JP3275968B2 - Equipment control method in production line - Google Patents
Equipment control method in production lineInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、製造ラインにおいて複
数の装置を制御するセルコントローラを有する製造ライ
ンにおける装置制御方式に関し、更に詳しくは、例えば
集積回路等を製造する製造ラインにおいて複数の製造装
置や検査装置を制御するためのセルコントローラ内にお
ける装置制御手段である装置制御プログラムの構成方法
を改良した製造ラインにおける装置制御方式に関する。
一般に、セルコントローラに接続される各装置は通信制
御仕様(通信に使用するプロトコル、メッセージのデー
タ形式、装置制御手順)が異なる。このように通信制御
仕様・装置制御手順が異なる装置群を統一的に制御する
ための制御装置プログラムの開発を効率的に行うことは
必要なことである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus control method for a production line having a cell controller for controlling a plurality of apparatuses in a production line, and more particularly, to a plurality of production apparatuses in a production line for producing an integrated circuit or the like. The present invention relates to an apparatus control method in a production line in which a method of configuring an apparatus control program as an apparatus control means in a cell controller for controlling an inspection apparatus is improved.
Generally, each device connected to the cell controller has different communication control specifications (protocol used for communication, data format of message, device control procedure). As described above, it is necessary to efficiently develop a control device program for uniformly controlling a group of devices having different communication control specifications and device control procedures.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、各種製造ラインの自動化に関する
関心が高まり、計算機制御による製造ライン制御を行う
システムが実用化されつつある。例えば、LSI製造ラ
インの自動化について米国Electrochemical Society 主
催の国際会議Automated IC Manufacturingにおいて報告
されている[ECS Fall Meeting.vol.88-2,p566(198
8)]。図4はその構成を示したものである。図中、ファ
クトリコントロールレベルにある1つの計算機が、スケ
ジューリングを実行し、各個別の装置を制御するセルコ
ントロールレベルの装置制御用コンピュータ(図におけ
るエリアコンピュータ及び移送制御コンピュータ、以下
では、単にセルコントローラと呼ぶ)にその情報を送
る。セルコントローラは、この情報を基にして各装置の
制御、データ収集を行う。例えば、集積回路の製造シス
テムでは、露光・現像、熱処理、膜付け、エッチング、
検査等の各工程ごとにセルコントローラを設けて、その
ブロック内にある同種の装置の制御、工程管理を行って
いる。セルコントローラの下につながる各装置内の制御
は、各装置の制御プログラム(以下では、装置内プログ
ラムと呼ぶ)が実行する。2. Description of the Related Art In recent years, interest in automation of various production lines has increased, and systems for controlling production lines by computer control have been put into practical use. For example, the automation of LSI manufacturing lines has been reported at the International Conference on Automated IC Manufacturing sponsored by the US Electrochemical Society [ECS Fall Meeting. Vol.88-2, p566 (198
8)]. FIG. 4 shows the configuration. In the figure, one computer at a factory control level executes scheduling and controls each individual device. A device control computer at a cell control level (the area computer and the transfer control computer in the diagram, hereinafter simply referred to as a cell controller) Call). The cell controller controls each device and collects data based on this information. For example, in an integrated circuit manufacturing system, exposure and development, heat treatment, film formation, etching,
A cell controller is provided for each process such as inspection, and controls and processes of the same type of device in the block are performed. Control in each device connected below the cell controller is executed by a control program of each device (hereinafter, referred to as an in-device program).
【0003】一方、装置内プログラムと装置制御プログ
ラムの通信用に、半導体製造装置通信スタンダード(S
ECS)が業界標準として発行されている。この規格
は、ハードウェアや通信プロトコールを規定するSEC
Slと、通信メッセージのデータ形式・機能を規定する
SECSllから成る。しかしながら、SECSllはゆる
い規格であるため、市販装置では、通信メッセージの使
い方(メッセージ種類の選択、フォーマット等)や制御
手順が装置ごとに異なるほか、送受信可能なメッセージ
の数にも差がある。例えば、ウェハ装填終了、ウェハ処
理開始等の通知を装置からメッセージとして送信できな
い装置がある。また、送信できる場合でも、そのメッセ
ージのストリームとして、S1の『装置の状態』、S5
の『例外通知』、あるいは、処理データの一部と解釈し
てS6の『収集データ』を用いる装置がある。更に、メ
ッセージで送受信するデータ形式にしても、電流、電圧
等を1データごとにデータ項目として定義している装置
もあれば、これら複数のデータを1まとめにしたものを
データ項目として設定している装置もある。後者の場合
は、それぞれのデータがつながって入っているため、デ
ータ項目から直接必要なデータを引き出すことができ
ず、データを分解しなければならない。また、処理デー
タのみをRS232Cのポートに出力する装置(SEC
Sllのメッセージ規格に合わない装置)、イーサネット
等のLANを用いる装置等、SECSの規格に準拠しな
い装置が多種用いられている。更に、通信インタフェー
スがなく、フロッピディスクに蓄えた処理データをデー
タベースへ格納したい場合もある。On the other hand, for communication between an in-apparatus program and an apparatus control program, a semiconductor manufacturing apparatus communication standard (S) is used.
(ECS) is published as an industry standard. This standard is an SEC that defines hardware and communication protocols.
Sl and SECSll that specifies the data format and function of the communication message. However, since SECSll is a loose standard, commercially available devices have different usages of communication messages (selection of message type, format, etc.) and control procedures for each device, and also have differences in the number of messages that can be transmitted and received. For example, there is an apparatus which cannot transmit a notification such as completion of wafer loading and start of wafer processing as a message from the apparatus. Further, even if the message can be transmitted, the “device status” of S1, S5
There is an apparatus that uses the “exception notification” of “No.” or “collected data” of S6 by interpreting it as a part of processing data. Further, as for the data format to be transmitted and received as a message, some devices define current, voltage, and the like as data items for each data, and set such a plurality of data as one data item. Some devices are available. In the latter case, since each piece of data is connected, the necessary data cannot be directly extracted from the data item, and the data must be decomposed. A device that outputs only the processing data to the RS232C port (SEC)
Various devices that do not conform to the SECS standard, such as devices that do not conform to the Sll message standard) and devices that use a LAN such as Ethernet, are used. Further, there is a case where there is no communication interface and it is desired to store the processing data stored in the floppy disk in the database.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】このように、接続され
る装置との通信制御仕様が多様なため、これらの装置を
制御するセルコントローラ内の装置制御プログラムを各
装置の通信制御仕様・制御手順に合うように個別に作製
する必要があり、プログラムの開発に手間がかかるとい
う問題があった。As described above, since the communication control specifications with the devices to be connected are various, the device control program in the cell controller for controlling these devices is required to have the communication control specifications and control procedures for each device. However, there is a problem that it takes time and effort to develop a program because it is necessary to individually produce the program so as to meet the requirements.
【0005】本発明は、上記に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、通信仕様や制御手順等が異な
る多種の装置の制御手段の開発を簡便化し、新規装置の
追加を容易にする製造ラインにおける装置制御方式を提
供することにある。[0005] The present invention has been made in view of the above,
An object of the present invention is to provide a device control method in a manufacturing line that simplifies development of control means for various types of devices having different communication specifications, control procedures, and the like, and facilitates addition of new devices.
【0006】また、本発明の他の目的は、レイアウト変
更やセルコントローラの故障等によるセルコントローラ
と装置の接続関係の変更を迅速に行えるようにして、製
造ライン全体の稼働率の向上を図る製造ラインにおける
装置制御方式を提供することにある。Another object of the present invention is to improve the operation rate of the entire manufacturing line by quickly changing the connection relationship between a cell controller and a device due to a layout change or a cell controller failure. An object of the present invention is to provide a device control method in a line.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の製造ラインにおける装置制御方式は、製造
ラインにおいて複数の装置を制御するセルコントローラ
を有する製造ラインにおける装置制御方式であって、前
記セルコントローラは装置制御手段を有し、該装置制御
手段は、ホスト計算機および他のセルコントローラと通
信し、スケジュール情報の受信・処理の進捗状況の管理
報告を行い、各装置から送られてくる処理データの項目
を選択し、フォーマットを変換してデータベースへ格納
する処理を含む各セルコントローラで共通な処理を行う
共通装置制御手段と、各装置毎に異なるメッセージを装
置に合わせて組立、解釈して装置の制御・データ収集を
行い、その進行状況を前記共通装置制御手段に報告する
個別装置制御手段と、各装置内の装置制御手段と個別装
置制御手段の間の通信データ形式の変換および当該デー
タの通信を行う通信制御手段とを有することを要旨とす
る。In order to achieve the above object, an apparatus control method in a production line according to the present invention is an apparatus control method in a production line having a cell controller for controlling a plurality of apparatuses in the production line, The cell controller has device control means, which communicates with the host computer and other cell controllers .
And trust, management of the progress of the reception and processing of schedule information
Report and process data items sent from each device
Select and convert the format and store it in the database
A common device control means for performing a common process in each cell controller includes processing for, a different message for each device instrumentation
Control and data collection by assembling and interpreting according to
To report the progress to the common device control means. The individual device control means and the conversion of the communication data format between the device control means and the individual device control means in each device and the communication of the data are performed. Communication control means for performing the communication.
【0008】[0008]
【作用】本発明の製造ラインにおける装置制御方式で
は、各装置の通信制御仕様が標準の仕様と異なる場合
に、その仕様に合う通信制御プログラムを起動し、装置
からの通信データを標準形式(集積回路の製造ラインに
おいてはSECSllのデータ形式が標準的)に変換して
いる。このため、上位の個別装置制御手段は、通信制御
仕様の違いにかかわらず、標準のデータ形式でデータの
授受を行うことができる。従って、各装置ごとに異なる
メッセージの解釈(制御パラメータの抽出)、組立、及
び、これらの制御パラメータを用いた制御手順の作成が
容易になり、各装置に応じたセルコントローラ内の装置
制御プログラム開発を効率的に行うことができる。ま
た、接続変更や新規装置の追加の場合には、個別装置制
御手段のみを変更(追加)すればよいので、簡単に実施
できる。According to the device control method in the production line of the present invention, when the communication control specification of each device is different from the standard specification, a communication control program conforming to the specification is started, and the communication data from the device is transferred to the standard format (integrated). In the circuit manufacturing line, the data format of SECSll is standard). For this reason, the upper individual device control means can transmit and receive data in a standard data format regardless of the difference in communication control specifications. Therefore, the interpretation (extraction of control parameters) of different messages for each device, the assembly, and the creation of a control procedure using these control parameters are facilitated, and the development of a device control program in the cell controller corresponding to each device. Can be performed efficiently. Further, in the case of connection change or addition of a new device, it is easy to carry out since only the individual device control means needs to be changed (added).
【0009】[0009]
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0010】図1は、本発明の一実施例に係わる製造ラ
インにおける装置制御方式に使用されるセルコントロー
ラの構成を示すブロック図である。一般に、製造ライン
には図1に示すような多数のセルコントローラが存在
し、それぞれ複数の異なる装置を制御している。図1に
おいて、セルコントローラ2は、ホスト計算機3に接続
されるとともに、制御すべき複数の装置5に接続されて
いる。FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a cell controller used for an apparatus control method in a production line according to an embodiment of the present invention. In general, a production line has a number of cell controllers as shown in FIG. 1, each of which controls a plurality of different devices. In FIG. 1, a cell controller 2 is connected to a host computer 3 and also to a plurality of devices 5 to be controlled.
【0011】セルコントローラ2は、装置制御プログラ
ム7を有し、この装置制御プログラム7は、(1) スケジ
ューラや他のセルコントローラとの通信処理等、各セル
コントローラで共通な処理を実行する共通装置制御プロ
グラム13、(2) 各装置ごとに異なる通信メッセージか
らのパラメータの抽出、制御手順の実施を行う複数の個
別装置制御プログラム15、(3) 各装置5との通信を行
い、そのデータ形式を標準の形式に変換する複数の通信
制御プログラム17の3階層から構成する。図の例で
は、これら装置制御プログラム7の他に、セルコントロ
ーラ2はデータベース9とユーザインタフェースプログ
ラム11を具備している。前者は、各装置の処理結果デ
ータを蓄積し、後者は、処理結果・進捗状況の表示や装
置制御プログラム7への制御コマンド(処理開始命令、
処理中止命令等)の発行を行う。The cell controller 2 has a device control program 7. The device control program 7 includes: (1) a common device that executes common processing in each cell controller, such as a communication process with a scheduler or another cell controller. A control program 13; (2) a plurality of individual device control programs 15 for extracting parameters from communication messages different for each device and implementing a control procedure; and (3) communicating with each device 5 and changing its data format. It is composed of three layers of a plurality of communication control programs 17 to be converted into a standard format. In the example shown in the figure, in addition to the device control program 7 , the cell controller 2 includes a database 9 and a user interface program 11. The former accumulates the processing result data of each device, and the latter displays the processing result / progress status and control commands (processing start command,
(Processing stop instruction, etc.).
【0012】3階層の最上位の装置制御プログラムであ
る共通装置制御プログラム13は、1セルコントローラ
に1つ起動し、ホストと通信し、スケジュール情報の受
信・ウェハ処理の進捗状況の管理・報告を行うほか、処
理結果データ等のデータベース9への格納、ユーザイン
タフェースプログラム11との通信処理等を行う。共通
装置制御プログラム13は、自セルコントローラに接続
されている装置の個別装置制御プログラム15を介し
て、複数の装置5を制御する。自セルコントローラに接
続されている装置は、データベース内で定義された固有
の番号(または名前)と接続セルコントローラの対応表
(装置接続関係テーブル)を参照することにより認識す
る。A common device control program 13 , which is a device control program at the highest level of the three layers, is activated by one cell controller, communicates with the host, receives schedule information, and manages and reports the progress of wafer processing. In addition to this, it stores processing result data in the database 9 and performs communication processing with the user interface program 11. The common device control program 13 controls the plurality of devices 5 via the individual device control programs 15 of the devices connected to the own cell controller. The device connected to the own cell controller is identified by referring to a unique number (or name) defined in the database and a correspondence table (device connection relation table) of the connected cell controller.
【0013】共通装置制御プログラム13は、通信の相
手先の指定と、装置毎の管理テーブルの作成を行うこと
により、複数の装置の管理を共通的に行うことができ
る。例として、進捗状況の管理、データベースへのデー
タ格納方法を以下に示す。The common device control program 13 can manage a plurality of devices in common by specifying a communication partner and creating a management table for each device. As an example, the following describes how to manage the progress and how to store data in the database.
【0014】スケジューラから送られてくるスケジュー
ル情報は、前述の装置接続関係テーブル内の各装置番号
ごとに分類して格納し、処理順序(あるいは処理開始予
定時刻)を管理する。ウェハ処理の進捗の管理は、この
スケジュール情報を用い、各処理の終了時にフラグを立
てて現在の状況を管理する。この時、全処理の終了だけ
でなく、ウェハ装填終了・ウェハ処理開始等の各処理ご
とにその結果が報告される場合には、これに応じて進捗
を管理するテーブルを用意しておき、報告があるごと
に、対応する欄にフラグを立てていけば、詳細な進捗管
理を行うことができる。また、装置を起動する等、個別
装置制御プログラム15を介して各装置を制御する場合
には、前述の装置番号に対応した個別装置制御プログラ
ム15を宛先にして、制御コマンドを発行する。The schedule information sent from the scheduler is classified and stored for each device number in the above-described device connection relation table, and manages the processing order (or the scheduled processing start time). The progress of the wafer processing is managed by using this schedule information and setting a flag at the end of each processing to manage the current situation. At this time, if the results are reported not only for the end of all the processes but also for each process such as the end of wafer loading and the start of the wafer process, a table for managing the progress is prepared in accordance with the results. Each time a flag is set in the corresponding column, detailed progress management can be performed. When each device is controlled via the individual device control program 15, such as when the device is started, a control command is issued to the individual device control program 15 corresponding to the device number.
【0015】半導体の製造装置では、膜形成、露光、エ
ッチング、検査等、各種の処理が行われるため、装置に
よって、収集される処理結果の内容が異なる。例えば、
膜形成装置では、処理温度、使用ガスの種類、ガス流量
等のデータ、露光装置では、露光時間、光の強度、描画
位置等のデータが収集される。一方、製造途中の検査で
は、形成された膜の厚さの分布、形成されたパタンの寸
法、ゴミの量やその分布等が測定される。また、最終段
階では、その電気的特性(リーク、動作時間等)が測定
される。これらのデータをデータベースへ格納する際に
は、このように装置ごとに収集するデータ項目が異な
る。また、温度等の物理量を装置5から装置制御プログ
ラム7に送信する場合に、実数データとして送信する装
置もあれば、ASCllコードで文字列として送信する装
置もある。このように、データのフォーマット(文字型
・整数型等の区別、及び桁数)がデータベースへ格納す
るフォーマットと異なる場合もある。このため、以下の
ようにして、装置から送信されてくる処理データから、
データの項目を選択し、フォーマットを変換してデータ
ベースへデータを格納する。In a semiconductor manufacturing apparatus, various processes such as film formation, exposure, etching, and inspection are performed. Therefore, the contents of the processing results collected differ depending on the device. For example,
The film forming apparatus collects data such as the processing temperature, the type of gas used, and the gas flow rate, and the exposure apparatus collects data such as exposure time, light intensity, and drawing position. On the other hand, in the inspection in the course of manufacturing, the distribution of the thickness of the formed film, the size of the formed pattern, the amount and distribution of dust, and the like are measured. In the final stage, its electrical characteristics (leak, operation time, etc.) are measured. When these data are stored in the database, the data items to be collected differ from device to device as described above. When a physical quantity such as a temperature is transmitted from the device 5 to the device control program 7, some devices transmit the data as real number data, and some devices transmit the data as a character string using an ASCll code. As described above, the data format (the distinction between the character type and the integer type and the number of digits) may be different from the format stored in the database. Therefore, from the processing data transmitted from the device as follows,
Select the data item, convert the format, and store the data in the database.
【0016】まず、あらかじめ、装置ごとに、装置から
送られてくるデータの構造を示すデータ形式定義ファイ
ルを登録しておく。このファイル内では、各データ項目
とそのデータのフォーマットを登録しておく。一方、デ
ータベースに格納するデータと、そのフォーマット、及
びそのデータが前述のデータ形式定義ファイル内のどの
データ項目に対応するかを指定する格納データ定義ファ
イルを別途登録しておく。この時、各データのフォーマ
ットは、装置から送られたものと異なってもよい。例え
ば、装置からは、文字型で温度等が送られるが、実数型
でそれをデータベースへ格納するように登録することが
可能である。このようにしておけば、後からデータを取
り出して統計処理する時に変換処理を省略できる。ま
た、格納データ定義ファイルの指定では、装置から送ら
れてくる全データを格納するとは限らず、データの取捨
選択を行うことができる。次に、実際のウェハ処理時に
は、以下の手順でデータを格納する。ウェハ処理終了時
に装置から送られたデータは、個別装置プログラムが、
装置ごとにきまった場所にデータファイルを作成すると
ともに、データファイルができたことを共通装置制御プ
ログラムに報告する。共通装置制御プログラムは、この
データファイルを受取り、データ形式定義ファイルを参
照しながらこのデータファイルのデータを分解・解釈
し、フォーマットファイルを参照しながら該当データを
データベースへ格納する。このようにすれば、供給制御
プログラムでの処理は、装置からのデータの構造によら
ず共通的に行うことができる。First, a data format definition file indicating the structure of data sent from a device is registered in advance for each device. In this file, each data item and its data format are registered. On the other hand, data to be stored in the database, its format, and a storage data definition file that specifies which data item in the data format definition file corresponds to the data are separately registered. At this time, the format of each data may be different from the format sent from the device. For example, the temperature and the like are sent from the device in the form of characters, but it is possible to register such that it is stored in the database in the form of real numbers. By doing so, the conversion process can be omitted when data is later taken out and statistically processed. Also, in the specification of the storage data definition file, not all data sent from the device is necessarily stored, and data can be selected. Next, during actual wafer processing, data is stored in the following procedure. The data sent from the device at the end of wafer processing is
A data file is created at a predetermined location for each device, and the data file is reported to the common device control program. The common device control program receives the data file, decomposes and interprets the data in the data file with reference to the data format definition file, and stores the data in the database with reference to the format file. In this way, the processing by the supply control program can be commonly performed regardless of the structure of data from the device.
【0017】個別装置制御プログラム15の説明に入る
前に、通信制御プログラム17について説明する。標準
のデータ形式(集積回路製造装置の場合には標準通信規
格であるSECSII)で、各装置内プログラムと上位
の装置制御プログラム(個別装置制御プログラム)が通
信できるように、通信制御プログラム内で、データの形
式変換を含めて通信処理を行う。各装置の通信制御仕様
に応じて、以下に示す複数の通信制御プログラム17の
中から該当するプログラムを選択し、通信パラメータ
(ポート番号、装置ID、ポーレート、タイムアウト
値、リトライ回数等)を設定して起動する。図2は種々
の通信制御仕様に対応した通信制御プログラム17の例
を示した図である。Before describing the individual device control program 15, the communication control program 17 will be described. In a communication control program, a program in each device and a higher-level device control program (individual device control program) can communicate in a standard data format (SECSII which is a standard communication standard in the case of an integrated circuit manufacturing device). Performs communication processing including data format conversion. According to the communication control specification of each device, a corresponding program is selected from a plurality of communication control programs 17 shown below, and communication parameters (port number, device ID , port rate, timeout value, number of retries, etc.) are set. To start. FIG. 2 is a diagram showing an example of the communication control program 17 corresponding to various communication control specifications.
【0018】図2(a)は標準の通信制御仕様の場合で
ある。1本のケーブルにより1台の装置をセルコントロ
ーラ2の入出力ポートと接続し、装置内の制御プログラ
ムと個別装置制御プログラムの通信を1対1で行う。FIG. 2A shows the case of the standard communication control specification. One device is connected to the input / output port of the cell controller 2 by one cable, and communication between a control program in the device and an individual device control program is performed one-to-one.
【0019】図2(b)は、1台の計算機が同種の複数
台の装置を制御し、これら複数装置の情報を1回線で通
信する場合である。通信制御プログラム17では、メッ
セージ内に含まれる装置ID情報を参照し、対応する個
別装置制御プログラム15へメッセージの割り振りを行
う(およびその逆)ように宛先の制御を行う。従って、
1つの通信制御プログラム17で、複数の個別装置制御
プログラム15と同数の装置5との通信を行う。FIG. 2B shows a case where one computer controls a plurality of devices of the same type and information of these devices is communicated on one line. The communication control program 17 refers to the device ID information included in the message and controls the destination so as to allocate the message to the corresponding individual device control program 15 (and vice versa). Therefore,
One communication control program 17 communicates with a plurality of individual device control programs 15 and the same number of devices 5 .
【0020】図2(c)は、標準の通信制御仕様に合わ
ないデータ形式でデータを送信する場合である。データ
のみをSECSll規格に準拠しない形式で、RS232
Cのポートに出力する装置等が該当する。このような場
合には、SECSll規格に合うように、通信制御プログ
ラム17で、データの構造化、ヘッダ部分の付加をおこ
なう。データ形式変換にあたって、装置側から送られる
データの構造、変換後に個別装置制御プログラム15へ
送るデータ構造を図2(c)に示すようにそれぞれ定義
ファイル21,23を用いてあらかじめ登録しておく。
通信制御プログラム17では、この定義ファイルを参照
して各データの解釈、変換を行う。このようにすれば、
同じハードウェアを使用しているがデータ内容が異なる
複数の装置との通信に、定義ファイルを変更(または起
動時に指定)することにより、同一の通信制御プログラ
ムを用いることができる。FIG. 2C shows a case where data is transmitted in a data format that does not conform to the standard communication control specifications. Only data is in a format that does not conform to the SECSll standard, and RS232
A device that outputs to the C port corresponds to this. In such a case, the communication control program 17 performs structuring of data and addition of a header portion so as to conform to the SECSll standard. In the data format conversion, the data structure sent from the device side and the data structure sent to the individual device control program 15 after the conversion are registered in advance using the definition files 21 and 23 as shown in FIG.
The communication control program 17 interprets and converts each data with reference to this definition file. If you do this,
The same communication control program can be used by changing (or specifying at the time of startup) the definition file for communication with a plurality of devices using the same hardware but different data contents.
【0021】図3(a)は、装置から直接データ等を送
信するインタフェースがなく、一旦フロッピに蓄えたデ
ータを、データベースへ送信する場合である。パソコン
等を仮想装置とし、これと個別装置制御プログラム15
との間で通信を行う。通信制御プログラム17では、フ
ロッピにある装置データを読出し、標準のデータ形式
(SECSll規格)に合うようにヘッダ部分の付加、構
造化を行い、通信を行う。FIG. 3A shows a case in which there is no interface for directly transmitting data or the like from the apparatus, and data once stored in a floppy is transmitted to a database. A personal computer or the like is used as a virtual device.
Communicates with The communication control program 17 reads the device data on the floppy, adds and structures a header portion to conform to a standard data format (SECSll standard), and performs communication.
【0022】この場合も、図2(c)と同じように定義
ファイルを用いることにより、データ内容が異なる複数
の装置との通信に、同一の通信制御プログラムを用いる
ことができる。Also in this case, the same communication control program can be used for communication with a plurality of devices having different data contents by using a definition file as in FIG. 2C.
【0023】図3(b)は、装置との通信にMAP、イ
ーサネット等のネットワークを用いる場合である。通信
制御プログラム17では、各ネットワークのプロトコル
に合わせてデータを受信した後、標準のデータ形式(S
ECSll規格)に合うように変換する。この場合も、図
2(c)と同じように定義ファイルを用いることによ
り、データ内容が異なる複数の装置との通信に、同一の
通信制御プログラムを用いることができる。FIG. 3B shows a case where a network such as MAP or Ethernet is used for communication with the apparatus. In the communication control program 17, after receiving data in accordance with the protocol of each network, a standard data format (S
It is converted to conform to the ECSll standard). Also in this case, by using the definition file as in FIG. 2C, the same communication control program can be used for communication with a plurality of devices having different data contents.
【0024】なお、複数の種類のネットワークを用いる
場合には、それぞれに応じた通信制御プログラムが必要
となる。When a plurality of types of networks are used, a communication control program corresponding to each type of network is required.
【0025】図3(c)は、測長等の検査結果データ、
EBの露光データ等のように、ネットワークを利用して
転送するデータ量が膨大な場合である。この場合には、
全データをSECSll規格に合わせて構造化して送信す
るのは、手間と通信時間がかかる。このため、送信した
いデータファイルの名をSECSllで送信し(図中の上
の欄)、ファイル自体はファイル転送等の別のデータ転
送方法で送信する(図中の下の欄)ことにより、効率的
にデータ転送を行うことができる。ここで、図では、こ
の両者が同一種類のネットワークを用いているが、後者
に専用の高速伝送線を用いて異なるネットワークを用い
てもよい。FIG. 3C shows inspection result data such as length measurement,
This is a case where the amount of data to be transferred using the network is enormous, such as exposure data of EB. In this case,
It takes time and communication time to structure and transmit all data in accordance with the SECSll standard. For this reason, the name of the data file to be transmitted is transmitted by SECSll (upper column in the figure), and the file itself is transmitted by another data transfer method such as file transfer (lower column in the figure). Data transfer can be performed efficiently. Here, in the drawing, the two use the same type of network, but different networks may be used for the latter using dedicated high-speed transmission lines.
【0026】なお、ここでは、集積回路の製造ラインを
想定して説明したために、その標準規格であるSECS
を標準の通信制御仕様として説明している。しかし、標
準として使用するハードウェア、メッセージの形式は他
のものでよいことは、いうまでもない。In this case, since the description has been made assuming the production line of the integrated circuit, the standard standard SECS is used.
Is described as a standard communication control specification. However, it goes without saying that other standard hardware and message formats may be used.
【0027】このように、通信制御プログラムを独立さ
せて階層構成とし、装置制御プログラムからの通信メッ
セージのデータ形式を標準的な仕様(例えばSECSll
規格)に合うように変換している。従って、セルコント
ローラ内の上位の装置制御プログラムは、通信制御仕様
の違いにかかわらず、装置との通信を標準のデータ形式
で行うことができる。この時、個々の装置のメッセージ
内容(制御パラメータの種類、データ構造等)は、装置
ごとに異なる。このため、その解釈(制御パラメータの
抽出)、制御手順の実行、制御コマンドの組立等は個別
装置制御プログラムで実行する。As described above, the communication control program is independently formed into a hierarchical structure, and the data format of the communication message from the device control program is set to a standard specification (for example, SECS II).
Standard). Therefore, the upper device control program in the cell controller can perform communication with the device in a standard data format regardless of the difference in the communication control specification. At this time, the message content (type of control parameter, data structure, etc.) of each device differs for each device. Therefore, interpretation (extraction of control parameters), execution of control procedures, assembly of control commands, and the like are executed by the individual device control program.
【0028】個別装置制御プログラムは、各装置ごとに
異なるメッセージを装置に合わせて組立、解釈して装置
の制御・データ収集を行い、その進行状況を共通制御プ
ログラムに報告する。すなわち、通信制御プログラムを
介して送られてくるメッセージの中から、装置状態・処
理データ等の装置情報を取り出し、装置の状態を認識す
る。装置からの状態変化の報告が合った場合、あるいは
共通装置制御プログラムからの要求により装置状態を確
認した場合には、個別制御プログラムは、認識した装置
の状態を共通制御プログラムに報告する。この個別装置
制御プログラムから共通装置制御プログラムへの通知
は、各装置とも共通のデータ形式を用い、装置の違い
は、通知内に装置番号(または名称)を記載しておくこ
とにより認識する。The individual device control program assembles and interprets different messages for each device according to the device, controls the device and collects data, and reports the progress to the common control program. That is, device information such as device status and processing data is extracted from the message sent via the communication control program, and the status of the device is recognized. When the status change is reported from the device or when the device status is confirmed by a request from the common device control program, the individual control program reports the recognized status of the device to the common control program. The notification from the individual device control program to the common device control program uses a common data format for each device, and the difference between the devices is recognized by describing the device number (or name) in the notification.
【0029】更に、個別装置制御プログラムは、装置の
状態を把握するとともに、共通装置制御プログラムから
の処理開始命令にもとづいて、あらかじめ定められた装
置制御手順に従って1プログラムで1台の装置を制御
(ウェハ処理の実行)する。この装置制御手順は、装置
ごとに異なる。共通装置制御プログラムあるいは装置内
プログラムからメッセージを受けた場合に、何を処理し
て何を応答するかを個々のメッセージごとに定義する。Further, the individual device control program grasps the state of the device and controls one device by one program according to a predetermined device control procedure based on a processing start command from the common device control program ( Execution of wafer processing). This device control procedure differs for each device. When a message is received from the common device control program or the in-device program, what to process and what to respond is defined for each message.
【0030】以上説明したように、共通装置制御プログ
ラムと通信制御プログラムは各セルコントローラで共通
であるので、レイアウト変更・セルコントローラの故障
等に伴って、装置の接続変更(ある計算機から他の計算
機に接続を変更)が生じた場合には、個別装置制御プロ
グラムのみを移し変えればよいので簡単に接続変更がで
きる。As described above, since the common device control program and the communication control program are common to each cell controller, device connection changes (from one computer to another computer) due to layout changes, cell controller failures, etc. In this case, the connection can be easily changed because only the individual device control program needs to be transferred.
【0031】なお、図1では、3階層の装置制御プログ
ラム全てが同一のセルコントローラ内にあるように記述
している。しかし、通信制御プログラムのみ、または、
個別装置制御プログラムと通信制御プログラムを別ユニ
ットとして装置の近くにおき、ネットワークを用いて通
信するような構成にしても、本発明の方法と同じように
装置制御プログラムの効率的開発を行うことができる。In FIG. 1, all three-level device control programs are described as being in the same cell controller. However, only the communication control program, or
Even if the individual device control program and the communication control program are placed as separate units near the device and communicate with each other using a network, the device control program can be efficiently developed in the same manner as the method of the present invention. it can.
【0032】以上説明したように、本発明によれば、装
置制御用セルコントローラ内の装置制御手段を3つに階
層化する。通信制御仕様が標準と異なる場合には、最下
層の通信制御手段で、通信内容を標準のデータ形式に自
動変換することにより、上位の個別装置制御手段は、通
信制御仕様の違いに関係なく、標準のデータ形式で装置
内の制御手段との通信を行うことができる。このため、
通信制御仕様や制御手順等が異なる多種の装置の制御プ
ログラム開発に必要な項目は、通信メッセージからの制
御パラメータの抽出、制御手順の実行を個別制御手段の
中で作成することである。このように、個別制御手段の
中から通信制御部分と共通制御部分が除かれ、しかも、
通信制御手段及び共通装置制御手段は複数の装置の制御
に共通に使用できるので、全体のプログラム開発料を低
減できる。[0032] As described above, according to the present invention, to floors <br/> layered device control means of the apparatus control cell controller 3. If the communication control specification is different from the standard, the lowermost layer communication control means automatically converts the communication content to the standard data format, so that the upper individual device control means is independent of the difference in the communication control specification, Communication with the control means in the apparatus can be performed in a standard data format. For this reason,
Items necessary for developing control programs for various types of devices having different communication control specifications and control procedures are to extract control parameters from communication messages and execute the control procedures in the individual control means. Thus, the communication control part and the common control part are removed from the individual control means, and
Since the communication control means and the common device control means can be used in common for controlling a plurality of devices, the overall program development fee can be reduced.
【図1】本発明の一実施例に係わる製造ラインにおける
装置制御方式に使用されるセルコントローラの構成を示
すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a cell controller used for an apparatus control method in a production line according to an embodiment of the present invention.
【図2】図1に示すセルコントローラに使用されている
通信制御プログラムの例を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing an example of a communication control program used in the cell controller shown in FIG.
【図3】図1に示すセルコントローラに使用されている
通信制御プログラムの例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an example of a communication control program used in the cell controller shown in FIG.
【図4】従来のセルコントローラを用いたLSI生産シ
ステムの例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an example of an LSI production system using a conventional cell controller.
1 セルコントローラ 3 ホスト計算機 5 装置 7 装置制御プログラム 13 共通装置制御プログラム 15 個別装置制御プログラム 17 通信制御プログラム DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cell controller 3 Host computer 5 Device 7 Device control program 13 Common device control program 15 Individual device control program 17 Communication control program
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G05B 15/00 - 15/02 H04Q 9/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Fields surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) G05B 15/00-15/02 H04Q 9/00
Claims (2)
るセルコントローラを有する製造ラインにおける装置制
御方式であって、 前記セルコントローラは装置制御手段を有し、該装置制
御手段は、 ホスト計算機および他のセルコントローラと通信し、ス
ケジュール情報の受信・処理の進捗状況の管理報告を行
い、各装置から送られてくる処理データの項目を選択
し、フォーマットを変換してデータベースへ格納する処
理を含む各セルコントローラで共通な処理を行う共通装
置制御手段と、 各装置毎に異なるメッセージを装置に合わせて組立、解
釈して装置の制御・データ収集を行い、その進行状況を
前記共通装置制御手段に報告する個別装置制御手段と、 各装置内の装置制御手段と個別装置制御手段の間の通信
データ形式の変換および当該データの通信を行う通信制
御手段と、 を有することを特徴とする製造ラインにおける装置制御
方式。1. An apparatus control method in a production line having a cell controller for controlling a plurality of apparatuses in a production line, wherein the cell controller has an apparatus control means, and the apparatus control means includes a host computer and other devices . communicates with the cell controller, vinegar
Manages the progress of receiving and processing schedule information.
Select the processing data items sent from each device
Process to convert the format and store it in the database
Common device control means and the assembly in accordance with the device a different message for each device to perform the common processing in the cell controller including a physical, solutions
Control the device and collect data, and monitor the progress
Individual device control means for reporting to the common device control means, communication between the device control means and the individual device control means in each device Communication control means for converting the data format and communicating the data , An apparatus control method in a production line, comprising:
装置の装置識別番号から各個別装置制御手段へメッセー
ジの割り振りを行ったり、またはその逆の処理を行うよ
うに宛先の決定を行う手段と、 装置の通信制御仕様が標準の仕様に準拠していない場合
に、通信プロトコルの制御・データの解釈を行い、標準
のデータ形式に合うようにデータ変換を行う手段と、 直接データ等をセルコントローラへ送信するインタフェ
ースがない装置において一旦装置内でフロッピーディス
クに情報を蓄積した後、セルコントローラに接続された
コンピュータ等を仮想製造装置とみなして、該装置と個
別装置制御手段との間で通信を行うことをサポートする
手段と、 を有する複数の手段の中から各装置の通信仕様に合うも
のを選択し、パラメータを設定して通信することを特徴
とする請求項1記載の製造ラインにおける装置制御方
式。2. The communication control device according to claim 1, further comprising: means for performing communication according to a standard communication control specification; and, when communicating information with a plurality of devices through one line, controlling each individual device from a device identification number of each device. Means for allocating a message to a means, or determining the destination to perform the reverse processing, and controlling the communication protocol and data when the communication control specifications of the device do not conform to the standard specifications. A device that interprets and converts data to conform to the standard data format, and temporarily stores information on a floppy disk in the device and then connects to the cell controller in a device that does not have an interface to directly transmit data etc. to the cell controller It has been a computer or the like is regarded as a virtual manufacturing device, and means for supporting the communication between the said device and the individual device control means Select the one that meets the communication specification of each device from a number of means, the device control system in a production line of claim 1, wherein the communication by setting parameters.
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