JP3277092B2 - 有機ガス検知用ポリマーフィルム - Google Patents
有機ガス検知用ポリマーフィルムInfo
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- JP3277092B2 JP3277092B2 JP08039595A JP8039595A JP3277092B2 JP 3277092 B2 JP3277092 B2 JP 3277092B2 JP 08039595 A JP08039595 A JP 08039595A JP 8039595 A JP8039595 A JP 8039595A JP 3277092 B2 JP3277092 B2 JP 3277092B2
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- methacrylate
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N31/00—Investigating or analysing non-biological materials by the use of the chemical methods specified in the subgroup; Apparatus specially adapted for such methods
- G01N31/22—Investigating or analysing non-biological materials by the use of the chemical methods specified in the subgroup; Apparatus specially adapted for such methods using chemical indicators
- G01N31/223—Investigating or analysing non-biological materials by the use of the chemical methods specified in the subgroup; Apparatus specially adapted for such methods using chemical indicators for investigating presence of specific gases or aerosols
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は有機ガスセンサー用のフ
ッ素を含有するポリマーに関する。
ッ素を含有するポリマーに関する。
【０００２】
【従来の技術】ポリマーを用いた有機ガスセンサーにお
いてセンサーは測定対象の有機ガスのみならず空気中の
水分にも感応しシグナルを発する。これは材料のポリマ
ーが空気中の水分も吸着することに起因する。例えば通
常のポリメタクリル酸エステルを用いた有機ガスセンサ
ーにおいてはは５０％の相対湿度を数百ｐｐｍの有機ガ
スのシグナルとして発する（有機ガス＝トルエンの場
合）。このような湿度変化によるシグナルの発信は、湿
度変化が起こり得る長時間の測定の際に誤動作（誤警
報）の原因になり得る。
いてセンサーは測定対象の有機ガスのみならず空気中の
水分にも感応しシグナルを発する。これは材料のポリマ
ーが空気中の水分も吸着することに起因する。例えば通
常のポリメタクリル酸エステルを用いた有機ガスセンサ
ーにおいてはは５０％の相対湿度を数百ｐｐｍの有機ガ
スのシグナルとして発する（有機ガス＝トルエンの場
合）。このような湿度変化によるシグナルの発信は、湿
度変化が起こり得る長時間の測定の際に誤動作（誤警
報）の原因になり得る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は有機ガ
スセンサーを用いて有機ガスを測定する際、湿度の変化
によるシグナルの発信を低減させることにある。
スセンサーを用いて有機ガスを測定する際、湿度の変化
によるシグナルの発信を低減させることにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】かかる本発明は，有機ガ
スセンサーの材料にフッ素の含まれるポリマーを用いる
ことで湿度影響を低減させることにより達成される。即
ち本願発明は、下記の繰り返し単位（Ｉ）を有するホモ
ポリマーから成る有機ガス検知用フィルムを提供する。
スセンサーの材料にフッ素の含まれるポリマーを用いる
ことで湿度影響を低減させることにより達成される。即
ち本願発明は、下記の繰り返し単位（Ｉ）を有するホモ
ポリマーから成る有機ガス検知用フィルムを提供する。
【０００５】
【化２】 上記式中、Ｘは、Ｈ，Ｆ，Ｃｌ，Ｂｒ，ＣＨ3，ＣＦ3，
ＣＮ，又はＣＨ2ＣＨ3を表わし，Ｒ1は，Ｒ2又は−Ｚ−
Ｒ2を表わし、Ｚは、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＨ−、−Ｎ
Ｒ2'−、−（Ｃ＝Ｙ）−、−Ｃ（＝Ｙ）−Ｙ−、−Ｙ−
（Ｃ＝Ｙ）−、−（ＳＯ2）−、−Ｙ'−（ＳＯ2）−、
−（ＳＯ2）−Ｙ'−、−Ｙ'−（ＳＯ2）−Ｙ'−、−Ｎ
Ｈ−（Ｃ＝Ｏ）−、−（Ｃ＝Ｏ）−ＮＨ−、−（Ｃ＝
Ｏ）−ＮＲ2'−、−Ｙ'−（Ｃ＝Ｙ）−Ｙ'−、又は−Ｏ
−（Ｃ＝Ｏ）−（ＣＨ2）p−（Ｃ＝Ｏ）−Ｏ−を表わ
し、Ｙは同一又は異なってＯ又はＳを表わし、Ｙ’は同
一又は異なってＯ又はＮＨを表わし、ｐは０−２０の整
数を表わし、Ｒ2およびＲ2'は、同一の又は異なる水
素、直鎖アルキル基、分岐アルキル基、シクロアルキル
基、不飽和炭化水素基、アリール基、飽和若しくは不飽
和ヘテロ環、又はそれらの置換体を表わし（但し、Ｒ1
は水素、直鎖アルキル基、分岐アルキル基でない）、Ｒ
3はＲ4又は−Ｚ−Ｒ4を表わし、Ｒ4は１つ以上のＦで置
換された直鎖アルキル基、分岐アルキル基、シクロアル
キル基、不飽和炭化水素基、アリール基、飽和若しくは
不飽和ヘテロ環、又はそれらの置換体をを表わし、ｎは
０以上１未満の、ｍは１−ｎの数値を表わす。
ＣＮ，又はＣＨ2ＣＨ3を表わし，Ｒ1は，Ｒ2又は−Ｚ−
Ｒ2を表わし、Ｚは、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＨ−、−Ｎ
Ｒ2'−、−（Ｃ＝Ｙ）−、−Ｃ（＝Ｙ）−Ｙ−、−Ｙ−
（Ｃ＝Ｙ）−、−（ＳＯ2）−、−Ｙ'−（ＳＯ2）−、
−（ＳＯ2）−Ｙ'−、−Ｙ'−（ＳＯ2）−Ｙ'−、−Ｎ
Ｈ−（Ｃ＝Ｏ）−、−（Ｃ＝Ｏ）−ＮＨ−、−（Ｃ＝
Ｏ）−ＮＲ2'−、−Ｙ'−（Ｃ＝Ｙ）−Ｙ'−、又は−Ｏ
−（Ｃ＝Ｏ）−（ＣＨ2）p−（Ｃ＝Ｏ）−Ｏ−を表わ
し、Ｙは同一又は異なってＯ又はＳを表わし、Ｙ’は同
一又は異なってＯ又はＮＨを表わし、ｐは０−２０の整
数を表わし、Ｒ2およびＲ2'は、同一の又は異なる水
素、直鎖アルキル基、分岐アルキル基、シクロアルキル
基、不飽和炭化水素基、アリール基、飽和若しくは不飽
和ヘテロ環、又はそれらの置換体を表わし（但し、Ｒ1
は水素、直鎖アルキル基、分岐アルキル基でない）、Ｒ
3はＲ4又は−Ｚ−Ｒ4を表わし、Ｒ4は１つ以上のＦで置
換された直鎖アルキル基、分岐アルキル基、シクロアル
キル基、不飽和炭化水素基、アリール基、飽和若しくは
不飽和ヘテロ環、又はそれらの置換体をを表わし、ｎは
０以上１未満の、ｍは１−ｎの数値を表わす。
【０００６】上記繰り返し単位（Ｉ）を有するフッ素含
有ホモポリマーにおける各モノマーの種類、割合を適宜
変えることにより測定ガスに適当な材料が得られる。例
えば、芳香族ガスに対して芳香族置換基含有の、脂肪族
炭化水素に対して長鎖のアルキル基含有ポリマーが適す
る。
有ホモポリマーにおける各モノマーの種類、割合を適宜
変えることにより測定ガスに適当な材料が得られる。例
えば、芳香族ガスに対して芳香族置換基含有の、脂肪族
炭化水素に対して長鎖のアルキル基含有ポリマーが適す
る。
【０００７】また、本発明は有機ガスとの接触の際、膜
厚及び／又は屈折率が変化する様な平滑な基板に塗布さ
れた、上記検知用フィルム、光源、及び光検知素子を有
する光検知方式有機ガスセンサーを提供する。
厚及び／又は屈折率が変化する様な平滑な基板に塗布さ
れた、上記検知用フィルム、光源、及び光検知素子を有
する光検知方式有機ガスセンサーを提供する。
【０００８】本発明の有機ガス検知用フィルムに用いら
れるホモポリマーとして好ましいのは、繰り返し単位
（Ｉ）において、ＸがＨ又はＣＨ3を表わし、Ｒ1が置換
若しくは無置換アリール基又は−Ｚ−Ｒ2を表わし，Ｚ
が−Ｏ−、−（Ｃ＝Ｏ）−Ｏ−、又は−Ｏ−（Ｃ＝Ｏ）
−を表わし、そしてＲ2が直鎖アルキル基、分岐アルキ
ル基、シクロアルキル基、不飽和炭化水素基、アリール
基、飽和若しくは不飽和ヘテロ環、又はそれらの置換体
を表わし、Ｒ3は１つ以上のＦで置換されたアリール基
又は−Ｚ−Ｒ4を表わし，Ｚが−Ｏ−、−（Ｃ＝Ｏ）−
Ｏ−、又は−Ｏ−（Ｃ＝Ｏ）−を表わし、そしてＲ4が
１つ以上のＦで置換された直鎖アルキル基、分岐アルキ
ル基、シクロアルキル基、不飽和炭化水素基、アリール
基、飽和若しくは不飽和ヘテロ環、又はそれらの置換体
を表わす場合である。
れるホモポリマーとして好ましいのは、繰り返し単位
（Ｉ）において、ＸがＨ又はＣＨ3を表わし、Ｒ1が置換
若しくは無置換アリール基又は−Ｚ−Ｒ2を表わし，Ｚ
が−Ｏ−、−（Ｃ＝Ｏ）−Ｏ−、又は−Ｏ−（Ｃ＝Ｏ）
−を表わし、そしてＲ2が直鎖アルキル基、分岐アルキ
ル基、シクロアルキル基、不飽和炭化水素基、アリール
基、飽和若しくは不飽和ヘテロ環、又はそれらの置換体
を表わし、Ｒ3は１つ以上のＦで置換されたアリール基
又は−Ｚ−Ｒ4を表わし，Ｚが−Ｏ−、−（Ｃ＝Ｏ）−
Ｏ−、又は−Ｏ−（Ｃ＝Ｏ）−を表わし、そしてＲ4が
１つ以上のＦで置換された直鎖アルキル基、分岐アルキ
ル基、シクロアルキル基、不飽和炭化水素基、アリール
基、飽和若しくは不飽和ヘテロ環、又はそれらの置換体
を表わす場合である。
【０００９】本発明の有機ガス検知用フィルムに用いら
れるホモポリマーとして特に好ましいのは、繰り返し単
位（Ｉ）において、ＸがＨ又はＣＨ3を表わし、Ｒ1が−
Ｚ−Ｒ2を表わし、Ｚが−（Ｃ＝Ｏ）−Ｏ−を表わし、
そしてＲ2が直鎖アルキル基、分岐アルキル基、シクロ
アルキル基、又はそれらの置換体を表わし、Ｒ3は−Ｚ
−Ｒ4を表わし、Ｚが−（Ｃ＝Ｏ）−Ｏ−を表わし、そ
してＲ4が１つ以上のＦで置換された直鎖アルキル基、
分岐アルキル基、又はそれらの置換体を表わす場合であ
る。
れるホモポリマーとして特に好ましいのは、繰り返し単
位（Ｉ）において、ＸがＨ又はＣＨ3を表わし、Ｒ1が−
Ｚ−Ｒ2を表わし、Ｚが−（Ｃ＝Ｏ）−Ｏ−を表わし、
そしてＲ2が直鎖アルキル基、分岐アルキル基、シクロ
アルキル基、又はそれらの置換体を表わし、Ｒ3は−Ｚ
−Ｒ4を表わし、Ｚが−（Ｃ＝Ｏ）−Ｏ−を表わし、そ
してＲ4が１つ以上のＦで置換された直鎖アルキル基、
分岐アルキル基、又はそれらの置換体を表わす場合であ
る。
【００１０】繰り返し単位（Ｉ）を有するホモポリマー
は架橋されていることが好ましい。その理由は、架橋す
ることによりポリマーの溶解性が減少し、フィルムの耐
久性が向上するためである。例えば、グリシジル基を有
するポリマーは芳香族及び脂肪族ジアミン等を用いて架
橋することができる。
は架橋されていることが好ましい。その理由は、架橋す
ることによりポリマーの溶解性が減少し、フィルムの耐
久性が向上するためである。例えば、グリシジル基を有
するポリマーは芳香族及び脂肪族ジアミン等を用いて架
橋することができる。
【００１１】本発明の有機ガス検知用フィルムは種々の
有機ガスの測定に使用することができる。例えば、ベン
ゼン、トルエン、キシレン等の芳香族ガス、ヘキサン等
の脂肪族炭化水素ガス、アセトン等のケトン類、アルコ
ール類、エーテル類などが挙げられる。
有機ガスの測定に使用することができる。例えば、ベン
ゼン、トルエン、キシレン等の芳香族ガス、ヘキサン等
の脂肪族炭化水素ガス、アセトン等のケトン類、アルコ
ール類、エーテル類などが挙げられる。
【００１２】本発明においてはここで作られた材料をシ
リコンウエハーの上に２００−６００ｎｍの厚さで塗布
し，ＬＥＤ，ＰＤから成るＩＥＲセンサーにおいて湿度
の影響を低減しながらガスを検知できる。
リコンウエハーの上に２００−６００ｎｍの厚さで塗布
し，ＬＥＤ，ＰＤから成るＩＥＲセンサーにおいて湿度
の影響を低減しながらガスを検知できる。
【００１３】本発明において用いられる好ましいポリマ
ーは、ポリメタクリル酸エステル類、ポリアクリル酸エ
ステル類等である。エステルの側鎖基の一方は、好まし
くは直鎖アルキル基若しくは分岐アルキル基又はシクロ
アルキル基であり、炭素数は好ましくは４−２２であ
り、他方はこれらのアルキル基が１つ以上のＦで置換さ
れた物である。
ーは、ポリメタクリル酸エステル類、ポリアクリル酸エ
ステル類等である。エステルの側鎖基の一方は、好まし
くは直鎖アルキル基若しくは分岐アルキル基又はシクロ
アルキル基であり、炭素数は好ましくは４−２２であ
り、他方はこれらのアルキル基が１つ以上のＦで置換さ
れた物である。
【００１４】本発明における好ましいポリマーとして
は、例えば以下の化合物を挙げることができる。
は、例えば以下の化合物を挙げることができる。
【００１５】ポリ（メタクリル酸ブチル−ｃｏ−メタク
リル酸１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプ
ロピル） ポリ（メタクリル酸シクロヘキシル−ｃｏ−メタクリル
酸１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプロピ
ル） ポリ（メタクリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−メタク
リル酸１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプ
ロピル） ポリ（メタクリル酸ドデシル−ｃｏ−メタクリル酸１，
１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプロピル） ポリ（メタクリル酸オクタデシシル−ｃｏ−メタクリル
酸１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプロピ
ル） ポリ（メタクリル酸ベンジル−ｃｏ−メタクリル酸１，
１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプロピル） ポリ（メタクリル酸グリシジル−ｃｏ−メタクリル酸
１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプロピ
ル） ポリ（メタクリル酸ブチル−ｃｏ−メタクリル酸２，
２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸シクロヘキシル−ｃｏ−メタクリル
酸２，２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−メタク
リル酸２，２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸ドデシル−ｃｏ−メタクリル酸２，
２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸オクタデシシル−ｃｏ−メタクリル
酸２，２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸ベンジル−ｃｏ−メタクリル酸２，
２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸グリシジル−ｃｏ−メタクリル酸
２，２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸ブチル−ｃｏ−メタクリル酸パーフ
ルオロオクチルエチル） ポリ（メタクリル酸シクロヘキシル−ｃｏ−メタクリル
酸パーフルオロオクチルエチル） ポリ（メタクリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−メタク
リル酸パーフルオロオクチルエチル） ポリ（メタクリル酸ドデシル−ｃｏ−メタクリル酸パー
フルオロオクチルエチル） ポリ（メタクリル酸オクタデシシル−ｃｏ−メタクリル
酸パーフルオロオクチルエチル） ポリ（メタクリル酸ベンジル−ｃｏ−メタクリル酸パー
フルオロオクチルエチル） ポリ（メタクリル酸グリシジル−ｃｏ−メタクリル酸パ
ーフルオロオクチルエチル） ポリ（メタクリル酸ブチル−ｃｏ−メタクリル酸２，
２，３，４，４−ヘキサフルオロブチル） ポリ（メタクリル酸シクロヘキシル−ｃｏ−メタクリル
酸２，２，３，４，４−ヘキサフルオロブチル） ポリ（メタクリル酸ドデシル−ｃｏ−メタクリル酸２，
２，３，４，４−ヘキサフルオロブチル） ポリ（メタクリル酸オクタデシシル−ｃｏ−メタクリル
酸２，２，３，４，４−ヘキサフルオロブチル） ポリ（メタクリル酸ベンジル−ｃｏ−メタクリル酸２，
２，３，４，４−ヘキサフルオロブチル） ポリ（メタクリル酸グリシジル−ｃｏ−メタクリル酸
２，２，３，４，４−ヘキサフルオロブチル） ポリ（メタクリル酸ブチル−ｃｏ−メタクリル酸パーフ
ルオロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸シクロヘキシル−ｃｏ−メタクリル
酸パーフルオロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−メタク
リル酸パーフルオロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸ドデシル−ｃｏ−メタクリル酸パー
フルオロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸オクタデシシル−ｃｏ−メタリル酸
パーフルオロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸ベンジル−ｃｏ−メタリル酸パーフ
ルオロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸グリシジル−ｃｏ−メタリル酸パー
フルオロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸ブチル−ｃｏ−アクリル酸１，１，
１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプロピル） ポリ（メタクリル酸シクロヘキシル−ｃｏ−アクリル酸
１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプロピ
ル） ポリ（メタクリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−アクリ
ル酸１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプロ
ピル） ポリ（メタクリル酸ドデシル−ｃｏ−アクリル酸１，
１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプロピル） ポリ（メタクリル酸オクタデシシル−ｃｏ−アクリル酸
１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプロピ
ル） ポリ（メタクリル酸ベンジル−ｃｏ−アクリル酸１，
１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプロピル） ポリ（メタクリル酸グリシジル−ｃｏ−アクリル酸１，
１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプロピル） ポリ（メタクリル酸ブチル−ｃｏ−アクリル酸２，２，
２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸シクロヘキシル−ｃｏ−アクリル酸
２，２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−アクリ
ル酸２，２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸ドデシル−ｃｏ−アクリル酸２，
２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸オクタデシシル−ｃｏ−アクリル酸
２，２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸ベンジル−ｃｏ−アクリル酸２，
２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸グリシジル−ｃｏ−アクリル酸２，
２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸ブチル−ｃｏ−アクリル酸パーフル
オロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸シクロヘキシル−ｃｏ−アクリル酸
パーフルオロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−アクリ
ル酸パーフルオロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸ドデシル−ｃｏ−アクリル酸パーフ
ルオロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸オクタデシシル−ｃｏ−アクリル酸
パーフルオロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸ベンジル−ｃｏ−アクリル酸パーフ
ルオロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸グリシジル−ｃｏ−アクリル酸パー
フルオロヘキシルエチル） 上述のポリマーからフィル
ムを形成する場合には、公知の如何なるフィルム形成法
をも使用することができる。例えば、スピンコーティン
グ、ポリマー溶液のキャスティング及び溶融押出法等を
使用することができる。検出感度を高めるためにはフィ
ルムの厚みはなるべく小さいことが望ましく、通常好ま
しくは１μｍ以下である。したがって、フィルムの厚み
を小さくし得るようなフィルム形成法、特にスピンコー
ティング法を用いることが望ましい。
リル酸１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプ
ロピル） ポリ（メタクリル酸シクロヘキシル−ｃｏ−メタクリル
酸１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプロピ
ル） ポリ（メタクリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−メタク
リル酸１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプ
ロピル） ポリ（メタクリル酸ドデシル−ｃｏ−メタクリル酸１，
１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプロピル） ポリ（メタクリル酸オクタデシシル−ｃｏ−メタクリル
酸１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプロピ
ル） ポリ（メタクリル酸ベンジル−ｃｏ−メタクリル酸１，
１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプロピル） ポリ（メタクリル酸グリシジル−ｃｏ−メタクリル酸
１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプロピ
ル） ポリ（メタクリル酸ブチル−ｃｏ−メタクリル酸２，
２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸シクロヘキシル−ｃｏ−メタクリル
酸２，２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−メタク
リル酸２，２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸ドデシル−ｃｏ−メタクリル酸２，
２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸オクタデシシル−ｃｏ−メタクリル
酸２，２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸ベンジル−ｃｏ−メタクリル酸２，
２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸グリシジル−ｃｏ−メタクリル酸
２，２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸ブチル−ｃｏ−メタクリル酸パーフ
ルオロオクチルエチル） ポリ（メタクリル酸シクロヘキシル−ｃｏ−メタクリル
酸パーフルオロオクチルエチル） ポリ（メタクリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−メタク
リル酸パーフルオロオクチルエチル） ポリ（メタクリル酸ドデシル−ｃｏ−メタクリル酸パー
フルオロオクチルエチル） ポリ（メタクリル酸オクタデシシル−ｃｏ−メタクリル
酸パーフルオロオクチルエチル） ポリ（メタクリル酸ベンジル−ｃｏ−メタクリル酸パー
フルオロオクチルエチル） ポリ（メタクリル酸グリシジル−ｃｏ−メタクリル酸パ
ーフルオロオクチルエチル） ポリ（メタクリル酸ブチル−ｃｏ−メタクリル酸２，
２，３，４，４−ヘキサフルオロブチル） ポリ（メタクリル酸シクロヘキシル−ｃｏ−メタクリル
酸２，２，３，４，４−ヘキサフルオロブチル） ポリ（メタクリル酸ドデシル−ｃｏ−メタクリル酸２，
２，３，４，４−ヘキサフルオロブチル） ポリ（メタクリル酸オクタデシシル−ｃｏ−メタクリル
酸２，２，３，４，４−ヘキサフルオロブチル） ポリ（メタクリル酸ベンジル−ｃｏ−メタクリル酸２，
２，３，４，４−ヘキサフルオロブチル） ポリ（メタクリル酸グリシジル−ｃｏ−メタクリル酸
２，２，３，４，４−ヘキサフルオロブチル） ポリ（メタクリル酸ブチル−ｃｏ−メタクリル酸パーフ
ルオロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸シクロヘキシル−ｃｏ−メタクリル
酸パーフルオロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−メタク
リル酸パーフルオロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸ドデシル−ｃｏ−メタクリル酸パー
フルオロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸オクタデシシル−ｃｏ−メタリル酸
パーフルオロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸ベンジル−ｃｏ−メタリル酸パーフ
ルオロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸グリシジル−ｃｏ−メタリル酸パー
フルオロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸ブチル−ｃｏ−アクリル酸１，１，
１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプロピル） ポリ（メタクリル酸シクロヘキシル−ｃｏ−アクリル酸
１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプロピ
ル） ポリ（メタクリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−アクリ
ル酸１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプロ
ピル） ポリ（メタクリル酸ドデシル−ｃｏ−アクリル酸１，
１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプロピル） ポリ（メタクリル酸オクタデシシル−ｃｏ−アクリル酸
１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプロピ
ル） ポリ（メタクリル酸ベンジル−ｃｏ−アクリル酸１，
１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプロピル） ポリ（メタクリル酸グリシジル−ｃｏ−アクリル酸１，
１，１，３，３，３−ヘキサフルオロイソプロピル） ポリ（メタクリル酸ブチル−ｃｏ−アクリル酸２，２，
２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸シクロヘキシル−ｃｏ−アクリル酸
２，２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−アクリ
ル酸２，２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸ドデシル−ｃｏ−アクリル酸２，
２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸オクタデシシル−ｃｏ−アクリル酸
２，２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸ベンジル−ｃｏ−アクリル酸２，
２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸グリシジル−ｃｏ−アクリル酸２，
２，２−トリフルオロエチル） ポリ（メタクリル酸ブチル−ｃｏ−アクリル酸パーフル
オロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸シクロヘキシル−ｃｏ−アクリル酸
パーフルオロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−アクリ
ル酸パーフルオロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸ドデシル−ｃｏ−アクリル酸パーフ
ルオロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸オクタデシシル−ｃｏ−アクリル酸
パーフルオロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸ベンジル−ｃｏ−アクリル酸パーフ
ルオロヘキシルエチル） ポリ（メタクリル酸グリシジル−ｃｏ−アクリル酸パー
フルオロヘキシルエチル） 上述のポリマーからフィル
ムを形成する場合には、公知の如何なるフィルム形成法
をも使用することができる。例えば、スピンコーティン
グ、ポリマー溶液のキャスティング及び溶融押出法等を
使用することができる。検出感度を高めるためにはフィ
ルムの厚みはなるべく小さいことが望ましく、通常好ま
しくは１μｍ以下である。したがって、フィルムの厚み
を小さくし得るようなフィルム形成法、特にスピンコー
ティング法を用いることが望ましい。
【００１６】
【発明の作用及び効果】本発明のフッ素含有ポリマーは
有機ガスセンサーに適当な他のポリマーに比べ水分の吸
着は少ないが、有機ガスに対する吸着に対しては他と同
程度に起こる。すなわち、有機ガス／水分の吸着比率が
大きくなる。この吸着はこれらの材料を用いた検知器
の、発信するシグナルに対応するため、有機ガス測定時
における湿度変化に起因するシグナルが低減される。
有機ガスセンサーに適当な他のポリマーに比べ水分の吸
着は少ないが、有機ガスに対する吸着に対しては他と同
程度に起こる。すなわち、有機ガス／水分の吸着比率が
大きくなる。この吸着はこれらの材料を用いた検知器
の、発信するシグナルに対応するため、有機ガス測定時
における湿度変化に起因するシグナルが低減される。
【００１７】
【実施例】以下に実施例により本発明をさらに詳細に説
明する。
明する。
【００１８】
【実施例１】１３．８８グラム（０．０７モル）のメタ
クリル酸２−エチルヘキシル、１２．９７グラム（０．
０３モル）のメタクリル酸パーフルオロヘキシルエチル
と、１６４ミリグラムのアゾビスイソブチロニトリル
（ＡＩＢＮ）とを１００ミリリットルのテトラヒドロフ
ランに２０℃において溶解させた。この溶液を窒素で１
時間パージした。次いで、溶液を加熱して６５℃で４時
間還流した。還流中は、溶液を窒素でパージして酸素が
混入しないようにした。溶液を２０℃まで冷却し、引き
続き溶液を２リットルのメタノールに注ぐとポリ（メタ
クリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−メタクリル酸パー
フルオロヘキシルエチル）が沈殿した。このポリ（メタ
クリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−メタクリル酸パー
フルオロヘキシルエチル）の純度を更に高めるために、
このポリ（メタクリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−メ
タクリル酸パーフルオロヘキシルエチル）を５０ミリリ
ットルのテトラヒドロフランに溶解させ、引き続き１リ
ットルのメタノールで沈殿させた。最後に、粘稠なポリ
（メタクリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−メタクリル
酸パーフルオロヘキシルエチル）を捕集し、真空中６０
℃にて乾燥した。乾燥後に得られたポリ（メタクリル酸
２−エチルヘキシル−ｃｏ−メタクリル酸パーフルオロ
ヘキシルエチル）中に残留するモノマーを検出するため
に、薄層クロマトグラフィーによる試験をしたが、この
ポリ（メタクリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−メタク
リル酸パーフルオロヘキシルエチル）中には残留モノマ
ーは全く含まれていなかった。最終的に無色透明のポリ
（メタクリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−メタクリル
酸パーフルオロヘキシルエチル）が１８グラム得られ
た。このポリ（メタクリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ
−メタクリル酸パーフルオロヘキシルエチル）の屈折率
をルドルフリサーチ社製三波長自動エリプソメータＡｕ
ｔｏ ＥＬ ＩＶ ＮＩＲ ＩＩＩを用いて測定したと
ころ、２３℃において１．４２０であった。
クリル酸２−エチルヘキシル、１２．９７グラム（０．
０３モル）のメタクリル酸パーフルオロヘキシルエチル
と、１６４ミリグラムのアゾビスイソブチロニトリル
（ＡＩＢＮ）とを１００ミリリットルのテトラヒドロフ
ランに２０℃において溶解させた。この溶液を窒素で１
時間パージした。次いで、溶液を加熱して６５℃で４時
間還流した。還流中は、溶液を窒素でパージして酸素が
混入しないようにした。溶液を２０℃まで冷却し、引き
続き溶液を２リットルのメタノールに注ぐとポリ（メタ
クリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−メタクリル酸パー
フルオロヘキシルエチル）が沈殿した。このポリ（メタ
クリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−メタクリル酸パー
フルオロヘキシルエチル）の純度を更に高めるために、
このポリ（メタクリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−メ
タクリル酸パーフルオロヘキシルエチル）を５０ミリリ
ットルのテトラヒドロフランに溶解させ、引き続き１リ
ットルのメタノールで沈殿させた。最後に、粘稠なポリ
（メタクリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−メタクリル
酸パーフルオロヘキシルエチル）を捕集し、真空中６０
℃にて乾燥した。乾燥後に得られたポリ（メタクリル酸
２−エチルヘキシル−ｃｏ−メタクリル酸パーフルオロ
ヘキシルエチル）中に残留するモノマーを検出するため
に、薄層クロマトグラフィーによる試験をしたが、この
ポリ（メタクリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−メタク
リル酸パーフルオロヘキシルエチル）中には残留モノマ
ーは全く含まれていなかった。最終的に無色透明のポリ
（メタクリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ−メタクリル
酸パーフルオロヘキシルエチル）が１８グラム得られ
た。このポリ（メタクリル酸２−エチルヘキシル−ｃｏ
−メタクリル酸パーフルオロヘキシルエチル）の屈折率
をルドルフリサーチ社製三波長自動エリプソメータＡｕ
ｔｏ ＥＬ ＩＶ ＮＩＲ ＩＩＩを用いて測定したと
ころ、２３℃において１．４２０であった。
【００１９】
【実施例２】ポリ（メタクリル酸オクタデシル−ｃｏ−メタクリル酸
パーフルオロヘキシルエチル）の薄膜の調製 フッ素含有ポリマーである（メタクリル酸オクタデシル
−ｃｏ−メタクリル酸パーフルオロヘキシルエチル）は
トルエンに溶解して濃度５−１０％の溶液となし、次い
で、シリコン基板上にスピンコートした。スピンコーテ
ィング後に、真空下６０℃にて２時間フィルムを乾燥し
た。このようにして得られたフィルムの厚みをＤＥＫＴ
ＡＫ社製の３０３０ＳＴサーフェステクスチャ分析シス
テムによって測定した。最高の検出感度を得るために
は、ポリマーフィルムの厚みは１ミクロンメートル未満
であるべきであり、典型的には５００ｎｍ前後であっ
た。
パーフルオロヘキシルエチル）の薄膜の調製 フッ素含有ポリマーである（メタクリル酸オクタデシル
−ｃｏ−メタクリル酸パーフルオロヘキシルエチル）は
トルエンに溶解して濃度５−１０％の溶液となし、次い
で、シリコン基板上にスピンコートした。スピンコーテ
ィング後に、真空下６０℃にて２時間フィルムを乾燥し
た。このようにして得られたフィルムの厚みをＤＥＫＴ
ＡＫ社製の３０３０ＳＴサーフェステクスチャ分析シス
テムによって測定した。最高の検出感度を得るために
は、ポリマーフィルムの厚みは１ミクロンメートル未満
であるべきであり、典型的には５００ｎｍ前後であっ
た。
【００２０】
【実施例３】干渉増幅反射法による有機ガスの検知及び湿度影響試験 本発明の有機ガス検知用ポリマーフィルムを用いた図１
に示される有機ガス検知器を用いて、干渉増幅反射法
（ＩＥＲ法）によってトルエン等の炭化水素類を室温
下、光学的に検出し、その際の湿度の影響を調べた。
に示される有機ガス検知器を用いて、干渉増幅反射法
（ＩＥＲ法）によってトルエン等の炭化水素類を室温
下、光学的に検出し、その際の湿度の影響を調べた。
【００２１】本試験では本発明によるフッ素含有ポリマ
ーと従来の有機ガス検知法に用いられているポリマーの
比較により検討を行なった。
ーと従来の有機ガス検知法に用いられているポリマーの
比較により検討を行なった。
【００２２】ＩＥＲ測定中はポリマーフィルムを有する
シリコン基板を、フロースルーセル中に密閉した。フロ
ースルーセルには空気又は窒素と共にトルエン蒸気及び
その他の有機ガス若しくは水蒸気を導入せしめることが
できる。それらのガスは、ガスパーミエーター（ガステ
ック製）若しくは，ガス校正器（理研計器製）より発生
させ、テフロン製ガスバックに捕集して用いた。本実施
例で使用した有機ガスはトルエンであった。
シリコン基板を、フロースルーセル中に密閉した。フロ
ースルーセルには空気又は窒素と共にトルエン蒸気及び
その他の有機ガス若しくは水蒸気を導入せしめることが
できる。それらのガスは、ガスパーミエーター（ガステ
ック製）若しくは，ガス校正器（理研計器製）より発生
させ、テフロン製ガスバックに捕集して用いた。本実施
例で使用した有機ガスはトルエンであった。
【００２３】湿度の影響を比較する際には、水中に沈め
られたゴアテックス製チューブに空気を通し、約９０％
に加湿された空気のシグナルを測定し、１０００ｐｐｍ
のトルエンガスのシグナルとの比を求めた。
られたゴアテックス製チューブに空気を通し、約９０％
に加湿された空気のシグナルを測定し、１０００ｐｐｍ
のトルエンガスのシグナルとの比を求めた。
【００２４】Ｈｅ−Ｎｅレーザー光を、入射角７０°で
ポリマーフィルムに照射した。このレーザー光は入射面
に対して直角の方向に偏光していた。反射光の強度を光
検出器でモニターした。光検出器の出力を電圧計で測定
した。
ポリマーフィルムに照射した。このレーザー光は入射面
に対して直角の方向に偏光していた。反射光の強度を光
検出器でモニターした。光検出器の出力を電圧計で測定
した。
【００２５】測定結果を表１に示す。表１における感度
は図１に示す装置を用いたときの出力電圧を示してい
る。表１からわかる様に本発明のフッ素含有ポリマーを
用いたセンサーは、１０％の湿度変動に対して約１０−
２５ｐｐｍのトルエンに相当するシグナルを発する。そ
の際の反応曲線を図２に示す。はじめに１０００ｐｐｍ
のトルエン、続いて９０％ＲＨの加湿空気を測定した。
は図１に示す装置を用いたときの出力電圧を示してい
る。表１からわかる様に本発明のフッ素含有ポリマーを
用いたセンサーは、１０％の湿度変動に対して約１０−
２５ｐｐｍのトルエンに相当するシグナルを発する。そ
の際の反応曲線を図２に示す。はじめに１０００ｐｐｍ
のトルエン、続いて９０％ＲＨの加湿空気を測定した。
【００２６】
【表１】 ポリマー トルエン 加湿空気 比 (1000ppm) (90%RH) （トルエン／加湿空気） ODMA-co-PFMA ４０ ８ ５ ODMA-co-HFMA ２９ ７ ４．１ DDMA-co-PFMA ３４ ４ ８．５ 表中の記号は以下のポリマーを示す。 ＯＤＭＡ−ｃｏ−ＰＦＭＡ：ポリ（メタクリル酸オクタ
デシル−ｃｏ−メタクリル酸パーフルオロヘキシルエチ
ル） ＯＤＭＡ−ｃｏ−ＨＦＭＡ：ポリ（メタクリル酸オクタ
デシル−ｃｏ−アクリル酸１，１，１，３，３，３−ヘ
キサフルオロイソプロピル） ＤＤＭＡ−ｃｏ−ＰＦＭＡ：ポリ（メタクリル酸ドデシ
シル−ｃｏ−メタリル酸パーフルオロヘキシルエチル）
デシル−ｃｏ−メタクリル酸パーフルオロヘキシルエチ
ル） ＯＤＭＡ−ｃｏ−ＨＦＭＡ：ポリ（メタクリル酸オクタ
デシル−ｃｏ−アクリル酸１，１，１，３，３，３−ヘ
キサフルオロイソプロピル） ＤＤＭＡ−ｃｏ−ＰＦＭＡ：ポリ（メタクリル酸ドデシ
シル−ｃｏ−メタリル酸パーフルオロヘキシルエチル）
【００２７】
【比較例１】本発明のフッ素含有ポリマーを用いたセン
サーがフッ素の含まれないポリマーを用いたセンサーに
比べて、どれだけ湿度の影響が軽減されたかを調べるた
めに比較テストを行なった。フッ素の含まれないポリマ
ーとしてポリ（メタクリル酸２−エチルヘキシル）及び
ポリ（メタクリル酸オクタデシル）を用い、図１に示す
ような干渉増幅反射法（ＩＥＲ法）の装置にて、実施例
３の場合と同様の測定ガス、測定条件で比較を行なっ
た。
サーがフッ素の含まれないポリマーを用いたセンサーに
比べて、どれだけ湿度の影響が軽減されたかを調べるた
めに比較テストを行なった。フッ素の含まれないポリマ
ーとしてポリ（メタクリル酸２−エチルヘキシル）及び
ポリ（メタクリル酸オクタデシル）を用い、図１に示す
ような干渉増幅反射法（ＩＥＲ法）の装置にて、実施例
３の場合と同様の測定ガス、測定条件で比較を行なっ
た。
【００２８】比較結果を表２に示す。表２における感度
は図１に示す装置を用いたときの出力電圧を示してい
る。
は図１に示す装置を用いたときの出力電圧を示してい
る。
【００２９】フッ素の含まれないポリマーを用いたセン
サーは、１０％の湿度変動に対して約３０ー４０ｐｐｍ
のトルエンに相当するシグナルを発する。表２の結果と
実施例３の結果を比較すると明らかな様に、請求項に表
わされるフッ素含有ポリマーを用いたセンサーは、フッ
素の含まれないポリマーを用いたセンサーに比べて、ト
ルエン／加湿空気の比が大きい。即ち、有機ガスのシグ
ナルに対する湿度の影響が軽減された事を示している。
その際の反応曲線を図３に示す。
サーは、１０％の湿度変動に対して約３０ー４０ｐｐｍ
のトルエンに相当するシグナルを発する。表２の結果と
実施例３の結果を比較すると明らかな様に、請求項に表
わされるフッ素含有ポリマーを用いたセンサーは、フッ
素の含まれないポリマーを用いたセンサーに比べて、ト
ルエン／加湿空気の比が大きい。即ち、有機ガスのシグ
ナルに対する湿度の影響が軽減された事を示している。
その際の反応曲線を図３に示す。
【００３０】
【表２】 ポリマー トルエン 加湿空気 比 (1000ppm) (90%RH) （トルエン／加湿空気） EHMA ２８ ９ ３．１ ODMA ３５ １３ ２．７ 表中の記号は以下のポリマーを示す。 ＥＨＭＡ：ポリ（メタクリル酸２−エチルヘキシル） ＯＤＭＡ：ポリ（メタクリル酸オクタデシル）
【図１】ＩＥＲ法による有機ガス検知器の略図である。
【図２】フッ素含有ポリマーを用いたセンサーのトルエ
ン（１０００ｐｐｍ）及び加湿空気に対する感度を表わ
した図である。
ン（１０００ｐｐｍ）及び加湿空気に対する感度を表わ
した図である。
【図３】フッ素を含有しないポリマーを用いたセンサー
のトルエン（１０００ｐｐｍ）及び加湿空気に対する感
度を表わした図である。
のトルエン（１０００ｐｐｍ）及び加湿空気に対する感
度を表わした図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｃ０８Ｆ 218/04 Ｃ０８Ｆ 218/04 220/18 220/18 220/24 220/24 Ｃ０８Ｊ 5/18 ＣＥＲ Ｃ０８Ｊ 5/18 ＣＥＲ Ｇ０１Ｎ 21/45 Ｇ０１Ｎ 21/45 Ａ (56)参考文献 特開 平７−260773（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−184560（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−210253（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−222006（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−7745（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C08F 10/00 - 299/08 C08J 5/18 G01N 21/45 ＣＡ（ＳＴＮ) ＲＥＧＩＳＴＲＹ（ＳＴＮ)
Claims (6)
- 【請求項１】 下記の繰り返し単位（Ｉ）を有するコポ
リマーから成る有機ガス検知用フィルム。 【化１】 （式中、Ｘは、Ｈ，Ｆ，Ｃｌ，Ｂｒ，ＣＨ3，ＣＦ3，Ｃ
Ｎ，又はＣＨ2ＣＨ3を表わし，Ｒ1は，Ｒ2又は−Ｚ−Ｒ
2を表わし、Ｚは、−Ｏ−、−Ｓ−、−ＮＨ−、−ＮＲ
2'−、−（Ｃ＝Ｙ）−、−Ｃ（＝Ｙ）−Ｙ−、−Ｙ−
（Ｃ＝Ｙ）−、−（ＳＯ2）−、−Ｙ'−（ＳＯ2）−、
−（ＳＯ2）−Ｙ'−、−Ｙ'−（ＳＯ2）−Ｙ'−、−Ｎ
Ｈ−（Ｃ＝Ｏ）−、−（Ｃ＝Ｏ）−ＮＨ−、−（Ｃ＝
Ｏ）−ＮＲ2'−、−Ｙ'−（Ｃ＝Ｙ）−Ｙ'−、又は−Ｏ
−（Ｃ＝Ｏ）−（ＣＨ2）P−（Ｃ＝Ｏ）−Ｏ−を表わ
し、 Ｙは同一又は異なってＯ又はＳを表わし、 Ｙ’は同一又は異なってＯ又はＮＨを表わし、 ｐは０−２０の整数を表わし、 Ｒ2およびＲ2'は、同一の又は異なる水素、直鎖アルキ
ル基、分岐アルキル基、シクロアルキル基、不飽和炭化
水素基、アリール基、飽和若しくは不飽和ヘテロ環、又
はそれらの置換体を表わし（但し、Ｒ1は水素、直鎖ア
ルキル基、分岐アルキル基でない）、 Ｒ3はＲ4又は−Ｚ−Ｒ4を表わし、 Ｒ4は１つ以上のＦで置換された、直鎖アルキル基、分
岐アルキル基、シクロアルキル基、不飽和炭化水素基、
アリール基、飽和若しくは不飽和ヘテロ環、又はそれら
の置換体を表わし、 ｎは０以上１未満の、ｍは１−ｎの数値を表わす。 - 【請求項２】 ＸがＨ又はＣＨ3を表わし、Ｒ1が置換若
しくは無置換アリール基又は−Ｚ−Ｒ2を表わし，Ｚが
−Ｏ−、−（Ｃ＝Ｏ）−Ｏ−、又は−Ｏ−（Ｃ＝Ｏ）−
を表わし、そしてＲ2が直鎖アルキル基、分岐アルキル
基、シクロアルキル基、不飽和炭化水素基、アリール
基、飽和若しくは不飽和ヘテロ環、又はそれらの置換体
を表わし、Ｒ3は１つ以上のＦで置換されたアリール基
又は−Ｚ−Ｒ4を表わし，Ｚが−Ｏ−、−（Ｃ＝Ｏ）−
Ｏ−、又は−Ｏ−（Ｃ＝Ｏ）−を表わし、そしてＲ4が
１つ以上のＦで置換された直鎖アルキル基、分岐アルキ
ル基、シクロアルキル基、不飽和炭化水素基、アリール
基、飽和若しくは不飽和ヘテロ環、又はそれらの置換体
を表わす、請求項１に記載の有機ガス検知用フィルム。 - 【請求項３】 ＸがＨ又はＣＨ3を表わし、Ｒ1が−Ｚ−
Ｒ2を表わし、Ｚが−（Ｃ＝Ｏ）−Ｏ−を表わし、そし
てＲ2が直鎖アルキル基、分岐アルキル基、シクロアル
キル基、又はそれらの置換体を表わし、Ｒ3は−Ｚ−Ｒ4
を表わし、Ｚが−（Ｃ＝Ｏ）−Ｏ−を表わし、そしてＲ
4が１つ以上のＦで置換された直鎖アルキル基、分岐ア
ルキル基、又はそれらの置換体を表わす、請求項１に記
載の有機ガス検知用フィルム． - 【請求項４】 ポリマーが架橋されている、請求項１に
記載の有機ガス検知用フィルム。 - 【請求項５】 有機ガスとの接触の際、膜厚及び／又は
屈折率が変化する様な平滑な基板に塗布された、請求項
１に記載のフィルム、光源、及び光検知素子を有する光
検知方式有機ガスセンサー。 - 【請求項６】 請求項１に記載のフィルムの膜厚の変化
を検知可能な、干渉増幅反射法（ＩＥＲ法）を用いた請
求項５に記載の有機ガスセンサー。
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|---|---|---|---|
| JP08039595A JP3277092B2 (ja) | 1995-04-05 | 1995-04-05 | 有機ガス検知用ポリマーフィルム |
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| DE69637713T DE69637713D1 (de) | 1995-04-05 | 1996-04-02 | Polymerfilme zum Nachweis von organischen Gasen |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08039595A JP3277092B2 (ja) | 1995-04-05 | 1995-04-05 | 有機ガス検知用ポリマーフィルム |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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| US5152287A (en) * | 1990-08-15 | 1992-10-06 | Cordis Corporation | Cross-linked fluorinated polymers for use in gas sensors |
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-
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- 1996-04-02 EP EP19960105240 patent/EP0736768B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-04-02 DE DE69637713T patent/DE69637713D1/de not_active Expired - Lifetime
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| EP0736768A2 (en) | 1996-10-09 |
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