cylindrical shape.
【0010】[0010]
【作用】振動体および振動体を支持する支持部は、絞り
加工により一体的に形成される。振動体は、支持部によ
って、振動体の軸方向の端部で支持されるため、振動体
の自由振動時において、所謂、片持ち支持形(片持ばり
形)の振動モードとなる。そのため、本願発明の振動ジ
ャイロと従来例の振動ジャイロにおいて、振動体の軸方
向の長さが同じ場合、従来の両端支持タイプの振動ジャ
イロよりも、本願発明の振動ジャイロの方が振幅が大き
くなる。したがって、振幅が大きくなることにより、本
願発明の振動ジャイロは、周波数が小さくなり、感度が
高くなる。一方、本願発明の振動ジャイロと従来例の振
動ジャイロにおいて、振動体の自由振動時の周波数が同
じ場合、本願発明の振動ジャイロの方は、片持ち支持形
の振動モードにより振幅が大きくなるので、振動体の軸
方向の長さを従来の両端支持タイプの振動ジャイロより
も短く形成することが可能となり、振動体の小型化が図
られる。The vibrator and the support for supporting the vibrator are integrally formed by drawing. The vibrating body is supported at the axial end of the vibrating body by the support portion, so that when the vibrating body is freely vibrating, the vibration mode is a so-called cantilever support type (cantilever type). Therefore, in the case where the length of the vibrating body in the axial direction is the same between the vibrating gyroscope of the present invention and the vibrating gyroscope of the conventional example, the amplitude of the vibrating gyroscope of the present invention is larger than that of the vibrating gyroscope of the conventional both-end supporting type. . Therefore, by increasing the amplitude, the vibration gyro of the present invention has a lower frequency and a higher sensitivity. On the other hand, in the vibrating gyroscope of the present invention and the vibrating gyroscope of the conventional example, when the frequency at the time of free vibration of the vibrating body is the same, the vibrating gyroscope of the present invention has a larger amplitude due to the vibration mode of the cantilever support type. The length of the vibrating body in the axial direction can be made shorter than that of a conventional double-sided vibrating gyroscope, and the vibrating body can be reduced in size.
【0011】[0011]
【発明の効果】この発明によれば、簡単に製造すること
ができ、高感度でしかも小型化が可能な振動ジャイロが
得られる。According to the present invention, a vibrating gyroscope which can be easily manufactured, has high sensitivity, and can be downsized can be obtained.
【0012】この発明の上述の目的,その他の目的,特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。The above objects, other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of embodiments with reference to the drawings.
【0013】[0013]
【実施例】図1はこの発明の一実施例を示す斜視図であ
り、図2は図1の線II−IIにおける図解図である。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an illustrative view taken along line II-II of FIG.
【0014】この振動ジャイロ10は、振動子12を含
み、振動子12は振動体14を含む。この振動体14
は、たとえば恒弾性材料などで、有底の正3角筒状に形
成される。この場合、振動体14は、その軸方向の一端
から他端側に所定の長さ分だけ、正3角柱状の中空部1
6を有している。また、振動体14の軸方向の一端部に
は、振動体14を支持するための支持部18が振動体1
4と一体的に形成される。振動体14と支持部18と
は、たとえば恒弾性材料などで一体的に形成される。支
持部18は、3つの支持片20a,20b,20cと1
つの支持環体22とで構成される。The vibrating gyroscope 10 includes a vibrator 12, and the vibrator 12 includes a vibrator 14. This vibrator 14
Is, for example, made of a constant elastic material and is formed in a bottomed regular triangular cylindrical shape. In this case, the vibrating body 14 has a regular triangular prism-shaped hollow portion 1 extending from one end in the axial direction to the other end by a predetermined length.
6. At one end of the vibrating body 14 in the axial direction, a supporting portion 18 for supporting the vibrating body 14 is provided.
4 and are formed integrally. The vibrating body 14 and the support portion 18 are integrally formed of, for example, a constant elastic material. The support portion 18 includes three support pieces 20a, 20b, 20c and 1
And two support rings 22.
【0015】すなわち、振動体14には、その軸方向の
一端の3つの周縁部から外方に直角に延びて、矩形板状
の3つの支持片20a,20bおよび20cがそれぞれ
形成される。さらに、3つの支持片20,20bおよび
20cの先端部の周辺は、1つの支持環体22によっ
て、取り囲まれる。この実施例では、支持環体22は、
たとえば円板リングで形成され、3つの支持片20a,
20bおよび20cと一体的に形成される。That is, the vibrating body 14 is formed with three rectangular plate-shaped support pieces 20a, 20b and 20c extending outwardly at right angles from three peripheral edges at one end in the axial direction. Further, the periphery of the tip of each of the three support pieces 20, 20 b and 20 c is surrounded by one support ring 22. In this embodiment, the support ring 22 is
For example, it is formed of a disk ring and has three support pieces 20a,
It is formed integrally with 20b and 20c.
【0016】振動体14およびその振動体14と一体的
に形成される支持部18は、たとえば絞り加工によって
製造される。この実施例では、たとえば図3に示すよう
な前加工材(ブランク)24に絞り加工を施すことによ
って、振動体14および支持部18が一体的に形成され
る。この場合、前加工材24は、たとえば円板状の振動
体形成部26を含む。振動体形成部26の円周部には、
同じ間隔を隔てた部位に、3つの矩形板状の支持片形成
部28a,28bおよび28cが突き出し設けられる。
さらに、3つの支持片形成部28a,28bおよび28
cの周囲には、それらを取り囲むようにして、1つのた
とえばリング状の支持環体形成部30が形成される。1
つの振動体形成部26と3つの支持片形成部28,28
bおよび28cと1つの支持環体形成部30とは、恒弾
性材料などで一体的に形成される。そして、この前加工
材24の振動体形成部26の中心部に、絞り加工を施す
ことによって、振動体14および支持部18が一体的に
製造される。The vibrating body 14 and the support 18 formed integrally with the vibrating body 14 are manufactured by, for example, drawing. In this embodiment, for example, the vibrating body 14 and the support portion 18 are integrally formed by drawing a pre-processed material (blank) 24 as shown in FIG. In this case, the pre-processed material 24 includes, for example, a disk-shaped vibrating body forming portion 26. In the circumferential portion of the vibrating body forming portion 26,
Three rectangular plate-shaped support piece forming portions 28a, 28b, and 28c are protrudingly provided at the same intervals.
Further, the three support piece forming portions 28a, 28b and 28
A single support ring forming portion 30, for example, in the form of a ring is formed around c around them. 1
Vibrating body forming portions 26 and three support piece forming portions 28, 28
b and 28c and one support ring forming portion 30 are integrally formed of a constant elastic material or the like. Then, the vibrating body 14 and the supporting portion 18 are integrally manufactured by subjecting the center portion of the vibrating body forming portion 26 of the pre-processed material 24 to drawing.
【0017】一方、振動体12の3つの側面には、圧電
素子32a,32bおよび32cが形成される。圧電素
子32aは、たとえばセラミックスからなる圧電体層3
4aを含み、この圧電体層34aの両面に電極36a,
38aが形成される。そして、一方の電極36aが、振
動体14の1つの側面に接着される。同様に、圧電素子
32b,32cは、それぞれ、圧電体層34b,34c
を含む。そして、圧電体層34bの両面に電極36b,
38bが形成され、圧電体層34cの両面に電極36
c,38cが形成される。これらの圧電素子32b,3
2cの一方の電極36b,36cが、振動体14の他の
2つの側面に接着される。On the other hand, piezoelectric elements 32a, 32b and 32c are formed on three side surfaces of the vibrating body 12. The piezoelectric element 32a includes a piezoelectric layer 3 made of, for example, ceramics.
4a, electrodes 36a,
38a are formed. Then, one electrode 36a is bonded to one side surface of the vibrating body 14. Similarly, the piezoelectric elements 32b and 32c respectively include the piezoelectric layers 34b and 34c
including. Then, electrodes 36b, on both surfaces of the piezoelectric layer 34b,
38b are formed, and electrodes 36 are formed on both surfaces of the piezoelectric layer 34c.
c, 38c are formed. These piezoelectric elements 32b, 3
One electrode 36b, 36c of 2c is bonded to the other two side surfaces of the vibrating body 14.
【0018】このようにして形成された振動子12は、
図4および図5に示すように、たとえば合成樹脂からな
る円筒形の保持部材40によって保持される。この場
合、振動子12は、その軸方向の一端側が保持部材40
により保持されるため、この実施例の振動ジャイロ10
の振動モードは、所謂、片持ちはり形(片持ち支持形)
の振動モードとなる。The vibrator 12 thus formed is
As shown in FIGS. 4 and 5, for example, it is held by a cylindrical holding member 40 made of a synthetic resin. In this case, one end of the vibrator 12 in the axial direction is
The vibrating gyroscope 10 of this embodiment
Vibration mode is the so-called cantilever type (cantilever support type)
Vibration mode.
【0019】この振動ジャイロ10では、圧電素子32
a,32bと32cとの間に、発振回路(図示せず)が
接続される。この発振回路によって、振動体14は、圧
電素子32cが形成されている面に直交する方向に屈曲
振動する。この状態で、振動体14がその中心軸を中心
に回転すると、振動体14にコリオリ力が働き、屈曲振
動の方向が変わる。そのために、圧電素子32aと圧電
素子32bとの出力信号に差が生じ、これらの出力信号
の差を測定することによって、回転角速度を検出するこ
とができる。In the vibrating gyroscope 10, the piezoelectric element 32
An oscillation circuit (not shown) is connected between a, 32b and 32c. With this oscillation circuit, the vibrating body 14 bends and vibrates in a direction orthogonal to the surface on which the piezoelectric element 32c is formed. In this state, when the vibrating body 14 rotates around its central axis, Coriolis force acts on the vibrating body 14 to change the direction of bending vibration. For this reason, a difference occurs between the output signals of the piezoelectric element 32a and the piezoelectric element 32b. By measuring the difference between these output signals, the rotational angular velocity can be detected.
【0020】この振動ジャイロ10では、片持ち支持
(片持ばり形)の振動モードとなるため、図7および図
8に示す従来の振動ジャイロ1のように、両端支持形の
振動モードに近いものと比べて、変位量が大きくなる。
この場合、振動体14の軸方向の長さが同じであれば、
図7および図8に示す従来の振動ジャイロ1よりも、図
1,図2,図4および図5に示す本実施例の振動ジャイ
ロ10の方が振幅が大きくなる。そのため、この実施例
の振動ジャイロ10では、周波数が小さくなり、感度が
高くなる。Since the vibrating gyroscope 10 is in a cantilevered (cantilevered) vibration mode, it is similar to a vibration mode of a both-ends supporting type like the conventional vibrating gyroscope 1 shown in FIGS. The displacement amount becomes larger as compared with.
In this case, if the length of the vibrating body 14 in the axial direction is the same,
The vibration gyro 10 of the present embodiment shown in FIGS. 1, 2, 4 and 5 has a larger amplitude than the conventional vibration gyro 1 shown in FIGS. 7 and 8. Therefore, in the vibration gyro 10 of this embodiment, the frequency is reduced and the sensitivity is increased.
【0021】また、従来の振動ジャイロ1および本実施
例の振動ジャイロ10の振動体の自由振動時における共
振周波数が同じであれば、言い換えると、同一感度であ
れば、本実施例の振動ジャイロ10の方が従来の振動ジ
ャイロ1よりも、振動体の軸方向の長さを短く形成する
ことができる。そのため、この実施例の振動ジャイロ1
0では、小型化が可能となる。この場合、発明者の実験
によれば、振動体の軸方向の長さを従来の1/4とする
ことができる。If the resonance frequency of the vibrating body of the conventional vibrating gyroscope 1 and that of the vibrating gyroscope 10 of the present embodiment at the time of free vibration are the same, in other words, if the sensitivity is the same, the vibrating gyroscope 10 of the present embodiment is used. In this case, the length of the vibrating body in the axial direction can be made shorter than in the conventional vibrating gyroscope 1. Therefore, the vibrating gyroscope 1 of this embodiment
At 0, downsizing is possible. In this case, according to the experiment of the inventor, the axial length of the vibrating body can be reduced to 1 / of the conventional length.
【0022】さらに、この振動ジャイロ10では、図7
および図8に示すような複雑であって形成しにくい振動
体の支持構造を有する従来例とは異なり、振動体14お
よび支持部18が絞り加工などによって一体的に形成さ
れるため、製造が簡単となり、製造コストの低減化が図
れる。言い換えると、本願発明にかかる振動ジャイロで
は、図7および図8に示す従来の振動ジャイロ1のよう
に、別途、振動体を支持する支持部材を準備し、それを
振動体に取り付けるといった製造工程を省くことができ
る。Further, in this vibrating gyroscope 10, FIG.
Unlike the conventional example having a complicated and difficult-to-form vibrating body support structure as shown in FIG. 8, the vibrating body 14 and the supporting portion 18 are integrally formed by drawing or the like, so that the manufacturing is simple. Thus, the manufacturing cost can be reduced. In other words, in the vibrating gyroscope according to the present invention, as in the conventional vibrating gyroscope 1 shown in FIGS. 7 and 8, a manufacturing process of separately preparing a supporting member for supporting the vibrating body and attaching it to the vibrating body is performed. Can be omitted.
【0023】図6はこの発明の他の実施例を示す斜視図
である。図6に示す実施例の振動ジャイロ10では、上
述の実施例の振動ジャイロと比べて、特に、圧電素子3
2a,32bおよひ32cの形成位置が相違する。すな
わち、図1,図2および図4などに示す振動ジャイロで
は、3つの圧電素子32a,32bおよび32cが振動
体14の3つの側面にそれぞれ形成されたが、図6に示
す振動ジャイロ10では、3つの圧電素子32a,32
bおよび32cが振動体14の支持部18の3つの支持
片20a,20bおよび20cの上面にそれぞれ形成さ
れている。図6に示す実施例の振動ジャイロ10におい
ても、上述の実施例と同様の作用・効果を有する。FIG. 6 is a perspective view showing another embodiment of the present invention. The vibration gyro 10 of the embodiment shown in FIG.
The formation positions of 2a, 32b and 32c are different. That is, in the vibrating gyroscope shown in FIGS. 1, 2, and 4, etc., three piezoelectric elements 32a, 32b, and 32c are formed on three side surfaces of the vibrating body 14, respectively. However, in the vibrating gyroscope 10 shown in FIG. Three piezoelectric elements 32a, 32
b and 32c are formed on the upper surfaces of the three support pieces 20a, 20b and 20c of the support portion 18 of the vibrating body 14, respectively. The vibrating gyroscope 10 of the embodiment shown in FIG. 6 has the same operation and effect as the above-described embodiment.
【0024】上述の各実施例では、絞り加工により形成
される振動体の形状は、正3角筒状に限らず、たとえば
4角筒状および6角筒状など他の多角形筒状に形成され
てもよく、また、円筒状に形成されてもよい。この場
合、貫通孔の形状は、正3角柱状に限らず、4角柱状な
ど他の多角形柱状に形成してもよく、また、円筒状に形
成されてもよい。In each of the above-described embodiments, the shape of the vibrating body formed by drawing is not limited to a regular triangular cylinder, but may be other polygonal cylinders such as a quadrangular cylinder and a hexagonal cylinder. And may be formed in a cylindrical shape. In this case, the shape of the through-hole is not limited to a regular triangular prism, but may be a polygonal prism such as a quadrangular prism, or a cylindrical shape.
【0025】また、上述の各実施例では、振動体14が
有底筒状に形成されたが、振動体14は、その軸方向の
一端から他端に貫通する貫通孔で中空部16を形成する
ようにしたものであってもよい。In each of the above embodiments, the vibrating body 14 is formed in a cylindrical shape with a bottom. However, the vibrating body 14 forms a hollow portion 16 with a through hole penetrating from one end to the other end in the axial direction. It may be configured to do so.
【0026】なお、上述の各実施例では、支持部を構成
する支持片が矩形板状に形成されているが、矩形板状に
限定されるものではなく、円柱状など他の形状に形成さ
れてもよい。さらに、上述の各実施例では、支持部を構
成する支持環体が円板リング状に形成されているが、支
持環体は、円板リング状に限定されるものではなく、た
とえば矩形枠状など他の環状体に形成されてもよい。In each of the above-described embodiments, the support piece constituting the support portion is formed in a rectangular plate shape. However, the present invention is not limited to the rectangular plate shape, but may be formed in another shape such as a column shape. You may. Further, in each of the above-described embodiments, the support ring constituting the support portion is formed in a disk ring shape. However, the support ring is not limited to the disk ring shape, and may be, for example, a rectangular frame shape. For example, it may be formed in another annular body.
【図1】この発明の一実施例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the present invention.
【図2】図1の線II−IIにおける断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II in FIG.
【図3】図1および図2に示す実施例の振動ジャイロの
振動体の製造方法の一例を示す図解図である。FIG. 3 is an illustrative view showing one example of a method of manufacturing a vibrating body of the vibrating gyroscope of the embodiment shown in FIGS. 1 and 2;
【図4】図1および図2に示す振動ジャイロを支持する
方法を示す一部切欠き斜視図である。FIG. 4 is a partially cutaway perspective view showing a method of supporting the vibrating gyroscope shown in FIGS. 1 and 2;
【図5】図4の線V−Vにおける断面図である。FIG. 5 is a sectional view taken along line VV in FIG. 4;
【図6】この発明の他の実施例を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing another embodiment of the present invention.
【図7】(A)は従来の振動ジャイロの一例を示す斜視
図であり、(B)はその断面図である。FIG. 7A is a perspective view showing an example of a conventional vibrating gyroscope, and FIG. 7B is a sectional view thereof.
【図8】図7に示す振動ジャイロが屈曲振動している状
態を示す図解図である。FIG. 8 is an illustrative view showing a state in which the vibrating gyroscope shown in FIG. 7 is bending vibrating;
10 振動ジャイロ 12 振動子 14 振動体 16 中空部 18 支持部 20a,20b,20c 支持片 22 支持環体 24 前加工材(ブランク) 32a,32b,32c 圧電素子 34a,34b,34c 圧電体層 36a,36b,36c,38a,38b,38c 電
極 40 保持部材DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Vibration gyroscope 12 Vibrator 14 Vibrating body 16 Hollow part 18 Support part 20a, 20b, 20c Support piece 22 Support ring 24 Pre-processed material (blank) 32a, 32b, 32c Piezoelectric element 34a, 34b, 34c Piezoelectric layer 36a, 36b, 36c, 38a, 38b, 38c Electrode 40 Holding Member
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−61613(JP,A) 特開 平2−290171(JP,A) 特開 昭56−87823(JP,A) 特開 平5−240648(JP,A) 実開 昭62−119099(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01C 19/56 G01P 9/04 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-60-61613 (JP, A) JP-A-2-290171 (JP, A) JP-A-56-87823 (JP, A) JP-A-5-1987 240648 (JP, A) Japanese Utility Model 62-119099 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G01C 19/56 G01P 9/04
Claims (4)
をする振動体、および 前記振動体の軸方向の端部で前記振動体を支持する支持
部を含み、 前記振動体と前記支持部は、前加工材に絞り加工を施す
ことによって一体的に形成され、前記振動体は前記支持
部で片持ち支持される、振動ジャイロ。1. A bending vibration having a cylindrical hollow portion.
A vibrating body that supports the vibrating body at an axial end of the vibrating body, wherein the vibrating body and the supporting part are integrally formed by performing drawing on a pre-processed material. A vibrating gyroscope, wherein the vibrating body is cantilevered by the support portion.
求項1に記載の振動ジャイロ。2. The vibrating gyroscope according to claim 1, wherein said vibrating body is formed in a bottomed cylindrical shape.
請求項1または請求項2に記載の振動ジャイロ。3. The vibrating body is formed in a polygonal cylindrical shape.
The vibrating gyroscope according to claim 1 .
項1または請求項2に記載の振動ジャイロ。Wherein said vibrating body is formed into a cylindrical shape, wherein
The vibrating gyroscope according to claim 1 or 2.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11238095A JP3282442B2 (en) | 1995-04-12 | 1995-04-12 | Vibrating gyro |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11238095A JP3282442B2 (en) | 1995-04-12 | 1995-04-12 | Vibrating gyro |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08285606A JPH08285606A (en) | 1996-11-01 |
JP3282442B2 true JP3282442B2 (en) | 2002-05-13 |
Family
ID=14585235
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11238095A Expired - Fee Related JP3282442B2 (en) | 1995-04-12 | 1995-04-12 | Vibrating gyro |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3282442B2 (en) |
-
1995
- 1995-04-12 JP JP11238095A patent/JP3282442B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08285606A (en) | 1996-11-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5430342A (en) | Single bar type vibrating element angular rate sensor system | |
JP2780643B2 (en) | Vibrating gyro | |
US4611490A (en) | Angular acceleration sensor | |
EP0706030B1 (en) | Bearing sensor and bearing-distance sensor | |
JPH08278146A (en) | Vibrating gyro | |
JP2000074673A (en) | Compound movement sensor | |
JP3282442B2 (en) | Vibrating gyro | |
JPH0989569A (en) | Vibrating gyro | |
JPH09166445A (en) | Angular velocity sensor | |
JPH08247770A (en) | Vibration gyroscope | |
EP0563762B1 (en) | Vibratory gyroscope with piezoelectric elements in vicinities of nodal points | |
EP0684450B1 (en) | Supporting structure of vibrator | |
JPH02228518A (en) | Support structure of vibrator | |
JPH0326411Y2 (en) | ||
JP2575304Y2 (en) | Vibrator support and vibrator | |
JPH06174474A (en) | Support structure for vibrator | |
JPH10160481A (en) | Angular velocity sensor | |
JPH09287956A (en) | Angular velocity sensor | |
JP3407635B2 (en) | Vibrator for vibrating gyroscope | |
JPH08327369A (en) | Angular velocity sensor | |
JPH1194558A (en) | Oscillation gyro | |
JPH10160480A (en) | Angular velocity sensor | |
JPH08304078A (en) | Angular speed sensor | |
JPH08271266A (en) | Electrode structure of angular velocity sensor | |
JPH08201067A (en) | Angular speed sensor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090301 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090301 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100301 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110301 Year of fee payment: 9 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |