JP3277446B2 - Manufacturing method of liquid crystal display device - Google Patents

Manufacturing method of liquid crystal display device

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JP3277446B2
JP3277446B2 JP13358295A JP13358295A JP3277446B2 JP 3277446 B2 JP3277446 B2 JP 3277446B2 JP 13358295 A JP13358295 A JP 13358295A JP 13358295 A JP13358295 A JP 13358295A JP 3277446 B2 JP3277446 B2 JP 3277446B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、複数の液晶駆動用素子
が形成された駆動側基板と、複数の対向電極が形成され
た対向側基板とをコモン剤およびシール剤を介して重ね
合わせた後、各基板を分割して個々の液晶パネル部品を
形成する液晶表示装置の製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a driving substrate on which a plurality of liquid crystal driving elements are formed, and an opposing substrate on which a plurality of opposing electrodes are formed, which are superposed via a common agent and a sealant. Thereafter, the present invention relates to a method of manufacturing a liquid crystal display device in which each substrate is divided to form individual liquid crystal panel components.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示装置の製造においては、基板の
分割を行った後に重ね合わせを行ういわゆる単個組立て
方式と、基板の重ね合わせを行った後に分割を行ういわ
ゆる面面組立て方式とがある。いわゆる単個組立て方式
の場合には、先ず、ガラス基板に液晶駆動用の薄膜トラ
ンジスタ等をマトリクス状に形成し(以下、マトリクス
状に形成した薄膜トランジスタ等を単にTFTと言
う。)、ダイシング等の手段で単個に分割し、配向膜の
塗布およびラビング処理と洗浄を施し、コモン剤の塗布
を行い、次いで、他のガラス基板に対向電極およびカラ
ーフィルタ等を形成し、配向膜の塗布およびラビング処
理と洗浄を施した後、個々の基板にシール剤を塗布し、
双方を重ね合わせて液晶パネル部品を形成している。
2. Description of the Related Art In the manufacture of liquid crystal display devices, there are a so-called single-assembly method in which substrates are divided and then superposed, and a so-called surface-assembly method in which substrates are divided and then divided. . In the case of the so-called single-assembly method, first, a thin film transistor or the like for driving a liquid crystal is formed in a matrix on a glass substrate (hereinafter, the thin film transistor or the like formed in a matrix is simply referred to as a TFT), and dicing or the like. Divide into single pieces, apply the alignment film and rubbing and cleaning, apply the common agent, then form the counter electrode and color filter on another glass substrate, apply the alignment film and rubbing After cleaning, apply sealant to each substrate,
The liquid crystal panel components are formed by overlapping both.

【0003】また、いわゆる面面組立て方式の場合に
は、先ず、分割する前のガラス基板に複数のTFTを形
成し、配向膜の塗布およびラビング処理と洗浄、コモン
剤の塗布を施し、次いで、分割する前の他のガラス基板
に対向電極、カラーフィルタおよび配向膜の塗布および
ラビング処理と洗浄、シール剤の塗布を施し、各ガラス
基板を重ね合わせた後に分割して個々の液晶パネル部品
を形成している。
In the case of a so-called surface assembly method, first, a plurality of TFTs are formed on a glass substrate before being divided, an alignment film is applied, rubbed and washed, and a common agent is applied. Applying a counter electrode, a color filter and an alignment film, rubbing and cleaning, and applying a sealant to the other glass substrate before dividing, and after dividing each glass substrate, dividing and forming individual liquid crystal panel parts are doing.

【0004】このような液晶表示装置の製造方法のう
ち、いわゆる面面組立て方式においては、TFT等の素
子を静電気ダメージから保護するため全端子ショートに
して製造したり、ガラス基板の全素子に対してポリイミ
ド等から成る配向膜ロールコートで塗布し、ラビング
処理を行うことから配向膜の均一化および配向性の向
上、ごみ付着低減等を図ることができる。
Among the methods for manufacturing such a liquid crystal display device, in a so-called surface assembly method, all terminals are short-circuited in order to protect an element such as a TFT from electrostatic damage, or all elements on a glass substrate are manufactured. By applying an alignment film made of polyimide or the like by roll coating and performing a rubbing process, it is possible to make the alignment film uniform, improve the alignment property, reduce the adhesion of dust, and the like.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、各ガラ
ス基板を重ね合わせた後に分割する液晶表示装置の製造
方法では、重ね合わせた後の基板分割を行うにあたり、
各TFTの境界および各カラーフィルタの境界に沿って
スクライブブレークを行っているため、ブレークの際の
外力によるダメージや、ガラス基板の欠け、割れ、シー
ル剤の信頼性低下等が問題となっている。
However, in the method of manufacturing a liquid crystal display device in which each glass substrate is divided after being superposed, the method of dividing the substrates after the superposition is performed.
Since the scribe break is performed along the boundaries between the TFTs and the boundaries between the color filters, damage due to external force at the time of the break, chipping and cracking of the glass substrate, reduction in the reliability of the sealant, and the like have become problems. .

【0006】このため、各ガラス基板を重ね合わせた後
にフルカットダイシングを行うようにすれば、ブレーク
の必要もなく、その際のガラス基板の欠けや割れ、シー
ル剤の信頼性低下等の問題を解消できると考えられる。
しかし、各ガラス基板を重ね合わせた状態でフルカット
ダイシングを行うことは、ダイシングブレードへ多大な
負荷が加わり、正確に切断するのは非常に困難である。
また、ダイシングブレードの寿命低下を招くことにもな
る。
For this reason, if full-cut dicing is performed after each glass substrate is superimposed, there is no need for a break, and problems such as chipping or cracking of the glass substrate and reduction in reliability of the sealant at that time are eliminated. It can be resolved.
However, performing full cut dicing in a state where the glass substrates are superimposed imposes a large load on the dicing blade, and it is very difficult to cut accurately.
In addition, the life of the dicing blade is shortened.

【0007】さらに、フルカットダイシングを行うと、
この際に必要となる切削水がシール剤の液晶注入口から
シール剤の枠内に侵入することになり、ギャップ内部の
TFTやカラーフィルタ等の素子へ悪影響を与えること
になる。よって、本発明は、生産性良くしかも正確に基
板を分割できる液晶表示装置の製造方法を提供すること
を目的とする。
Further, when full cut dicing is performed,
The cutting water required at this time enters into the frame of the sealant from the liquid crystal injection port of the sealant, and adversely affects elements such as TFTs and color filters inside the gap. Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a liquid crystal display device that can divide a substrate accurately and with good productivity.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明上記の目的を達
成するために成された液晶表示装置の製造方法である。
すなわち、本発明は、複数の液晶駆動用素子が形成され
た駆動側基板と、複数の対向電極が形成された対向側基
板とを重ね合わせた後、各基板を分割することによって
個々の液晶パネル部品を形成する液晶表示装置の製造方
法であり、先ず、駆動側基板または対向側基板の一方に
おける各液晶駆動用素子または各対向電極の周囲に、液
晶の注入口を備えた液晶シール剤を各々塗布するととも
に、複数の液晶シール剤が並ぶ領域の最外周を囲む状態
で外周シール剤を塗布する。次に、コモン剤を塗布した
駆動側基板と対向側基板とを液晶シール剤および外周シ
ール剤を介して重ね合わせた状態で、対向側基板にダイ
シングテープを貼り付け、駆動側基板の各液晶駆動用素
子の境界に沿った切断溝を基板の厚さ方向の途中まで入
た後駆動側基板にダイシングテープを貼り付け、対
向側基板に貼り付けたダイシングテープを介して対向側
基板の各対向電極の境界に沿った切断溝を基板の厚さ方
向の途中まで入れ、その後、対向側基板のダイシングテ
ープを介して駆動側基板と対向側基板とに各々外力を加
えて切断溝の位置で分割して個々の液晶パネル部品を形
成する。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is a method for manufacturing a liquid crystal display device which has been made to achieve the above object.
That is, the present invention provides an individual liquid crystal panel by stacking a driving substrate on which a plurality of liquid crystal driving elements are formed and an opposing substrate on which a plurality of opposing electrodes are formed, and then dividing each substrate. A method of manufacturing a liquid crystal display device for forming parts, first, a liquid crystal sealant having a liquid crystal injection port is provided around each liquid crystal driving element or each counter electrode on one of a driving side substrate and a counter side substrate. At the same time, the outer periphery sealing agent is applied in a state surrounding the outermost periphery of the region where the plurality of liquid crystal sealing agents are arranged. Next, in a state where the driving-side substrate coated with the common agent and the opposing-side substrate are overlapped with each other via the liquid crystal sealing agent and the outer peripheral sealing agent , the die is mounted on the opposing-side substrate.
Affix a dicing tape to the drive-side substrate after attaching a cutting groove along the boundary of each liquid crystal drive element on the drive-side substrate halfway in the thickness direction of the substrate.
Opposite side via dicing tape stuck on opposite side substrate
Cut the groove along the boundary of each counter electrode of the substrate in the thickness direction of the substrate.
Halfway in the direction, and then dicing
An external force is applied to each of the driving-side substrate and the opposing-side substrate via the loop to divide the liquid crystal panel component at the position of the cutting groove to form individual liquid crystal panel components.

【0009】[0009]

【作用】本発明では、駆動側基板または対向側基板の一
方における各液晶駆動用素子または各対向電極の周囲
に、液晶の注入口を備えた液晶シール剤を各々塗布する
とともに、複数の液晶シール剤が並ぶ領域の最外周を囲
む状態で外周シール剤を塗布している。このため、複数
の液晶シール剤が並ぶ領域は、外周シール剤によって閉
じた状態となる。さらに、この液晶シール剤と外周シー
ル剤とを介して駆動側基板と対向側基板との重ね合わせ
により構成される各液晶シール剤内側の液晶注入空間
は、外周シール剤よりも外側の空間に対して密閉される
状態となる。
According to the present invention, a liquid crystal sealing agent having a liquid crystal injection port is applied to the periphery of each liquid crystal driving element or each counter electrode on one of the driving side substrate and the opposite side substrate, and a plurality of liquid crystal sealing agents are provided. The outer periphery sealing agent is applied so as to surround the outermost periphery of the region where the agents are arranged. For this reason, the area where a plurality of liquid crystal sealants are arranged is closed by the outer peripheral sealant. Furthermore, the liquid crystal injection space inside each liquid crystal sealant, which is formed by overlapping the drive side substrate and the opposing side substrate via the liquid crystal sealant and the outer peripheral sealant, with respect to the space outside the outer peripheral sealant. To be sealed.

【0010】また、駆動側基板と対向側基板とを重ね合
わせた状態で、各液晶駆動用素子の境界および各対向基
板の境界に沿った切断溝を各基板の厚さ方向の途中まで
入れ、その後、駆動側基板と対向側基板とにダイシング
テープを介して各々外力を加えてこの切断溝の位置で分
割している。つまり、各基板の厚さ方向の途中まで切断
溝を形成する方が、2枚の基板をフルカットダイシング
する場合に比べて切削力が小さくて済み、また、この切
断溝に各々外力を加えて分割する方が、各基板をスクラ
イブブレークする場合に比べて小さな力で基板を分割す
ることができるようになる。さらに、ダイシングテープ
を介して基板を分割するため、分割の際、駆動側基板や
対向側基板の表面への傷付きやごみ付着を防止できるよ
うになる。
Further, in a state where the driving side substrate and the opposing side substrate are superimposed, cutting grooves along the boundaries between the liquid crystal driving elements and the boundaries between the opposing substrates are formed halfway in the thickness direction of each substrate. After that, dicing is performed on the driving side substrate and the opposite side substrate.
An external force is applied via a tape to divide at the position of the cut groove. In other words, forming a cutting groove halfway in the thickness direction of each substrate requires less cutting force than in the case of full-cut dicing of two substrates, and applying an external force to each of the cutting grooves. Dividing the substrate makes it possible to divide the substrate with a smaller force than when scribing each substrate. Furthermore, dicing tape
The substrate is divided via the
This prevents scratches and dust from adhering to the surface of the opposing substrate.
Swell.

【0011】[0011]

【実施例】以下に、本発明の液晶表示装置の製造方法に
おける実施例を図に基づいて説明する。図1〜図3は本
発明の液晶表示装置の製造方法を順に説明する模式断面
図である。また、図4は本発明の特徴点の一つである外
周シール剤の印刷例を説明する模式平面図である。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view of a liquid crystal display according to an embodiment of the present invention; 1 to 3 are schematic sectional views for sequentially explaining a method for manufacturing a liquid crystal display device of the present invention. FIG. 4 is a schematic plan view illustrating a printing example of the outer peripheral sealant, which is one of the features of the present invention.

【0012】すなわち、本発明の液晶表示装置の製造方
法は、複数のTFT11が形成された駆動側基板1と、
複数のカラーフィルタ21や対向電極(図示せず)が形
成された対向側基板2とを重ね合わせ、その後、各基板
を分割することによって液晶表示装置の主要部品である
液晶パネル部品10を複数個形成する方法である。
That is, the method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention comprises the steps of:
A plurality of the liquid crystal panel components 10, which are main components of the liquid crystal display device, are formed by overlapping the opposing substrate 2 on which a plurality of color filters 21 and opposing electrodes (not shown) are formed, and then dividing each substrate. It is a method of forming.

【0013】先ず、図1(a)に示すコモン電極塗布工
程として、駆動側基板1に対してコモン電極13を塗布
する処理を行う。この駆動側基板1は、例えば、6〜8
インチ径で0.8mm厚の石英ガラス板に複数のTFT
11およびポリイミド等から成る配向膜12(例えば、
30〜50nm厚)が形成され、ラビング処理と洗浄が
施されたたものであり、コモン電極13としては各TF
T11に対応して印刷塗布される。
First, as a common electrode application step shown in FIG. 1A, a process of applying a common electrode 13 to the driving substrate 1 is performed. The drive-side substrate 1 has, for example, 6 to 8
Multiple TFTs on a 0.8 mm thick quartz glass plate
11 and an alignment film 12 made of polyimide or the like (for example,
(Thickness of 30 to 50 nm), and subjected to rubbing treatment and cleaning.
Print coating is performed in accordance with T11.

【0014】次に、図1(b)に示すシール印刷工程と
して、対向側基板2に対して液晶シール剤23および外
周シール剤24を印刷塗布する処理を行う。対向側基板
2は、例えば、6〜8インチ角または6〜8インチ径で
1.1mm厚のほうけい酸ガラス板に図示しない対向電
極である透明電極(例えば、ITO電極)やカラーフィ
ルタ、ポリイミド等から成る配向膜22(例えば、30
〜50nm厚)が形成され、ラビング処理と洗浄が施さ
れたものである。この対向側基板2に印刷塗布する液晶
シール剤23は、後の処理において駆動側基板1と対向
側基板2との間に注入する液晶を封止するため各カラー
フィルタ21および配向膜22の周りを囲む状態に印刷
され、各々所定の位置に液晶の注入口23aを備えてい
る。
Next, as a seal printing process shown in FIG. 1B, a process of printing and applying a liquid crystal sealant 23 and an outer peripheral sealant 24 to the opposing substrate 2 is performed. The opposing substrate 2 is made of, for example, a borosilicate glass plate having a diameter of 6 to 8 inches or a diameter of 6 to 8 inches and a thickness of 1.1 mm, a transparent electrode (for example, an ITO electrode) as a not-shown electrode, a color filter, and a polyimide. Orientation film 22 (for example, 30
厚 50 nm thick), and was subjected to rubbing treatment and cleaning. The liquid crystal sealant 23 printed and coated on the opposing substrate 2 surrounds each color filter 21 and the alignment film 22 to seal liquid crystal injected between the driving substrate 1 and the opposing substrate 2 in a later process. , And is provided with a liquid crystal injection port 23a at each predetermined position.

【0015】また、外周シール剤24は、各液晶シール
剤23が並ぶ領域の最外周を囲む状態で印刷塗布されて
いる。この外周シール剤24の印刷パターンとしては、
図4(a)、(b)の模式平面図に示すような例が考え
られる。すなわち、図4(a)に示す例では、対向側基
板2上の各液晶シール剤23が並ぶ領域Sの外側を囲む
ように外周シール剤24を印刷している。これによっ
て、液晶の注入口23aを含む領域Sは外周シール剤2
4によって閉じた状態となる。
The outer peripheral sealant 24 is applied by printing so as to surround the outermost periphery of the area where the liquid crystal sealants 23 are arranged. As a print pattern of the outer peripheral sealant 24,
Examples shown in the schematic plan views of FIGS. 4A and 4B are conceivable. That is, in the example shown in FIG. 4A, the outer peripheral sealant 24 is printed so as to surround the outside of the region S on the opposing substrate 2 where the liquid crystal sealants 23 are arranged. As a result, the region S including the liquid crystal injection port 23a becomes
4 closes.

【0016】図4(b)に示す例では、対向側基板2上
の各液晶シール剤23が並ぶ領域Sの最外周となる液晶
シール剤23の一部を外周シール剤24と共用するよう
な印刷パターンとなっている。つまり、領域Sの最外周
となる液晶シール剤23のうち、液晶の注入口23aの
ない辺の開いている部分を外周シール剤24でつなぐと
ともに、注入口23aのある辺をその外側において外周
シール剤24でつなぐようにしている。これによって、
外周シール剤24の使用量を少なくできるとともに、領
域Sを外周シール剤24によって閉じることができるよ
うになる。
In the example shown in FIG. 4B, a part of the liquid crystal sealant 23, which is the outermost periphery of the region S where the liquid crystal sealants 23 are arranged on the opposing substrate 2, is shared with the outer peripheral sealant 24. It is a printing pattern. In other words, of the liquid crystal sealant 23 which is the outermost periphery of the region S, a portion of the liquid crystal sealant 23 where the side without the liquid crystal inlet 23a is open is connected with the outer peripheral sealant 24, and the side with the fill port 23a is outer peripheral seal outside. Agent 24. by this,
The usage amount of the outer peripheral sealing agent 24 can be reduced, and the region S can be closed by the outer peripheral sealing agent 24.

【0017】次に、図1(c)に示す重ね合わせ工程と
して、コモン電極13が塗布された駆動側基板1と、液
晶シール剤23および外周シール剤24が印刷された対
向側基板2とを重ね合わせる処理を行う。これにより、
駆動側基板1と対向側基板2との間においてコモン電極
13が接続されるとともに、TFT11側の配向膜12
とカラーフィルタ21側の配向膜22との間に所定の間
隙(例えば、3.5〜4.0μm)が形成される。
Next, as a superposition step shown in FIG. 1C, the driving-side substrate 1 on which the common electrode 13 is applied and the opposing-side substrate 2 on which the liquid crystal sealant 23 and the outer peripheral sealant 24 are printed. The overlapping process is performed. This allows
The common electrode 13 is connected between the driving-side substrate 1 and the opposing-side substrate 2 and the alignment film 12 on the TFT 11 side is connected.
A predetermined gap (for example, 3.5 to 4.0 μm) is formed between the color filter 21 and the alignment film 22 on the color filter 21 side.

【0018】また、この重ね合わせによって各液晶シー
ル剤23内の液晶注入空間Tは、外周シール剤24より
も外側の空間に対して密閉される状態となる。つまり、
液晶シール剤23に液晶の注入口23aが設けられてい
ても、その内側の液晶注入空間Tは外周シール剤24に
よって密閉されることになる。
Further, the liquid crystal injection space T in each liquid crystal sealant 23 is sealed with respect to a space outside the outer peripheral sealant 24 by this superposition. That is,
Even if the liquid crystal sealant 23 is provided with the liquid crystal injection port 23a, the liquid crystal injection space T inside the liquid crystal sealant 23 is sealed by the outer peripheral sealant 24.

【0019】次いで、この状態で図2(a)に示す第1
ダイシングを行う。第1ダイシングを行うにあたり、対
向側基板2にダイシングテープ31を貼り付けておく。
このダイシングテープ31としては、例えば紫外線照射
硬化型テープや熱収縮剥離型テープを用いる。そして、
上側となった駆動側基板1におけるTFT11の境界に
沿ってXY方向とも規則ピッチにより切断溝15を入れ
る。
Next, in this state, the first type shown in FIG.
Perform dicing. In performing the first dicing, a dicing tape 31 is attached to the opposing substrate 2.
As the dicing tape 31, for example, an ultraviolet irradiation curing type tape or a heat shrinkable release type tape is used. And
A cutting groove 15 is formed at a regular pitch in the X and Y directions along the boundary of the TFT 11 on the driving side substrate 1 on the upper side.

【0020】切断溝15は、ダイシングブレード(図示
せず)によって駆動側基板1の厚さ方向の途中までの切
り込みによるハーフカットダイシングまたはセミフルカ
ットダイシングにより、駆動側基板1を50〜100μ
m程度残すよう形成される。なお、ハーフカットダイシ
ングまたはセミフルカットダイシングを行う際、所定の
切削水を流しながら切断を行うが、先に説明したように
液晶シール剤23の内側における液晶注入空間Tは、外
周シール剤24によって密封されているため、この切削
水が液晶の注入口23aから液晶注入空間T内に侵入す
ることがなく、内部のTFT11やカラーフィルタ2
1、配向膜12、22に悪影響を与えることがない。
The cutting groove 15 is formed by half-cut dicing or semi-full-cut dicing by cutting a part of the thickness of the driving substrate 1 in the thickness direction with a dicing blade (not shown).
m. When performing half-cut dicing or semi-full-cut dicing, cutting is performed while flowing predetermined cutting water. As described above, the liquid crystal injection space T inside the liquid crystal sealant 23 is sealed by the outer peripheral sealant 24. Therefore, the cutting water does not enter the liquid crystal injection space T from the liquid crystal injection port 23a, and the internal TFT 11 and the color filter 2
1. There is no adverse effect on the alignment films 12 and 22.

【0021】次に、図2(b)に示す第2ダイシングと
して、対向側基板2のダイシングを行う。この第2ダイ
シングを行うにあたり駆動側基板1にダイシングテープ
32を貼り付けておく。このダイシングテープ32とし
ては、例えば紫外線照射硬化型テープを用いる。そし
て、上側となった対向側基板2におけるカラーフィルタ
21の境界に沿ってX方向に規則ピッチ、Y方向に不規
則ピッチ(TFT11の電極パッド部(図示せず)を露
出させるため)として切断溝25を入れる。
Next, as the second dicing shown in FIG. 2B, dicing of the opposing substrate 2 is performed. In performing the second dicing, a dicing tape 32 is pasted on the driving substrate 1. As the dicing tape 32, for example, an ultraviolet irradiation curing type tape is used. A cutting groove is formed along the boundary of the color filter 21 on the upper substrate 2 on the upper side, with a regular pitch in the X direction and an irregular pitch in the Y direction (to expose an electrode pad portion (not shown) of the TFT 11). Insert 25.

【0022】切断溝25は、ダイシングブレード(図示
せず)によってダイシングテープ31をフルカットし、
対向側基板2の厚さ方向の途中まで切り込みを入れるハ
ーフカットダイシングまたはセミフルカットダイシング
により、対向側基板2を50〜100μm程度残すよう
形成される。この際、所定の切削水を使用するが、先と
同様に、液晶シール剤23の内側における液晶注入空間
Tは外周シール剤24によって密封されているため、こ
の切削水が液晶の注入口23aから液晶注入空間T内に
侵入することがなく、内部のTFT11やカラーフィル
タ21、配向膜12、22に悪影響を与えることがな
い。
The cutting groove 25 is formed by fully cutting the dicing tape 31 with a dicing blade (not shown).
Half-cut dicing or semi-full-cut dicing, in which a cut is made halfway in the thickness direction of the opposing substrate 2, is formed so as to leave the opposing substrate 2 by about 50 to 100 μm. At this time, a predetermined cutting water is used, but as before, the liquid crystal injection space T inside the liquid crystal sealant 23 is sealed by the outer peripheral sealant 24, so that the cutting water flows from the liquid crystal injection port 23a. It does not penetrate into the liquid crystal injection space T, and does not adversely affect the TFT 11, the color filter 21, and the alignment films 12 and 22 therein.

【0023】次いで、図2(c)に示すブレーキング処
理を行う。ブレーキングを行うには、所定のローラー3
3またはブレーカー(図示せず)によって駆動側基板1
と対向側基板2とへ外力を加え、先に形成した切断溝1
5、25の位置で駆動側基板1および対向側基板2を分
割する。この際、切断溝15、25の部分では、駆動側
基板1および対向側基板2が各々50〜100μm程度
残っているだけであるため、スクライブブレークに必要
な力と比べてはるかに小さな力で基板分割を行うことが
できる。つまり、このブレーキングにおいては、駆動側
基板1および対向側基板2へ加わる負荷が非常に小さな
ものとなり、基板の欠けや割れ、液晶シール剤23の信
頼性低下等を起こすことがなくなる。また、ダイシング
テープ31、32で保護されているため、ブレーキング
による駆動側基板1および対向側基板2の表面の傷付き
やごみ付着が無い。
Next, a braking process shown in FIG. 2C is performed. To perform braking, use the specified roller 3
3 or a drive side substrate 1 by a breaker (not shown).
An external force is applied to the cutting groove 1 and the opposite side substrate 2 to form the cutting groove 1 formed earlier.
The drive-side substrate 1 and the opposing-side substrate 2 are divided at positions 5 and 25. At this time, since only about 50 to 100 μm of the drive side substrate 1 and the opposing side substrate 2 remain in the cut grooves 15 and 25, the substrate is applied with a much smaller force than the force required for the scribe break. Division can be performed. In other words, in this braking, the load applied to the driving-side substrate 1 and the opposing-side substrate 2 is extremely small, and the chipping and cracking of the substrate, the reduction in the reliability of the liquid crystal sealant 23, and the like do not occur. Further, since the dicing tapes 31 and 32 protect the surfaces of the driving-side substrate 1 and the opposing-side substrate 2 due to braking, there is no damage or adhesion of dust.

【0024】ブレーキングが終了した後は、所定の紫外
線を照射して(例えば、120〜150mJ/cm2
ダイシングテープ31の硬化を行い接着力を低下させて
おく。また、ダイシングテープ32として紫外線照射硬
化型テープを使用している場合には、これにも紫外線を
照射して(例えば、120〜150mJ/cm2 )、硬
化を行い接着力を低下させておく。
After the braking is completed, a predetermined ultraviolet ray is irradiated (for example, 120 to 150 mJ / cm 2 ).
The dicing tape 31 is cured to reduce the adhesive strength. When an ultraviolet irradiation curing type tape is used as the dicing tape 32, ultraviolet light is also applied to the dicing tape 32 (for example, 120 to 150 mJ / cm 2 ) to cure the dicing tape 32 to reduce the adhesive strength.

【0025】次いで、図3(a)に示すピックアップ工
程として、突き上げ用のピン34をダイシングテープ3
2の下側から突き上げることにより、個々に分割された
液晶パネル部品10のピックアップ分離を行う。このと
き、突き上げ用ピン34の傷跡が各基板の有効領域外と
なるようにする。または、ダイシングテープ32を突き
破らないで突き上げるだけにすることが必要となる。取
り出された液晶パネル部品10においては、ダイシング
テープ31が付いているままの状態で搬送される。そし
て、図3(b)に示すように、ダイシングテープ31の
剥離(熱収縮剥離型テープを用いた場合には、70℃以
上に加熱して自己収縮させる)を行うことにより、後の
処理(液晶注入や電気的配線等)に備えた液晶パネル部
品10を完成させる。
Next, as a pickup step shown in FIG.
By pushing up the liquid crystal panel component 10 from below, pickup separation of the individually divided liquid crystal panel component 10 is performed. At this time, the scar of the push-up pin 34 is set outside the effective area of each substrate. Alternatively, it is necessary to push up the dicing tape 32 without piercing it. The removed liquid crystal panel component 10 is transported with the dicing tape 31 attached. Then, as shown in FIG. 3B, the dicing tape 31 is peeled off (in the case of using a heat shrinkable peeling type tape, it is heated to 70 ° C. or more to self-shrink), thereby performing the subsequent processing ( The liquid crystal panel component 10 prepared for liquid crystal injection, electrical wiring, etc.) is completed.

【0026】このような各工程によって、液晶シール剤
23の内側における液晶注入空間T内に切削水を侵入さ
せることなくダイシング(ハーフカットダイシングやセ
ミフルカットダイシング)を行い、小さなブレーキング
力によって基板の欠けや割れ、液晶シール剤23の信頼
性低下、パネル傷やごみ付着による歩留り低下を起こす
ことなく液晶パネル部品10を製造することができるよ
うになる。
By these steps, dicing (half-cut dicing or semi-full-cut dicing) is performed without cutting water entering the liquid crystal injection space T inside the liquid crystal sealant 23, and the substrate is cut by a small breaking force. The liquid crystal panel component 10 can be manufactured without causing chipping or cracking, lowering the reliability of the liquid crystal sealant 23, and lowering the yield due to panel scratches or dust adhesion.

【0027】なお、本実施例においては、対向側基板2
にカラーフィルタ21が形成されている例を示したが、
必ずしもカラーフィルタ21が形成されていなくてもよ
く、対向電極(図示せず)が形成されているものであれ
ばよい。また、図2(a)に示す第1ダイシングを行う
際、ダイシングテープ31を使用する例を説明したが、
このダイシングテープ31は必ずしも必要なものではな
い。
In this embodiment, the opposing substrate 2
The example in which the color filter 21 is formed is shown in FIG.
The color filter 21 does not necessarily have to be formed, but may be any as long as a counter electrode (not shown) is formed. Further, the example in which the dicing tape 31 is used when performing the first dicing shown in FIG.
The dicing tape 31 is not always necessary.

【0028】また、外周シール剤24の印刷パターンは
図4(a)、(b)に示すものに限定されず、各液晶シ
ール剤23が並ぶ領域Sを囲むような他のパターン形状
であってもよい。さらに、本実施例では、基板の貼り合
わせを行った後、初めに駆動側基板1をダイシングし、
次に対向側基板2をダイシングする例を説明したが、反
対に対向側基板2を先にダイシングし、次に駆動側基板
1をダイシングするようにしても同様である。
Further, the print pattern of the outer peripheral sealant 24 is not limited to the pattern shown in FIGS. 4A and 4B, but has another pattern shape surrounding the region S where the liquid crystal sealants 23 are arranged. Is also good. Further, in the present embodiment, after bonding the substrates, first, the driving side substrate 1 is diced,
Next, an example in which the opposing substrate 2 is diced has been described. On the contrary, the same applies when the opposing substrate 2 is diced first, and then the driving substrate 1 is diced.

【0029】[0029]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の液晶表示
装置の製造方法によれば次のような効果がある。すなわ
ち、駆動側基板と対向側基板とを重ね合わせた後、分割
を行って個々の液晶パネル部品を製造する場合、各液晶
シール剤が並ぶ領域の最外周を囲む状態で外周シール剤
を塗布しているため、ダイシングを行ってもこの際に使
用する切削水が液晶シール剤の内側の液晶注入空間へ侵
入することがなく、駆動素子や対向電極、配向膜等の信
頼性を確保できるようになる。
As described above, according to the method for manufacturing a liquid crystal display device of the present invention, the following effects can be obtained. That is, when the drive side substrate and the opposing side substrate are overlapped and then divided to produce individual liquid crystal panel components, an outer peripheral sealant is applied in a state surrounding the outermost periphery of the area where each liquid crystal sealant is arranged. Therefore, even if dicing is performed, the cutting water used at this time does not enter the liquid crystal injection space inside the liquid crystal sealant so that the reliability of the driving element, the counter electrode, the alignment film, etc. can be ensured. Become.

【0030】また、各基板のダイシングとして、基板の
厚さ方向の途中まで切断溝を入れるようにしているた
め、フルカットダイシングを行う場合に比べて切削抵抗
を少なくすることができ、ダイシングブレードの寿命が
延びて生産性を向上させることが可能となる。しかも、
表面保護用のダイシングテープがあるため、テープ切削
くずや粘着性ダストの発生、付着の問題がなくなり、製
造歩留りを向上させることが可能なる。
Further, since a cutting groove is formed halfway in the thickness direction of the substrate for dicing each substrate, cutting resistance can be reduced as compared with the case where full-cut dicing is performed, and the dicing blade can be used. The service life is extended and the productivity can be improved. Moreover,
Since there is a dicing tape for protecting the surface, there is no problem of generation and adhesion of tape cutting debris and sticky dust, and the production yield can be improved.

【0031】さらに、ダイシングテープで表面保護した
駆動側基板と対向側基板とに外力を加えてこの切断溝の
位置で分割することから、各基板をスクライブブレーク
する場合に比べて小さな力で基板を分割することがで
き、ブレークの際の基板の欠けや割れ、各基板裏面(パ
ネル表面)の傷付き、ごみ付着を防止するとともに、液
晶シール剤への接着ダメージを抑制し、信頼性の高い液
晶パネル部品を形成することが可能となる。
Further, since an external force is applied to the driving-side substrate and the opposing-side substrate whose surfaces are protected by a dicing tape and the substrate is divided at the position of the cut groove, the substrate is separated with a smaller force than when each substrate is scribed and broken. It can be divided to prevent chipping or cracking of the substrate at the time of break, scratching of the back surface of each substrate (panel surface), adhesion of dust, and suppressing adhesion damage to the liquid crystal sealant, and a highly reliable liquid crystal Panel components can be formed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の製造方法を順に説明する模式断面図
(その1)である。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view (part 1) for sequentially explaining a manufacturing method of the present invention.

【図2】本発明の製造方法を順に説明する模式断面図
(その2)である。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view (part 2) for sequentially explaining the manufacturing method of the present invention.

【図3】本発明の製造方法を順に説明する模式断面図
(その3)である。
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view (part 3) for sequentially explaining the manufacturing method of the present invention.

【図4】外周シール剤の印刷例を説明する模式平面図で
ある。
FIG. 4 is a schematic plan view illustrating a printing example of an outer peripheral sealant.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 駆動側基板 2 対向側基板 10 液晶パネル部品 11 TFT 12、22 配向膜 13 コモン電極 15、25 切断溝 21 カラーフィルタ 23 液晶シール剤 23a 注入口 24 外周シール剤 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Driving side board | substrate 2 Opposite side board | substrate 10 Liquid crystal panel parts 11 TFT12,22 Alignment film 13 Common electrode 15,25 Cutting groove 21 Color filter 23 Liquid crystal sealing agent 23a Injection 24 Outer periphery sealing agent

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 複数の液晶駆動用素子が形成された駆動
側基板と、複数の対向電極が形成された対向側基板とを
重ね合わせた後、各基板を分割することによって個々の
液晶パネル部品を形成する液晶表示装置の製造方法であ
って、 先ず、前記駆動側基板または前記対向側基板の一方にお
ける各液晶駆動用素子または各対向電極の周囲に、液晶
の注入口を備えた液晶シール剤を各々塗布するととも
に、複数の液晶シール剤が並ぶ領域の最外周を囲む状態
で外周シール剤を塗布し、 次に、所定のコモン剤を塗布した前記駆動側基板と前記
対向側基板とを前記液晶シール剤および前記外周シール
剤を介して重ね合わせた状態で、前記対向側基板にダイ
シングテープを貼り付け、前記駆動側基板の各液晶駆動
用素子の境界に沿った切断溝を基板の厚さ方向の途中ま
で入れた後前記駆動側基板にダイシングテープを貼り
付け、前記対向側基板に貼り付けたダイシングテープを
介して前記対向側基板の各対向電極の境界に沿った切断
溝を基板の厚さ方向の途中まで入れ、 その後、前記対向側基板のダイシングテープを介して
記駆動側基板と前記対向側基板とに各々外力を加えて前
記切断溝の位置で分割して個々の液晶パネル部品を形成
することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
An individual liquid crystal panel component is obtained by laminating a driving substrate on which a plurality of liquid crystal driving elements are formed and an opposing substrate on which a plurality of opposing electrodes are formed, and then dividing each substrate. A liquid crystal sealant having a liquid crystal injection port around each liquid crystal driving element or each counter electrode on one of the driving side substrate and the counter side substrate. And applying an outer peripheral sealant in a state surrounding the outermost periphery of a region where a plurality of liquid crystal sealants are arranged.Next, the drive side substrate and the opposing side substrate coated with a predetermined common agent are In a state where the liquid crystal sealant and the outer peripheral sealant are overlapped with each other , a die is
Affixing a dicing tape to the drive-side substrate after inserting a cutting groove along the boundary of each liquid crystal drive element of the drive-side substrate halfway in the thickness direction of the substrate.
The dicing tape attached to the opposing substrate.
Cutting along the boundary of each opposing electrode of the opposing substrate through
The groove is inserted halfway in the thickness direction of the substrate, and thereafter, an external force is applied to the driving substrate and the opposing substrate via a dicing tape of the opposing substrate, and the position of the cutting groove is set. And forming individual liquid crystal panel parts by dividing the liquid crystal display device.
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